KR20200101562A - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C16/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
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- H01L51/0011—
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
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Abstract
본 발명은 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 개시한다. 본 발명의 실시예들은 인라인 형태로 배열되는 표시 장치의 제조장치를 정지하지 않고 증착원을 자유롭게 교체하는 것이 가능하다.
Description
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
일반적으로 표시 장치를 제조하는 경우 증착물질을 디스플레이 기판에 증착시킬 수 있다. 이때, 증착물질을 공급하는 증착원의 경우 챔버 내부에 배치됨으로써 증착원의 교체 시 챔버 내부의 압력을 대기압 상태로 만들기 위하여 설비 전체를 정지시키야 하므로 설비 가동 시간이 줄어들고 챔버 내부의 압력을 다시 증착이 수행 가능한 상태로 만들기 위하여 많은 시간 및 비용이 발생할 수 있다. 본 발명의 실시예들은 챔버 내부의 압력을 일정하게 유지시킨 상태에서 증착원의 교체가 가능한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 디스플레이 기판 및 마스크 어셈블리가 배치되는 챔버와, 상기 챔버에 연결되며, 일부가 개구되어 상기 챔버와 연통되는 증착원저장부와, 상기 증착원저장부의 개구된 부분에 배치되어 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 선택적으로 차폐하는 차폐부와, 상기 디스플레이 기판을 마주보도록 상기 증착원저장부 내부에 배치되는 증착원과, 상기 증착원저장부와 연결되며, 상기 증착원저장부 중 일부를 상기 증착원저장부로부터 분리하는 분리구동부를 포함하는 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 챔버 및/또는 상기 증착원저장부에 연결되며, 상기 챔버 및/또는 상기 증착원저장부 내부의 압력을 조절하는 압력조절부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는, 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 선택적으로 차폐하도록 선형 운동 가능한 차폐플레이트와, 상기 차폐플레이트와 연결되어 상기 차폐플레이트를 선형 운동시키는 선형구동부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는, 상기 증착원저장부 및/또는 상기 차폐플레이트에 배치되는 전자석부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는, 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 선택적으로 차폐하는 차폐플레이트와, 상기 차폐플레이트와 연결되어 상기 차폐플레이트를 회전 운동시키는 회전구동부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는, 상기 증착원저장부 및/또는 상기 차폐플레이트에 배치되는 전자석부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐플레이트는, 상기 회전부에 연결되는 제1 차폐플레이트와, 상기 제1 차폐플레이트를 마주보도록 배치되어 상기 회전부에 연결되는 제2 차폐플레이트를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원저장부는, 상기 챔버와 연결되거나 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 증착원이 수납되는 공간을 형성하는 격벽과, 상기 격벽과 선택적으로 결합하는 분리부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원저장부는, 상기 분리부와 연결되며, 상기 분리부를 운동시키는 분리구동부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원저장부는, 상기 격벽에 배치되는 가열부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원저장부는, 상기 격벽에 배치되는 냉각부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 증착원저장부는, 상기 격벽에 배치되어 상기 차폐부가 슬라이딩 하는 공간을 차폐하는 격리부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계와, 상기 챔버 내부에 배치되거나 상기 챔버와 연결된 증착원저장부 내부의 증착원으로 상기 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 단계와, 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 차폐부로 선택적으로 차폐시켜 상기 증착원저장부와 상기 챔버를 단절시키는 단계와, 상기 증착원저장부 내부의 압력을 대기압으로 가변시키는 단계와, 상기 증착원저장부의 일부를 상기 증착원저장부에서 분리하여 상기 증착원을 교체하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는 상기 증착원저장부의 개구된 일부를 슬라이딩하여 선택적으로 차폐할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는 회전하여 상기 증착원저장부의 개구된 일부를 선택적으로 차폐할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는 상기 증착원저장부와 전자기력으로 밀착할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는 상기 챔버 내부의 압력과 상기 증착원저장부의 내부의 압력이 동일한 경우 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 개방할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 차폐부는 회전하여 상기 증착원에서 분사된 증착물질을 상기 디스플레이 기판으로 안내하는 경로를 형성할 수 있다.
본 실시에에 있어서, 상기 증착원을 상기 증착원저장부에 배치한 후 상기 증착원저장부의 압력을 진공 상태로 유지하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예는, 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계와, 상기 챔버 내부에 배치되거나 상기 챔버와 연결된 증착원저장부 내부의 증착원으로 상기 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 단계와, 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 차폐부로 선택적으로 차폐시켜 상기 증착원저장부와 상기 챔버를 단절시키는 단계와, 상기 증착원저장부의 일부를 상기 증착원저장부에서 분리하여 상기 증착원을 교체하는 단계를 포함하고, 상기 차폐부는, 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 선택적으로 차폐하는 차폐플레이트와, 상기 차폐플레이트와 연결되어 상기 차폐플레이트를 회전 운동시키는 회전구동부를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 챔버 내부의 압력을 일정하게 유지한 상태에서 증착원의 교체가 가능하다. 또한, 본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 증착원으로부터 증착물질을 디스플레이 기판에 정확하게 안내하는 것이 가능하다. 본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 증착원 교체에 필요한 시간 및 비용을 절감할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 차폐부를 보여주는 사시도이다.
도 7은 도 6에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 사시도이다.
도 8은 도 6에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 10은 도 9의 A-A선을 따라 취한 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 평면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5에 도시된 차폐부를 보여주는 사시도이다.
도 7은 도 6에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 사시도이다.
도 8은 도 6에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 사시도이다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 10은 도 9의 A-A선을 따라 취한 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 인라인 형태로 배열될 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(100)는 복수개가 서로 연결될 수 있으며, 각 표시 장치의 제조장치(100)는 표시 장치(미도시)의 서로 다른 층을 형성할 수 있다. 예를 들면, 표시 장치의 제조장치(100)는 후술할 상기 표시 장치의 중간층 중 적어도 하나 및/또는 대향 전극 등을 형성할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 표시 장치의 제조장치(100)에 대해서 설명하기로 한다.
표시 장치의 제조장치(100)는 마스크 조립체(110), 챔버(120), 증착원저장부(130), 차폐부(140), 증착원(150), 분리구동부(160), 압력조절부(170), 이송부(180) 및 지지부(190)를 포함할 수 있다.
마스크 조립체(110)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 마스크 조립체(110)는 적어도 하나 이상의 개구부를 포함할 수 있다. 이때, 개구부는 다양한 형태일 수 있다. 이러한 경우 마스크 조립체(110)를 통과한 증착물질은 디스플레이 기판(D)의 일 영역 전체에 증착되거나 디스플레이 기판(D)의 일 영역에 패턴 형태로 증착될 수 있다.
상기와 같은 마스크 조립체(110)는 마스크 프레임(미도시)를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(110)는 마스크 프레임(111) 및 마스크 시트(112)를 포함할 수 있다. 이때, 마스크 프레임(111)은 중앙에 하나의 개구부가 형성되거나 격자 형태로 형성되어 복수개의 개구부를 포함할 수 있다. 이러한 경우 마스크 프레임(111)의 하나의 개구부는 후술할 상기 표시 장치의 표시 영역에 대응될 수 있다. 마스크 시트(112)는 마스크 프레임(111) 상에 배치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(112)에는 서로 이격되도록 배열되는 복수개의 개구부를 포함할 수 있다. 이러한 개구부는 패턴을 형성할 수 있으며, 개구부를 통과한 증착물질은 표시 영역에 일정한 패턴을 갖도록 증착될 수 있다. 상기와 같은 마스크 시트(112)는 하나의 플레이트 형태로 형성되어 마스크 프레임(111)에 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 시트(112)는 복수개가 구비되며, 복수개의 마스크 시트(112)는 마스크 프레임(111)의 일변 방향으로 서로 인접하도록 배열될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(110)는 마스크 프레임(111)과 마스크 시트(112)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 챔버(120)는 내부에 공간이 형성되어 마스크 조립체(110)와 디스플레이 기판(D)이 배치될 수 있다. 또한, 챔버(120)는 인접하는 표시 장치의 제조장치(100)와 연결될 수 있으며, 연결되는 부위에는 별도의 게이트밸브(미도시) 등이 배치되어 서로 인접하는 표시 장치의 제조장치(100)를 선택적으로 구분시킬 수 있다.
증착원저장부(130)는 챔버(120) 내부에 배치되거나 챔버(120)에 연결될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원저장부(130)는 챔버(120) 내부에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
증착원저장부(130)는 격벽(131), 분리부(132), 가열부(133), 냉각부(134) 및 격리부(135)를 포함할 수 있다. 이때, 증착원저장부(130) 내부는 차폐부(140)에 의해 챔버(120)와 완전히 구분될 수 있다. 특히 증착원저장부(130) 내부에는 증착원(150)이 배치될 수 있다.
격벽(131)은 챔버(120)의 내부에 배치될 수 있다. 이때, 격벽(131)은 마스크 조립체(110) 측이 개구되도록 공간을 형성할 수 있다. 이러한 경우 격벽(131)은 챔버(120)의 저면에 고정될 수 있으며, 분리부(132)의 둘레를 완전히 감싸도록 배치될 수 있다. 격벽(131)의 내부에는 증착원(150)이 슬라이딩 가능하도록 결합하여 고정될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 격벽(131)은 챔버(120)의 저면으로부터 수직하게 돌출되며, 격벽(131)이 서로 연결되어 내부에 공간이 형성되며, 마스크 조립체(110) 측이 개구되도록 배열되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
분리부(132)는 격벽(131)과 연결될 수 있으며, 챔버(120)로부터 분리될 수 있다. 이때, 증착원(150)은 분리부(132)에 연결될 수 있으며, 분리부(132)가 격벽(131) 또는 챔버(120)로부터 분리되는 경우 분리부(132)와 함께 이동할 수 있다. 이러한 분리부(132)는 챔버(120)의 측면에 배치되어 차폐부(140), 격벽(131) 및 챔버(120)의 일부에 의해 구획되는 공간을 개방시키거나 폐쇄시킬 수 있다. 다른 실시예로써 분리부(132)는 챔버(120)의 저면에 연결되어 차폐부(140), 격벽(131) 및 챔버(120)의 일부에 의해 구획되는 공간을 개방시키거나 폐쇄시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 분리부(132)는 챔버(120)의 저면에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
가열부(133)는 격벽(131)에 배치될 수 있다. 이때, 일 실시예로써 가열부(133)는 히터를 포함할 수 있다. 이때, 가열부(133)는 격벽(131)의 외면을 감싸도록 배치되거나 격벽(131)의 내부에 삽입된 형태로 배치되는 것도 가능하다. 또한, 가열부(133)는 복수개 구비되어 전 격벽(131)에 서로 이격되도록 배열되는 것도 가능하다.
냉각부(134)는 차폐부(140)가 배치되는 격벽(131) 부분에 배치될 수 있다. 이때, 냉각부(134)는 내부에 냉각재가 순환하는 배관을 포함할 수 있다.
격리부(135)는 차폐부(140)가 배치되는 형태에 따라 격벽(131)에 배치되거나 배치되지 않을 수 있다. 예를 들면, 차폐부(140)가 격벽(131)을 통과하지 않고, 격리부(135)는 격벽(131)의 상부에 배치되어 격벽(131)의 개구된 부분을 선택적으로 차폐시키는 경우 격벽(131)에 배치되지 않을 수 있다. 반면, 차폐부(140)가 격벽(131)을 통과하도록 배치되는 경우 격리부(135)는 격벽(131)에 배치되어 격리부(135)가 통과하는 격벽(131)의 공간을 선택적으로 차폐시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 격리부(135)가 격벽(131)에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
격리부(135)는 격벽(131)에 배치되는 격리플레이트(135A) 및 격리플레이트(135A)와 연결되는 격리구동부(135B)를 포함할 수 있다. 이때, 격리플레이트(135A)는 격리구동부(135B)의 작동에 따라 격벽(131)을 따라 슬라이딩함으로써 차폐부(140)가 슬라이딩하도록 격벽(131)에 형성된 개구부분을 선택적으로 차폐시킬 수 있다.
격리구동부(135B)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 일 실시예로써 격리구동부(135B)는 격리플레이트(135A)와 연결되는 실린더를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 격리구동부(135B)는 격리플레이트(135A)와 연결되어 격리플레이트(135A)를 선형 운동시키는 볼스크류와, 볼스크류와 연결되는 모터를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로써 격리구동부(135B)는 격리플레이트(135A)와 연결되는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로서 격리구동부(135B)는 격리플레이트(135A)와 연결되는 랙기어, 랙기어와 연결되는 기어 및 기어와 연결되어 기어를 회전시키는 모터를 포함하는 것도 가능하다. 이러한 경우 격리구동부(135B)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 격리플레이트(135A)와 연결되어 격리플레이트(135A)를 선형 운동시키는 모든 장치 및 구조를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 격리구동부(135B)가 실린더를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
차폐부(140)는 증착원저장부(130) 및/또는 챔버(120)에 배치될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 차폐부(140)는 증착원저장부(130)에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
차폐부(140)는 차폐플레이트(141), 선형구동부(142) 및 전자석부(143)를 포함할 수 있다.
차폐플레이트(141)는 디스플레이 기판(D)을 향하도록 형성된 격벽(131)의 개구된 부분을 차폐시킬 수 있다. 이때, 차폐플레이트(141)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 일 실시예로써 차폐플레이트(141)는 격벽(131)의 개구된 부분과 마스크 조립체(110) 사이에 배치되어 격벽(131)의 개구된 부분을 선택적으로 차폐시킬 수 있다. 다른 실시예로써 차폐플레이트(141)는 격벽(131)을 관통하도록 배치되어 슬라이딩할 수 있다. 이러한 경우 차폐플레이트(141)는 격벽(131)의 개구된 부분을 완전히 차폐하도록 형성될 수 있다. 이때, 격벽(131)은 차폐플레이트(141)가 슬라이딩하면, 차폐플레이트(141)를 지지하는 별도의 공간 내지는 구조가 구비될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 차폐플레이트(141)는 슬라이딩하여 격벽(131)에 삽입되어 격벽(131)의 개구된 부분을 차폐시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
선형구동부(142)는 챔버(120) 또는 격벽(131)에 고정될 수 있으며, 차폐플레이트(141)와 연결되어 차폐플레이트(141)를 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 선형구동부(142)는 차폐플레이트(141)를 디스플레이 기판(D)의 이동 방향(예를 들면, 도 1의 X방향) 또는 디스플레이 기판(D)의 이동 방향에 대해서 수직한 방향(예를 들면, 도 1의 Y방향)으로 선형 운동시킬 수 있다. 이러한 선형구동부(142)는 상기에서 설명한 격리구동부(135B)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 선형구동부(142)는 차폐플레이트(141)를 디스플레이 기판(D)의 이동 방향으로 선형 운동시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
전자석부(143)는 차폐플레이트(141) 및/또는 격벽(131)에 배치될 수 있다. 이때, 전자석부(143)는 차폐플레이트(141)와 격벽(131)을 완전히 밀착시킴으로써 차폐플레이트(141)와 격벽(131) 사이에 틈이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 일 실시예로써 전자석부(143)는 차폐플레이트(141)에 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 전자석부(143)는 차폐플레이트(141)의 일면(예를 들면, 차폐플레이트(141)의 배면)에 배치될 수 있다. 또 다른 실시예로써 전자석부(143)는 차폐플레이트(141)의 일면과, 차폐플레이트(141)의 일면과 대향하는 격벽(131)에 각각 배치되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 전자석부(143)가 차폐플레이트(141)에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
증착원(150)은 증착원저장부(130) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 증착원(150) 내부에는 증착물질이 배치될 수 있으며, 증착원(150)은 증착물질을 기화 또는 승화시킬 수 있다. 증착원(150)은 증착물질을 가열시키도록 별도의 히터를 구비할 수 있다. 증착원(150)은 증착물질을 외부로 안내하는 노즐을 포함할 수 있다. 상기와 같은 증착원(150)은 복수개 구비될 수 있으며, 복수개의 증착원(150)은 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 증착원(150)은 서로 일렬로 배열될 수 있다. 또한, 복수개의 증착원(150)은 디스플레이 기판(D)의 진행 방향에 대해서 수직하게 배열될 수 있다.
분리구동부(160)는 분리부(132)와 연결될 수 있다. 이때, 분리구동부(160)는 분리부(132)를 선형 운동시킬 수 있다. 이러한 경우 분리구동부(160)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 일 실시예로써 분리구동부(160)는 분리부(132)와 연결되는 실린더를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 분리구동부(160)는 분리부(132)와 연결되어 분리부(132)를 선형 운동시키는 볼스크류와, 볼스크류와 연결되는 모터를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로써 분리구동부(160)는 분리부(132)와 연결되는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예로서 분리구동부(160)는 분리부(132)와 연결되는 랙기어, 랙기어와 연결되는 기어 및 기어와 연결되어 기어를 회전시키는 모터를 포함하는 것도 가능하다. 이러한 경우 분리구동부(160)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 분리부(132)와 연결되어 분리부(132)를 선형 운동시켜 분리부(132)를 챔버(120) 및/또는 격벽(131)으로부터 분리시키는 모든 장치 및 구조를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 분리구동부(160)가 실린더를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
압력조절부(170)는 증착원저장부(130) 및/또는 챔버(120)에 연결되어 증착원저장부(130) 내부의 압력을 조절 및/또는 챔버(120) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 일 실시예로써 압력조절부(170)는 하나가 구비되어 증착원저장부(130) 및 챔버(120)에 연결될 수 있다. 다른 실시예로써 압력조절부(170)는 증착원저장부(130)에 연결되는 제1 압력조절부(171) 및 챔버(120)에 연결되는 제2 압력조절부(172)를 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 압력조절부(170)가 제1 압력조절부(171) 및 제2 압력조절부(172)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1 압력조절부(171)는 증착원저장부(130) 내부와 연결되는 제1 압력조절배관(171A) 및 제1 압력조절배관(171A)에 배치되는 제1 압력조절펌프(171B)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 압력조절배관(171A)은 분리부(132) 또는 격벽(131)에 연결될 수 있다. 또한, 제1 압력조절펌프(171B)는 외기를 내부로 유입시키거나 증착원저장부(130) 내부의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다.
제2 압력조절부(172)는 챔버(120)의 내부와 연결되는 제2 압력조절배관(172A) 및 제2 압력조절배관(172A)에 배치되는 제2 압력조절펌프(172B)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 압력조절배관(172A)과 제2 압력조절펌프(172B)는 상기에서 설명한 제1 압력조절배관(171A) 및 제1 압력조절펌프(171B)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
이송부(180)는 캐리어(181), 전원부(182), 충전모듈(183), 기판고정부(184) 및 캐리어구동부(185)를 포함할 수 있다.
캐리어(181)는 캐리어구동부(185)와 대응되도록 배치되어 캐리어구동부(185)를 따라 이동할 수 있다. 이때, 캐리어(181)에는 전원부(182), 충전모듈(183) 및 기판고정부(184)가 배치될 수 있다.
전원부(182)는 캐리어(181)에 배치되어 캐리어(181)의 이동 시 전원은 공급할 수 있다. 이때, 전원부(182)는 2차전지 등과 같이 충전이 가능한 형태일 수 있다.
충전모듈(183)은 전원부(182)와 연결될 수 있으며, 외부의 장치에 의해 무선 충전되도록 구성될 수 있다. 예를 들면, 충전모듈(183)은 CPS 모듈(CPS module, Contactless power supply Module)을 포함할 수 있으며, CPS 모듈은 무선 충전 모듈일 수 있다. 이러한 경우 챔버(120) 내부에는 충전모듈(183)과 대응되도록 별도의 충전부가 구비되어 충전모듈(183)을 무선으로 충전시킬 수 있다.
기판고정부(184)는 캐리어(181)에 연결되어 디스플레이 기판(D)을 고정시킬 수 있다. 이때, 기판고정부(184)는 정전척, 점착척, 클램프 등을 포함할 수 있다. 특히 기판고정부(184)가 정전척을 포함하는 경우 기판고정부(184)는 전원부(182)와 연결되어 선택적으로 디스플레이 기판(D)을 고정시킬 수 있다.
캐리어구동부(185)는 캐리어(181)와 연결되어 캐리어(181)를 이송시킬 수 있다. 이때, 캐리어구동부(185)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 캐리어구동부(185)는 캐리어(181)에 연결되는 브라켓과, 브라켓이 삽입되는 체인, 체인을 구동시키는 모터 및 스프로켓을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 캐리어구동부(185)는 캐리어(181)와 연결되는 리니어 모터를 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 캐리어구동부(185)는 캐리어(181)의 양 측면에 배치되어 캐리어(181)를 부양시키는 레일을 포함하는 것도 가능하다. 이때, 레일과 레일에 대향하는 캐리어(181) 부분에는 각각 영구자석 및 전자석이 배치될 수 있다. 이러한 경우 캐리어구동부(185)는 캐리어(181)를 자기 부양 방식으로 부양시킴으로써 이동시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 캐리어구동부(185)는 자기 부양 방식으로 캐리어(181)를 부양시켜 이동시키는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
지지부(190)는 마스크 조립체(110)가 배치되어 마스크 조립체(110)를 지지할 수 있다. 이때, 지지부(190)는 챔버(120) 내부에 배치될 수 있으며, UVW 스테이지 형태일 수 있다. 이러한 경우 지지부(190)는 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(110) 사이의 위치에 따라 마스크 조립체(110)의 위치를 조절할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(100)는 도면에 도시되어 있지는 않으나 디스플레이 기판(D)의 위치와 마스크 조립체(110)의 위치를 감지하는 별도의 비젼부를 포함할 수 있다. 이때, 상기 비젼부는 카메라를 포함할 수 있으며, 챔버(120)의 상부에 배치될 수 있다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100)는 각 요소들과 연결되어 각 요소들을 제어하는 제어부(미도시)를 포함하는 것도 가능하다. 이때, 상기 제어부는 표시 장치의 제조장치(100)에 회로기판 형태로 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 상기 제어부는 표시 장치의 제조장치(100)에 무선 또는 유선 형태로 연결되는 외부 단말기를 포함하는 것도 가능하다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)를 통하여 상기 표시 장치를 제조할 수 있다.
구체적으로 마스크 조립체(110)는 챔버(120) 내부에 배치될 수 있다. 마스크 조립체(110)를 지지부(190)에 배치하는 경우 제2 압력조절부(172)는 챔버(120) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 이후 제1 압력조절부(171)는 챔버(120) 내부의 압력을 이때, 제1 압력조절부(171)는 챔버(120)의 내부 압력을 인접하는 표시 장치의 제조장치(미도시)의 챔버(미도시)의 내부 압력과 동일하거나 거의 유사한 상태로 유지시킬 수 있다. 기판(미도시) 상에 일부 층을 형성한 디스플레이 기판(D)을 챔버(120) 내부에 배치할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판고정부(184)에 고정된 형태일 수 있으며, 마스크 조립체(110)는 지지부(190)에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 제1 압력조절부(171)가 챔버(120)의 내부 압력을 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 유지시킨 상태에서 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(110)를 챔버(120) 내부에 배치시키는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 마스크 조립체(110)가 별도의 챔버(미도시) 내부에 배치되는 경우 마스크 조립체(110)를 챔버(120)에 공급할 때 별도의 챔버와 챔버(120)의 압력을 서로 동일하게 유지시킨 상태에서 마스크 조립체(110)를 챔버(120)로 공급하는 것도 가능하다.
디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(110)를 배치한 후 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(110)의 위치를 파악하고 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(110)를 서로 정렬시킬 수 있다. 일 실시예로써 상기 비젼부로 측정된 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(110)의 위치를 근거로 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(110)를 각각 기 설정된 위치에 대응되도록 디스플레이 기판(D)의 위치 및/또는 마스크 조립체(110)의 위치를 각각 조절할 수 있다. 다른 실시예로써 상기 비젼부에서 측정된 디스플레이 기판(D)의 위치와 마스크 조립체(110)의 위치를 근거로 디스플레이 기판(D)의 일부분과 마스크 조립체(110)의 일부분이 서로 대응되는 위치에 배치되도록 디스플레이 기판(D)의 위치 및/또는 마스크 조립체(110)의 위치를 조절하는 것도 가능하다.
상기와 같이 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(110)가 배치되는 경우 제2 압력조절부(172)는 챔버(120) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사하게 유지시킬 수 있다. 상기와 같은 경우 차폐부(140)는 챔버(120)와 증착원저장부(130) 사이를 차폐시키거나 개방시킬 수 있다. 이때, 차폐부(140)가 챔버(120)와 증착원저장부(130) 사이를 차단시키는 경우 제1 압력조절부(171)는 증착원저장부(130) 내부의 압력을 챔버(120) 내부의 압력과 동일하게 유지시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 차폐부(140)는 챔버(120)와 증착원저장부(130) 사이를 차단시키지 않는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
증착원(150)은 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 공급할 수 있다. 이때, 증착물질은 마스크 조립체(110)를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다.
상기와 같이 진행되는 동안 캐리어(181)는 캐리어구동부(185)를 따라 선형 운동할 수 있다. 예를 들면, 캐리어(181)는 제1 방향(예를 들면, 도 1의 X축 방향)을 따라 선형 운동할 수 있다.
상기와 같은 작업이 진행되는 동안 증착원(150) 내부의 증착물질이 떨어지거나 증착원(150)이 고장나는 등의 문제가 발생하는 경우 증착원저장부(130) 내부의 증착원(150)을 새로운 증착원(150)으로 교체할 수 있다. 이러한 경우 챔버(120)와 증착원저장부(130) 사이를 차단할 수 있다.
구체적으로 격리구동부(135B)가 작동하면, 격리플레이트(135A)가 격벽(131)의 개구된 부분을 덮을 수 있다. 이후 전자석부(143)가 작동하면, 격리플레이트(135A)와 격벽(131)이 서로 접촉하면서 격리플레이트(135A)와 격벽(131) 사이의 공간을 실링할 수 있다.
이후 제2 압력조절부(172)는 외기를 증착원저장부(130) 내부의 공간으로 안내할 수 있다. 이러한 경우 증착원저장부(130) 내부의 압력은 대기압과 동일 또는 유사해질 수 있다. 이때, 챔버(120)는 격리플레이트(135A)를 통하여 증착원저장부(130)와 완전히 격리됨으로써 챔버(120) 내부의 압력은 기존과 동일하게 진공과 거의 동일하거나 유사한 상태를 유지할 수 있다.
증착원저장부(130) 내부의 압력이 대기압과 거의 동일하거나 유사해지면, 분리구동부(160)가 작동하여 분리부(132)를 격벽(131) 및/또는 챔버(120)로부터 분리할 수 있다. 이러한 경우 증착원저장부(130)의 내부는 외부로 개방될 수 있다.
상기와 같이 분리부(132)를 격벽(131) 및/또는 챔버(120)로부터 분리하는 경우 증착원(150)은 분리부(132)와 함께 증착원저장부(130)의 외부로 인출되거나 증착원저장부(130)의 외부로 노출될 수 있다. 이후 사용자는 분리부(132)를 격벽(131) 및/또는 챔버(120)로부터 완전히 분리하여 새로운 증착원(150)으로 분리할 수 있다.
이후 분리구동부(160)가 다시 작동하여 증착원(150)을 증착원저장부(130) 내부로 삽입할 수 있다. 이후 제1 압력조절부(171)는 증착원저장부(130) 내부의 압력을 챔버(120) 내부의 압력과 동일하거나 거의 유사하도록 조절할 수 있다. 이러한 경우 챔버(120) 및 증착원저장부(130)에는 별도의 압력센서가 배치되어 챔버(120)의 내부 압력 및 증착원저장부(130) 내부의 압력을 감지할 수 있으며, 감지된 압력값을 근거로 제1 압력조절부(171)와 제2 압력조절부(172)의 작동을 제어할 수 있다.
상기와 같이 새로운 증착원(150)이 교체된 후 기존에 수행하였던 증착 공정을 계속해서 수행할 수 있다.
상기와 같이 증착 공정이 수행되는 동안 가열부(133)는 지속적으로 작동하여 격벽(131) 내부에 증착물질이 증착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 냉각부(134)는 지속적으로 작동하여 격리플레이트(135A)에 증착물질이 증착되는 것을 방지할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 챔버(120) 내부의 압력을 조절하지 않고도 증착원저장부(130) 내부의 압력만을 조절함으로써 증착원(150)을 교체하는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 챔버(120) 내부의 압력을 조절하지 않아도 됨으로써 증착원(150) 교체로 인한 증착 공정 시간의 증대 및 비용의 상승을 방지할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 증착 공정 중간에 챔버(120)의 증착 환경을 가변시키지 않음으로써 상기 표시 장치 전면에서 균일한 증착 품질을 도모하는 것이 가능하다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 평면도이다.
도 3 및 도 4를 참고하면, 표시 장치의 제조장치(200)는 마스크 조립체(미도시), 챔버(220), 증착원저장부(230), 차폐부(240), 증착원(250), 분리구동부(260), 압력조절부(270), 이송부(미도시) 및 지지부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 조립체, 챔버(220), 차폐부(240), 증착원(250), 분리구동부(260), 압력조절부(270), 상기 이송부 및 상기 지지부는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
증착원저장부(230)는 격벽(231), 분리부(232), 가열부(미도시), 냉각부(미도시), 가이드부(235) 및 전자석부(243)를 포함할 수 있다. 이때, 격벽(231) 및 상기 가열부는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
분리부(232)는 격벽(231)의 측면에 배치될 수 있다. 예를 들면, 분리부(232)는 디스플레이 기판(D)의 이송 방향 또는 디스플레이 기판(D)의 이송 방향과 수직한 방향에 대해서 수직하게 배열될 수 있다. 이러한 경우 분리부(232)는 격벽(231)에 회동 가능하게 연결되거나 슬라이딩 가능하도록 연결될 수 있다.
상기 냉각부는 가이드부(235)에 배치될 수 있다. 이때, 상기 냉각부는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다.
가이드부(235)는 격벽(231)에 연결되어 차폐플레이트(241)의 운동을 가이드할 수 있다. 이때, 가이드부(235)는 디스플레이 기판(D)의 진행 방향에 대해서 수직한 방향으로 형성될 수 있다. 이러한 경우 가이드부(235)는 차폐플레이트(241)의 하면에 플레이트 형태로 형성될 수 있으며, 차폐플레이트(241)의 측면에는 리니어모션 가이드를 포함할 수 있다. 또한, 선형구동부(242)는 가이드부(235)에 배치될 수 있다.
한편, 표시 장치의 제조장치(200)의 작동을 살펴보면, 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(210)가 챔버(220) 내부로 진입한 후 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(210)를 서로 정렬시킬 수 있다.
이후 증착원(250)은 증착물질을 디스플레이 기판(D)에 공급하여 증착 공정을 수행할 수 있다. 증착 공정이 수행되는 동안 증착물질이 소진되거나 증착원(250)의 고장 등으로 인하여 증착원(250)을 교체하는 경우 선형구동부(242)가 작동하고 차폐플레이트(241)는 증착원저장부(230)와 챔버(220)의 연결을 차단할 수 있다. 즉, 격벽(231)의 개구된 부분을 차폐플레이트(241)가 차폐할 수 있다. 이때, 차폐플레이트(241)는 디스플레이 기판(D)의 이동 방향과 수직한 방향으로 이동할 수 있으며, 가이드부(235)는 차폐플레이트(241)의 운동을 안내할 수 있다. 또한, 전자석부(243)가 작동하여 차폐플레이트(241)와 챔버(220) 및/또는 격벽(231)을 완전히 밀착시킴으로써 챔버(220)의 기밀성을 유지시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 전자석부(243)가 격벽(231)에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 증착원저장부(230)와 챔버(220)의 연결이 차단되면, 압력조절부(270)는 챔버(220) 내부의 압력은 증착 공정과 동일하게 유지시킨 상태에서 증착원저장부(230) 내부의 압력만 대기압 상태로 유지시킬 수 있다.
분리구동부(260)는 분리부(232)를 회전시킬 수 있다. 이때, 증착원(250)은 분리부(232)와 연결되지 않은 상태일 수 있다. 이때, 분리구동부(260)는 분리부(232)와 격벽(231) 및/또는 챔버(220) 사이에 배치되는 모터를 포함할 수 있다.
상기와 같이 분리부(232)가 증착원저장부(230)에서 분리되는 경우 증착원저장부(230)의 내부 공간은 외부로 노출될 수 있다. 이때, 사용자는 증착원(250)을 별도의 로봇암, 셔틀 등을 통하여 증착원저장부(230)로부터 분리할 수 있다. 이후 새로운 증착원(250)를 증착원저장부(230) 내부의 공간에 배치할 수 있다.
증착원(250)이 증착원저장부(230) 내부에 배치되면, 분리구동부(260)가 작동하여 분리부(232)와 증착원저장부(230)를 결합시켜 증착원저장부(230) 내부의 공간을 외부와 단절시킬 수 있다. 이때, 분리부(232)에는 별도의 전자석, 실링 등이 구비되어 분리부(232)가 증착원저장부(230)와 결합하는 경우 외기를 완전히 차단시킬 수 있다.
증착원(250)이 증착원저장부(230) 내부에 배치되면, 압력조절부(270)는 증착원저장부(230) 내부의 압력을 챔버(220) 내부의 압력과 동일하도록 증착원저장부(230) 내부의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다.
챔버(220) 내부의 압력과 증착원저장부(230) 내부의 압력이 동일하거나 거의 유사해지면 선형구동부(242)는 차폐플레이트(241)를 운동시킴으로써 증착원저장부(230)와 챔버(220)를 연통시킬 수 있다. 또한, 증착원(250)이 작동하여 증착 공정을 다시 수행할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(200) 및 표시 장치의 제조방법은 챔버(220) 내부의 압력을 조절하지 않고도 증착원저장부(230) 내부의 압력만을 조절함으로써 증착원(250)을 교체하는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(200) 및 표시 장치의 제조방법은 챔버(220) 내부의 압력을 조절하지 않아도 됨으로써 증착원(250) 교체로 인한 증착 공정 시간의 증대 및 비용의 상승을 방지할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(200) 및 표시 장치의 제조방법은 증착 공정 중간에 챔버(220)의 증착 환경을 가변시키지 않음으로써 표시 장치(미도시) 전면에서 균일한 증착 품질을 도모하는 것이 가능하다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다. 도 6은 도 5에 도시된 차폐부를 보여주는 사시도이다. 도 7은 도 6에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 사시도이다. 도 8은 도 6에 도시된 차폐부의 작동을 보여주는 사시도이다.
도 5 내지 도 8을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(300)는 마스크 조립체(미도시), 챔버(320), 증착원저장부(330), 차폐부(340), 증착원(350), 분리구동부(360), 압력조절부(370), 이송부(미도시) 및 지지부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 조립체, 챔버(320), 증착원(350), 분리구동부(360), 압력조절부(370), 상기 이송부 및 상기 지지부는 상기 도 1 및 도 2 또는 도 3 및 도 4에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
증착원저장부(330)는 격벽(331), 분리부(332), 가열부(미도시) 및 거리조절부(335)를 포함할 수 있다. 이때, 격벽(331), 분리부(332) 및 상기 가열부는 상기 도 1 및 도 2에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
거리조절부(335)는 증착원(350)과 디스플레이 기판(D) 사이의 거리를 가변시킬 수 있다. 예를 들면, 거리조절부(335)는 증착원(350)이 배치되는 거리조절플레이트(335A)와 거리조절플레이트(335A)의 위치를 가변시키는 거리조절구동부(335B)를 포함할 수 있다. 이때, 거리조절구동부(335B)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 분리구동부(360)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
차폐부(340)는 제1 차폐플레이트(341), 제2 차폐플레이트(342), 전자석부(343), 회전구동부(344) 및 연결챔버(355)를 포함할 수 있다.
제1 차폐플레이트(341)와 제2 차폐플레이트(342)는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 제1 차폐플레이트(341)와 제2 차폐플레이트(342)는 회전구동부(344)의 작동에 따라 챔버(320)와 연결챔버(355)의 연결부위 및 증착원저장부(330)의 개구된 부분을 차폐시키거나 개방시킬 수 있다. 특히 제1 차폐플레이트(341)와 제2 차폐플레이트(342)는 증착원(350)의 구동에 따라 증착원(350)에서 분사된 증착물질이 디스플레이 기판(D)까지 안내되도록 가이드할 수 있다.
전자석부(343)는 챔버(320), 연결챔버(355) 및/또는 증착원저장부(330)에 배치될 수 있다. 다른 실시예로써 전자석부(343)는 제1 차폐플레이트(341) 및/또는 제2 차폐플레이트(342)에 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 챔버(320), 연결챔버(355), 증착원저장부(330), 제1 차폐플레이트(341) 및/또는 제2 차폐플레이트(342)에 배치되는 것도 가능하다. 이러한 경우 전자석부(343)는 챔버(320) 내부 공간과 증착원저장부(330) 내부 공간이 서로 분리되는 경우 챔버(320) 내부 공간과 증착원저장부(330) 내부 공간이 완전히 서로 분리되도록 함으로써 챔버(320) 내부의 압력과 증착원저장부(330) 내부의 압력을 서로 상이하도록 유지시킬 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 전자석부(343)는 제2 차폐플레이트(342)에 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
회전구동부(344)는 제1 차폐플레이트(341) 및 제2 차폐플레이트(342)와 연결되어 제1 차폐플레이트(341)와 제2 차폐플레이트(342)를 회전시킬 수 있다. 이때, 회전구동부(344)는 제1 차폐플레이트(341) 및 제2 차폐플레이트(342)와 연결되는 연결부(344A), 연결부(344A)와 연결되는 감속기 및 감속기와 연결되는 모터(344B)를 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 회전구동부(344)는 연결부(344A) 및 연결부와 연결되는 모터(또는 실린더,344B)를 포함하는 것도 가능하다. 이때, 회전구동부(344)는 상기에 한정되는 것은 아니며, 제1 차폐플레이트(341) 및 제2 차폐플레이트(342)와 연결되어 제1 차폐플레이트(341) 및 제2 차폐플레이트(342)를 회전시키는 모든 장치 및 모든 구조를 포함할 수 있다.
연결챔버(355)는 제1 차폐플레이트(341), 제2 차폐플레이트(342) 및 회전구동부(344)가 배치될 수 있다. 이때, 연결챔버(355)는 챔버(320)와 증착원저장부(330)를 연결할 수 있으며, 내부 공간이 형성되어 외기를 차단할 수 있다. 또한, 연결챔버(355)는 챔버(320)의 내부 공간과 증착원저장부(330)의 개구된 부분을 서로 연결할 수 있다. 이러한 경우 연결챔버(355)가 연결되는 챔버(320)의 저면은 개구되도록 형성될 수 있다.
한편, 표시 장치의 제조장치(300)의 작동을 살펴보면, 챔버(320) 내부의 압력을 상기 마스크 조립체가 수납된 챔버(미도시)와 동일 또는 유사하게 유지시키거나 대기압 상태로 유지시킨 후 상기 마스크 조립체를 상기 지지부에 배치할 수 있다.
또한, 압력조절부(370)는 챔버(320) 내부의 압력을 인접한 챔버(미도시)의 압력과 동일하게 유지시킬 수 있다. 이때, 압력조절부(370)는 챔버(320) 내부의 압력을 진공 또는 이와 유사한 상태로 유지시키거나 가변시킬 수 있다. 챔버(320)의 개구된 부분의 게이트밸브를 개방하여 디스플레이 기판(D)을 챔버(320) 내부에 배치할 수 있다. 이후 디스플레이 기판(D)과 상기 마스크 조립체의 위치를 정렬할 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 증착원(350)에서 증착물질을 공급하여 디스플레이 기판(D)에 증착을 수행할 수 있다. 증착원(350)에서 공급된 증착물질은 상기 마스크 조립체를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다.
상기와 같이 증착 공정이 수행되는 동안 증착원(350)과 디스플레이 기판(D) 사이의 거리는 조절될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 기판(D)의 크기, 재질 등에 따라서 디스플레이 기판(D)과 증착원(350) 사이의 거리가 조절될 수 있다. 이때, 거리조절구동부(335B)는 상기의 자료에 대응하여 구동될 수 있다. 또한, 상기와 같은 경우 제1 차폐플레이트(341)와 제2 차폐플레이트(342)는 챔버(320)의 저면에 수직하게 배열될 수 있다. 이러한 경우 증착원(350)에서 공급되는 증착물질은 제1 차폐플레이트(341) 및 제2 차폐플레이트(342)에 의해 상기 마스크 조립체로 안내될 수 있다.
상기와 같이 증착 공정이 수행되다가 증착원(350)이 파손되거나 고장나는 경우 제1 차폐플레이트(341) 및 제2 차폐플레이트(342)는 증착원저장부(330)와 챔버(320)의 연결을 차단할 수 있다.
구체적으로 회전구동부(344)가 작동하면, 제1 차폐플레이트(341)와 제2 차폐플레이트(342)는 일 방향(예를 들면, 시계 방향 또는 반시계 방향)으로 회전할 수 있다. 이때, 제1 차폐플레이트(341) 및 제2 차폐플레이트(342)는 챔버(320)의 저면에 개구된 부분과 증착원저장부(330)의 개구된 부분을 각각 차폐시킬 수 있다. 또한, 전자석부(343)가 작동하여 제2 차폐플레이트(342)를 증착원저장부(330)에 밀착시킴으로써 증착원저장부(330) 내부의 공간을 완전히 밀폐시킬 수 있다.
압력조절부(370)는 증착원저장부(330) 내부의 압력을 대기압 상태로 가변시킬 수 있다. 이후 분리구동부(360)가 작동하여 분리부(332)를 개방시킬 수 있다. 증착원저장부(330) 내부가 외부로 개방되면, 증착원(350)을 증착원저장부(330)에서 인출하여 새로운 증착원(350)으로 교체할 수 있다.
증착원(350)의 교체가 완료되면, 분리부(332)로 증착원저장부(330)를 외부와 단절시킬 수 있다. 이후 압력조절부(370)는 증착원저장부(330)의 내부의 압력과 챔버(320) 내부의 압력을 서로 동일 또는 거의 유사하게 증착원저장부(330) 내부의 압력을 조절할 수 있다.
회전구동부(344)가 회전하면, 제1 차폐플레이트(341)와 제2 차폐플레이트(342)가 회전하여 상기와 같이 증착원저장부(330)와 챔버(320)를 연결할 수 있다. 이후 증착원(350)이 다시 작동하여 증착 공정을 수행할 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조장치(300) 및 표시 장치의 제조방법은 챔버(320) 내부의 압력을 조절하지 않고도 증착원저장부(330) 내부의 압력만을 조절함으로써 증착원(350)을 교체하는 것이 가능하다.
표시 장치의 제조장치(300) 및 표시 장치의 제조방법은 챔버(320) 내부의 압력을 조절하지 않아도 됨으로써 증착원(350) 교체로 인한 증착 공정 시간의 증대 및 비용의 상승을 방지할 수 있다.
표시 장치의 제조장치(300) 및 표시 장치의 제조방법은 증착 공정 중간에 챔버(320)의 증착 환경을 가변시키지 않음으로써 표시 장치(미도시) 전면에서 균일한 증착 품질을 도모하는 것이 가능하다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치의 제조장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 10은 도 9의 A-A선을 따라 취한 단면도이다.
도 9 내지 도 10을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.
표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D) 및 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28A)을 포함할 수 있다. 다른 실시예로써 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소 전극(28A) 및 중간층(28B) 중 일부를 포함하는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 디스플레이 기판(D)은 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27), 화소 전극(28A) 및 중간층(28B)을 포함하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 디스플레이 기판(D)이 디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28A)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.
기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23A)과 드레인 영역(23C)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23B)을 더 포함한다.
이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23A) 및 드레인 영역(23C)이 불순물에 의해 도핑 된다.
게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27A) 및 드레인 전극(27B)을 각각 소스 영역(23A) 및 드레인 영역(23C)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28A)이 형성된다. 이 화소 전극(28A)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27B)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28A)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28A) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28A)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(28A) 상에 중간층(28B) 및 대향전극(28C)이 형성된다. 다른 실시예로서 대향전극(28C)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향전극(28C)은 중간층(28B), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향전극(28C)이 중간층(28B), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
화소 전극(28A)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향전극(28C)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28A)과 대향전극(28C)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(28A)과 대향전극(28C)은 상기 중간층(28B)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28B)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(28B)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28B)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28B)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다.
상기와 같은 중간층(28B)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수개의 중간층(28B)은 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수개의 중간층(28B)은 표시 영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
상기의 표시 장치의 제조장치(미도시)는 디스플레이 기판(D)에 다양한 층을 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 표시 장치의 제조장치는 디스플레이 기판(D)에 중간층(28B) 중 적어도 하나의 층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 표시 장치의 제조장치는 중간층(28B) 중 유기 발광층, 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 주입층, 전자 수송층 및 기능층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다.
도면에는 도시되지 않았지만 대향전극(28C) 상부에는 캡핑층(미도시)이 배치될 수 있다. 상기 캡핑층은 대향전극(28C)보다 낮은 굴절률을 가지며, 상기 유기 발광층을 포함하는 중간층(28B)에서 발생된 빛이 전반사되어 외부로 방출되지 않는 비율을 감소시켜 광효율을 향상시키는 역할을 할 수 있다.
예시적으로, 상기 캡핑층은 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(Poly(3,4- ethylenedioxythiophene), PEDOT), 4,4'－비스[N-(3-메틸페닐)-N-페닐 아미노]비페닐(TPD), 4,4',4''-트리스[(3-메틸페닐)페닐 아미노]트리페닐아민(m-MTDATA), 1,3,5-트리스[N,N-비스(2-메틸페닐)-아미노]-벤젠(o-MTDAB), 1,3,5-트리스[N,N-비스(3-메틸페닐)-아미노]-벤젠(m-MTDAT), 1,3,5-트리스[N,N-비스(4-메틸페닐)-아미노]-벤젠(p-MTDAB), 4,4'－비스[N,N-비스(3-메틸페닐)-아미노]-디페닐메탄(BPPM), 4,4'－디카르바졸릴-1,1'－비페닐(CBP), 4,4',4''-트리스(N-카르바졸)트리페닐아민(TCTA), 2,2',2''-(1,3,5-벤젠톨릴)트리스-[1-페닐-1H-벤조이미다졸](TPBI), 및 3-(4-비페닐)-4-페닐-5-t-부틸페닐-1,2,4-트리아졸(TAZ)과 같은 유기물을 포함할 수 있다.
또는, 상기 캡핑층은 산화 아연(zinc oxide), 산화 티타늄(titanium oxide), 산화 지르코늄(zirconium oxide), 산화 질소(silicon nitride), 산화 나이오븀(niobium oxide), 산화 탄탈(tantalum oxide), 산화 주석(tin oxide), 산화 니켈(nickel oxide), 질화 인듐(indium nitride), 및 질화 갈륨(gallium nitride)과 같은 무기물을 포함할 수 있다. 물론, 상기 캡핑층을 형성할 수 있는 물질은 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 물질들로 형성될 수 있다.
상기 캡핑층 상에는 커버층(미도시)이 배치될 수 있다. 커버층은 플라즈마 등을 이용한 후속 공정 과정에서 발생할 수 있는 손상으로부터 유기발광소자(OLED)를 보호한다. 커버층은 플루오린화 리튬(LiF; lithium fluoride)을 포함할 수 있다.
한편, 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 유기층은 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리에틸렌설포네이트, 폴리옥시메틸렌, 폴리아릴레이트, 헥사메틸디실록산, 아크릴계 수지(예를 들면, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등) 또는 이의 임의의 조합을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 타탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드, 아연옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드 하나 이상의 무기 절연물을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.
제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
상기와 같이 무기층이 복수개 구비되는 경우 무기층은 표시 장치(20)의 가장자리 영역에서 서로 직접 접촉하도록 증착될 수 있으며, 유기층이 외부로 노출되지 않도록 할 수 있다.
따라서 표시 장치(20)는 정밀한 이미지를 구현할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
20: 표시 장치
141: 차폐플레이트
100,200,300: 표시 장치의 제조장치 142: 선형구동부
110: 마스크 조립체 143,243,343: 전자석부
120,220,320: 챔버 150,250,350: 증착원
130,230,330: 증착원저장부 160,260,360: 분리구동부
131,231,331: 격벽 170,270,370: 압력조절부
132,232,332: 분리부 171: 제1 압력조절부
133: 가열부 172: 제2 압력조절부
134: 냉각부 180: 이송부
135: 격리부 190: 지지부
140,240,340: 차폐부 342: 제2 차폐플레이트
235: 가이드부 344: 회전구동부
335: 거리조절부 355: 연결챔버
341: 제1 차폐플레이트
100,200,300: 표시 장치의 제조장치 142: 선형구동부
110: 마스크 조립체 143,243,343: 전자석부
120,220,320: 챔버 150,250,350: 증착원
130,230,330: 증착원저장부 160,260,360: 분리구동부
131,231,331: 격벽 170,270,370: 압력조절부
132,232,332: 분리부 171: 제1 압력조절부
133: 가열부 172: 제2 압력조절부
134: 냉각부 180: 이송부
135: 격리부 190: 지지부
140,240,340: 차폐부 342: 제2 차폐플레이트
235: 가이드부 344: 회전구동부
335: 거리조절부 355: 연결챔버
341: 제1 차폐플레이트
Claims (20)
- 디스플레이 기판 및 마스크 어셈블리가 배치되는 챔버;
상기 챔버에 연결되며, 일부가 개구되어 상기 챔버와 연통되는 증착원저장부;
상기 증착원저장부의 개구된 부분에 배치되어 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 선택적으로 차폐하는 차폐부;
상기 디스플레이 기판을 마주보도록 상기 증착원저장부 내부에 배치되는 증착원; 및
상기 증착원저장부와 연결되며, 상기 증착원저장부 중 일부를 상기 증착원저장부로부터 분리하는 분리구동부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 챔버 및/또는 상기 증착원저장부에 연결되며, 상기 챔버 및/또는 상기 증착원저장부 내부의 압력을 조절하는 압력조절부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 차폐부는,
상기 증착원저장부의 개구된 부분을 선택적으로 차폐하도록 선형 운동 가능한 차폐플레이트; 및
상기 차폐플레이트와 연결되어 상기 차폐플레이트를 선형 운동시키는 선형구동부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 차폐부는,
상기 증착원저장부 및/또는 상기 차폐플레이트에 배치되는 전자석부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 차폐부는,
상기 증착원저장부의 개구된 부분을 선택적으로 차폐하는 차폐플레이트; 및
상기 차폐플레이트와 연결되어 상기 차폐플레이트를 회전 운동시키는 회전구동부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 차폐부는,
상기 증착원저장부 및/또는 상기 차폐플레이트에 배치되는 전자석부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 차폐플레이트는,
상기 회전부에 연결되는 제1 차폐플레이트; 및
상기 제1 차폐플레이트를 마주보도록 배치되어 상기 회전부에 연결되는 제2 차폐플레이트;를 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 증착원저장부는,
상기 챔버와 연결되거나 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 증착원이 수납되는 공간을 형성하는 격벽; 및
상기 격벽과 선택적으로 결합하는 분리부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 증착원저장부는,
상기 분리부와 연결되며, 상기 분리부를 운동시키는 분리구동부;를 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 증착원저장부는,
상기 격벽에 배치되는 가열부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 증착원저장부는,
상기 격벽에 배치되는 냉각부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 증착원저장부는,
상기 격벽에 배치되어 상기 차폐부가 슬라이딩 하는 공간을 차폐하는 격리부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조장치. - 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계;
상기 챔버 내부에 배치되거나 상기 챔버와 연결된 증착원저장부 내부의 증착원으로 상기 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 단계;
상기 증착원저장부의 개구된 부분을 차폐부로 선택적으로 차폐시켜 상기 증착원저장부와 상기 챔버를 단절시키는 단계;
상기 증착원저장부 내부의 압력을 대기압으로 가변시키는 단계; 및
상기 증착원저장부의 일부를 상기 증착원저장부에서 분리하여 상기 증착원을 교체하는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 차폐부는 상기 증착원저장부의 개구된 일부를 슬라이딩하여 선택적으로 차폐하는 표시 장치의 제조방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 차폐부는 회전하여 상기 증착원저장부의 개구된 일부를 선택적으로 차폐하는 표시 장치의 제조방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 차폐부는 상기 증착원저장부와 전자기력으로 밀착하는 표시 장치의 제조방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 차폐부는 상기 챔버 내부의 압력과 상기 증착원저장부의 내부의 압력이 동일한 경우 상기 증착원저장부의 개구된 부분을 개방하는 표시 장치의 제조방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 차폐부는 회전하여 상기 증착원에서 분사된 증착물질을 상기 디스플레이 기판으로 안내하는 경로를 형성하는 표시 장치의 제조방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 증착원을 상기 증착원저장부에 배치한 후 상기 증착원저장부의 압력을 진공 상태로 유지하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조방법. - 챔버 내부에 디스플레이 기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계;
상기 챔버 내부에 배치되거나 상기 챔버와 연결된 증착원저장부 내부의 증착원으로 상기 디스플레이 기판에 증착물질을 증착시키는 단계;
상기 증착원저장부의 개구된 부분을 차폐부로 선택적으로 차폐시켜 상기 증착원저장부와 상기 챔버를 단절시키는 단계; 및
상기 증착원저장부의 일부를 상기 증착원저장부에서 분리하여 상기 증착원을 교체하는 단계;를 포함하고,
상기 차폐부는,
상기 증착원저장부의 개구된 부분을 선택적으로 차폐하는 차폐플레이트; 및
상기 차폐플레이트와 연결되어 상기 차폐플레이트를 회전 운동시키는 회전구동부;를 포함하는 표시 장치의 제조방법.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190019186A KR20200101562A (ko) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190019186A KR20200101562A (ko) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 |
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|---|---|
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020190019186A KR20200101562A (ko) | 2019-02-19 | 2019-02-19 | 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 |
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| KR (1) | KR20200101562A (ko) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5677785B2 (ja) * | 2009-08-27 | 2015-02-25 | 三星ディスプレイ株式會社Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 |
| KR20140010303A (ko) * | 2012-07-16 | 2014-01-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 유기층 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치 |
-
2019
- 2019-02-19 KR KR1020190019186A patent/KR20200101562A/ko active IP Right Grant
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