KR20200093721A - Substrate inversion device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 안정성 및 신뢰성이 향상된 기판 반전 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate inversion device with improved stability and reliability.
유기 발광 디스플레이(OLED: Organic Light Emitting Display)는 자체발광형 디스플레이로 액정 표시 장치(LCD: Liquid Crystal Display)에 비해 시야각과 명암비 등이 우수하며 백라이트(backlight)가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하고, 소비전력 측면에서도 유리하다. 또한, 직류 저전압 구동이 가능하고 응답속도가 빠르다는 장점이 있으며, 특히 제조 비용 측면에서도 유리한 장점을 가지고 있다.The organic light emitting display (OLED) is a self-emissive display, and has a better viewing angle and contrast ratio than a liquid crystal display (LCD), and is lightweight and thin because it does not require a backlight. It is also advantageous in terms of power consumption. In addition, it has the advantage of being capable of driving a DC low voltage and having a fast response speed, and particularly has an advantage in terms of manufacturing cost.
일반적으로 유기 발광 디스플레이 제조 장치에서는 기판을 반전시키기 위한 기판 반전 장치를 필요로 한다. 기판 반전 장치에서 소요되는 시간이 증가하면, 수율 및 생산성이 낮아지기 때문에 기판의 반전이 최대한 빠르고 안정적으로 정확하게 이루어질 수 있어야 한다. 기존에는 기판 반전 장치에서 기판이 파손되었을 때, 공정을 중단하고 상기 기판을 기판 반전 장치에서 회수한다. 이는 공정 진행 정지로 인해 기판 반전 장치에서 소요되는 시간을 증가시키고, 수율 및 생산성을 저하시키는 문제점이 있다.In general, an organic light emitting display manufacturing apparatus requires a substrate inversion device for inverting a substrate. When the time required in the substrate reversal device increases, the yield and productivity are lowered, so that the reversal of the substrate should be possible as quickly and reliably as possible. Conventionally, when the substrate is damaged in the substrate inversion device, the process is stopped and the substrate is recovered in the substrate inversion device. This increases the time required in the substrate reversing device due to the stop of the process, there is a problem that lowers the yield and productivity.
본 발명은 안정성 및 신뢰성이 향상된 기판 반전 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a substrate inversion device with improved stability and reliability.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반전 장치는 회전부재, 몸체부, 제1 암, 제2 암, 제1 수납부, 및 제2 수납부를 포함할 수 있다. 상기 회전부재는 회전축을 기준으로 회전할 수 있다. 상기 몸체부는 상기 회전부재에 연결될 수 있다. 상기 제1 암은 상기 몸체부에 결합되고, 상기 회전축의 연장 방향과 교차하는 교차 방향으로 슬라이딩될 수 있다. 상기 제2 암은 상기 몸체부에 결합되고, 상기 교차 방향으로 슬라이딩될 수 있다. 상기 제1 수납부는 상기 제1 암과 결합된 제1 결합부를 포함할 수 있다. 상기 제2 수납부는 상기 제2 암과 결합된 제2 결합부를 포함할 수 있다. 상기 제1 수납부와 상기 제2 수납부 사이에는 기판이 배치되는 안착 공간이 제공될 수 있다. The substrate reversing device according to an embodiment of the present invention may include a rotating member, a body part, a first arm, a second arm, a first accommodating part, and a second accommodating part. The rotating member may rotate relative to the rotation axis. The body portion may be connected to the rotating member. The first arm is coupled to the body portion, and may be slid in an intersecting direction that intersects an extension direction of the rotating shaft. The second arm is coupled to the body portion and can be slid in the crossing direction. The first accommodating part may include a first coupling part coupled to the first arm. The second accommodating part may include a second coupling part coupled to the second arm. A seating space in which a substrate is disposed may be provided between the first storage unit and the second storage unit.
상기 제1 수납부는 제1 바닥부, 측벽부들, 및 제1 지지부들을 더 포함할 수 있다. 상기 제1 바닥부는 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함할 수 있다. 상기 측벽부들은 상기 제1 바닥부로부터 돌출될 수 있다. 상기 제1 지지부들은 상기 측벽부들로부터 이격되어 상기 제1 면에 배치될 수 있다. 상기 제1 결합부는 상기 제2 면에 배치될 수 있다. The first accommodating part may further include a first bottom part, side wall parts, and first support parts. The first bottom portion may include a first surface and a second surface opposite to the first surface. The side wall portions may protrude from the first bottom portion. The first support parts may be disposed on the first surface spaced apart from the side wall parts. The first coupling portion may be disposed on the second surface.
상기 제1 지지부들 각각의 높이는 상기 측벽부들 각각의 높이보다 클 수 있다.The height of each of the first support parts may be greater than the height of each of the side wall parts.
상기 제1 지지부들 각각은 상기 제1 면에 배치된 탄성부 및 상기 탄성부 위에 배치된 접촉부를 포함할 수 있다.Each of the first support portions may include an elastic portion disposed on the first surface and a contact portion disposed on the elastic portion.
상기 제2 수납부는 제2 바닥부, 제1 측벽부, 제2 측벽부, 제3 측벽부, 고정부들, 및 제2 지지부들을 더 포함할 수 있다. 상기 제2 바닥부는 제3 면 및 상기 제3 면에 대향하는 제4 면을 포함할 수 있다. 상기 제1 측벽부는 상기 제2 바닥부로부터 돌출될 수 있다. 상기 제2 측벽부는 상기 제2 바닥부로부터 돌출되며 상기 제1 측벽부와 마주할 수 있다. 상기 제3 측벽부는 상기 제2 바닥부로부터 돌출되며 상기 제1 측벽부 및 상기 제2 측벽부를 연결할 수 있다. 상기 제2 결합부는 상기 제4 면에 배치될 수 있다. 상기 고정부들은 상기 제1 내지 제3 측벽부들로부터 이격되며 상기 제3 면 위에 배치될 수 있다. 상기 제2 지지부들은 상기 제1 내지 제3 측벽부들로부터 이격되며 상기 제3 면 위에 배치될 수 있다.The second accommodating part may further include a second bottom part, a first side wall part, a second side wall part, a third side wall part, fixing parts, and second support parts. The second bottom portion may include a third surface and a fourth surface opposite to the third surface. The first side wall portion may protrude from the second bottom portion. The second side wall portion protrudes from the second bottom portion and may face the first side wall portion. The third side wall portion protrudes from the second bottom portion and may connect the first side wall portion and the second side wall portion. The second coupling portion may be disposed on the fourth surface. The fixing parts may be spaced apart from the first to third side wall parts and disposed on the third surface. The second supports are spaced apart from the first to third sidewall parts and may be disposed on the third surface.
평면 상에서 상기 제1 지지부들과 상기 제2 지지부들은 중첩할 수 있다.On the plane, the first supports and the second supports may overlap.
상기 고정부들은 제1 고정부들, 제2 고정부들, 제3 고정부들을 포함할 수 있다. 상기 제1 고정부들은 상기 제2 지지부들과 상기 제1 측벽부 사이에 배치될 수 있다. 상기 제2 고정부들은 상기 제2 지지부들과 상기 제2 측벽부 사이에 배치될 수 있다. 상기 제3 고정부들은 상기 제2 지지부들과 상기 제3 측벽부 사이에 배치될 수 있다.The fixing parts may include first fixing parts, second fixing parts, and third fixing parts. The first fixing parts may be disposed between the second supporting parts and the first side wall part. The second fixing parts may be disposed between the second supporting parts and the second side wall part. The third fixing parts may be disposed between the second supporting parts and the third side wall part.
상기 제1 암에는 제1 홈이 정의되고, 상기 제1 결합부는 상기 제1 홈에 결합할 수 있다.A first groove is defined in the first arm, and the first coupling portion can be coupled to the first groove.
상기 제2 암에는 제2 홈이 정의되고, 상기 제2 결합부는 상기 제2 홈에 결합할 수 있다.A second groove is defined in the second arm, and the second coupling portion can be coupled to the second groove.
상기 회전부재는 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈이 중력 방향의 반대 방향을 향하도록 회전할 수 있다. The rotating member may rotate such that the first groove and the second groove face the opposite direction of the gravitational direction.
상기 기판 반전 장치는 챔버를 더 포함할 수 있다. 상기 챔버는 상기 회전부재, 상기 몸체부, 상기 제1 암, 상기 제2 암, 상기 제1 수납부, 및 상기 제2 수납부를 수납할 수 있다. 상기 기판은 상기 제1 개구부를 통해 상기 안착 공간에 제공될 수 있다. The substrate reversing device may further include a chamber. The chamber may accommodate the rotating member, the body portion, the first arm, the second arm, the first storage portion, and the second storage portion. The substrate may be provided to the seating space through the first opening.
상기 챔버에는 상기 제1 수납부 및 상기 제2 수납부가 출입하는 제2 개구부 및 상기 제2 개구부와 마주하는 제3 개구부가 더 정의될 수 있다.The chamber may further include a second opening in which the first storage unit and the second storage unit enter and a third opening facing the second opening.
상기 기판 반전 장치는 상기 몸체부에 결합되고, 상기 회전축을 기준으로 회전하는 운동 전달부를 더 포함할 수 있다.The substrate reversing device may further include a motion transmission part coupled to the body part and rotating relative to the rotation axis.
상기 제1 암은 상기 운동 전달부와 연동해 슬라이딩되는 제1 슬라이더 및 상기 제1 슬라이더와 연결되며 상기 제1 수납부와 결합될 수 있다.The first arm may be connected to the first slider and the first slider that are slidably interlocked with the movement transmission unit, and may be coupled to the first storage unit.
상기 제2 암은 상기 운동 전달부와 연동해 슬라이딩되는 제2 슬라이더 및 상기 제2 슬라이더와 연결되며 상기 제2 수납부와 결합되는 제2 결합암을 포함할 수 있다.The second arm may include a second slider that is slidably interlocked with the movement transmission unit and a second coupling arm that is connected to the second slider and is coupled to the second storage unit.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반전 장치는 회전부재, 몸체부, 기어부, 제1 슬라이더, 제1 결합암, 제2 슬라이더, 제2 결합암, 제1 수납부, 및 제2 수납부를 포함할 수 있다. 상기 회전부재는 회전축을 기준으로 회전할 수 있다. 상기 몸체부는 상기 회전부재에 연결될 수 있다. 상기 기어부는 상기 몸체부에 결합되고, 상기 회전축을 기준으로 회전할 수 있다. 상기 제1 슬라이더는 상기 몸체부에 결합되고, 상기 회전축의 연장 방향과 교차하는 교차 방향으로 상기 기어부와 맞물려 슬라이딩될 수 있다. 상기 제1 결합암은 상기 제1 슬라이더와 연결될 수 있다. 상기 제2 슬라이더는 상기 몸체부에 결합되고, 상기 교차 방향으로 상기 기어부와 맞물려 슬라이딩될 수 있다. 상기 제2 결합암은 상기 제2 슬라이더와 연결될 수 있다. 상기 제1 수납부는 상기 제1 결합암과 결합할 수 있다. 상기 제2 결합암과 결합하는 제2 수납부를 포함하고, 상기 제1 수납부와 상기 제2 수납부는 기판을 밀봉할 수 있다.Substrate reversing device according to an embodiment of the present invention includes a rotating member, a body portion, a gear portion, a first slider, a first engaging arm, a second slider, a second engaging arm, a first receiving portion, and a second receiving portion can do. The rotating member may rotate relative to the rotation axis. The body portion may be connected to the rotating member. The gear portion is coupled to the body portion, it can rotate relative to the rotation axis. The first slider is coupled to the body portion, and may be slidably engaged with the gear portion in an intersecting direction crossing an extension direction of the rotation shaft. The first coupling arm may be connected to the first slider. The second slider is coupled to the body portion and can be slidably engaged with the gear portion in the crossing direction. The second coupling arm may be connected to the second slider. The first accommodating part may be coupled to the first coupling arm. It includes a second accommodating portion coupled to the second coupling arm, the first accommodating portion and the second accommodating portion can seal the substrate.
상기 제1 수납부는 제1 바닥부, 측벽부들, 제1 지지부들, 및 제1 결합부를 포함할 수 있다. 상기 제1 바닥부는 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함할 수 있다. 상기 측벽부들은 상기 제1 바닥부로부터 돌출될 수 있다. 상기 제1 지지부들은 상기 측벽부들로부터 이격되어 상기 제1 면에 배치될 수 있다. 상기 제1 결합부는 상기 제2 면에 배치될 수 있다.The first accommodating part may include a first bottom part, side wall parts, first support parts, and a first coupling part. The first bottom portion may include a first surface and a second surface opposite to the first surface. The side wall portions may protrude from the first bottom portion. The first support parts may be disposed on the first surface spaced apart from the side wall parts. The first coupling portion may be disposed on the second surface.
상기 제1 결합암에는 제1 홈이 정의되고, 상기 제1 결합부는 상기 제1 홈에 탈착 가능하게 결합될 수 있다.A first groove is defined in the first coupling arm, and the first coupling portion can be detachably coupled to the first groove.
상기 제2 수납부는 제2 바닥부, 제1 측벽부, 제2 측벽부, 제3 측벽부, 제2 결합부, 고정부들, 및 제2 지지부들을 포함할 수 있다. 상기 제2 바닥부는 제3 면 및 상기 제3 면에 대향하는 제4 면을 포함할 수 있다. 상기 제1 측벽부는 상기 제2 바닥부로부터 돌출될 수 있다. 상기 제2 측벽부는 상기 제2 바닥부로부터 돌출되며 상기 제1 측벽부와 마주할 수 있다. 상기 제3 측벽부는 상기 제2 바닥부로부터 돌출되며 상기 제1 측벽부 및 상기 제2 측벽부를 연결할 수 있다. 상기 제2 결합부는 상기 제4 면에 배치될 수 있다. 상기 고정부들은 상기 제1 내지 제3 측벽부들로부터 이격되며 상기 제3 면 위에 배치될 수 있다. 상기 제2 지지부들은 상기 제1 내지 제3 측벽부들로부터 이격되며 상기 제3 면 위에 배치될 수 있다.The second receiving part may include a second bottom part, a first side wall part, a second side wall part, a third side wall part, a second coupling part, fixing parts, and second support parts. The second bottom portion may include a third surface and a fourth surface opposite to the third surface. The first side wall portion may protrude from the second bottom portion. The second side wall portion protrudes from the second bottom portion and may face the first side wall portion. The third side wall portion protrudes from the second bottom portion and may connect the first side wall portion and the second side wall portion. The second coupling portion may be disposed on the fourth surface. The fixing parts may be spaced apart from the first to third side wall parts and disposed on the third surface. The second supports are spaced apart from the first to third sidewall parts and may be disposed on the third surface.
상기 제2 결합암에는 제2 홈이 정의되고, 상기 제2 결합부는 상기 제2 홈에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. A second groove is defined in the second coupling arm, and the second coupling portion can be detachably coupled to the second groove.
본 발명에 따르면, 기판 반전 장치의 제1 수납부 및 제2 수납부는 기판을 커버하여 회전할 수 있다. 상기 기판에 파손이 발생하였을 때, 파손된 상기 기판은 상기 제1 수납부와 상기 제2 수납부에 의해 커버된 상태로 챔버로부터 제거될 수 있다. 상기 기판 반전 장치는 별도로 미리 세정된 상태의 새로운 제1 수납부 및 새로운 제2 수납부를 제공받을 수 있다. 상기 기판 반전 장치는 파손된 상기 기판을 상기 제1 수납부 및 상기 제2 수납부와 일체로 교체할 수 있고, 파손된 상기 기판을 교체하는 데 소요되는 시간이 감소될 수 있다. 따라서, 기판 반전 장치는 공정의 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 기판 반전 장치의 안정성 및 신뢰성이 향상될 수 있다. According to the present invention, the first accommodating part and the second accommodating part of the substrate reversing device cover and rotate the substrate. When damage occurs to the substrate, the damaged substrate may be removed from the chamber in a state covered by the first accommodating part and the second accommodating part. The substrate reversing device may be provided with a new first storage unit and a new second storage unit separately cleaned in advance. The substrate reversing device may integrally replace the damaged substrate with the first storage portion and the second storage portion, and a time taken to replace the damaged substrate may be reduced. Therefore, the substrate reversing device can improve the yield and productivity of the process. As a result, stability and reliability of the substrate reversing device can be improved.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반전 장치의 투과사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전부의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 수납부의 투과사시도이다.
도 5는 도 4에 도시된 A-A'를 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 수납부의 투과사시도이다.
도 7은 기판 반전 장치가 동작하는 방식을 도시한 흐름도이다.
도 8은 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 사시도이다.
도 9는 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 사시도이다.
도 10은 도 9의 B-B'를 절단한 단면도이다.
도 11은 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 사시도이다.
도 12는 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 사시도이다.
도 13a는 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 투과사시도이다.
도 13b는 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 투과사시도이다.1 is a perspective view of a substrate inversion device according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a rotating device according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view of a rotating unit according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of a first storage unit according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view taken along line A-A' shown in FIG. 4.
6 is a perspective view of a second storage unit according to an embodiment of the present invention.
7 is a flow chart showing how the substrate inversion device operates.
8 is a perspective view showing an operating state of the substrate reversing device.
9 is a perspective view showing an operating state of the substrate reversing device.
10 is a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 9.
11 is a perspective view showing an operating state of the substrate reversing device.
12 is a perspective view showing an operating state of the substrate reversing device.
13A is a perspective view showing the operation state of the substrate reversing device.
13B is a perspective view showing the operation state of the substrate reversing device.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다. In the present specification, when a component (or region, layer, part, etc.) is referred to as being “on”, “connected” to, or “joined” to another component, it is directly disposed/on the other component. It means that it can be connected/coupled or a third component can be arranged between them.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.The same reference numerals refer to the same components. In addition, in the drawings, the thickness, ratio, and dimensions of the components are exaggerated for effective description of technical content.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다. “And/or” includes all combinations of one or more that the associated configurations may define.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from other components. For example, the first component may be referred to as a second component without departing from the scope of the present invention, and similarly, the second component may be referred to as a first component. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.In addition, terms such as "below", "below", "above", "above", etc. are used to describe the relationship between the components shown in the drawings. The terms are relative concepts and are explained based on the directions indicated in the drawings.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의될 수 있다.Unless otherwise defined, all terms (including technical terms and scientific terms) used herein have the same meaning as commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. In addition, terms such as terms defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having meanings consistent with meanings in the context of related technologies, and explicitly defined herein unless interpreted as ideal or excessively formal meanings. Can be.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. The terms "include" or "have" are intended to indicate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, one or more other features, numbers, or steps. It should be understood that it does not preclude the existence or addition possibility of the operation, components, parts or combinations thereof.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반전 장치의 투과사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 회전 장치의 사시도이다.1 is a perspective view of a substrate inversion device according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a perspective view of a rotating device according to an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 반전 장치(SID)는 챔버(CB) 및 회전 장치(MC)를 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, the substrate inversion device SID may include a chamber CB and a rotation device MC.
챔버(CB)는 제1 방향(DR1)으로 이격되어 마주하는 제1 면들, 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 이격되어 마주하는 제2 면들, 및 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 교차하는 제3 방향(DR3)으로 이격되어 마주하는 제3 면들을 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 육면체로 이루어진 챔버(CB)를 도시하였으나, 이는 예시적인 것으로 챔버(CB)는 다양한 형태를 포함할 수 있다.The chamber CB has first faces spaced apart in the first direction DR1, second faces spaced apart in the second direction DR2 crossing the first direction DR1, and first direction DR1. ) And a third direction spaced apart in a third direction DR3 intersecting the second direction DR2. In this embodiment, a chamber CB made of a hexahedron is shown, but this is exemplary, and the chamber CB may include various shapes.
한편, 제1 방향 내지 제3 방향들(DR1, DR2, DR3)이 지시하는 방향은 상대적인 개념으로서 다른 방향으로 전환될 수 있다. 이하, 제1 방향 내지 제3 방향들은 제1 방향 내지 제3 방향(DR1, DR2, DR3)이 각각 지시하는 방향으로 동일한 도면 부호를 참조한다. 또한 본 명세서에서 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 정의하는 면을 평면이라 정의하고, "평면 상에서 보았다"는 것은 제3 방향(DR3)에서 바라본 것으로 정의될 수 있다. 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2) 및 제3 방향(DR3)은 서로 직교할 수 있다. Meanwhile, the directions indicated by the first to third directions DR1, DR2, and DR3 are relative concepts and may be switched to other directions. Hereinafter, the first to third directions refer to the same reference numerals in the directions indicated by the first to third directions DR1, DR2, and DR3, respectively. In addition, in this specification, a surface defined by the first direction DR1 and the second direction DR2 is defined as a plane, and “seen on the plane” may be defined as viewed from the third direction DR3. The first direction DR1, the second direction DR2, and the third direction DR3 may be orthogonal to each other.
상기 제1 면들 중 하나의 제1 면에는 제1 개구부(GV)가 정의될 수 있다. 상기 제2 면들 중 하나의 제2 면에는 제2 개구부(MP1)가 정의될 수 있다. 상기 제2 면들 중 다른 하나의 제2 면에는 제3 개구부(MP2)가 정의될 수 있다. 챔버(CB)는 회전 장치(MC)를 수납할 수 있다.A first opening GV may be defined on one of the first surfaces. A second opening MP1 may be defined on one of the second surfaces. A third opening MP2 may be defined on the other second surface of the second surfaces. The chamber CB can accommodate the rotating device MC.
회전 장치(MC)는 회전부(MCa, 도 3 참조), 제1 수납부(ST1), 및 제2 수납부(ST2)를 포함할 수 있다. 제1 수납부(ST1)와 제2 수납부(ST2) 사이에는 기판(SUB, 도 8 참조)이 배치되는 안착 공간이 제공될 수 있다. The rotating device MC may include a rotating part MCa (see FIG. 3 ), a first receiving part ST1, and a second receiving part ST2. A seating space in which the substrate SUB (see FIG. 8) is disposed may be provided between the first storage unit ST1 and the second storage unit ST2.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 회전부의 사시도이다.3 is a perspective view of a rotating unit according to an embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 회전부(MCa)는 회전부재(RT), 몸체부(BD), 제1 암(AM1), 및 제2 암(AM2)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3, the rotating part MCa may include a rotating member RT, a body part BD, a first arm AM1, and a second arm AM2.
회전부재(RT)는 회전축(RTX)을 기준으로 회전할 수 있다. 회전축(RTX)은 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 회전부재(RT)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 형상을 가질 수 있다. 회전부재(RT)는 원통형을 가질 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것으로 본 발명의 일 실시예에서 회전부재(RT)는 다양한 형상을 가질 수 있다.The rotation member RT may rotate based on the rotation axis RTX. The rotation axis RTX may extend in the first direction DR1. The rotating member RT may have a shape extending in the first direction DR1. The rotating member RT may have a cylindrical shape. However, this is illustratively illustrated, and in one embodiment of the present invention, the rotating member RT may have various shapes.
몸체부(BD)는 회전축(RTX)의 연장 방향과 교차하는 교차 방향으로 연장될 수 있다. 몸체부(BD)는 회전부재(RT)와 연결될 수 있다. 예를 들어, 몸체부(BD)는 제3 방향(DR3)으로 연장되어 회전부재(RT)와 연결될 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 본 발명의 일 실시예에서 몸체부(BD)는 회전부재(RT)와 일체형으로 제공되어 회전할 수 있다. 몸체부(BD)는 회전축(RTX)을 기준으로 회전할 수 있다. The body portion BD may extend in an intersecting direction that intersects an extending direction of the rotation axis RTX. The body portion BD may be connected to the rotating member RT. For example, the body portion BD may extend in the third direction DR3 and be connected to the rotating member RT. However, this is illustratively shown, and in one embodiment of the present invention, the body portion BD may be provided integrally with the rotating member RT to rotate. The body portion BD may rotate based on the rotation axis RTX.
제1 암(AM1)은 몸체부(BD)에 결합될 수 있다. 제1 암(AM1)은 상기 교차 방향으로 슬라이딩될 수 있다. 예를 들어, 제1 암(AM1)은 제3 방향(DR3)으로 슬라이딩될 수 있다. 제1 암(AM1)은 제1 수납부(ST1, 도 2 참조)와 결합할 수 있다. 제1 암(AM1)은 제1 슬라이더(SL1) 및 제1 결합암(CA1)을 포함할 수 있다. The first arm AM1 may be coupled to the body portion BD. The first arm AM1 may be slid in the crossing direction. For example, the first arm AM1 may be slid in the third direction DR3. The first arm AM1 may be coupled to the first storage unit ST1 (see FIG. 2 ). The first arm AM1 may include a first slider SL1 and a first coupling arm CA1.
제1 슬라이더(SL1)는 상기 교차 방향으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 제1 슬라이더(SL1)는 제3 방향(DR3)으로 연장될 수 있다. 제1 슬라이더(SL1)는 상기 교차 방향으로 슬라이딩될 수 있다. 예를 들어, 제1 슬라이더(SL1)는 제3 방향(DR3)으로 슬라이딩될 수 있다. 제1 슬라이더(SL1)는 렉기어를 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에서 제1 슬라이더(SL1)는 다양한 슬라이더를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 슬라이더(SL1)는 리니어 슬라이더를 포함할 수 있다.The first slider SL1 may extend in the crossing direction. For example, the first slider SL1 may extend in the third direction DR3. The first slider SL1 may slide in the crossing direction. For example, the first slider SL1 may be slid in the third direction DR3. The first slider SL1 may include a lec gear. However, this is exemplary, and in the exemplary embodiment of the present invention, the first slider SL1 may include various sliders. For example, the first slider SL1 may include a linear slider.
제1 결합암(CA1)은 제1 슬라이더(SL1)와 교차되어 결합할 수 있다. 제1 결합암(CA1)은 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 제1 결합암(CA1)과 제1 슬라이더(SL1)는 서로 직교할 수 있다. 제1 결합암(CA1)은 제1 홈(HA1)이 정의될 수 있다. 제1 홈(HA1)은 복수로 제공될 수 있다. 제1 결합암(CA1) 및 제1 슬라이더(SL1)는 일체형으로 제공될 수 있다. The first coupling arm CA1 crosses the first slider SL1 to be coupled. The first coupling arm CA1 may extend in the first direction DR1. The first coupling arm CA1 and the first slider SL1 may be orthogonal to each other. The first coupling arm CA1 may have a first groove HA1 defined therein. The first groove HA1 may be provided in plural. The first coupling arm CA1 and the first slider SL1 may be provided integrally.
제2 암(AM2)은 몸체부(BD)에 결합될 수 있다. 제2 암(AM2)은 상기 교차 방향으로 슬라이딩될 수 있다. 예를 들어, 제2 암(AM2)은 제3 방향(DR3)으로 슬라이딩될 수 있다. 제2 암(AM2)은 제2 수납부(ST2, 도 2 참조)와 결합할 수 있다. 제2 암(AM2)은 제1 암(AM1)과 실질적으로 동일한 구성일 수 있다. 제2 암(AM2)은 제2 슬라이더(SL2) 및 제2 결합암(CA2)을 포함할 수 있다.The second arm AM2 may be coupled to the body portion BD. The second arm AM2 may be slid in the crossing direction. For example, the second arm AM2 may be slid in the third direction DR3. The second arm AM2 may be coupled to the second storage unit ST2 (see FIG. 2 ). The second arm AM2 may have substantially the same configuration as the first arm AM1. The second arm AM2 may include a second slider SL2 and a second coupling arm CA2.
제2 슬라이더(SL2)는 상기 교차 방향으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 제2 슬라이더(SL2)는 제3 방향(DR3)으로 연장될 수 있다. 제2 슬라이더(SL2)는 제1 슬라이더(SL1)와 제2 방향(DR2)으로 이격될 수 있다. 제2 슬라이더(SL2)는 상기 교차 방향으로 슬라이딩될 수 있다. 예를 들어, 제2 슬라이더(SL2)는 제3 방향(DR3)으로 슬라이딩될 수 있다. 제2 슬라이더(SL2)와 제1 슬라이더(SL1)는 회전축(RTX)을 기준으로 대칭되어 슬라이딩될 수 있다. 제2 슬라이더(SL2)는 렉기어를 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에서 제2 슬라이더(SL2)는 다양한 슬라이더를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 슬라이더(SL2)는 리니어 슬라이더를 포함할 수 있다.The second slider SL2 may extend in the cross direction. For example, the second slider SL2 may extend in the third direction DR3. The second slider SL2 may be spaced apart from the first slider SL1 and the second direction DR2. The second slider SL2 may slide in the crossing direction. For example, the second slider SL2 may be slid in the third direction DR3. The second slider SL2 and the first slider SL1 may be symmetrically sliding with respect to the rotation axis RTX. The second slider SL2 may include a lec gear. However, this is an example, and in the exemplary embodiment of the present invention, the second slider SL2 may include various sliders. For example, the second slider SL2 may include a linear slider.
제2 결합암(CA2)은 제2 슬라이더(SL2)와 교차되어 결합할 수 있다. 제2 결합암(CA2)은 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 제2 결합암(CA2)과 제2 슬라이더(SL2)는 서로 직교할 수 있다. 제2 결합암(CA2)은 제1 결합암(CA1)과 제3 방향(DR3)으로 이격될 수 있다. 제2 결합암(CA2)은 제2 홈(HA2)이 정의될 수 있다. 제2 홈(HA2)은 복수로 제공될 수 있다. 제2 결합암(CA2) 및 제2 슬라이더(SL2)는 일체형으로 제공될 수 있다. The second coupling arm CA2 may cross and engage the second slider SL2. The second coupling arm CA2 may extend in the first direction DR1. The second coupling arm CA2 and the second slider SL2 may be orthogonal to each other. The second coupling arm CA2 may be spaced apart from the first coupling arm CA1 and the third direction DR3. The second coupling arm CA2 may have a second groove HA2 defined therein. The second groove HA2 may be provided in plural. The second coupling arm CA2 and the second slider SL2 may be provided integrally.
회전부(MCa)는 운동 전달부(GR)를 더 포함할 수 있다. 운동 전달부(GR)는 회전축(RTX)을 기준으로 회전할 수 있다. 운동 전달부(GR)는 회전부재(RT)와 개별적으로 회전할 수 있다. 운동 전달부(GR)는 몸체부(BD)에 결합될 수 있다. 운동 전달부(GR)가 회전하면, 운동 전달부(GR)에 연동된 제1 슬라이더(SL1)는 제3 방향(DR3)과 나란한 제1 슬라이드 방향으로 이동될 수 있다. 운동 전달부(GR)에 연동된 제2 슬라이더(SL2)는 상기 제1 슬라이드 방향과 반대 방향인 제2 슬라이드 방향으로 이동될 수 있다. 운동 전달부(GR)가 회전하면서 제1 결합암(CA1) 및 제2 결합암(CA2)은 제3 방향(DR3)으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 운동 전달부(GR)가 회전하면, 제1 슬라이더(SL1)와 결합된 제1 결합암(CA1)은 상기 제1 슬라이드 방향으로 이동될 수 있다. 제2 슬라이더(SL2)와 결합된 제2 결합암(CA2)은 상기 제2 슬라이드 방향으로 이동될 수 있다. 제1 결합암(CA1)과 제2 결합암(CA2)은 제3 방향(DR3)으로 이격된 거리가 변할 수 있다. 예를 들어, 제1 결합암(CA1) 및 제2 결합암(CA2)은 제3 방향(DR3)으로 서로 가까워질 수 있다. 운동 전달부(GR)는 피니언 기어를 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에서 운동 전달부(GR)는 다양한 기어를 포함할 수 있다. The rotating part MCa may further include a motion transmission part GR. The movement transmission unit GR may rotate based on the rotation axis RTX. The movement transmission part GR may rotate separately from the rotation member RT. The movement transmission part GR may be coupled to the body part BD. When the motion transmission part GR rotates, the first slider SL1 interlocked with the motion transmission part GR may be moved in the first slide direction parallel to the third direction DR3. The second slider SL2 interlocked with the movement transmission unit GR may be moved in a second slide direction that is opposite to the first slide direction. The first coupling arm CA1 and the second coupling arm CA2 may move in the third direction DR3 while the movement transmission unit GR rotates. For example, when the motion transmission unit GR rotates, the first coupling arm CA1 coupled with the first slider SL1 may be moved in the first slide direction. The second coupling arm CA2 coupled with the second slider SL2 may be moved in the second slide direction. The distance spaced apart in the third direction DR3 of the first coupling arm CA1 and the second coupling arm CA2 may be changed. For example, the first coupling arm CA1 and the second coupling arm CA2 may be close to each other in the third direction DR3. The movement transmission unit GR may include a pinion gear. However, this is exemplary, and in one embodiment of the present invention, the motion transmission unit GR may include various gears.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 수납부의 투과사시도이고, 도 5는 도 4에 도시된 A-A'를 따라 절단한 단면도이다.4 is a perspective view of the first receiving unit according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a cross-sectional view taken along the line A-A' shown in FIG.
도 4 및 도 5를 참조하면, 제1 수납부(ST1)는 제1 암(AM1, 도 2 참조)에 결합할 수 있다. 제1 수납부(ST1)는 제1 바닥부(BA1), 측벽부들(SWa, SWb, SWc, SWd), 제1 지지부들(SP1), 및 제1 결합부(CB1)를 포함할 수 있다.4 and 5, the first storage unit ST1 may be coupled to the first arm AM1 (see FIG. 2 ). The first storage part ST1 may include a first bottom part BA1, side wall parts SWa, SWb, SWc, and SWd, first support parts SP1, and a first coupling part CB1.
제1 바닥부(BA1)는 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 정의하는 면에 평행하게 정의될 수 있다. 예를 들어, 제1 바닥부(BA1)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 각각에 평행한 사각 형상을 가질 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제1 바닥부(BA1)는 다양한 형상을 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다. 제1 바닥부(BA1)는 제1 면(BA1-1) 및 제1 면(BA1-1)에 대향하는 제2 면(BA1-2)을 포함할 수 있다.The first bottom portion BA1 may be defined in parallel to a surface defined by the first direction DR1 and the second direction DR2. For example, the first bottom portion BA1 may have a square shape parallel to each of the first direction DR1 and the second direction DR2. However, this is illustratively illustrated, and the first bottom portion BA1 may have various shapes, and is not limited to any one embodiment. The first bottom portion BA1 may include a first surface BA1-1 and a second surface BA1-2 facing the first surface BA1-1.
측벽부들(SWa, SWb, SWc, SWd)은 제1 바닥부(BA1)로부터 제3 방향(DR3)으로 돌출될 수 있다. 측벽부들(SWa, SWb, SWc, SWd)은 제1 바닥부(BA1)의 테두리에 배치될 수 있다. 측벽부들(SWa, SWb, SWc, SWd)은 제1 측벽부(SWa), 제2 측벽부(SWb), 제3 측벽부(SWc), 및 제4 측벽부(SWd)를 포함할 수 있다. The side wall portions SWa, SWb, SWc, and SWd may protrude from the first bottom portion BA1 in the third direction DR3. Side wall portions SWa, SWb, SWc, and SWd may be disposed at the edge of the first bottom portion BA1. The sidewall portions SWa, SWb, SWc, and SWd may include a first sidewall portion SWa, a second sidewall portion SWb, a third sidewall portion SWc, and a fourth sidewall portion SWd.
제1 측벽부(SWa)는 제1 면(BA1-1)으로부터 제3 방향(DR3)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다. 제1 측벽부(SWa)는 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 제2 측벽부(SWb)는 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 제3 측벽부(SWc)는 제1 측벽부(SWa)와 제1 방향(DR1)으로 이격되어 배치될 수 있다. 제4 측벽부(SWd)는 제2 측벽부(SWb)와 제2 방향(DR2)으로 이격되어 배치될 수 있다. The first sidewall portion SWa may protrude from the first surface BA1-1 in a direction parallel to the third direction DR3. The first sidewall portion SWa may extend in the second direction DR2. The second sidewall portion SWb may extend in the first direction DR1. The third sidewall part SWc may be disposed to be spaced apart from the first sidewall part SWa in the first direction DR1. The fourth sidewall portion SWd may be disposed to be spaced apart from the second sidewall portion SWb and in the second direction DR2.
제1 지지부들(SP1)은 제1 면(BA1-1)에 배치될 수 있다. 제1 지지부들(SP1)은 측벽부들(SWa, SWb, SWc, SWd)로부터 이격되어 배치될 수 있다. 제1 지지부들(SP1)은 기판(SUB, 도 8 참조)을 지지할 수 있다. 도 4에서는 예시적으로 4개의 제1 지지부들(SP1)을 도시하였으나, 이에 제한되지 않고 제1 지지부들(SP1)은 다양한 개수로 제공될 수 있다.The first supports SP1 may be disposed on the first surface BA1-1. The first support parts SP1 may be arranged to be spaced apart from the side wall parts SWa, SWb, SWc, and SWd. The first support parts SP1 may support the substrate SUB (see FIG. 8 ). In FIG. 4, four first support parts SP1 are exemplarily illustrated, but the present invention is not limited thereto, and the first support parts SP1 may be provided in various numbers.
제1 지지부들(SP1) 각각은 탄성부(SR) 및 접촉부(PL)를 포함할 수 있다. 탄성부(SR)는 제1 면(BA1-1)에 배치될 수 있다. 탄성부(SR)는 스프링을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것으로 본 발명의 일 실시예에서 탄성부(SR)는 탄성을 가진 다양한 물질을 포함할 수 있다. 접촉부(PL)는 탄성부(SR) 위에 배치될 수 있다. 접촉부(PL)는 기판(SUB, 도 8 참조)과 접촉하여 기판(SUB, 도 8 참조)을 지지할 수 있다. 접촉부(PL)는 제3 방향(DR3)으로 돌출된 원기둥 형상일 수 있다. 접촉부(PL)에서 기판(SUB, 도 8 참조)과 접촉하는 부분은 구 형상일 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에서 접촉부(PL)는 다양한 형상을 가질 수 있다. Each of the first support parts SP1 may include an elastic part SR and a contact part PL. The elastic part SR may be disposed on the first surface BA1-1. The elastic part SR may include a spring. However, this is illustratively illustrated, and in one embodiment of the present invention, the elastic part SR may include various materials having elasticity. The contact portion PL may be disposed on the elastic portion SR. The contact part PL may contact the substrate SUB (see FIG. 8) to support the substrate SUB (see FIG. 8 ). The contact portion PL may have a cylindrical shape protruding in the third direction DR3. The portion of the contact portion PL that contacts the substrate SUB (see FIG. 8) may have a spherical shape. However, this is exemplary, and in one embodiment of the present invention, the contact portion PL may have various shapes.
제1 지지부들(SP1) 각각의 높이(HT1)는 측벽부들(SWa, SWb, SWc, SWd) 각각의 높이(HT2)보다 클 수 있다.The height HT1 of each of the first support parts SP1 may be greater than the height HT2 of each of the side wall parts SWa, SWb, SWc, and SWd.
제1 결합부(CB1)은 제2 면(BA1-2)에 배치될 수 있다. 제1 결합부(CB1)는 제1 결합암(CA1, 도 3 참조)의 제1 홈(HA1, 도 3 참조)에 결합될 수 있다. 제1 결합부(CB1)는 제1 홈(HA1)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. The first coupling part CB1 may be disposed on the second surface BA1-2. The first coupling part CB1 may be coupled to the first groove HA1 (see FIG. 3) of the first coupling arm CA1 (see FIG. 3 ). The first coupling part CB1 may be detachably coupled to the first groove HA1.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 수납부의 투과사시도이다.6 is a perspective view of a second storage unit according to an embodiment of the present invention.
도 6을 참조하면, 제2 수납부(ST2)는 제2 암(AM2, 도 2 참조)에 결합할 수 있다. 제2 수납부(ST2)는 제2 바닥부(BA2), 제1 측벽부(SW1), 제2 측벽부(SW2), 제3 측벽부(SW3), 고정부(FX2), 제2 지지부들(SP2), 및 제2 결합부(CB2)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the second storage unit ST2 may be coupled to the second arm AM2 (see FIG. 2 ). The second storage part ST2 includes a second bottom part BA2, a first side wall part SW1, a second side wall part SW2, a third side wall part SW3, a fixing part FX2, and second support parts (SP2), and a second coupling portion (CB2).
제2 바닥부(BA2)는 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 정의하는 면에 평행하게 정의될 수 있다. 예를 들어, 제2 바닥부(BA2)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 각각에 평행한 사각 형상을 가질 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것이고, 제2 바닥부(BA2)는 다양한 형상을 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다. 제2 바닥부(BA2)는 제3 면(BA2-1) 및 제3 면(BA2-1)에 대향하는 제4 면(BA2-2)을 포함할 수 있다.The second bottom portion BA2 may be defined in parallel to a surface defined by the first direction DR1 and the second direction DR2. For example, the second bottom portion BA2 may have a rectangular shape parallel to each of the first direction DR1 and the second direction DR2. However, this is illustratively illustrated, and the second bottom portion BA2 may have various shapes, and is not limited to any one embodiment. The second bottom portion BA2 may include a third surface BA2-1 and a fourth surface BA2-2 facing the third surface BA2-1.
제1 측벽부(SW1)는 제3 면(BA2-1)으로부터 제3 방향(DR3)과 나란한 방향으로 돌출될 수 있다. 제1 측벽부(SW1)는 제1 방향(DR1)으로 연장될 수 있다. 제2 측벽부(SW2)는 제2 방향(DR2)으로 연장될 수 있다. 제3 측벽부(SW3)는 제1 측벽부(SW1)와 제2 방향(DR2)으로 이격되어 배치될 수 있다. The first sidewall portion SW1 may protrude from the third surface BA2-1 in a direction parallel to the third direction DR3. The first sidewall portion SW1 may extend in the first direction DR1. The second sidewall portion SW2 may extend in the second direction DR2. The third sidewall portion SW3 may be disposed to be spaced apart from the first sidewall portion SW1 and the second direction DR2.
제2 바닥부(BA2)의 적어도 하나의 변에는 측벽부가 제공되지 않을 수 있다. 예를 들어, 제2 측벽부(SW2)가 마주하고 있는 영역에는 측벽부가 제공되지 않을 수 있다. 기판(SUB, 도 8 참조)은 상기 영역을 통해 제2 수납부(ST2)로 출입될 수 있다. A side wall portion may not be provided on at least one side of the second bottom portion BA2. For example, a sidewall portion may not be provided in a region facing the second sidewall portion SW2. The substrate SUB (see FIG. 8) may enter and exit the second storage unit ST2 through the area.
제2 지지부들(SP2)은 제3 면(BA2-1)에 배치될 수 있다. 제2 지지부들(SP2)은 제1 내지 제3 측벽부들(SW1, SW2, SW3)로부터 이격되어 배치될 수 있다. 제2 지지부들(SP2)은 기판(SUB, 도 8 참조)을 지지할 수 있다. 도 6에서는 예시적으로 4개의 제2 지지부들(SP2)을 도시하였으나, 이에 제한되지 않고 제2 지지부들(SP2)은 다양한 개수로 제공될 수 있다. 예를 들어, 제2 지지부들(SP2)의 개수는 제1 지지부들(SP1, 도 4 참조)의 개수와 동일할 수 있다. 제2 지지부들(SP2)은 접촉부(PL, 도 5 참조)와 실질적으로 동일한 물질로 구성될 수 있다. The second supports SP2 may be disposed on the third surface BA2-1. The second support parts SP2 may be arranged to be spaced apart from the first to third side wall parts SW1, SW2, and SW3. The second support parts SP2 may support the substrate SUB (see FIG. 8 ). In FIG. 6, four second supports SP2 are exemplarily illustrated, but the present invention is not limited thereto, and the second supports SP2 may be provided in various numbers. For example, the number of second supports SP2 may be the same as the number of first supports SP1 (see FIG. 4 ). The second support parts SP2 may be made of substantially the same material as the contact part PL (see FIG. 5 ).
고정부들(FX2)은 제3 면(BA2-1)에 배치될 수 있다. 고정부들(FX2)은 제1 내지 제3 측벽부들(SW1, SW2, SW3)로부터 이격되어 배치될 수 있다. 고정부들(FX2)은 기판(SUB, 도 8 참조)이 제2 수납부(ST2)에서 움직이지 않게 고정할 수 있다. 고정부들(FX2)은 제1 고정부들, 제2 고정부들, 및 제3 고정부들을 포함할 수 있다. 상기 제1 고정부들은 제2 지지부들(SP2)과 제1 측벽부(SW1) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제2 고정부들은 제2 지지부들(SP2)과 제2 측벽부(SW2) 사이에 배치될 수 있다. 상기 제3 고정부들은 제2 지지부들(SP2)과 제3 측벽부(SW3) 사이에 배치될 수 있다.The fixing parts FX2 may be disposed on the third surface BA2-1. The fixing parts FX2 may be arranged to be spaced apart from the first to third side wall parts SW1, SW2, and SW3. The fixing parts FX2 may fix the substrate SUB (see FIG. 8) so that the second receiving part ST2 does not move. The fixing parts FX2 may include first fixing parts, second fixing parts, and third fixing parts. The first fixing parts may be disposed between the second support parts SP2 and the first side wall part SW1. The second fixing parts may be disposed between the second support parts SP2 and the second side wall parts SW2. The third fixing parts may be disposed between the second support parts SP2 and the third side wall parts SW3.
제2 결합부(CB2)는 제4 면(BA2-2)에 배치될 수 있다. 제2 결합부(CB2)는 제2 결합암(CA2, 도 3 참조)의 제2 홈(HA2, 도 3 참조)에 결합될 수 있다. 제2 결합부(CB2)는 제2 홈(HA2)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. The second coupling part CB2 may be disposed on the fourth surface BA2-2. The second coupling part CB2 may be coupled to the second groove HA2 (see FIG. 3) of the second coupling arm CA2 (see FIG. 3 ). The second coupling part CB2 may be detachably coupled to the second groove HA2.
도 7은 기판 반전 장치가 동작하는 방식을 도시한 흐름도이고, 도 8은 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 사시도이다.7 is a flowchart illustrating a method of operating the substrate inverting device, and FIG. 8 is a perspective view showing an operating state of the substrate inverting device.
도 7 및 도 8을 참조하면, 기판(SUB)은 제2 수납부(ST2) 위에 배치될 수 있다(T1). 기판 반전 장치(SID)는 로봇암(RM)을 더 포함할 수 있다. 기판(SUB)은 로봇암(RM) 위에 배치될 수 있다. 제1 개구부(GV)는 제1 방향(DR1)에서 바라봤을 때 제2 수납부(ST2)의 일부와 중첩할 수 있다. 로봇암(RM)은 제1 개구부(GV)를 통해 제2 수납부(ST2)에 기판(SUB)을 제공할 수 있다. 로봇암(RM)은 기판(SUB)을 제2 지지부들(SP2, 도 2 참조) 위에 배치시킬 수 있다. 고정부들(FX2)은 기판(SUB)의 측면과 마주하도록 배치되어 기판(SUB)이 움직이지 않도록 고정할 수 있다. 로봇암(RM)은 제1 개구부(GV)를 통해 챔버(CB, 도 1 참조) 밖으로 이동할 수 있다.Referring to FIGS. 7 and 8, the substrate SUB may be disposed on the second storage unit ST2 (T1 ). The substrate inversion device SID may further include a robot arm RM. The substrate SUB may be disposed on the robot arm RM. When viewed from the first direction DR1, the first opening GV may overlap a part of the second storage part ST2. The robot arm RM may provide a substrate SUB to the second accommodating part ST2 through the first opening GV. The robot arm RM may place the substrate SUB on the second support parts SP2 (see FIG. 2 ). The fixing parts FX2 are disposed to face the side surface of the substrate SUB, so that the substrate SUB may not be moved. The robot arm RM may move out of the chamber CB (see FIG. 1) through the first opening GV.
도 9는 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 사시도이고, 도 10은 도 9의 B-B'를 절단한 단면도이다.9 is a perspective view showing an operation state of the substrate reversing device, and FIG. 10 is a cross-sectional view taken along line B-B' of FIG. 9.
도 7, 도 9 및 도 10를 참조하면, 기판(SUB)은 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)에 의해 커버될 수 있다(T2).Referring to FIGS. 7, 9 and 10, the substrate SUB may be covered by the first storage unit ST1 and the second storage unit ST2 (T2).
기판(SUB)은 제2 지지부들(SP2) 위에 배치될 수 있다. 고정부(FX2)는 기판(SUB)의 측면과 마주할 수 있다. 고정부(FX2)는 회전 시 기판이 움직이지 않도록 고정할 수 있다. 제1 지지부들(SP1)은 기판(SUB) 위에 배치될 수 있다. 제1 지지부들(SP1) 각각의 탄성부(SR, 도 5 참조)는 제3 방향(DR3)으로 압축되어 기판(SUB)을 지지할 수 있다. 평면 상에서, 제1 지지부들(SP1) 각각과 제2 지지부들(SP2) 각각은 중첩할 수 있다.The substrate SUB may be disposed on the second supports SP2. The fixing part FX2 may face the side surface of the substrate SUB. The fixing part FX2 may be fixed so that the substrate does not move when rotating. The first supports SP1 may be disposed on the substrate SUB. The elastic parts SR (see FIG. 5) of each of the first support parts SP1 may be compressed in the third direction DR3 to support the substrate SUB. On a plane, each of the first supports SP1 and each of the second supports SP2 may overlap.
제1 수납부(ST1)의 제3 측벽부(SWc, 도 4 참조)는 제2 수납부(ST2)의 측벽부가 제공되지 않은 영역을 커버할 수 있다. 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)는 기판(SUB)을 커버할 수 있다. The third side wall part SWc of the first storage part ST1 (see FIG. 4) may cover an area where the side wall part of the second storage part ST2 is not provided. The first storage unit ST1 and the second storage unit ST2 may cover the substrate SUB.
사용자는 기판(SUB)의 파손 여부를 검사할 수 있다(T3).The user can check whether the substrate SUB is damaged (T3).
기판(SUB)이 파손되었을 경우, 제2 개구부(MP1, 도 13b 참조) 또는 제3 개구부(MP2, 도 13b 참조)를 통해 기판(SUB), 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)를 일체로 수거할 수 있다(T7). 기판(SUB)이 파손된 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)를 수거하고 새로운 제1 수납부(ST1) 및 새로운 제2 수납부(ST2)를 회전부(MCa, 도 3 참조)에 배치한다(T8). 로봇암(RM, 도 7 참조)은 기판(SUB)을 제2 지지부들(SP2) 위에 배치할 수 있다. 기판(SUB)은 제2 수납부(ST2) 위에 배치될 수 있다(T1). 따라서, 기판 반전 장치(SID, 도 1 참조)가 다시 동작하도록 할 수 있다. When the substrate SUB is damaged, the substrate SUB, the first accommodating part ST1, and the second accommodating part through the second opening part MP1 (see FIG. 13B) or the third opening part MP2 (see FIG. 13B) ST2) can be collected integrally (T7). The first storage unit ST1 and the second storage unit ST2 where the substrate SUB is damaged are collected, and the new first storage unit ST1 and the new second storage unit ST2 are rotated (MCa, see FIG. 3 ). ) (T8). The robot arm RM (see FIG. 7) may arrange the substrate SUB on the second support parts SP2. The substrate SUB may be disposed on the second storage unit ST2 (T1). Therefore, the substrate reversal device (SID, see FIG. 1) can be operated again.
본 발명에 따르면, 기판 반전 장치(SID, 도 1 참조)는 별도로 미리 세정된 상태의 새로운 제1 수납부(ST1) 및 새로운 제2 수납부(ST2)를 제공받을 수 있다. 기판 반전 장치(SID, 도 1 참조)는 파손된 기판(SUB)을 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)와 일체로 교체할 수 있다. 파손된 기판(SUB)을 교체하는 데 소요되는 시간이 감소될 수 있다. 따라서, 기판 반전 장치(SID, 도 1 참조)는 공정의 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 기판 반전 장치(SID, 도 1 참조)의 안정성 및 신뢰성이 향상될 수 있다. According to the present invention, the substrate reversing device (SID, see FIG. 1) may be provided with a new first accommodating part ST1 and a new second accommodating part ST2 separately cleaned in advance. The substrate reversing device (SID, see FIG. 1) may integrally replace the damaged substrate SUB with the first accommodating part ST1 and the second accommodating part ST2. The time taken to replace the damaged substrate SUB may be reduced. Therefore, the substrate inversion device (SID, see FIG. 1) can improve the yield and productivity of the process. As a result, stability and reliability of the substrate reversing device (SID, see FIG. 1) can be improved.
도 11은 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 사시도이고, 도 12는 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 사시도이다. 11 is a perspective view showing an operation state of the substrate reversing device, and FIG. 12 is a perspective view showing an operation state of the substrate reversing device.
도 7, 도 11, 및 도 12를 참조하면, 기판(SUB, 도 8 참조)이 파손되지 않은 경우, 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)는 회전축(RTX)을 기준으로 회전할 수 있다(T4). 7, 11, and 12, when the substrate SUB (see FIG. 8) is not damaged, the first storage unit ST1 and the second storage unit ST2 are based on the rotation axis RTX. It can rotate (T4).
기판 반전 장치(SID)는 회전축(RTX, 도 3 참조)을 기준으로 회전할 수 있다. 몸체부(BD)는 회전부재(RT)과 일체로 회전할 수 있다. 회전부재(RT)는 제1 홈(HA1) 및 제2 홈(HA2)이 중력 방향의 반대 방향을 향하도록 회전할 수 있다. 기판 반전 장치(SID)는 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)가 중력에 의해 제3 방향(DR3)으로 떨어지는 것을 방지할 수 있다.The substrate reversing device SID may rotate based on a rotation axis (RTX, see FIG. 3 ). The body portion BD may rotate integrally with the rotating member RT. The rotating member RT may rotate such that the first groove HA1 and the second groove HA2 face the opposite direction of the gravity direction. The substrate reversing device SID can prevent the first receiving part ST1 and the second receiving part ST2 from falling in the third direction DR3 by gravity.
회전이 완료되면, 기판(SUB)은 상하가 반전될 수 있다. 기판(SUB)이 파손되지 않았다면, 반전된 기판(SUB)은 제1 수납부(ST1)으로부터 회수될 수 있다(T6). When the rotation is completed, the substrate SUB may be inverted up and down. If the substrate SUB is not damaged, the inverted substrate SUB may be recovered from the first storage unit ST1 (T6).
기판 반전 장치(SID)는 회전하여 반전된 기판(SUB)이 제1 수납부(ST1) 위에 배치될 수 있다. 로봇암(RM)은 제1 개구부(GV)를 통해 제1 수납부(ST1)와 반전된 기판(SUB) 사이에 배치될 수 있다. 로봇암(RM)은 제1 지지부들(SP1)과 측벽부들(SWa, SWb, SWc, SWd, 도 4 참조)의 높이 차에 의해 형성되는 영역으로 제공될 수 있다. 로봇암(RM)은 반전된 기판(SUB)을 들어 제1 개구부(GV)를 통해 챔버(CB, 도 1 참조) 밖으로 이동할 수 있다.The substrate inversion device SID may be rotated so that the inverted substrate SUB is disposed on the first storage unit ST1. The robot arm RM may be disposed between the first accommodating part ST1 and the inverted substrate SUB through the first opening GV. The robot arm RM may be provided as an area formed by a height difference between the first support parts SP1 and the side wall parts SWa, SWb, SWc, and SWd (see FIG. 4 ). The robot arm RM may lift the inverted substrate SUB and move out of the chamber CB (see FIG. 1) through the first opening GV.
도 13a는 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 투과사시도이다. 도 13b는 기판 반전 장치의 동작 상태를 도시한 투과사시도이다.13A is a perspective view showing the operation state of the substrate reversing device. 13B is a perspective view showing the operation state of the substrate reversing device.
도 7, 도 13a, 및 도 13b를 참조하면, 기판 반전 장치(SID)는 기판(SUB)을 반전하는 과정에서 기판(SUB)이 파손될 수 있다. Referring to FIGS. 7, 13A, and 13B, the substrate reversal device SID may break the substrate SUB in the process of reversing the substrate SUB.
기판(SUB)이 반전되기 전에 파손되었을 경우, 제1 홈(HA1) 및 제2 홈(HA2)의 방향이 제2 개구부(MP1)를 향해 있을 수 있다. 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)는 제2 개구부(MP1)를 통해 챔버(CB) 밖으로 이동될 수 있다. When the substrate SUB is damaged before being inverted, the directions of the first groove HA1 and the second groove HA2 may be directed toward the second opening MP1. The first accommodating part ST1 and the second accommodating part ST2 may be moved out of the chamber CB through the second opening MP1.
기판(SUB)이 반전된 후에 파손되었을 경우, 제1 홈(HA1) 및 제2 홈(HA2)의 방향이 제3 개구부(MP2)를 향해 있을 수 있다. 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)는 제3 개구부(MP2)를 통해 챔버(CB) 밖으로 이동할 수 있다. When the substrate SUB is damaged after being inverted, the directions of the first groove HA1 and the second groove HA2 may be toward the third opening MP2. The first accommodating part ST1 and the second accommodating part ST2 may move out of the chamber CB through the third opening MP2.
본 발명에 따르면, 기판 반전 장치(SID)는 별도로 미리 세정된 상태의 새로운 제1 수납부(ST1) 및 새로운 제2 수납부(ST2)를 제공받을 수 있다. 기판 반전 장치(SID)는 파손된 기판(SUB)을 제1 수납부(ST1) 및 제2 수납부(ST2)와 일체로 교체할 수 있고, 제2 개구부(MP1) 또는 제3 개구부(MP2)를 통해 새로운 제1 수납부(ST1) 및 새로운 제2 수납부(ST2)를 챔버(CB) 내에 제공할 수 있다. 파손된 기판(SUB)을 교체하는 데 소요되는 시간이 감소될 수 있다. 따라서, 기판 반전 장치(SID)는 공정의 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 기판 반전 장치(SID)의 안정성 및 신뢰성이 향상될 수 있다. According to the present invention, the substrate reversing device SID may be provided with a new first accommodating part ST1 and a new second accommodating part ST2 separately cleaned in advance. The substrate reversing device SID may replace the damaged substrate SUB integrally with the first storage unit ST1 and the second storage unit ST2, and the second opening MP1 or the third opening MP2. Through this, a new first accommodating part ST1 and a new second accommodating part ST2 may be provided in the chamber CB. The time taken to replace the damaged substrate SUB may be reduced. Therefore, the substrate inverting device (SID) can improve the yield and productivity of the process. As a result, stability and reliability of the substrate reversing device (SID) can be improved.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.In the above, it has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, but those skilled in the art or those of ordinary skill in the art will depart from the spirit and technical scope of the present invention described in the claims below. It will be understood that various modifications and changes may be made to the present invention without departing from the scope. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification, but should be defined by the claims.
SID: 기판 반전 장치
CB: 챔버
RT: 회전부재
BD: 몸체부
CA1: 제1 결합암
CA2: 제2 결합암
SL1: 제1 슬라이더
SL2: 제2 슬라이더
ST1: 제1 수납부
ST2: 제2 수납부SID: Substrate inversion device CB: Chamber
RT: rotating member BD: body
CA1: First combined cancer CA2: Second combined cancer
SL1: First slider SL2: Second slider
ST1: First storage unit ST2: Second storage unit
Claims (20)
상기 회전부재에 연결된 몸체부;
상기 몸체부에 결합되고, 상기 회전축의 연장 방향과 교차하는 교차 방향으로 슬라이딩되는 제1 암;
상기 몸체부에 결합되고, 상기 교차 방향으로 슬라이딩되는 제2 암;
상기 제1 암과 결합된 제1 결합부를 포함하는 제1 수납부; 및
상기 제2 암과 결합된 제2 결합부를 포함하는 제2 수납부
를 포함하고, 상기 제1 수납부와 상기 제2 수납부 사이에는 기판이 배치되는 안착 공간이 제공되는 기판 반전 장치. A rotating member rotating about an axis of rotation;
A body part connected to the rotating member;
A first arm coupled to the body portion and sliding in an intersecting direction intersecting the extending direction of the rotating shaft;
A second arm coupled to the body portion and sliding in the cross direction;
A first accommodating part including a first engaging part coupled with the first arm; And
A second receiving portion including a second engaging portion coupled to the second arm
And a seating space in which a substrate is disposed between the first accommodating part and the second accommodating part.
상기 제1 수납부는
제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하는 제1 바닥부;
상기 제1 바닥부로부터 돌출된 측벽부들; 및
상기 측벽부들로부터 이격되어 상기 제1 면에 배치된 제1 지지부들를 더 포함하고,
상기 제1 결합부는 상기 제2 면에 배치된 기판 반전 장치.According to claim 1,
The first storage unit
A first bottom portion including a first surface and a second surface opposite to the first surface;
Sidewall portions protruding from the first bottom portion; And
Further comprising first support portions spaced from the side wall portions and disposed on the first surface,
The first coupling portion is a substrate reversing device disposed on the second surface.
상기 제1 지지부들 각각의 높이는 상기 측벽부들 각각의 높이보다 큰 기판 반전 장치.According to claim 2,
The height of each of the first support portions is greater than that of each of the side wall portions.
상기 제1 지지부들 각각은 상기 제1 면에 배치된 탄성부 및 상기 탄성부 위에 배치된 접촉부를 포함하는 기판 반전 장치.According to claim 2,
Each of the first support portions includes an elastic portion disposed on the first surface and a contact portion disposed on the elastic portion.
상기 제2 수납부는
제3 면 및 상기 제3 면에 대향하는 제4 면을 포함하는 제2 바닥부;
상기 제2 바닥부로부터 돌출된 제1 측벽부;
상기 제2 바닥부로부터 돌출되며 상기 제1 측벽부와 마주하는 제2 측벽부;
상기 제2 바닥부로부터 돌출되며 상기 제1 측벽부 및 상기 제2 측벽부를 연결하는 제3 측벽부;
상기 제1 내지 제3 측벽부들로부터 이격되며 상기 제3 면 위에 배치된 고정부들; 및
상기 제1 내지 제3 측벽부들로부터 이격되며 상기 제3 면 위에 배치된 제2 지지부들을 더 포함하고,
상기 제2 결합부는 상기 제4 면에 배치된 기판 반전 장치.According to claim 2,
The second storage unit
A second bottom portion including a third surface and a fourth surface opposite to the third surface;
A first sidewall portion protruding from the second bottom portion;
A second side wall portion protruding from the second bottom portion and facing the first side wall portion;
A third side wall portion protruding from the second bottom portion and connecting the first side wall portion and the second side wall portion;
Fixing parts spaced apart from the first to third side wall parts and disposed on the third surface; And
Further comprising second support portions spaced apart from the first to third side wall portions and disposed on the third surface,
The second coupling portion is a substrate reversing device disposed on the fourth surface.
평면 상에서 상기 제1 지지부들과 상기 제2 지지부들은 중첩하는 기판 반전 장치.The method of claim 5,
A substrate reversing device in which the first supports and the second supports overlap on a plane.
상기 고정부들은,
상기 제2 지지부들과 상기 제1 측벽부 사이에 배치된 제1 고정부들;
상기 제2 지지부들과 상기 제2 측벽부 사이에 배치된 제2 고정부들; 및
상기 제2 지지부들과 상기 제3 측벽부 사이에 배치된 제3 고정부들을 포함하는 기판 반전 장치.The method of claim 5,
The fixing parts,
First fixing parts disposed between the second supporting parts and the first side wall part;
Second fixing parts disposed between the second supporting parts and the second side wall parts; And
And a third fixing portion disposed between the second supporting portions and the third side wall portion.
상기 제1 암에는 제1 홈이 정의되고,
상기 제1 결합부는 상기 제1 홈에 결합하는 기판 반전 장치.According to claim 1,
A first groove is defined in the first arm,
The first coupling portion is a substrate reversing device coupled to the first groove.
상기 제2 암에는 제2 홈이 정의되고,
상기 제2 결합부는 상기 제2 홈에 결합하는 기판 반전 장치.The method of claim 8,
A second groove is defined in the second arm,
The second coupling portion is a substrate reversing device coupled to the second groove.
상기 회전부재는 상기 제1 홈 및 상기 제2 홈이 중력 방향의 반대 방향을 향하도록 회전하는 기판 반전 장치.The method of claim 9,
The rotating member is a substrate reversing device that rotates so that the first groove and the second groove face the opposite direction of the direction of gravity.
상기 회전부재, 상기 몸체부, 상기 제1 암, 상기 제2 암, 상기 제1 수납부, 및 상기 제2 수납부를 수납하며, 제1 개구부가 정의된 챔버를 더 포함하고,
상기 제1 개구부를 통해 상기 안착 공간에 상기 기판이 제공되는 기판 반전 장치.According to claim 1,
The rotating member, the body portion, the first arm, the second arm, the first receiving portion, and receiving the second receiving portion, and further includes a chamber in which the first opening is defined,
A substrate reversing device in which the substrate is provided to the seating space through the first opening.
상기 챔버에는 상기 제1 수납부 및 상기 제2 수납부가 출입하는 제2 개구부 및 상기 제2 개구부와 마주하는 제3 개구부가 더 정의된 기판 반전 장치.The method of claim 11,
A substrate reversing device in which the first opening and the second opening and the third opening and the third opening facing the second opening are further defined in the chamber.
상기 몸체부에 결합되고, 상기 회전축을 기준으로 회전하는 운동 전달부를 더 포함하는 기판 반전 장치.According to claim 1,
The substrate inverting device is further coupled to the body portion, further comprising a movement transmission portion rotating about the rotation axis.
상기 제1 암은 상기 운동 전달부와 연동해 슬라이딩되는 제1 슬라이더 및 상기 제1 슬라이더와 연결되며 상기 제1 수납부와 결합되는 제1 결합암을 포함하는 기판 반전 장치.The method of claim 13,
The first arm is a substrate reversing device including a first slider that is connected to the first slider and a first slider that is slidably interlocked with the motion transmission unit and is coupled to the first receiving unit.
상기 제2 암은 상기 운동 전달부와 연동해 슬라이딩되는 제2 슬라이더 및 상기 제2 슬라이더와 연결되며 상기 제2 수납부와 결합되는 제2 결합암을 포함하는 기판 반전 장치.The method of claim 14,
The second arm is a substrate reversing device comprising a second slider that is connected to the second slider and a second slider that is slidably interlocked with the motion transmission unit and is coupled to the second receiving unit.
상기 회전부재에 연결된 몸체부;
상기 몸체부에 결합되고, 상기 회전축을 기준으로 회전하는 기어부;
상기 몸체부에 결합되고, 상기 회전축의 연장 방향과 교차하는 교차 방향으로 상기 기어부와 맞물려 슬라이딩되는 제1 슬라이더;
상기 제1 슬라이더와 연결되는 제1 결합암;
상기 몸체부에 결합되고, 상기 교차 방향으로 상기 기어부와 맞물려 슬라이딩되는 제2 슬라이더;
상기 제2 슬라이더와 연결되는 제2 결합암;
상기 제1 결합암과 결합하는 제1 수납부; 및
상기 제2 결합암과 결합하는 제2 수납부를 포함하고, 상기 제1 수납부와 상기 제2 수납부는 기판을 밀봉하는 기판 반전 장치.A rotating member rotating about an axis of rotation;
A body part connected to the rotating member;
A gear portion coupled to the body portion and rotating relative to the rotation shaft;
A first slider coupled to the body portion and slidingly engaged with the gear portion in an intersecting direction crossing an extension direction of the rotating shaft;
A first coupling arm connected to the first slider;
A second slider coupled to the body portion and sliding in engagement with the gear portion in the crossing direction;
A second coupling arm connected to the second slider;
A first accommodating part coupled with the first coupling arm; And
A substrate reversing device including a second accommodating portion coupled to the second coupling arm, wherein the first accommodating portion and the second accommodating portion seal the substrate.
상기 제1 수납부는
제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 포함하는 제1 바닥부;
상기 제1 바닥부로부터 돌출된 측벽부들;
상기 측벽부들로부터 이격되어 상기 제1 면에 배치된 제1 지지부들; 및
상기 제2 면에 배치된 제1 결합부를 포함하는 기판 반전 장치.The method of claim 16,
The first storage unit
A first bottom portion including a first surface and a second surface opposite to the first surface;
Sidewall portions protruding from the first bottom portion;
First support portions spaced apart from the side wall portions and disposed on the first surface; And
A substrate reversing device including a first coupling portion disposed on the second surface.
상기 제1 결합암에는 제1 홈이 정의되고,
상기 제1 결합부는 상기 제1 홈에 탈착 가능하게 결합되는 기판 반전 장치.The method of claim 17,
A first groove is defined in the first coupling arm,
The first coupling portion is a substrate reversing device detachably coupled to the first groove.
상기 제2 수납부는
제3 면 및 상기 제3 면에 대향하는 제4 면을 포함하는 제2 바닥부;
상기 제2 바닥부로부터 돌출된 제1 측벽부;
상기 제2 바닥부로부터 돌출되며 상기 제1 측벽부와 마주하는 제2 측벽부;
상기 제2 바닥부로부터 돌출되며 상기 제1 측벽부 및 상기 제2 측벽부를 연결하는 제3 측벽부;
상기 제4 면에 배치된 제2 결합부;
상기 제1 내지 제3 측벽부들로부터 이격되며 상기 제3 면 위에 배치된 고정부들; 및
상기 제1 내지 제3 측벽부들로부터 이격되며 상기 제3 면 위에 배치된 제2 지지부들을 포함하는 기판 반전 장치.The method of claim 16,
The second storage unit
A second bottom portion including a third surface and a fourth surface opposite to the third surface;
A first sidewall portion protruding from the second bottom portion;
A second side wall portion protruding from the second bottom portion and facing the first side wall portion;
A third side wall portion protruding from the second bottom portion and connecting the first side wall portion and the second side wall portion;
A second coupling portion disposed on the fourth surface;
Fixing parts spaced apart from the first to third side wall parts and disposed on the third surface; And
And a second support portion spaced apart from the first to third side wall portions and disposed on the third surface.
상기 제2 결합암에는 제2 홈이 정의되고,
상기 제2 결합부는 상기 제2 홈에 탈착 가능하게 결합되는 기판 반전 장치.The method of claim 19,
A second groove is defined in the second coupling arm,
The second coupling portion is a substrate reversing device detachably coupled to the second groove.
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