KR20200085823A - Gas treatment device - Google Patents

Gas treatment device Download PDF

Info

Publication number
KR20200085823A
KR20200085823A KR1020207016259A KR20207016259A KR20200085823A KR 20200085823 A KR20200085823 A KR 20200085823A KR 1020207016259 A KR1020207016259 A KR 1020207016259A KR 20207016259 A KR20207016259 A KR 20207016259A KR 20200085823 A KR20200085823 A KR 20200085823A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
opening
gas
windshield
windshield member
excimer lamp
Prior art date
Application number
KR1020207016259A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102432205B1 (en
Inventor
게이스케 나이토
Original Assignee
우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 우시오덴키 가부시키가이샤 filed Critical 우시오덴키 가부시키가이샤
Publication of KR20200085823A publication Critical patent/KR20200085823A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102432205B1 publication Critical patent/KR102432205B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/007—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by irradiation
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L9/00—Disinfection, sterilisation or deodorisation of air
    • A61L9/16—Disinfection, sterilisation or deodorisation of air using physical phenomena
    • A61L9/18—Radiation
    • A61L9/20—Ultraviolet radiation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
    • B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2209/00—Aspects relating to disinfection, sterilisation or deodorisation of air
    • A61L2209/10—Apparatus features
    • A61L2209/12—Lighting means
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61L—METHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2209/00—Aspects relating to disinfection, sterilisation or deodorisation of air
    • A61L2209/10—Apparatus features
    • A61L2209/16—Connections to a HVAC unit
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2259/00—Type of treatment
    • B01D2259/80—Employing electric, magnetic, electromagnetic or wave energy, or particle radiation
    • B01D2259/804—UV light

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Discharge Lamp (AREA)

Abstract

오존(O3)에 의하여 분해하기 어려운 성분도 효율적으로 분해하는 것이 가능한 기체 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
기체 처리 장치는, 통 형상의 하우징과, 산소 및 수분을 포함하는 피처리 기체를 하우징의 내측에 도입하는 흡기구와, 하우징의 내측에 수용되고, 방전용 가스가 충전되어 이루어지며, 제1 방향으로 연신하는 관체를 포함하는 엑시머 램프와, 엑시머 램프로부터 출사된 자외선이 조사된 피처리 기체를 하우징의 외측으로 도출하는 배기구와, 제1 방향에서 보았을 때에, 관체를 둘러싸도록, 또는 관체를 사이에 두도록 배치된 차풍 부재를 구비한다. 차풍 부재는, 적어도, 관체의 상기 제1 방향에 관련된 단부 중 흡기구에 가까운 측의 단부와, 관체의 제1 방향의 중앙부 사이의 위치에 배치되어 있다.An object of the present invention is to provide a gas treatment device capable of efficiently decomposing components that are difficult to decompose by ozone (O 3 ).
The gas processing apparatus is made of a cylindrical housing, an intake port for introducing a gas to be treated containing oxygen and moisture into the housing, and is accommodated in the housing, filled with a gas for discharge, in a first direction. An excimer lamp including a tube to be stretched, an exhaust port for guiding the gas to be treated with ultraviolet light emitted from the excimer lamp to the outside of the housing, and when viewed from the first direction, surround the tube or sandwich the tube It is provided with a wind-shielded member arranged. The windshield member is disposed at least between the end portion of the tube body related to the first direction, which is closer to the intake port, and the center portion of the tube body in the first direction.

Figure P1020207016259
Figure P1020207016259

Description

기체 처리 장치Gas treatment device

본 발명은, 기체 처리 장치에 관한 것이고, 특히 엑시머 램프를 이용하여 피처리 기체를 처리하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a gas processing apparatus, and more particularly, to an apparatus for processing a gas to be treated using an excimer lamp.

광을 이용한 탈취·살균하는 기술이 최근 개발되고 있다. 예를 들면, 하기 특허문헌 1에는, 엑시머 램프의 구성이 개시되어 있다. 이 엑시머 램프는, 자외선을 투과시키는 실리카 유리로 이루어지는 관체(방전 용기)와, 이 관체의 외벽에 설치된 전극을 구비한다. 관체 내에는, 방전용 가스로서의 크세논(Xe) 가스가 봉입되어 있다. 이 엑시머 램프에 의하면, 파장 200nm 이하, 보다 상세하게는 파장 172nm의 진공 자외광이 조사된다.Technology for deodorization and sterilization using light has been recently developed. For example, the following patent document 1 discloses the configuration of an excimer lamp. This excimer lamp has a tube body (discharge container) made of silica glass that transmits ultraviolet rays, and an electrode provided on the outer wall of the tube body. Xenon (Xe) gas as a gas for discharge is sealed in the tube body. According to this excimer lamp, vacuum ultraviolet light with a wavelength of 200 nm or less, and more specifically, a wavelength of 172 nm is irradiated.

따라서, 예를 들면, 이 진공 자외광을 공기에 조사시켜, 오존(O3)을 포함하는 가스를 생성함으로써, 이 오존(O3)을 포함하는 가스를 이용한 탈취·살균의 효과를 얻을 수 있다.Thus, for example, this was irradiated with vacuum ultraviolet light in the air, ozone (O 3) the effect of deodorization, sterilization using a gas containing ozone (O 3), by creating a gas can be obtained, including .

일본국 특허공개 2007-335350호 공보Japanese Patent Publication No. 2007-335350

그런데, 공기 중에는, 오존(O3)에 의하여 분해하기 어려운 악취 성분이 포함되어 있는 경우가 있다. 이와 같은 악취 성분 중 하나로 포름알데히드를 들 수 있다. 본 발명은, 오존(O3)에 의하여 분해하기 어려운 상기의 성분도 효율적으로 분해하는 것이 가능한, 기체 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.By the way, in the air, the odor component which is difficult to decompose by ozone (O 3 ) may be contained in some cases. Formaldehyde is one of such odor components. An object of the present invention is to provide a gas treatment apparatus capable of efficiently decomposing the above-mentioned components that are difficult to decompose by ozone (O 3 ).

본 발명에 따른 기체 처리 장치는,Gas treatment apparatus according to the present invention,

통 형상의 하우징과,A cylindrical housing,

산소 및 수분을 포함하는 피처리 기체를 상기 하우징의 내측에 도입하는 흡기구와,An intake port for introducing a gas to be treated containing oxygen and moisture into the housing;

상기 하우징의 내측에 수용되고, 방전용 가스가 충전되어 이루어지며, 제1 방향으로 연신하는 관체를 포함하는 엑시머 램프와,An excimer lamp which is accommodated inside the housing, is filled with a gas for discharge, and includes a tube extending in a first direction,

상기 엑시머 램프로부터 출사된 자외선이 조사된 상기 피처리 기체를, 상기 하우징의 외측으로 도출하는 배기구와,And an exhaust port for guiding the gas to be treated is irradiated with ultraviolet light emitted from the excimer lamp to the outside of the housing,

상기 제1 방향에서 보았을 때에, 상기 관체를 둘러싸도록, 또는 상기 관체를 사이에 두도록 배치된 차풍(遮風) 부재를 구비하고,When viewed from the first direction, it is provided with a windshield member disposed to surround the tube body or to place the tube body therebetween,

상기 차풍 부재는, 적어도, 상기 관체의 상기 제1 방향에 관련된 단부(端部) 중 상기 흡기구에 가까운 측의 단부와, 상기 관체의 상기 제1 방향의 중앙부 사이의 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.The said windshield member is arrange|positioned at the position between the end part of the said pipe body which is close to the said intake port among the end parts related to the said 1st direction, and the center part of the said pipe body in the said 1st direction. do.

상기 구성에 의하면, 흡기구로부터 하우징 내에 받아들여져 배기구측을 향하는 피처리 기체의 일부는, 차풍 부재에 충돌함으로써, 기류가 변화한다. 상술한 바와 같이, 차풍 부재는, 엑시머 램프의 관체를 둘러싸도록, 또는 관체를 사이에 두도록 배치되어 있다. 즉, 엑시머 램프의 관체와 차풍 부재의 사이에는 이격 영역이 형성되어 있다. 이 때문에, 피처리 기체는, 관체와 차풍 부재의 이격 영역을 향하여 유입된다. 차풍 부재가 설치됨으로써, 흡기구로부터 받아들여진 피처리 기체는, 차풍 부재의 배치 개소에 있어서, 이 기체를 흐르게 할 수 있는 공간이 급격하게 좁아진다. 그 결과, 관체와 차풍 부재의 이격 영역을 향하는 기류가 발생한다.According to the said structure, the air flow changes by the part of the to-be-processed gas which is taken into the housing from the intake port and directed toward the exhaust port collides with the windshield member. As described above, the windshield member is disposed so as to surround the tube body of the excimer lamp or to sandwich the tube body. That is, a separation region is formed between the tube body of the excimer lamp and the windshield member. For this reason, the gas to be treated flows into the spaced area between the tube body and the windshield member. When the windshield member is provided, the space to be allowed to flow through the gas to be processed, which is received from the intake port, at the location of the windshield member is rapidly narrowed. As a result, air flow toward the separation region between the tube body and the windshield member is generated.

이러한 구성에 의하여, 흡기구로부터 받아들여진 피처리 기체의 대부분이, 차풍 부재의 배치 개소에 있어서, 엑시머 램프의 관체의 근방을 통류하게 된다.With such a configuration, most of the gas to be treated received from the intake port flows through the vicinity of the tube body of the excimer lamp at the place where the windshield member is disposed.

그런데, 피처리 기체는, 탈취·살균하는 대상이 되는 기체가 상정되어 있고, 보다 상세한 구체예로서는, 자동차나 공장 등에 있어서의 배기 가스나, 실험 설비나 의료 현장과 같은 특정한 약제를 이용할 가능성이 있는 공간 내의 분위기를 들 수 있다. 이들 기체는, 산소와 수분을 포함한다.By the way, the gas to be treated is assumed to be a gas to be deodorized and sterilized, and as a more specific example, a space where there is a possibility to use exhaust gases in automobiles, factories, etc., or specific chemicals such as experimental facilities and medical sites. I can hear the atmosphere inside. These gases contain oxygen and moisture.

엑시머 램프로부터 방사되는 자외선은, 그 파장이 짧을수록 에너지가 높은 반면, 짧은 파장의 성분은 산소에 흡수되어 버린다. 파장 120nm~250nm 정도의 광에 대해서는, 산소에 의하여 흡수되는 것이 알려져 있고, 특히, 도 5 또는 도 13을 참조하여 후술되는 바와 같이, 파장 150nm~180nm의 광에 대해서는, 산소에 대한 흡수 계수가 높다. 이 때문에, 피처리 기체를 탈취·살균하기 위하여, 이와 같은 파장대의 광을 엑시머 램프로부터 방사시켰다고 하더라도, 피처리 기체에 포함되는 산소에 흡수되는 결과, 피처리 기체에 대하여 충분히 광을 도달하게 할 수 없다.Ultraviolet rays emitted from an excimer lamp have higher energy as the wavelength is shorter, while components with a shorter wavelength are absorbed by oxygen. For light having a wavelength of about 120 nm to 250 nm, it is known to be absorbed by oxygen. In particular, for light having a wavelength of 150 nm to 180 nm, the absorption coefficient for oxygen is high, as will be described later with reference to Figs. . For this reason, even if light of such a wavelength band is emitted from an excimer lamp in order to deodorize and sterilize the gas to be treated, the light absorbed by the oxygen contained in the gas to be treated can be sufficiently reached to the gas to be treated. none.

상기의 구성에 의하면, 차풍 부재가 설치됨으로써, 흡기구로부터 받아들여진 피처리 기체를, 의도적으로 엑시머 램프의 관체의 근방으로 통류시킬 수 있다. 따라서, 상기와 같이 짧은 파장대의 자외선을 엑시머 램프로부터 출사시킨 경우이더라도, 흡기구로부터 받아들여진 피처리 기체의 대부분에 자외선을 조사시킬 수 있다. 이것에 의하여, 피처리 기체에 포함되는 악취·유해 물질의 분해 성능을 높일 수 있다.According to the said structure, when a windshield member is provided, the to-be-processed gas received from the intake port can be intentionally flowed near the tube body of the excimer lamp. Therefore, even in the case where the ultraviolet rays of the short wavelength band are emitted from the excimer lamp as described above, most of the gas to be treated received from the intake port can be irradiated with ultraviolet rays. Thereby, the decomposition performance of odor and harmful substances contained in the gas to be treated can be improved.

또한, 피처리 기체는, 차풍 부재와 관체 사이의 위치를 통류한 후, 통류 가능 영역이 넓어지는 것으로부터, 압력차에 기인한 난류를 발생시키기 쉽다. 이 난류에 의하여, 피처리 기체는, 함유하고 있었던 악취·유해 물질이 완전하게 분해된 기류와, 함유하고 있었던 악취·유해 물질의 일부가 분해되지 않고 잔존하고 있었던 기류가 혼합된 후, 배기구를 향하여 흐른다. 이 때문에, 차풍 부재의 후단(後段)의 위치에 있어서도, 엑시머 램프의 근방에는 악취·유해 물질을 포함하는 기류가 통류하기 쉬워지기 때문에, 엑시머 램프로부터 출사되는 자외선이 조사됨으로써, 이 악취·유해 물질을 추가로 분해할 수 있다.In addition, the gas to be treated is likely to generate turbulence due to a pressure difference since the flowable area is widened after passing the position between the windshield member and the tube body. Due to this turbulence, the gas to be treated is mixed with an airflow in which the malodorous and harmful substances contained have been completely decomposed, and an airflow in which a part of the malodorous and harmful substances contained has remained without decomposition is mixed, and then toward the exhaust port. Flows. For this reason, even in the position of the rear end of the windshield member, the air stream containing the odor and harmful substance tends to flow through the vicinity of the excimer lamp, so that the ultraviolet light emitted from the excimer lamp is irradiated, thereby causing this odor and harmful substance. Can be further decomposed.

엑시머 램프로부터 방사되는 자외선은, 160nm 이상 180nm 미만의 범위 내에 포함되는 파장대(이하, 「제1 파장대(λ1)」이라고 한다.)의 광을 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable that the ultraviolet rays emitted from the excimer lamp include light in a wavelength band (hereinafter referred to as "first wavelength band (λ 1 )") contained within a range of 160 nm or more and less than 180 nm.

엑시머 램프의 근방을 통류하는 피처리 기체에 대하여, 엑시머 램프로부터의 제1 파장대(λ1)의 출사광이 조사됨으로써, 높은 반응성을 나타내는 여기 상태의 산소 원자 O(1D)나 히드록시 라디칼(·OH)이 생성된다. 이것에 의하여, 오존(O3)으로 분해하기 어려운 물질(예를 들면 포름알데히드)에 대해서도 높은 분해 성능을 나타낸다.The excimer lamp is irradiated with light emitted from the first wavelength band (λ 1 ) from the excimer lamp to the target gas flowing in the vicinity of the excimer lamp, whereby the highly reactive oxygen atom O( 1 D) or hydroxy radical ( OH) is produced. Thereby, even a substance (eg formaldehyde) that is difficult to decompose with ozone (O 3 ) exhibits high decomposition performance.

하우징은, 중공(中空)의 통 형상인 한에 있어서, 형상은 임의이다. 예를 들면, 원통관 형상이나, 각관 형상 등, 다양한 형상을 채용할 수 있다.As long as the housing is a hollow cylindrical shape, the shape is arbitrary. For example, various shapes, such as a cylindrical tube shape and a square tube shape, can be adopted.

상기 차풍 부재는,The windshield member,

상기 제1 방향에서 보았을 때 상기 관체를 덮도록 개구된 제1 개구부와, 상기 제1 개구부보다 외측의 영역이고, 개구가 형성되어 있지 않은 차폐부를 가지며, A first opening opening to cover the tube body when viewed from the first direction, a region outside the first opening, and having a shield that does not have an opening,

상기 제1 개구부의 내측에 위치하는 상기 관체와, 상기 차폐부의 상기 제1 개구부측의 내연(內緣)의 이격 거리가 1mm 이상 10mm 이하인 것으로 해도 상관없다.The separation distance between the tube body positioned inside the first opening portion and the inner edge of the shield portion on the first opening side may be 1 mm or more and 10 mm or less.

상기 구성에 있어서, 차풍 부재는, 차폐부의 중앙에 개구(제1 개구부)가 형성된 형상을 나타내고, 이 제1 개구부를 관통하도록 엑시머 램프의 관체가 배치되어 있다. 차폐부에 충돌한 피처리 기체는, 제1 개구부를 통하여 관체의 근방을 제1 방향을 따라 통류한다.In the above structure, the windshield member has a shape in which an opening (first opening) is formed in the center of the shield, and the tube body of the excimer lamp is arranged to penetrate through the first opening. The gas to be treated collided with the shield passes through the first opening in the vicinity of the tube body along the first direction.

여기에서, 상기와 같이, 제1 개구부의 내측에 위치하는 관체와, 차폐부의 제1 개구부측의 내연의 이격 거리를, 1mm 이상 10mm 이하의 매우 좁은 거리로 해 둠으로써, 엑시머 램프로부터 방사되는 자외선이, 상기 제1 파장대(λ1)의 광을 포함하는 경우이더라도, 이러한 광을 피처리 기체에 대하여 충분히 조사시킬 수 있다.Here, as described above, by setting the separation distance between the tube located inside the first opening and the inner edge of the first opening side of the shield to a very narrow distance of 1 mm or more and 10 mm or less, ultraviolet rays emitted from the excimer lamp Even in the case where the light of the first wavelength band λ 1 is included, such light can be sufficiently irradiated to the gas to be processed.

상기 구성에 있어서,In the above configuration,

상기 차풍 부재는, 상기 제1 방향으로 이격하여 2개 이상이 배치되고,Two or more of the windshield members are spaced apart in the first direction,

상기 제1 방향으로 인접하는 2개의 상기 차풍 부재 중 상기 흡기구에 가까운 측에 위치하는 제1 차풍 부재가 구비하는 상기 제1 개구부의 적어도 일부와, 상기 2개의 상기 차풍 부재 중 상기 배기구에 가까운 측에 위치하는 제2 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부가, 상기 제1 방향에서 보았을 때에, 서로 겹쳐지는 것으로 해도 상관없다.At least a portion of the first opening provided by the first windshield member located on the side closer to the intake port among the two windshield members adjacent in the first direction, and the side closer to the exhaust port of the two windshield members It does not matter even if the shielding parts provided by the second wind-shielding member positioned overlap each other when viewed from the first direction.

차풍 부재를 설치함으로써, 피처리 기체는 제1 개구부 내를 통류한다. 이것에 의하여 피처리 기체가 엑시머 램프의 관체의 근방을 통류하기 때문에, 엑시머 램프로부터 단파장(예를 들면, 상기 제1 파장대(λ1))의 자외선이 조사되는 경우이더라도, 피처리 기체에 대하여 충분히 조사시킬 수 있다. 단, 피처리 기체가 제1 방향을 따라 제1 개구부 내를 통류하는 길이는, 차풍 부재의 제1 방향에 관련된 길이(이하, 「두께」라고 한다.)에 의존한다. 즉, 차풍 부재의 두께가 얇은 경우에는, 단파장의 자외선이 피처리 기체에 조사되는 시간이 짧아지기 때문에, 하우징 내에 도입되는 피처리 기체의 유량에 따라서는, 피처리 기체에 포함되는 악취·유해 물질이 다 분해되지 못하고 잔존하는 경우도 상정된다.By providing the windshield member, the gas to be treated flows through the first opening. Since the gas to be treated flows in the vicinity of the tube body of the excimer lamp by this, even when ultraviolet light of a short wavelength (for example, the first wavelength band (λ 1 )) is irradiated from the excimer lamp, it is sufficient for the gas to be treated. Can be investigated. However, the length through which the gas to be processed flows through the first opening in the first direction depends on the length (hereinafter referred to as "thickness") related to the first direction of the windshield member. That is, when the thickness of the windshield member is thin, the time for irradiating short-wavelength ultraviolet rays to the target gas is shortened, and depending on the flow rate of the target gas introduced into the housing, odor and harmful substances contained in the target gas It is also assumed that all of this remains unresolved.

그러나, 상기의 구성에 의하면, 제1 방향을 따라, 차풍 부재가 복수 장 설치되어 있기 때문에, 피처리 기체가 전단(前段)의 차풍 부재의 제1 개구부 내를 통류한 후, 만일 악취·유해 물질이 잔존하고 있었다고 하더라도, 이 피처리 기체는, 후단의 차풍 부재의 제1 개구부 내를 통류함으로써, 재차 엑시머 램프의 관체의 근방을 통류할 수 있다. 이것에 의하여, 악취·유해 물질의 분해 성능이 향상된다.However, according to the above-described configuration, since a plurality of wind-blocking members are provided along the first direction, after the gas to be treated flows through the first opening of the wind-blocking member at the front end, if there is an odor or harmful substance Even if it remains, the gas to be treated can flow through the vicinity of the tube body of the excimer lamp again by flowing through the first opening of the rear windshield member. Thereby, the decomposition performance of odor and harmful substances is improved.

또한, 상기의 구성에 의하면, 제1 차풍 부재가 구비하는 제1 개구부의 적어도 일부와, 제2 차풍 부재가 구비하는 차폐부가, 제1 방향에서 보았을 때에, 서로 겹쳐지도록 배치되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 제1 차풍 부재의 제1 개구부를 제1 방향으로 통류한 피처리 기체의 일부가, 제2 차풍 부재의 차폐부에 충돌하기 쉬워진다. 그 결과, 제2 차풍 부재의 전단의 위치에 있어서 난류가 발생하기 쉬워진다. 이것에 의하여, 피처리 기체 내에 있어서 악취·유해 물질이 잔존하고 있는 기류와, 악취·유해 물질이 분해되어 있는 기류가 혼합한 후, 제2 차풍 부재의 제1 개구부를 통하여 엑시머 램프의 관체의 근방을 통류하기 때문에, 악취·유해 물질의 분해 성능이 더욱 향상된다.Moreover, according to the said structure, at least a part of the 1st opening part provided in the 1st wind-shielding member, and the shielding part provided in the 2nd wind-shielding member are arrange|positioned so that it may overlap with each other when seen from the 1st direction. According to such a structure, a part of the to-be-processed gas which flowed through the 1st opening part of the 1st windshield member in a 1st direction becomes easy to collide with the shielding part of a 2nd windshield member. As a result, turbulence is likely to occur at the position of the front end of the second windshield member. Thereby, after the airflow in which the malodorous and harmful substances remain in the gas to be treated and the airflow in which the malodorous and harmful substances are decomposed are mixed, the vicinity of the tube body of the excimer lamp is passed through the first opening of the second windshield member. By passing through, the decomposition performance of odor and harmful substances is further improved.

상기 구성에 있어서,In the above configuration,

상기 제1 개구부는, 회전 비대칭인 형상을 가지고,The first opening has a rotationally asymmetric shape,

상기 제1 차풍 부재를 소정의 각도만큼 회전시키면, 상기 제1 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부의 상기 제1 개구부측의 내연과, 상기 제2 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부의 상기 제1 개구부측의 내연이, 상기 제1 방향에서 보았을 때에 겹쳐지는 것으로 해도 상관없다.When the first windshield member is rotated by a predetermined angle, the inner edge of the first opening side of the shield part provided by the first windshield member and the first opening side of the shield part provided by the second windshield member are It does not matter even if the internal combustion overlaps when viewed from the first direction.

구체예로서는, 제1 개구부는, 타원 형상, 난형 형상, 직사각형 형상 등의 형상을 나타낼 수 있다. 일례로서, 제1 개구부가 타원 형상인 경우에, 제1 차풍 부재의 장경 방향과, 제2 차풍 부재의 단경 방향을 평행으로 하여 배치하는 것으로 해도 상관없다.As a specific example, the 1st opening part can show the shape, such as an ellipse shape, an oval shape, and a rectangular shape. As an example, in the case where the first opening portion has an elliptical shape, it is also possible to arrange the long diameter direction of the first windshield member and the short diameter direction of the second windshield member in parallel.

상기 차풍 부재는,The windshield member,

상기 제1 방향에서 보았을 때에, 상기 관체를 사이에 두고 이격한 2개소 이상의 위치에 배치된, 개구가 형성되어 있지 않은 차폐부와, When viewed from the first direction, the shield is disposed in two or more locations spaced apart between the tube body, the opening is not formed, and the shield,

2개소 이상의 상기 차폐부 사이에 끼인 공간 영역인 제1 개구부를 가지고 이루어지며, It is made of a first opening that is a space area sandwiched between two or more shields,

상기 제1 개구부 내에 위치하는 상기 관체와, 상기 차폐부의 상기 제1 개구부측의 외연(外緣)의 이격 거리가 1mm 이상 10mm 이하인 것으로 해도 상관없다.The separation distance between the tube body located in the first opening and the outer edge of the shield on the first opening side may be 1 mm or more and 10 mm or less.

상기 구성에 있어서, 차풍 부재는, 2개소 이상의 위치에 배치된 차폐부를 가지고, 이들 차폐부 사이에 끼인 공간 영역(제1 개구부) 내에 엑시머 램프의 관체가 배치되어 있다. 이러한 구성에 있어서도, 차폐부에 충돌한 피처리 기체는, 제1 개구부를 통하여 관체의 근방을 제1 방향을 따라 통류한다. 그리고, 제1 개구부 내에 위치하는 관체와, 차폐부의 제1 개구부측의 외연의 이격 거리를, 1mm 이상 10mm 이하의 매우 좁은 거리로 해 둠으로써, 엑시머 램프로부터 방사되는 자외선이, 상기 제1 파장대(λ1)의 광을 포함하는 경우이더라도, 이러한 광을 피처리 기체에 대하여 충분히 조사시킬 수 있다.In the above-described configuration, the windshield member has shields arranged at two or more locations, and the tube body of the excimer lamp is disposed in a space region (first opening) sandwiched between these shields. Even in such a configuration, the gas to be treated colliding with the shielding portion flows through the first opening in the vicinity of the tube body along the first direction. In addition, by setting the separation distance between the tube located in the first opening and the outer edge of the shield on the first opening side to a very narrow distance of 1 mm or more and 10 mm or less, the ultraviolet radiation emitted from the excimer lamp is applied to the first wavelength band ( Even in the case of including the light of λ 1 ), such light can be sufficiently irradiated to the gas to be treated.

상기 차풍 부재는, 상기 제1 방향으로 이격한 2개소 이상의 위치에 배치되고,The windshield member is disposed at two or more locations spaced apart in the first direction,

상기 제1 방향으로 인접하는 2개의 상기 차풍 부재 중 상기 흡기구에 가까운 측에 위치하는 제1 차풍 부재가 구비하는 상기 제1 개구부의 적어도 일부와, 상기 2개의 상기 차풍 부재 중 상기 배기구에 가까운 측에 위치하는 제2 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부가, 상기 제1 방향에서 보았을 때에, 서로 겹쳐지는 것으로 해도 상관없다.At least a portion of the first opening provided by the first windshield member located on the side closer to the intake port among the two windshield members adjacent in the first direction, and the side closer to the exhaust port of the two windshield members It does not matter even if the shielding parts provided by the second wind-shielding member positioned overlap each other when viewed from the first direction.

상기의 구성에 의하면, 제1 방향을 따라, 차풍 부재가 복수 개소에 설치되어 있기 때문에, 피처리 기체가 전단의 차풍 부재의 제1 개구부 내를 통류한 후, 만일 악취·유해 물질이 잔존하고 있었다고 하더라도, 이 피처리 기체는, 후단의 차풍 부재의 제1 개구부 내를 통류함으로써, 재차 엑시머 램프의 관체의 근방을 통류할 수 있다. 이것에 의하여, 악취·유해 물질의 분해 성능이 향상된다.According to the above-mentioned configuration, since the windshield member is provided at a plurality of places along the first direction, after the gas to be processed flows through the first opening of the windshield member of the front end, if the odor or harmful substance remains, Even if the gas to be treated flows through the first opening of the rear windshield member, the gas to be treated can flow through the vicinity of the tube body of the excimer lamp again. Thereby, the decomposition performance of odor and harmful substances is improved.

상기 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부는, 반원 형상 또는 직사각형 형상인 것으로 해도 상관없다.The shielding portion of the windshield member may be semi-circular or rectangular.

상기 차풍 부재는,The windshield member,

상기 제1 방향으로 이격하여 2개 이상이 배치되어 있고, Two or more are spaced apart in the first direction,

상기 제1 방향에서 보았을 때 상기 관체를 덮도록 개구된 제1 개구부와, A first opening opening to cover the tube when viewed in the first direction,

상기 제1 개구부보다 외측의 영역이고, 개구가 형성되어 있지 않은 차폐부와, An area outside the first opening and having no opening, and

상기 차폐부의 영역 내에 있어서, 부분적으로 복수의 개구가 분산되어 형성된 제2 개구부를 구비하며, In the area of the shield, a second opening formed by partially dispersing a plurality of openings is provided,

상기 흡기구에 가장 가까운 위치에 배치된 상기 차풍 부재에 형성된 상기 제2 개구부는, 상기 제1 방향에 관하여, 적어도 어느 하나의 상기 차풍 부재에 설치된 상기 차폐부와, 적어도 일부분이 겹쳐지는 위치에 배치되어 있는 것으로 해도 상관없다.The second opening formed in the windshield member disposed at the position closest to the intake port is disposed at a position where at least a portion overlaps with the shield provided in at least one windshield member with respect to the first direction. It does not matter even if it exists.

상기의 구성에 의하면, 엑시머 램프로부터 떨어진 위치에 의도적으로 피처리 기체를 일시적으로 체류시킬 수 있다.According to the above structure, it is possible to intentionally temporarily retain the gas to be treated at a position away from the excimer lamp.

그런데, 엑시머 램프로부터 방사되는 자외선의 파장은, 관체에 충전되는 방전용 가스의 종류에 의존한다. 예를 들면, 방전용 가스로서 Xe를 포함하는 가스를 이용하는 경우, 엑시머 램프로부터 방사되는 자외선은, 160nm 이상 180nm 미만의 범위 내(제1 파장대(λ1))의 성분과, 180nm 이상 200nm 미만의 범위 내(이하, 「제2 파장대(λ2)」라고 한다)의 성분을 포함한다.By the way, the wavelength of the ultraviolet rays emitted from the excimer lamp depends on the kind of discharge gas charged in the tube body. For example, when a gas containing Xe is used as a gas for discharge, ultraviolet rays emitted from an excimer lamp are within a range of 160 nm or more and less than 180 nm (first wavelength band (λ 1 )) and 180 nm or more and less than 200 nm. Includes components within a range (hereinafter referred to as "second wavelength band (λ 2 )").

상술한 바와 같이, 엑시머 램프의 근방을 통류하는 피처리 기체에 대하여, 엑시머 램프로부터의 제1 파장대(λ1)의 출사광이 조사되면, 여기 상태의 산소 원자 O(1D) 및 오존(O3)이 생성된다. O(1D)는, 수분(H2O)과 반응함으로써, 높은 반응성을 나타내는 히드록시 라디칼(·OH)을 생성한다.As described above, when the light emitted from the excimer lamp in the first wavelength band λ 1 is irradiated to the gas to be flowed through the vicinity of the excimer lamp, oxygen atoms O( 1 D) and ozone (O) in the excited state 3 ) is generated. O( 1 D) reacts with moisture (H 2 O) to produce a hydroxy radical (·OH) that exhibits high reactivity.

또한, 추가로, 엑시머 램프로부터 떨어진 위치에 체류하는, 오존(O3)을 포함하는 피처리 기체에 대하여, 엑시머 램프로부터의 출사광(특히 제2 파장대(λ2)의 광)이 조사됨으로써, 여기 상태의 산소 원자 O(1D)가 생성된다. 상기의 구성에 의하면, 엑시머 램프로부터 떨어진 위치에 있어서 피처리 기체를 체류시킬 수 있기 때문에, 반응성이 높은 O(1D)나 ·OH를 많이 생성할 수 있다.In addition, the light emitted from the excimer lamp (especially light in the second wavelength band λ 2 ) is irradiated to the gas to be treated containing ozone (O 3 ), which stays at a position away from the excimer lamp, Oxygen atom O( 1 D) in the excited state is produced. According to the above configuration, since the gas to be treated can remain at a position away from the excimer lamp, it is possible to generate a large amount of highly reactive O( 1 D) or OH.

상기 흡기구에 가장 가까운 위치에 배치된 상기 차풍 부재에 형성된 복수의 상기 제2 개구부 중, 반수 이상의 상기 제2 개구부가, 상기 제1 방향에 관하여, 적어도 어느 하나의 상기 차풍 부재에 설치된 상기 차폐부와, 적어도 일부분이 겹쳐지는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하고, 모든 상기 제2 개구부가, 상기 제1 방향에 관하여, 적어도 어느 하나의 상기 차풍 부재에 설치된 상기 차폐부와, 적어도 일부분이 겹쳐지는 위치에 배치되어 있는 것이 보다 바람직하다.Of the plurality of second openings formed in the windshield member disposed at a position closest to the intake port, at least half of the second openings may include the shield provided on at least one of the windshield members with respect to the first direction. , It is preferable that at least a portion is disposed in a position overlapping, and all the second openings, with respect to the first direction, are at least partially overlapped with the shield provided on at least one of the windshield members. It is more preferably arranged.

또한, 상기 흡기구에 가장 가까운 위치에 배치된 상기 차풍 부재에 형성된 상기 제2 개구부는, 상기 제1 방향에 관하여, 적어도 어느 하나의 상기 차풍 부재에 설치된 상기 차폐부와, 50% 이상의 면적이 겹쳐지도록 배치되는 것이 바람직하고, 90% 이상의 면적이 겹쳐지도록 배치되는 것이 보다 바람직하며, 100%의 면적이 겹쳐지도록 배치되는 것이 보다 더 바람직하다.In addition, the second opening formed in the windshield member disposed at the position closest to the intake port may overlap an area of 50% or more with the shield provided in at least one of the windshield members with respect to the first direction. It is preferably arranged, more preferably 90% or more of the area is overlapped, and more preferably 100% of the area is overlapped.

모든 상기 차풍 부재에 형성된 상기 제2 개구부의 각각은, 상기 제1 방향에 관하여, 적어도 어느 하나의 상기 차풍 부재에 설치된 상기 차폐부와, 적어도 일부가 겹쳐지는 위치에 배치되어 있는 것으로 해도 상관없다. 이 경우에 있어서도, 상기 제1 방향에 관하여, 상기 제2 개구부의 각각과, 적어도 어느 하나의 상기 차풍 부재에 설치된 상기 차폐부는, 50% 이상의 면적이 겹쳐지도록 배치되는 것이 바람직하고, 90% 이상의 면적이 겹쳐지도록 배치되는 것이 보다 바람직하며, 100%의 면적이 겹쳐지도록 배치되는 것이 보다 더 바람직하다.Each of the second openings formed in all the windshield members may be disposed in a position where at least a portion of the shield provided on at least one of the windshield members overlaps with respect to the first direction. Also in this case, with respect to the first direction, it is preferable that each of the second openings and the shield provided on at least one of the windshield members are arranged such that 50% or more of the area overlaps, and 90% or more of the area It is more preferably arranged to overlap, and even more preferably to be arranged such that 100% of the area overlaps.

상기 구성에 의하면, 엑시머 램프로부터 떨어진 위치에 있어서, 흡기구로부터 배기구를 향하여 통류하는 피처리 기체의 속도를 저하시키는 효과를 높일 수 있기 때문에, 더 많은 O(1D) 및 ·OH를 생성하는 것이 가능해진다.According to the above configuration, since the effect of lowering the speed of the gas to be flowed from the intake port toward the exhaust port at a position away from the excimer lamp can be increased, it is possible to generate more O( 1 D) and OH. Becomes

상기 엑시머 램프는, 상기 제1 방향을 길이 방향으로 하는 장척 형상을 나타내고, 복수의 상기 차풍 부재에 형성된 상기 제1 개구부를 관통하도록 배치되어 있는 것으로 해도 상관없다. 이 경우에 있어서, 기체 처리 장치 내에, 상기 제1 방향을 길이 방향으로 하는 장척 형상을 나타내는, 복수 개의 엑시머 램프가, 제1 방향과는 상이한 방향으로 이격하고, 실질적으로 평행하게 배치되는 것으로 해도 상관없다.The excimer lamp may have a long shape in which the first direction is a longitudinal direction, and may be disposed so as to penetrate through the first openings formed in the plurality of windshield members. In this case, a plurality of excimer lamps having a long shape with the first direction in the longitudinal direction may be spaced apart in a direction different from the first direction and disposed substantially parallel in the gas processing apparatus. none.

상기 차풍 부재는, 상기 제1 방향과 교차하는 면을 가지고,The windshield member has a surface intersecting the first direction,

복수의 상기 제2 개구부는, 상기 차풍 부재의 상기 면 상에 있어서 동심원 형상으로 배치되어 있는 것으로 해도 상관없다. 이 경우, 차풍 부재를 단순히 회전시킴으로써, 복수의 차풍 부재에 형성된 제2 개구부끼리의 상대적인 위치 관계를 조정할 수 있다.The plurality of second openings may be arranged on the surface of the windshield member in a concentric circle shape. In this case, by simply rotating the windshield member, the relative positional relationship between the second openings formed in the plurality of windshield members can be adjusted.

엑시머 램프는, 그 길이 방향을, 제1 방향(피처리 기체의 유로 방향과 평행한 방향)과 교차하는 방향으로 하는 양태로 배치되는 것으로 해도 상관없다.The excimer lamp may be arranged in such a manner that its longitudinal direction is a direction intersecting the first direction (direction parallel to the flow path direction of the gas to be treated).

즉, 상기 기체 처리 장치는,That is, the gas processing apparatus,

상기 제1 방향과 교차하는 방향을 길이 방향으로 하는 장척 형상을 나타내고, 상기 제1 방향으로 이격하여 배치된 복수의 상기 엑시머 램프를 구비하며,It has a long shape with a direction crossing the first direction in a longitudinal direction, and includes a plurality of excimer lamps spaced apart in the first direction,

복수의 상기 엑시머 램프 중, 적어도 2개의 상기 엑시머 램프는, 상기 길이 방향에 관련된 부분이, 상이한 상기 차풍 부재에 형성된 상기 길이 방향에 평행한 방향으로 연신하는 형상을 나타내는 상기 제1 개구부 내에 위치하도록 배치될 수 있다.Of the plurality of excimer lamps, at least two of the excimer lamps are arranged such that a portion related to the longitudinal direction is located in the first opening showing a shape extending in a direction parallel to the longitudinal direction formed on the different windshield member. Can be.

이 경우에 있어서, 적어도 2장의 상기 차풍 부재는, 상기 길이 방향에 평행한 방향에 관하여, 상기 제1 개구부의 형성 위치가 어긋나 있는 것으로 해도 상관없다. 이 구성에 의해서도, 엑시머 램프로부터 떨어진 위치에 있어서 피처리 기체를 일시적으로 체류시키는 기능을 높일 수 있다.In this case, at least two of the wind-blocking members may be displaced from the position where the first opening is formed with respect to a direction parallel to the longitudinal direction. Even with this configuration, the function of temporarily retaining the gas to be treated at a position away from the excimer lamp can be enhanced.

상기 엑시머 램프는, 상기 제1 방향에 관하여, 상기 차풍 부재로부터 일부분이 돌출하여 배치되어 있는 것으로 해도 상관없다.The excimer lamp may be arranged such that a portion of the extruder lamp protrudes from the windshield member.

상기 제1 개구부 내에 위치하는 상기 엑시머 램프와, 상기 제1 개구부의 외측에 위치하는 상기 차폐부의 사이에, 1mm 이상 10mm 이하의 간극이 형성되어 있는 것으로 해도 상관없다. 이 구성에 의하여, 엑시머 램프로부터 사출된 광 중, 제1 파장대(λ1)의 성분을 나타내는 광을, 충분한 유량으로 통류하는 피처리 기체에 대하여 조사시켜, O(1D) 및 ·OH를 생성할 수 있다.A gap of 1 mm or more and 10 mm or less may be formed between the excimer lamp positioned in the first opening and the shield located outside the first opening. With this configuration, of the light emitted from the excimer lamp, light showing a component of the first wavelength band λ 1 is irradiated with respect to the gas to be flowed through at a sufficient flow rate to generate O( 1 D) and OH. can do.

상기 기체 처리 장치는, 복수의 상기 엑시머 램프를 구비하고,The gas processing apparatus is provided with a plurality of the excimer lamp,

상기 차풍 부재가, 복수의 상기 엑시머 램프의 각각이 구비하는 상기 관체를 둘러싸도록, 또는 상기 관체를 사이에 두도록 배치되어 있는 것으로 해도 상관없다.The windshield member may be arranged so as to surround the tubular body provided by each of the plurality of excimer lamps or to be spaced between the tubular bodies.

본 발명의 기체 처리 장치에 의하면, 종래의 장치와 비교하여, 반응성이 높은 물질(예를 들면 O(1D)나 ·OH 등)과, 피처리 기체에 포함되는 악취·유해 물질의 접촉 확률을 증가시킬 수 있기 때문에, 오존(O3)만으로는 분해하기 어려운 악취 성분에 대해서도 분해 성능을 향상시킬 수 있다.According to the gas treatment apparatus of the present invention, the probability of contact between a highly reactive substance (for example, O( 1 D), OH, etc.) and a malodorous or harmful substance contained in the gas to be treated is compared with that of a conventional apparatus. Since it can be increased, it is possible to improve the decomposition performance even for odor components that are difficult to decompose only with ozone (O 3 ).

도 1은 제1 실시 형태의 기체 처리 장치를 XY평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도이다.
도 2는 도 1의 영역 A1 부분을 확대한 모식적인 사시도이다.
도 3은 엑시머 램프를 XY평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도의 일례이다.
도 4a는 제1 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재(20a)를 X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 4b는 제1 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재(20b)를 X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 4c는 제1 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)의 위치 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 Xe를 포함하는 방전용 가스가 충전된 엑시머 램프의 발광 스펙트럼과, 산소(O2) 및 오존(O3)의 흡수 스펙트럼을 겹쳐 표시한 그래프이다.
도 6은 차풍 부재가 없는 경우에 있어서, 엑시머 램프의 표면으로부터의 거리와, 피처리 기체에 포함되는 히드록시 라디칼(·OH)의 농도의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 7a는 제1 실시 형태의 기체 처리 장치의 다른 구조를 모식적으로 나타내는 부분 사시도이다.
도 7b는 제1 실시 형태의 기체 처리 장치의 다른 구조를 모식적으로 나타내는 부분 사시도이다.
도 8은 제2 실시 형태의 기체 처리 장치를 XY평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도이다.
도 9는 도 8의 영역 A2 부분을 확대한 모식적인 사시도이다.
도 10a는 제2 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재(20a)를 X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 10b는 제2 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재(20b)를 X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 10c는 제2 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)의 위치 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 제3 실시 형태의 기체 처리 장치를 XY평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도이다.
도 12a는 제3 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는, 하나의 차풍 부재를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 12b는 제3 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는, 다른 하나의 차풍 부재를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 12c는 제3 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재에 형성된 제2 개구부의 위치를 설명하기 위한 모식적인 도면이다.
도 13은 Xe를 포함하는 방전용 가스가 충전된 엑시머 램프의 발광 스펙트럼과, 산소(O2) 및 오존(O3)의 흡수 스펙트럼을 겹쳐 표시한 그래프이다.
도 14는 제3 실시 형태의 기체 처리 장치의 다른 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 15는 제3 실시 형태의 기체 처리 장치의 다른 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 16a는 도 15에 나타내는 기체 처리 장치가 구비하는, 하나의 차풍 부재를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 16b는 도 15에 나타내는 기체 처리 장치가 구비하는, 다른 하나의 차풍 부재를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 17a는 제3 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는, 하나의 차풍 부재를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 17b는 제3 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는, 다른 하나의 차풍 부재를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 17c는 제3 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재에 형성된 제2 개구부의 위치를 설명하기 위한 모식적인 도면이다.
도 18은 제3 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재에 형성된 제2 개구부의 위치를 설명하기 위한 모식적인 도면이다.
도 19a는 제4 실시 형태의 기체 처리 장치를 XY평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도이다.
도 19b는 제4 실시 형태의 기체 처리 장치를 XZ평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도이다.
도 20a는 제4 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는, 하나의 차풍 부재를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 20b는 제4 실시 형태의 기체 처리 장치가 구비하는, 다른 하나의 차풍 부재를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 21은 제4 실시 형태의 기체 처리 장치의 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 22a는 도 21에 나타내는 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재(20a)를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 22b는 도 21에 나타내는 기체 처리 장치가 구비하는 차풍 부재(20b)를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다.
도 23은 실시예 2-1~2-2, 비교예 2-1~2-3, 및 참고예에 있어서의, 포름알데히드(HCHO)의 분해 양태를 비교한 그래프이다.
도 24는 일중관 구조의 엑시머 램프를 YZ평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도의 일례이다.
도 25는 이중관 구조의 엑시머 램프를 YZ평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도의 일례이다.
도 26은 편평관 구조의 엑시머 램프를 YZ평면에서 절단했을 때의 모식적인 단면도의 일례이다.1 is a schematic cross-sectional view when the gas processing apparatus of the first embodiment is cut in the XY plane.
FIG. 2 is a schematic perspective view enlarging a portion of area A1 of FIG. 1.
3 is an example of a schematic cross-sectional view when the excimer lamp is cut in the XY plane.
4A is a schematic plan view when the windshield member 20a of the gas processing apparatus of the first embodiment is viewed in the X direction.
4B is a schematic plan view when the windshield member 20b included in the gas processing device of the first embodiment is viewed in the X direction.
4C is a view for explaining the positional relationship between the windshield member 20a and the windshield member 20b provided in the gas processing apparatus of the first embodiment.
5 is a graph showing the emission spectrum of the excimer lamp filled with the gas for discharge containing Xe and the absorption spectrum of oxygen (O 2 ) and ozone (O 3 ).
Fig. 6 is a graph showing the relationship between the distance from the surface of the excimer lamp and the concentration of hydroxy radicals (·OH) contained in the gas to be treated in the case where there is no windshield member.
7A is a partial perspective view schematically showing another structure of the gas processing apparatus of the first embodiment.
7B is a partial perspective view schematically showing another structure of the gas processing apparatus of the first embodiment.
8 is a schematic cross-sectional view when the gas processing apparatus of the second embodiment is cut in the XY plane.
9 is an enlarged schematic perspective view of the area A2 in FIG. 8.
10A is a schematic plan view when the windshield member 20a included in the gas processing device of the second embodiment is viewed in the X direction.
10B is a schematic plan view when the windshield member 20b included in the gas processing device of the second embodiment is viewed in the X direction.
10C is a view for explaining the positional relationship between the windshield member 20a and the windshield member 20b provided in the gas processing device of the second embodiment.
11 is a schematic cross-sectional view when the gas processing apparatus of the third embodiment is cut in the XY plane.
Fig. 12A is a schematic plan view of one gas-blocking member of the gas processing apparatus of the third embodiment when viewed from the X direction.
12B is a schematic plan view of the other windshield member provided in the gas processing apparatus of the third embodiment when viewed in the X direction.
It is a schematic diagram for demonstrating the position of the 2nd opening part formed in the windshield member provided in the gas processing apparatus of 3rd embodiment.
13 is a graph showing the emission spectrum of an excimer lamp filled with a discharge gas containing Xe and an absorption spectrum of oxygen (O 2 ) and ozone (O 3 ).
14 is a cross-sectional view schematically showing another structure of the gas processing apparatus of the third embodiment.
15 is a cross-sectional view schematically showing another structure of the gas processing apparatus of the third embodiment.
FIG. 16A is a schematic plan view of one gas-blocking member provided in the gas processing device shown in FIG. 15 when viewed in the X direction.
FIG. 16B is a schematic plan view of the other windshield member provided in the gas processing apparatus shown in FIG. 15 when viewed in the X direction.
17A is a schematic plan view of one gas-blocking member provided in the gas processing device of the third embodiment when viewed in the X direction.
17B is a schematic plan view of the other windshield member provided in the gas processing apparatus of the third embodiment when viewed from the X direction.
17C is a schematic view for explaining the position of the second opening formed in the windshield member provided in the gas processing device of the third embodiment.
18 is a schematic view for explaining the position of the second opening formed in the windshield member provided in the gas processing device of the third embodiment.
19A is a schematic cross-sectional view when the gas processing apparatus of the fourth embodiment is cut in the XY plane.
19B is a schematic cross-sectional view when the gas processing apparatus of the fourth embodiment is cut in the XZ plane.
20A is a schematic plan view when one gas-blocking member of the gas processing apparatus of the fourth embodiment is viewed in the X direction.
20B is a schematic plan view of the other windshield member provided in the gas processing apparatus of the fourth embodiment when viewed in the X direction.
21 is a cross-sectional view schematically showing the structure of the gas processing apparatus of the fourth embodiment.
22A is a schematic plan view of the windshield member 20a included in the gas processing apparatus shown in FIG. 21 when viewed from the X direction.
22B is a schematic plan view of the windshield member 20b included in the gas processing apparatus shown in FIG. 21 when viewed from the X direction.
23 is a graph comparing the decomposition mode of formaldehyde (HCHO) in Examples 2-1 to 2-2, Comparative Examples 2-1 to 2-3, and Reference Examples.
24 is an example of a schematic sectional view when the excimer lamp of the single tube structure is cut in the YZ plane.
25 is an example of a schematic sectional view when the excimer lamp of a double tube structure is cut in the YZ plane.
26 is an example of a schematic sectional view when the excimer lamp of a flat tube structure is cut in the YZ plane.

본 발명의 기체 처리 장치의 각 실시 형태에 따른 구성에 대하여, 적절히 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하의 도면에 있어서, 도면 상의 치수비와 실제의 치수비는 반드시 일치하는 것은 아니며, 각 도면 간에 있어서도 치수비는 반드시 일치하는 것은 아니다.The structure according to each embodiment of the gas processing apparatus of the present invention will be described with reference to the drawings as appropriate. In addition, in the following drawings, the dimensional ratio on the drawing and the actual dimensional ratio do not necessarily match, and the dimensional ratio does not necessarily match between the drawings.

[제1 실시 형태][First Embodiment]

본 발명의 기체 처리 장치의 제1 실시 형태에 대하여 설명한다.The first embodiment of the gas processing apparatus of the present invention will be described.

(구조)(rescue)

도 1은, 본 실시 형태의 기체 처리 장치의 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 도 2는, 도 1 내의 영역 A1 부분을 확대한 모식적인 사시도이다.1 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a gas processing device of the present embodiment. FIG. 2 is a schematic perspective view of an area A1 in FIG. 1 enlarged.

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)는, 하우징(3)과, 흡기구(5)와, 배기구(7)와, 엑시머 램프(10)와, 차풍 부재(20)를 구비한다. 또한, 이하에서는, 흡기구(5)로부터 배기구(7)를 향하는 방향을 X방향으로 하고, 이 X방향에 직교하는 평면을 YZ평면으로서 규정한다. 도 1에는, X, Y, 및 Z의 3방향이, 기체 처리 장치(1)와 함께 도시되어 있다. 여기에서는, X, Y, 및 Z의 3방향이, 우수계(右手系)의 좌표계인 것으로서 나타내어져 있다.The gas processing apparatus 1 of the present embodiment includes a housing 3, an intake port 5, an exhaust port 7, an excimer lamp 10, and a windshield member 20. In the following, the direction from the intake port 5 to the exhaust port 7 is set to the X direction, and a plane orthogonal to the X direction is defined as the YZ plane. In FIG. 1, three directions of X, Y, and Z are shown together with the gas treatment device 1. Here, the three directions of X, Y, and Z are shown as being coordinate systems of a superior system.

상기 좌표계를 이용하여 설명하면, 도 1은, 기체 처리 장치(1)를 XY평면에서 절단했을 때의 단면도에 대응한다.When described using the coordinate system, FIG. 1 corresponds to a cross-sectional view when the gas processing apparatus 1 is cut in the XY plane.

도 1에 있어서, 기체의 흐름이 모식적으로 이점쇄선 화살표로 나타내어지고, 광의 흐름이 모식적으로 파선 화살표로 나타내어져 있다. 본 실시 형태에 있어서, 유로 방향은 +X방향에 대응한다. 또한, 「제1 방향」은, +X방향 및 -X방향에 대응한다. 이하에서는, 방향의 정부(正負)를 구별할 필요가 없는 경우에는, 정부의 표기를 행하지 않는다.In Fig. 1, the flow of gas is schematically represented by double-dashed arrows, and the flow of light is schematically represented by dashed arrows. In this embodiment, the flow path direction corresponds to the +X direction. In addition, "first direction" corresponds to +X direction and -X direction. In the following, when there is no need to distinguish the positive and negative directions, the government notation is not used.

하우징(3)은, 중공의 통 형상을 가지고 있으며, 그 내측에 엑시머 램프(10)가 수용되어 있다. 흡기구(5)는, 기체 처리 장치(1)의 외측으로부터, 중공 형상의 하우징(3)의 내측(내부)에 피처리 기체(G1)를 도입하기 위한 개구부이다. 피처리 기체(G1)는, 산소 및 수분을 포함하는 기체이며, 예를 들면 공기나 배기 가스 등이다.The housing 3 has a hollow cylindrical shape, and an excimer lamp 10 is accommodated therein. The intake port 5 is an opening for introducing the gas to be processed G1 from the outside of the gas processing device 1 to the inside (inside) of the hollow housing 3. The gas to be treated G1 is a gas containing oxygen and moisture, and is, for example, air or exhaust gas.

또한, 하우징(3)의 형상에 관하여, 도 1에는, 엑시머 램프(10)가 수용되어 있는 영역의 개구부의 크기가, 흡기구(5) 및 배기구(7)가 위치하는 영역의 개구부의 크기보다 작은 경우가 도시되어 있지만, 이 형상은 어디까지나 일례이다. 즉, 본 발명의 기체 처리 장치(1)가 구비하는 하우징(3)의 형상에 관하여, 흡기구(5)가 위치하는 영역의 개구부의 크기와, 엑시머 램프(10)가 수용되어 있는 영역의 개구부의 크기와, 배기구(7)가 위치하는 영역의 개구부의 크기의 대소 관계는 임의이다. 예를 들면, 이들 3개소의 개구부의 크기는, 모두 거의 같아도 상관없다. 또한, 하우징(3)은, 원통관 형상이나 각관 형상 등의, 다양한 형상을 채용할 수 있다. 제2 실시 형태 이후에 있어서도 동일하다.In addition, with respect to the shape of the housing 3, in FIG. 1, the size of the opening of the region in which the excimer lamp 10 is accommodated is smaller than the size of the opening of the region where the intake port 5 and the exhaust port 7 are located. Although the case is shown, this shape is only an example. That is, with respect to the shape of the housing 3 provided in the gas treatment apparatus 1 of the present invention, the size of the opening in the region where the intake port 5 is located and the opening in the region in which the excimer lamp 10 is accommodated The relationship between the size and the size of the opening in the region where the exhaust port 7 is located is arbitrary. For example, the sizes of the openings at these three locations may be almost the same. In addition, various shapes, such as a cylindrical tube shape and a square tube shape, can be adopted for the housing 3. The same applies after the second embodiment.

도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)는, X방향으로 이격하여 배치된 2장의 차풍 부재(20(20a, 20b))를 구비하고 있다. 이하에서는, 차풍 부재(20a, 20b)를 총칭하여 「차풍 부재(20)」라고 하는 기재가 이용된다. 차풍 부재(20a)가 「제1 차풍 부재」에 대응하고, 차풍 부재(20b)가 「제2 차풍 부재」에 대응한다. 차풍 부재(20)는, 예를 들면 나사 체결 등의 방법으로 하우징(3)에 대하여 고정되어 있다. 차풍 부재(20)는, 하우징(3)과의 사이에, 실질적으로 극간이 형성되지 않도록 고정되어 있다.As shown in FIG. 2, the gas processing apparatus 1 of this embodiment is provided with two wind-shielding members 20 (20a, 20b) spaced apart in the X direction. In the following, descriptions of the windshield members 20a and 20b collectively as the “windshield member 20” are used. The windshield member 20a corresponds to the "first windshield member", and the windshield member 20b corresponds to the "second windshield member". The windshield member 20 is fixed to the housing 3 by a method such as screwing. The windshield member 20 is fixed between the housing 3 so as not to form a substantial gap.

도 2에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)는, X방향에서 보았을 때에, 차풍 부재(20)가 엑시머 램프(10)를 둘러싸도록 배치되어 있다. 보다 상세하게는, 차풍 부재(20)가, 엑시머 램프(10)의 관체(14)(발광관(13))(도 3 참조)를 둘러싸도록 배치되어 있다. 차풍 부재(20)와 엑시머 램프(10)의 위치 관계에 대해서는, 도 4a~도 4c를 참조하여 추가로 후술된다.2, the gas processing apparatus 1 of this embodiment is arrange|positioned so that the windshield member 20 may surround the excimer lamp 10 when viewed from the X direction. More specifically, the windshield member 20 is disposed so as to surround the tube body 14 (light emitting tube 13) (see FIG. 3) of the excimer lamp 10. The positional relationship between the windshield member 20 and the excimer lamp 10 will be further described later with reference to FIGS. 4A to 4C.

도 3은, 엑시머 램프(10)의 구조의 일례를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 엑시머 램프(10)는, 제1 전극(외부 전극)(11)과 제2 전극(내부 전극)(12)의 사이에 전압(예를 들면, 교류의 고전압)을 인가하기 위한 전원(도시하지 않음)을 구비한다.3 is a cross-sectional view schematically showing an example of the structure of the excimer lamp 10. The excimer lamp 10 is a power supply (not shown) for applying a voltage (for example, high voltage of alternating current) between the first electrode (external electrode) 11 and the second electrode (internal electrode) 12. ).

발광관(13)은, 양단에, 관체(14)의 내부를 기밀하게 하는 제1 봉지부(15) 및 제2 봉지부(16)를 구비한다. 관체(14)는, 합성 석영 유리 등의 유전체로 이루어지고, 내측에는 방전에 의하여 엑시머 분자를 형성하는 방전용 가스가 봉입되어 있다. 이 방전용 가스는, 크세논(Xe)을 포함하여 구성되어 있다. 방전용 가스의 보다 상세한 일례로서는, 크세논(Xe)과 네온(Ne)을 소정의 비율(예를 들면 3:7)로 혼재시킨 가스로 구성된다. 또한, 관체(14)에 포함되는 방전용 가스로서, 크세논(Xe)과 네온(Ne) 이외에, 산소나 수소를 미량으로 포함하는 것으로 해도 상관없다.The light-emitting tube 13 is provided at both ends with a first sealing portion 15 and a second sealing portion 16 that hermetically seal the inside of the tube body 14. The tube body 14 is made of a dielectric material such as synthetic quartz glass, and a gas for discharge that forms excimer molecules by discharge is sealed inside. This discharge gas is composed of xenon (Xe). As a more detailed example of the discharge gas, it is composed of a gas in which xenon (Xe) and neon (Ne) are mixed at a predetermined ratio (for example, 3:7). In addition, as the gas for discharge included in the tube 14, it is also possible to contain oxygen or hydrogen in a trace amount other than xenon (Xe) and neon (Ne).

제1 봉지부(15) 및 제2 봉지부(16)는, 각각 베이스부(35(35a, 35b))(도 1 참조)에 의하여 고정되어 있다. 베이스부(35)는, 스테아타이트, 포스테라이트, 사이알론, 알루미나 등의 세라믹스 재료(무기 재료)로 이루어지고, 관체(14)의 단부를 고정하는 기능을 가지고 있다.The first sealing portion 15 and the second sealing portion 16 are fixed by the base portions 35 (35a, 35b) (see Fig. 1), respectively. The base portion 35 is made of a ceramic material (inorganic material) such as steatite, forsterite, sialon, and alumina, and has a function of fixing the end portion of the tube body 14.

발광관(13)은, 제1 봉지부(15)에 매설되는 금속박(17)과, 제1 봉지부(15)에 일부가 매설되는 외부 리드(18)를 구비한다. 금속박(17)은, 내부 전극(12) 및 외부 리드(18)에 연결되어 있다. 이것에 의하여, 내부 전극(12), 금속박(17), 및 외부 리드(18)는, 상호에 전기적으로 접속되어 있다.The light-emitting tube 13 includes a metal foil 17 embedded in the first encapsulation 15 and an external lead 18 partially embedded in the first encapsulation 15. The metal foil 17 is connected to the inner electrode 12 and the outer lead 18. Thereby, the internal electrode 12, the metal foil 17, and the external lead 18 are electrically connected to each other.

본 실시 형태에 있어서, 외부 전극(11)은 통 형상으로 형성되어 있고, 관체(14)는 외부 전극(11)의 내부에 삽입되어 있다. 외부 전극(11)은, 관체(14)의 내부로부터 출사된 광(자외선)(L1)을, 통과 또는 투과시키는 광로부(19)를 구비하고 있다. 예를 들면, 광로부(19)는 관통 구멍으로 구성되어 있다.In this embodiment, the external electrode 11 is formed in a cylindrical shape, and the tube body 14 is inserted inside the external electrode 11. The external electrode 11 is provided with an optical path part 19 through which light (ultraviolet rays) L1 emitted from the inside of the tube body 14 passes or passes. For example, the optical path part 19 is composed of a through hole.

외부 전극(11)은, 판 형상의 부재에 복수의 관통 구멍을 갖도록 형성되어 있어도 되고, 복수의 봉 형상의 부재를 격자 형상이나 그물코 형상으로 배치하여 형성되어 있어도 되며, 봉 형상의 부재를 나선 형상으로 배치하여 형성되어 있어도 된다. 광로부(19)는, 투광성을 갖는 부재로 구성되어 있어도 된다.The external electrode 11 may be formed to have a plurality of through-holes in a plate-shaped member, or may be formed by arranging a plurality of rod-shaped members in a lattice shape or a mesh shape, and spiraling a rod-shaped member. It may be formed by arranging. The optical path part 19 may be made of a light-transmitting member.

본 실시 형태에 있어서, 내부 전극(12)은, 봉 형상으로 형성되고, 관체(14)의 내부에 배치되어 있다. 내부 전극(12)의 단부가, 각각 발광관(13)의 봉지부(15, 16)에 매설되어 있기 때문에, 내부 전극(12)은 발광관(13)에 고정되어 있다.In the present embodiment, the internal electrode 12 is formed in a rod shape and is disposed inside the tube body 14. Since the ends of the inner electrodes 12 are buried in the sealing portions 15 and 16 of the light emitting tubes 13, the inner electrodes 12 are fixed to the light emitting tubes 13, respectively.

엑시머 램프(10)로부터의 출사광(자외선)(L1)이, 하우징(3) 내의 엑시머 램프(10)의 외측을 통류하는 피처리 기체(G1)에 조사됨으로써, 피처리 기체(G1)가 분해되고, 처리 후의 기체(G2)가 배기구(7)로부터 배출된다.The emitted gas (ultraviolet rays) L1 from the excimer lamp 10 is irradiated to the target gas G1 flowing through the outside of the excimer lamp 10 in the housing 3, whereby the target gas G1 is decomposed. The gas G2 after treatment is discharged from the exhaust port 7.

도 4a 및 도 4b는, 차풍 부재(20)의 형상을 설명하기 위한 도면이다. 보다 상세하게는, 도 4a는, 흡기구(5)에 가까운 측에 위치하는 차풍 부재(20a)를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다. 도 4b는, 차풍 부재(20a)보다 후단(배기구(7)측)에 위치하는 차풍 부재(20b)를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다. 또한, 설명의 편의상, 도 4a 및 도 4b에는, 엑시머 램프(10)도 도시되어 있다.4A and 4B are views for explaining the shape of the windshield member 20. More specifically, FIG. 4A is a schematic plan view when the windshield member 20a positioned on the side close to the intake port 5 is viewed from the X direction. 4B is a schematic plan view when the windshield member 20b positioned at the rear end (side of the exhaust port 7) than the windshield member 20a is viewed in the X direction. In addition, for convenience of explanation, the excimer lamp 10 is also shown in FIGS. 4A and 4B.

도 4a 및 도 4b에 나타내는 바와 같이, 차풍 부재(20)는, X방향에서 보았을 때, 엑시머 램프(10)(관체(14))를 덮도록 개구된 제1 개구부(21)와, 제1 개구부(21)보다 외측의 영역에 있어서 개구가 형성되어 있지 않은 차폐부(23)를 갖는 다. 제1 개구부(21)의 내경은, 엑시머 램프(10)의 외경보다 크다. 즉, 엑시머 램프(10)와 차폐부(23)의 사이에는, 여전히 개구 영역(제1 개구부(21))이 형성되어 있다. 차폐부(23)는, 예를 들면, 오존(O3)이나 자외선에 대하여 열화되기 어려운, 스테인리스나 티탄으로 구성되어 있다. 즉, 차풍 부재(20)는, 중앙 부근에 제1 개구부(21)가 개구된, 차폐부(23)를 구비하여 구성되어 있다.As shown in FIGS. 4A and 4B, the windshield member 20 includes a first opening 21 and a first opening opened to cover the excimer lamp 10 (tube 14) when viewed in the X direction It has a shielding portion 23 in which an opening is not formed in an area outside of (21). The inner diameter of the first opening 21 is larger than the outer diameter of the excimer lamp 10. That is, an opening area (first opening 21) is still formed between the excimer lamp 10 and the shield 23. The shielding portion 23 is made of, for example, stainless steel or titanium, which is difficult to deteriorate with respect to ozone (O 3 ) or ultraviolet rays. That is, the windshield member 20 is configured with a shield 23 in which the first opening 21 is opened near the center.

그리고, 본 실시 형태에 있어서, X방향에서 보았을 때에, 차풍 부재(20a)의 제1 개구부(21)의 일부와, 차풍 부재(20b)의 차폐부(23)가 겹쳐지도록 배치되어 있다. 이 점에 대하여, 도 4c를 참조하여 설명한다.And in this embodiment, when viewed from the X direction, a part of the first opening 21 of the windshield member 20a and the shield 23 of the windshield member 20b are arranged to overlap. This point will be described with reference to Fig. 4C.

도 4c는, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)가 구비하는 차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)의 위치 관계를 설명하기 위한 도면이다. 보다 상세하게는, 도 4c는, 흡기구(5)측으로부터 차풍 부재(20a)를 보았을 때의 도면에, 차풍 부재(20b)를 겹쳐 도시한 도면이다.4C is a view for explaining the positional relationship between the windshield member 20a and the windshield member 20b provided in the gas processing apparatus 1 of the present embodiment. More specifically, FIG. 4C is a view showing the windshield member 20b superimposed on the view when the windshield member 20a is viewed from the intake port 5 side.

도 4c에 있어서, 오른쪽으로 올라가는 해칭으로 나타내어져 있는, 차풍 부재(20a)의 제1 개구부(21)의 일부의 영역(21a)은, X방향에 관하여, 차풍 부재(20b)의 차폐부(23)와 겹쳐져 있다. 또한, 오른쪽으로 내려가는 해칭으로 나타내어져 있는, 차풍 부재(20b)의 제1 개구부(21)의 일부의 영역(21b)은, X방향에 관하여, 차풍 부재(20a)의 차폐부(23)와 겹쳐져 있다.In Fig. 4C, a region 21a of a part of the first opening 21 of the windshield member 20a, indicated by hatching rising to the right, is a shield 23 of the windshield member 20b with respect to the X direction ). In addition, a region 21b of a part of the first opening 21 of the windshield member 20b, indicated by hatching downward to the right, overlaps the shield 23 of the windshield member 20a with respect to the X direction have.

즉, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)에 있어서, 흡기구(5)로부터 도입된 피처리 기체(G1)의 일부는, 차풍 부재(20a)의 차폐부(23)에 충돌한 후, 제1 개구부(21)의 방향으로 기류의 방향을 변환시킨다. 피처리 기체(G1)는, 그 후, 제1 개구부(21) 내를 통류하여 배기구(7)측을 향한다. 단, 차풍 부재(20a)의 제1 개구부(21) 내를 통과하고, 그대로 X방향으로 진행한 피처리 기체(G1)의 일부는, 차풍 부재(20a)의 후단에 배치된 차풍 부재(20b)의 차폐부(23)에 충돌한다. 그리고, 피처리 기체(G1)는, 차풍 부재(20b)의 제1 개구부(21)의 방향으로 기류의 방향을 변환시킨 후, 제1 개구부(21) 내를 통류하여 배기구(7)측을 향한다.That is, in the gas processing apparatus 1 of the present embodiment, a part of the gas to be treated G1 introduced from the intake port 5 collides with the shield 23 of the windshield member 20a, and then is first The direction of the air flow is changed in the direction of the opening 21. The gas to be treated G1 then flows through the first opening 21 and faces the exhaust port 7 side. However, a part of the to-be-processed gas G1 passing through the first opening 21 of the windshield member 20a and proceeding in the X direction as it is is a windshield member 20b disposed at the rear end of the windshield member 20a Collides with the shielding part 23. Then, the gas to be treated G1 changes the direction of air flow in the direction of the first opening 21 of the windshield member 20b, and then flows through the first opening 21 to face the exhaust port 7 side. .

차풍 부재(20)의 제1 개구부(21)의 외연(즉, 차폐부(23)의 제1 개구부(21)측의 내연)과, 그 내측에 배치된 엑시머 램프(10)의 관체(14)의 이격 거리는, 바람직하게는, 1mm 이상 10mm 이하이다. 본 실시 형태에서는, 제1 개구부(21)의 형상을 타원 형상으로 하고 있기 때문에, 상기 이격 거리가 장소에 따라 변화한다. 일례로서, 상기 이격 거리의 최댓값이 5mm이며, 상기 이격 거리의 최솟값이 3mm이다.The outer edge of the first opening 21 of the windshield member 20 (that is, the inner edge of the first opening 21 side of the shield 23), and the tube 14 of the excimer lamp 10 disposed therein The separation distance of is preferably 1 mm or more and 10 mm or less. In the present embodiment, since the shape of the first opening 21 is an elliptical shape, the separation distance varies depending on the place. As an example, the maximum value of the separation distance is 5 mm, and the minimum value of the separation distance is 3 mm.

본 실시 형태와 같이, 차풍 부재(20)의 제1 개구부(21)의 형상을 타원 형상으로 한 경우에는, 차풍 부재(20)는 회전 비대칭인 형상이 된다. 이 경우, 차풍 부재(20b)는, 차풍 부재(20a)에 대하여, X방향을 축으로 하여 소정의 각도(예를 들면 90°)만큼 회전시킨 상태로 배치하는 것으로 해도 상관없다. 도 4b에 나타내는 차풍 부재(20b)의 형상은, 도 4a에 나타내는 차풍 부재(20a)를 90° 회전시킨 형상에 대응한다.As in the present embodiment, when the shape of the first opening 21 of the windshield member 20 is an elliptical shape, the windshield member 20 has a rotationally asymmetric shape. In this case, the windshield member 20b may be disposed with respect to the windshield member 20a while being rotated by a predetermined angle (for example, 90°) in the X direction as an axis. The shape of the windshield member 20b shown in FIG. 4B corresponds to a shape in which the windshield member 20a shown in FIG. 4A is rotated by 90°.

또한, 차풍 부재(20)의 두께, 즉 X방향에 관련된 길이는 임의이며, 예를 들면, 2mm이다. 또한, 하우징(3)의 형상도 임의이다. 일례로서, XY방향에 관련된 단면을 직사각형 형상으로 할 수 있고, YZ방향에 관련된 단면을 직사각형 형상 또는 원 형상으로 할 수 있다. 하우징(3)의 X방향에 관련된 길이의 일례는 150mm이며, YZ방향에 관련된 단면적의 일례는 3600mm2이다.In addition, the thickness of the windshield member 20, that is, the length related to the X direction is arbitrary, for example, 2 mm. In addition, the shape of the housing 3 is also arbitrary. As an example, the cross section related to the XY direction can be a rectangular shape, and the cross section related to the YZ direction can be a rectangular shape or a circular shape. An example of the length related to the X direction of the housing 3 is 150 mm, and an example of the cross-sectional area related to the YZ direction is 3600 mm 2 .

(작용)(Action)

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)에 의하면, 종래의 장치와 비교하여 악취 성분의 분해 성능이 향상되는 점에 대하여, 이하에 있어서 설명한다.According to the gas processing apparatus 1 of the present embodiment, the decomposition performance of the malodor component is improved as compared with the conventional apparatus will be described below.

도 5는, Xe를 포함하는 방전용 가스가 충전된 엑시머 램프의 발광 스펙트럼과, 산소(O2) 및 오존(O3)의 흡수 스펙트럼을 겹쳐 표시한 그래프이다. 도 5에 있어서, 가로축은 파장을 나타내고, 좌측 세로축은 엑시머 램프의 광강도의 상댓값을 나타내며, 우측 세로축은, 산소(O2) 및 오존(O3)의 흡수 계수를 나타낸다.5 is a graph showing the emission spectrum of an excimer lamp filled with a discharge gas containing Xe and an absorption spectrum of oxygen (O 2 ) and ozone (O 3 ). In Fig. 5, the horizontal axis represents the wavelength, the left vertical axis represents the relative value of the light intensity of the excimer lamp, and the right vertical axis represents the absorption coefficients of oxygen (O 2 ) and ozone (O 3 ).

엑시머 램프(10)의 방전용 가스로서, Xe를 포함하는 가스를 이용하는 경우, 도 5에 나타내어지는 바와 같이, 엑시머 램프(10)의 출사광(L1)은, 160nm 이상 180nm 미만의 범위 내(이하, 「제1 파장대(λ1)」라고 부른다)의 성분을 포함한다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 이 제1 파장대(λ1)의 광은, 산소(O2)에 의한 흡수량이 크다. 또한, 이하에서는, 출사광(L1)을, 적절히 「자외선(L1)」이라고 표기하는 경우가 있다.When a gas containing Xe is used as a gas for discharging the excimer lamp 10, as shown in FIG. 5, the exit light L1 of the excimer lamp 10 is within a range of 160 nm or more and less than 180 nm (hereinafter, as follows). , It is a component of the "first wavelength band (λ 1 )". As shown in Fig. 5, the light in the first wavelength band λ 1 is largely absorbed by oxygen (O 2 ). In addition, in the following, the outgoing light L1 may be described as "ultraviolet light L1" as appropriate.

피처리 기체(G1)에 대하여, 엑시머 램프(10)로부터의 자외선(L1)(여기에서는, 제1 파장대(λ1)의 광으로 한다.)이 조사되고, 산소(O2)에 흡수되면, 이하의 (1)식의 반응이 진행된다. (1)식에 있어서, O(1D)는, 여기 상태의 O 원자이며, 높은 반응성을 나타낸다. O(3P)는 기저 상태의 O 원자이다. 또한, (1)식에 있어서, hν(λ1)는, 제1 파장대(λ1)의 광이 흡수되고 있는 것을 나타낸다.When the target gas G1 is irradiated with ultraviolet light L1 from the excimer lamp 10 (here, it is assumed to be light in the first wavelength band λ 1 ) and absorbed by oxygen (O 2 ), The reaction of the following formula (1) proceeds. In the formula (1), O( 1 D) is an O atom in an excited state and exhibits high reactivity. O( 3 P) is the ground O atom. In the formula (1), hν(λ 1 ) indicates that light in the first wavelength band (λ 1 ) is absorbed.

O2+hν(λ1)→O(1D)+O(3P)‥‥(1)O 2 +hν(λ 1 )→O( 1 D)+O( 3 P) ‥‥(1)

(1)식에서 생성된 O(3P)는, 피처리 기체(G1)에 포함되는 산소(O2)와 반응하여, (2)식에 따라서 오존(O3)을 생성한다.(1) where the resulting O (3 P) generates oxygen (O 2) and in response, ozone (O 3) in accordance with equation (2) contained in the processed gas (G1).

O(3P)+O2→O3‥‥(2)O( 3 P)+O 2 →O 3 ‥‥(2)

또한, 높은 반응성을 나타내는 O(1D)의 일부는, 피처리 기체(G1)에 포함되는 수분(H2O)과 반응하여, (3)식에 따라서 히드록시 라디칼(·OH)을 생성한다.In addition, a part of O( 1 D) exhibiting high reactivity reacts with moisture (H 2 O) contained in the gas to be treated (G 1 ), thereby generating hydroxy radicals (·OH) according to the formula (3). .

O(1D)+H2O→·OH+·OH‥‥(3)O( 1 D)+H 2 O→·OH+·OH……(3)

상기 반응에 의하여, 높은 반응성을 나타내는 O(1D)나 히드록시 라디칼(·OH)이 생성됨으로써, 피처리 기체(G1) 내에, 오존에 의하여 분해하기 어려운 물질(예를 들면 포름알데히드 등)이 포함되어 있는 경우이더라도, 효율적으로 분해하는 것이 가능해진다.Due to the reaction, O( 1 D) or hydroxy radical (·OH), which exhibits high reactivity, is generated, thereby causing substances (eg, formaldehyde, etc.) that are difficult to decompose by ozone in the gas to be treated (G1). Even if it is included, it is possible to disassemble efficiently.

한편, 도 5를 참조하여 상술한 바와 같이, 제1 파장대(λ1)의 광은, 산소(O2)에 의한 흡수량이 크다. 이 때문에, 만일, 하우징(3)의 내측에 차풍 부재(20)가 설치되어 있지 않은 경우, 흡기구(5)로부터 피처리 기체(G1)를 도입했다고 하더라도, 엑시머 램프(10)의 근방을 통류하는 피처리 기체(G1)에 포함되는 산소에 의하여 자외선(L1)이 흡수된다. 그 결과, 엑시머 램프(10)로부터 떨어진 위치를 통류하는 피처리 기체(G1)에 대해서는 높은 광량을 유지한 채로 자외선(L1)을 조사할 수 없다.On the other hand, as described above with reference to FIG. 5, the light in the first wavelength band λ 1 is largely absorbed by oxygen (O 2 ). For this reason, if the windshield member 20 is not provided inside the housing 3, even if the gas to be treated G1 is introduced from the intake port 5, it passes through the vicinity of the excimer lamp 10. Ultraviolet light L1 is absorbed by oxygen contained in the gas to be treated G1. As a result, ultraviolet light L1 cannot be irradiated while maintaining a high light quantity with respect to the gas to be processed G1 flowing through a position away from the excimer lamp 10.

도 6은, 차풍 부재(20)를 설치하지 않은 하우징(3) 내에 엑시머 램프(10)를 배치하고, 엑시머 램프(10)를 발광시키면서 피처리 기체(G1)를 통류시킨 경우에 있어서, 엑시머 램프(10)의 표면으로부터의 거리와, 엑시머 램프(10)로부터 조사되는 자외선(L1)의 상대 조도의 관계를 그래프화한 것이다. 상세하게는, 도 6은, 자외선(L1)이 투과하는 거리에 관하여 지수 함수적으로 감약하는 것을 전제로, 도 5에 나타내는 엑시머 램프(10)의 스펙트럼 데이터와 산소(O2)의 흡수 계수, 및 자외선(L1)이 투과하는 거리에 의거하여, 시뮬레이션에 의하여 산정된 결과에 대응한다. 도 6에서는, 투과하는 거리가 0인 위치, 즉, 엑시머 램프(10)의 표면에 있어서의 자외선(L1)의 조도를 100%로 하고, 각 위치에 있어서의 상대 조도가 그래프화되어 있다.Fig. 6 shows an excimer lamp in the case where the excimer lamp 10 is disposed in the housing 3 without the windshield member 20 and the gas to be treated G1 flows while the excimer lamp 10 emits light. The relationship between the distance from the surface of (10) and the relative illuminance of ultraviolet light L1 emitted from the excimer lamp 10 is graphed. Specifically, FIG. 6 is based on the premise that the UV (L1) transmits exponentially with respect to the distance transmitted, the spectral data of the excimer lamp 10 shown in FIG. 5 and the absorption coefficient of oxygen (O 2 ), And based on the distance through which the ultraviolet light (L1) is transmitted, it corresponds to the result calculated by the simulation. In FIG. 6, the illuminance of the ultraviolet light L1 on the surface of the excimer lamp 10 is set at 100%, and the relative illuminance at each position is graphed.

식(1) 및 식(3)으로부터, 히드록시 라디칼(·OH)의 생성량은, O(1D)의 양에 비례하고, 그리고, O(1D)의 양은, 조사되는 광의 양에 비례하는 것을 알 수 있다. 즉, 도 6은, 엑시머 램프(10)의 표면으로부터의 거리와, 히드록시 라디칼(·OH)의 생성량의 관계를 나타내고 있는 것이 된다. 즉, 도 6에 의하면, 엑시머 램프(10)의 표면으로부터의 거리가 멀어짐에 따라, 히드록시 라디칼(·OH)의 농도가 저하되고 있는 것이 확인된다. 그리고, 엑시머 램프(10)의 표면으로부터 10mm를 넘을 정도로 떨어진 경우에는, 히드록시 라디칼(·OH)의 농도가 매우 낮아지는 것이 확인된다.Formulas (1) and from (3), hydroxy production of hydroxyl radicals (· OH) is proportional to the amount of O (1 D) and, and, O The amount of (1 D), which is proportional to the quantity of light to be emitted You can see that That is, FIG. 6 shows the relationship between the distance from the surface of the excimer lamp 10 and the amount of hydroxy radical (·OH) produced. That is, according to FIG. 6, it is confirmed that as the distance from the surface of the excimer lamp 10 increases, the concentration of the hydroxy radical (·OH) decreases. Then, when the distance from the surface of the excimer lamp 10 exceeds 10 mm, it is confirmed that the concentration of the hydroxy radical (·OH) is very low.

이것에 대하여, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)에 의하면, 하우징(3)의 내측에 차풍 부재(20)가 설치되어 있기 때문에, 이 차풍 부재(20)에 의하여 피처리 기체(G1)의 통류 영역이 한정된다. 보다 상세하게는, 도 4a 및 도 4b에 나타낸 바와 같이, 차풍 부재(20)는, 엑시머 램프(10)의 주위를 둘러싸도록 형성된 제1 개구부(21)와, 그 외측에 배치된 차폐부(23)를 가지고 있다. 즉, X방향으로 통류한 피처리 기체(G1)는, 차폐부(23)에 충돌하면, 엑시머 램프(10)의 근방에 형성된 제1 개구부(21)측으로 통류 방향을 변경한다. 이것에 의하여, 흡기구(5)로부터 도입된 피처리 기체(G1)를, 엑시머 램프(10)의 근방으로 유도할 수 있다.On the other hand, according to the gas processing apparatus 1 of this embodiment, since the windshield member 20 is provided inside the housing 3, the windshield member 20 allows the gas to be processed G1 to be processed. The flow area is limited. More specifically, as shown in FIGS. 4A and 4B, the windshield member 20 includes a first opening 21 formed to surround the excimer lamp 10 and a shield 23 disposed outside the windshield member 10. ). That is, when the target gas G1 flowing through the X direction collides with the shield 23, the flow direction changes to the first opening 21 formed in the vicinity of the excimer lamp 10. Thereby, the target gas G1 introduced from the intake port 5 can be guided to the vicinity of the excimer lamp 10.

특히, 차풍 부재(20)의 제1 개구부(21)의 외연(즉, 차폐부(23)의 제1 개구부(21)측의 내연)과, 그 내측에 배치된 엑시머 램프(10)의 관체(14)의 이격 거리를 10mm 이하로 함으로써, 제1 개구부(21) 내를 통류하기 전후에 있어서, 피처리 기체(G1)는 엑시머 램프(10)의 근방에 위치하게 된다. 이것에 의하여, 이러한 영역에 위치하는 피처리 기체(G1)에 대하여 높은 비율로 엑시머 램프(10)의 자외선(L1)이 조사되기 때문에, 높은 반응성을 나타내는 O(1D)나 ·OH의 생성 확률을 높일 수 있다.In particular, the outer edge of the first opening 21 of the windshield member 20 (that is, the inner edge of the first opening 21 side of the shield 23) and the tube body of the excimer lamp 10 disposed therein ( By setting the separation distance of 14) to 10 mm or less, the gas to be treated G1 is located in the vicinity of the excimer lamp 10 before and after flowing through the first opening 21. As a result, since the ultraviolet ray L1 of the excimer lamp 10 is irradiated at a high rate with respect to the gas G1 located in such a region, the probability of formation of O( 1 D) or OH exhibiting high reactivity. Can increase.

한편, 차폐부(23)의 제1 개구부(21)측의 내연과, 그 내측에 배치된 엑시머 램프(10)의 관체(14)의 이격 거리가 너무 작은 경우에는, 당해 이격 개소를 통류하는 피처리 기체(G1)의 유속이 매우 빨라져 버린다. 그 결과, 피처리 기체(G1)에 포함되는 악취·유해 물질이, O(1D)나 ·OH에 의하여 분해되기 전에, 배기구(7)로부터 배기될 우려가 있다. 이러한 관점에서, 상기 이격 거리는 1mm 이상으로 하는 것이 바람직하다.On the other hand, when the separation distance between the inner edge of the first opening 21 side of the shield 23 and the tube body 14 of the excimer lamp 10 disposed therein is too small, avoid passing through the separation point. The flow rate of the processing gas G1 becomes very fast. As a result, there is a possibility that the odor and harmful substances contained in the gas to be treated G1 are exhausted from the exhaust port 7 before being decomposed by O( 1 D) or OH. From this viewpoint, it is preferable that the separation distance is 1 mm or more.

상기 이격 거리가 1mm 이상 10mm 이하인 경우에 있어서도, 차풍 부재(20)의 두께(X방향에 관련된 길이)에 따라서는, 차풍 부재(20)의 제1 개구부(21)의 내측을 통류하기 전후의 시간 내에서만으로는, 피처리 기체(G1)에 포함되는 악취·유해 물질이, O(1D)나 ·OH에 의하여 분해되지 않은 채 잔존하는 것이 상정된다. 즉, 피처리 기체(G1)가 생성하는 기류에는, 악취·유해 물질이 분해된 영역과, 그것들이 분해되지 않고 잔존하는 영역이 혼재하는 것이 상정된다.Even when the separation distance is 1 mm or more and 10 mm or less, depending on the thickness (length related to the X direction) of the windshield member 20, the time before and after passing through the inside of the first opening 21 of the windshield member 20 It is assumed only in the inside that the malodorous and harmful substances contained in the gas to be treated G1 remain without being decomposed by O( 1 D) or OH. That is, it is assumed that a region in which malodorous and harmful substances are decomposed and a region in which they remain without being decomposed are mixed in the air stream generated by the gas G1 to be processed.

피처리 기체(G1)가 차풍 부재(20(20a))의 제1 개구부(21) 내를 통류한 후에는, 피처리 기체(G1)의 통류 가능 영역이 넓어진다. 이에 더불어, 도 1에 이점쇄선에 의하여 도시한 바와 같이, 피처리 기체(G1)는 압력차에 기인한 난류를 발생시키기 쉽다. 이 난류에 의하여, 피처리 기체(G1)에 포함되는 악취·유해 물질이 완전하게 분해된 기류와, 악취·유해 물질의 일부가 분해되지 않고 잔존하고 있었던 기류가 혼합되고, 이 혼합이 발생한 후, 배기구(7)측을 향하여 통류된다. 이것에 의하여, 차풍 부재(20)의 후단의 위치에 있어서도, 엑시머 램프(10)의 근방에는 악취·유해 물질을 포함하는 피처리 기체(G1)가 통류하기 쉬워진다. 따라서, 차풍 부재(20(20a))의 후단의 위치에 있어서도, 이 피처리 기체(G1)에 대하여, 엑시머 램프(10)로부터 출사되는 자외선(L1)이 조사됨으로써, 이 악취·유해 물질을 추가로 분해할 수 있다.After the gas to be treated G1 flows through the first opening 21 of the windshield member 20 (20a), the flowable area of the gas to be treated G1 is widened. In addition to this, as shown by the double-dashed line in FIG. 1, the gas to be treated G1 is liable to generate turbulence due to a pressure difference. After this turbulence, the airflow in which the malodorous and harmful substances contained in the gas to be treated G1 is completely decomposed and the airflow in which some of the malodorous and harmful substances remained without being decomposed are mixed, and after this mixing occurs, It flows toward the exhaust port 7 side. Thereby, even in the position of the rear end of the windshield member 20, the to-be-processed gas G1 containing odor and harmful substances easily flows in the vicinity of the excimer lamp 10. Therefore, even at a position at the rear end of the windshield member 20 (20a), ultraviolet rays L1 emitted from the excimer lamp 10 are irradiated to the gas G1 to be treated, thereby adding this odor and harmful substance. Can be disassembled.

또한, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)와 같이, X방향으로 이격하여 복수 장(도 1에 개시된 구조에서는 2장)의 차풍 부재(20)를 구비함으로써, 후단의 위치(차풍 부재(20b)의 위치)에 있어서도, 피처리 기체(G1)를 엑시머 램프(10)의 근방으로 유도할 수 있다. 이것에 의하여, 엑시머 램프(10)로부터 출사되는 자외선(L1)이 피처리 기체(G1)에 조사됨으로써, O(1D)나 ·OH가 생성되어, 피처리 기체(G1)에 포함되는 악취·유해 물질을 추가로 분해할 수 있다.In addition, like the gas processing apparatus 1 of the present embodiment, by providing a plurality of windshield members 20 spaced apart in the X direction (two in the structure disclosed in FIG. 1), the rear end position (windshield member 20b ) Position, the gas to be treated G1 can be guided to the vicinity of the excimer lamp 10. Thereby, the ultraviolet ray L1 emitted from the excimer lamp 10 is irradiated to the gas G1 to be treated, thereby generating O( 1 D) and OH, and the odor contained in the gas G1 to be treated. Hazardous substances can be further decomposed.

단, 본 실시 형태에 있어서, 차풍 부재(20)의 장 수는 2장에 한정되지 않고, 1장이어도 상관없으며, 3장 이상이어도 상관없다. 엑시머 램프(10)의 X방향에 관련된 길이에 따라, 차풍 부재(20)의 장 수는 적절히 조정 가능하다.However, in the present embodiment, the number of sheets of the windshield member 20 is not limited to two, but may be one, or three or more. Depending on the length related to the X direction of the excimer lamp 10, the number of windshield members 20 can be appropriately adjusted.

또한, 흡기구(5)에 가장 가까운 위치에 배치되는 차풍 부재(20)(여기에서는 차풍 부재(20a))는, 엑시머 램프(10)(관체(14))의 흡기구(5)측의 단부(베이스부(35a))와, 엑시머 램프(10)(관체(14))의 X방향에 관련된 중앙부의 사이에 배치되는 것이 바람직하다. 이것에 의하여, 피처리 기체(G1)가 차풍 부재(20)에 충돌한 후, 관체(14)의 근방을 X방향을 따라 통류할 수 있는 길이를 확보할 수 있어, 보다 많은 피처리 기체(G1)에 대하여 엑시머 램프(10)로부터 출사되는 자외선(L1)을 조사할 수 있다. 제2 실시 형태 이후에 있어서도 동일하다.In addition, the windshield member 20 (here, the windshield member 20a) disposed at the position closest to the intake port 5 has an end (base) on the intake port 5 side of the excimer lamp 10 (tube 14). It is preferable to be disposed between the portion 35a and the central portion related to the X direction of the excimer lamp 10 (tube 14). Thereby, after the to-be-processed gas G1 collides with the windshield member 20, the length which can flow through the vicinity of the tube body 14 along the X direction can be ensured, and more to-be-processed gas G1 ) Can be irradiated with ultraviolet light L1 emitted from the excimer lamp 10. The same applies after the second embodiment.

(변형예)(Modified example)

기체 처리 장치(1)는, 복수 개의 엑시머 램프(10)를 구비하고 있어도 상관없다(도 7a, 도 7b 참조). 도 7a는, 기체 처리 장치(1)가, 2개의 엑시머 램프(10)를 구비하는 경우에 있어서, 차풍 부재(20a)의 근방만을 추출하여 모식적으로 도시한 사시도이다. 또한, 도 7b는, 기체 처리 장치(1)가, 4개의 엑시머 램프(10)를 구비하는 경우에 있어서, 차풍 부재(20a)의 근방만을 추출하여 모식적으로 도시한 사시도이다. 어느 경우에 있어서도, 차풍 부재(20a)는, 엑시머 램프(10)의 개수에 따른 수의 제1 개구부(21)를 구비하고, 각 엑시머 램프(10)가 각 제1 개구부(21)를 관통하도록 배치되는 것으로 해도 상관없다.The gas processing apparatus 1 may be provided with a plurality of excimer lamps 10 (see FIGS. 7A and 7B ). 7A is a perspective view schematically showing only the vicinity of the windshield member 20a extracted when the gas processing apparatus 1 includes two excimer lamps 10. In addition, FIG. 7B is a perspective view schematically showing only the vicinity of the windshield member 20a when the gas processing apparatus 1 includes four excimer lamps 10. In any case, the windshield member 20a has a number of first openings 21 according to the number of excimer lamps 10, so that each excimer lamp 10 passes through each first opening 21. It does not matter even if it is arranged.

도 7a 및 도 7b에 나타내는 구성에 의하면, 기체 처리 장치(1)가 구비하는 엑시머 램프(10)의 개수가 복수 개가 되기 때문에, 엑시머 램프(10)의 근방을 통류하는 피처리 기체(G1)의 유량을 증가시킬 수 있다. 이것에 의하여, 피처리 기체(G1)에 포함되는 악취·유해 물질의 처리 능력을 더 높일 수 있다.According to the configuration shown in Figs. 7A and 7B, since the number of excimer lamps 10 provided in the gas processing device 1 is plural, the gas to be processed G1 flowing through the vicinity of the excimer lamp 10 is The flow rate can be increased. Thereby, the processing ability of the odor and harmful substance contained in the to-be-processed gas G1 can be further improved.

또한, 도 7a 및 도 7b에 있어서는, 하나의 차풍 부재(20a)만이 도시되어 있지만, 차풍 부재(20a)보다 배기구(7)측에, 추가로 다른 차풍 부재(20)(예를 들면 차풍 부재(20b))를 구비하고 있어도 상관없다. 이 경우도, 차풍 부재(20a)와 동일하게, 각 차풍 부재(20)는 엑시머 램프(10)의 개수에 따른 제1 개구부(21)를 구비하는 것으로 해도 상관없다.7A and 7B, although only one windshield member 20a is shown, the other windshield member 20 (for example, the windshield member () 20b)). In this case, similarly to the windshield member 20a, each windshield member 20 may be provided with a first opening 21 corresponding to the number of excimer lamps 10.

[제2 실시 형태][Second Embodiment]

본 발명의 기체 처리 장치의 제2 실시 형태에 대하여, 제1 실시 형태와 상이한 개소를 중심으로 설명한다.The second embodiment of the gas processing apparatus of the present invention will be mainly described in a different place from the first embodiment.

도 8은, 본 실시 형태의 기체 처리 장치의 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 도 9는, 도 8 내의 영역 A2 부분을 확대한 모식적인 사시도이다. 또한, 본 실시 형태, 및 제3 실시 형태 이후에 있어서도, 제1 실시 형태와 동일하게, 흡기구(5)로부터 배기구(7)를 향하는 방향을 X방향으로 하고, 이 X방향에 직교하는 평면을 YZ평면으로 하여 설명한다.8 is a cross-sectional view schematically showing the structure of the gas processing apparatus of the present embodiment. 9 is an enlarged schematic perspective view of the area A2 in FIG. 8. Also in the present embodiment and after the third embodiment, as in the first embodiment, the direction from the intake port 5 to the exhaust port 7 is set to the X direction, and the plane orthogonal to the X direction is YZ. It will be described as a plane.

또한, 도 8에서는, 도면의 번잡함을 회피하는 관점에서, 도 1과는 상이하고, 피처리 기체(G1)가 흐르는 방향에 대해서는 도시를 생략하고 있다.In addition, in FIG. 8, from the viewpoint of avoiding the complexity of the drawing, it is different from FIG. 1, and the illustration of the direction in which the gas to be processed G1 flows is omitted.

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)는, 제1 실시 형태의 기체 처리 장치(1)와 동일하게, 하우징(3)과, 흡기구(5)와, 배기구(7)와, 엑시머 램프(10)와, 차풍 부재(20)를 구비한다. 단, 본 실시 형태에서는, 차풍 부재(20)의 구조가, 제1 실시 형태와 상이하다.The gas processing apparatus 1 of the present embodiment is the same as the gas processing apparatus 1 of the first embodiment, with a housing 3, an intake port 5, an exhaust port 7, and an excimer lamp 10 And, a windshield member 20 is provided. However, in the present embodiment, the structure of the windshield member 20 is different from the first embodiment.

도 9에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)는, X방향으로 이격한 4개소의 위치에 배치된 차풍 부재(20(20a, 20b, 20c, 20d))를 구비하고 있다. 이하에서는, 차풍 부재(20a, 20b, 20c, 20d)를 총칭하여 「차풍 부재(20)」라고 하는 기재가 이용된다.As shown in FIG. 9, the gas processing apparatus 1 of this embodiment is equipped with the wind-shielding members 20 (20a, 20b, 20c, 20d) arrange|positioned at the four positions spaced apart in the X direction. In the following, descriptions of the windshield members 20a, 20b, 20c, and 20d collectively as the "windshield member 20" are used.

도 10a 및 도 10b는, 차풍 부재(20)의 형상을 설명하기 위한 도면이다. 보다 상세하게는, 도 10a는, 흡기구(5)에 가까운 측에 위치하는 차풍 부재(20a)를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다. 도 10b는, 차풍 부재(20a)보다 후단(배기구(7)측)에 위치하는 차풍 부재(20b)를, X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다. 또한, 설명의 편의상, 도 10a 및 도 10b에는, 엑시머 램프(10)도 도시되어 있다.10A and 10B are views for explaining the shape of the windshield member 20. More specifically, FIG. 10A is a schematic plan view when the windshield member 20a positioned on the side close to the intake port 5 is viewed from the X direction. 10B is a schematic plan view when the windshield member 20b positioned at the rear end (side of the exhaust port 7) than the windshield member 20a is viewed in the X direction. In addition, for convenience of explanation, the excimer lamp 10 is also shown in FIGS. 10A and 10B.

또한, 도 9에 나타내는 예의 경우, 차풍 부재(20c)는, 도 10a와 동일한 형상을 나타내고, 차풍 부재(20d)는 도 10b와 동일한 형상을 나타낸다.In the case of the example shown in Fig. 9, the windshield member 20c has the same shape as in Fig. 10A, and the windshield member 20d has the same shape as in Fig. 10B.

도 9, 도 10a 및 도 10b에 나타내는 바와 같이, 차풍 부재(20)는, X방향에서 보았을 때에, 엑시머 램프(10)(관체(14))를 사이에 두고 이격한 2개소의 위치에 배치된 차폐부(23)와, 이 2개소의 차폐부(23) 사이에 끼인 공간 영역인 제1 개구부(21)를 가지고 구성된다. 도 10a에 나타내는 바와 같이, 차풍 부재(20a)는, 2개소의 차폐부(23)가 실질적으로 Y방향으로 이격하여 배치되어 있고, 이들의 사이에 제1 개구부(21)가 형성되어 있다. 또한, 도 10b에 나타내는 바와 같이, 차풍 부재(20b)는, 2개소의 차폐부(23)가 실질적으로 Z방향으로 이격하여 배치되어 있고, 이들의 사이에 제1 개구부(21)가 형성되어 있다.As shown in FIGS. 9, 10A and 10B, the windshield member 20 is disposed at two positions spaced apart from each other with the excimer lamp 10 (tube 14) as viewed in the X direction. It is comprised with the shielding part 23 and the 1st opening part 21 which is a space area sandwiched between these 2 shielding parts 23. As shown in Fig. 10A, in the windshield member 20a, two shielding portions 23 are disposed substantially spaced apart in the Y direction, and the first openings 21 are formed therebetween. In addition, as shown in FIG. 10B, in the windshield member 20b, two shielding portions 23 are disposed substantially spaced apart in the Z direction, and the first opening 21 is formed between them. .

도 9, 도 10a 및 도 10b에 나타내는 예에서는, 차폐부(23)는, 반원 형상을 나타내고 있다. 또한, 차폐부(23)의 형상은 임의이며, 초승달 형상, 직사각형 형상, 삼각형 형상 등의 다양한 형상이 채용될 수 있다.In the example shown in FIGS. 9, 10A, and 10B, the shield 23 has a semicircular shape. In addition, the shape of the shield 23 is arbitrary, and various shapes such as a crescent shape, a rectangular shape, and a triangular shape may be employed.

본 실시 형태에 있어서, X방향에서 보았을 때에, 차풍 부재(20a)(「제1 차풍 부재」에 대응한다.)의 제1 개구부(21)의 일부와, 차풍 부재(20b)(「제2 차풍 부재」에 대응한다.)의 차폐부(23)가 겹쳐지도록 배치되어 있다. 이 점에 대하여, 도 10c를 참조하여 설명한다.In the present embodiment, when viewed from the X direction, a part of the first opening 21 of the windshield member 20a (corresponding to the "first windshield member") and the windshield member 20b (the "second windshield" Member.” The shielding portions 23 are arranged to overlap. This point will be described with reference to Fig. 10C.

도 10c는, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)가 구비하는 차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)의 위치 관계를 설명하기 위한 도면이다. 보다 상세하게는, 도 10c는, 흡기구(5)측으로부터 차풍 부재(20a)를 보았을 때의 도면에, 차풍 부재(20b)를 겹쳐 도시한 도면이다.10C is a view for explaining the positional relationship between the windshield member 20a and the windshield member 20b provided in the gas processing apparatus 1 of the present embodiment. More specifically, FIG. 10C is a view showing the windshield member 20b superimposed on the view when the windshield member 20a is viewed from the intake port 5 side.

도 10c에 있어서, 오른쪽으로 올라가는 해칭으로 나타내어져 있는, 차풍 부재(20a)의 제1 개구부(21)의 일부의 영역(21a)은, X방향에 관하여, 차풍 부재(20b)의 차폐부(23)와 겹쳐져 있다. 또한, 오른쪽으로 내려가는 해칭으로 나타내어져 있는, 차풍 부재(20b)의 제1 개구부(21)의 일부의 영역(21b)은, X방향에 관하여, 차풍 부재(20a)의 차폐부(23)와 겹쳐져 있다.In Fig. 10C, a region 21a of a part of the first opening 21 of the windshield member 20a, indicated by hatching rising to the right, is a shield 23 of the windshield member 20b with respect to the X direction ). In addition, a region 21b of a part of the first opening 21 of the windshield member 20b, indicated by hatching downward to the right, overlaps the shield 23 of the windshield member 20a with respect to the X direction have.

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)에 있어서도, 제1 실시 형태의 기체 처리 장치(1)와 동일하게, 흡기구(5)로부터 도입된 피처리 기체(G1)의 일부는, 차풍 부재(20a)의 차폐부(23)에 충돌한 후, 제1 개구부(21)의 방향으로 기류의 방향을 변환시킨다. 피처리 기체(G1)는, 그 후, 제1 개구부(21) 내를 통류하여 배기구(7)측을 향한다. 단, 차풍 부재(20a)의 제1 개구부(21) 내를 통과하고, 그대로 X방향으로 진행한 피처리 기체(G1)의 일부는, 차풍 부재(20a)의 후단에 배치된 차풍 부재(20b)의 차폐부(23)에 충돌한다. 그리고, 피처리 기체(G1)는, 차풍 부재(20b)의 제1 개구부(21)의 방향으로 기류의 방향을 변환시킨 후, 제1 개구부(21) 내를 통류하여 배기구(7)측을 향한다.Also in the gas processing apparatus 1 of the present embodiment, similarly to the gas processing apparatus 1 of the first embodiment, a part of the gas to be treated G1 introduced from the intake port 5 is a windshield member 20a After colliding with the shielding part 23, the direction of the air flow is changed in the direction of the first opening 21. The gas to be treated G1 then flows through the first opening 21 and faces the exhaust port 7 side. However, a part of the to-be-processed gas G1 passing through the first opening 21 of the windshield member 20a and proceeding in the X direction as it is is a windshield member 20b disposed at the rear end of the windshield member 20a Collides with the shielding part 23. Then, the gas to be treated G1 changes the direction of airflow in the direction of the first opening 21 of the windshield member 20b, and then flows through the first opening 21 to face the exhaust port 7 side. .

즉, 피처리 기체(G1)는, 제1 개구부(21) 내를 통류하기 전후에 있어서, 엑시머 램프(10)의 근방에 위치하게 되기 때문에, 높은 비율로 엑시머 램프(10)의 자외선(L1)이 조사되기 때문에, 높은 반응성을 나타내는 O(1D)나 ·OH의 생성 확률을 높일 수 있다. 또한, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)에 있어서도, 피처리 기체(G1)가 차풍 부재(20(20a))의 제1 개구부(21) 내를 통류한 후에는, 피처리 기체(G1)의 통류 가능 영역이 넓어져, 피처리 기체(G1)는 압력차에 기인한 난류를 발생시키기 쉽다. 이 난류에 의하여, 피처리 기체(G1)에 포함되는 악취·유해 물질이 완전하게 분해된 기류와, 악취·유해 물질의 일부가 분해되지 않고 잔존하고 있었던 기류가 혼합된 후, 배기구(7)측을 향하여 통류된다. 이것에 의하여, 차풍 부재(20(20a))의 후단의 위치에 있어서도, 엑시머 램프(10)의 근방에는 악취·유해 물질을 포함하는 피처리 기체(G1)가 통류하기 쉬워지기 때문에, 이 피처리 기체(G1)에 대하여, 엑시머 램프(10)로부터 출사되는 자외선(L1)이 조사됨으로써, 이 악취·유해 물질을 추가로 분해할 수 있다.That is, since the gas to be treated G1 is located in the vicinity of the excimer lamp 10 before and after passing through the first opening 21, the ultraviolet light L1 of the excimer lamp 10 is high. Since this is irradiated, the probability of formation of O( 1 D) or OH showing high reactivity can be increased. In addition, also in the gas processing apparatus 1 of the present embodiment, the gas to be processed G1 after the gas to be processed G1 flows through the first opening 21 of the windshield member 20 (20a). The area through which the flow is possible increases, and the gas to be treated G1 is liable to generate turbulence due to a pressure difference. By this turbulence, the airflow in which the malodorous and harmful substances contained in the gas to be treated G1 is completely decomposed and the airflow in which some of the malodorous and harmful substances remained without being decomposed are mixed, and then the exhaust port 7 side It flows toward. As a result, even in the position of the rear end of the windshield member 20 (20a), the target gas G1 containing odor and harmful substances easily flows in the vicinity of the excimer lamp 10. By irradiating the gas G1 with ultraviolet light L1 emitted from the excimer lamp 10, this odor and harmful substance can be further decomposed.

(변형예)(Modified example)

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)의 변형예에 대하여 설명한다.A modified example of the gas processing apparatus 1 of this embodiment will be described.

<1> 도 9의 예에서는, 기체 처리 장치(1)는, X방향으로 이격한 4개소의 위치에 배치된 차풍 부재(20)를 구비하는 것으로서 설명했다. 그러나, 차풍 부재(20)가 배치되는 X방향의 위치(X좌표)의 수는, 4에 한정되지 않는다. 예를 들면, X좌표의 특정 1개소에 차풍 부재(20)가 배치되어 있어도 상관없고, 이격한 2개소 이상에 차풍 부재(20)가 배치되어 있어도 상관없다.<1> In the example of FIG. 9, the gas processing device 1 has been described as having a windshield member 20 disposed at four positions spaced apart in the X direction. However, the number of positions (X coordinates) in the X direction in which the windshield member 20 is disposed is not limited to four. For example, the windshield member 20 may be disposed at one specific location of the X coordinate, or the windshield member 20 may be disposed at two or more spaced apart locations.

<2> 도 9, 도 10a, 및 도 10b의 예에서는, X방향에서 보았을 때에, 각 차풍 부재(20)가, 엑시머 램프(10)(관체(14))를 사이에 두고 이격한 2개소의 위치에 배치된 차폐부(23)를 구비하는 것으로서 설명했다. 그러나, 각 차풍 부재(20)가 갖는 차폐부(23)의 수는, 2에 한정되지 않고, 3 이상이어도 상관없다. 또한, 각 차폐부(23)가 이격하는 방향에 대해서도, Y방향이나 Z방향에는 한정되지 않고, 각 차폐부(23)가 엑시머 램프(10)를 사이에 두고 배치되어 있는 한에 있어서 임의이다.<2> In the examples of Figs. 9, 10A, and 10B, when viewed from the X direction, the two windshield members 20 are spaced apart from each other with the excimer lamp 10 (tube 14) interposed therebetween. It has been described as having a shield 23 disposed at a position. However, the number of shielding portions 23 of each of the windshield members 20 is not limited to 2, and may be 3 or more. Further, the direction in which the respective shielding portions 23 are spaced apart is not limited to the Y direction or the Z direction, and is arbitrary as long as each shielding portion 23 is disposed with the excimer lamp 10 interposed therebetween.

<3> 도 9, 도 10a, 및 도 10b를 참조하여 상술한 바와 같이, X방향으로 이격한 복수의 개소에 차풍 부재(20)가 배치되는 경우에 있어서는, X방향에서 보았을 때에, 차풍 부재(20a)의 제1 개구부(21)의 일부와, 차풍 부재(20b)의 차폐부(23)가 겹쳐지도록 배치되어 있는 것이 바람직하다. 단, 본 발명은, 각 차풍 부재(20)의 제1 개구부(21)끼리가 X방향에 관하여 완전하게 겹쳐지는 양태로 배치되는 구성을 배제하는 취지는 아니다.<3> As described above with reference to Figs. 9, 10A, and 10B, when the windshield member 20 is disposed at a plurality of locations spaced apart in the X direction, the windshield member ( It is preferable that a part of the first opening portion 21 of 20a and the shield portion 23 of the windshield member 20b overlap. However, the present invention is not intended to exclude a configuration in which the first openings 21 of each of the windshield members 20 are disposed in a manner in which they overlap completely in the X direction.

[제3 실시 형태][Third embodiment]

본 발명의 기체 처리 장치의 제3 실시 형태에 대하여 설명한다.The third embodiment of the gas processing apparatus of the present invention will be described.

(구조)(rescue)

도 11은, 본 실시 형태의 기체 처리 장치의 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 기체 처리 장치(1)는, 하우징(3)과, 흡기구(5)와, 엑시머 램프(10)와, 배기구(7)와, 복수 장의 차풍 부재(20(20a, 20b, 20c, 20d, 20e))를 구비한다. 또한, 이하에서는, 흡기구(5)로부터 배기구(7)를 향하는 방향을 X방향으로 하고, 이 X방향에 직교하는 평면을 YZ평면으로서 규정한다. 도 11에는, X, Y, 및 Z의 3방향이, 기체 처리 장치(1)와 함께 도시되어 있다. 여기에서는, X, Y, 및 Z의 3방향이, 우수계의 좌표계인 것으로서 나타내어져 있다.11 is a cross-sectional view schematically showing the structure of the gas processing apparatus of the present embodiment. The gas processing apparatus 1 includes a housing 3, an intake port 5, an excimer lamp 10, an exhaust port 7, and a plurality of wind-blocking members 20 (20a, 20b, 20c, 20d, 20e) ). In the following, the direction from the intake port 5 to the exhaust port 7 is set to the X direction, and a plane orthogonal to the X direction is defined as the YZ plane. In FIG. 11, three directions of X, Y, and Z are shown together with the gas treatment device 1. Here, three directions of X, Y, and Z are shown as being coordinate systems of a stormwater system.

상기 좌표계를 이용하여 설명하면, 도 11은, 기체 처리 장치(1)를 XY평면에서 절단했을 때의 단면도에 대응한다.When described using the coordinate system, FIG. 11 corresponds to a cross-sectional view when the gas processing device 1 is cut in the XY plane.

도 11에 있어서, 기체의 흐름이 모식적으로 이점쇄선으로 나타내어지고, 광의 흐름이 모식적으로 파선으로 나타내어져 있다. 본 실시 형태에 있어서, 유로 방향은 +X방향에 대응한다. 또한, 「제1 방향」은, +X방향 및 -X방향에 대응한다. 이하에서는, 방향의 정부를 구별할 필요가 없는 경우에는, 정부의 표기를 행하지 않는다.In Fig. 11, the flow of gas is schematically represented by a double-dashed line, and the flow of light is schematically represented by a broken line. In this embodiment, the flow path direction corresponds to the +X direction. In addition, "first direction" corresponds to +X direction and -X direction. Hereinafter, when it is not necessary to distinguish the government in the direction, the government is not indicated.

또한, 하우징(3)의 형상에 관하여, 도 11에서는, 도 1 및 도 8에 도시된 하우징(3)의 형상과 상이하도록 도시되어 있다. 그러나, 본 실시 형태에 있어서도, 도 1 및 도 8에 도시된 형상의 하우징(3)을 채용해도 상관없다. 반대로, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에 있어서, 도 11에 도시된 형상의 하우징(3)을 채용해도 상관없다.In addition, with respect to the shape of the housing 3, in FIG. 11, it is shown to be different from the shape of the housing 3 shown in FIGS. However, also in this embodiment, the housing 3 of the shape shown in FIGS. 1 and 8 may be employed. Conversely, in the first and second embodiments, the housing 3 having the shape shown in FIG. 11 may be employed.

흡기구(5)는, 기체 처리 장치(1)의 외측으로부터 하우징(3)의 내부에 피처리 기체(G1)를 도입하기 위한 개구부이다. 피처리 기체(G1)는, 산소 및 수분을 포함하는 기체이며, 예를 들면 공기나 배기 가스 등이다.The intake port 5 is an opening for introducing the gas to be treated G1 into the interior of the housing 3 from the outside of the gas processing device 1. The gas to be treated G1 is a gas containing oxygen and moisture, and is, for example, air or exhaust gas.

도 11에 나타내는 기체 처리 장치(1)에서는, 흡기구(5)에 송풍 기구로서의 팬(6)을 구비하고 있다. 송풍 기구는, 팬(6)과는 상이한 장치로 구성되어 있어도 상관없고, 배기구(7)측에 배치되어 있어도 상관없으며, 흡기구(5)와 배기구(7) 사이의 유로 상에 배치되어 있어도 상관없다. 또한, 기체 처리 장치(1)의 외측으로부터 흡기구(5)를 통하여 하우징(3)의 내부를 향하여, 충분한 유량의 피처리 기체(G1)를 도입할 수 있는 환경하에 있어서는, 송풍 기구(팬(6))가 구비되지 않아도 상관없다.In the gas processing apparatus 1 shown in FIG. 11, the intake port 5 is provided with a fan 6 as a blowing mechanism. The blowing mechanism may be composed of a device different from the fan 6, may be disposed on the exhaust port 7 side, or may be disposed on the flow path between the intake port 5 and the exhaust port 7. . In addition, in an environment in which the gas to be treated G1 with a sufficient flow rate can be introduced from the outside of the gas processing device 1 to the inside of the housing 3 through the intake port 5, the blowing mechanism (fan 6 It does not matter even if )) is not provided.

또한, 상술한 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태에 있어서도, 흡기구(5)측 또는 배기구(7)측에 송풍 기구(팬(6))를 구비하는 것으로 해도 상관없다.In addition, also in the above-mentioned 1st Embodiment and 2nd Embodiment, you may be provided with the ventilation mechanism (fan 6) in the intake port 5 side or the exhaust port 7 side.

본 실시 형태에 있어서, 기체 처리 장치(1)는, X방향으로 이격하여 배치된 복수 장의 차풍 부재(20)를 구비한다. 도 11에 나타나는 예에서는, 기체 처리 장치(1)는, 5장의 차풍 부재(20a, 20b, 20c, 20d, 20e)를 구비하고 있다. 이하에서는, 차풍 부재(20a, 20b, 20c, 20d, 20e)를 총칭하여 「차풍 부재(20)」라고 하는 기재가 이용된다.In the present embodiment, the gas processing apparatus 1 includes a plurality of windshield members 20 spaced apart in the X direction. In the example shown in FIG. 11, the gas processing apparatus 1 is provided with five wind-shielding members 20a, 20b, 20c, 20d, and 20e. In the following, descriptions of the windshield members 20a, 20b, 20c, 20d, and 20e collectively as the "windshield member 20" are used.

도 12a 및 도 12b는, 차풍 부재(20)를 X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다. 도 12a는, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)의 모식적인 평면도에 대응하고, 도 12b는, 차풍 부재(20b, 20d)의 모식적인 평면도에 대응한다. 또한, 도 12a 및 도 12b에는, 하우징(3)의 일부분도 도시되어 있다.12A and 12B are schematic plan views when the windshield member 20 is viewed in the X direction. 12A corresponds to a schematic plan view of the windshield members 20a, 20c, and 20e, and FIG. 12B corresponds to a schematic plan view of the windshield members 20b, 20d. 12A and 12B, a part of the housing 3 is also shown.

도 12a 및 도 12b에 나타내어지는 바와 같이, 차풍 부재(20)는, 제1 개구부(21), 제2 개구부(22), 및 차폐부(23)를 구비한다. 차폐부(23)는, 예를 들면, 오존(O3)이나 자외선에 대하여 열화되기 어려운, 스테인리스나 티탄으로 구성되어 있다. 즉, 차풍 부재(20)는, 중앙 부근에 제1 개구부(21)가 개구된, 차폐부(23)를 구비하여 구성되어 있다.As shown in FIGS. 12A and 12B, the windshield member 20 includes a first opening 21, a second opening 22, and a shield 23. The shielding portion 23 is made of, for example, stainless steel or titanium, which is difficult to deteriorate with respect to ozone (O 3 ) or ultraviolet rays. That is, the windshield member 20 is configured with a shield 23 in which the first opening 21 is opened near the center.

차폐부(23) 상에 있어서, 제1 개구부(21)보다 외측의 위치에, 복수 개의 제2 개구부(22)가 분산되어 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제2 개구부(22)는, 동심원 형상으로 등간격으로 분산되어 배치되어 있다.On the shielding part 23, a plurality of second openings 22 are dispersed and formed at a position outside the first openings 21. In this embodiment, the 2nd opening part 22 is arrange|positioned at equal intervals in the shape of concentric circles.

제1 개구부(21) 및 제2 개구부(22)는, 차풍 부재(20)의 깊이 방향(도 12a 및 도 12b에 있어서의 X방향)으로, 차풍 부재(20)를 관통하도록 개구되어 있다.The 1st opening part 21 and the 2nd opening part 22 are open so that the windshield member 20 may penetrate in the depth direction (X direction in FIGS. 12A and 12B) of the windshield member 20.

차풍 부재(20)는, 예를 들면 나사 체결 등의 방법으로 하우징(3)에 대하여 고정되어 있다. 차풍 부재(20)는, 하우징(3)과의 사이에, 실질적으로 극간이 형성되지 않도록 고정되어 있다.The windshield member 20 is fixed to the housing 3 by a method such as screwing. The windshield member 20 is fixed between the housing 3 so as not to form a substantial gap.

본 실시 형태에서는, 엑시머 램프(10)는, X방향을 길이 방향으로 하는 장척 형상을 나타낸다. 엑시머 램프(10)는, 제1 개구부(21)를 X방향으로 관통하도록 배치되어 있다. 엑시머 램프(10)는, X방향으로 이격하여 배치된 복수 장의 차풍 부재(20)의 제1 개구부(21)를 관통하도록 배치되어 있다.In this embodiment, the excimer lamp 10 has a long shape with the X direction as the longitudinal direction. The excimer lamp 10 is arranged to penetrate the first opening 21 in the X direction. The excimer lamp 10 is disposed so as to penetrate the first openings 21 of the plurality of windshield members 20 spaced apart in the X direction.

제1 개구부(21)의 내경은, 엑시머 램프(10)의 외경보다 크다. 즉, 엑시머 램프(10)와 차폐부(23)의 사이에는, 여전히 개구 영역(제1 개구부(21))이 형성되어 있다.The inner diameter of the first opening 21 is larger than the outer diameter of the excimer lamp 10. That is, an opening area (first opening 21) is still formed between the excimer lamp 10 and the shield 23.

도 12a 및 도 12b에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)와 차풍 부재(20b, 20d)에서는, 차풍 부재(20)의 면 상에 있어서의 제2 개구부(22)의 형성 위치가 상이하다. 또한, 여기에서 말하는 「차풍 부재(20)의 면」이란, 도 12a 및 도 12b에 나타내는 바와 같이, YZ평면을 가리킨다.12A and 12B, in the present embodiment, in the windshield members 20a, 20c, and 20e, and the windshield members 20b, 20d, the second openings on the surface of the windshield member 20 ( The formation position of 22) is different. In addition, "the surface of the windshield member 20" referred to herein refers to the YZ plane as shown in Figs. 12A and 12B.

구체적으로, 도 12a 및 도 12b에 나타나는 예에서는, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)는, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)보다, 엑시머 램프(10)에 가까운 위치에 배치되어 있다. 즉, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)와 제1 개구부(21)의 이격 거리(d1)는, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)와 제1 개구부(21)의 이격 거리(d2)보다 짧다.Specifically, in the example shown in FIGS. 12A and 12B, the second openings 22 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e are the second openings 22 formed in the windshield members 20b, 20d. ), it is disposed closer to the excimer lamp 10. That is, the separation distance d1 between the second opening 22 and the first opening 21 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e is the second opening formed in the windshield members 20b, 20d. It is shorter than the separation distance d2 between (22) and the first opening (21).

즉, 흡기구(5)측으로부터 X방향에서 보았을 때, 복수 장의 차풍 부재(20)가 구비하는 제1 개구부(21)의 각각은 겹쳐져 있는 반면, 복수 장의 차풍 부재(20)가 구비하는 제2 개구부(22)는, 그 일부가 어긋난 위치에 형성되어 있다. 도 11의 예에 의하면, 흡기구(5)에 가장 가까운 위치에 배치된 차풍 부재(20a)에 형성된 제2 개구부(22)는, X방향에 관하여, 인접하는 차풍 부재(20b)에 설치된 차폐부(23)와 겹쳐져 있다. 마찬가지로, 차풍 부재(20b)에 형성된 제2 개구부(22)는, X방향에 관하여, 인접하는 차풍 부재(20c)에 설치된 차폐부(23)와 겹쳐져 있다.That is, when viewed from the intake port 5 side in the X direction, each of the first openings 21 provided in the plurality of windshield members 20 overlaps, while the second openings are provided in the plurality of windshield members 20 The (22) is formed at a position where a part of it is shifted. According to the example of FIG. 11, the second opening 22 formed in the windshield member 20a disposed at the position closest to the intake port 5 is a shield provided in the adjacent windshield member 20b with respect to the X direction ( 23). Similarly, the second opening 22 formed in the windshield member 20b overlaps the shield 23 provided in the adjacent windshield member 20c with respect to the X direction.

도 12c는, 각 차풍 부재(20)에 형성된 제2 개구부(22)의 위치를 설명하기 위한 모식적인 도면이다. 제1 개구부(21)에 가까운 위치(이격 거리(d1))에 배치되어 있는 제2 개구부(22)는, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 것이고, 제1 개구부(21)로부터 떨어진 위치(이격 거리(d2))에 배치되어 있는 제2 개구부(22)는, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 것이다.12C is a schematic view for explaining the position of the second opening 22 formed in each of the windshield members 20. The second opening 22 disposed at a position close to the first opening 21 (spacing distance d1) is formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e, and from the first opening 21 The 2nd opening part 22 arrange|positioned at the distant position (spaced distance d2) is formed in the windshield members 20b and 20d.

흡기구(5)로부터 하우징(3) 내에 도입된 피처리 기체(G1)는, 배기구(7)를 향하여 흐른다. 이 피처리 기체(G1)는, 흡기구(5)에 가장 가까운 위치에 배치되어 있는 차풍 부재(20a)의 위치에 도달하면, 차폐부(23)에 충돌하면서, 제1 개구부(21) 및 제2 개구부(22)를 통하여 배기구(7)의 방향으로 흐른다.The gas to be treated G1 introduced into the housing 3 from the intake port 5 flows toward the exhaust port 7. When the gas to be treated G1 reaches the position of the windshield member 20a disposed at the position closest to the intake port 5, the first opening 21 and the second opening collide with the shield 23 It flows in the direction of the exhaust port 7 through the opening 22.

상술한 바와 같이, 복수 장의 차풍 부재(20)가 구비하는 제1 개구부(21)의 각각은, X방향으로 겹쳐져 있다. 이 때문에, 제1 개구부(21)를 통하여 차풍 부재(20a)를 통과한 피처리 기체(G1)는, 엑시머 램프(10)의 길이 방향인 X방향을 따라 엑시머 램프(10)의 근방을 진행하면서, 각 차풍 부재(20b, 20c, 20d, 20e)의 제1 개구부(21)를 통하여 배기구(7)로 유도된다.As described above, each of the first openings 21 provided in the plurality of windshield members 20 overlaps in the X direction. For this reason, the to-be-processed gas G1 which passed through the windshield member 20a through the 1st opening part 21 progresses the vicinity of the excimer lamp 10 along the X direction which is the longitudinal direction of the excimer lamp 10. , It is guided to the exhaust port 7 through the first opening 21 of each of the windshield members 20b, 20c, 20d, 20e.

한편, 제2 개구부(22)를 통하여 차풍 부재(20a)를 통과하고, X방향으로 진행하는 피처리 기체(G1)는, 인접하는 차풍 부재(20b)의 차폐부(23)에 충돌한다. 차풍 부재(20b)의 차폐부(23)에 충돌한 피처리 기체(G1)는, 그 대부분은, 차풍 부재(20b)의 제2 개구부(22)가 형성되어 있는 측으로 흐름이 변경된다. 또한, 제1 개구부(21)를 통하여 차풍 부재(20a)를 통과한 피처리 기체(G1)에 대해서도, 그 일부는 제2 개구부(22)측으로 진행 방향이 변경된다. 그 결과, 차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)의 사이에 끼인 영역 내에 있어서, 피처리 기체(G1)가 일시적으로 체류한다.On the other hand, the gas to be processed G1 passing through the windshield member 20a through the second opening 22 and traveling in the X direction collides against the shield 23 of the adjacent windshield member 20b. The flow of the target gas G1 that has collided with the shielding portion 23 of the windshield member 20b is mostly changed to the side where the second opening 22 of the windshield member 20b is formed. In addition, for the gas to be processed G1 that has passed through the windshield member 20a through the first opening portion 21, a part of the direction of travel changes to the second opening portion 22 side. As a result, in the region sandwiched between the windshield member 20a and the windshield member 20b, the gas to be treated G1 temporarily remains.

도 11에 나타내는 구성에 있어서는, 인접하는 차풍 부재(20)끼리가, 제2 개구부(22)의 배치 위치를 상이하게 하고 있기 때문에, 동일한 원리에 의하여, 인접하는 2개의 차풍 부재(20) 사이에 끼이는 영역 내에 있어서, 피처리 기체(G1)가 일시적으로 체류한다. 이 효과에 대해서는, 후술된다.In the configuration shown in Fig. 11, since the adjacent wind-blocking members 20 have different arrangement positions of the second openings 22, between the two adjacent wind-blocking members 20 by the same principle. In the sandwiched region, the gas to be treated G1 temporarily remains. This effect will be described later.

일례로서, 엑시머 램프(10)의 X방향(길이 방향)에 관련된 길이(발광 길이)는 80mm이며, YZ평면 상의 외경에 관련된 길이(직경)는 16mm이다. 또한, 엑시머 램프(10)의 외연부와 차풍 부재(20)의 간격은, 1mm 이상 20mm 이하인 것이 바람직하고, 1mm 이상 15mm 이하인 것이 보다 바람직하며, 1mm 이상 10mm 이하인 것이 보다 더 바람직하다.As an example, the length (light emission length) related to the X direction (longitudinal direction) of the excimer lamp 10 is 80 mm, and the length (diameter) related to the outer diameter on the YZ plane is 16 mm. In addition, the distance between the outer edge portion of the excimer lamp 10 and the windshield member 20 is preferably 1 mm or more and 20 mm or less, more preferably 1 mm or more and 15 mm or less, and even more preferably 1 mm or more and 10 mm or less.

차풍 부재(20)에 형성되어 있는 제2 개구부(22) 중 하나의 면적은, 3mm2 이상인 것이 바람직하고, 13mm2 이상인 것이 보다 바람직하다. 제2 개구부(22) 중 하나의 면적이 너무 작으면, 기체(G1, G2)가 충분히 통류하기 어려워진다. 엑시머 램프(10)의 외연부와 차풍 부재(20)의 간격의 단면적(S1)과, 제2 개구부의 총면적(ΣS2)의 관계는, S1≥ΣS2인 것이 바람직하고, S1≥2×ΣS2인 것이 보다 바람직하다. 또한, 차풍 부재(20)의 두께, 즉 X방향에 관련된 길이는 임의이며, 예를 들면, 2mm이다.Chapung is formed in the member 20, a second opening area of 22, which is preferably at least 3mm 2, and more preferably not less than 13mm 2. When the area of one of the second openings 22 is too small, it is difficult for the gases G1 and G2 to sufficiently flow. The relationship between the cross-sectional area (S1) of the gap between the outer edge of the excimer lamp (10) and the windshield member (20) and the total area (ΣS2) of the second opening is preferably S1≥ΣS2, and S1≥2×ΣS2 It is more preferable. In addition, the thickness of the windshield member 20, that is, the length related to the X direction is arbitrary, for example, 2 mm.

하우징(3)의 형상은 임의이다. 일례로서, XY방향에 관련된 단면을 직사각형 형상으로 할 수 있고, YZ방향에 관련된 단면을 직사각형 형상 또는 원 형상으로 할 수 있다. 하우징(3)의 X방향에 관련된 길이의 일례는 150mm이며, YZ방향에 관련된 단면적의 일례는 3600mm2이다.The shape of the housing 3 is arbitrary. As an example, the cross section related to the XY direction can be a rectangular shape, and the cross section related to the YZ direction can be a rectangular shape or a circular shape. An example of the length related to the X direction of the housing 3 is 150 mm, and an example of the cross-sectional area related to the YZ direction is 3600 mm 2 .

(작용)(Action)

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)에 의하면, 종래의 장치와 비교하여 악취 성분의 분해 성능이 향상되는 점에 대하여, 이하에 있어서 설명한다.According to the gas processing apparatus 1 of the present embodiment, the decomposition performance of the malodor component is improved as compared with the conventional apparatus will be described below.

도 13은, Xe를 포함하는 방전용 가스가 충전된 엑시머 램프의 발광 스펙트럼과, 산소(O2) 및 오존(O3)의 흡수 스펙트럼을 겹쳐 표시한 그래프이다. 도 13에 있어서, 가로축은 파장을 나타내고, 좌측 세로축은 엑시머 램프의 광강도의 상댓값을 나타내며, 우측 세로축은, 산소(O2) 및 오존(O3)의 흡수 계수를 나타낸다.13 is a graph showing the emission spectrum of an excimer lamp filled with a discharge gas containing Xe and an absorption spectrum of oxygen (O 2 ) and ozone (O 3 ). In Fig. 13, the horizontal axis represents the wavelength, the left vertical axis represents the relative value of the light intensity of the excimer lamp, and the right vertical axis represents the absorption coefficients of oxygen (O 2 ) and ozone (O 3 ).

도 13에 나타내어지는 바와 같이, 엑시머 램프(10)의 출사광은, 160nm 이상 180nm 미만의 범위 내(이하, 「제1 파장대(λ1)」라고 부른다)의 성분을 포함한다. 도 13에 나타내는 바와 같이, 이 제1 파장대(λ1)의 광은, 산소(O2)에 의한 흡수량이 크다. 이 때문에, 제1 파장대(λ1)의 광의 대부분은, 제1 개구부(21)를 통하여 엑시머 램프(10)의 근방을 통류하는 피처리 기체(G1)에 의하여 흡수되어 버린다. 이때, 제1 실시 형태에 있어서 상술한 (1)~(3)식에 의하여, 반응성이 높은 O(1D)나 히드록시 라디칼(·OH)이 생성된다. 만일을 위하여, 다시 기재한다.As shown in FIG. 13, the emitted light of the excimer lamp 10 contains components in a range of 160 nm or more and less than 180 nm (hereinafter referred to as "first wavelength band (λ 1 )"). As shown in Fig. 13, the light in the first wavelength band λ 1 is largely absorbed by oxygen (O 2 ). For this reason, most of the light in the first wavelength band λ 1 is absorbed by the gas to be processed G1 flowing through the first opening 21 and in the vicinity of the excimer lamp 10. At this time, in the first embodiment, O( 1 D) or hydroxy radical (·OH) having high reactivity is produced by the above-described formulas (1) to (3). Again, just in case.

O2+hν(λ1)→O(1D)+O(3P)‥‥(1)O 2 +hν(λ 1 )→O( 1 D)+O( 3 P) ‥‥(1)

O(3P)+O2→O3‥‥(2)O( 3 P)+O 2 →O 3 ‥‥(2)

O(1D)+H2O→·OH+·OH‥‥(3)O( 1 D)+H 2 O→·OH+·OH……(3)

한편, 도 13에 나타내어지는 바와 같이, 엑시머 램프(10)의 출사광은, 제1 파장대(λ1)의 성분뿐만 아니라, 180nm 이상 200nm 미만의 범위 내(이하, 「제2 파장대(λ2)」라고 부른다)의 성분도 포함한다. 이 제2 파장대(λ2)의 광은, 제1 파장대(λ1)의 광보다는 강도가 저하하지만, 주된 피크 파장에 대응하는 강도(피크값)에 대하여, 5% 이상 50% 이하의 강도를 나타내는 파장 영역이 존재한다. 적분 강도로 환산하면, 제2 파장대(λ2)의 광은, 제1 파장대(λ1)의 광에 대하여, 10% 이상 30% 이하의 강도를 가지고 있다.On the other hand, as shown in FIG. 13, the emitted light of the excimer lamp 10 is not only a component of the first wavelength band (λ 1 ), but also within a range of 180 nm or more and less than 200 nm (hereinafter, referred to as “second wavelength band (λ 2 )”). It is also included in the ingredients of ``referred to as''. The light in the second wavelength band (λ 2 ) is lower in intensity than the light in the first wavelength band (λ 1 ), but the intensity (peak value) corresponding to the main peak wavelength is 5% or more and 50% or less. There is a wavelength region indicated. In terms of integral intensity, light in the second wavelength band λ 2 has an intensity of 10% or more and 30% or less with respect to light in the first wavelength band λ 1 .

제2 파장대(λ2)의 광은, 제1 파장대(λ1)의 광과 비교하면, 산소(O2)에 의한 흡수량이 현저하게 낮다(도 13에 있어서 우측 세로축은 대수 눈금에 의하여 표기되어 있다.). 즉, 엑시머 램프(10)로부터 사출된 제2 파장대(λ2)의 광의 적어도 일부는, 제1 개구부(21) 내를 통류하는 피처리 기체(G1)를 투과하여, 엑시머 램프(10)로부터 이격한 영역에 대하여 진행한다.The light in the second wavelength band (λ 2 ) is significantly lower in absorption by oxygen (O 2 ) compared to the light in the first wavelength band (λ 1 ) (in FIG. 13, the right vertical axis is indicated by a logarithmic scale) have.). That is, at least a portion of the light of the second wavelength band λ 2 emitted from the excimer lamp 10 passes through the gas G1 flowing through the first opening 21 and is spaced from the excimer lamp 10. Proceed on one area.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태에 따른 기체 처리 장치(1)에 의하면, X방향으로 이격하여 복수 장의 차풍 부재(20)가 설치되어 있고, 인접하는 차풍 부재(20)에 구비되어 있는 제2 개구부(22)의 YZ평면 상의 배치 위치가 어긋나 있기 때문에, 인접하는 차풍 부재(20)끼리 사이에 끼인 영역 내에 있어서 피처리 기체(G1)가 일시적으로 체류한다. 이 체류한 피처리 기체(G1)에는, 상기 (1)~(3)식에 나타내는 반응이 실행된 기체가 포함되어 있기 때문에, 오존(O3)이 포함된다. 이 피처리 기체(G1)에 대하여, 제2 파장대(λ2)의 광이 흡수되면, 이하의 (4)식에 나타내는 반응이 진행된다.As described above, according to the gas processing apparatus 1 according to the present embodiment, a plurality of windshield members 20 are provided spaced apart in the X direction, and the second openings are provided in adjacent windshield members 20. Since the arrangement position on the YZ plane of (22) is shifted, the gas to be treated (G1) temporarily remains in the region sandwiched between the adjacent windshield members (20). Ozone (O 3 ) is contained in the gas to be treated G1, since the gas to which the reactions shown in the above formulas (1) to (3) have been carried out is contained. When light in the second wavelength band λ 2 is absorbed into the gas G1 to be treated, the reaction shown in the following equation (4) proceeds.

O3+hν(λ2)→O2+O(1D)‥‥(4)O 3 +hν(λ 2 )→O 2 +O( 1 D)‥‥(4)

그 결과, 엑시머 램프(10)로부터 떨어진 위치에 있어서도, 반응성이 높은 O(1D)가 생성된다. 이 O(1D)의 일부는, 상술한 (3)식에 따라서, 반응성이 높은 히드록시 라디칼(·OH)을 생성한다.As a result, O( 1 D) with high reactivity is generated even at a position away from the excimer lamp 10. Part of this O (1 D) is, to produce a hydroxyl radical (· OH) high reactivity based on the aforesaid expression (3).

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)에 의하면, 엑시머 램프(10)의 근방에 있어서, 상기 (1)식에 따라서 반응성이 높은 O(1D)가 생성됨과 더불어, 엑시머 램프(10)로부터 떨어진 위치에 있어서도, 상기 (4)식에 따라서 반응성이 높은 O(1D)가 생성된다. 그리고, 이들 O(1D)는, (3)식에 따라서, 반응성이 높은 히드록시 라디칼(·OH)을 생성한다. 즉, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)에 의하면, 피처리 기체(G1)로부터, 오존(O3)보다 반응성이 높은 O(1D) 및 ·OH를, 효과적으로 생성할 수 있다. 이것에 의하여, 피처리 기체(G1) 내에, 오존에 의하여 분해하기 어려운 물질(예를 들면 포름알데히드 등)이 포함되어 있는 경우이더라도, O(1D) 및 ·OH에 의하여 효율적으로 분해하는 것이 가능해진다.According to the substrate processing apparatus 1 of the present embodiment, in the vicinity of the excimer lamp 10, the equation (1) in accordance with the highly reactive O (1 D) generated, away from the excimer lamp 10 Even in the position, O( 1 D) having high reactivity is generated according to the formula (4). And, these O (1 D), in accordance with equation (3), and generates a highly reactive hydroxyl radical (· OH). That is, according to the gas processing apparatus 1 of the present embodiment, O( 1 D) and OH having higher reactivity than ozone (O 3 ) can be effectively generated from the gas to be treated (G1). Thereby, it is possible to efficiently decompose with O( 1 D) and OH even if the substance to be decomposed by ozone (for example, formaldehyde) is contained in the gas to be treated G1. Becomes

또한, 저압 수은 램프에 있어서는, 185nm 근방과 254nm 근방에, 반값폭이 매우 짧은 피크 파장을 갖는 광이 사출된다. 저압 수은 램프로부터의 185nm 근방의 출사광이, 산소를 포함하는 피처리 기체(G1)에 조사되면, 이하의 (5)식에 따라서 기저 상태의 O 원자인 O(3P)가 생성된다.Further, in the low-pressure mercury lamp, light having a peak wavelength with a very short half-value width is emitted in the vicinity of 185 nm and 254 nm. Low pressure is emitted in the vicinity of 185nm light from a mercury lamp, when the irradiation to the target gas (G1) containing the oxygen, is O (3 P) of the ground state O atoms are generated in accordance with (5) the following equation.

O2+hν(185nm)→ O(3P)+O(3P)‥‥(5)O 2 +hν(185nm)→ O( 3 P)+O( 3 P) ‥‥(5)

이 O(3P)는, 피처리 기체(G1)에 포함되는 산소(O2)와 반응하여, 상술한 (2)식에 의하여 오존(O3)을 생성한다.This O( 3 P) reacts with oxygen (O 2 ) contained in the gas G1 to be treated, and generates ozone (O 3 ) by the above-described formula (2).

그런데, 저압 수은 램프로부터의 254nm 근방의 출사광이, 오존(O3)을 포함하는 피처리 기체(G1)에 조사되면, 이하의 (6)식(이것은 상기 (4)식과 동일하다.)에 따라서, 여기 상태의 O 원자인 O(1D)를 생성한다.By the way, when the emitted light in the vicinity of 254 nm from the low-pressure mercury lamp is irradiated to the gas to be treated G1 containing ozone (O 3 ), in the following formula (6) (this is the same as in the formula (4) above). Thus, O( 1 D), which is the O atom in the excited state, is produced.

O3+hν(254nm)→ O2+O(1D)···(6)O 3 +hν(254nm)→ O 2 +O( 1 D)...(6)

종래의 저압 수은 램프를 이용한 기체 처리 장치는, 상기 (5)식 및 (2)식의 반응을 일으켜 오존(O3)을 생성하고, 이 오존(O3)에 의하여 피처리 기체(G1)에 포함되는 악취 성분을 분해시키는 것을 의도하고 있다. 이 때문에, 피처리 기체(G1)는, 상기 (5)식 및 (2)식의 반응을 거쳐, 오존(O3)을 포함하는 기체로 변환된 후, 배기구로 유도되는 구성이다. 이 때문에, O(1D)를 생성하기 위한 (6)식의 반응이 충분히 일어나지 않는다. 그 결과, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)와 비교하여, 반응성이 높은 O(1D) 및 ·OH의 생성 속도가 저하한다.The conventional gas treatment apparatus using a low-pressure mercury lamp generates the ozone (O 3 ) by reacting the above formulas (5) and (2), and the ozone (O 3 ) is used to treat the gas (G1). It is intended to decompose the malodor component included. For this reason, the gas to be treated G1 is configured to be converted into a gas containing ozone (O 3 ) through the reactions of the above formulas (5) and (2), and then guided to the exhaust port. For this reason, the reaction of the formula (6) for generating O( 1 D) does not occur sufficiently. As a result, compared with the gas treatment device 1 of the present embodiment, the production rates of O( 1 D) and OH with high reactivity decrease.

또한, 종래의 저압 수은 램프를 이용한 기체 처리 장치에 있어서, 만일 (6)식의 반응이 어느 정도 진행되었다고 해도, 저압 수은 램프로부터의 출사광을 피처리 기체(G1)에 조사한 경우에는, 상기 (1)식에 나타내는 반응이 형성되지 않는다. 이것은, 역시, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)와 비교하여, 반응성이 높은 O(1D) 및 ·OH의 생성 속도가 저하하는 것을 의미한다. 즉, 저압 수은 램프를 이용한 기체 처리 장치에 의하면, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)보다 분해 성능이 낮은 것을 알 수 있다.Further, in the conventional gas processing apparatus using a low-pressure mercury lamp, even if the reaction of the formula (6) has progressed to some extent, when the light emitted from the low-pressure mercury lamp is irradiated to the gas to be processed G1, the ( 1) The reaction shown in Formula is not formed. This also means that the production rates of O( 1 D) and OH with high reactivity are lower than those of the gas treatment apparatus 1 of the present embodiment. That is, it can be seen that the gas processing apparatus using the low pressure mercury lamp has lower decomposition performance than the gas processing apparatus 1 of the present embodiment.

(변형예)(Modified example)

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)의 변형예에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 변형예끼리를 조합함으로써 기체 처리 장치(1)를 실현하는 것도 가능하다.The modified example of the gas processing apparatus 1 of this embodiment is demonstrated with reference to drawings. Moreover, it is also possible to realize the gas processing apparatus 1 by combining each modification.

<1> 도 14에 나타내는 바와 같이, 기체 처리 장치(1)는, 흡기구(5)와 배기구(7)의 사이에, X방향으로 이격한 복수 개의 엑시머 램프(10)를 구비하는 구성으로 해도 상관없다.<1> As shown in FIG. 14, the gas processing apparatus 1 may be configured to include a plurality of excimer lamps 10 spaced apart in the X direction between the intake port 5 and the exhaust port 7 none.

<2> 도 15에 나타내는 바와 같이, 기체 처리 장치(1)는, 흡기구(5)와 배기구(7)의 사이에, X방향과 교차하는 방향으로 이격한 복수 개의 엑시머 램프(10)를 구비하는 구성으로 해도 상관없다. 이 구조의 기체 처리 장치(1)가 구비하는 차풍 부재(20)의 모식적인 평면도를, 도 12a 및 도 12b와 마찬가지로, 도 16a 및 도 16b에 나타낸다.<2> As shown in Fig. 15, the gas treatment device 1 includes a plurality of excimer lamps 10 spaced apart in the direction intersecting the X direction between the intake port 5 and the exhaust port 7 It may be configured. A schematic plan view of the windshield member 20 provided in the gas processing apparatus 1 having this structure is shown in FIGS. 16A and 16B, similarly to FIGS. 12A and 12B.

이 예에서는, 기체 처리 장치(1)는, 장척 형상의 3개의 엑시머 램프(10)를 구비하고 있다. 각 엑시머 램프(10)는, 모두, 각 차풍 부재(20)에 형성된 제1 개구부(21) 내를 관통하도록 배치되어 있다. 즉, 각 차풍 부재(20)에는, 3개소의 제1 개구부(21)가 형성되어 있다.In this example, the gas processing apparatus 1 is provided with three excimer lamps 10 of a long shape. Each excimer lamp 10 is disposed so as to penetrate through the first opening 21 formed in each of the windshield members 20. That is, three first openings 21 are formed in each of the windshield members 20.

도 16a 및 도 16b에 나타나는 예에서는, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)는, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)보다, 엑시머 램프(10)에 가까운 위치에 배치되어 있다.In the example shown in FIGS. 16A and 16B, the second openings 22 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e are more than the second openings 22 formed in the windshield members 20b, 20d, It is arranged close to the excimer lamp 10.

<3> 상기 실시 형태에서는, 차풍 부재(20)를 X방향에서 보았을 때, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)의 위치와, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)의 위치를 상이하게 하는 방법으로서, 엑시머 램프(10)로부터 제2 개구부(22)까지의 이격 거리를 상이하게 하는 것으로서 설명했다. 그러나, 엑시머 램프(10)로부터 제2 개구부(22)의 위치까지의 거리는 공통으로 하면서도, 차풍 부재(20)를 X방향에서 보았을 때, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)의 위치와, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)의 위치를 상이하게 하는 것으로 해도 상관없다. 이 구조의 기체 처리 장치(1)가 구비하는 차풍 부재(20)의 모식적인 평면도를, 도 12a 및 도 12b와 마찬가지로, 도 17a 및 도 17b에 나타낸다.<3> In the above embodiment, when the windshield member 20 is viewed from the X direction, the position of the second opening 22 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e, and the windshield members 20b, 20d As a method of making the position of the second opening 22 formed in the difference, the distance between the excimer lamp 10 and the second opening 22 was described as different. However, while the distance from the excimer lamp 10 to the position of the second opening 22 is common, when the windshield member 20 is viewed in the X direction, it is formed on the windshield members 20a, 20c, and 20e. You may make it different from the position of the opening part 22 and the position of the 2nd opening part 22 formed in the windshield members 20b and 20d. A schematic plan view of the windshield member 20 provided in the gas processing apparatus 1 having this structure is shown in FIGS. 17A and 17B, similarly to FIGS. 12A and 12B.

도 17a 및 도 17b에 나타나는 예에서는, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)와, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)는, 엑시머 램프(10)로부터의 이격 거리는 공통이지만, 제2 개구부(22)가 형성되어 있는 위치에 있어서의, YZ평면 상의 좌표가 상이하다. 본 실시 형태와 같이, 차풍 부재(20)가 원형으로 구성되어 있고, 각 제2 개구부(22)가 동심원 형상으로 등간격으로 분산되어 배치되어 있는 경우에는, 도 17a에 나타내어지는 차풍 부재(20(20a, 20c, 20e))를 YZ평면 상에 있어서 회전시킴으로써, 도 17b에 나타내어지는 차풍 부재(20b, 20d)가 형성된다.In the example shown in FIGS. 17A and 17B, the second openings 22 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e, and the second openings 22 formed in the windshield members 20b, 20d, The separation distance from the excimer lamp 10 is common, but the coordinates on the YZ plane at the position where the second opening 22 is formed are different. As in the present embodiment, when the windshield member 20 is formed in a circular shape, and each of the second openings 22 are disposed at equal intervals in a concentric shape, the windshield member 20 shown in FIG. 17A ( By rotating the 20a, 20c, 20e) on the YZ plane, the wind-blocking members 20b, 20d shown in Fig. 17B are formed.

도 17c는, 도 17a 및 도 17b에 나타내어지는 차풍 부재(20)에 형성된 제2 개구부(22)의 위치를 설명하기 위한 모식적인 도면이다. 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)와, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)는, 모두 엑시머 램프(10)로부터의 이격 거리는 공통이지만, 차풍 부재(20) 상에 있어서의 형성 위치가 상이한 것이 나타내어져 있다.17C is a schematic view for explaining the position of the second opening 22 formed in the windshield member 20 shown in FIGS. 17A and 17B. The second opening 22 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e and the second opening 22 formed in the windshield members 20b, 20d are all spaced apart from the excimer lamp 10. Although common, the formation positions on the windshield member 20 are different.

또한, 이 경우에 있어서, 도 18에 나타내는 바와 같이, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)와, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)가, X방향에 관하여 일부분에 겹침을 가지고 있어도 상관없다. 겹침을 가지고 있는 부분에 대해서는, X방향을 따라 피처리 기체(G1)가 비교적 빠른 유속을 가지고 통류하지만, 직전의 차풍 부재(20)의 제2 개구부(22)를 통하여 유입된 피처리 기체(G1)의 일부는, 인접하는 차풍 부재(20)의 차폐부(23)에 충돌한다. 이 때문에, 상술한 실시 형태와 동일하게, 인접하는 차풍 부재(20)끼리 사이에 끼인 영역 내에 피처리 기체(G1)를 체류시키는 기능이 나타내어진다.In this case, as shown in Fig. 18, the second openings 22 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e, and the second openings formed in the windshield members 20b, 20d, 22) may have overlapping portions in the X direction. For the portion having the overlap, the gas to be treated G1 flows along the X direction with a relatively fast flow rate, but the gas to be treated G1 introduced through the second opening 22 of the windshield member 20 just before A part of) collides against the shield 23 of the adjacent windshield member 20. For this reason, similarly to the above-described embodiment, the function of retaining the gas to be treated G1 in the region sandwiched between the adjacent windshield members 20 is exhibited.

또한, X방향에서 보았을 때, 인접하는 차풍 부재(20)의 제2 개구부(22)끼리가 겹쳐지는 영역은, 제2 개구부(22)의 면적의 50% 미만인 것이 바람직하다. 즉, X방향에서 보았을 때, 하나의 차풍 부재(20)의 제2 개구부(22)의 50% 이상의 면적이, 인접하는 차풍 부재(20)의 차폐부(23)에 겹쳐지는 것이 바람직하다.Further, when viewed from the X direction, the area where the second openings 22 of the adjacent windshield members 20 overlap is preferably less than 50% of the area of the second openings 22. That is, when viewed from the X direction, it is preferable that an area of 50% or more of the second opening 22 of one windshield member 20 overlaps the shield 23 of the adjacent windshield member 20.

차풍 부재(20)를 X방향에서 보았을 때, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)의 위치와, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)의 위치를 상이하게 하는 경우에 있어서도, 이들 차풍 부재(20)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)의 형성 위치가, X방향에 관하여 일부분에 겹침을 가지고 있어도 상관없다.When the windshield member 20 is viewed in the X direction, the position of the second opening 22 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e, and the second opening formed in the windshield members 20b, 20d Even in the case where the positions of 22) are different, the formation positions of the second openings 22 formed in these windshield members 20 may be partially overlapped in the X direction.

<4> 복수의 제2 개구부(22)는, 차풍 부재(20)의 면 상에 있어서 분산되어 배치되어 있으면 되고, 반드시 동심원 형상으로 배치되어 있지 않아도 상관없다. 또한, 각 제2 개구부(22)는, 동일한 차풍 부재(20) 상에 있어서, 또는 복수의 차풍 부재(20) 간에 있어서, 반드시 동일한 형상이나 크기가 아니어도 상관없다.<4> The plurality of second openings 22 may be dispersed and arranged on the surface of the windshield member 20, and may not necessarily be arranged in a concentric shape. Further, each second opening 22 may not necessarily have the same shape or size on the same windshield member 20 or between a plurality of windshield members 20.

[제4 실시 형태][Fourth Embodiment]

본 발명의 기체 처리 장치의 제4 실시 형태에 대하여, 상기 각 실시 형태와 상이한 개소만을 설명한다.With respect to the fourth embodiment of the gas processing apparatus of the present invention, only the locations different from the above-described respective embodiments will be described.

도 19a는, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)의 구조를 모식적으로 나타내는 단면도이며, 도 11과 마찬가지로 도시된 것이다. 즉, 도 19a는, 본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)를 XY평면에서 절단했을 때의 단면도에 대응한다. 도 19b는, 도 19a에 나타내는 기체 처리 장치(1)의 일부를 도 19a와는 상이한 방향(XZ평면)으로 절단했을 때의 단면도를 모식적으로 나타낸 것이다.19A is a cross-sectional view schematically showing the structure of the gas processing apparatus 1 of the present embodiment, and is shown in the same manner as in FIG. 11. That is, FIG. 19A corresponds to a cross-sectional view when the gas processing apparatus 1 of the present embodiment is cut in the XY plane. 19B schematically shows a cross-sectional view of a part of the gas processing apparatus 1 shown in FIG. 19A when cut in a direction different from that of FIG. 19A (XZ plane).

본 실시 형태에 있어서의 기체 처리 장치(1)는, 제3 실시 형태와 비교하여, 엑시머 램프(10)의 길이 방향의 방향이 상이하다. 도 19a 및 도 19b에 나타내어지는 예에서는, 기체 처리 장치(1)는, 길이 방향을 Z방향으로 하는 엑시머 램프(10)를 복수 개 구비함과 더불어, 각 엑시머 램프(10)는, X방향으로 이격하여 배치되어 있다.The gas treatment apparatus 1 in the present embodiment has a different direction in the longitudinal direction of the excimer lamp 10 as compared to the third embodiment. In the example shown in Figs. 19A and 19B, the gas treatment device 1 includes a plurality of excimer lamps 10 with the longitudinal direction in the Z direction, and each excimer lamp 10 in the X direction They are spaced apart.

제3 실시 형태와 동일하게, 본 실시 형태에 있어서도, 기체 처리 장치(1)는, X방향으로 이격하여 배치된 복수 장의 차풍 부재(20)를 구비한다. 도 19a 및 도 19b에 나타내어지는 예에서는, 기체 처리 장치(1)는, 5장의 차풍 부재(20a, 20b, 20c, 20d, 20e)를 구비하고 있다.Similar to the third embodiment, also in the present embodiment, the gas processing device 1 includes a plurality of wind-blocking members 20 spaced apart in the X direction. In the example shown in FIG. 19A and FIG. 19B, the gas processing apparatus 1 is equipped with five wind-shielding members 20a, 20b, 20c, 20d, and 20e.

도 20a 및 도 20b는, 차풍 부재(20)를 X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이며, 도 12a 및 도 12b와 마찬가지로 도시된 것이다. 도 20a는, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)의 모식적인 평면도에 대응하고, 도 20b는, 차풍 부재(20b, 20d)의 모식적인 평면도에 대응한다.20A and 20B are schematic plan views when the windshield member 20 is viewed in the X direction, and are shown as in FIGS. 12A and 12B. 20A corresponds to a schematic plan view of the windshield members 20a, 20c, and 20e, and FIG. 20B corresponds to a schematic plan view of the windshield members 20b, 20d.

도 20a 및 도 20b에 나타내어지는 바와 같이, 차풍 부재(20)는, 제3 실시 형태의 구성과 동일하게, 중앙 부근에 제1 개구부(21)가 개구된 차폐부(23)를 구비하고, 이 차폐부(23) 상에 있어서, 제1 개구부(21)보다 외측의 위치에, 복수 개의 제2 개구부(22)가 분산되어 형성되어 있다. 또한, 도 20a 및 도 20b에 나타내어지는 예에서는, 차풍 부재(20)는, YZ평면에 평행한 방향에 관하여, 직사각형 형상의 평면을 갖는다.20A and 20B, the windshield member 20 is provided with the shielding part 23 in which the 1st opening part 21 was opened in the vicinity of the center similarly to the structure of 3rd embodiment, This On the shielding part 23, a plurality of second openings 22 are dispersed and formed at a position outside the first openings 21. In addition, in the example shown in FIGS. 20A and 20B, the windshield member 20 has a rectangular flat surface with respect to a direction parallel to the YZ plane.

본 실시 형태에 있어서, 엑시머 램프(10)는, X방향(즉, 엑시머 램프(10)의 비(非)길이 방향)에서 보았을 때, 제1 개구부(21)를 관통하도록 배치되어 있다(도 19b, 도 20a, 도 20b 참조). 그리고, YZ평면 상에 있어서, 제1 개구부(21)가 엑시머 램프(10)를 덮도록 형성되어 있다. 즉, YZ평면 상에 있어서, 엑시머 램프(10)와 차폐부(23)의 사이에는, 여전히 개구 영역(제1 개구부(21))이 형성되어 있다.In the present embodiment, the excimer lamp 10 is arranged to penetrate the first opening 21 when viewed in the X direction (that is, the non-longitudinal direction of the excimer lamp 10) (Fig. 19B). , See FIGS. 20A and 20B ). Then, on the YZ plane, the first opening 21 is formed to cover the excimer lamp 10. That is, on the YZ plane, an opening area (first opening 21) is still formed between the excimer lamp 10 and the shield 23.

그리고, 본 실시 형태에 있어서도, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)와 차풍 부재(20b, 20d)에서는, 제2 개구부(22)의 형성 개소가 상이하다. 즉, 도 20a 및 도 20b에 나타내어지는 예에서는, 차풍 부재(20a, 20c, 20e)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)는, 차풍 부재(20b, 20d)에 형성되어 있는 제2 개구부(22)보다, 엑시머 램프(10)에 가까운 위치에 배치되어 있다. 즉, 흡기구(5)측으로부터 X방향에서 보았을 때, 복수 장의 차풍 부재(20)가 구비하는 제1 개구부(21)의 각각은 겹쳐져 있는 반면, 복수 장의 차풍 부재(20)가 구비하는 제2 개구부(22)는, 그 일부가 어긋난 위치에 형성되어 있다.In addition, also in this embodiment, the formation location of the 2nd opening part 22 differs in the windshield members 20a, 20c, 20e and the windshield members 20b, 20d. That is, in the example shown in FIGS. 20A and 20B, the second openings 22 formed in the windshield members 20a, 20c, and 20e are the second openings 22 formed in the windshield members 20b, 20d. ), it is disposed closer to the excimer lamp 10. That is, when viewed from the intake port 5 side in the X direction, each of the first openings 21 provided in the plurality of windshield members 20 overlaps, while the second openings are provided in the plurality of windshield members 20 The (22) is formed at a position where a part of it is shifted.

본 실시 형태에 따른 기체 처리 장치(1)에 있어서도, 인접하는 차풍 부재(20)끼리 사이에 끼인 영역 내에 있어서, 피처리 기체(G1)를 일시적으로 체류시킬 수 있기 때문에, 반응성이 높은 O(1D) 및 ·OH를, 효과적으로 생성할 수 있다.Also in the gas processing apparatus 1 according to the present embodiment, since the gas to be treated G1 can be temporarily retained in the region sandwiched between the adjacent windshield members 20, the highly reactive O( 1 D) and -OH can be effectively produced.

본 실시 형태의 경우, 제3 실시 형태와는 상이하고, 엑시머 램프(10)의 길이 방향이, 피처리 기체(G1)가 흐르는 방향과 교차하는 방향이다. 이 경우, 인접하는 차풍 부재(20)끼리 사이에 끼인 영역 내에 체류하는 피처리 기체(G1)에 대하여, 충분한 광량의 자외선(L1)을 조사시키기 위해서는, 차풍 부재(20)에 의하여 둘러싸여 있지 않은 영역에도 엑시머 램프(10)를 배치시킬 필요가 있다. 이와 같은 사정에 의하여, 도 19a 및 도 19b에 나타내어지는 예에서는, X방향에 관하여, 차풍 부재(20)가 배치되어 있지 않은 위치에도 엑시머 램프(10)가 배치되어 있다.In the case of the present embodiment, it is different from the third embodiment, and the longitudinal direction of the excimer lamp 10 is a direction intersecting the direction in which the gas to be processed G1 flows. In this case, in order to irradiate ultraviolet light L1 of a sufficient amount of light with respect to the gas to be treated G1 staying in the region sandwiched between the adjacent windshield members 20, the region is not surrounded by the windshield member 20 Edo excimer lamp 10 needs to be arranged. Due to such circumstances, in the example shown in Figs. 19A and 19B, the excimer lamp 10 is also disposed at a position where the windshield member 20 is not disposed with respect to the X direction.

그러나, 예를 들면, X방향에 관하여 엑시머 램프(10)가 차풍 부재(20)로부터 돌출되어 있는 부분의 길이를 충분히 확보할 수 있는 것과 같은 경우 등에 있어서는, X방향에 관하여, 차풍 부재(20)가 배치되어 있는 위치에만 엑시머 램프(10)를 배치하는 것으로 해도 상관없다.However, in the case where, for example, the length of the portion where the excimer lamp 10 protrudes from the windshield member 20 can be sufficiently secured in the X direction, for example, in the X direction, the windshield member 20 It is also possible that the excimer lamp 10 is disposed only at the position where is placed.

(변형예)(Modified example)

본 실시 형태의 기체 처리 장치(1)의 변형예에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 각 변형예끼리를 조합함으로써 기체 처리 장치(1)를 실현하는 것도 가능하다.The modified example of the gas processing apparatus 1 of this embodiment is demonstrated with reference to drawings. Moreover, it is also possible to realize the gas processing apparatus 1 by combining each modification.

<1> 도 21에 일례로서 나타내어지는 바와 같이, 복수의 엑시머 램프(10)의 Z방향에 관련된 배치 위치를 상이하게 해도 상관없다. 이때, 차풍 부재(20)에 형성되는 제1 개구부(21)의 Z방향에 관련된 위치도, 엑시머 램프(10)의 위치에 따라 상이하게 하는 것으로 한다.<1> As shown in FIG. 21 as an example, it is also possible to make the arrangement positions related to the Z direction of the plurality of excimer lamps 10 different. At this time, the position related to the Z direction of the first opening 21 formed in the windshield member 20 is also set to be different depending on the position of the excimer lamp 10.

도 22a는, 차풍 부재(20a)를 X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이며, 도 22b는, 마찬가지로 차풍 부재(20b)를 X방향에서 보았을 때의 모식적인 평면도이다. 복수의 엑시머 램프(10)의 Z방향에 관련된 배치 위치를 상이하게 함으로써, 인접하는 차풍 부재(20)끼리 사이에 끼이는 영역 내에 피처리 기체(G1)를 체류시키는 효과를 높일 수 있다.22A is a schematic plan view when the windshield member 20a is viewed from the X direction, and FIG. 22B is a schematic plan view when the windshield member 20b is similarly viewed from the X direction. By making arrangement positions relative to the Z direction of the plurality of excimer lamps 10 different, the effect of retaining the gas to be treated G1 in the region sandwiched between the adjacent windshield members 20 can be enhanced.

마찬가지로, 복수의 엑시머 램프(10)의 Y방향에 관련된 배치 위치를 상이하게 하는 것으로 해도 상관없다. 이때, 차풍 부재(20)에 형성되는 제1 개구부(21)의 Y방향에 관련된 위치도, 엑시머 램프(10)의 위치에 따라 상이하게 하는 것으로 한다.Similarly, it is also possible to make the arrangement positions related to the Y direction of the plurality of excimer lamps 10 different. At this time, the position related to the Y direction of the first opening 21 formed in the windshield member 20 is also set to be different depending on the position of the excimer lamp 10.

<2> 상기 실시 형태에서는, 엑시머 램프(10)의 길이 방향이 Z방향인 경우에 대하여 설명했지만, Z방향에 한정되지 않고, 피처리 기체(G1)가 흐르는 방향(X방향)과 교차하는 방향인 것으로 해도 상관없다.<2> In the above embodiment, the case where the longitudinal direction of the excimer lamp 10 is the Z direction has been described, but it is not limited to the Z direction, and the direction crossing the direction (X direction) in which the gas to be processed G1 flows It does not matter even if it is.

[실시예][Example]

본 발명에 따른 기체 처리 장치(1)에 의하면, 종래 구성보다 처리 능력이 향상되는 점에 대하여, 실시예를 참조하여 설명한다.According to the gas processing apparatus 1 according to the present invention, a description will be given with reference to examples of the fact that the processing capability is improved over the conventional configuration.

<검증 1><Verification 1>

제1 실시 형태의 기체 처리 장치(1)(실시예 1-1), 제2 실시 형태의 기체 처리 장치(1)(실시예 1-2), 제3 실시 형태의 기체 처리 장치(1)(실시예 1-3), 및, 기체 처리 장치(1)로부터 차풍 부재(20)를 떼어 낸 장치(비교예 1-1)에 의한, 처리 대상 물질의 분해 능력을 시뮬레이션에 의하여 평가했다.Gas processing apparatus 1 of the first embodiment (Example 1-1), gas processing apparatus 1 of the second embodiment (Example 1-2), gas processing apparatus 1 of the third embodiment (( The decomposition ability of the substance to be treated was evaluated by simulation by Example 1-3) and the apparatus (Comparative Example 1-1) from which the windshield member 20 was removed from the gas treatment apparatus 1.

또한, 실시예 1-1, 실시예 1-2, 실시예 1-3, 및 비교예 1-1의 각 기체 처리 장치에 있어서, 하우징(3), 엑시머 램프(10)의 치수는 공통으로 했다. 상세한 조건은, 이하와 같다.In addition, in each gas processing apparatus of Example 1-1, Example 1-2, Example 1-3, and Comparative Example 1-1, the dimensions of the housing 3 and the excimer lamp 10 were common. . The detailed conditions are as follows.

(하우징(3))(Housing(3))

·하우징(3)의 흡기구(5)측의 YZ평면의 단면적: 7854mm2 The cross-sectional area of the YZ plane on the intake port (5) side of the housing (3): 7854mm 2

·하우징(3)의 배기구(7)측의 YZ평면의 단면적: 7854mm2 The cross-sectional area of the YZ plane on the exhaust 7 side of the housing 3: 7854mm 2

·하우징(3)의 X방향에 관련된 길이: 485mm·The length related to the X direction of the housing (3): 485mm

(엑시머 램프(10))(Excimer lamp (10))

·엑시머 램프(10)의 X방향에 관련된 길이: 185mm(베이스부(35)를 포함한다), 115mm(베이스부(35)를 제외한 관체(14))Length related to the X-direction of the excimer lamp 10: 185 mm (including the base portion 35), 115 mm (tube 14 excluding the base portion 35)

·엑시머 램프(10)의 YZ평면 상의 외경에 관련된 길이(직경): 16mmThe length (diameter) related to the outer diameter on the YZ plane of the excimer lamp 10: 16 mm

·엑시머 램프(10)의 흡기구(5)측의 단부와, 하우징(3)의 흡기구(5)의 이격 거리: 500mmThe separation distance between the end of the excimer lamp 10 on the intake port 5 side and the intake port 5 of the housing 3 is 500 mm.

·엑시머 램프(10)의 배기구(7)측의 단부와, 하우징(3)의 배기구(7)의 이격 거리: 500mmThe separation distance between the end of the excimer lamp 10 on the exhaust port 7 side and the exhaust port 7 of the housing 3 is 500 mm.

·엑시머 램프(10)의 관체(14) 내에 충전된 방전용 가스: XeDischarge gas charged in the tube body 14 of the excimer lamp 10: Xe

또한, 각 실시예의 기체 처리 장치(1)가 구비하는 차풍 부재(20)의 조건은, 이하와 같다.In addition, the conditions of the windshield member 20 provided in the gas processing apparatus 1 of each Example are as follows.

(실시예 1-1)(Example 1-1)

·X방향으로 이격하여 배치되는 차풍 부재(20)의 장 수: 2장(20a, 20b)Number of sheets of the windshield member 20 spaced apart in the X direction: 2 sheets (20a, 20b)

·차풍 부재(20)의 YZ평면 상의 치수: 반경 48mm의 원 형상Dimensions on the YZ plane of the windshield member 20: circular shape with a radius of 48 mm

·차풍 부재(20)의 X방향에 관련된 길이(두께): 2mmThe length (thickness) related to the X direction of the windshield member 20: 2 mm

·차풍 부재(20)의 차폐부(23)와 엑시머 램프(10)의 이격 거리: 최댓값 5mm, 최솟값 3mmThe separation distance between the shield 23 of the windshield member 20 and the excimer lamp 10: the maximum value of 5 mm, the minimum value of 3 mm

·X방향에 관하여, 엑시머 램프(10)의 흡기구(5)측의 단부와, 흡기구(5)측의 차풍 부재(20a)의 이격 거리: 50mmWith respect to the X direction, the separation distance between the end portion on the intake port 5 side of the excimer lamp 10 and the windshield member 20a on the intake port 5 side: 50 mm

·X방향에 관하여, 흡기구(5)측의 차풍 부재(20a)와 배기구(7)측의 차풍 부재(20b)의 이격 거리: 145mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20a on the intake port 5 side and the windshield member 20b on the exhaust port 7 side: 145 mm

·X방향에 관하여, 배기구(7)측의 차풍 부재(20b)와, 엑시머 램프(10)의 배기구(7)측의 단부의 이격 거리: 100mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20b on the exhaust port 7 side and the end portion on the exhaust port 7 side of the excimer lamp 10: 100 mm

또한, 차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)는, YZ평면 상에 있어서 한쪽을 90° 회전하면 다른 쪽과 동일 형상이 되도록 배치되었다.In addition, the windshield member 20a and the windshield member 20b were disposed so as to be in the same shape as the other when one side was rotated 90° on the YZ plane.

(실시예 1-2)(Example 1-2)

·X방향으로 이격하여 배치되는 차풍 부재(20)의 장 수: 4장(20a, 20b, 20c, 20d)Number of sheets of the windshield member 20 spaced apart in the X direction: 4 sheets (20a, 20b, 20c, 20d)

·각 차풍 부재(20)가 갖는 차폐부(23)의 수: 2장Number of shields 23 each windshield member 20 has: 2 pieces

·차풍 부재(20)의 YZ평면 상의 치수: 차폐부(23)와 제1 개구부(21)를 합하면, 반경 80mm의 원 형상(도 10a 참조)Dimensions on the YZ plane of the windshield member 20: When the shield 23 and the first opening 21 are combined, a circular shape having a radius of 80 mm (see FIG. 10A)

·차폐부(23)의 X방향에 관련된 길이(두께): 2mm·The length (thickness) related to the X direction of the shield 23: 2 mm

·각 차풍 부재(20)가 갖는 차폐부(23)끼리의 이격 거리(도 10a 참조): 26mmThe separation distance between the shields 23 of each windshield member 20 (see FIG. 10A): 26 mm

·각 차풍 부재(20)가 갖는 차폐부(23)와 엑시머 램프(10)의 이격 거리: 5mmThe separation distance between the shield 23 of each windshield member 20 and the excimer lamp 10: 5 mm

·X방향에 관하여, 엑시머 램프(10)의 흡기구(5)측의 단부와, 흡기구(5)측의 차풍 부재(20a)의 이격 거리: 100mmWith respect to the X direction, the separation distance between the end portion on the intake port 5 side of the excimer lamp 10 and the windshield member 20a on the intake port 5 side: 100 mm

·X방향에 관하여, 차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)의 이격 거리: 34mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20a and the windshield member 20b: 34 mm

·X방향에 관하여, 차풍 부재(20b)와 차풍 부재(20c)의 이격 거리: 34mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20b and the windshield member 20c: 34 mm

·X방향에 관하여, 차풍 부재(20c)와 차풍 부재(20d)의 이격 거리: 34mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20c and the windshield member 20d: 34 mm

·X방향에 관하여, 배기구(7)측의 차풍 부재(20d)와, 엑시머 램프(10)의 배기구(7)측의 단부의 이격 거리: 100mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20d on the exhaust port 7 side and the end portion on the exhaust port 7 side of the excimer lamp 10: 100 mm

차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)는, YZ평면 상에 있어서 한쪽을 90° 회전하면 다른 쪽과 동일 형상이 되도록 배치되었다. 차풍 부재(20c)와 차풍 부재(20d)는, YZ평면 상에 있어서 한쪽을 90° 회전하면 다른 쪽과 동일 형상이 되도록 배치되었다. 차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20c), 그리고, 차풍 부재(20b)와 차풍 부재(20d)는, 각각 X방향에서 보아 동일 형상으로 했다.The windshield member 20a and the windshield member 20b are arranged so as to have the same shape as the other by rotating one 90° on the YZ plane. The windshield member 20c and the windshield member 20d are arranged so as to have the same shape as the other by rotating one 90° on the YZ plane. The windshield member 20a, the windshield member 20c, and the windshield member 20b and the windshield member 20d were respectively formed in the same shape when viewed from the X direction.

(실시예 1-3)(Example 1-3)

·X방향으로 이격하여 배치되는 차풍 부재(20)의 장 수: 3매(20a, 20b, 20c)Number of sheets of the windshield member 20 spaced apart in the X direction: 3 sheets (20a, 20b, 20c)

·차풍 부재(20)의 YZ평면 상의 치수: 반경 70mm의 원 형상(도 12a 참조)Dimensions on the YZ plane of the windshield member 20: a circular shape with a radius of 70 mm (see FIG. 12A)

·차풍 부재(20)의 X방향에 관련된 길이(두께): 2mmThe length (thickness) related to the X direction of the windshield member 20: 2 mm

·차풍 부재(20)의 차폐부(23)와 엑시머 램프(10)의 이격 거리: 10mmThe separation distance between the shield 23 of the windshield member 20 and the excimer lamp 10: 10 mm

·차풍 부재(20)가 갖는 제2 개구부(22): 면적 50mm2이고 방사 형상으로 6개소 형성The second opening 22 of the windshield member 20: an area of 50 mm 2 and forming six places in a radial shape

·X방향에 관하여, 엑시머 램프(10)의 흡기구(5)측의 단부와, 흡기구(5)측의 차풍 부재(20a)의 이격 거리: 100mmWith respect to the X direction, the separation distance between the end portion on the intake port 5 side of the excimer lamp 10 and the windshield member 20a on the intake port 5 side: 100 mm

·X방향에 관하여, 흡기구(5)측의 차풍 부재(20a)와 배기구(7)측의 차풍 부재(20b)의 이격 거리: 35mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20a on the intake port 5 side and the windshield member 20b on the exhaust port 7 side: 35 mm

·X방향에 관하여, 차풍 부재(20b)와 차풍 부재(20c)의 이격 거리: 35mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20b and the windshield member 20c: 35 mm

·X방향에 관하여, 배기구(7)측의 차풍 부재(20c)와 엑시머 램프(10)의 배기구(7)측의 단부의 이격 거리: 150mmWith respect to the X direction, the separation distance between the windshield member 20c on the exhaust port 7 side and the end portion on the exhaust port 7 side of the excimer lamp 10: 150 mm

차풍 부재(20a)와 차풍 부재(20b)는, YZ평면 상에 있어서 한쪽을 30° 회전하면 다른 쪽과 동일 형상이 되도록 배치되었다. 차풍 부재(20b)와 차풍 부재(20c)는, YZ평면 상에 있어서 한쪽을 30° 회전하면 다른 쪽과 동일 형상이 되도록 배치되었다.The windshield member 20a and the windshield member 20b are arranged so as to have the same shape as the other by rotating one 30° on the YZ plane. The windshield member 20b and the windshield member 20c are arranged so as to have the same shape as the other by rotating one 30° on the YZ plane.

(비교예 1-1)(Comparative Example 1-1)

차풍 부재(20)를 구비하지 않은 점을 제외하면, 각 실시예 1-1~1-3의 기체 처리 장치(1)와 공통의 조건으로 했다.Except that the windshield member 20 was not provided, it was set as the conditions common to the gas processing apparatus 1 of each Example 1-1 to 1-3.

(결과)(result)

실시예 1-1~1-3, 및 비교예 1-1의 각 기체 처리 장치에 대하여, 엑시머 램프(10)를 동일한 조도로 점등하면서, 1ppm의 HCHO를 포함하는 피처리 기체(G1)를 100LPM(L/분)의 유량으로 흡기구(5)로부터 하우징(3) 내에 도입했다. 그리고, 배기구(7)측으로부터 꺼내진 처리 완료된 기체(G2)에 포함되는 HCHO의 농도를 평가했다. 평가 결과를 하기 표 1에 나타낸다.For each gas treatment apparatus of Examples 1-1 to 1-3, and Comparative Example 1-1, while the excimer lamp 10 was turned on with the same illuminance, 100 LPM of the gas to be treated containing 1 ppm of HCHO (LP) was treated. It was introduced into the housing 3 from the intake port 5 at a flow rate of (L/min). Then, the concentration of HCHO contained in the processed gas G2 taken out from the exhaust port 7 side was evaluated. The evaluation results are shown in Table 1 below.

Figure pct00001
Figure pct00001

표 1에 의하면, 모든 실시예에 있어서, 비교예 1-1보다 HCHO의 처리 능력이 향상되어 있는 것이 확인된다. 이 결과로부터, 차풍 부재(20)를 설치한 기체 처리 장치(1)에 의하면, 엑시머 램프(10)의 근방을 피처리 기체(G1)가 통류하기 쉬워지기 때문에, 차풍 부재(20)를 갖지 않는 경우와 비교하여, 보다 많은 피처리 기체(G1)에 대하여 자외선(L1)을 조사할 수 있었던 것으로 추찰된다.According to Table 1, it was confirmed that in all of the Examples, the treatment ability of HCHO was improved compared to Comparative Example 1-1. From this result, according to the gas processing apparatus 1 provided with the windshield member 20, the gas to be processed G1 is easy to flow through the vicinity of the excimer lamp 10, and therefore, the windshield member 20 is not provided. Compared with the case, it is estimated that more ultraviolet rays L1 could be irradiated to the gas G1 to be treated.

또한, 표 1에 의하면, 실시예 1-2, 1-3에 비하여, 실시예 1-1이 가장 처리 능력이 높은 것이 나타내어져 있다. 이것은, 제2 실시 형태나 제3 실시 형태의 구조와 비교하여, 제1 실시 형태의 구조가, 가장 피처리 기체(G1)의 난류가 발생하기 쉬운 것에 의한 것으로 추찰된다. 제1 실시 형태의 항에서 상술한 바와 같이, 차풍 부재(20)의 후단의 위치에 있어서 많은 난류가 발생한 결과, 피처리 기체(G1)에 포함되는 악취·유해 물질(여기에서는 HCHO)이 완전하게 분해된 기류와, 악취·유해 물질의 일부가 분해되지 않고 잔존하고 있었던 기류가 혼합된다. 이것에 의하여, 차풍 부재(20)의 후단의 위치에 있어서도, 엑시머 램프(10)의 근방에는 악취·유해 물질을 포함하는 피처리 기체(G1)가 통류하기 쉬워지기 때문에, 엑시머 램프(10)로부터 출사되는 자외선(L1)이 조사됨으로써, 악취·유해 물질의 분해 능력(처리 능력)이 더 향상된 것으로 추찰된다.Moreover, according to Table 1, it is shown that Example 1-1 has the highest processing ability compared to Examples 1-2 and 1-3. It is presumed that, compared with the structures of the second and third embodiments, the structure of the first embodiment is most likely to cause turbulence of the gas to be treated G1. As described above in the first embodiment, as a result of a large amount of turbulence at the position of the rear end of the windshield member 20, the odor and harmful substances (here HCHO) contained in the gas to be treated G1 are completely The decomposed air stream is mixed with air that has remained without decomposing a part of the odor and harmful substances. Thereby, even in the position at the rear end of the windshield member 20, the gas to be treated G1 containing odor and harmful substances is easily flowed in the vicinity of the excimer lamp 10, and thus from the excimer lamp 10. It is estimated that the decomposition ability (processing ability) of odor and harmful substances is further improved by irradiation of the emitted ultraviolet light L1.

<검증 2><verification 2>

하기의 실험 유닛을 이용하여, 실제로 실험을 행했다. 실험 유닛은, 이하의 표 2와 같다.The experiment was actually performed using the following experimental unit. The experimental unit is shown in Table 2 below.

Figure pct00002
Figure pct00002

(실시예 2-1)(Example 2-1)

《단계 S1》 φ10의 구멍이 뚫린, 용적 110리터의 실험용 용기에, 기체 처리 장치(1)를 모의한 실험 유닛 #1, VOC 모니터(리켄 게이키(주) 제조, 상품명 「Tiger」, 11.7eV 램프 타입), 및 교반용 팬을 설치했다. 실험 유닛 #1의 배기구(7)로부터 배기되는 기체가 VOC 모니터에 의하여 검출될 수 있도록 배치했다. 또한, 실험 유닛 #1은, 제3 실시 형태의 기체 처리 장치(1)가 이용되었다.<<Step S1>> Experiment unit #1 which simulated the gas processing apparatus 1 in an experimental container of a volume of 110 liters with a hole of φ10, VOC monitor (manufactured by Riken Keiki Co., Ltd., trade name ``Tiger'', 11.7 eV Lamp type), and a stirring fan. The gas exhausted from the exhaust port 7 of the experimental unit #1 was arranged to be detected by the VOC monitor. In addition, the gas processing apparatus 1 of the third embodiment was used as the experimental unit #1.

《단계 S2》 φ30 유리 샬레에 포름알데히드액(와코 준야쿠 공업(주) 제조, 발매원 코드 064-00406, 시약 특급)을 100마이크로리터 적하한 것을, 상기 실험용 용기에 넣고, 교반용 팬을 돌렸다. 이때, 실험용 용기에 뚫린 φ10의 구멍은 알루미늄 테이프로 막은 상태로 했다.<<Step S2>> 100 microliters of formaldehyde liquid (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., sales agency code 064-00406, Reagent Limited) was added dropwise to a φ30 glass chalet in the above experimental container, and the stirring pan was turned. At this time, the hole of φ10 drilled in the experimental container was made to be closed with aluminum tape.

《단계 S3》 VOC 모니터가 4ppm 정도가 되었을 ‹š에, 교반용 팬을 멈추고, 실험용 용기로부터 샬레를 꺼냈다.<<Step S3>> When the VOC monitor was about 4 ppm, the stirring pan was stopped and the chalet was taken out from the experimental container.

《단계 S4》 실험용 용기를 닫고, 교반용 팬을 기동하며, φ10의 구멍을 막고 있는 알루미늄 테이프를 떼고 3ppm이 될 때까지 실험용 용기의 밖의 공기로 실험용 용기 내의 기체를 희석시켰다.<<Step S4>> The experimental container was closed, the stirring pan was started, the aluminum tape blocking the hole of φ10 was removed, and the gas in the experimental container was diluted with air outside the experimental container until it became 3 ppm.

《단계 S5》 알루미늄 테이프로 구멍을 막고, 교반용 팬을 정지시키며, 실험 유닛을 기동했다.<<Step S5>> The aluminum tape was used to close the hole, the stirring pan was stopped, and the experimental unit was started.

《단계 S6》 실험 유닛을 기동한 시간을 0초로 하고, 30초마다 VOC 모니터의 지시값을 기록했다.<<Step S6>> The time at which the experimental unit was started was set to 0 seconds, and the indication value of the VOC monitor was recorded every 30 seconds.

(실시예 2-2, 비교예 2-1~2-3)(Example 2-2, Comparative Examples 2-1 to 2-3)

실험 유닛 #1을 실험 유닛 #2~#5 대신에, 실시예 1과 동일하게, 상기 각 단계 S1~S6을 실행하고, VOC 모니터의 지시값을 기록했다. 또한, 실시예 2-2, 비교예 2-2, 및 비교예 2-3의 각 유닛이 구비하는 차풍 부재로서는, 모두, 실시예 2-1과 동일하게, 제2 개구부(22)를 갖는 차풍 부재(20)(도 12a 참조)가 이용되었다.The experiment units #1 were replaced with the experiment units #2 to #5, and in the same manner as in Example 1, each of the above steps S1 to S6 was executed, and the indication value of the VOC monitor was recorded. In addition, as the windshield members of each unit of Example 2-2, Comparative Example 2-2, and Comparative Example 2-3, the windshield having the second opening 22 is the same as in Example 2-1. The member 20 (see FIG. 12A) was used.

(참고예)(Reference example)

실험 유닛을 실험용 용기에 넣지 않은 것 이외에는, 실시예 1과 동일하게 하고, VOC 모니터의 지시값을 기록했다. 포름알데히드(이하, 「HCHO」라고 기재)가 시간의 경과와 함께 자연적으로 분해되기 때문에, 이 분해 속도를 검출함으로써 비교 기준을 설정할 의도로, 이 참고예에 관련된 데이터가 취득되고 있다.In the same manner as in Example 1, except that the experimental unit was not placed in the experimental container, the indication value of the VOC monitor was recorded. Since formaldehyde (hereinafter referred to as &quot;HCHO&quot;) decomposes naturally with the passage of time, data relating to this reference example is obtained with the intention of setting a comparison standard by detecting this decomposition rate.

(결과)(result)

도 23은, 상기의 방법으로 기록된 지시값의 비교 결과를 나타내는 그래프이다. 도 23에 있어서, 가로축은 운전 시간을 나타내고, 세로축은 VOC 모니터의 지시값을 나타낸다. 도 23에 의하면, 실시예 2-1~2-2, 비교예 2-1~2-3 모두, 참고예와 비교하면 HCHO의 분해 속도가 빠르고, 분해 효과를 가지고 있는 것을 알 수 있다.23 is a graph showing a comparison result of the indicated values recorded by the above method. In Fig. 23, the horizontal axis represents the operation time, and the vertical axis represents the indication value of the VOC monitor. According to FIG. 23, it can be seen that in Examples 2-1 to 2-2 and Comparative Examples 2-1 to 2-3, the decomposition rate of HCHO is fast and has a decomposition effect compared to the reference example.

광원으로서 Xe엑시머 램프를 사용하고 있는 실시예 2-1, 2-2, 및 비교예 2-1은, 광원으로서 저압 수은 램프를 이용하고 있는 비교예 2-2, 2-3과 비교하여, HCHO의 분해 속도에 큰 차가 발생하고 있는 것을 알 수 있다. 이 결과로부터, Xe엑시머 램프를 이용함으로써, HCHO의 높은 분해 성능을 실현할 수 있는 것이 나타내어진다.Examples 2-1, 2-2, and Comparative Example 2-1 using an Xe excimer lamp as a light source, compared to Comparative Examples 2-2, 2-3 using a low pressure mercury lamp as a light source, HCHO It can be seen that a large difference occurs in the decomposition rate of. From these results, it is shown that the high decomposition performance of HCHO can be realized by using the Xe excimer lamp.

실시예 2-2와 비교예 2-1을 비교하면, 차풍 부재(20)를 설치하고 있는 실시예 2-2인 편이, HCHO의 높은 분해 성능을 실현할 수 있는 것을 알 수 있다. 또한, 실시예 2-2와 실시예 2-1을 비교하면, 실시예 2-1에서는, 실시예 2-2보다 비약적으로 HCHO의 분해 성능이 향상되는 것을 알 수 있다.When Example 2-2 is compared with Comparative Example 2-1, it turns out that the high decomposition performance of HCHO can be realized in Example 2-2 in which the windshield member 20 is provided. In addition, when Example 2-2 and Example 2-1 are compared, it can be seen that in Example 2-1, the decomposition performance of HCHO is significantly improved compared to Example 2-2.

또한, 비교예 2-2와 비교예 2-3을 비교하면, 양자는, 차풍 부재(20)의 개구부(제2 개구부(22)에 대응)의 위치 어긋남의 유무에서 상이하지만, 그 차이가 HCHO의 분해 성능에 거의 영향을 주고 있지 않다. 한편, 실시예 2-1과 실시예 2-2를 비교하면, 상술한 바와 같이, 실시예 2-1에서는, 실시예 2-2보다 비약적으로 HCHO의 분해 성능이 향상되어 있다. 이 결과로부터도, 광원으로서 Xe엑시머 램프를 이용한 경우에 있어서, 제2 개구부(22)의 위치를 어긋나게 한 상태로 복수 장의 차풍 부재(20)를 설치한 실시예 2-1의 구성에 의하면, 상술한 원리에 의거하여, 오존(O3)보다 반응성이 높은 O(1D) 및 ·OH를, 효과적으로 생성할 수 있는 것으로 결론지어진다.Further, when Comparative Example 2-2 and Comparative Example 2-3 are compared, both are different in the presence or absence of the displacement of the opening (corresponding to the second opening 22) of the windshield member 20, but the difference is HCHO It has little effect on the decomposition performance of. On the other hand, when Example 2-1 is compared with Example 2-2, as described above, in Example 2-1, the decomposition performance of HCHO is significantly improved compared to Example 2-2. Even from this result, in the case of using an Xe excimer lamp as a light source, according to the configuration of Example 2-1 in which a plurality of wind-blocking members 20 are provided in a state where the positions of the second openings 22 are shifted, it is described above. Based on one principle, it is concluded that O( 1 D) and ·OH, which are more reactive than ozone (O 3 ), can be effectively produced.

[다른 실시 형태][Other embodiments]

이하, 다른 실시 형태에 대하여 설명한다.Other embodiments will be described below.

<1> 상술한 실시 형태에서는, 엑시머 램프(10)에 있어서, 발광관(13)이 이른바 「일중관 구조」의 관체(14)를 구비한 구성인 것으로서 설명했다. 이 엑시머 램프(10)는, 도 24에 나타내는 바와 같이, 관체(14)의 내측에 제2 전극(내부 전극)(12)이 배치됨과 동시에 방전용 가스(10G)(예를 들면 Xe)가 충전되고, 관체(14)의 외측의 벽면에 제1 전극(외부 전극)(11)이 배치되어 구성되어 있다. 이 경우, 상술한 바와 같이, 내부 전극(12)은 X방향을 따라 연신하는 형상(통 형상)을 나타내고, 외부 전극(11)은, 관체(14) 내에서 발생한 자외선(L1)이 관체(14)의 외측으로 출사하는 것에 대한 방해가 되지 않도록, 메시 형상(그물코 형상) 또는 선 형상을 나타낸다.<1> In the above-described embodiment, the excimer lamp 10 has been described as having a structure in which the light-emitting tube 13 is provided with a so-called "single-tube structure" tube 14. As shown in FIG. 24, the excimer lamp 10 is provided with a second electrode (internal electrode) 12 disposed inside the tube 14, and at the same time, a discharge gas 10G (for example, Xe) is charged. The first electrode (external electrode) 11 is disposed on the outer wall surface of the tube 14 and is configured. In this case, as described above, the inner electrode 12 exhibits a shape (cylindrical shape) that extends along the X direction, and the outer electrode 11 has ultraviolet (L1) light generated within the tube body 14 and the tube body 14. ), a mesh shape (mesh shape) or a line shape is shown so as not to interfere with the exit to the outside.

단, 본 발명의 기체 처리 장치(1)가 구비하는 엑시머 램프(10)는, 상기의 일중관 구조의 관체(14)를 구비하는 경우에 한정되지 않고, 이른바 「이중관 구조」나 「편평관 구조」의 관체(14)를 구비하는 것으로 해도 상관없다.However, the excimer lamp 10 provided in the gas treatment apparatus 1 of the present invention is not limited to the case where the above-described single tube structure tube 14 is provided, so-called "double tube structure" or "flat tube structure" It does not matter even if it is provided with the tube body 14 of ”.

도 25는, 이른바 「이중관 구조」를 나타낸 엑시머 램프(10)의 구조를, 도 24와 마찬가지로 모식적으로 도시한 도면이다. 도 25에 나타내는 엑시머 램프(10)는, 2개의 관체(14(14a, 14b))를 가지고 있다. 원통 형상의 외측의 관체(14a)와, 관체(14a)의 내측에 있어서 관체(14a)와 동축 상에 배치되어 있고, 관체(14a)보다 내경이 작은 원통 형상의 관체(14b)를 갖는다. 관체(14a)와 관체(14b)는 X방향에 관련된 단부에 있어서 봉지되어 있고(도시하지 않음), 양자의 사이에는 원 환상의 발광 공간이 구성되고, 당해 공간 내에는 방전용 가스(10G)가 충전된다. 그리고, 내측의 관체(14b)의 내벽면에 제2 전극(내부 전극)(12)이 배치되고, 외측의 관체(14a)의 외벽면에는 제1 전극(외부 전극)(11)이 배치된다. 내부 전극(12)은 막 형상을 나타내고, 외부 전극(11)은, 관체(14) 내에서 발생한 자외선(L1)이 관체(14)의 외측으로 출사하는 것에 대한 방해가 되지 않도록, 메시 형상(그물코 형상) 또는 선 형상을 나타낸다.Fig. 25 is a diagram schematically showing the structure of the excimer lamp 10 showing the so-called "double pipe structure" as in Fig. 24. The excimer lamp 10 shown in FIG. 25 has two tube bodies 14 (14a, 14b). It has a cylindrical outer tube body 14a and a cylindrical tube body 14b disposed on the inside of the tube body 14a coaxially with the tube body 14a and having a smaller inner diameter than the tube body 14a. The tube body 14a and the tube body 14b are sealed at the ends related to the X direction (not shown), and a circular annular light emitting space is formed between them, and a discharge gas 10G is provided in the space. Is charged. Then, a second electrode (internal electrode) 12 is disposed on the inner wall surface of the inner tube body 14b, and a first electrode (outer electrode) 11 is disposed on the outer wall surface of the outer tube body 14a. The inner electrode 12 has a film shape, and the outer electrode 11 has a mesh shape (so as not to interfere with ultraviolet rays L1 generated in the tube body 14 from being emitted outside the tube body 14). Shape) or line shape.

도 26은, 이른바 「편평관 구조」를 나타낸 엑시머 램프(10)의 구조를, 도 24와 마찬가지로 모식적으로 도시한 도면이다. 도 26에 나타내는 엑시머 램프(10)는, X방향에서 보았을 때에 직사각형 형상를 나타낸 관체(14)를 갖는다. 그리고, 엑시머 램프(10)는, 관체(14)의 외표면에 배치된 제1 전극(11)과, 관체(14)의 외표면이고 제1 전극(11)과 대향하는 위치에 배치된 제2 전극(12)을 갖는다. 제1 전극(11) 및 제2 전극(12)은, 관체(14) 내에서 발생한 자외선(L1)이 관체(14)의 외측으로 출사하는 것에 대한 방해가 되지 않도록, 모두 메시 형상(그물코 형상) 또는 선 형상을 나타내고 있다.Fig. 26 is a diagram schematically showing the structure of the excimer lamp 10 showing the so-called "flat tube structure" as in Fig. 24. The excimer lamp 10 shown in Fig. 26 has a tubular body 14 having a rectangular shape when viewed in the X direction. Then, the excimer lamp 10 includes a first electrode 11 disposed on the outer surface of the tube body 14 and a second electrode disposed on a position opposite to the first electrode 11 that is the outer surface of the tube body 14. It has an electrode 12. The first electrode 11 and the second electrode 12 are all mesh-shaped (net-shaped) so that ultraviolet rays L1 generated in the tube 14 are not obstructed from being emitted to the outside of the tube 14. Or it shows the line shape.

도 24 및 도 25에서는, 엑시머 램프(10)의 YZ평면에 있어서의 단면의 형상이 원형인 경우를 나타내고, 도 26에는 상기 단면의 형상이 직사각형 형상인 경우를 나타냈다. 그러나, 엑시머 램프(10)의 YZ평면에 있어서의 단면의 형상은, 원형, 직사각형에는 한정되지 않고, 다양한 형상이 채용될 수 있다.24 and 25 show the case where the shape of the cross section in the YZ plane of the excimer lamp 10 is circular, and FIG. 26 shows the case where the shape of the cross section is a rectangular shape. However, the shape of the cross section in the YZ plane of the excimer lamp 10 is not limited to a circular shape and a rectangular shape, and various shapes can be adopted.

<3> 흡기구(5)와 배기구(7)는, X방향에 관하여 이격하고 있으면 되고, 그 경우에 있어서는, 임의의 위치에 설치될 수 있다.<3> The intake port 5 and the exhaust port 7 need only be spaced apart in the X direction, and in that case, can be provided at any position.

<4> 상기의 각 실시 형태에 있어서, 차풍 부재(20)는, 유로 방향(X방향)에 직교하는 평면(YZ평면)에 평행한 면을 갖는 것으로서 설명했다. 그러나, 차풍 부재(20)는, 적어도 X방향과 교차하는 면에 평행한 면을 가지고 배치되어 있으면 된다.<4> In each of the above-described embodiments, the windshield member 20 has been described as having a plane parallel to a plane (YZ plane) orthogonal to the flow path direction (X direction). However, the windshield member 20 should just be arrange|positioned with the surface parallel to the surface intersecting at least the X direction.

<5> 기체 처리 장치(1)가 구비하는 엑시머 램프(10)의 개수, 및 차풍 부재(20)의 장 수는, 상술한 실시 형태에서 거론된 수에 한정되지는 않는다.<5> The number of excimer lamps 10 provided in the gas processing device 1 and the number of the windshield members 20 are not limited to the number discussed in the above-described embodiment.

<6> 상술한 제3 실시 형태 및 제4 실시 형태에서는, 인접하는 한 쌍의 차풍 부재(20)의 모두에 있어서, 제2 개구부(22)의 위치가, YZ평면 상에 있어서 어긋나 있는 경우에 대하여 설명했다. 그러나, 적어도, 인접하는 어떤 특정한 한 쌍의 차풍 부재(20)는 제2 개구부(22)의 위치가, YZ평면 상에 있어서, 어긋나 있으면 된다. 즉, 흡기구(5)에 가장 가까운 위치에 배치된 차풍 부재(20a)에 형성된 제2 개구부(22)는, X방향에 관하여, 적어도 어느 하나의 차풍 부재(20)에 설치된 차폐부(23)와, 적어도 일부분이 겹쳐지는 위치에 배치되어 있으면 된다.<6> In the above-described third and fourth embodiments, in the case where the positions of the second openings 22 are shifted on the YZ plane in all of the adjacent pair of wind-blocking members 20. About it. However, at least, any specific pair of adjacent wind-blocking members 20 need only be shifted in the position of the second opening 22 on the YZ plane. That is, the second opening 22 formed in the windshield member 20a disposed at the position closest to the intake port 5 is, with respect to the X direction, with the shield 23 provided in at least one windshield member 20 , It should just be arrange|positioned at the position where at least one part overlaps.

1: 기체 처리 장치 3: 하우징
5: 흡기구 6: 팬
7: 배기구 10: 엑시머 램프
10G: 방전용 가스 11: 외부 전극(제1 전극)
12: 내부 전극(제2 전극) 13: 발광관
14: 관체 14a, 14b: 관체
15: 제1 봉지부 16: 제2 봉지부
17: 금속박 18: 외부 리드
19: 광로부 20: 차풍 부재
20a, 20b, 20c, 20d, 20e: 차풍 부재 21: 제1 개구부
22: 제2 개구부 23: 차폐부
35(35a, 35b): 베이스부 G1: 피처리 기체
G2: 처리 후의 기체
L1: 엑시머 램프로부터의 출사광(자외선)1: gas treatment unit 3: housing
5: intake port 6: fan
7: Exhaust port 10: Excimer lamp
10G: gas for discharge 11: external electrode (first electrode)
12: inner electrode (second electrode) 13: light-emitting tube
14: tube 14a, 14b: tube
15: first sealing portion 16: second sealing portion
17: metal foil 18: external lead
19: optical path section 20: windshield member
20a, 20b, 20c, 20d, 20e: windshield member 21: first opening
22: second opening 23: shield
35 (35a, 35b): base portion G1: gas to be treated
G2: gas after treatment
L1: exit light from an excimer lamp (ultraviolet rays)

Claims (18)

통 형상의 하우징과,
산소 및 수분을 포함하는 피처리 기체를 상기 하우징의 내측에 도입하는 흡기구와,
상기 하우징의 내측에 수용되고, 방전용 가스가 충전되어 이루어지며, 제1 방향으로 연신하는 관체를 포함하는 엑시머 램프와,
상기 엑시머 램프로부터 출사된 자외선이 조사된 상기 피처리 기체를, 상기 하우징의 외측으로 도출하는 배기구와,
상기 제1 방향에서 보았을 때에, 상기 관체를 둘러싸도록, 또는 상기 관체를 사이에 두도록 배치된 차풍(遮風) 부재를 구비하고,
상기 차풍 부재는, 적어도, 상기 관체의 상기 제1 방향에 관련된 단부 중 상기 흡기구에 가까운 측의 단부와, 상기 관체의 상기 제1 방향의 중앙부 사이의 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.A cylindrical housing,
An intake port for introducing a gas to be treated containing oxygen and moisture into the housing;
An excimer lamp which is accommodated inside the housing, is filled with a gas for discharge, and includes a tube extending in a first direction,
And an exhaust port for guiding the gas to be treated is irradiated with ultraviolet light emitted from the excimer lamp to the outside of the housing,
When viewed from the first direction, it is provided with a windshield member disposed to surround the tube body or to place the tube body therebetween,
The said windshield member is arrange|positioned at the position between the end part close to the said intake port among the end part related to the said 1st direction of the said pipe body, and the center part in the said 1st direction of the said pipe body at least. Device. 청구항 1에 있어서,
상기 차풍 부재는,
상기 제1 방향에서 보았을 때 상기 관체를 덮도록 개구된 제1 개구부와, 상기 제1 개구부보다 외측의 영역이고, 개구가 형성되어 있지 않은 차폐부를 가지며,
상기 제1 개구부의 내측에 위치하는 상기 관체와, 상기 차폐부의 상기 제1 개구부측의 내연(內緣)의 이격 거리가 1mm 이상 10mm 이하인 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 1,
The windshield member,
A first opening opening to cover the tube body when viewed from the first direction, a region outside the first opening, and having a shield that does not have an opening,
Gas separation apparatus, characterized in that the separation distance between the tube located inside the first opening and the inner edge of the first opening side of the shield is 1 mm or more and 10 mm or less. 청구항 2에 있어서,
상기 차풍 부재는, 상기 제1 방향으로 이격하여 2개 이상이 배치되고,
상기 제1 방향으로 인접하는 2개의 상기 차풍 부재 중 상기 흡기구에 가까운 측에 위치하는 제1 차풍 부재가 구비하는 상기 제1 개구부의 적어도 일부와, 상기 2개의 상기 차풍 부재 중 상기 배기구에 가까운 측에 위치하는 제2 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부가, 상기 제1 방향에서 보았을 때에, 서로 겹쳐지는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 2,
Two or more of the windshield members are spaced apart in the first direction,
At least a portion of the first opening provided by the first windshield member located on the side closer to the intake port among the two windshield members adjacent in the first direction, and the side closer to the exhaust port of the two windshield members The gas processing apparatus, characterized in that the shielding portions of the second wind-shielding member positioned overlap each other when viewed from the first direction. 청구항 3에 있어서,
상기 제1 개구부는, 회전 비대칭인 형상을 가지고,
상기 제1 차풍 부재를 소정의 각도만큼 회전시키면, 상기 제1 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부의 상기 제1 개구부측의 내연과, 상기 제2 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부의 상기 제1 개구부측의 내연이, 상기 제1 방향에서 보았을 때에 겹쳐지는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 3,
The first opening has a rotationally asymmetric shape,
When the first windshield member is rotated by a predetermined angle, the inner edge of the first opening side of the shield part provided by the first windshield member and the first opening side of the shield part provided by the second windshield member are The gas processing apparatus, characterized in that the internal combustion overlaps when viewed from the first direction. 청구항 4에 있어서,
상기 제1 개구부는, 타원 형상 또는 직사각형 형상인 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 4,
The first opening is an elliptical shape or a rectangular shape, characterized in that the gas processing apparatus. 청구항 1에 있어서,
상기 차풍 부재는,
상기 제1 방향에서 보았을 때에, 상기 관체를 사이에 두고 이격한 2개소 이상의 위치에 배치된, 개구가 형성되어 있지 않은 차폐부와,
2개소 이상의 상기 차폐부 사이에 끼인 공간 영역인 제1 개구부를 가지고 이루어지며,
상기 제1 개구부 내에 위치하는 상기 관체와, 상기 차폐부의 상기 제1 개구부측의 외연(外緣)의 이격 거리가 1mm 이상 10mm 이하인 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 1,
The windshield member,
When viewed from the first direction, the shield is disposed in two or more locations spaced apart between the tube body, the opening is not formed, and the shield,
It is made of a first opening that is a space area sandwiched between two or more shields,
Gas separation apparatus, characterized in that the separation distance between the tube located in the first opening and the outer edge of the shield on the first opening side is 1 mm or more and 10 mm or less. 청구항 6에 있어서,
상기 차풍 부재는, 상기 제1 방향으로 이격한 2개소 이상의 위치에 배치되고,
상기 제1 방향으로 인접하는 2개의 상기 차풍 부재 중 상기 흡기구에 가까운 측에 위치하는 제1 차풍 부재가 구비하는 상기 제1 개구부의 적어도 일부와, 상기 2개의 상기 차풍 부재 중 상기 배기구에 가까운 측에 위치하는 제2 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부가, 상기 제1 방향에서 보았을 때에, 서로 겹쳐지는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 6,
The windshield member is disposed at two or more locations spaced apart in the first direction,
At least a portion of the first opening provided by the first windshield member located on the side closer to the intake port among the two windshield members adjacent in the first direction, and the side closer to the exhaust port of the two windshield members The gas processing apparatus, characterized in that the shielding portions of the second wind-shielding member positioned overlap each other when viewed from the first direction. 청구항 7에 있어서,
상기 차풍 부재가 구비하는 상기 차폐부는, 반원 형상 또는 직사각형 형상인 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 7,
The shielding portion of the windshield member is characterized in that the semi-circular or rectangular shape, the gas processing apparatus. 청구항 1에 있어서,
상기 차풍 부재는,
상기 제1 방향으로 이격하여 2개 이상이 배치되어 있고,
상기 제1 방향에서 보았을 때 상기 관체를 덮도록 개구된 제1 개구부와,
상기 제1 개구부보다 외측의 영역이고, 개구가 형성되어 있지 않은 차폐부와,
상기 차폐부의 영역 내에 있어서, 부분적으로 복수의 개구가 분산되어 형성된 제2 개구부를 구비하며,
상기 흡기구에 가장 가까운 위치에 배치된 상기 차풍 부재에 형성된 상기 제2 개구부는, 상기 제1 방향에 관하여, 적어도 어느 하나의 상기 차풍 부재에 설치된 상기 차폐부와, 적어도 일부분이 겹쳐지는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 1,
The windshield member,
Two or more are spaced apart in the first direction,
A first opening opening to cover the tube when viewed in the first direction,
An area outside the first opening and having no opening, and
In the area of the shield, a second opening formed by partially dispersing a plurality of openings is provided,
The second opening formed in the windshield member disposed at the position closest to the intake port is disposed at a position where at least a portion overlaps with the shield provided in at least one windshield member with respect to the first direction. Gas processing apparatus characterized by being. 청구항 9에 있어서,
모든 상기 차풍 부재에 형성된 상기 제2 개구부의 각각은, 상기 제1 방향에 관하여, 적어도 어느 하나의 상기 차풍 부재에 설치된 상기 차폐부와, 적어도 일부가 겹쳐지는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 9,
Each of the second openings formed in all the windshield members is disposed in a position where at least a portion of the shield provided on at least one of the windshield members overlaps with respect to the first direction. Gas treatment device. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
상기 엑시머 램프는,
상기 제1 방향을 길이 방향으로 하는 장척 형상을 나타내고,
복수의 상기 차풍 부재에 형성된 상기 제1 개구부를 관통하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 9 or claim 10,
The excimer lamp,
A long shape with the first direction as a longitudinal direction is shown,
And passing through the first opening formed in the plurality of windshield members. 청구항 11에 있어서,
상기 차풍 부재는, 상기 제1 방향과 교차하는 면을 가지고,
복수의 상기 제2 개구부는, 상기 차풍 부재의 상기 면 상에 있어서 동심원 형상으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 11,
The windshield member has a surface intersecting the first direction,
The said 2nd opening part is arrange|positioned in concentric circle shape on the said surface of the said windshield member, The gas processing apparatus. 청구항 9 또는 청구항 10에 있어서,
상기 제1 방향과 교차하는 방향을 길이 방향으로 하는 장척 형상을 나타내고, 상기 제1 방향으로 이격하여 배치된 복수의 상기 엑시머 램프를 구비하며,
복수의 상기 엑시머 램프 중, 적어도 2개의 상기 엑시머 램프는, 상기 길이 방향에 관련된 부분이, 상이한 상기 차풍 부재에 형성된 상기 길이 방향에 평행한 방향으로 연신하는 형상을 나타내는 상기 제1 개구부 내에 위치하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 9 or claim 10,
It has a long shape with a direction crossing the first direction in a longitudinal direction, and includes a plurality of excimer lamps spaced apart in the first direction,
Of the plurality of excimer lamps, at least two of the excimer lamps are arranged such that a portion related to the longitudinal direction is located in the first opening showing a shape extending in a direction parallel to the longitudinal direction formed on the different windshield member. Gas processing apparatus characterized in that it is. 청구항 13에 있어서,
적어도 2장의 상기 차풍 부재는, 상기 길이 방향에 평행한 방향에 관하여, 상기 제1 개구부의 형성 위치가 어긋나 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 13,
At least two of the windshield members are characterized in that the position where the first opening is formed is shifted with respect to a direction parallel to the longitudinal direction. 청구항 13 또는 청구항 14에 있어서,
상기 엑시머 램프는, 상기 제1 방향에 관하여, 상기 차풍 부재로부터 일부분이 돌출하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to claim 13 or 14,
The excimer lamp, with respect to the first direction, characterized in that a portion is disposed to protrude from the windshield member, the gas processing apparatus. 청구항 11 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 개구부 내에 위치하는 상기 엑시머 램프와, 상기 제1 개구부의 외측에 위치하는 상기 차폐부의 사이에, 1mm 이상 10mm 이하의 간극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to any one of claims 11 to 15,
A gas treatment apparatus, characterized in that a gap of 1 mm or more and 10 mm or less is formed between the excimer lamp positioned in the first opening and the shield located outside the first opening. 청구항 1 내지 청구항 16 중 어느 한 항에 있어서,
상기 방전용 가스는, Xe를 포함하고,
상기 엑시머 램프로부터 출사되는 상기 자외선은, 160nm 이상 180nm 미만의 범위 내에 포함되는 제1 파장대의 성분과, 180nm 이상 200nm 미만의 범위 내에 포함되는 제2 파장대의 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to any one of claims 1 to 16,
The discharge gas contains Xe,
The ultraviolet light emitted from the excimer lamp includes a component of a first wavelength band included in a range of 160 nm or more and less than 180 nm, and a component of a second wavelength band included in a range of 180 nm or more and less than 200 nm, gas processing Device. 청구항 1 내지 청구항 17 중 어느 한 항에 있어서,
복수의 상기 엑시머 램프를 구비하고,
상기 차풍 부재가, 복수의 상기 엑시머 램프의 각각이 구비하는 상기 관체를 둘러싸도록, 또는 상기 관체를 사이에 두도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는, 기체 처리 장치.The method according to any one of claims 1 to 17,
A plurality of the excimer lamp is provided,
A gas processing device, characterized in that the windshield member is arranged to surround the tube body provided by each of the plurality of excimer lamps or to sandwich the tube body.
KR1020207016259A 2017-12-27 2018-12-12 gas processing unit KR102432205B1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2017-252245 2017-12-27
JP2017252245 2017-12-27
PCT/JP2018/045647 WO2019131124A1 (en) 2017-12-27 2018-12-12 Gas processing device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20200085823A true KR20200085823A (en) 2020-07-15
KR102432205B1 KR102432205B1 (en) 2022-08-12

Family

ID=67063498

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020207016259A KR102432205B1 (en) 2017-12-27 2018-12-12 gas processing unit

Country Status (4)

Country Link
JP (2) JP6996572B2 (en)
KR (1) KR102432205B1 (en)
CN (2) CN111372616B (en)
WO (1) WO2019131124A1 (en)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7206810B2 (en) * 2018-10-30 2023-01-18 ウシオ電機株式会社 gas processor
JP2020074870A (en) * 2018-11-06 2020-05-21 ウシオ電機株式会社 Gas treatment device
JP7300105B2 (en) * 2019-07-22 2023-06-29 ウシオ電機株式会社 Gas treatment device and gas treatment method
JP7449479B2 (en) * 2019-12-25 2024-03-14 ウシオ電機株式会社 Gas treatment methods, storage, incubators, sterilizers
JP7399007B2 (en) * 2020-03-26 2023-12-15 株式会社オーク製作所 Ozone generator and discharge lamp equipment
JP7399004B2 (en) * 2020-03-26 2023-12-15 株式会社オーク製作所 Ultraviolet irradiation equipment and ozone generation equipment
JP7471635B2 (en) 2020-05-14 2024-04-22 アルゴ株式会社 Air sterilizer
WO2021255759A1 (en) * 2020-06-17 2021-12-23 Abhay Mohan Wadhwa A modular architectural light fixture for cleaning air pollutants and pathogens
CN111905673B (en) * 2020-08-08 2021-03-23 哈尔滨学院 Photocatalytic reduction of CO2Reactor with a reactor shell
JP6978813B1 (en) * 2021-02-25 2021-12-08 有限会社都工業 Spatial sterilizer
JP2022161071A (en) * 2021-04-08 2022-10-21 パワードライヤー有限会社 Ultraviolet irradiation air sterilization apparatus

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6253657A (en) * 1985-09-02 1987-03-09 株式会社　高エネルギ−利用技術研究所 Deodorizing apparatus
KR200207656Y1 (en) * 2000-07-13 2000-12-15 이동권 Air cleaner
JP2007335350A (en) 2006-06-19 2007-12-27 Ushio Inc Discharge lamp
KR20110037271A (en) * 2009-10-06 2011-04-13 신보미 Air sterilizer
JP2012000216A (en) * 2010-06-16 2012-01-05 Isuzu Motors Ltd Ultraviolet sterilizer
JP2012125756A (en) * 2010-11-22 2012-07-05 Pearl Lighting Co Ltd Photocatalyst deodorizing device

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4045680A (en) * 1975-07-01 1977-08-30 Alois Loher Shielding arrangement for a rod shaped uv radiator
JPS5555727Y2 (en) * 1975-10-06 1980-12-24
JPH0611303B2 (en) * 1988-05-20 1994-02-16 松下電器産業株式会社 Deodorizer with photocatalyst
JPH0889564A (en) * 1994-09-26 1996-04-09 Zeon Kasei Co Ltd Harmful material removing agent, removing method and removing device
JP2001118818A (en) * 1999-08-12 2001-04-27 Uct Kk Ultraviolet ray-treating device and method
JP2002058728A (en) * 2000-08-22 2002-02-26 Yoshikazu Uchiumi Deodorizing device
US7862728B2 (en) * 2007-09-27 2011-01-04 Water Of Life, Llc. Ultraviolet water purification system
JP2009090040A (en) * 2007-10-12 2009-04-30 Earth Protect:Kk Air cleaning apparatus
JP6253657B2 (en) * 2012-10-08 2017-12-27 ヴェンタナ メディカル システムズ， インク． Methods, kits and systems for defining pigmented samples
CN203425284U (en) * 2013-08-30 2014-02-12 孟祥超 Air purifier for photocatalyst
JP6564663B2 (en) * 2015-09-29 2019-08-21 株式会社オーク製作所 Excimer lamp device
CN206073423U (en) * 2016-08-23 2017-04-05 天津茂彬机械设备有限公司 Pouity dwelling place optical catalyst efficient air purifier

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6253657A (en) * 1985-09-02 1987-03-09 株式会社　高エネルギ−利用技術研究所 Deodorizing apparatus
KR200207656Y1 (en) * 2000-07-13 2000-12-15 이동권 Air cleaner
JP2007335350A (en) 2006-06-19 2007-12-27 Ushio Inc Discharge lamp
KR20110037271A (en) * 2009-10-06 2011-04-13 신보미 Air sterilizer
JP2012000216A (en) * 2010-06-16 2012-01-05 Isuzu Motors Ltd Ultraviolet sterilizer
JP2012125756A (en) * 2010-11-22 2012-07-05 Pearl Lighting Co Ltd Photocatalyst deodorizing device

Also Published As

Publication number Publication date
JP6996572B2 (en) 2022-02-04
WO2019131124A1 (en) 2019-07-04
JPWO2019131124A1 (en) 2020-10-22
CN114225618A (en) 2022-03-25
CN111372616A (en) 2020-07-03
JP2022002749A (en) 2022-01-11
JP7232428B2 (en) 2023-03-03
KR102432205B1 (en) 2022-08-12
CN111372616B (en) 2022-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102432205B1 (en) gas processing unit
KR101901557B1 (en) Ozone generator
JP6564663B2 (en) Excimer lamp device
CN209917565U (en) Gas treatment device
EP3747529A1 (en) Gas treatment device
KR20200046291A (en) Reactor for purifying the atmosphere using the electron beam and apparatus for purifying the atmosphere including the same
JP7145597B2 (en) Ozone generator and excimer lamp lighting method
WO2020262478A1 (en) Gas treatment method and gas treatment device
US11583801B2 (en) Gas treatment device and gas treatment method
TW201300177A (en) Ultraviolet radiation device
US20170144898A1 (en) Device for the Photochemical Treatment of Polluted Water
JP2020185532A (en) Ultraviolet irradiation device and gas treatment apparatus comprising the same
EP3875121A1 (en) Gas processing device
JP2021146231A (en) Gas supplying device
JP2021104496A (en) Gas supply device
JP6452244B2 (en) Microwave excitation electrodeless lamp and aqueous solution treatment system using the same
JP6972657B2 (en) Optical processing equipment and its manufacturing method
JP2022039527A (en) Ozone generation device and ozone generation method
EP3998088A1 (en) Gas treating apparatus and gas treating method
TW201522206A (en) Ozone generating device
JP2021146232A (en) Gas supplying device
KR200417010Y1 (en) Ozone generator
JP2018174984A (en) Light processing device, and light processing method
JP2024004646A (en) Barrier discharge lamp module and liquid treatment device
KR20200114322A (en) Reactor for purifying the atmosphere using the electron beam and apparatus for purifying the atmosphere including the same

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant