KR20200082866A - Coupler - Google Patents

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Abstract

A coupler according to an embodiment comprises: a lower pipe having a lower flow space formed therein; an upper pipe having an upper flow space formed therein, and positioned above the lower pipe; a connection pipe having a connection flow space formed therein, and connecting the lower pipe and the upper pipe so that the lower flow space and the upper flow space communicate with each other; and a check valve portion disposed in the connection flow space, and allowing fluid to flow in a direction from the lower flow space to the upper flow space. The check valve portion includes: a stopper disposed to be in contact with the lower pipe; an elastic portion having one side connected to the stopper, the other side connected to the inside of the connection pipe, and elastically compressible by pressure of the fluid from the lower flow space toward the upper flow space; a hollow recessed downward from an upper surface of the stopper; and a through hole passing through the stopper so that the hollow and the connection flow space communicate with each other, based on a state in which the stopper is in contact with the lower pipe. The coupler can prevent backflow of a fluid.

Description

커플러{COUPLER}Coupler {COUPLER}

아래의 실시 예는 커플러에 관한 것이다.The embodiment below relates to a coupler.

일반적으로, 반도체 제조에 필요한 약액 등은 이들에 대해 충분한 내성을 갖는 용기에 저장된다. 용기 내에 저장된 약액 등을 인출하기 위해서, 용기의 개구부에 설치된 플러그에 펌프를 연결시키게 된다. 이때, 용기 내에 저장된 약액 등의 순도를 유지하기 위하여, 펌프를 통해 외부에서 용기 내부로 이물질 등이 유입되는 것을 방지하는 것이 중요하다. 따라서, 용기와 펌프 사이에 적용되며, 역류 방지 기능을 갖는 커플러가 요구된다. 또한, 약액 등의 압력에 따라 약액 등의 유량이 조절되는 커플러가 요구된다.In general, chemicals and the like required for semiconductor manufacturing are stored in containers having sufficient resistance to them. In order to withdraw chemicals or the like stored in the container, the pump is connected to a plug installed in the opening of the container. At this time, in order to maintain the purity of the chemicals and the like stored in the container, it is important to prevent foreign substances and the like from entering the container through the pump. Therefore, there is a need for a coupler applied between the container and the pump and having a backflow prevention function. In addition, a coupler in which the flow rate of the chemical liquid is adjusted according to the pressure of the chemical liquid or the like is required.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.The above-described background technology is possessed or acquired by the inventor during the derivation process of the present invention, and is not necessarily a known technology disclosed to the general public before filing the present invention.

일 실시 예의 목적은, 역류 방지 기능을 갖는 커플러를 제공하는 것이다.The purpose of one embodiment is to provide a coupler having a backflow prevention function.

일 실시 예의 목적은, 유체의 압력에 따라 유량 조절이 가능한 커플러 제공하는 것이다.The purpose of one embodiment is to provide a coupler capable of adjusting the flow rate according to the pressure of the fluid.

일 실시 예에 따른 커플러는, 내부에 하부 유동 공간이 형성된 하부관; 내부에 상부 유동 공간이 형성되고, 상기 하부관의 상측에 위치되는 상부관; 내부에 연결 유동 공간이 형성되고, 상기 하부 유동 공간 및 상부 유동 공간이 연통되도록 상기 하부관 및 상부관을 연결하는 연결관; 및 상기 연결 유동 공간에 배치되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 방향으로 유체의 유동을 허용하는 체크 밸브부를 포함하고, 상기 체크 밸브부는, 상기 하부관에 접하도록 배치되는 마개부; 일측이 상기 마개부에 연결되며 타측이 상기 연결관의 내부에 연결되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 상기 유체의 압력에 의하여 탄성적으로 압축 가능한 탄성부; 상기 마개부의 상부면에서 하측으로 함몰되는 중공; 및 상기 마개부가 상기 하부관에 접한 상태를 기준으로, 상기 중공 및 연결 유동 공간이 연통되도록 상기 마개부를 관통하는 통공을 포함할 수 있다.A coupler according to an embodiment of the present invention includes a lower pipe having a lower flow space therein; An upper flow space is formed inside, and the upper pipe is located above the lower pipe; A connecting pipe connecting the lower pipe and the upper pipe so that a connecting flow space is formed therein, and the lower and upper flow spaces communicate; And a check valve part disposed in the connecting flow space and allowing flow of fluid in a direction from the lower flow space toward the upper flow space, wherein the check valve part comprises: a stopper part disposed to contact the lower pipe; One side is connected to the stopper and the other side is connected to the inside of the connection pipe, the elastic portion elastically compressible by the pressure of the fluid from the lower flow space toward the upper flow space; A hollow recessed downward from the upper surface of the stopper; And based on the state in which the stopper portion is in contact with the lower pipe, it may include a through hole through the stopper so that the hollow and the connecting flow space communicates.

상기 유체의 압력에 의하여 상기 탄성부가 압축되면, 상기 마개부는 상기 하부관으로부터 이격되고, 상기 하부 유동 공간으로 유입된 상기 유체는 상기 통공 및 중공을 통해 상기 상부 유동 공간을 향하여 유동될 수 있다.When the elastic portion is compressed by the pressure of the fluid, the stopper portion is spaced apart from the lower tube, and the fluid introduced into the lower flow space may flow toward the upper flow space through the through and hollow.

상기 체크 밸브부는, 상기 마개부에서 하측으로 연장되고, 상기 하부 유동 공간으로 삽입되는 삽입관; 및 상기 삽입관의 외주를 관통하는 복수 개의 유량조절공을 더 포함할 수 있다.The check valve portion, an insertion tube extending downward from the stopper portion and inserted into the lower flow space; And a plurality of flow control holes penetrating the outer circumference of the insertion tube.

상기 복수 개의 유량조절공은 상기 삽입관의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다.The plurality of flow control holes may be arranged along the longitudinal direction of the insertion tube.

상기 유체의 압력에 의하여 상기 탄성부가 압축됨에 따라, 상기 삽입관의 길이 방향을 따라 배치된 복수 개의 유량조절공은 순차적으로 상기 연결 유동 공간과 연통될 수 있다.As the elastic part is compressed by the pressure of the fluid, a plurality of flow control holes arranged along the longitudinal direction of the insertion tube may be sequentially communicated with the connecting flow space.

일 실시 예에 따른 커플러는 유체의 역류를 방지할 수 있다.The coupler according to an embodiment may prevent backflow of the fluid.

일 실시 예에 따른 커플러는 유체의 압력에 따라 유량을 조절할 수 있다.The coupler according to an embodiment may adjust the flow rate according to the pressure of the fluid.

일 실시 예에 따른 커플러의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effect of the coupler according to an embodiment is not limited to those mentioned above, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일 실시 예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 일 실시 예에 따른 커플러의 단면도이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 커플러의 사용상태 단면도이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 커플러의 단면도이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 커플러의 사용상태 단면도이다.The following drawings attached to this specification are intended to illustrate one preferred embodiment of the present invention, and to serve to further understand the technical spirit of the present invention together with the detailed description of the present invention, the present invention is only described in those drawings It should not be interpreted as limited.
1 is a cross-sectional view of a coupler according to an embodiment.
2 is a cross-sectional view of a use state of a coupler according to an embodiment.
3 is a cross-sectional view of a coupler according to an embodiment.
4 is a cross-sectional view of a use state of a coupler according to an embodiment.

이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, embodiments will be described in detail through exemplary drawings. It should be noted that in adding reference numerals to the components of each drawing, the same components have the same reference numerals as possible even though they are displayed on different drawings. In addition, in describing an embodiment, when it is determined that a detailed description of a related known configuration or function interferes with understanding of the embodiment, the detailed description is omitted.

또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, in describing the components of the embodiment, terms such as first, second, A, B, (a), (b), and the like can be used. These terms are only for distinguishing the component from other components, and the nature, order, or order of the component is not limited by the term. When a component is described as being "connected", "coupled" or "connected" to another component, the component may be directly connected to or connected to the other component, but another component between each component It should be understood that may be "connected", "coupled" or "connected".

어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.Components included in any one embodiment and components including common functions will be described using the same name in other embodiments. Unless there is an objection to the contrary, the description described in any one embodiment may be applied to other embodiments, and a detailed description will be omitted in the overlapped range.

도 1은 일 실시 예에 따른 커플러의 단면도이다. 도 2는 일 실시 예에 따른 커플러의 사용상태 단면도이다.1 is a cross-sectional view of a coupler according to an embodiment. 2 is a cross-sectional view of a use state of a coupler according to an embodiment.

도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시 예에 따른 커플러(1)는 유체가 수용된 용기로부터 유체를 인출 또는 배출할 수 있다. 예를 들어, 커플러(1)는 포토 레지스트 용액을 송액하기 위하여, 포토 레지스트 용액이 수용된 용기에 연결될 수 있다. 커플러(1)는 일 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 예를 들어, 커플러(1)는 외부의 이물질이 용기 내부로 유입되지 않도록, 용기 내부에서 외부를 향하는 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 커플러(1)는 유체의 압력에 따라 유체의 유량을 조절할 수 있다. 예를 들어, 커플러(1)는 유체의 압력이 증가함에 따라, 더 많은 유체가 인출 또는 배출되도록 구성될 수 있다.1 and 2, the coupler 1 according to an embodiment may draw or discharge fluid from a container in which the fluid is accommodated. For example, the coupler 1 may be connected to a container in which the photoresist solution is accommodated, in order to deliver the photoresist solution. The coupler 1 can allow the flow of fluid in only one direction. For example, the coupler 1 may allow the flow of fluid only in the direction from the inside of the container to the outside, so that foreign matter does not flow into the inside of the container. The coupler 1 may adjust the flow rate of the fluid according to the pressure of the fluid. For example, the coupler 1 can be configured such that as the pressure of the fluid increases, more fluid is drawn or discharged.

일 실시 예에 따른 커플러(1)는 하부관(11), 상부관(12), 연결관(13), 하우징(14) 및 체크 밸브부(15)를 포함할 수 있다.The coupler 1 according to an embodiment may include a lower pipe 11, an upper pipe 12, a connecting pipe 13, a housing 14, and a check valve part 15.

하부관(11)은 도 1의 상태를 기준으로, 하측에 위치될 수 있다. 하부관(11)은 용기의 플러그에 연결될 수 있다. 예를 들어, 하부관(11)은 포토 레지스트 용액이 수용된 용기의 입구에 연결될 수 있다. 하부관(11)은 내부에 하부 유동 공간(111)이 형성될 수 있다.The lower pipe 11 may be located on the lower side based on the state of FIG. 1. The lower pipe 11 may be connected to the plug of the container. For example, the lower tube 11 may be connected to the inlet of the container in which the photoresist solution is accommodated. The lower pipe 11 may have a lower flow space 111 formed therein.

상부관(12)은 도 1의 상태를 기준으로, 하부관(11)의 상측에 위치될 수 있다. 예를 들어, 상부관(12)에는 펌프가 연결될 수 있다. 상부관(12)은 내부에 상부 유동 공간(121)이 형성될 수 있다.The upper tube 12 may be located above the lower tube 11 based on the state of FIG. 1. For example, a pump may be connected to the upper tube 12. The upper tube 12 may have an upper flow space 121 formed therein.

연결관(13)의 내부에는 연결 유동 공간(131)이 형성될 수 있다. 연결관(13)은 하부 유동 공간(111) 및 상부 유동 공간(121)이 연통되도록, 하부관(11) 및 상부관(12)을 연결할 수 있다. 예를 들어, 하부관(11)은 연결관(13)의 내측으로 삽입되어 결합될 수 있다. 상부관(12)은 연결관(13)의 내측으로 삽입되어 결합될 수 있다. 하부관(11) 및 상부관(12)과 연결관(13)의 연결 부위에는 실링 부재가 적용될 수 있다.A connection flow space 131 may be formed inside the connection pipe 13. The connection pipe 13 may connect the lower pipe 11 and the upper pipe 12 so that the lower flow space 111 and the upper flow space 121 communicate. For example, the lower pipe 11 may be inserted into and coupled to the inner side of the connecting pipe 13. The upper tube 12 may be inserted into the inside of the connection tube 13 and combined. A sealing member may be applied to a connection portion between the lower pipe 11 and the upper pipe 12 and the connecting pipe 13.

하우징(14)은 커플러(1)의 외관을 형성할 수 있다. 하우징(14)은 연결관(13) 및 하부관(11)의 외주면을 감쌀 수 있다. 하우징(14)은 연결관(13), 하부관(11) 및 상부관(12)의 외주면을 모두 감쌀 수도 있다. 하우징(14)의 하단에는 직경 “‡향으로 외측을 향해 돌출되는 밀폐캡이 형성될 수 있다. 예를 들어, 밀폐캡은 용기의 플러그에 삽입되어 커플러(1)와 플러그 사이를 밀폐시킬 수 있다. 하부관(11)의 하단에는 밀폐캡을 지지하기 위하여, 직경 방향으로 외측을 향해 돌출되는 플랜지가 형성될 수 있다. 밀폐캡과 플랜지 사이에는 가스켓이 삽입될 수 있다.The housing 14 may form the exterior of the coupler 1. The housing 14 may wrap the outer circumferential surfaces of the connecting pipe 13 and the lower pipe 11. The housing 14 may wrap all the outer circumferential surfaces of the connecting pipe 13, the lower pipe 11, and the upper pipe 12. At the bottom of the housing 14, a sealing cap protruding toward the outside in the direction of “‡” may be formed. For example, the sealing cap may be inserted into the plug of the container to seal the gap between the coupler 1 and the plug. In order to support the sealing cap, a flange protruding outward in the radial direction may be formed at a lower end of the lower pipe 11. A gasket may be inserted between the sealing cap and the flange.

체크 밸브부(15)는 연결관(13)의 내부에 배치될 수 있다. 다시 말해, 체크 밸브부(15)는 연결 유동 공간(131)에 배치될 수 있다. 체크 밸브부(15)는 일 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 예를 들어, 체크 밸브부(15)는 하부 유동 공간(111)에서 상부 유동 공간(121)을 향하는 방향으로 유체의 유동을 허용할 수 있다. 체크 밸브부(15)는 상부 유동 공간(121)에서 하부 유동 공간(111)을 향하는 방향에 대하여는, 유체의 유동을 차단할 수 있다. 이러한 구조에 의하면, 커플러(1)는 유체의 역류를 방지할 수 있다.The check valve part 15 may be disposed inside the connection pipe 13. In other words, the check valve unit 15 may be disposed in the connecting flow space 131. The check valve unit 15 may allow fluid to flow in only one direction. For example, the check valve unit 15 may allow the flow of fluid in the direction from the lower flow space 111 to the upper flow space 121. The check valve unit 15 may block the flow of fluid with respect to a direction from the upper flow space 121 to the lower flow space 111. According to this structure, the coupler 1 can prevent back flow of the fluid.

체크 밸브부(15)는 마개부(151), 탄성부(152), 중공(153) 및 통공(154)을 포함할 수 있다.The check valve part 15 may include a stopper part 151, an elastic part 152, a hollow 153, and a through hole 154.

마개부(151)는 초기 상태에서 하부관(11)에 접하도록 배치될 수 있다. 마개부(151)가 하부관(11)에 접하는 상태에서, 하부 유동 공간(111)은 폐쇄될 수 있다. 즉, 마개부(151)가 하부관(11)에 접하는 상태에서는 하부 유동 공간(111) 및 연결 유동 공간(131)은 서로 연통되지 않을 수 있다. 마개부(151)는 후술하는 탄성부(152)가 압축되면, 하부관(11)으로부터 이격될 수 있다. 마개부(151)가 하부관(11)으로부터 이격된 상태에서, 하부 유동 공간(111)은 개방될 수 있다. 즉, 마개부(151)가 하부관(11)으로부터 이격된 상태에서는 하부 유동 공간(111) 및 연결 유동 공간(131)은 서로 연통될 수 있다.The stopper part 151 may be disposed to contact the lower tube 11 in an initial state. In the state that the stopper portion 151 is in contact with the lower pipe 11, the lower flow space 111 may be closed. That is, when the stopper 151 is in contact with the lower pipe 11, the lower flow space 111 and the connection flow space 131 may not communicate with each other. When the elastic portion 152 to be described later is compressed, the stopper portion 151 may be spaced apart from the lower pipe 11. In a state in which the stopper portion 151 is spaced from the lower pipe 11, the lower flow space 111 may be opened. That is, when the stopper 151 is spaced apart from the lower pipe 11, the lower flow space 111 and the connected flow space 131 may communicate with each other.

마개부(151)는 헤드(1511) 및 바디(1512)를 포함할 수 있다. 헤드(1511)는 하부관(11)에 접하도록 배치될 수 있다. 헤드(1511)는 하부 유동 공간(111)을 폐쇄시킬 수 있는 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 헤드(1511)는 반구 형상으로 형성될 수 있다. 헤드(1511)는 하부 유동 공간(111)보다 큰 직경을 가질 수 있다. 바디(1512)는 헤드(1511)에서 상측으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 바디(1512)는 원통형으로 형성될 수 있다.The stopper 151 may include a head 1511 and a body 1512. The head 1511 may be disposed to contact the lower pipe 11. The head 1511 may be formed in a shape capable of closing the lower flow space 111. For example, the head 1511 may be formed in a hemispherical shape. The head 1511 may have a larger diameter than the lower flow space 111. The body 1512 may extend upward from the head 1511. For example, the body 1512 may be formed in a cylindrical shape.

탄성부(152)는 일측이 마개부(151)에 연결되고, 타측이 연결관(13)의 내부에 연결될 수 있다. 탄성부(152)는 초기 상태에서 마개부(151)가 하부관(11)에 접촉되도록 탄성력을 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 탄성부(152)는 초기 상태에서 마개부(151)가 하부관(11)에 밀착되도록, 마개부(151)를 하부관(11) 방향으로 밀어낼 수 있다. 초기 상태에서 탄성부(152)가 마개부(151)를 하부관(11) 방향으로 밀어내는 탄성력은, 하부 유동 공간(111)이 개방되기 위하여 필요한 유체 압력의 역치값을 의미할 수 있다.The elastic portion 152 has one side connected to the stopper portion 151, and the other side can be connected to the inside of the connection pipe 13. The elastic portion 152 may generate an elastic force such that the stopper portion 151 contacts the lower pipe 11 in an initial state. For example, the elastic portion 152 may push the stopper portion 151 toward the lower pipe 11 so that the stopper portion 151 is in close contact with the lower pipe 11 in an initial state. The elastic force in which the elastic part 152 pushes the stopper part 151 in the direction of the lower pipe 11 in the initial state may mean a threshold value of the fluid pressure required for the lower flow space 111 to be opened.

탄성부(152)는 하부 유동 공간(111)에서 상부 유동 공간(121)을 향하는 유체의 압력에 의하여 탄성적으로 압축될 수 있다. 구체적으로, 초기 상태에서 폐쇄된 하부 유동 공간(111)으로 유입된 유체는, 마개부(151)를 상측 방향으로 밀어낼 수 있다. 마개부(151)를 상측으로 밀어내는 압력이 역치값을 초과하면, 탄성부(152)는 압축되고, 그에 따라 마개부(151)가 하부관(11)으로부터 이격될 수 있다. 따라서, 하부 유동 공간(111)이 개방되고, 유체는 연결 유동 공간(131)을 통해 상부 유동 공간(121)으로 유동될 수 있다. 탄성부(152)의 탄성계수 및 초기 압축 정도는 커플러(1)의 목적 및 용도에 맞게 다양하게 설정될 수 있다.The elastic part 152 may be elastically compressed by the pressure of the fluid from the lower flow space 111 to the upper flow space 121. Specifically, the fluid introduced into the closed lower flow space 111 in the initial state may push the stopper 151 upward. When the pressure for pushing the stopper 151 upwards exceeds a threshold value, the elastic portion 152 is compressed, so that the stopper 151 can be spaced apart from the lower pipe 11. Therefore, the lower flow space 111 is opened, and the fluid may flow to the upper flow space 121 through the connecting flow space 131. The elastic modulus and the initial compression degree of the elastic part 152 may be variously set according to the purpose and purpose of the coupler 1.

중공(153)은 마개부(151)의 내부에 형성되는 공간으로, 마개부(151)의 상측으로 개방된 공간일 수 있다. 중공(153)은 마개부(151)의 상부면에서 하측으로 함몰되는 공간일 수 있다. 예를 들어, 중공(153)은 마개부(151)의 바디(1512)를 관통하여 형성되고, 헤드(1511)의 일부까지 연장될 수 있다.The hollow 153 is a space formed inside the stopper 151, and may be a space opened above the stopper 151. The hollow 153 may be a space recessed downward from the upper surface of the stopper 151. For example, the hollow 153 is formed through the body 1512 of the stopper 151 and may extend to a part of the head 1511.

통공(154)은 마개부(151)가 하부관(11)에 접한 상태를 기준으로, 중공(153) 및 연결 유동 공간(131)이 연통되도록 마개부(151)를 관통할 수 있다. 즉, 통공(154)은 마개부(151) 중에서 하부 유동 공간(111)에 직접 접하지 않는 부위에 형성될 수 있다. 예를 들어, 통공(154)은 마개부(151)의 헤드(1511)를 관통하여 형성될 수 있다. 통공(154)은 헤드(1511)의 둘레를 따라 복수 개 형성될 수 있다. 통공(154)은 반구형 헤드(1511)의 중심으로부터 외측으로 하향 경사지도록 형성될 수 있다.The through hole 154 may penetrate the stopper 151 so that the hollow 153 and the connecting flow space 131 communicate with each other based on the state in which the stopper 151 is in contact with the lower pipe 11. That is, the through hole 154 may be formed in a portion of the stopper portion 151 that does not directly contact the lower flow space 111. For example, the through hole 154 may be formed through the head 1511 of the stopper 151. A plurality of through holes 154 may be formed along the circumference of the head 1511. The through hole 154 may be formed to incline downward from the center of the hemispherical head 1511.

초기 상태에서 폐쇄된 하부 유동 공간(111)으로 유입된 유체가 헤드(1511)에 압력을 전달하여 탄성부(152)가 압축되면, 마개부(151)는 하부관(11)으로부터 이격될 수 있다. 그에 따라 하부 유동 공간(111)은 개방되고, 유체는 통공(154) 및 중공(153)을 통해 연결 유동 공간(131)으로 유입되어 상부 유동 공간(121)을 향하여 유동될 수 있다. 또한, 하부 유동 공간(111)으로 유입된 유체의 압력이 증가함에 따라, 탄성부(152)의 압축 정도가 증가하게 되므로, 그에 따라 마개부(151)가 하부관(11)으로부터 이격된 거리가 증가할 수 있다. 따라서, 마개부(151)와 하부관(11) 사이의 공간이 넓어지게 되므로, 더 많은 양의 유체가 연결 유동 공간(131)으로 유입되어 상부 유동 공간(121)을 향해 유동될 수 있다. 한편, 상부 유동 공간(121)으로부터 하부 유동 공간(111)을 향하는 역압이 발생되더라도, 역압 발생에 따라 마개부(151)가 하부 유동 공간(111)을 폐쇄하게 되므로, 유체가 상부 유동 공간(121)으로부터 하부 유동 공간(111)을 향해 역류하는 것이 방지될 수 있다.When the fluid introduced into the closed lower flow space 111 in the initial state transmits pressure to the head 1511 and the elastic portion 152 is compressed, the stopper portion 151 may be spaced apart from the lower pipe 11. . Accordingly, the lower flow space 111 is opened, and the fluid may flow into the connection flow space 131 through the through holes 154 and the hollow 153 and flow toward the upper flow space 121. In addition, as the pressure of the fluid flowing into the lower flow space 111 increases, the degree of compression of the elastic portion 152 increases, so that the distance between the stopper portion 151 and the lower pipe 11 is reduced. Can increase. Therefore, since the space between the stopper part 151 and the lower pipe 11 is widened, a larger amount of fluid may flow into the connecting flow space 131 and flow toward the upper flow space 121. On the other hand, even if a back pressure from the upper flow space 121 toward the lower flow space 111 is generated, the stopper 151 closes the lower flow space 111 according to the back pressure, so that the fluid flows into the upper flow space 121 ) Can be prevented from flowing back toward the lower flow space 111.

도 3은 일 실시 예에 따른 커플러의 단면도이다. 도 4는 일 실시 예에 따른 커플러의 사용상태 단면도이다.3 is a cross-sectional view of a coupler according to an embodiment. 4 is a cross-sectional view of a use state of a coupler according to an embodiment.

도 3 및 도 4를 참조하면, 일 실시 예에 따른 커플러(2)는 유체가 수용된 용기로부터 유체를 인출 또는 배출할 수 있다. 예를 들어, 커플러(2)는 포토 레지스트 용액을 송액하기 위하여, 포토 레지스트 용액이 수용된 용기에 연결될 수 있다. 커플러(2)는 일 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 예를 들어, 커플러(2)는 외부의 이물질이 용기 내부로 유입되지 않도록, 용기 내부에서 외부를 향하는 방향으로만 유체의 유동을 허용할 수 있다. 커플러(2)는 유체의 압력에 따라 유체의 유량을 조절할 수 있다. 예를 들어, 커플러(2)는 유체의 압력이 증가함에 따라, 더 많은 유체가 인출 또는 배출되도록 구성될 수 있다.3 and 4, the coupler 2 according to an embodiment may draw or discharge fluid from a container in which the fluid is accommodated. For example, the coupler 2 may be connected to a container in which the photoresist solution is accommodated, in order to deliver the photoresist solution. The coupler 2 can allow the flow of fluid in only one direction. For example, the coupler 2 may allow the flow of fluid only in the direction from the inside of the container to the outside, so that foreign matter does not enter the inside of the container. The coupler 2 may adjust the flow rate of the fluid according to the pressure of the fluid. For example, the coupler 2 can be configured such that as the pressure of the fluid increases, more fluid is drawn or discharged.

일 실시 예에 따른 커플러(2)는 하부관(21), 상부관(22), 연결관(23), 하우징(24) 및 체크 밸브부(25)를 포함할 수 있다.The coupler 2 according to an embodiment may include a lower pipe 21, an upper pipe 22, a connecting pipe 23, a housing 24, and a check valve portion 25.

일 실시 예에 따른 체크 밸브부(25)는 마개부(251), 탄성부(252), 중공(253), 통공(254), 삽입관(255) 및 유량조절공(256)을 포함할 수 있다.Check valve portion 25 according to an embodiment may include a stopper portion 251, an elastic portion 252, a hollow 253, a through hole 254, an insertion tube 255 and a flow control hole 256 have.

삽입관(255)은 마개부(251)에서 하측으로 연장될 수 있다. 예를 들어, 마개부(251)의 헤드(2511)에서 하측으로 연장될 수 있다. 삽입관(255)은 길이 방향으로 형성될 수 있다. 삽입관(255)은 내부에 유동 공간이 형성될 수 있다. 삽입관(255)은 원통형으로 형성될 수 있다. 삽입관(255)은 하부 유동 공간(211)으로 삽입될 수 있다. 예를 들어, 초기 상태에서, 삽입관(255)은 하부 유동 공간(211)으로 삽입된 상태일 수 있다. 삽입관(255)은 하부 유동 공간(211)에 대응되는 직경으로 형성될 수 있다. 삽입관(255)은 마개부(251)와 일체로 형성될 수 있다.The insertion tube 255 may extend downward from the stopper 251. For example, it may extend downward from the head 2511 of the stopper 251. The insertion tube 255 may be formed in the longitudinal direction. The insertion tube 255 may have a flow space formed therein. The insertion tube 255 may be formed in a cylindrical shape. The insertion tube 255 may be inserted into the lower flow space 211. For example, in the initial state, the insertion tube 255 may be inserted into the lower flow space 211. The insertion tube 255 may be formed with a diameter corresponding to the lower flow space 211. The insertion tube 255 may be integrally formed with the stopper 251.

유량조절공(256)은 삽입관(255)의 외주를 관통할 수 있다. 유량조절공(256)은 복수 개 형성될 수 있다. 복수 개의 유량조절공(256)은 삽입관(255)의 길이 방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 유량조절공(256)은 삽입관(255)의 둘레를 따라 복수 개 형성될 수 있다.The flow control hole 256 may penetrate the outer periphery of the insertion tube 255. A plurality of flow control holes 256 may be formed. The plurality of flow control holes 256 may be disposed along the longitudinal direction of the insertion tube 255. In addition, a plurality of flow control holes 256 may be formed along the circumference of the insertion tube 255.

초기 상태에서 폐쇄된 하부 유동 공간(211)으로 유입된 유체가 헤드(2511)에 압력을 전달하여 탄성부(252)가 압축되면, 마개부(251)는 하부관(21)으로부터 이격될 수 있다. 이와 동시에, 삽입관(255)의 일부는 하부 유동 공간(211)으로부터 빠져나올 수 있다. 그에 따라, 유량조절공(256)은 연결 유동 공간(231)과 연통될 수 있고, 유체는 유량조절공(256), 통공(254) 및 중공(253)을 통하여 상부 유동 공간(221)을 향해 유동될 수 있다. 한편, 유체의 압력이 증가됨에 따라 탄성부(252)의 압축 정도가 증가되게 되고, 그에 따라 삽입관(255)이 하부 유동 공간(211)으로부터 빠져나오는 정도가 증가할 수 있다. 따라서, 탄성부(252)의 압축 정도에 따라, 삽입관(255)의 길이 방향을 따라 배치된 복수 개의 유량조절공(256)은 순차적으로 하부 유동 공간(211)을 빠져나와 연결 유동 공간(231)과 연통될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하면, 하부 유동 공간(111)으로 유입된 유체의 압력이 증가함에 따라, 연결 유동 공간(231)과 연통되는 유량조절공(256)의 수가 증가하게 되고, 그에 따라 더 많은 양의 유체가 연결 유동 공간(231)으로 유입되어 상부 유동 공간(221)을 향해 유동될 수 있다.When the fluid introduced into the closed lower flow space 211 in the initial state transmits pressure to the head 2511 and the elastic portion 252 is compressed, the stopper portion 251 may be spaced apart from the lower pipe 21. . At the same time, a portion of the insertion tube 255 can escape from the lower flow space 211. Accordingly, the flow control hole 256 may be in communication with the connecting flow space 231, and the fluid flows toward the upper flow space 221 through the flow control hole 256, the through hole 254 and the hollow 253 Can be flowed. On the other hand, as the pressure of the fluid increases, the degree of compression of the elastic portion 252 increases, and accordingly, the degree of the insertion tube 255 escaping from the lower flow space 211 may increase. Thus, depending on the degree of compression of the elastic portion 252, the plurality of flow control holes 256 arranged along the longitudinal direction of the insertion tube 255 sequentially exits the lower flow space 211 and connects the flow space 231 ). According to this structure, as the pressure of the fluid flowing into the lower flow space 111 increases, the number of flow control holes 256 communicating with the connection flow space 231 increases, and accordingly, a larger amount Fluid may be introduced into the connecting flow space 231 and flow toward the upper flow space 221.

이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.As described above, although the embodiments have been described by the limited drawings, those skilled in the art can make various modifications and variations from the above description. For example, the described techniques may be performed in a different order than the described method, and/or components such as the structure, device, etc. described may be combined or combined in a different form from the described method, or may be applied to other components or equivalents. Even if replaced or substituted by, appropriate results can be achieved.

1: 커플러
11: 하부관
12: 상부관
13: 연결관
14: 하우징
15: 체크 밸브부1: coupler
11: lower tube
12: upper tube
13: Connector
14: housing
15: check valve

Claims (5)

내부에 하부 유동 공간이 형성된 하부관;
내부에 상부 유동 공간이 형성되고, 상기 하부관의 상측에 위치되는 상부관;
내부에 연결 유동 공간이 형성되고, 상기 하부 유동 공간 및 상부 유동 공간이 연통되도록 상기 하부관 및 상부관을 연결하는 연결관; 및
상기 연결 유동 공간에 배치되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 방향으로 유체의 유동을 허용하는 체크 밸브부를 포함하고,
상기 체크 밸브부는,
상기 하부관에 접하도록 배치되는 마개부;
일측이 상기 마개부에 연결되며 타측이 상기 연결관의 내부에 연결되고, 상기 하부 유동 공간에서 상기 상부 유동 공간을 향하는 상기 유체의 압력에 의하여 탄성적으로 압축 가능한 탄성부;
상기 마개부의 상부면에서 하측으로 함몰되는 중공; 및
상기 마개부가 상기 하부관에 접한 상태를 기준으로, 상기 중공 및 연결 유동 공간이 연통되도록 상기 마개부를 관통하는 통공을 포함하는, 커플러.A lower tube in which a lower flow space is formed;
An upper flow space is formed inside, and the upper pipe is located above the lower pipe;
A connecting pipe connecting the lower pipe and the upper pipe so that a connecting flow space is formed therein, and the lower and upper flow spaces communicate; And
It is disposed in the connection flow space, and includes a check valve portion that allows the flow of fluid in the direction from the lower flow space toward the upper flow space,
The check valve unit,
A stopper part disposed to contact the lower tube;
One side is connected to the stopper and the other side is connected to the inside of the connection pipe, the elastic portion elastically compressible by the pressure of the fluid from the lower flow space toward the upper flow space;
A hollow recessed downward from the upper surface of the stopper; And
A coupler including a through hole passing through the stopper so that the hollow and the connecting flow space communicate with each other based on a state in which the stopper is in contact with the lower tube. 제1항에 있어서,
상기 유체의 압력에 의하여 상기 탄성부가 압축되면, 상기 마개부는 상기 하부관으로부터 이격되고, 상기 하부 유동 공간으로 유입된 상기 유체는 상기 통공 및 중공을 통해 상기 상부 유동 공간을 향하여 유동되는, 커플러.According to claim 1,
When the elastic portion is compressed by the pressure of the fluid, the stopper portion is spaced from the lower tube, and the fluid introduced into the lower flow space flows toward the upper flow space through the through and hollow. 제1항에 있어서,
상기 체크 밸브부는,
상기 마개부에서 하측으로 연장되고, 상기 하부 유동 공간으로 삽입되는 삽입관; 및
상기 삽입관의 외주를 관통하는 복수 개의 유량조절공을 더 포함하는, 커플러.According to claim 1,
The check valve unit,
An insertion tube extending downwardly from the stopper and inserted into the lower flow space; And
A coupler further comprising a plurality of flow control holes penetrating the outer periphery of the insertion tube. 제3항에 있어서,
상기 복수 개의 유량조절공은 상기 삽입관의 길이 방향을 따라 배치되는, 커플러.According to claim 3,
The plurality of flow control holes are arranged along the longitudinal direction of the insertion tube, a coupler. 제4항에 있어서,
상기 유체의 압력에 의하여 상기 탄성부가 압축됨에 따라, 상기 삽입관의 길이 방향을 따라 배치된 복수 개의 유량조절공은 순차적으로 상기 연결 유동 공간과 연통되는, 커플러.According to claim 4,
As the elastic part is compressed by the pressure of the fluid, a plurality of flow control holes arranged along the longitudinal direction of the insertion tube are sequentially in communication with the connecting flow space, a coupler.
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