KR20200056045A - 이류체 분사노즐 - Google Patents

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KR20200056045A
KR20200056045A KR1020180139886A KR20180139886A KR20200056045A KR 20200056045 A KR20200056045 A KR 20200056045A KR 1020180139886 A KR1020180139886 A KR 1020180139886A KR 20180139886 A KR20180139886 A KR 20180139886A KR 20200056045 A KR20200056045 A KR 20200056045A
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이원희
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드림산업(주)
이원희
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Abstract

본 발명에 따른 이류체 분사노즐은, 노즐 바디와, 노즐 바디의 내측에 마련되는 공기 포켓과, 노즐 바디의 내측에 상기 공기 포켓과 구획되도록 마련되는 세정액 포켓과, 공기 포켓으로 공기를 공급하기 위해 공기 포켓과 연결되도록 노즐 바디에 구비되는 공기 유입구와, 세정액 포켓으로 세정액을 공급하기 위해 세정액 포켓과 연결되도록 노즐 바디에 구비되는 세정액 유입구와, 공기 포켓의 공기를 공기 포켓으로부터 노즐 바디의 외측 방향으로 가이드하기 위해 공기 포켓과 연결되도록 노즐 바디의 내측에 마련되는 공기 안내로와, 세정액 포켓의 세정액을 세정액 포켓으로부터 노즐 바디의 외측 방향으로 가이드하기 위해 세정액 포켓과 연결되도록 노즐 바디의 내측에 마련되는 세정액 안내로와, 공기 안내로를 따라 유동하는 공기와 세정액 안내로를 따라 유동하는 세정액을 혼합하여 분사할 수 있도록 공기 안내로 및 세정액 안내로와 연결되어 노즐 바디의 외면으로 연장되는 분사구를 포함하고, 공기 안내로의 폭은 세정액 안내로의 폭보다 작고, 분사구의 폭은 세정액 안내로의 폭보다 큰 것을 특징으로 한다.

Description

이류체 분사노즐{TWO-LIQUIDS JETTING NOZZLE}
본 발명은 이류체 분사노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 등의 세정 대상물에 세정액과 공기를 혼합하여 분사함으로써 세정 대상물의 표면에 묻어있는 이물질을 제거할 수 있는 이류체 분사노즐에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 웨이퍼나, LCD, OLED 등의 평판 디스플레이용 기판이나, 유리판 등의 각종 기판은 다양한 제조공정을 거쳐 제조된다. 이러한 기판의 제조공정 중 기판의 표면은 각종 파티클이나 오염물질에 의해 오염되기 쉽다.
최근에는 반도체 소자가 고밀도, 고집적화, 고성능화됨에 따라 회로 패턴의 미세화가 급속히 진행됨으로써 기판 표면에 잔류하는 파티클, 유기 오염물, 금속 오염물 등의 오염 물질은 소자의 특성과 생산 수율에 많은 영향을 미치게 된다.
이러한 이유로 기판 표면에 부착된 각종 오염 물질을 제거하는 세정 공정이 기판 제조 공정에서 매우 중요하게 대두되고 있으며, 기판을 제조하는 단위 공정의 전후에 기판을 세정 처리하는 공정이 실시되고 있다. 세정 공정은 기판 표면의 청정화를 위한 공정으로, 약액처리 공정, 린스 공정, 건조 공정을 포함하는 것이 보통이다
기판의 표면을 세정하기 공정에서는 DI와 같은 세정액이나 기타 처리액에 그 처리 효과를 높이기 위해 공기를 유입시켜 버블 상태로 만든 이류체가 많이 사용된다. 그리고 이류체를 기판의 표면에 분사하기 위한 장치로는 액체와 기체를 혼합하여 분사할 때 형성되는 액적을 기판의 표면에 충돌시켜 기판을 세정하는 이류체 분사노즐이 많이 이용되고 있다.
이류체를 기판 등의 세정 대상물에 분사하여 세정 효율을 높이기 위해서는 이류체 액적의 크기를 충분하게 미립화하여 분사할 필요가 있다. 이러한 이유로 이류체 액적을 균일하게 미립화하여 분사할 수 있는 이류체 분사노즐을 개발하려는 연구 개발이 지속되고 있다.
등록특허공보 제0982492호 (2010. 09. 15)
본 발명은 상술한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 이류체 액적을 균일하게 미립화하여 분사함으로써 세정 대상물에 대한 세정 효율을 높이고 세정 작업시간을 단축할 수 있는 이류체 분사노즐을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명에 따른 이류체 분사노즐은, 노즐 바디; 상기 노즐 바디의 내측에 마련되는 공기 포켓; 상기 노즐 바디의 내측에 상기 공기 포켓과 구획되도록 마련되는 세정액 포켓; 상기 공기 포켓으로 공기를 공급하기 위해 상기 공기 포켓과 연결되도록 상기 노즐 바디에 구비되는 공기 유입구; 상기 세정액 포켓으로 세정액을 공급하기 위해 상기 세정액 포켓과 연결되도록 상기 노즐 바디에 구비되는 세정액 유입구; 상기 공기 포켓의 공기를 상기 공기 포켓으로부터 상기 노즐 바디의 외측 방향으로 가이드하기 위해 상기 공기 포켓과 연결되도록 상기 노즐 바디의 내측에 마련되는 공기 안내로; 상기 세정액 포켓의 세정액을 상기 세정액 포켓으로부터 상기 노즐 바디의 외측 방향으로 가이드하기 위해 상기 세정액 포켓과 연결되도록 상기 노즐 바디의 내측에 마련되는 세정액 안내로; 및 상기 공기 안내로를 따라 유동하는 공기와 상기 세정액 안내로를 따라 유동하는 세정액을 혼합하여 분사할 수 있도록 상기 공기 안내로 및 상기 세정액 안내로와 연결되어 상기 노즐 바디의 외면으로 연장되는 분사구;를 포함하고, 상기 공기 안내로의 폭은 상기 세정액 안내로의 폭보다 작고, 상기 분사구의 폭은 상기 세정액 안내로의 폭보다 큰 것을 특징으로 한다.
상기 분사구의 폭은 상기 공기 안내로의 폭과 상기 세정액 안내로의 폭을 더한 크기일 수 있다.
상기 공기 안내로는 상기 분사구와 일직선 상에 배치되고, 상기 세정액 안내로는 상기 분사구와 교차하는 방향으로 배치될 수 있다.
상기 노즐 바디는, 일면에 상기 세정액 포켓이 마련되고 외면에 상기 세정액 유입구가 형성되는 베이스 플레이트 바디와, 상기 베이스 플레이트 바디의 일면에 마련되는 설치홈과, 상기 베이스 플레이트 바디의 일면 일단부에 구비되는 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부와, 상기 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드와 연결되되 상기 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드에 대해 꺾인 방향으로 연장되도록 상기 베이스 플레이트 바디의 내부 일측에 구비되는 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부를 갖는 베이스 플레이트와, 그 일면이 상기 베이스 플레이트 바디의 일면과 마주하여 상기 설치홈을 덮도록 상기 베이스 플레이트 바디에 결합되고 일면에 상기 공기 포켓이 마련되며 외면에 상기 공기 유입구가 형성되는 커버 플레이트 바디와, 상기 커버 플레이트 바디의 일면 일단부에 구비되는 커버 플레이트 분사 가이드부를 갖는 커버 플레이트와, 그 일면이 상기 공기 포켓을 덮고 그 타면이 상기 세정액 포켓을 덮도록 상기 설치홈에 삽입되는 내부 플레이트 바디와, 상기 내부 플레이트 바디의 일면 일단부에 구비되는 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부와, 상기 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부와 연결되되 상기 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부에 대해 꺾인 방향으로 연장되도록 상기 내부 플레이트 바디의 일단에 구비되는 제 2 내부 플레이트 분사 가이드부를 갖는 내부 플레이트를 포함하며, 상기 공기 안내로는 상기 커버 플레이트 분사 가이드부의 일부분과 상기 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부 사이에 마련되고, 상기 세정액 안내로는 상기 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부와 상기 제 2 내부 플레이트 분사 가이드부 사이에 마련되며, 상기 분사구는 상기 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부와 상기 커버 플레이트 분사 가이드부의 나머지 부분 사이에 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 이류체 분사노즐은, 상기 공기 포켓의 공기를 상기 공기 안내로로 가이드하기 위해 상기 커버 플레이트 바디의 일면과 상기 내부 플레이트 바디의 일면 사이에 배치되는 공기 채널; 상기 공기 채널의 중간에 상기 커버 플레이트 바디의 길이 방향으로 이격 배치되도록 상기 커버 플레이트 바디의 일면에서 상기 내부 플레이트 바디의 일면 측으로 돌출 형성되는 복수의 커버 플레이트 보스; 상기 세정액 포켓의 세정액을 상기 세정액 안내로로 가이드하기 위해 상기 베이스 플레이트 바디의 일면과 상기 내부 플레이트 바디의 타면 사이에 배치되는 세정액 채널; 및
상기 세정액 채널의 중간에 상기 내부 플레이트 바디의 길이 방향으로 이격 배치되도록 상기 내부 플레이트 바디의 타면에서 상기 베이스 플레이트 바디의 일면 측으로 돌출 형성되는 복수의 내부 플레이트 보스;를 포함하고, 상기 커버 플레이트 보스의 중간에는 상기 커버 플레이트 바디와 상기 내부 플레이트 바디를 결합하기 위한 고정부재가 삽입되는 커버 플레이트 보스 결합구멍이 마련되고, 상기 내부 플레이트 보스의 중간에는 상기 베이스 플레이트 바디와 상기 내부 플레이트 바디를 결합하기 위한 고정부재가 삽입되는 내부 플레이트 보스 결합구멍이 형성될 수 있다.
상기 커버 플레이트 보스는, 중간에 상기 커버 플레이트 보스 결합구멍이 형성되는 커버 플레이트 보스 바디와, 상기 커버 플레이트 보스 바디의 일측에서 상기 공기 안내로를 향해 연장되되 상기 커버 플레이트 보스 바디로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어지는 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부와, 상기 커버 플레이트 보스 바디의 다른 일측에서 상기 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부와 반대 방향으로 연장되되 상기 커버 플레이트 보스 바디로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어지는 제 2 커버 플레이트 보스 가이드부를 포함하고, 상기 내부 플레이트 보스는, 중간에 상기 내부 플레이트 보스 결합구멍이 형성되는 내부 플레이트 보스 바디와, 상기 내부 플레이트 보스 바디의 일측에서 상기 세정액 안내로를 향해 연장되되 상기 내부 플레이트 보스 바디로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어지는 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부와, 상기 내부 플레이트 보스 바디의 다른 일측에서 상기 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부와 반대 방향으로 연장되되 상기 내부 플레이트 보스 바디로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어지는 제 2 내부 플레이트 보스 가이드부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 이류체 분사노즐은, 상기 공기 포켓의 공기를 상기 공기 안내로로 가이드하기 위해 상기 커버 플레이트 바디의 일면과 상기 내부 플레이트 바디의 일면 사이에 배치되는 공기 채널; 및 상기 공기 안내로와 상기 공기 채널 사이에 배치되어 상기 공기 안내로와 상기 공기 채널을 공기 유동이 가능하게 연결하는 확장 채널;을 포함하고, 상기 확장 채널의 폭은 상기 공기 안내로의 폭 및 상기 공기 채널의 폭보다 클 수 있다.
본 발명에 따른 이류체 분사노즐은 구조가 단순하며, 조립이 용이하다.
또한, 본 발명에 따른 이류체 분사노즐은 공기를 공기 포켓에서 대략 직선으로 분사구에 도달시키고 세정액을 분사구와 교차하는 방향으로 유동시켜 분사구에 공급함으로써, 세정액을 분사구에서 더욱 미세하게 미립화시켜 공기 중에 균일하게 분산시킬 수 있고, 세정액의 액적이 공기 중에 고르게 분산된 이류체를 더욱 고속으로 분사할 수 있다. 따라서, 세정 대상물에 대한 세정 효율을 높일 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 이류체 분사노즐은 분사구로 공기를 안내하는 공기 안내로의 폭과, 분사구로 세정액을 안내하는 세정액 안내로의 폭과, 분사구의 폭을 다르게 설계함으로써, 세정액의 액적을 더욱 균일하게 공기 중으로 분산시켜 세정 대상물에 분사할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐의 사용예를 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐을 나타낸 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐에 구비되는 베이스 플레이트의 일면을 나타낸 것이다.
도 4는 도 3의 Ⅰ-Ⅰ선을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐에 구비되는 커버 플레이트의 일면을 나타낸 것이다.
도 6은 도 5의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 취한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐에 구비되는 내부 플레이트의 일면을 나타낸 것이다.
도 8은 도 7의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 단면도이다.
이하, 본 발명에 따른 이류체 분사노즐을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐의 사용예를 나타낸 것이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐을 나타낸 단면도이다.
도면에 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐(100)은 베이스 플레이트(110)와, 베이스 플레이트(110)의 일면에 결합되는 커버 플레이트(120)와, 베이스 플레이트(110)와 커버 플레이트(120)의 사이에 개재되는 내부 플레이트(140)를 포함한다. 베이스 플레이트(110)와 커버 플레이트(120) 및 내부 플레이트(140)는 노즐 바디(105)를 형성한다.
베이스 플레이트(110)와 내부 플레이트(140)의 사이에는 외부로부터 세정액이 유입되는 세정액 포켓(112)과, 세정액 포켓(112)의 세정액을 외부로 분사될 수 있도록 가이드하는 세정액 안내로(160)가 마련되고, 커버 플레이트(120)와 내부 플레이트(140)의 사이에는 외부로부터 공기가 유입되는 공기 포켓(122)과, 공기 포켓(122)의 공기를 외부로 분사될 수 있도록 가이드하는 공기 안내로(162)가 구비된다. 세정액 안내로(160)를 따라 유동하는 세정액과 공기 안내로(162)를 따라 유동하는 공기는 베이스 플레이트(110)의 일단부와 커버 플레이트(120)의 일단부 사이에 마련되는 분사구(164)에서 합쳐져 이류체를 형성하고 외부로 분사된다.
이러한 이류체 분사노즐(100)은 DI 등의 세정액이 공기와 혼합되어 미세 액적화된 이류체를 고압으로 분사함으로써, 다양한 세정 대상물의 표면을 세정할 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐(100)은 도 1에 나타낸 것과 같이, 이송장치(20)에 의해 이송되는 기판(10)의 상부에 배치되어 기판(10)의 표면에 이류체를 고압으로 분사함으로써, 기판(10)의 표면에 있는 이물질을 효과적으로 제거할 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 베이스 플레이트(110)는 베이스 플레이트 바디(111)와, 세정액이 유입될 수 있도록 베이스 플레이트 바디(111)의 일면에 구비되는 세정액 포켓(112) 및 설치홈(114)과, 세정액 포켓(112)으로 세정액을 공급하기 위한 세정액 유입구(113)와, 세정액 포켓(112)의 세정액을 가이드하기 위해 베이스 플레이트 바디(111)에 구비되는 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116) 및 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부(117)를 포함한다.
세정액 포켓(112)은 베이스 플레이트 바디(111)의 일면이 부분적으로 파인 형태로 베이스 플레이트 바디(111)의 일면에 구비된다. 세정액 포켓(112)은 내부 플레이트(140)가 설치홈(114)에 삽입됨으로써 내부 플레이트(140)에 의해 덮인다. 세정액 유입구(113)를 통해 세정액 포켓(112)으로 세정액이 유입되고, 세정액 포켓(112)의 세정액이 세정액 안내로(160)를 통해 분사구(164) 측으로 유동하게 된다.
세정액 유입구(113)는 세정액 포켓(112)에 세정액을 공급할 수 있도록 베이스 플레이트 바디(111)에 구비된다. 세정액 유입구(113)에는 외부의 세정액 공급장치(미도시)와 연결되어 세정액을 공급하기 위한 세정액 공급관(170)이 연결된다. 세정액 유입구(113)는 베이스 플레이트 바디(111)의 길이 방향으로 길게 배치되는 세정액 포켓(112) 전체에 세정액을 균일하게 채울 수 있도록 도시된 것과 같이 복수 개가 세정액 포켓(112)의 길이 방향으로 이격 배치되는 것이 좋다. 도면에는 복수 개의 세정액 유입구(113)가 베이스 플레이트 바디(111)의 상부 가장자리에서 베이스 플레이트 바디(111)의 안쪽으로 연장되어 세정액 포켓(112)에 연결된 것으로 나타냈으나, 세정액 유입구(113)의 형성 위치는 다양하게 변경될 수 있다.
설치홈(114)은 세정액 포켓(112)과 포개지는 형태로 베이스 플레이트 바디(111)의 일면에 마련된다. 설치홈(114)은 내부 플레이트(140)를 수용할 수 있도록 세정액 포켓(112)보다 큰 크기로 형성된다. 설치홈(114)에 내부 플레이트(140)가 삽입됨으로써 내부 플레이트(140)가 세정액 포켓(112)을 덮을 수 있다.
설치홈(114)의 외측에는 삽입홈(115)이 마련된다. 삽입홈(115)은 설치홈(114)의 둘레를 부분적으로 둘러싸도록 베이스 플레이트 바디(111)의 일면에 형성된다. 삽입홈(115)에는 실링부재(119)가 삽입된다. 실링부재(119)는 베이스 플레이트(110)와 커버 플레이트(120) 사이의 기밀성을 증대시킨다.
제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116)는 이류체를 외측으로 분사되도록 가이드하기 위해 베이스 플레이트 바디(111)의 일면 일단부에 구비된다. 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116)는 커버 플레이트(120)의 일부분과 함께 분사구(164)를 형성한다.
제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부(117)는 설치홈(114)에서 드러나도록 베이스 플레이트 바디(111)의 내부 일측에 구비된다. 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부(117)는 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116)에 대해 꺾인 방향으로 연장되어 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116)와 연결된다. 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부(117)는 내부 플레이트(140)의 일부분과 함께 세정액 안내로(160)를 형성한다. 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부(117)에 의해 가이드는 세정액은 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116) 측으로 유동하여 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116)에 의해 외측으로 분사되도록 가이드된다.
이 밖에, 베이스 플레이트(110)에는 복수의 베이스 플레이트 결합구멍(118)이 마련된다. 복수의 베이스 플레이트 결합구멍(118)은 베이스 플레이트 바디(111)를 커버 플레이트(120) 및 내부 플레이트(140)와 결합시키기 위한 고정부재(180)가 삽입될 수 있도록 커버 플레이트 바디(121)의 가장자리 및 중간에 배치된다.
도 1, 도 2, 도 5 및 도 6을 참조하면, 커버 플레이트(120)는 베이스 플레이트 바디(111)와 결합되는 커버 플레이트 바디(121)와, 커버 플레이트 바디(121)의 일면에 구비되는 공기 포켓(122)과, 커버 플레이트 바디(121)의 일면에 공기 포켓(122)과 공기 유동 가능하게 연결되는 공기 채널(124)와, 공기 채널(124)과 공기 안내로(162) 사이에 배치되는 확장 채널(125)과, 공기 채널(124)의 중간에 배치되는 복수의 커버 플레이트 보스(127)와, 베이스 플레이트(110)의 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116)에 대응하는 커버 플레이트 분사 가이드부(133)를 포함한다. 커버 플레이트 바디(121)는 그 일면이 베이스 플레이트 바디(111)의 일면과 마주하여 베이스 플레이트 바디(111)의 일면을 덮도록 베이스 플레이트 바디(111)와 결합된다.
공기 포켓(122)은 커버 플레이트 바디(121)의 일면이 부분적으로 파인 형태로 커버 플레이트 바디(121)의 일면에 구비된다. 공기 포켓(122)은 베이스 플레이트 바디(111)의 설치홈(114)에 삽입되는 내부 플레이트(140)에 의해 덮인다. 공기 포켓(122)은 커버 플레이트 바디(121)의 중간에 구비되는 공기 유입구(123)를 통해 공기를 공급받는다.
공기 유입구(123)는 공기 포켓(122)과 연결되도록 커버 플레이트 바디(121)의 중간에 구비된다. 공기 유입구(123)는 커버 플레이트 바디(121)의 길이 방향으로 길게 배치되는 공기 포켓(122) 전체에서 공기가 균일한 압력으로 분포할 수 있도록 복수 개가 커버 플레이트 바디(121)의 길이 방향을 따라 이격 배치된다. 공기 유입구(123)에는 외부의 공기공급장치(미도시)와 연결되어 공기를 공급하기 위한 공기 공급관(175)이 연결된다. 도면에는 복수 개의 공기 유입구(123)가 커버 플레이트 바디(121)를 두께 방향으로 관통하도록 커버 플레이트 바디(121)의 중간에 형성되는 것으로 나타냈으나, 공기 유입구(123)의 형성 위치는 다양하게 변경될 수 있다.
공기 채널(124)은 커버 플레이트 바디(121)의 일면이 공기 포켓(122)보다 얕게 파인 형태로 커버 플레이트 바디(121)의 일면에 구비된다. 공기 채널(124)은 공기 포켓(122)의 공기를 공기 안내로(162) 측으로 가이드한다.
확장 채널(125)은 공기 채널(124)과 공기 안내로(162)사이에 배치되어 공기 채널(124)과 공기 안내로(162)를 공기 유동이 가능하게 연결한다. 확장 채널(125)은 공기 채널(124)의 폭보다 확장된 폭을 갖는다. 즉, 확장 채널(125)의 폭은 공기 채널(124)의 폭 및 공기 안내로(162)의 폭보다 크다.
여기에서, 확장 채널(125)과 공기 채널(124) 및 공기 안내로(162) 각각의 폭은 도시된 것과 같이 이류체 분사노즐(100)의 길이 방향 및 공기 유동 방향에 대해 각각 수직 방향으로의 폭을 나타낸다. 공기 채널(124)에서는 커버 플레이트 보스(127)의 영향으로 공기의 흐름이 불균일하게 나타나고 부분적으로 공기의 압력이 다르게 나타날 수 있다. 이와 같이 공기 채널(124)에서 불균일한 흐름을 나타내는 공기는 확장된 부피를 갖는 확장 채널(125)로 유입되면서 균일하게 섞여 확장 채널(125) 전체에서 균일한 압력으로 분포할 수 있다. 따라서, 확장 채널(125)을 거치는 공기는 공기 안내로(162) 전체에 균일한 압력으로 유입될 수 있다.
커버 플레이트 보스(127)는 커버 플레이트 바디(121)의 일면으로부터 돌출되도록 커버 플레이트 바디(121)와 일체형으로 구비된다. 커버 플레이트 보스(127)는 복수 개가 공기 채널(124)의 중간에 커버 플레이트 바디(121)의 길이 방향으로 이격 배치된다. 커버 플레이트 보스(127)는 커버 플레이트 보스 바디(128)와, 커버 플레이트 보스 바디(128)의 일측에서 공기 안내로(162)를 향해 연장되는 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부(129)와, 커버 플레이트 보스 바디(128)로부터 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부(129)의 연장 방향과 반대 방향으로 연장되는 제 2 커버 플레이트 보스 가이드부(130)를 포함한다. 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부(129)는 커버 플레이트 보스 바디(128)로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어진다. 제 2 커버 플레이트 보스 가이드부(130)도 커버 플레이트 보스 바디(128)로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어진다.
이러한 커버 플레이트 보스(127)의 구조는 공기 채널(124)을 따라 유동하는 공기의 유동 저항을 최소화할 수 있는 구조이다. 즉, 공기 포켓(122)의 공기가 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부(129)의 곡면형 외면을 따라 원활하게 공기 채널(124)로 진입할 수 있고, 공기 채널(124)에서 커버 플레이트 보스 바디(128)의 양측면을 따라 유동하는 공기가 제 2 커버 플레이트 보스 가이드부(130)의 곡면형 외면을 따라 커버 플레이트 보스 바디(128)의 중심축 방향으로 원활하게 모아져 공기 안내로(162) 측으로 유동할 수 있다. 따라서, 공기 채널(124) 중에 복수의 커버 플레이트 보스(127)가 배치되더라도 공기 포켓(122)의 공기가 공기 채널(124)를 따라 원활하게 공기 안내로(162) 측으로 유동할 수 있다.
커버 플레이트 보스 바디(128)의 중간에는 커버 플레이트 보스 결합구멍(131)이 구비된다. 커버 플레이트 보스 결합구멍(131)은 나사 구멍 형태로 마련될 수 있고, 커버 플레이트 보스 결합구멍(131)에 커버 플레이트(120)와 내부 플레이트(140)의 결합을 위한 고정부재(180)가 나사 결합될 수 있다.
도면에는 커버 플레이트 보스 바디(128)에 커버 플레이트 보스 결합구멍(131)이 하나 구비되는 것으로 나타냈으나, 커버 플레이트 보스 바디(128)에 구비되는 커버 플레이트 보스 결합구멍(131)의 개수는 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 커버 플레이트 보스 바디(128)와, 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부(129) 및 제 2 커버 플레이트 보스 가이드부(130)의 형상은 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다.
커버 플레이트 분사 가이드부(133)는 커버 플레이트 바디(121)의 일면 일단부에 배치됨으로써 확장 채널(125)을 통과한 공기를 외측으로 분사되도록 가이드할 수 있다. 커버 플레이트 분사 가이드부(133)의 일부분, 즉 커버 플레이트 분사 가이드부(133) 중 확장 채널(125)에 인접하는 소정 길이의 부분은 내부 플레이트(140)와 마주하여 공기 안내로(162)를 형성한다. 그리고 커버 플레이트 분사 가이드부(133)의 나머지 부분, 즉 공기 유동 방향 상 상대적으로 하류 측에 배치되는 소정 길이의 부분은 베이스 플레이트(110)의 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부(116)와 이격되어 마주하도록 배치되어 분사구(164)를 형성한다.
이 밖에, 커버 플레이트(120)에는 복수의 커버 플레이트 결합구멍(134)이 마련된다. 복수의 커버 플레이트 결합구멍(134)은 커버 플레이트(120)와 내부 플레이트(140)의 결합을 위한 고정부재(180)가 삽입될 수 있도록 커버 플레이트 바디(121)의 가장자리 및 중간에 배치된다.
도 1, 도 2, 도 7 및 도 8을 참조하면, 내부 플레이트(140)는 베이스 플레이트(110)의 설치홈(114)에 삽입되어 베이스 플레이트 바디(111)와 커버 플레이트 바디(121) 사이에 개재되는 내부 플레이트 바디(141)와, 내부 플레이트 바디(141)의 타면에 마련되는 세정액 채널(142)과, 세정액 채널(142)의 중간에 배치되는 복수의 내부 플레이트 보스(144)와, 커버 플레이트(120)의 커버 플레이트 분사 가이드부(133) 및 베이스 플레이트(110)의 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부(117)에 각각 대응하도록 내부 플레이트 바디(141)에 구비되는 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부(150) 및 제 2 내부 플레이트 분사 가이드부(152)를 포함한다. 내부 플레이트 바디(141)는 설치홈(114)에 삽입되어 그 일면이 공기 포켓(122)을 덮고 그 타면이 세정액 포켓(112)을 덮는다.
세정액 채널(142)은 내부 플레이트 바디(141)의 일면이 파인 형태로 내부 플레이트 바디(141)의 타면에 구비된다. 세정액 채널(142)은 세정액 포켓(112)과 연결되어 세정액 포켓(112)의 세정액을 세정액 안내로(160) 측으로 가이드한다.
내부 플레이트 보스(144)는 내부 플레이트 바디(141)의 타면으로부터 돌출되도록 내부 플레이트 바디(141)와 일체형으로 구비된다. 내부 플레이트 보스(144)는 복수 개가 세정액 채널(142)의 중간에 내부 플레이트 바디(141)의 길이 방향으로 이격 배치된다. 내부 플레이트 보스(144)는 내부 플레이트 보스 바디(145)와, 내부 플레이트 보스 바디(145)의 일측에서 세정액 안내로(160)를 향해 연장되는 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부(146)와, 내부 플레이트 보스 바디(145)로부터 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부(146)의 연장 방향과 반대 방향으로 연장되는 제 2 내부 플레이트 보스 가이드부(147)를 포함한다. 내부 플레이트 보스 바디(145)는 베이스 플레이트 바디(111)의 일면에 접함으로써 베이스 플레이트 바디(111)와 내부 플레이트 보스 바디(145)를 지지할 수 있다. 내부 플레이트 보스 바디(145)가 베이스 플레이트 바디(111)와 내부 플레이트 바디(141)를 연결함으로써, 폭에 비해 길이가 긴 베이스 플레이트 바디(111)와 내부 플레이트 바디(141)가 휘어지거나 변형되지 않고 견고하고 안정적인 결합 상태를 유지할 수 있다. 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부(146)는 내부 플레이트 보스 바디(145)로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어진다. 제 2 내부 플레이트 보스 가이드부(147)도 내부 플레이트 보스 바디(145)로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어진다.
이러한 내부 플레이트 보스(144)의 구조는 세정액 채널(142)을 따라 유동하는 세정액의 유동 저항을 최소화할 수 있는 구조이다. 즉, 세정액 포켓(112)의 세정액이 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부(146)의 곡면형 외면을 따라 원활하게 세정액 채널(142)로 진입할 수 있고, 세정액 채널(142)에서 내부 플레이트 보스 바디(145)의 양측면을 따라 유동하는 세정액이 제 2 내부 플레이트 보스 가이드부(147)의 곡면형 외면을 따라 내부 플레이트 보스 바디(145)의 중심축 방향으로 원활하게 모아져 세정액 안내로(160) 측으로 유동할 수 있다. 따라서, 세정액 채널(142) 중에 복수의 내부 플레이트 보스(144)가 배치되더라도 세정액 포켓(112)의 세정액이 세정액 채널(142)를 따라 원활하게 세정액 안내로(160) 측으로 유동할 수 있다.
내부 플레이트 보스 바디(145)의 중간에는 내부 플레이트 보스 결합구멍(148)이 구비된다. 내부 플레이트 보스 결합구멍(148)은 나사 구멍 형태로 마련될 수 있다. 내부 플레이트 보스 결합구멍(148)에 베이스 플레이트(110)와 내부 플레이트(140)의 결합을 위한 고정부재(180)와, 커버 플레이트(120)와 내부 플레이트(140)의 결합을 위한 고정부재(180)가 나사 결합될 수 있다.
도면에는 내부 플레이트 보스 바디(145)에 내부 플레이트 보스 결합구멍(148)이 두 개 구비되는 것으로 나타냈으나, 내부 플레이트 보스 바디(145)에 구비되는 내부 플레이트 보스 결합구멍(148)의 개수는 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 내부 플레이트 보스 바디(145)와, 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부(146) 및 제 2 내부 플레이트 보스 가이드부(147)의 형상은 도시된 것으로 한정되지 않고 다양하게 변경될 수 있다.
제 1 내부 플레이트 분사 가이드부(150)는 내부 플레이트 바디(141)의 일면 일단부에 구비된다. 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부(150)는 커버 플레이트(120)의 커버 플레이트 분사 가이드부(133)와 평행하게 배치되고, 커버 플레이트 분사 가이드부(133)와 마주하도록 이격되어 공기 안내로(162)를 형성한다.
제 2 내부 플레이트 분사 가이드부(152)는 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부(150)와 연결되되, 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부(150)에 대해 꺾인 방향으로 연장되도록 내부 플레이트 바디(141)의 일단에 구비된다. 제 2 내부 플레이트 분사 가이드부(152)는 베이스 플레이트(110)의 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부(117)와 평행하게 배치되고, 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부(117)와 마주하도록 이격되어 세정액 안내로(160)를 형성한다.
이 밖에, 내부 플레이트(140)에는 복수의 내부 플레이트 결합구멍(154)이 마련된다. 복수의 내부 플레이트 결합구멍(154)은 베이스 플레이트(110)와 내부 플레이트(140)의 결합을 위한 고정부재(180)가 삽입될 수 있도록 내부 플레이트 바디(141)의 가장자리에 배치된다.
본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐(100)은 외부로부터 세정액과 공기를 공급받아 노즐 바디(105)의 내부에서 세정액과 공기를 혼합하여 세정액이 공기 중에 미립화된 액적으로 분산되어 있는 이류체를 형성하고, 분사구(164)를 통해 이류체를 기판(10) 등의 세정 대상물에 고속으로 분사함으로써 세정 대상물을 효과적으로 세정할 수 있다. 노즐 바디(105)의 내측으로 공급되는 세정액과 공기가 혼합되어 이류체가 만들어지고, 이류체가 분사되는 구체적인 과정은 다음과 같다.
노즐 바디(105)의 내측으로 공급되는 공기의 경우, 공기 포켓(122)에서 공기 채널(124) 및 확장 채널(125)을 거쳐 공기 안내로(162)로 유입된다. 공기 안내로(162)의 폭은 확장 채널(125)의 폭보다 작으므로 확장 채널(125)에서 공기 안내로(162)로 유입되는 공기의 압력이 증가하게 된다. 공기 안내로(162)를 따라 유동하는 공기는 분사구(164)에서 세정액과 섞여 외측으로 분사된다.
노즐 바디(105)의 내측으로 공급되는 세정액의 경우, 세정액 포켓(112)에서 세정액 채널(142)을 따라 유동하다가 그 유동 경로가 꺾여 세정액 안내로(160)로 진입한다. 세정액 안내로(160)로 진입한 세정액은 세정액 안내로(160)를 따라 유동하다가 커버 플레이트(120)의 커버 플레이트 분사 가이드부(133)에 부딪혀 미립화된 액적 형태로 비산된다. 분사구(164)에서 비산되는 세정액의 액적은 분사구(164)를 따라 고속으로 유동하는 공기 중에 고르게 섞이며 공기에 실려 외측으로 분사된다.
이와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 이류체 분사노즐(100)은 공기와 세정액의 유동 경로를 적당하게 설계함으로써, 세정액을 더욱 미세하게 미립화시켜 공기 중에 균일하게 분산시킴으로써 세정 효율을 높일 수 있다.
구체적으로, 공기는 공기 포켓(122)에서 대략 직선으로 분사구(164)에 도달시켜 유속을 증대시키고, 세정액은 분사구(164)에 대략 수직으로 도달시켜 커버 플레이트 분사 가이드부(133)에 부딪치게 함으로써, 미세하게 미립화된 세정액의 액적을 분사구(164)에서 공기 중에 균일하게 분산시켜 고속으로 분사할 수 있는 것이다.
또한, 분사구(164)로 공기를 안내하는 공기 안내로(162)의 폭(Wa)은 분사구(164)로 세정액을 안내하는 세정액 안내로(160)의 폭(Wd)보다 작고, 분사구(164)의 폭(Wm)은 세정액 안내로(160)의 폭(Wd)보다 크다. 여기에서, 공기 안내로(162)의 폭(Wa)은 도시된 것과 같이 이류체 분사노즐(100)의 길이 방향 및 공기 유동 방향에 대해 각각 수직 방향으로의 폭을 나타내고, 세정액 안내로(160)의 폭(Wd)은 이류체 분사노즐(100)의 길이 방향 및 세정액 유동 방향에 대해 각각 수직 방향으로의 폭을 나타낸다. 그리고 분사구(164)의 폭(Wm)은 이류체 분사노즐(100)의 길이 방향 및 이류체 유동 방향에 대해 각각 수직 방향으로의 폭을 나타낸다.
세정액은 공기보다 마찰 저항이 크게 발생하므로 세정액 안내로(160)의 폭(Wd)을 공기 안내로(162)의 폭(Wa)보다 크게 하는 것이 세정액의 유속 유지에 유리하다. 그리고 공기 안내로(162)의 폭(Wa)을 작게 하고 분사구(164)의 폭(Wm)을 상대적으로 크게 하면, 공기의 압력이 공기 안내로(162)에서 분사구(164)에서 도달하면서 떨어지게 되어 세정액의 액적을 더욱 균일하게 공기 중으로 분산시킬 수 있는 효과가 있다.
그리고 이러한 효과는 분사구(164)의 폭(Wm)을 공기 안내로(162)의 폭(Wa)과 세정액 안내로(160)의 폭(Wd)을 더한 크기로 설계함으로써 더욱 증대시킬 수 있다.
이상 본 발명에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명되고 도시되는 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 도면에는 베이스 플레이트(110)와 내부 플레이트(140) 사이에 배치되는 세정액 포켓(112)이 베이스 플레이트(110)의 일면이 부분적으로 파인 형태로 구비되는 것으로 나타냈으나, 세정액 포켓은 내부 플레이트(140)의 타면에 홈 형태로 마련되거나, 또는 그 이외의 다양한 다른 형태로 베이스 플레이트(110)와 내부 플레이트(140) 사이에 구비될 수 있다.
또한, 도면에는 커버 플레이트(120)와 내부 플레이트(140) 사이에 배치되는 공기 포켓(122)이 커버 플레이트(120)의 일면이 부분적으로 파인 형태로 구비되는 것으로 나타냈으나, 공기 포켓은 내부 플레이트(140)의 일면에 홈 형태로 마련되거나, 또는 그 이외의 다양한 다른 형태로 커버 플레이트(120)와 내부 플레이트(140) 사이에 구비될 수 있다.
또한, 도면에는 베이스 플레이트(110)와 내부 플레이트(140) 사이에 배치되는 세정액 채널(142)이 내부 플레이트(140)의 타면이 부분적으로 파인 형태로 구비되는 것으로 나타냈으나, 세정액 채널은 다양한 다른 형태로 베이스 플레이트(110)와 내부 플레이트(140) 사이에 구비될 수 있다.
또한, 도면에는 커버 플레이트(120)와 내부 플레이트(140) 사이에 배치되는 공기 채널(124)이 커버 플레이트(120)의 일면이 부분적으로 파인 형태로 구비되는 것으로 나타냈으나, 공기 채널은 다양한 다른 형태로 커버 플레이트(120)와 내부 플레이트(140) 사이에 구비될 수 있다.
또한, 도면에는 세정액 안내로(160)가 대략 수직으로 분사구(164)에 연결되는 것으로 나타냈으나, 세정액 안내로(160)는 다양한 각도로 분사구(164)와 교차하도록 배치될 수 있다.
또한, 도면에는 공기 포켓(122)의 공기가 직선으로 분사구(164)에 도달되는 것으로 나타냈으나, 공기 포켓(122)과 분사구(164) 사이에서 공기 유로의 구조는 다양하게 변경될 수 있다.
또한, 도면에는 세정액 포켓(112)의 세정액이 대략 수직으로 분사구(164)에 대략 수직으로 도달되는 것으로 나타냈으나, 세정액 포켓(112)과 분사구(164) 사이에서 세정액 유로의 구조는 다양하게 변경될 수 있다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
100 : 이류체 분사노즐 105 : 노즐 바디
110 : 베이스 플레이트 111 : 베이스 플레이트 바디
112 : 세정액 포켓 113 : 세정액 유입구
114 : 설치홈
116, 117 : 제 1, 2 베이스 플레이트 분사 가이드부
120 : 커버 플레이트 121 : 커버 플레이트 바디
122 : 공기 포켓 123 : 공기 유입구
124 : 공기 채널 125 : 확장 채널
127 : 커버 플레이트 보스 128 : 커버 플레이트 보스 바디
129, 130 : 제 1, 2 커버 플레이트 보스 가이드부
133 : 커버 플레이트 분사 가이드부 140 : 내부 플레이트
141 : 내부 플레이트 바디 142 : 세정액 채널
144 : 내부 플레이트 보스 145 : 내부 플레이트 보스 바디
146, 147 : 제 1, 2 내부 플레이트 보스 가이드부
150, 152 : 제 1, 2 내부 플레이트 분사 가이드부
160 : 세정액 안내로 162 : 공기 안내로
164 : 분사구 170 : 세정액 공급관
175 : 공기 공급관 180 : 고정부재

Claims (7)

  1. 노즐 바디;
    상기 노즐 바디의 내측에 마련되는 공기 포켓;
    상기 노즐 바디의 내측에 상기 공기 포켓과 구획되도록 마련되는 세정액 포켓;
    상기 공기 포켓으로 공기를 공급하기 위해 상기 공기 포켓과 연결되도록 상기 노즐 바디에 구비되는 공기 유입구;
    상기 세정액 포켓으로 세정액을 공급하기 위해 상기 세정액 포켓과 연결되도록 상기 노즐 바디에 구비되는 세정액 유입구;
    상기 공기 포켓의 공기를 상기 공기 포켓으로부터 상기 노즐 바디의 외측 방향으로 가이드하기 위해 상기 공기 포켓과 연결되도록 상기 노즐 바디의 내측에 마련되는 공기 안내로;
    상기 세정액 포켓의 세정액을 상기 세정액 포켓으로부터 상기 노즐 바디의 외측 방향으로 가이드하기 위해 상기 세정액 포켓과 연결되도록 상기 노즐 바디의 내측에 마련되는 세정액 안내로; 및
    상기 공기 안내로를 따라 유동하는 공기와 상기 세정액 안내로를 따라 유동하는 세정액을 혼합하여 분사할 수 있도록 상기 공기 안내로 및 상기 세정액 안내로와 연결되어 상기 노즐 바디의 외면으로 연장되는 분사구;를 포함하고,
    상기 공기 안내로의 폭은 상기 세정액 안내로의 폭보다 작고, 상기 분사구의 폭은 상기 세정액 안내로의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 이류체 분사노즐.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 분사구의 폭은 상기 공기 안내로의 폭과 상기 세정액 안내로의 폭을 더한 크기인 것을 특징으로 하는 이류체 분사노즐.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 공기 안내로는 상기 분사구와 일직선 상에 배치되고, 상기 세정액 안내로는 상기 분사구와 교차하는 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 이류체 분사노즐.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐 바디는,
    일면에 상기 세정액 포켓이 마련되고 외면에 상기 세정액 유입구가 형성되는 베이스 플레이트 바디와, 상기 베이스 플레이트 바디의 일면에 마련되는 설치홈과, 상기 베이스 플레이트 바디의 일면 일단부에 구비되는 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부와, 상기 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드와 연결되되 상기 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드에 대해 꺾인 방향으로 연장되도록 상기 베이스 플레이트 바디의 내부 일측에 구비되는 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부를 갖는 베이스 플레이트와,
    그 일면이 상기 베이스 플레이트 바디의 일면과 마주하여 상기 설치홈을 덮도록 상기 베이스 플레이트 바디에 결합되고 일면에 상기 공기 포켓이 마련되며 외면에 상기 공기 유입구가 형성되는 커버 플레이트 바디와, 상기 커버 플레이트 바디의 일면 일단부에 구비되는 커버 플레이트 분사 가이드부를 갖는 커버 플레이트와,
    그 일면이 상기 공기 포켓을 덮고 그 타면이 상기 세정액 포켓을 덮도록 상기 설치홈에 삽입되는 내부 플레이트 바디와, 상기 내부 플레이트 바디의 일면 일단부에 구비되는 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부와, 상기 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부와 연결되되 상기 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부에 대해 꺾인 방향으로 연장되도록 상기 내부 플레이트 바디의 일단에 구비되는 제 2 내부 플레이트 분사 가이드부를 갖는 내부 플레이트를 포함하며,
    상기 공기 안내로는 상기 커버 플레이트 분사 가이드부의 일부분과 상기 제 1 내부 플레이트 분사 가이드부 사이에 마련되고,
    상기 세정액 안내로는 상기 제 2 베이스 플레이트 분사 가이드부와 상기 제 2 내부 플레이트 분사 가이드부 사이에 마련되며,
    상기 분사구는 상기 제 1 베이스 플레이트 분사 가이드부와 상기 커버 플레이트 분사 가이드부의 나머지 부분 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 이류체 분사노즐.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 공기 포켓의 공기를 상기 공기 안내로로 가이드하기 위해 상기 커버 플레이트 바디의 일면과 상기 내부 플레이트 바디의 일면 사이에 배치되는 공기 채널;
    상기 공기 채널의 중간에 상기 커버 플레이트 바디의 길이 방향으로 이격 배치되도록 상기 커버 플레이트 바디의 일면에서 상기 내부 플레이트 바디의 일면 측으로 돌출 형성되는 복수의 커버 플레이트 보스;
    상기 세정액 포켓의 세정액을 상기 세정액 안내로로 가이드하기 위해 상기 베이스 플레이트 바디의 일면과 상기 내부 플레이트 바디의 타면 사이에 배치되는 세정액 채널; 및
    상기 세정액 채널의 중간에 상기 내부 플레이트 바디의 길이 방향으로 이격 배치되도록 상기 내부 플레이트 바디의 타면에서 상기 베이스 플레이트 바디의 일면 측으로 돌출 형성되는 복수의 내부 플레이트 보스;를 포함하고,
    상기 커버 플레이트 보스의 중간에는 상기 커버 플레이트 바디와 상기 내부 플레이트 바디를 결합하기 위한 고정부재가 삽입되는 커버 플레이트 보스 결합구멍이 마련되고,
    상기 내부 플레이트 보스의 중간에는 상기 베이스 플레이트 바디와 상기 내부 플레이트 바디를 결합하기 위한 고정부재가 삽입되는 내부 플레이트 보스 결합구멍이 형성되는 것을 특징으로 하는 이류체 분사노즐.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 커버 플레이트 보스는, 중간에 상기 커버 플레이트 보스 결합구멍이 형성되는 커버 플레이트 보스 바디와, 상기 커버 플레이트 보스 바디의 일측에서 상기 공기 안내로를 향해 연장되되 상기 커버 플레이트 보스 바디로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어지는 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부와, 상기 커버 플레이트 보스 바디의 다른 일측에서 상기 제 1 커버 플레이트 보스 가이드부와 반대 방향으로 연장되되 상기 커버 플레이트 보스 바디로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어지는 제 2 커버 플레이트 보스 가이드부를 포함하고,
    상기 내부 플레이트 보스는, 중간에 상기 내부 플레이트 보스 결합구멍이 형성되는 내부 플레이트 보스 바디와, 상기 내부 플레이트 보스 바디의 일측에서 상기 세정액 안내로를 향해 연장되되 상기 내부 플레이트 보스 바디로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어지는 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부와, 상기 내부 플레이트 보스 바디의 다른 일측에서 상기 제 1 내부 플레이트 보스 가이드부와 반대 방향으로 연장되되 상기 내부 플레이트 보스 바디로부터 멀어질수록 폭이 점진적으로 감소하는 형태로 이루어지는 제 2 내부 플레이트 보스 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이류체 분사노즐.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 공기 포켓의 공기를 상기 공기 안내로로 가이드하기 위해 상기 커버 플레이트 바디의 일면과 상기 내부 플레이트 바디의 일면 사이에 배치되는 공기 채널; 및
    상기 공기 안내로와 상기 공기 채널 사이에 배치되어 상기 공기 안내로와 상기 공기 채널을 공기 유동이 가능하게 연결하는 확장 채널;을 포함하고,
    상기 확장 채널의 폭은 상기 공기 안내로의 폭 및 상기 공기 채널의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 이류체 분사노즐.
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