KR20190098682A - Pendulum gate valve - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 이중구조의 블레이드 및 공기압에 의하여 블레이드가 유로를 개폐할 수 있는 팬듈럼 게이트 밸브에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
일반적으로, 반도체는 공정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. In general, since semiconductors require process density, high cleanliness and special manufacturing techniques are required.
이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.For this reason, the semiconductor device is manufactured in a vacuum state that can completely block the contact of foreign matter contained in the air, and the vacuum working area of the semiconductor manufacturing apparatus and the sealing technology between the atmosphere also affect the quality of the semiconductor product.
상기와 같은 반도체를 제조하기 위한 공정구간에는 다양한 형상의 게이트밸브가 설치되어 세정모듈을 통과한 가스를 챔버간 전달하거나 차단하는 기능을 수행하게 된다.In the process section for manufacturing the semiconductor as described above, gate valves of various shapes are installed to perform a function of transferring or blocking the gas passing through the cleaning module between chambers.
상기와 같은 게이트밸브는, 공정챔버와 공정챔버 사이에 유입부 또는 유출부가 각각 결합된 상태에서 유출부 또는 유입부가 상호간 결합되어 실린더의 구동에 따라 밀폐부재인 블레이드가 해당 유입부를 개폐함으로써, 유출부로 가스가 전달되거나 차단되도록 동작한다.The gate valve as described above, the inlet or outlet is coupled between the process chamber and the process chamber, respectively, the outlet or the inlet is coupled to each other and the blade as a sealing member according to the driving of the cylinder to open and close the inlet, the outlet It operates to deliver or shut off gas.
이러한 게이트 밸브는 다양한 형태로 제작되어 공개되고 있으며, 그 중 하기 특허문헌 1의 “반도체 소자 제조용 장비의 추형진공조절장치(대한민국 등록특허문헌 제10-0259698호)”이 게시되어 있다.Such a gate valve is manufactured and disclosed in various forms, and among them,
상기 특허문헌 1의 “반도체 소자 제조용 장비의 추형진공조절장치”는 공정챔버(C)와 공기펌프(P)에 연통되도록 공기통로(112)가 관통되며, 그 공기통로(112)와 연통되게 내부로 작동실(111)이 형성된 바디 하우징(110)과; 그 바디 하우징(110)의 하부로 설치되어 상기 작동실(111)에 돌출되게 설치된 엑츄에이터 샤프트(114)를 회전 작동시키는 스텝모터(113)와; 그 엑츄에이터 샤프트(114)의 상부에 일단이 축설된 후 이면에 설치된 안내롤(115)의 안내와 함께, 회전 작동되면서 상기공기통로(112)를 개폐하는 개폐문(116)과; 상기 중앙통로(112)에 접촉되도록 작동실(111)의 상부에 설치되며, 에어 실린더(118)로 하강 작동하여 개폐문(116)을 견고히 밀폐하도록 밀폐링(117a)이 이면으로 결합된 밀봉구(117)로 구성된 것이 특징으서, 질소 및 아르곤 따위의 부식성 가스들이 바디 하우징의 내부 하단 부위에 누적화되는 것을 예방함에 따라 수율이 향상되어 반도체 소자 생산 공정상의 불량이 발생되지 않기 때문에 생산성 효과를 높일 수 있다는 장점이 있었다.The
그러나, 개폐문(116)이 엑츄에이터 샤프트(114)의 상부에 일단이 축설되어 스텝모터(113)의 작동에 따라 회동하면서 공기통로(112)를 개폐하게 되는데, 밀봉구(117)로 개폐문(116)을 가압시 액츄에이터 샤프트(114)가 작동실(111)내로 돌출되어 고정된 상태로 위치하기 때문에 개폐문(116)의 하부에 위치하는 엑츄에이터 샤프트(114)의 간섭으로 인하여 공기통로(112)를 완벽하게 밀폐하지 못하는 문제점이 있었다.However, one end of the opening and closing door 116 is arranged on the upper portion of the actuator shaft 114 to open and close the
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 이중구조의 블레이드 및 공기압에 의하여 블레이드가 유로를 개폐할 수 있는 팬듈럼 게이트 밸브를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a fandulum gate valve which can open and close the flow path of the blade by the dual structure of the blade and air pressure.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 게이트 밸브는, 내부에 제1 공간부(202) 및 제2 공간부(203)이 형성되는 밸브하우징(200);과, 상기 밸브하우징(200)의 내부에 형성되되, 상기 제1 공간부(202)를 개폐하는 블레이드부(100);와, 상기 블레이드부(100)에 연결되어 상기 블레이드부(100)에 구동력을 제공하는 구동부(205);와, 상기 밸브 하우징(200)의 내측에 수직방향으로 이동 가능하게 형성되어 상기 블레이드부(100)를 눌러 압착시키는 가압링(300);으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the gate valve according to the present invention, the
또한, 상기 블레이드부(100)는 상기 제1 공간부(202)와 상기 제2 공간부(203) 사이를 수평으로 이동하고, 상기 밸브하우징(200)의 내측에는 상기 제1 공간부(202)로 진입한 상기 블레이드부(100)의 테두리가 걸쳐지도록 하부단턱부(210)가 형성되며, 상기 가압링(300)은 상기 하부단턱부(210)의 상부에 대응하는 상기 밸브하우징(200)의 내측에 고리 형태로 장착된 상태에서 상기 밸브하우징(200)의 내측에서 연직 상하방향으로 움직이도록 구성되며, 연직 하방향으로 움직일 때 상기 하부단턱부(210)에 걸쳐진 상기 블레이드부(100)의 상면을 하방향으로 눌러 압착시키는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 상기 블레이드부(100)는, 상기 하부단턱부(210)에 걸쳐진 상태로 상기 밸브하우징(200)의 내측에서 상기 밸브하우징(200)의 상하부 연통을 차단하며, 상기 밸브하우징(200)의 둘레를 따라 자신의 테두리가 소정 높이 돌출 형성된 돌출리브(112)를 구비하는 메인 블레이드(110)가 형성되고, 상기 돌출리브(112)의 내측에 대응하는 상기 메인 블레이드(110)의 상면에 안착되고 반발력에 의해 상기 메인 블레이드(110)로부터 상방향으로 소정 높이로 들뜬 상태를 유지하며 상기 가압링(300)에 의한 압착시 반발력을 증가시켜 상기 메인 블레이드(110)를 가압하는 서브 블레이드(120)가 형성되며, 상기 메인 블레이드(110)와 상기 서브 블레이드(120) 사이에 하나 이상 배치되어 상기 서브 블레이드(120)의 상면에 가해지는 외력에 대해 반발력을 발생시키는 제1 텐션유닛(130);이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 상기 밸브 하우징(200)은, 상기 하부단턱부(210)의 연직 상부에 대응하는 자신의 내측 상부에 자신의 테두리를 따라 상기 하부단턱부(210)와 대응하도록 내향하여 돌출 형성되며, 상기 돌출 형성된 부분의 선단부 소정 부분이 상향하여 절개된 2단 단턱부(221)를 구비하는 상부단턱부(220)가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 상기 가압링(300)은, 상기 밸브하우징(200)의 내측에서 연직 상하방향으로 움직이는 과정에서 연직 상방향으로 움직일 때 상기 상부단턱부(220)가 이루는 하부 단면 형태에 대응하도록 상기 상부단턱부(220)로부터 상기 2단 단턱부(221)에 형성되는 경계벽(222)에 맞닿아 상하방향으로 움직이며 자신의 측벽이 상기 경계벽(222)에 밀착되도록 상기 경계벽(222)에 마주하는 자신의 측벽 둘레를 따라 절개된 하나 이상의 오링홈(311)을 구비한 수직브릿지(310)가 형성되고, 상기 수직브릿지(310)에 소정의 각도를 가지며 연결되고 상기 서브 블레이드(120)에 대한 자신의 하방 이동시 상기 서브 블레이드(120)의 상면에 밀착되도록 상기 서브 블레이드(120)와 마주하는 자신의 하면 둘레를 따라 절개된 하나 이상의 오링홈(321)을 구비한 수평브릿지(320)가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 상기 밸브하우징(200)은, 상기 수평브릿지(320)의 연직 상부에 대응하는 상기 상부단턱부(220)의 상면에 상기 상부단턱부(220)의 둘레를 따라 하방향으로 소정 깊이 절개 형성되고 하방향으로 관통 형성되는 스트로크홀(241)이 자신의 둘레를 따라 복수 개 형성되며 외부로부터 공기를 유입시키거나 외부로 공기를 유출시키는 공기이동홀(242)이 형성되고, 상기 스트로크홀(241) 및 상기 공기이동홀(242)과 연통되는 유압 가이드홈(230)이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 자신의 단면 형태가 상기 유압 가이드홈(230)의 단면 형상에 대응하도록 형성되어 상기 유압 가이드홈(230)에 끼워진 상태로 연직 상하방향으로 움직이도록 구성된 유압 가이드링(410);과, 상기 스트로크홀(241)이 상기 유압 가이드홈(230)과 기밀유지 되도록 상기 스트로크홀(241)에 끼워진 상태로 상하방향으로 움직이도록 구성되며 자신의 하단부는 상기 가압링(300)에 연결되고 자신의 상단부는 상기 유압 가이드링(410)에 연결됨에 따라 상기 유압 가이드링(410)의 상하방향 움직임에 연동하여 상기 가압링(300)의 상하방향 움직임을 가이드하는 스트로크 가압봉(420);과, 상기 유압 가이드홈(230)의 상부가 밀폐되도록 상기 유압 가이드홈(230)의 둘레를 따라 상기 상부단턱부(220)에 안착되는 탑 플랜지유닛(430);과, 상기 스트로크홀(241)에 대응하는 상기 탑 플랜지유닛(430)의 하부에 자신의 상부가 장착되고 자신의 하부는 상기 유압 가이드링(410)에 연결되고 상기 유압 가이드홈(230) 내에 위치한 상기 유압 가이드링(410)을 탄성력에 의해 하방향으로 밀어 상기 스트로크 가압봉(420)을 하방향으로 스트로크 시키며 상기 유압 가이드링(410)의 하부에 대응하는 상기 유압 가이드홈(230)에 상기 공기이동홀(242)을 통해 공기가 유입되는 경우 자신의 탄성력이 증가하는 방향으로 폴딩됨에 따라 상기 스트로크 가압봉(420)을 상방향 스트로크 시키는 제2 텐션유닛(440)이 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the
또한, 상기 스트로크 가압봉(420)은 상기 유압 가이드링(410)의 상하방향 움직임에 연동하여 상하방향으로 스트로크할 때 상기 가압링(300)에 대해 탄성력을 갖도록 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the stroke
이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 발명은 밸브하우징의 내측으로 진입한 블레이드부에 대해 가압링이 하방향으로 가압하는 외력에 대해 이중구조의 블레이드부가 탄성적으로 반발함에 따라 밸브하우징의 밀폐에 대한 신뢰성을 높일 수 있다는 장점이 있다.As described above, according to the present invention, the present invention is the valve housing of the valve housing as the resilient repulsion of the dual-blade portion against the external force that the pressure ring is pressed downward against the blade portion entered into the valve housing There is an advantage that can increase the reliability of the seal.
또한, 유압 가이드링의 하방향으로 움직일 때 제2 텐션유닛에 의해 탄성적으로 움직임에 따라 이와 연동하여 움직이는 가압링이 탄성적으로 블레이드부의 상면을 가압함에 따라 밸브하우징의 밀폐에 대한 신뢰성을 더욱더 높일 수 있다는 장점이 있다.In addition, when the hydraulic guide ring moves downwardly, the pressure ring, which moves in conjunction with the second tension unit elastically and presses the upper surface of the blade portion elastically, further increases the reliability of the valve housing. There is an advantage that it can.
또한, 유압 가이드링과 가압링을 잇는 스트로크 가압봉이 상하방향 움직임시 탄성적으로 움직임에 따라 밸브하우징의 밀폐에 대한 신뢰성을 더욱더 높일 수 있다는 장점이 있다.In addition, there is an advantage that the stroke pressure rod connecting the hydraulic guide ring and the pressure ring can further increase the reliability of the sealing of the valve housing as it moves elastically during vertical movement.
또한, 복수의 위치에 배치되는 구성의 탄성력에 따라 블레이드부를 가압함에 따라 밸브하우징을 효과적으로 밀폐시킬 수 있다는 장점이 있다.In addition, there is an advantage that the valve housing can be effectively sealed by pressing the blade unit according to the elastic force of the configuration disposed in the plurality of positions.
도 1은 일반적인 게이트밸브의 사용 상태를 나타낸 예시도
도 2는 본 발명에 따른 팬듈럼 게이트밸브가 설치된 상태의 하부사시도
도 3은 본 발명에 따른 팬듈럼 게이트밸브가 설치된 상태의 상부사시도
도 4는 본 발명에 따른 팬듈럼 게이트밸브를 도시한 결합사시도 1
도 5는 본 발명에 따른 팬듈럼 게이트밸브를 도시한 결합사시도 2
도 6은 본 발명에 따른 팬듈럼 게이트밸브를 도시한 분리사시도
도 7은 본 발명에 따른 블레이드부를 발췌하여 분리 도시한 도면
도 8은 도 4의 A-A선 단면도
도 9는 도 8의 일부분을 발췌하여 확대 도시한 도면
도 10은 도 8에서 가압링이 상방향 스트로크된 상태로 밸브하우징의 내측에 블레이드부가 수평으로 진입한 상태를 나타낸 예시도
도 11은 도 10에서 가압링이 하방향 스트로크되어 블레이드부의 상면을 가압하는 상태를 나타낸 예시도1 is an exemplary view showing a state of use of a general gate valve
Figure 2 is a bottom perspective view of the fandulum gate valve installed in accordance with the present invention
Figure 3 is a top perspective view of the fandulum gate valve installed in accordance with the present invention
Figure 4 is a combined perspective view showing a fandulum gate valve according to the
Figure 5 is a perspective view of the combination showing a fandulum gate valve according to the present invention 2
Figure 6 is an exploded perspective view showing a fandulum gate valve according to the present invention
7 is a view showing the separation by extracting the blade unit according to the present invention;
8 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
9 is an enlarged view of a portion of FIG. 8 taken from FIG.
FIG. 10 is an exemplary view showing a blade portion horizontally entering the inside of the valve housing with the pressure ring upwardly stroked in FIG. 8; FIG.
FIG. 11 is an exemplary view illustrating a state in which the pressure ring is stroked downward in FIG. 10 to press the upper surface of the blade part.
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 팬듈럼 게이트 밸브(1)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a
도 4 내지 도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 팬듈럼 게이트밸브(1)는 크게, 블레이드부(100), 밸브하우징(200), 가압링(300), 유압 가이드링(410), 스트로크 가압봉(420), 탑 플랜지유닛(430), 제2 텐션유닛(440), 구동부(205)를 포함하여 구성된다.4 to 9, the
블레이드부(100)는 도 6 또는 도 7에 나타낸 것과 같이, 원형의 플레이트 형태로 이루어져 상부배관(51)과 하부배관(52) 사이를 수평으로 출입하면서 상부배관(51)과 하부배관(52) 사이를 오픈하거나 클로즈(밀폐)시킨다.6 or 7, the
여기서, 블레이드부(100)는 바람직하게는 메인 블레이드(110), 서브 블레이드(120), 제1 텐션유닛(130)을 구비할 수 있다.Here, the
메인 블레이드(110)는 도 6 또는 도 7에 나타낸 것과 같이, 플레이트 형태로 이루어져 밸브하우징(200)의 하부단턱부(210)에 걸쳐진 상태로 밸브하우징(200)의 내측에서 상하부 연통을 차단하여 밀폐시키며 자신의 둘레를 따라 자신의 테두리가 소정 높이 돌출 형성된 돌출리브(112)를 구비한다.As shown in FIG. 6 or 7, the
서브 블레이드(120)는 도 6 또는 도 7에 나타낸 것과 같이, 돌출리브(112)의 높이보다 동일하거나 작은 두께를 갖는 플레이트 형태로 이루어지며 돌출리브(112)의 내측에 대응하는 메인 블레이드(110)의 상면에 안착되고 반발력에 의해 메인 블레이드(110)로부터 상방향으로 소정 높이 들뜬 상태를 유지하며 가압링(300)에 의한 하방 압착시 반발력을 증가시키는 하방향으로 밀리면서 메인 블레이드(110)를 하방향으로 가압시킨다.As shown in FIG. 6 or 7, the
제1 텐션유닛(130)은 도 6 또는 도 7에 나타낸 것과 같이, 메인 블레이드(110)와 서브 블레이드(120) 사이에 하나 이상 배치되어 서브 블레이드(120)의 상면에 대해 하방향으로 가해지는 외력에 대해 반발력을 발생시킨다.As shown in FIG. 6 or FIG. 7, at least one
그 결과, 밸브하우징(200)의 내측으로 진입한 블레이드부(100)에 대해 가압링(300)이 하방향으로 가압하는 외력에 대해 이중구조의 블레이드부(100)가 탄성적으로 반발함에 따라 밸브하우징(200)의 효과적인 밀폐를 달성할 수 있는 것을 가능하게 한다.As a result, the
한편, 메인 블레이드(110)는 도 6 또는 도 7에 나타낸 것과 같이, 자신의 일단부에 형성되는 회전축 연결부(111)가 회전유닛(206)에 연결된 상태로 회전유닛(206)의 제자리 회전에 연동하여 밸브하우징(200)의 출입슬롯부(201)를 통해 밸브 하우징(200)의 내측으로 진입하여 밸브하우징(200)을 밀폐시킨다.Meanwhile, as shown in FIG. 6 or 7, the
이때, 구동부(205)는 블레이드부(100)의 메인 블레이드(110)에 연결되어 메인 블레이드(110)가 밸브하우징(200)을 출입하도록 메인 블레이드(110)에 구동력을 제공한다.In this case, the driving
그리고, 구동부(205)는 회전유닛(206)의 하부에 배치된 상태로 그 회전유닛(206)이 회전하도록 동작하는데, 이를 위해, 구동부(205)는 바람직하게는 유압 액츄에이터가 채택될 수 있다.In addition, the driving
그 결과, 구동부(205)의 양단으로 공기를 번갈아 투입함에 따라 그 구동부(205)에 구비되는 실린더(미도시)가 전후방향 스트로크 동작을 하고 그 실린더의 동작에 연동하여 움직이도록 그 실린더에 링크된 로드(미도시)가 실린더의 직선운동을 회전유닛(206)의 회전운동으로 전환시킨다.As a result, a cylinder (not shown) provided in the
한편, 밸브하우징(200)은 그 일측방향에 블레이드부(100)가 위치되는 블레이드 하우징(204)로 분할하여 구성될 수 있다.On the other hand, the
이 경우, 밸브하우징(200)의 일측에는 출입슬롯부(210)가 형성되고, 출입슬롯부(201)에 연결되는 블레이드 하우징(204)은 블레이드부(100)를 감싸는 슬롯 형태로 배치될 수 있으며, 내부에는 공간으로 이루어져 블레이드부(100)가 위치되는 제2 공간부(203)가 형성되는 것이 가능하다.In this case, the one side of the
이때, 출입슬롯부(201)의 내측을 아치형 구조로 형성하고, 블레이드 하우징(204)은 외형상을 이중 아치형 구조로 형성함으로써, 구동시 힘의 편중을 최소화하여 블레이드 하우징(204) 내부에 진공이 형성되는 경우 발생하는 변형 또는 밴딩을 최소화 해 준다.At this time, the inside of the
밸브하우징(200)은 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 내부에 제1 공간부(202)와 제2 공간부(203)가 형성되고, 상부배관(51)의 외벽과 하부배관(52)의 외벽을 플랜지 타입으로 감싸면서 상부배관(51)과 하부배관(52)에 연결된다.As shown in FIG. 3 or 4, the
한편, 밸브하우징(200)은 전술한 바와 같이, 블레이드 하우징(204)이 형성되는 경우, 자신의 일측부가 슬롯타입으로 절개된 출입슬롯부(201)를 구비함에 따라 상부배관(51)과 하부배관(52) 사이를 오픈하거나 클로즈시키기 위한 블레이드부(100)의 출입을 가이드 한다.On the other hand, the
또한, 밸브하우징(200)은 도 8에 나타낸 것과 같이, 자신의 내측으로 진입한 블레이드부(100)의 테두리가 걸쳐지도록 자신의 내측 하부에 자신의 테두리를 따라 내향하여 돌출 형성된 하부단턱부(210)를 구비할 수 있다.In addition, the
한편, 밸브 하우징(200)은 상부단턱부(220)와 유압 가이드홈(230)을 더 포함하여 구성될 수 있다.The
상부단턱부(220)는 도 8에 나타낸 것과 같이, 하부단턱부(210)의 연직 상부에 대응하는 자신의 내측 상부에 자신의 테두리를 따라 하부단턱부(210)와 대응하도록 내향하여 돌출 형성된다.As shown in FIG. 8, the upper stepped
그리고, 상부단턱부(220)는 자신의 돌출 형성된 부분의 선단부 소정 부분이 도 7에 나타낸 것과 같이, 상향하여 절개된 2단 단턱부(231)를 형성할 수 있다.In addition, the upper stepped
유압 가이드홈(230)은 도 8에 나타낸 것과 같이, 수평브릿지(320)의 연직 상부에 대응하는 상부단턱부(220)의 상면에 상부단턱부(220)의 둘레를 따라 하방향으로 소정 깊이 절개 형성되고 하방향으로 관통 형성되는 스트로크홀(241)이 자신의 둘레를 따라 복수 개 형성된다.As shown in FIG. 8, the
그리고, 유압 가이드홈(230)은 바람직하게는 외부로부터 공기를 유입시키나 외부로 공기를 배출시키는 공기이동홀(242)과 공기이동홀(242)을 통해 유입된 공기를 외부로 배출시키는 벤트홀(미도시) 및 스트로크홀(241)과 연통하도록 형성된다.And, the
가압링(300)은 도 6 또는 도 8에 나타낸 것과 같이, 하부단턱부(210)의 상부에 대응하는 밸브하우징(200)의 내측에 고리 형태로 장착된 상태에서 밸브하우징(200)의 내측에서 연직 상하방향으로 움직이도록 구성된다.As shown in FIG. 6 or 8, the
여기서, 가압링(300)은 유압 가이드링(410)과 스트로크 가압봉(420)을 통해 연결된다. Here, the
그 결과, 유압 가이드링(410)이 유압 가이드홈(230)에서 상하방향으로 움직이면, 이에 연동하여 가압링(300)도 상하방향으로 움직인다.As a result, when the
그리고, 가압링(300)은 연직 하방향으로 움직일 때 하부단턱부(210)에 걸쳐진 블레이드부(100)의 상면을 하방향으로 눌러 압착시킨다.Then, the
또한, 가압링(300)은 밸브하우징(200)의 내측에서 연직 상하방향으로 움직이는 과정에서 연직 상방향으로 움직일 때 밸브 하우징(200)의 상부단턱부(220)가 이루는 하부 단면 형태에 대응하도록 바람직하게는 수직브릿지(310)와 수평브릿지(320)를 통해 자신의 단면 형태가 L자 형태로 구성될 수 있다.In addition, the
즉, 수직브릿지(310)는 도 8에 나타낸 것과 같이, 상부단턱부(220)로부터 2단 단턱부(221)의 구비로 형성되는 경계벽(222)에 맞닿아 상하방향으로 움직이도록 구성된다.That is, as illustrated in FIG. 8, the
그리고, 수직브릿지(310)는 자신의 측벽이 경계벽(222)에 밀착되도록 경계벽(222)에 마주하는 자신의 측벽 둘레를 따라 절개된 하나 이상의 오링홈(311)을 구비할 수 있다.In addition, the
수평브릿지(320)는 도 8에 나타낸 것과 같이, 수직브릿지(310)에 직각 또는 소정의 각도로 형성되어 연결된다.As shown in FIG. 8, the
그리고, 수평브릿지(320)는 서브 블레이드(120)에 대한 자신의 하방 이동시 서브 블레이드(120)의 상면에 밀착되도록 서브 블레이드(120)와 마주하는 자신의 하면 둘레를 따라 절개된 하나이상의 오링홈(321, 322)을 구비한다. And, the
한편, 유압 가이드링(410)은 자신의 단면 형태가 유압 가이드홈(230)의 단면 형상에 대응하도록 형성되어 유압 가이드홈(230)에 끼워진 상태로 연직 상하방향으로 움직이도록 구성될 수 있다.On the other hand, the
스트로크 가압봉(420)은 스트로크홀(241)이 유압 가이드홈(230)과 기밀유지 되도록 스트로크홀(241)에 끼워진 상태로 상하방향으로 움직이도록 구성되며 자신의 하단부는 가압링(300)에 연결되고 자신의 상단부는 유압 가이드링(410)에 연결됨에 따라 유압 가이드링(410)의 상하방향 움직임에 연동하여 가압링(300)의 상하방향 움직임을 가이드 한다.
이때, 스트로크 가압봉(420)은 바람직하게는 유압 가이드링(410)의 상하방향 움직임에 연동하여 상하방향으로 스트로크할 때 가압링(300)에 대해 탄성력을 갖도록 구성됨으로써, 가압링(300)이 블레이드부(100)를 가압하는 경우, 각 지점별로 탄성력이 각기 다름으로 인해 불균일하게 눌러져 결과적으로로 블레이드부(100)가 하부단턱부(210)에 전체적으로 정확하게 밀착되는 것을 가능하게 한다.At this time, the
탑 플랜지유닛(430)은 유압 가이드홈(230)의 상부가 밀폐되도록 유압 가이드홈(230)의 둘레를 따라 상부단턱부(220)에 안착된다.The
제2 텐션유닛(440)은 스트로크홀(241)에 대응하는 탑 플랜지유닛(430)의 하부에 자신의 상부가 장착되고 자신의 하부는 유압 가이드링(410)에 연결되고 유압 가이드홈(230) 내에 위치한 유압 가이드링(410)을 탄성력에 의해 하방향으로 밀어 스트로크 가압봉(420)을 하방향으로 스트로크 시킨다.The upper part of the
그리고, 제2 텐션유닛(440)은 유압 가이드링(410)의 하부에 대응하는 유압 가이드홈(230)에 공기이동홀(242)을 통해 공기가 유입되는 경우 자신의 탄성력이 증가하는 방향으로 폴딩됨에 따라 스트로크 가압봉(420)을 상방향 스트로크 시키도록 구성된다.And, when the air is introduced into the
한편, 유압 가이드링(410), 스트로크 가압봉(420), 탑 플랜지유닛(430) 및 제2 텐션유닛(440)은 그 구성요소들이 호환되는 범위 내에서 상, 하 대칭으로 위치가 바뀌어 형성되는 것도 가능하다.On the other hand, the
도 10은 도 8에서 가압링(300)이 상방향 스트로크된 상태로 밸브하우징(200)의 내측에 블레이드부(100)가 수평으로 진입한 상태를 나타낸 예시도이고, 도 11은 도 10에서 가압링(300)이 하방향 스트로크되어 블레이드부(100)의 상면을 가압하는 상태를 나타낸 예시도이다.FIG. 10 is an exemplary view illustrating a state in which the
이하에서는, 도 10과 도 11을 참조하여, 밸브하우징(200)의 내측에 진입하는 블레이드부(100)가 가압링(300)에 의해 가압됨에 따라 밸브하우징(200)이 밀폐되는 과정을 살펴보기로 한다.Hereinafter, referring to FIGS. 10 and 11, a process in which the
먼저, 블레이드부(100)가밸브 하우징(200)의 내측에 수평으로 진입하기 위해서는 미리 가압링(300)이 상방향으로 이동되어야 한다.First, in order for the
이를 위해, 외부로부터 공급되는 공기가 공기이동홀(242)을 통해 유압 가이드홈(230)에 공급되면 유압 가이드링(410)은 그 공기압에 의해 유압 가이드홈(230) 내에서 상방향으로 뜨는 힘을 받는다.To this end, when the air supplied from the outside is supplied to the
이때, 유압 가이드링(410)은 제2 텐션유닛(440)에 의해 하방향으로 밀리는 힘을 받고는 있지만, 공기이동홀(242)을 통해 주입되는 공기압이 유압 가이드홈(230)에 형성된 후에는 그 공기압이 제2 텐션유닛(440)의 반발력을 무력화시킨다.At this time, the
그 결과, 도 10에 나타낸 것과 같이, 외부로부터 공급되는 공기가 공기이동홀(242)을 통해 유압 가이드홈(230)에 공급됨에 따라 유압 가이드링(410)이 상방향으로 이동된 상태를 나타낸다.As a result, as shown in FIG. 10, as the air supplied from the outside is supplied to the
이때, 유압 가이드홈(230)에 연통되는 벤트홀(미도시)을 통해 공기가 빠져나가지만 공기이동홀(242)을 통해 주입되는 양이 단위시간당 상대적으로 많기 때문에 유압 가이드홈(230)은 공기이동홀(242)을 통해 공기가 주입되는 동안은 유압 가이드링(410)을 띄울 수 있는 정도의 공기압을 유지한다.At this time, the air escapes through the vent hole (not shown) communicated with the
이처럼, 유압 가이드링(410)이 유압 가이드홈(230)의 상방향으로 움직이는 동작에 연동하여 가압링(300)이 상방향으로 이동된 후, 가압링(300)의 하부에 대응하는 밸브하우징(200)의 내측으로 블레이드부(100)가 진입한다.As such, after the
이 경우, 블레이드부(100)의 서브 블레이드(120)는 제1 텐션유닛(130)에 의해 메인 블레이드(110)의 상면으로부터 소정 높이 들뜬 상태를 유지하고 있다.In this case, the
이어서, 외부로부터 공기이동홀(242)을 통해 유압 가이드홈(230)에 대한 공기의 공급을 차단하면 이미 유압 가이드홈(230)에 채워진 공기는 벤트홀(미도시)를 통해 빠져나간다.Subsequently, when the air supply to the
그 결과, 유압 가이드홈(230) 내의 유압 가이드링(410)은 제2 텐션유닛(440)의 탄성력에 의해 도 11에 나타낸 것과 같이, 하방향으로 이동함에 따라 스트로크 가압봉(420)을 통해 유압 가이드링(410)에 연결되는 가압링(300)도 하방향으로 이동한다.As a result, the
이어서, 가압링(300)이 블레이드부(100)의 상면을 가압하면 가압링(300)과 블레이드부(100)가 상호 밀착됨과 동시에 블레이드부(100)의 하면도 하부단턱부(210)에 밀착된다.Subsequently, when the
여기서, 가압링(300)의 수직브릿지(310)에 형성된 오링홈(311)은 수직브릿지(310)의 상하방향 이동시 경계벽(222)과 기밀유지 가능하도록 밀착된 상태를 유지하도록 한다.Here, the O-ring groove 311 formed in the
그리고, 가압링(300)의 수평브릿지(320)에 형성된 오링홈(321, 322)은 수평브릿지(320)가 블레이드부(100)에 맞닿을 때 수평브릿지(320)와 블레이드부(100) 간의 기밀유지가 가능하도록 밀착된 상태를 유지하도록 한다.In addition, the O-
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.Optimal embodiments have been disclosed in the drawings and specification. Although specific terms have been used herein, they are used only for the purpose of describing the present invention and are not intended to limit the scope of the invention as defined in the claims or the claims. Therefore, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
1: 팬듈럼 게이트밸브
11 : 상부배관
12: 하부배관
20 : 게이트밸브
51 : 상부배관
52 : 하부배관
100 : 블레이드부
110 : 메인 블레이드
111 : 회전축 연결부
112 : 돌출리브
120 : 서브 블레이드
130 : 제1 텐션유닛
200 : 밸브하우징
201 : 출입슬롯부
202 : 제1 공간부
203 : 제2 공간부
204 : 블레이드 하우징
205 : 구동부
206 : 회전유닛
210 : 하부단턱부
220 : 상부단턱부
221 : 2단 단턱부
222 : 경계벽
230 : 유압 가이드홈
241 : 스트로크홀
242 : 공기이동홀
300 : 가압링
310 : 수직브릿지
311 : 오링홈
320 : 수평브릿지
321, 322 : 오링홈
410 : 유압 가이드링
420 : 가압봉
430 : 탑 플랜지유닛
440 : 제2 텐션유닛1: Fandulum Gate Valve
11: upper pipe 12: lower pipe
20: gate valve
51: upper piping 52: lower piping
100: blade portion 110: main blade
111: rotary shaft connection 112: protruding rib
120: sub blade 130: first tension unit
200: valve housing 201: access slot
202: first space portion 203: second space portion
204: blade housing 205: drive part
206: rotating unit 210: lower step
220: upper stepped part 221: two stepped step
222: boundary wall 230: hydraulic guide groove
241: stroke hole 242: air movement hole
300: pressure ring 310: vertical bridge
311: O-ring groove 320: horizontal bridge
321, 322: O-Ring Groove
410: hydraulic guide ring 420: pressure bar
430: top flange unit 440: second tension unit
Claims (8)
상기 밸브하우징(200)의 내부에 형성되되, 상기 제1 공간부(202)를 개폐하는 블레이드부(100);
상기 블레이드부(100)에 연결되어 상기 블레이드부(100)에 구동력을 제공하는 구동부(205);
상기 밸브 하우징(200)의 내측에 수직방향으로 이동 가능하게 형성되어 상기 블레이드부(100)를 눌러 압착시키는 가압링(300);으로 구성되는 것을 특징으로 하는 팬듈럼 게이트밸브(1).A valve housing 200 in which a first space 202 and a second space 203 are formed;
A blade unit 100 formed in the valve housing 200 to open and close the first space 202;
A driving unit 205 connected to the blade unit 100 to provide a driving force to the blade unit 100;
And a pressurization ring (300) formed to be movable in a vertical direction inside the valve housing (200) to press and press the blade (100).
상기 블레이드부(100)는 상기 제1 공간부(202)와 상기 제2 공간부(203) 사이를 수평으로 이동하고,
상기 밸브하우징(200)의 내측에는 상기 제1 공간부(202)로 진입한 상기 블레이드부(100)의 테두리가 걸쳐지도록 하부단턱부(210)가 형성되며,
상기 가압링(300)은 상기 하부단턱부(210)의 상부에 대응하는 상기 밸브하우징(200)의 내측에 고리 형태로 장착된 상태에서 상기 밸브하우징(200)의 내측에서 연직 상하방향으로 움직이도록 구성되며, 연직 하방향으로 움직일 때 상기 하부단턱부(210)에 걸쳐진 상기 블레이드부(100)의 상면을 하방향으로 눌러 압착시키는 것을 특징으로 하는 팬듈럼 게이트밸브(1).The method of claim 1,
The blade unit 100 moves horizontally between the first space 202 and the second space 203,
A lower step portion 210 is formed inside the valve housing 200 to cover the edge of the blade portion 100 entering the first space portion 202.
The pressure ring 300 moves vertically in the vertical direction in the valve housing 200 while being mounted in a ring shape inside the valve housing 200 corresponding to the upper portion of the lower step portion 210. The fandulum gate valve (1), which is configured to press and press the upper surface of the blade portion (100) over the lower step portion (210) downward when moving in the vertical direction.
상기 블레이드부(100)는,
상기 하부단턱부(210)에 걸쳐진 상태로 상기 밸브하우징(200)의 내측에서 상기 밸브하우징(200)의 상하부 연통을 차단하며, 상기 밸브하우징(200)의 둘레를 따라 자신의 테두리가 소정 높이 돌출 형성된 돌출리브(112)를 구비하는 메인 블레이드(110)가 형성되고,
상기 돌출리브(112)의 내측에 대응하는 상기 메인 블레이드(110)의 상면에 안착되고 반발력에 의해 상기 메인 블레이드(110)로부터 상방향으로 소정 높이로 들뜬 상태를 유지하며 상기 가압링(300)에 의한 압착시 반발력을 증가시켜 상기 메인 블레이드(110)를 가압하는 서브 블레이드(120)가 형성되며,
상기 메인 블레이드(110)와 상기 서브 블레이드(120) 사이에 하나 이상 배치되어 상기 서브 블레이드(120)의 상면에 가해지는 외력에 대해 반발력을 발생시키는 제1 텐션유닛(130);이 형성되는 것을 특징으로 하는 팬듈럼 게이트밸브(1).The method of claim 2,
The blade unit 100,
Blocks the upper and lower communication of the valve housing 200 in the interior of the valve housing 200 in a state spanning the lower step portion 210, and its edge protrudes a predetermined height along the circumference of the valve housing 200 The main blade 110 having a formed protrusion rib 112 is formed,
It is seated on the upper surface of the main blade 110 corresponding to the inner side of the protrusion rib 112 and maintains the state lifted to a predetermined height upward from the main blade 110 by the repulsive force to the pressure ring 300 Sub-blade 120 for pressing the main blade 110 is formed by increasing the repulsive force when pressing by,
At least one first tension unit 130 disposed between the main blade 110 and the sub blade 120 to generate a repulsive force against an external force applied to an upper surface of the sub blade 120; Fandulum gate valve (1).
상기 밸브 하우징(200)은,
상기 하부단턱부(210)의 연직 상부에 대응하는 자신의 내측 상부에 자신의 테두리를 따라 상기 하부단턱부(210)와 대응하도록 내향하여 돌출 형성되며, 상기 돌출 형성된 부분의 선단부 소정 부분이 상향하여 절개된 2단 단턱부(221)를 구비하는 상부단턱부(220)가 형성되는 것을 특징으로 하는 팬듈럼 게이트밸브(1)The method of claim 3,
The valve housing 200,
Protrudes inwardly to correspond to the lower stepped portion 210 along its edge on its inner upper portion corresponding to the vertical upper portion of the lower stepped portion 210, and a predetermined portion of the tip portion of the protruded portion is upwardly Fandulum gate valve (1) characterized in that the upper stepped portion 220 having a cut two-stage stepped portion 221 is formed
상기 가압링(300)은,
상기 밸브하우징(200)의 내측에서 연직 상하방향으로 움직이는 과정에서 연직 상방향으로 움직일 때 상기 상부단턱부(220)가 이루는 하부 단면 형태에 대응하도록 상기 상부단턱부(220)로부터 상기 2단 단턱부(221)에 형성되는 경계벽(222)에 맞닿아 상하방향으로 움직이며 자신의 측벽이 상기 경계벽(222)에 밀착되도록 상기 경계벽(222)에 마주하는 자신의 측벽 둘레를 따라 절개된 하나 이상의 오링홈(311)을 구비한 수직브릿지(310)가 형성되고,
상기 수직브릿지(310)에 소정의 각도를 가지며 연결되고 상기 서브 블레이드(120)에 대한 자신의 하방 이동시 상기 서브 블레이드(120)의 상면에 밀착되도록 상기 서브 블레이드(120)와 마주하는 자신의 하면 둘레를 따라 절개된 하나 이상의 오링홈(321)을 구비한 수평브릿지(320)가 형성되는 것을 특징으로 하는 팬듈럼 게이트밸브(1).The method of claim 3,
The pressure ring 300,
The second stepped part from the upper stepped part 220 so as to correspond to a lower cross-sectional shape formed by the upper stepped part 220 when moving vertically in the vertical vertical direction in the valve housing 200. One or more oring grooves cut along a side wall of the wall facing the boundary wall 222 such that the side wall is in close contact with the boundary wall 222 and moves up and down in contact with the boundary wall 222 formed in the 221. A vertical bridge 310 having a 311 is formed,
It is connected to the vertical bridge 310 at a predetermined angle and the bottom circumference of the lower surface facing the sub blade 120 so as to be in close contact with the upper surface of the sub blade 120 when moving downward with respect to the sub blade 120 The pandulum gate valve (1), characterized in that the horizontal bridge 320 is provided with one or more o-ring grooves 321 cut along.
상기 밸브하우징(200)은,
상기 수평브릿지(320)의 연직 상부에 대응하는 상기 상부단턱부(220)의 상면에 상기 상부단턱부(220)의 둘레를 따라 하방향으로 소정 깊이 절개 형성되고 하방향으로 관통 형성되는 스트로크홀(241)이 자신의 둘레를 따라 복수 개 형성되며 외부로부터 공기를 유입시키거나 외부로 공기를 유출시키는 공기이동홀(242)이 형성되고,
상기 스트로크홀(241) 및 상기 공기이동홀(242)과 연통되는 유압 가이드홈(230)이 형성되는 것을 특징으로 하는 펜듈럼 게이트밸브(1).The method according to any one of claims 4 to 5,
The valve housing 200,
A stroke hole is formed on the upper surface of the upper step portion 220 corresponding to the vertical upper portion of the horizontal bridge 320 in a downward direction along a circumference of the upper step portion 220 and formed to penetrate downward. A plurality of 241 is formed along its circumference and the air movement hole 242 for introducing air from the outside or outflow of the air is formed,
Pendulum gate valve (1), characterized in that the hydraulic guide groove 230 is formed in communication with the stroke hole (241) and the air movement hole (242).
자신의 단면 형태가 상기 유압 가이드홈(230)의 단면 형상에 대응하도록 형성되어 상기 유압 가이드홈(230)에 끼워진 상태로 연직 상하방향으로 움직이도록 구성된 유압 가이드링(410);
상기 스트로크홀(241)이 상기 유압 가이드홈(230)과 기밀유지 되도록 상기 스트로크홀(241)에 끼워진 상태로 상하방향으로 움직이도록 구성되며 자신의 하단부는 상기 가압링(300)에 연결되고 자신의 상단부는 상기 유압 가이드링(410)에 연결됨에 따라 상기 유압 가이드링(410)의 상하방향 움직임에 연동하여 상기 가압링(300)의 상하방향 움직임을 가이드하는 스트로크 가압봉(420);
상기 유압 가이드홈(230)의 상부가 밀폐되도록 상기 유압 가이드홈(230)의 둘레를 따라 상기 상부단턱부(220)에 안착되는 탑 플랜지유닛(430);
상기 스트로크홀(241)에 대응하는 상기 탑 플랜지유닛(430)의 하부에 자신의 상부가 장착되고 자신의 하부는 상기 유압 가이드링(410)에 연결되고 상기 유압 가이드홈(230) 내에 위치한 상기 유압 가이드링(410)을 탄성력에 의해 하방향으로 밀어 상기 스트로크 가압봉(420)을 하방향으로 스트로크 시키며 상기 유압 가이드링(410)의 하부에 대응하는 상기 유압 가이드홈(230)에 상기 공기이동홀(242)을 통해 공기가 유입되는 경우 자신의 탄성력이 증가하는 방향으로 폴딩됨에 따라 상기 스트로크 가압봉(420)을 상방향 스트로크 시키는 제2 텐션유닛(440)이 형성되는 것을 특징으로 하는 펜듈럼 게이트밸브(1).The method according to any one of claims 4 to 5,
Hydraulic guide ring 410 is formed so that its cross-sectional shape corresponds to the cross-sectional shape of the hydraulic guide groove 230 is configured to move in the vertical vertical direction in the state fitted to the hydraulic guide groove 230;
The stroke hole 241 is configured to move up and down in a state of being fitted into the stroke hole 241 so as to be kept in airtight with the hydraulic guide groove 230 and the lower end thereof is connected to the pressure ring 300 and The upper end portion is connected to the hydraulic guide ring 410, the stroke pressing rod 420 for guiding the vertical movement of the pressure ring 300 in conjunction with the vertical movement of the hydraulic guide ring (410);
A top flange unit 430 seated on the upper stepped portion 220 along the circumference of the hydraulic guide groove 230 so that the upper portion of the hydraulic guide groove 230 is sealed;
The upper portion of the top flange unit 430 corresponding to the stroke hole 241 is mounted on its upper portion and the lower portion thereof is connected to the hydraulic guide ring 410 and the hydraulic pressure located in the hydraulic guide groove 230 The air movement hole in the hydraulic guide groove 230 corresponding to the lower portion of the hydraulic guide ring 410 by pushing the guide ring 410 downward by the elastic force to stroke the stroke pressing rod 420 downward Pendulum gate valve, characterized in that the second tension unit 440 is formed to stroke the stroke pressure rod 420 upward as the elastic force increases when the air is introduced through 242 (One).
상기 스트로크 가압봉(420)은 상기 유압 가이드링(410)의 상하방향 움직임에 연동하여 상하방향으로 스트로크할 때 상기 가압링(300)에 대해 탄성력을 갖도록 구성되는 것을 특징으로 하는 펜듈럼 게이트밸브(1).
The method according to any one of claims 6 to 7,
The stroke pressure rod 420 is a pendulum gate valve (1) characterized in that it is configured to have an elastic force with respect to the pressure ring 300 when the stroke in the vertical direction in conjunction with the vertical movement of the hydraulic guide ring 410 (1) ).
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|---|---|---|---|
| KR20180018199 | 2018-02-14 | ||
| KR1020180018199 | 2018-02-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190098682A true KR20190098682A (en) | 2019-08-22 |
| KR102151172B1 KR102151172B1 (en) | 2020-09-02 |
Family
ID=67766935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020180145522A KR102151172B1 (en) | 2018-02-14 | 2018-11-22 | Pendulum gate valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102151172B1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102174139B1 (en) * | 2020-03-12 | 2020-11-04 | 아이케이씨코리아 주식회사 | Pendulum gate valve |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100259698B1 (en) | 1998-03-17 | 2000-06-15 | 서진천 | A pendulum type vacuum control system |
| KR20050117522A (en) * | 2003-02-20 | 2005-12-14 | 엠케이에스 인스트루먼츠, 인코포레이티드 | Seal ring for pendulum valve assembly |
| KR20070065783A (en) * | 2005-12-20 | 2007-06-25 | 배트 홀딩 아게 | Valve for essentially gastight closing of a flow path |
| US20160195191A1 (en) * | 2015-01-07 | 2016-07-07 | Shimadzu Corporation | Vacuum valve |
-
2018
- 2018-11-22 KR KR1020180145522A patent/KR102151172B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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|---|---|---|---|---|
| KR102174139B1 (en) * | 2020-03-12 | 2020-11-04 | 아이케이씨코리아 주식회사 | Pendulum gate valve |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102151172B1 (en) | 2020-09-02 |
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