KR20190089754A - Apparatus and method for vaporizing liquid material - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a vaporizing device for a liquid source and a vaporizing method for the same and, specifically, to a vaporizing device for a liquid source, which mixes a liquid source and carrier gas transferred to the liquid source and vaporizes the mixture, and a vaporizing method for the same. To achieve the purpose of the present invention, the vaporizing device for a liquid source includes: a diaphragm valve block firstly turning on/off the liquid source flowing inside; a liquid source flow rate control block secondly turning on/off the liquid source by receiving the liquid source from the diaphragm valve block; a mixing block including a twin-fluid mixing unit in which the carrier gas supplied from the outside and the liquid source supplied from the liquid source flow rate control block are mixed on the outside of the liquid source flow rate control block; and a vaporizing block vaporizing a mixed twin fluid mixed in the twin-fluid mixing unit by receiving the mixed twin fluid.

Description

액체 소스 기화 장치 및 기화 방법{Apparatus and method for vaporizing liquid material}[0001] LIQUID SOURCE VACUUMING APPARATUS AND METHOD [0002]

본 발명은 액체 소스 기화 장치 및 기화 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액체소스와 액체소스를 운반하는 캐리어가스를 혼합하여 기화시키는 액체 소스 기화 장치 및 기화 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid source vaporization apparatus and a vaporization method, and more particularly, to a liquid source vaporization apparatus and a vaporization method which mix and vaporize a carrier gas carrying a liquid source and a liquid source.

선행기술문헌인 KR 10-0386217(발명의 명칭 : 액체재료 기화 방법 및 장치)에는 액체재료와 캐리어가스가 액추에이터 내에서 혼합되는 기술이 개시되어 있다. 그러나 액체재료와 캐리어가스가 액추에이터 내에서 혼합되는 경우에는 내압 상승으로 인해 유량의 정밀 제어가 어렵고, 혼합 기체의 배출구에서 내압 상승으로 인한 막힘 현상이 발생되는 문제점이 있다.Prior art document KR 10-0386217 (entitled " liquid material vaporization method and apparatus ") discloses a technique in which a liquid material and a carrier gas are mixed in an actuator. However, when the liquid material and the carrier gas are mixed in the actuator, it is difficult to precisely control the flow rate due to an increase in internal pressure, and clogging due to an increase in internal pressure occurs at the outlet of the mixed gas.

한편, KR 10-1058976(발명의 명칭 : 액체재료 기화장치)에는 가스 도입로를 예열하는 기술이 개시되어 있으나 액체재료의 공급을 오프할 때에는 가스 도입로의 가열로 인해 가스 도입로에 잔존하는 전구체가 열분해에 의해 파티클로 변하는 문제가 발생된다.On the other hand, JP 10-1058976 (entitled "Liquid Material Vaporization Apparatus") discloses a technique of preheating a gas introduction furnace, but when the supply of the liquid material is turned off, the precursor There is a problem that the particles are changed into particles by thermal decomposition.

KRKR 10-038621710-0386217 B1B1 KRKR 10-105897610-1058976 B1B1 KRKR 10-143129010-1431290 B1B1 KRKR 10-2014-011875610-2014-0118756 AA KRKR 10-087857510-0878575 B1B1

따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 액체소스 유량제어블록 외부에서 액체소스와 캐리어 가스를 혼합함으로써 액체소스 유량제어블록내에서 발생되는 내압 상승의 문제점을 해결하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to solve the problem of an increase in internal pressure generated in a liquid source flow rate control block by mixing a liquid source and a carrier gas outside a liquid source flow rate control block There is a purpose.

또한, 본 발명은 노즐부에서 혼합이류체가 분사되기 전에 혼합이류체를 미리 가열하고, 이에 따라 잔존하는 혼합이류체의 열분해를 방지하기 위해 액체소스의 오프시에 캐리어 가스를 일정 시간 이상 더 투입하도록함으로써 전구체가 파티클로 변하지 않도록 하는 발명을 제공하는데 그 목적이 있다.Further, in the present invention, in order to prevent pyrolysis of the mixed fuel, the carrier gas is supplied for a predetermined time or more when the liquid source is turned off so that the mixture is heated before the mixture is injected in the nozzle unit, Thereby preventing the precursor from being transformed into particles.

그러나, 본 발명의 목적들은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.However, the objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

전술한 본 발명의 목적은, 유입되는 액체소스를 1차적으로 온/오프하는 다이어프램 밸브블록, 다이어프램 밸브블록으로부터 액체소스를 공급받아 2차적으로 온/오프하는 액체소스 유량제어블록, 액체소스 유량제어블록으로부터 공급된 액체소스와 외부로부터 공급된 캐리어가스가 액체소스 유량제어블록의 외부에서 서로 만나 혼합되는 이류체 혼합부를 구비하는 혼합블록, 및 이류체 혼합부에서 혼합된 혼합 이류체를 공급받아 기화시키는 기화블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치를 제공함으로써 달성될 수 있다.The above-described object of the present invention can be achieved by a diaphragm valve comprising a diaphragm valve block for primarily turning on / off an incoming liquid source, a liquid source flow rate control block for secondarily turning on / off the liquid source from the diaphragm valve block, A mixing block including a liquid source supplied from a block and an air-carrier mixer in which carrier gas supplied from the outside is mixed and mixed with each other at the outside of the liquid source flow rate control block, and a mixing block provided with the mixed- And a vaporization block to vaporize the vaporized gas.

또한, 혼합블록은 액체소스 유량제어블록으로부터 액체소스를 공급받는 액체소스 투입유로, 캐리어가스를 공급받는 캐리어가스 투입유로, 및 혼합이류체를 기화블록으로 배출하는 혼합이류체 배출유로를 구비하며, 이류체 혼합부는 액체소스 투입유로와 캐리어가스 투입유로가 서로 만나는 영역에 형성된다.The mixing block may further include a liquid source introduction flow passage for receiving a liquid source from the liquid source flow rate control block, a carrier gas introduction flow passage for receiving the carrier gas, and a mixed liquid discharge flow passage for discharging the mixed liquid mixture to the vaporization block, The air-liquid mixture portion is formed in a region where the liquid source introduction flow path and the carrier gas introduction flow path meet with each other.

또한, 혼합블록은 외부로부터 액체소스를 공급받는 액체소스 투입부에서 다이어프램 밸브블록으로 액체소스를 운반하는 제1 액체소스 유입유로를 더 포함하며, 액체소스 투입유로의 수직길이는 제1 액체소스 유입유로의 수직길이보다 작거나 같다.Further, the mixing block further includes a first liquid source inflow passage for transferring the liquid source from the liquid source input portion to the diaphragm valve block, which is supplied with the liquid source from the outside, and the vertical length of the liquid source introduction flow path is shorter than the vertical length of the first liquid source inflow Less than or equal to the vertical length of the flow path.

또한, 혼합블록은 다이어프램 밸브블록에서 액체소스 유량제어블록으로 액체소스를 운반하는 제2 액체소스 유입유로를 더 포함하며, 다이어프램 밸브블록과 액체소스 유량제어블록이 서로 일측에 배치되는 경우 제2 액체소스 유입유로는 "V"자로 이루어지고, 다이어프램 밸브블록과 액체소스 유량제어블록이 서로 타측에 배치되는 경우 제2 액체소스 유입유로는 "직선"으로 이루어져 제2 액체소스 유입유로의 거리를 상대적으로 최소화시킨다.The mixing block further comprises a second liquid source inlet flow path for carrying the liquid source from the diaphragm valve block to the liquid source flow control block and wherein when the diaphragm valve block and the liquid source flow rate control block are disposed on one side of each other, When the diaphragm valve block and the liquid source flow rate control block are disposed on the other side of each other, the second liquid source inflow passage is made to be "straight" so that the distance of the second liquid source inflow passage is relatively Minimize.

또한, 제1 액체소스 유입유로 및 제2 액체소스 유입유로는 0.1 내지 4.0mm의 직경을 가지고, 상기 액체소스 투입유로는 0.1 내지 2.0mm의 직경을 가지며, 상기 혼합이류체 배출유로는 0.1 내지 4.0mm의 직경을 가진다.The first liquid source inflow path and the second liquid source inflow path have a diameter of 0.1 to 4.0 mm, the liquid source inflow path has a diameter of 0.1 to 2.0 mm, and the mixing outflow path is 0.1 to 4.0 mm. < / RTI >

또한, 혼합블록에서 배출된 혼합 이류체를 운반하는 혼합이류체 운반블록을 더 포함하며, 기화블록은 혼합이류체 운반블록으로부터 배출된 혼합이류체를 운반하는 혼합이류체 유입유로, 혼합이류체 유입유로로부터 혼합이류체를 공급받아 분사시키는 노즐부, 노즐부에서 분사된 혼합이류체를 기화시키는 기화 챔버부, 및 기화블록의 둘레방향으로 구비된 히터부를 포함하며. 혼합이류체 운반블록은 히터부에 의해 미리 가열되도록 기화블록에 접속 결합됨으로써 혼합이류체가 노즐부에서 분사되기전에 미리 가열된다.The mixing block may further comprise a mixed-fluid mixing block for mixing mixed fluid discharged from the mixing block, wherein the vaporizing block includes a mixed-fluid inflow channel in which the mixed fluid discharged from the mixed- A nozzle section for supplying and discharging the mixed fluid from the flow path, a vaporization chamber section for vaporizing the mixed fluid injected from the nozzle section, and a heater section provided in the circumferential direction of the vaporization block. Mixing This fluidic transport block is connected to the vaporization block so that it is preheated by the heater section so that the mixture is preheated before it is injected at the nozzle section.

또한, 히터부는 기화 챔버부와 혼합이류체 운반블록에 대해 상대적으로 외측 둘레방향에 배치됨으로써 혼합이류체가 노즐부에서 분사되기 전에 미리 가열된다.Further, the heater portion is preliminarily heated before the mixture is injected from the nozzle portion by being disposed in the outer circumferential direction relative to the vaporization chamber portion and the mixing fluid-transport block.

또한, 노즐부는 상기 혼합이류체의 분사 유량에 비례하고, 상기 캐리어가스의 공급 압력에 반비례하는 직경의 노즐 홀을 가지며, 상기 노즐 홀의 직경은 0.1 내지 4.0mm의 범위 내에서 결정된다.The nozzle portion has a nozzle hole having a diameter proportional to the injection flow rate of the mixed fluid and inversely proportional to the supply pressure of the carrier gas, and the diameter of the nozzle hole is determined within a range of 0.1 to 4.0 mm.

또한, 다이어프램 밸브블록 또는 액체소스 유량제어블록에서 액체소스의 공급을 오프한 후에 캐리어 가스를 기 설정된 시간만큼 혼합이류체 운반블록에 투입함으로써 혼합이류체 운반블록에 잔존하는 혼합이류체를 제거하도록 하여 혼합이류체 운반블록의 가열에 따른 파티클이 발생되지 않도록 한다.In addition, after the supply of the liquid source is turned off in the diaphragm valve block or the liquid source flow control block, the mixed gas is allowed to flow into the mixing / mixing unit for a predetermined period of time, Mixing prevents particles from being generated upon heating of the fluid delivery block.

또한, 혼합이류체 운반블록은 기화블록에 비해 상대적으로 폭이 작게 형성됨으로써 히터부의 열이 최소화되어 액체소스 유량제어블록으로 전달되도록 한다.In addition, the mixed-fluid-transport block is formed to be relatively small in width as compared with the vaporization block, so that the heat of the heater portion is minimized and transmitted to the liquid source flow rate control block.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 액체 소스 기화 방법은 공급되는 액체소스의 유량을 제어하는 과정; 상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 과정; 상기 액체소스와 캐리어가스가 혼합된 혼합이류체를 분사하는 과정; 및 상기 분사된 혼합이류체를 가열하여 기화시키는 과정;을 포함하고, 상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 과정은, 상기 액체소스의 유량을 제어하는 공간과 다른 공간에서 상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a liquid source vaporization method including: controlling a flow rate of a supplied liquid source; Mixing the liquid source and the carrier gas; Mixing the liquid source and the carrier gas with each other to inject the fluid; And mixing the liquid source and the carrier gas is performed by mixing the liquid source and the carrier gas in a space different from the space for controlling the flow rate of the liquid source, Mix.

또한, 상기 액체소스의 공급 전에, 상기 혼합이류체를 분사하는 노즐 홀의 직경을 결정하는 과정;을 더 포함하고, 상기 혼합이류체를 분사하는 과정은, 상기 결정된 노즐 홀의 직경을 가지는 노즐부를 사용하여 혼합이류체를 분사할 수 있다.The method may further include the step of determining a diameter of the nozzle hole through which the mixed liquid is sprayed before the supply of the liquid source, wherein the step of spraying the mixed liquid is performed by using a nozzle having the diameter of the determined nozzle hole Mixing can spray the fluid.

또한, 상기 노즐 홀의 직경을 결정하는 과정은, 상기 액체소스의 종류 및 공급 유량에 따라 상기 혼합이류체의 분사 유량을 결정하는 과정; 상기 캐리어가스의 공급 압력을 확인하는 과정; 및 상기 혼합이류체의 분사 유량 및 상기 캐리어가스의 공급 압력에 따라 상기 노즐 홀의 직경을 산출하는 과정;을 포함할 수 있다.The process of determining the diameter of the nozzle hole may include the steps of determining the injection flow rate of the mixed fluid according to the type of the liquid source and the supplied flow rate; Determining a supply pressure of the carrier gas; And calculating the diameter of the nozzle hole according to the injection flow rate of the mixed fluid and the supply pressure of the carrier gas.

상기 노즐 홀의 직경을 산출하는 과정은, 상기 혼합이류체의 분사 유량에 비례하고, 상기 캐리어가스의 공급 압력에 반비례하도록 상기 노즐 홀의 직경을 산출할 수 있다.The process of calculating the diameter of the nozzle hole may calculate the diameter of the nozzle hole such that the mixing is proportional to the injection flow rate of the fluid and is inversely proportional to the supply pressure of the carrier gas.

전술한 바와 같은 본 발명에 의하면 혼합블록에서 액체소스와 캐리어 가스를 혼합함으로써 액체소스 유량제어블록 내에서 내압이 상승하지 않도록 하는 효과가 있다.According to the present invention as described above, mixing of the liquid source and the carrier gas in the mixing block has the effect of preventing the internal pressure from rising in the liquid source flow rate control block.

또한, 본 발명에 의하면 액체소스의 공급을 중단한 경우에 캐리어 가스를 일정 시간 이상 더 공급함으로써 액체소스가 파티클로 변하지 않도록 하는 효과가 있다.Further, according to the present invention, when the supply of the liquid source is stopped, there is an effect that the carrier gas is supplied for a certain period of time or longer so that the liquid source does not change into particles.

그리고, 본 발명에 의하면 다이어프램 밸브블록을 액체소스 유량제어블록 인접 부근에 배치함으로써 액체소스를 누수 없이 온/오프할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by disposing the diaphragm valve block near the liquid source flow rate control block, the liquid source can be turned on / off without leakage.

본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 일실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술적 사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석 되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 소스 기화 장치를 도시한 도면이고,
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액체 소스 기화 장치를 도시한 도면이고,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액체 소스 기화 장치를 확대 도시한 도면이고,
도 4는 본 발명에 따른 이류체 혼합부를 도시한 도면이고,
도 5는 본 발명에 따른 기화블록을 도시한 도면이고,
도 6은 본 발명에 따른 히터부를 기화블록 내에 배치한 도면이고,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 액체 소스 기화 방법을 개략적으로 도시한 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description, serve to further the understanding of the technical idea of the invention, It should not be construed as limited.
1 is a view showing a liquid source vaporizing apparatus according to a first embodiment of the present invention,
FIG. 2 is a view showing a liquid source vaporizing apparatus according to a second embodiment of the present invention,
3 is an enlarged view of the liquid source vaporizing apparatus according to the first embodiment of the present invention,
FIG. 4 is a view showing an airflow mixer according to the present invention,
5 is a view showing a vaporization block according to the present invention,
FIG. 6 is a diagram showing the arrangement of the heater unit according to the present invention in the vaporization block,
7 is a schematic view of a liquid source vaporization method according to an embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일실시예에 대해서 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 일실시예는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 내용을 부당하게 한정하지 않으며, 본 실시 형태에서 설명되는 구성 전체가 본 발명의 해결 수단으로서 필수적이라고는 할 수 없다. 또한, 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In addition, the embodiment described below does not unduly limit the content of the present invention described in the claims, and the entire structure described in this embodiment is not necessarily essential as the solution means of the present invention. In addition, the description of the prior art and those obvious to those skilled in the art may be omitted, and the description of the omitted components and the function may be sufficiently referred to within the scope of the technical idea of the present invention.

본 발명의 액체 소스 기화 장치(10)는 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이 다이어프램 밸브블록(100)과 액체소스 유량제어블록(200, 이하에서는 유량제어블록으로 함)을 통해 액체소스(21)의 공급 또는 운반을 온/오프(이때 온/오프의 의미는 액체소스의 유량을 제어하는 것임)하도록 한다. 즉, 외부로부터 액체소스가 액체소스 투입부(11)로 공급되며, 도입된 액체소스는 액체소스 투입부(11)로부터 제1 액체소스 유입유로(311)를 거쳐 다이어프램 밸브블록(100)으로 유입된다. 이때, 다이어프램 밸브블록(100)은 일예로서 공압으로 구동되어 액체소스의 공급을 1차적으로 온/오프하며, 유입된 액체소스를 제2 액체소스 유입유로(312)를 통해 유량제어블록(200)으로 공급한다.The liquid source vaporizing apparatus 10 of the present invention is connected to a liquid source 21 through a diaphragm valve block 100 and a liquid source flow control block 200 (hereinafter referred to as a flow control block) (On / off means controlling the flow rate of the liquid source). That is, a liquid source is supplied from the outside to the liquid source input portion 11, and the introduced liquid source flows from the liquid source input portion 11 to the diaphragm valve block 100 via the first liquid source inflow passage 311 do. The diaphragm valve block 100 is driven, for example, by a pneumatic pressure to primarily turn on / off the supply of the liquid source. The diaphragm valve block 100 is connected to the flow control block 200 through the second liquid source inflow channel 312, .

유량제어블록(200)은 일예로서 피에조 액추에이터로 구체화될 수 있으며, 다이어프램 밸브블록(100)에서 공급된 액체소스의 공급을 2차적으로 온/오프한다. 한편, 종래에는 유량제어블록(200)만으로 액체소스의 공급을 온/오프하였기 때문에 이에 따라 유량제어블록(200)에서 액체소스의 오프시 미세한 누수가 발생되어 이를 해결하기 위해 본 발명에서는 다이어프램 밸브블록(100)을 세이프티 목적으로 구비한다. 따라서 다이어프램 밸브블록(100)은 1차적으로 액체소스의 공급을 온/오프하도록 하고, 유량제어블록(200)에서 2차적으로 액체소스의 공급을 온/오프하도록 한다.The flow control block 200 may be embodied as a piezo actuator as an example and secondarily turns on / off the supply of the liquid source supplied from the diaphragm valve block 100. In the prior art, since the supply of the liquid source is turned on / off only by the flow control block 200, a minute leakage occurs when the liquid source is turned off in the flow control block 200, (100) for safety purposes. Accordingly, the diaphragm valve block 100 allows the supply of the liquid source to be turned on / off first, and the flow control block 200 to turn on / off the supply of the liquid source secondarily.

이때, 다이어프램 밸브블록(100)과 유량제어블록(200) 간에 액체소스의 공급유로(311,312) 간격이 길 경우에는 응답성이 떨어지기 때문에 도 1과 같이 다이어프램 밸브블록(100)과 유량제어블록(200)이 같은 측에 배치되는 경우에는 V자 유로(312)를 형성하도록 하여 유로의 간격을 최소화하도록 한다. 또한, 도 2와 같이 다이어프램 밸브블록(100)과 유량제어블록(200)이 서로 다른 측에 배치되는 경우에는 수직선 유로(312)를 형성하도록 하여 유로의 간격을 최소화하도록 한다.If the distance between the diaphragm valve block 100 and the flow control block 200 is long, the diaphragm valve block 100 and the flow control block 200 200 are arranged on the same side, the V-shaped flow path 312 is formed so that the interval of the flow paths is minimized. When the diaphragm valve block 100 and the flow control block 200 are disposed on different sides as shown in FIG. 2, the vertical channel flow path 312 is formed to minimize the flow channel spacing.

혼합블록(300)은 도 1에 도시된 바와 같이 다이어프램 밸브블록(100)과 유량제어블록(200)의 하부면에 구비되거나 또는 도 2와 같이 다이프램 밸브블록(100)과 유량제어블록(200)의 사이에 구비된다. 도 1 및 도 3에 도시된 바와 같이 혼합블록(300)에는 액체소스 투입부(11)로부터 다이어프램 밸브블록(100)으로 액체소스를 운반하는 제1 액체소스 유입유로(311)가 "역 ㄴ자" 형상으로 형성되어 있으며, 다이어프램 밸브블록(100)에서 유량제어블록(200)으로 액체소스를 운반하는 제2 액체소스 유입유로(312)가 "V자" 형상으로 형성되어 있다. 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 액체소스 유입/유출면(210)에는 "V자" 유로(312)의 액체소스 유입홀(312a)이 형성되어 있으며, 액체소스 유입홀(312a)을 통해 유입된 액체소스가 액체소스 투입유로(313)를 통해 이류체 혼합영역(320, 또는 이류체 혼합부)으로 운반된다.The mixing block 300 may be provided on the lower surface of the diaphragm valve block 100 and the flow control block 200 as shown in Fig. 1 or may be provided on the lower surface of the diaphragm valve block 100 and the flow control block 200 . 1 and 3, the mixing block 300 is provided with a first liquid source inflow channel 311 which conveys the liquid source from the liquid source input portion 11 to the diaphragm valve block 100, And a second liquid source inflow passage 312 for transferring the liquid source from the diaphragm valve block 100 to the flow control block 200 is formed in a "V" shape. 3 and 4, a liquid source inlet hole 312a of the "V" channel 312 is formed on the liquid source inlet / outlet surface 210, and a liquid source inlet hole 312a is formed through the liquid source inlet hole 312a The introduced liquid source is transported to the adiabatic mixing region 320 (or the adiabatic mixing portion) through the liquid source introduction flow path 313.

한편, 도 2에 도시된 바와 같이 혼합블록(300)에는 액체소스 투입부(11)로부터 다이어프램 밸브블록(100)으로 액체소스를 운반하는 제1 액체소스 유입유로(311)가 "ㄱ자" 형상으로 형성되어 있으며, 다이어프램 밸브블록(100)에서 유량제어블록(200)으로 액체소스를 운반하는 제2 액체소스 유입유로(312)가 "수직선" 형상으로 형성되어 있다. 도 4에 도시된 바와 같이 액체소스 유입/유출면(210)에는 "V자" 유로(312)의 액체소스 유입홀(312a)이 형성되어 있으며, 액체소스 유입홀(312a)을 통해 유입된 액체소스가 액체소스 투입유로(313)의 액체소스 투입홀(313a)을 통해 이류체 혼합영역(320, 또는 이류체 혼합부)으로 운반된다2, the mixing block 300 is provided with a first liquid source inflow passage 311 for conveying the liquid source from the liquid source injection portion 11 to the diaphragm valve block 100 in a "L" shape And a second liquid source inflow channel 312 for transporting the liquid source from the diaphragm valve block 100 to the flow control block 200 is formed in a "vertical line" shape. 4, a liquid source inlet hole 312a of the "V" flow path 312 is formed in the liquid source inflow / outflow surface 210, and a liquid source inflow hole 312a is formed in the liquid source inflow / The source is transported to the adiabatic mixing region 320 (or the adiabatic mixing region) through the liquid source inflow hole 313a of the liquid source inflow passage 313

여기서, 도 1 또는 도 2에 도시된 제1 액체소스 유입유로(311) 및 제2 액체소스 유입유로(312)는 0.1mm 이상, 4.0mm 이하의 직경을 가질 수 있다. 제1 액체소스 유입유로(311) 및 제2 액체소스 유입유로(312)의 직경이 0.1mm 미만인 경우 액체소스의 운반 공간이 충분하지 않게 되며, 제1 액체소스 유입유로(311) 및 제2 액체소스 유입유로(312)의 직경이 4.0mm를 초과하는 경우에는 액체소스의 운반을 위한 충분한 압력의 확보가 어려운 바, 제1 액체소스 유입유로(311) 및 제2 액체소스 유입유로(312)는 0.1 내지 4.0mm의 직경을 가질 수 있다. 이때, 액체소스가 제1 액체소스 유입유로(311) 및 제2 액체소스 유입유로(312)를 순차적으로 경유하여 원활하게 이동하기 위하여, 제1 액체소스 유입유로(311) 및 제2 액체소스 유입유로(312)는 동일한 직경을 가질 수 있다.Here, the first liquid source inflow passage 311 and the second liquid source inflow passage 312 shown in Fig. 1 or 2 may have a diameter of 0.1 mm or more and 4.0 mm or less. When the diameter of the first liquid source inflow passage 311 and the second liquid source inflow passage 312 is less than 0.1 mm, the liquid space for conveying the liquid source becomes insufficient, and the first liquid source inflow passage 311 and the second liquid When the diameter of the source inflow passage 312 exceeds 4.0 mm, it is difficult to secure a sufficient pressure for conveying the liquid source. As a result, the first liquid source inflow passage 311 and the second liquid source inflow passage 312 And may have a diameter of 0.1 to 4.0 mm. At this time, in order for the liquid source to smoothly move through the first liquid source inflow passage 311 and the second liquid source inflow passage 312 sequentially, the first liquid source inflow passage 311 and the second liquid source inflow passage 312 The flow path 312 may have the same diameter.

도 4에 도시된 바와 같이 액체소스 투입유로(313)를 통해 도입된 액체소스(21)와 캐리어가스 투입유로(314)를 통해 도입된 캐리어 가스(22)가 서로 수직방향에서 만나 충돌함으로써 혼합이류체를 형성한다. 혼합이류체(23)는 혼합이류체 배출유로(315)를 통해 혼합이류체 운반블록(400)으로 공급된다. 도 4에서 액체소스 유입홀(312a)은 상측에 위치하고(즉, "V자" 유로의 배출홀이므로 액체소스 유입/유출면(210)에 형성되기 때문) 액체소스 투입홀(313a)은 하측에 위치하며(즉, 액체소스 투입유로(313)가 혼합블록(300)에서 수직방향으로 형성되고, 액체소스 투입홀(313a)이 혼합이류체 배출유로(315)와 서로 연통되기 때문), 액체소스 투입홀(313a)은 혼합이류체 배출유로(315)와 서로 연통된다. 따라서 이류체 혼합부(320)는 캐리어가스 투입유로(314)에서 공급된 캐리어 가스(22)와 액체소스 투입홀(313a)을 통해 공급된 액체소스(21)가 서로 만나 혼합되는 혼합이류체 배출유로(315)의 혼합공간이다.The liquid source 21 introduced through the liquid source introduction flow path 313 and the carrier gas 22 introduced through the carrier gas introduction flow path 314 collide with each other in the vertical direction as shown in Fig. To form a fluid. The mixed-flow body 23 is supplied to the mixed-flow body transport block 400 through the mixed-flow discharge flow path 315. The liquid source inflow hole 313a is located on the upper side (that is, because the liquid source inflow hole 312a is formed on the liquid source inflow / outflow surface 210 since it is located on the upper side (That is, the liquid source introduction flow path 313 is formed in the vertical direction in the mixing block 300 and the liquid source injection hole 313a is in communication with the mixed liquid discharge flow path 315) The injection hole 313a communicates with the mixing-and-draining passage 315. Therefore, the air mixture unit 320 mixes the carrier gas 22 supplied from the carrier gas supply flow path 314 with the liquid source 21 supplied through the liquid source injection hole 313a, And is a mixed space of the flow path 315.

여기서, 액체소스 투입유로(313)는 0.1mm 이상, 2.0mm 이하의 직경을 가질 수 있다. 액체소스 투입유로(313)의 직경이 0.1mm 미만인 경우 투입을 위한 액체소스의 이동 공간이 충분하지 않게 되며, 액체소스 투입유로(313)의 직경이 2.0mm를 초과하는 경우 캐리어 가스와의 혼합을 위한 충분한 압력으로 혼합이류체 배출유로(315)로 공급될 수 없게 되는 바, 액체소스 투입유로(313)는 0.1 내지 2.0mm의 직경을 가질 수 있다.Here, the liquid source introduction flow path 313 may have a diameter of 0.1 mm or more and 2.0 mm or less. When the diameter of the liquid source introduction flow path 313 is less than 0.1 mm, the space for moving the liquid source for the introduction becomes insufficient. When the diameter of the liquid source introduction flow path 313 exceeds 2.0 mm, The mixture can not be supplied to the fluid discharge path 315, so that the liquid source introduction path 313 can have a diameter of 0.1 to 2.0 mm.

또한, 혼합이류체 배출유로(315)는 0.1mm 이상, 4.0mm 이하의 직경을 가질 수 있다. 혼합이류체 배출유로(315)의 직경이 0.1mm 미만인 경우 액체소스와 캐리어 가스의 혼합 공간이 충분하지 않게 되며, 혼합이류체 배출유로(315)의 직경이 4.0mm를 초과하는 경우 혼합이류체가 후술할 혼합이류체 운반블록(400)로 이동하기 위한 충분한 압력의 확보가 어렵게 되는 바, 혼합이류체 배출유로(315)는 0.1 내지 4.0mm의 직경을 가질 수 있다. 이때, 혼합이류체 배출유로(315)는 캐리어 가스와의 원활한 혼합 및 이동을 위하여 액체소스 투입유로(313)보다 큰 직경을 가질 수 있다.Further, the mixed-fluid discharge passage 315 may have a diameter of 0.1 mm or more and 4.0 mm or less. If the diameter of the mixed-fluid discharge passage 315 is less than 0.1 mm, the space for mixing the liquid source and the carrier gas becomes insufficient. If the diameter of the mixed-liquid discharge passage 315 exceeds 4.0 mm, It is difficult to secure a sufficient pressure for moving the mixture to the fluid conveying block 400, which will be described later, so that the mixing-fluid discharging passage 315 can have a diameter of 0.1 to 4.0 mm. At this time, the mixed-liquid discharge passage 315 may have a larger diameter than the liquid source introduction passage 313 for smooth mixing and movement with the carrier gas.

한편, 제1,2 액체소스 유입유로(311,312) 및 액체소스 투입유로(313)가 좌측에서 우측으로(즉, 액체소스의 공급경로를 따라) 순차적으로 혼합블록(300)에 형성되며, 액체소스 투입유로(313)는 유량제어블록(200)의 액체소스 온/오프영역(220) 의 하부영역에서 혼합블록(300)의 수직방향으로 형성된다. 혼합이류체 배출유로(315)는 액체소스 투입유로(313)와 서로 연통되면서 후술하는 혼합이류체 운반블록(400)과 서로 연통되도록 혼합블록(300)의 수평방향으로 형성된다. 혼합이류체 운반블록(400)은 혼합블록(300)의 우측영역의 대략 중간영역에 형성된다. 캐리어가스 투입유로(314)는 혼합이류체 배출유로(315)와 서로 일정 각도를 갖도록(또는 액체소스와 캐리어가스가 이류체 혼합영역에서 잘 혼합되도록) 혼합블록(300)에 형성된다. 액체소스 투입유로(313)와 혼합이류체 배출유로(315)가 서로 만나는 영역은(즉, 액체소스 투입홀(313a)의 위치는) 캐리어가스 투입유로(314)와 혼합이류체 배출유로(315)가 서로 만나는 영역에서 수평방향으로 기 설정된 거리만큼 오른쪽으로 이격되는 것이 바람직하다.On the other hand, the first and second liquid source inflow passages 311 and 312 and the liquid source inflow passage 313 are sequentially formed in the mixing block 300 from left to right (that is, along the supply path of the liquid source) The injection flow path 313 is formed in the vertical direction of the mixing block 300 in the lower region of the liquid source on / off region 220 of the flow control block 200. The mixed-liquid discharge passage 315 is formed in the horizontal direction of the mixing block 300 so that the mixed-liquid discharge passage 315 is communicated with the liquid source introduction passage 313 and the mixing described later is communicated with the liquid- The mixed two-fluid delivery block 400 is formed in a substantially middle region of the right region of the mixing block 300. The carrier gas introducing flow path 314 is formed in the mixing block 300 so that the mixing gas has a certain angle with the flow path 315 (or the liquid source and the carrier gas are well mixed in the air mixture region). The region where the liquid source introduction flow path 313 and the mixing type liquid discharge flow path 315 meet each other (that is, the position of the liquid source injection hole 313a) Are spaced to the right by a predetermined distance in the horizontal direction in the region where they meet each other.

제1,2 액체소스 유입유로(311,312)의 꺽인 부분에는 라운딩(R)을 형성함으로써 액체소스의 원활한 이동과 꺽인 부분에서 액체소스가 잔류하는 문제점을 방지한다. 또한, 액체소스 투입유로(313)의 수직길이는 제1 액체소스 유입유로(311)의 수직 길이보다 작거나 같게 형성하도록 한다. 즉, 유량제어블록(200)에서 이류체 혼합부(320)로 이동하는 유로(313)가 길 경우 기화 반응 속도가 늦어지는 문제점이 있다. 따라서 액체소스 투입유로(313)의 수직 길이를 최소화하는 것이 바람직하며, 이에 따라 본 발명에서는 액체소스 투입유로(313)와 혼합이류체 배출유로(315)가 서로 연통되면서 동시에 혼합이류체 배출유로(315)가 캐리어가스 투입유로(314)와 서로 연통되도록 하여 액체소스와 캐리어가스가 잘 혼합 되게 하면서 이와 함께 캐리어 가스가 액체소스를 잘 운반하도록 하는 액체소스 투입유로(313)의 수직 길이를 채택하도록 한다. 바람직하게는 액체소스 투입유로(313)와 혼합이류체 배출유로(315)가 서로 직각으로 연통 되고, 캐리어가스 투입유로(314)와 혼합이류체 배출유로(315)가 서로 직각으로 연통되는 것이 좋다.By forming rounded portions R at the bent portions of the first and second liquid source inflow passages 311 and 312, smooth movement of the liquid source and the problem of the liquid source remaining at the bent portion are prevented. The vertical length of the liquid source introduction flow path 313 is formed to be smaller than or equal to the vertical length of the first liquid source introduction flow path 311. That is, when the flow path 313 that moves from the flow control block 200 to the adiabatic mixing portion 320 is long, the vaporization reaction rate is slowed down. Accordingly, it is preferable to minimize the vertical length of the liquid source introduction flow path 313, and accordingly, in the present invention, the liquid source introduction path 313 and the mixing-use liquid discharge path 315 communicate with each other, 315 to communicate with the carrier gas introduction flow path 314 to adopt a vertical length of the liquid source introduction flow path 313 which allows the liquid source and the carrier gas to be well mixed and the carrier gas to carry the liquid source well do. It is preferable that the liquid source introduction flow path 313 and the mixing fluid delivery path 315 communicate with each other at a right angle so that the carrier gas introduction path 314 and the mixing fluid delivery path 315 communicate with each other at right angles .

선행기술문헌은 유량제어블록(200)에서 캐리어가스와 액체소스가 서로 혼합되고, 혼합 기체를 온/오프하도록 한다. 그러나 본 발명에서는 캐리어가스와 액체소스를 유량제어블록(200) 밖에서, 즉 혼합블록(300)의 이류체 혼합부(320)에서 혼합되도록 한다. 선행기술문헌과 같이 유량제어블록(200) 내에서 서로 혼합이 되면 내압 상승에 따라 유량제어블록의 혼합기체 배출구 또는 혼합기체 온/오프영역에서 막힘 현상이 발생하고 더 나아가 내압 상승에 의한 미세 유량 제어가 잘 안 되는 문제점이 있다. 따라서 본 발명에서는 유량제어블록(200) 외부에서 액체소스와 캐리어 가스를 서로 혼합하도록 한다.The prior art document allows the carrier gas and the liquid source to be mixed with each other in the flow control block 200 and to turn on / off the mixed gas. However, in the present invention, the carrier gas and the liquid source are mixed outside the flow control block 200, that is, in the air flow mixer 320 of the mixing block 300. As in the prior art document, when the flow control block 200 is mixed with each other, clogging occurs in the mixed gas outlet of the flow control block or in the mixed gas on / off region due to the increase of the internal pressure, and furthermore, There is a problem that it is not easy. Therefore, in the present invention, the liquid source and the carrier gas are mixed with each other outside the flow control block 200.

혼합이류체 운반블록(400)은 혼합이류체 배출유로(315)와 서로 연통되도록 혼합블록(300)에 결합됨으로써 혼합이류체를 기화블록(500)으로 운반한다. 혼합이류체 운반블록(400), 혼합블록(300) 및 기화블록(500)은 서로 동일한 재질의 SUS를 사용할 수 있다. 혼합이류체 운반블록(400)의 내부에는 혼합이류체를 운반하는 내부 유로가 형성될 수 있다. 본 발명에서는 후술하는 바와 같이 기화블록에 예열영역(550)이 마련되어 있어서 가열된 열이 유량제어블록(200)으로 전달될 수 있고 이에 따라 유량의 정밀 제어가 문제될 수 있다. 이에 따라 혼합이류체 운반블록(400)을 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 기화블록(500) 또는 혼합블록(300)에 비해 상대적으로 그 폭이 작게 형성하도록 하여 열전달이 어렵도록 한다.The mixed two-fluid conveying block 400 is coupled to the mixing block 300 so as to communicate with the mixed-fluid discharging passage 315, thereby conveying the mixed mixed fluid to the vaporizing block 500. The mixed-gas flushing block 400, the mixing block 300, and the vaporization block 500 may use SUS of the same material. An inner flow path for conveying the mixed fluid may be formed in the mixed fluid distribution block 400. In the present invention, as will be described later, the preheating zone 550 is provided in the vaporization block, so that the heated heat can be transferred to the flow control block 200, and precise control of the flow rate can be a problem. As a result, the mixing-type fluidic transport block 400 is formed to have a relatively small width as compared to the vaporization block 500 or the mixing block 300 as shown in FIGS. 1 and 2, thereby making heat transfer difficult.

기화블록(500)은 도 5에 도시된 바와 같이 혼합이류체가 운반되는 혼합이류체 유입유로(510)가 수평방향으로 형성되며, 이때 혼합이류체 운반블록(400)은 기화블록(500)에 접속 결합된다. 혼합이류체 유입유로(510)는 노즐부(520)와 접속 결합되며, 노즐부(520)에서 기화 챔버부(540)로 혼합이류체가 고속 분사된다. 이때, 노즐부(520)는 혼합이류체 유입유로(510) 또는 기화 챔버부(540)에 비해 그 폭을 좁게 형성함으로써 혼합이류체가 기화 챔버부(540)로 고속분사되도록 하는 것이 바람직하다.5, the mixing block 500 is formed in a horizontal direction, and the mixed mixing block 600 is connected to the vaporizing block 500 Respectively. The mixed-fluid inlet passage 510 is connected to the nozzle unit 520, and the mixed-flow unit is injected at a high speed from the nozzle unit 520 to the vaporization chamber unit 540. At this time, it is preferable that the nozzle unit 520 forms a narrower width than the mixing flow-in member flow path 510 or the gasification chamber part 540 so that the mixing flow-through member is injected at a high speed into the gasification chamber part 540.

이때, 노즐부(520)는 기화 챔버부(540)로 혼합이류체를 고속분사하기 위하여 노즐부(520)에 형성되는 노즐 홀의 직경이 결정될 수 있다. 이때, 노즐부(520)는 혼합이류체(23)의 분사 유량에 비례하고, 캐리어가스(22)의 공급 압력에 반비례하는 직경의 노즐 홀을 가질 수 있다.At this time, the diameter of the nozzle hole formed in the nozzle unit 520 may be determined so that the nozzle unit 520 rapidly injects the mixed fluid into the vaporization chamber unit 540. At this time, the nozzle unit 520 may have a nozzle hole having a diameter proportional to the injection flow rate of the mixing fluid 20 and inversely proportional to the supply pressure of the carrier gas 22.

혼합이류체(23)는 액체소스(21)의 종류 및 액체소스(21)의 공급 유량에 따라 기화 챔버부(540) 내에서 기화 가능한 양이 상이하다. 즉, 기화가 용이한 액체소스(21)를 혼합하거나, 적은 양의 액체소스(21)를 혼합하여 혼합이류체(23)를 형성하는 경우, 그 반대의 경우에 비하여 혼합이류체(23)는 기화 챔버부(540) 내에서 상대적으로 많은 양이 기화될 수 있다. 여기서, 사용자는 액체소스(21)의 종류 및 액체소스(21)의 공급 유량에 따라 노즐부(520)로부터 분사되는 혼합이류체(23)의 분사 유량을 미리 결정하고, 결정된 혼합이류체(23)의 분사 유량에 따른 노즐 홀 직경을 가지는 노즐부(520)를 사용함으로써 혼합이류체(23)의 기화 효율을 향상시킬 수 있다. 이때, 노즐부(520)의 노즐 홀 직경은 노즐부(520)로부터 분사되는 혼합이류체(23)의 유량에 비례하도록 결정되게 된다.Mixed two-way flow 23 differs in vaporization amount in vaporization chamber portion 540 according to the kind of liquid source 21 and the supply flow rate of liquid source 21. That is, when the liquid source 21 easily vaporized or the mixed liquid source 21 is mixed to form the liquid stream 23, the mixed liquid stream 23 is mixed A relatively large amount can be vaporized in the vaporization chamber portion 540. Here, the user determines in advance the injection flow rate of the mixing fluid 20 injected from the nozzle section 520 in accordance with the type of the liquid source 21 and the supply flow rate of the liquid source 21, The vaporization efficiency of the mixed-flow medium 23 can be improved by using the nozzle unit 520 having the nozzle-hole diameter corresponding to the injection flow rate of the mixed- At this time, the nozzle hole diameter of the nozzle unit 520 is determined to be proportional to the flow rate of the mixed gas injected from the nozzle unit 520.

한편, 동일한 직경의 노즐 홀을 가지는 노즐부(510)를 사용하는 경우에도, 캐리어가스(22)의 공급 압력이 높아지는 경우 노즐부(510)로부터 분사되는 혼합이류체(23)의 분사 유량은 증가하게 된다. 이에, 사용자에 의하여 결정된 분사 유량으로 혼합이류체(23)를 분사하기 위하여는 혼합이류체 유입유로(510)에 설치되는 노즐부(510)의 노즐 홀 직경이 캐리어가스(22)의 공급 압력에 반비례하도록 결정될 필요가 있다. 따라서, 혼합이류체(23)의 분사 유량에 비례하고, 캐리어가스(22)의 공급 압력에 반비례하는 직경의 노즐 홀을 가지는 노즐부(520)를 혼합이류체 유입유로(510)에 사용하는 경우 혼합이류체(23)의 기화 효율을 극대화할 수 있게 된다.On the other hand, even when the nozzle unit 510 having the nozzle holes of the same diameter is used, the injection flow rate of the mixed-flow type fluidizer 23 injected from the nozzle unit 510 increases as the supply pressure of the carrier gas 22 increases . The diameter of the nozzle hole of the nozzle part 510 provided in the mixing flow-in oil inflow passage 510 is set to be equal to the supply pressure of the carrier gas 22 in order to inject the mixed flow medium 23 at the injection flow rate determined by the user Need to be determined to be inversely proportional. Therefore, in the case where the nozzle unit 520 having a nozzle hole having a diameter proportional to the injection pressure of the carrier gas 22 and proportional to the injection flow rate of the mixed gas is used for the mixed-flow-material inlet flow path 510 It is possible to maximize the vaporization efficiency of the mixed fluid.

이와 같은, 노즐 홀의 직경은 0.1mm 이상, 4.0mm 이하의 범위 내에서 결정될 수 있다. 노즐 홀의 직경이 0.1mm 미만인 경우 노즐부(520)로부터 충분한 양의 혼합이류체를 분사하기 어렵게 되며, 노즐 홀의 직경이 4.0mm를 초과하는 경우 혼합이류체를 충분한 압력으로 공급하기 어렵게 되는 문제가 있는 바, 노즐 홀의 직경은 0.1 내지 4.0mm의 범위 내에서 결정될 수 있다.Such a diameter of the nozzle hole can be determined within the range of 0.1 mm or more and 4.0 mm or less. When the diameter of the nozzle hole is less than 0.1 mm, a sufficient amount of mixing from the nozzle part 520 is difficult to inject the fluid, and when the diameter of the nozzle hole exceeds 4.0 mm, the mixing becomes difficult to supply the fluid with sufficient pressure The diameter of the bar and the nozzle hole can be determined within the range of 0.1 to 4.0 mm.

이와 같이, 결정된 직경의 노즐 홀을 가지는 노즐부(510)를 사용하기 위하여 노즐부(520)는 혼합이류체 유입유로(510)에 교체 가능하게 설치될 수 있다. 즉, 노즐부(520)는 복수 개가 서로 다른 홀 직경(hole diameter)을 가지도록 마련되고, 마련된 복수 개의 노즐부(520) 중 선택된 홀 직경을 가지는 노즐부(520)가 혼합이류체 유입유로(510)에 설치될 수 있다.In order to use the nozzle unit 510 having the nozzle holes of the determined diameter, the nozzle unit 520 may be replaceably installed in the mixing-and-flowing inlet flow path 510. That is, the nozzle unit 520 is provided so that a plurality of nozzle units 520 have different hole diameters, and a nozzle unit 520 having a selected hole diameter among the plurality of nozzle units 520 provided therein is connected to the mixed- 510).

히터부(530)는 기화블록(500)의 내측 둘레방향으로 복수로 배치된다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이 히터부(530)는 기화 챔버부(540)의 외곽 둘레방향에 제1,2,3,4 히터부(531,532,533,534)가 배치된다. 제1,2,3,4 히터부(531,532,533,534)는 파워 공급선(530a,530b)으로 각각 직렬 결선 된다. 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에서는 노즐부(520)에서 혼합이류체가 기화 챔버부(540)로 분사되기 전에 혼합이류체를 미리 가열하도록 한다. 즉, 기화 챔버부의 내부구조를 열전달이 균일한 구조로 형성하기 어려워(또는 분사되는 혼합이류체의 농도에 따라 열전달이 달라짐) 기화 효율이 떨어지는 문제점이 있다. 이를 해결하기 위해 본 발명에서는 노즐부의 분사 전에 혼합 이류체를 미리 가열하도록 함으로써 기화효율을 높인다. 따라서 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 히터부(530)를 기화블록(500)의 내측 둘레방향에 수평방향으로 배치하여 혼합이류체 운반블록(400)의 일부 영역, 혼합이류체 유입유로(510), 노즐부(520)에 유입된 혼합이류체(즉, 예열영역(550)에 있는 혼합이류체)가 미리 가열되도록 한다. 한편, 다이어프램 밸브블록(100) 또는 유량제어블록(200)에서 액체소스의 공급을 오프하더라도 예열영역(550)에는 혼합이류체가 잔존할 수 있다. 이때, 예열영역(550)은 히터부(530)에 의해 가열되기 때문에 예열영역(550)에 잔류하는 전구체가 열분해에 의해 파티클로 바뀌어 공정 오염을 유발할 수 있다. 이에 따라 본 발명에서는 다이어프램 밸브블록(100) 또는 유량제어블록(200)에서 액체소스의 공급을 오프한 후에도 캐리어 가스를 일정 시간 투입하여 예열영역(550)에 잔류하는 혼합이류체를 기화 챔버부(540)측으로 배출하도록 한다. 일정 시간 지난 후에 캐리어 가스의 공급을 오프한다. 이에 따라 다이어프램 밸브블록(100) 또는 유량제어블록(200)의 온/오프 동작을 제어 및 감지하고, 캐리어 가스의 공급을 온/오프하는 제어부에 의해 전체적으로 모니터링 및 제어될 수 있다.The heater portions 530 are disposed in plural in the inner circumferential direction of the vaporization block 500. [ 6, the heater unit 530 includes first, second, third, and fourth heater units 531, 532, 533, 534 in the circumferential direction of the vaporization chamber unit 540. The first, second, third, and fourth heater units 531, 532, 533, and 534 are connected in series to the power supply lines 530a and 530b. As shown in FIG. 5, in the present invention, the mixed fluid is previously heated by the nozzle unit 520 before the mixed fluid is injected into the gasification chamber part 540. In other words, it is difficult to form the internal structure of the gasification chamber part with a uniform heat transfer (or the heat transfer varies depending on the concentration of the injected mixture). In order to solve this problem, in the present invention, the mixing air stream is heated before the nozzle unit is sprayed, thereby improving the vaporization efficiency. Therefore, as shown in FIGS. 5 and 6, the heater 530 is horizontally disposed in the inner circumferential direction of the vaporization block 500, so that a portion of the mixed-flow body conveying block 400, a mixed- 510) and the mixed fluid (that is, the mixed fluid in the preheating region 550) flowing into the nozzle unit 520 is heated in advance. On the other hand, even if the supply of the liquid source is turned off in the diaphragm valve block 100 or the flow rate control block 200, the mixed fluid may remain in the preheating region 550. At this time, since the preheating region 550 is heated by the heater unit 530, the precursor remaining in the preheating region 550 may be converted into particles by pyrolysis to cause process contamination. Accordingly, in the present invention, even after the supply of the liquid source is turned off in the diaphragm valve block 100 or the flow rate control block 200, the carrier gas is supplied to the vaporization chamber part 540). The supply of the carrier gas is turned off after a predetermined time. Accordingly, the on / off operation of the diaphragm valve block 100 or the flow control block 200 can be controlled and sensed, and can be entirely monitored and controlled by a control unit for turning on / off the supply of the carrier gas.

이하에서, 본 발명의 실시 예에 따른 액체 소스 기화 방법에 대하여 상세하게 설명하기로 한다. 본 발명의 실시 예에 따른 액체 소스 기화 방법의 설명에 있어서, 본 발명의 실시 예에 따른 액체 소스 기화 장치와 관련하여 전술한 내용과 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, a method of vaporizing a liquid source according to an embodiment of the present invention will be described in detail. In the description of the liquid source vaporizing method according to the embodiment of the present invention, the description of the liquid source vaporizing apparatus according to the embodiment of the present invention will be omitted.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 액체 소스 기화 방법을 개략적으로 도시한 도면이다.7 is a schematic view of a liquid source vaporization method according to an embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 액체 소스 기화 방법은 공급되는 액체소스의 유량을 제어하는 과정(S100), 상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 과정(S200) 및 상기 액체소스와 캐리어가스가 혼합된 혼합이류체를 기화시키는 과정(S300)을 포함하고, 상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 과정은 상기 액체소스의 유량을 제어하는 공간과 다른 공간에서 상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합한다.Referring to FIG. 7, a method for vaporizing a liquid source according to an embodiment of the present invention includes a step S100 of controlling a flow rate of a supplied liquid source, a step S200 of mixing the liquid source and a carrier gas, And mixing the carrier gas with the carrier gas, wherein the mixing of the liquid source and the carrier gas includes a step of mixing the liquid source and the carrier gas in a space different from the space for controlling the flow rate of the liquid source, Mix.

액체소스의 유량을 제어하는 과정(S100)은 액체소스(21)의 공급 또는 운반을 온/오프하여 이루어진다. 여기서, 액체소스의 유량을 제어하는 과정(S100)은, 다이어프램 밸브블록(100)에서 액체소스의 공급을 1차적으로 온/오프하는 과정 및 유량제어블록(200)에서 액체소스의 공급을 2차적으로 온/오프하는 과정을 포함할 수 있다. 여기서, 다이어프램 밸브블록(100)은 세이프티 목적으로 구비되는 것으로서, 유량제어블록(200)만으로 액체소스의 공급을 온/오프하는 경우 액체소스의 오프시 미세한 누수가 발생되는 것을 방지하기 위함이다. 또한, 이때 다이어프램 밸브블록(100)과 유량제어블록(200)은 도 1과 같이 같은 측에 배치되거나, 도 2와 같이 다이어프램 밸브블록(100)과 유량제어블록(200)이 서로 다른 측에 배치될 수 있음은 전술한 바와 같다.The process of controlling the flow rate of the liquid source (S100) is performed by turning on / off the supply or transport of the liquid source (21). Here, the process of controlling the flow rate of the liquid source (S100) includes a process of primarily turning on / off the supply of the liquid source in the diaphragm valve block 100 and a process of supplying the liquid source in the flow rate control block 200 to the secondary On / off < / RTI > Here, the diaphragm valve block 100 is provided for safety purposes, in order to prevent minute leakage when the liquid source is turned off when the flow control block 200 alone turns on / off the supply of the liquid source. The diaphragm valve block 100 and the flow control block 200 may be disposed on the same side as shown in FIG. 1 or may be disposed on different sides of the diaphragm valve block 100 and the flow control block 200 as shown in FIG. As described above.

액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 과정(S200)은 다이어프램 밸브블록(100)과 유량제어블록(200)에서 유량이 제어된 액체소스를 외부로부터 공급된 캐리어가스와 혼합블록(300)에서 혼합한다. 즉, 액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 과정(S200)은 액체소스의 유량을 제어하는 공간(다이어프램 밸브블록/유량제어블록)과 다른 공간(혼합블록)에서 상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합한다. 이 경우, 유량제어블록(200) 내에서 액체소스와 캐리어가스의 혼합시 내압 상승에 따라 유량제어블록(200)의 혼합기체 배출구 또는 혼합기체 온/오프 영역에서 막힘 현상이 발생하고, 더 나아가 내압 상승에 의한 미세 유량 제어가 잘 안 되는 문제점을 해결할 수 있음은 전술한 바와 같다.The mixing of the liquid source and the carrier gas (S200) mixes the liquid source, whose flow rate is controlled by the diaphragm valve block 100 and the flow rate control block 200, with the carrier gas supplied from the outside in the mixing block 300. That is, the process (S200) of mixing the liquid source and the carrier gas mixes the liquid source and the carrier gas in a space (diaphragm valve block / flow control block) and the other space (mixing block) for controlling the flow rate of the liquid source. In this case, clogging occurs in the mixed gas outlet of the flow control block 200 or in the mixed gas on / off region due to an increase in the internal pressure when the liquid source and the carrier gas are mixed in the flow control block 200, It is possible to solve the problem that the fine flow rate control due to the rise can not be solved.

혼합이류체를 기화시키는 과정(S300)은 기화블록(500)에서 액체소스와 캐리어가스가 혼합된 혼합이류체를 기화시킨다. 여기서, 혼합이류체를 기화시키는 과정(S300)은 혼합이류체를 분사하는 과정 및 분사된 혼합이류체를 가열하는 과정을 포함할 수 있다. 즉, 기화블록(500) 내에는 혼합이류체가 운반되는 혼합이류체 유입유로(510)가 수평방향으로 형성되며, 혼합이류체 유입유로(510)는 노즐부(520)와 접속 결합되어 노즐부(520)로부터 기화 챔버부(540)로 혼합이류체를 고속 분사한다. 이때, 히터부(530)는 기화블록(500)의 내측 둘레방향으로 복수로 배치되어 기화 챔버부(540)를 가열함으로써 혼합이류체를 기화시키게 된다.In the step S300 of vaporizing the mixed liquid, the mixed vapor mixture of the liquid source and the carrier gas in the vaporizing block 500 is vaporized. Here, the step of vaporizing the mixed-type liquids (S300) may include a step of mixing the mixed liquids and a step of heating the mixed liquids. That is, in the vaporization block 500, a mixed-flow-in flow path 510 in which the mixed-flow fluid is carried is formed in a horizontal direction, and the mixed-flow-in flow path 510 is connected to the nozzle portion 520, And the mixture is injected at a high rate from the first chamber 520 to the vaporization chamber part 540. At this time, a plurality of heater portions 530 are arranged in the inner circumferential direction of the vaporization block 500 to heat the vaporization chamber portion 540 to vaporize the mixed vaporization chamber 540.

여기서, 혼합이류체를 분사하는 과정은 혼합이류체를 예열하여 분사할 수 있다. 즉, 기화 챔버부(540)의 외곽 둘레방향에 배치되는 히터부(530)을 혼합이류체 유입유로(510)까지 연장하여 배치함으로써 혼합이류체가 기화 챔버부(540)로 분사되기 전에 미리 가열할 수 있으며, 이에 따라 기화 효율을 향상시킬 수 있음은 전술한 바와 같다.Here, the process of spraying the mixed fluid may preheat the mixed fluid and spray it. That is, the heater portion 530 disposed in the outer circumferential direction of the vaporization chamber portion 540 is extended to the mixed-flow-in-water inlet flow path 510, so that the mixture is heated beforehand in the vaporization chamber portion 540 As a result, the vaporization efficiency can be improved.

또한, 혼합이류체를 분사하는 과정은 소정의 직경을 가지는 노즐부를 사용하여 혼합이류체를 분사할 수 있다. 즉, 본 발명의 실시예에 따른 액체 소스 기화 방법은 전술한 액체소스의 공급 전에 혼합이류체를 분사하는 노즐 홀의 직경을 결정하는 과정을 더 포함하고, 혼합이류체를 분사하는 과정에서는 상기 결정된 노즐 홀의 직경을 가지는 노즐부를 사용하여 혼합이류체를 분사할 수 있다.In addition, in the process of spraying the mixed fluid, the mixed fluid may be sprayed using the nozzle unit having a predetermined diameter. That is, the method for vaporizing the liquid source according to the embodiment of the present invention further includes a step of determining the diameter of the nozzle hole through which the mixed liquid is sprayed before the supply of the liquid source described above, and in the process of spraying the mixed liquid, It is possible to inject the mixed fluid by using the nozzle portion having the diameter of the hole.

전술한 바와 같이, 노즐부(520)는 혼합이류체 유입유로(510)에 설치될 수 있다. 이때, 노즐부(520)는 예를 들어, 0.1 내지 4.0 mm의 범위 내의 홀 직경을 가질 수 있다. 여기서, 혼합이류체를 분사하는 과정은 액체소스를 공급하기 전에 혼합이류체를 분사하는 노즐 홀의 직경을 결정하고, 결정된 노즐 홀의 직경을 가지는 노즐부(520)를 혼합이류체 유입유로(510)에 설치하여 사용함으로써 상기 노즐부(520)를 통하여 혼합이류체를 분사할 수 있다.As described above, the nozzle unit 520 may be installed in the mixing-fluid inlet flow path 510. At this time, the nozzle portion 520 may have a hole diameter within a range of, for example, 0.1 to 4.0 mm. Herein, in the process of injecting the mixed fluid, the diameter of the nozzle hole through which the mixed fluid is sprayed is determined before supplying the liquid source, and the nozzle unit 520 having the diameter of the determined nozzle hole is placed in the mixed- So that it is possible to inject the mixed liquids through the nozzle unit 520. [

이때, 노즐 홀의 직경을 결정하는 과정은 액체소스의 종류 및 공급 유량에 따라 상기 혼합이류체의 분사 유량을 결정하는 과정, 상기 캐리어가스의 공급 압력을 확인하는 과정 및 상기 혼합이류체의 분사 유량 및 상기 캐리어가스의 공급 압력에 따라 상기 노즐 홀의 직경을 산출하는 과정을 포함할 수 있다.At this time, the process of determining the diameter of the nozzle hole may include a process of determining the injection flow rate of the mixed fluid according to the type of the liquid source and the supplied flow rate, a process of confirming the supply pressure of the carrier gas, And calculating the diameter of the nozzle hole according to the supply pressure of the carrier gas.

전술한 바와 같이, 혼합이류체는 액체소스의 종류 및 액체소스의 공급 유량에 따라 기화 챔버부 내에서 기화 가능한 양이 상이하다. 즉, 기화가 용이한 액체소스를 혼합하거나, 적은 양의 액체소스를 혼합하여 혼합이류체를 형성하는 경우, 그 반대의 경우에 비하여 혼합이류체는 기화 챔버부 내에서 상대적으로 많은 양이 기화될 수 있다. 따라서, 혼합이류체의 분사 유량을 결정하는 과정에서는 액체소스의 종류 및 액체소스의 공급 유량에 따라 노즐부(520)로부터 분사되는 혼합이류체의 분사 유량을 미리 결정할 수 있다. 예를 들어, 사용자는 액체소스의 종류 및 액체소스의 공급 유량에 따라 노즐부(520)로부터 분사되는 혼합이류체의 분사 유량을 5,000 mL/min으로 결정할 수 있다.As described above, the mixed vaporizer has a different amount of vaporization in the vaporization chamber portion depending on the kind of the liquid source and the supply flow rate of the liquid source. That is, when mixing a liquid source that is easy to vaporize, or mixing a small amount of liquid source to form a mixed liquid, the mixed liquid is relatively vaporized in the vaporizing chamber portion as compared with the opposite case . Therefore, in the process of determining the injection flow rate of the mixed fluid, the injection flow rate of the mixed fluid injected from the nozzle unit 520 can be determined in advance according to the type of the liquid source and the supply flow rate of the liquid source. For example, the user can determine the mixing flow rate of the mixed liquid sprayed from the nozzle unit 520 at 5,000 mL / min according to the type of the liquid source and the supply flow rate of the liquid source.

캐리어가스의 공급 압력을 확인하는 과정은 외부로부터 공급되는 캐리어가스의 공급 압력을 확인한다. 즉, 혼합이류체의 분사 유량은 캐리어가스의 공급 압력이 높아짐에 따라 증가하는 관계를 가지므로, 결정된 혼합이류체의 분사 유량으로 혼합이류체를 분사하기 위하여는 외부로부터 공급되는 캐리어가스의 공급 압력을 확인할 필요가 있다. 이때, 캐리어가스의 공급 압력은 외부로부터 공급되는 캐리어가스의 평균 압력 또는 최대 압력일 수 있으며, 예를 들어 5 내지 80 psi의 값을 가질 수 있다.The process of confirming the supply pressure of the carrier gas confirms the supply pressure of the carrier gas supplied from the outside. In other words, since the injection flow rate of the mixed-flow body increases as the supply pressure of the carrier gas increases, it is necessary to increase the supply pressure of the carrier gas supplied from the outside in order to inject the mixed- . At this time, the supply pressure of the carrier gas may be an average pressure or a maximum pressure of the carrier gas supplied from the outside, and may have a value of, for example, 5 to 80 psi.

노즐 홀의 직경을 산출하는 과정은, 전술한 바와 같이 결정된 혼합이류체의 분사 유량 및 캐리어가스의 공급 압력에 따라 노즐 홀의 직경을 산출한다. 즉, 전술한 바와 같이 노즐부(520)는 0.1 내지 4.0 mm의 범위 내의 직경을 가지는 노즐 홀이 형성된 것을 사용할 수 있는 바, 노즐 홀의 직경을 산출하는 과정은 이와 같은 범위 내에서 상기 혼합이류체의 분사 유량에 비례하고, 상기 캐리어가스의 공급 압력에 반비례하도록 상기 노즐 홀의 직경을 산출할 수 있다. 즉, 결정된 혼합이류체(23)의 분사 유량이 증가하게 되면, 이에 따라 노즐 홀의 직경도 증가하여야 하며, 동일한 직경의 노즐 홀을 가지는 노즐부(510)를 사용하는 경우에도, 캐리어가스(22)의 공급 압력이 높아지는 경우 노즐부(510)로부터 분사되는 혼합이류체(23)의 분사 유량은 증가하게 된다. 따라서, 혼합이류체의 분사 유량에 비례하고, 상기 캐리어가스의 공급 압력에 반비례하도록 상기 노즐 홀의 직경을 산출함으로써 사용자로부터 결정된 분사 유량으로 혼합이류체를 분사할 수 있게 되며, 이에 의하여 기화 챔버부(540) 내에서의 혼합이류체의 기화 효율을 최대화할 수 있게 된다.In the process of calculating the diameter of the nozzle hole, the diameter of the nozzle hole is calculated according to the injection flow rate of the mixing substance determined as described above and the supply pressure of the carrier gas. That is, as described above, the nozzle unit 520 may be formed with a nozzle hole having a diameter within the range of 0.1 to 4.0 mm. The process of calculating the diameter of the nozzle hole may be such that, The diameter of the nozzle hole can be calculated in proportion to the injection flow rate and in inverse proportion to the supply pressure of the carrier gas. That is, when the determined mixing amount increases the injection flow rate of the fluid 23, the diameter of the nozzle hole must be increased accordingly. Even if the nozzle part 510 having the nozzle hole of the same diameter is used, The injection flow rate of the mixed fluid 2 injected from the nozzle unit 510 is increased. Accordingly, the mixing is proportional to the injection flow rate of the fluid, and the diameter of the nozzle hole is calculated so as to be in inverse proportion to the supply pressure of the carrier gas, so that the mixed fluid can be injected at the injection flow rate determined by the user, 540) can maximize the vaporization efficiency of the fluid.

이와 같이, 혼합이류체를 기화시키고 나면, 다이어프램 밸브블록(100) 또는 유량제어블록(200)에서 액체소스의 공급을 오프시켜 액체소스의 공급을 종료할 수 있다. 이때, 액체소스의 공급을 오프하더라도 예열영역(550), 예를 들어 혼합이류체 유입유로(510) 등에는 혼합이류체가 잔존할 수 있다. 이때, 예열영역(550)은 히터부(530)에 의해 가열되기 때문에 예열영역(550)에 잔류하는 전구체가 열분해에 의해 파티클로 바뀌어 공정 오염을 유발할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 액체 소스 기화 방법에서는 액체소스의 공급을 종료한 후에도 캐리어가스를 액체소스의 공급 종료시로부터 일정 시간 추가 공급하여, 예열영역(550)에 잔류하는 혼합이류체를 기화 챔버부(540) 측으로 배출하도록 한다. 예열영역(550)에 잔류하는 혼합이류체가 기화 챔버부(540) 측으로 모두 배출되면 캐리어가스의 추가 공급은 종료된다.As described above, after the mixing vaporizes the fluid, the supply of the liquid source can be terminated by turning off the supply of the liquid source in the diaphragm valve block 100 or the flow rate control block 200. At this time, even if the supply of the liquid source is turned off, the mixed-flow medium may remain in the preheating region 550, for example, the mixed-flow-in flow path 510. At this time, since the preheating region 550 is heated by the heater unit 530, the precursor remaining in the preheating region 550 may be converted into particles by pyrolysis to cause process contamination. Therefore, in the liquid source vaporization method according to the embodiment of the present invention, even after the supply of the liquid source is finished, the carrier gas is further supplied for a certain period of time from the completion of the supply of the liquid source to vaporize the mixed- To the chamber part 540 side. When the mixture remaining in the preheating zone 550 is discharged to the vaporization chamber part 540 side, the additional supply of the carrier gas is terminated.

본 발명을 설명함에 있어 종래 기술 및 당업자에게 자명한 사항은 설명을 생략할 수도 있으며, 이러한 생략된 구성요소(방법) 및 기능의 설명은 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 아니하는 범위내에서 충분히 참조될 수 있을 것이다.It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to be exemplary only and are not restrictive of the invention, It will be possible.

상술한 각부의 구성 및 기능에 대한 설명은 설명의 편의를 위하여 서로 분리하여 설명하였을 뿐 필요에 따라 어느 한 구성 및 기능이 다른 구성요소로 통합되어 구현되거나, 또는 더 세분화되어 구현될 수도 있다.The configuration and functions of the above-described components have been described separately from each other for convenience of description, and any of the components and functions may be integrated with other components or may be further subdivided as needed.

이상, 본 발명의 일실시예를 참조하여 설명했지만, 본 발명이 이것에 한정되지는 않으며, 다양한 변형 및 응용이 가능하다. 즉, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 많은 변형이 가능한 것을 당업자는 용이하게 이해할 수 있을 것이다. 또한, 본 발명과 관련된 공지 기능 및 그 구성 또는 본 발명의 각 구성에 대한 결합관계에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는, 그 구체적인 설명을 생략하였음에 유의해야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment thereof, the present invention is not limited thereto, and various modifications and applications are possible. In other words, those skilled in the art can easily understand that many variations are possible without departing from the gist of the present invention. In the following description, well-known functions or constructions relating to the present invention as well as specific combinations of the components of the present invention with respect to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. something to do.

10 : 액체 소스 기화 장치
11 : 액체소스 투입부
21 : 액체소스
22 : 캐리어 가스
23 : 혼합이류체(액체소스와 캐리어가스의 혼합가스)
100 : 다이어프램 밸브블록
200 : 액체소스 유량제어블록(또는 구동블록)
210 : 액체소스 유입/유출면
220 : 액체소스 온/오프영역
300 : 혼합블록
311 : 제1 액체소스 유입유로
312 : 제2 액체소스 유입유로
312a : 액체소스 유입홀
313 : 액체소스 투입유로
313a : 액체소스 투입홀
314 : 캐리어가스 투입유로
315 : 혼합이류체 배출유로
320 : 이류체 혼합부(또는 이류체 혼합영역)
400 : 혼합이류체 운반블록
500 : 기화블록
510 : 혼압이류체 유입유로
520 : 노즐부
530 : 히터부
530a : 제1 전기선
530b : 제2 전기선
531 : 제1 히터부
532 : 제2 히터부
533 : 제3 히터부
534 : 제4 히터부
540 : 기화 챔버부
550 : 예열부(또는 예열영역)10: Liquid source vaporizer
11: liquid source input part
21: liquid source
22: Carrier gas
23: Mixed-flow liquid (mixed gas of liquid source and carrier gas)
100: Diaphragm valve block
200: liquid source flow control block (or drive block)
210: liquid source inflow / outflow surface
220: liquid source on / off region
300: Mixed block
311: first liquid source inflow passage
312: second liquid source inflow channel
312a: liquid source inlet hole
313: liquid source input flow path
313a: liquid source injection hole
314: Carrier gas supply flow path
315: Mixed two-
320: Adiabatic mixing region (or mixed region of adducts)
400: Mixed two-fluid conveying block
500: Vaporization block
510: Pressurized fluid inlet flow channel
520:
530:
530a: first electric wire
530b: second electric wire
531: first heater section
532:
533: third heater section
534: fourth heater section
540: vaporization chamber part
550: preheating part (or preheating area)

Claims (14)

유입되는 액체소스를 1차적으로 온/오프하는 다이어프램 밸브블록,
상기 다이어프램 밸브블록으로부터 상기 액체소스를 공급받아 2차적으로 온/오프하는 액체소스 유량제어블록,
상기 액체소스 유량제어블록으로부터 공급된 액체소스와 외부로부터 공급된 캐리어가스가 상기 액체소스 유량제어블록의 외부에서 서로 만나 혼합되는 이류체 혼합부를 구비하는 혼합블록, 및
상기 이류체 혼합부에서 혼합된 혼합 이류체를 공급받아 기화시키는 기화블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치.
A diaphragm valve block for primarily turning on / off the incoming liquid source,
A liquid source flow rate control block which receives the liquid source from the diaphragm valve block and secondarily turns on / off the liquid source,
A mixing block including a liquid source supplied from the liquid source flow rate control block and a carrier gas supplied from the outside are mixed and mixed with each other outside the liquid source flow rate control block,
And a vaporization block that receives and vaporizes the mixed adducts mixed in the adduct mixture section.
제 1 항에 있어서,
상기 혼합블록은,
상기 액체소스 유량제어블록으로부터 상기 액체소스를 공급받는 액체소스 투입유로,
상기 캐리어가스를 공급받는 캐리어가스 투입유로, 및
상기 혼합이류체를 상기 기화블록으로 배출하는 혼합이류체 배출유로를 구비하며,
상기 이류체 혼합부는,
상기 액체소스 투입유로와 상기 캐리어가스 투입유로가 서로 만나는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the mixing block comprises:
A liquid source introduction flow path for receiving the liquid source from the liquid source flow rate control block,
A carrier gas supply flow passage for receiving the carrier gas,
Wherein the mixed fluid for discharging the mixed fluid into the vaporization block is provided with a fluid discharge path,
The above-
Wherein the liquid source introduction passage and the carrier gas introduction passage are formed in areas where the liquid source introduction passage and the carrier gas introduction passage meet with each other.
제 2 항에 있어서,
상기 혼합블록은 외부로부터 액체소스를 공급받는 액체소스 투입부에서 상기 다이어프램 밸브블록으로 상기 액체소스를 운반하는 제1 액체소스 유입유로를 더 포함하며,
상기 액체소스 투입유로의 수직길이는 상기 제1 액체소스 유입유로의 수직길이보다 작거나 같은 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치.
3. The method of claim 2,
The mixing block further comprises a first liquid source inflow conduit for transferring the liquid source from the liquid source input portion supplied from the outside to the diaphragm valve block,
Wherein the vertical length of the liquid source introduction flow path is smaller than or equal to the vertical length of the first liquid source introduction flow path.
제 3 항에 있어서,
상기 혼합블록은 상기 다이어프램 밸브블록에서 상기 액체소스 유량제어블록으로 상기 액체소스를 운반하는 제2 액체소스 유입유로를 더 포함하며,
상기 다이어프램 밸브블록과 액체소스 유량제어블록이 서로 일측에 배치되는 경우 상기 제2 액체소스 유입유로는 "V"자로 이루어지고,
상기 다이어프램 밸브블록과 액체소스 유량제어블록이 서로 타측에 배치되는 경우 상기 제2 액체소스 유입유로는 "직선"으로 이루어져 상기 제2 액체소스 유입유로의 거리를 상대적으로 최소화시키는 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치.
The method of claim 3,
The mixing block further comprises a second liquid source inlet flow path for carrying the liquid source from the diaphragm valve block to the liquid source flow rate control block,
When the diaphragm valve block and the liquid source flow rate control block are disposed on one side of each other, the second liquid source inflow passage is made of a letter "V &
Wherein the second liquid source inlet flow path is "straight" when the diaphragm valve block and the liquid source flow rate control block are located on the other side, thereby minimizing the relative distance of the second liquid source inlet flow path. Vaporizer.
제 4 항에 있어서,
상기 제1 액체소스 유입유로 및 제2 액체소스 유입유로는 0.1 내지 4.0mm의 직경을 가지고, 상기 액체소스 투입유로는 0.1 내지 2.0mm의 직경을 가지며, 상기 혼합이류체 배출유로는 0.1 내지 4.0mm의 직경을 가지는 액체 소스 기화 장치.
5. The method of claim 4,
Wherein the first liquid source inflow passage and the second liquid source inflow passage have a diameter of 0.1 to 4.0 mm and the liquid source inflow passage has a diameter of 0.1 to 2.0 mm, Of the liquid source.
제 1 항에 있어서,
상기 혼합블록에서 배출된 혼합 이류체를 운반하는 혼합이류체 운반블록을 더 포함하며,
상기 기화블록은,
상기 혼합이류체 운반블록으로부터 배출된 혼합이류체를 운반하는 혼합이류체 유입유로,
상기 혼합이류체 유입유로로부터 혼합이류체를 공급받아 분사시키는 노즐부,
상기 노즐부에서 분사된 혼합이류체를 기화시키는 기화 챔버부, 및
상기 기화블록의 둘레방향으로 구비된 히터부를 포함하며,
상기 혼합이류체 운반블록은 상기 히터부에 의해 미리 가열되도록 상기 기화
블록에 접속 결합됨으로써 상기 혼합이류체가 상기 노즐부에서 분사되기전에 미리 가열되는 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치.
The method according to claim 1,
Further comprising a mixing-in-liquid-receiving block for conveying the mixed-air mixture discharged from the mixing block,
The vaporization block comprises:
A mixed-fluid inflow channel through which the mixed-fluid mixture discharged from the mixed-
A nozzle unit for injecting and mixing the mixed fluid from the mixed-fluid inlet flow path,
A vaporization chamber part for vaporizing the mixed liquid injected from the nozzle part, and
And a heater portion provided in the circumferential direction of the vaporization block,
Wherein the mixed fluid-transport block is pre-heated by the heater,
Wherein said mixing is effected in advance before being sprayed from said nozzle portion by being connected to said block.
제 6 항에 있어서,
상기 히터부는,
상기 기화 챔버부와 상기 혼합이류체 운반블록에 대해 상대적으로 외측 둘레방향에 배치됨으로써 상기 혼합이류체가 상기 노즐부에서 분사되기 전에 미리 가열되는 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치.
The method according to claim 6,
The heater unit includes:
Wherein the vaporization chamber portion and the mixing are disposed in an outer circumferential direction relative to the fluid-handling block, whereby the mixing is preheated before the fluid is injected from the nozzle portion.
제 5 항에 있어서,
상기 노즐부는 상기 혼합이류체의 분사 유량에 비례하고, 상기 캐리어가스의 공급 압력에 반비례하는 직경의 노즐 홀을 가지며,
상기 노즐 홀의 직경은 0.1 내지 4.0mm의 범위 내에서 결정되는 액체 소스 기화 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the nozzle portion has a nozzle hole having a diameter proportional to an injection flow rate of the mixing fluid and inversely proportional to a supply pressure of the carrier gas,
Wherein the diameter of the nozzle hole is determined within a range of 0.1 to 4.0 mm.
제 7 항에 있어서,
상기 다이어프램 밸브블록 또는 액체소스 유량제어블록에서 액체소스의 공급을 오프한 후에 상기 캐리어 가스를 기 설정된 시간만큼 상기 혼합이류체 운반블록에 투입함으로써 상기 혼합이류체 운반블록에 잔존하는 혼합이류체를 제거하도록 하여 혼합이류체 운반블록의 가열에 따른 파티클이 발생되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치.
8. The method of claim 7,
After the supply of the liquid source is turned off in the diaphragm valve block or the liquid source flow rate control block, the carrier gas is put into the mixed-liquid-body conveying block by a predetermined time to remove the mixed- So as to prevent particles from being generated due to the heating of the mixed fluidized carrier block.
제 6 항에 있어서,
상기 혼합이류체 운반블록은 상기 기화블록에 비해 상대적으로 폭이 작게 형성됨으로써 상기 히터부의 열이 최소화되어 상기 액체소스 유량제어블록으로 전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 액체 소스 기화 장치.
The method according to claim 6,
Wherein the mixed liquid transfer block is formed to have a width smaller than that of the vaporization block so that the heat of the heater is minimized and transferred to the liquid source flow rate control block.
공급되는 액체소스의 유량을 제어하는 과정;
상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 과정;
상기 액체소스와 캐리어가스가 혼합된 혼합이류체를 분사하는 과정; 및
상기 분사된 혼합이류체를 가열하여 기화시키는 과정;을 포함하고,
상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 과정은,
상기 액체소스의 유량을 제어하는 공간과 다른 공간에서 상기 액체소스와 캐리어가스를 혼합하는 액체 소스 기화 장치.
Controlling a flow rate of a liquid source to be supplied;
Mixing the liquid source and the carrier gas;
Mixing the liquid source and the carrier gas with each other to inject the fluid; And
And a step of heating and vaporizing the sprayed mixed fluid,
Wherein the mixing of the liquid source and the carrier gas comprises:
Wherein the liquid source and the carrier gas are mixed in a space different from the space for controlling the flow rate of the liquid source.
제 11 항에 있어서,
상기 액체소스의 공급 전에,
상기 혼합이류체를 분사하는 노즐 홀의 직경을 결정하는 과정;을 더 포함하고,
상기 혼합이류체를 분사하는 과정은,
상기 결정된 노즐 홀의 직경을 가지는 노즐부를 사용하여 혼합이류체를 분사하는 액체 소스 기화 방법.
12. The method of claim 11,
Before the supply of the liquid source,
Further comprising the step of determining a diameter of the nozzle hole through which the mixed fluid is sprayed,
In the process of spraying the mixed fluid,
Wherein the nozzle portion having the diameter of the determined nozzle hole is used to inject the mixed fluid.
제 12 항에 있어서,
상기 노즐 홀의 직경을 결정하는 과정은,
상기 액체소스의 종류 및 공급 유량에 따라 상기 혼합이류체의 분사 유량을 결정하는 과정;
상기 캐리어가스의 공급 압력을 확인하는 과정; 및
상기 혼합이류체의 분사 유량 및 상기 캐리어가스의 공급 압력에 따라 상기 노즐 홀의 직경을 산출하는 과정;을 포함하는 액체 소스 기화 방법.
13. The method of claim 12,
The process of determining the diameter of the nozzle hole includes:
Determining the injection flow rate of the mixed fluid according to the type of the liquid source and the supplied flow rate;
Determining a supply pressure of the carrier gas; And
And calculating the diameter of the nozzle hole according to the injection flow rate of the mixed fluid and the supply pressure of the carrier gas.
제 13 항에 있어서,
상기 노즐 홀의 직경을 산출하는 과정은,
상기 혼합이류체의 분사 유량에 비례하고, 상기 캐리어가스의 공급 압력에 반비례하도록 상기 노즐 홀의 직경을 산출하는 액체 소스 기화 방법.
14. The method of claim 13,
The process of calculating the diameter of the nozzle hole may include:
And the diameter of the nozzle hole is calculated so that the mixing is proportional to the injection flow rate of the fluid and is inversely proportional to the supply pressure of the carrier gas.
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