KR20190083804A - Pipe Heating System - Google Patents

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KR20190083804A
KR20190083804A KR1020180001689A KR20180001689A KR20190083804A KR 20190083804 A KR20190083804 A KR 20190083804A KR 1020180001689 A KR1020180001689 A KR 1020180001689A KR 20180001689 A KR20180001689 A KR 20180001689A KR 20190083804 A KR20190083804 A KR 20190083804A
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piping
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KR1020180001689A
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박문수
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동주에이피 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a pipe heating system which comprises a stick-shaped heat generator body inserted into an end bump unit formed on the outer circumferential surface of a pipe by being engaged with the pipe, and which is able to secure precise control and stability in heating a pipe and to increase convenience in maintenance. According to the present invention, the pipe heating system comprises: a pipe end unit which includes: a first pipe, and a flange placed on one end of the first pipe; a heat generation unit which includes a second pipe connected to the other end of the first pipe, an end bump unit integrated with the outer circumferential surface of the second pipe, a plurality of accommodation grooves formed on the end bump unit to be mutually placed radially, and a heating bar detachably inserted into the accommodation grooves; a pipe main frame unit which includes a third pipe connected to the second pipe; a sensor unit which includes a thermocouple which measures the temperature of the end bump unit; and a control unit which controls the temperature of the heating bar based on the temperature value measured by the thermocouple.

Description

배관 히팅 시스템{Pipe Heating System}[0001] PIPE HEATING SYSTEM [0002]

본 발명은 배관 히팅 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 파이프의 외주면에 파이프와 일체로 제작되는 단턱부에 막대 형상의 발열체가 삽입되어 배관 히팅의 정밀 제어와 안정성이 확보되고 유지 보수의 편의성이 증대되는 배관 히팅 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a piping heating system, and more particularly, to a piping heating system in which a rod-shaped heating element is inserted into a step portion formed integrally with a pipe on an outer circumferential surface of a pipe to ensure precise control and stability of piping heating, To a piping heating system.

반도체 제조 공정에서는 웨이퍼 상에 특정 패턴의 회로를 형성하기 위해 화학증착법(CVD)이나 에칭(etching) 등의 공정이 수행되며 여기에는 다양한 반응 가스가 사용된다.In the semiconductor manufacturing process, a chemical vapor deposition (CVD) process or an etching process is performed to form a circuit of a specific pattern on a wafer, and various reaction gases are used for the process.

이러한 반응 가스는 활성화를 위해 고온인 상태로 사용되는데 저온 상태에서는 쉽게 응결되는 특성이 있다. 이로 인해 열손실이 용이한 이송 중에 쉽게 응결되고, 응결된 고형분이 밸브나 펌프에 고착되어 고장을 유발하거나, 배관 내벽에 적층되어 반응 가스의 흐름을 방해하거나 압력 상승을 유발하여 적정 공급이나 배출을 방해하는 일이 종종 발생한다.These reaction gases are used in a high-temperature state for activation, and easily condensed in a low-temperature state. This makes it easy to condense during transportation where heat loss is easy, and the solidified solid is stuck to the valve or pump to cause a failure, or it is stacked on the inner wall of the pipe to interfere with the flow of the reaction gas or cause the pressure rise, Sometimes it happens to interfere.

반도체 제조 공정에 사용되는 배관에는 이러한 응결을 방지하기 위해 통상 열선 코일을 감은 다음 보온 재킷으로 배관를 감싸는데, 이러한 히팅 수단의 경우 열선 코일이 복잡한 구조를 갖는 배관에 적정 간격을 유지하며 권취되어야 한다.In the piping used in the semiconductor manufacturing process, in order to prevent such condensation, a hot wire coil is wound around the pipe, and then the pipe is wrapped with a heating jacket. In such a heating means, the hot wire coil must be wound at a proper interval in a pipe having a complicated structure.

따라서, 권취 작업이 번거롭고 특히, 권취 작업이 정상적으로 이루어지더라도 오랜 사용으로 열선 코일이 변형되거나 불특정 외력(중력 등)의 작용으로 코일 상호 간의 간격이 달라지면, 히팅을 정밀하게 제어하기 곤란해진다.Therefore, even if the winding work is normally performed, it is difficult to precisely control the heating if the winding coils are deformed due to long use or the spacing between the coils is changed due to the action of an unspecified external force (gravity or the like).

또한, 일부 지점에서 코일과 배관 과의 밀착이 불량해져 적정 히팅이 이루어지지 않게 되거나 또는 해당 지점의 열전도가 불량해져 코일이 탄화되고 단선되는 문제가 발행할 수 있다.In addition, the coils and piping are poorly adhered to each other at some points, and proper heating may not be performed, or the heat conduction at the points may become poor, so that the coil may be carbonized and broken.

더불어, 보온 재킷이 노후로 단열 성능을 잃게 되면 반응 가스의 응결이 발생할 수 있는데, 재킷 교체 작업 또한 배관 주변 환경이나 배관 연결 구조가 복잡하여 작업이 무척 번거로운 문제가 있다.In addition, when the thermally insulated jacket loses its heat insulation performance, condensation of the reaction gas may occur. Also, the jacket replacement operation is also troublesome because the piping environment and piping connection structure are complicated.

KR 10-1037658 B1 2011.05.23.KR 10-1037658 B1 May 23, 2011.

본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 배관 히팅을 정밀하게 제어할 수 있고 배관 히팅이 장기적으로 안정성을 유지하며 유지 보수의 편의성이 증대되는 배관 히팅 시스템을 제공하는 데에 있다.A problem to be solved by the present invention is to provide a piping heating system capable of precisely controlling piping heating, maintaining piping heating stability for a long period of time, and increasing convenience of maintenance.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 배관 히팅 시스템은, 제1파이프 및 상기 제1파이프의 일단에 구비되는 플랜지로 이루어지는 배관 단부; 상기 제1파이프의 타단에 연결되는 제2파이프, 제2파이프의 외주면에 일체로 형성되는 단턱부, 단턱부에 형성되고 상호 방사상으로 배치되는 복수의 수용홈, 상기 수용홈에 탈/부착 가능하게 삽입되는 히팅바를 포함하는 발열부; 상기 제2파이프와 연결되는 제3파이프로 이루어지는 배관 본체부; 상기 단턱부의 온도를 측정하는 열전대를 포함하는 센서부; 및 상기 열전대가 측정한 온도값을 기초로 상기 히팅바의 온도를 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a piping heating system including a first pipe and a pipe end formed of a flange provided at one end of the first pipe; A second pipe connected to the other end of the first pipe, a step portion integrally formed on an outer circumferential surface of the second pipe, a plurality of receiving grooves formed radially in the step portion, A heating unit including a heating bar inserted therein; A third pipe connected to the second pipe; A sensor unit including a thermocouple for measuring a temperature of the step portion; And a controller for controlling the temperature of the heating bar based on a temperature value measured by the thermocouple.

또한, 본 발명의 배관 히팅 시스템은, 상기 배관 본체부를 중심으로 길이방향 양단에 한 쌍의 상기 발열부가, 각 발열부의 단부에는 배관 단부가 배치되어 단위 배관을 구성하며, 상기 제어부는 복수의 단위 배관을 제어하되 각 단위 배관의 히팅바를 개별적으로 제어하는 것을 특징으로 한다.In the piping heating system of the present invention, a pair of the heat-generating portions are disposed at both ends in the longitudinal direction centering on the pipe main body portion, and a pipe end portion is disposed at the end portion of each heat-generating portion to constitute a unit pipe. And the heating bars of the respective unit pipes are individually controlled.

또한, 본 발명의 배관 히팅 시스템은, 상기 히팅바가 카트리지 히터나 시즈히터인 것을 특징으로 한다.Further, in the piping heating system of the present invention, the heating bar is a cartridge heater or a sheath heater.

또한, 본 발명의 배관 히팅 시스템은, 상기 센서부에 단턱부의 온도를 측정하는 열전대 외에도 상기 플랜지 및 제3파이프의 중심부의 온도를 측정하는 열전대가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.The piping heating system of the present invention may further include a thermocouple for measuring the temperature of the central portion of the flange and the third pipe in addition to a thermocouple for measuring the temperature of the step portion.

아울러, 본 발명의 배관 히팅 시스템은, 상기 단위 배관의 외부를 감싸는 단열재킷이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the piping heating system of the present invention is characterized by further comprising a heat insulating jacket for covering the outside of the unit piping.

본 발명의 배관 히팅 시스템에 의하면, 제1파이프와 제3파이프에 연결되는 제2파이프, 제2파이프의 외주면에 형성되는 단턱부, 단턱부에 탈/부착 가능하게 삽입되는 히팅바 및 단턱부의 온도를 측정하는 열전대를 통해, 전도열의 정밀 제어가 가능해지고 장기간 사용에도 열이 배관에 안정적으로 전도되며 유지 보수가 용이해지므로, 배관 히팅 시스템의 관리 효율이 향상되게 된다.According to the piping heating system of the present invention, the first pipe and the third pipe are connected to each other, the second pipe is connected to the third pipe, the stepped portion formed on the outer circumferential surface of the second pipe, the heating bar inserted / The heat conduction can be precisely controlled through the thermocouple, and the heat can be stably conducted to the piping even for a long period of use, facilitating the maintenance, thereby improving the management efficiency of the piping heating system.

도 1은 본 발명에 따른 배관 히팅 시스템을 도시한 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 배관 히팅 시스템을 분해 도시한 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 배관 히팅 시스템의 발열부를 분해 도시한 사시도.1 is a perspective view showing a piping heating system according to the present invention;
2 is a perspective view explaining a piping heating system according to the present invention.
3 is a perspective view explaining a heat generating unit of the piping heating system according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 배관 히팅 시스템을 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 배관 히팅 시스템을 분해 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 배관 히팅 시스템의 발열부를 분해 도시한 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view showing a piping heating system according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing an exploded view of a piping heating system according to the present invention, and FIG. 3 is a perspective view illustrating a heat generating part of a piping heating system according to the present invention, to be.

도 1, 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명은 배관 단부(10), 발열부(20), 배관 본체부(30), 센서부(40) 및 제어부로 이루어지되, 도 1과 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 배관 본체부(30)를 중심으로 길이방향(x) 양단에 한 쌍의 발열부(20)가, 각 발열부(20)의 단부에는 배관 단부(10)가 배치되어 단위 배관(1)을 구성한다.1, 2 and 3, the present invention comprises a piping end 10, a heat generating unit 20, a pipe main body 30, a sensor unit 40, and a control unit. A pair of heat generating portions 20 are arranged at both ends in the longitudinal direction x about the piping main body portion 30 as shown in Figure 1 and the piping end portion 10 is disposed at the end portion of each heat generating portion 20, Thereby constituting the piping 1.

또한, 이러한 단위 배관(1)이 상호 연결되어 반응 가스의 이송로가 형성되며, 각 단위 배관(1)의 센서부(40)가 설치된 지점에서 온도를 측정하여 그 값을 제어부로 보내면, 제어부는 측정한 온도값을 토대로 각 단위 배관(1)의 발열부(20)를 제어함으로써 이송로 내 반응 가스가 응결되지 않도록 하는 것을 특징으로 한다.When the unit pipelines 1 are connected to each other to form a transfer path for the reaction gas and the temperature is measured at the position where the sensor unit 40 of each unit piping 1 is installed and the measured value is sent to the control unit, And controls the heating unit 20 of each unit pipe 1 based on the measured temperature value so that the reaction gas in the transfer path is not condensed.

이하, 상기 구성 요소들을 중심으로 본 발명의 구체적인 내용을 설명하면, 먼저 배관 단부(10)는 한 쌍이 단위 배관(1) 길이방향(x) 양 단부에 각각 배치되는 구성으로서, 제1파이프(11) 및 상기 제1파이프(11)의 일단에 구비되는 플랜지(13)로 이루어지며, 상기 플랜지(13)를 통해 이웃하는 단위 배관(1)과 연결되게 된다.The pipe end portions 10 are arranged at both ends in the longitudinal direction x of the unit pipe 1, and the first pipe 11 And a flange 13 provided at one end of the first pipe 11 and connected to a neighboring unit pipe 1 through the flange 13.

발열부(20)는 열을 생산한 뒤 이를 배관 단부(10)와 배관 본체부(30)에 전달하는 구성으로서, 상기 제1파이프(11)의 타단에 연결되는 제2파이프(21), 제2파이프(21)의 외주면에 돌출되어 형성되는 단턱부(23), 단턱부(23)에 형성되고 상호 방사상으로 배치되는 복수의 수용홈(25), 상기 수용홈(25)에 탈/부착 가능하게 삽입되고 외부로부터 전력을 인가 받아 열을 생산하는 히팅바(27) 및 상기 수용홈(25)의 노출면을 차폐하는 환형의 커버(29)로 이루어진다.The heat generating unit 20 generates heat and transmits the heat to the pipe end 10 and the pipe main body 30. The second pipe 21 connected to the other end of the first pipe 11, A plurality of receiving grooves 25 formed radially from each other and formed on the step 23 so as to be detachable and attachable to the receiving grooves 25; A heating bar 27 which is inserted into the receiving groove 25 and generates heat by receiving electric power from the outside, and an annular cover 29 which shields the exposed surface of the receiving groove 25.

상기 제2파이프(21)는 상기 제1파이프(11)와 후술할 배관 본체부(30)의 제3파이프(31)와 동일 내경과 외경을 갖도록 제작되며, 주로 맞대기 용접을 통해 양단이 제1파이프(11)와 제3파이프(31)에 각각 접합되게 된다.The second pipe 21 is manufactured to have the same inner diameter and outer diameter as the first pipe 11 and the third pipe 31 of the pipe main body 30 to be described later. And are joined to the pipe 11 and the third pipe 31, respectively.

상기 히팅바(27)로는 막대 형상의 할로겐봉이나 세라믹봉 또는 카트리지 히터나 시즈히터가 사용되며 이중, 단턱부(23)의 재질과 유사한 탄소강 재질로 이루어져 단턱부(23)로의 열전도가 용이한 카트리지 히터나 시즈히터가 권장된다.The heating bar 27 may be a bar-shaped halogen bar, a ceramic bar, a cartridge heater, or a sheath heater. The heating bar 27 may be made of a carbon steel material similar to the material of the step 23, A heater or sheath heater is recommended.

또한, 상기 히팅바(27)는 수용홈(25)에 삽입시 밀착면을 통해 단턱부(23)로 열이 전도되도록 수용홈(25)의 내경과 동일한 외경을 갖도록 제작되며, 일단에는 외부로부터 전력을 인가 받기 위한 케이블 연결용 단자(27a)가 구비된다.The heating bar 27 is manufactured to have an outer diameter equal to the inner diameter of the receiving groove 25 so that heat is conducted to the step 23 through the contact surface when the receiving bar 25 is inserted into the receiving groove 25, And a cable connection terminal 27a for receiving power is provided.

한편, 히팅바(27)의 열은 단턱부(23)를 통해 제2파이프(21)에 전도되고, 제2파이프(21)에 전도된 열의 일부는 다시 제1파이프(11)와 제3파이프(31)에 전도되어 단위 배관(1)의 내부를 가열하게 되는데, 보다 효과적인 열전도를 위해 제2파이프(21)와 단턱부(23)는 일체형으로 제작된다.On the other hand, the heat of the heating bar 27 is conducted to the second pipe 21 through the step 23, and a part of the heat conducted to the second pipe 21 passes again through the first pipe 11, The second pipe 21 and the step portion 23 are integrally formed for more effective heat conduction.

이와 같이, 본 배관 히팅 시스템에서는 발열체인 히팅바(27)가 단턱부(23)에 형성되는 수용홈(25)에 삽입되는 구조를 통해, 수명이 다하거나 고장난 히팅바(27)를 신속하고 손쉽게 교체할 수 있다.In this piping heating system, the heating bar 27, which is a heating element, is inserted into the receiving groove 25 formed in the step 23, so that the heating bar 27 whose life is short or has failed can be quickly and easily Can be replaced.

또한, 기존 열선 코일이 갖는 코일 상호 간의 간격 불량이나 배관 밀착 불량과 같은 문제가 해소된 상태에서 후술할 열전대(41)와 제어부를 통해 히팅바(27)를 제어하게 되므로, 단위 배관(1)의 히팅을 정밀하게 제어할 수 있는 동시에 열전도가 장기적으로 안정성을 유지할 수 있다.In addition, since the heating bar 27 is controlled by the thermocouple 41 and the control unit, which will be described later, in the state where the problems such as the gap between the coils of the existing hot-wire coil and the poor adhesion of the pipe are eliminated, The heating can be precisely controlled and the thermal conductivity can be maintained in the long term stability.

상기 수용홈(25)은 제2파이프(21)의 직경 즉, 단위 배관(1)의 관경에 따라 복수 개가 선택적으로 형성되며, 커버(29)에는 커버(29)을 단턱부(23)에 고정하기 위한 체결홀(29a)과 단자(27a)와 후술할 열전대(41)에 연결되는 케이블의 진입을 위한 통공(29b)이 형성된다.A plurality of the receiving grooves 25 are selectively formed in accordance with the diameter of the second pipe 21 or the diameter of the unit pipe 1 and the cover 29 is fixed to the step 23 A through hole 29b for entry of a cable which is connected to the terminal 27a and a thermocouple 41 to be described later is formed.

배관 본체부(30)는 앞서 언급한 바와 같이 양단이 제2파이프(21)와 연결되는 제3파이프(31)로 이루어지는데, 본 발명에 따른 단위 배관(1)이 직관 형태로 제작되는 경우 외에도, 엘보관(elbow tube)과 같이 90˚나 그 외의 각도로 굴절되는 구조로 제작되는 경우에는, 상기 제3파이프(31)의 길이방향(x) 중심부(c)가 해당 각도로 굴절된다.The piping body 30 is formed of a third pipe 31 having both ends connected to the second pipe 21 as described above. In addition to the case where the unit piping 1 according to the present invention is manufactured in an intuition And elbow tube, the central portion (c) of the third pipe (31) in the longitudinal direction (x) is bent at an appropriate angle.

센서부(40)는 단위 배관(1)의 특정 지점 온도를 측정하는 구성으로서, 여기에는 주로 열전대(41)가 사용되며 통상, 복수의 열전대(41)가 플랜지(13), 단턱부(23) 및 제3파이프(31)의 중심부(c)에 설치되어 온도 측정 작업을 수행하게 된다.A thermocouple 41 is mainly used for measuring the temperature of a specific point of the unit piping 1 and a plurality of thermocouples 41 are arranged on the flange 13 and the step 23, And the central portion (c) of the third pipe (31) to perform a temperature measurement operation.

즉, 히팅바(27)에서 발생한 열이 파이프(11, 21, 31)로 전도되는 과정에서 열 손실이 발생하여, 단위 배관(1) 전체 부위 중에 플랜지(13)와 중심부(c)가 가장 저온인 상태에 있게 되는데, 상기 지점(13, c)의 온도 측정과 제어부의 제어를 통해 플랜지(13)와 중심부(c)의 온도를 응결 개시 온도 이상으로 유지하게 되면, 해당 단위 배관(1)에서는 반응 가스의 응결이 발생하지 않게 된다.That is, heat generated in the heating bar 27 is transferred to the pipes 11, 21 and 31, so that the flange 13 and the central portion c are located at the lowest temperature If the temperatures of the flange 13 and the central portion c are maintained at a temperature higher than the condensation start temperature through the temperature measurement of the points 13 and c and the control of the control portion, Condensation of the reaction gas does not occur.

한편, 단턱부(23)에 설치되는 열전대(41)는 단턱부(23)의 온도를 실시간으로 모니터링 함으로써 히팅바(27) 고장 시 신속한 조치를 취할 수 있다. On the other hand, the thermocouple 41 installed in the step 23 can monitor the temperature of the step 23 in real time so that quick action can be taken when the heating bar 27 fails.

즉, 히팅바(27)의 고장으로 열전도가 중단되면 소정의 시간이 경과한 후에 관 내부의 온도가 응결 개시 온도 이하로 떨어지게 되는데, 플랜지(13)와 중심부(c)에 설치된 열전대(41) 만으로 단위 배관(1)의 온도를 모니터링 할 경우에는, 응결 개시 시점에서 히팅바(27)의 고장을 인지하게 되어 응결이 발생한 뒤에 조치가 취해질 소지가 있으나, 단턱부(23)에 설치되는 열전대(41)를 통해 히팅바(27)의 고장 발생 여부를 보다 신속하게 인지할 수 있으므로 위와 같은 사후 조치를 방지할 수 있다.That is, when the heat conduction is stopped due to the failure of the heating bar 27, the temperature inside the tube falls below the condensation start temperature after a predetermined time has elapsed. Only the thermocouple 41 provided at the flange 13 and the central portion c When the temperature of the unit piping 1 is monitored, there is a possibility that the heating bar 27 will fail at the start of the condensation and measures may be taken after the condensation has occurred. However, if the temperature of the thermocouple 41 It is possible to recognize the occurrence of a failure of the heating bar 27 more quickly so that the above-mentioned post-treatment can be prevented.

제어부는 통상 피엘씨(PLC : programmable logic controller) 형태로 제공되거나 또는 본 시스템이 구축된 설비의 관제실 컴퓨터에 프로그램 형식으로 구비되며, 응결 개시 온도 등의 기초 정보가 기 입력된 상태에서 열전대(41)로부터 입수된 온도값과의 비교를 통해, 단위 배관(1)의 온도를 응결 개시 온도 이상으로 유지하도록 히팅바(27)의 온도를 제어한다.The control unit Or in the form of a programmable logic controller (PLC), or in the form of a program in the control room computer of the facility in which the present system is installed, and the basic information such as the condensation start temperature is input from the thermocouple 41 The temperature of the heating bar 27 is controlled so as to keep the temperature of the unit pipe 1 at or above the condensation start temperature.

또한, 설치 주변의 환경에 따라 각 단위 배관(1)의 주변 온도는 상이할 수 있는데, 본 시스템은 개별 단위 배관(1) 별로 온도를 모니터링 함으로써 고장 발생 지점을 신속히 파악할 수 있고 또한, 주변 온도에 맞추어 각 단위 배관(1)의 히팅바(27) 온도를 독립적으로 제어함으로써 소모 전력의 절약을 기할 수 있어, 관리 효율 향상을 도모할 수 있다.Further, the ambient temperature of each unit piping 1 may be different depending on the environment around the installation. In this system, the temperature can be monitored for each individual unit piping 1 to quickly identify the point where the failure occurs, Accordingly, the temperature of the heating bar 27 of each unit pipe 1 can be independently controlled, so that the power consumption can be saved and the management efficiency can be improved.

한편, 반도체 제작의 각 공정이 수행되는 챔버는 통상 외기와 차단되고 항온 항습이 이루어지므로, 단위 배관(1)이 챔버 내부에 설치되는 경우에는 단위 배관(1)이 노출된 상태로 설치되나, 챔버의 외부에 설치되어 외부 환경(바람)에 노출되는 경우에는, 이러한 외부 영향을 차단하기 위해 단위 배관(1)의 외부를 감싸는 단열재킷(미도시)이 더 구비될 수 있다.Since the chamber in which the semiconductor manufacturing process is performed is normally shut off from the outside air and is subjected to constant temperature and humidity, when the unit piping 1 is installed inside the chamber, the unit piping 1 is installed in an exposed state, A heat insulating jacket (not shown) may be further provided to surround the outside of the unit pipe 1 in order to block such external influences when the unit pipe 1 is exposed to the outside environment (wind).

또한, 단열재킷이 노후로 교체가 필요한 경우에는, 교체 작업의 편의를 위해 단열재킷에는 길이방향(x)으로 탈/부착용 벨크로가 더 구비될 수 있다.In addition, when the heat insulating jacket needs to be replaced after the aging, the heat insulating jacket may be further provided with a Velcro for attaching / detaching in the longitudinal direction (x) for convenience of the replacement work.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 아니하며 본 발명의 실시예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리범위가 미치는 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

10: 배관 단부
11: 제1파이프 13: 플랜지
20: 발열부
21: 제2파이프 23: 단턱부
25: 수용홈 27: 히팅바
29: 커버
30: 배관 본체부
31: 제3파이프
40: 센서부
41: 열전대10: piping end
11: first pipe 13: flange
20:
21: second pipe 23:
25: receiving groove 27: heating bar
29: cover
30: pipe main body part
31: Third pipe
40:
41: Thermocouple

Claims (5)

제1파이프(11) 및 상기 제1파이프(11)의 일단에 구비되는 플랜지(13)로 이루어지는 배관 단부(10);
상기 제1파이프(11)의 타단에 연결되는 제2파이프(21), 제2파이프(21)의 외주면에 일체로 형성되는 단턱부(23), 단턱부(23)에 형성되고 상호 방사상으로 배치되는 복수의 수용홈(25), 상기 수용홈(25)에 탈/부착 가능하게 삽입되는 히팅바(27)를 포함하는 발열부(20);
상기 제2파이프(21)와 연결되는 제3파이프(31)로 이루어지는 배관 본체부(30);
상기 단턱부(23)의 온도를 측정하는 열전대(41)를 포함하는 센서부(40); 및
상기 열전대(41)가 측정한 온도값을 기초로 상기 히팅바(27)의 온도를 제어하는 제어부;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 배관 히팅 시스템.
A pipe end (10) comprising a first pipe (11) and a flange (13) provided at one end of the first pipe (11);
A second pipe 21 connected to the other end of the first pipe 11, a step 23 formed integrally on an outer circumferential surface of the second pipe 21, A heating portion 20 including a plurality of receiving grooves 25, and a heating bar 27 detachably inserted into the receiving groove 25;
A pipe main body portion 30 comprising a third pipe 31 connected to the second pipe 21;
A sensor part (40) including a thermocouple (41) for measuring the temperature of the step portion (23); And
A control unit for controlling the temperature of the heating bar 27 based on a temperature value measured by the thermocouple 41;
Wherein the piping heating system comprises:
제 1항에 있어서,
상기 배관 본체부(30)를 중심으로 길이방향(x) 양단에 한 쌍의 상기 발열부(20)가, 각 발열부(20)의 단부에는 배관 단부(10)가 배치되어 단위 배관(1)을 구성하며, 상기 제어부는 복수의 단위 배관(1)을 제어하되 각 단위 배관(1)의 히팅바(27)를 개별적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 배관 히팅 시스템.
The method according to claim 1,
A pair of the heat generating portions 20 are arranged at both ends in the longitudinal direction x about the pipe main body portion 30 and a pipe end portion 10 is disposed at the end portion of each heat generating portion 20, Wherein the control unit controls the plurality of unit pipes 1 and controls the heating bars 27 of the unit pipes 1 individually.
제 1항에 있어서,
상기 히팅바(27)는 카트리지 히터나 시즈히터인 것을 특징으로 하는 배관 히팅 시스템.
The method according to claim 1,
Wherein the heating bar (27) is a cartridge heater or a sheath heater.
제 1항에 있어서,
상기 센서부(40)에는 단턱부(23)의 온도를 측정하는 열전대(41) 외에도 상기 플랜지(13) 및 제3파이프(31)의 중심부(c)의 온도를 측정하는 열전대(41)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 배관 히팅 시스템.
The method according to claim 1,
The sensor unit 40 further includes a thermocouple 41 for measuring the temperature of the center portion c of the flange 13 and the third pipe 31 in addition to the thermocouple 41 for measuring the temperature of the step 23 Wherein the piping heating system comprises:
제 2항에 있어서,
상기 단위 배관(1)의 외부를 감싸는 단열재킷이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 배관 히팅 시스템.3. The method of claim 2,
Further comprising a heat insulating jacket surrounding the outside of the unit piping (1).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR102248241B1 (en) * 2019-12-06 2021-05-06 (주)리잰 Pipe Kit to prevent pressure transmitter port blockage

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101037658B1 (en) 2010-04-07 2011-05-27 (주)오티에스 Electric equipment

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