KR20190069324A - 권취 유닛 - Google Patents

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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은 테이프 접착 장치에 있어서, 연속해서 가공물 세트의 형성을 가능하게 하면서, 권취된 보호 필름이 폐기되도록 하는 것을 목적으로 한다.
띠형의 보호 필름(21)을 파지(把持)하는 파지부(500)를 구비하며 마주보도록 배치되는 권취부(50A, 50B)와, 권취부(50A, 50B)를 회전시키는 회전 기구(51A, 51B)와, 한쪽의 권취부를 다른쪽의 권취부에 대해 접근 또는 이격시키는 진퇴 수단(52A, 52B)을 구비하고, 필름(21)을 권취할 때에는, 파지부(500)로 필름(21)을 파지시키고, 회전 기구(51A, 51B)로 권취부(50A, 50B)를 회전시켜 필름(21)을 권취시키며, 권취된 필름(21)을 폐기할 때에는, 각 파지부(500)가 필름(21)을 분리하고, 권취부(50A, 50B)를 그 사이의 거리가 필름(21)의 폭보다 커지도록 진퇴 수단(52A, 52B)으로 이격시켜 필름(21)을 발취(拔取)하여 폐기하는 것인, 권취 유닛(5)이다.

Description

권취 유닛{WINDING UNIT}
본 발명은 점착 테이프를 박리한 보호 필름을 권취하는 권취 유닛에 관한 것이다.
링 프레임과 웨이퍼를 점착 테이프를 통해 일체화시킨 가공물 세트를 형성하는 테이프 접착 장치(예컨대, 특허문헌 1 참조)는, 링 프레임의 개구 내에 웨이퍼를 배치하고, 링 프레임과 웨이퍼에 점착 테이프를 접착하고 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2015-220365호 공보
특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같은 테이프 접착 장치에서 사용되는 점착 테이프는, 링 프레임의 개구를 막는 크기의 원형의 기재(基材)에 점착층을 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 점착 테이프는, 띠형의 보호 필름 상에 보호 필름의 연장 방향으로 균등 간격으로 점착층이 접착된 상태로 배치되어 있고, 점착 테이프가 접착된 보호 필름은, 롤형으로 감겨져 테이프 롤을 형성한 상태로 유통되고 있다.
테이프 접착 장치에 있어서, 점착 테이프는 보호 필름으로부터 박리되어 링 프레임과 웨이퍼에 접착된다. 그리고, 점착 테이프가 박리된 보호 필름은, 테이프 접착 장치가 구비하는 권취봉에 의해 권취된다. 권취봉이 보호 필름을 일정량 권취하면, 웨이퍼 및 링 프레임에 대한 점착 테이프의 접착이 일시 정지되고, 작업자에 의해 테이프 접착 장치로부터 권취봉이 떼내어진다. 그리고, 권취봉으로부터 보호 필름이 발취(拔取)된 후, 작업자에 의해 재차 테이프 접착 장치에 권취봉이 장착되어 장치가 재가동된다. 그리고, 권취봉으로부터 발취된 보호 필름은 폐기된다.
상기한 바와 같이, 권취된 보호 필름을 폐기할 때에는, 테이프 접착 장치를 일단 정지시키고 나서, 작업자가 권취봉을 떼어내는 작업이 필요해져 수고와 시간이 든다는 문제가 있다.
따라서, 테이프 접착 장치에 있어서는, 효율적으로 연속해서 가공물 세트의 형성을 가능하게 하기 위해서, 작업자가 테이프 접착 장치로부터 보호 필름이 감겨진 권취봉을 떼어내고, 보호 필름을 권취봉으로부터 발취하여 재차 장착하는 작업을 행하지 않고, 권취된 보호 필름을 정기적으로 폐기할 수 있도록 한다는 과제가 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 개구를 갖는 링 프레임을 지지하며 상기 개구에 위치된 웨이퍼를 지지하는 테이블을 구비하고, 띠형의 보호 필름에 접착되고 링 프레임의 상기 개구를 막는 크기의 원형의 점착 테이프를 상기 보호 필름으로부터 박리하여 링 프레임과 웨이퍼에 접착하여 일체화시켜 가공물 유닛을 형성하는 테이프 접착 장치에 있어서의, 상기 점착 테이프가 박리된 상기 보호 필름을 권취하는 권취 유닛으로서, 상기 띠형의 보호 필름의 측단 부분을 파지(把持)하는 파지부를 각각 구비하며 마주보도록 배치되는 2개의 권취부와, 상기 권취부를 각각 회전시키는 2개의 회전 기구와, 상기 2개의 권취부 중 한쪽의 권취부를 다른쪽의 권취부에 대해 축 방향으로 접근 또는 이격시키는 진퇴 수단을 구비하고, 상기 2개의 권취부가 상기 보호 필름을 권취할 때에는, 각각의 상기 파지부로 상기 보호 필름을 파지시키고, 상기 회전 기구로 상기 권취부를 회전시켜, 상기 보호 필름을 상기 권취부에 권취시키고, 상기 2개의 권취부에 권취된 상기 보호 필름을 폐기할 때에는, 각각의 상기 파지부가 파지하고 있는 상기 보호 필름을 분리하고, 마주보고 있는 2개의 상기 권취부를 그 사이의 거리가 상기 보호 필름의 폭보다 커지도록 상기 진퇴 수단에 의해 이격시키며, 상기 권취부로부터 상기 보호 필름을 발취하여 폐기하는 것인, 권취 유닛이다.
상기 권취부는, 상기 보호 필름이 상기 파지부에 의해 파지될 때에 통과되는 진입구를 구비하고, 상기 보호 필름을 휘감는 외측면에 있어서, 상기 진입구 근처에서 마주보고 있는 상기 권취부의 선단을 직경 축소시킨 테이퍼면이 형성되면 바람직하다.
상기 진퇴 수단은, 상기 축 방향으로 상기 권취부를 이동시키는 구동원이 되는 진퇴용 모터와, 상기 진퇴용 모터의 부하 전류값을 검출하는 진퇴 부하 검지부를 구비하고, 상기 2개의 파지부가 상기 보호 필름을 파지한 후, 상기 진퇴 수단으로 상기 2개의 권취부를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킬 때에 상기 진퇴 부하 검지부가 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값 이상인 경우에는 상기 파지부가 상기 보호 필름을 파지하고 있다고 판단하고, 검출한 상기 부하 전류값이 상기 설정값보다 작은 경우에는 상기 파지부가 상기 보호 필름을 파지하고 있지 않다고 판단하는 파지 판단부를 더 구비하면 바람직하다.
상기 회전 기구는, 회전 구동원이 되는 회전용 모터와, 상기 회전용 모터의 부하 전류값을 검출하는 회전 부하 검지부를 구비하고, 상기 2개의 권취부가 권취한 상기 보호 필름을 폐기할 때에, 상기 진퇴 수단으로 상기 2개의 권취부를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨 후, 상기 회전 기구로 상기 권취부를 회전시켰을 때에 상기 회전 부하 검지부가 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값보다 작은 경우에는 상기 보호 필름이 상기 권취부로부터 발취되었다고 판단하고, 상기 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값 이상인 경우에는 상기 권취부로부터 상기 보호 필름이 발취되어 있지 않다고 판단하는 발취 판단부를 더 구비하면 바람직하다.
본 발명에 따른 권취 유닛은, 띠형의 보호 필름의 측단 부분을 파지하는 파지부를 각각 구비하며 마주보도록 배치되는 2개의 권취부와, 권취부를 각각 회전시키는 2개의 회전 기구와, 2개의 권취부 중 한쪽의 권취부를 다른쪽의 권취부에 대해 축 방향으로 접근 또는 이격시키는 진퇴 수단을 구비하기 때문에, 2개의 권취부가 보호 필름을 권취할 때에는, 각각의 파지부로 보호 필름을 파지시키고, 회전 기구로 권취부를 회전시켜, 보호 필름을 권취부에 권취시키고, 2개의 권취부에 권취된 보호 필름을 폐기할 때에는, 각각의 파지부가 파지하고 있는 보호 필름을 분리하고, 마주보고 있는 2개의 권취부를 그 사이의 거리가 보호 필름의 폭보다 커지도록 진퇴 수단에 의해 이격시키며, 권취부로부터 보호 필름을 발취하여 폐기할 수 있다. 따라서, 종래와 같이, 작업자가 테이프 접착 장치로부터 보호 필름이 감겨진 권취봉을 떼어내고, 보호 필름을 권취봉으로부터 발취하여 재차 장착한다고 하는 작업을 행할 필요가 없고, 권취된 보호 필름을 정기적으로 폐기할 수 있다.
권취부는, 보호 필름이 파지부에 의해 파지될 때에 통과되는 진입구를 구비하고, 보호 필름을 휘감는 외측면에 있어서, 진입구 근처에서 마주보고 있는 권취부의 선단을 직경 축소시킨 테이퍼면이 형성됨으로써, 2개의 권취부가 진입구로 통과된 보호 필름을 상기 테이퍼면 상에 겹쳐지도록 권취해 감으로써, 보호 필름을 폐기할 때에 보다 용이하게 권취부로부터 보호 필름을 발취하는 것이 가능해진다.
진퇴 수단은, 축 방향으로 권취부를 이동시키는 구동원이 되는 진퇴용 모터와, 진퇴용 모터의 부하 전류값을 검출하는 진퇴 부하 검지부를 구비하고, 2개의 파지부가 보호 필름을 파지한 후, 진퇴 수단으로 2개의 권취부를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킬 때에 진퇴 부하 검지부가 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값 이상인 경우에는 파지부가 보호 필름을 파지하고 있다고 판단하고, 검출한 부하 전류값이 설정값보다 작은 경우에는 파지부가 보호 필름을 파지하고 있지 않다고 판단하는 파지 판단부를 더 구비함으로써, 파지부가 보호 필름을 파지하고 있지 않은 상태에서 회전 기구가 권취부를 회전시켜 버려, 권취 에러가 발생해 버리는 사태가 발생하는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
회전 기구는, 회전 구동원이 되는 회전용 모터와, 회전용 모터의 부하 전류값을 검출하는 회전 부하 검지부를 구비하고, 2개의 권취부가 권취한 보호 필름을 폐기할 때에, 진퇴 수단에 의해 2개의 권취부를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨 후, 회전 기구로 권취부를 회전시켰을 때에 회전 부하 검지부가 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값보다 작은 경우에는 보호 필름이 권취부로부터 발취되었다고 판단하고, 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값 이상인 경우에는 권취부로부터 보호 필름이 발취되어 있지 않다고 판단하는 발취 판단부를 더 구비함으로써, 예컨대, 롤형으로 권취된 보호 필름이 각 권취부로부터 발취되어 있지 않은 상태에서 권취 유닛이 새로운 보호 필름의 권취를 개시시켜 버려, 장치 에러가 발생해 버리는 사태가 발생하는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
도 1은 권취 유닛을 구비하는 테이프 접착 장치의 일례를 도시한 모식도이다.
도 2는 권취 유닛의 일례를 도시한 사시도이다.
도 3은 권취 유닛이 권취한 보호 필름을 폐기하는 경우를 도시한 사시도이다.
도 1에 도시된 테이프 접착 장치(1)는, 점착 테이프(20)와 링 프레임(F)과 웨이퍼(W)로 이루어지는 가공물 유닛(WU)을 형성할 수 있는 장치이고, 예컨대 상자형의 케이스(10)를 구비한다. 그리고, 케이스(10)의 내부에는, 개구를 갖는 링 프레임(F)을 지지하며 개구에 위치된 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(30)과, 점착 테이프(20), 보호 필름(21), 및 권통(22)으로 이루어지는 테이프 롤(2)을 지지하는 지지 롤러(12)와, 점착 테이프(20)를 보호 필름(21)으로부터 박리하는 박리판(14)과, 점착 테이프(20)를 링 프레임(F) 및 웨이퍼(W)에 밀어붙이는 압박 롤러(16)와, 점착 테이프(20)가 박리된 보호 필름(21)을 권취하는 본 발명에 따른 권취 유닛(5)이 배치된다. 한편, 본 발명에 따른 권취 유닛(5)이 배치되는 테이프 접착 장치는, 본 실시형태에 나타낸 테이프 접착 장치(1)에 한정되는 것이 아니다.
원형 형상의 점착 테이프(20)는, 수지로 이루어지는 기재층과, 기재층의 한쪽 면에 형성되는 풀층으로 이루어진다. 점착 테이프(20)는, 띠형의 보호 필름(21) 상에 보호 필름(21)의 연장 방향으로 균등 간격으로 풀층이 접착된 상태로 배치되고, 이 보호 필름(21)에 의해 접착 전의 점착 테이프(20)의 점착면은 보호된다. 예컨대 폴리에스테르 등의 수지로 이루어지는 보호 필름(21)은, 보호 필름(21)측을 내측에 위치시키도록 원통형의 권통(22)에 권취되고, 이에 의해 롤형의 테이프 롤(2)이 형성된다. 보호 필름(21)은, 점착 테이프(20)를 웨이퍼(W) 및 링 프레임(F)에 접착하기 전에 박리된다.
웨이퍼(W)는, 예컨대, 외형이 원형 형상인 반도체 웨이퍼이다. SUS 등으로 이루어지는 환형의 링 프레임(F)은, 웨이퍼(W)의 직경보다 대직경의 개구를 구비ㅎ한. 점착 테이프(20)의 직경은, 링 프레임(F)의 개구를 막을 수 있도록 링 프레임(F)의 개구 직경보다 대직경이고, 또한, 보호 필름(21)의 Y축 방향의 폭보다 작게 이루어진다.
테이프 롤(2)의 권통(22)에는, 예컨대 케이스(10)의 천장에 지지 부재(120)를 통해 부착되는 지지 롤러(12)가 삽입 관통되고, 테이프 롤(2)은 지지 롤러(12)에 의해 중공이며 회전 가능한 상태로 지지된다. 지지 롤러(12)의 일단측에는, 모터 등의 회전 구동 기구(도시하지 않음)가 연결되고, 이 회전 구동 기구의 회전력에 의해, 지지 롤러(12)는 Y축 방향의 축심 주위로 회전한다. 지지 롤러(12)는, 테이프 롤(2)보다 Y축 방향으로 길어지도록 형성되고, 테이프 롤(2) 전체를 지지한다.
지지 롤러(12)의 비스듬히 하방에는, 점착 테이프(20)로부터 보호 필름(21)을 박리하는 박리판(14)이 Y축 방향으로 연장되도록 설치된다. 박리판(14)은, 지지 롤러(12)로부터 먼 일단측을 하방에 위치시키도록 X축 Y축 평면에 대해 경사져 있고, 일단측으로 향함에 따라 얇아진다. 박리판(14)의 Y축 방향의 폭은, 점착 테이프(20)의 직경보다 크게 이루어진다.
보호 필름(21)은, 박리판(14)의 일단측에서 접혀지도록 하여 점착 테이프(20)로부터 박리된다. 박리판(14)의 일단과 근접하는 위치에는, 보호 필름(21)이 박리되어 하방에 풀층이 노출된 점착 테이프(20)를 하향으로 압박하는 압박 롤러(16)가 배치된다. 또한, 박리판(14) 및 압박 롤러(16)보다 낮은 위치에는, 웨이퍼(W) 및 링 프레임(F)을 지지하는 테이블(30)이 설치된다.
예컨대, 박리판(14)으로부터, -X 방향으로 적어도 링 프레임(F)의 직경 이상 떨어진 위치에는, Y축 방향으로 연장되는 도시하지 않은 한 쌍의 늘어짐 방지 롤러가 배치되고, 점착 테이프(20)가 박리된 보호 필름(21)은, 한 쌍의 늘어짐 방지 롤러에 의해 상하로부터 끼워져 웨이퍼(W) 및 링 프레임(F)의 상방에서 늘어지지 않도록 되면서, 권취 유닛(5)에 의해 권취되어 간다.
원형의 테이블(30)의 상면 중앙에는, 웨이퍼(W)를 지지하는 제1 지지면(30a)이 형성된다. 또한, 제1 지지면(30a) 주위에는, 개구 내에 웨이퍼(W)가 위치된 상태의 링 프레임(F)을 지지하는 제2 지지면(30b)이 설치된다. 예컨대, 제1 지지면(30a)은, 제2 지지면(30b)보다 약간 높은 위치에 형성되고, 웨이퍼(W) 및 링 프레임(F)의 상면이 대략 동일한 높이에 위치되도록 이루어진다. 테이블(30)의 하방에는, 이동 기구(도시하지 않음)가 설치되고, 테이블(30)은, 이 이동 기구에 의해 Y축 방향에 수평면에서 직교하는 X축 방향으로 이동 가능하게 된다.
예컨대, 지지 롤러(12)의 하방에서 테이블(30)로부터 -X 방향측으로 소정 거리만큼 떨어진 위치에, 본 발명에 따른 권취 유닛(5)이 배치된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 권취 유닛(5)은, 띠형의 보호 필름(21)의 Y축 방향의 측단 부분을 파지하는 파지부(500)를 각각 구비하며 Y축 방향에서 마주보도록 배치되는 2개의 권취부(50A, 50B)와, 권취부(50A, 50B)를 각각 회전시키는 2개의 회전 기구(51A, 51B)와, 2개의 권취부(50A, 50B) 중 한쪽의 권취부(50A)를 다른쪽의 권취부(50B)에 대해 축 방향(Y축 방향)으로 접근 또는 이격시키는 진퇴 수단(52A)과, 다른쪽의 권취부(50B)를 한쪽의 권취부(50A)에 대해 축 방향(Y축 방향)으로 접근 또는 이격시키는 진퇴 수단(52B)을 구비한다.
진퇴 수단(52A)은, 예컨대, Y축 방향으로 연장되는 판형의 지지 베이스(59)의 전면(前面)에 배치되고, Y축 방향의 축심을 갖는 볼 나사(520)와, 볼 나사(520)와 평행하게 배치되는 한 쌍의 가이드 레일(521)과, 볼 나사(520)의 +Y 방향측의 일단에 연결되고 축 방향으로 권취부(50A)를 이동시키는 구동원이 되는 진퇴용 모터(522)와, 회전 기구(51A) 및 권취부(50A)가 배치되는 가동 부재(523)를 구비한다. 가동 부재(523)는, 볼 나사(520)에 나사 결합하는 너트를 내부에 구비하고 한 쌍의 가이드 레일(521) 상에 미끄럼 이동 가능하게 배치되는 블록(523a)과, 블록(523a)의 전면에 +X 방향측을 향해 돌출되어 설치되고 그 내측면에 권취부(50A)가 배치되는 지지판(523b)을 구비한다.
진퇴용 모터(522)가 볼 나사(520)를 회동시키면, 이에 따라 가동 부재(523)가 한 쌍의 가이드 레일(521)에 가이드되어 Y축 방향으로 이동하고, 가동 부재(523)에 의해 지지되는 권취부(50A)가 Y축 방향으로 이동한다.
예컨대, 진퇴용 모터(522)에는, 진퇴용 모터(522)의 부하 전류값을 검출하는 진퇴 부하 검지부(527)가 전기적으로 접속된다.
권취부(50B)를 Y축 방향으로 이동시키는 도 2에 도시된 진퇴 수단(52B)은, 진퇴 수단(52A)과 동일한 구성으로 되어 있기 때문에 설명을 생략한다.
권취부(50A)를 회전시키는 회전 기구(51A)는, 회전 구동원이 되는 회전용 모터(510)를 구비하고, 회전용 모터(510)는, 예컨대, 모터 샤프트(510b)가 지지판(523b)의 외측면측으로 돌출되도록 하여 지지판(523b)의 선단측에 배치된다. 지지판(523b)의 내측면에 있어서의 회전용 모터(510)의 비스듬히 하방이 되는 위치에는, 권취부(50A)가 배치된다. 권취부(50A)는, 축 방향이 Y축 방향인 회전축(501)을 구비하고, 회전축(501)의 후단측(+Y 방향측)은, 지지판(523b)에 의해 회전 가능하게 지지되며 지지판(523b)의 외측면으로부터 돌출된다.
회전용 모터(510)의 모터 샤프트(510b)에는, 주동(主動) 풀리(511)가 부착되고, 주동 풀리(511)에는 무단 벨트(512)가 감긴다. 권취부(50A)의 회전축(501)의 후단측에는 종동 풀리(513)가 부착되고, 무단 벨트(512)는, 이 종동 풀리(513)에도 감긴다. 회전용 모터(510)가 주동 풀리(511)를 회전 구동함으로써, 주동 풀리(511)의 회전에 따라 무단 벨트(512)가 회동하고, 무단 벨트(512)가 회동함으로써 종동 풀리(513) 및 회전축(501)이 회전한다.
예컨대, 회전용 모터(510)에는, 회전용 모터(510)의 부하 전류값을 검출하는 회전 부하 검지부(518)가 전기적으로 접속된다.
도 2에 도시된 권취부(50B)를 회전시키는 회전 기구(51B)는, 회전 기구(51A)와 동일한 구성으로 되어 있기 때문에 설명을 생략한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 권취부(50A)는, 예컨대, 파지부(500)와, 상기 회전축(501)과, 파지부(500)를 내부에 수용하는 케이싱(502)과, 회전축(501)의 선단측에 고정되고 파지부(500)를 케이싱(502) 내부에서 지지하는 지지대(503)를 구비한다.
케이싱(502)은, 예컨대, 대략 원통형의 외형을 구비하고, 그 외측면에 보호 필름(21)이 휘감겨진다. 케이싱(502)은 길이 방향(Y축 방향)의 중간부로부터 외부 직경이 선단측(-Y 방향측)을 향해 축소되고, 케이싱(502)의 외측면의 일부는 케이싱(502)의 선단측을 향해 경사진 테이퍼면(502a)으로 이루어진다.
케이싱(502)의 선단측에는, 보호 필름(21)이 파지부(500)에 의해 파지될 때에 통과되는 진입구(502b)가 형성된다. 예컨대, 진입구(502b)는, 케이싱(502)의 선단으로부터 길이 방향의 중간부 부근까지 슬릿형으로 잘라 내어져 형성된다.
지지대(503)는, 예컨대 측면에서 보아 L자형의 외형을 구비하고, 고정 볼트(503a)에 의해 케이싱(502)에 고정된다. 그리고, 회전축(501)의 회전에 따라 지지대(503), 케이싱(502), 및 지지대(503)에 지지되는 파지부(500)가 일체적으로 회전한다.
파지부(500)는, 예컨대, 지지대(503)의 상면에 고정되는 클램프판(500b)과, 지지대(503)의 상면에 배치되고 클램프판(500a)을 상하 이동시키는 실린더 기구(500c)와, 클램프판(500b)과의 사이에 진입한 보호 필름(21)을 클램프판(500b)과 함께 파지하는 클램프판(500a)을 구비한다.
권취부(50A)에 Y축 방향에서 마주보도록 하여 진퇴 수단(52B)의 지지판(523b)에 배치되는 권취부(50B)는, 권취부(50A)와 동일한 구성을 구비하기 때문에 설명을 생략한다.
예컨대, 권취 유닛(5)의 하방에는, 권취 유닛(5)이 롤형으로 권취한 보호 필름(21)을 낙하시켜 폐기할 때에, 폐기된 보호 필름(21)이 수용되는 도시하지 않은 더스트 박스가 설치된다.
이하에, 도 1에 도시된 테이프 접착 장치(1)에 의해 가공물 유닛을 형성할 때의 권취 유닛(5)의 동작에 대해 설명한다.
예컨대, 테이프 접착 장치(1)는, 도시하지 않은 보호 필름 인출 기구를 구비하고, 상기 보호 필름 인출 기구에 의해, 보호 필름(21)의 선단이 테이프 롤(2)로부터 비스듬히 하방을 향해 인출된다. 그리고, 보호 필름(21)은, 박리판(14)에 걸려 -X 방향을 향해 접혀지고 나서, 권취 유닛(5)으로 유도된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 권취 유닛(5)까지 보호 필름(21)의 선단측이 유도되면, 권취부(50A)가 진퇴 수단(52A)에 의해 보호 필름(21)의 측단 부분에 근접하도록 -Y 방향측으로 이동하고, 진입구(502b) 내에 보호 필름(21)의 측단 부분이 진입해 간다. 또한, 권취부(50B)가 진퇴 수단(52B)에 의해 보호 필름(21)의 측단 부분에 근접하도록 +Y 방향측으로 이동하고, 진입구(502b) 내에 보호 필름(21)의 측단 부분이 진입해 간다. 그 후, 실린더 기구(500c)가 클램프판(500a)을 하강시키고, 보호 필름(21)이 클램프판(500a)과 클램프판(500b) 사이에 끼워 넣어짐으로써, 권취부(50A, 50B)의 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지한다.
계속해서, 예컨대, 진퇴 수단(52A)이 권취부(50A)를 +Y 방향측으로 이동시키고, 또한, 진퇴 수단(52B)이 권취부(50B)를 -Y 방향측으로 이동시킴으로써, 2개의 권취부(50A, 50B)를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 이것은, 보호 필름 인출 기구가 보호 필름(21)의 선단측을 권취 유닛(5)까지 유도했을 때에, 보호 필름(21)이 권취부(50A, 50B)에 대해 적절히 위치되지 않아, 권취부(50A, 50B)의 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하지 않은 경우가 발생하는 경우가 있고, 이러한 상태에서 권취부(50A, 50B)의 회전이 개시되어 버리는 것을 방지하기 위해서 행해지는 것이다.
2개의 권취부(50A, 50B)가 서로 멀어지는 방향으로 이동될 때에, 진퇴 부하 검지부(527)가, 진퇴 수단(52A), 진퇴 수단(52B)의 각 진퇴용 모터(522)에 흐르는 전류값을 검출한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 진퇴 부하 검지부(527)에는, 파지부(500)에 의한 보호 필름(21)의 파지의 유무를 판단하는 파지 판단부(528)가 접속된다. 파지 판단부(528)에는, 미리, 진퇴용 모터(522)의 부하 전류값에 대한 소정의 설정값(전류값)이 기억된다. 이 소정의 설정값은, 예컨대, 보호 필름(21)의 재질 등에 대응하여 실험적 또는 경험적으로 선택된 값이고, 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하고 있는지의 여부를 파지 판단부(528)가 판단하기 위해서 기억된 전류값이다.
진퇴 부하 검지부(527)가 검출한 진퇴용 모터(522)의 부하 전류값에 대한 정보는 파지 판단부(528)에 보내지고, 파지 판단부(528)가 진퇴용 모터(522)의 부하 전류값의 값과 상기 소정의 설정값을 비교한다. 보호 필름(21)은, 예컨대 폴리에스테르 등의 수지로 이루어지기 때문에, 기계적 외력에 대한 어느 정도의 인장 강도를 구비한다. 따라서, 진퇴 수단(52A, 52B)이, 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하고 있는 상태의 각 권취부(50A, 50B)를 서로 멀어지는 방향으로 이동시키면, 보호 필름(21)의 인장 강도에 의한 부하가 진퇴 수단(52A, 52B)에 대해 가해진다. 한편, 진퇴 수단(52A, 52B)이, 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하고 있지 않은 상태의 각 권취부(50A, 50B)를 서로 멀어지는 방향으로 이동시키면, 보호 필름(21)의 인장 강도에 의한 부하는 진퇴 수단(52A, 52B)에 대해 가해지지 않는다.
진퇴 수단(52A, 52B)은, 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하고 있지 않은 상태 또는 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하고 있는 상태 중의 어느 상태에서도, 권취부(50A, 50B)를 소정의 속도로 이동시키도록 피드백 제어된다. 따라서, 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하고 있는 상태에서는, 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하고 있지 않은 상태보다, 진퇴용 모터(522)가 일정한 회전수로 회전할 수 있도록 진퇴용 모터(522)에 공급되는 전력이 많아져, 진퇴 부하 검지부(527)가 검출하는 진퇴용 모터(522)의 부하 전류값이 소정의 설정값 이상이 된다. 그 결과, 파지 판단부(528)는, 권취부(50A, 50B)의 각 파지부(500)가 보호 필름(21)을 파지하고 있다고 판단하고, 프로그램에 따라 권취부(50A, 50B)에 의한 보호 필름(21)의 권취 동작이 개시된다.
한편, 각 파지부(500)가 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하고 있지 않은 상태에서는, 진퇴용 모터(522)에 공급되는 전력은 증가되지 않고, 진퇴 부하 검지부(527)가 검출하는 진퇴용 모터(522)의 부하 전류값이 소정의 설정값을 초과하지 않는다. 그 결과, 파지 판단부(528)는, 권취부(50A, 50B)의 각 파지부(500)가 보호 필름(21)을 파지하고 있지 않다고 판단한다. 이 경우에는, 예컨대, 파지 판단부(528)로부터 파지 에러의 판단이 발생되고, 프로그램에 따라, 재차 도시하지 않은 보호 필름 인출 기구에 의한 보호 필름(21)의 선단측의 권취부(50A, 50B)에 대한 위치 부여가 행해지며, 권취부(50A, 50B)의 각 파지부(500)에 의한 보호 필름(21)의 파지가 다시 실시된다.
진퇴 수단(52A, 52B)은, 축 방향으로 권취부(50A, 50B)를 이동시키는 구동원이 되는 진퇴용 모터(522)와, 진퇴용 모터(522)의 부하 전류값을 검출하는 진퇴 부하 검지부(527)를 구비하고, 2개의 파지부(500)가 보호 필름(21)을 파지한 후, 진퇴 수단(52A, 52B)으로 2개의 권취부(50A, 50B)를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킬 때에 진퇴 부하 검지부(527)가 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값 이상인 경우에는 파지부(500)가 보호 필름(21)을 파지하고 있다고 판단하고, 검출한 부하 전류값이 설정값보다 작은 경우에는 파지부(500)가 보호 필름(21)을 파지하고 있지 않다고 판단하는 파지 판단부(528)를 더 구비함으로써, 파지부(500)가 보호 필름(21)을 파지하고 있지 않은 상태에서 회전 기구(51A, 51B)가 권취부(50A, 50B)를 회전시켜 버려, 권취 에러가 발생해 버리는 사태가 발생하는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
각 파지부(500)가 보호 필름(21)을 파지하고 있다고 판단된 후의 권취부(50A, 50B)에 의한 보호 필름(21)의 권취 동작은, 이하에 설명하는 바와 같이 행해진다. 보호 필름(21)은, 각 파지부(500)에 의해 Y축 방향에서의 늘어짐이 발생하지 않도록 팽팽하게 된 상태로 파지되고, 회전 기구(51A, 51B)의 회전용 모터(510)가 구동하여 권취부(50A, 50B)를 동일 방향으로 동일 속도로 회전시키면, 도 3에 도시된 바와 같이, 각 파지부(500)에 의해 파지된 보호 필름(21)의 각 측단 부분이 케이싱(502)의 테이퍼면(502a)에 휘감겨져 가서, 보호 필름(21)의 필름 롤이 형성되어 간다.
권취 유닛(5)에 의한 보호 필름(21)의 권취가 개시되는 것과 연동하여, 도 1에 도시된 지지 롤러(12)가 회전함으로써 테이프 롤(2)로부터 송출되는 점착 테이프(20)는, 박리판(14)에 의해 보호 필름(21)의 단부측으로부터 박리되면서, 기재층측에 접촉하는 압박 롤러(16)에 의해 하향으로 압박되어, 테이블(30) 상에 위치되는 링 프레임(F)의 단부에 접착된다. 한편, 테이블(30)에 의해 지지되는 링 프레임(F)의 중심과 웨이퍼(W)의 중심은 대략 합치한다. 그 후, 지지 롤러(12)의 회전 및 권취 유닛(5)에 의한 보호 필름(21)의 권취를 실시시키면서, 테이블(30)을 -X 방향으로 이동시키면, 웨이퍼(W) 및 링 프레임(F)과, 압박 롤러(16)는, X축 방향으로 상대적으로 이동한다. 그 결과, 압박 롤러(16)에 의한 하향의 압박력에 의해, 점착 테이프(20)는 웨이퍼(W) 및 링 프레임(F)에 접착되고, 점착 테이프(20)와 링 프레임(F)과 웨이퍼(W)로 이루어지는 가공물 유닛(WU)이 형성된다.
예컨대, 도 1에 도시된 테이프 롤(2)로부터 모든 보호 필름(21)이 송출됨으로써, 권취 유닛(5)의 권취부(50A, 50B)에 소정의 길이 분의 보호 필름(21)이 권취된 후, 2개의 권취부(50A, 50B)에 권취된 롤형의 보호 필름(21)이 폐기된다. 먼저, 도 3에 도시된 각 실린더 기구(500c)가 클램프판(500a)을 상승시키고, 권취부(50A, 50B)의 각 파지부(500)가 파지하고 있는 보호 필름(21)의 측단 부분을 분리한다. 그리고, 권취부(50A, 50B) 사이의 거리가 보호 필름(21)의 폭보다 커지도록, 진퇴 수단(52A)이 권취부(50A)를 +Y 방향측의 소정의 위치까지 이동시키고, 또한, 진퇴 수단(52B)이 권취부(50B)를 -Y 방향측의 소정의 위치까지 이동시킨다. 그 결과, 권취부(50A, 50B)로부터 보호 필름(21)이 발취되고, 권취 유닛(5)의 하방에 배치되는 도시하지 않은 더스트 박스에 보호 필름(21)이 낙하하여 폐기된다.
한편, 예컨대, 도 1에 도시된 테이블(30)과 권취 유닛(5) 사이에 점착 테이프가 박리된 보호 필름(21)을 절단하는 커터 수단 등을 구비하는 것으로 하고, 상기 커터 수단에 의해, 보호 필름(21)을 폐기할 때에, 보호 필름(21)을 폭 방향으로 절단하는 것으로 해도 좋다.
이와 같이, 본 발명에 따른 권취 유닛(5)은, 띠형의 보호 필름(21)의 측단 부분을 파지하는 파지부(500)를 각각 구비하며 마주보도록 배치되는 2개의 권취부(50A, 50B)와, 권취부(50A, 50B)를 각각 회전시키는 2개의 회전 기구(51A, 51B)와, 2개의 권취부(50A, 50B) 중 한쪽의 권취부를 다른쪽의 권취부에 대해 축 방향으로 접근 또는 이격시키는 진퇴 수단(52A, 52B)을 구비하기 때문에, 2개의 권취부(50A, 50B)가 보호 필름(21)을 권취할 때에는, 각각의 파지부(500)로 보호 필름(21)을 파지시키고, 회전 기구(51A, 51B)로 권취부(50A, 50B)를 회전시켜, 보호 필름(21)을 권취부(50A, 50B)에 권취시키고, 2개의 권취부(50A, 50B)에 권취된 보호 필름(21)을 폐기할 때에는, 각각의 파지부(500)가 파지하고 있는 보호 필름(21)을 분리하고, 마주보고 있는 2개의 권취부(50A, 50B)를 그 사이의 거리가 보호 필름(21)의 폭보다 커지도록 진퇴 수단(52A, 52B)에 의해 이격시키며, 권취부(50A, 50B)로부터 보호 필름(21)을 발취하여 폐기할 수 있다. 따라서, 종래와 같이 작업자가 테이프 접착 장치(1)로부터 권취봉을 떼어내어 재차 장착한다고 하는 작업을 행할 필요가 없고, 점착 테이프(20)가 박리되어 권취된 보호 필름(21)을 정기적으로 폐기할 수 있다.
또한, 권취부(50A, 50B)는, 보호 필름(21)이 파지부(500)에 의해 파지될 때에 통과되는 진입구(502b)를 구비하고, 보호 필름(21)을 휘감는 외측면에 있어서, 진입구(502b) 근처에서 마주보고 있는 권취부(50A, 50B)의 각 케이싱(502)을 직경 축소시킨 테이퍼면(502a)이 형성됨으로써, 2개의 권취부(50A, 50B)가 진입구(502b)로 통과되는 보호 필름(21)을 이 테이퍼면(502a) 상에 겹쳐지도록 휘감아 감으로써, 보호 필름(21)을 폐기할 때에 보다 용이하게 권취부(50A, 50B)로부터 보호 필름(21)을 발취하는 것이 가능해진다. 이것은, 보호 필름(21)의 권취 시에, 보호 필름(21)을 휘감는 면이 테이퍼면(502a)으로 이루어짐으로써, 권취부(50A, 50B)에 대한 보호 필름(21)의 접촉 개소[롤형이 되는 보호 필름(21)의 내주면]의 면적을 작게 유지하면서 보호 필름(21)을 권취부(50A, 50B)에 권취해 갈 수 있기 때문에, 권취부(50A, 50B)로부터 보호 필름(21)을 발취할 때에 권취부(50A, 50B)와 보호 필름(21)의 접촉 개소에 작용하는 마찰력을 작게 할 수 있기 때문이다.
예컨대, 상기한 바와 같이, 진퇴 수단(52A, 52B)이 권취부(50A, 50B)를 그 사이가 보호 필름(21)의 폭보다 커지도록 이격시킴으로써, 권취부(50A) 또는 권취부(50B) 중 어느 한쪽으로부터만 보호 필름(21)이 발취되고, 한쪽의 권취부에는 보호 필름(21)이 여전히 휘감겨진 채로 놓이는 경우가 발생해 버리는 경우가 있다. 이러한 상태에서, 도시하지 않은 보호 필름 인출 기구에 의해 새로운 보호 필름(21)의 선단측이 권취 유닛(5)까지 유도되어도, 2개의 권취부(50A, 50B)에 의한 보호 필름(21)의 권취는 개시할 수 없고, 권취 유닛(5)이 부적절한 동작을 행함으로써 파손되는 경우도 있을 수 있다. 이러한 사태가 발생해 버리는 것을 방지하기 위해서, 권취 유닛(5)은, 하기에 나타내는 동작을 행한다.
상기한 바와 같이 진퇴 수단(52A, 52B)에 의해 권취부(50A, 50B)를 이격시킨 후, 회전 기구(51A, 51B)의 회전용 모터(510)가 구동하여 권취부(50A, 50B)를 동일 방향으로 회전시킨다. 이때에, 회전 부하 검지부(518)가, 회전 기구(51A, 51B)의 회전용 모터(510)에 흐르는 전류값을 검출한다.
예컨대, 도 3에 도시된 바와 같이 회전 부하 검지부(518)에는, 보호 필름(21)이 권취부(50A, 50B)로부터 발취되어 있는지의 여부를 판단하는 발취 판단부(519)가 접속된다. 발취 판단부(519)에는, 미리, 회전용 모터(510)의 부하 전류값에 대한 소정의 설정값(전류값)이 기억된다. 이 소정의 설정값은, 예컨대, 보호 필름(21)의 재질이나 롤형으로 된 보호 필름(21)의 무게 등에 대응하여 실험적 또는 경험적으로 선택되는 값이고, 보호 필름(21)이 권취부(50A, 50B)로부터 발취되어 있는지의 여부를 발취 판단부(519)가 판단하기 위해서 기억되는 전류값이다.
회전 부하 검지부(518)가 검출한 각 회전용 모터(510)의 부하 전류값에 대한 정보는 발취 판단부(519)로 보내지고, 발취 판단부(519)가 각 회전용 모터(510)의 부하 전류값의 값과 상기 설정값을 비교한다. 롤형으로 권취되는 보호 필름(21)의 중량은 무거워지기 때문에, 예컨대 권취부(50A) 또는 권취부(50B) 중 어느 한쪽에 보호 필름(21)이 여전히 휘감겨진 채로 놓인 경우에는, 보호 필름(21)이 휘감겨진 채로 놓인 쪽의 권취부에 보호 필름(21)의 중량이 가해진다.
그리고, 회전 기구(51A, 51B)는, 권취부(50A, 50B)를 소정의 동일한 회전 속도로 회전시키도록 피드백 제어된다. 따라서, 보호 필름(21)이 휘감겨진 채로 놓인 쪽의 권취부에는, 보호 필름(21)이 발취된 쪽의 권취부보다, 회전용 모터(510)에 보다 많은 전력이 공급된다.
예컨대, 회전 부하 검지부(518)가 검출하는 회전 기구(51A)의 회전용 모터(510)의 부하 전류값이 소정의 설정값 이상이 되고, 회전 부하 검지부(518)가 검출하는 회전 기구(51B)의 회전용 모터(510)의 부하 전류값이 소정의 설정값보다 작아졌다고 하자. 이 경우에는, 발취 판단부(519)는, 권취부(50A)에는 보호 필름(21)이 휘감겨진 채로 놓여 있고, 권취부(50B)로부터는 보호 필름(21)이 발취되어 있다고 판단한다. 계속해서, 예컨대, 발취 판단부(519)로부터 발취 에러의 판단이 발생되고, 프로그램에 따라, 도시하지 않은 보호 필름 인출 기구에 의한 새로운 보호 필름(21)의 권취 유닛(5)까지의 유도가 정지된다.
예컨대, 회전 부하 검지부(518)가 검출하는 회전 기구(51A) 및 회전 기구(51B)의 각 회전용 모터(510)의 부하 전류값이 소정의 설정값보다 작아졌다고 하자. 이 경우에는, 발취 판단부(519)는, 권취부(50A, 50B)로부터 보호 필름(21)이 발취되어 있다고 판단한다. 그리고, 프로그램에 따라, 예컨대, 재차 도시하지 않은 보호 필름 인출 기구에 의한 새로운 보호 필름(21)의 권취부(50A, 50B)에 대한 위치 부여가 행해지고, 권취부(50A, 50B)의 각 파지부(500)에 의한 보호 필름(21)의 파지가 다시 실시된다.
이와 같이, 회전 기구(51A, 51B)는, 회전 구동원이 되는 회전용 모터(510)와, 회전용 모터(510)의 부하 전류값을 검출하는 회전 부하 검지부(518)를 구비하고, 2개의 권취부(50A, 50B)가 권취한 보호 필름(21)을 폐기할 때에, 진퇴 수단(52A, 52B)에 의해 2개의 권취부(50A, 50B)를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨 후, 회전 기구(51A, 51B)로 권취부(50A, 50B)를 회전시켰을 때에 회전 부하 검지부(518)가 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값보다 작은 경우에는 보호 필름(21)이 권취부(50A, 50B)로부터 발취되었다고 판단하고, 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값 이상인 경우에는 권취부(50A, 50B)로부터 보호 필름(21)이 발취되어 있지 않다고 판단하는 발취 판단부(519)를 더 구비함으로써, 예컨대, 각 권취부(50A, 50B)로부터 롤형으로 권취된 보호 필름(21)이 발취되어 있지 않은 상태에서 권취 유닛(5)이 새로운 보호 필름(21)의 권취를 개시시켜 버려, 장치 에러가 발생해 버리는 사태가 발생하는 것을 방지하는 것이 가능해진다.
한편, 본 발명에 따른 권취 유닛(5)은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 또한, 첨부 도면에 도시되어 있는 테이프 접착 장치(1) 및 권취 유닛(5)의 각 구성에 대해서도, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 발휘할 수 있는 범위 내에서 적절히 변경 가능하다.
1: 테이프 접착 장치 10: 케이스
2: 테이프 롤 20: 점착 테이프
21: 보호 필름 22: 권통
30: 유지 테이블 14: 박리판
16: 압박 롤러 5: 권취 유닛
50A, 50B: 권취부 500: 파지부
500c: 실린더 기구 501: 회전축
502: 케이싱 502a: 테이퍼면
502b: 진입구 503: 지지대
503a: 고정 볼트 51A, 51B: 회전 기구
510: 회전용 모터 511: 주동 풀리
512: 무단 벨트 513: 종동 풀리
518: 회전 부하 검지부 519: 발취 판단부
52A, 52B: 진퇴 수단 520: 볼 나사
521: 한 쌍의 가이드 레일 522: 진퇴용 모터
523: 가동부 527: 진퇴 부하 검지부
528: 파지 판단부 WU: 가공물 유닛
W: 웨이퍼 F: 링 프레임

Claims (4)

  1. 개구를 갖는 링 프레임을 지지하며 상기 개구에 위치되는 웨이퍼를 지지하는 테이블을 구비하고, 띠형의 보호 필름에 접착되고 링 프레임의 상기 개구를 막는 크기의 원형의 점착 테이프를 상기 보호 필름으로부터 박리하여 링 프레임과 웨이퍼에 접착하여 일체화시켜 가공물 유닛을 형성하는 테이프 접착 장치에 있어서의, 상기 점착 테이프가 박리된 상기 보호 필름을 권취하는 권취 유닛으로서,
    상기 띠형의 보호 필름의 측단 부분을 파지(把持)하는 파지부를 각각 구비하며 마주보도록 배치되는 2개의 권취부와,
    상기 권취부를 각각 회전시키는 2개의 회전 기구와,
    상기 2개의 권취부 중 한쪽의 권취부를 다른쪽의 권취부에 대해 축 방향으로 접근 또는 이격시키는 진퇴 수단을 구비하고,
    상기 2개의 권취부가 상기 보호 필름을 권취할 때에는, 각각의 상기 파지부로 상기 보호 필름을 파지시키고, 상기 회전 기구로 상기 권취부를 회전시켜, 상기 보호 필름을 상기 권취부에 권취시키고,
    상기 2개의 권취부에 권취된 상기 보호 필름을 폐기할 때에는, 각각의 상기 파지부가 파지하고 있는 상기 보호 필름을 분리하고, 마주보고 있는 2개의 상기 권취부를 그 사이의 거리가 상기 보호 필름의 폭보다 커지도록 상기 진퇴 수단에 의해 이격시키며, 상기 권취부로부터 상기 보호 필름을 발취(拔取)하여 폐기하는 것인, 권취 유닛.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 권취부는, 상기 보호 필름이 상기 파지부에 의해 파지될 때에 통과되는 진입구를 구비하고, 상기 보호 필름을 휘감는 외측면에 있어서, 상기 진입구 근처에서 마주보고 있는 상기 권취부의 선단을 직경 축소시킨 테이퍼면이 형성되는 것인, 권취 유닛.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 진퇴 수단은, 상기 축 방향으로 상기 권취부를 이동시키는 구동원이 되는 진퇴용 모터와, 상기 진퇴용 모터의 부하 전류값을 검출하는 진퇴 부하 검지부를 구비하고,
    상기 2개의 파지부가 상기 보호 필름을 파지한 후, 상기 진퇴 수단으로 상기 2개의 권취부를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킬 때에 상기 진퇴 부하 검지부가 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값 이상인 경우에는 상기 파지부가 상기 보호 필름을 파지하고 있다고 판단하고, 검출한 상기 부하 전류값이 상기 설정값보다 작은 경우에는 상기 파지부가 상기 보호 필름을 파지하고 있지 않다고 판단하는 파지 판단부를 더 구비하는 것인, 권취 유닛.
  4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 회전 기구는, 회전 구동원이 되는 회전용 모터와, 상기 회전용 모터의 부하 전류값을 검출하는 회전 부하 검지부를 구비하고,
    상기 2개의 권취부가 권취한 상기 보호 필름을 폐기할 때에, 상기 진퇴 수단으로 상기 2개의 권취부를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨 후, 상기 회전 기구로 상기 권취부를 회전시켰을 때에 상기 회전 부하 검지부가 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값보다 작은 경우에는 상기 보호 필름이 상기 권취부로부터 발취되었다고 판단하고, 상기 검출한 부하 전류값이 미리 설정한 값 이상인 경우에는 상기 권취부로부터 상기 보호 필름이 발취되어 있지 않다고 판단하는 발취 판단부를 더 구비하는 것인, 권취 유닛.
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