KR20190053773A - Pump and coating apparatus - Google Patents

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KR20190053773A
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시로 곤도
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도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤
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Abstract

According to the present invention, a liquid having high viscosity is easily discharged. According to an embodiment, a pump comprises: a casing; a flexible member arranged in the casing, wherein a liquid is accommodated; a cylinder unit accommodating a working fluid; a plunger inserted to reciprocate with respect to the cylinder unit, and discharging the liquid from the flexible member by supplying the working fluid to a gap between the casing and the flexible member; and a shaft arranged in the flexible member.

Description

펌프 및 도포 장치{PUMP AND COATING APPARATUS}[0001] PUMP AND COATING APPARATUS [0002]

본 발명은, 펌프 및 도포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a pump and a coating device.

종래, 유리 기판 등의 피처리 기판에 피막 등을 형성하기 위한 도포액을 도포하는 도포 장치가 알려져 있다. 이와 같은 도포 장치로는, 기판이 배치되는 스테이지와, 도포액을 토출 가능한 노즐과, 노즐에 도포액을 공급 가능한 펌프를 구비하는 것이 있다.BACKGROUND ART Conventionally, a coating apparatus for coating a coating liquid for forming a coating or the like on a substrate to be treated such as a glass substrate is known. Such a coating apparatus includes a stage on which a substrate is placed, a nozzle capable of discharging the coating liquid, and a pump capable of supplying a coating liquid to the nozzle.

예를 들어, 특허문헌 1 내지 3 에는, 벨로우즈 방식의 펌프가 개시되어 있다. 펌프는, 펌프 케이스와, 펌프 케이스의 내부에 배치되는 가요성 튜브를 구비하고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조). 예를 들어, 실린더 내의 피스톤이 왕복 이동하면, 구동실 내에 봉입된 비압축성 매체의 이동에 의해, 가요성 튜브가 팽창 수축한다.For example, Patent Documents 1 to 3 disclose a bellows-type pump. The pump includes a pump case and a flexible tube disposed inside the pump case (see, for example, Patent Document 1). For example, when the piston in the cylinder reciprocates, the flexible tube expands and shrinks due to the movement of the incompressible medium enclosed in the drive chamber.

일본 공개특허공보 2008-128059호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-128059 일본 공개특허공보 2007-154767호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-154767 일본 공개특허공보 2011-226375호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2011-226375

그러나, 상기 종래 기술에 있어서는, 점도가 높은 약액을 펌프로 토출하는 것이 상정되어 있지 않으며, 고점도의 액체를 토출할 수 없을 가능성이 있었다.However, in the above-mentioned prior art, it is not assumed that a high-viscosity chemical liquid is discharged by a pump, and there is a possibility that a liquid with a high viscosity can not be discharged.

이상과 같은 사정을 감안하여, 본 발명은, 고점도의 액체를 용이하게 토출하는 것이 가능한 펌프 및 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of the above circumstances, it is an object of the present invention to provide a pump and a coating device which can easily discharge a liquid having a high viscosity.

본 발명의 일 양태에 관련된 펌프는, 케이싱과, 상기 케이싱의 내부에 배치되고, 액체가 수용되는 가요성 부재와, 작동 유체를 수용하는 실린더부와, 상기 실린더부에 대해 왕복 이동 가능하게 삽입되고, 상기 케이싱과 상기 가요성 부재의 간극에 상기 작동 유체를 공급하여 상기 가요성 부재로부터 상기 액체를 배출시키는 플런저와, 상기 가요성 부재의 내부에 배치된 샤프트를 포함한다.A pump according to an aspect of the present invention includes a casing, a flexible member disposed inside the casing, the flexible member accommodating the liquid, a cylinder portion accommodating a working fluid, A plunger for supplying the working fluid to the gap between the casing and the flexible member to discharge the liquid from the flexible member, and a shaft disposed inside the flexible member.

이 구성에 의하면, 가요성 부재의 내부에 배치된 샤프트를 포함함으로써, 샤프트를 갖지 않는 경우와 비교하여, 가요성 부재의 내부 용적이 감소하기 때문에, 고점도의 액체를 용이하게 토출할 수 있다. 또한, 가요성 부재가 샤프트를 축으로 하여 팽창 수축하기 때문에, 가요성 부재가 좌굴 (座屈) 하는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, by including the shaft disposed inside the flexible member, the internal volume of the flexible member is reduced as compared with the case where the shaft is not provided, so that the liquid of high viscosity can be easily discharged. Further, since the flexible member expands and shrinks about the shaft, it is possible to suppress the buckling of the flexible member.

상기 펌프에 있어서, 상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 가요성 부재는, 사각형 이상의 다각형 형상이어도 된다.In the pump, the flexible member may have a polygonal shape of a square or more when viewed from the axial direction of the shaft.

이 구성에 의하면, 샤프트의 축방향으로부터 보아 가요성 부재가 모서리부와 변부를 둘레 방향으로 교대로 갖는다. 변부는 모서리부보다 변형되기 쉽기 때문에, 변부를 적극적으로 팽창 수축시킬 수 있다. 따라서, 샤프트의 축방향으로부터 보아 가요성 부재가 원형 형상인 경우와 비교하여, 가요성 부재가 의도하지 않은 방향으로 변형되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 가요성 부재가 복수의 모서리부로 보강되기 때문에, 가요성 부재가 좌굴하는 것을 보다 더 억제할 수 있다.According to this configuration, the flexible member alternately has the edge portion and the side portion in the circumferential direction when viewed from the axial direction of the shaft. Since the side edge is more susceptible to deformation than the corner edge, the side edge can be positively expanded and contracted. Therefore, as compared with the case where the flexible member is circular in the axial direction of the shaft, it is possible to suppress the deformation of the flexible member in the unintended direction. Further, since the flexible member is reinforced by the plurality of corner portions, the buckling of the flexible member can be further suppressed.

상기 펌프에 있어서, 상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 가요성 부재는, 마름모꼴 형상이어도 된다.In the pump, the flexible member may be in the shape of a rhombus as viewed from the axial direction of the shaft.

이 구성에 의하면, 4 개의 변부의 길이가 서로 동일하기 때문에, 각 변부를 균등하게 변형시킬 수 있다. 따라서, 가요성 부재를 안정적으로 팽창 수축시킬 수 있다.According to this configuration, because the lengths of the four sides are equal to each other, the respective sides can be evenly deformed. Therefore, the flexible member can be stably expanded and contracted.

상기 펌프에 있어서, 상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 케이싱의 내면과 상기 가요성 부재는, 상사 (相似) 형상을 이루고 있어도 된다.In the pump, the inner surface of the casing and the flexible member may have a similar shape when viewed from the axial direction of the shaft.

이 구성에 의하면, 케이싱과 가요성 부재의 간극에 공급되는 작동 유체가 가요성 부재의 둘레 방향에 있어서 균등하게 흐르기 쉬워지기 때문에, 가요성 부재를 안정적으로 팽창 수축시킬 수 있다. 또한, 가요성 부재의 성형시에, 케이싱을 성형형 (成形型) 으로서 활용할 수 있기 때문에 바람직하다.According to this configuration, since the working fluid supplied to the gap between the casing and the flexible member is likely to flow uniformly in the circumferential direction of the flexible member, the flexible member can be stably expanded and contracted. Further, at the time of molding the flexible member, it is preferable because the casing can be utilized as a molding die (molding die).

상기 펌프에 있어서, 상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 샤프트는, 상기 가요성 부재의 내부의 중앙에 배치되어 있어도 된다.In the pump, the shaft may be disposed at the center of the inside of the flexible member when viewed from the axial direction of the shaft.

이 구성에 의하면, 샤프트를 개재하여 가요성 부재의 내부에 수용되는 액체가 샤프트의 주위에 있어서 균등하게 흐르기 쉬워지기 때문에, 액체를 안정적으로 토출시킬 수 있다. 또한, 가요성 부재의 수축시에 가요성 부재의 내면이 샤프트에 접촉하기 어려워지기 때문에, 진애 (塵埃) 등의 이물질이 발생하는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, since the liquid contained in the flexible member through the shaft is likely to flow uniformly around the shaft, the liquid can be stably discharged. In addition, since the inner surface of the flexible member is less likely to contact the shaft at the time of shrinkage of the flexible member, generation of foreign matter such as dust can be suppressed.

상기 펌프에 있어서, 상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 샤프트는 원형이어도 된다.In the pump, the shaft may be circular when viewed from the axial direction of the shaft.

이 구성에 의하면, 샤프트를 개재하여 가요성 부재의 내부에 수용되는 액체가 샤프트의 둘레 방향에 있어서 균등하게 흐르기 쉬워지기 때문에, 액체를 안정적으로 토출시킬 수 있다. 또한, 가요성 부재의 수축시에 가요성 부재의 내면이 샤프트에 접촉한 경우여도, 샤프트의 표면 (곡면) 에서 미끄러지기 쉽다. 따라서, 샤프트의 축방향으로부터 보아 샤프트가 다각형인 경우와 비교하여, 진애 등의 이물질이 발생하는 것을 억제할 수 있다.According to this configuration, since the liquid contained in the flexible member through the shaft is likely to flow uniformly in the circumferential direction of the shaft, the liquid can be stably discharged. Further, even when the inner surface of the flexible member contacts the shaft at the time of contraction of the flexible member, it tends to slide on the surface (curved surface) of the shaft. Therefore, as compared with the case where the shaft is polygonal as viewed from the axial direction of the shaft, generation of foreign matter such as dust can be suppressed.

상기 펌프에 있어서, 상기 샤프트는, 상기 케이싱보다 길게 연장되고, 상기 케이싱은, 통형상의 케이싱 본체와, 상기 케이싱 본체의 일방측에 배치되고, 상기 샤프트의 일단부 (一端部) 를 돌출시키는 제 1 관통공이 형성된 제 1 덮개부와, 상기 케이싱 본체의 타방측에 배치되고, 상기 샤프트의 타단부를 돌출시키는 제 2 관통공이 형성된 제 2 덮개부를 구비하고, 상기 샤프트의 양단부에는, 너트를 나사 결합 가능한 수나사부가 형성되어 있어도 된다.In the pump, the shaft extends longer than the casing, and the casing includes: a cylindrical casing body; and a valve member disposed on one side of the casing body and configured to project one end of the shaft And a second lid part provided on the other side of the casing body and having a second through hole for projecting the other end of the shaft, wherein a nut is screwed to both ends of the shaft, A possible externally threaded portion may be formed.

이 구성에 의하면, 샤프트의 수나사부에 너트가 나사 결합됨으로써, 케이싱 본체, 제 1 덮개부 및 제 2 덮개부를 강고하게 고정시킬 수 있다. 따라서, 케이싱 본체, 제 1 덮개부 및 제 2 덮개부를 복수의 볼트로 고정시킬 필요가 없기 때문에, 부품 점수를 삭감하고, 조립 작업성의 향상 및 저비용화를 도모할 수 있다.According to this configuration, since the nut is screwed to the male thread portion of the shaft, the casing main body, the first lid portion and the second lid portion can be firmly fixed. Therefore, it is not necessary to fix the casing main body, the first lid portion, and the second lid portion with a plurality of bolts, so that the number of parts can be reduced, the assembling workability can be improved, and the cost can be reduced.

본 발명의 일 양태에 관련된 도포 장치는, 액체를 피도포물에 대해 도포하는 도포부와, 상기 펌프를 포함한다.An application device according to an aspect of the present invention includes an application section for applying a liquid to an object to be exposed, and the pump.

이 구성에 의하면, 고점도의 액체를 용이하게 토출하는 것이 가능한 도포 장치를 제공할 수 있다.According to this configuration, it is possible to provide a coating apparatus capable of easily discharging a liquid having a high viscosity.

본 발명에 의하면, 고점도의 액체를 용이하게 토출하는 것이 가능한 펌프 및 도포 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a pump and a coating device capable of easily discharging a liquid having a high viscosity.

도 1 은 실시형태에 관련된 도포 장치의 사시도이다.
도 2 는 실시형태에 관련된 도포 장치의 모식도이다.
도 3 은 실시형태에 관련된 펌프의 개략 구성도이다.
도 4 는 도 3 의 IV-IV 단면을 포함하는 도면이다.
도 5 는 실시형태에 관련된 샤프트의 작용 설명도이다.
도 6 은 실시형태의 제 1 변형예에 관련된 펌프의 개략 구성도이다.
도 7 은 실시형태의 제 2 변형예에 관련된 펌프 본체의 도 4 에 상당하는 단면을 포함하는 도면이다.
도 8 은 실시형태의 제 3 변형예에 관련된 펌프 본체의 도 4 에 상당하는 단면을 포함하는 도면이다.1 is a perspective view of a coating apparatus according to an embodiment.
2 is a schematic view of a coating apparatus according to the embodiment.
3 is a schematic configuration diagram of a pump according to the embodiment.
Fig. 4 is a view including the IV-IV cross section of Fig. 3; Fig.
5 is an operational explanatory view of the shaft related to the embodiment.
6 is a schematic configuration diagram of a pump according to a first modification of the embodiment.
Fig. 7 is a view including a cross section corresponding to Fig. 4 of the pump main body according to the second modification of the embodiment. Fig.
Fig. 8 is a view including a cross section corresponding to Fig. 4 of the pump main body according to the third modified example of the embodiment. Fig.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

＜도포 장치＞<Coating device>

도 1 에 나타내는 바와 같이, 도포 장치 (1) 는, 기판 (10) (피도포물) 에 피막 등을 형성하기 위한 도포액을 도포하는 것이다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 도포 장치 (1) 는, 도포부 (2), 공급부 (3), 전환부 (5), 제거부 (6), 스테이지 (7), 이동 장치 (8) (도 1 참조) 및 제어부 (9) 를 구비한다. 제어부 (9) 는, 도포 장치 (1) 의 구성 요소를 통괄 제어한다.As shown in Fig. 1, the coating device 1 is to coat a coating liquid for forming a coating or the like on the substrate 10 (object to be coated). 2, the application device 1 includes a coating section 2, a supply section 3, a switching section 5, a removal section 6, a stage 7, a moving device 8 And a control unit 9, as shown in Fig. The control unit 9 performs overall control of the components of the coating device 1.

＜도포부＞<Application section>

도포부 (2) 는, 기판 (10) 에 도포액 (3a) 을 토출하는 노즐 (2a) 을 구비한다. 노즐 (2a) 은, 장척상으로 형성되어 있다. 노즐 (2a) 의 내부에는, 도포액 (3a) 을 수용 가능하다. 노즐 (2a) 은, 노즐 (2a) 의 선단 (하단) 에 도포액 (3a) 을 토출하는 슬릿상의 토출구 (2b) 를 갖는다. 예를 들어, 노즐 (2a) 은 슬릿 노즐이다.The application unit 2 includes a nozzle 2a for ejecting the application liquid 3a onto the substrate 10. [ The nozzle 2a is formed in a long shape. Inside the nozzle 2a, the coating liquid 3a can be accommodated. The nozzle 2a has a slit-shaped discharge port 2b for discharging the coating liquid 3a at the tip (lower end) of the nozzle 2a. For example, the nozzle 2a is a slit nozzle.

＜공급부＞<Supply Unit>

공급부 (3) 는, 도포부 (2) 에 도포액 (3a) 을 공급 가능한 펌프 (31) 와, 펌프 (31) 에 도포액 (3a) 을 공급 가능한 공급원 (30) 을 구비한다.The supplying unit 3 includes a pump 31 capable of supplying the coating liquid 3a to the coating unit 2 and a supply source 30 capable of supplying the coating liquid 3a to the pump 31. [

공급원 (30) 은, 도포부 (2) 에 공급하기 위한 도포액 (3a) 을 저류하는 저류 탱크 (30a) 를 구비한다. 저류 탱크 (30a) 에는, 질소 가스 등의 불활성 가스를 도입 가능한 배관 (30b) 이 접속되어 있다. 배관 (30b) 은, 밸브를 개재하여 가압원 (모두 도시되지 않음) 에 접속되어 있다. 밸브의 개폐 제어에 의해, 저류 탱크 (30a) 내의 압력이 조정된다. 공급원 (30) 은, 저류 탱크 (30a) 내의 압력 조정에 의해, 소정량의 도포액 (3a) 을 펌프 (31) 를 향하여 공급한다.The supply source 30 has a storage tank 30a for storing the application liquid 3a for supplying the application unit 2 with the coating liquid 3a. A pipe 30b capable of introducing an inert gas such as nitrogen gas is connected to the storage tank 30a. The pipe 30b is connected to a pressure source (not shown) through a valve. By controlling the opening and closing of the valve, the pressure in the reservoir tank 30a is adjusted. The supply source 30 supplies a predetermined amount of the coating liquid 3a toward the pump 31 by adjusting the pressure in the storage tank 30a.

예를 들어, 도포액 (3a) 은, 수지 기판 및 층간 절연막 등을 형성하기 위한 액상체를 사용한다. 본 실시형태에 있어서, 도포액 (3a) 은, 1 ∼ 10 Pa·s 정도의 점도를 갖는 폴리이미드를 포함하는 액상체를 사용한다. 일반적으로, 액정 표시 장치에 사용되는 TFT 및 액정층 등을 형성하기 위한 액상체는, 0.01 Pas 이하의 점도를 갖는다. 따라서, 폴리이미드를 포함하는 액상체는, TFT 및 액정층 등을 형성하기 위한 액상체와 비교하여 높은 점도를 갖는다. 또한, 도포액 (3a) 으로서, 폴리이미드를 포함하는 액상체 이외의 액상체, 예를 들어 포토레지스트 등의 약액 (액체) 을 사용해도 된다.For example, as the coating liquid 3a, a liquid body for forming a resin substrate and an interlayer insulating film or the like is used. In the present embodiment, the coating liquid 3a uses a liquid material containing polyimide having a viscosity of about 1 to 10 Pa · s. In general, a liquid used for forming a TFT and a liquid crystal layer used in a liquid crystal display has a viscosity of 0.01 Pas or less. Therefore, the liquid body containing polyimide has a higher viscosity than the liquid body for forming the TFT and the liquid crystal layer or the like. As the coating liquid 3a, a liquid other than the liquid containing the polyimide, for example, a chemical liquid such as a photoresist may be used.

도포 장치 (1) 는, 도포액 (3a) 의 공급로 (유로) 를 형성하는 복수의 배관 (101 ∼ 105) 을 구비한다. 상기 서술한 바와 같이, 도포액 (3a) 은, 공급원 (30) 으로부터 도포부 (2) 를 향하여 흐른다. 이하, 도포액 (3a) 이 흐르는 방향에 있어서, 공급원 (30) 측을 「상류측」, 도포부 (2) 측을 「하류측」이라고도 한다.The coating device 1 has a plurality of pipes 101 to 105 forming a supply path (flow path) for the coating liquid 3a. As described above, the application liquid 3a flows from the supply source 30 toward the application unit 2. [ Hereinafter, in the direction in which the coating liquid 3a flows, the side of the supply source 30 is referred to as the &quot; upstream side &quot; and the side of the application unit 2 is referred to as the &quot; downstream side.

＜전환부＞<Switching part>

전환부 (5) 는, 2 개의 밸브 (51, 52) 를 구비한다. 2 개의 밸브 (51, 52) 는, 제 1 밸브 (51) 및 제 2 밸브 (52) 이다.The switching section 5 includes two valves 51 and 52. [ The two valves 51 and 52 are the first valve 51 and the second valve 52, respectively.

제 1 밸브 (51) 는, 펌프 (31) 에 대한 도포액 (3a) 의 공급로를 개폐 가능하게 한다.The first valve (51) opens and closes the supply path of the coating liquid (3a) to the pump (31).

제 2 밸브 (52) 는, 펌프 (31) 로부터 도포부 (2) 에 대한 도포액 (3a) 의 공급로를 개폐 가능하게 한다.The second valve 52 allows the supply path of the coating liquid 3a to the coating portion 2 from the pump 31 to be openable and closable.

＜제거부＞<Rejection>

제거부 (6) 는, 도포액 (3a) 에 포함되는 이물질을 제거하기 위한 필터를 구비한다. 예를 들어, 필터는, 테플론 (등록상표) 에 의해 형성되어 있다.The removing unit 6 has a filter for removing foreign substances contained in the coating liquid 3a. For example, the filter is formed by Teflon (registered trademark).

제거부 (6) 는, 공급원 (30) 과 전환부 (5) (제 1 밸브 (51)) 사이의 유로 상 (배관 (101) 과 배관 (102) 사이) 에 형성된다.The removing unit 6 is formed on the flow path between the supply source 30 and the switching unit 5 (the first valve 51) (between the pipe 101 and the pipe 102).

＜도포액의 공급＞<Supply of Coating Solution>

펌프 (31) 는, 상류측으로부터 순서대로, 배관 (101), 제거부 (6), 배관 (102), 제 1 밸브 (51) 및 배관 (103) 을 개재하여 공급원 (30) 에 접속되어 있다.The pump 31 is connected to the supply source 30 via the piping 101, the removing unit 6, the piping 102, the first valve 51 and the piping 103 in this order from the upstream side .

제 1 밸브 (51) 의 개폐에 의해, 배관 (102) 측 (공급원 (30)) 으로부터 배관 (103) 측 (펌프 (31)) 에 대한 도포액 (3a) 의 공급이 개시 또는 정지된다.The opening and closing of the first valve 51 starts or stops the supply of the coating liquid 3a from the pipe 102 side (the supply source 30) to the pipe 103 side (the pump 31).

도포부 (2) 는, 상류측으로부터 순서대로, 배관 (104), 제 2 밸브 (52), 배관 (105) 을 개재하여 펌프 (31) 에 접속되어 있다.The application section 2 is connected to the pump 31 via the piping 104, the second valve 52 and the piping 105 in this order from the upstream side.

제 2 밸브 (52) 의 개폐에 의해, 배관 (104) 측 (펌프 (31)) 으로부터 배관 (105) 측 (도포부 (2)) 에 대한 도포액 (3a) 의 공급이 개시 또는 정지된다.The supply of the coating liquid 3a to the piping 105 side (coated portion 2) from the piping 104 side (pump 31) is started or stopped by opening and closing the second valve 52. [

도포부 (2) 의 노즐 (2a) 은, 펌프 (31) 의 구동에 의해 도포액 (3a) 을 토출 가능하게 된다.The nozzle 2a of the application unit 2 can discharge the coating liquid 3a by driving the pump 31. [

예를 들어, 펌프 (31) 의 내압을 조정함으로써, 고점도의 도포액 (3a) 을 사용한 경우여도, 도포부 (2) 를 향하여 도포액 (3a) 을 순조롭게 흘릴 수 있다.For example, by adjusting the internal pressure of the pump 31, even if the coating liquid 3a having a high viscosity is used, the coating liquid 3a can smoothly flow toward the coating portion 2. [

＜스테이지＞<Stage>

도 1 에 나타내는 바와 같이, 스테이지 (7) 는, 직방체상으로 형성되어 있다. 스테이지 (7) 의 상면에는, 사각형상의 기판 (10) 이 배치되어 있다. 스테이지 (7) 에는, 기판 (10) 을 반송하기 위한 복수의 롤러 (도시되지 않음) 가 형성되어 있다. 또한, 스테이지 (7) 에는, 기판 (10) 을 부상시켜 반송하는 도시되지 않은 부상 반송부가 형성되어 있어도 된다.As shown in Fig. 1, the stage 7 is formed in a rectangular parallelepiped shape. On the upper surface of the stage 7, a rectangular substrate 10 is arranged. In the stage 7, a plurality of rollers (not shown) for conveying the substrate 10 are formed. The stage 7 may be provided with an unillustrated lifting / conveying portion for lifting and transporting the substrate 10.

＜이동 장치＞<Mobile device>

이동 장치 (8) 는, 1 쌍의 레일 (81) 과, 문형 프레임 (82) 을 구비한다.The moving device 8 includes a pair of rails 81 and a frame 82.

1 쌍의 레일 (81) 은, 제 1 레일 (81a) 및 제 2 레일 (81b) 이다.The pair of rails 81 are the first rail 81a and the second rail 81b.

제 1 레일 (81a) 및 제 2 레일 (81b) 은, 스테이지 (7) 의 길이 방향을 따르는 방향으로 연장되는 직방체상을 이루고 있다. 제 1 레일 (81a) 및 제 2 레일 (81b) 은, 스테이지 (7) 를 사이에 두고 서로 대향하도록 배치되어 있다.The first rail 81a and the second rail 81b form a rectangular parallelepiped extending in the longitudinal direction of the stage 7. The first rail 81a and the second rail 81b are arranged so as to face each other with the stage 7 interposed therebetween.

문형 프레임 (82) 은, 기판 (10) 이 배치되는 스테이지 (7) 를 걸치도록 문형으로 형성되어 있다. 문형 프레임 (82) 은, 스테이지 (7) 에 대해 이동 가능하게 된다.The door frame 82 is formed in a door shape so as to extend over the stage 7 on which the board 10 is placed. The frame-shaped frame 82 becomes movable with respect to the stage 7.

문형 프레임 (82) 은, 상하로 연장되는 주상 (柱狀) 을 이루는 1 쌍의 지주부 (82a, 82b) 와, 1 쌍의 지주부 (82a, 82b) 의 사이를 걸치는 가교부 (82c) 를 구비한다.The door frame 82 includes a pair of pillar portions 82a and 82b extending in the vertical direction and a bridge portion 82c extending between the pair of pillar portions 82a and 82b Respectively.

1 쌍의 지주부 (82a, 82b) 는, 제 1 지주부 (82a) 및 제 2 지주부 (82b) 이다.The pair of support portions 82a and 82b are the first support portion 82a and the second support portion 82b.

예를 들어, 제 1 지주부 (82a) 및 제 2 지주부 (82b) 의 하단부는, 각각 도시되지 않은 슬라이더를 개재하여 제 1 레일 (81a) 및 제 2 레일 (81b) 에 장착되어 있다. 문형 프레임 (82) 은, 1 쌍의 레일 (81a, 81b) 의 길이 방향을 따라 도면 중 화살표 (v) 방향으로 이동 가능하다.For example, the lower ends of the first support portion 82a and the second support portion 82b are respectively attached to the first and second rails 81a and 81b via a slider (not shown). The door frame 82 is movable along the longitudinal direction of the pair of rails 81a and 81b in the direction of arrow v in the figure.

또한, 가교부 (82c) 는, 1 쌍의 지주부 (82a, 82b) 에 대해 상하로 승강 가능 (도면 중 화살표 (u) 방향으로 이동 가능) 하게 되어 있어도 된다.The bridging portion 82c may be vertically movable (movable in the direction of the arrow u in the drawing) with respect to the pair of support portions 82a and 82b.

가교부 (82c) 의 중앙부에는, 도포부 (2) 및 공급부 (3) 를 유지하는 사각형 판상의 판부재 (83) 가 착탈 가능하게 지지되어 있다. 예를 들어, 판부재 (83) 는, 도시되지 않은 비스 등에 의해 가교부 (82c) 에 착탈 가능하게 장착되어 있다.A rectangular plate-shaped plate member 83 for holding the application portion 2 and the supply portion 3 is detachably supported at the center of the bridging portion 82c. For example, the plate member 83 is detachably attached to the crosslinking portion 82c by a screw or the like not shown.

도포부 (2) 및 공급부 (3) 는, 판부재 (83) 를 개재하여 문형 프레임 (82) 의 가교부 (82c) 에 장착되어 있다. 도포부 (2) 는, 도시되지 않은 구동 기구의 구동에 의해, 공급부 (3) 와 함께, 1 쌍의 레일 (81a, 81b) 의 길이 방향을 따라 도면 중 화살표 (v) 방향으로 이동 가능하게 된다.The application portion 2 and the supply portion 3 are attached to the bridging portion 82c of the door frame 82 with the plate member 83 interposed therebetween. The application unit 2 is movable along the longitudinal direction of the pair of rails 81a and 81b in the direction of the arrow v in the figure together with the supply unit 3 by driving of a drive mechanism .

＜펌프＞<Pump>

도 3 에 나타내는 바와 같이, 펌프 (31) 는, 펌프 본체 (130) 와, 실린더부 (140) 와, 플런저 (150) (피스톤) 를 구비한다. 펌프 (31) 는, 플런저 방식의 펌프이다.3, the pump 31 includes a pump main body 130, a cylinder portion 140, and a plunger 150 (piston). The pump 31 is a plunger type pump.

펌프 본체 (130) 는, 실린더부 (140) 에 대해 볼트 (도시되지 않음) 에 의해 고정되는 케이싱 (131) 과, 케이싱 (131) 의 내부에 배치된 가요성 튜브 (132) (가요성 부재) 와, 가요성 튜브 (132) 의 내부에 배치된 샤프트 (138) 를 구비한다.The pump main body 130 includes a casing 131 fixed to the cylinder 140 by bolts (not shown), a flexible tube 132 (flexible member) disposed inside the casing 131, And a shaft 138 disposed within the flexible tube 132.

케이싱 (131) 은, 통형상의 케이싱 본체 (135) 와, 케이싱 본체 (135) 의 일방측에 배치되는 제 1 덮개부 (133) 와, 케이싱 본체 (135) 의 타방측에 배치되는 제 2 덮개부 (134) 를 구비한다. 예를 들어, 케이싱 (131) 은, 알루미늄 등의 금속 부재로 형성되어 있다. 케이싱 본체 (135) 와 각 덮개부 (134) 사이에는, 시일 부재 (137) 가 형성되어 있다.The casing 131 includes a cylindrical casing body 135, a first lid portion 133 disposed on one side of the casing body 135, a second lid portion 133 disposed on the other side of the casing body 135, (134). For example, the casing 131 is formed of a metal member such as aluminum. A seal member 137 is formed between the casing main body 135 and each lid portion 134.

케이싱 본체 (135) 는, 제 1 덮개부 (133) 와 제 2 덮개부 (134) 사이를 걸치도록 연장되어 있다. 케이싱 본체 (135) 에는, 실린더부 (140) 의 측으로 개구되는 본체측 개구부 (135h) 가 형성되어 있다. 본체측 개구부 (135h) 는, 케이싱 본체 (135) 의 연장 방향에 있어서 제 1 덮개부 (133) 측의 단부에 위치하고 있다.The casing main body 135 extends so as to extend between the first lid portion 133 and the second lid portion 134. [ The casing main body 135 is provided with a main body side opening 135h which opens toward the cylinder 140 side. The main body side opening 135h is located at the end on the first lid portion 133 side in the extending direction of the casing main body 135. [

제 1 덮개부 (133) 에는, 가요성 튜브 (132) 의 상류측에 연통되는 유체 공급구 (133h) 가 형성되어 있다. 유체 공급구 (133h) 에는, 상류측의 배관 (103) 이 접속되어 있다. 예를 들어, 제 1 밸브 (51) (도 2 참조) 를 「열림」으로 함으로써, 유체 공급구 (133h) 를 통하여, 배관 (103) 측 (공급원 (30)) 으로부터 가요성 튜브 (132) 내에 대한 도포액 (3a) 의 공급이 가능하게 된다 (공급 방향은, 도면 중 화살표 (m) 방향).A fluid supply port 133h communicating with the upstream side of the flexible tube 132 is formed in the first lid portion 133. [ The upstream side piping 103 is connected to the fluid supply port 133h. For example, by setting the first valve 51 (see Fig. 2) to "open", the fluid can be supplied from the pipe 103 side (the supply source 30) through the fluid supply port 133h to the inside of the flexible tube 132 (Supply direction, in the direction of the arrow m in the drawing).

제 2 덮개부 (134) 에는, 가요성 튜브 (132) 의 하류측에 연통되는 유체 배출구 (134h) 가 형성되어 있다. 유체 배출구 (134h) 에는, 하류측의 배관 (104) 이 접속되어 있다. 후술하는 작동 유체 (130a) 에 의해, 유체 배출구 (134h) 를 통하여, 가요성 튜브 (132) 내로부터 배관 (104) 측 (도포부 (2)) 에 대한 도포액 (3a) 의 배출이 가능하게 된다 (배출 방향은, 도면 중 화살표 (n) 방향).The second lid portion 134 is formed with a fluid discharge port 134h communicating with the downstream side of the flexible tube 132. The downstream side piping 104 is connected to the fluid discharge port 134h. It is possible to discharge the coating liquid 3a from the flexible tube 132 to the piping 104 side (coated portion 2) through the fluid outlet 134h by the working fluid 130a described later (The discharge direction is the direction of arrow (n) in the drawing).

가요성 튜브 (132) 는, 케이싱 본체 (135) 의 길이 방향을 따르는 통형상을 이루고 있다. 가요성 튜브 (132) 는, 케이싱 (131) 의 내부에 동축적 (同軸的) 으로 배치되어 있다. 가요성 튜브 (132) 에는, 도포액 (3a) 이 수용된다. 예를 들어, 가요성 튜브 (132) 의 두께는, 1.8 ㎜ 정도이다.The flexible tube 132 has a cylindrical shape along the longitudinal direction of the casing main body 135. The flexible tube 132 is coaxially arranged inside the casing 131. [ In the flexible tube 132, the coating liquid 3a is accommodated. For example, the thickness of the flexible tube 132 is about 1.8 mm.

가요성 튜브 (132) 는, 직경 방향으로 자유롭게 팽창 수축할 수 있는 탄성 부재로 형성되어 있다. 가요성 튜브 (132) 는, 케이싱 (131) 의 내부에 수용되어 있다. 가요성 튜브 (132) 와 케이싱 (131) 사이에는, 작동 유체 (130a) 가 흘러들어감으로써 가요성 튜브 (132) 를 팽창 수축시키는 간극 (136) (이하 「본체측 구동실 (136)」이라고도 한다.) 이 형성되어 있다.The flexible tube 132 is formed of an elastic member capable of freely expanding and contracting in the radial direction. The flexible tube 132 is accommodated in the casing 131. A gap 136 (hereinafter also referred to as &quot; body side drive chamber 136 &quot;) for expanding and contracting the flexible tube 132 by flowing the working fluid 130a flows between the flexible tube 132 and the casing 131 .

예를 들어, 가요성 튜브 (132) 는, 수지 재료나 고무 재료 등의 가요성 재료로 형성되어 있다.For example, the flexible tube 132 is formed of a flexible material such as a resin material or a rubber material.

또한, 가요성 튜브 (132) 는, 테트라플루오로에틸렌퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체 (PFA) 등의 불소 수지로 형성되어 있어도 된다. 불소 수지는 포토레지스트와 반응하지 않기 때문에, 도포액 (3a) 으로서 포토레지스트 등의 약액을 사용한 경우, 도포액 (3a) 의 품질을 유지하는 데에 있어서 바람직하다. 도포액 (3a) 으로서 포토레지스트 등의 약액을 사용한 경우, 제 1 덮개부 (133) 및 제 2 덮개부 (134) 도, 불소 수지로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 도포액 (3a) 으로서 포토레지스트 등의 약액을 사용한 경우, 제 1 덮개부 (133) 중 적어도 유체 공급구 (133h) 의 형성 부분 및 제 2 덮개부 (134) 중 적어도 유체 배출구 (134h) 의 형성 부분이 불소 수지로 형성되어 있으면 된다.Further, the flexible tube 132 may be formed of a fluororesin such as a tetrafluoroethylene perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA). Since the fluororesin does not react with the photoresist, it is preferable to maintain the quality of the coating liquid 3a when a chemical liquid such as photoresist is used as the coating liquid 3a. When a chemical liquid such as photoresist is used as the coating liquid 3a, the first lid portion 133 and the second lid portion 134 are also preferably formed of a fluororesin. At least the portion of the first lid portion 133 where the fluid supply port 133h is formed and the portion of the second lid portion 134 at least the fluid discharge port 134h are filled with the chemical liquid such as photoresist as the coating liquid 3a. May be formed of a fluororesin.

샤프트 (138) 는, 케이싱 (131) 보다 길게 연장되어 있다. 제 1 덮개부 (133) 에는, 샤프트 (138) 의 일단부를 돌출시키는 제 1 관통공 (133i) 이 형성되어 있다. 제 2 덮개부 (134) 에는, 샤프트 (138) 의 타단부를 돌출시키는 제 2 관통공 (134i) 이 형성되어 있다. 샤프트 (138) 의 양단부에는, 너트 (139) 를 나사 결합 가능한 수나사부 (138a) 가 형성되어 있다.The shaft 138 extends longer than the casing 131. The first lid portion 133 is formed with a first through hole 133i for projecting one end of the shaft 138. [ The second lid portion 134 is formed with a second through hole 134i for projecting the other end of the shaft 138. [ At both end portions of the shaft 138, a male screw portion 138a capable of screwing a nut 139 is formed.

예를 들어, 샤프트 (138) 를 케이싱 본체 (135) 내에 삽입 통과시키고, 샤프트 (138) 의 일단부를 제 1 덮개부 (133) 의 제 1 관통공 (133i) 으로부터 돌출시키고, 또한 샤프트 (138) 의 타단부를 제 2 덮개부 (134) 의 제 2 관통공 (134i) 으로부터 돌출시킨 상태에서, 샤프트 (138) 의 양단부의 수나사부 (138a) 에 너트 (139) 를 나사 장착함으로써, 케이싱 본체 (135), 제 1 덮개부 (133) 및 제 2 덮개부 (134) 를 고정시킬 수 있다.For example, the shaft 138 is inserted into the casing main body 135, one end of the shaft 138 is projected from the first through hole 133i of the first lid portion 133, The nut 139 is screwed to the male threaded portion 138a at both ends of the shaft 138 in a state in which the other end of the shaft 138 protrudes from the second through hole 134i of the second lid portion 134, 135, the first lid portion 133 and the second lid portion 134 can be fixed.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 샤프트 (138) 의 축방향 (이하 간단히 「축방향」이라고도 한다.) 으로부터 보아, 샤프트 (138) 는 원형이다. 도 4 의 축방향으로부터 보아, 샤프트 (138) 는, 가요성 튜브 (132) 의 내부의 중앙에 배치되어 있다. 가요성 튜브 (132) 의 내부에는, 1 개의 샤프트 (138) 가 형성되어 있다.As shown in Fig. 4, the shaft 138 is circular in view of the axial direction of the shaft 138 (hereinafter, simply referred to as &quot; axial direction &quot;). 4, the shaft 138 is disposed at the center of the inside of the flexible tube 132. The shaft 138, Inside the flexible tube 132, a single shaft 138 is formed.

도 4 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 사각형 이상의 다각형 형상이다. 도 4 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 직경 방향 외방으로 볼록하게 만곡되는 4 개 모서리부 (132a) 와, 이웃하는 2 개의 모서리부 (132a) 끼리를 연결하는 직선상을 이루는 4 개의 변부 (132b) 를 갖는다. 실시형태에 있어서, 4 개의 변부 (132b) 는 서로 동일한 길이를 갖는다. 즉, 도 4 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 마름모꼴 형상이다. 바꾸어 말하면, 도 4 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 둥근 모서리를 갖는 마름모꼴이다.4, the flexible tube 132 has a polygonal shape with a square or more. 4, the flexible tube 132 has four corners 132a curved convexly in the radially outward direction, and four corners 132b formed in a straight line connecting the two adjacent corners 132a. And has four sides 132b. In the embodiment, the four sides 132b have the same length. That is, when viewed in the axial direction of Fig. 4, the flexible tube 132 has a rhombic shape. In other words, as viewed in the axial direction of Fig. 4, the flexible tube 132 is rhombic with rounded corners.

도 4 의 축방향으로부터 보아, 케이싱 (131) 의 내면과 가요성 튜브 (132) 는, 상사 형상을 이루고 있다. 구체적으로, 도 4 의 축방향으로부터 보아, 케이싱 본체 (135) 의 내면 (135a) 과 가요성 튜브 (132) 는, 상사 형상을 이루고 있다. 즉, 도 4 의 축방향으로부터 보아, 케이싱 본체 (135) 의 내면 (135a) 은, 가요성 튜브 (132) 의 외형보다 큰 마름모꼴 형상이다. 도 4 의 축방향으로부터 보아, 본체측 개구부 (135h) 는, 케이싱 본체 (135) 의 폭방향 중앙부에 위치하고 있다. 여기서, 케이싱 본체 (135) 의 폭방향은, 케이싱 본체 (135) 의 내면 (135a) 이 이루는 마름모꼴 형상의 장축에 평행한 방향이다.4, the inner surface of the casing 131 and the flexible tube 132 form a top shape. More specifically, the inner surface 135a of the casing main body 135 and the flexible tube 132 form a top shape as viewed in the axial direction of Fig. 4, the inner surface 135a of the casing main body 135 has a diamond-like shape larger than the outer shape of the flexible tube 132. As shown in Fig. 4, the main body side opening 135h is located at the center of the casing body 135 in the width direction. Here, the width direction of the casing main body 135 is a direction parallel to the long axis of the rhombic shape formed by the inner surface 135a of the casing main body 135.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 실린더부 (140) 는, 케이싱 본체 (135) 의 길이 방향을 따르도록 연장되는 통형상을 이루고 있다. 실린더부 (140) 에는, 실린더부 (140) 의 길이 방향으로 연장되는 실린더공 (140a) 이 형성되어 있다. 실린더부 (140) 에는, 본체측 개구부 (135h) 에 연통되도록 펌프 본체 (130) 측으로 개구되는 실린더측 개구부 (140h) 가 형성된다.3, the cylinder portion 140 has a cylindrical shape extending along the longitudinal direction of the casing main body 135. As shown in Fig. The cylinder portion 140 is formed with a cylinder hole 140a extending in the longitudinal direction of the cylinder portion 140. The cylinder portion 140 is formed with a cylinder side opening portion 140h which opens to the pump body 130 side so as to communicate with the main body side opening portion 135h.

플런저 (150) 는, 실린더부 (140) 의 길이 방향으로 연장되는 플런저 본체 (151) 와, 플런저 본체 (151) 의 실린더부 (140) 측과는 반대측의 단부에 형성된 가이드 블록 (152) 을 구비한다.The plunger 150 includes a plunger main body 151 extending in the longitudinal direction of the cylinder portion 140 and a guide block 152 formed at an end portion of the plunger main body 151 opposite to the side of the cylinder portion 140 do.

플런저 본체 (151) 는, 실린더부 (140) 에 대해 왕복 이동 가능하게 삽입되어 있다.The plunger main body 151 is inserted into the cylinder portion 140 such that the plunger main body 151 can reciprocate.

가이드 블록 (152) 은, 플런저 본체 (151) 의 길이 방향과 평행하게 연장되는 리니어 가이드 액추에이터 (41b) 에 접속되어 있다. 리니어 가이드 액추에이터 (41b) 에는, 복수의 기어를 내장하는 감속기 (41a) 를 개재하여 모터 (41) 가 접속되어 있다. 가이드 블록 (152) 은, 모터 (41) 의 구동에 의해, 플런저 본체 (151) 와 함께, 리니어 가이드 액추에이터 (41b) 의 길이 방향을 따라 도면 중 화살표 (g) 방향으로 이동 가능하게 된다. 이와 같이 하여, 플런저 (150) 는, 실린더부 (140) 에 대해 왕복 이동 가능하게 되어 있다.The guide block 152 is connected to a linear guide actuator 41b extending parallel to the longitudinal direction of the plunger main body 151. [ A motor 41 is connected to the linear guide actuator 41b via a speed reducer 41a having a plurality of gears incorporated therein. The guide block 152 can be moved along the longitudinal direction of the linear guide actuator 41b together with the plunger main body 151 in the direction of the arrow g in the figure by driving the motor 41. [ In this way, the plunger 150 is reciprocally movable with respect to the cylinder portion 140.

실린더부 (140) 에 있어서, 플런저 본체 (151) 의 선단면 (151a) 과, 실린더공 (140a) 에 면하는 측벽면 (140b) 사이에는, 플런저 (150) 의 왕복 이동에 의해 용적이 변동되는 실린더측 구동실 (141) 이 형성되어 있다. 실린더측 구동실 (141) 은, 실린더측 개구부 (140h) 및 본체측 개구부 (135h) 를 개재하여 본체측 구동실 (136) 에 연통되어 있다.The volume of the cylinder portion 140 is changed by the reciprocating movement of the plunger 150 between the tip end face 151a of the plunger main body 151 and the side wall face 140b facing the cylinder hole 140a And a cylinder side drive chamber 141 is formed. The cylinder side drive chamber 141 is communicated with the main body side drive chamber 136 via the cylinder side opening portion 140h and the main body side opening portion 135h.

본체측 구동실 (136) 및 실린더측 구동실 (141) 에는, 작동 유체 (130a) 가 봉입되어 있다. 예를 들어, 작동 유체 (130a) 는, 비압축성 매체를 사용한다. 각 구동실 (136, 141) 의 내부의 작동 유체 (130a) 는, 각 개구부 (135h, 140h) 를 통하여 자유롭게 유동할 수 있게 되어 있다.The working fluid 130a is sealed in the main body side drive chamber 136 and the cylinder side drive chamber 141. For example, the working fluid 130a uses an incompressible medium. The working fluid 130a in each of the drive chambers 136 and 141 can freely flow through the openings 135h and 140h.

＜플런저 본체 (작동 유체) 의 작용＞&Lt; Operation of plunger main body (working fluid) &gt;

플런저 본체 (151) 를 실린더부 (140) 의 측벽면 (140b) 을 향하여 이동 (측벽면 (140b) 에 근접) 시키면, 실린더측 구동실 (141) 은 수축한다. 실린더측 구동실 (141) 의 수축에 의해, 실린더측 구동실 (141) 내의 작동 유체 (130a) 는, 실린더측 개구부 (140h) 및 본체측 개구부 (135h) 를 통하여, 본체측 구동실 (136) 내에 유입된다. 그러면, 가요성 튜브 (132) 는, 작동 유체 (130a) 에 압압 (押壓) 되어 수축한다. 이로써, 가요성 튜브 (132) 내에 수용된 도포액 (3a) 은, 유체 배출구 (134h) 로부터 배관 (104) 측 (도포부 (2)) 에 배출된다. 즉, 플런저 본체 (151) 는, 케이싱 (131) 과 가요성 튜브 (132) 사이의 간극 (본체측 구동실 (136)) 에 작동 유체 (130a) 를 공급하여 가요성 튜브 (132) 로부터 도포액 (3a) 을 배출시킨다.When the plunger main body 151 is moved toward the sidewall surface 140b of the cylinder portion 140 (close to the sidewall surface 140b), the cylinder side drive chamber 141 shrinks. The working fluid 130a in the cylinder side drive chamber 141 is guided to the main body side drive chamber 136 through the cylinder side opening portion 140h and the main body side opening portion 135h by the contraction of the cylinder side drive chamber 141, Respectively. Then, the flexible tube 132 is pressed against the working fluid 130a and contracted. As a result, the coating liquid 3a received in the flexible tube 132 is discharged from the fluid discharge port 134h to the piping 104 side (coated portion 2). That is, the plunger main body 151 supplies the working fluid 130a to the gap (the main body side driving chamber 136) between the casing 131 and the flexible tube 132, (3a).

한편, 플런저 본체 (151) 를 실린더부 (140) 의 측벽면 (140b) 과는 반대측을 향하여 이동 (측벽면 (140b) 으로부터 이반 (離反)) 시키면, 실린더측 구동실 (141) 이 팽창한다. 실린더측 구동실 (141) 의 팽창에 의해, 본체측 구동실 (136) 내의 작동 유체 (130a) 는, 본체측 개구부 (135h) 및 실린더측 개구부 (140h) 를 통하여, 실린더측 구동실 (141) 내에 유입된다. 그러면, 작동 유체 (130a) 에 의한 가요성 튜브 (132) 의 압압이 해제된다.On the other hand, when the plunger main body 151 is moved (away from the side wall surface 140b) toward the side opposite to the side wall surface 140b of the cylinder portion 140, the cylinder side drive chamber 141 expands. The working fluid 130a in the main body side drive chamber 136 is expanded by the expansion of the cylinder side drive chamber 141 into the cylinder side drive chamber 141 through the main body side opening portion 135h and the cylinder side opening portion 140h, Respectively. Then, the pressing of the flexible tube 132 by the working fluid 130a is released.

이와 같이, 실린더부 (140) 에 대해 플런저 본체 (151) 가 왕복 이동하면, 각 구동실 (136, 141) 내에 봉입된 작동 유체 (130a) 의 이동에 의해 본체측 구동실 (136) 이 팽창 수축한다. 그 때문에, 본체측 구동실 (136) 의 팽창 수축에 연동시켜 제 2 밸브 (52) (도 2 참조) 를 개폐함으로써, 배관 (104) 등을 통하여 도포액 (3a) 을 도포부 (2) 에 공급할 수 있다.When the plunger body 151 reciprocates with respect to the cylinder 140 in this manner, the working fluid 130a sealed in each of the driving chambers 136 and 141 moves, thereby causing the main body side driving chamber 136 to expand do. 2) by interlocking with expansion and contraction of the main body side drive chamber 136 and opening and closing the second valve 52 (see FIG. 2), the coating liquid 3a is supplied to the application portion 2 through the pipe 104 or the like Can supply.

＜샤프트의 작용＞<Operation of Shaft>

도 5 는, 가요성 튜브 (132) 의 수축 상태를 나타내는 도면이다. 도 5 는, 도 4 에 상당하는 단면도이다.5 is a view showing the contraction state of the flexible tube 132. Fig. 5 is a cross-sectional view corresponding to Fig.

도 5 에 나타내는 바와 같이, 가요성 튜브 (132) 는, 샤프트 (138) 를 축으로 하여 수축하고 있다. 가요성 튜브 (132) 의 수축 상태에 있어서, 변부 (132b) 는 모서리부 (132a) 보다 변형되기 쉽기 때문에, 변부 (132b) 가 적극적으로 변형되고 있다. 구체적으로, 작동 유체 (130a) 가 본체측 개구부 (135h) 를 통하여 본체측 구동실 (136) 내에 유입되면, 변부는, 이웃하는 2 개의 모서리부 (132a) 끼리를 연결하는 직선상 (도 4 참조) 에서, 이웃하는 2 개의 모서리부 (132a) 사이에서 직경 방향으로 볼록해지는 만곡상으로 변형된다.As shown in Fig. 5, the flexible tube 132 is contracted about the shaft 138 as an axis. The side portion 132b is more deformed than the corner portion 132a in the contracted state of the flexible tube 132 so that the side portion 132b is positively deformed. Specifically, when the working fluid 130a flows into the main body side drive chamber 136 through the main body side opening portion 135h, the side portion is formed in a straight line connecting the two adjacent corner portions 132a , It is deformed into a curved shape convex in the radial direction between two adjacent corner portions 132a.

가요성 튜브 (132) 의 수축 상태에 있어서, 가요성 튜브 (132) 의 내면과 샤프트 (138) 의 외면은 이간되어 있다. 가요성 튜브 (132) 의 내부에 있어서, 가요성 튜브 (132) 의 내면과 샤프트 (138) 의 외면 사이에는, 도포액 (3a) 이 개재되어 있다.In the retracted state of the flexible tube 132, the inner surface of the flexible tube 132 and the outer surface of the shaft 138 are spaced apart. The coating liquid 3a is interposed between the inner surface of the flexible tube 132 and the outer surface of the shaft 138 inside the flexible tube 132. [

여기서, 도 4 에 나타내는 가요성 튜브 (132) 의 초기 상태 (수축 전 상태) 에 있어서의 가요성 튜브 (132) 의 내부 용적을 100 ％ 로 한다. 예를 들어, 도 5 에 나타내는 가요성 튜브 (132) 의 수축 상태에 있어서의 가요성 튜브 (132) 의 내부 용적은 40 ％ 정도이다.Here, the internal volume of the flexible tube 132 in the initial state (the state before shrinkage) of the flexible tube 132 shown in Fig. 4 is made 100%. For example, the internal volume of the flexible tube 132 in the contracted state of the flexible tube 132 shown in Fig. 5 is about 40%.

이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 가요성 튜브 (132) 의 내부에 배치된 샤프트 (138) 를 포함함으로써, 샤프트 (138) 를 갖지 않는 경우와 비교하여, 가요성 튜브 (132) 의 내부 용적이 감소하기 때문에, 고점도의 액체를 용이하게 토출할 수 있다. 또한, 가요성 튜브 (132) 가 샤프트 (138) 를 축으로 하여 팽창 수축하기 때문에, 가요성 튜브 (132) 가 좌굴하는 것을 억제할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, by including the shaft 138 disposed inside the flexible tube 132, the internal volume of the flexible tube 132 The liquid having a high viscosity can be easily discharged. Further, since the flexible tube 132 expands and shrinks around the shaft 138, buckling of the flexible tube 132 can be suppressed.

또, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 사각형 이상의 다각형 형상임으로써, 이하의 효과를 발휘한다. 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아 가요성 튜브 (132) 가 모서리부 (132a) 와 변부 (132b) 를 둘레 방향으로 교대로 갖는다. 변부 (132b) 는 모서리부 (132a) 보다 변형되기 쉽기 때문에, 변부 (132b) 를 적극적으로 팽창 수축시킬 수 있다. 따라서, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아 가요성 튜브 (132) 가 원형 형상인 경우와 비교하여, 가요성 튜브 (132) 가 의도하지 않은 방향으로 변형되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 가요성 튜브 (132) 가 복수의 모서리부 (132a) 로 보강되기 때문에, 가요성 튜브 (132) 가 좌굴하는 것을 보다 더 억제할 수 있다.Further, as viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 is a polygonal shape having a square or more, and the following effects are exhibited. The flexible tube 132 alternately has the corner portion 132a and the side portion 132b in the circumferential direction when viewed from the axial direction of the shaft 138. [ Since the edge portion 132b is more deformed than the corner portion 132a, the edge portion 132b can be actively expanded and contracted. Therefore, compared with the case where the flexible tube 132 is circular in the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 can be prevented from being deformed in an unintended direction. Further, since the flexible tube 132 is reinforced with the plurality of corner portions 132a, it is possible to further suppress the buckling of the flexible tube 132. [

또, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 마름모꼴 형상임으로써, 이하의 효과를 발휘한다. 4 개의 변부 (132b) 의 길이가 서로 동일하기 때문에, 각 변부 (132b) 를 균등하게 변형시킬 수 있다. 따라서, 가요성 튜브 (132) 를 안정적으로 팽창 수축시킬 수 있다.Further, as viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 is in the shape of a rhomboid, and exhibits the following effects. Since the four side portions 132b have the same length, the respective side portions 132b can be deformed equally. Therefore, the flexible tube 132 can stably expand and shrink.

또, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 케이싱 (131) 의 내면과 가요성 튜브 (132) 는, 상사 형상을 이루고 있음으로써, 이하의 효과를 발휘한다. 케이싱 (131) 과 가요성 튜브 (132) 의 간극에 공급되는 작동 유체 (130a) 가 가요성 튜브 (132) 의 둘레 방향에 있어서 균등하게 흐르기 쉬워지기 때문에, 가요성 튜브 (132) 를 안정적으로 팽창 수축시킬 수 있다. 또한, 가요성 튜브 (132) 의 성형시에, 케이싱 (131) 을 성형형으로서 활용할 수 있기 때문에 바람직하다.In addition, since the inner surface of the casing 131 and the flexible tube 132 have a top shape when viewed from the axial direction of the shaft 138, the following effects are exhibited. Since the working fluid 130a supplied to the gap between the casing 131 and the flexible tube 132 is likely to flow uniformly in the circumferential direction of the flexible tube 132, the flexible tube 132 can be stably expanded It can shrink. It is also preferable that the casing 131 can be utilized as a mold for molding the flexible tube 132.

또, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 샤프트 (138) 는, 가요성 튜브 (132) 의 내부의 중앙에 배치되어 있음으로써, 이하의 효과를 발휘한다. 샤프트 (138) 를 개재하여 가요성 튜브 (132) 의 내부에 수용되는 액체가 샤프트 (138) 의 주위에 있어서 균등하게 흐르기 쉬워지기 때문에, 액체를 안정적으로 토출시킬 수 있다. 또한, 가요성 튜브 (132) 의 수축시에 가요성 튜브 (132) 의 내면이 샤프트 (138) 에 접촉하기 어려워지기 때문에, 진애 등의 이물질이 발생하는 것을 억제할 수 있다.In addition, since the shaft 138 is disposed at the center of the inside of the flexible tube 132 as viewed from the axial direction of the shaft 138, the following effects are exhibited. The liquid contained in the flexible tube 132 through the shaft 138 can easily flow uniformly around the shaft 138, so that the liquid can be stably discharged. In addition, since the inner surface of the flexible tube 132 is hardly brought into contact with the shaft 138 at the time of contraction of the flexible tube 132, generation of foreign matter such as dust can be suppressed.

또, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 샤프트 (138) 는 원형임으로써, 이하의 효과를 발휘한다. 샤프트 (138) 를 개재하여 가요성 튜브 (132) 의 내부에 수용되는 액체가 샤프트 (138) 의 둘레 방향에 있어서 균등하게 흐르기 쉬워지기 때문에, 액체를 안정적으로 토출시킬 수 있다. 또한, 가요성 튜브 (132) 의 수축시에 가요성 튜브 (132) 의 내면이 샤프트 (138) 에 접촉한 경우여도, 샤프트 (138) 의 표면 (곡면) 에서 미끄러지기 쉽다. 따라서, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아 샤프트 (138) 가 다각형인 경우와 비교하여, 진애 등의 이물질이 발생하는 것을 억제할 수 있다.Further, as viewed from the axial direction of the shaft 138, the shaft 138 is circular, and the following effects are exhibited. The liquid stored in the flexible tube 132 through the shaft 138 is likely to flow uniformly in the circumferential direction of the shaft 138, so that the liquid can be stably discharged. Further, even when the inner surface of the flexible tube 132 touches the shaft 138 at the time of retraction of the flexible tube 132, it is likely to slide on the surface (curved surface) of the shaft 138. [ Therefore, as compared with the case where the shaft 138 is polygonal as viewed from the axial direction of the shaft 138, generation of foreign matter such as dust can be suppressed.

또, 샤프트 (138) 는, 케이싱 (131) 보다 길게 연장되고, 케이싱 (131) 은, 통형상의 케이싱 본체 (135) 와, 케이싱 본체 (135) 의 일방측에 배치되고, 샤프트 (138) 의 일단부를 돌출시키는 제 1 관통공 (133i) 이 형성된 제 1 덮개부 (133) 와, 케이싱 본체 (135) 의 타방측에 배치되고, 샤프트 (138) 의 타단부를 돌출시키는 제 2 관통공 (134i) 이 형성된 제 2 덮개부 (134) 를 구비하고, 샤프트 (138) 의 양단부에는, 너트 (139) 를 나사 결합 가능한 수나사부 (138a) 가 형성되어 있음으로써, 이하의 효과를 발휘한다. 샤프트 (138) 의 수나사부 (138a) 에 너트 (139) 가 나사 결합됨으로써, 케이싱 본체 (135), 제 1 덮개부 (133) 및 제 2 덮개부 (134) 를 강고하게 고정시킬 수 있다. 따라서, 케이싱 본체 (135), 제 1 덮개부 (133) 및 제 2 덮개부 (134) 를 복수의 볼트로 고정시킬 필요가 없기 때문에, 부품 점수를 삭감하고, 조립 작업성의 향상 및 저비용화를 도모할 수 있다.The shaft 138 extends longer than the casing 131 and the casing 131 is disposed on one side of the casing main body 135 and on the side of the shaft 138, And a second through hole 134i which is disposed on the other side of the casing main body 135 and which projects the other end of the shaft 138. The first through hole 133i is formed in the through- And the second lid 134 formed with the male screw portion 138a and the male screw portion 138a capable of screwing the nut 139 are formed at both ends of the shaft 138. As a result, The nut 139 is screwed to the male screw portion 138a of the shaft 138 so that the casing main body 135, the first lid 133 and the second lid 134 can be firmly fixed. Therefore, it is not necessary to fix the casing main body 135, the first lid portion 133, and the second lid portion 134 with a plurality of bolts, so that the number of parts can be reduced, the assembling workability can be improved, and the cost can be reduced can do.

또, 도포 장치 (1) 는, 액체를 피도포물에 대해 도포하는 도포부 (2) 와, 상기 펌프 (31) 를 포함함으로써, 고점도의 액체를 용이하게 토출하는 것이 가능한 도포 장치 (1) 를 제공할 수 있다.The coating device 1 includes a coating unit 2 for applying a liquid to an object to be coated and a coating device 1 capable of easily discharging a liquid having a high viscosity by including the pump 31 .

또, 도포부 (2) 가, 문형 프레임 (82) 에 장착됨과 함께, 펌프 (31) 에 의해 도포액 (3a) 을 토출 가능한 노즐 (2a) 을 포함함으로써, 이하의 효과를 발휘한다. 일반적인 레일을 따라 노즐 (2a) 을 이동시키는 경우와 비교하여, 높은 강성을 갖는 문형 프레임 (82) 에 의해 노즐 (2a) 을 스테이지 (7) 에 대해 이동시킬 수 있기 때문에, 노즐 (2a) 의 이동을 안정적으로 실시할 수 있다.The application part 2 has the following effects by including the nozzle 2a that is mounted on the frame 82 and can discharge the coating liquid 3a by the pump 31. [ The nozzle 2a can be moved with respect to the stage 7 by the door frame 82 having a high rigidity as compared with the case of moving the nozzle 2a along a general rail, Can be stably performed.

또한, 상기 서술한 예에 있어서 나타낸 각 구성 부재의 제형상이나 조합 등은 일례로서, 설계 요구 등에 기초하여 여러 가지 변경 가능하다.The shapes, combinations, and the like of the respective structural members shown in the above-described examples are merely examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like.

예를 들어, 상기 실시형태에 있어서는, 도포부 (2) 로서, 슬릿형의 노즐 (2a) 을 사용했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 중앙 적하형의 도포부를 사용해도 되고, 잉크젯형의 도포부를 사용해도 된다. 또, 기판 (10) 상에 배치되는 액상체를, 스퀴지 등을 사용하여 확산시켜 도포하는 구성이어도 된다.For example, in the above embodiment, the slit type nozzle 2a is used as the application portion 2, but the present invention is not limited to this. For example, a center drop type application portion may be used, or an ink jet type application portion may be used. Alternatively, the liquid body disposed on the substrate 10 may be diffused and applied by using a squeegee or the like.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 도포 장치 (1) 가, 기판 (10) 상에 도포액 (3a) 으로서 폴리이미드를 포함하는 액상체를 도포하는 예를 들었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 도포액 (3a) 으로서 레지스트액을 사용해도 되고, 레지스트액 이외의 액체를 사용해도 된다.In the above embodiment, the coating device 1 has been described as applying the liquid body containing polyimide as the coating liquid 3a on the substrate 10, but the present invention is not limited thereto. For example, a resist solution may be used as the coating liquid 3a, or a liquid other than the resist solution may be used.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 마름모꼴 형상인 예를 들었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 마름모꼴 이외의 다각형 형상이어도 된다. 또, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 원형 또는 타원형이어도 된다.In the above-described embodiment, the flexible tube 132 is in the form of a rhombus as viewed from the axial direction of the shaft 138, but the present invention is not limited thereto. For example, when viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may have a polygonal shape other than a rhombic shape. Further, as viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may be circular or elliptical.

또, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 성형 (星型) 형상이어도 된다. 바꾸어 말하면, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 직경 방향 내방으로 움푹 패이는 3 개 이상의 오목부를 둘레 방향으로 갖고 있어도 된다. 즉, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 가요성 튜브 (132) 는, 상대적으로 변형되기 어려운 부분과 상대적으로 변형되기 쉬운 부분을 둘레 방향으로 교대로 갖고 있으면 된다.In view of the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may be formed in a star shape. In other words, as viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may have three or more recesses in the circumferential direction that are recessed inward in the radial direction. That is, as viewed from the axial direction of the shaft 138, the flexible tube 132 may alternatively include a portion that is relatively difficult to deform and a portion that is relatively deformable in the circumferential direction.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 케이싱 (131) 의 내면과 가요성 튜브 (132) 는, 상사 형상을 이루고 있는 예를 들었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 케이싱 (131) 의 내면과 가요성 튜브 (132) 는, 서로 상이한 형상을 이루고 있어도 된다.In the above-described embodiment, the inner surface of the casing 131 and the flexible tube 132 are formed in a top shape as viewed from the axial direction of the shaft 138, but the present invention is not limited thereto. For example, when viewed from the axial direction of the shaft 138, the inner surface of the casing 131 and the flexible tube 132 may have different shapes from each other.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 샤프트 (138) 는, 가요성 튜브 (132) 의 내부의 중앙에 배치되어 있는 예를 들었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 샤프트 (138) 는, 가요성 튜브 (132) 의 내부의 중앙 위치로부터 어긋난 위치에 배치되어 있어도 된다.In the above embodiment, the shaft 138 is disposed at the center of the inside of the flexible tube 132 as viewed from the axial direction of the shaft 138, but the present invention is not limited thereto. For example, as viewed from the axial direction of the shaft 138, the shaft 138 may be disposed at a position shifted from the central position of the inside of the flexible tube 132.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 샤프트 (138) 는 원형인 예를 들었지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 샤프트 (138) 의 축방향으로부터 보아, 샤프트 (138) 는 다각형이어도 된다.In the above embodiment, the shaft 138 is circular in the axial direction of the shaft 138, but the present invention is not limited thereto. For example, as viewed from the axial direction of the shaft 138, the shaft 138 may be polygonal.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 본체측 개구부 (135h) 는, 케이싱 본체 (135) 의 연장 방향에 있어서 제 1 덮개부 (133) 측의 단부에 위치하고 있는 예 (도 3 참조) 를 들었지만, 이것에 한정되지 않는다.3) in which the main body side opening 135h is located at the end on the first lid portion 133 side in the extending direction of the casing main body 135 is described in the above embodiment, It is not limited.

도 6 은, 실시형태의 제 1 변형예에 관련된 펌프 (231) 의 개략 구성도이다.6 is a schematic configuration diagram of a pump 231 according to the first modification of the embodiment.

예를 들어, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 본체측 개구부 (135h) 는, 케이싱 본체 (135) 의 연장 방향 중앙부에 위치하고 있어도 된다.For example, as shown in Fig. 6, the main body side opening 135h may be located at a central portion in the extending direction of the casing main body 135. Fig.

또, 상기 실시형태에 있어서는, 도 4 의 축방향으로부터 보아, 본체측 개구부 (135h) 는, 케이싱 본체 (135) 의 폭방향 중앙부에 위치하고 있는 예를 들었지만, 이것에 한정되지 않는다.In the above-described embodiment, the main body side opening 135h is located at the center of the casing body 135 in the width direction as viewed in the axial direction of Fig. 4, but the present invention is not limited thereto.

도 7 은, 실시형태의 제 2 변형예에 관련된 펌프 본체 (330) 의 도 4 에 상당하는 단면을 포함하는 도면이다.Fig. 7 is a view including a section corresponding to Fig. 4 of the pump main body 330 according to the second modification of the embodiment.

예를 들어, 도 7 의 축방향으로부터 보아, 본체측 개구부 (135h) 는, 케이싱 본체 (135) 의 폭방향의 제 1 단부에 위치하고 있어도 된다.For example, as viewed in the axial direction of Fig. 7, the main body side opening 135h may be located at the first end in the width direction of the casing main body 135. [

도 8 은, 실시형태의 제 3 변형예에 관련된 펌프 본체 (430) 의 도 4 에 상당하는 단면을 포함하는 도면이다.Fig. 8 is a view including a cross section corresponding to Fig. 4 of the pump main body 430 according to the third modification of the embodiment.

예를 들어, 도 8 의 축방향으로부터 보아, 본체측 개구부 (135h) 는, 케이싱 본체 (135) 의 폭방향에 있어서 제 1 단부와는 반대측의 제 2 단부에 위치하고 있어도 된다.For example, as viewed from the axial direction of Fig. 8, the main body side opening 135h may be located at the second end opposite to the first end in the width direction of the casing main body 135. [

또한, 상기에 있어서 실시형태 또는 그 변형예로서 기재한 각 구성 요소는, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 조합할 수 있고, 또 조합된 복수의 구성 요소 중 일부의 구성 요소를 적절히 사용하지 않도록 할 수도 있다.It is to be understood that each component described above as an embodiment or a modified example thereof can be combined as appropriate without departing from the spirit of the present invention, You do not have to.

1 : 도포 장치
2 : 도포부
3a : 도포액 (액체)
10 : 기판 (피도포물)
31, 231 : 펌프
130a : 작동 유체
131 : 케이싱
132 : 가요성 튜브 (가요성 부재)
133 : 제 1 덮개부
133i : 제 1 관통공
134 : 제 2 덮개부
134i : 제 2 관통공
135 : 케이싱 본체
135a : 케이싱 본체의 내면 (케이싱의 내면)
138 : 샤프트
138a : 수나사부
139 : 너트
140 : 실린더부
150 : 플런저1: Coating device
2:
3a: Coating liquid (liquid)
10: substrate (substrate)
31, 231: pump
130a: working fluid
131: casing
132: Flexible tube (flexible member)
133: first cover portion
133i: First through hole
134: second cover portion
134i: second through hole
135: Casing body
135a: inner surface of the casing main body (inner surface of the casing)
138: Shaft
138a:
139: Nuts
140:
150: plunger

Claims (8)

케이싱과,
상기 케이싱의 내부에 배치되고, 액체가 수용되는 가요성 부재와,
작동 유체를 수용하는 실린더부와,
상기 실린더부에 대해 왕복 이동 가능하게 삽입되고, 상기 케이싱과 상기 가요성 부재의 간극에 상기 작동 유체를 공급하여 상기 가요성 부재로부터 상기 액체를 배출시키는 플런저와,
상기 가요성 부재의 내부에 배치된 샤프트를 포함하는, 펌프.A casing,
A flexible member which is disposed inside the casing and receives liquid;
A cylinder portion for receiving a working fluid,
A plunger inserted into the cylinder portion so as to be capable of reciprocating movement and supplying the working fluid to a gap between the casing and the flexible member to discharge the liquid from the flexible member;
And a shaft disposed within the flexible member. 제 1 항에 있어서,
상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 가요성 부재는, 사각형 이상의 다각형 형상인, 펌프.The method according to claim 1,
Wherein the flexible member has a polygonal shape with a square or more in the axial direction of the shaft. 제 2 항에 있어서,
상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 가요성 부재는, 마름모꼴 형상인, 펌프.3. The method of claim 2,
Wherein the flexible member has a rhombic shape when viewed from the axial direction of the shaft. 제 1 항에 있어서,
상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 케이싱의 내면과 상기 가요성 부재는, 상사 형상을 이루는, 펌프.The method according to claim 1,
Wherein the inner surface of the casing and the flexible member, when viewed from the axial direction of the shaft, form a top shape. 제 1 항에 있어서,
상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 샤프트는, 상기 가요성 부재의 내부의 중앙에 배치되어 있는, 펌프.The method according to claim 1,
And the shaft is disposed at the center of the inside of the flexible member when viewed from the axial direction of the shaft. 제 1 항에 있어서,
상기 샤프트의 축방향으로부터 보아, 상기 샤프트는 원형인, 펌프.The method according to claim 1,
Wherein the shaft is circular when viewed from the axial direction of the shaft. 제 1 항에 있어서,
상기 샤프트는, 상기 케이싱보다 길게 연장되고,
상기 케이싱은,
통형상의 케이싱 본체와,
상기 케이싱 본체의 일방측에 배치되고, 상기 샤프트의 일단부를 돌출시키는 제 1 관통공이 형성된 제 1 덮개부와,
상기 케이싱 본체의 타방측에 배치되고, 상기 샤프트의 타단부를 돌출시키는 제 2 관통공이 형성된 제 2 덮개부를 구비하고,
상기 샤프트의 양단부에는, 너트를 나사 결합 가능한 수나사부가 형성되어 있는, 펌프.The method according to claim 1,
Wherein the shaft extends longer than the casing,
The casing includes:
A cylindrical casing body,
A first lid provided on one side of the casing main body and having a first through hole for projecting one end of the shaft,
And a second lid portion disposed on the other side of the casing body and having a second through hole for protruding the other end of the shaft,
Wherein a male screw portion capable of screwing a nut is formed at both ends of the shaft. 액체를 피도포물에 대해 도포하는 도포부와,
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 펌프를 포함하는, 도포 장치.An application unit for applying a liquid to the object to be painted;
An application device comprising the pump according to any one of claims 1 to 7.
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