KR20190052875A - Cassette supplying system - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 카세트 공급시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 콤팩트하면서도 효율적인 동작 구조를 가지기 때문에 장비 운영의 택트 타임(Tact Time)을 현저하게 감소시킬 수 있음은 물론 종전보다 좁은 최소한의 승하강 거리만으로도 카세트를 효과적으로 공급할 수 있는 동작을 이끌어낼 수 있는 카세트 공급시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette supply system, and more particularly, to a cassette supply system that has a compact and efficient operation structure, so that a tact time of the apparatus can be remarkably reduced, And more particularly, to a cassette supplying system capable of efficiently supplying a cassette even when the cassette is not in use.
평판표시소자 중의 하나인 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하는 초경박형 표시장치로서, 그 구조가 간단하면서 광효율이 높다는 점에서 차세대의 유망 디스플레이 장치로서 주목받고 있다.An organic light emitting display (OLED), which is one of the flat panel display devices, is a cemented carbide thin film display device which realizes a color image by self-emission of an organic substance and has a simple structure and high optical efficiency. Has attracted attention as a display device.
이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.The organic light emitting display OLED includes an anode, a cathode, and organic layers interposed between the anode and the cathode. Here, the organic layers include at least a light emitting layer and may further include a hole injecting layer, a hole transporting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer in addition to the light emitting layer.
유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나뉠 수 있다.The organic electroluminescent display device can be divided into a polymer organic electroluminescent device and a low molecular weight organic electroluminescent device depending on an organic film, particularly a material forming the light emitting layer.
풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 이 경우, FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 적용될 수 있다.In order to realize a full color, a light emitting layer must be patterned. In this case, a direct patterning method using FMM (Fine Metal Mask, hereinafter referred to as a mask), a method using LITI (Laser Induced Thermal Imaging) A method using a color filter may be applied.
마스크 방식을 적용하여 대형 OLED를 제작할 때에는 챔버 내에 기판과 패터닝(patterning)된 마스크를 수평으로 배치시킨 후에 증착하는 이른바 수평식 상향 증착 공법이 적용될 수 있다.When a large-size OLED is manufactured by applying a mask method, a so-called horizontal type upward deposition method in which a substrate and a patterned mask are horizontally disposed in a chamber and then is deposited can be applied.
수평식 상향 증착 공법은 바닥면에 대해 수평으로 배치된 기판과 마스크를 상호 얼라인(align)시킨 후 합착시키고 수평 상태에서 대형 기판에 유기물을 증착시키는 방법이다.The horizontal type upward deposition method is a method of aligning a substrate and a mask horizontally arranged with respect to a bottom surface, aligning them together, and depositing an organic material on a large substrate in a horizontal state.
하지만, 현재 OLED가 대형화됨에 따라 마스크가 점점 대형화 및 고중량화되고 있으며, 이 경우 중력 방향으로 마스크의 처짐이 발생하여 기판에 대해 마스크를 밀착시키는 것이 어렵게 됨에 따라 결국에는 양산에서 요구되는 정밀도를 확보하기 어려운 문제점이 있다.However, as the size of the OLED increases, the size and weight of the mask are becoming larger and larger. In this case, since the mask is deflected in the direction of gravity, it is difficult to closely adhere the mask to the substrate. There is a difficult problem.
따라서 근자에 들어서는 기판과 마스크를 수직 방향으로 세운 후에 합착시키고, 이어 유기물을 증착하려는 기술이 연구되고 있으며, 본 출원인은 이러한 기술들에 대하여 다수 선출원한 바 있으며, 일부는 등록되어 적용 중에 있다.Therefore, techniques for depositing a substrate and a mask in a vertical direction and then cementing the substrate and a mask for depositing the organic material are studied, and Applicants have already filed a number of these techniques, some of them being registered and being applied.
한편, 전술한 수평식과 수직식을 떠나 어떠한 방식일지라도 증착기로 마스크를 공급하는 일이 선행되어야 하며, 그래야만 마스크를 통한 해당 공정, 예컨대 기판에 대한 증착 공정 등이 진행될 수 있다.On the other hand, it is necessary to supply the mask to the evaporator regardless of the horizontal and vertical equations described above, so that the corresponding process through the mask, for example, the deposition process with respect to the substrate, can proceed.
이때, 증착기로 마스크가 낱장씩 공급될 수도 있으나 공정의 효율을 위해 카세트(cassette) 내에 여러 장의 마스크를 수납시킨 후, 카세트 자체를 증착기로 공급하는 방식을 취한다. 이처럼 다수의 마스크가 수납된 카세트를 증착기로 공급하기 위해 소위, 카세트 공급시스템이 클린룸(clean room)에 구축된다.At this time, although masks may be supplied one by one to the evaporator, a plurality of masks are accommodated in a cassette for efficiency of the process, and the cassettes themselves are supplied to the evaporator. A so-called cassette supply system is constructed in a clean room to supply a cassette containing a plurality of masks to the evaporator.
마스크를 공급 받아 기판에 대한 증착 공정을 진행하는 증착기가 클린룸의 바닥에 설치되는 것을 고려하여 카세트를 공급하는 카세트 공급시스템은 클린룸의 천장 영역에 설치될 수 있으며, 해당 위치에도 수평 또는 수직 방향으로 동작되면서 카세트를 시스템의 하부 영역에 배치되는 증착기로 공급한다. 물론, 빈 카세트를 취출하는 작업도 병행한다.The cassette supplying system for supplying the cassette may be installed in the ceiling area of the clean room in consideration of the fact that the evaporator for supplying the mask and performing the deposition process on the substrate is installed on the floor of the clean room, The cassette is supplied to the evaporator disposed in the lower area of the system. Of course, the work for ejecting empty cassettes is also performed.
이와 같은 카세트 공급시스템을 증착기의 상부인 클린룸의 천장 영역에 구축함에 있어서 단순히 직교축을 이중 조합해서 사용하는 방식이 고려될 수 있다. 이중 조합의 직교축은 수평 방향 또는 수직 방향의 구동을 간편하게 구현시킬 수 있다는 점에서 실제 널리 사용되는 방식이다.In the case of constructing such a cassette supply system in the ceiling area of the clean room, which is the upper part of the evaporator, a method of simply using orthogonal axes in combination may be considered. The orthogonal axis of the dual combination is a widely used method in that it can be easily implemented in the horizontal or vertical direction.
그런데, 단순히 직교축을 이중 조합해서 카세트를 공급하는 구조를 구현할 경우에는 구조적인 한계로 인해 장비 운영의 택트 타임(Tact Time)이 증가되는 문제점이 있다.However, when a structure for supplying cassettes by simply combining orthogonal axes is implemented, there is a problem that the tact time of the equipment operation is increased due to the structural limitations.
뿐만 아니라 이중 조합의 직교축 구조는 특히, 수직 방향의 구동을 위한 승하강 거리가 일정량 이상 확보되어야만 하기 때문에 클린룸마다의 클린룸의 건축 층고에 적용이 어려울 수 있으며, 이로 인해 증착기와 공정장비 등의 하부 설비와의 간섭 문제가 발생될 소지가 높아 상부 설비의 구축에 제약이 많을 수밖에 없는 문제점이 있다.In addition, since the orthogonal axial structure of the dual combination must secure a certain amount or more of the rising and falling distances for driving in the vertical direction, it may be difficult to apply the structure to the building floor of each clean room. There is a problem in that there is a high possibility that an interference problem with the lower equipment of the upper equipment is likely to occur.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 콤팩트하면서도 효율적인 동작 구조를 가지기 때문에 장비 운영의 택트 타임(Tact Time)을 현저하게 감소시킬 수 있음은 물론 종전보다 좁은 최소한의 승하강 거리만으로도 카세트를 효과적으로 공급할 수 있는 동작을 이끌어낼 수 있으며, 이로 인해 클린룸의 건축 층고에 큰 어려움 없이 적용이 가능할 뿐만 아니라 증착기 등의 하부 설비와의 간섭이 없어서 상부 설비의 구축에 편의성을 제공할 수 있는 카세트 공급시스템을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made keeping in mind the above problems occurring in the prior art, and it is an object of the present invention to provide a cassette which can effectively reduce the tact time of a device operation by having a compact and efficient operation structure, So that it can be applied to the building floor of the clean room without any difficulty, and there is no interference with the lower equipment such as the evaporator, thereby providing a cassette supply system that can provide convenience in construction of the upper equipment .
본 발명의 일 측면에 따르면, 클린룸 내에 마련되는 증착기의 상부 영역에 배치되되 상기 증착기의 상부에 마련되는 카세트 출입부를 통해 카세트(Cassette)를 공급하는 카세트 공급유닛을 포함하며, 상기 카세트 공급유닛은, 상기 증착기의 상부에 배치되며, 상기 증착기로 공급되는 카세트가 안착되는 장소를 형성하는 카세트 스테이션부; 및 상기 카세트를 파지하는 파지부와, 상기 파지부와 연결되되 적어도 일 영역이 접철되어 다축으로 구동 가능한 접철식 다관절 아암을 구비하며, 상기 카세트를 상기 증착기로 공급하기 위해 상기 카세트를 파지하여 승하강 구동시키는 카세트 파지 승하강 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템이 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a cassette supply unit for supplying a cassette through a cassette access portion disposed in an upper region of an evaporator provided in a clean room, the cassette supply unit including: A cassette station unit disposed at an upper portion of the evaporator and forming a place where the cassette supplied to the evaporator is seated; And a folding type multi-joint arm connected to the gripping portion and at least one area folded and driven to be driven by multiple shafts, wherein the cassette is gripped by the cassette to supply the cassette to the evaporator, And a cassette gripping and elevating module for driving the cassette holding mechanism.
상기 카세트 파지 승하강 모듈은, 상부 몸체부; 및 상기 파지부를 구비하되 상기 상부 몸체부에 대해 상대 회전이 가능하게 연결되는 하부 몸체부를 포함할 수 있으며, 상기 접철식 다관절 아암은 상기 상부 몸체부와 상기 하부 몸체부 사이에 배치되어 상기 상부 몸체부와 상기 하부 몸체부에 연결될 수 있다.The cassette holding and lowering module includes: an upper body part; And a lower body portion having the grip portion and connected to the upper body portion so as to be rotatable relative to the upper body portion. The foldable multi-joint arm may be disposed between the upper body portion and the lower body portion, And the lower body portion.
상기 접철식 다관절 아암은, 일단부가 상기 상부 몸체부에 회전 가능하게 결합되는 제1 링크 아암; 및 일단부는 상기 제1 링크 아암에 링크 결합되고 타단부는 상기 하부 몸체부에 회전 가능하게 결합되는 제2 링크 아암을 포함할 수 있으며, 상기 접철식 다관절 아암은 다축 다관절 로봇일 수 있다.The foldable multi-joint arm includes: a first link arm having one end rotatably coupled to the upper body; And a second link arm having one end linked to the first link arm and the other end rotatably coupled to the lower body, and the foldable multi-joint arm may be a multiaxial articulated robot.
상기 카세트 파지 승하강 모듈은, 상기 상부 몸체부와 상기 접철식 다관절 아암 사이에 마련되되 상기 상부 몸체부에 대하여 상기 하부 몸체를 회전 구동시키기 위한 동력을 발생시키는 로터리 서보를 더 포함할 수 있다.The cassette gripping up and down module may further include a rotary servo provided between the upper body part and the foldable articulated arm and generating power for rotationally driving the lower body with respect to the upper body part.
상기 카세트 공급유닛은, 상기 카세트 파지 승하강 모듈과 상호작용하여 상기 카세트 파지 승하강 모듈의 승하강 동작을 지지하는 승하강 지지 모듈을 더 포함할 수 있다.The cassette supply unit may further include an up / down support module for interacting with the cassette grip / elevation / descent module to support the up / down operation of the cassette grip / elevation / descent module.
상기 승하강 지지 모듈은 1단 직교축 로봇이며, 상기 카세트 파지 승하강 모듈이 일측에서 연결될 수 있다.The upward / downward support module is a one-step orthogonal axis robot, and the cassette gripping and elevating / lowering module may be connected from one side.
상기 승하강 지지 모듈은, 높이 방향을 따라 상하로 배치되는 직교 레일; 및 상기 직교 레일에 결합되되 상기 직교 레일의 길이 방향을 따라 이동되며, 일측에서 상기 카세트 파지 승하강 모듈이 연결되는 레일블록을 포함할 수 있다.The upward / downward support module includes: an orthogonal rail disposed up and down along a height direction; And a rail block coupled to the orthogonal rail, the rail block being moved along the longitudinal direction of the orthogonal rail and connected to the cassette gripping up / down module at one side.
상기 카세트 스테이션부는, 상기 카세트가 출입되는 출입포트가 형성되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트에 교차되게 배치되어 상기 베이스 플레이트에 대한 부분적인 벽체를 형성하는 다수의 수직 프레임; 및 상기 수직 프레임 내에 배치되되 상기 카세트의 에지 영역이 안착되어 지지되는 카세트 안착 지지대를 포함할 수 있다.Wherein the cassette station part includes: a base plate on which an access port through which the cassette is inserted and ejected is formed; A plurality of vertical frames disposed crosswise to the base plate to form a partial wall for the base plate; And a cassette seating support disposed within the vertical frame, the cassette seating support having an edge region of the cassette mounted thereon.
상기 클린룸의 천장에 배치되되 상기 카세트를 운송하는 반송 대차유닛; 및 상기 반송 대차유닛과 상기 카세트 공급유닛의 어느 한 쪽에서 다른 쪽으로 상기 카세트를 핸들링하여 상기 반송 대차유닛 또는 상기 카세트 공급유닛에 상기 카세트를 로딩 또는 언로딩시키는 카세트 핸들링유닛을 더 포함할 수 있다.A conveyance truck unit disposed on a ceiling of the clean room for conveying the cassette; And a cassette handling unit for handling the cassette from either one of the conveyance truck unit and the cassette supply unit to the other and loading or unloading the cassette to the conveyance truck unit or the cassette supply unit.
상기 카세트 핸들링유닛은, 상기 카세트와 접촉되어 상기 카세트를 핸들링(handling)하는 카세트 핸들러; 및 상기 카세트 핸들러를 지상으로부터 이격되게 지지하는 반송 플랫폼을 포함할 수 있다.The cassette handling unit includes: a cassette handler for contacting the cassette and handling the cassette; And a transport platform for supporting the cassette handler away from the ground.
상기 카세트 핸들러는, 핸들러 본체; 상기 핸들러 본체에 대해 회전 또는 병진운동 가능하게 마련되어 상기 반송 대차유닛 또는 상기 카세트 스테이션부에 상기 카세트를 인입 또는 인출하는 핸들러 아암부; 및 상기 반송 플랫폼에 결합되며 상기 반송 대차유닛을 향해 상기 핸들러 본체를 이송하는 핸들러 본체 이송부를 포함할 수 있다.The cassette handler includes a handler body; A handler arm portion provided to be capable of rotating or translating relative to the handler main body and drawing the cassette into or out of the conveyance truck unit or the cassette station portion; And a handler body transfer unit coupled to the transfer platform and transferring the handler body toward the transfer truck unit.
상기 핸들러 본체 이송부는, 상기 반송 플랫폼의 상면에 상호 이격 배치되어 상기 핸들러 본체의 직진 또는 후진운동을 안내하는 한 쌍의 LM 가이드부를 포함할 수 있다.The handler main body transfer part may include a pair of LM guide parts disposed on the upper surface of the carrying platform and spaced from each other to guide a straight movement or a backward movement of the handler main body.
상기 카세트 핸들링유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 반송 대차유닛 또는 상기 카세트 공급유닛으로 상기 카세트를 반송하는 과정에서 상기 카세트를 전달받아 상기 카세트를 임시적으로 보관하는 버퍼 스테이션부를 더 포함할 수 있다.And a buffer station unit disposed adjacent to the cassette handling unit and temporarily storing the cassette by receiving the cassette in the process of transporting the cassette to the conveyance truck unit or the cassette supply unit.
상기 버퍼 스테이션부는, 상기 버퍼 스테이션부의 상면에 결합되어 상기 카세트를 안착 지지하는 안착 테이블을 포함할 수 있다.The buffer station unit may include a seating table coupled to an upper surface of the buffer station unit to support the cassette.
상기 증착기는 마스크를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행하되 상기 카세트는 다수의 마스크(mask)가 적재되는 마스크 카세트일 수 있다.The deposition apparatus performs a deposition process of an organic light emitting display (OLED) through a mask, and the cassette may be a mask cassette on which a plurality of masks are stacked.
본 발명에 따르면, 콤팩트하면서도 효율적인 동작 구조를 가지기 때문에 장비 운영의 택트 타임(Tact Time)을 현저하게 감소시킬 수 있음은 물론 종전보다 좁은 최소한의 승하강 거리만으로도 카세트를 효과적으로 공급할 수 있는 동작을 이끌어낼 수 있으며, 이로 인해 클린룸의 건축 층고에 큰 어려움 없이 적용이 가능할 뿐만 아니라 증착기 등의 하부 설비와의 간섭이 없어서 상부 설비의 구축에 편의성을 제공할 수 있다.According to the present invention, since a compact and efficient operation structure is provided, it is possible to significantly reduce the tact time of the equipment operation, and to provide an operation capable of effectively supplying the cassette even with a minimum rising / Therefore, it is possible to apply the present invention to the building floor of the clean room without any difficulty, and there is no interference with the lower equipment such as the evaporator, thereby providing convenience in construction of the upper equipment.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템의 개략적인 평면 구성도이다.
도 2는 카세트 공급유닛, 카세트 핸들링유닛 및 버퍼 스테이션부의 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 카세트 핸들링유닛의 사시도이다.
도 4는 도 3의 측면도이다.
도 5는 버퍼 스테이션부의 정면도이다.
도 6은 도 2에 도시된 카세트 공급유닛의 정면도이다.
도 7은 카세트 파지 승하강 모듈을 제거한 도 6의 사시도이다.
도 8은 카세트 안착 지지대의 구조를 나타내는 도면이다.
도 9는 도 6에 도시된 카세트 파지 승하강 모듈과 카세트 간의 확대도이다.
도 10 및 도 11은 도 9의 단계별 동작도이다.
도 12 내지 도 14는 카세트 공급유닛의 동작에 의해 카세트가 증착기로 공급되는 과정을 단계적으로 도시한 도면이다.1 is a schematic plan configuration diagram of a cassette supply system according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view of a cassette supply unit, a cassette handling unit and a buffer station part.
3 is a perspective view of the cassette handling unit shown in Fig.
Figure 4 is a side view of Figure 3;
5 is a front view of the buffer station;
6 is a front view of the cassette supply unit shown in Fig.
Fig. 7 is a perspective view of Fig. 6 with the cassette holding up and down module removed.
8 is a view showing a structure of a cassette seating support bar.
FIG. 9 is an enlarged view of the cassette gripping and elevating / lowering module shown in FIG. 6 and the cassette.
FIG. 10 and FIG. 11 are operation diagrams of the steps of FIG.
Figs. 12 to 14 are diagrams showing a process of supplying a cassette to the evaporator by the operation of the cassette supply unit. Fig.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, operational advantages of the present invention, and objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings and the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference symbols in the drawings denote like elements.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템의 개략적인 평면 구성도이고, 도 2는 카세트 공급유닛, 카세트 핸들링유닛 및 버퍼 스테이션부의 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 카세트 핸들링유닛의 사시도이고, 도 4는 도 3의 측면도이며, 도 5는 버퍼 스테이션부의 정면도이고, 도 6은 도 2에 도시된 카세트 공급유닛의 정면도이며, 도 7은 카세트 파지 승하강 모듈을 제거한 도 6의 사시도이고, 도 8은 카세트 안착 지지대의 구조를 나타내는 도면이며, 도 9는 도 6에 도시된 카세트 파지 승하강 모듈과 카세트 간의 확대도이고, 도 10 및 도 11은 도 9의 단계별 동작도이며, 도 12 내지 도 14는 카세트 공급유닛의 동작에 의해 카세트가 증착기로 공급되는 과정을 단계적으로 도시한 도면이다.2 is a perspective view of a cassette supply unit, a cassette handling unit, and a buffer station unit, and Fig. 3 is a perspective view of the cassette handling unit shown in Fig. 2, 6 is a front view of the cassette supply unit shown in Fig. 2, and Fig. 7 is a perspective view of the buffer station unit shown in Fig. 6 with the cassette gripping and lifting module removed, Fig. Fig. 9 is an enlarged view of the cassette gripping and elevating / lowering module shown in Fig. 6, and Fig. 10 and Fig. 11 are operation steps of Fig. 9, Figs. 12 to 14 are diagrams showing a process of supplying a cassette to the evaporator by the operation of the cassette supply unit. Fig.
이들 도면을 참조하되 우선 도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 카세트 공급시스템은 콤팩트하면서도 효율적인 동작 구조를 가지기 때문에 장비 운영의 택트 타임(Tact Time)을 현저하게 감소시킬 수 있음은 물론 종전보다 좁은 최소한의 승하강 거리만으로도 카세트(3)를 효과적으로 공급할 수 있는 동작을 이끌어낼 수 있으며, 이로 인해 클린룸의 건축 층고에 큰 어려움 없이 적용이 가능할 뿐만 아니라 증착기(1) 등의 하부 설비와의 간섭이 없어서 상부 설비의 구축에 편의성을 제공할 수 있도록 한 것이다.Referring to these drawings, referring first to FIG. 1, since the cassette supply system according to the present embodiment has a compact and efficient operation structure, it is possible to remarkably reduce the tact time of equipment operation, It is possible to effectively operate the
이러한 효과를 제공할 수 있는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템은, 증착기(1)가 마련되는 클린룸의 상부 영역, 즉 천장에 설치되어 카세트(3)를 운송하는 반송 대차유닛(100)과, 증착기(1)의 상부 영역에 배치되되 증착기(1)의 상부에 마련되는 카세트 출입부(2)를 통해 카세트(3)를 공급(또는 취출)하는 카세트 공급유닛(300)과, 반송 대차유닛(100)과 카세트 공급유닛(300)의 어느 한 쪽에서 다른 쪽으로 카세트(3)를 핸들링, 즉 반송하여 반송 대차유닛(100) 또는 카세트 공급유닛(300)에 카세트(3)를 로딩 또는 언로딩시키는 카세트 핸들링유닛(200)을 포함할 수 있다. 카세트 공급유닛(300)에 종전과 다른 접철식 다관절 아암(324, 도 2 및 도 6 참조)이 적용되기 때문에 클린룸의 건축 층고에 큰 어려움 없이 적용이 가능할 뿐만 아니라 증착기(1) 등의 하부 설비와의 간섭이 없어서 상부 설비의 구축에 편의성을 제공할 수 있다.The cassette supply system according to an embodiment of the present invention which can provide such an effect is provided with an upper area of a clean room where the
뿐만 아니라 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템은 카세트 핸들링유닛(200)에 이웃하게 배치되며, 반송 대차유닛(100) 또는 카세트 공급유닛(300)으로 카세트(3)를 반송하는 과정에서 카세트(3)를 전달받아 카세트(3)를 임시적으로 보관하는 버퍼 스테이션부(400)를 포함한다.In addition, the cassette supply system according to the embodiment of the present invention is disposed adjacent to the
본 실시예처럼 버퍼 스테이션부(400)가 갖춰지면 물동량 처리를 원활하게 진행할 수 있는 이점이 있다. 물론, 본 실시예처럼 카세트 공급시스템에 버퍼 스테이션부(400)가 마련되는 편이 바람직할 수는 있으나 버퍼 스테이션부(400)가 반드시 마련되어야 하는 것은 아니며, 따라서 도 1의 시스템 구조에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.If the
이하, 설명의 편의를 위해 반송 대차유닛(100), 카세트 핸들링유닛(200), 버퍼 스테이션부(400), 그리고 카세트 공급유닛(300)에 대해 순차적으로 설명하기로 한다. 다만, 이들의 설명에 앞서 증착기(1)와 카세트(3)에 대해 간략하게 먼저 알아본다.Hereinafter, the
본 실시예에 따른 카세트 공급시스템에 적용되는 증착기(1)는 카세트(3)에 수납되는 마스크(미도시, mask)를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행할 수 있다. 하지만, 이러한 사항에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.The
증착기(1)의 상부 영역에는 카세트(3)가 출입되는 카세트 출입부(2)가 형성된다. 카세트 출입부(2)에는 카세트 출입부(2)를 개폐하는 도어(door)가 결합되며, 도어는 카세트(3) 출입 시 자동으로 개폐된다. 즉 카세트(3)가 반입될 때 자동으로 열리고, 카세트(3)가 반출되고 나면 자동으로 닫힌다.In the upper region of the
그리고 카세트(3)는 다수의 마스크가 적재되는 일종의 박스(box)형 구조물이다. 하나의 카세트(3) 내에 여러 장의 마스크가 배치될 수 있다.The
마스크끼리 충돌되지 않게끔 카세트(3) 내에는 마스크를 하나씩 격리시키면서 지지하는 다수의 슬롯(3a, 도 5 참조)이 마련된다. 슬롯(3a)은 카세트(3) 내의 대향된 양측 내벽에 동일한 위치를 가지고 배치될 수 있다.In order to prevent the masks from colliding with each other, a plurality of
반송 대차유닛(100)은 도 1에 도시된 바와 같이, 클린룸 내의 천장에 설치된 주행레일(미도시)을 따라 궤도 이동하면서 카세트(3)를 목적지로 이송한 후, 정해진 위치로 이/적재하는 역할을 담당한다.1, the
본 실시예에 따른 카세트 공급시스템에 적용되는 카세트(3)는 대형 OLED 마스크가 여러 장 수납되는 고중량, 예컨대 300kg 이상의 고중량 카세트(3)일 수 있다. 이와 같은 카세트(3)를 목적지로 안정적으로 이송시키기 위해 OHS(Over Head Shuttle)형의 반송 대차유닛(100)이 적용될 수 있다.The
OHS형 반송 대차유닛(100)은 주행 휠 4개가 동시에 주행레일 위에 안착되어 운행되며, OHT형에 비하여 차체의 진동이 적게 발생한다. 따라서 고중량의 카세트(3)를 적재하더라도 안정된 주행이 가능하고 진동에 따른 운행속도 제약이 작다.In the OHS-type
하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되지는 않는다. 즉, 반송 대차유닛(100)은 반송 대상물의 크기와 무게에 따라서 OHT(Overhead Hoist Transport)형의 반송 대차유닛(100)이 적용될 수도 있다.However, the scope of the present invention is not limited thereto. That is, the
다음으로, 반송 대차유닛(100)에 의해 카세트(3)가 증착기(1)의 상부 영역에 도달되면 반송 대차유닛(100)에서 카세트(3)를 언로딩하여 증착기(1)에 공급하게 되는데, 이의 역할을 카세트 핸들링유닛(200)과 카세트 공급유닛(300)이 담당한다. 물론, 증착기(1) 측에서 제공되는 빈 카세트를 반송 대차유닛(100)으로 다시 전달하는 공정 역시, 핸들링유닛(200)과 카세트 공급유닛(300)이 담당한다.Next, when the
카세트 핸들링유닛(200)에 대해 도 2 내지 도 4를 참조하여 먼저 알아본다. 카세트 핸들링유닛(200)은 카세트(3)를 핸들링하는 카세트 핸들러(210)와, 카세트 핸들러(210)를 지상으로부터 클린룸 상부에 이격되게 지지하는 반송 플랫폼(220)을 포함한다.The
반송 플랫폼(220)은 클린룸의 천장에 설치된 천장 프레임 바아(B)에 반송 플랫폼(220)의 에지(edge) 영역에 마련되는 4개의 수직 프레임(312)이 결합되어 클린룸의 상부 영역에 설치되는 구조를 갖는다.The
카세트 핸들러(210)는 핸들러 본체(211)와, 핸들러 본체(211)에 대해 회전 및 병진운동 가능하게 마련되어 반송 대차유닛(100) 또는 카세트 공급유닛(300)에 카세트(3)를 인입 또는 인출하는 핸들러 아암부(216)와, 핸들러 본체(211)를 반송 대차유닛(100)에 접근 또는 이격되게 이송하는 핸들러 본체 이송부(217)를 포함한다.The
핸들러 본체(211)는 핸들러 아암부(216)가 결합되는 핸들러 본체 상부(212)와, 핸들러 본체 이송부(217)에 이동가능하게 결합되는 핸들러 본체 하부(213)와, 핸들러 본체 상부(212)를 핸들러 본체 하부(213)에 대해 승강 구동시키는 승하강부(215)를 포함한다. 승하강부(215)는 직선운동을 구현하는 유압실린더 또는 보이스코일 모터 등으로 구성될 수 있다.The
핸들러 아암부(216)는 핸들러 본체(211)에 대해 회전 가능하게 결합된다. 핸들러 아암부(216)는 핸들러 본체 상부(212)에 시계 또는 반시계 방향으로 회전 가능하게 결합되는 턴테이블(216a)과, 일단부가 각각 턴테이블(216a) 상면에 이웃하게 결합되고 타단부가 제한된 반경 범위에서 상호 근접 또는 이격되게 회전 구동되는 한 쌍의 제1 아암(216b)과, 한 쌍의 제1 아암(216b)의 타단부에 각각 링크되어 한 쌍의 제1 아암(216b)과 함께 연동되어 회전 구동되는 한 쌍의 제2 아암(216c) 및 한 쌍의 제2 아암(216c)의 단부에 결합되어 카세트(3)의 하부를 접촉지지하는 포크부(216d)를 포함한다.The
포크부(216d)의 작동을 간단히 살펴본다. 한 쌍의 제1 아암(216b)이 그 타단부가 상호간 근접되게 각각 시계 또는 반시계 방향으로 회전하면 이에 링크된 한 쌍의 제2 아암(216c)이 제1 아암(216b)과 연동되어 상호 근접되게 되면서 포크부(216d)가 전진된다. 역으로 한 쌍의 제1 아암(216b)이 그 타단부가 상호간 이격되게 회전하면 포크부(216d)는 후진된다.The operation of the
핸들러 본체 이송부(217)는 본 실시예에서 반송 플랫폼(220) 상면에 상호 이격되게 배치되어 결합되는 한 쌍의 LM 가이드부(217)일 수 있다. 이러한 LM 가이드부는 (도면 3에 자세히 도시하지는 않았으나) 구동모터와, LM 가이드 상을 볼 스크루 방식으로 수평 이동하는 다수의 LM 블록(217a)을 포함할 수 있다.The handler main
다수의 LM 블록(217a)은 각각 핸들러 본체 하부(213)의 양측부에 마련된 핸들러 브래킷(214)에 결합되어 있다. 이러한 다수의 LM 블록(217a)들이 LM 가이드(217b) 상을 수평 이동함에 따라 핸들러 본체(211)가 반송 대차유닛(100) 방향으로 접근 또는 이격될 수 있다.The plurality of
본 실시예에서 LM 가이드부(217)는 구동모터와 볼 스크루가 조합된 방식의 가이드가 적용된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니며, 벨트 타입 방식이나 리니어 모터에 의해 구동되는 다른 방식의 LM 가이드가 적용될 수도 있으며, 이러한 사항 모두가 본 발명의 권리범위에 속한다 하여야 할 것이다.In the present embodiment, the
이에, 카세트 핸들링유닛(200)은 반송 대차유닛(100)에 적재된 카세트(3)를 언로딩하여 카세트 공급유닛(300)에 로딩하거나 역으로 카세트 공급유닛(300)에서 카세트(3)를 언로딩하여 반송 대차유닛(100)에 로딩시킬 수 있다.The
다음으로, 버퍼 스테이션부(400)는 도 1, 도 2 및 도 5에 도시된 바와 같이, 반송 대차유닛(100) 또는 카세트 공급유닛(300)에서 언로딩된 카세트(3)가 카세트 핸들링유닛(200)에 의해 임시로 적재되어 보관되는 장소를 이룬다. 앞서 기술한 것처럼 버퍼 스테이션부(400)가 갖춰지면 물동량 처리를 원활하게 진행할 수 있는 이점이 있지만 반드시 적용되어야만 하는 것은 아니다. 하지만, 본 실시예에 따른 카세트 공급시스템에는 버퍼 스테이션부(400)가 적용된 것으로 본다.1, 2 and 5, the
버퍼 스테이션부(400)는 반송 대차유닛(100) 또는 카세트 공급유닛(300)으로 카세트(3)를 반송하는 과정에서 카세트(3)를 임시적으로 보관하는 장소이다. 이러한 버퍼 스테이션부(400)는 반송 대차유닛(100)의 운송 지연 또는 특정 장비의 일시적인 유지보수가 필요한 경우 카세트(3)를 비축함으로써, 마스크 증착 공정 전체가 정지되는 것을 방지한다.The
버퍼 스테이션부(400)는 카세트 핸들링유닛(200)의 반송 플랫폼(220)과 마찬가지로 천장에 설치된 천장 프레임 바아(B)에 4개의 수직 프레임(312)이 결합되어 지상으로부터 이격지지 되게 마련된다. 버퍼 스테이션부(400)의 내측에는 카세트(3)가 안착 지지될 수 있도록 하는 안착 테이블(410)이 마련된다.The
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 실시예에서 버퍼 스테이션부(400)는 카세트(3) 반송유닛(200)을 사이에 두고 카세트 공급유닛(300)의 맞은편에 배치될 수 있다. 하지만, 이러한 배치 구조에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다. 다시 말해, 버퍼 스테이션부(400)는 도 1 및 도 2의 배치 구조를 벗어나 카세트 핸들링유닛(200)에 인접한 어느 위치에 배치되더라도 관계가 없다.1 and 2, in this embodiment, the
한편, 카세트 공급유닛(300)은 카세트 핸들러(210)에 의해 내측에 로딩된 카세트(3)를 증착기(1)의 상부에 마련된 카세트 출입부(2)를 통해 증착기(1)에 공급하거나 마스크가 없는 빈 카세트(3)를 증착기(1)로부터 취출시키는 역할을 한다.On the other hand, the
이러한 카세트 공급유닛(300)은 도 6 내지 도 14에 도시된 바와 같이, 카세트(3)가 안착되는 장소를 형성하는 카세트 스테이션부(310)와, 카세트 스테이션부(310)에 안착되는 카세트(3)를 파지하고 카세트 스테이션부(310)에서 카세트(3)를 승하강 구동시키는 카세트 파지 승하강 모듈(320)과, 카세트 스테이션부(310)에 마련되되 카세트 파지 승하강 모듈(320)과 연결되며, 카세트 파지 승하강 모듈(320)과 상호작용하여 카세트 파지 승하강 모듈(320)의 승하강 동작을 지지하는 승하강 지지 모듈(330)을 포함한다.6 to 14, the
카세트 스테이션부(310)는 카세트 핸들링유닛(200)으로부터 반송된 카세트(3)가 안착되고 이를 다시 증착기(1)의 상부로 공급하는 장소를 이룬다.The
카세트 스테이션부(310)는 상하 방향으로 이동되는 카세트(3)가 출입되는 출입포트(311a)가 형성되는 베이스 플레이트(311)와, 베이스 플레이트(311)와 천장에 설치되는 천장 프레임 바아(B)에 양단부가 결합되어 베이스 플레이트(311)를 지상으로부터 이격되게 지지하는 다수의 수직 프레임(312)과, 다수의 수직 프레임(312)의 둘레에 결합되되 높이방향을 따라 상호 이격 배치되는 다수의 수평 프레임(313)을 포함한다.The
본 실시예에서 카세트 스테이션부(310)에는 그 에지(edge) 영역에 4개의 수직 프레임(312)이 마련된다. 그리고 수직 프레임(312)들에는 직사각형 구도를 형성하는 4개의 카세트 안착 지지대(314)가 마련된다.In this embodiment, the
카세트 핸들링유닛(200)의 핸들러 아암부(216)에 의해 카세트 스테이션부(310) 내측으로 인입되는 카세트(3)는 도 6처럼 카세트 안착 지지대(314) 상에 안착될 수 있다. 그리고 카세트 안착 지지대(314) 상에 안착되는 카세트(3)는 카세트 파지 승하강 모듈(320)에 의해 파지 및 승하강 동작되어 베이스 플레이트(311)의 출입포트(311a)를 통해서 출입될 수 있다.The
한편, 카세트 파지 승하강 모듈(320)은 카세트(3)를 파지하는 한편 승하강 지지 모듈(330)과의 상호작용으로 카세트(3)를 승하강 구동시키는 역할을 한다.Meanwhile, the cassette holding and lowering
이러한 카세트 파지 승하강 모듈(320)은 상호 상대 회전이 가능한 상부 몸체부(321)와, 하부 몸체부(322)를 포함할 수 있다.The cassette holding and lowering
상부 몸체부(321)의 일측에는 승하강 지지 모듈(330)에 착탈 가능하게 결합되는 착탈 결합부(321a)가 마련된다. 상부 몸체부(321)의 착탈 결합부(321a)가 승하강 지지 모듈(330)에 결합되기 때문에 승하강 지지 모듈(330)의 동작 시 카세트 파지 승하강 모듈(320)이 함께 승하강 동작될 수 있다.On one side of the
하부 몸체부(322)에는 실질적으로 카세트(3)를 파지하는 파지부(322a)가 마련된다. 파지부(322a)는 카세트(3)의 상부 영역에 마련되는 파지 브래킷(3b)에 선택적으로 파지될 수 있다.The
도 8처럼 카세트(3)의 상부에는 서로 다른 위치에 4개의 파지 브래킷(3b)이 마련되고 있기 때문에 파지부(322a) 역시 파지 브래킷(3b)에 대응되게 4개가 마련된다. 물론, 이러한 사항은 하나의 실시예에 불과하므로 이들의 개수에 본 발명의 권리범위가 제한될 수 없다.Since four holding
파지부(322a)는 하부 몸체부(322) 내측에 마련되는 파지부 구동부(미도시)에 의해 동작되면서 파지 브래킷(3b)에 선택적으로 파지될 수 있다. 파지부 구동부는 예컨대, 리니어 모터, 실린더, 액추에이터, 모터와 볼 스크루 조합 등의 구성으로 적용될 수 있으며, 편의상 자세한 도시는 생략했다.The
상부 몸체부(321)와 하부 몸체부(322) 사이에는 로터리 서보(323)가 마련될 수 있다. 로터리 서보(323)는 상부 몸체부(321)에 대해 하부 몸체부(322)를 회전시키는 동력을 발생시키는 역할을 한다.A
이러한 로터리 서보(323)에 의해 카세트 스테이션부(310)에서는 카세트 안착 지지대(314)의 간섭을 피해 카세트(3)를 승강시킬 수 있고 증착기(1)의 카세트 출입부(2)측에서는 카세트 출입부(2)의 방향에 맞게 카세트(3)를 정렬시켜 승강시킬 수 있는 이점이 있다.The
이와 같은 구조의 카세트 파지 승하강 모듈(320)에는 파지부(322a)와 연결되되 적어도 일 영역이 접철되어 다축으로 구동 가능한 접철식 다관절 아암(324)이 마련된다.The cassette grasping and
접철식 다관절 아암(324)은 상부 몸체부(321)와 하부 몸체부(322) 사이에 배치되어 상부 몸체부(321)와 하부 몸체부(322)에 연결되는 다축 다관절 로봇이다. 따라서 한정된 높이 내에서도 상부 몸체부(321)와 하부 몸체부(322)를 도 9처럼 접근시킬 수도 있고, 혹은 도 10 및 도 11처럼 이격시킬 수도 있다.The foldable
다시 말해, 본 실시예처럼 카세트 파지 승하강 모듈(320)에 종전과 상이한 접철식 다관절 아암(324)이 적용되면 클린룸의 건축 층고에 큰 어려움 없이 적용이 가능할 뿐만 아니라 증착기(1) 등의 하부 설비와의 간섭이 없어서 상부 설비의 구축에 편의성을 제공할 수 있다. 즉 접철식 다관절 아암(324)은 단순 직교축과 달리, 사용하지 않을 때는 도 9처럼 접힌 상태를 취하고, 사용할 때만 도 10 및 도 11처럼 펼쳐질 수 있기 때문에 공간활용도에 유리한 이점을 제공할 수 있다. 따라서 클린룸의 건축 층고가 다소 낮더라도 적용이 충분히 가능한 것이다.In other words, when the folding type
접철식 다관절 아암(324)은 일단부가 상부 몸체부(321)에 회전 가능하게 결합되는 제1 링크 아암(325)과, 일단부는 제1 링크 아암(325)에 링크 결합되고 타단부는 하부 몸체부(322)에 회전 가능하게 결합되는 제2 링크 아암(326)을 포함할 수 있다.The foldable
승하강 지지 모듈(330)은 카세트 스테이션부(310)에 마련되되 카세트 파지 승하강 모듈(320)과 연결되며, 카세트 파지 승하강 모듈(320)과 상호작용하여 카세트 파지 승하강 모듈(320)의 승하강 동작을 지지하는 역할을 한다.The lifting and lowering
본 실시예에서 승하강 지지 모듈(330)은 1단 직교축 로봇으로 적용된다. 즉 승하강 지지 모듈(330)은 카세트 스테이션부(310)의 높이 방향을 따라 상하로 배치되는 직교 레일(331)과, 직교 레일(331)에 결합되되 직교 레일(331)의 길이 방향을 따라 이동되는 레일블록(332)을 포함한다.In this embodiment, the up-and-down
전술한 것처럼 카세트 파지 승하강 모듈(320)을 이루는 상부 몸체부(321)의 착탈 결합부(321a)가 승하강 지지 모듈(330)의 레일블록(332)에 연결되기 때문에 카세트 파지 승하강 모듈(320)이 승하강 운동될 수 있게 된다. 특히, 승하강 지지 모듈(330)이 카세트 스테이션부(310)의 양측에 대칭되게 마련되기 때문에 카세트 파지 승하강 모듈(320)의 승하강 동작을 안정적으로 가이드할 수 있다.Since the attaching and detaching
이하, 카세트(3)를 증착기(1)에 공급하는 일련의 과정에 대해 도 12 내지 도 14를 참조하여 간략하게 설명한다.Hereinafter, a series of processes of supplying the
우선, 클린룸의 천장에 설치된 궤도레일을 따라 카세트(3)가 적재된 반송 대차유닛(100)이 이동하여 반송 플랫폼(220)에 이웃한 위치에 배치된다.First, the
다음, 반송 대차유닛(100)의 도어(미도시)가 개방되며, 카세트 핸들링유닛(200)의 핸들러 본체 이송부(217)에 의해 카세트 핸들러(210)가 반송 대차유닛(100)에 접근하여 핸들러 아암부(216)의 포크부(216d)가 카세트(3)를 반송 대차유닛(100)으로부터 언로딩시킨다.Next, the door (not shown) of the
다음, 카세트 핸들러(210)가 카세트 스테이션부(310)의 카세트 안착 지지대(314)상에 카세트(3)를 안착시킨다. 이때, 핸들러 본체(211)는 핸들러 본체 이송부(217)에 의해 다시 원위치로 돌아오고, 핸들러 아암부(216)는 턴테이블(216a) 및 승하강부(215)에 의해 핸들러 본체(211)에 대해 업/다운(up/down) 및 회전되면서 카세트(3)를 핸들링(handling)한다.Next, the
그런 다음, 카세트 파지 승하강 모듈(320)의 파지부(322a)가 동작되어 카세트(3)의 파지 브래킷(3b)에 파지된다(도 12 참조).Thereafter, the
이어, 도 13처럼 접철식 다관절 아암(324)이 동작된다. 즉 도 12처럼 접힌 상태로 배치되던 접철식 다관절 아암(324)이 동작되어 펼쳐진다. 그러면 접철식 다관절 아암(324)이 동작되어 펼쳐진 만큼 카세트(3)가 하강될 수 있다. 이때, 카세트(3)는 베이스 플레이트(311)에 형성되는 승하강 출입포트(311a)에 배치된 상태를 취한다.Then, the folding type
그런 다음, 최종적으로 카세트 파지 승하강 모듈(320) 및 승하강 지지 모듈(330)의 상호작용에 의해 도 13에서 도 14처럼 카세트 파지 승하강 모듈(320)이 전체적으로 하강되며, 이러한 작용으로 카세트(3)는 증착기(1)의 카세트 출입부(2)로 인입될 수 있다.Then, the cassette holding and lowering
결과적으로, 1차 하강은 접철식 다관절 아암(324)의 다축 구동 방식에 의해 진행되고, 2차 하강은 승하강 지지 모듈(330)은 1단 직교축 방식에 의해 진행될 수 있기 때문에 공간이 협소하더라도 특히, 클린룸의 건축 층고에 다소 제한 조건이 있더라도 충분히 제기능을 발휘하면서 설치할 수 있게 된다.As a result, the first descent advances by the multi-axis driving method of the folding type
참고로, 증착기(1) 내의 빈 카세트는 전술한 역순의 동작을 통해 상부 설비로 전달될 수 있다.For reference, the empty cassette in the
이상 설명한 바와 같은 구조와 작용을 갖는 본 실시예에 따르면, 콤팩트하면서도 효율적인 동작 구조를 가지기 때문에 장비 운영의 택트 타임(Tact Time)을 현저하게 감소시킬 수 있음은 물론 종전보다 좁은 최소한의 승하강 거리만으로도 카세트(3)를 효과적으로 공급할 수 있는 동작을 이끌어낼 수 있으며, 이로 인해 클린룸의 건축 층고에 큰 어려움 없이 적용이 가능할 뿐만 아니라 증착기(1) 등의 하부 설비와의 간섭이 없어서 상부 설비의 구축에 편의성을 제공할 수 있게 된다.According to the present embodiment having the structure and function as described above, since the operation structure is compact and efficient, the tact time of the equipment operation can be remarkably reduced, and at the same time, It is possible to effectively operate the
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. It is therefore intended that such modifications or alterations be within the scope of the claims appended hereto.
1 : 증착기 2 : 카세트 출입부
3 : 카세트 3a : 슬롯
3b : 그립핑 브래킷 100 : 반송 대차유닛
200 : 카세트 핸들링유닛 210 : 카세트 핸들러
211 : 핸들러 본체 214 : 핸들러 브래킷
215 : 승하강부 216 : 핸들러 아암부
217 : 핸들러 본체 이송부 300 : 카세트 공급유닛
310 : 카세트 스테이션부 311 : 베이스 플레이트
311a : 승하강 출입포트 312 : 수직 프레임
313 : 수평 프레임 314 : 카세트 안착 지지대
320 : 카세트 파지 승하강 모듈 321 : 상부 몸체부
321a : 착탈 결합부 322 : 하부 몸체부
323 : 로터리 서보 324 : 접철식 다관절 아암
325 : 제1 링크 아암 326 : 제2 링크 아암
330 : 승하강 지지 모듈 331 : 직교 레일
332 : 레일블록 400 : 버퍼 스테이션부1: evaporator 2: cassette entrance part
3:
3b: gripping bracket 100: conveying truck unit
200: cassette handling unit 210: cassette handler
211: Handler body 214: Handler bracket
215: ascending / descending portion 216: handler arm portion
217: handler main body feeding unit 300: cassette feeding unit
310: cassette station part 311: base plate
311a: ascending and descending access port 312: vertical frame
313: Horizontal frame 314: Cassette seating support
320: cassette holding up / down module 321: upper body part
321a: detachable coupling portion 322: lower body portion
323: Rotary servo 324: Folding type multi-joint arm
325: first link arm 326: second link arm
330: up / down support module 331: orthogonal rail
332: Rail block 400: Buffer station part
Claims (15)
상기 카세트 공급유닛은,
상기 증착기의 상부에 배치되며, 상기 증착기로 공급되는 카세트가 안착되는 장소를 형성하는 카세트 스테이션부; 및
상기 카세트를 파지하는 파지부와, 상기 파지부와 연결되되 적어도 일 영역이 접철되어 다축으로 구동 가능한 접철식 다관절 아암을 구비하며, 상기 카세트를 상기 증착기로 공급하기 위해 상기 카세트를 파지하여 승하강 구동시키는 카세트 파지 승하강 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.And a cassette supply unit disposed in an upper area of the evaporator provided in the clean room for supplying a cassette through a cassette access part provided on the evaporator,
Wherein the cassette supply unit includes:
A cassette station unit disposed at an upper portion of the evaporator and forming a place where the cassette supplied to the evaporator is seated; And
And a folding type multi-joint arm which is connected to the gripping portion and at least one region is folded and driven to be driven by multiple shafts, wherein the cassette is gripped by the cassette to supply the cassette to the evaporator, And a cassette holding mechanism for moving the cassette holding unit.
상기 카세트 파지 승하강 모듈은,
상부 몸체부; 및
상기 파지부를 구비하되 상기 상부 몸체부에 대해 상대 회전이 가능하게 연결되는 하부 몸체부를 포함하며,
상기 접철식 다관절 아암은 상기 상부 몸체부와 상기 하부 몸체부 사이에 배치되어 상기 상부 몸체부와 상기 하부 몸체부에 연결되는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.The method according to claim 1,
The cassette gripping-up / down-
An upper body portion; And
And a lower body portion having the grip portion and connected to the upper body portion so as to be relatively rotatable,
Wherein the foldable multi-joint arm is disposed between the upper body part and the lower body part and connected to the upper body part and the lower body part.
상기 접철식 다관절 아암은,
일단부가 상기 상부 몸체부에 회전 가능하게 결합되는 제1 링크 아암; 및
일단부는 상기 제1 링크 아암에 링크 결합되고 타단부는 상기 하부 몸체부에 회전 가능하게 결합되는 제2 링크 아암을 포함하며,
상기 접철식 다관절 아암은 다축 다관절 로봇인 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.3. The method of claim 2,
The foldable multi-
A first link arm having one end rotatably coupled to the upper body portion; And
A second link arm having one end linked to the first link arm and the other end rotatably coupled to the lower body portion,
Wherein the folding type multi-joint arm is a multiaxial articulated robot.
상기 카세트 파지 승하강 모듈은,
상기 상부 몸체부와 상기 접철식 다관절 아암 사이에 마련되되 상기 상부 몸체부에 대하여 상기 하부 몸체를 회전 구동시키기 위한 동력을 발생시키는 로터리 서보를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.3. The method of claim 2,
The cassette gripping-up / down-
Further comprising a rotary servo provided between the upper body and the foldable multi-joint arm for generating power to rotate the lower body with respect to the upper body.
상기 카세트 공급유닛은,
상기 카세트 파지 승하강 모듈과 상호작용하여 상기 카세트 파지 승하강 모듈의 승하강 동작을 지지하는 승하강 지지 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.The method according to claim 1,
Wherein the cassette supply unit includes:
Further comprising a lifting / lowering support module for supporting the lifting / lowering operation of the cassette holding / lowering module in cooperation with the cassette holding / lowering module.
상기 승하강 지지 모듈은 1단 직교축 로봇이며, 상기 카세트 파지 승하강 모듈이 일측에서 연결되는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.6. The method of claim 5,
Wherein the upward / downward support module is a one-step orthogonal axis robot, and the cassette gripping and elevating / lowering module is connected from one side.
상기 승하강 지지 모듈은,
높이 방향을 따라 상하로 배치되는 직교 레일; 및
상기 직교 레일에 결합되되 상기 직교 레일의 길이 방향을 따라 이동되며, 일측에서 상기 카세트 파지 승하강 모듈이 연결되는 레일블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.The method according to claim 6,
The upward / downward support module includes:
An orthogonal rail disposed up and down along a height direction; And
And a rail block coupled to the orthogonal rail and moved along the longitudinal direction of the orthogonal rail and connected to the cassette gripping up / down module at one side thereof.
상기 카세트 스테이션부는,
상기 카세트가 출입되는 출입포트가 형성되는 베이스 플레이트;
상기 베이스 플레이트에 교차되게 배치되어 상기 베이스 플레이트에 대한 부분적인 벽체를 형성하는 다수의 수직 프레임; 및
상기 수직 프레임 내에 배치되되 상기 카세트의 에지 영역이 안착되어 지지되는 카세트 안착 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.The method according to claim 1,
The cassette station unit includes:
A base plate on which an access port through which the cassette is inserted and ejected is formed;
A plurality of vertical frames disposed crosswise to the base plate to form a partial wall for the base plate; And
And a cassette seating support which is disposed in the vertical frame and in which an edge region of the cassette is seated and supported.
상기 클린룸의 천장에 배치되되 상기 카세트를 운송하는 반송 대차유닛; 및
상기 반송 대차유닛과 상기 카세트 공급유닛의 어느 한 쪽에서 다른 쪽으로 상기 카세트를 핸들링하여 상기 반송 대차유닛 또는 상기 카세트 공급유닛에 상기 카세트를 로딩 또는 언로딩시키는 카세트 핸들링유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.The method according to claim 1,
A conveyance truck unit disposed on a ceiling of the clean room for conveying the cassette; And
Further comprising a cassette handling unit for handling the cassette from either one of the conveyance truck unit and the cassette supply unit to the other side to load or unload the cassette to the conveyance truck unit or the cassette supply unit Supply system.
상기 카세트 핸들링유닛은,
상기 카세트와 접촉되어 상기 카세트를 핸들링(handling)하는 카세트 핸들러; 및
상기 카세트 핸들러를 지상으로부터 이격되게 지지하는 반송 플랫폼을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.10. The method of claim 9,
The cassette handling unit includes:
A cassette handler in contact with the cassette to handle the cassette; And
And a transport platform for supporting the cassette handler away from the ground.
상기 카세트 핸들러는,
핸들러 본체;
상기 핸들러 본체에 대해 회전 또는 병진운동 가능하게 마련되어 상기 반송 대차유닛 또는 상기 카세트 스테이션부에 상기 카세트를 인입 또는 인출하는 핸들러 아암부; 및
상기 반송 플랫폼에 결합되며 상기 반송 대차유닛을 향해 상기 핸들러 본체를 이송하는 핸들러 본체 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.11. The method of claim 10,
Wherein the cassette handler comprises:
A handler body;
A handler arm portion provided to be capable of rotating or translating relative to the handler main body and drawing the cassette into or out of the conveyance truck unit or the cassette station portion; And
And a handler main body transferring unit coupled to the transfer platform for transferring the handler main body to the transfer caravan unit.
상기 핸들러 본체 이송부는,
상기 반송 플랫폼의 상면에 상호 이격 배치되어 상기 핸들러 본체의 직진 또는 후진운동을 안내하는 한 쌍의 LM 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.12. The method of claim 11,
The handler body transfer portion
And a pair of LM guide parts disposed on the top surface of the transport platform and spaced apart from each other and guiding the linear movement or the backward movement of the handler main body.
상기 카세트 핸들링유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 반송 대차유닛 또는 상기 카세트 공급유닛으로 상기 카세트를 반송하는 과정에서 상기 카세트를 전달받아 상기 카세트를 임시적으로 보관하는 버퍼 스테이션부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.10. The method of claim 9,
Further comprising a buffer station unit disposed adjacent to the cassette handling unit for temporarily storing the cassette in the process of conveying the cassette to the conveyance truck unit or the cassette supply unit, Supply system.
상기 버퍼 스테이션부는,
상기 버퍼 스테이션부의 상면에 결합되어 상기 카세트를 안착 지지하는 안착 테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.14. The method of claim 13,
The buffer station unit,
And a seating table coupled to an upper surface of the buffer station unit for seating and supporting the cassette.
상기 증착기는 마스크를 통해 유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)의 증착 공정을 진행하되 상기 카세트는 다수의 마스크(mask)가 적재되는 마스크 카세트인 것을 특징으로 하는 카세트 공급시스템.The method according to claim 1,
Wherein the deposition apparatus performs a deposition process of an organic light emitting display (OLED) through a mask, wherein the cassette is a mask cassette on which a plurality of masks are stacked.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170148686A KR20190052875A (en) | 2017-11-09 | 2017-11-09 | Cassette supplying system |
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---|---|---|---|---|
KR20050011334A (en) | 2003-07-22 | 2005-01-29 | 삼성전자주식회사 | Inspection apparatus for semiconductor wafer edge |
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2017
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