KR20190046123A - Overhead hoist transport with low vibration type guide coupling member - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to an overhead hoist transport, comprising: an upper movement structure moving along a rail; a gripper placed on a lower side of the upper movement structure to rise and fall by a lifting apparatus; and a guide coupling member placed on the upper movement structure and the gripper to be coupled when the gripper rises. The guide coupling member comprises: a guide pin protruding from the upper movement structure towards the gripper; and a guide hole placed on the gripper, into which the guide pin is inserted. The present invention is able to collect particles generated by coupling and decoupling of the guide coupling member inside the guide hole, thereby contributing to improvement of quality of a product such as a semiconductor.

Description

저진동 가이드 결합체가 구비된 오버헤드 호이스트 트랜스포트{Overhead hoist transport with low vibration type guide coupling member}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to an overhead hoist transport with a low vibration type guide coupling member,

본 발명은 반도체 제조 설비 등에서 제품 또는 부품을 들어 올려 레일을 따라 이송하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an overhead hoist transport in which a product or part is lifted and transported along a rail in a semiconductor manufacturing facility or the like.

일반적으로 반도체 제조 설비는 라인을 따라 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행하면서 반도체 소자를 제조한다.In general, semiconductor manufacturing facilities are continuously disposed along a line to manufacture a semiconductor device while performing various processes on the semiconductor substrate.

반도체 제조 공정은 부품 또는 소재 등을 이동시키면서 제조하게 되는데, 이러한 부품 또는 소재는 캐리어에 수납된 상태로 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT; Overhead Hoist Transport, 이하 'OHT' 라고도 함)를 통해 이송하게 된다.The semiconductor manufacturing process is performed while moving a part or a material. Such a part or material is transported through an overhead hoist transport (OHT), while being housed in a carrier .

이러한 OHT는 반도체 제조 설비뿐만 아니라 다양한 제조 설비, 적재 설비 등에 설치되어 대상물(화물)을 들어 옮겨서 운반하는 장치이다.Such OHT is installed in various manufacturing facilities and loading facilities as well as semiconductor manufacturing facilities, and transports the objects (cargo) by carrying them.

대한민국 등록특허 제10-1433911호에는 오버헤드 호이스트 이송장치의 그립퍼 유닛에 관한 기술이 나타나 있다. 이 등록특허 공보에는 호이스트(상부이동 구조물)에 이송 벨트로 매달려 승강하는 그립퍼 유닛이 구비되고, 호이스트와 그립퍼 유닛에는 그립퍼 유닛이 상승할 때 상호 결합되는 가이드 홀과 가이드 핀이 구성되어 있는 기술이 개시되어 있다. 이때, 가이드 홀은 상측에 위치된 호이스트에 구성되고, 가이드 핀은 하측에 위치된 그립퍼 유닛에 구성된다.Korean Patent No. 10-1433911 discloses a technique relating to a gripper unit of an overhead hoist transfer device. In this patent publication, a gripper unit is mounted on a hoist (upper moving structure) by means of a conveyor belt, and the hoist and the gripper unit are provided with guide holes and guide pins which are mutually coupled when the gripper unit is lifted. . At this time, the guide hole is constituted in the hoist located on the upper side, and the guide pin is constituted in the gripper unit located on the lower side.

그러나 상기한 바와 같은 등록특허 기술을 포함한 종래 기술은 상측에 가이드 홀이 구성되고, 하측에 가이드 핀이 구성되기 때문에 가이드 홀과 가이드 핀이 상호 결합될 때 접촉면 등에서 파티클이 발생할 수 있고, 이렇게 발생한 파티클은 별다른 수집 구조물이 없어서 주변으로 확산될 수 있는 문제점 있다.However, since the guide hole is formed on the upper side and the guide pin is formed on the lower side in the prior art including the above-mentioned registered technology, particles may be generated on the contact surface or the like when the guide hole and the guide pin are coupled to each other, There is no other collection structure and there is a problem that it can spread to the surroundings.

특히, OHT를 반도체 장비의 물류 이송에 이용할 경우에 가이드 핀과 가이드 홀의 결합 및 분리 과정에서 발생한 파티클이 주변으로 확산될 수 있고, 이로 인해 반도체 품질에 좋지 않은 영향을 미칠 수 있는 문제가 있다. 반도체 제조 공정에서 파티클은 반도체 품질에 매우 중요한 영향을 미치게 되므로 반도체 제조 공정에서 매우 중요하게 관리되는 항목 중 하나인 바, 가이드 핀과 가이드 홀의 결합 및 분리 과정에서 발생하는 파티클을 효과적으로 처리 및 관리할 수 있는 기술이 요구되고 있다.Particularly, when the OHT is used for the transportation of the semiconductor equipment, the particles generated in the process of joining and separating the guide pin and the guide hole may diffuse to the periphery, which may adversely affect the quality of the semiconductor. In the semiconductor manufacturing process, particles have a very important influence on the quality of semiconductor. Therefore, it is one of the items that are very importantly managed in the semiconductor manufacturing process. As a result, particles generated in the process of combining and separating guide pins and guide holes can be effectively treated Is required.

또한, OHT가 레일을 따라 이동하는 장치인데, 종래에는 가이드 핀이 가이드 홀에 단순히 수직으로 결합된 상태에서 이동하게 되므로, 상하 방향의 진동에 매우 취약할 수밖에 없고, 또한 삽입 및 분리를 위해 가이드 핀과 가이드 홀 사이의 틈새(공차)로 인하여 좌우 방향의 진동도 발생하고 있다. 따라서, 결합체의 상하 진동 및 좌우 방향의 진동도 효과적으로 감쇠시킬 수 있는 대안이 요구되고 있다.Also, the OHT moves along the rail. In the related art, since the guide pin is moved in a state where it is simply coupled vertically to the guide hole, it is very vulnerable to vibration in the vertical direction. Further, A vibration in the left and right direction is also generated due to a clearance (tolerance) between the guide hole and the guide hole. Accordingly, there is a demand for an alternative capable of effectively damping the vertical vibrations and the lateral vibrations of the assembled body.

대한민국 등록특허 제10-1433911호Korean Patent No. 10-1433911 대한민국 등록특허 제10-0395925호Korean Patent No. 10-0395925

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 가이드 핀은 상부에 구성하고 가이드 홀은 하부에 구성함으로써 상호 결합 및 분리하는 과정에서 발생하는 파티클이 가이드 홀 내부에 수집되도록 하여, 반도체 등 제작물의 품질 향상에 기여할 수 있는 저진동 가이드 결합체가 구비된 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 제공하는 데 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a semiconductor device, And an object of the present invention is to provide an overhead hoist transport equipped with a low vibration guide coupling capable of contributing to improvement of quality of an overhead hoist transport.

또한, 본 발명은 가이드 홀 내부에 방진 구조물을 구성함으로써 가이드 핀과 결합된 상태에서 상하 및 좌우 방향의 진동을 감쇠시켜 보다 안정적인 이송이 가능하도록 하는 저진동 가이드 결합체가 구비된 오버헤드 호이스트 트랜스포트를 제공하는 데 목적이 있다.Further, the present invention provides an overhead hoist transport comprising a low-vibration guide coupling unit configured to attenuate vibrations in up and down and left and right directions in a state of being coupled to a guide pin by constructing a vibration- The purpose is to do.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트는, 레일을 따라 이동하는 상부이동 구조물과, 상기 상부이동 구조물의 하부에 위치되어 리프팅 장치에 의해 승강하는 그립퍼와, 상기 상부이동 구조물과 그립퍼에 구비되어 그립퍼가 상승할 때 상호 결합되는 가이드 결합체를 포함하고; 상기 가이드 결합체는, 상기 상부이동 구조물에서 상기 그립퍼 방향으로 돌출되는 가이드 핀과, 상기 그립퍼에 구성되어 상기 가이드 핀이 삽입되는 가이드 홀을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an overhead hoist transport comprising: an upper moving structure which moves along a rail; a gripper which is located below the upper moving structure and which is lifted and lowered by a lifting device; And a guide coupling provided in the gripper and coupled to each other when the gripper is elevated; The guide assembly includes a guide pin protruding from the upper moving structure in the direction of the gripper, and a guide hole formed in the gripper and into which the guide pin is inserted.

상기 가이드 홀은 하부가 막힌 구조로 형성되는 것이 바람직하다.Preferably, the guide hole is formed in a closed structure.

상기 가이드 홀에는 상기 가이드 핀이 삽입될 때 밀착되어 진동을 감쇠시키는 방진 구조물이 설치되는 것이 바람직하다.Preferably, the guide hole is provided with a vibration-damping structure which closely contacts the guide pin when the guide pin is inserted to damp vibration.

상기 방진 구조물은 탄성을 갖는 부시(bush)로 이루어질 수 있다.The anti-vibration structure may be made of a bush having elasticity.

상기 방진 구조물은 코일 스프링으로 이루어질 수 있다.The anti-vibration structure may comprise a coil spring.

상기 방진 구조물은 댐퍼(damper)로 구성될 수 있다.The anti-vibration structure may comprise a damper.

상기 방진 구조물은 상기 가이드 홀의 벽면에서 돌출되는 측면 탄성체로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 가이드 핀은 그 둘레에 상기 측면 탄성체가 결합되는 탄성 결합홈이 형성되는 것이 바람직하다.The anti-vibration structure may be a side elastic body protruding from a wall surface of the guide hole. At this time, it is preferable that the guide pin is formed with an elastic coupling groove around which the side elastic body is coupled.

상기 방진 구조물은 상기 가이드 핀이 접촉되는 부분에 접촉 캡이 설치되는 것이 바람직하다.The anti-vibration structure is preferably provided with a contact cap at a portion where the guide pin contacts.

이때, 상기 접촉 캡은 상기 가이드 핀과 접촉하는 면이 가이드 핀과 동일 형상으로 형성된다.At this time, the surface of the contact cap contacting the guide pin has the same shape as the guide pin.

또한, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트는, 레일을 따라 이동하는 상부이동 구조물과, 상기 상부이동 구조물의 하부에 위치되어 리프팅 장치에 의해 승강하는 그립퍼와, 상기 상부이동 구조물과 그립퍼에 구비되어 그립퍼가 상승할 때 상호 결합되는 가이드 결합체를 포함하고;According to another aspect of the present invention, there is provided an overhead hoist transport comprising: an upper moving structure that moves along a rail; a gripper which is located at a lower portion of the upper moving structure and ascends and descends by a lifting device; A guide structure provided on the moving structure and the gripper and mutually engaged when the gripper is elevated;

상기 가이드 결합체는, 상기 상부이동 구조물과 그립퍼 중 어느 한쪽에서 돌출되는 가이드 핀과, 다른 한쪽에 구성되어 상기 가이드 핀이 삽입되는 가이드 홀을 포함하되, 상기 가이드 핀과 가이드 홀에 각각 형성되어 상기 가이드 핀이 상기 가이드 홀에 삽입될 때 나사 결합 구조를 갖도록 나선 결합체가 구성될 수 있다.The guide assembly includes a guide pin protruding from one of the upper moving structure and the gripper and a guide hole formed on the other of the guide structure and the guide pin into which the guide pin is inserted, A spiral combination may be configured to have a threaded engagement structure when the pin is inserted into the guide hole.

상기 나선 결합체는 상기 가이드 핀이 상기 가이드 홀에 일정 이상 삽입되었을 때 나사 결합이 이루어지도록 구성되는 것이 바람직하다.The spiral coupling member is configured to be screwed when the guide pin is inserted into the guide hole at a predetermined distance or more.

상기 가이드 핀 또는 가이드 홀을 구성하는 구조물 중 적어도 어느 한쪽은 이들을 지지하는 구조물에 회전 가능하게 설치되는 것이 바람직하다.It is preferable that at least one of the guide pin or the structure constituting the guide hole is rotatably installed in a structure supporting the guide pin or the guide hole.

또한, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트는, 레일을 따라 이동하는 상부이동 구조물과, 상기 상부이동 구조물의 하부에 위치되어 리프팅 장치에 의해 승강하는 그립퍼와, 상기 상부이동 구조물과 그립퍼에 구비되어 그립퍼가 상승할 때 상호 결합되는 가이드 결합체를 포함하고; 상기 가이드 결합체는, 상기 그립퍼에서 상기 상부이동 구조물 방향으로 돌출되는 가이드 핀과, 상기 상부이동 구조물에 구성되어 상기 가이드 핀이 삽입되는 가이드 홀을 포함하고; 상기 가이드 홀에는 상기 가이드 핀이 삽입될 때 밀착되어 진동을 감쇠시키는 방진 구조물이 설치될 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided an overhead hoist transport comprising: an upper moving structure that moves along a rail; a gripper which is located at a lower portion of the upper moving structure and ascends and descends by a lifting device; A guide structure provided on the moving structure and the gripper and mutually engaged when the gripper is elevated; Wherein the guide assembly includes: a guide pin protruding from the gripper toward the upper moving structure; and a guide hole formed in the upper moving structure and into which the guide pin is inserted; The guide hole may be provided with an anti-vibration structure that is closely attached when the guide pin is inserted to damp vibration.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.The above and other objects and advantages of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments thereof with reference to the attached drawings in which: In addition to the principal task solutions as described above, various task solutions according to the present invention will be further illustrated and described.

본 발명에 따른 저진동 가이드 결합체가 구비된 오버헤드 호이스트 트랜스포트는, 상측에 가이드 핀이 위치되고 하측에 가이드 홀이 위치되어 상호 결합될 수 있도록 구성되기 때문에 상호 접촉면에서 발생하는 파티클이 가이드 홀 내부에 수집되어 주변으로 확장되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 반도체 등 제작물의 품질 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.Since the guide pin is positioned on the upper side and the guide hole is positioned on the lower side so that the overhead hoist transport having the low vibration guide coupling body according to the present invention can be coupled to each other, Can be prevented from being collected and expanded to the periphery, thereby contributing to the improvement of the quality of the semiconductor and the like.

또한, 본 발명은 가이드 홀 내부에 방진 구조물이 설치될 경우에 가이드 핀과 가이드 홀이 결합된 상태에서 발생할 수 있는 상하 방향의 진동을 감쇠시킬 수 있고, 또한 회전 방향에 대한 진동도 추가로 감소시킬 수 있게 되므로, 결과적으로 보다 안정적인 물류 이송이 가능한 효과가 있다.In addition, the present invention can attenuate vibration in a vertical direction that may occur when a guide pin and a guide hole are engaged when a vibration-damping structure is installed in a guide hole, and further reduce vibration in a rotation direction As a result, there is an effect that more stable transfer of the goods can be performed.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트가 도시된 개략적인 구성도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 도면으로서,
도 2는 결합 전 상태의 도면,
도 3은 결합된 상태의 도면이다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제 6 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.
도 9는 본 발명에서 강성과 댐핑에 따른 고유주파수분석(FRF) 비교 그래프이다.
도 10은 본 발명의 참고도로서, 2방향의 회전에 의한 진동 감쇠 효과를 설명하기 위한 참고도이다.
도 11은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.1 is a schematic diagram showing an overhead hoist transport according to a first embodiment of the present invention.
2 and 3 are views showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a first embodiment of the present invention,
Fig. 2 is a view of a state before coupling,
Figure 3 is a view of the combined state.
4 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a second embodiment of the present invention.
5 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a third embodiment of the present invention.
6 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a fourth embodiment of the present invention.
7 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a fifth embodiment of the present invention.
8 is a cross-sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a sixth embodiment of the present invention.
9 is a graph of a natural frequency analysis (FRF) according to stiffness and damping in the present invention.
Fig. 10 is a reference diagram for explaining the vibration damping effect due to rotation in two directions as a reference of the present invention. Fig.
11 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a seventh embodiment of the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트가 도시된 도면들로서, 도 1은 개략적인 구성도, 도 2 및 도 3은 가이드 결합체의 결합 전 상태 및 결합 상태의 상세도이다.FIGS. 1 to 3 are views showing an overhead hoist transport according to a first embodiment of the present invention, wherein FIG. 1 is a schematic structural view, FIGS. 2 and 3 show a state before coupling of a guide coupling, Detailed view.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport; OHT)는, 공장 등 천정에 설치된 레일(R)을 따라 이동하도록 구성되어 캐리어(C) 등을 이송할 수 있도록 구성된다.1, an overhead hoist transport (OHT) according to an embodiment of the present invention is configured to move along a rail R installed on a ceiling of a factory or the like to transport a carrier C or the like .

캐리어(C)는 제품 제조 공정에 필요한 대상물 즉, 부품이나 제품을 탑재할 수 있도록 이루어진다. 이때, 부품 또는 제품은 반도체 웨이퍼일 수 있는 바, 반도체 제조 공장 내부에 OHT가 설치되어 이를 통해서 다수의 공정 설비에 반도체 웨이퍼를 공급하거나 이동시킬 수 있도록 이루어진다.The carrier C is configured to mount an object, that is, a part or a product, necessary for the product manufacturing process. In this case, the component or the product may be a semiconductor wafer, and an OHT is installed in the semiconductor manufacturing factory so that the semiconductor wafer can be supplied or moved to a plurality of process facilities.

이러한 OHT는 크게 레일(R), 상부이동 구조물(10), 리프팅 장치(20), 그립퍼(30) 등으로 구성된다.Such OHT is largely composed of a rail (R), an upper moving structure (10), a lifting device (20), a gripper (30) and the like.

레일(R)은 공장 설비 등의 천장에 종방향 또는 횡방향으로 길게 설치되는 것이 일반적이다.The rail (R) is generally installed long in the longitudinal direction or the transverse direction on the ceiling of a factory facility or the like.

상부이동 구조물(10)은 레일(R)을 따라 이동할 수 있도록 구성되는데, 그 내부에는 리프팅 장치(20)를 구동하는 장치 등이 구비되어 그립퍼(30)를 승강시킬 수 있도록 구성된다.The upper moving structure 10 is configured to move along the rail R and an apparatus for driving the lifting device 20 is provided in the upper moving structure 10 so that the gripper 30 can be raised and lowered.

리프팅 장치(20)는 그립퍼(30)에 연결되는 벨트(25) 등이 포함되고, 상부이동 구조물(10)에 설치된 구동장치에 의해 작동하면서 그립퍼(30)를 상승 또는 하강시킬 수 있도록 구성된다. 즉, 상부이동 구조물(10)을 다른 위치로 이동할 때는 리프팅 장치(20)를 이용하여 그립퍼(30)를 상승시키고, 부품 등을 내리거나 실을 때에는 리프팅 장치(20)를 이용하여 그립퍼(30)를 하강시킬 수 있도록 작동하는 것이 일반적이다.The lifting device 20 includes a belt 25 connected to the gripper 30 and is configured to raise or lower the gripper 30 while being operated by a driving device installed in the upper moving structure 10. [ That is, when the upper moving structure 10 is moved to another position, the gripper 30 is lifted using the lifting device 20, and when lifting or lowering the parts, the gripper 30 is lifted using the lifting device 20, To be lowered.

그립퍼(30)는 캐리어(C) 등 수화물 적재기구를 잡아서 들어 올릴 수 있도록 구성된 것으로, 물건을 잡거나 고정하기 위한 여러 장치들이 함께 구성된다.The gripper 30 is configured to catch and lift the cargo loading mechanism such as the carrier C, and various devices for gripping or fixing the object are constructed together.

특히, 상기 상부이동 구조물(10)과 그립퍼(30)에는 그립퍼(30)가 상승할 때 상호 결합되는 가이드 결합체(40,50)가 구성된다.In particular, the upper moving structure 10 and the gripper 30 are formed with guide assemblies 40 and 50 which are coupled to each other when the gripper 30 rises.

가이드 결합체(40,50)는, 도 1 내지 도 3을 참조하면, 상부이동 구조물(10)에서 그립퍼(30) 방향으로 돌출되는 가이드 핀(40)과, 그립퍼(30)에 구성되어 가이드 핀(40)이 삽입되는 가이드 홀(50)을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.1 to 3, the guide assemblies 40 and 50 include a guide pin 40 protruding in the direction of the gripper 30 from the upper moving structure 10 and a guide pin 40 formed on the gripper 30, And a guide hole (50) into which the guide member (40) is inserted.

도 2 및 도 3을 참조하면, 가이드 핀(40)은 상단부(42)가 상부이동 구조물(10)에 볼트 등으로 조립되어 설치될 수 있으며, 하단부(45)는 가이드 홀(50)과 원활하게 결합될 수 있도록 라운드지게 형성되는 것이 바람직하다. 2 and 3, the upper end portion 42 of the guide pin 40 may be assembled with bolts or the like to the upper moving structure 10 and the lower end portion 45 may be smoothly coupled with the guide hole 50 It is preferable that they are rounded so as to be combined.

가이드 홀(50)은 입구 부분(52)이 가이드 핀(40)과 결합할 때 내측으로의 삽입이 유도되도록 확장된 상태에서 점차 좁아지도록 형성되고, 하단부(55)는 막힌 구조로 형성되는 것이 바람직하다. 이때, 가이드 홀(50)은 도면에 예시된 바와 같이 홀 형성체(51)의 중앙에 수직 방향으로 형성되는 것이 바람직하고, 이 홀 형성체(51)는 그립퍼(30) 내측에서 지지체(35) 등에 의해 지지되게 구성될 수 있다. It is preferable that the guide hole 50 is formed to be gradually narrowed in a state where the inlet portion 52 is expanded so as to be inserted to the inside when the inlet portion 52 is engaged with the guide pin 40 and the lower end portion 55 is formed to have a closed structure Do. It is preferable that the guide hole 50 is formed in a vertical direction at the center of the hole forming body 51 as illustrated in the figure. The hole forming body 51 is formed in the support body 35 inside the gripper 30, And the like.

이러한 가이드 결합체(40,50)는 상부이동 구조물(10)에 그립퍼(30)가 안정적으로 결합될 수 있도록 평면으로 보았을 때, 복수 개소(예를 들면 도 10에서와 같이 3개소)에 설치되는 것이 바람직하다. The guide assemblies 40 and 50 are provided at a plurality of positions (for example, three positions as shown in FIG. 10) when viewed in plan so that the gripper 30 can be stably engaged with the upper moving structure 10 desirable.

상기와 같은 가이드 결합체(40,50)의 구성에 따라 도 2에서와 같이 그립퍼(30)가 하강한 상태에서는 가이드 핀(40)과 가이드 홀(50)이 서로 분리되어 있다가 리프팅 장치(20)에 의해 그립퍼(30)가 상승하게 되면, 그립퍼(30)에 구성된 가이드 홀(50)이 상부이동 구조물(10)의 가이드 핀(40)에 결합되면서 그립퍼(30)가 상부이동 구조물(10)에 안정적으로 결합된 상태에서 레일(R)을 따라 함께 이동하게 된다.2, when the gripper 30 is lowered, the guide pin 40 and the guide hole 50 are separated from each other, and then the lifting device 20 is separated from the guide pin 40, The guide hole 50 formed in the gripper 30 is coupled to the guide pin 40 of the upper moving structure 10 so that the gripper 30 is moved to the upper moving structure 10 And are moved together along the rail (R) in a stably coupled state.

이와 같은 본 발명은 막힌 구조를 갖는 가이드 홀(50)이 아래쪽에 위치된 상태에서 가이드 핀(40)과 결합되도록 구성되기 때문에 가이드 핀(40)과 가이드 홀(50)이 결합 및 분리되는 과정에서 발생하는 파티클이 가이드 홀(50) 내부로 떨어지게 되고, 가이드 홀(50) 내부에 쌓이면서 파티클이 주변으로 확산되지 않게 된다. The present invention is configured such that the guide hole 50 having a clogged structure is coupled to the guide pin 40 in a state where the guide hole 50 is located at a lower position, The generated particles fall into the guide hole 50 and accumulate inside the guide hole 50 to prevent the particles from diffusing to the surroundings.

결국 가이드 결합체(40,50)의 결합 및 분리 과정에서 발생하는 파티클이 외부로 퍼지지 않고, 가이드 홀(50) 내부에 수집되므로 반도체 제조 공정에서 중요한 개선 사항 중 하나인 파티클 관리에 도움을 줄 수 있게 된다.As a result, the particles generated in the process of joining and separating the guide assemblies 40 and 50 are collected in the guide hole 50 without spreading to the outside, so that it can be one of important improvements in the semiconductor manufacturing process, do.

이하, 상기한 바와 같은 본 발명의 제 1 실시예의 구성에, 가이드 홀(50) 내부에 방진 구조물이 구성된 여러 실시예에 대하여 설명한다. 여러 실시예들을 설명함에 있어서 동일 유사한 구성 부분에 대해서는 도면에 동일한 도면 부호를 부여하고, 가능한 반복 설명은 생략한다.Hereinafter, various embodiments in which the anti-vibration structure is formed inside the guide hole 50 in the structure of the first embodiment of the present invention as described above will be described. In describing the various embodiments, the same reference numerals are given to the same or similar constituent parts in the drawings, and repetitive explanations as far as possible are omitted.

도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.4 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a second embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예는 가이드 홀(50)에 가이드 핀(40)과 결합할 때 진동 감쇠를 위한 방진 구조물(60)로, 고무재 등으로 제작된 부시(bush)(62)가 설치된다.4, the second embodiment of the present invention is a vibration isolation structure 60 for vibration damping when a guide pin 40 is coupled to a guide hole 50, (62).

부시(62)를 구성하는 소재로는 탄성을 갖는 고무, 우레탄 등의 소재로 이루어질 수 있고, 형상은 파이프형 구조로 형성되거나, 내부가 채워진 기둥형 구조로 형성될 수 있다.The bushing 62 may be made of a material such as rubber or urethane having elasticity, and the shape of the bushing 62 may be a pipe-like structure or a columnar structure filled with the inside.

이러한 부시(62)는 가이드 홀(50)의 하단부(55)에 삽입되어 설치되는 것이 바람직하고, 상부 즉, 가이드 핀(40)과 접촉하는 부분에 접촉 캡(70)이 추가되어 구성될 수 있다. The bush 62 is preferably inserted into the lower end portion 55 of the guide hole 50 and may be formed by adding a contact cap 70 to an upper portion of the guide hole 50 that is in contact with the guide pin 40 .

접촉 캡(70)은 부시보다 경질의 합성수지재 등으로 구성되는 것이 바람직하고, 형상은 가이드 핀(40)의 하단부(45) 접촉면과 동일 또는 유사하게 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 가이드 핀(40)의 하단부(45)가 볼록하게 형성되면, 이와 접촉되는 접촉 캡(70)은 상면이 오목하게 형성되는 것이다. The contact cap 70 is preferably made of hard synthetic resin or the like and is preferably formed in the same or similar shape as the contact surface of the lower end portion 45 of the guide pin 40. That is, when the lower end portion 45 of the guide pin 40 is convexly formed, the top surface of the contact cap 70 is concave.

상기와 같이 가이드 홀(50)에 부시(62)가 설치되면, 그립퍼(30)가 상승할 때, 가이드 홀(50)과 가이드 핀(40)이 상호 결합하게 되는데, 이때 부시(62)가 가이드 핀(40)에 밀착된 상태에 있게 되므로 물류 이동시에 발생할 수 있는 상하 방향의 진동을 감쇠시킬 수 있게 된다.When the bush 62 is installed in the guide hole 50 as described above, the guide hole 50 and the guide pin 40 are coupled with each other when the gripper 30 is raised. At this time, It is possible to attenuate the vibration in the vertical direction that may occur during the movement of the material.

부시(62)에 의한 진동 감쇠 효과는 실험 결과를 통해서 확인할 수 있다. 이에 대하여 [표 1]과 도 9를 참조하여 설명한다.The vibration damping effect by the bushing 62 can be confirmed by the experimental results. This will be described with reference to Table 1 and FIG.

[표 1]은 강성과 댐핑에 따른 주파수 및 피크 비교를 나타낸 것이고, 도 9는 강성과 댐핑에 따른 고유주파수분석(FRF) 비교 그래프이다.[Table 1] shows frequency and peak comparisons according to stiffness and damping, and Fig. 9 is a graph of natural frequency analysis (FRF) according to stiffness and damping.

[표 1][Table 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

[표 1]은 가이드 홀(50)에 부시(62)가 설치된 상태에서 가이드 핀(40)과 가이드 홀(50)이 결합된 상태에서 중력방향의 가진이 발생했을 때, 중력방향의 응답 특성을 실험한 것이다. CASE1,2,3은 강성의 변화가 없을 때, 댐핑(Damping)의 변화에 따른 진동 크기의 변화를 실험한 결과이고, CASE4,5,6은 강성이 100N/mm일 때, 댐핑의 변화에 따른 진동 크기를 실험한 결과이다.Table 1 shows the response characteristics in the gravitational direction when the gravity direction excitation is generated in a state where the guide pin 40 and the guide hole 50 are engaged while the bushes 62 are installed in the guide holes 50 Respectively. CASE 1, 2 and 3 are the results of experiment of variation of vibration size according to the change of damping when there is no change of stiffness, CASE 4, 5 and 6 are the result of damping change when the stiffness is 100 N / It is the result of experiment of vibration size.

결과적으로, 부시(62)의 강성과 댐핑에 따른 주파수 및 피크는, [표 1] 및 도 9에서 확인할 수 있는 바와 같이 부시(62)가 설치되어 있는 CASE2,3,5,6이 부시(62)가 설치되지 않은 CASE1,4와 비교하여 최고 40~80%가까이 감소하는 것을 확인할 수 있었다.As a result, as shown in Table 1 and FIG. 9, the frequencies and peaks due to the rigidity and damping of the bushes 62 can be controlled by the bushes 62 ) Compared to CASE1 and CASE4 which were not installed.

또한, 가이드 핀(40)과 가이드 홀(50)은 미세 틈새(공차)를 갖는 삽입 구조로 이루어지는 바, 상기한 바와 같이 가이드 홀(50) 내에서 부시(62)가 가이드 핀(40)의 끝단에 접촉하면서 강성 및 댐핑을 부여하는 역할을 하게 되면, 도 10에서와 같이 2방향의 회전(요동 운동)에 의한 진동도 감쇠시킬 수 있게 되어 전체적인 진동 감소 효과는 더 커지게 된다. The guide pin 40 and the guide hole 50 are formed with an insertion structure having a fine clearance so that the bush 62 is inserted into the guide hole 40 at the end of the guide pin 40 It is possible to attenuate vibrations due to rotation in two directions (oscillating motion) as shown in FIG. 10, and the overall vibration reduction effect becomes larger.

도 5는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.5 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a third embodiment of the present invention.

도 5를 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에서 가이드 결합체(40,50)는 스프링(64)으로 이루어진 방진 구조물(60)이 구성된다.Referring to FIG. 5, in the third embodiment of the present invention, the guide assemblies 40 and 50 are constructed as the anti-vibration structure 60 composed of the springs 64.

스프링(64)은 통상의 압축 탄성력을 제공하는 코일 스프링으로 구성될 수 있으며, 그 하단부는 가이드 홀(50) 내에 고정되고, 상부에는 접촉 캡(70)이 구성되는 것이 바람직하다.The spring 64 may be constituted by a coil spring which provides a normal compression elastic force. The lower end of the spring 64 is fixed in the guide hole 50, and the contact cap 70 is formed on the upper portion.

접촉 캡(70)의 구성은 본 발명의 제 1 실시예에서 설명하였던 접촉 캡(70)과 동일 또는 유사하게 가이드 핀(40)의 끝단부(45)에 대응하는 형상으로 이루어지는 것이 바람직하다. The configuration of the contact cap 70 is preferably the same as or similar to the contact cap 70 described in the first embodiment of the present invention and has a shape corresponding to the end portion 45 of the guide pin 40. [

이외의 구성은 앞서 설명한 본 발명의 제 1 실시예의 구성과 동일 유사하게 구성될 수 있으므로, 도면에 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복 설명은 생략한다.Other configurations can be configured similar to the configurations of the first embodiment of the present invention described above, and therefore, the same reference numerals are assigned to the same drawings, and repeated description is omitted.

도 6은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.6 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a fourth embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에서 가이드 결합체(40,50)는 댐퍼(65)로 이루어진 방진 구조물(60)이 구성된다.Referring to FIG. 6, in the fourth embodiment of the present invention, the guide assemblies 40 and 50 are constructed as the anti-vibration structure 60 composed of the damper 65.

댐퍼(65)는 실린더와 피스톤 결합체에서 오리피스를 통과하는 유체의 저항을 이용한 구조로 이루어질 수 있다. 댐퍼의 기본 원리는 널리 공지된 구성이므로 구체적인 도면 예시 및 그에 대한 설명은 생략한다. The damper 65 may have a structure using the resistance of the fluid passing through the orifice in the cylinder-piston assembly. The basic principle of the damper is a well-known structure, so that specific illustrations and explanations thereof are omitted.

이러한 댐퍼(65)는 도면에 예시된 바와 같이 복원력을 제공하기 위한 탄성체(66)가 함께 구성되는 것도 가능하고, 상부에는 역시 접촉 캡(70)이 연결되어 구성되는 것이 바람직하다.The damper 65 may include an elastic body 66 for providing a restoring force as illustrated in the drawing, and a contact cap 70 may be connected to the damper 65 at an upper portion thereof.

이외의 구성은 앞서 설명한 본 발명의 제 1 실시예의 구성과 동일 유사하게 구성될 수 있으므로, 도면에 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복 설명은 생략한다.Other configurations can be configured similar to the configurations of the first embodiment of the present invention described above, and therefore, the same reference numerals are assigned to the same drawings, and repeated description is omitted.

도 7은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.7 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a fifth embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 제 5 실시예의 가이드 결합체(40,50)는 측면 탄성체(67)로 이루어진 방진 구조물(60)이 구성된다.Referring to FIG. 7, the guide assemblies 40 and 50 of the fifth embodiment according to the present invention are constructed as the anti-vibration structure 60 composed of the side elastic members 67.

여기서 측면 탄성체(67)는 가이드 홀(50)의 벽면에서 내측으로 돌출된 판 스프링 구조로 이루어질 수 있다. Here, the side elastic body 67 may have a leaf spring structure protruding inward from the wall surface of the guide hole 50.

측면 탄성체(67)는 상단부와 하단부가 가이드 홀(50)의 벽면에 지지된 상태에서 가운데 부분이 볼록하게 돌출된 구조로 이루어지고, 가이드 홀(50)의 원주 방향으로 복수개가 일정 간격(예를 들면 4개가 90도 간격)으로 설치되는 것이 바람직하다.The side surface elastic members 67 have a structure in which the middle portion protrudes convexly in a state in which the upper end portion and the lower end portion are supported by the wall surface of the guide hole 50. When a plurality of the side surface elastic members 67 are spaced apart from each other in the circumferential direction of the guide hole 50 Are arranged at intervals of 90 degrees).

이와 함께 가이드 핀(40)의 둘레에도 가이드 홀(50)에 삽입된 상태에서 측면 탄성체(67)가 결합되어 안정된 결합 상태를 유지할 수 있도록 탄성 결합홈(47)이 형성되는 것이 바람직하다. It is preferable that the elastic coupling grooves 47 are formed around the guide pins 40 so that the side elastic members 67 are inserted into the guide holes 50 to maintain a stable state of engagement.

이러한 구조를 통해 가이드 핀(40)과 가이드 홀(50)이 결합된 상태에서 상하 방향 및 좌우(요잉) 방향의 진동을 감쇠시킬 수 있게 된다.With this structure, it is possible to attenuate vibrations in the vertical direction and the left and right (yawing) directions in a state where the guide pin 40 and the guide hole 50 are engaged.

한편, 측면 탄성체(67)는 판 스프링 대신에 스프링에 의해 지지되는 볼 또는 반구형체로 구성되는 것도 가능하다. 이때에는 볼 또는 반 구형체가 가이드 홀(50)의 벽면에서 돌출된 상태에서 가이드 핀(40)이 삽입되면, 스프링의 탄성력에 의해 밀착된다. On the other hand, the side elastic body 67 may be a ball or hemispherical body supported by a spring instead of the leaf spring. At this time, when the guide pin 40 is inserted in a state where the ball or semi-spherical body protrudes from the wall surface of the guide hole 50, the ball is brought into close contact with the elastic force of the spring.

마찬가지로, 이외의 구성은 앞서 설명한 본 발명의 제 1 실시예의 구성과 동일 유사하게 구성될 수 있으므로, 도면에 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복 설명은 생략한다.Similarly, the configuration other than that described above can be configured similarly to the configuration of the first embodiment of the present invention described above, so that the same reference numerals are assigned to the drawings, and the repeated description is omitted.

도 8은 본 발명의 제 6 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.8 is a cross-sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a sixth embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 본 발명의 제 6 실시예에서 가이드 결합체(40,50)는 나선 결합체(81,85)로 이루어진 방진 구조물(60)이 구성된다.Referring to FIG. 8, in the sixth embodiment of the present invention, the guide assemblies 40 and 50 are constructed as the anti-vibration structure 60 composed of the spiral members 81 and 85.

앞서 설명한 본 발명의 제 2 내지 제 5 실시예에서는 방진 구조물(60)이 가이드 홀(50) 내부에 추가되는 구성으로 설치되었으나, 본 실시예에서는 방진 구조물(60)이 나선 결합 구조로 형성된다.In the second to fifth embodiments of the present invention, the anti-vibration structure 60 is installed inside the guide hole 50. However, in this embodiment, the anti-vibration structure 60 is formed in a spiral structure.

즉, 본 실시예의 방진 구조물(60)은 가이드 핀(40)이 가이드 홀(50)에 삽입될 때 회전하면서 삽입될 수 있도록 나선 결합체(81,85)가 구성된다.That is, the vibration-proof structure 60 of this embodiment includes the spiral members 81 and 85 so that the guide pin 40 can be inserted while being rotated when the guide pin 40 is inserted into the guide hole 50.

이때, 나선 결합체(81,85)는 가이드 핀(40)이 가이드 홀(50)에 일정 이상 삽입되었을 때 이루어지도록 구성되는 것이 바람직하다. 즉, 가이드 핀(40)의 하단부와 가이드 홀(50)의 하단부 쪽에 상호 체결될 수 있는 나선 구조를 형성하여 가이드 핀(40)이 가이드 홀(50)에 일정 이상 삽입되면, 양쪽의 나선 결합체(81,85)가 결합되기 시작하고, 더 진행하면 가이드 핀(40)이 회전하면서 삽입되어 결합되도록 구성되는 것이다. In this case, it is preferable that the helical joining bodies 81 and 85 are configured to be formed when the guide pin 40 is inserted into the guide hole 50 at a predetermined distance or more. That is, when the guide pin 40 is inserted into the guide hole 50 more than a predetermined distance by forming a helical structure that can be mutually engaged with the lower end of the guide pin 40 and the lower end of the guide hole 50, 81, and 85 are started to be coupled with each other, and when the guide pin 40 is further advanced, the guide pin 40 is inserted while being rotated.

이를 위해 가이드 핀(40)은 상부이동 구조물(10)에 설치된 부분에 회전 가능하게 설치되는 것이 바람직하다. 물론, 가이드 핀(40) 대신에 가이드 홀(50)을 구성하는 구조물 즉, 홀 형성체(51)가 회전하도록 구성하는 것도 가능하고, 가이드 핀(40)과 가이드 홀(50) 모두 회전하도록 구성하는 것도 가능하다.To this end, the guide pin 40 is preferably rotatably installed on a portion of the upper moving structure 10. Of course, instead of the guide pin 40, the structure constituting the guide hole 50, that is, the hole forming body 51 may be configured to rotate, and the guide pin 40 and the guide hole 50 may be configured to rotate It is also possible to do.

이러한 가이드 핀(40) 등의 회전 구조는 축과 이를 지지하는 베어링 설치 구조를 통해 구성 가능하므로, 보다 구체적인 설명은 생략한다.Since the rotation structure of the guide pin 40 and the like can be configured through the shaft and the bearing installation structure for supporting the shaft, a detailed description thereof will be omitted.

상기와 같이 본 발명의 제 6 실시예에서는 가이드 홀(50)에 가이드 핀(40)이 삽입된 상태에서 나선 결합체(81,85)에 의해 나선 결합 구조를 갖게 되므로 상하 방향의 진동을 나선 결합 구조를 통해 저감시킬 수 있게 된다.As described above, according to the sixth embodiment of the present invention, since the spiral coupling bodies 81 and 85 have a spiral coupling structure in a state where the guide pins 40 are inserted into the guide holes 50, .

이외의 구성에 대해서는 앞서 설명한 본 발명의 여러 실시예의 구성과 동일 유사하게 구성될 수 있으므로, 도면에 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복 설명은 생략한다.Other configurations can be configured similarly to the configurations of various embodiments of the present invention described above, and therefore, the same reference numerals are assigned to the same drawings, and repeated descriptions are omitted.

도 11은 본 발명의 제 7 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 가이드 결합체가 도시된 단면도이다.11 is a sectional view showing a guide coupling of an overhead hoist transport according to a seventh embodiment of the present invention.

상기한 본 발명의 제 1 실시예에서 제 6 실시예에서는 그립퍼(30)에 가이드 홀(50)이 구성되고, 상부이동 구조물(10)에 가이드 핀(40)이 설치된 구성을 설명하였으나, 이와 반대로 본 발명의 제 7 실시예는 상부이동 구조물(10)에 가이드 홀(50A)이 구성되고, 그립퍼(30)에 가이드 핀(40A)이 설치된다. 특히 상부이동 구조물(10)에 구성되는 가이드 홀(50) 내부에는 진동 감쇠를 위해 방진 구조물(60A)이 설치된다.In the first embodiment of the present invention, the guide hole 50 is formed in the gripper 30 and the guide pin 40 is provided in the upper moving structure 10 in the sixth embodiment, In the seventh embodiment of the present invention, a guide hole 50A is formed in the upper movable structure 10, and a guide pin 40A is provided in the gripper 30. [ In particular, the inside of the guide hole 50 formed in the upper moving structure 10 is provided with a vibration-proof structure 60A for vibration damping.

이때 설치되는 방진 구조물(60A)은 도 11에서와 같이 고무재 등으로 이루어진 부시(62)로 구성될 수 있다. 부시(62)에 대해서는 도 4를 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에서 자세히 설명하였으므로 반복 설명은 생략한다.The anti-vibration structure 60A installed at this time may be formed of a bush 62 made of rubber or the like as shown in FIG. Since the bushing 62 has been described in detail in the second embodiment of the present invention with reference to FIG. 4, a repetitive description will be omitted.

또한, 상부이동 구조물(10)의 가이드 홀(50)에 도 5, 도 6, 도 7, 도 8에 예시된 방진 구조물(60) 중 어느 하나를 채택하여 구성하는 것도 가능하다.The guide hole 50 of the upper moving structure 10 may be constructed by adopting any one of the anti-vibration structures 60 exemplified in Figs. 5, 6, 7 and 8.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the technical ideas described in the embodiments of the present invention can be implemented independently of each other, and can be implemented in combination with each other. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art. It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

10 : 상부이동 구조물 20 : 리프팅 장치
30 : 그립퍼 40 : 가이드 핀
50 : 가이드 홀 60 : 방진 구조물
62 : 부시 64 : 스프링
65 : 댐퍼 67 : 측면 탄성체
70 : 접촉 캡 81, 85 : 나선 결합체10: upper moving structure 20: lifting device
30: gripper 40: guide pin
50: guide hole 60: anti-vibration structure
62: Bush 64: Spring
65: damper 67: side elastic body
70: contact cap 81, 85: spiral coupling

Claims (14)

레일을 따라 이동하는 상부이동 구조물과, 상기 상부이동 구조물의 하부에 위치되어 리프팅 장치에 의해 승강하는 그립퍼와, 상기 상부이동 구조물과 그립퍼에 구비되어 그립퍼가 상승할 때 상호 결합되는 가이드 결합체를 포함하고;
상기 가이드 결합체는, 상기 상부이동 구조물에서 상기 그립퍼 방향으로 돌출되는 가이드 핀과, 상기 그립퍼에 구성되어 상기 가이드 핀이 삽입되는 가이드 홀을 포함한 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.A gripper which is positioned at a lower portion of the upper moving structure and moves up and down by a lifting device, and a guide coupling provided in the upper moving structure and the gripper to be coupled to each other when the gripper moves up, ;
Wherein the guide assembly includes a guide pin protruding from the upper moving structure in the direction of the gripper and a guide hole formed in the gripper and into which the guide pin is inserted. 청구항 1에 있어서,
상기 가이드 홀은 하부가 막힌 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method according to claim 1,
Wherein the guide hole is formed in a closed structure. 청구항 1에 있어서,
상기 가이드 홀에는 상기 가이드 핀이 삽입될 때 밀착되어 진동을 감쇠시키는 방진 구조물이 설치된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method according to claim 1,
Wherein the guide hole is provided with an anti-vibration structure that closely contacts the guide pin when the guide pin is inserted to damp vibrations. 레일을 따라 이동하는 상부이동 구조물과, 상기 상부이동 구조물의 하부에 위치되어 리프팅 장치에 의해 승강하는 그립퍼와, 상기 상부이동 구조물과 그립퍼에 구비되어 그립퍼가 상승할 때 상호 결합되는 가이드 결합체를 포함하고;
상기 가이드 결합체는, 상기 그립퍼에서 상기 상부이동 구조물 방향으로 돌출되는 가이드 핀과, 상기 상부이동 구조물에 구성되어 상기 가이드 핀이 삽입되는 가이드 홀을 포함하고;
상기 가이드 홀에는 상기 가이드 핀이 삽입될 때 밀착되어 진동을 감쇠시키는 방진 구조물이 설치된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.A gripper which is positioned at a lower portion of the upper moving structure and moves up and down by a lifting device, and a guide coupling provided in the upper moving structure and the gripper to be coupled to each other when the gripper moves up, ;
Wherein the guide assembly includes: a guide pin protruding from the gripper toward the upper moving structure; and a guide hole formed in the upper moving structure and into which the guide pin is inserted;
Wherein the guide hole is provided with an anti-vibration structure that closely contacts the guide pin when the guide pin is inserted to damp vibrations. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
상기 방진 구조물은 탄성을 갖는 부시(bush)로 이루어진 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method according to claim 3 or 4,
Characterized in that the anti-vibration structure comprises an elastic bush. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
상기 방진 구조물은 코일 스프링으로 이루어진 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method according to claim 3 or 4,
Wherein the anti-vibration structure comprises a coil spring. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
상기 방진 구조물은 댐퍼(damper)로 구성된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method according to claim 3 or 4,
Wherein the vibration damping structure comprises a damper. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
상기 방진 구조물은 상기 가이드 홀의 벽면에서 돌출되는 측면 탄성체로 이루어진 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method according to claim 3 or 4,
Wherein the anti-vibration structure comprises a side elastic body protruding from a wall surface of the guide hole. 청구항 8에 있어서,
상기 가이드 핀은 그 둘레에 상기 측면 탄성체가 결합되는 탄성 결합홈이 형성된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method of claim 8,
Wherein the guide pin is formed with an elastic coupling groove around which the side elastic body is coupled. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
상기 방진 구조물은 상기 가이드 핀이 접촉되는 부분에 접촉 캡이 설치된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method according to claim 3 or 4,
Wherein the vibration-damping structure is provided with a contact cap at a portion where the guide pin is in contact with the overhead hoist transport. 청구항 10에 있어서,
상기 접촉 캡은 상기 가이드 핀과 접촉하는 면이 가이드 핀과 동일 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method of claim 10,
Wherein the contact cap has a surface in contact with the guide pin formed in the same shape as the guide pin. 레일을 따라 이동하는 상부이동 구조물과, 상기 상부이동 구조물의 하부에 위치되어 리프팅 장치에 의해 승강하는 그립퍼와, 상기 상부이동 구조물과 그립퍼에 구비되어 그립퍼가 상승할 때 상호 결합되는 가이드 결합체를 포함하고;
상기 가이드 결합체는, 상기 상부이동 구조물과 그립퍼 중 어느 한쪽에서 돌출되는 가이드 핀과, 다른 한쪽에 구성되어 상기 가이드 핀이 삽입되는 가이드 홀을 포함하되, 상기 가이드 핀과 가이드 홀에 각각 형성되어 상기 가이드 핀이 상기 가이드 홀에 삽입될 때 나사 결합 구조를 갖도록 나선 결합체가 구성된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.A gripper which is positioned at a lower portion of the upper moving structure and moves up and down by a lifting device, and a guide coupling provided in the upper moving structure and the gripper to be coupled to each other when the gripper moves up, ;
The guide assembly includes a guide pin protruding from one of the upper moving structure and the gripper and a guide hole formed on the other of the guide structure and the guide pin into which the guide pin is inserted, Characterized in that the spiral coupling is configured to have a threaded engagement structure when the pin is inserted into the guide hole. 청구항 12에 있어서,
상기 나선 결합체는 상기 가이드 핀이 상기 가이드 홀에 일정 이상 삽입되었을 때 나사 결합이 이루어지도록 구성된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method of claim 12,
Wherein the helical connection body is configured to be threaded when the guide pin is inserted into the guide hole at a predetermined distance or more. 청구항 12에 있어서,
상기 가이드 핀 또는 가이드 홀을 구성하는 구조물 중 적어도 어느 한쪽은 이들을 지지하는 구조물에 회전 가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트.The method of claim 12,
Wherein at least one of the guide pin or the structure constituting the guide hole is rotatably installed in a structure supporting the guide pin or the guide hole.
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