KR20190042165A - A Gas Mixing Apparatus Having a Structure of Regulating a Pressure to a Nozzle for Supplying - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a gas mixing device of a nozzle pressure controlling and supplying structure and, more specifically, to a gas mixing device of a nozzle pressure controlling and supplying structure, which is capable of being used for development or a test of technology related to a scrubber cleaning system for removing harmful gas. The gas mixing device of a nozzle pressure controlling and supplying structure comprises: an individual gas generating module (10) which generates or induces at least one gas; a heterogeneous gas homogeneous mixing module (20) which mixes at least one gas supplied from the individual gas generating module (10) with air; a pressurized gas supplying module (30) which guides the air having predetermined pressure into the heterogeneous gas homogeneous mixing module (20), generates attraction power in at least one gas, and mixes the air with at least one gas; and a discharge controlling module (40) which discharges at least one gas mixed in the heterogeneous gas homogeneous mixing module (20) to a predetermined path. The air having the predetermined pressure is supplied to a nozzle.

Description

노즐 압력 제어 공급 구조의 기체 혼합 장치{A Gas Mixing Apparatus Having a Structure of Regulating a Pressure to a Nozzle for Supplying}[0001] The present invention relates to a gas mixing device for a nozzle pressure control supply structure,

본 발명은 노즐 압력 제어 공급 구조의 기체 혼합 장치에 관한 것이고, 구체적으로 유해 기체의 제거를 위한 스크러버 세정 시스템과 관련된 기술의 개발 또는 시험에 활용될 수 있는 노즐 압력 제어 공급 구조의 기체 혼합 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a gas mixing apparatus of a nozzle pressure control supply structure, and more particularly to a gas mixing apparatus of a nozzle pressure control supply structure that can be utilized for development or testing of a technique related to a scrubber cleaning system for removing harmful gas will be.

산업의 발달과 함께 다양한 종류의 오염 기체 또는 미립자가 발생될 수 있고, 이를 제거하기 위한 세정 장치 또는 스크러버 시스템이 개발되고 있다. 일반적으로 오염 물질은 서로 혼합되어 존재할 수 있고, 서로 다른 비율로 혼합되어 존재할 수 있다. 그러므로 스크러버 시스템의 개발 또는 설치를 위하여 다양한 종류의 오염 물질이 혼합된 상태에서 세정 능력이 미리 시험될 필요가 있다. Various kinds of polluted gas or fine particles may be generated with the development of the industry, and a cleaning apparatus or a scrubber system for removing the polluted gas or fine particles is being developed. In general, contaminants may be present in admixture with each other and may be mixed in different proportions. Therefore, in order to develop or install the scrubber system, it is necessary to test the cleaning ability in a mixed state with various kinds of contaminants.

특허공개번호 제10-2013-0074419호는 두 개 이상의 가스를 혼합하여 반응 챔버에 공급하는 가스 혼합체 및 이러한 가스 혼합체가 적용된 기판 처리 장치에 대하여 개시한다. 또한 반도체 프로세싱 장비에서 가스 종들의 혼합을 향상시키기 위한 개선된 장치에 대하여 개시한다. 그러나 상기 선행기술은 혼합을 위하여 공급되는 기체의 양이 조절되도록 하면서 이와 동시에 균일하게 혼합될 수 있도록 하는 기체 혼합 장치에 대하여 개시하지 않는다. Patent Publication No. 10-2013-0074419 discloses a gas mixture in which two or more gases are mixed and supplied to a reaction chamber, and a substrate processing apparatus to which such a gas mixture is applied. Also disclosed is an improved apparatus for enhancing mixing of gas species in semiconductor processing equipment. However, the prior art does not disclose a gas mixing device that allows the amount of gas supplied for mixing to be controlled and mixed at the same time.

본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention has been made to solve the problems of the prior art and has the following purpose.

선행기술: 특허공개번호 제10-2013-0074419호(주식회사 원익홀딩스, 2013년07월04일 공개) 가스 혼합체 및 기판처리장치Prior Art: Patent Publication No. 10-2013-0074419 (Wonik Holdings, Inc., published on Jul. 04, 2013) Gas mixture and substrate processing apparatus

본 발명의 목적은 다양한 종류의 기체 또는 부유 형태의 미립자를 발생시켜 노즐에 의하여 균일하게 혼합이 되도록 하는 노즐 압력 제어 공급 구조의 기체 혼합 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a gas mixing apparatus of a nozzle pressure control supply structure which generates various kinds of gases or suspended particulates in a uniform manner by nozzles.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 노즐 압력 제어 공급 구조의 기체 혼합 장치는 적어도 하나의 기체를 발생시키거나 또는 유도할 수 있는 개별 기체 발생 모듈; 개별 기체 발생 모듈로부터 공급되는 적어도 하나의 기체를 공기와 혼합하는 이종 기체 균질 혼합 모듈; 이종 기체 균질 혼합 모듈로 미리 결정된 압력을 가지는 공기를 유입시켜 적어도 하나의 기체에 흡입력을 발생시키면서 서로 혼합되도록 하는 가압 기체 공급 모듈; 및 이종 기체 균질 혼합 모듈에서 서로 혼합된 적어도 하나의 기체를 미리 결정된 경로로 배출시키는 배출 조절 모듈을 포함하고, 상기 미리 결정된 압력을 가지는 공기는 노즐로 공급이 된다.According to a preferred embodiment of the present invention, the gas mixing device of the nozzle pressure control supply structure comprises an individual gas generating module capable of generating or guiding at least one gas; A heterogeneous gas homogeneous mixing module for mixing at least one gas supplied from an individual gas generating module with air; A pressurized gas supply module for introducing air having a predetermined pressure into the heterogeneous gas homogeneous mixing module so as to mix with each other while generating a suction force in at least one gas; And a discharge control module for discharging at least one gas mixed with each other in the heterogeneous gas homogeneous mixing module in a predetermined path, wherein the air having the predetermined pressure is supplied to the nozzle.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 개별 기체 발생 모듈은 독립적으로 설치된 다수 개의 기체 발생 유닛을 포함하고, 각각의 기체 발생 유닛은 조절 밸브에 의하여 이종 기체 균질 혼합 모듈에 연결된다.According to another preferred embodiment of the present invention, the individual gas generating module comprises a plurality of independently generated gas generating units, each gas generating unit being connected to the heterogeneous gas homogeneous mixing module by means of a regulating valve.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 이종 기체 혼합 모듈은 서로 개별 기체 발생 모듈로부터 공급되는 적어도 하나의 기체의 혼합을 위한 노즐 유닛을 포함한다.According to another preferred embodiment of the present invention, the heterogeneous gas mixing module comprises a nozzle unit for mixing of at least one gas supplied from an individual gas generating module to one another.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 노즐 유닛은 적어도 하나의 기체를 유도하는 기체 유도 경로 및 가압이 된 공기를 노즐 유닛으로 유입시키는 공기 유입 홀을 포함한다.According to another preferred embodiment of the present invention, the nozzle unit includes a gas guiding path for guiding at least one gas and an air inflow hole for introducing pressurized air into the nozzle unit.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 가압이 된 공기는 사이클론 형태가 되도록 유도되어 적어도 하나의 기체에 대한 흡인력을 발생시킨다.According to another preferred embodiment of the present invention, the pressurized air is induced to be in a cyclone form to generate a suction force for at least one gas.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 미리 결정된 압력에 의하여 노즐로 유입되는 적어도 하나의 기체의 양이 결정된다.According to yet another preferred embodiment of the present invention, the amount of at least one gas entering the nozzle by a predetermined pressure is determined.

본 발명에 따른 기체 혼합 장치는 유해 가스 제거용 스크러버 세정시스템의 기술 개발 및 시험에 적용될 수 있다. 예를 들어 본 발명에 따른 기체 혼합 장치는 산업 현장에서 발생할 수 있는 환경오염 조건과 동등한 조건을 가지도록 다양한 형태의 기체 또는 오염물질이 생성되어 균일하게 혼합이 되도록 한다. 이로 인하여 다양한 기체 또는 오염 물질이 각각의 특성 또는 농도에 따라 효율적으로 제거될 수 있는 시스템이 개발되도록 한다. 본 발명에 따른 시스템은 회전을 유도하는 2 유체 노즐에 가압 공기를 주입하는 것에 의하여 자동적으로 기체 또는 오염 물질이 공기와 혼합되도록 하는 것에 의하여 각각의 기체를 위한 가압 이송 펌프가 사용될 필요가 없도록 한다. 또한 가압 공기의 주입 압력을 조절하여 기체의 혼합 수준을 조절하는 것에 의하여 유량 정밀 제어를 위한 MFC(Mass Flow Controller)가 사용될 필요가 없도록 한다. The gas mixing apparatus according to the present invention can be applied to the technology development and testing of a scrubber cleaning system for removing harmful gases. For example, the gas mixing apparatus according to the present invention generates various types of gas or contaminants to be uniformly mixed so as to have conditions equivalent to environmental pollution conditions that may occur in an industrial field. This allows a system to be developed in which various gases or contaminants can be efficiently removed according to their respective characteristics or concentrations. The system according to the present invention does not require the use of a pressurized feed pump for each gas by allowing the gas or contaminants to be mixed with air automatically by injecting pressurized air into the two fluid nozzles that induce rotation. In addition, by controlling the injection pressure of the pressurized air, the mixing level of the gas is adjusted so that the MFC (Mass Flow Controller) for the flow rate precision control need not be used.

도 1은 본 발명에 따른 노즐 압력 제어 공급 구조의 기체 혼합 장치의 구조에 대한 실시 예를 블록 다이어그램으로 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 기체 혼합 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 기체 혼합 장치에 적용되는 균질 혼합 모듈의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 기체 혼합 장치에서 서로 다른 기체가 혼합되는 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 기체 혼합 장치에 적용되는 노즐 유닛의 실시 예를 도시한 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 기체 혼합 장치가 작동되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a structure of a gas mixing apparatus of a nozzle pressure control supply structure according to the present invention.
2 shows an embodiment of a gas mixing apparatus according to the present invention.
FIG. 3 shows an embodiment of a homogeneous mixing module applied to a gas mixing apparatus according to the present invention.
FIG. 4 shows an embodiment of a structure in which different gases are mixed in the gas mixing apparatus according to the present invention.
5 shows an embodiment of a nozzle unit applied to a gas mixing apparatus according to the present invention.
FIG. 6 shows an embodiment of a process of operating a gas mixing apparatus according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments shown in the accompanying drawings, but the present invention is not limited thereto. In the following description, components having the same reference numerals in different drawings have similar functions, so that they will not be described repeatedly unless necessary for an understanding of the invention, and the known components will be briefly described or omitted. However, It should not be understood as being excluded from the embodiment of Fig.

도 1은 본 발명에 따른 노즐 압력 제어 공급 구조의 기체 혼합 장치의 구조에 대한 실시 예를 블록 다이어그램으로 도시한 것이다. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a structure of a gas mixing apparatus of a nozzle pressure control supply structure according to the present invention.

도 1을 참조하면, 노즐 압력 제어 공급 구조의 기체 혼합 장치는 적어도 하나의 기체를 발생시키거나 또는 유도할 수 있는 개별 기체 발생 모듈(10); 개별 기체 발생 모듈(10)로부터 공급되는 적어도 하나의 기체를 공기와 혼합하는 이종 기체 균질 혼합 모듈(20); 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)로 미리 결정된 압력을 가지는 공기를 유입시켜 적어도 하나의 기체에 흡입력을 발생시키면서 서로 혼합되도록 하는 가압 기체 공급 모듈(30); 및 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)에서 서로 혼합된 적어도 하나의 기체를 미리 결정된 경로로 배출시키는 배출 조절 모듈(40)을 포함하고, 상기 미리 결정된 압력을 가지는 공기는 노즐로 공급이 된다. Referring to FIG. 1, the gas mixing device of the nozzle pressure control supply structure includes an individual gas generating module 10 capable of generating or guiding at least one gas; A heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 for mixing at least one gas supplied from the individual gas generating module 10 with air; A pressurized gas supply module (30) for introducing air having a predetermined pressure into the heterogeneous gas homogeneous mixing module (20) to mix with each other while generating suction force in at least one gas; And a discharge control module (40) for discharging at least one gas mixed with each other in the heterogeneous gas homogeneous mixing module (20) by a predetermined path, and the air having the predetermined pressure is supplied to the nozzle.

개별 기체 발생 모듈(10)은 적어도 하나의 기체를 발생시키거나, 외부로부터 공급된 기체를 저장할 수 있는 구조를 가질 수 있다. 본 명세서에서 기체는 다양한 형태의 환경오염 기체. 부유 형태의 오염 물질, 미세 먼지를 포함하는 미립자를 포함할 수 있다. 개별 기체 발생 모듈(10)은 예를 들어 이산화황, 일산화질소, 일산화탄소, 암모니아. 오존 또는 이와 유사한 기체를 발생시키거나 저장할 수 있고, 각각의 기체는 미리 결정된 양으로 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)로 공급될 수 있다. The individual gas generating module 10 may have a structure capable of generating at least one gas or storing gas supplied from the outside. As used herein, the term " gas " Contaminants in suspended form, fine particles including fine dusts. The individual gas generating module 10 may be, for example, sulfur dioxide, nitrogen monoxide, carbon monoxide, ammonia. Ozone or similar gas, and each gas may be supplied to the heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 in a predetermined amount.

이종 기체 균질 혼합 모듈(20)은 이송 도관 또는 이송 튜브에 의하여 개별 기체 발생 모듈(10)과 연결될 수 있고, 이송 도관 또는 이송 튜브에 이송 기체 균질 모듈(20)로 공급되는 양을 조절하기 위한 조절 밸브가 설치될 수 있다. 개별 기체 발생 모듈(10)에서 생성된 각각의 기체는 서로 다른 이송 도관을 통하여 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)로 유도될 수 있다. 이송 기체 균질 혼합 모듈(20)은 공급된 적어도 하나의 기체 또는 다수의 기체를 공기와 함께 균질하게 혼합하는 기능을 가질 수 있다. 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)에 노즐 유닛이 배치될 수 있고, 적어도 하나의 기체는 노즐 유닛으로 공급될 수 있다. 노즐 유닛은 예를 들어 2유체 노즐을 포함할 수 있고, 적어도 하나의 기체가 유입되는 기체 유동 경로와 기체 유동 경로와 연결되어 외부로부터 가압된 공기가 유도되는 가압 유도 경로를 포함할 수 있다. 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)은 기체 유동 경로를 따라 적어도 하나의 기체를 이송시키면서 서로 균질하게 혼합되도록 할 수 있다. The heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 may be connected to the individual gas generating module 10 by a transfer conduit or a transfer tube and may be controlled to control the amount supplied to the transfer gas conduit or transfer tube to the transfer gas homogenizer module 20 Valves can be installed. Each of the gases generated in the individual gas generating module 10 may be directed to the heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 through different transport conduits. The feed gas homogeneous mixing module 20 may have the function of homogeneously mixing the supplied at least one gas or a plurality of gases with air. The nozzle unit may be disposed in the heterogeneous gas homogeneous mixing module 20, and at least one gas may be supplied to the nozzle unit. The nozzle unit may comprise, for example, a two fluid nozzle, and may include a gas flow path through which at least one gas is introduced and a pressure induction path through which the pressurized air is introduced from the outside in connection with the gas flow path. The heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 may be adapted to homogeneously mix with one another while transferring at least one gas along the gas flow path.

가압 기체 공급 모듈(30)은 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)로 이송되는 적어도 하나의 기체에 흡입력을 제공하는 공기 또는 이와 유사한 기체를 공급하는 기능을 가질 수 있다. 가압 기체 공급 모듈(30)을 통하여 가압 공기가 주입될 수 있고, 이에 의하여 기체 유동 경로에 흡입력을 발생시켜 적어도 하나의 기체가 이송될 수 있다. 가압 공기의 압력에 의하여 적어도 하나의 기체의 이송 속력이 조절될 수 있다. 또한 가압 공기는 스월(swirl) 형태 또는 사이클론 형태로 이동되면서 적어도 하나의 기체와 함께 배출될 수 있고, 이에 의하여 다수 개의 기체가 이송되는 경우 균질하게 서로 혼합이 되도록 한다. 이와 같이 가압 기체 공급 모듈(30)은 흡입력을 제공하여 적어도 하나의 기체의 이송 속력을 조절하면서 적어도 하나의 기체가 공기 또는 서로 간에 균질하게 혼합이 되도록 하는 기능을 가질 수 있다. 이와 같이 균질하게 혼합이 된 적어도 하나의 기체는 배출 조절 모듈(40)에 의하여 스크러버 또는 세정기(50)로 공급될 수 있다. 배출 조절 모듈(40)은 세정기(50)와 연결된 미리 결정된 경로를 가질 수 있고, 경로에 배출 조절 수단이 배치될 수 있다. 이와 같이 본 발명에 따른 혼합 장치는 외부로부터 혼합되어야 하는 기체의 양에 따른 압력을 가지는 가압 공기를 주입시켜 적어도 하나의 기체를 이송하는 것에 의하여 별도로 정량 펌프와 같은 공급 수단이 설치될 필요가 없도록 한다. 또한 가압 공기의 압력을 조절하는 것에 의하여 적어도 하나의 기체의 공급 속력을 조절하는 것에 의하여 공급되는 양이 정밀하게 조절될 수 있도록 한다. 또한 가압 공기를 노즐로 공급하면서 와류가 형성되도록 하는 것에 의하여 적어도 하나의 기체가 공기와 균질하게 혼합되도록 한다.The pressurized gas supply module 30 may have the function of supplying air or similar gas that provides a suction force to at least one gas delivered to the heterogeneous gas homogeneous mixing module 20. Pressurized air can be injected through the pressurized gas supply module 30, thereby generating a suction force in the gas flow path so that at least one gas can be transferred. The feed speed of at least one gas can be controlled by the pressure of the pressurized air. Also, the pressurized air can be discharged together with the at least one gas while being moved in the form of a swirl or a cyclone, whereby a plurality of gases are homogeneously mixed with each other when they are transported. As such, the pressurized gas supply module 30 may provide a suction force to control at least one gas transport speed, such that at least one gas may be homogeneously mixed with air or other gases. At least one gas thus homogeneously mixed can be supplied to the scrubber or scrubber 50 by the discharge control module 40. The discharge adjustment module 40 may have a predetermined path connected to the scrubber 50 and the discharge adjustment means may be disposed in the path. As described above, the mixing apparatus according to the present invention does not need to separately supply a supply means such as a metering pump by injecting pressurized air having a pressure according to the amount of gas to be mixed from the outside to transfer at least one gas . Also, by adjusting the pressure of the pressurized air, the amount supplied can be precisely controlled by adjusting the supply speed of at least one gas. And at least one gas is homogeneously mixed with the air by causing vortexes to form while supplying pressurized air to the nozzles.

아래에서 이와 같은 이점을 가지는 혼합 장치가 구체적으로 설명된다. A mixing apparatus having such an advantage will be described in detail below.

도 2는 본 발명에 따른 기체 혼합 장치의 실시 예를 도시한 것이다. 2 shows an embodiment of a gas mixing apparatus according to the present invention.

도 2를 참조하면, 개별 기체 발생 모듈(10)은 독립적으로 설치된 다수 개의 기체 발생 유닛(11a, 11b, 11c, 11d)을 포함하고, 각각의 기체 발생 유닛(11a, 11b, 11c, 11d)은 조절 밸브(12a, 12b, 12c, 12d)에 의하여 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)에 연결될 수 있다. 2, the individual gas generating module 10 includes a plurality of independent gas generating units 11a, 11b, 11c, and 11d, and each of the gas generating units 11a, 11b, 11c, and 11d May be connected to the heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 by control valves 12a, 12b, 12c, 12d.

다수 개의 기체 발생 유닛(11a, 11b, 11c, 11d)은 각각 독립적인 구조로 만들어질 수 있고, 기체를 화학 반응에 의하여 생성시키거나, 포집할 수 있는 구조를 가질 수 있다. 각각의 기체 발생 유닛(11a, 11b, 11c, 11d)에 의하여 생성 또는 포집된 기체는 각각 공급 도관(L1 내지 L4)을 통하여 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)로 공급될 수 있다. 구체적으로 각각의 기체 발생 유닛(11a, 11b, 11c, 11d)의 배출 탭과 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)에 설치된 유입 탭(22a, 22b, 22c, 22d)이 각각 공급 도관(L1 내지 L4)에 의하여 서로 연결될 수 있다. 그리고 각각의 공급 도관(L1 내지 L4)에 각각 공급 밸브(12a, 12b, 12c, 12d)가 설치될 수 있다. The plurality of gas generating units 11a, 11b, 11c, and 11d may have independent structures, and may have a structure capable of generating or collecting gas by a chemical reaction. The gases generated or collected by the gas generators 11a, 11b, 11c, and 11d may be supplied to the heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 through the supply conduits L1 to L4, respectively. Concretely, the discharge taps of the gas generators 11a, 11b, 11c and 11d and the inlet taps 22a, 22b, 22c and 22d provided in the heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 are connected to the supply conduits L1 to L4, Respectively. Supply valves 12a, 12b, 12c, 12d may be provided in each of the supply conduits L1 to L4, respectively.

이종 기체 균질 혼합 모듈(20)은 밀폐 구조를 가지는 혼합 하우징(21); 혼합 하우징(21)의 고정을 위한 베이스 유닛(28); 혼합 하우징(21)의 위쪽에 형성되어 외부로부터 기체가 유입될 수 있도록 하는 공급 덮개(27); 공급 덮개(27)에 형성된 다수 개의 유입 탭(22a, 22b, 22c, 22d); 혼합 하우징(21)의 내부에 형성되면서 공급 덮개(27)를 관통하는 다수 개의 유입 탭(22a, 22b, 22c, 22d)의 아래쪽 부분을 감싸도록 형성된 균질 챔버(23); 및 균질 챔버(23)의 내부에 배치되면서 다수 개의 유입 탭(22a, 22b, 22c, 22d)으로부터 유입된 각각의 기체가 유도되도록 형성된 노즐 유닛(24)을 포함할 수 있다. The heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 comprises a mixing housing 21 having a closed structure; A base unit (28) for fixing the mixing housing (21); A supply cover 27 formed above the mixing housing 21 to allow gas to flow from the outside; A plurality of inflow tabs 22a, 22b, 22c, 22d formed in the supply cover 27; A homogeneous chamber 23 formed in the interior of the mixing housing 21 and configured to enclose a lower portion of a plurality of inflow taps 22a, 22b, 22c, 22d through the feed lid 27; And a nozzle unit 24 disposed inside the homogenization chamber 23 and configured to guide respective gases introduced from the plurality of inflow tabs 22a, 22b, 22c, and 22d.

혼합 하우징(21)은 속이 빈 실린더 형상이 될 수 있고, 스크러버 또는 세정기와 연결되는 공급 경로가 형성될 수 있다. 혼합 하우징(21)은 온도 또는 습도의 조절이 가능한 다양한 구조로 만들어질 수 있고, 내부에 균질하게 혼합된 공기를 포함하는 기체가 저장될 수 있는 구조를 가질 수 있다. 예를 들어 혼합 하우징(21)은 세정이 되는 환경과 동등한 조건을 가지도록 만들어질 수 있다. 유입 탭(22a, 22b, 22c, 22d)을 통하여 각각의 기체가 노즐 유닛(24)으로 유도될 수 있고, 노즐 유닛(24)은 각각의 기체를 하나의 경로를 통하여 유도하면서 외부로부터 공급되는 가압 공기와 함께 기체를 균질 챔버(23)로 분무하여 혼합하는 기능을 가질 수 있다. 노즐 유닛(24)으로 공급되는 가압 공기는 미리 결정된 압력을 가질 수 있고, 예를 들어 레귤레이터(26)에 의하여 가압 공기의 압력이 미리 결정된 수준으로 유지될 수 있다. 또한 노즐 유닛(24)으로 공급되는 가압 공기의 양을 조절하기 위한 유량 조절 밸브(25)가 설치될 수 있다. 가압 공기는 적절한 압축 탱크에 저장될 수 있고, 공급되는 가압 공기의 온도 또는 습도는 환경에 대응되도록 조절될 수 있다. The mixing housing 21 may be in the form of a hollow cylinder and a feed path may be formed which is connected to a scrubber or scrubber. The mixing housing 21 can be made in various structures capable of controlling temperature or humidity and can have a structure in which a gas containing homogeneously mixed air can be stored therein. For example, the mixing housing 21 can be made to have conditions equivalent to the environment in which it is cleaned. Each gas can be guided to the nozzle unit 24 through the inflow taps 22a, 22b, 22c, and 22d, and the nozzle unit 24 guides each gas through one path, It may have a function of spraying the gas with the air into the homogenizing chamber 23 and mixing the same. The pressurized air supplied to the nozzle unit 24 may have a predetermined pressure, and the pressure of the pressurized air, for example, by the regulator 26 may be maintained at a predetermined level. Further, a flow rate control valve 25 for controlling the amount of pressurized air supplied to the nozzle unit 24 may be provided. The pressurized air can be stored in an appropriate compression tank and the temperature or humidity of the pressurized air supplied can be adjusted to correspond to the environment.

아래에서 유입 탭(22a, 22b, 22c, 22d)을 통하여 노즐 유닛(24)으로 공기가 유입되는 구조에 대하여 설명된다. A structure in which air flows into the nozzle unit 24 through the inflow tabs 22a, 22b, 22c, and 22d will be described below.

도 3은 본 발명에 따른 기체 혼합 장치에 적용되는 균질 혼합 모듈의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 3 shows an embodiment of a homogeneous mixing module applied to a gas mixing apparatus according to the present invention.

도 3을 참조하면 유입 탭(22a, 22b, 22c, 22d)은 결합 기판(272)에 형성된 공급 연결 도관(221a, 221b, 221c, 221d)과 연결될 수 있고, 공급 연결 도관(221a, 221b, 221c, 221d)은 체류 챔버(32)와 연결될 수 있다. 유입 탭(22a, 22b, 22c, 22d)은 적어도 개별 기체 발생 유닛의 개수만큼 설치될 수 있고, 각각의 기체가 서로 다른 공급 연결 도관(221a, 221b, 221c, 221d)을 통하여 체류 챔버(32)로 유입될 수 있다. 체류 챔버(32)에서 서로 다른 기체가 혼합되면서 일시적으로 저장될 수 있다. 체류 챔버(32)에 압력 조절 도관(29)이 연결될 수 있고, 압력 조절 도관(29)에 의하여 체류 챔버(32)가 유입되는 기체의 양에 관계없이 일정한 압력 수준으로 유지될 수 있다. 체류 챔버(32)의 아래쪽에 노즐 공급 도관(33)이 연결되어 체류 챔버(32)에 일시적으로 저장된 혼합 기체가 노즐 공급 도관(33)으로 공급될 수 있다. Referring to Figure 3, inlet taps 22a, 22b, 22c, 22d may be connected to supply connection conduits 221a, 221b, 221c, 221d formed in mating substrate 272 and supply connection conduits 221a, And 221d may be connected to the retention chamber 32. [ The inflow taps 22a, 22b, 22c and 22d can be provided at least as many as the number of the individual gas generating units and each gas is supplied to the retention chamber 32 through different supply connection conduits 221a, 221b, 221c and 221d. Lt; / RTI > The different gases can be temporarily stored in the retention chamber 32 while being mixed with each other. A pressure regulating conduit 29 can be connected to the retention chamber 32 and can be maintained at a constant pressure level regardless of the amount of gas into which the retention chamber 32 is introduced by the pressure regulating conduit 29. The nozzle supply conduit 33 is connected to the lower portion of the retention chamber 32 so that the mixed gas temporarily stored in the retention chamber 32 can be supplied to the nozzle supply conduit 33.

공급 연결 도관(221a, 221b, 221c, 221d), 체류 챔버(32) 및 노즐 공급 도관(33)은 밀폐된 구조를 가지는 유입 블록(31)의 내부에 배치될 수 있고, 유입 블록(31)의 아래쪽 부분에 노즐 유닛(24)의 위쪽 부분이 결합될 수 있다. The supply connection conduits 221a, 221b, 221c and 221d, the retention chamber 32 and the nozzle supply conduit 33 can be arranged in the interior of the inlet block 31 having a closed structure, The upper portion of the nozzle unit 24 can be coupled to the lower portion.

도 4는 본 발명에 따른 기체 혼합 장치에서 서로 다른 기체가 혼합되는 구조의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 4 shows an embodiment of a structure in which different gases are mixed in the gas mixing apparatus according to the present invention.

도 4를 참조하면, 결합 기판(272)은 유입 블록(31)의 위쪽에 결합될 수 있고, 노즐 유닛(24)은 유입 블록(31)의 아래쪽에 결합될 수 있다. 결합 기판(272), 유입 블록(31) 및 노즐 유닛(24)은 서로 독립적으로 만들어져 분리 가능하도록 결합될 수 있다. 또한 결합 기판(272)에 유입 탭의 결합을 위한 다수 개의 결합 홀(42a, 42b, 42c, 42d)이 형성될 수 있다. 4, the coupling substrate 272 can be coupled to the upper side of the inlet block 31, and the nozzle unit 24 can be coupled to the lower side of the inlet block 31. As shown in FIG. The joint substrate 272, the inlet block 31 and the nozzle unit 24 can be made independent of each other and detachably coupled. Also, a plurality of coupling holes 42a, 42b, 42c, and 42d may be formed on the coupling substrate 272 for coupling the inflow tabs.

결합 기판(272)은 공급 덮개에 분리 가능하도록 결합될 수 있고, 유입 블록(31)은 실린더 형상이 될 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 노즐 유닛(24)에 공기 유입 홀(241)이 형성될 수 있고, 공기 유입 홀(241)을 통하여 위에서 설명된 가압 공기가 노즐 유닛(24)으로 유도될 수 있다. 노즐 유닛(24)으로 유도된 가압 공기는 다수의 기체와 함께 노즐(43)을 통하여 분무되면서 균일하게 혼합될 수 있다.The coupling substrate 272 may be releasably coupled to the supply lid, and the inlet block 31 may be in the form of a cylinder, but is not limited thereto. The air inlet hole 241 may be formed in the nozzle unit 24 and the pressurized air described above may be introduced into the nozzle unit 24 through the air inlet hole 241. [ The pressurized air introduced into the nozzle unit 24 can be uniformly mixed while being sprayed through the nozzle 43 together with a plurality of gases.

도 5는 본 발명에 따른 기체 혼합 장치에 적용되는 노즐 유닛의 실시 예를 도시한 것이다. 5 shows an embodiment of a nozzle unit applied to a gas mixing apparatus according to the present invention.

도 5를 참조하면, 노즐 몸체(433)는 위에서 설명된 유입 블록에 결합 가능한 구조로 형성될 수 있고, 예를 들어 노즐 몸체(433)의 위쪽에 형성된 결합 부분에 나사산이 형성되어 유입 블록에 분리 가능하도록 결합될 수 있다. 노즐 몸체(433)을 관통하는 형태로 기체 유동 경로(431)가 형성될 수 있고, 노즐 몸체(433)에 노즐 덮개(432)가 결합 브래킷(434)에 의하여 결합될 수 있다. 공기 유입 홀(241)은 결합 브래킷(434)을 관통하는 구조로 형성될 수 있고, 노즐 몸체(433)와 노즐 덮개(432)에 사이에 형성된 유도 경로(435)와 연결될 수 있다. 노즐 덮개(432)와 노즐 몸체(433)의 앞쪽 끝은 기체와 가압 공기가 함께 분무되는 노즐 팁(438)을 형성할 수 있고, 노즐 팁(438)의 위쪽에 압력 조절 링(436)과 노즐 팁(438)에 의하여 고정되는 와류 블록(437)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 5, the nozzle body 433 may be formed as a structure that can be coupled to the inlet block described above. For example, a thread is formed in a coupling portion formed on the upper portion of the nozzle body 433, . ≪ / RTI > A gas flow path 431 may be formed so as to penetrate the nozzle body 433 and the nozzle cover 432 may be coupled to the nozzle body 433 by the engagement bracket 434. The air inlet hole 241 may be formed to penetrate through the coupling bracket 434 and may be connected to a guide path 435 formed between the nozzle body 433 and the nozzle cover 432. The nozzle lid 432 and the front end of the nozzle body 433 can form a nozzle tip 438 through which gas and pressurized air are sprayed together and a pressure regulating ring 436 and nozzle A vortex block 437 fixed by a tip 438 may be disposed.

와류 블록(437)은 공기 주입 홀(241)을 통하여 주입되어 유도 경로(435)를 따라 유도되어 노즐 팁(438)을 통하여 분무되는 가압 공기가 스월, 와류 또는 토네이도 형상이 되도록 한다. 구체적으로 와류 블록(437)은 안쪽 면이 개방되면서 다른 쪽 면에 관통 홀(H)이 형성된 속이 빈 실린더 형상의 블록 몸체(437a); 블록 몸체(437a)의 측면으로부터 관통 홀(H)이 형성된 면을 따라 선형으로 연장되는 적어도 하나의 와류 홈(437b)으로 이루어질 수 있다. 블록 몸체(437a)는 실리콘, 고무 또는 이와 유사한 신축성을 가진 소재로 만들어질 수 있고, 와류 홈(437b)은 둘레 면의 연장 방향을 따라 연장되면서 관통 홀 면에서 지름과 평행하게 연장되어 관통 홀(H)의 원주에 접하는 구조가 될 수 있다. 압력 조절 링(436)은 와류 홈(437b)을 따라 유입되는 기체의 양에 따라 탄성 변형이 되는 소재로 만들어질 수 있고, 블록 몸체(437a)에 비하여 큰 신축성을 가질 수 있다. The vortex block 437 is injected through the air injection hole 241 and is guided along the guide path 435 so that the pressurized air sprayed through the nozzle tip 438 has a swirl, vortex or tornado shape. Specifically, the vortex block 437 has a hollow cylinder-shaped block body 437a having an inner surface opened and a through hole H formed on the other surface; And at least one vortex groove 437b extending linearly along the surface on which the through hole H is formed from the side surface of the block body 437a. The block body 437a may be made of a material having elasticity such as silicone, rubber or the like, and the vortex groove 437b may extend along the extending direction of the circumferential surface and extend parallel to the diameter of the through- H). The pressure regulating ring 436 may be made of a material that is elastically deformed according to the amount of gas flowing along the vortex groove 437b and may have greater elasticity than the block body 437a.

와류 홈(437b)을 따라 흐르는 가압 공기는 스월 또는 토네이도를 형성하면서 노즐 팁(438)을 통하여 혼합 기체와 함께 분무될 수 있다. 와류 홈(437b)은 기체 유동 경로(431)와 연결되거나. 기체 유동 경로(431)와 연결되지 않으면서 기체 유동 경로(431)의 끝 부분을 감싸는 형상이 될 수 있다. 와류 홈(437b)이 기체 유동 경로(431)와 연결되면 기체 유동 경로(431)의 끝 부분에서 혼합 기체가 스월 형태의 가압 공기와 혼합되어 노즐 팁(438)을 통하여 분무될 수 있다. 이에 비하여 와류 홈(437b)이 기체 유동 경로(431)와 연결되지 않으면 스월 형태의 가압 공기는 혼합 기체의 감싸면서 분무가 되어 혼합 기체가 균일하게 혼합이 되도록 한다. The pressurized air flowing along the vortex groove 437b can be sprayed with the mixed gas through the nozzle tip 438 while forming a swirl or tornado. The vortex groove 437b is connected to the gas flow path 431, But may be shaped to surround the end portion of the gas flow path 431 without being connected to the gas flow path 431. When the vortex groove 437b is connected to the gas flow path 431, the mixed gas at the end of the gas flow path 431 may be mixed with the swirling pressurized air and sprayed through the nozzle tip 438. On the other hand, if the vortex groove 437b is not connected to the gas flow path 431, the swirling pressurized air is sprayed while spraying the gaseous mixture to uniformly mix the gaseous mixture.

노즐 유닛은 다양한 구조로 가압 공기의 흐름을 유도하여 혼합 기체와 균일하게 혼합이 될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The nozzle unit can be uniformly mixed with the mixed gas by inducing a flow of pressurized air into various structures and is not limited to the illustrated embodiment.

도 6은 본 발명에 따른 기체 혼합 장치가 작동되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다. FIG. 6 shows an embodiment of a process of operating a gas mixing apparatus according to the present invention.

도 6을 참조하면, 다수의 기체를 생성하여 균일하게 혼합하기 위하여 혼합 데이터 유닛(61)이 준비될 수 있다. 혼합 데이터 유닛(61)은 오염 환경에서 발생되는 기체에 대한 정보를 포함할 수 있고, 예를 들어 기체의 종류, 기체의 양, 온도, 압력, 캐리어 또는 이와 유사한 정보를 포함할 수 있다. 이와 같이 혼합 데이터 유닛(61)은 오염 환경에 포함된 오염 기체에 대한 정보를 탐색하고 그에 따른 기체 발생 데이터를 생성할 수 있다. 그리고 기체 발생 데이터에 기초하여 각각의 기체 발생 조절 유닛(621 내지 62K)에 의하여 각각의 기체 발생이 조절될 수 있다. 각각의 발생된 각각의 기체가 위에서 설명된 기체 발생 유닛에 저장될 수 있고 공급 조절 유닛(63)에 의하여 노즐 블록(64)으로 혼합 데이터에 따른 양이 공급될 수 있다. 공급 조절 유닛(63)은 예를 들어 기체 발생 유닛과 노즐 블록(64)을 연결하는 공급 도관에 형성된 공급 밸브의 개폐 수준을 조절하는 것에 의하여 각각의 기체의 공급을 조절할 수 있다. 또한 주입 조절 유닛(65)이 설치되어 스크러버 또는 세정기로 주입되는 기체의 양의 조절될 수 있고, 탐지 유닛(66)에 의하여 혼합 기체에서 포함된 각각의 기체의 양이 탐지될 수 있다. 혼합 기체의 탐지는 주입된 공기의 양에 대한 각각의 기체의 양을 탐지하는 것을 포함하고, 탐지된 각각의 기체의 상대적인 양이 가압 조절 유닛(67)으로 전송될 수 있고, 가압 조절 유닛(67)에 의하여 노즐 블록(64)으로 공급되는 가압 공기의 압력 및 양이 결정될 수 있다. 가압 조절 유닛(67)은 또한 공급되는 각각의 기체의 양을 결정할 수 있고, 이를 비례 제어 유닛(68)으로 전송할 수 있다. 비례 제어 유닛(68)은 각각의 기체의 공급 양을 조절하는 공급 밸브의 개폐 수준을 조절할 수 있다. 이에 의하여 각각의 기체의 공급 양이 조절될 수 있다. 발생된 기체는 혼합된 형태로 노즐 블록(64)으로 공급될 수 있고, 혼합된 기체의 노즐 블록에 대한 주입 양은 가압 조절 유닛(67)에 의하여 결정된 가압 공기의 공급 압력 및 속력에 의하여 결정될 수 있다. Referring to FIG. 6, a mixing data unit 61 may be prepared to create and uniformly mix a plurality of gases. The mixed data unit 61 may contain information about the gas generated in the pollution environment and may include, for example, the type of gas, amount of gas, temperature, pressure, carrier or similar information. Thus, the mixed data unit 61 can search for information on the polluted gas included in the polluted environment and generate gas generation data corresponding thereto. Based on the gas generation data, each gas generation control unit 621 to 62K can regulate each gas generation. Each generated gas may be stored in the gas generating unit described above and supplied by the supply regulating unit 63 to the nozzle block 64 according to the mixing data. The supply regulating unit 63 can regulate the supply of each gas by, for example, regulating the opening and closing level of the supply valve formed in the supply conduit connecting the gas generating unit and the nozzle block 64. [ An injection control unit 65 may also be provided to adjust the amount of gas injected into the scrubber or scrubber, and the amount of each gas contained in the gas mixture may be detected by the detection unit 66. The detection of the mixed gas comprises detecting the amount of each gas relative to the amount of air injected and the relative amount of each gas detected can be transferred to the pressure regulating unit 67 and the pressure regulating unit 67 The pressure and the amount of the pressurized air supplied to the nozzle block 64 can be determined. The pressure regulating unit 67 can also determine the amount of each gas supplied and can send it to the proportional control unit 68. [ The proportional control unit 68 can adjust the opening and closing level of the supply valve for regulating the supply amount of each gas. Whereby the supply amount of each gas can be adjusted. The generated gas can be supplied to the nozzle block 64 in a mixed form and the amount of the mixed gas injected into the nozzle block can be determined by the supply pressure and the speed of the pressurized air determined by the pressure regulating unit 67 .

본 발명에 따른 혼합 장치는 다양한 방법으로 작동될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The mixing apparatus according to the present invention can be operated in various ways and is not limited to the embodiments shown.

본 발명에 따른 기체 혼합 장치는 유해 가스 제거용 스크러버 세정시스템의 기술 개발 및 시험에 적용될 수 있다. 예를 들어 본 발명에 따른 기체 혼합 장치는 산업 현장에서 발생할 수 있는 환경오염 조건과 동등한 조건을 가지도록 다양한 형태의 기체 또는 오염물질이 생성되어 균일하게 혼합이 되도록 한다. 이로 인하여 다양한 기체 또는 오염 물질이 각각의 특성 또는 농도에 따라 효율적으로 제거될 수 있는 시스템이 개발되도록 한다. 본 발명에 따른 시스템은 회전을 유도하는 2 유체 노즐에 가압 공기를 주입하는 것에 의하여 자동적으로 기체 또는 오염 물질이 공기와 혼합되도록 하는 것에 의하여 각각의 기체를 위한 가압 이송 펌프가 사용될 필요가 없도록 한다. 또한 가압 공기의 주입 압력을 조절하여 기체의 혼합 수준을 조절하는 것에 의하여 유량 정밀 제어를 위한 MFC(Mass Flow Controller)가 사용될 필요가 없도록 한다. The gas mixing apparatus according to the present invention can be applied to the technology development and testing of a scrubber cleaning system for removing harmful gases. For example, the gas mixing apparatus according to the present invention generates various types of gas or contaminants to be uniformly mixed so as to have conditions equivalent to environmental pollution conditions that may occur in an industrial field. This allows a system to be developed in which various gases or contaminants can be efficiently removed according to their respective characteristics or concentrations. The system according to the present invention does not require the use of a pressurized feed pump for each gas by allowing the gas or contaminants to be mixed with air automatically by injecting pressurized air into the two fluid nozzles that induce rotation. In addition, by controlling the injection pressure of the pressurized air, the mixing level of the gas is adjusted so that the MFC (Mass Flow Controller) for the flow rate precision control need not be used.

위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention . The invention is not limited by these variations and modifications, but is limited only by the claims appended hereto.

10: 개별 기체 발생 모듈 11a, 11b, 11c, 11d: 기체 발생 유닛
12a, 12b, 12c, 12d: 조절 밸브 20: 이종 기체 균질 혼합 모듈
21: 혼합 하우징 22a, 22b, 22c, 22d: 유입 탭
23: 균질 챔버 24: 노즐 유닛
25: 유량 조절 밸브 26: 레귤레이터
27: 공급 덮개 28: 베이스 유닛
29: 압력 조절 도관 30: 가압 기체 공급 모듈
31: 유입 블록 32: 체류 챔버
33: 노즐 공급 도관 40: 배출 조절 모듈
42a, 42b, 42c, 42d: 결합 홀 43: 노즐
50: 세정기 61: 혼합 데이터 유닛
63: 공급 조절 유닛 64: 노즐 블록
65: 주입 조절 유닛 66: 탐지 유닛
67: 가압 조절 유닛 68: 비례 제어 유닛
221a, 221b, 221c, 221d: 공급 연결 도관
241: 공기 유입 홀 272: 결합 기판
431: 기체 유동 경로 432: 노즐 덮개
433: 노즐 몸체 434: 결합 브래킷
435: 유도 경로 436: 압력 조절 링
437: 와류 블록 437a: 블록 몸체
437b: 와류 홈 438: 노즐 팁
621 내지 62K: 기체 발생 조절 유닛
H: 관통 홀 L1 내지 L4: 공급 도관10: individual gas generating modules 11a, 11b, 11c, 11d: gas generating units
12a, 12b, 12c, 12d: regulating valve 20: heterogeneous gas homogeneous mixing module
21: mixing housing 22a, 22b, 22c, 22d:
23: homogenizing chamber 24: nozzle unit
25: Flow control valve 26: Regulator
27: supply cover 28: base unit
29: Pressure regulating conduit 30: Pressurized gas supply module
31: inlet block 32: retention chamber
33: nozzle supply conduit 40: exhaust control module
42a, 42b, 42c, 42d: coupling hole 43: nozzle
50: cleaner 61: mixed data unit
63: supply control unit 64: nozzle block
65: injection control unit 66: detection unit
67: pressure regulating unit 68: proportional control unit
221a, 221b, 221c, 221d: supply connection conduit
241: air inlet hole 272:
431: gas flow path 432: nozzle cover
433: nozzle body 434: engaging bracket
435: Induction path 436: Pressure regulating ring
437: Vortex block 437a: Block body
437b: vortex groove 438: nozzle tip
621 to 62K: gas generation control unit
H: Through holes L1 to L4: Supply duct

Claims (6)

적어도 하나의 기체를 발생시키거나 또는 유도할 수 있는 개별 기체 발생 모듈(10);
개별 기체 발생 모듈(10)로부터 공급되는 적어도 하나의 기체를 공기와 혼합하는 이종 기체 균질 혼합 모듈(20);
이종 기체 균질 혼합 모듈(20)로 미리 결정된 압력을 가지는 공기를 유입시켜 적어도 하나의 기체에 흡입력을 발생시키면서 서로 혼합되도록 하는 가압 기체 공급 모듈(30); 및
이종 기체 균질 혼합 모듈(20)에서 서로 혼합된 적어도 하나의 기체를 미리 결정된 경로로 배출시키는 배출 조절 모듈(40)을 포함하고,
상기 미리 결정된 압력을 가지는 공기는 노즐로 공급이 되는 것을 특징으로 기체 혼합 장치. An individual gas generating module (10) capable of generating or directing at least one gas;
A heterogeneous gas homogeneous mixing module 20 for mixing at least one gas supplied from the individual gas generating module 10 with air;
A pressurized gas supply module (30) for introducing air having a predetermined pressure into the heterogeneous gas homogeneous mixing module (20) to mix with each other while generating suction force in at least one gas; And
And an exhaust control module (40) for exhausting at least one gas mixed with each other in the heterogeneous gas homogeneous mixing module (20) in a predetermined path,
Wherein the air having the predetermined pressure is supplied to the nozzle. 청구항 1에 있어서, 개별 기체 발생 모듈(10)은 독립적으로 설치된 다수 개의 기체 발생 유닛(11a, 11b, 11c, 11d)을 포함하고, 각각의 기체 발생 유닛(11a, 11b, 11c, 11d)은 조절 밸브(12a, 12b, 12c, 12d)에 의하여 이종 기체 균질 혼합 모듈(20)에 연결되는 것을 특징으로 하는 기체 혼합 장치. The gas generating unit according to claim 1, wherein the individual gas generating module (10) includes a plurality of independently generated gas generating units (11a, 11b, 11c, 11d) Is connected to the heterogeneous gas homogeneous mixing module (20) by valves (12a, 12b, 12c, 12d). 청구항 1에 있어서, 이종 기체 혼합 모듈(20)은 서로 개별 기체 발생 모듈(10)로부터 공급되는 적어도 하나의 기체의 혼합을 위한 노즐 유닛(24)을 포함하는 기체 혼합 장치. The gas mixing device according to claim 1, wherein the heterogeneous gas mixing module (20) comprises a nozzle unit (24) for mixing of at least one gas supplied from an individual gas generating module (10). 청구항 3에 있어서, 노즐 유닛(24)은 적어도 하나의 기체를 유도하는 기체 유도 경로 및 가압이 된 공기를 노즐 유닛(24)으로 유입시키는 공기 유입 홀(241)을 포함하는 기체 혼합 장치. The gas mixing apparatus according to claim 3, wherein the nozzle unit (24) includes a gas guiding path for guiding at least one gas and an air inflow hole (241) for introducing pressurized air into the nozzle unit (24). 청구항 4에 있어서, 가압이 된 공기는 사이클론 형태가 되도록 유도되어 적어도 하나의 기체에 대한 흡인력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 기체 혼합 장치. The gas mixing device according to claim 4, wherein the pressurized air is induced to be in a cyclone form to generate a suction force for at least one gas. 청구항 1에 있어서, 미리 결정된 압력에 의하여 노즐로 유입되는 적어도 하나의 기체의 양이 결정되는 것을 특징으로 하는 기체 혼합 장치. The gas mixing apparatus according to claim 1, wherein the amount of at least one gas introduced into the nozzle by a predetermined pressure is determined.
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