KR20190016437A - Application nozzle head and liquid application apparatus having it - Google Patents

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KR20190016437A
KR20190016437A KR1020180087111A KR20180087111A KR20190016437A KR 20190016437 A KR20190016437 A KR 20190016437A KR 1020180087111 A KR1020180087111 A KR 1020180087111A KR 20180087111 A KR20180087111 A KR 20180087111A KR 20190016437 A KR20190016437 A KR 20190016437A
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도루 나카가와
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파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤
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Abstract

Disclosed is a displacement magnifying device capable of controlling the application of a high viscosity liquid material at a high speed stably, and a liquid applying apparatus having the same. To this end, the liquid applying apparatus is used, which comprises: a nozzle hole for discharging the liquid material; a supply passage for supplying the liquid material to the nozzle hole; a reciprocating plunger in contact with the liquid in the supply passage; a displacement magnifying device for applying displacement to the plunger; and an actuator for imparting displacement to the displacement magnifying device. At least one contact portion of the displacement magnifying device and the actuator is a curved surface.

Description

도포 노즐 헤드 및 이를 구비하는 액체 도포 장치{APPLICATION NOZZLE HEAD AND LIQUID APPLICATION APPARATUS HAVING IT}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a coating nozzle head,

본 발명은, 도포 노즐 헤드 및 이를 구비하는 액체 도포 장치에 관한 것이다. 특히, 고점도의 액체를 토출하는 도포 노즐 헤드 및 이를 구비하는 액체 도포 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an application nozzle head and a liquid application device having the same. And more particularly, to a coating nozzle head for discharging a liquid having a high viscosity and a liquid applying apparatus having the same.

플런저의 왕복 동작에 의해 액체 재료를 토출하는 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에 나타내는 제트 타입의 액체 도포 장치이다.An apparatus for discharging a liquid material by reciprocating movement of a plunger is known. For example, this is a jet type liquid application device shown in Patent Document 1.

최근에는 생산성 향상의 관점에서 도포 작업의 고속성이 요구되고 있다. 이 타입의 액체 도포 장치에 있어서, 일정 시간 내의 토출 횟수를 더욱 증가시키는 요구가 높아지고 있다. 그 때문에, 액체 도포 장치의 플런저를 고속으로 왕복 동작시키는 것이 필요하게 된다.Recently, from the viewpoint of improvement of productivity, high-quality of application work is required. In this type of liquid application device, there is a growing demand for further increasing the number of discharging operations within a certain time. Therefore, it is necessary to reciprocate the plunger of the liquid application device at a high speed.

플런저를 왕복 동작시키기 위한 구동원으로서는, 모터나 에어, 압전 소자 등의 액추에이터가 이용되는 경우가 많다. 압전 소자는 고속 동작이 가능하다. 그러나, 그 변위량은 작기 때문에, 변위 확대 기구와 조합하여 변위량을 크게 하여 이용되는 것이 일반적이다. 예를 들어, 특허문헌 2에 기재된 것이 알려져 있다.As a driving source for reciprocating the plunger, an actuator such as a motor, air, or a piezoelectric element is often used. The piezoelectric element is capable of high-speed operation. However, since the amount of displacement is small, it is generally used in combination with a displacement increasing mechanism to increase the amount of displacement. For example, the one described in Patent Document 2 is known.

이하, 그 변위 확대 기구와 압전 소자를 이용한 종래의 액체 도포 장치에 대해 도 1~도 4를 참조하면서 설명한다.Hereinafter, a conventional liquid application device using the displacement increasing mechanism and the piezoelectric element will be described with reference to Figs. 1 to 4. Fig.

종래의 액체 도포 장치의 정면도를 도 1에 나타낸다. 종래의 액체 도포 장치의 토출부의 단면도를 도 2에 나타낸다. 액체 도포 장치(1)는, 노즐구멍(60)으로부터 토출 액적(65)을 토출한다. 액체 도포 장치(1)는, 노즐구멍(60)과 연통하여 액체 재료가 공급되는 공급 유로(52)와, 끝단부가 공급 유로(52) 내를 왕복 동작하는 플런저(12a)와, 플런저(12a)를 왕복 동작시키는 액추에이터(2a)와, 변위 확대 기구(3a)를 구비한다.A front view of a conventional liquid application device is shown in Fig. Fig. 2 shows a cross-sectional view of a discharge portion of a conventional liquid application device. The liquid application device 1 discharges the discharge liquid droplets 65 from the nozzle holes 60. [ The liquid application device 1 includes a supply passage 52 through which the liquid material is supplied to communicate with the nozzle hole 60, a plunger 12a whose end portion reciprocates in the supply passage 52, a plunger 12a, An actuator 2a reciprocatingly operated by the actuator 2a, and a displacement increasing mechanism 3a.

액추에이터(2a)가 좌우 대칭으로 배치되고, 하부에 플런저(12a)가 연결되는 탄성 변형 가능한 U자형 부재(5, 6, 7, 8, 9)로 변위 확대 기구(3a)가 구성된다. 도 3에서, 플런저(12a)의 상승시 동작을 설명한다. 도 4에서, 플런저(12a)의 하강시 동작을 설명한다. 액추에이터(2)가 U자형 부재(5, 6, 7, 8, 9)의 양단부를 이격시키는 힘을 작용시킴으로써, 플런저(12)를 윗방향으로 이동시킨다. 반대로 액추에이터(2a)가 U자형 부재(5, 6, 7, 8, 9)의 양단부를 근접시키는 힘을 작용시킴으로써, 플런저(12a)를 아랫방향으로 이동시킨다.The displacement expanding mechanism 3a is constituted by the elastically deformable U-shaped members 5, 6, 7, 8, 9 in which the actuator 2a is arranged symmetrically and the plunger 12a is connected to the lower portion. 3, the operation when the plunger 12a is lifted will be described. In Fig. 4, the operation when the plunger 12a is moved down will be described. The actuator 2 moves the plunger 12 in the upward direction by applying a force for separating both ends of the U-shaped members 5, 6, 7, 8, and 9. The actuator 2a moves the plunger 12a in the downward direction by applying a force to bring the both ends of the U-shaped members 5, 6, 7, 8, 9 close to each other.

일본특허공개 평10-314640호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-314640 일본특허공개 2015-051399호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2015-051399

고점도 액체 재료를 토출시키기 위해서는, 큰 변위량으로 플런저(12)를 고속 구동할 필요가 있다.In order to discharge the high viscosity liquid material, it is necessary to drive the plunger 12 at a high displacement with a large displacement amount.

종래의 변위 확대 기구(3a)에서는, U자형 부재(5, 6, 7, 8, 9)를 탄성 변형시킴으로써 플런저(12a)를 상하방향으로 왕복 동작시킨다. 필요한 변위량을 확보하기 위해서는 U자형 부재(8, 9)의 강성을 낮출 필요가 있다. 이에 따라 고유 진동수가 낮아지고, 플런저(12)의 변위 응답 속도를 향상시키는 것에는 한계가 있다.In the conventional displacement increasing mechanism 3a, the U-shaped members 5, 6, 7, 8, and 9 are elastically deformed to reciprocate the plunger 12a in the vertical direction. It is necessary to lower the rigidity of the U-shaped members 8 and 9 in order to secure a necessary amount of displacement. Thereby, the natural frequency is lowered, and there is a limit to improving the displacement response speed of the plunger 12. [

따라서, 액추에이터(2)의 변위에 대한 변위 확대 기구(3a)의 변위 확대율을 크게 함으로써 플런저(12a)의 변위량을 크게 할 수 있지만, 고속 구동과의 양립은 어렵다.Therefore, although the amount of displacement of the plunger 12a can be increased by increasing the magnification of displacement of the displacement increasing mechanism 3a with respect to the displacement of the actuator 2, it is difficult to make it compatible with high-speed driving.

본 발명은 이러한 종래의 과제를 해결하는 것으로, 고속이고 안정적으로 고점도 액체 재료의 도포를 제어할 수 있는, 변위 확대 기구 및 이를 구비하는 도포 노즐 헤드 및 이를 구비하는 액체 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and it is an object of the present invention to provide a displacement enlarging mechanism capable of controlling the application of a high viscosity liquid material at high speed and stably, and an applied nozzle head having the same and a liquid applying apparatus having the same .

상기 목적을 달성하기 위해, 액체 재료를 토출하는 노즐구멍과, 상기 노즐구멍에 액체 재료를 공급하는 공급 유로와, 상기 공급 유로 내의 액체에 맞닿아 왕복하는 플런저와, 상기 플런저에 변위를 부여하는 변위 확대 기구와, 상기 변위 확대 기구에 변위를 부여하는 액추에이터를 포함하고, 상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉부 중 적어도 어느 하나가 곡면인 액체 도포 장치를 이용한다.In order to achieve the above-described object, there is provided a liquid ejecting apparatus comprising: a nozzle hole for ejecting a liquid material; a supply passage for supplying a liquid material to the nozzle hole; a plunger reciprocating in contact with the liquid in the supply passage; A liquid application device including an expanding mechanism and an actuator for imparting a displacement to the displacement expanding mechanism, wherein at least one of the displacement expanding mechanism and the contact portion of the actuator is a curved surface.

본 발명의 구성에 의하면, 전자 디바이스의 제조 등의 산업 용도에 있어서, 기능성 입자가 포함되는 고점도 액체 재료의 도포를 고속이고 안정적으로 제어할 수 있고, 필요한 개소에 최적의 양을 임의의 패턴으로 도포할 수 있다.According to the constitution of the present invention, it is possible to control the application of the high-viscosity liquid material including the functional particles at high speed and stably in the industrial application such as the production of electronic devices, can do.

도 1은 종래의 액체 도포 장치의 정면도
도 2는 종래의 액체 도포 장치의 토출부의 단면도
도 3은 종래의 액체 도포 장치의 플런저 상승시의 동작 설명도
도 4는 종래의 액체 도포 장치의 플런저 하강시의 동작 설명도
도 5는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 6a는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6b는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6c는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6d는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6e는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 6f는 본 발명의 실시형태의 플런저 끝단부의 단면도
도 7은 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 8a는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 8b는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 8c는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 9a는 본 발명의 실시형태의 플런저 변위 거동도
도 9b는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 9c는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도
도 9d는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치의 단면도1 is a front view of a conventional liquid application device
2 is a cross-sectional view of a discharge portion of a conventional liquid application device
3 is an explanatory view of operation of the conventional liquid application device when the plunger is raised
4 is an explanatory view of the operation of the conventional liquid application device when the plunger is lowered
5 is a sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention
6A is a cross-sectional view of the plunger end portion of the embodiment of the present invention
6B is a cross-sectional view of the plunger end portion in the embodiment of the present invention
6C is a cross-sectional view of the plunger end portion in the embodiment of the present invention
6D is a cross-sectional view of the plunger end portion of the embodiment of the present invention
6E is a cross-sectional view of the plunger end portion of the embodiment of the present invention
6F is a cross-sectional view of the plunger end portion in the embodiment of the present invention
7 is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention
8A is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention
8B is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention
8C is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention
9A is a graph showing plunger displacement behavior of the embodiment of the present invention
9B is a sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention
9C is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention
9D is a cross-sectional view of the liquid application device of the embodiment of the present invention

이하, 도면을 이용하여 실시형태를 설명한다. 설명은 하나의 예시이기 때문에, 본원발명은 하기 설명으로 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. Since the description is only one example, the present invention is not limited to the following description.

<액체 도포 장치><Liquid application device>

<구성><Configuration>

도 5는 본 발명의 실시형태의 액체 도포 장치(100)의 단면도로서, 기본 구성에 대해 이하에 설명한다.5 is a cross-sectional view of a liquid application device 100 according to an embodiment of the present invention, and a basic configuration thereof will be described below.

액체 도포 장치(100)는, 노즐구멍(60)으로부터 액체 재료의 토출 액적(65)을 토출한다. 액체 도포 장치(100)는, 노즐구멍(60)과 연통하여 액체 재료가 공급되는 공급 유로(52)와, 끝단부가 공급 유로 내를 왕복 동작하는 플런저(12)와, 플런저(12)를 왕복 동작시키는 액추에이터(2)와, 변위 확대 기구(3)를 구비한다.The liquid application device 100 discharges the discharge liquid droplets 65 of the liquid material from the nozzle holes 60. The liquid application device 100 includes a supply passage 52 through which the liquid material is supplied to the nozzle hole 60 and a plunger 12 whose end portion reciprocates in the supply passage, And a displacement increasing mechanism 3. The displacement increasing mechanism 3 is provided with an actuator 2,

이하, 각 구성요소의 특징에 대해 설명한다.Hereinafter, the characteristics of each component will be described.

<노즐구멍(60)>&Lt; Nozzle hole 60 >

노즐구멍(60)은, 초경합금이나 스텐레스, 알루미늄, 티탄 등의 금속에 설치된 관통공이다. 재질은 금속뿐만 아니라 세라믹이나 PEEK 등의 수지 재료로도 상관없다. 그러나, 액체 재료가 토출될 때에, 함유 입자 재료로 마모되거나 액체 재료에 침식·용출되는 일이 없는 재료의 선정이 필요하다.The nozzle hole 60 is a through hole formed of a cemented carbide or a metal such as stainless steel, aluminum, or titanium. The material may be not only a metal but also a resin material such as ceramic or PEEK. However, when the liquid material is discharged, it is necessary to select a material which is not worn with the contained particle material or is not eroded and eluted into the liquid material.

또한, 토출 액적 크기에 따라, 노즐 내경은 Φ0.05mm~0.5mm의 범위에서 선정된다. 액체 재료의 점도나 틱소트로피, 표면 장력, 노즐면과의 접촉각 등의 물성에 따라, 노즐 길이는 0.05mm~5mm의 범위에서 선정된다.Further, according to the size of the ejected droplet, the nozzle inner diameter is selected in the range of 0.05 mm to 0.5 mm. The nozzle length is selected in the range of 0.05 mm to 5 mm according to the physical properties such as the viscosity of the liquid material, the thixotropy, the surface tension, and the contact angle with the nozzle surface.

도 5에서는, 간략화를 위해 공급 유로(52)와 노즐구멍(60)이 일체 구조로 하여 도시하고 있다. 그러나, 제작상 용이성 및 유지보수성 향상을 위해 노즐구멍(60)을 별도의 부품으로서 별도 제작하여 조립해도 된다.In Fig. 5, the supply passage 52 and the nozzle hole 60 are shown as an integral structure for the sake of simplification. However, the nozzle holes 60 may be separately manufactured and assembled as separate components in order to improve ease of manufacture and maintenance.

<공급 유로(52)><Supply flow path 52>

공급 유로(52)는, 노즐구멍(60)과 동일한 재료를 이용할 수 있다. 공급 유로(52)의 단면은, Φ0.5~10mm 정도의 원형상으로도, 동일한 정도의 단면적의 직사각형상으로도 상관없다. 가공성이나 기포 고임 방지의 관점에서 원형상이 바람직하다.The supply passage 52 may be made of the same material as that of the nozzle hole 60. The cross section of the supply flow path 52 may be either a circular shape having a diameter of about 0.5 to 10 mm or a rectangular shape having the same cross sectional area. A circular shape is preferable from the viewpoint of workability and prevention of sticking of the foam.

공급 유로(52)는, 액체 재료를 공급하는 탱크(도시생략)와 노즐구멍(60)을 연통시킨다. 공급 유로(52)는, 탱크에 충전된 액체 재료를 노즐구멍(60)까지 공급하는 기능을 담당하고 있다.The supply flow path 52 communicates the nozzle hole 60 with a tank (not shown) for supplying the liquid material. The supply flow path 52 functions to supply the liquid material filled in the tank to the nozzle hole 60. [

<플런저(12)><Plunger (12)>

플런저(12)는, 가이드(110) 및 시일재(104)의 구멍을 통해 이동한다. 이에 따라, 액체 재료를 공급 유로(52) 내의 노즐구멍(60)으로부터 밀어낸다. 플런저(12)에는, 노즐구멍(60)과 동일한 재료를 이용할 수 있다. 그러나, 플런저(12)의 재질은, 가이드(110)나 시일재(104), 액체 재료에 포함되는 입자 재료로 마모 열화되거나, 액체 재료에 침식·용해되는 일이 없는 소재를 선정할 필요가 있다. 또한, 플런저(12)를 고속 구동시키기 위해서는, 비중이 작은 소재를 선정하는 것이 바람직하다. 나아가 플런저(12) 자신의 부피를 최소한으로 저감시켜 경량화를 행하는 것이 바람직하다.The plunger 12 moves through the holes of the guide 110 and the seal material 104. [ Thus, the liquid material is pushed out of the nozzle hole 60 in the supply passage 52. The same material as that of the nozzle hole 60 can be used for the plunger 12. However, it is necessary to select the material of the plunger 12 that is not abraded by the guide 110, the sealing material 104, the particulate material contained in the liquid material, or is not eroded or dissolved by the liquid material . In order to drive the plunger 12 at a high speed, it is preferable to select a material having a small specific gravity. Further, it is preferable that the volume of the plunger 12 itself is reduced to a minimum to achieve weight reduction.

플런저(12)는, 액추에이터(2)의 구동 에너지를 액체 재료의 토출 에너지로 변환하는 기능을 담당하고 있다. 플런저(12)가 노즐구멍(60) 근방에서 왕복 운동함으로써, 노즐구멍(60) 근방의 액체 재료에 압력을 인가하여 노즐구멍(60)으로부터 액체 재료의 토출 액적(65)을 토출시킨다.The plunger 12 has a function of converting the drive energy of the actuator 2 into discharge energy of the liquid material. The plunger 12 reciprocates in the vicinity of the nozzle hole 60 to apply pressure to the liquid material in the vicinity of the nozzle hole 60 to discharge the liquid droplets 65 of the liquid material from the nozzle hole 60.

플런저(12)의 끝단 형상은, 도 5에 기재된 바와 같은 평탄 형상으로도 상관없지만, 도 6a~도 6f에 기재된 바와 같은 볼록 형상으로도 상관없다.The end shape of the plunger 12 may be a flat shape as shown in Fig. 5, but it may be a convex shape as shown in Figs. 6A to 6F.

<가이드(110)><Guide (110)>

가이드(110)는, 플런저(12)를 똑바로 상하로 이동시키는 것이다. 가이드(110)는 관통공을 가지며, 그 관통공을 플런저(12)가 상하한다.The guide 110 moves the plunger 12 straight up and down. The guide 110 has a through-hole, and the plunger 12 vertically moves the through-hole.

<액추에이터(2)>&Lt; Actuator (2) >

액추에이터(2)는, 플런저(12)를 왕복 운동시키기 위한 구동원으로서 이용되고, 모터나 에어, 압전 소자 등이 이용되는 경우가 많다.The actuator 2 is used as a driving source for reciprocating the plunger 12, and a motor, an air, a piezoelectric element or the like is often used.

<변위 확대 기구(3)><Displacement Expansion Mechanism (3)>

변위 확대 기구(3)는, 플런저(12)와 같이 내마모성과 경량성이 양립될 수 있는 소재를 선정하는 것이 바람직하고, 지점부(101)와 레버(102)로 구성된다.The displacement increasing mechanism 3 is preferably composed of a fulcrum portion 101 and a lever 102 such as a plunger 12, which preferably has a material capable of achieving both abrasion resistance and light weight.

변위 확대 기구(3)는, 플런저(12)의 변위량을 액추에이터(2)의 변위량보다 확대하는 기능을 담당하고 있다. 보다 작은 액추에이터(2)를 이용하여 플런저(12)를 보다 크게 왕복 운동시킴으로써, 점성이 높은 액체 재료나 큰 입자를 포함한 액체 재료를 노즐구멍(60)으로부터 토출시킬 수 있다.The displacement increasing mechanism 3 has a function of expanding the displacement amount of the plunger 12 more than the displacement amount of the actuator 2. The liquid material containing the viscous liquid material or the large particles can be discharged from the nozzle hole 60 by causing the plunger 12 to reciprocate more largely by using the smaller actuator 2. [

도 5에서는, 하우징(30)에 맞닿은 지점부(101) 상에 레버(102)가 설치되고, 플런저(12)는 탄성체(103)의 인장력에 의해 레버(102) 끝단부에 맞닿은 상태로 유지된다. 이 탄성체(103)가 플런저(12)와 하우징(30)의 사이에 설치되어 압축력에 의해 유지되어도 상관없다.5, a lever 102 is provided on a fulcrum portion 101 abutting on the housing 30, and the plunger 12 is held in contact with the end of the lever 102 by the tensile force of the elastic body 103 . The elastic body 103 may be provided between the plunger 12 and the housing 30 and held by a compressive force.

탄성체(103)는 스프링코일 스프링으로도, 판스프링으로도 상관없다. 스프링 상수는 0.1~10N/mm의 범위에서 선정되는 것이 바람직하다. 스프링 상수가 너무 작으면, 고유 진동수가 낮아져서 고속 구동할 수 없게 되고, 스프링 상수가 너무 크면, 액추에이터 변위량에 따른 스프링력의 변화가 커서 구동이 불안정해지기 때문이다.The elastic body 103 may be a spring coil spring or a leaf spring. The spring constant is preferably selected in the range of 0.1 to 10 N / mm. If the spring constant is too small, the natural frequency becomes low and high-speed driving can not be performed. If the spring constant is too large, the change of the spring force according to the amount of displacement of the actuator becomes large.

<레버(102)와 액추에이터(2)의 접촉부>&Lt; Contact part between lever 102 and actuator 2 >

레버(102)와 액추에이터(2)의 접촉부 중 적어도 어느 하나가 곡면으로 하는 구성을 취한다. 이에 따라, 레버(102)의 상면을 액추에이터(2)가 맞닿아 변위를 인가할 수 있다. 레버(102)가 지점부(101) 둘레로 회전한다. 이 회전으로, 레버(102)의 끝단에 설치된 플런저(12)는, 액추에이터(2)의 변위에 따라 상하로 왕복 동작하는 것이 가능해진다.At least one of the contact portions of the lever 102 and the actuator 2 has a curved surface. As a result, the actuator 2 abuts on the upper surface of the lever 102 to apply the displacement. The lever 102 rotates about the fulcrum portion 101. [ With this rotation, the plunger 12 provided at the end of the lever 102 can be reciprocated vertically in accordance with the displacement of the actuator 2.

또한, 레버(102)와 액추에이터(2)의 접촉부의 슬라이딩 저항을 저감하기 위해, 접촉면 중 적어도 어느 하나가 요철 형상을 가져도 된다. 즉, 오목 형상과 볼록 형상이 어느 쪽에 있어도 된다.In order to reduce the sliding resistance of the contact portion between the lever 102 and the actuator 2, at least one of the contact surfaces may have a concavo-convex shape. In other words, either a concave shape or a convex shape may be provided.

<지점부(101)와 레버(102)의 접촉면><Contact surface of fulcrum portion 101 and lever 102>

지점부(101)는, 원기둥 형상이다. 레버(102)의 끝단부는, 볼록 곡면으로 플런저(12)의 플랜지 평면의 작용점(109)에 접촉한다. 또한, 레버(102)의 지점부(101)와 접촉하는 부분은, 맞닿는 지점부(101)의 곡률 반경에 비해 동등 이상의 곡률 반경의 오목 곡면인 것이 바람직하다. 이들은 일체가 된 부품 구성으로 해도 상관없다. 또, 오목부, 볼록부는 반대의 관계로도 된다.The fulcrum portion 101 has a cylindrical shape. The end of the lever 102 contacts the point 109 of the flange plane of the plunger 12 with a convex curved surface. The portion of the lever 102 that contacts the fulcrum portion 101 is preferably a concave curved surface having a radius of curvature equal to or greater than the radius of curvature of the fulcrum portion 101 to which it abuts. They may be a single component. The concave portion and the convex portion may be in the opposite relationship.

여기서, 레버(102)의 지점부(101) 둘레의 회전 중심을 지점(107)으로 하고, 레버(102)와 액추에이터(2)의 접촉면을 역점(108)으로 하며, 레버(102)가 플런저(12)를 누르는 점을 작용점(109)으로 한다.Here, the center of rotation of the lever 102 around the fulcrum portion 101 is the point 107, the contact surface between the lever 102 and the actuator 2 is the point of intersection 108, and the lever 102 is the plunger 12) is referred to as a point of action (109).

도 5에 기재된 바와 같이, 지점(107)과 역점(108)과 작용점(109)은 동일 직선 상에는 존재하지 않고 삼각형을 구성한다.As shown in FIG. 5, point 107, point 108 and point of action 109 do not exist on the same straight line but constitute a triangle.

도 5에서는, 액추에이터(2) 및 플런저(12)는 레버(102)의 회전 중심이 되는 지점(107)에 대해 동일한 방향에 위치하고 있지만, 각각 다른 방향에 위치해도 상관없다.5, the actuator 2 and the plunger 12 are located in the same direction with respect to the point 107 serving as the rotation center of the lever 102, but they may be located in different directions.

지점(107)부터 역점(108)까지의 거리(L1)를, 지점(107)부터 작용점(109)까지의 거리(L2)에 비해 작게 하는 것이 중요하다. 이에 따라, 액추에이터(2)의 변위에 비해 플런저(12)의 변위를 보다 크게 확대하는 것이 가능해진다.It is important to make the distance L1 from the point 107 to the point 108 smaller than the distance L2 from the point 107 to the point of action 109. [ This makes it possible to further increase the displacement of the plunger 12 compared to the displacement of the actuator 2.

또, 액추에이터(2)가 압전 소자인 경우는, 인장력에 의한 압전 소자의 파괴를 방지하기 위해, 탄성체(103)에 의해 압축 하중의 예압을 부여하는 것도 가능하다. 그 결과, 액추에이터(2)의 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있다.When the actuator 2 is a piezoelectric element, it is also possible to apply a preload of a compressive load by the elastic body 103 in order to prevent breakage of the piezoelectric element by the tensile force. As a result, the driving reliability of the actuator 2 can be improved.

<도포 동작><Application Operation>

다음에, 액체 재료의 도포 동작에 대해 이하에 설명한다.Next, the application operation of the liquid material will be described below.

(1) 액체 재료의 공급(1) Supply of liquid materials

액체 재료가 충전되는 공급 유로(52) 내를 플런저(12)의 끝단이 윗방향으로 이동할 때에 노즐구멍(60) 근방에 액체 재료가 공급된다. 공급 유로(52)에 직결하는 액체 재료의 공급 탱크(도시생략)에 대해 0.1~500kPa 정도의 배압을 걸어, 액체 재료의 공급 속도를 높이고 보다 짧은 토출 간격으로 고점도 재료를 도포하는 것이 가능해진다. 배압이 높을수록 액체 재료의 공급 속도는 커지는 반면, 입자 함유 페이스트 재료의 경우에는 고형분과 액체 성분이 분리되어 버리는 것이 문제가 되기 때문에, 배압은 300kPa 정도 이하인 것이 바람직하다. 또한, 배압이 300kPa 이하이어도 노즐구멍(60)으로부터 액체 재료가 스며나온 상태가 되면, 노즐구멍(60) 내의 기액 계면(메니스커스면)이 불안정해지고, 안정된 액적 토출이 불가능해지는 경우가 있기 때문에, 액체 재료와 토출 조건에 따른 배압 설정이 불가결하다.The liquid material is supplied to the vicinity of the nozzle hole 60 when the end of the plunger 12 moves upward in the supply passage 52 in which the liquid material is filled. It is possible to apply a back pressure of about 0.1 to 500 kPa to a supply tank (not shown) of the liquid material that is directly connected to the supply flow path 52, thereby increasing the supply speed of the liquid material and applying the high viscosity material at a shorter discharge interval. The higher the back pressure is, the larger the feed rate of the liquid material. On the other hand, in the case of the particle-containing paste material, since the solid component and the liquid component are separated from each other, the back pressure is preferably about 300 kPa or less. Even if the back pressure is 300 kPa or less, when the liquid material seeps out from the nozzle hole 60, the gas-liquid interface (meniscus surface) in the nozzle hole 60 becomes unstable and stable droplet ejection becomes impossible , It is indispensable to set the back pressure according to the liquid material and the discharge condition.

(2) 액체의 토출(2) Discharge of liquid

플런저(12)가 노즐구멍(60)에 근접하는 아랫방향으로 이동할 때에, 노즐구멍(60) 근방의 액체 압력이 상승하여 액체 재료의 토출 액적(65)이 토출된다. 여기서, 플런저(12)의 상하 운동 중에서도 노즐구멍(60) 근방의 액체 압력이 저하되지 않도록, 플런저(12)와 하우징(30)에 밀착하여 시일재(104)가 설치된다. 플런저(12)의 아랫방향으로의 이동 속도가 빠를수록 노즐 압력을 급속하게 상승시킬 수 있다. 이 때문에, 노즐구멍(60)으로부터 선두로 튀어나오는 액체 재료의 토출 속도를 상승시킬 수 있다. 나아가 노즐구멍(60)으로부터 선두의 액체 재료가 튀어나오기 시작한 후에 플런저(12)를 윗방향으로 빠르게 이동시킴으로써, 후속하는 액체 재료의 토출 속도를 급속하게 저하시킬 수도 있다. 이에 따라, 고점도의 액체 재료로도 토출 액적이 실처럼 늘어나는 것을 짧게 하는 것이 가능해지고, 보다 미량의 토출 액적(65)을 안정적으로 토출시킬 수 있다.The liquid pressure in the vicinity of the nozzle hole 60 rises and the ejection liquid droplets 65 of the liquid material are ejected when the plunger 12 moves downward in the vicinity of the nozzle hole 60. [ Here, the sealing material 104 is provided in close contact with the plunger 12 and the housing 30 so that the liquid pressure in the vicinity of the nozzle hole 60 is not lowered even when the plunger 12 moves up and down. As the moving speed of the plunger 12 in the downward direction is faster, the nozzle pressure can be raised rapidly. Therefore, the discharge speed of the liquid material protruding from the nozzle hole 60 to the head can be increased. Further, by rapidly moving the plunger 12 upwardly after the leading liquid material starts to be ejected from the nozzle hole 60, the ejecting speed of the subsequent liquid material may be rapidly lowered. As a result, even when the liquid material having a high viscosity is used, it is possible to shorten the stretching of the ejected droplets like a thread, and a smaller amount of ejected droplets 65 can be stably ejected.

도 5에서는, 플런저(12)의 끝단이 공급 유로(52) 내의 액체 재료에 접액하여 상하 동작하는 구성으로 되어 있지만, 도 7에 도시된 바와 같이 플런저(12)의 끝단이 직접적으로 액체 재료에 접액하지 않고 다이어프램(105)면을 상하 동작시키는 구성으로 하는 것도 가능하다.5, the end of the plunger 12 is in contact with the liquid material in the supply passage 52 and moves up and down. However, as shown in Fig. 7, the end of the plunger 12 is directly contacted with the liquid material The diaphragm 105 may be moved up and down.

도 7은, 도 5의 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도이다. 다이어프램(105)의 상면에 플런저(12)가 위치한다. 플런저(12)는, 다이어프램(105)을 밀고 당긴다.7 is a cross-sectional view of a modification of the liquid application device 100 of Fig. The plunger 12 is positioned on the upper surface of the diaphragm 105. The plunger 12 pushes and pulls the diaphragm 105.

<변위 확대 기구(3)의 변형예 1><Modified Example 1 of Displacement Expansion Mechanism 3>

이어서, 변위 확대 기구(3)의 변형예에 대해 이하에 설명한다.Next, modified examples of the displacement increasing mechanism 3 will be described below.

도 8a는 전술한 액체 도포 장치(100)와 동일한 기본 구성이다. 비교하기 위해 표시하였다. 여기서, 액추에이터(2)의 레버(102)와 맞닿지 않는 측의 면을 도 8b에 도시된 바와 같이, 곡면의 베어링(106)을 설치해도 상관없다.8A is a basic structure similar to that of the liquid application device 100 described above. For comparison. Here, a curved bearing 106 may be provided on the side of the actuator 2 that is not in contact with the lever 102, as shown in Fig. 8B.

이러한 구성으로 함으로써, 액추에이터(2)에 단축 방향(도 8a에서는 좌우 방향)의 힘이 작용하는 일이 없어지고 구동 신뢰성을 향상시킬 수 있다.With such a configuration, the force in the minor axis direction (left-right direction in Fig. 8A) does not act on the actuator 2, and the driving reliability can be improved.

<변위 확대 기구(3)의 변형예 2><Variation 2 of Displacement Expansion Mechanism 3>

또한, 변위 확대 기구(3)에 있어서, 플런저(12)의 변위 응답 속도를 향상시키고 장기간 연속적으로 구동하기 위해서는, 액추에이터(2)나 레버(102) 및 지점부(101), 플런저(12)의 슬라이딩부의 구동 저항을 저감시키는 것이 필요하다.In order to improve the displacement response speed of the plunger 12 and drive it continuously for a long period of time in the displacement increasing mechanism 3, the actuator 2, the lever 102, the fulcrum portion 101, It is necessary to reduce the driving resistance of the sliding portion.

그래서, 도 8c에 도시된 바와 같이, 액추에이터(2)와 레버(102)가 맞닿는 면과, 레버(102)와 지점부(101)가 맞닿는 면이 액추에이터(2)의 장축 방향에서 보아 겹치지 않도록 함으로써, 레버(102)가 구동할 때에 받는 반력을 저감시킬 수 있고, 여분의 슬라이딩 저항을 억제하는 것이 가능해진다. 즉, 도 8c의 점선 내에 레버(102)와 지점부(101)가 맞닿는 면이 포함되지 않도록 한다.8C, the surface where the actuator 2 abuts the lever 102 and the surface where the lever 102 abuts against the fulcrum portion 101 do not overlap in the longitudinal direction of the actuator 2 , The reaction force received when the lever 102 is driven can be reduced, and the extra sliding resistance can be suppressed. That is, the surface where the lever 102 and the fulcrum portion 101 abut each other is not included in the dotted line in Fig. 8C.

나아가 슬라이딩면 중 어느 하나 혹은 양쪽에 0.1μm 이상의 요철이나 홈을 형성함으로써, 접촉 면적을 저감하여 슬라이딩 저항을 저감하는 것도 아울러 가능하다.Furthermore, it is also possible to reduce the contact area and reduce the sliding resistance by forming irregularities or grooves of 0.1 mu m or more on one or both of the sliding surfaces.

덧붙여, 접촉 계면의 슬라이딩 저항을 저감시키기 위해, 고체 윤활제나 그리스를 도포, 성막하는 것이 보다 바람직하다.In addition, in order to reduce the sliding resistance of the contact interface, it is more preferable to apply a solid lubricant or grease to form a film.

<변위 확대 기구(3)의 변형예 3>&Lt; Modification 3 of Displacement Expansion Mechanism 3 >

도 9a에 플런저(12)의 변위와 시간의 관계를 나타낸다. 이상적으로 이상 곡선과 같이, 플런저(12)가 변위하는 것이 이상이다. 그러나, 실제는 시간의 응답 지연이 발생하고, 실변위 곡선으로 플런저(12)가 변위한다. 특히, 점성이 높은 액체 재료를 토출시키는 경우에는 실변위 곡선이 된다. 이는, 플런저(12)에 큰 변위를 부여하는 경우에 플런저(12)의 구동 저항이 커지기 때문에 현저하게 발생한다.Fig. 9A shows the relationship between displacement of the plunger 12 and time. Ideally, as in the ideal curve, it is abnormal that the plunger 12 is displaced. However, in practice, a response delay of time occurs, and the plunger 12 is displaced to the actual displacement curve. Particularly, when a liquid material having a high viscosity is discharged, it becomes a real displacement curve. This is remarkable because the driving resistance of the plunger 12 becomes large when a large displacement is applied to the plunger 12.

이 주요 요인은 다음 2가지이다.There are two main reasons for this.

(1) 플런저(12)의 끝단이 노즐구멍(60)에 근접할수록, 플런저(12)의 끝단의 노즐구멍(60) 근방의 압력이 높아지기 때문이다.(1) The closer the end of the plunger 12 is to the nozzle hole 60, the higher the pressure in the vicinity of the nozzle hole 60 at the end of the plunger 12.

(2) 액추에이터(2) 단체(單體)의 변위나 변위 확대 배율이 커짐에 따라, 탄성체(103)에 의한 인장력 및 압축력이 커지기 때문이다.(2) The tensile force and the compressive force of the elastic body 103 increase as the displacement of the actuator 2 or the magnification of the displacement increases.

이 대책으로서, 실시형태로서는, 도 9b에 도시된 바와 같이, 액추에이터(2)와 레버(102)가 맞닿는 면이 곡률 반경이 다른 곡면으로 구성되는 것이 바람직하다. 도 9b는, 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도이다.As a countermeasure, in the embodiment, as shown in Fig. 9B, it is preferable that the surface where the actuator 2 and the lever 102 come into contact with each other is a curved surface having a different radius of curvature. Fig. 9B is a cross-sectional view of a modified example of the liquid application device 100. Fig.

액추에이터(2)의 레버(102)와 맞닿는 면에 있어서, 레버(102) 측의 맞닿음면을 볼록 곡면으로 하는 경우, 레버(102) 측의 면의 곡률 반경을 액추에이터(2) 측의 면의 곡률 반경보다 작게 하는 구성으로 하는 것이 바람직하다. 한편, 레버(102) 측의 맞닿음면을 오목 곡면으로 하는 경우, 레버(102) 측의 면의 곡률 반경을 액추에이터(2) 측의 면의 곡률 반경보다 크게 하는 구성으로 하는 것이 바람직하다.The radius of curvature of the surface of the lever 102 on the side of the lever 102 is set to be larger than the radius of curvature of the surface of the actuator 2 on the side of the actuator 102. In the case where the abutment surface on the lever 102 side is a convex surface, It is preferable to make it smaller than the radius of curvature. On the other hand, when the abutment surface on the side of the lever 102 is a concave surface, it is preferable that the curvature radius of the surface on the side of the lever 102 is made larger than the curvature radius of the surface on the actuator 2 side.

도 9c는 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도로서, 플런저(12)의 하강 개시시의 액체 도포 장치(100)의 단면도이다. 도 9d는 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도로서, 플런저(12)의 하강 종료시의 액체 도포 장치(100)의 단면도이다. 도 9c에 도시된 바와 같이, 플런저(12)의 하강 개시시에는 액추에이터(2)가 레버(102)를 누르는 역점과 지점(107)의 거리(화살표)는 비교적 짧아지고 변위 확대가 보다 커지기 때문에, 변위 응답의 상승을 보다 고속화하는 것이 가능해진다. 또한, 도 9d에 도시된 바와 같이, 플런저(12)의 하강 종료시에는 액추에이터(2)가 레버(102)를 누르는 역점과 지점(107)의 거리(화살표)는 비교적 길어지고 변위 확대가 보다 작아지기 때문에, 플런저(12)의 압하중을 보다 큰 힘으로 할 수 있고, 플런저(12)의 구동 저항에 지지 않고 변위 응답을 보다 고속화하는 것이 가능해진다.Fig. 9C is a cross-sectional view of a modified example of the liquid application device 100, which is a cross-sectional view of the liquid application device 100 at the start of the fall of the plunger 12. Fig. FIG. 9D is a cross-sectional view of a modified example of the liquid application device 100, which is a cross-sectional view of the liquid application device 100 at the end of the descent of the plunger 12. FIG. 9C, when the plunger 12 starts to descend, the point at which the actuator 2 presses the lever 102 and the distance (arrow) between the points 107 are relatively shortened and the displacement magnification becomes larger, It is possible to increase the displacement response more rapidly. 9D, when the downward movement of the plunger 12 is terminated, the point at which the actuator 2 presses the lever 102 and the distance (arrow) between the points 107 becomes relatively long and the displacement enlargement becomes smaller Therefore, the pressing force of the plunger 12 can be made larger, and the displacement response can be accelerated without being supported by the driving resistance of the plunger 12.

이 경우, 플런저(12)가 아랫방향으로 이동할 때에 화살표의 길이가 변화함으로써, 변위 확대 기구(3)의 변위 확대 배율을 천천히 작게 변화시킬 수 있다.In this case, when the plunger 12 moves downward, the length of the arrow changes, so that the displacement magnification of the displacement increasing mechanism 3 can be changed slowly.

<변위 확대 기구(3)의 변형예 4>&Lt; Modification 4 of Displacement Expansion Mechanism 3 >

또한, 고점도 액체 재료를 미량 토출시키기 위해서는, 비교적 작은 변위량을 큰 힘으로 플런저(12)를 고속 구동시키는 것이 중요하다. 이를 위해서는, 변위 확대 기구(3)의 변위 확대 배율을 필요 최소한으로 작게 억제하여 레버(102)의 질량을 최소한으로 저감시켜 경량화할 필요가 있다.Further, in order to discharge a small amount of high viscosity liquid material, it is important to drive the plunger 12 at a high speed with a relatively small amount of displacement. To this end, it is necessary to reduce the displacement magnification of the displacement increasing mechanism 3 to a minimum necessary and to reduce the mass of the lever 102 to a minimum and to reduce the weight.

그러나, 액추에이터(2)와 탄성체(103)가 간섭하지 않는 구성으로 해야만 하여 설계 범위가 제한된다. 이는, 탄성체(103)가 플런저(12)와 하우징(30)의 사이에 설치되어 압축력에 의해 유지되는 경우에서도 마찬가지이다.However, the actuator 2 and the elastic member 103 must be configured so as not to interfere with each other, thereby limiting the design range. This is also true in the case where the elastic body 103 is provided between the plunger 12 and the housing 30 and is held by the compressive force.

이 대책의 실시형태로서, 액체 도포 장치(100)의 변형예의 단면도를 도 10에 나타낸다. 도 10에 도시된 바와 같이, 플런저(12)의 변위 방향에 대해 액추에이터(2)의 변위 방향이 기울기(θ)를 갖는 구성으로 한다. 이 기울기(θ)는 1도~90도의 범위에서 선정되는 경우가 많고, 10~60도의 범위에서 가장 효과적이다. 또, 도 10은 플런저(12)의 가동 전 상태이다.10 shows a cross-sectional view of a modified example of the liquid application device 100 as an embodiment of this countermeasure. 10, the displacement direction of the actuator 2 has a slope? With respect to the displacement direction of the plunger 12. As shown in Fig. This inclination (?) Is often selected in the range of 1 to 90 degrees, and is most effective in the range of 10 to 60 degrees. 10 shows a state before the plunger 12 is in a running state.

플런저(12)가 가동하는 시점에서, 액추에이터(2)의 변위 방향은 플런저(12)의 변위 방향에 대해 기울어져 있다.At the time when the plunger 12 is operated, the displacement direction of the actuator 2 is inclined with respect to the displacement direction of the plunger 12.

이러한 구성으로 함으로써, 액추에이터(2)와 레버(102)가 맞닿는 면과, 레버(102)와 지점부(101)가 맞닿는 면이, 액추에이터(2)의 장축 방향에서 보아 겹치지 않도록 하면서도, 액추에이터(2)의 변위 방향에 직교하는 방향의, 지점(107)과 역점(108) 간의 거리를 보다 작게 설정할 수 있다.With this configuration, the surface on which the actuator 2 abuts on the lever 102 and the surface on which the lever 102 abuts against the fulcrum portion 101 are prevented from overlapping with each other in the longitudinal direction of the actuator 2, The distance between the point 107 and the point 108 in the direction orthogonal to the displacement direction of the point 107 can be set smaller.

게다가 액추에이터(2)와 탄성체(103)의 물리적 거리가 커지기 때문에, 레버(102)의 길이를 단축할 수 있다.In addition, since the physical distance between the actuator 2 and the elastic body 103 is increased, the length of the lever 102 can be shortened.

그 때문에, 레버(102)를 경량화할 수 있고, 레버(102)와 플런저(12) 등의 가동부의 관성 모멘트를 50%~90% 정도 줄이는 것이 가능해진다.This makes it possible to reduce the weight of the lever 102 and reduce the moment of inertia of the movable portion such as the lever 102 and the plunger 12 by 50% to 90%.

소정 토크를 작용시킨 경우, 변위 가속도는 관성 모멘트에 반비례하기 때문에, 플런저(12)의 변위 가속도를 2배~10배 정도까지 크게 하는 것이 가능해지고, 고점도 액체 재료를 미량 토출하는 데에 유용하다.Since the displacement acceleration is inversely proportional to the moment of inertia when the predetermined torque is applied, the displacement acceleration of the plunger 12 can be increased to about 2 to 10 times, which is useful for discharging a very small amount of the high viscosity liquid material.

또한, 도 10에서는, 액추에이터(2) 및 플런저(12)는 레버(102)의 회전 중심이 되는 지점에 대해 동일한 방향에 위치하고 있지만, 각각 다른 방향에 위치해도 상관없다.In Fig. 10, the actuator 2 and the plunger 12 are located in the same direction with respect to the rotation center of the lever 102, but they may be located in different directions.

본 발명의 액체 도포 장치는, 기능성 입자가 포함되는 액체 재료의 도포를 고속이고 안정적으로 제어할 수 있다. 또한, 본 발명의 액체 도포 장치는, 비접촉으로 필요한 개소에 최적의 양을 임의의 패턴으로 고속으로 도포하는 것이 가능하다.The liquid application device of the present invention can control the application of the liquid material including the functional particles at a high speed and stably. Further, the liquid application device of the present invention can apply an optimum amount to a necessary portion in a non-contact manner at an arbitrary pattern at a high speed.

본원발명의 액체 도포 장치는, 장기간 연속적으로 구동이 불가결한 전자 디바이스의 제조에 이용할 수 있다. 또한, 본원발명의 액체 도포 장치는, 요철면이나 곡면 등의 입체 구조물에 대한 3D 도포나, 다품종 소량의 전자 디바이스 제조에서의 생산성 향상 등의 목적으로, 임의 패턴 도포하기 위한 변위 확대 기구 및 이를 구비하는 액체 도포 장치로서 바람직하게 이용된다.The liquid application device of the present invention can be used for manufacturing an electronic device which is indispensable to drive continuously for a long period of time. Further, the liquid application device of the present invention is equipped with a displacement enlarging mechanism for applying arbitrary patterns for the purpose of 3D application to a three-dimensional structure such as an uneven surface or a curved surface, productivity improvement in the manufacture of a small variety of electronic devices, and the like As a liquid application device.

1: 액체 도포 장치 2, 2a: 액추에이터
3, 3a: 변위 확대 기구 5: 자형 부재
8: 자형 부재 12, 12a: 플런저
30: 하우징 52: 공급 유로
60: 노즐구멍 65: 토출 액적
100: 액체 도포 장치 101: 지점부
102: 레버 103: 탄성체
104: 시일재 105: 다이어프램
106: 베어링 107: 지점
108: 역점 109: 작용점
110: 가이드1: Liquid application device 2, 2a: Actuator
3, 3a: displacement increasing mechanism 5:
8: female member 12, 12a: plunger
30: housing 52:
60: nozzle hole 65: ejection droplet
100: liquid application device 101:
102: Lever 103: Elastic body
104: Seal material 105: Diaphragm
106: bearing 107: point
108: Point of focus 109: Point of action
110: Guide

Claims (11)

액체 재료를 토출하는 노즐구멍과,
상기 노즐구멍에 액체 재료를 공급하는 공급 유로와,
상기 공급 유로 내의 액체에 맞닿아 왕복하는 플런저와,
상기 플런저에 변위를 부여하는 변위 확대 기구와,
상기 변위 확대 기구에 변위를 부여하는 액추에이터를 포함하고,
상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉부 중 적어도 어느 하나가 곡면인, 액체 도포 장치.A nozzle hole for discharging the liquid material,
A supply passage for supplying the liquid material to the nozzle hole,
A plunger that makes contact with the liquid in the supply passage and reciprocates,
A displacement increasing mechanism for applying a displacement to the plunger,
And an actuator for imparting a displacement to the displacement increasing mechanism,
Wherein at least one of the displacement enlarging mechanism and the contact portion of the actuator is a curved surface. 청구항 1에 있어서,
상기 플런저와 연결된 탄성체를 더 갖는, 액체 도포 장치.The method according to claim 1,
Further comprising an elastic body connected to the plunger. 청구항 1에 있어서,
상기 변위 확대 기구는, 레버부와 지점부를 갖는, 액체 도포 장치.The method according to claim 1,
Wherein the displacement increasing mechanism has a lever portion and a fulcrum portion. 청구항 3에 있어서,
상기 지점부는 곡면을 갖는, 액체 도포 장치.The method of claim 3,
Wherein the fiducial portion has a curved surface. 청구항 1에 있어서,
상기 레버부의 상기 지점부 둘레의 회전 중심이 되는 지점과, 상기 레버부와 상기 액추에이터의 접촉면인 역점과,
상기 레버부와 상기 플런저의 접촉면인 작용점이,
동일 직선 상에 존재하지 않는, 액체 도포 장치.The method according to claim 1,
A point that becomes a center of rotation around the fulcrum of the lever portion, a point of intersection between the lever portion and the actuator,
Wherein a point of contact, which is a contact surface between the lever portion and the plunger,
And is not present in the same straight line. 청구항 1에 있어서,
상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉면 중 적어도 어느 하나가 요철 형상을 갖는, 액체 도포 장치.The method according to claim 1,
Wherein at least one of a contact surface of the displacement increasing mechanism and the actuator has a concavo-convex shape. 청구항 1에 있어서,
상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉면에 있어서,
상기 변위 확대 기구 측의 상기 접촉면의 곡률 반경과,
상기 액추에이터 측의 상기 접촉면의 곡률 반경이 다른, 액체 도포 장치.The method according to claim 1,
On the contact surface between the displacement increasing mechanism and the actuator,
A radius of curvature of the contact surface on the side of the displacement increasing mechanism,
Wherein the curvature radius of the contact surface on the actuator side is different. 청구항 7에 있어서,
상기 변위 확대 기구 측의 상기 접촉면의 곡률 반경은, 상기 액추에이터 측의 상기 접촉면의 곡률 반경보다 작은, 액체 도포 장치.The method of claim 7,
Wherein a radius of curvature of the contact surface on the side of the displacement increasing mechanism is smaller than a radius of curvature of the contact surface on the actuator side. 청구항 1에 있어서,
상기 플런저의 동작 위치에 따라, 상기 변위 확대 기구와 상기 액추에이터의 접촉점 위치가 변화하는, 액체 도포 장치.The method according to claim 1,
Wherein the contact point position of the displacement magnifying mechanism and the actuator changes according to the operating position of the plunger. 청구항 1에 있어서,
상기 플런저의 변위 방향에 대해, 상기 액추에이터의 변위 방향이 기울기를 갖는, 액체 도포 장치.The method according to claim 1,
Wherein a displacement direction of the actuator with respect to a displacement direction of the plunger has a slope. 청구항 1에 있어서,
상기 액추에이터에 압전 소자를 이용하는, 액체 도포 장치.The method according to claim 1,
Wherein a piezoelectric element is used for the actuator.
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