KR20190001940A - Holding apparatus and positioning apparatus and bonding apparatus - Google Patents

Abstract

The object of the present invention is to provide a holding apparatus, a positioning apparatus, and a bonding apparatus that can determine the position of a work when bonding a work having a curved surface. The holding apparatus includes a holding part (20) for holding the work (W1) having the curved surface (CS), a pressing part (40) which has a pressing surface (41) for pressing the work (W2) along the curved surface of the work (W1) and is fixed to a relative position in a plane direction crossing in a pressing direction with respect to the holding part (20) in which the work (W1) is opposed to the pressing surface (41) for pressing, and a positioning part (50) for determining the position of the workpiece (W2) relative to the work (W1) by changing the position of the work (W2) in the plane direction with respect to the work (W1).

Description

유지 장치, 위치 결정 장치 및 접합 장치{HOLDING APPARATUS AND POSITIONING APPARATUS AND BONDING APPARATUS}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a holding device, a positioning device,

본 발명은, 유지 장치, 위치 결정 장치 및 접합 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a holding device, a positioning device, and a bonding device.

일반적으로, 액정 디스플레이나 유기 EL 디스플레이를 대표로 하는 평판형의 표시 장치, 소위 플랫 패널 디스플레이는, 표시 패널과 그 밖의 워크가 케이스에 내장되어 구성되어 있다. 그 밖의 워크로는, 조작용의 터치 패널, 표면을 보호하는 커버 패널, 백라이트, 백라이트의 도광판 등이 있다. 2. Description of the Related Art In general, a flat display device such as a liquid crystal display or an organic EL display, that is, a so-called flat panel display, has a display panel and other work built in the case. Other work examples include a touch panel for operation, a cover panel for protecting the surface, a backlight, and a light guide plate for backlight.

이들 워크는, 개별적으로 혹은 미리 적층된 상태로 케이스에 내장된다. 예컨대, 보호 커버에 터치 패널을 적층한 복합 패널로서 구성된 것을 이용하는 경우도 있다. These works are embedded in the case individually or in a stacked state in advance. For example, a composite panel formed by laminating a touch panel on a protective cover may be used.

또한, 표시 패널에는, 터치 패널의 기능이 내장된 것이 이용되는 경우도 있다. 이와 같이, 워크로는 여러가지 형태가 있지만, 이하, 표시 장치를 구성하는 워크를 복수 적층한 것을 표시 장치용 부재라고 부른다. In addition, a display panel having a built-in function of a touch panel may be used. As described above, there are various types of work, but a plurality of work pieces constituting the display device are hereinafter referred to as a display device member.

일반적인 평판형의 워크를 적층하는 작업은, 우선, 워크의 한쪽 면에 점착제를 부착시키고, 이 점착제를 개재시켜 다른 하나의 워크를 접착함으로써 행해진다. 다른 하나의 워크를 접합할 때에는, 한쪽의 유지 부재에 유지된 하나의 워크에 대하여, 다른쪽의 유지 부재에 유지된 다른 하나의 워크를 위치 결정할 필요가 있다. 예컨대, 커버 패널의 인쇄 프레임 내에, 터치 패널 및 편광판의 기능면의 위치, 표시 패널의 표시면의 위치를 맞춰야 한다. 이 경우, 쌍방의 유지 부재에 유지된 워크의 위치 어긋남을 검출하여, 하나의 워크에 대하여 다른 하나의 워크의 위치가 맞도록, 적어도 다른쪽의 유지 부재의 평면 방향의 위치를 조정한다. An operation of laminating a general flat type work is performed by first attaching a pressure-sensitive adhesive on one side of the work and bonding the other one via the pressure-sensitive adhesive. When joining another work, it is necessary to position one work held by one holding member and the other work held by the other holding member. For example, the position of the functional surface of the touch panel and the polarizing plate and the position of the display surface of the display panel must be aligned within the print frame of the cover panel. In this case, the positional deviation of the work held by both holding members is detected, and the position of at least the other holding member in the plane direction is adjusted so that the position of the other work is matched to the position of one work.

일본 특허 공개 제2012-190047호 공보Japanese Patent Laid-Open Publication No. 190047

이상과 같은 표시 장치용 부재를 사용한 전자 기기에 있어서, 케이스 측면 부분에는, 기기 조작용의 기계적인 스위치인 물리 버튼이 설치되어 있는 경우가 많다. 그러나 최근에는, 유연성이 높은 표시 장치용 부재를 사용하여, 케이스의 표면뿐만 아니라 케이스의 측면에도 표시 영역을 연장 설치하여, 측면 부분에서도 터치 패널에 닿는 것에 의한 조작을 가능하게 하는 제품이 존재한다. 이 경우, 표시 장치용 부재의 표면으로부터 측면에 걸쳐서는 곡면 형상으로 되어 있다. In the electronic device using the display device as described above, a physical button, which is a mechanical switch for machine operation, is often provided on the side surface of the case. In recent years, however, there has been a product capable of operating by touching the touch panel on the side surface by extending the display area not only on the surface of the case but also on the side surface of the case using a highly flexible display member. In this case, the display device member is curved from the surface to the side surface.

이러한 곡면을 갖는 워크를 접합하는 경우에는, 곡면을 따르는 오목면을 갖는 틀에 하나의 워크를 유지하고, 곡면을 따르는 볼록면을 갖는 틀에 다른 하나의 워크를 유지하고, 쌍방의 틀에 의해 한쌍의 워크를 사이에 두고 압착하는 것이 고려된다. 그러나, 한쪽 틀에 유지된 워크에, 다른쪽 틀에 유지된 워크의 위치를 맞추기 위해, 다른쪽 틀의 평면 방향의 위치나 각도를 바꾸면, 틀의 요철이 합치하지 않게 되어, 접합을 할 수 없게 된다.In the case of joining a work having such a curved surface, one work is held on a frame having a concave surface along a curved surface, and another work is held on a frame having a convex surface along the curved surface, It is conceivable to press the work piece therebetween. However, if the position and angle of the other frame in the plane direction are changed in order to align the position of the work held on the other frame with the work held on one frame, the unevenness of the frame will not be matched, do.

본 발명의 목적은, 곡면을 갖는 워크를 접합하는 경우의 워크의 위치 결정을 가능하게 하는 유지 장치, 위치 결정 장치 및 접합 장치를 제공하는 것에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a holding device, a positioning device, and a bonding device that enable positioning of a work when joining a work having a curved surface.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 유지 장치는, 곡면을 갖는 제1 워크를 유지하는 유지부와, 제2 워크를 상기 제1 워크의 곡면을 따르도록 압박하는 압박면을 가지며, 압박을 위해 상기 제1 워크를 상기 압박면에 대향시킨 상기 유지부에 대하여, 압박 방향에 교차하는 평면 방향의 상대 위치가 부동으로 설치된 압박부와, 상기 제2 워크의 상기 제1 워크에 대한 상기 평면 방향의 위치를 변화시킴으로써, 상기 제1 워크에 대하여 상기 제2 워크를 위치 결정하는 위치 결정부를 갖는다. In order to achieve the above object, the holding device of the present invention comprises: a holding portion for holding a first work having a curved surface; and a pressing surface for pressing the second work along the curved surface of the first work, A pressing portion provided on the holding portion opposite to the pressing surface of the first work so that the relative position in the planar direction crossing the pressing direction is floating; And a positioning portion for positioning the second work with respect to the first work by changing the position of the second work.

상기 위치 결정부는, 상기 평면 방향으로 가동으로 설치되고, 상기 제2 워크를 유지하는 제2 유지부와, 상기 제2 유지부를 상기 평면 방향으로 구동시키는 구동부를 갖고 있어도 좋다. The positioning portion may include a second holding portion movably installed in the planar direction for holding the second work and a driving portion for driving the second holding portion in the planar direction.

상기 제2 유지부는 상기 압박면 내에 설치되어 있어도 좋다. The second holding portion may be provided in the pressing surface.

상기 제2 유지부는 상기 압박면 밖에 설치되어 있어도 좋다. The second holding portion may be provided outside the pressing surface.

상기 제2 유지부는, 상기 제2 워크가 부착되는 부착부를 갖고 있어도 좋다. The second holding portion may have an attaching portion to which the second work is attached.

상기 부착부는, 감압에 의해 상기 제2 워크를 흡착하는 진공척을 갖고 있어도 좋다. The attaching portion may have a vacuum chuck for sucking the second work by a reduced pressure.

상기 부착부는, 상기 제2 워크를 부착시키는 점착제를 갖고 있어도 좋다. The attaching portion may have a pressure-sensitive adhesive for attaching the second work.

상기 제2 유지부는, 상기 제2 워크의 상기 평면 방향의 위치를 규제하는 규제부를 갖고 있어도 좋다. The second holding portion may have a restricting portion for restricting the position of the second work in the plane direction.

상기 규제부는, 상기 제2 워크에 형성된 구멍에 삽입 관통되는 돌출구를 갖고 있어도 좋다. The restricting portion may have a protrusion that is inserted into a hole formed in the second work.

상기 규제부는, 상기 제2 워크를 협지하는 협지부를 갖고 있어도 좋다. The restricting portion may have a gripping portion for gripping the second work.

상기 압박면에 의해 상기 제2 워크를 상기 제1 워크에 압박하기 전에, 상기 제2 워크를 상기 압박면에 밀착시키는 압착부를 갖고 있어도 좋다. And a pressing portion for pressing the second work against the pressing surface before pressing the second work against the first work by the pressing surface.

본 발명의 위치 결정 장치는, 상기 유지 장치와, 상기 위치 결정부를 동작시키기 위해, 상기 유지부와 상기 압박부 사이에서의 상기 제1 워크 및 상기 제2 워크의 위치 어긋남을 검출하는 검출 장치를 갖는다. The positioning apparatus of the present invention has the holding device and a detecting device for detecting a positional deviation of the first work and the second work between the holding section and the pressing section so as to operate the positioning section .

상기 검출 장치는, 상기 제1 워크 및 상기 제2 워크의 소정의 개소를 촬상하는 촬상부와, 상기 촬상부에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 상기 제1 워크 및 상기 제2 워크의 위치 어긋남을 검출하는 검출 장치를 갖고 있어도 좋다. The detection device includes an image pickup section for picking up a predetermined portion of the first work and the second work, and an image pickup section for picking up a positional deviation of the first work and the second work based on an image picked up by the image pickup section Or may be provided with a detecting device for detecting.

본 발명의 접합 장치는, 상기 유지 장치와, 상기 유지부 및 상기 압박부의 일방 또는 쌍방을 압박 방향으로 가압함으로써, 상기 제1 워크에 상기 제2 워크를 압박하는 압박 장치를 갖는다. The joining apparatus of the present invention has the pressing device for pressing the first workpiece against the second workpiece by pressing the holding device and one or both of the holding section and the pressing section in the pressing direction.

본 발명에 의하면, 곡면을 갖는 워크를 접합하는 경우의 워크의 위치 결정을 가능하게 하는 유지 장치, 위치 결정 장치 및 접합 장치를 제공할 수 있다. According to the present invention, it is possible to provide a holding device, a positioning device, and a bonding device that enable positioning of a work when joining a work having a curved surface.

도 1은 실시형태의 유지 대상이 되는 워크(W1)를 나타내는 사시도(A), 측면도(B)이다.
도 2는 실시형태의 유지 대상이 되는 워크(W2)를 나타내는 평면도이다.
도 3은 실시형태가 적용되는 접합 장치를 나타내는 개략 평면도이다.
도 4는 도 3의 접합 장치를 나타내는 측면도이다.
도 5는 실시형태의 유지 장치의 압박부 및 위치 결정 기구를 나타내는 부분 단면도이다.
도 6은 실시형태의 유지 장치를 나타내는 사시도이다.
도 7은 유지 장치의 압박부 및 위치 결정 기구를 나타내는 평면도이다.
도 8은 압박부에 대한 워크(W2) 장착을 나타내는 사시도이다.
도 9는 접합 장치의 제어 장치를 나타내는 블록도이다.
도 10은 압박 장치의 진공 챔버 대기시를 나타내는 측면도이다.
도 11은 압박 장치의 진공 챔버 하강시를 나타내는 측면도이다.
도 12는 압박 장치의 가압 헤드의 하강시를 나타내는 측면도이다.
도 13은 압박 장치의 대기 개방시를 나타내는 측면도이다.
도 14는 압박 장치의 진공 챔버 상승시를 나타내는 측면도이다.
도 15는 접합시의 압착부의 동작을 나타내는 단면도이다.
도 16은 다른 실시형태의 위치 결정부를 나타내는 평면도이다. 1 is a perspective view (A) and a side view (B) showing a workpiece W1 to be held in the embodiment.
2 is a plan view showing a work W2 to be held in the embodiment.
3 is a schematic plan view showing a bonding apparatus to which an embodiment is applied.
4 is a side view showing the bonding apparatus of Fig.
5 is a partial cross-sectional view showing a pressing portion and a positioning mechanism of the holding device according to the embodiment.
6 is a perspective view showing the holding device of the embodiment.
7 is a plan view showing a pressing portion and a positioning mechanism of the holding device.
8 is a perspective view showing the mounting of the work W2 to the pressing portion.
9 is a block diagram showing a control apparatus of a bonding apparatus.
10 is a side view showing a standby state of the pressing device in a vacuum chamber.
11 is a side view showing the lowering of the vacuum chamber of the pressing device.
12 is a side view showing the lowering of the pressing head of the pressing device.
Fig. 13 is a side view showing the opening of the pressing device to the atmosphere. Fig.
14 is a side view showing the pressurizing device in a vacuum chamber elevation.
15 is a cross-sectional view showing the operation of the crimping portion at the time of bonding.
16 is a plan view showing a positioning portion according to another embodiment;

본 발명의 실시의 형태(이하, 실시형태라고 함)에 관해, 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be described in detail with reference to the drawings.

[워크][work]

본 실시형태의 유지 대상이 되는 워크(W1) 및 워크(W2)를 설명한다. 워크(W1)는, 도 1의 (A)에 나타낸 바와 같이, 곡면(CS)을 갖는 부재이다. 곡면(CS)은, 후술하는 워크(W1)가 점착제(AD)를 개재시켜 접착되는 접착면(BS)의 일부를 구성하고 있다. 곡면(CS)은, 워크(W1)의 일부를 만곡 또는 굴곡하는 것에 의해 신장된 면과 반대측의 면이다. The work W1 and the work W2 to be held in this embodiment will be described. The work W1 is a member having a curved surface CS, as shown in Fig. 1 (A). The curved surface CS constitutes a part of the adhesive surface BS to which a workpiece W1 described later is adhered via the pressure-sensitive adhesive AD. The curved surface CS is a surface opposite to the stretched surface by curving or bending a part of the work W1.

예컨대, 워크(W1)는 사각형의 판형이며, 곡면(CS)은, 워크(W1)의 대향하는 한쌍의 측변부(SE)가 만곡 또는 굴곡되는 것에 의해 형성되어 있다. 접착면(BS)의 곡면(CS) 이외의 영역은 평탄면(FS)이다. 이 때문에, 도 1의 예에서는, 곡면(CS)과 평탄면(FS)에 의해 접착면(BS)이 구성되어 있다. For example, the work W1 is a rectangular plate, and the curved surface CS is formed by curving or bending a pair of opposing side edge portions SE of the work W1. The area other than the curved surface CS of the adhesive surface BS is the flat surface FS. Therefore, in the example of Fig. 1, the bonding surface BS is formed by the curved surface CS and the flat surface FS.

본 실시형태에서는, 워크(W1)로서, 표시 장치의 커버 패널을 이용한다. 커버 패널은, 표시 장치의 외장을 구성하는 투광성의 기판이다. 커버 패널의 재질은, 예컨대 유리나 아크릴이다. 커버 패널의 접착면(BS)에는, 차광성의 재료에 의한 인쇄 프레임(B)이 형성되어 있다. 도 1의 (A)에서의 검정색 영역은, 인쇄 프레임(B)의 영역이다. 인쇄는, 도 1의 (B)에 나타낸 바와 같이, 접착면(BS)측에 이루어져 있다. In the present embodiment, a cover panel of a display device is used as the work W1. The cover panel is a translucent substrate constituting the exterior of the display device. The material of the cover panel is, for example, glass or acrylic. A printing frame B made of a light shielding material is formed on the adhesive surface BS of the cover panel. The black area in Fig. 1 (A) is the area of the printing frame B. Fig. Printing is performed on the adhesive side (BS) side as shown in Fig. 1 (B).

인쇄 프레임(B)의 내측 가장자리에 둘러싸인 투광성이 있는 영역은, 표시 장치의 표시 부분을 외부로부터 시인 가능한 표시 영역(D)을 형성하고 있다. 표시 영역(D)은, 예컨대 직사각형이다. 단, 표시 영역(D)은, 평탄면(FS)으로부터 곡면(CS)에 미치는 영역까지 형성되어 있다. The translucent area surrounded by the inner edge of the printing frame B forms a display area D in which the display portion of the display device can be seen from the outside. The display area D is, for example, a rectangle. However, the display area D is formed from the flat surface FS to the area extending to the curved surface CS.

접착면(BS)에는, 도 1의 (B)에 나타낸 바와 같이 점착제(AD)가 접착되어 있다. 점착제(AD)의 접착은, 점착제(AD)가 박리 시트에 접착된 점착 시트를 이용한다. 워크(W1)에 점착제(AD)를 접착한 후 박리 시트를 박리함으로써, 워크(W1)의 접착면(BS)에 점착성을 부여할 수 있다. As shown in Fig. 1 (B), a pressure-sensitive adhesive AD is adhered to the adhesive surface BS. The pressure-sensitive adhesive (AD) is adhered using a pressure-sensitive adhesive sheet on which the pressure-sensitive adhesive (AD) is adhered to the release sheet. Adhesion can be imparted to the adhesive surface BS of the work W1 by peeling off the release sheet after adhering the adhesive agent AD to the work W1.

예컨대, 점착제(AD)는, 박리 시트에 접착된 OCA(Optical Clear Adhesive)를 이용한다. 점착제(AD)는, 예컨대, 아크릴계, 실리콘계, 우레탄계의 합성 수지이다. 박리 시트는, 실리콘, 그 밖의 수지를 이용하여, 점착제(AD)에 박리성을 부여한 필름이다. 표시 영역(D)에 점착제(AD)의 가장자리가 존재하면, 이 가장자리가 시인성을 저해한다. 이 때문에, 점착제(AD)는 적어도 표시 영역(D)을 덮는 영역에 접착된다. For example, the adhesive agent (AD) uses OCA (Optical Clear Adhesive) bonded to the release sheet. The pressure-sensitive adhesive (AD) is, for example, an acryl-based, silicone-based or urethane-based synthetic resin. The release sheet is a film to which the release property is imparted to the pressure-sensitive adhesive (AD) by using silicone or other resin. If the edge of the pressure-sensitive adhesive AD is present in the display area D, the edge deteriorates the visibility. Therefore, the pressure-sensitive adhesive AD is adhered to at least the region covering the display region D. [

워크(W2)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기와 같은 워크(W1)에 대하여 곡면(CS)을 따르도록 접착되는 평탄한 시트형의 부재이다. 본 실시형태에서는, 워크(W2)는, 기능 부재(M)와 박리 시트(P)를 점착제를 개재시켜 접합하는 것에 의해 구성되어 있다. 기능 부재(M)는, 표시 장치의 기능의 일부를 담당하는 부재이다. 기능 부재(M)는, 예컨대 편광판, 터치 패널, 표시 패널이다. 편광판은, 입사하는 방향에 따라서 광을 투과 또는 차폐하는 판이다. 터치 패널은, 표시 패널의 표시 화면을 투과하여 시인할 수 있고, 표시 화면에 대한 접촉을 검지하여 정보를 입력하는 입력 장치이다. 표시 패널은, 액정 패널(LED)이나 유기 EL 패널(OLED) 등의 표시 기능을 갖춘 패널이다. 기능 부재(M)는, 적어도 표시 영역(D)을 덮는 크기를 갖고 있다. As shown in Fig. 2, the work W2 is a flat sheet-like member adhered to the work W1 along the curved surface CS as described above. In the present embodiment, the workpiece W2 is constituted by bonding the functional member M and the release sheet P via an adhesive. The functional member (M) is a member responsible for part of the function of the display device. The functional member M is, for example, a polarizing plate, a touch panel, or a display panel. The polarizing plate is a plate that transmits or shields light in accordance with the incident direction. The touch panel is an input device that allows a display screen of a display panel to be viewed through the screen and detects contact with the display screen to input information. The display panel is a panel having a display function such as a liquid crystal panel (LED) or an organic EL panel (OLED). The functional member M has a size covering at least the display area D. [

박리 시트(P) 및 점착제는, 상기 박리 시트 및 점착제(AD)와 동일하다. 이러한 워크(W2)는, 곡면(CS)을 따르는 유연성을 갖고 있다. 이 때문에, 곡면(CS)에 대응하는 영역에서는, 기능 부재(M)도 곡면(CS)을 따라서 굴곡된다. 박리 시트(P)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 후술하는 유지 장치(2)에 장착할 때에 이용하는 한쌍의 구멍(H)을 갖고 있다. 본 실시형태에서는, 기능 부재(M) 및 박리 시트(P)는 사각형이며, 구멍(H)은 박리 시트(P)의 한쌍의 대향하는 변의 근방에 형성되어 있다. 예컨대, 박리 시트(P)의 짧은 변의 중앙에 구멍(H)이 형성되어 있다. 한쌍의 구멍(H)의 중심을 연결하는 직선은, 워크(W2)의 워크(W1)에 맞춰 만곡 또는 굴곡시키는 변과 평행하며, 워크(W2)의 중심을 통과한다. The release sheet (P) and the pressure-sensitive adhesive are the same as the release sheet and the pressure-sensitive adhesive (AD). Such a work W2 has flexibility along the curved surface CS. Therefore, in the area corresponding to the curved surface CS, the functional member M is also curved along the curved surface CS. As shown in Fig. 2, the release sheet P has a pair of holes H to be used for attachment to the holding device 2, which will be described later. In the present embodiment, the functional member M and the peeling sheet P are rectangular, and the hole H is formed in the vicinity of a pair of opposite sides of the peeling sheet P. For example, a hole H is formed at the center of the short side of the release sheet P. A straight line connecting the centers of the pair of holes H is parallel to the side curving or bending the workpiece W2 in accordance with the workpiece W1 and passes through the center of the workpiece W2.

[접합 장치][Attachment device]

[전체 구성][Overall configuration]

본 실시형태의 유지 장치(2)를 갖는 접합 장치의 전체 구성을 설명한다. 접합 장치는, 진공중에서 워크(W1)의 곡면(CS)을 포함하는 접착면(BS)에, 점착제(AD)를 개재시켜 워크(W2)를 접착하는 장치이다. 접합 장치는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 턴테이블(1) 위에 4대의 유지 장치(2)를 탑재하고 있다. 접합 장치는 인덱스 기구(110)를 갖는다. 인덱스 기구(110)는, 턴테이블(1)을 복수의 포지션에 맞춰 간헐 회전시키는 기구이다. 본 실시형태에서는, 인덱스 기구(110)는 모터 등의 구동원에 의해 턴테이블(1)을 회전시켜, 4대의 유지 장치(2)를, 투입 취출 포지션(1A), 위치 결정 포지션(1B), 플라즈마 처리 포지션(1C), 접합 포지션(1D)에 순차적으로 정지시킨다. The overall configuration of the bonding apparatus having the holding apparatus 2 of the present embodiment will be described. The bonding apparatus is a device for bonding the work W2 to the bonding surface BS including the curved surface CS of the work W1 in vacuum via the adhesive agent AD. As shown in Figs. 3 and 4, the bonding apparatus is provided with four holding devices 2 on a turntable 1. As shown in Fig. The joining apparatus has an index mechanism (110). The index mechanism 110 is a mechanism for intermittently rotating the turntable 1 in accordance with a plurality of positions. In this embodiment, the index mechanism 110 rotates the turntable 1 by a drive source such as a motor to move the four holding devices 2 in the loading take-out position 1A, the positioning position 1B, The position 1C and the bonding position 1D in sequence.

유지 장치(2)는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 워크(W1) 및 워크(W2)를 대향시켜 유지한다. 위치 결정 포지션(1B)에는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 워크(W1, W2)의 위치를 검출하는 검출 장치(55)가 설치되어 있다. 이 검출 장치(55)에 의해 검출된 워크(W1, W2)의 위치에 기초하여, 워크(W1)에 대한 워크(W2)의 위치 결정을 위한 이동량이 결정된다. As shown in Figs. 3 and 4, the holding device 2 holds and holds the work W1 and the work W2. In the positioning position 1B, as shown in Fig. 5, a detection device 55 for detecting the positions of the workpieces W1 and W2 is provided. Based on the positions of the workpieces W1 and W2 detected by the detection device 55, the amount of movement for positioning the workpiece W2 relative to the workpiece W1 is determined.

검출 장치(55)에 의한 워크(W1), 워크(W2)의 위치의 검출에는, 얼라인먼트 마크를 이용한다. 얼라인먼트 마크는, 도시는 하지 않지만, 가상적인 장방형 또는 정방형의 4 정점에 대응하여 워크(W1), 워크(W2)에 마련된 마크이다. 또, 워크(W1), 워크(W2), 표시 영역(D), 기능 부재(M)의 모서리를 얼라인먼트 마크로서 이용할 수도 있다.An alignment mark is used to detect the positions of the work W1 and the work W2 by the detecting device 55. [ The alignment mark is a mark provided on the work W1 and the work W2 corresponding to four vertices of a virtual rectangular or square shape, though not shown. The edges of the work W1, the work W2, the display area D, and the functional member M may be used as alignment marks.

접합 포지션(1D)에는, 도 4에 나타낸 바와 같이 압박 장치(8)가 설치되어 있다. 압박 장치(8)는, 진공 챔버(81) 내의 감압 공간에서 워크(W1)를 압박하여 워크(W2)측으로 이동시키는 것에 의해 양자를 접합할 수 있다. 이하, 각 부의 구성의 상세를 설명한다. The bonding position 1D is provided with a pressing device 8 as shown in Fig. The pressing device 8 can bond the workpiece W1 by pressing the workpiece W1 in the reduced pressure space in the vacuum chamber 81 and moving the workpiece W1 toward the workpiece W2 side. Hereinafter, the configuration of each part will be described in detail.

[유지 장치][Holding device]

유지 장치(2)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 스테이지(10), 유지부(20), 지지부(30), 압박부(40), 위치 결정부(50), 압착부(60)를 갖는다. 6, the holding device 2 has a stage 10, a holding portion 20, a supporting portion 30, a pressing portion 40, a positioning portion 50, and a pressing portion 60 .

(스테이지)(stage)

스테이지(10)는 수평한 평탄면을 갖는 대(臺)이다. 스테이지(10)는 턴테이블(1)에 탑재되어 있다. 스테이지(10) 위에는, 압박부(40), 위치 결정부(50)가 설치되는 대좌(11)가 고정되어 있다. 대좌(11)는 직방체 형상의 부재이며, 상부면이 평탄면으로 되어 있다. The stage 10 is a stage having a horizontal flat surface. The stage 10 is mounted on the turntable 1. On the stage 10, a pedestal 11 on which the pressing portion 40 and the positioning portion 50 are installed is fixed. The pedestal 11 is a member having a rectangular parallelepiped shape, and the upper surface is a flat surface.

(유지부)(Holding portion)

유지부(20)는 워크(W1)를 유지하는 장치이다. 유지부(20)는 곡면(CS)을 유지한 상태로 워크(W1)를 유지한다. 곡면을 유지한 상태란, 곡면이 평탄해지지 않는 상태를 말한다. 이러한 유지를 행하기 위해, 유지부(20)는, 틀(21), 지지판(22)을 갖는다. The holding portion 20 is a device for holding the work W1. The holding portion 20 holds the work W1 while maintaining the curved surface CS. A state in which a curved surface is maintained means a state in which the curved surface is not flat. In order to perform such maintenance, the holding portion 20 has a frame 21 and a support plate 22. [

틀(21)은, 워크(W1)의 접착면(BS)과 반대측의 면을 따르는 오목한 형상의 접촉면(21a)을 갖는 부재이다. 틀(21)은, 접촉면(21a)에 워크(W1)의 접착면(BS)의 반대측의 면에 합치한다. 접촉면(21a)에는, 도시하지 않은 점착 부재가 접착되어 있고, 점착척이 구성되어 있다. The frame 21 is a member having a concave shaped contact surface 21a along the surface opposite to the bonding surface BS of the work W1. The frame 21 conforms to the surface of the contact surface 21a opposite to the adhesion surface BS of the work W1. An adhesive member (not shown) is attached to the contact surface 21a, and an adhesive chuck is formed.

지지판(22)은 틀(21)을 지지하는 부재이다. 지지판(22)은 직방체 형상의 부재이며, 한쪽 평면에 틀(21)의 접촉면(21a)과 반대측의 면이 고정되어 있다. 틀(21)이 고정된 평면은, 접합시에는 하측으로 향한다. 지지판(22)의 일측면에는 베어링(22a)이 설치되어 있다. 베어링(22a)은, 지지판(22)의 한변에 평행한 축구멍을 갖는 한쌍의 돌출부이다. The support plate (22) is a member for supporting the frame (21). The support plate 22 is a rectangular parallelepiped member, and a surface opposite to the contact surface 21a of the frame 21 is fixed to one flat surface. The plane on which the mold 21 is fixed faces downward when joined. On one side of the support plate 22, a bearing 22a is provided. The bearing 22a is a pair of protrusions having a shaft hole parallel to one side of the support plate 22. [

(지지부)(Supporting portion)

지지부(30)는, 유지부(20)를 워크(W1)가 워크(W2)에 접촉 분리하는 방향으로 이동 가능해지도록 지지하는 장치이다. 본 실시형태의 지지부(30)는, 유지부(20)를 승강 가능하게 또한 회동 가능하게 지지한다. 지지부(30)는, 지주(31), 규제판(32), 샤프트(33)를 갖는다. 지주(31)는, 스테이지(10) 위에 수직 방향으로 세워진 3개의 막대형의 부재이다. The supporting portion 30 is a device for supporting the holding portion 20 such that the holding portion 20 can move in a direction in which the work W1 contacts and separates from the work W2. The support portion 30 of the present embodiment supports the holding portion 20 so as to be able to move up and down. The supporting portion 30 has a strut 31, a regulating plate 32, and a shaft 33. The pillars 31 are three bar-shaped members erected in a vertical direction on the stage 10.

규제판(32)은, 지주(31)의 상단에 수평 방향으로 부착되어, 지지판(22)의 회동을 규제하는 판이다. 샤프트(33)는, 수평 방향의 원기둥 형상의 부재이며, 2개의 지주(31)의 상부 사이에 걸쳐 부착되어 있다. 샤프트(33)는, 베어링(22a)의 축구멍에 삽입 관통됨으로써, 지지판(22)이 그 한변에 평행한 축을 중심으로 하여 회동 가능하게 지지되어 있다. The regulating plate 32 is horizontally attached to the upper end of the strut 31 and regulates the rotation of the supporting plate 22. [ The shaft 33 is a cylindrical member in the horizontal direction and is attached between the upper portions of the two pillars 31. [ The shaft 33 is inserted into the shaft yoke of the bearing 22a so that the support plate 22 is rotatably supported about an axis parallel to one side of the shaft.

이 샤프트(33)에 지지된 지지판(22)은, 워크(W1)를 장착하기 위해 틀(21)이 대략 수직 방향으로 세워진 장착 위치와, 워크(W1)를 워크(W2)에 접착하기 위해 틀(21)이 대략 수평 방향이 되는 대향 위치의 사이에서 회동한다. 그리고, 규제판(32)에는, 지지판(22)이 장착 위치로부터 회동하여 대향 위치에서 정지하도록, 지지판(22)의 가장자리에 맞닿는 돌출편인 스토퍼(32a)가 설치되어 있다. The support plate 22 supported on the shaft 33 is provided with a mounting position in which the frame 21 is set up in a substantially vertical direction to mount the work W1 and a mounting position in which the frame W1 is mounted in the frame (21) in the substantially horizontal direction. A stopper 32a is provided on the regulating plate 32 so as to abut against the edge of the supporting plate 22 so that the supporting plate 22 pivots from the mounting position and stops at the opposite position.

또한, 지지부(30)는, 지지판(22)과 함께 스테이지(10)에 승강 가능하게 설치되어 있다. 즉, 지지판(22)은, 접합을 하지 않은 초기 위치에서는, 스테이지(10)로부터 격리된 상측에 있다. 그리고, 회동시켜 수평 상태로 한 지지판(22)은, 압박 장치(8)에 의해 하측으로 압박됨으로써, 지주(31)와 함께 하강하여 워크(W1)와 워크(W2)의 접합을 행한다. The support portion 30 is provided on the stage 10 so as to be able to move up and down together with the support plate 22. That is, the support plate 22 is located on the upper side isolated from the stage 10 at the initial position where no bonding is performed. Then, the support plate 22, which is rotated and brought into a horizontal state, is pressed downward by the pressing device 8 to descend with the support 31 to join the work W1 and the work W2.

또, 지지부(30)는, 압박 장치(8)에 의한 압박으로부터 해방되면 초기 위치까지 상승한다. 이 때문에, 도시는 하지 않지만, 지주(31)에는, 지주(31)를 상측으로 가압하는 가압 부재가 접속되어 있다. 예컨대, 지주(31)를 가압 부재에 의해 항상 상측으로 가압해 두고, 압박 장치(8)에 의해 압박된 경우에는 가압 부재의 가압력에 대항하여 지주(31)가 하강하고, 해방된 경우에는 가압 부재의 가압력에 의해 상승하도록 구성한다. 가압 부재로는, 예컨대, 압축 스프링이나 실린더를 이용할 수 있다. Further, when the support portion 30 is released from the pressing by the pressing device 8, it rises to the initial position. For this reason, a pressing member for pressing the column 31 upward is connected to the column 31, though not shown. For example, when the pillars 31 are always urged upward by the urging member and the urging member is urged by the urging device 8, the pillars 31 are lowered against the urging force of the urging member, As shown in Fig. As the pressing member, for example, a compression spring or a cylinder can be used.

(압박부)(Pressing portion)

압박부(40)는 압박면(41)을 갖는 부재이다. 압박면(41)은, 워크(W2)를 워크(W1)의 곡면(CS)을 따르도록 압박하는 면이다. 곡면(CS)을 따른다는 것은, 곡면(CS)에 합치하는 형상이 되는 것을 말한다. 압박부(40)는 대략 직방체 형상이며, 그 상부면에 압박면(41)이 형성되어 있다. 압박면(41)은, 접착면(BS)을 따르는 형상을 갖고 있다. 접착면(BS)을 따르는 형상이란, 접착면(BS)에 압박되는 것에 의해 접착면(BS)을 닮는 형상을 말한다. 이 때문에, 압박면(41)은, 곡면(CS)을 따르는 곡면과, 평탄면(FS)을 따르는 평탄면을 갖고 있다. 이에 따라, 압박부(40)의 외관은 대략 생선묵형으로 되어 있다. 즉, 압박부(40)는, 오목한 형상의 틀(21)에 대향하는 볼록한 형상의 틀을 형성하고 있다. The pressing portion (40) is a member having a pressing surface (41). The pressing surface 41 is a surface for pressing the work W2 so as to follow the curved surface CS of the work W1. To follow the curved surface CS is to be a shape conforming to the curved surface CS. The pressing portion 40 has a substantially rectangular parallelepiped shape and a pressing surface 41 is formed on the upper surface thereof. The pressing surface 41 has a shape along the bonding surface BS. The shape along the bonding surface BS refers to a shape resembling the bonding surface BS by being pressed against the bonding surface BS. Therefore, the pressing surface 41 has a curved surface along the curved surface CS and a flat surface along the flat surface FS. Accordingly, the outer surface of the pressing portion 40 is substantially in a fish-like shape. That is, the pressing section 40 forms a convex-shaped frame opposed to the frame 21 having the concave shape.

본 실시형태에서는, 워크(W1)와 워크(W2) 사이에는 점착제(AD)가 개재하여, 압박면(41)에 의해 압박되는 워크(W2)는, 워크(W1)의 곡면(CS)과 함께 평탄면(FS)도 따르는 형태로 점착제(AD)에 밀착된다. 압박부(40)에는, 압박면(41)의 곡면이 형성된 변과 평행하며, 중심을 통과하는 직선형의 홈(42)이 형성되어 있다. 홈(42)은, 도 5에 나타낸 바와 같이 단면이 오목한 형상이다. The work W2 pressed by the pressing surface 41 is pressed against the curved surface CS of the work W1 The flat surface FS is also closely adhered to the pressure-sensitive adhesive AD. The pressing portion 40 is formed with a straight groove 42 passing through the center thereof and parallel to the side where the curved surface of the pressing surface 41 is formed. The groove 42 has a concave shape in section as shown in Fig.

또, 압박하기 위해서는, 워크(W1), 워크(W2)는 상대 이동하면 된다. 즉, 워크(W1) 또는 워크(W2)의 쌍방 또는 일방이 이동하면 된다. 본 실시형태에서는, 유지부(20)와 함께 틀(21)이 이동함으로써 워크(W1)가 이동하여, 스테이지(10)측에 설치된 압박부(40)에 의해 워크(W2)가 워크(W1)에 압박된다. 압박면(41)과 반대측의 면은, 대좌(11)에 고정된 평탄면으로 되어 있다. Further, in order to press it, the work W1 and the work W2 may be moved relative to each other. That is, both the work W1 and the work W2 or one of them may be moved. The work W1 is moved by the movement of the frame 21 together with the holding portion 20 and the work W2 is moved by the pressing portion 40 provided on the stage 10 side to the work W1, . The surface opposite to the pressing surface 41 is a flat surface fixed to the pedestal 11.

또한, 압박부(40)는, 압박을 위해 워크(W1)를 압박면(41)에 대향시킨 유지부(20)에 대하여, 압박 방향에 교차하는 평면 방향의 위치가 부동으로 설치되어 있다. 압박 방향이란, 유지부(20)와 압박부(40)가 접근 및 격리되는 방향이다. 본 실시형태에서는, 압박 방향은, 수평에 대향한 워크(W1), 워크(W2)에 직교하는 수직 방향이다. 이하, 이 방향을 Z 방향으로 한다. The pressing portion 40 is provided with a floating position in the plane direction crossing the pressing direction with respect to the holding portion 20 in which the work W1 is opposed to the pressing surface 41 for pressing. The pressing direction is a direction in which the holding portion 20 and the pressing portion 40 approach and separate from each other. In this embodiment, the pressing direction is the perpendicular direction perpendicular to the work W1 and the work W2 horizontally opposed to each other. Hereinafter, this direction is referred to as the Z direction.

압박 방향에 교차하는 평면 방향이란, 압박 방향에 교차하는 평면상의 선방향 및 회전(θ) 방향이다. 이하, 상기 평면 방향을 단순히 평면 방향으로 한다. 본 실시형태에서는, 평면 방향은 압박 방향에 직교하는 수평면상의 선방향 및 회전 방향이다. Z 방향의 축을 중심으로 하여, 이 축에 직교하는 방사 방향 및 θ 방향은 평면 방향에 포함된다. 본 실시형태의 평면 방향 중, 압박부(40)의 곡면이 형성된 변과 평행한 방향을 X 방향, 이것에 직교하는 방향을 Y 방향으로 한다. The plane direction crossing the pressing direction is a line direction and a rotation (?) Direction on a plane intersecting the pressing direction. Hereinafter, the planar direction is simply referred to as a planar direction. In the present embodiment, the plane direction is a line direction and a rotation direction on a horizontal plane perpendicular to the pressing direction. The radial direction and the? Direction perpendicular to the Z-axis are included in the plane direction. The direction parallel to the side on which the curved surface of the pressing portion 40 is formed is defined as the X direction and the direction perpendicular to the direction is defined as the Y direction in the planar direction of the present embodiment.

압박부(40)의 평면 방향의 상대 위치가 부동이란, 압박을 위해 대향하는 위치에 온 유지부(20)와의 평면 방향의 상대 위치가 일정한 것을 말한다. 본 실시형태에서는, 압박부(40)는, 전술한 대향 위치에서 정지한 상태의 유지부(20)의 틀(21)에 대향하는 위치에 고정되어 있다. 즉, 스테이지(10) 위에 설치된 대좌(11)의 상부면에 고정되어 있다. 압박부(40)는, 유지부(20)에 유지된 워크(W1)의 접착면(BS)에, 압박부(40)의 압박면(41)이 합치하는 방향에서 설치되어 있다. 합치한다는 것은, 워크(W1)의 가장자리와, 압박부(40)의 압박면(41)을 따르도록 유지된 워크(W2)의 가장자리가 충돌하지 않고, 워크(W1)에 워크(W2)가 감합하는 것을 말한다. The floating relative position of the pressing portion 40 in the plane direction means that the relative position in the plane direction with the ON holding portion 20 is constant at the opposed position for pressing. In this embodiment, the pressing portion 40 is fixed at a position opposed to the frame 21 of the holding portion 20 in a stopped state at the above-described opposed position. That is, on the upper surface of the pedestal 11 provided on the stage 10. The pressing portion 40 is provided in the direction in which the pressing surface 41 of the pressing portion 40 coincides with the bonding surface BS of the work W1 held by the holding portion 20. [ This means that the edge of the work W1 does not collide with the edge of the work W2 held along the pressing surface 41 of the pressing portion 40 and the work W2 is engaged with the work W1, .

또, 압박을 위해 유지부(20)와 압박부(40)가 대향한 경우에, 양자의 평면 방향의 상대 위치가 부동이면 되며, 워크(W1), 워크(W2)를 대향시키기 전에, 유지부(20), 압박부(40)의 평면 방향의 상대 위치가 변화해도 좋다. 예컨대, 유지부(20)는, 장착 위치로부터 대향 위치로 회동할 때, 대향 위치로부터 장착 위치로 회동할 때에는, 압박부(40)에 대한 평면 방향의 위치가 변화한다. 또한, 유지부(20), 압박부(40)의 쌍방 또는 일방이, 평면 방향으로 이동하여 대향 위치에 오는 경우에는, 이동시에 평면 방향의 상대 위치가 변화하는 경우가 있다. In the case where the holding portion 20 and the pressing portion 40 are opposed to each other for pressing, the relative positions of the both in the planar direction are made to be floated. Before the work W1 and the work W2 are opposed to each other, The relative position of the pressing portion 20 and the pressing portion 40 in the plane direction may be changed. For example, when the holding portion 20 is rotated from the mounting position to the opposed position and when rotating from the opposed position to the mounting position, the position in the plane direction with respect to the pressing portion 40 changes. When both the holding portion 20 and the pressing portion 40 move in the planar direction and come to the opposed position, the relative position in the planar direction may change at the time of the movement.

(위치 결정부)(Positioning unit)

위치 결정부(50)는, 워크(W2)의 워크(W1)에 대한 평면 방향의 위치를 변화시킴으로써, 워크(W1)에 대하여 워크(W2)를 위치 결정하는 장치이다. 평면 방향의 위치를 변화시킨다는 것은, 워크(W2)를 평면을 따라서 이동시키는 것을 말하며, Z 방향에 직교하는 직선 방향, 사행이나 원호형 등의 곡선 방향, 회동 방향의 이동을 포함한다. 위치 결정한다는 것은, 워크(W1)에 대한 워크(W2)의 평면 방향의 어긋남이 없는 상태로 하는 것을 말한다. The positioning unit 50 is an apparatus for positioning the workpiece W2 relative to the workpiece W1 by changing the position of the workpiece W2 in the plane direction with respect to the workpiece W1. Changing the position in the plane direction means moving the work W2 along the plane, and includes movement in a straight line direction orthogonal to the Z direction, a curved direction such as a meandering or arc-like shape, and a turning direction. Positioning means that the workpiece W2 does not deviate in the plane direction from the workpiece W1.

위치 결정부(50)는, 도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 유지부(51), 구동부(52)를 갖는다. 제2 유지부(51)는, 평면 방향으로 가동으로 설치되어 워크(W2)를 유지하는 부재이다. 본 실시형태에서는, 제2 유지부(51)는, 압박부(40) 및 스테이지(10)로부터 독립하여, 수평면상을 X 방향, Y 방향 및 θ 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 제2 유지부(51)는, 부착부(511), 규제부(512)를 갖는다. 부착부(511)는 워크(W2)가 부착되는 부재이다. 부착부(511)는 압박면(41) 내에 설치되어 있다. 즉, 부착부(511)는, 직방체 형상의 막대형의 부재이며, 압박면(41)에 형성된 홈(42)에 삽입되어 있다. 5 and 7, the positioning portion 50 has a second holding portion 51 and a driving portion 52. [ The second holding portion 51 is a member provided movably in the planar direction to hold the work W2. In this embodiment, the second holding portion 51 is provided so as to be movable in the X direction, the Y direction, and the? Direction on the horizontal plane independently of the pressing portion 40 and the stage 10. The second holding portion 51 has an attachment portion 511 and a restricting portion 512. The attachment portion 511 is a member to which the workpiece W2 is attached. The attachment portion 511 is provided in the pressing surface 41. That is, the attachment portion 511 is a rod-shaped rod-shaped member and is inserted into the groove 42 formed in the pressing surface 41. [

도 5에 나타낸 바와 같이, 부착부(511)의 외측면과 홈(42)의 내측면 사이에는 간극이 형성되어 있는 것에 의해, 부착부(511)의 평면 방향의 이동이 허용됨과 함께, 그 이동 범위가 홈(42)의 내측면에 의해 규제된다. 부착부(511)의 상부면은, 압박면(41)과 같은 높이로 되어 있다. 부착부(511)의 상부면에는, 도 7에 나타낸 바와 같이 흡착 구멍(511a)이 형성되어 있다. 흡착 구멍(511a)은, 감압 장치(53)(도 9 참조)에 접속되고, 워크(W2)를 흡착 유지하는 진공척이 구성되어 있다. 5, since a gap is formed between the outer surface of the attachment portion 511 and the inner surface of the groove 42, the movement of the attachment portion 511 in the plane direction is permitted, The range is regulated by the inner surface of the groove 42. The upper surface of the attachment portion 511 has the same height as the pressing surface 41. On the upper surface of the attachment portion 511, a suction hole 511a is formed as shown in Fig. The suction holes 511a are connected to the pressure reducing device 53 (see Fig. 9), and constitute a vacuum chuck for holding and holding the work W2.

규제부(512)는, 워크(W2)의 평면 방향의 위치를 규제하는 부재이다. 규제부(512)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 부착부(511)의 양단에 설치된 사각형의 평판이다. 규제부(512)의 상부면은 수평이며, 압박면(41)보다 낮은 위치에 설정되어 있다. 규제부(512)는, 도 5 및 도 7에 나타낸 바와 같이 한쌍의 돌출구(512a)를 갖는다. 돌출구(512a)는 직립한 원기둥 형상의 핀이다. The restricting portion 512 is a member for restricting the position of the work W2 in the plane direction. As shown in Fig. 7, the restricting portion 512 is a rectangular flat plate provided at both ends of the attaching portion 511. Fig. The upper surface of the restricting portion 512 is horizontal and set at a position lower than the pressing surface 41. The restricting portion 512 has a pair of projecting portions 512a as shown in Figs. The projecting portion 512a is an upright cylindrical pin.

한쌍의 돌출구(512a)의 간격과 각각의 직경은, 워크(W2)의 한쌍의 구멍(H)에 삽입되어 워크(W2)의 위치를 규제하도록 설정되어 있다. 예컨대, 한쌍의 돌출구(512a)의 축 사이의 거리가, 한쌍의 구멍(H)의 중심 사이의 거리와 대략 일치하도록 설치되고, 한쌍의 돌출구(512a)의 직경과 한쌍의 구멍(H)의 직경을 대략 일치하도록 설치한다. 또, 대략 일치하는 직경이란, 삽입이 원활해지도록 구멍(H)의 직경이 약간 크게 형성되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 도 7의 일점쇄선에 나타낸 바와 같이, 압박면(41)의 중앙을 길이 방향으로 관통하는 직선인 중심선과, 한쌍의 돌출구(512a)의 중심을 연결하는 직선은 일치하고 있다. The intervals and the respective diameters of the pair of projections 512a are set so as to be inserted into a pair of holes H of the work W2 to regulate the position of the work W2. For example, the distance between the axes of the pair of projections 512a is set to substantially coincide with the distance between the centers of the pair of holes H, and the diameter of the pair of projections 512a and the diameter of the pair of holes H As shown in FIG. The substantially coincident diameter also includes the case where the diameter of the hole H is formed to be slightly larger so that insertion is smooth. 7, a straight line connecting a straight line passing through the center of the pressing surface 41 in the longitudinal direction and a straight line connecting the centers of the pair of protruding portions 512a coincides with each other.

구동부(52)는, 도 5에 나타낸 바와 같이 제2 유지부(51)를 구동시키는 장치이다. 구동부(52)로는, XYθ 테이블을 이용할 수 있다. 예컨대, 수평의 선형 가이드를 따라서 이동하는 선형 슬라이더를 모터에 의해 회동하는 볼나사가 구동하는 구성을, 직교하는 방향으로 중첩하는 것에 의해, 제2 유지부(51)를 XY 방향으로 이동시키는 기구로 한다. 또한, 모터의 다이렉트 드라이브 또는 벨트 드라이브에 의해 회동하는 구동축에 의해, 제2 유지부(51)를 θ 방향으로 회동시키는 기구로 한다. The driving unit 52 is a device for driving the second holding unit 51 as shown in Fig. As the driving unit 52, an XY &thetas; table can be used. For example, a mechanism for moving the second holding portion 51 in the X and Y directions by superimposing the configuration in which the ball screw that rotates the linear slider moving along the horizontal linear guide by the motor is driven in the orthogonal direction do. Further, the second holding portion 51 is made to rotate in the &thetas; direction by a drive shaft that rotates by a direct drive of the motor or a belt drive.

구동부(52)는, 스테이지(10)의 하부에 배치되고, 구동축을 구성하는 샤프트(521)가, 홈(42)의 저면에 형성된 관통 구멍(41a), 스테이지(10) 및 대좌(11)에 형성된 관통 구멍(10a, 11a)을 관통하여, 부착부(511)의 저면에 접속되어 있다. 관통 구멍(41a, 10a, 11a)은, 샤프트(521)와의 사이에 수평 방향의 이동을 허용하는 여유분이 형성되어 있다. 이에 따라, 부착부(511)는, 홈(42) 내를 샤프트(521)와 함께 X 방향, Y 방향으로 이동한다. 또한, 샤프트(521)의 회동에 의해, 부착부(511)는 홈(42) 내를 상기와 같이 θ 방향으로 이동한다. 또, 구동부(52)는, 제2 유지부(51)를 평면 방향으로 이동시키는 기구라면 어떠한 기구이어도 좋다. The driving section 52 is disposed at a lower portion of the stage 10 and includes a shaft 521 constituting a driving shaft which is inserted into the through hole 41a formed in the bottom surface of the groove 42, Penetrates through the through holes 10a and 11a formed therein and is connected to the bottom surface of the attaching portion 511. [ The through holes (41a, 10a, 11a) are formed with a clearance allowing movement in the horizontal direction between the shaft (521) and the shaft (521). Thus, the attachment portion 511 moves the inside of the groove 42 together with the shaft 521 in the X direction and the Y direction. Further, by the rotation of the shaft 521, the attachment portion 511 moves in the groove 42 in the direction of? As described above. The driving portion 52 may be any mechanism as far as it is a mechanism for moving the second holding portion 51 in the plane direction.

(압착부)(Pressed portion)

압착부(60)는, 압박면(41)에 의해 워크(W2)를 워크(W1)에 압박하기 전에, 워크(W2)를 압박면(41)에 밀착시키는 구성부이다. 압박면(41)에 밀착이란, 워크(W2)의 워크(W1)에 접착되는 면과 반대측의 면이 압박면(41)을 따라 접하는 것을 말한다. 본 실시형태의 압착부(60)는, 워크(W2)의 대향하는 양쪽 가장자리를 누르는 것에 의해, 워크(W2)에 장력을 부여하여 압박면(41)에 밀착시킨다. The pressing portion 60 is a constituent portion that closely contacts the work W2 with the pressing surface 41 before the work W2 is pressed against the work W1 by the pressing surface 41. [ Tight contact with the pressing surface 41 means that the surface of the work W2 opposite to the surface to be bonded to the work W1 abuts against the pressing surface 41. [ The pressing portion 60 of the present embodiment applies tension to the work W2 and presses it against the pressing surface 41 by pressing both opposite edges of the work W2.

압착부(60)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 롤러(61, 62), 베어링부(63, 64), 가이드부(65), 압출부(66), 제1 가압부(67), 제2 가압부(68)를 갖는다. 롤러(61, 62)는, 직경이 작은 원기둥형의 부재이며, 각각 틀(21)의 대향하는 긴 변 방향의 측면을 따라서 설치되어 있다. 베어링부(63, 64)는, 롤러(61, 62)의 양단을 회전 가능하게 지지하는 부재이다. 가이드부(65)는, 베어링부(63)를 슬라이드 이동 가능하게 지지하는 부재이다. 이에 따라, 롤러(61, 62)는, 그 축에 직교하는 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. As shown in Fig. 6, the pressing portion 60 includes rollers 61 and 62, bearing portions 63 and 64, a guide portion 65, an extruding portion 66, a first pressing portion 67, 2 pressing portion 68, as shown in Fig. The rollers 61 and 62 are cylindrical members each having a small diameter and are provided along the side surface of the frame 21 facing each other in the longitudinal direction. The bearing portions 63 and 64 are members for rotatably supporting both ends of the rollers 61 and 62. The guide portion 65 is a member for supporting the bearing portion 63 so as to be slidable. Accordingly, the rollers 61 and 62 are provided so as to be movable in a direction perpendicular to the axis.

압출부(66)는, 지지판(22)의 롤러(61, 62)와는 반대측의 면에 설치되고, 압박 장치(8)의 진공 챔버(81)의 천장에 의해 압박되는 플레이트이다. 압출부(66)는, 지지판(22)을 관통하여, 가이드부(65)에 접속된 로드(66a)를 갖는다. 로드(66a)는 원기둥 형상의 부재이며, 압출부(66)가 압박되면, 롤러(61, 62)가 지지판(22)으로부터 격리되는 방향으로 이동한다. The extruded portion 66 is a plate which is provided on the surface of the support plate 22 opposite to the rollers 61 and 62 and is pressed by the ceiling of the vacuum chamber 81 of the pressing device 8. The extruded portion 66 has a rod 66a which passes through the support plate 22 and is connected to the guide portion 65. [ The rod 66a is a cylindrical member. When the pushing-out portion 66 is pressed, the rollers 61 and 62 move in the direction in which they are separated from the support plate 22. [

제1 가압부(67)는, 롤러(61, 62)를 서로 접근하여 폐쇄하는 방향으로 가압하는 부재이다. 제1 가압부(67)로는, 예컨대, 베어링부(63, 64)의 사이에 현가된 인장 스프링을 이용한다. 제2 가압부(68)는, 롤러(61, 62)를 지지판(22)측으로 가압하는 부재이다. 제2 가압부(68)로는, 예컨대, 압출부(66)과 지지판(22) 사이에 삽입된 압축 스프링을 이용한다. The first pressing portion 67 is a member for urging the rollers 61 and 62 toward each other in a closing direction. As the first pressing portion 67, for example, a tensile spring suspended between the bearing portions 63 and 64 is used. The second pressing portion 68 is a member for pressing the rollers 61 and 62 toward the support plate 22 side. As the second pressing portion 68, for example, a compression spring inserted between the extrusion portion 66 and the support plate 22 is used.

[검출 장치][Detection device]

검출 장치(55)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 위치 결정부(50)를 동작시키기 위해, 유지부(20)와 압박부(40) 사이에서의 워크(W1) 및 워크(W2)의 위치 어긋남을 검출하는 장치이다. 촬상부(56), 아암(57), 이동 기구(58)(도 9 참조)를 갖는다. 촬상부(56)는, 워크(W1) 및 워크(W2)의 소정의 개소를 촬상하는 장치이다. 소정의 개소는, 상기와 같이 얼라인먼트 마크이다. 촬상부(56)는, 카메라(561), 경통(562)을 갖는다. 카메라(561)는, 수광 소자를 촬상 디바이스로서 이용한 이미지 센서에 의해, 광학 신호를 전기 신호로 변환하는 장치이다. 경통(562)은, 상하의 2 방향으로부터의 광을 받아 카메라(561)에 출사하는 장치이다. 이에 따라, 카메라(561)는, 화살표로 나타낸 바와 같이, 상하의 2 시야의 촬상이 가능해진다. 5, the detection device 55 detects the position of the work W1 and the work W2 between the holding portion 20 and the pressing portion 40 in order to operate the positioning portion 50, Is a device for detecting misalignment. An imaging section 56, an arm 57, and a moving mechanism 58 (see Fig. 9). The imaging section 56 is an apparatus for imaging predetermined portions of the work W1 and the work W2. The predetermined position is an alignment mark as described above. The imaging section 56 has a camera 561 and a lens barrel 562. [ The camera 561 is an apparatus for converting an optical signal into an electric signal by an image sensor using a light-receiving element as an imaging device. The barrel 562 is a device that receives light from upper and lower two directions and outputs the light to the camera 561. As a result, the camera 561 can capture images in the upper and lower two fields, as indicated by the arrows.

아암(57)은, 촬상부(56)를 지지하는 장척의 부재이다. 이동 기구(58)는, 구동원 등을 가지며, 아암(57)을 이동시키는 것에 의해 촬상부(56)를 촬상 위치로 안내한다. 예컨대, 이동 기구(58)는, 촬상부(56)를 XYθ 방향으로 이동시키는 것에 의해, 유지 장치(2)와 격리되어 유지된 워크(W1)와 워크(W2) 사이에 촬상부(56)가 출납 가능하게 설치됨과 함께, 얼라인먼트 마크의 촬상이 가능한 위치에 위치 결정된다. The arm 57 is a long member that supports the imaging unit 56. The moving mechanism 58 has a driving source and the like and guides the imaging section 56 to the imaging position by moving the arm 57. [ For example, the moving mechanism 58 moves the imaging section 56 in the XY &thetas; direction so that the imaging section 56 is provided between the work W1 and the work W2 kept separated from the holding device 2 And is positioned at a position where imaging of the alignment mark is possible.

[플라즈마 처리 장치][Plasma Processing Apparatus]

플라즈마 처리 장치는, 도시는 생략하지만, 플라즈마 처리 포지션(1C)에 배치되는 장치이며, 워크(W1)와 워크(W2)의 서로 접합되는 면 중 적어도 한쪽 면을 플라즈마 처리하여 표면 개질한다. 플라즈마 처리 장치는, 질소, 산소, 아르곤 등의 처리용의 가스를 고전압이 인가된 전극 사이에 도입하고, 방전에 의해 활성화된 가스를 처리 대상 표면에 분무한다. 활성화된 가스가 분무된 워크(W1, W2)의 표면은 개질되어, 예컨대 접착제와의 밀착성이 향상된다. 본 실시형태에서는, 워크(W2)에 플라즈마 처리하는 예로 한다. Although not shown, the plasma processing apparatus is disposed in the plasma processing position 1C, and at least one surface of the work W1 and the work W2 bonded to each other is plasma-treated by surface modification. The plasma processing apparatus introduces a processing gas such as nitrogen, oxygen, argon, or the like between the electrodes to which a high voltage is applied, and sprays the gas activated by the discharge to the surface to be processed. The surfaces of the works W1 and W2 to which the activated gas is sprayed are modified to improve the adhesion with the adhesive, for example. In the present embodiment, it is assumed that the work W2 is subjected to plasma processing.

[압박 장치][Pressing device]

압박 장치(8)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 유지부(20)를 압박 방향으로 가압함으로써, 워크(W1)에 워크(W2)를 압박하는 장치이다. 압박 장치(8)는, 진공 챔버(81), 가압 헤드(82), 승강 기구(83) 및 압박 기구(84)를 갖는다. 진공 챔버(81)는, 스테이지(10)의 평탄면을 덮는 것에 의해 내부에 진공실을 형성하는 용기이다. 진공 챔버(81)는, 접합되는 워크(W1), 워크(W2)의 주위를 덮고 스테이지(10)와의 사이를 밀폐함으로써 진공실을 구성한다. 즉, 본 실시형태는, 진공중에서 워크(W1)에 점착제(AD)를 개재시켜 워크(W2)를 접착하기 위한 진공실을 갖는다. The pressing device 8 is a device for pressing the workpiece W2 against the workpiece W1 by pressing the holding portion 20 in the pressing direction as shown in Fig. The pressing device 8 has a vacuum chamber 81, a pressing head 82, a lifting mechanism 83 and a pressing mechanism 84. The vacuum chamber 81 is a container for covering the flat surface of the stage 10 to form a vacuum chamber therein. The vacuum chamber 81 constitutes a vacuum chamber by covering the periphery of the work W1 and the work W2 to be joined and sealing the space between the work W1 and the stage 10. [ That is, the present embodiment has a vacuum chamber for adhering the work W2 to the work W1 in vacuum via the pressure-sensitive adhesive AD.

진공 챔버(81)의 천장은, 하강하는 것에 의해 압착부(60)의 압출부(66)를 가압함으로써, 롤러(61, 62)를 하강시킨다. 진공 챔버(81)에는 감압 장치(81a)(도 9 참조)가 접속되어 있다. 감압 장치(81a)는, 진공실을 감압함으로써 진공으로 하는 장치이다. 감압 장치(81a)는, 도시는 하지 않지만, 배관, 진공 펌프 및 밸브를 갖는다. 배관은 일단이 진공실에 연통하고, 타단이 진공 펌프에 접속되어 있다. 진공 펌프는 진공실 내로부터 배기하는 배기장치이다. The ceiling of the vacuum chamber 81 lowers the rollers 61 and 62 by pressing down the extruded portion 66 of the crimping portion 60. A decompression device 81a (see Fig. 9) is connected to the vacuum chamber 81. Fig. The decompression device 81a is a device for decompressing the vacuum chamber to make it into a vacuum. The pressure-reducing device 81a has piping, a vacuum pump, and a valve (not shown). One end of the pipe communicates with the vacuum chamber, and the other end is connected to the vacuum pump. The vacuum pump is an exhaust device for evacuating from a vacuum chamber.

가압 헤드(82)는, 진공 챔버(81) 내에 설치되며, 유지 장치(2)의 지지부(30)를 하측으로 압박하는 장치이다. 가압 헤드(82)는, 평판형이며, 대향 위치가 된 지지판(22)을 하측으로 가압함으로써, 지지부(30)와 함께 하강시킨다. The pressure head 82 is installed in the vacuum chamber 81 and presses the support portion 30 of the holding device 2 downward. The pressurizing head 82 is a flat plate-shaped, and is lowered together with the support portion 30 by pressing the support plate 22, which is in the opposite position, downward.

승강 기구(83)는, 진공 챔버(81)를 가압 헤드(82)와 함께 승강시키는 기구이다. 승강 기구(83)는, 예컨대, 수직 방향의 가이드 레일과 구동원에 의해 회동하는 볼나사에 의해 수직 방향으로 이동하는 블록을 가지며, 이 블록에 진공 챔버(81)가 접속되어 있다. 또, 진공 챔버(81)가 스테이지(10)에 접하여 밀봉하는 위치까지 하강하면, 그 내부의 천장이 압출부(66)에 접하여 압착부(60)의 압출부(66)를 압박함으로써 롤러(61, 62)를 하강시킨다(도 11 참조). The elevating mechanism 83 is a mechanism for elevating and lowering the vacuum chamber 81 together with the pressure head 82. The lifting mechanism 83 has, for example, blocks vertically moving by a ball screw pivoted by a guide rail and a drive source in a vertical direction, and a vacuum chamber 81 is connected to this block. When the vacuum chamber 81 is lowered to the sealing position in contact with the stage 10, the ceiling of the vacuum chamber 81 is pressed against the extruded portion 66 of the pressed portion 60 in contact with the extruded portion 66, , 62 (see Fig. 11).

압박 기구(84)는, 가압 헤드(82)를 진공 챔버(81)와는 독립적으로 승강시키는 기구이다. 압박 기구(84)는, 예컨대 실린더에 의해 수직 방향으로 진퇴하는 구동 로드를 가지며, 이 구동 로드에 가압 헤드(82)가 접속되어 있다. 가압 헤드(82)가 하강하면, 유지 장치(2)의 지지판(22)이 압박되어 하강한다(도 12 참조). 즉, 가압 헤드(82)는, 이격되어 배치되는 한쌍의 압출부(66) 사이에 진입하고, 지지판(22)에 접촉하여 압박한다. The pressing mechanism 84 is a mechanism for vertically moving the pressing head 82 independently of the vacuum chamber 81. The pressing mechanism 84 has, for example, a driving rod that moves back and forth in the vertical direction by a cylinder, and the pressing head 82 is connected to the driving rod. When the pressure head 82 is lowered, the support plate 22 of the holding device 2 is pressed and lowered (see Fig. 12). That is, the pressurizing head 82 enters between the pair of extruded portions 66 spaced apart and presses against the support plate 22.

[제어 장치][controller]

제어 장치(9)는, 상기 접합 장치의 각 부의 동작을 제어하는 장치이다. 제어 장치(9)는, 예컨대, 전용의 전자 회로 또는 소정의 프로그램으로 동작하는 컴퓨터 등에 의해 구성할 수 있다. 제어 장치(9)에는 각 부의 제어 내용이 프로그램되어 있고, PLC나 CPU 등의 처리 장치에 의해 실행된다. The control device 9 is an apparatus for controlling the operation of each part of the bonding apparatus. The control device 9 can be constituted by, for example, a dedicated electronic circuit or a computer operating with a predetermined program. The control unit 9 is programmed with control contents of each part and is executed by a processing device such as a PLC or a CPU.

이러한 제어 장치(9)의 구성을, 가상적인 기능 블록도인 도 9를 참조하여 설명한다. 즉, 제어 장치(9)는, 기구 제어부(91), 검출부(92), 기억부(93), 입출력 제어부(94)를 갖는다. The configuration of the control device 9 will be described with reference to Fig. 9, which is a virtual functional block diagram. That is, the control device 9 has a mechanism control section 91, a detection section 92, a storage section 93, and an input / output control section 94.

기구 제어부(91)는, 접합 장치의 각 부의 기구를 제어하는 처리부이다. 예컨대, 기구 제어부(91)는, 인덱스 기구(110)의 간헐 회전 동작, 위치 결정부(50)의 구동부(52)의 동작, 감압 장치(53)의 동작, 촬상부(56)의 촬상, 이동 기구(58)의 동작, 감압 장치(81a)의 동작, 승강 기구(83)의 동작, 압박 기구(84)의 동작을 제어한다. The mechanism control section 91 is a processing section for controlling the mechanism of each section of the bonding apparatus. For example, the mechanism control section 91 controls the intermittent rotation operation of the index mechanism 110, the operation of the driving section 52 of the positioning section 50, the operation of the decompression device 53, the imaging of the imaging section 56, The operation of the mechanism 58, the operation of the decompressor 81a, the operation of the lifting mechanism 83, and the operation of the pressing mechanism 84 are controlled.

검출부(92)는, 촬상부(56)에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 워크(W1)와 워크(W2)의 어긋남을 보정하는 보정량을 검출한다. 검출부(92)는, 추출부(921), 산출부(922)를 갖는다. 추출부(921)는, 촬상부(56)에 의해 촬상된 화상으로부터, 워크(W1), 워크(W2)의 각 얼라인먼트 마크의 위치를 특정하는 1점의 좌표를 추출한다. 얼라인먼트 마크의 추출은 일반적인 화상 처리에 의해 실현된다. The detection unit 92 detects a correction amount for correcting the deviation between the work W1 and the work W2 based on the image picked up by the image pickup unit 56. [ The detecting unit 92 has an extracting unit 921 and a calculating unit 922. The extraction unit 921 extracts a coordinate of one point specifying the positions of the alignment marks of the work W1 and the work W2 from the image picked up by the imaging unit 56. [ Extraction of the alignment mark is realized by general image processing.

산출부(922)는, 추출된 얼라인먼트 마크의 좌표에 기초하여, 워크(W1)와 워크(W2)의 위치 어긋남의 보정량을 산출한다. 예컨대, 워크(W1)와 워크(W2)의 각각의 4점의 얼라인먼트 마크 중, 대각 2점의 중점을 워크(W1)와 워크(W2)의 무게 중심 좌표로서 산출한다. 또한, 워크(W1)와 워크(W2)의 각각의 4점의 얼라인먼트 마크 중, 긴 변 또는 짧은 변의 2점을 연결하는 직선의 기울기를 워크(W1)와 워크(W2)의 기울기로서 산출한다. The calculation unit 922 calculates the amount of correction of the positional deviation between the work W1 and the work W2 based on the coordinates of the extracted alignment mark. For example, among the four alignment marks of the work W1 and the work W2, the center point of two diagonal points is calculated as the center of gravity coordinates of the work W1 and the work W2. The slope of the line connecting the two points on the longer side or the shorter side among the four alignment marks of the work W1 and the work W2 is calculated as the slope of the work W1 and the work W2.

그리고, 산출부(922)는, 워크(W1)와 워크(W2)의 무게 중심 좌표와 기울기가 일치하는 워크(W2)의 이동량을 구한다. 즉, 워크(W1)의 무게 중심 좌표에 워크(W2)의 무게 중심 좌표를 일치시키기 위한 구동부(52)의 X 방향 및 Y 방향의 동작량을 산출한다. 또한, 워크(W1)와 워크(W2)의 기울기를 일치시키기 위한 구동부(52)의 θ 방향의 동작량을 산출한다. 이 동작량에 기초하여, 기구 제어부(91)는 구동부(52)를 동작시킨다. The calculation unit 922 calculates the amount of movement of the work W2 whose center of gravity and the slope of the work W1 and the work W2 coincide with each other. That is, the amount of movement in the X and Y directions of the driving unit 52 for matching the center of gravity of the work W2 to the center of gravity of the work W1 is calculated. Further, the operation amount of the driving unit 52 for matching the tilt of the work W1 with the tilt of the work W2 is calculated. Based on this amount of operation, the mechanism control section 91 operates the driving section 52.

기억부(93)는, 본 실시형태의 처리에 필요한 정보를 기억한다. 이러한 정보로서, 촬상부(56)에 의해 촬상된 화상, 얼라인먼트 마크의 좌표, 무게 중심 좌표, 기울기, 구동부(52)의 동작량을 포함한다. The storage unit 93 stores information necessary for the processing of the present embodiment. Such information includes an image picked up by the image pickup section 56, coordinates of an alignment mark, coordinates of a center of gravity, a tilt, and an operation amount of the driving section 52.

입출력 제어부(94)는, 제어 대상이 되는 각 부와의 사이에서의 신호의 변환이나 입출력을 제어하는 인터페이스이다. The input / output control unit 94 is an interface for controlling conversion and input / output of signals between the units to be controlled.

또한, 제어 장치(9)는, 입력 장치(95), 출력 장치(96)를 갖는다. 입력 장치(95)는, 오퍼레이터가 본 실시형태의 처리에 필요한 정보나 기억부(93)에 기억되는 정보를 입력하기 위한 스위치, 터치 패널, 키보드, 마우스 등의 장치이다. 출력 장치(96)는, 오퍼레이터가 본 실시형태의 상태를 확인하기 위한 디스플레이, 램프, 미터 등의 장치이다. 예컨대, 디스플레이의 화면에, 촬상부(56)에 의해 촬상된 화상, 얼라인먼트 마크의 좌표, 무게 중심 좌표, 기울기, 구동부(52)의 동작량을 표시해도 좋다. The control device 9 also has an input device 95 and an output device 96. The input device 95 is a device such as a switch, a touch panel, a keyboard, and a mouse for allowing the operator to input information necessary for the processing of the present embodiment and information stored in the storage unit 93. [ The output device 96 is a device such as a display, a lamp, and a meter for the operator to confirm the state of the present embodiment. For example, an image captured by the imaging unit 56, coordinates of the alignment mark, center of gravity coordinates, tilt, and the amount of operation of the driving unit 52 may be displayed on the screen of the display.

[동작][action]

이상과 같은 본 실시형태에 의한 접합 동작을 이하에 설명한다. 또, 이하에 설명하는 순서로 접합 장치를 제어하는 방법 및 제어 장치(9)를 동작시키는 컴퓨터 프로그램도 본 발명의 일양태이다. The bonding operation according to this embodiment as described above will be described below. A method for controlling the bonding apparatus in the order described below and a computer program for operating the control apparatus 9 are also an aspect of the present invention.

(워크(W1)의 장착)(Mounting of work W1)

작업자는, 도 3에 나타내는 투입 취출 포지션(1A)에 있어서, 워크(W1)를 틀(21)에 장착한다. 즉, 워크(W1)의 신장한 측의 면(곡면(CS)을 구비하는 면과는 반대측의 면)을, 틀(21)의 위치에 맞춰 압박하는 것에 의해, 점착척에 의해 워크(W1)를 틀(21)에 유지시킨다(도 6 참조). 또, 워크(W1)의 장착시에, 지그를 이용하여 위치 결정할 수 있다. 예컨대, 워크(W1)의 짧은 변 방향(도 6의 상태에서의 Z 방향)의 위치는, 워크(W1)를 압박함에 따라서 곡면(CS)에 의해 위치 결정되기 때문에, 워크(W1)의 긴 변 방향(도 6의 상태에서의 X 방향)의 위치 결정에 지그를 이용하는 것이 좋다. 워크(W1)의 접착면(BS)에 박리 시트와 함께 점착제(AD)가 접착되어 있는 경우, 박리 시트를 박리한다. The worker mounts the work W1 to the frame 21 in the injection taking-out position 1A shown in Fig. That is, the work W1 is pressed by the adhesive chuck by pressing the face of the work W1 on the extended side (the face opposite to the face having the curved face CS) (See Fig. 6). When the workpiece W1 is mounted, it can be positioned using a jig. For example, since the position of the work W1 in the short side direction (Z direction in the state of FIG. 6) is positioned by the curved surface CS as it presses the work W1, It is preferable to use a jig for positioning in the direction (the X direction in the state of Fig. 6). When the pressure sensitive adhesive (AD) is adhered to the adhesive surface (BS) of the work (W1) together with the release sheet, the release sheet is peeled off.

(워크(W2)의 장착)(Mounting of workpiece W2)

또한, 작업자는, 도 7에 나타낸 바와 같이 워크(W2)를 압박부(40)에 장착한다. 이 장착은, 도 8에 나타낸 바와 같이, 워크(W2)의 기능 부재(M)를 위로 하여, 위치 결정부(50)의 규제부(512)에 설치된 돌출구(512a)를 구멍(H)에 삽입함으로써 행한다. 이에 따라, 워크(W2)가 부착부(511)에 대하여 위치 결정되고, 압박부(40)에 대하여 제1 단계의 위치 결정이 된다. Further, the worker mounts the work W2 to the pressing portion 40 as shown in Fig. 8, the function member M of the workpiece W2 is raised, and a protrusion 512a provided in the regulating portion 512 of the positioning portion 50 is inserted into the hole H, . As a result, the work W2 is positioned with respect to the attaching portion 511, and positioning with respect to the urging portion 40 is made in the first step.

(지지판의 회동)(Rotation of the support plate)

작업자는, 지지판(22)의 가장자리에 스토퍼(32a)가 접촉할 때까지 유지부(20)를 회동시켜 대향 위치로 한다. 이에 따라, 도 5에 나타낸 바와 같이, 틀(21) 및 이것에 장착된 워크(W1)가 수평 상태로 워크(W2)에 대향한다. 워크(W2)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 규제부(512)에 장착되어 있는 것에 의해, 워크(W1)에 대한 기본적인 위치 결정이 이루어져 있음과 함께, 워크(W1)에 대한 위치 어긋남이 방지되어 있다. The worker rotates the holding portion 20 until the stopper 32a comes into contact with the edge of the support plate 22 to bring it into the opposed position. Thus, as shown in Fig. 5, the frame 21 and the work W1 mounted thereon are opposed to the work W2 in a horizontal state. 7, since the work W2 is mounted on the restricting portion 512, the work W2 is basically positioned with respect to the work W1, and the positional deviation of the work W1 with respect to the work W1 is prevented .

(워크의 위치 결정) (Positioning the work)

상기와 같이 워크(W1), 워크(W2)를 유지한 유지 장치(2)가, 턴테이블(1)의 회전에 의해 위치 결정 포지션(1B)으로 온다. 그리고, 감압 장치(53)에 의해, 부착부(511)의 상부면의 흡착 구멍(511a)이 부압이 되고 진공척이 기능하기 때문에, 워크(W2)가 흡착 유지된다. As described above, the holding device 2 holding the work W1 and the work W2 comes to the positioning position 1B by the rotation of the turntable 1. [ The pressure reduction device 53 causes the suction hole 511a on the upper surface of the attachment portion 511 to become negative pressure and the vacuum chuck function so that the workpiece W2 is attracted and held.

그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 이동 기구(58)(도 9 참조)에 의해 아암(57)을 이동시키는 것에 의해, 촬상부(56)를, 서로 대향하는 워크(W1), 워크(W2)의 사이에 삽입하고, 얼라인먼트 마크를 촬상 가능한 위치에 순차적으로 정지시킨다. 이 정지마다, 촬상부(56)는, 워크(W1), 워크(W2)의 얼라인먼트 마크를 촬상한다. 촬상된 화상은 제어 장치(9)에 입력된다. 5, by moving the arm 57 by the moving mechanism 58 (see Fig. 9), the imaging section 56 is moved to the position where the work W1, the work W2, And sequentially stops the alignment mark at a position where imaging is possible. At each stop, the imaging section 56 picks up the alignment marks of the work W1 and the work W2. The picked-up image is input to the control device 9.

검출부(92)의 추출부(921)는, 촬상한 화상으로부터 얼라인먼트 마크의 좌표를 추출한다. 산출부(922)는, 추출된 얼라인먼트 마크의 좌표로부터, 워크(W1)에 대한 워크(W2)의 위치의 보정량을 산출한다. The extraction unit 921 of the detection unit 92 extracts the coordinates of the alignment mark from the captured image. The calculation unit 922 calculates the correction amount of the position of the work W2 with respect to the work W1 from the coordinates of the extracted alignment mark.

기구 제어부(91)는, 산출된 보정량에 기초하는 동작을 구동부(52)에 지시한다. 이에 따라, 구동부(52)가, 도 7에 나타낸 바와 같이, 보정량에 따른 X 방향, Y 방향의 이동량 및 θ 방향의 회동량으로 동작한다. 이 때문에, 부착부(511)에 흡착된 워크(W2)는, 워크(W1)에 대한 어긋남이 보정되도록 위치가 변화한다. 이에 따라, 워크(W1)에 대하여 워크(W2)가 위치 결정된다. The mechanism control section 91 instructs the driving section 52 to perform an operation based on the calculated correction amount. Accordingly, as shown in Fig. 7, the driving section 52 operates in the amounts of movement in the X and Y directions and the rotation in the [theta] direction according to the correction amount. Therefore, the position of the work W2 adsorbed by the attaching section 511 changes so that the deviation of the work W1 with respect to the work W1 is corrected. Thus, the work W2 is positioned with respect to the work W1.

(플라즈마 처리) (Plasma treatment)

상기와 같이 워크(W1), 워크(W2)의 위치 결정이 이루어진 유지 장치(2)가, 턴테이블(1)의 회전에 의해 플라즈마 처리 포지션(1C)으로 온다. 그리고, 도시하지 않은 플라즈마 처리 장치가, 서로 대향하는 워크(W1), 워크(W2)의 사이에 진입하여, 워크(W2)의 상면, 보다 상세하게는 기능 부재(M)의 상면을 플라즈마 처리한다. The holding device 2 in which the work W1 and the work W2 are positioned as described above comes to the plasma processing position 1C by the rotation of the turntable 1. [ Then, a plasma processing apparatus (not shown) enters between the work W1 and the work W2 opposed to each other, and plasma-processes the upper surface of the work W2, more specifically, the upper surface of the functional member M .

(접합)(join)

다음으로, 워크(W1), 워크(W2)를 유지한 유지 장치(2)가, 턴테이블(1)의 회전에 의해 접합 포지션(1D)으로 온다. 이에 따라, 도 10에 나타낸 바와 같이, 유지 장치(2)는, 압박 장치(8)의 상승한 진공 챔버(81)의 하측으로 온다. Next, the holding device 2 holding the workpiece W1 and the workpiece W2 comes to the bonding position 1D by the rotation of the turntable 1. Thus, as shown in Fig. 10, the holding device 2 comes to the lower side of the vacuum chamber 81 in which the pressing device 8 is raised.

압박 장치(8)의 승강 기구(83)는, 도 11에 나타낸 바와 같이, 진공 챔버(81)를 스테이지(10)에 접하여 밀폐하는 위치까지 하강시킨다. 그렇게 되면, 진공 챔버(81)의 천장이 압착부(60)의 압출부(66)를 압박하기 때문에, 도 15의 (A)에 나타낸 바와 같이, 틀(21)의 측면에 접해 있던 롤러(61, 62)가 제2 가압부(68)의 가압력에 대항하여 하강한다. The elevating mechanism 83 of the pressing device 8 moves the vacuum chamber 81 down to a position for sealing the stage 10 as shown in Fig. 15 (A), since the ceiling of the vacuum chamber 81 presses the extruded portion 66 of the press portion 60, the roller 61 that is in contact with the side surface of the mold 21 , 62 are lowered against the pressing force of the second pressing portion 68.

이에 따라, 도 15의 (B)에 나타낸 바와 같이, 롤러(61, 62)는, 회동하면서 틀(21)의 측면으로부터 하측으로 떨어진다. 또한, 롤러(61, 62)는, 압박부(40)의 압박면(41) 위의 워크(W2)를 압박하면서 압박부(40)의 측면으로 이동한다. 롤러(61, 62)는, 제1 가압부(67)의 가압력에 의해 서로 근접하는 방향으로 가압되고 있기 때문에, 압박부(40)의 양 측면을 사이에 끼워 압력을 가하면서 하측으로 이동한다. 이에 따라, 워크(W2)의 양단측을 인장하도록 장력이 부여되어, 워크(W2)가 압박면(41)에 밀착된다. 또, 롤러(61, 62)가 지나치게 접근하면, 예컨대 서로 접촉할 때까지 폐쇄해 버리면, 밀어 내리는 것만으로는 압박부(40)를 사이에 끼워 하강할 수 없다. 이 때문에, 롤러(61, 62)는, 제1 가압부(67)에 의해 근접하는 방향으로 가압되고 있지만, 도시하지 않은 스토퍼에 의해 서로의 간격이 압박부(40)의 폭보다 소정량 좁은 간격에서 정지하도록 되어 있다. 소정량 좁다는 것은, 압박부(40)의 곡면에 각각 대향하는 위치에 있는 상태이다. 압박부(40)의 곡면이란, 압박부(40)에 있어서 X 방향을 따르는 2개의 측변부의 각각에 형성된 곡면이며, 틀(21)에 유지된 워크(W1)의 곡면(CS)에 대응하는 곡면이다. Thus, as shown in Fig. 15 (B), the rollers 61 and 62 fall downward from the side surface of the frame 21 while rotating. The rollers 61 and 62 move to the side surface of the pressing portion 40 while pressing the work W2 on the pressing surface 41 of the pressing portion 40. [ Since the rollers 61 and 62 are pressed in a direction close to each other by the pressing force of the first pressing portion 67, the rollers 61 and 62 move downward while applying pressure to both sides of the pressing portion 40. As a result, a tension is applied so as to pull both ends of the work W2, and the work W2 is brought into close contact with the pressing surface 41. [ If the rollers 61 and 62 are too close to each other, for example, they are closed until they come into contact with each other, the rollers 61 and 62 can not be lowered with the pressing portion 40 interposed therebetween. Therefore, the rollers 61 and 62 are pressed in the direction of approach by the first pressing portion 67, but the distance between the rollers 61 and 62 is smaller than the width of the pressing portion 40 by a predetermined amount As shown in FIG. The predetermined amount is narrowed in a state in which it is in a position facing each of the curved surfaces of the pressing portion 40. [ The curved surface of the pressing portion 40 is a curved surface formed on each of the two side portions along the X direction in the pressing portion 40 and is a curved surface corresponding to the curved surface CS of the work W1 held by the frame 21. [ to be.

감압 장치(81a)는, 진공실을 감압함으로써 진공으로 한다. 압박 기구(84)는, 도 12에 나타낸 바와 같이, 가압 헤드(82)를 하강시킴으로써 유지부(20)의 지지판(22)을 압박한다. 그렇게 되면, 도 15의 (C)에 나타낸 바와 같이, 지지판(22)과 함께 틀(21)이 하강하여 압박부(40)의 압박면(41)을 따르기 때문에, 워크(W1)의 곡면(CS)을 포함하는 접착면(BS)을 따르도록, 점착제(AD)를 개재하여 워크(W2)가 접착된다. The pressure-reducing device 81a is evacuated by evacuating the vacuum chamber. The pressing mechanism 84 presses the supporting plate 22 of the holding portion 20 by lowering the pressing head 82 as shown in Fig. 15 (C), since the frame 21 is lowered along with the support plate 22 and follows the pressing surface 41 of the pressing portion 40, the curved surface CS of the work W1 The work W2 is bonded via the adhesive agent AD so as to follow the adhesive surface BS including the adhesive agent AD.

접합후, 도시하지 않은 밸브 등에 의해 진공 상태를 해제하고, 대기 개방하여, 도 13에 나타낸 바와 같이, 승강 기구(83)가 진공 챔버(81)를 상승시킨다. 이 때, 압박 기구(84)는 가압 헤드(82)에 의한 가압을 유지한다. 그렇게 되면, 압착부(60)의 압출부(66)에 대한 압박이 해제되기 때문에, 제2 가압부(68)의 가압력에 의해 롤러(61, 62)가 상승한다. 롤러(61, 62)는, 도 15의 (D)에 나타낸 바와 같이, 압박부(40)의 측면으로부터 틀(21)의 측면으로 이동하여 워크(W2)에 대한 압착을 해제한다. After the bonding, the vacuum state is released by a valve or the like (not shown), and is released to the atmosphere, and the lifting mechanism 83 raises the vacuum chamber 81 as shown in Fig. At this time, the pressing mechanism 84 holds the pressing by the pressing head 82. As a result, since the pressing of the pressing portion 60 against the pressing portion 66 is released, the pressing force of the second pressing portion 68 causes the rollers 61 and 62 to rise. The rollers 61 and 62 move from the side surface of the pressing portion 40 to the side surface of the mold 21 as shown in Fig. 15D and release the squeezing of the work W2.

압박 기구(84)는, 도 14에 나타낸 바와 같이, 가압 헤드(82)를 상승시키는 것에 의해 유지부(20)의 지지판(22)에 대한 압박을 해제한다. 그리고, 지지부(30)의 지주(31)가 상승하는 것에 의해 지지판(22)이 상승한다. 그렇게 되면, 도 15의 (E)에 나타낸 바와 같이, 틀(21)과 함께, 워크(W1) 및 이것에 접합된 워크(W2)도 상승한다. 또, 그 후 다시 승강 기구(83)가 구동하여, 진공 챔버(81)를 최초의 위치까지 상승시킨다. The pressing mechanism 84 releases the pressing of the holding portion 20 against the supporting plate 22 by raising the pressing head 82 as shown in Fig. Then, the supporting plate (22) rises as the strut (31) of the supporting portion (30) rises. 15 (E), the work W1 and the work W2 joined thereto together with the frame 21 also rise. Then, the lifting mechanism 83 is then driven again to raise the vacuum chamber 81 to the initial position.

(워크의 취출) (Take-out of work)

상기와 같이, 접합된 워크(W1), 워크(W2)를 유지한 유지 장치(2)가, 턴테이블(1)의 회전에 의해 투입 취출 포지션(1A)으로 오면, 작업자는 워크(W1, W2)를 틀(21)로부터 제거한다. As described above, when the holding device 2 holding the joined workpiece W1 and the workpiece W2 comes to the take-out position 1A by the rotation of the turntable 1, the worker moves the workpieces W1 and W2, Is removed from the mold (21).

[작용 효과][Function and effect]

(1) 곡면(CS)을 갖는 워크(W1)를 유지하는 유지부(20)와, 워크(W2)를 워크(W1)의 곡면을 따르도록 압박하는 압박면(41)을 가지며, 압박을 위해 워크(W1)를 압박면(41)에 대향시킨 유지부(20)에 대하여, 압박 방향에 교차하는 평면 방향의 상대 위치가 부동으로 설치된 압박부(40)와, 워크(W2)의 워크(W1)에 대한 평면 방향의 위치를 변화시킴으로써, 워크(W1)에 대하여 워크(W2)를 위치 결정하는 위치 결정부(50)를 갖는다. (1) A holding portion 20 for holding a work W1 having a curved surface CS and a pressing surface 41 for pressing the work W2 along the curved surface of the work W1, A pressing section 40 in which a relative position in the planar direction crossing in the pressing direction is made floating with respect to the holding section 20 in which the work W1 is opposed to the pressing surface 41; And a positioning portion 50 for positioning the work W2 with respect to the work W1 by changing the position in the plane direction with respect to the work W1.

이 때문에, 워크(W1)에 대하여, 압박부(40)를 평면 방향으로 동작시키지 않고, 워크(W2)만을 평면 방향으로 동작시켜 위치 결정할 수 있기 때문에, 곡면(CS)을 갖는 워크(W1)에 대하여 압박부(40)를 동작시키는 것에 의한 요철의 어긋남이 생기지 않는다. Therefore, since only the work W2 can be positioned and moved in the plane direction with respect to the work W1 without operating the pressing portion 40 in the planar direction, the work W1 having the curved surface CS can be positioned The unevenness caused by the operation of the pressing portion 40 does not occur.

(2) 위치 결정부(50)는, 평면 방향으로 가동으로 설치되고, 워크(W2)를 유지하는 제2 유지부(51)와, 제2 유지부(51)를 평면 방향으로 구동시키는 구동부(52)를 갖는다. (2) The positioning portion 50 includes a second holding portion 51 that is movably provided in the planar direction and holds the workpiece W2, and a driving portion that drives the second holding portion 51 in the planar direction 52).

이 때문에, 워크(W2)를 유지한 제2 유지부(51)가, 압박부(40)와는 독립적으로 평면 방향으로 이동함으로써, 워크(W1)에 대하여 워크(W2)를 위치 결정할 수 있다. The second holding portion 51 holding the work W2 moves in the plane direction independently of the pressing portion 40 so that the work W2 can be positioned with respect to the work W1.

(3) 제2 유지부(51)는, 워크(W2)가 부착되는 부착부(511)를 갖는다. 이 때문에, 부착부(511)에 워크(W2)를 부착시킨 상태로 제2 유지부(51)가 이동함으로써, 워크(W1)에 대하여 워크(W2)를 위치 결정할 수 있다. (3) The second holding portion 51 has an attachment portion 511 to which the work W2 is attached. The work W2 can be positioned with respect to the work W1 by moving the second holding portion 51 with the work W2 attached to the attachment portion 511. [

(4) 부착부(511)는, 감압에 의해 워크(W2)를 흡착하는 진공척(흡착 구멍(511a))을 갖는다. 이 때문에, 진공척에 의해, 워크(W2)를 제2 유지부(51)에 강하게 유지할 수 있어, 제2 유지부(51)로부터의 어긋남을 방지할 수 있다. (4) The attaching portion 511 has a vacuum chuck (suction hole 511a) for sucking the workpiece W2 by reduced pressure. Therefore, the work W2 can be strongly held in the second holding portion 51 by the vacuum chuck, and deviation from the second holding portion 51 can be prevented.

(5) 제2 유지부(51)는 압박면(41) 내에 설치되어 있다. 이 때문에, 압박면(41)에 워크(W2)를 유지할 수 있어, 압박면(41)으로부터의 워크(W2)의 의도하지 않은 어긋남이 생기는 것을 방지할 수 있다. (5) The second holding portion 51 is provided in the pressing surface 41. This makes it possible to hold the workpiece W2 on the pressing surface 41 and to prevent unintentional displacement of the workpiece W2 from the pressing surface 41. [

(6) 제2 유지부(51)는, 워크(W2)의 평면 방향의 위치를 규제하는 규제부(512)를 갖는다. 이 때문에, 규제부(512)에 의해, 워크(W2)의 워크(W1)에 대한 위치 결정의 전에, 압박부(40)에 대한 워크(W2)의 제1 단계의 위치 결정을 행할 수 있다. 또한, 압박부(40)에 장착된 워크(W2)의 평면 방향의 어긋남이 방지된다. (6) The second holding portion 51 has a restricting portion 512 for restricting the position of the work W2 in the plane direction. Therefore, the regulating portion 512 can perform the first-stage positioning of the work W2 with respect to the pressing portion 40 before the positioning of the work W2 with respect to the work W1. Further, deviation of the work W2 mounted on the pressing portion 40 in the planar direction is prevented.

(7) 규제부(512)는, 워크(W2)에 형성된 구멍(H)에 삽입 관통되는 돌출구(512a)를 갖는다. 이 때문에, 작업자는, 워크(W2)의 구멍(H)에 돌출구(512a)를 삽입함으로써, 워크(W2)를 압박부(40)에 간단히 위치 결정할 수 있음과 함께, 그 후의 압박부(40)에 대한 어긋남의 발생을 방지할 수 있다. (7) The restricting portion 512 has a protrusion 512a penetrating through the hole H formed in the work W2. Therefore, the worker can easily position the work W2 to the pressing portion 40 by inserting the protrusion 512a into the hole H of the work W2, Can be prevented from occurring.

(8) 압박면(41)에 의해 워크(W2)를 워크(W1)에 압박하기 전에, 워크(W2)를 압박면(41)에 밀착시키는 압착부(60)를 갖는다. 이 때문에, 워크(W1)에 압박되기 전의 워크(W2)가 압박면(41)을 따르도록 밀착되기 때문에, 워크(W1)의 접착면(BS)에 대하여, 워크(W2)를 간극이나 비틀림없이 따르게 할 수 있다.(8) A pressing portion 60 for pressing the work W2 against the pressing surface 41 before the work W2 is pressed against the work W1 by the pressing surface 41. Therefore, the work W2 before it is pressed against the work W1 is brought into close contact with the pressing surface 41 so that the work W2 is prevented from being tilted or twisted with respect to the bonding surface BS of the work W1 Can follow.

(9) 유지 장치(2)를 가짐과 함께, 위치 결정부(50)를 동작시키기 위해, 유지부(20)와 압박부(40) 사이에서의 워크(W1) 및 워크(W2)의 위치 어긋남을 검출하는 검출 장치(55)를 갖는다. 이 때문에, 검출 장치(55)에 의해 검출된 워크(W1) 및 워크(W2)의 위치 어긋남에 기초하여 위치 결정부(50)를 동작시켜, 워크(W1)에 대하여 워크(W2)를 위치 결정할 수 있다. (9) The positional deviation of the work W1 and the work W2 between the holding portion 20 and the pressing portion 40 in order to have the holding device 2 and to operate the positioning portion 50 And a detection device 55 for detecting the detection signal. For this reason, the positioning unit 50 is operated based on the positional deviation of the work W1 and work W2 detected by the detecting apparatus 55 to position the work W2 with respect to the work W1 .

(10) 검출 장치(55)는, 워크(W1) 및 워크(W2)의 소정의 개소를 촬상하는 촬상부(56)와, 촬상부(56)에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 워크(W1)와 워크(W2)의 어긋남을 보정하는 보정량을 검출하는 검출부(92)를 갖는다. 이 때문에, 보정량에 기초하여 위치 결정부(50)를 동작시킴으로써, 워크(W1) 및 워크(W2)를 정확하게 위치 결정할 수 있다. (10) The detecting device 55 includes an image pickup section 56 for picking up a predetermined portion of the workpiece W1 and the workpiece W2 and an image pickup section 56 for picking up an image of the work W1 And a detection unit 92 for detecting a correction amount for correcting the shift of the work W2. Therefore, by operating the positioning unit 50 based on the correction amount, the work W1 and the work W2 can be accurately positioned.

(11) 유지 장치(2)와, 유지부(20)를 압박 방향으로 가압함으로써, 워크(W1)에 워크(W2)를 압박하는 압박 장치(8)를 갖는다. 이 때문에, 워크(W1)에 대한 워크(W2)의 위치 결정후, 압박 장치(8)에 의해 양자를 접합할 수 있다. (11) A holding device 2 and a pressing device 8 for pressing the work W2 against the work W1 by pressing the holding part 20 in the pressing direction. Therefore, after positioning of the workpiece W2 with respect to the workpiece W1, they can be joined together by the pressing device 8.

[다른 실시형태][Other Embodiments]

본 발명은, 상기와 같은 실시형태에 한정되는 것이 아니다. The present invention is not limited to the above-described embodiment.

(1) 부착부(511)는, 압박면(41) 밖에 설치되어 있어도 좋다. 예컨대, 도 16에 나타낸 바와 같이, 규제부(512)의 평판에 흡착 구멍(511a)을 형성함으로써 진공척을 구성해도 좋다. 이에 따라, 압박면(41)의 표면의 연속성이 유지된다. 워크(W2)로서, 압박면(41)에 홈 등의 간극이 있는 경우에 압박 불균일이 생기기 쉬운 부재를 이용했다 하더라도, 접합면의 압박 불균일이 생기기 어렵게 할 수 있다. 또한, 압박면(41) 밖에 부착부(511)를 설치함과 함께, 또한 상기 실시형태와 같이, 부착부(511)를 압박면(41) 내에 설치해도 좋다. 또, 이 경우, 규제부(512)의 상면은, 압박면(41)의 평탄한 면과 동일한 높이로 하는 것이 바람직하다. (1) The attachment portion 511 may be provided outside the pressing surface 41. For example, as shown in Fig. 16, a vacuum chuck may be formed by forming a suction hole 511a on the flat plate of the restricting portion 512. Fig. Thus, continuity of the surface of the pressing surface 41 is maintained. As a work W2, it is possible to make the pressure unevenness on the abutting surface less likely to occur even when a member that tends to cause pressure unevenness is used when the pressing surface 41 has a gap such as a groove. The attachment portion 511 may be provided outside the pressing surface 41 and the attachment portion 511 may be provided within the pressing surface 41 as in the above embodiment. In this case, the upper surface of the restricting portion 512 preferably has the same height as the flat surface of the pressing surface 41.

(2) 규제부(512)는, 워크(W2)를 협지하는 협지부를 갖고 있어도 좋다. 예컨대, 돌출구(512a) 대신에 또는 돌출구(512a)와 함께, 워크(W2)의 가장자리를 사이에 두고 유지하는 협지부를 설치하여, 워크(W2)의 압박면(41)에 대한 위치 어긋남을 방지해도 좋다. (2) The regulating portion 512 may have a gripping portion for gripping the work W2. For example, a gripping portion for holding the edge of the work W2 therebetween may be provided instead of or in addition to the projection 512a to prevent positional deviation of the work W2 with respect to the pressing surface 41 Maybe.

(3) 부착부(511)는, 워크(W2)를 부착시키는 점착제를 갖고 있어도 좋다. 즉, 진공척이 아니라, 상기와 같은 부착부(511)의 상부면에 점착제를 형성함으로써 워크(W2)를 유지하는 구성으로 할 수도 있다. 또한, 규제부(512)의 평판에 점착제를 형성함으로써 부착부(511)로 해도 좋다. 이와 같이 점착제를 이용하는 경우, 진공척보다 기구가 간소해진다. 물론 점착제와 진공척을 병용해도 좋다. (3) The attaching section 511 may have a pressure-sensitive adhesive for attaching the workpiece W2. In other words, the work W2 may be held by forming a pressure-sensitive adhesive on the upper surface of the attaching portion 511 instead of the vacuum chuck. Alternatively, the attachment portion 511 may be formed by forming a pressure-sensitive adhesive on the flat plate of the restricting portion 512. When the pressure-sensitive adhesive is used as described above, the mechanism becomes simpler than the vacuum chuck. Of course, a pressure-sensitive adhesive and a vacuum chuck may be used in combination.

(4) 워크(W1), 워크(W2)의 접합을 위해, 유지부(20) 및 압박부(40)는 상대적으로 이동하면 되며, 일방 또는 쌍방을 압박 방향으로 가압하면 된다. 유지부(20)와 압박부(40)의 상하관계는 반대이어도 좋다. (4) For the joining of the work W1 and the work W2, the holding portion 20 and the pressing portion 40 are relatively moved, and one or both of them may be pressed in the pressing direction. The vertical relationship between the holding portion 20 and the pressing portion 40 may be reversed.

(5) 압박부(40)의 압박면(41)의 표면, 또는, 틀(21)의 접촉면(21a)의 표면에, 고무, 스폰지 등의 탄성체를 접착해도 좋다. 예컨대, 복수의 워크를 접합하여 적층해 가는 경우, 층이 증가할 때마다 변화하는 높이를 탄성체에 의해 흡수할 수 있기 때문에, 압박 불균일을 방지하는 효과가 있다. (5) An elastic body such as rubber or sponge may be adhered to the surface of the pressing surface 41 of the pressing portion 40, or the surface of the contact surface 21a of the frame 21. For example, in the case where a plurality of works are laminated by lamination, since the height that changes every time the layer is increased can be absorbed by the elastic body, there is an effect of preventing pressure unevenness.

(6) 접합 포지션(1D)에서, 롤러(61, 62)가 하강하기 전에 워크(W2)를 압박면(41)으로 흡착 유지해도 좋다. 이것에 의해, 워크(W2)가 보다 압박면(41)에 밀착된다. (6) In the bonding position 1D, the work W2 may be held by the pressing surface 41 before the rollers 61 and 62 descend. As a result, the work W2 is brought into close contact with the pressing surface 41.

(7) 상기 양태에서는, 워크(W1)에 점착제(AD)가 접착되어 있지만, 워크(W2)에 점착제(AD)가 접착되어 있는 경우도 있다. 예컨대, 워크(W1)에 점착제(AD)를 접착하는 경우, 워크(W2)의 기능 부재(M) 대신에 점착제(AD)(양면 테이프)가 접착되어 워크(W1)에 접착된다. (7) In the above embodiment, the adhesive agent AD is adhered to the workpiece W1, but the adhesive agent AD may be adhered to the workpiece W2. For example, when the adhesive agent AD is adhered to the workpiece W1, the adhesive agent AD (double-sided tape) is adhered to the workpiece W1 instead of the functional member M of the workpiece W2.

(8) 워크(W1), 워크(W2)의 곡면은, 각이 없는 만곡된 면에 한정되지는 않고, 각이 있는 굴곡면이어도 좋다. (8) The curved surfaces of the work W1 and the work W2 are not limited to the curved surfaces without angles, and may be curved surfaces with angles.

이상, 본 발명의 실시형태 및 각 부의 변형예를 설명했지만, 이 실시형태나 각 부의 변형예는 일례로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하지 않는다. 전술한 이들 신규 실시형태는, 그 밖의 여러가지 형태로 실시되는 것이 가능하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러가지 생략, 치환, 변경을 할 수 있다. 이들 실시형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함되며 특허청구범위에 기재된 발명에 포함된다. Although the embodiment of the present invention and the modified examples of the respective parts have been described above, the embodiments and the modified examples of the respective parts are presented as an example, and the scope of the invention is not intended to be limited. The above-described new embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and alterations can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and their modifications fall within the scope and spirit of the invention and are included in the invention as defined in the claims.

W1 : 워크 W2 : 워크
AD : 점착제 B : 인쇄 프레임
BS : 접착면 CS : 곡면
D : 표시 영역 FS : 평탄면
P : 박리 시트 SE : 측변부
H : 구멍 1 : 턴테이블
10 : 스테이지 10a : 관통 구멍
11 : 대좌 11a : 관통 구멍
2 : 유지 장치 20 : 유지부
21 : 틀 21a : 접촉면
22 : 지지판 22a : 베어링
30 : 지지부 31 : 지주
32 : 규제판 33 : 샤프트
40 : 압박부 41 : 압박면
41a : 관통 구멍 42 : 홈
50 : 위치 결정부 51 : 제2 유지부
511 : 부착부 511a : 흡착 구멍
512 : 규제부 512a : 돌출구
52 : 구동부 53 : 감압 장치
521 : 샤프트 55 : 검출 장치
56 : 촬상부 561 : 카메라
562 : 경통 57 : 아암
58 : 이동 기구 60 : 압착부
61, 62 : 롤러 63, 64 : 베어링부
65 : 가이드부 66 : 압출부
67 : 제1 가압부 68 : 제2 가압부
8 : 압박 장치 81 : 진공 챔버
81a : 감압 장치 82 : 가압 헤드
83 : 승강 기구 84 : 압박 기구
9 : 제어 장치 91 : 기구 제어부
92 : 검출부 921 : 추출부
922 : 산출부 93 : 기억부
94 : 입출력 제어부 95 : 입력 장치
96 : 출력 장치
W1: Work W2: Work
AD: Adhesive B: Printing frame
BS: Adhesive surface CS: Surface
D: Display area FS: Flat surface
P: peeling sheet SE: side portion
H: Hole 1: Turntable
10: stage 10a: through hole
11: pedestal 11a: through hole
2: Holding device 20: Holding part
21: frame 21a: contact surface
22: support plate 22a: bearing
30: Support 31: Support
32: regulating plate 33: shaft
40: pressing part 41: pressing face
41a: through hole 42: groove
50: positioning portion 51: second holding portion
511: Attachment part 511a:
512: regulating portion 512a: protruding portion
52: driving part 53: decompression device
521: shaft 55: detecting device
56: imaging section 561: camera
562: barrel 57: arm
58: moving mechanism 60:
61, 62: roller 63, 64: bearing part
65: Guide part 66: Extrusion part
67: first pressing portion 68: second pressing portion
8: Compression device 81: Vacuum chamber
81a: Pressure reducing device 82: Pressure head
83: lifting mechanism 84: pressing mechanism
9: Control device 91: Mechanism control part
92: detection unit 921:
922: Calculator 93:
94: input / output control unit 95: input device
96: Output device

Claims (14)

유지 장치에 있어서,
곡면을 갖는 제1 워크를 유지하는 유지부와,
제2 워크를 상기 제1 워크의 곡면을 따르도록 압박하는 압박면을 가지며, 압박을 위해 상기 제1 워크를 상기 압박면에 대향시킨 상기 유지부에 대하여, 압박 방향에 교차하는 평면 방향의 상대 위치가 부동(不動)으로 설치된 압박부와,
상기 제2 워크의 상기 제1 워크에 대한 상기 평면 방향의 위치를 변화시킴으로써, 상기 제1 워크에 대하여 상기 제2 워크를 위치 결정하는 위치 결정부
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. In the holding device,
A holding portion for holding a first work having a curved surface,
Wherein the first work has a pressing surface for pressing the second work along the curved surface of the first work, and relative to the holding portion for pressing the first work against the pressing surface, A pressing portion provided in a floating state,
And a positioning part for positioning the second work with respect to the first work by changing a position of the second work in the plane direction with respect to the first work,
Wherein the retaining device comprises: 제1항에 있어서, 상기 위치 결정부는,
상기 평면 방향으로 가동(可動)으로 설치되고, 상기 제2 워크를 유지하는 제2 유지부와,
상기 제2 유지부를 상기 평면 방향으로 구동시키는 구동부
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. 2. The apparatus according to claim 1,
A second holding portion provided movably in the plane direction and holding the second work,
A driving unit for driving the second holding unit in the planar direction;
Wherein the retaining device comprises: 제2항에 있어서, 상기 제2 유지부는, 상기 제2 워크가 부착되는 부착부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The holding device according to claim 2, characterized in that the second holding portion includes an attachment portion to which the second work is attached. 제3항에 있어서, 상기 부착부는, 감압에 의해 상기 제2 워크를 흡착하는 진공척을 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The holding device according to claim 3, wherein the attaching portion includes a vacuum chuck for sucking the second work by a reduced pressure. 제3항에 있어서, 상기 부착부는, 상기 제2 워크를 부착시키는 점착제를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The holding device according to claim 3, wherein the attaching portion comprises a pressure-sensitive adhesive for attaching the second work. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부착부는 상기 압박면 내에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The holding device according to any one of claims 3 to 5, wherein the attachment portion is provided in the pressing surface. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부착부는 상기 압박면 밖에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The holding device according to any one of claims 3 to 5, wherein the attaching portion is provided outside the pressing surface. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2 유지부는, 상기 제2 워크의 상기 평면 방향의 위치를 규제하는 규제부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The holding device according to any one of claims 2 to 5, wherein the second holding portion includes a restricting portion for restricting the position of the second work in the planar direction. 제8항에 있어서, 상기 규제부는, 상기 제2 워크에 형성된 구멍에 삽입 관통되는 돌출구를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The holding device according to claim 8, wherein the restricting portion includes a protrusion that is inserted into a hole formed in the second work. 제8항에 있어서, 상기 규제부는, 상기 제2 워크를 협지하는 협지부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The holding device according to claim 8, wherein the restricting portion includes a gripping portion for gripping the second work. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 압박면에 의해 상기 제2 워크를 상기 제1 워크에 압박하기 전에, 상기 제2 워크를 상기 압박면에 밀착시키는 압착부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 유지 장치. The pressing apparatus according to any one of claims 1 to 5, further comprising: a pressing portion for pressing the second work against the pressing surface before pressing the second work against the first work by the pressing surface . 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 유지 장치와,
상기 위치 결정부를 동작시키기 위해, 상기 유지부와 상기 압박부 사이에서의 상기 제1 워크 및 상기 제2 워크의 위치 어긋남을 검출하는 검출 장치
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 위치 결정 장치. A holding device according to any one of claims 1 to 5,
And a detecting device for detecting a positional deviation between the first work and the second work between the holding part and the pressing part to operate the positioning part
And a positioning device for positioning the substrate. 제12항에 있어서, 상기 검출 장치는,
상기 제1 워크 및 상기 제2 워크의 미리 정해진 개소를 촬상하는 촬상부와,
상기 촬상부에 의해 촬상된 화상에 기초하여, 상기 제1 워크와 상기 제2 워크의 어긋남을 보정하는 보정량을 검출하는 검출부
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 위치 결정 장치. 13. The apparatus according to claim 12,
An imaging section for imaging a predetermined portion of the first work and the second work;
And a detection unit for detecting a correction amount for correcting a deviation between the first work and the second work based on an image picked up by the image pickup unit
And a positioning device for positioning the substrate. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 기재된 유지 장치와,
상기 유지부 및 상기 압박부의 일방 또는 쌍방을 압박 방향으로 가압함으로써, 상기 제1 워크에 상기 제2 워크를 압박하는 압박 장치
를 포함하는 것을 특징으로 하는, 접합 장치. A holding device according to any one of claims 1 to 5,
A pressing device for pressing the first workpiece against the second workpiece by pressing one or both of the holding portion and the pressing portion in the pressing direction,
And a plurality of bonding portions.

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