KR20180128848A - Probe device, analysis apparatus for exhaust gas and correction method - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a probe device to sample exhaust gas flowing in a flue, capable of realizing correct measurement even if the pressure of the exhaust gas flowing in the flue is changed. According to the present invention, the probe device comprises: a gas sensor including a sensor part in contact with the exhaust gas; a sensor holder penetrating through the flue and holding the gas sensor therein; an exhaust gas introduction space formed in the front end part of the sensor holder protruding in the flue, receiving the sensor part of the gas sensor, and receiving the exhaust gas from the flue; a gas flow path formed in the sensor holder and formed from a base end part of the sensor holder disposed outside the flue to the exhaust gas introduction space; a pressure sensor to measure the pressure of a flow path communicating with the gas flow path at the outside of the flue; and a correction processing unit to correct an output of the gas sensor based on an output of the pressure sensor.

Description

프로브 디바이스, 배기가스 분석 장치 및 보정 방법{PROBE DEVICE, ANALYSIS APPARATUS FOR EXHAUST GAS AND CORRECTION METHOD}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a probe device, an exhaust gas analyzer, and a calibration method.

본 발명은, 예를 들면 엔진, 보일러, 폐기물 연소로(爐), 공업용 로(爐) 등의 연소 장치의 배기관에 장착되는 프로브 디바이스, 및 프로브 디바이스로부터의 출력에 기초하여 상기 배기관 내의 연도(煙道)를 흐르는 배기가스에 포함되는 소정 성분을 분석하는 배기가스 분석 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a method of controlling a flue gas in a flue (a flue gas) in the exhaust pipe based on an output from a probe device and a probe device mounted on an exhaust pipe of a combustion device such as an engine, a boiler, a waste combustion furnace, an industrial furnace, The present invention relates to an exhaust gas analyzing apparatus for analyzing a predetermined component included in exhaust gas flowing through a road.

종래, 연도 내의 배기가스에 포함되는 성분을 검출하여 분석하는 배기가스 분석 장치로서, 특허 문헌 1에 나타내어지는 바와 같이, 연도 내에 프로브 디바이스를 직접 삽입하여 장착하고, 상기 프로브 디바이스에 의해 배기가스를 샘플링함과 아울러, 그 배기가스 중의 예를 들면 질소 산화물 등의 소정 성분을 분석하는 것이 있다. Conventionally, as shown in Patent Document 1, an exhaust gas analyzing apparatus for detecting and analyzing a component contained in exhaust gas in a flue has been proposed, in which a probe device is directly inserted into a flue and mounted, and the exhaust gas is sampled , And analyzing a predetermined component such as nitrogen oxide in the exhaust gas.

이 프로브 디바이스는, 도 5에 나타내는 바와 같이 연도의 내외를 관통하도록 마련된 센서 홀더(2A)와, 상기 센서 홀더(2A) 내에 유지된 가스 센서(1A)를 구비하고 있다. 상기 센서 홀더(2A)의 선단부에는 연도로부터 배기가스가 도입되고, 상기 가스 센서(1A)의 센서부(11A)로 도입되는 배기가스 도입 공간(L1)이 형성되어 있다. As shown in Fig. 5, this probe device includes a sensor holder 2A provided so as to pass through the inside and outside of the year, and a gas sensor 1A held in the sensor holder 2A. An exhaust gas is introduced from the flue to the front end of the sensor holder 2A and an exhaust gas introduction space L1 is introduced into the sensor portion 11A of the gas sensor 1A.

상기 센서 홀더(2A)는, 상기 가스 센서(1A)의 기단측을 둘러싸도록 마련된 내측관(21A)과, 내측관(21A)의 외측에 동심원 모양으로 마련된 외측관(23A)으로 이루어진다. 이 내측관(21A)의 내부로부터 상기 내측관(21A)의 외측면과 상기 외측관(23A)의 내측면과의 사이의 공간으로 냉각 공기가 유통하도록 하여, 상기 가스 센서(1A)가 상기 연도를 흐르는 배기가스의 열에 의해서 고장나는 것을 방지하도록 구성되어 있다. The sensor holder 2A includes an inner tube 21A provided to surround the base end side of the gas sensor 1A and an outer tube 23A provided concentrically on the outer side of the inner tube 21A. The cooling air is allowed to flow from the inside of the inner tube 21A into the space between the outer surface of the inner tube 21A and the inner surface of the outer tube 23A, So that it is prevented from being damaged by the heat of the exhaust gas flowing through the exhaust gas passage.

게다가, 도 5 및 도 5의 B－B선 단면도인 도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 내측관(21A)과 상기 외측관(23A)과의 사이에서 냉각 공기가 유통하는 공간 내에는 2개의 세관(細管)(P1, P2)이 마련되어 있으며, 각각이 상기 배기가스 도입 공간(L1)으로 연통시켜져 있다. 보다 구체적으로는 일방의 세관(P1) 내에는 교정(校正) 가스를 상기 배기가스 도입 공간(L1)으로 도입하는 교정 가스 유로(L2)가 형성되고, 또 일방의 세관(P2) 내에는 퍼지 가스를 상기 배기가스 도입 공간(L1)으로 도입하는 퍼지 가스 유로(L4)가 형성되어 있다. 6, which is a cross-sectional view taken along the line B-B of Fig. 5 and Fig. 5, in the space where the cooling air flows between the inner tube 21A and the outer tube 23A, (Narrow tubes) P1 and P2 are provided, and each communicates with the exhaust gas introduction space L1. More specifically, a calibration gas flow path L2 for introducing a calibration gas into the exhaust gas introduction space L1 is formed in one of the tubular pipes P1, and a purge gas A purge gas passage L4 for introducing the purge gas into the exhaust gas introducing space L1 is formed.

그런데, 연도 내의 배기가스는 내연기관 등의 출력 변화에 의해서 그 압력이 변동하기 때문에, 상기 가스 센서로부터의 출력이 그 압력 변동의 영향을 받아 변화해 버리는 경우가 있다. However, since the exhaust gas in the flue gas fluctuates due to the output change of the internal combustion engine or the like, the output from the gas sensor may change under the influence of the pressure fluctuation.

또, 상기 교정 가스 유로, 및 상기 퍼지 가스 유로는 상기 배기가스 도입 공간에 연통하고 있기 때문에, 통상 측정시에는 연도로부터 도입되는 고온의 배기가스의 일부가 흐르는 경우가 있다. 게다가, 상기 교정 가스 유로, 및 상기 퍼지 가스 유로의 주위는 냉각 공기로 채워져 있기 때문에, 배기가스 중의 수분이 냉각되어 물방울이 발생한다. 따라서, 배기가스 중의 황화물이나 질화물이 물방울에 녹음으로써 황산이나 질산이 발생하고, 교정 가스 유로나 퍼지 가스 유로를 형성하는 세관이 침식되어 버려, 프로브 디바이스로서의 수명이 짧아져 버릴 가능성이 있다. Further, since the calibration gas flow path and the purge gas flow path communicate with the exhaust gas introduction space, a part of the high temperature exhaust gas introduced from the flue during normal measurement sometimes flows. In addition, since the calibration gas flow path and the periphery of the purge gas flow path are filled with cooling air, moisture in the exhaust gas is cooled and water droplets are generated. Therefore, sulfuric acid or nitric acid is generated as sulfides or nitrides in the exhaust gas are recorded in water droplets, so that the tubing forming the calibration gas flow path and the purge gas flow path is eroded and the life of the probe device may shorten.

특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2010－276550호 공보Patent Document 1: JP-A-2010-276550

본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 연도 내를 흐르는 배기가스에 압력 변동이 생겼다고 해도 정확한 측정을 실현할 수 있는 프로브 디바이스, 및 배기가스 분석 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a probe device and an exhaust gas analysis device that can accurately measure even if pressure fluctuation occurs in exhaust gas flowing in a flue.

또, 본 발명은 예를 들면 교정 가스 유로와 같은 가스 센서에 연통하는 가스 유통로를 흐르는 배기가스 중의 수분이 액화되는 것을 방지하고, 교정 가스 유로를 형성하는 배관이 산(酸)에 의해 침식되지 않도록 하여 장기 수명화를 실현한 프로브 디바이스를 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, the present invention prevents liquid in exhaust gas flowing through a gas flow path communicating with a gas sensor, such as a calibration gas flow path, from being liquefied, and prevents the pipe forming the calibration gas flow path from being eroded by acid And to provide a probe device that realizes a long life span.

즉, 본 발명에 관한 프로브 디바이스는, 연도(煙道)를 흐르는 배기가스를 샘플링하는 프로브 디바이스로서, 배기가스와 접촉하는 센서부를 구비하는 가스 센서와, 상기 연도의 내외를 관통하도록 마련되고, 내부에 상기 가스 센서를 유지하는 센서 홀더와, 상기 센서 홀더에 형성되고, 상기 연도의 외측에 배치된 상기 센서 홀더의 기단부로부터 상기 센서부에 이르는 가스 유통로(流通路), 또는, 상기 연도의 외측에서 상기 가스 유통로와 연통하는 유로의 압력을 측정하는 압력 센서와, 상기 가스 센서의 출력을 상기 압력 센서의 출력에 기초하여 보정하는 보정 처리부를 구비한 것을 특징으로 한다. That is, a probe device according to the present invention is a probe device for sampling exhaust gas flowing through a flue (gas duct), comprising: a gas sensor having a sensor portion in contact with an exhaust gas; A gas flow passage (flow passage) formed in the sensor holder and extending from the base end of the sensor holder to the sensor section disposed outside the flue, or a gas flow passage And a correction processing section for correcting the output of the gas sensor based on the output of the pressure sensor.

이러한 것이면, 상기 연도를 흐르는 배기가스의 압력이 변동했다고 해도, 변동한 압력에 따라 상기 가스 센서의 출력이 상기 보정 처리부에 의해 보정되므로, 압력 변동의 영향을 배제한 측정치를 얻을 수 있다. In this case, even if the pressure of the exhaust gas flowing in the flue gas fluctuates, the output of the gas sensor is corrected by the correction processing unit according to the fluctuating pressure, so that a measurement value excluding the influence of the pressure fluctuation can be obtained.

따라서, 예를 들면 배기가스의 발생원인 내연기관의 가동 상태 등에 의하지 않고, 배기가스의 안정 분석을 실현할 수 있다. 또, 가스 센서로부터 압력 변동의 영향을 없앨 수 있으므로, 예를 들면 배기가스의 발생원인 내연기관 등에서 교정용 운전을 행하여 소정의 압력으로 유지된 상태에서 교정을 행하지 않아도 되어, 보다 정확한 측정치를 쉽게 얻을 수 있다. Therefore, the stability analysis of the exhaust gas can be realized, for example, regardless of the operating state of the internal combustion engine, which is the generation of the exhaust gas. In addition, since the influence of the pressure fluctuation can be eliminated from the gas sensor, for example, the internal combustion engine or the like, which is the source of the exhaust gas, does not need to perform the calibration operation while maintaining the predetermined pressure by performing the calibration operation. .

또, 상기 압력 센서는 상기 가스 유통로를 통과하고 있는, 또는, 통과한 후의 배기가스의 압력을 측정하므로, 상기 연도 중(中)보다도 온도가 저하된 배기가스를 상기 압력 센서에 접촉시킬 수 있다. 이 때문에, 상기 압력 센서에 고장이 발생되기 어렵게 할 수 있다. Further, since the pressure sensor measures the pressure of the exhaust gas after passing through or passing through the gas flow passage, the exhaust gas whose temperature is lower than the middle of the flue can be brought into contact with the pressure sensor . Therefore, it is possible to make the pressure sensor less likely to fail.

상기 가스 유통로의 구체적인 구성예로서는, 상기 가스 유통로는, 교정 가스 유로 또는 퍼지 가스 유로 중 적어도 일방을 구성하는 것을 들 수 있다. As a specific configuration example of the gas flow path, the gas flow path may include at least one of a calibration gas flow path and a purge gas flow path.

예를 들면 본래의 사용 목적 이외인 통상의 측정시에는 상기 가스 유통로에도 고온의 배기가스가 일부 유통된다. 이 때문에, 상기 센서 홀더 내에 유지되어 있는 상기 가스 센서에서 고온에 약한 전자 회로 등을 포함하는 본체부에 대해서는 상기 가스 유통로로부터의 열로부터 보호할 필요가 있다. 종래, 상기 가스 센서의 본체부는 상기 센서 홀더 내에서 냉각 매체가 도입되는 냉각 공간 내에 배치되어 있었다. For example, during normal measurement other than the intended use, a part of the exhaust gas at a high temperature flows through the gas flow path. Therefore, in the gas sensor held in the sensor holder, it is necessary to protect the main body portion including the electronic circuit or the like which has a high temperature from the heat from the gas flow path. Conventionally, the main body of the gas sensor is disposed in the cooling space in which the cooling medium is introduced in the sensor holder.

그런데, 상기 냉각 공간에 대해서 상기 가스 유통로가 근접하고 있으면, 상기 가스 유통로를 흐르는 배기가스 중의 수분이 냉각되어 응축하고, 배기가스 중의 질소 산화물이나 황화물이 녹아 산성액이 되어, 가스 유통로를 형성하는 금속 배관등을 부식시킬 가능성이 있다. 상기 가스 유통로에서의 수분의 응축을 방지하여, 상기와 같은 문제를 해결하려면, 상기 가스 센서가, 상기 배기가스 도입 공간의 외측에서 상기 센서 홀더 내에 유지되는 본체부를 더 구비하는 것이며, 상기 센서 홀더 내에 형성되고, 상기 가스 센서의 본체부가 수용됨과 아울러 냉각 매체가 도입되는 냉각 공간을 더 구비하며, 상기 냉각 공간과 상기 가스 유통로와의 사이에 단열층이 형성되어 있으면 좋다. If the gas flow path is close to the cooling space, the moisture in the exhaust gas flowing through the gas flow path is cooled and condensed. The nitrogen oxide or sulfide in the exhaust gas melts to become an acidic liquid, There is a possibility of corrosion of the metal pipe or the like to be formed. The gas sensor further includes a main body portion held in the sensor holder outside the exhaust gas introduction space in order to prevent condensation of moisture in the gas flow passage and to solve the above problems, And a cooling space in which the main body of the gas sensor is accommodated and a cooling medium is introduced, and a heat insulating layer may be formed between the cooling space and the gas passage.

상기 연도를 흐르는 배기가스의 열에 의해서, 상기 가스 유통로를 유통하고 있는 배기가스를 따뜻하게 하여, 배기가스 중의 수분이 보다 응축되기 어렵게 하려면, 상기 가스 유통로의 적어도 일부가, 상기 연도 내로 돌출된 상기 센서 홀더의 선단부 내에 형성되어 있으면 된다. In order to warm the exhaust gas flowing through the gas flow path by the heat of the exhaust gas flowing in the flue and to make the moisture in the exhaust gas less likely to condense, It may be formed within the distal end portion of the sensor holder.

상기 연도를 흐르는 배기가스의 열에 의해서, 상기 가스 유통로를 유통하고 있는 배기가스를 따뜻하게 하여 수분의 응축이 일어나기 어렵게 함과 아울러, 상기 가스 센서는 상기 연도를 흐르는 배기가스, 혹은, 상기 가스 유통로를 흐르는 배기가스에 의해서 온도가 상승되기 어렵게 하려면, 상기 센서 홀더가, 적어도 내측관 및 외측관으로 이루어지는 다중관 구조를 가지는 것이며, 상기 내측관의 내부에 상기 냉각 공간이 형성되고, 상기 내측관과 상기 외측관의 내측면과의 사이에 상기 가스 유통로가 형성되는 것이면 좋다. The heat of the exhaust gas flowing in the flue gas warms the exhaust gas flowing through the gas flow path to make it difficult for condensation of moisture to occur and the gas sensor is used to control the exhaust gas flowing in the flue or the gas flow path It is preferable that the sensor holder has a multi-tube structure including at least an inner tube and an outer tube, the cooling space is formed inside the inner tube, and the inner tube And the gas passage may be formed between the inner tube and the inner surface of the outer tube.

예를 들면 상기 냉각 공간과 상기 가스 유통로와의 사이에 공기층에 의해서 전열(傳熱)이 일어나기 어렵게 함으로써, 상기 냉각 매체에 의해서 상기 가스 유통로를 유통하는 배기가스가 냉각되기 어렵게 하고, 배기가스 중의 수분의 응축을 방지할 수 있도록 하려면, 상기 센서 홀더가, 상기 내측관과 상기 외측관과의 사이에 칸막이관을 더 구비하며, 상기 내측관의 외측면과 상기 칸막이관의 내측면과의 사이의 공간에 의해서 상기 단열층이 형성되어 있는 것이면 좋다. For example, it is difficult for heat transfer to occur between the cooling space and the gas flow path by the air layer, thereby making it difficult for the exhaust gas flowing through the gas flow path to be cooled by the cooling medium, The sensor holder may further include a partitioning tube between the inner tube and the outer tube so as to prevent condensation of moisture in the inner tube and the inner tube of the partitioning tube, As long as the heat insulating layer is formed by the space of the heat insulating layer.

상기 가스 유통로에 흘릴 수 있는 가스의 유량을 확보할 수 있음과 아울러, 상기 연도를 흐르는 배기가스의 열을 상기 센서 홀더의 전체 둘레에 걸쳐서 상기 가스 유통로에 의해 차단할 수 있도록 하고, 상기 가스 센서가 고온이 되기 어렵게 하려면, 상기 가스 센서를 상기 센서 홀더의 횡단면을 본 경우에 있어서, 상기 가스 유통로가, 상기 내측관의 외측면을 전체 둘레에 걸쳐서 둘러싸도록 형성되어 있으면 좋다. The flow rate of the gas flowing into the gas flow passage can be ensured and the heat of the exhaust gas flowing in the flow passage can be blocked by the gas flow passage over the entire circumference of the sensor holder, The gas flow path may be formed so as to surround the outer surface of the inner tube over the entire circumference in the case where the gas sensor is viewed in the transverse section of the sensor holder.

상기 연도를 흐르는 배기가스 중에 포함되는 미소(微小)한 파티클 등이 상기 가스 센서에 접촉하여 측정이 저해되는 것을 방지할 수 있도록 필터를 마련했을 때에, 이 필터가 소정량 이상의 파티클을 포집하고, 측정의 계속이 곤란한 것을 자동적으로 검출할 수 있도록 하려면, 상기 연도 내로 돌출된 상기 센서 홀더의 선단부 내에 적어도 일부가 형성되고, 상기 가스 센서의 상기 센서부가 수용됨과 아울러 상기 연도로부터 배기가스가 도입되는 배기가스 도입 공간과, 상기 연도와 상기 배기가스 도입 공간을 나누는 필터와, 상기 압력 센서의 출력이 나타내는 측정 압력치와, 미리 정해진 기준치에 기초하여 상기 필터의 막힘 유무를 판정하는 막힘 판정부를 더 구비한 것이면 좋다. When a filter is provided to prevent the microscopic particles contained in the exhaust gas flowing in the flue gas from contacting with the gas sensor to prevent the measurement from being hindered, the filter collects particles of a predetermined amount or more, At least a part of the sensor holder protruding into the flue is formed at least in part in the front end of the sensor holder so that the sensor portion of the gas sensor is received and the exhaust gas from which the exhaust gas is introduced from the flue A clogging determination unit for determining whether or not the filter is clogged based on a measured pressure value indicated by the output of the pressure sensor and a predetermined reference value good.

본 발명에 관한 프로브 디바이스와, 상기 가스 센서로부터의 출력에 기초하여 상기 연도를 흐르는 배기가스에 대해 분석하는 분석 장치 본체를 구비한 배기가스 분석 장치이면, 상기 연도를 흐르는 배기가스의 압력 변동의 영향을 배제한 올바른 분석 결과를 얻을 수 있다. 또, 예를 들면 선박의 내연기관으로부터 배출되는 배기가스의 분석과 같이 장기간에 걸쳐서 전문가에 의한 메인터넌스나 검증이 어려운 용도라도 신뢰할 수 있는 측정치를 얻는 것이 가능해진다. The exhaust gas analyzing apparatus having the probe device according to the present invention and the analyzer main body for analyzing the exhaust gas flowing in the flue based on the output from the gas sensor can measure the influence of the pressure fluctuation of the exhaust gas flowing through the flue Can be obtained. It is also possible to obtain a reliable measurement value even in a case where it is difficult to perform maintenance or verification by a specialist for a long period of time, for example, analysis of exhaust gas discharged from an internal combustion engine of a ship.

또, 본 발명에 관한 보정 방법은, 배기가스와 접촉하는 센서부를 구비하는 가스 센서와, 상기 연도의 내외를 관통하도록 마련되고, 내부에 상기 가스 센서를 유지하는 센서 홀더를 구비하며, 연도를 흐르는 배기가스를 샘플링하는 프로브 디바이스를 이용한 상기 가스 센서의 출력의 보정 방법으로서, 상기 센서 홀더에 형성되고, 상기 연도의 외측에 배치된 상기 센서 홀더의 기단부로부터 상기 배기가스 도입 공간에 이르는 가스 유통로, 또는, 상기 연도의 외측에서 상기 가스 유통로와 연통하는 유로에 마련된 압력 센서의 출력에 기초하여, 상기 가스 센서의 출력을 보정하는 보정 방법이다. 상기 연도의 외측에서 상기 가스 유통로와 연통하는 유로의 압력을 측정하는 압력 센서를 마련하는 것, 상기 가스 센서의 출력을 상기 압력 센서의 출력에 기초하여 보정하는 것을 특징으로 한다. A correction method according to the present invention is a correction method comprising a gas sensor having a sensor portion in contact with an exhaust gas and a sensor holder provided so as to pass through the inside and outside of the flue and holding the gas sensor therein, A method for correcting an output of a gas sensor using a probe device for sampling an exhaust gas, the method comprising: a gas flow path formed in the sensor holder and extending from a base end of the sensor holder disposed outside the flue to the exhaust gas introduction space; Or the output of the gas sensor based on the output of the pressure sensor provided in the flow path communicating with the gas flow path from the outside of the flue. A pressure sensor for measuring a pressure of a flow path communicating with the gas flow path from the outside of the flue is provided and the output of the gas sensor is corrected based on the output of the pressure sensor.

이러한 것이면, 상기 연도를 흐르는 배기가스에 압력 변동이 생겨도 상기 가스 센서의 출력에는 그 영향이 나타나지 않도록 할 수 있다. 또, 상기 가스 센서는 상기 가스 유통로, 또는, 그것에 연통하는 유로를 흐르는 배기가스와 접촉하므로, 고온의 배기가스가 직접 접촉하지 않고, 고온 환경에 계속 노출되는 것에 의해서 고장나는 것을 방지할 수 있다. In this case, even if a pressure fluctuation occurs in the exhaust gas flowing in the flue, the influence of the fluctuation in the output of the gas sensor can be prevented. Further, since the gas sensor is in contact with the exhaust gas flowing through the gas flow passage or the flow passage communicating therewith, the gas sensor can be prevented from failing due to continuous exposure to the high temperature environment without directly contacting the exhaust gas at high temperature .

본 발명에 관한 프로브 디바이스에 의하면, 연도를 흐르는 배기가스에 압력 변동이 생겼다고 해도, 가스 유통로 또는 이것에 연통하는 유로에 마련된 압력 센서의 측정치에 기초하여 상기 가스 센서로부터의 출력이 보정되므로 항상 소정의 측정 정밀도를 유지할 수 있다. 또, 상기 압력 센서에 대해서는 상기 연도 내에 직접 마련되어 있지 않으므로, 고온의 배기가스에 의해서 고장이 생기기 어려워, 장기간에 걸쳐서 신뢰할 수 있는 압력치에 의해 가스 센서의 출력을 보정할 수 있다. According to the probe device of the present invention, since the output from the gas sensor is corrected based on the measured value of the pressure sensor provided in the gas flow path or the flow path communicating with the gas flow path, even if pressure fluctuation occurs in the exhaust gas flowing in the flue, It is possible to maintain the measurement accuracy of the measurement. In addition, since the pressure sensor is not provided directly in the flue, it is difficult for a failure to be caused by the high-temperature exhaust gas, and the output of the gas sensor can be corrected by a reliable pressure value over a long period of time.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 프로브 디바이스, 및 배기가스 분석 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에서의 센서 홀더 내의 구조의 상세를 나타내는 모식적 종단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에서의 센서 홀더 내의 구조의 상세를 나타내는 모식적 횡단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에서의 프로브 디바이스의 기능 블록도이다.
도 5는 종래의 프로브 디바이스의 구성을 나타내는 모식적 종단면도이다.
도 6은 종래의 프로브 디바이스의 구성을 나타내는 모식적 횡단면도이다. 1 is a schematic diagram showing a probe device and an exhaust gas analyzer according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic vertical cross-sectional view showing details of a structure in a sensor holder according to an embodiment of the present invention.
3 is a schematic cross-sectional view showing the details of the structure in the sensor holder in one embodiment of the present invention.
4 is a functional block diagram of a probe device according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic vertical cross-sectional view showing a configuration of a conventional probe device.
6 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a conventional probe device.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 프로브(probe) 디바이스(100), 및, 이 프로브 디바이스(100)를 구비한 배기가스 분석 장치(200)에 대해 각 도면을 참조하면서 설명한다. A probe device 100 according to an embodiment of the present invention and an exhaust gas analysis apparatus 200 having the probe device 100 will be described with reference to the drawings.

도 1에 나타내는 프로브 디바이스(100), 및 배기가스 분석 장치(200)는, 예를 들면 보일러, 가스 엔진, 선박용 엔진 등의 내연기관 혹은 외연 기관에 접속된 배기관(EP) 내의 연도(煙道)(LE)를 흐르는 배기가스에 포함되는 소정 성분(예를 들면, NOX, SOX, CO2, CO 등) 등을 분석하는 것이다. 또, 배기가스 분석 장치(200)에 의해 얻어진 분석 결과(예를 들면 소정 성분의 농도)는, 탈초(脫硝) 또는 탈류(脫硫)의 제어 등에 이용된다. The probe device 100 and the exhaust gas analysis device 200 shown in Fig. 1 are used to measure the temperature of a flue gas in an exhaust pipe EP connected to an internal combustion engine such as a boiler, a gas engine, (For example, NO x , SO x , CO 2 , CO, etc.) included in the exhaust gas flowing through the exhaust gas LE. The analysis result (for example, the concentration of a predetermined component) obtained by the exhaust gas analyzer 200 is used for control of denitration or desulfurization.

구체적으로는 상기 배기가스 분석 장치(200)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 배기관(EP)에 고정됨과 아울러, 그 선단부가 연도(LE) 내로 돌출하여 마련되고, 소정 성분을 검출하는 가스 센서(1)를 구비한 프로브 디바이스(100)와, 상기 프로브 디바이스(100)로부터의 검출 신호를 수신하여, 배기가스에 포함되는 소정 성분을 연속적 또한 고속으로 분석하는 분석 장치 본체(101)를 구비한다. 또, 이 분석 장치 본체(101)는, 컴퓨터 등의 연산처리장치 및 표시장치를 구비하고 있으며, 프로브 디바이스(100)와 분석 장치 본체(101)는 케이블에 의해 접속되어 있다. Specifically, the exhaust gas analyzer 200 is provided with a gas sensor (not shown) which is fixed to an exhaust pipe EP and whose tip portion protrudes into the flue LE, as shown in Fig. 1 1), and an analyzer main body 101 for receiving a detection signal from the probe device 100 and continuously analyzing predetermined components contained in the exhaust gas at high speed. The analyzer main body 101 is provided with an arithmetic processing device such as a computer and a display device. The probe device 100 and the analyzer main body 101 are connected by a cable.

상기 프로브 디바이스(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 연도(LE)를 흐르는 배기가스를 일부 샘플링하고, 그 샘플링한 배기가스에 포함되는 소정 성분을 검출하는 것이다. 도 1에 나타내는 바와 같이 이 프로브 디바이스(100)는, 원통 모양의 배기관(EP)에 대해서 측면으로부터 관통하도록 마련된 통 모양의 센서 홀더(2)와, 상기 센서 홀더(2)의 내부에 유지되는 가스 센서(1)를 구비하고 있다. 또, 상기 센서 홀더(2) 내에는, 상기 가스 센서(1)에 상기 연도(LE)로부터 샘플링된 배기가스가 도입되는 배기가스 도입 공간(L1)과, 상기 가스 센서(1)에 대해서 교정 가스를 공급하기 위한 교정 가스 유로(L2)와, 상기 가스 센서(1)의 일부가 냉각 매체에 의해서 냉각되는 냉각 공간(L3)이 형성되어 있다. 게다가, 상기 교정 가스 유로(L2)에 연통하도록 마련된 유로에는 압력 센서(3)가 마련되어 있고, 상기 교정 가스 유로(L2)와 상기 냉각 공간(L3)과의 사이에는 각각의 사이에서의 전열(傳熱)을 방해하는 단열층(TB)이 마련되어 있다. As shown in Fig. 1, the probe device 100 partially samples the exhaust gas flowing through the flue LE and detects predetermined components contained in the sampled exhaust gas. 1, the probe device 100 includes a tubular sensor holder 2 provided so as to pass through from a side surface thereof with respect to a cylindrical exhaust pipe EP, a gas holder 2 for holding the gas held in the sensor holder 2, And a sensor (1). The sensor holder 2 is provided with an exhaust gas introduction space L1 through which the exhaust gas sampled from the flue gas LE is introduced into the gas sensor 1, And a cooling space L3 in which a part of the gas sensor 1 is cooled by a cooling medium are formed. In addition, a pressure sensor 3 is provided in the flow path communicated with the calibration gas flow path L2 and between the calibration gas flow path L2 and the cooling space L3, Heat insulating layer (TB) is interposed.

또, 이 프로브 디바이스(100)는, 상기 가스 센서(1), 및, 상기 압력 센서(3)의 출력에 기초하여 소정의 연산 처리가 행하여지는 연산 처리부(COM)를 구비하고 있다. 본 실시 형태에서는 연산 처리부(COM)의 기능은, 상기 분석 장치 본체(101)의 연산 능력을 이용하여 실현되도록 되어 있지만, 예를 들면 상기 가스 센서(1) 또는 상기 압력 센서(3)에 마련되어 있는 마이크로 컴퓨터의 연산 능력에 의해 그 기능이 실현되도록 해도 괜찮다. The probe device 100 is provided with the gas sensor 1 and a calculation processing section COM for performing a predetermined calculation process based on the outputs of the pressure sensor 3. In the present embodiment, the function of the calculation processing section COM is realized by using the calculation capability of the analyzer main body 101. For example, the gas sensor 1 or the pressure sensor 3 The function may be realized by the computing power of the microcomputer.

다음으로 상기 프로브 디바이스(100)의 각 부의 상세에 대하여 설명한다. Next, the details of each part of the probe device 100 will be described.

상기 가스 센서(1)는, 도 2 및 도 2의 A－A선 단면도인 도 3에 나타내는 바와 같이 개략 원통 모양의 것이며, 선단측이 상기 배기가스 도입 공간(L1) 내에 배치되고, 기단측이 상기 냉각 공간(L3) 내에 배치되는 것이다. 보다 구체적으로는, 상기 가스 센서(1)의 선단측은 배기가스와 접촉하는 센서부(11)이며, 기단측은 상기 센서부(11)의 출력을 신호 처리하기 위한 전기 회로 등이 수용된 본체부(12)이다. 또, 상기 센서부(11)에 대해 다른 표현을 하면, 상기 센서부(11)는, 상기 가스 센서(1)의 선단측은 상기 센서 홀더(2) 내에 샘플링된 배기가스와 접촉하고, 소정 성분에 반응하는 감응부이다. 소정 성분이 검출된 경우에는, 이 본체부(12)로부터 상기 분석 장치 본체(101)에 대해서 검출 신호가 케이블을 통하여 출력된다. 3, which is a cross-sectional view taken along the line A-A in Fig. 2 and Fig. 2, the gas sensor 1 is of a substantially cylindrical shape and has a tip end disposed in the exhaust gas introducing space L1, And is disposed in the cooling space L3. More specifically, the front end side of the gas sensor 1 is a sensor portion 11 that is in contact with the exhaust gas, and the proximal end side of the sensor portion 11 has a body portion 12 )to be. The sensor unit 11 is configured such that the leading end side of the gas sensor 1 is in contact with the exhaust gas sampled in the sensor holder 2, It is the reactive part that reacts. When a predetermined component is detected, a detection signal is output from the main body 12 to the analyzer body 101 through a cable.

상기 센서 홀더(2)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 상기 연도(LE)를 형성하는 배기관(EP)의 측면에 마련된 장착 플랜지로부터 배기관(EP)의 반경 방향으로 삽입되는 개략 원통 모양의 부재이다. 환언하면, 상기 센서 홀더(2)는 그 축방향이, 배기가스의 흐름에 대해서 수직이 되도록 마련되어 있다. 본 실시 형태에서는 상기 센서 홀더(2)의 선단은 상기 연도(LE)의 축중심 근방에 배치되어 있다. 또, 이하의 설명에서는 상기 센서 홀더(2)의 선단부는, 상기 센서 홀더(2)에서 상기 연도(LE) 내에 삽입되어 있는 부분을 가리키며, 상기 센서 홀더(2)의 기단부는 상기 연도(LE)의 외측에 배치되어 있는 부분을 가리킨다. 1, the sensor holder 2 is a substantially cylindrical member inserted in the radial direction of the exhaust pipe EP from a mounting flange provided on a side face of an exhaust pipe EP forming the flue LE . In other words, the sensor holder 2 is provided so that its axial direction is perpendicular to the flow of the exhaust gas. In the present embodiment, the distal end of the sensor holder 2 is disposed in the vicinity of the axis center of the flue LE. In the following description, the leading end of the sensor holder 2 refers to a portion of the sensor holder 2 that is inserted into the flue LE, and the base end of the sensor holder 2 is located above the flue LE. As shown in Fig.

상기 센서 홀더(2)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 상기 연도(LE)를 형성하는 배기관(EP)을 기준으로 하여 상기 연도(LE) 내에 배치되는 선단부 내에 상기 배기가스 도입 공간(L1)이 형성되어 있다. 또, 본 실시 형태에서는 상기 배기가스 도입 공간(L1) 전부가, 상기 센서 홀더(2)의 선단부 내에 형성되어 있지만, 상기 배기가스 도입 공간(L1)의 일부가 상기 센서 홀더(2)의 선단부 내에 형성되고, 나머지의 부분이 상기 센서 홀더(2)의 기단부에 형성되어 있어도 괜찮다. 1, the sensor holder 2 has a structure in which the exhaust gas introducing space L1 is formed in the front end portion disposed in the flue LE on the basis of an exhaust pipe EP forming the flue LE, Respectively. In the present embodiment, all of the exhaust gas introduction space L1 is formed in the front end portion of the sensor holder 2, but a part of the exhaust gas introduction space L1 is formed in the front end portion of the sensor holder 2 And the remaining portion may be formed at the proximal end of the sensor holder 2.

이 배기가스 도입 공간(L1) 내에 상기 가스 센서(1)의 상기 센서부(11)가 배치된 상태로 고정된다. 상기 센서 홀더(2)의 선단에는 상기 배기가스 도입 공간(L1)으로 상기 연도(LE)로부터 배기가스가 도입되는 배기가스 도입구가 형성되어 있고, 이 배기가스 도입구에 필터(F)를 마련함으로써 상기 연도(LE)와 상기 배기가스 도입 공간(L1)과의 사이가 나누어져 있다. And the sensor portion 11 of the gas sensor 1 is fixed in the exhaust gas introducing space L1. An exhaust gas inlet for introducing exhaust gas from the flue LE into the exhaust gas introducing space L1 is formed at the tip of the sensor holder 2 and a filter F is provided in the exhaust gas introducing port Whereby the space between the flue LE and the exhaust gas introduction space L1 is divided.

또, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이 상기 센서 홀더(2)에서 상기 배기가스 도입 공간(L1)보다도 기단측의 부분은 복수의 지름이 다른 관이 동심원 모양으로 배치된 다중관 구조가 형성되어 있다. 상기 다중관 구조는, 도 3에 나타내는 바와 같이 내측으로부터 외측을 향해 상기 냉각 공간(L3), 상기 단열층(TB), 상기 교정 가스 유로(L2)가 형성되도록 내측관(21), 칸막이관(22), 외측관(23)이 내측으로부터 이 순서대로 3개 마련되어 있다. 즉, 도 3에 나타내는 바와 같이, 원형 모양의 상기 냉각 공간(L3)의 주위에 횡단면에서 보아 토러스(torus, 원환면(圓環面)) 모양(도너츠 모양)의 상기 단열층(TB)이 배치되고, 또한 상기 단열층(TB)의 외측에 횡단면에서 보아 토러스 모양의 교정 가스 유로(L2)가 배치되어 있다. 2 and 3, in the sensor holder 2, a multi-tube structure in which a plurality of pipes having different diameters are concentrically arranged is formed at a portion closer to the base end than the exhaust gas introduction space L1 have. 3, the inner tube 21 and the partitioning tube 22 are formed so as to form the cooling space L3, the heat insulating layer TB, and the calibration gas passage L2 from the inside toward the outside as shown in Fig. And three outer tubes 23 are provided in this order from the inner side. That is, as shown in Fig. 3, the heat insulating layer TB of a torus (annular surface) shape (donut shape) is arranged around the cooling space L3 having a circular shape in cross section And a torus-shaped calibration gas flow path L2 is disposed outside the heat insulating layer TB in a cross-sectional view.

상기 냉각 공간(L3)은, 상기 내측관(21)의 내부에 형성되고, 상기 가스 센서(1)의 본체부(12)가 수용되어 있는 원통 모양의 공간이다. 도 1에 나타내는 바와 같이 상기 내측관(21)의 기단 근방 측면에 형성된 냉각 매체 도입구(24)를 통해서 내부에 냉각 매체가 도입되도록 되어 있다. 예를 들면, 상기 냉각 매체 도입구(24)를 통해서 냉각 매체로서 저온으로 조정된 기체가 냉각 공간(L3) 내를 순환하도록 하여 소정의 온도가 유지되도록 해도 괜찮다. The cooling space L3 is formed in the inner tube 21 and is a cylindrical space in which the body portion 12 of the gas sensor 1 is accommodated. As shown in Fig. 1, the cooling medium is introduced into the inside of the inner tube 21 through a cooling medium inlet 24 provided on the side near the base end. For example, a predetermined temperature may be maintained by causing the gas adjusted as the cooling medium to circulate in the cooling space L3 through the cooling medium inlet 24.

상기 교정 가스 유로(L2)는, 상기 센서 홀더(2) 내에 형성된 유로로서, 상기 연도(LE)의 외측에 배치된 상기 센서 홀더(2)의 기단부로부터 상기 배기가스 도입 공간(L1)에 이르는 가스 유통로(流通路)이다. 본 실시 형태에서는, 가스 유통로는 상기 배기가스 도입 공간(L1)으로 교정 가스를 공급하는 교정 가스 유로(L2)로서 구성되어 있다. 상기 교정 가스 유로(L2)는, 상기 배기가스 도입 공간(L1) 근방을 제외하고 상기 센서 홀더(2) 내에서 가장 외측 부분을 축방향을 따라서 교정 가스가 흐르도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 상기 연도(LE)의 외측에 배치된 상기 센서 홀더(2)의 기단부에서 상기 외측관(23)의 측면으로 개구된 교정 가스 도입구(25)로부터 상기 배기가스 도입 공간(L1)으로 교정 가스를 공급하는 유로이다. 본 실시 형태에서는, 상기 교정 가스 유로(L2)는, 상기 칸막이관(22)과 상기 외측관(23)으로 이루어지는 이중관에 의해 형성된 유로와 상기 배기가스 도입 공간(L1)과 연통하는 연통 유로(L21)를 구비하고 있다. The calibration gas flow path L2 is a flow path formed in the sensor holder 2. The calibration gas flow path L2 includes a gas leading from the base end of the sensor holder 2 disposed outside the flue LE to the exhaust gas introduction space L1 It is a distribution channel. In the present embodiment, the gas flow path is configured as a calibration gas flow path L2 for supplying a calibration gas to the exhaust gas introduction space L1. The calibration gas passage (L2) is configured so that a calibration gas flows along the axial direction at the outermost portion in the sensor holder (2) except for the vicinity of the exhaust gas introduction space (L1). More specifically, from the calibration gas inlet 25, which is opened from the proximal end of the sensor holder 2 disposed on the outside of the flue LE to the side of the outer tube 23, the exhaust gas introduction space L1 ) To supply the calibration gas. In the present embodiment, the calibration gas flow path L2 includes a flow path formed by a double pipe composed of the partitioning pipe 22 and the outer pipe 23 and a communication flow path L21 communicating with the exhaust gas introduction space L1 .

이 교정 가스 유로(L2)에는, 도 1에 나타내는 바와 같이 상기 교정 가스 도입구(25)를 통해서 제로점(zero点) 가스 공급원(ZG)과, 스팬(span) 조정 가스 공급원(SG)에 각각 접속되어 있다. 또, 제로점 가스 공급원(ZG), 스팬 조정 가스 공급원(SG)에는 각각 개폐 밸브가 마련되어 있으며, 상기 교정 가스 유로(L2)로 어떤 가스를 공급할지, 혹은 각 가스를 공급하지 않을지를 제어할 수 있다. 제로점 가스는, 상기 가스 센서(1)에서 검출되는 소정 성분을 실질적으로 포함하지 않는 가스이며, 이 가스는 상기 교정 가스 유로(L2) 및 상기 배기가스 도입 공간(L1) 내에 있는 가스를 퍼지하기 위한 퍼지 가스로서도 이용된다. 즉, 본 실시 형태에서는 종래와 같이 교정 가스 유로(L2)와 퍼지 가스 유로를 따로 따로 상기 센서 홀더(2) 내에 마련하는 것은 아니고, 공용하도록 하고 있다. 또, 스팬 조정 가스는 상기 가스 센서(1)에서 검출되는 소정 성분을 소정 농도 포함하는 것이며, 스팬 교정을 위해서 이용된다. 1, a zero point gas supply source ZG and a span adjustment gas supply source SG are connected to the calibration gas flow path L2 through the calibration gas introduction port 25, Respectively. The zero-point gas supply source (ZG) and the span adjustment gas supply source (SG) are each provided with an on-off valve and can control which gas is supplied to the calibration gas passage (L2) have. The zero point gas is a gas substantially not containing the predetermined component detected by the gas sensor 1 and this gas is used to purge the gas in the calibration gas flow path L2 and the exhaust gas introduction space L1 Is also used as the purge gas for the purge gas. That is, in the present embodiment, the calibration gas flow path L2 and the purge gas flow path are not provided separately in the sensor holder 2, but are common to each other. The span adjustment gas contains a predetermined concentration of a predetermined component detected by the gas sensor 1 and is used for span calibration.

상기 단열층(TB)은, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이 상기 칸막이관(22)의 내주면과 상기 내측관(21)의 외주면과의 사이에 형성된 예를 들면 공기층이다. 이 단열층(TB)은 통상의 측정시에서 상기 냉각 공간(L3)의 냉각 매체에 의해서 상기 배기가스 도입 공간(L1)으로부터 상기 교정 가스 유로(L2)로 유입될 가능성이 있는 배기가스가 냉각되는 것을 방해할 수 있다. 여기서, 단열층(TB)은 예를 들면 도 5 및 도 6에 나타내어지는 교정 가스 유로(L2)의 배관과 냉각 공간(L3)을 형성하는 내측관(21)이 근접하고 있는 상태보다도 열이 전해지기 어렵게 되어 있는 것으로서 정의할 수 있다. 또, 단열층(TB)으로서 공기층이 아니고, 수지 등의 충전물을 봉입(封入)하여 열의 이동을 더 방해하도록 한 것이라도 좋다. 혹은, 상기 내측관(21)과 상기 칸막이관(22)과의 사이까지를 금속에 의해 중실(中實)로 하고, 적어도 상기 외측관(23)보다도 두꺼운 1개의 관으로서 형성해도 좋다. The heat insulating layer TB is, for example, an air layer formed between the inner peripheral surface of the partitioning tube 22 and the outer peripheral surface of the inner tube 21 as shown in Figs. This insulating layer TB is configured such that the exhaust gas which is likely to flow into the calibration gas flow path L2 from the exhaust gas introduction space L1 is cooled by the cooling medium in the cooling space L3 during normal measurement It can interfere. Here, the heat insulating layer TB is a layer in which the heat is transmitted, for example, in a state where the pipe of the calibration gas passage L2 and the inner tube 21 forming the cooling space L3 are close to each other as shown in Fig. 5 and Fig. It can be defined as being difficult. Alternatively, the heat insulating layer TB may be formed not by an air layer but by enclosing a filler such as a resin to further obstruct heat transfer. Alternatively, the inner tube 21 and the partitioning tube 22 may be made of metal by solidification, and may be formed as at least one tube that is thicker than the outer tube 23.

연산 처리부(COM)는, 메모리에 격납되어 있는 프로브 디바이스용 프로그램이 실행되고, 각종 기기가 협업하는 것에 의해, 적어도 보정 처리부(4), 막힘 판정부(5)로서의 기능을 실현하는 것이다. The operation processing unit COM realizes functions of at least the correction processing unit 4 and the clogging judgment unit 5 by executing the program for the probe device stored in the memory and various devices cooperating with each other.

상기 보정 처리부(4)는, 상기 가스 센서(1)의 출력을 상기 압력 센서(3)의 출력에 기초하여 보정한다. 예를 들면 소정 농도의 소정 성분이 상기 가스 센서(1)에서 검출될 때의 출력이 나타내는 값과, 배기가스의 압력과의 사이의 관계를 나타내는 압력을 파라미터로 하는 보정 계수를 미리 실험 등에 의해 구해 두고, 이 보정 계수와 상기 압력 센서(3)에서 측정되는 압력에 기초하여 상기 보정 처리부(4)는, 상기 가스 센서(1)의 출력을 보정한다. 즉, 상기 보정 처리부(4)는 상기 연도(LE)를 흐르는 배기가스에 압력 변동이 있었다고 해도, 소정 성분의 농도에 따른 출력치로 환산한다. The correction processing section (4) corrects the output of the gas sensor (1) based on the output of the pressure sensor (3). For example, a correction coefficient, which takes as a parameter a pressure indicating the relationship between the value indicated by the output when the predetermined component of a predetermined concentration is detected by the gas sensor 1 and the pressure of the exhaust gas, The correction processing section (4) corrects the output of the gas sensor (1) based on the correction coefficient and the pressure measured by the pressure sensor (3). That is, the correction processing section 4 converts the output value according to the concentration of the predetermined component into the exhaust gas flowing through the flue LE.

상기 막힘 판정부(5)는, 상기 압력 센서(3)의 출력이 나타내는 측정 압력치와, 미리 정해진 기준치에 기초하여 상기 필터(F)의 막힘 유무를 판정한다. 예를 들면 필터(F)가 막히지 않은 상태에서 상기 압력 센서(3)에 의해 측정되는 측정 압력치에 기초하여 기준치가 설정된다. The clogging determination section 5 determines whether or not the filter F is clogged based on a measured pressure value indicated by the output of the pressure sensor 3 and a predetermined reference value. For example, a reference value is set based on the measured pressure value measured by the pressure sensor 3 in a state in which the filter F is not blocked.

이와 같이 구성된 본 실시 형태의 프로브 디바이스(100) 및 배기가스 분석 장치(200)에 의하면, 상기 압력 센서(3)에 의해서 상기 연도(LE)를 흐르는 배기가스의 압력 변동을 모니터링하고, 상기 보정 처리부(4)가 압력 변동을 보정하므로, 압력의 영향을 배제한 배기가스의 소정 성분의 농도를 정확하게 얻을 수 있다. According to the probe device 100 and the exhaust gas analyzer 200 of the present embodiment configured as described above, the pressure sensor 3 monitors the pressure fluctuation of the exhaust gas flowing through the flue LE, The concentration of the predetermined component of the exhaust gas excluding the influence of the pressure can be accurately obtained.

또, 교정시에서는 상기 교정 가스 유로(L2)를 흐르는 교정 가스는 상기 연도(LE)를 흐르는 배기가스의 압력 변동에 따라 상기 연도(LE)로의 배기가 변동하지만, 상기 압력 센서(3)에서 교정시의 압력을 측정할 수 있으므로, 그러한 변동을 보정하여 상기 가스 센서(1)를 교정하는 것도 가능하다. 즉, 압력 센서(3)는 교정 가스 유로(L2)에 연통함과 아울러 제로점 가스 공급원(ZG) 및 스팬 조정 가스 공급원(SG)에 연통하는 유로에 마련되어 있으므로, 가스 센서(1)의 측정치의 압력 보정 뿐만 아니라, 교정시에서의 가스 센서(1)의 출력의 압력 보정에도 이용할 수 있다. During calibration, the calibration gas flowing through the calibration gas flow path L2 varies in the exhaust to the level LE in accordance with the pressure fluctuation of the exhaust gas flowing through the flow path LE, It is also possible to calibrate the gas sensor 1 by correcting such fluctuations. That is, since the pressure sensor 3 is provided in the flow path communicating with the calibration gas flow path L2 and in communication with the zero point gas supply source ZG and the span adjustment gas supply source SG, Not only the pressure correction but also the pressure correction of the output of the gas sensor 1 at the time of calibration.

게다가, 상기 압력 센서(3)가 나타내는 측정 압력치를 상기 막힘 판정부(5)가 모니터링함으로써 상기 필터(F)의 막힘 상태를 감시할 수 있으므로, 상기 필터(F)의 교환 시기를 자동적으로 얻을 수 있다. 예를 들면, 상기 연도(LE)를 흐르는 배기가스의 상태를 크게 변동시키는 용도에서는, 사용 기간 등으로 교환 시기를 설정하고 있으면 상기 필터(F)가 측정에 적합하지 않는 상태로 되어 있는 경우가 있다. 한편, 상기 프로브 디바이스(100)라면, 상기 필터(F)가 막혀 상기 필터(F)를 통과한 후의 배기가스의 압력이 저하되어 있는 것을 검지할 수 있으므로, 측정에 문제가 발생하기 전에 메인터넌스를 실행할 수 있다. In addition, since the clogging state of the filter F can be monitored by monitoring the measured pressure value indicated by the pressure sensor 3 by the clogging determination section 5, the replacement period of the filter F can be automatically obtained have. For example, in an application in which the state of the exhaust gas flowing through the flue LE is largely changed, the filter F may be in a state not suitable for measurement if the replacement period is set for the use period or the like . On the other hand, in the probe device 100, it is possible to detect that the pressure of the exhaust gas after passing through the filter F is blocked due to the clogging of the filter F, so that maintenance is carried out before a problem occurs in the measurement .

상기 교정 가스 유로(L2)와 상기 냉각 공간(L3)과의 사이는 상기 단열층(TB)으로 나누어져 있기 때문에, 상기 교정 가스 유로(L2) 안에 상기 배기가스 도입 공간(L1)으로부터 상기 연도(LE)를 흐르고 있던 고온의 배기가스가 흘렀다고 해도, 배기가스 중에 포함되는 수분이 응축할 정도로는 냉각되지 않는다. 따라서, 응축한 수분에 배기가스 중의 질소 산화물, 황화물이 녹아들어가 산성 액체가 되어 상기 외측관(23) 또는 상기 칸막이관(22)를 침식하는 것을 방지할 수 있다. Since the space between the calibration gas passage L2 and the cooling space L3 is divided by the heat insulating layer TB, Even if high-temperature exhaust gas flowing through the exhaust gas flows, the water contained in the exhaust gas is not cooled enough to condense. Therefore, it is possible to prevent the nitrogen oxide and the sulfide in the exhaust gas from dissolving into the condensed water to become an acidic liquid and erode the outer tube 23 or the partition tube 22.

또, 상기 교정 가스 유로(L2)는 상기 센서 홀더(2)에서 가장 외주측에 배치되어 있으며, 그 일부가 상기 연도(LE) 내에 배치되므로, 측정시에는 상기 연도(LE)로부터 상기 교정 가스 유로(L2)로 역류하고 있는 배기가스를, 상기 연도(LE)를 흐르는 고온의 배기가스에 의해서 따뜻하게 하여 수분의 응축이 발생하지 않도록 할 수 있다. 한편, 교정시에는 상기 연도(LE) 내를 흐르는 배기가스의 열이 상기 외측관(23)을 통해서 전열(傳熱)하여 교정 가스를 따뜻하게 할 수 있다. 따라서, 히터 등을 이용하지 않아도 교정 가스를 실제의 측정시의 온도로 접근시켜 보다 정확한 교정을 실현할 수 있다. Since the calibration gas flow path L2 is disposed on the outermost circumference side of the sensor holder 2 and a part of the calibration gas flow path L2 is disposed in the flue LE, The exhaust gas flowing backward into the flue line L2 is warmed by the hot exhaust gas flowing through the flue LE so that condensation of water can be prevented from occurring. On the other hand, at the time of calibration, heat of the exhaust gas flowing in the flue (LE) can be transferred through the outer tube (23) to warm the calibration gas. Therefore, even if a heater or the like is not used, the calibration gas can be approached to the temperature at the time of actual measurement, and more accurate calibration can be realized.

상기 압력 센서(3)는, 상기 교정 가스 유로(L2)에 연통하는 유로에 마련되어 있으므로, 상기 연도(LE)를 흐르는 고온의 배기가스에 직접 접촉하지 않아, 열에 의해서 고장나는 것을 방지할 수 있다. Since the pressure sensor 3 is provided in the flow passage communicating with the calibration gas flow path L2, the pressure sensor 3 can be prevented from being damaged by heat because it does not directly contact the high temperature exhaust gas flowing through the flue LE.

게다가, 상기 가스 센서(1)의 본체부(12)는 상기 냉각 공간(L3) 내에 배치되어 있으므로 상기 연도(LE) 내에 일부가 배치되어 있었다고 해도 배기가스의 고온으로 고장이 발생하는 것을 방지할 수 있다. In addition, since the body portion 12 of the gas sensor 1 is disposed in the cooling space L3, even if a part of the body portion 12 is disposed in the flue LE, it is possible to prevent a failure due to the high temperature of the exhaust gas have.

다음으로 본 발명의 그 외의 실시 형태에 대해 설명한다. Next, another embodiment of the present invention will be described.

상기 실시 형태에서는 상기 압력 센서는 상기 교정 가스 유로와 연통하는 유로에 마련되어 있었지만, 예를 들면 교정 가스 유로에 압력 센서를 마련해도 좋다. In the above embodiment, the pressure sensor is provided in the flow path communicating with the calibration gas flow path. However, for example, a pressure sensor may be provided in the calibration gas flow path.

상기 보정 처리부는, 상기 가스 센서의 출력이 나타내는 값을 상기 압력 센서의 측정 압력치에 기초하여 컴퓨터 상의 값으로서 보정 처리하는 것이었지만, 상기 본체부로부터 출력되는 출력 신호 자체를 보정 처리하는 것이라도 좋다. 또, 가스 센서는 소정 성분의 농도에 따른 출력을 하는 것에 한정되지 않고, 그 외의 물리적인 파라미터에 따른 출력을 하는 센서라도 상관없다. The correction processing section corrects the value indicated by the output of the gas sensor as a value on the computer based on the measured pressure value of the pressure sensor but may also perform the correction processing on the output signal itself output from the main body section . Further, the gas sensor is not limited to output according to the concentration of a predetermined component, and may be a sensor that outputs an output in accordance with other physical parameters.

상기 실시 형태에서는 교정 가스 유로와 퍼지 가스 유로를 공용하도록 하고 있었지만, 각각의 가스를 위한 전용의 유로로 나누어도 좋다. 또, 압력 센서가 마련되는 것은, 교정 가스나 퍼지 가스를 상기 배기가스 도입 공간에 공급하기 위한 유로에 한정되지 않는다. 예를 들면, 상기 배기가스 도입 공간과 연통하고, 상기 센서 홀더 내에서 상기 연도의 외측에 배치되어 있는 기단부로 도달하는 가스 유통로를 별도 마련해 두고, 교정 가스나 퍼지 가스를 상기 가스 유통로에 흘리지 않도록 해도 괜찮다. In the above embodiment, the calibration gas flow path and the purge gas flow path are shared, but they may be divided into dedicated flow paths for respective gases. The provision of the pressure sensor is not limited to the flow path for supplying the calibration gas or the purge gas to the exhaust gas introduction space. For example, a gas flow passage communicating with the exhaust gas introduction space and reaching a proximal end portion disposed outside the flue in the sensor holder may be separately provided, and a calibration gas or purge gas may be supplied to the gas flow passage It's okay to avoid it.

상기 실시 형태에서는 상기 센서 홀더는 상기 내측관, 상기 칸막이관, 상기 외측관으로 이루어지는 삼중관 구조를 가지고 있었지만, 예를 들면 내측관과 외측관으로 이루어지는 이중관 구조로서 구성해도 괜찮다. 즉, 상기 내측관의 내측을 가스 센서의 냉각 공간으로 하고, 상기 내측관과 상기 외측관과의 사이를 교정 가스 유로로 해도 괜찮다. 이 경우에는, 상기 내측관의 두께를 상기 외측관보다도 두껍게 하여 단열층으로서의 기능을 발휘하도록 하면 좋다. 이러한 것이라도, 상기 교정 가스 유로를 흐르는 고온의 배기가스가 상기 냉각 공간에 도입되는 냉각 매체에 의해서 냉각되기 어렵게 하여 수분의 응축을 방지하고, 황산 등의 산성 액체의 발생을 방지할 수 있다. 또, 센서 홀더는 동축의 다중 구조가 아니라도 좋고, 예를 들면 외측관에 대해서 내측관이 편심하고 있도록 해도 괜찮다. 또, 가스 유통로인 교정 가스 유로의 횡단면 형상에 대해서는 토러스 모양에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 상기 외측관과 상기 내측관의 사이에서 일부가 폐색되어 있고, 가스 유통로의 횡단면 형상이 C자 모양 등의 부분 링 모양으로 형성되어 있어도 괜찮다. In the above embodiment, the sensor holder has a triple-tube structure composed of the inner tube, the partition tube, and the outer tube. However, the sensor holder may be configured as a double tube structure composed of an inner tube and an outer tube, for example. That is, the inner side of the inner tube may be used as a cooling space for the gas sensor, and the gap between the inner tube and the outer tube may be used as a calibration gas flow path. In this case, the thickness of the inner tube may be made larger than that of the outer tube so that the function as the heat insulating layer is exhibited. Even in this case, the high temperature exhaust gas flowing through the calibration gas flow path is hardly cooled by the cooling medium introduced into the cooling space, thereby preventing the condensation of moisture and preventing the generation of acidic liquid such as sulfuric acid. The sensor holder may not be a coaxial multiple structure, and the inner tube may be eccentric with respect to the outer tube, for example. The cross-sectional shape of the calibration gas flow path, which is a gas flow path, is not limited to a torus shape. For example, the cross-sectional shape of the calibration flow path is partially blocked between the outer pipe and the inner pipe, It may be formed into a partial ring shape such as a letter shape.

그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에서 여러가지 실시 형태의 변형이나 조합을 행해도 상관없다. In addition, modifications and combinations of various embodiments may be made without departing from the spirit of the present invention.

200 - 배기가스 분석 장치 100 - 프로브 디바이스
1 - 가스 센서 11 - 센서부
12 - 본체부 2 - 센서 홀더
21 - 내측관 22 - 칸막이관
23 - 외측관 L1 - 배기가스 도입 공간
L2 - 교정 가스 유로 L3 - 냉각 공간
TB - 단열층 3 - 압력 센서
4 - 보정 처리부 5 - 막힘 판정부200 - Exhaust gas analyzer 100 - Probe device
1 - Gas sensor 11 - Sensor part
12 - Body part 2 - Sensor holder
21 - Inner tube 22 - Partition tube
23 - outer tube L1 - exhaust gas introduction space
L2 - calibration gas flow path L3 - cooling space
TB - Insulation layer 3 - Pressure sensor
4 - correction processing section 5 - clogging judgment section

Claims (10)

연도(煙道)를 흐르는 배기가스를 샘플링하는 프로브(probe) 디바이스로서,
배기가스와 접촉하는 센서부를 구비하는 가스 센서와,
상기 연도의 내외를 관통하도록 마련되고, 내부에 상기 가스 센서를 유지하는 센서 홀더와,
상기 센서 홀더에 형성되고, 상기 연도의 외측에 배치된 상기 센서 홀더의 기단부로부터 상기 센서부에 이르는 가스 유통로(流通路)와,
상기 가스 유통로, 또는, 상기 연도의 외측에서 상기 가스 유통로와 연통하는 유로의 압력을 측정하는 압력 센서와,
상기 가스 센서의 출력을 상기 압력 센서의 출력에 기초하여 보정하는 보정 처리부를 구비한 프로브 디바이스.1. A probe device for sampling exhaust gas flowing through a flue,
A gas sensor having a sensor portion in contact with an exhaust gas,
A sensor holder which is provided so as to pass through the inside and outside of the flue and holds the gas sensor therein,
A gas flow passage (flow passage) formed in the sensor holder and extending from the base end of the sensor holder disposed outside the flue to the sensor section,
A pressure sensor for measuring a pressure of the gas flow passage or a flow path communicating with the gas flow passage from the outside of the flue,
And a correction processing section for correcting the output of the gas sensor based on the output of the pressure sensor. 청구항 1에 있어서,
상기 가스 유통로는, 교정(校正) 가스 유로 또는 퍼지(purge) 가스 유로 중 적어도 일방을 구성하는 프로브 디바이스.The method according to claim 1,
Wherein the gas flow path comprises at least one of a calibration gas flow path and a purge gas flow path. 청구항 1에 있어서,
상기 가스 센서가, 상기 센서 홀더 내의 상기 센서부보다도 기단부측에 유지되는 본체부를 더 구비하는 것이며,
상기 센서 홀더 내에 형성되고, 상기 가스 센서의 본체부가 수용됨과 아울러 냉각 매체가 도입되는 냉각 공간을 더 구비하며,
상기 냉각 공간과 상기 가스 유통로와의 사이에 단열층이 형성되어 있는 프로브 디바이스.The method according to claim 1,
Wherein the gas sensor further comprises a main body portion that is held on the proximal end side of the sensor portion in the sensor holder,
And a cooling space formed in the sensor holder for receiving a body portion of the gas sensor and for introducing a cooling medium,
And a heat insulating layer is formed between the cooling space and the gas passage. 청구항 1에 있어서,
상기 가스 유통로의 적어도 일부가, 상기 연도 내로 돌출된 상기 센서 홀더의 선단부 내에 형성되어 있는 프로브 디바이스.The method according to claim 1,
And at least a part of the gas flow passage is formed in the distal end portion of the sensor holder protruding into the flue. 청구항 3에 있어서,
상기 센서 홀더가, 적어도 내측관 및 외측관으로 이루어지는 다중관(多重管) 구조를 가지는 것이며,
상기 내측관의 내부에 상기 냉각 공간이 형성되고,
상기 내측관과 상기 외측관과의 사이에 상기 가스 유통로가 형성되는 프로브 디바이스.The method of claim 3,
Wherein the sensor holder has a multi-tube structure including at least an inner tube and an outer tube,
The cooling space is formed inside the inner tube,
And the gas flow path is formed between the inner tube and the outer tube. 청구항 5에 있어서,
상기 센서 홀더가, 상기 내측관과 상기 외측관과의 사이에 칸막이관을 더 구비하며,
상기 내측관의 외측면과 상기 칸막이관의 내측면과의 사이의 공간에 의해서 상기 단열층이 형성되어 있는 프로브 디바이스.The method of claim 5,
Wherein the sensor holder further comprises a partitioning tube between the inner tube and the outer tube,
Wherein the heat insulating layer is formed by a space between an outer surface of the inner tube and an inner surface of the partition tube. 청구항 5에 있어서,
상기 센서 홀더의 횡단면을 본 경우에 있어서,
상기 가스 유통로가, 상기 내측관의 외측면을 전체 둘레에 걸쳐서 둘러싸도록 형성되어 있는 프로브 디바이스.The method of claim 5,
In the case of viewing the transverse section of the sensor holder,
Wherein the gas flow path is formed so as to surround the entire outer circumference of the outer surface of the inner tube. 청구항 1에 있어서,
상기 연도 내로 돌출된 상기 센서 홀더의 선단부 내에 적어도 일부가 형성되고, 상기 가스 센서의 상기 센서부가 수용됨과 아울러 상기 연도로부터 배기가스가 도입되는 배기가스 도입 공간과,
상기 연도와 상기 배기가스 도입 공간을 나누는 필터와,
상기 압력 센서의 출력이 나타내는 측정 압력치와, 미리 정해진 기준치에 기초하여 상기 필터의 막힘 유무를 판정하는 막힘 판정부를 더 구비한 프로브 디바이스.The method according to claim 1,
An exhaust gas introduction space in which at least a part of the sensor holder protruded into the flue is formed and in which the sensor portion of the gas sensor is received and in which exhaust gas is introduced from the flue,
A filter dividing the flue gas and the exhaust gas introduction space,
Further comprising a clogging determination unit for determining whether or not the filter is clogged based on a measured pressure value indicated by the output of the pressure sensor and a predetermined reference value. 청구항 1에 기재된 프로브 디바이스와,
상기 가스 센서로부터의 출력에 기초하여 상기 연도를 흐르는 배기가스에 대해 분석하는 분석 장치 본체를 구비한 배기가스 분석 장치.A probe device according to claim 1;
And an analyzer body for analyzing the exhaust gas flowing through the flue based on an output from the gas sensor. 배기가스와 접촉하는 센서부를 구비하는 가스 센서와, 상기 연도의 내외를 관통하도록 마련되고, 내부에 상기 가스 센서를 유지하는 센서 홀더를 구비하며, 연도를 흐르는 배기가스를 샘플링하는 프로브 디바이스를 이용한 상기 가스 센서의 출력의 보정 방법으로서,
상기 센서 홀더에 형성되고, 상기 연도의 외측에 배치된 상기 센서 홀더의 기단부로부터 상기 센서부에 이르는 가스 유통로, 또는 상기 연도의 외측에서 상기 가스 유통로와 연통하는 유로에 마련된 압력 센서의 출력에 기초하여, 상기 가스 센서의 출력을 보정하는 보정 방법.A gas sensor having a sensor portion in contact with the exhaust gas, a sensor holder provided inside the sensor to hold the gas sensor therein, and a probe device for sampling the exhaust gas flowing through the sensor, A method of correcting an output of a gas sensor,
A gas flow passage formed in the sensor holder and extending from the base end of the sensor holder to the sensor section disposed outside the flue or an output of a pressure sensor provided in a flow passage communicating with the gas flow passage from the outside of the flue And correcting an output of the gas sensor on the basis of the correction value.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7194633B2 (en) * 2019-04-15 2022-12-22 エナジーサポート株式会社 How to calibrate an oxygen analyzer
JP7148560B2 (en) * 2020-02-28 2022-10-05 フタバ産業株式会社 Sensor boss and sensor boss mounting structure

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003014633A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd So3 densitometer
JP2003322597A (en) * 2002-04-26 2003-11-14 Shimadzu Corp Sampling device for gas analyzer
KR20060061898A (en) * 2004-12-02 2006-06-08 에너지 서포트 코포레이션 Gas analyzer apparatus
EP1944598A1 (en) * 2007-01-12 2008-07-16 Servomex Group Ltd Elongated exhaust gas probe
JP2010276550A (en) 2009-05-29 2010-12-09 Horiba Ltd Exhaust gas analyzer and probe unit
JP2013221805A (en) * 2012-04-13 2013-10-28 Horiba Ltd Exhaust gas analyzer and probe unit

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3655569B2 (en) * 2001-09-06 2005-06-02 大陽日酸株式会社 Gas component concentration measuring method and apparatus
CN1462874A (en) * 2003-06-24 2003-12-24 清华大学 Method and device for measuring density of carbon monoxide in flue gases of combustion equipment
JP2009042165A (en) * 2007-08-10 2009-02-26 Energy Support Corp Gas analyzing apparatus
JP2010276548A (en) * 2009-05-29 2010-12-09 Horiba Ltd Exhaust gas analyzer, and probe unit
CN101900702A (en) * 2009-05-29 2010-12-01 株式会社堀场制作所 Exhaust gas analyzer and probe unit
CN201765186U (en) * 2010-05-20 2011-03-16 佛山市南华仪器有限公司 Transmission-type smoke meter capable of realizing continuous online measurement
JP5519596B2 (en) * 2011-08-08 2014-06-11 日本特殊陶業株式会社 Gas sensor device and concentration measuring method using gas sensor
US9013703B2 (en) * 2011-12-27 2015-04-21 Horiba, Ltd. Gas analyzing apparatus
JP6021761B2 (en) * 2013-08-27 2016-11-09 日立オートモティブシステムズ株式会社 Gas sensor device
CN203941102U (en) * 2014-03-25 2014-11-12 南京霍普斯科技有限公司 A kind of solid waste incineration is processed on-line analysis system
CN105806804A (en) * 2016-04-06 2016-07-27 杭州绰美科技有限公司 Integrated online monitoring instrument for monitoring ammonia escape during denitration

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003014633A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd So3 densitometer
JP2003322597A (en) * 2002-04-26 2003-11-14 Shimadzu Corp Sampling device for gas analyzer
KR20060061898A (en) * 2004-12-02 2006-06-08 에너지 서포트 코포레이션 Gas analyzer apparatus
EP1944598A1 (en) * 2007-01-12 2008-07-16 Servomex Group Ltd Elongated exhaust gas probe
JP2010276550A (en) 2009-05-29 2010-12-09 Horiba Ltd Exhaust gas analyzer and probe unit
JP2013221805A (en) * 2012-04-13 2013-10-28 Horiba Ltd Exhaust gas analyzer and probe unit

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