KR20180118896A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20180118896A
KR20180118896A KR1020170052137A KR20170052137A KR20180118896A KR 20180118896 A KR20180118896 A KR 20180118896A KR 1020170052137 A KR1020170052137 A KR 1020170052137A KR 20170052137 A KR20170052137 A KR 20170052137A KR 20180118896 A KR20180118896 A KR 20180118896A
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안준호
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 기판 처리 장치는, 기판의 측면을 구속하는 리테이너 링이 구비된 캐리어 헤드와, 기판이 거치되는 거치대와, 거치대에 장착되며 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 측정부와, 측정부에서 측정된 거리 변화에 기초하여 리테이너 링의 마모량을 감지하는 마모량 감지부를 포함하는 것에 의하여, 리테이너 링의 마모량을 정확하게 감지하고, 리테이너 링의 마모됨에 따른 웨이퍼의 이탈 및 공정 오류를 사전에 감지하여 예방하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.

Description

기판 처리 장치{SUBSTRATE PROCESING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로 기판의 이탈을 구속하는 리테이너 링의 마모량을 정확하게 감지할 수 있는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자는 미세한 회로선이 고밀도로 집적되어 제조됨에 따라, 이에 상응하는 정밀 연마가 웨이퍼 표면에 행해진다. 웨이퍼의 연마를 보다 정밀하게 행하기 위해서는 기계적인 연마 뿐만 아니라 화학적 연마가 병행되는 화학 기계적 연마 공정(CMP공정)이 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 행해진다.
즉, 연마 정반(10)의 상면에는 웨이퍼(W)가 가압되면서 맞닿는 연마패드(11)가 연마 정반(10)과 함께 회전(11d)하도록 설치되며, 화학적 연마를 위해 공급 유닛(30)의 슬러리 공급구(32)를 통해 슬러리가 공급되면서, 마찰에 의한 기계적 연마를 웨이퍼(W)에 행한다. 이때, 웨이퍼(W)는 캐리어 헤드(20)에 의해 정해진 위치에서 회전(20d)하여 정밀하게 평탄화시키는 연마 공정이 행해진다.
연마패드(11)의 표면에 도포된 슬러리는 도면부호 40d로 표시된 방향으로 회전하면서 아암(41)이 41d로 표시된 방향으로 선회 운동을 하는 컨디셔너(40)에 의해 연마패드(11) 상에서 골고루 퍼지면서 웨이퍼(W)에 유입될 수 있고, 연마패드(11)는 컨디셔너(40)의 기계적 드레싱 공정에 의해 일정한 연마면을 유지할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 캐리어 헤드(1)는, 본체(110)와, 본체(110)와 함께 회전하는 베이스(120)와, 베이스(120)를 둘러싸는 링 형태로 상하 이동 가능하게 장착되어 베이스(120)와 함께 회전하는 리테이너 링(130)과, 베이스(120)에 고정되어 베이스(120)와의 사이 공간에 압력 챔버(C1, C2, C3, C4, C5)를 형성하는 탄성 재질의 멤브레인(140)과, 공압 공급로(155)를 통해 압력 챔버(C1, C2, C3, C4, C5)로 공기를 넣거나 빼면서 압력을 조절하는 압력 제어부(150)로 구성된다.
탄성 재질의 멤브레인(140)은 웨이퍼(W)를 가압하는 평탄한 바닥판(141)의 가장자리 끝단에 측면(142)이 절곡 형성된다. 멤브레인(140)의 중앙부 끝단(140a)은 베이스(120)에 고정되어 웨이퍼(W)를 직접 흡입하는 흡입공(77)이 형성된다. 멤브레인(150)의 중앙부에 흡입공이 형성되지 않고 웨이퍼(W)를 가압하는 면으로 형성될 수도 있다. 멤브레인(140)의 중심으로부터 측면(142)의 사이에는 베이스(120)에 고정되는 링 형태의 격벽(143)이 다수 형성되어, 격벽(143)을 기준으로 다수의 압력 챔버(C1, C2, C3, C4, C5)가 동심원 형태로 배열된다.
이에 따라, 화학 기계적 연마 공정 중에 압력 조절부(150)로부터 인가되는 공압에 의하여 압력 챔버(C1, C2, C3, C4, C5)가 팽창하면서, 멤브레인 바닥판(141)을 통해 웨이퍼(W)의 판면을 가압한다.
이와 동시에, 본체(110) 및 베이스(120)와 함께 회전하는 리테이너 링(130)의 저면(130s)도 연마 패드(11)를 가압하면서 회전함으로써, 리테이너 링(130)에 의하여 둘러싸인 웨이퍼(W)가 캐리어 헤드(1)의 바깥으로 이탈하는 것을 방지한다.
한편, 연마 공정 중에는 리테이너 링(130)도 연마 패드(11)에 접촉하기 때문에, 리테이너 링(130)의 마모가 발생한다.
그런데, 리테이너 링(130)의 마모량이 일정 이상 커지면, 리테이너 링(130)이 거치대에 접촉하는 접촉 높이가 달라져 웨이퍼의 로딩 및 언로딩시 공정 오류가 발생하는 문제점이 있으며, 연마 공정 중에 웨이퍼(W)가 캐리어 헤드(1)로부터 이탈되는 문제점이 있다.
특히, 웨이퍼(W)의 연마 공정 중에는 웨이퍼가 자전과 동시에 공전을 하면서 고속으로 회전하게 되는데, 리테이너 링(130)의 마모가 일정 이상 진행되면, 연마 패드와 리테이너 링(130)의 사이에 간극이 형성되거나, 리테이너 링(130)이 연마 패드에 충분한 가압력으로 접촉되기 어려워, 고속 회전시 발생되는 원심력에 의해 웨이퍼(W)가 캐리어 헤드(20)로부터 이탈되는 웨이퍼 이탈 현상, 즉, 슬립 아웃(slip-out) 현상이 발생하는 문제점이 있으며, 이탈된 웨이퍼(W)가 주변 장비에 충돌함에 따라 웨이퍼 및 주변 장비가 파손되는 문제점이 있다.
이를 위해, 최근에는 리테이너 링의 마모됨에 따른 웨이퍼의 이탈 및 공정 오류가 발생하기 전에 리테이너 링을 적시에 교체하기 위한 다양한 검토가 이루어지고 있으나, 아직 미흡하여 이에 대한 개발이 요구되고 있다.
본 발명은 기판의 이탈을 구속하는 리테이너 링의 마모량을 정확하게 감지할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
특히, 본 발명은 리테이너 링의 마모됨에 따른 웨이퍼의 이탈 및 공정 오류를 사전에 감지하여 예방할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 리테이너 링의 마모 상태를 정확하게 감지하고, 교체 주기 관리를 용이하게 행할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 공정 효율 및 생산성을 향상시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 안정성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 기판 처리 장치는, 기판의 측면을 구속하는 리테이너 링이 구비된 캐리어 헤드와, 기판이 거치되는 거치대와, 거치대에 장착되며 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 측정부와, 측정부에서 측정된 거리 변화에 기초하여 리테이너 링의 마모량을 감지하는 마모량 감지부를 포함한다.
이는 리테이너 링의 마모량을 정확하게 감지하고, 리테이너 링이 과다하게 마모됨에 따른 기판의 이탈 및 공정 오류를 사전에 예방하기 위함이다.
특히, 본 발명은 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 것에 의하여, 리테이너 링의 마모량을 정확하게 감지할 수 있으며, 리테이너 링의 마모됨에 따른 기판의 이탈 및 공정 오류가 발생하기 전에 리테이너 링을 적시에 교체하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 기존에는 리테이너 링의 마모 정도를 알 수 없기 때문에, 리테이너 링의 과다 마모에 의한 로딩 및 언로딩시 공정 오류와, 연마 공정 중에 기판의 이탈 현상을 사전에 예방하기 어려운 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 것에 의하여, 리테이너 링의 마모량을 정확하게 감지할 수 있으며, 리테이너 링의 과다 마모에 의한 로딩 및 언로딩시 공정 오류와, 연마 공정 중에 기판의 이탈 현상을 사전에 예방하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
거치대는 기판을 거치할 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있으며, 거치대의 구조 및 특성은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 가령, 거치대에서 기판이 거치되는 기판 거치면과 리테이너 링이 거치되는 리테이너 링 거치면은 일체로 형성되거나 분리된 형태로 제공될 수 있다.
일 예로, 거치대는, 기판이 거치되는 기판 거치부와, 기판 거치부의 둘레에 배치되며 리테이너 링이 거치되는 리테이너 링 거치부를 포함한다. 이때, 리테이너 링 거치부는 리테이너 링의 원주 방향을 따라 이격되게 분리된 형태로 제공되거나, 리테이너 링의 원주 방향을 따라 연속적인 링 형태로 제공될 수 있다.
또한, 거치대는, 기판 거치부에 대해 리테이너 링 거치부를 상하 방향을 따라 탄성적으로 이동 가능하게 지지하는 탄성지지부를 포함할 수 있다. 이와 같이, 리테이너 링 거치부가 탄성지지부에 의해 탄성적으로 지지되도록 하는 것에 의하여, 리테이너 링이 리테이너 링 거치부에 접촉될 시, 기판거치부에 대해 리테이너 링 거치부가 탄성 이동할 수 있으므로, 리테이너 링과 리테이너 링 거치부의 접촉에 의한 충격력이 감쇄시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
다른 일 예로, 거치대는, 기판의 저면으로부터 이격되게 배치되는 거치플레이트와, 거치플레이트의 상면에 배치되며 기판의 저면 가장자리를 지지하는 가장자리 거치부와, 거치플레이트에 대해 가장자리 거치부를 상하 이동 가능하게 탄성적으로 지지하는 탄성지지부를 포함한다.
측정부는 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하도록 마련되며, 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 기판거치부에 장착되거나, 리테이너 링 거치부에 장착될 수 있다.
일 예로, 측정부는 기판거치부에 장착될 수 있다. 보다 구체적으로, 리테이너 링 거치부에는 감지홀이 형성되고, 측정부는 감지홀의 하부에 배치되도록 기판거치부에 장착된다.
다른 일 예로, 측정부는 리테이너 링 거치부에 장착될 수 있다. 보다 구체적으로, 리테이너 링 거치부의 상면에는 수용홈이 형성되고, 측정부는 상기 수용홈의 내부에 장착된다.
측정부로서는 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정할 수 있는 다양한 측정수단이 사용될 수 있다. 바람직하게, 측정부로서는 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 비접촉식으로 감지하는 비접촉식 측정수단이 사용된다. 일 예로, 측정부로서는 근접 센서 또는 변위 센서가 사용된다.
바람직하게, 측정부는, 거치대에 대해 캐리어 헤드가 미리 설정된 기준 높이에 배치된 상태에서 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정한다.
즉, 측정부에 의한 거리 측정은 서로 다른 기판이 처리될 때마다 반복적으로 진행될 수 있다. 그런데, 서로 다른 기판의 처리 순서에 따라 측정부에 의한 거리 측정이 행해지는 동안, 거치대에 대한 캐리어 헤드의 기준 높이가 매번 달라지게 되면, 측정부에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 정확하게 측정하기 어려운 문제점이 있다. 예를 들어, 측정부에서 리테이너 링까지의 거리에 대한 1차 측정이 완료된 후, 다른 기판에 대한 연마 단계를 거친 다음에 2차 측정이 행해질 시, 리테이너 링의 마모가 추가적으로 발생되어 리테이너 링까지의 거리가 "A"만큼 증가하였는데도 불구하고, 거치대에 대한 캐리어 헤드의 기준 높이가 "A"만큼 낮아진 상태(1차 측정시보다 "A"만큼 낮아진 상태)로 2차 측정이 행해지면, 측정부에서 측정되는 결과는 그 전에 측정된 결과(1차 측정 결과)와 동일하게 되는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 매 측정시마다 거치대에 대한 캐리어 헤드의 기준 높이가 항상 일정하도록 하는 것에 의하여, 측정부에 의한 측정 정확도를 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 측정부는, 리테이너 링이 캐리어 헤드 상에서 최상단 높이까지 이동한 상태에서 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하도록 구성된다.
이와 같이, 리테이너 링이 캐리어 헤드 상에서 최상단 높이까지 이동한 상태에서 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 것에 의하여, 측정부에 의한 측정 정확도를 보다 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 캐리어 헤드가 공중에 배치된 상태(거치대에서 이격된 상태)에서, 리테이너 링은 자중에 의해 하방으로 처진 상태로 배치되는데, 이때, 리테이너 링의 처짐량은 리테이너 링의 마모 정도(자중 차이)에 따라 달라질 수 있다. 그런데, 서로 다른 기판의 처리 순서에 따라 측정부에 의한 거리 측정이 행해지는 동안, 리테이너 링의 처짐량이 매번 달라지게 되면, 거치대에 대한 캐리어 헤드의 기준 높이도 매번 달라지기 때문에, 측정부에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 정확하게 측정하기 어려운 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 리테이너 링이 캐리어 헤드 상에서 최상단 높이까지 이동한 상태(리테이너 링의 처짐이 없는 상태)에서 측정부에 의한 거리 측정이 행해지도록 하는 것에 의하여, 매 측정시마다 거치대에 대한 캐리어 헤드의 기준 높이를 항상 일정하기 유지할 수 있으므로, 측정부에 의한 측정 정확도를 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
아울러, 측정부는 거치부의 원주 방향을 따라 이격되게 복수개가 마련될 수 있다. 이와 같이, 복수개의 측정부를 이용하여 리테이너 링의 마모를 감지하는 것에 의하여, 감지 정확도 및 신뢰성을 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 기판 처리 장치는 복수개의 측정부에서 감지된 결과에 기초하여 리테이너 링의 평탄도를 감지하는 평탄도 감지부를 포함할 수 있다. 이와 같이, 리테이너 링의 마모량을 측정함과 동시에 리테이너 링의 평탄도(마모 편차)를 함께 감지하는 것에 의하여, 리테이너 링의 마모 상태를 보다 정확하게 감지하고, 교체 주기 관리를 용이하게 행할 수 있다. 더욱이, 평탄도 감지부에 의한 평탄도 감지는, 리테이너 링의 마모량을 감지하기 위해 이미 마련된 측정부에서 측정된 신호에 기초하여 감지될 수 있기 때문에, 평탄도 감지를 위한 센서 등을 추가적으로 마련할 필요가 없기 때문에, 구조 및 처리 과정을 간소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 기판 처리 장치는 마모량 감지부에서 감지된 리테이너 링의 마모량에 기초하여 기판의 연마를 제어하는 제어부를 포함한다.
보다 구체적으로, 제어부는 마모량 감지부에서 감지된 리테이너 링의 마모량이 허용 범위 이내에 있으면, 기판의 처리 공정이 정상적으로 행해지도록 하고, 리테이너 링의 마모량이 허용 범위를 벗어나면 기판의 처리 공정을 중단시키도록 구성된다.
이와 같이, 제어부가 리테이너 링의 마모량이 일정 이상 커지면, 기판의 처리 공정을 중단시키도록 하는 것에 의하여, 리테이너 링의 과다 마모에 의한 로딩 및 언로딩시 공정 오류와, 연마 공정 중에 기판의 이탈 현상을 사전에 예방하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 기판의 이탈을 구속하는 리테이너 링의 마모량을 정확하게 감지하고, 리테이너 링이 과다하게 마모됨에 따른 기판의 이탈 및 공정 오류를 사전에 예방하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
특히, 본 발명에 따르면, 본 발명은 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 것에 의하여, 리테이너 링의 마모량을 정확하게 감지할 수 있으며, 리테이너 링의 마모됨에 따른 기판의 이탈 및 공정 오류가 발생하기 전에 리테이너 링을 적시에 교체하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 거치대에 대해 캐리어 헤드가 미리 설정된 기준 높이에 배치된 상태에서 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 것에 의하여, 매 측정시마다 거치대에 대한 캐리어 헤드의 기준 높이가 항상 일정하게 유지할 수 있으므로, 측정부에 의한 측정 정확도를 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 리테이너 링이 캐리어 헤드 상에서 최상단 높이까지 이동한 상태(리테이너 링의 처짐이 없는 상태)에서 측정부에 의한 거리 측정이 행해지도록 하는 것에 의하여, 매 측정시마다 거치대에 대한 캐리어 헤드의 기준 높이를 항상 일정하기 유지할 수 있으므로, 측정부에 의한 측정 정확도를 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 리테이너 링의 마모량을 측정함과 동시에 리테이너 링의 평탄도(마모 편차)를 함께 감지하는 것에 의하여, 리테이너 링의 마모 상태를 보다 정확하게 감지하고, 교체 주기 관리를 용이하게 하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 공정 효율 및 생산성을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 안정성 및 신뢰성을 향상시키는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도 1은 종래 화학 기계적 연마 장치를 도시한 평면도,
도 2는 종래 화학 기계적 연마 장치를 도시한 측면도,
도 3은 종래의 캐리어 헤드를 도시한 단면도,
도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면,
도 6 및 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면,
도 8 내지 도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면,
도 11 및 도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 이러한 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판(10)의 측면을 구속하는 리테이너 링(193)이 구비된 캐리어 헤드(100)와, 기판(10)이 거치되는 거치대(200)와, 거치대(200)에 장착되며 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정하는 측정부(300)와, 측정부(300)에서 측정된 거리 변화에 기초하여 리테이너 링(193)의 마모량을 감지하는 마모량 감지부(400)를 포함한다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치는 연마가 행해질 기판(10)을 캐리어 헤드(100)에 로딩시키거나, 연마가 완료된 기판(10)을 기판(10)을 거치대(200)에 언로딩시키기 위해 사용될 수 있다. 이하에서는 본 발명에 따른 기판 처리 장치가 연마가 행해질 기판(10)을 캐리어 헤드(100)에 로딩시키기 위해 사용되는 예를 들어 설명하기로 한다.
기판(10)의 로딩시에는, 캐리어 헤드(100)의 하부에서 거치대(200)가 상방으로 이동함에 따라, 캐리어 헤드(100)의 리테이너 링(193)이 먼저 거치대(200)의 상면에 접촉될 수 있으며, 거치대(200)의 상면과 캐리어 해드의 멤브레인(192)의 사이 간격이 일정 이상 근접되면 캐리어 헤드(100)의 흡입압(멤브레인의 표면 장력)에 의해 기판(10)이 캐리어 헤드(100)에 로딩될 수 있다.
캐리어 헤드(100)는 거치대(200)로부터 기판(10)을 로딩 받은 후, 연마 정반(미도시) 상에 제공되는 연마 패드(미도시) 상면에 슬러리가 공급되는 상태에서 기판(10)을 가압하여 화학 기계적 연마 공정을 수행하도록 제공되며, 연마 패드 및 슬러리를 이용한 화학 기계적 연마 공정이 끝난 후에는 기판(10)이 세정 장치로 이송한다.
참고로, 본 발명에서 기판(10)이라 함은 연마 패드 상에 연마될 수 있는 연마대상물로 이해될 수 있으며, 기판(10)의 종류 및 특성에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 일 예로, 기판(10)으로서는 웨이퍼가 사용될 수 있다.
캐리어 헤드(100)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 캐리어 헤드(100)는 회전 가능하게 제공되는 본체부(191)와, 본체부(191)의 저면에 제공되는 멤브레인(192)과, 멤브레인(192)의 둘레에 배치되도록 본체부(191)의 엣지부에 결합되며 기판(10)의 이탈을 방지하는 리테이너 링(193)을 포함한다.
멤브레인(192)은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 멤브레인(192)에는 복수개의 플립(예를 들어, 링 형태의 플립)이 형성될 수 있으며, 복수개의 플립에 의해 본체부(191)와 멤브레인(192)의 사이에는 본체부(192)의 반경 방향을 따라 구획된 복수개의 압력챔버(192C)가 제공될 수 있다.
각 압력챔버(192C)에는 각각 압력을 측정하기 위한 압력센서가 제공될 수 있다. 각 압력챔버(192C)의 압력은 압력제어부(195)에 의한 제어에 의해 개별적으로 조절될 수 있으며, 각 압력챔버(192C)의 압력을 조절하여 기판(10)이 가압되는 압력을 개별적으로 조절할 수 있다. 또한, 리테이너 링(193)의 상부에도 리테이너 링 압력챔버(193C)가 제공될 수 있으며, 리테이너 링 압력챔버(193C)의 압력을 조절하여 리테이너 링(193)이 가압되는 압력을 조절할 수 있다.
캐리어 헤드(100)의 중심부에는 멤브레인(192)의 개구에 의해 관통 형성되는 중심부 압력챔버(195X)가 형성될 수 있다. 중심부 압력챔버(195X)는 기판(10)과 직접 연통되며 흡입압이 작용되어 기판(10)을 캐리어 헤드(100)의 멤브레인(192)에 밀착시킴으로써 기판(10)을 로딩할 수 있다. 경우에 따라서는 흡입압을 인가하지 않고 멤브레인의 표면장력만으로 기판을 로딩하는 것도 가능하다.
거치대(200)는 상하 방향을 따라 승강 가능하게 제공되며, 거치대(200)의 상면에는 로딩되기 위한 기판(10)이 거치된다.
참고로, 기판(10)의 로딩시에는, 캐리어 헤드(100)의 하부에서 거치대(200)가 상방으로 이동함에 따라, 캐리어 헤드(100)의 리테이너 링(193)이 먼저 거치대(200)의 상면에 접촉될 수 있으며, 거치대(200)의 상면과 멤브레인(192)의 사이 간격이 일정 이상 근접되면 캐리어 헤드(100)의 흡입압에 의해 기판(10)이 캐리어 헤드(100)로 로딩될 수 있다.
거치대(200)는 기판(10)이 거치될 수 있는 다양한 구조로 제공될 수 있으며, 거치대(200)의 구조 및 특성은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 가령, 거치대(200)에서 기판(10)이 거치되는 기판 거치면과 리테이너 링(193)이 거치되는 리테이너 링 거치면은 일체로 형성되거나 분리된 형태로 제공될 수 있다.
일 예로, 도 4 및 도 5를 참조하면, 거치대(200)는, 기판(10)이 거치되는 기판 거치면과 리테이너 링(193)이 거치되는 리테이너 링 거치면이 일체로 형성된 거치플레이트(210)를 포함한다. 이때, 리테이너 링 거치면은 기판 거치면보다 낮은 높이를 갖도록 형성될 수 있다. 보다 구체적으로, 거치플레이트(210)의 상면 중앙부에 마련된 기판 거치면에는 기판(10)이 거치될 수 있고, 거치대(200)의 상면 가장자리부에 마련된 리테이너 링 거치면에는 리테이너 링(193)이 접촉될 수 있다.
아울러, 거치대(200)는 통상의 모터와 같은 구동부(MH)에 의해 승강될 수 있으며, 거치대(200)의 승강 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
측정부(300)는 거치대(200)에 장착되며, 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정하도록 마련된다.
여기서, 측정부(300)가 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정한다 함은, 측정부(300)가 장착된 지점에서 리테이너 링(193)의 저면까지의 거리를 측정하는 것으로 정의된다.
측정부(300)로서는 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정할 수 있는 다양한 측정수단이 사용될 수 있다. 바람직하게, 측정부(300)로서는 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 비접촉식으로 감지하는 비접촉식 측정수단이 사용된다. 일 예로, 측정부(300)로서는 근접 센서 또는 변위 센서가 사용된다. 경우에 따라서는 경우에 따라서는 접촉식 센서 또는 여타 다른 센서를 이용하여 거치대에서 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 것도 가능하다.
보다 구체적으로 측정부(300)는 리테이너 링(193)의 저면으로부터 이격되게 거치대(200)에 장착된다. 일 예로, 거치플레이트(210)에는 감지홀(212)이 관통 형성되고, 측정부(300)는 감지홀(212)의 하부에 배치되어 감지홀(212)을 통해 리테이너 링(193) 까지의 거리를 측정한다.
이때, 측정부(300)는 감지홀(212)의 하부에 배치되도록 거치플레이트(210)의 저면에 장착될 수 있다. 경우에 따라서는 측정부가 거치플레이트의 저면으로부터 이격되게 장착되는 것도 가능하다.
마모량 감지부(400)는 측정부(300)에서 측정된 거리 변화(거치대(200)에서 리테이너 링까지의 거리 변화)에 기초하여 리테이너 링(193)의 마모량을 감지한다.
도 5를 참조하면, 리테이너 링(193)의 마모량은 연마 공정이 반복되는 횟수에 비례하여 증가하며, 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리를 알면, 리테이너 링(193)의 마모량을 알 수 있다.
보다 구체적으로, 측정부(300)에서 측정되는 리테이너 링(193)까지의 거리가 L1, L2, L3와 같이 점진적으로 증가(L1〈 L2〈 L3)하면, 리테이너 링(193)의 마모량이 증가한 것으로 감지할 수 있다. 이때, 측정부(300)에서 측정된 거리 변화에 따른 리테이너 링(193)의 마모량은 룩업테이블(Lookup Table)에 미리 저장될 수 있으며, 마모량 감지부(400)는 룩업테이블에 미리 저장된 정보를 이용하여 리테이너 링(193)까지의 거리 변화별 마모량을 빠르게 감지할 수 있다.
바람직하게, 도 5를 참조하면, 측정부(300)는, 거치대(200)에 대해 캐리어 헤드(100)가 미리 설정된 기준 높이(SH)에 배치된 상태에서 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정한다.
여기서, 거치대(200)에 대해 캐리어 헤드(100)가 미리 설정된 기준 높이(SH)에 배치된 상태에서 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정한다 함은, 거치대(200)에 대해 캐리어 헤드(100)가 항상 동일한 높이 범위에 배치된 상태에서, 측정부(300)에 의한 거리 측정이 매번 행해지는 것으로 정의된다.
즉, 측정부(300)에 의한 거리 측정은 서로 다른 기판(10)이 처리될 때마다 반복적으로 진행될 수 있다. 그런데, 서로 다른 기판(10)의 처리 순서에 따라 측정부(300)에 의한 거리 측정이 행해지는 동안, 거치대(200)에 대한 캐리어 헤드(100)의 기준 높이(SH)가 매번 달라지게 되면, 측정부(300)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 정확하게 측정하기 어려운 문제점이 있다. 예를 들어, 측정부(300)에서 리테이너 링(193)까지의 거리에 대한 1차 측정이 완료된 후, 다른 기판(10)에 대한 연마 단계를 거친 다음에 2차 측정이 행해질 시, 리테이너 링(193)의 마모가 추가적으로 발생되어 리테이너 링(193)까지의 거리가 "A"만큼 증가하였는데도 불구하고, 거치대(200)에 대한 캐리어 헤드(100)의 기준 높이가 "A"만큼 낮아진 상태(1차 측정시보다 "A"만큼 낮아진 상태)로 2차 측정이 행해지면, 측정부(300)에서 측정되는 결과는 그 전에 측정된 결과(1차 측정 결과)와 동일하게 되는 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 매 측정시마다 거치대(200)에 대한 캐리어 헤드(100)의 기준 높이(SH)가 항상 일정하도록 하는 것에 의하여, 측정부(300)에 의한 측정 정확도를 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 도 4를 참조하면, 측정부(300)는, 리테이너 링(193)이 캐리어 헤드(100) 상에서 최상단 높이(H1)까지 이동한 상태에서 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정하도록 구성될 수 있다.
여기서, 리테이너 링(193)이 캐리어 헤드(100) 상에서 최상단 높이까지 이동한 상태라 함은, 리테이너 링 압력챔버(193C)에 부압이 인가되어, 리테이너 링(193)의 처짐없이 리테이너 링(193)이 캐리어 헤드(100) 상에서 리테이너 링(193)이 이동할 수 있는 구간(예를 들어, H1, H2, H3)에서 가장 높은 구간(H1)까지 이동한 상태로 정의된다.
이와 같이, 리테이너 링(193)이 캐리어 헤드(100) 상에서 최상단 높이까지 이동한 상태에서 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정하는 것에 의하여, 측정부(300)에 의한 측정 정확도를 보다 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
즉, 캐리어 헤드(100)가 공중에 배치된 상태(거치대(200)에서 이격된 상태)에서, 리테이너 링(193)은 자중에 의해 하방으로 처진 상태로 배치되는데, 이때, 리테이너 링(193)의 처짐량(예를 들어, H1, H2, H3)은 리테이너 링(193)의 마모 정도(자중 차이)에 따라 달라질 수 있다. 그런데, 서로 다른 기판(10)의 처리 순서에 따라 측정부(300)에 의한 거리 측정이 행해지는 동안, 리테이너 링(193)의 처짐량이 매번 달라지게 되면, 거치대(200)에 대한 캐리어 헤드(100)의 기준 높이(도 5의 SH 참조)도 매번 달라지기 때문에, 측정부(300)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 정확하게 측정하기 어려운 문제점이 있다. 하지만, 본 발명에서는 리테이너 링(193)이 캐리어 헤드(100) 상에서 최상단 높이(H1)까지 이동한 상태(리테이너 링의 처짐이 없는 상태)에서 측정부(300)에 의한 거리 측정이 행해지도록 하는 것에 의하여, 매 측정시마다 거치대(200)에 대한 캐리어 헤드(100)의 기준 높이를 항상 일정하기 유지할 수 있으므로, 측정부(300)에 의한 측정 정확도를 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 기판 처리 장치는 마모량 감지부(400)에서 감지된 리테이너 링(193)의 마모량에 기초하여 기판(10)의 연마를 제어하는 제어부(500)를 포함한다.
보다 구체적으로, 제어부(500)는 마모량 감지부(400)에서 감지된 리테이너 링(193)의 마모량이 허용 범위 이내에 있으면, 기판(10)의 처리 공정이 정상적으로 행해지도록 하고, 리테이너 링(193)의 마모량이 허용 범위를 벗어나면 기판(10)의 처리 공정을 중단시키도록 구성된다.
이와 같이, 제어부(500)가 리테이너 링(193)의 마모량이 일정 이상 커지면, 기판(10)의 처리 공정을 중단시키도록 하는 것에 의하여, 리테이너 링(193)의 과다 마모에 의한 로딩 및 언로딩시 공정 오류와, 연마 공정 중에 기판(10)의 이탈 현상을 사전에 예방하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 8 내지 도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 거치대(200',200")에서 기판(10)이 거치되는 기판 거치면과 리테이너 링(193)이 거치되는 리테이너 링 거치면은 분리된 구조로 제공될 수 있다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판(10)의 측면을 구속하는 리테이너 링(193)이 구비된 캐리어 헤드(100)와, 기판(10)이 거치되는 거치대(200)와, 거치대(200)에 장착되며 거치대(200)에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정하는 측정부(300)와, 측정부(300)에서 측정된 거리 변화에 기초하여 리테이너 링(193)의 마모량을 감지하는 마모량 감지부(400)를 포함하되, 거치대(200')는, 기판(10)이 거치되는 기판 거치부(210')와, 기판 거치부(210')의 둘레에 배치되며 리테이너 링(193)이 거치되는 리테이너 링 거치부(230')를 포함한다.
기판 거치부(210')는 기판(10)을 거치 가능한 다양한 형태로 형성될 수 있다. 일 예로, 기판 거치부(210')는 기판(10)의 저면을 전체적으로 지지하도록 구성될 수 있다.
리테이너 링 거치부(230')는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 구조로 제공될 수 있다. 일 예로, 리테이너 링 거치부(230')는 리테이너 링(193)의 원주 방향을 따라 이격되게 분리된 복수개로 제공될 수 있다. 다른 일 예로, 리테이너 링 거치부(230')는 리테이너 링(193)의 원주 방향을 따라 연속적인 링 형태로 제공될 수 있다.
바람직하게, 리테이너 링 거치부(230')는 기판 거치부(210')보다 높은 위치에 배치될 수 있다. 경우에 따라서는 리테이너 링 거치부가 기판 거치부와 동일한 높이에 배치되거나, 기판 거치부보다 낮은 높이에 배치되는 것도 가능하다.
또한, 거치대(200')는, 기판 거치부(210')에 대해 리테이너 링 거치부(230')를 상하 방향을 따라 탄성적으로 이동 가능하게 지지하는 탄성지지부(240')를 포함할 수 있다.
탄성지지부(240')로서는 통상의 스프링이 사용될 수 있다. 경우에 따라서는 스프링 대신 공압 또는 유압을 이용하여 리테이너 링과 리테이너 링 거치부가 접촉됨에 따른 충격력을 감쇄시키는 것도 가능하다.
이와 같이, 리테이너 링 거치부(230')가 탄성지지부(240')에 의해 탄성적으로 지지되도록 하는 것에 의하여, 리테이너 링(193)이 리테이너 링 거치부(230')에 접촉될 시, 기판거치부(210')에 대해 리테이너 링 거치부(230')가 탄성 이동할 수 있으므로, 리테이너 링(193)과 리테이너 링 거치부(230')의 접촉에 의한 충격력이 감쇄될 수 있다. 또한, 이와 같은 구조는, 리테이너 링(193)과 리테이너 링 거치부(230')의 접촉시, 리테이너 링 거치부(230')가 탄성지지부(240')를 탄성 압축하며 하부 방향으로 소정 구간 이동할 수 있게 함으로써, 멤브레인(192)과 기판(10)이 보다 근접하게 배치된 상태에서 기판(10)의 로딩이 이루어질 수 있게 한다.
측정부(300)는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 기판 거치부(210')에 장착되거나, 리테이너 링 거치부(230')에 장착될 수 있다.
일 예로, 도 6 및 도 7을 참조하면, 측정부(300)는 기판 거치부(210')에 장착될 수 있다. 보다 구체적으로, 리테이너 링 거치부(230')에는 감지홀(232a')이 형성되고, 측정부(300)는 감지홀(232a')의 하부에 배치되도록 기판 거치부(210')에 장착된다.
측정부(300)는 감지홀(232a')을 통해 리테이너 링(193) 까지의 거리를 측정할 수 있으며, 마모량 감지부(400)는 측정부(300)에서 측정된 결과(거리 변화)에 기초하여 리테이너 링(193)의 마모량을 감지할 수 있다.
다른 일 예로, 도 8 및 도 9를 참조하면, 측정부(300)는 리테이너 링 거치부(230')에 장착될 수 있다. 보다 구체적으로, 리테이너 링 거치부(230')의 상면에는 수용홈(232b')이 형성되고, 측정부(300)는 상기 수용홈(232b')의 내부에 장착된다.
측정부(300)는 수용홈(232b')에서 리테이너 링(193) 까지의 거리를 측정할 수 있으며, 마모량 감지부(400)는 측정부(300)에서 측정된 결과(거리 변화)에 기초하여 리테이너 링(193)의 마모량을 감지할 수 있다.
도 10을 참조하면, 측정부(300)는 거치부의 원주 방향을 따라 이격되게 복수개가 마련될 수 있다. 이하에서는, 거치부의 원주 방향을 따라 이격되게 3개의 측정부(300)가 구비된 예를 들어 설명하기로 한다. 경우에 따라서는 4개 이상의 측정부가 사용되는 것이 가능하며, 측정부의 갯수 및 배치 간격에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다.
이와 같이, 복수개의 측정부(300)를 이용하여 리테이너 링(193)의 마모를 감지하는 것에 의하여, 감지 정확도 및 신뢰성을 높이는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 도 8 내지 도 10을 참조하면, 기판 처리 장치는 복수개의 측정부(300)에서 감지된 결과에 기초하여 리테이너 링(193)의 평탄도를 감지하는 평탄도 감지부(600)를 포함할 수 있다.
평탄도 감지부(600)는 복수개의 측정부(300)에서 각각 감지된 거리 변화에 기초하여 리테이너 링(193)의 마모가 전체적으로 균일하게 발생하였는지 아니면 마모 편차가 발생하였는지를 감지한다.
이와 같이, 리테이너 링(193)의 마모량을 측정함과 동시에 리테이너 링(193)의 평탄도(마모 편차)를 함께 감지하는 것에 의하여, 리테이너 링(193)의 마모 상태를 보다 정확하게 감지하고, 교체 주기 관리를 용이하게 행할 수 있다. 더욱이, 평탄도 감지부(600)에 의한 평탄도 감지는, 리테이너 링(193)의 마모량을 감지하기 위해 이미 마련된 측정부(300)에서 측정된 신호에 기초하여 감지될 수 있기 때문에, 평탄도 감지를 위한 센서 등을 추가적으로 마련할 필요가 없기 때문에, 구조 및 처리 과정을 간소화하는 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도 11 및 도 12는 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 도면이다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 처리 장치는, 기판(10)의 측면을 구속하는 리테이너 링(193)이 구비된 캐리어 헤드(100)와, 기판(10)이 거치되는 거치대(200")와, 거치대(200")에 장착되며 거치대(200")에서 리테이너 링(193)까지의 거리 변화를 측정하는 측정부(300)와, 측정부(300)에서 측정된 거리 변화에 기초하여 리테이너 링(193)의 마모량을 감지하는 마모량 감지부(400)를 포함하되, 거치대(200")는, 기판(10)의 저면으로부터 이격되게 배치되는 거치플레이트(210")와, 거치플레이트(210")의 상면에 배치되며 기판(10)의 저면 가장자리를 지지하는 가장자리 거치부(230")와, 거치플레이트(210")에 대해 가장자리 거치부(230")를 상하 이동 가능하게 탄성적으로 지지하는 탄성지지부(240")를 포함한다.
이때, 가장자리 거치부(230")에는 감지홀(212)이 형성되고, 측정부(300)는 감지홀(212)의 하부에 배치되도록 거치플레이트(210")에 장착된다.
측정부(300)는 감지홀(212)을 통해 리테이너 링(193) 까지의 거리를 측정할 수 있으며, 마모량 감지부(400)는 측정부(300)에서 측정된 결과(거리 변화)에 기초하여 리테이너 링(193)의 마모량을 감지할 수 있다.
이와 같이, 기판(10)은 가장자리 거치부(230")에 의해 저면 가장자리 영역만이 부분적으로 지지되기 때문에, 거치대(200")와 기판(10)의 접촉 면적을 최소화하고, 거치대(200")와 기판(10)의 사이에 이물질이 잔류하는 것을 최소화하는 것에 의하여, 거치대(200")와 기판(10)과의 접촉 면적이 증가함에 따른 기판(10)의 손상을 최소화할 수 있다.
또한, 가장자리 거치부(230")가 탄성지지부(240")에 의해 탄성적으로 지지되도록 하는 것에 의하여, 리테이너 링(193)이 가장자리 거치부(230")에 접촉될 시, 거치플레이트(210")에 대해 가장자리 거치부(230")가 탄성 이동할 수 있으므로, 리테이너 링(193)과 가장자리 거치부(230")의 접촉에 의한 충격력이 감쇄될 수 있다.
또한, 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 처리 장치는, 마모량 감지부(400)에서 감지된 리테이너 링(193)의 마모량이 미리 정해진 설정 범위를 초과한 것으로 감지되면 경보신호를 발생시키는 경보발생부(700)를 포함할 수 있다.
여기서, 경보신호라 함은 통상의 음향수단에 의한 청각적 경보신호, 및 통상의 경고등에 의한 시각적 경보신호 중 적어도 하나를 포함할 수 있으며, 이외에도 사용자에게 리테이너 링(193)의 마모량이 과다하게 발생된 상황을 인지시킬 수 있는 여타 다른 다양한 경보신호가 이용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 100 : 캐리어 헤드
200 : 거치대 210 : 거치플레이트
210' : 기판 거치부 212 : 감지홀
210" : 거치플레이트 230" : 가장자리 거치부
230' : 리테이너 링 거치부 240 : 탄성지지부
300 : 측정부 400 : 마모량 감지부
500 : 제어부 600 : 평탄도 감지부
700 : 경보발생부

Claims (17)

  1. 기판 처리 장치로서,
    기판의 측면을 구속하는 리테이너 링이 구비된 캐리어 헤드와;
    상기 기판이 거치되는 거치대와;
    상기 거치대에 장착되며, 상기 거치대에서 상기 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 측정부와;
    상기 측정부에서 측정된 상기 거리 변화에 기초하여 상기 리테이너 링의 마모량을 감지하는 마모량 감지부를;
    포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정부는, 상기 리테이너 링의 저면으로부터 이격되게 상기 거치대에 장착된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 거치대는,
    상기 기판이 거치되는 기판 거치부와;
    상기 기판 거치부의 둘레에 배치되며, 상기 리테이너 링이 거치되는 리테이너 링 거치부를; 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 리테이너 링 거치부는 상기 기판 거치부보다 높은 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 기판 거치부에 대해 상기 리테이너 링 거치부를 상하 방향을 따라 탄성적으로 이동 가능하게 지지하는 탄성지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 기판거치부에 장착된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 리테이너 링 거치부에는 감지홀이 형성되고, 상기 측정부는 상기 감지홀의 하부에 배치되어 상기 감지홀을 통해 상기 리테이너 링 까지의 거리를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제3항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 리테이너 링 거치부에 장착된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 리테이너 링 거치부의 상면에는 수용홈이 형성되고, 상기 측정부는 상기 수용홈의 내부에 장착된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 거치대에서 상기 리테이너 링의 저면까지의 거리를 비접촉식으로 감지하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 측정부는 근접 센서 또는 변위 센서인 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  12. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 거치부의 원주 방향을 따라 이격되게 복수개가 마련된 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 복수개의 측정부에서 감지된 결과에 기초하여 상기 리테이너 링의 평탄도를 감지하는 평탄도 감지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  14. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마모량 감지부에서 감지된 상기 리테이너 링의 마모량에 기초하여 상기 기판의 연마를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  15. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마모량 감지부에서 감지된 상기 리테이너 링의 마모량이 미리 정해진 설정 범위를 초과한 것으로 감지되면 경보신호를 발생시키는 경보발생부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  16. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정부는, 상기 거치대에 대해 상기 캐리어 헤드가 미리 설정된 기준 높이에 배치된 상태에서 상기 거치대에서 상기 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  17. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 측정부는, 상기 리테이너 링이 상기 캐리어 헤드 상에서 최상단 높이까지 이동한 상태에서 상기 거치대에서 상기 리테이너 링까지의 거리 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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KR20200078828A (ko) * 2018-12-24 2020-07-02 주식회사 케이씨텍 기판 처리 장치
WO2023234973A1 (en) * 2022-06-03 2023-12-07 Applied Materials, Inc. Acoustic monitoring of cmp retaining ring

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