KR20180109438A - Thin film deposition apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명의 실시예는 기판에 박막을 증착하는 데 이용되는 박막증착장비에 관한 것이다.Embodiments of the present invention are directed to thin film deposition equipment used to deposit thin films on substrates.
유기발광다이오드(organic light emitting diode : OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 발광하는 전계발광현상을 이용하여 빛을 내는 자체발광형 유기물질을 말한다. 이러한 유기발광다이오드에 의한 디스플레이는 낮은 전압에서 구동이 가능하고 얇은 박형으로 만들 수 있으며 넓은 시야각과 신속한 응답속도를 가지고 있기 때문에, 일반 LCD(liquid crystal display)와는 달리, 바로 옆에서 보아도 화질이 변하지 않고 화면에 잔상이 남지 않는다. 또한, 소형화면에서는 LCD 이상의 화질과 단순한 제조공정으로 인하여 유리한 가격 경쟁력을 가지므로 차세대 디스플레이 소자로 큰 주목을 받고 있다.An organic light emitting diode (OLED) is a self-emitting organic material that emits light by using an electroluminescence phenomenon in which a fluorescent organic compound emits light when an electric current flows. Such a display using an organic light emitting diode can be driven at a low voltage and can be formed into a thin and thin shape. Since it has a wide viewing angle and a fast response speed, unlike a general LCD (liquid crystal display) There are no afterimages on the screen. In addition, in the case of a small screen, since it has an advantage in cost competitiveness due to the image quality and simple manufacturing process of the LCD, it is receiving great attention as a next generation display device.
유기발광다이오드를 사용하여 모바일 기기(mobile device)용 디스플레이, 컴퓨터용 모니터 또는 텔레비전 등을 생산할 때 요구되는 것이 바로 박막증착장비로, 박막증착장비는 기판에 유기물질을 증착하여 박막을 형성할 수 있게 구성되며 유기발광다이오드의 제조를 위한 중요한 장비 중 하나이다.A thin film deposition apparatus is required for producing a display for a mobile device, a monitor for a computer, or a television using an organic light emitting diode. The thin film deposition apparatus is capable of forming a thin film by depositing an organic material on a substrate And is one of the important equipment for the production of organic light emitting diodes.
일반적으로, 박막증착장비는, 진공분위기 조성이 가능한 증착실을 가진 증착챔버, 증착챔버의 증착실에 반입된 기판을 지지하는 기판 지지유닛, 기판 지지유닛에 의하여 지지된 기판에 증착물질(유기물질)을 제공하는 증착물질 공급유닛, 그리고 기판에 증착물질을 요구되는 패턴으로 증착시키기 위한 마스크를 포함한다.In general, a thin film deposition apparatus includes a deposition chamber having an evaporation chamber capable of forming a vacuum atmosphere, a substrate support unit for supporting a substrate carried into a deposition chamber of the deposition chamber, a deposition material ), And a mask for depositing the deposition material on the substrate in a desired pattern.
근래에는, 박막증착공정 효율을 보다 향상시키기 위하여, 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질을 기판 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드가 부가되고, 증착물질 가이드의 증착물질 유출구에 마스크가 장착된 타입의 박막증착장비에 대한 개발이 시도되고 있다.In recent years, in order to further improve the efficiency of the thin film deposition process, there has been proposed a thin film deposition apparatus of the type in which a deposition material guide for guiding the deposition material from the deposition material supply unit to the substrate is added, and a mask is mounted on the deposition material outlet of the deposition material guide Is being developed.
그러나, 증착물질 가이드를 포함하는 박막증착장비는, 마스크에 증착물질(이물)이 부착되어 마스크 패턴을 구성하는 노출영역(개구)이 적어도 부분적으로 막히거나 기판과 마스크의 간격이 설정범위를 벗어난 경우, 마스크에 손상이 발생된 경우, 다른 마스크 패턴이 요구되는 경우 등에 마스크를 증착물질 가이드로부터 분리한 다음 세정하거나 교체하여야 하기 때문에, 박막증착공정 효율을 한층 더 향상시키는 데 한계가 따를 수밖에 없는 문제점이 있다.However, in the thin film deposition apparatus including the deposition material guide, when the deposition material (foreign matter) is adhered to the mask and the exposure area (opening) constituting the mask pattern is at least partially clogged or the gap between the substrate and the mask is out of the setting range , The mask has to be separated from the deposition material guide and then cleaned or replaced when the mask is damaged and another mask pattern is required. Therefore, there is a problem in that the efficiency of the thin film deposition process can not be further improved. have.
본 발명의 실시예는 박막증착공정의 효율성 향상 면에서 보다 유리한 박막증착장비를 제공하는 데 목적이 있다.Embodiments of the present invention are directed to providing a more advantageous thin film deposition apparatus in terms of improving the efficiency of a thin film deposition process.
해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The problems to be solved are not limited thereto, and other matters not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 지지하는 기판 지지유닛과; 증착물질을 공급하는 증착물질 공급유닛과; 상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질을 상기 기판 지지유닛에 의하여 지지된 기판 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드와; 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과하도록 배치되고 상기 기판에 대응하는 마스크 패턴영역이 복수로 구비되며 복수의 상기 마스크 패턴영역이 길이방향을 따라 배열된 마스크 시트를 가지되, 상기 마스크 시트가 길이방향으로 이동 가능하도록 구성되어 상기 마스크 시트의 이동방향에 따라 상기 마스크 패턴영역들 중 어느 하나가 상기 기판과 대향되는 이동식 마스크 장치를 포함하는, 박막증착장비가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus comprising: a substrate supporting unit for supporting a substrate; A deposition material supply unit for supplying the deposition material; A deposition material guide for guiding the deposition material from the deposition material supply unit toward the substrate supported by the substrate support unit; A plurality of mask pattern regions arranged to pass between the substrate and the deposition material guide and corresponding to the substrate, and a plurality of the mask pattern regions are arranged along the longitudinal direction, wherein the mask sheet has a length And a movable masking device configured to be movable in the direction of the mask sheet so that one of the mask pattern regions faces the substrate in accordance with the moving direction of the mask sheet.
상기 마스크 시트는 엔드리스 시트(endless sheet)이고, 상기 이동식 마스크 장치는 상기 엔드리스 시트가 순환이동 가능하도록 걸린 적어도 셋 이상의 시트 가이드를 더 포함하며, 상기 시트 가이드들 중 어느 둘은 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이의 양 옆쪽에 각각 배치되고, 상기 시트 가이드들 중 나머지는 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이로부터 상기 기판의 배치방향 쪽 또는 상기 증착물질 가이드의 배치방향 쪽으로 이격된 위치에 배치될 수 있다.Wherein the mask sheet is an endless sheet and the movable mask apparatus further comprises at least three sheet guides which are arranged to allow the endless sheet to circulate, And the other of the sheet guides may be disposed at a position spaced from between the substrate and the deposition material guide toward the placement direction of the substrate or the deposition material guide.
또한, 상기 시트 가이드들 중에서 적어도 어느 하나 이상은 롤러 구동유닛에 의하여 회전되는 구동롤러로 구성될 수 있다.In addition, at least one of the sheet guides may be constituted by a driving roller rotated by a roller driving unit.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 박막증착장비는 증착실을 가지며 상기 증착실에 상기 기판 지지유닛 및 상기 증착물질 공급유닛이 수용된 증착챔버를 더 포함할 수 있다. 또, 상기 증착물질 공급유닛은, 도가니와; 상기 도가니를 지지하는 도가니 프레임을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 도가니 프레임은 상기 도가니를 상기 증착실의 내면으로부터 이격시키며 상기 증착실의 내면과 상기 도가니 사이에 상기 엔드리스 시트가 통과하는 시트 이동로를 형성하도록 구성될 수 있다.The thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a deposition chamber having an evaporation chamber and accommodating the substrate support unit and the evaporation material supply unit in the evaporation chamber. The evaporation material supply unit may include a crucible; And a crucible frame for supporting the crucible. The crucible frame may be configured to separate the crucible from the inner surface of the evaporation chamber and form a sheet path through which the endless sheet passes between the inner surface of the evaporation chamber and the crucible.
또한, 상기 시트 가이드들 중에서 나머지는 상기 엔드리스 시트가 상기 시트 이동로를 통과하도록 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이로부터 상기 증착물질 가이드의 배치방향 쪽으로 이격된 위치에 배치될 수 있다.The remaining of the sheet guides may be disposed at a position spaced apart from the substrate and the deposition material guide so as to pass the deposition material guide so that the endless sheet passes through the sheet transfer path.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 지지하는 기판 지지유닛과; 증착물질을 공급하는 증착물질 공급유닛과; 상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질을 상기 기판 지지유닛에 의하여 지지된 기판 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드와; 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과하도록 배치되고 상기 기판에 대응하는 마스크 패턴영역이 복수로 구비되며 복수의 상기 마스크 패턴영역이 길이방향을 따라 배열된 마스크 시트를 가지되, 상기 마스크 시트가 길이방향으로 이동 가능하도록 구성되어 상기 마스크 시트의 이동방향에 따라 상기 마스크 패턴영역들 중 어느 하나가 상기 기판과 대향되는 이동식 마스크 장치를 포함하고, 아울러 상기 이동식 마스크 장치가, 상기 마스크 시트가 감긴 시트 공급롤러와; 상기 시트 공급롤러로부터 공급되어 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과한 마스크 시트가 감기는 시트 회수롤러를 더 포함하는, 박막증착장비가 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus comprising: a substrate supporting unit for supporting a substrate; A deposition material supply unit for supplying the deposition material; A deposition material guide for guiding the deposition material from the deposition material supply unit toward the substrate supported by the substrate support unit; A plurality of mask pattern regions arranged to pass between the substrate and the deposition material guide and corresponding to the substrate, and a plurality of the mask pattern regions are arranged along the longitudinal direction, wherein the mask sheet has a length Wherein the movable mask device comprises a movable mask device configured to be movable in a direction of movement of the mask sheet so that any one of the mask pattern areas faces the substrate in accordance with the movement direction of the mask sheet, A roller; And a sheet collection roller that is fed from the sheet feeding roller and through which the mask sheet passed between the substrate and the deposition material guide is wound.
본 발명의 실시예에 따른 박막증착장비는 상기 기판에 대하여 상기 기판과 대향하는 마스크 패턴영역의 위치를 조정하는 마스크 얼라이너(mask aligner)를 더 포함할 수 있다.The thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a mask aligner for adjusting a position of a mask pattern region opposed to the substrate with respect to the substrate.
상기 증착물질 가이드는, 상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질이 유입되는 증착물질 유입구와; 증착물질을 상기 기판 쪽으로 유출시키며 면적이 상기 증착물질 유입구에 비하여 큰 증착물질 유출구와; 상기 증착물질 유입구와 상기 증착물질 유출구를 연결하며 상기 증착물질 유입구 쪽에서 상기 증착물질 유출구 쪽으로 갈수록 점차 확장되는 형상을 가진 증착물질 안내통로를 포함할 수 있다.The evaporation material guide may include an evaporation material inlet through which the evaporation material from the evaporation material supply unit flows; A large evaporation material outlet port that discharges the evaporation material toward the substrate and has an area larger than that of the evaporation material inlet; And an evaporation material guide passage connecting the evaporation material inlet and the evaporation material outlet and gradually expanding toward the evaporation material outlet from the evaporation material inlet.
본 발명의 실시예에 따른 박막증착장비는 상기 마스크 시트의 이동경로에서 상기 마스크 시트에 부착된 이물을 제거하는 시트 세정유닛을 더 포함할 수 있다.The thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may further include a sheet cleaning unit for removing foreign matter adhered to the mask sheet in a movement path of the mask sheet.
상기 마스크 패턴영역들 중 적어도 어느 하나 이상은 다른 마스크 패턴을 가지도록 형성될 수 있다.At least one of the mask pattern regions may be formed to have a different mask pattern.
본 발명의 실시예에 따른 박막증착장비는 인라인 타입(in-line type)과 클러스터 타입(cluster type) 중 어느 하나일 수 있다.The thin film deposition apparatus according to an embodiment of the present invention may be one of an in-line type and a cluster type.
과제의 해결 수단은 이하에서 설명하는 실시예, 도면 등을 통하여 보다 구체적이고 명확하게 될 것이다. 또한, 이하에서는 언급한 해결 수단 이외의 다양한 해결 수단이 추가로 제시될 수 있다.Means for solving the problems will be more specifically and clarified through the embodiments, drawings, and the like described below. In addition, various solution means other than the above-mentioned solution means may be further proposed.
본 발명의 실시예에 의하면, 마스크 시트가 기판과 증착물질 가이드 사이 영역을 통과하도록 배치되고 복수의 마스크 패턴영역이 마스크 시트에 마스크 시트의 길이방향을 따라 배열되고 마스크 시트가 길이방향으로 이동 가능하게 구성되기 때문에, 일부 마스크 패턴영역에 대하여 세정이 요구되거나 손상이 발생되더라도 마스크 시트를 교체함이 없이 다른 마스크 패턴영역을 사용하여 박막증착공정을 계속적으로 수행할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, a mask sheet is arranged to pass through a region between a substrate and a deposition material guide, and a plurality of mask pattern regions are arranged in the mask sheet along the longitudinal direction of the mask sheet, It is possible to continuously perform the thin film deposition process using another mask pattern area without replacing the mask sheet even if some cleaning is required or damage occurs to some mask pattern area.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비를 앞에서 본 상태가 도시된 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비를 위에서 본 상태가 도시된 구성도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비의 일부 구성이 도시된 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비를 앞에서 본 상태가 도시된 구성도이다.FIG. 1 is a configuration diagram illustrating a thin film deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view showing a thin film deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing a part of the structure of the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a view illustrating a thin film deposition apparatus according to a second embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다. 참고로, 본 발명의 실시예를 설명하기 위하여 참조하는 도면에서 구성요소의 크기나 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되게 표현되어 있을 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명하는 데 사용되는 용어는 주로 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의한 것이므로 사용자, 운용자의 의도, 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 용어에 대해서는 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 해석하는 것이 마땅하겠다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For a better understanding of the invention, it is to be understood that the size of elements and the thickness of lines may be exaggerated for clarity of understanding. Further, the terms used to describe the embodiments of the present invention are mainly defined in consideration of the functions of the present invention, and thus may be changed depending on the intentions and customs of the user and the operator. Therefore, the terminology should be interpreted based on the contents of the present specification throughout.
본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비가 도 1 내지 도 3에 도시되어 있다.A thin film deposition apparatus according to a first embodiment of the present invention is shown in Figs.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비는, 진공분위기 조성이 가능한 증착실(11)을 가진 증착챔버(10), 증착챔버(10)의 증착실(11)에 반입된 기판(S)을 지지하는 기판 지지유닛(20), 증착물질을 공급하는 증착물질 공급유닛(30), 증착물질 공급유닛(30)으로부터의 증착물질을 기판 지지유닛(20)에 의하여 지지된 기판(S) 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드(40), 그리고 기판(S)과 증착물질 가이드(40) 사이의 영역(A)을 통과 가능하도록 배치된 이동식 마스크 시트(50)를 가진 마스크 장치(M)를 포함한다.1 and 2, the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a
증착챔버(10)의 벽체에는 기판(S)(이하, 도면부호의 병기는 생략한다.)을 증착실(11)에 반입하고 반입된 기판을 증착실(11)의 외부로 반출하기 위한 기판 출입구(12)가 마련된다. 기판 출입구(12)는 복수로 구비될 수 있다. 기판 출입구(12)는 출입구 개폐유닛(13)에 의하여 개폐될 수 있다. 도시된 바는 없으나, 증착챔버(10)는 증착실(11)을 진공분위기로 조성하는 배기유닛을 포함한다.The substrate S is carried to the
기판 지지유닛(20)은 증착실(11)의 상부에 배치되고, 증착물질 공급유닛(30)은 증착실(11)의 하부에 배치되며, 증착물질 가이드(40)는 기판 지지유닛(20)과 증착물질 공급유닛(30) 사이에 배치된다. 증착물질 공급유닛(30)으로부터의 증착물질은 증착물질 가이드(40)의 안내작용에 따라 기판 지지유닛(20)에 의하여 지지된 기판 쪽으로 유도되므로, 기판 지지유닛(20)의 위치와 증착물질 공급유닛(30)의 위치는 각각 증착실(11)의 상부와 증착실(11)의 하부에서 다른 위치로 얼마든지 다양하게 변경될 수 있다. 일례로, 기판 지지유닛(20)의 위치와 증착물질 공급유닛(30)의 위치는 서로 바뀔 수 있다.The
기판 지지유닛(20)은, 기판을 지지한 상태로 기판의 증착면과 평행한 제1 방향(D1)으로 이동 가능하도록 구성될 수도 있고, 기판을 기판의 증착면과 평행한 제1 방향(D1)으로 이동시키도록 구성될 수도 있다. 이에, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비는 기판이 이동되면서 기판의 증착면에 대한 박막 형성이 이루어지는 인라인 타입(in-line type)일 수 있다.The
증착물질 공급유닛(30)은 도가니 본체 및 도가니 가열수단(히터)으로 구성된 도가니(31)를 포함한다. 도가니 본체에는 증착물질이 수용되고, 도가니 가열수단은 도가니 본체에 수용된 증착물질을 증발시키는 데 필요한 열을 제공한다. 증발된 증착물질은, 도가니(31)로부터 방출되고, 기판에 도달하면 기판의 증착면에 증착되어 박막을 형성한다.The evaporation
증착물질 가이드(40)는 증착물질 공급유닛(30)으로부터의 증착물질이 유입되는 증착물질 유입구(41), 기판 쪽으로 증착물질을 유출시키는 증착물질 유출구(42) 및 증착물질 유입구(41)와 증착물질 유출구(42)를 공간적으로 연결시키는 증착물질 안내통로(43)를 가진다. 이러한 증착물질 가이드(40)는, 증착물질 유출구(42)가 증착물질 유입구(41)에 비하여 큰 면적을 가지도록 형성되고, 증착물질 안내통로(43)가 증착물질 유입구(41) 쪽에서 증착물질 유출구(42) 쪽으로 갈수록 점차 확장되는 형상을 가지도록 형성된다.The
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 마스크 시트(50)는 기판에 대응되는 마스크 패턴영역(51)을 가진다. 마스크 시트(50)에는 마스크 패턴영역(51)이 복수로 구비된다. 마스크 시트(50)는 길이방향의 양단이 서로 이어져 고리 형상의 구조를 가진 엔드리스 시트(endless sheet)이고, 복수의 마스크 패턴영역(51)은 엔드리스 시트(50)의 길이방향을 따라 배열된다. 마스크 패턴영역(51)들은 서로 이격되도록 일정한 간격을 두고 일렬로 배치될 수 있다.As shown in Figs. 2 and 3, the
마스크 시트(50)는 기판의 증착면과 평행한 제2 방향(D2)으로 배치된다. 제2 방향(D2)은 제1 방향(D1)과 수직을 이루고 기판의 증착면과 평행한 방향인 것이 바람직하다.The
각각의 마스크 패턴영역(51)은 기판의 증착면을 증착물질에 노출시키기 위한 노출영역과 차단시키기 위한 차단영역으로 구성된 마스크 패턴을 가진다. 노출영역은 기판의 증착면에 형성할 박막 패턴에 대응하는 패턴으로 형성되고 단수 또는 복수의 개구(52)로 구성된다.Each
마스크 장치(M)는 엔드리스 시트(50)가 순환이동 가능하도록 걸린 시트 가이드(60)를 더 포함한다. 시트 가이드(60)는 네 개가 구비된다.The mask apparatus M further includes a
시트 가이드(60)들 중에서 어느 둘은 기판과 증착물질 가이드(40) 사이의 영역(A)의 양 옆쪽(제2방향(D2)의 양쪽, 즉 도 1에서 보아 좌우 양쪽)에 각각 배치되고, 시트 가이드(60)들 중에서 나머지 둘은 기판과 증착물질 가이드(40) 사이의 영역(A)으로부터 증착물질 가이드(40)의 배치방향 쪽으로 이격된 위치에 각각 배치된다. 도 1을 기준으로 할 때, 시트 가이드(60)들 중 나머지 둘은 시트 가이드(60)들 중 어느 둘로부터 하측방향으로 이격된 위치에 배치된다. 실시 조건 등에 따라서는 시트 가이드(60)들 중 나머지 둘을 기판과 증착물질 가이드(40) 사이의 영역(A)으로부터 기판의 배치방향 쪽(즉, 기판 지지유닛(20의 배치방향 쪽)으로 이격된 위치에 배치할 수도 있다.Two of the sheet guides 60 are disposed on both sides of the region A between the substrate and the evaporation material guide 40 (both sides in the second direction D2, that is, both left and right as viewed in Fig. 1) The other two of the sheet guides 60 are disposed at a position spaced apart from the region A between the substrate and the
증착물질 공급유닛(30)은 도가니(31)를 지지하여 증착실(11)의 바닥으로부터 상측으로 일정한 높이 이격시키는 도가니 프레임(32)을 더 포함한다. 그리고, 시트 가이드(60)들 중 나머지 둘(도 1에서 보아 상대적으로 하측에 배치된 두 시트 가이드)은 엔드리스 시트(50)가 증착실(11) 바닥과 도가니(31) 사이의 영역(B)을 통과할 수 있는 높이에 위치된다. 물론, 도가니 프레임(32)은 증착실(11) 바닥과 도가니(31) 사이의 영역(B)을 통과하는 엔드리스 시트(50)와의 간섭 발생이 없는 구조를 가지도록 구성된다. 예를 들어, 도가니 프레임(32)은 증착실(11) 바닥과 도가니(31) 사이에 순환이동을 하는 엔드리스 시트(50)가 통과하는 시트 이동로를 형성하도록 구성될 수 있다.The deposition
실시 조건 등에 따라서는 엔드리스 시트(50)의 원활한 순환이동 등을 위하여 시트 가이드(60)를 다섯 개 이상 구비할 수도 있다. 또는, 엔드리스 시트(50)의 이동경로에서 증착실(11) 바닥과 도가니(31) 사이의 영역(B)을 포함하는 경로를 제외시키고, 시트 가이드(60)를 세 개만 구비할 수도 있다.The number of the sheet guides 60 may be five or more for smooth circulation movement of the
시트 가이드(60)는 일부 또는 전체가 롤러로 구성될 수 있다. 또한, 시트 가이드(60)를 구성하는 롤러 중 적어도 어느 하나 이상은 롤러 구동유닛(도시되지 않음)에 의하여 회전되는 구동롤러로 구성될 수 있다. 롤러 구동유닛이 작동되면, 엔드리스 시트(50)는 길이방향(제2 방향 참조)을 따라 한쪽 또는 그 반대쪽으로 이동되고, 이에 따라 마스크 패턴영역(51)들 중 어느 하나는 기판과 대향하도록 배치된다.The
따라서, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비는, 마스크 패턴영역(51)들 중 일부에 대하여 세정이 요구되거나 손상이 발생된 경우, 마스크 패턴영역(51)들 중 다른 것이 기판과 대향하도록 배치시킴으로써, 엔드리스 시트(50)를 교체할 필요 없이 박막증착공정을 계속 수행할 수 있다.Therefore, in the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention, when some of the
또한, 본 발명의 제1 실시예에 따른 박막증착장비는, 마스크 패턴영역(51)들 중 적어도 어느 하나 이상이 다른 마스크 패턴을 가지도록 형성될 수 있는바, 이에 의하면, 기판의 증착면에 박막을 다른 패턴으로 형성하고자 하는 경우에도, 엔드리스 시트(50)를 교체함이 없이 박막증착공정을 수행할 수 있다.Also, in the thin film deposition apparatus according to the first embodiment of the present invention, at least one or more of the
도면부호 80은 기판에 대하여 기판과 대향하는 어느 하나의 마스크 패턴영역(51)의 위치를 조정하는 마스크 얼라이너(mask aligner)이다.
마스크 장치(M)는 시트 가이드(60)들을 지지하는 마운팅 프레임(70)을 더 포함하고, 마운팅 프레임(70)은 기판의 증착면에 대한 수직방향의 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되며, 마스크 얼라이너(80)는 마운팅 프레임(70)을 회전시켜 기판에 대하여 기판과 대향하는 어느 하나의 마스크 패턴영역(51)의 위치를 조정하도록 구성될 수 있다. 이를 위하여 마스크 얼라이너(80)는 증착실(11)의 내면 및 마운팅 프레임(70)에 양쪽 단부가 각각 회전 가능하게 연결된 실린더를 포함할 수 있다.The mask apparatus M further includes a mounting
도면부호 90은 엔드리스 시트(50)의 이동경로에서 엔드리스 시트(50)에 부착된 이물을 제거하는 시트 세정유닛으로, 이는 브러시를 포함하고 마스크 장치(M)의 마운팅 프레임(70)에 브러시가 엔드리스 시트(50)에 접촉 가능하도록 장착될 수 있다. 이러한 시트 세정유닛(90)에 의하면, 엔드리스 시트(50)를 분리하여 별도로 세정하여야 하는 주기를 장기화할 수 있다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비를 앞에서 본 상태가 도시된 구성도이다. 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비는, 본 발명의 제2 실시예와 비교하여 볼 때, 기타 구성 및 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 마스크 시트(50)가 양쪽 단부를 이은 엔드리스 시트가 아닌 일정의 길이를 가진 시트이고, 마스크 장치(M)에 마스크 시트(50)의 양쪽이 각각 감긴 시트 공급롤러(61)와 시트 회수롤러(62)가 적용된 점이 상이하다.FIG. 4 is a view illustrating a thin film deposition apparatus according to a second embodiment of the present invention. 4, the thin film deposition equipment according to the second embodiment of the present invention is similar to the second embodiment of the present invention except that the
시트 공급롤러(61)에는 마스크 시트(50)의 한쪽이 감긴다. 그리고, 시트 회수롤러(62)에는 시트 공급롤러(61)로부터 공급되어 기판과 증착물질 가이드(40) 사이(A)를 통과한 마스크 시트(50)의 다른 쪽이 감긴다.One side of the
본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비를 구성하는 롤러 구동유닛은 시트 회수롤러(62)를 회전시키도록 적용되어, 롤러 구동유닛이 작동되면, 시트 공급롤러(61)로부터는 마스크 시트(50)가 풀리고, 시트 회수롤러(62)에는 시트 공급롤러(61)로부터의 마스크 시트(50)가 감긴다. 시트 공급롤러(61)를 회전시키는 롤러 구동유닛을 추가로 적용하여, 시트 회수롤러(62)로부터 시트 공급롤러(61)에 마스트 시트(50)를 감는 과정을 선택적으로 수행할 수도 있다.The roller drive unit constituting the thin film deposition apparatus according to the second embodiment of the present invention is adapted to rotate the
상기와 같은 본 발명의 제2 실시예에 따른 박막증착장비도, 기판과 대향하는 마스크 패턴영역(51)을 변경하면서 마스크 시트(50)를 교체함이 없이 박막증착공정을 계속 수행할 수 있다.In the thin film deposition apparatus according to the second embodiment of the present invention as described above, the thin film deposition process can be continued without changing the
이상에서는 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않으며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 이내에서 통상의 기술자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the invention.
또한, 본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상은, 각각 독립적으로 실시될 수도 있고, 둘 이상이 서로 조합되어 실시될 수도 있다.Further, the technical ideas described in the embodiments of the present invention may be performed independently of each other, or two or more may be implemented in combination with each other.
10 : 증착챔버
20 : 기판 지지유닛
30 : 증착물질 공급유닛
40 : 증착물질 가이드
41 : 증착물질 유입구
42 : 증착물질 유출구
43 : 증착물질 안내통로
50 : 마스크 시트
60 : 시트 가이드
61 : 시트 공급롤러
62 : 시트 회수롤러
70 : 마운팅 프레임
80 : 마스크 얼라이너
90 : 시트 세정유닛
M : 마스크 장치
S : 기판10: Deposition chamber
20:
30: evaporation material supply unit
40: Evaporation material guide
41: deposition material inlet
42: Evaporation material outlet
43: evaporation material guide passage
50: Mask sheet
60: Sheet guide
61: sheet feed roller
62: sheet collecting roller
70: Mounting frame
80: Mask aligner
90: sheet cleaning unit
M: mask device
S: substrate
Claims (8)
증착물질을 공급하는 증착물질 공급유닛과;
상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질을 상기 기판 지지유닛에 의하여 지지된 기판 쪽으로 유도하는 증착물질 가이드와;
상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과하도록 배치되고 상기 기판에 대응하는 마스크 패턴영역이 복수로 구비되며 복수의 상기 마스크 패턴영역이 길이방향을 따라 배열된 마스크 시트를 가지되, 상기 마스크 시트가 길이방향으로 이동 가능하도록 구성되어 상기 마스크 시트의 이동방향에 따라 상기 마스크 패턴영역들 중 어느 하나가 상기 기판과 대향되는 이동식 마스크 장치를 포함하는,
박막증착장비.A substrate supporting unit for supporting the substrate;
A deposition material supply unit for supplying the deposition material;
A deposition material guide for guiding the deposition material from the deposition material supply unit toward the substrate supported by the substrate support unit;
A plurality of mask pattern regions arranged to pass between the substrate and the deposition material guide and corresponding to the substrate, and a plurality of the mask pattern regions are arranged along the longitudinal direction, wherein the mask sheet has a length And a movable mask device configured to be movable in the direction of the mask sheet so that any one of the mask pattern areas is opposed to the substrate in accordance with the movement direction of the mask sheet.
Thin Film Deposition Equipment.
상기 마스크 시트는 엔드리스 시트(endless sheet)이고,
상기 이동식 마스크 장치는 상기 엔드리스 시트가 순환이동 가능하도록 걸린 적어도 셋 이상의 시트 가이드를 더 포함하며,
상기 시트 가이드들 중 어느 둘은 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이의 양 옆쪽에 각각 배치되고, 상기 시트 가이드들 중 나머지는 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이로부터 상기 기판의 배치방향 쪽 또는 상기 증착물질 가이드의 배치방향 쪽으로 이격된 위치에 배치된,
박막증착장비.The method according to claim 1,
The mask sheet is an endless sheet,
Wherein the movable mask device further comprises at least three sheet guides which are engaged with the endless sheet so as to be rotatable,
Wherein at least two of the sheet guides are disposed on both sides of the substrate and the deposition material guide, and the remainder of the sheet guides are disposed on the deposition direction side of the substrate from the substrate and the deposition material guide, And a guide member disposed at a position spaced apart from the guide surface,
Thin Film Deposition Equipment.
상기 시트 가이드들 중 적어도 어느 하나 이상은 롤러 구동유닛에 의하여 회전되는 구동롤러로 구성된,
박막증착장비.The method of claim 2,
Wherein at least one of the sheet guides is constituted by a driving roller rotated by a roller driving unit,
Thin Film Deposition Equipment.
상기 이동식 마스크 장치는,
상기 마스크 시트가 감긴 시트 공급롤러와;
상기 시트 공급롤러로부터 공급되어 상기 기판과 상기 증착물질 가이드 사이를 통과한 마스크 시트가 감기는 시트 회수롤러를 더 포함하는,
박막증착장비.The method according to claim 1,
Wherein the mobile mask device comprises:
A sheet feeding roller on which the mask sheet is wound;
Further comprising a sheet collection roller that is supplied from the sheet supply roller and through which a mask sheet passed between the substrate and the deposition material guide is wound,
Thin Film Deposition Equipment.
상기 기판에 대하여 상기 기판과 대향하는 마스크 패턴영역의 위치를 조정하는 마스크 얼라이너(mask aligner)를 더 포함하는,
박막증착장비.The method according to any one of claims 1 to 4,
Further comprising a mask aligner for adjusting a position of a mask pattern region opposed to the substrate with respect to the substrate,
Thin Film Deposition Equipment.
상기 증착물질 가이드는,
상기 증착물질 공급유닛으로부터의 증착물질이 유입되는 증착물질 유입구와;
증착물질을 상기 기판 쪽으로 유출시키며 면적이 상기 증착물질 유입구에 비하여 큰 증착물질 유출구와;
상기 증착물질 유입구와 상기 증착물질 유출구를 연결하며 상기 증착물질 유입구 쪽에서 상기 증착물질 유출구 쪽으로 갈수록 점차 확장되는 형상을 가진 증착물질 안내통로를 포함하는,
박막증착장비.The method according to any one of claims 1 to 4,
The deposition material guide
A deposition material inlet through which the deposition material flows from the deposition material supply unit;
A large evaporation material outlet port that discharges the evaporation material toward the substrate and has an area larger than that of the evaporation material inlet;
And an evaporation material guide passage connecting the evaporation material inlet and the evaporation material outlet and gradually expanding toward the evaporation material outlet from the evaporation material inlet,
Thin Film Deposition Equipment.
상기 마스크 시트의 이동경로에서 상기 마스크 시트에 부착된 이물을 제거하는 시트 세정유닛을 더 포함하는,
박막증착장비.The method according to any one of claims 1 to 4,
Further comprising a sheet cleaning unit for removing foreign substances adhered to the mask sheet in a movement path of the mask sheet,
Thin Film Deposition Equipment.
상기 마스크 패턴영역들 중 적어도 어느 하나 이상은 다른 마스크 패턴을 가지도록 형성된,
박막증착장비.The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein at least one of the mask pattern regions is formed to have a different mask pattern,
Thin Film Deposition Equipment.
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KR1020170039181A KR102339654B1 (en) | 2017-03-28 | 2017-03-28 | Thin film deposition apparatus |
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