KR20180073862A - 기판 접합 장치 및 방법 - Google Patents

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KR20180073862A
KR20180073862A KR1020160177346A KR20160177346A KR20180073862A KR 20180073862 A KR20180073862 A KR 20180073862A KR 1020160177346 A KR1020160177346 A KR 1020160177346A KR 20160177346 A KR20160177346 A KR 20160177346A KR 20180073862 A KR20180073862 A KR 20180073862A
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차재훈
민형기
최현우
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동우 화인켐 주식회사
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Abstract

본 발명은 곡면을 갖는 기판을 접합할 때 기판 양단 부분의 쓸림으로 인한 품질 불량을 방지할 수 있는 기판 접합 장치 및 방법에 관한 것이다.

Description

기판 접합 장치 및 방법{Apparatus and Method for Bonding Substrates}
본 발명은 기판 접합 장치 및 이를 이용한 기판 접합 방법에 관한 것으로, 구체적으로 곡면을 갖는 기판과 유연성 기판을 접합하는 장치 및 이를 이용한 접합 방법에 관한 것이다.
휴대형 전자기기의 경우, 휴대성을 위한 소형 및 경량화와 최대한 많은 양의 정보를 표시하기 위한 디스플레이의 대면적화라는 상반된 두 가지 요구를 만족하여야 한다.
이를 위하여 특성의 손실 없이 휘거나 구부리거나 말 수 있는 유연성 디스플레이가 개발되고 있다.
특히, 주어진 장치의 크기 내에서 최대한의 디스플레이를 확보하기 위하여 대한민국 공개특허 제10-2015-0044870호에서는, 플렉서블 표시부를 갖는 휴대단말에서 플렉서블 표시부를 전면의 메인 표시영역과 측면의 보조 표시영역으로 구분하여, 측면을 표시 영역의 일부로 활용하고 있다.
이와 같이 곡면을 갖는 기판을 접합하기 위해서는 기존의 평면형 기판 접합 장치와는 다른 곡면형 기판 접합 장치가 요구된다.
예를 들어, 대한민국 공개특허 제10-2014-0139361호에서는, 적어도 일부분이 굴곡지게 형성되는 커버 윈도우를 안착하기 위하여 굴곡지게 형성되는 지그를 사용하는 방법을 개시하고 있으며, 대한민국 공개특허 제10-2015-0038449호에서는 오목면을 갖는 오목형 기판의 오목면에 대하여 가요성을 갖는 박형 기판을 압박할 때 박형 기판을 오목형 기판의 오목면을 모방하여 압착시키도록 변위하는 방법을 개시하고 있다.
그러나, 이와 같이 곡면을 갖는 기판과 유연성 기판을 접합하는 경우, 곡면을 갖는 기판의 구조로 인하여 곡면을 갖는 기판의 양단부가 유연성 기판과 먼저 접촉하여 쓸림 불량이 발생하게 되며, 이에 따라 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제10-2015-0044870호 대한민국 공개특허 제10-2014-0139361호 대한민국 공개특허 제10-2015-0038449호
본 발명은 이와 같은 종래 기술의 기판 접합 장치의 문제를 해결하기 위한 것으로, 곡면을 갖는 기판을 접합할 때 기판 양단 부분의 쓸림으로 인한 품질 불량을 방지할 수 있는 기판 접합 장치 및 방법을 제공하는 것을 그 과제로 한다.
본 발명의 다른 과제는 기판 양단부의 품질 불량을 방지하여 생산성을 향상할 수 있는 기판 접합 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
이와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는, 곡면을 갖는 제1 기판을 고정하는 지그; 상기 지그와 대향하여 배치되며, 상기 제1 기판과 접합될 유연성의 제2 기판이 안착되는 접합 패드; 상기 제1 및 제2 기판을 접합하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 구동부; 및 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나의 이동에 따라 상기 제1 기판이 상기 제2 기판과 접촉하기 전에 상기 제2 기판과 먼저 접촉하도록 구성된 가이드 장치를 포함하는 기판 접합 장치를 제공한다.
여기에서, 상기 가이드 장치는 상기 제1 기판의 상기 곡면에 대응하는 상기 지그의 단부에 설치되는 것이 바람직하다,
본 발명의 기판 접합 장치는 상기 가이드 장치에 연결된 스프링 부재를 더 포함할 수 있다.
상기 가이드 장치는 비점착성 재료로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 접합 패드는 중앙부가 주변부에 비해 돌출된 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 다른 양상에 따르면, 곡면을 갖는 제1 기판을 상기 곡면에 대응하는 단부에 설치된 가이드 장치를 포함하는 지그에 안착하는 단계; 상기 제1 기판과 접합될 유연성의 제2 기판을 상기 지그와 대향하여 배치되는 접합 패드에 안착하는 단계; 상기 가이드 장치가 상기 제2 기판과 접촉하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 단계; 및 상기 제1 기판이 상기 제2 기판과 접촉하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 추가로 이동시키는 단계를 포함하는 기판 접합 방법이 제공된다.
이 때, 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 단계와 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 추가로 이동시키는 단계는 연속적으로 이루어지는 것이 바람직하다.
여기에서, 상기 접합 패드는 중앙부가 주변부에 비해 돌출된 형상을 가질 수 있으며, 상기 추가로 이동시키는 단계에서는 상기 제2 기판의 중앙부가 상기 제2 기판의 주변부에 비해 상기 제1 기판에 먼저 접촉하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 제1 기판을 상기 지그에 안착하는 단계는, 상기 가이드 장치를 원래 위치에 대해 바깥쪽으로 이동시키는 단계; 상기 제1 기판을 상기 지그에 고정하는 단계; 및 상기 가이드 장치를 상기 원래 위치로 복귀시키는 단계를 포함할 수 있다.
이 때, 상기 지그는 상기 가이드 장치에 연결된 스프링 부재를 더 포함하며, 상기 가이드 장치를 복귀시키는 단계는 상기 스프링 부재의 복원력에 의하여 수행될 수 있다.
이와 같은 본 발명의 기판 접합 장치 및 방법에 의하면, 곡면을 갖는 기판을 접합할 때 기판 양단 부분의 쓸림으로 인한 품질 불량을 방지할 수 있으며, 이에 따라 곡면형 디스플레이 장치의 생산성을 향상할 수 있다.
또한, 곡면을 갖는 기판을 접합할 때 상부 지그에 고정되는 기판의 낙하를 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 지그의 저면도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 접합 장치의 지그의 저면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 방법의 공정 단면도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 방법에서 지그에 제1 기판을 안착하는 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판 접합 장치 및 이를 이용한 기판 접합 방법의 바람직한 실시예에 관하여 상세히 설명한다. 다만 본 명세서에 첨부된 도면들은 본 발명을 설명하기 위한 예시일 뿐, 본 발명이 도면에 의해 한정되는 것은 아니다. 또한, 설명 상의 편의를 위해 일부 구성요소들은 도면 상에서 과장되게 표현되거나, 축소 또는 생략되어 있을 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 단면도로서, 기판 접합 장치와 함께 접합하고자 하는 제1 및 제2 기판을 도시하고 있다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치의 지그를 접합 패드의 방향에서 나타낸 저면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 장치는 지그(100) 및 이와 대향하여 배치되는 접합 패드(200)를 포함하며, 지그(100)와 접합 패드(200) 중 적어도 하나를 이동시킬 수 있는 구동부(도시하지 않음)를 포함하여 구성된다.
지그(100)는 곡면을 갖는 제1 기판(150)을 안착하는 장치로서, 통상 접합하고자 하는 제1 기판과 동일한 곡면 형상을 갖도록 구성된다. 구체적으로 제1 기판(150)의 평평한 부분이 안착하도록 지그(100)의 일부가 평평하고, 제1 기판(150)의 곡면 부분이 안착하도록 지그(100)의 일부가 곡면 형상을 갖도록 형성될 수 있다.
지그(100)는, 예를 들면, 공기 흡입을 통해 제1 기판(150)을 고정하고 해제할 수 있다.
지그(100)의 재질은 알루미늄 등의 금속이나 플라스틱과 같은 강성 재질로 이루어질 수 있다.
제1 기판(150)은, 예를 들면, 디스플레이 장치의 외면을 보호하는 커버 윈도우일 수 있으며, 특히 곡면형 디스플레이를 채용하는 스마트폰과 같은 개인 휴대용 스마트 기기의 커버 윈도우일 수 있다. 제1 기판(150)의 재질은 통상 플라스틱, 유리 등의 강성 재질이다.
접합 패드(200)는 통상 유연성의 제2 기판(250)이 안착되는 장치로서, 지그(100)와 대향하여 배치된다.
접합 패드(200)는 실리콘, 우레탄, NBR(Nitrile butadiene rubber) 등의 연성 재질로 이루어질 수 있으며, 중앙부가 주변부에 비해 돌출된 형상을 가질 수 있다. 접합 패드(200)의 중앙부가 주변부에 비해 돌출된 형상을 가지는 경우, 지그(100)와 접합 패드(200) 중 적어도 하나를 이동시켜 제1 및 제2 기판(150, 250)을 접합할 때, 제2 기판(250)의 중앙부가 제1 기판(150)의 중앙부와 먼저 접합되고 이어서 중앙부로부터 주변부로 순차적으로 접합된다. 이에 의하여 제1 기판(150)과 제2 기판(250)이 접합될 때 기포의 발생을 억제할 수 있다.
제2 기판(250)은 디스플레이 장치의 커버 윈도우 아래에 위치하는 임의의 장치일 수 있으며, 필름 위에 포토리소그래피, 스크린 인쇄 등을 사용하여 베젤 패턴을 형성한 데코레이션 필름, 필름형 터치패널, 필름형 디스플레이 패널, 편광판 등을 포함한다. 그 재질로는 PET, TAC, COP, PI 등의 연성 재질을 포함하여 굴곡에 대한 내구성을 가지는 모든 재질이 적용될 수 있다. 또한, 제2 기판(250)은 제1 기판(150)과의 접합을 위하여 점착제층을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 지그(100)는 곡면 형상을 이루는 단부에 부착된 가이드 장치(160)를 포함한다.
도 2에 나타난 바와 같이, 가이드 장치(160)는 지그(100)의 곡면측 단부 중앙에 각각 형성될 수 있다.
가이드 장치(160)는 제1 기판(150)과 제2 기판(250)을 접합할 때, 제1 기판(150)보다 먼저 제2 기판(250)과 접촉하도록 형성된다. 이에 따라, 가이드 장치(160)는 제1 기판(150)의 양단과 제2 기판(250)의 접촉으로 인한 쓸림 불량을 방지하며, 동시에 제1 기판(150)의 낙하를 방지하는 역할을 할 수 있다.
가이드 장치(160)는 제1 기판(150)과 제2 기판(250)의 접촉을 방해하지 않도록 낮은 마찰계수와 비점착성을 가지는 물질로 형성하는 것이 바람직하며, 예를 들면, 테프론 등을 사용할 수 있다. 특히, 가이드 장치(160)의 재질은 제2 기판(250) 또는 제2 기판(250)에 포함된 점착층의 재질과 물성에 따라 변경될 수 있다.
가이드 장치(160)의 형태는 제2 기판(250)과 접촉하게 되는 부분에서 마찰을 줄이기 위하여 둥근 형태를 갖도록 한다. 도면에서는 가이드 장치(160)의 단면이 원형으로 도시되어 있으나, 반드시 원형이어야 하는 것은 아니며, 제2 기판(250)과 접촉하는 부분만이 둥근 형태로 형성되면 된다.
한편, 도 1에 나타난 바와 같이, 지그(100)는 가이드 장치(160)에 연결된 스프링 부재(170)를 포함할 수 있다.
스프링 부재(170)는 지그(100)에 제1 기판(150)을 고정할 때 가이드 장치(160)를 이동시키는 역할을 한다.
가이드 장치(160)는 도 1 및 도 2에 도시된 형태 이외에도 제1 기판(150)과 제2 기판(250)을 접합할 때 제1 기판(150)보다 먼저 제2 기판(250)과 접촉하도록 할 수 있는 임의의 구조로 형성될 수 있다.
도 3a 내지 도 3c는 다양한 구성의 가이드 장치를 갖는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 접합 장치의 지그의 저면도이다.
도 3a에 나타난 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 두 쌍의 가이드 장치(161)가 형성될 수 있다. 물론, 더 많은 수의 가이드 장치를 형성하는 것도 가능하다. 이와 같이 가이드 장치(161)를 두 쌍 이상 형성하는 것은 대면적의 디스플레이 장치를 접합할 때 더욱 유리하다.
또한, 가이드 장치를 도 2 및 도 3a에 나타난 바와 같이 점 형상으로 형성하는 대신, 곡면측 단부를 따라 연장된 형태로 형성하는 것도 가능하다. 예를 들면, 도 3b에 나타난 바와 같이, 곡면측 단부를 따라 일정 길이를 갖도록 가이드 장치(162)를 형성하거나, 곡면측 단부의 길이 전체에 걸쳐 가이드 장치(163)를 형성할 수도 있다.
또한, 상기 실시예에서는 모두 기판(150, 250)의 장변에 해당하는 부분에만 가이드 장치를 설치하는 것을 설명하였지만, 기판(150, 250)의 단변에 해당하는 부분에도 가이드 장치를 설치할 수 있음은 물론이다.
이제, 상술한 바와 같은 기판 접합 장치를 사용하여 기판을 접합하는 방법을 상세히 설명한다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 방법의 공정 단면도이다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 곡면을 갖는 제1 기판(150)을 지그(100)에 안착한다. 앞서 설명한 바와 같이, 지그(100)는 제1 기판(150)과 동일한 형태의 곡면 구조를 갖도록 형성되며, 곡면에 대응하는 단부에 가이드 장치(160)가 설치되어 있다.
또한, 도 4a에 도시된 바와 같이, 접합 패드(200) 상에는 유연성의 제2 기판(250)을 안착한다.
접합 패드(200) 상에 제2 기판(250)을 안착하는 단계는 공지의 방법을 통해 수행될 수 있다. 예를 들면, 흡입 판(도시하지 않음) 위에 제2 기판(250)을 안착하고 흡입을 통해 고정한 후, 흡입 판을 접합 패드(200) 위로 이동시키고, 제2 기판(250)의 양단을 클램프(도시하지 않음)로 잡은 상태에서 흡입 판을 후퇴시킨 다음, 제2 기판(250)을 접합 패드 상에 안착시킬 수 있다.
다음, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제2 기판(250)이 안착된 접합 패드(200)를 상승시켜, 지그(100)의 가이드 장치(160)가 제2 기판(250)과 접촉하도록 한다. 즉, 지그(100)에 고정된 제1 기판(150)이 제2 기판(250)과 접촉하기 전에 가이드 장치(160)가 먼저 제2 기판(250)과 접촉하게 된다.
한편, 도 4b에서는 제2 기판(250)이 안착된 접합 패드(200)가 상승하여 지그(100)의 가이드 장치(160)가 제2 기판(250)과 접촉하도록 도시되어 있으나, 이와 반대로, 제1 기판(150)이 안착된 지그(100)가 하강하여 지그(100)의 가이드 장치(160)가 제2 기판(250)과 접촉하도록 할 수도 있으며, 지그(100)와 접합 패드(200)가 함께 움직일 수도 있다.
이어서, 도 4c에 도시된 바와 같이, 제2 기판(250)이 안착된 접합 패드(200)를 계속 상승시켜, 제1 기판(150)과 제2 기판(250)이 접촉하도록 한다.
이 때, 가이드 장치(160)는 마찰계수가 낮고 비점착성을 가지는 물질로 형성되어 있으므로, 접합 패드(200)가 상승하여 제1 기판(150)과 제2 기판(250)이 접촉하는 것을 방해하지 않고 접합 패드(200)가 순조롭게 상승하여 제1 기판(150)과 제2 기판(250)이 접촉할 수 있다.
한편, 접합 패드(200)는 그 중앙부가 주변부에 비해 돌출된 형상을 가져, 도 4c에 도시된 바와 같이, 제2 기판(250)의 중앙부가 제1 기판(150)의 중앙부와 먼저 접합된다.
마지막으로, 도 4d에 도시된 바와 같이, 제2 기판(250)이 안착된 접합 패드(200)를 계속 상승시켜 제1 기판(150)과 제2 기판(250)이 완전히 접합한다.
이 때, 접합 패드(200)는 압력에 의해 형상이 변형되면서 제1 기판(150)의 형태를 따라 제1 기판(150)과 제2 기판(250)이 빈틈없이 접합될 수 있다. 즉, 도 4c 및 도 4d에서 나타난 바와 같이, 제1 기판(150)과 제2 기판(250)은 중앙부로부터 주변부로 순차적으로 접합되는데, 이와 같이 함으로써 곡면부의 접합이 자연스럽게 이루어질 수 있고 곡면부의 기포 발생이 억제되어 양호한 접합 품질을 얻을 수 있다.
접합 패드(200)의 경도는 예를 들어 쇼어A 30 정도일 수 있으며, 접합 패드(200)에 가해지는 가압력은 0.2 내지 0.3 MPa일 수 있다.
한편, 도 4a 내지 도 4d에 도시된 접합 공정은 진공 챔버에서 이루어지는 것이 바람직하다. 이는 기포 발생 등의 불량을 방지하기 위한 것으로, 챔버 내의 압력은 10Pa 이내가 바람직하다.
도 4a 내지 도 4d에 나타난 바와 같이 제1 기판(150)과 제2 기판(250)을 접합하기 위하여 접합 패드(200)를 상승시키는 과정은 연속적으로 수행될 수 있다. 즉, 도 4b 및 도 4c에 도시된 것과 같은 상태에서 접합 패드(200)의 상승이 멈추지 않고 도 4a 내지 도 4d에 도시된 것과 같은 상태로 끊김 없이 접합 패드(200)가 상승할 수 있다.
이제, 도 4a에 도시된 것과 같이, 지그(100)에 제1 기판(150)을 안착하기 위한 과정을 좀 더 자세히 설명하기로 한다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 접합 방법에서 지그에 제1 기판을 안착하는 방법을 나타내는 공정 단면도이다.
도 5a에 나타난 바와 같이, 지그(100)에 제1 기판(150)이 고정되지 않은 상태에서 가이드 장치(160)는 연결된 스프링 부재(170)가 압축되지 않은 상태인 그 원래 위치에 놓인다. 즉, 가이드 장치(160)의 원래 위치는 지그(100)의 곡면측 단부 안쪽으로 일부 돌출된 상태이다.
다음, 도 5b에 나타난 바와 같이, 제1 기판(150)을 고정하기 위하여 스프링 부재(170)를 압축하여 가이드 장치(160)가 지그(100)의 곡면측 단부 안쪽으로 돌출되지 않도록 한다.
이제, 도 5c에 나타난 바와 같이, 공기 흡입 등의 방법을 이용하여 지그(100)의 안쪽에 제1 기판(150)을 고정한다. 이 때, 제1 기판(150)은 클램프 등의 다른 장치를 이용하여 지그(100)의 위치로 이동되거나, 지그(100)가 제1 기판(150)의 위치로 이동하여 제1 기판(150)을 고정할 수 있으며, 이 방법에는 제한이 없다.
제1 기판(150)이 지그(100)에 고정된 후에는, 도 5d에 나타난 바와 같이, 스프링 부재(170)에 대한 압력을 해제하여 가이드 장치(160)가 그 원래 위치로 복귀되도록 함으로써, 제1 기판(150)이 지그(100)에 안착된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 가이드 장치(160)가 지그(100)의 곡면측 단부 안쪽으로 일부 돌출된 상태로 되어 지그(100)에 고정된 제1 기판(150)을 받치게 되므로, 가이드 장치(160)는 제1 기판(150)의 양단부가 제2 기판(250)과 먼저 접촉하여 쓸림 불량이 발생하는 것을 방지하는 것과 동시에 제1 기판(150)의 낙하를 방지하는 역할을 겸할 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도면을 참조하여 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명이 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 명시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 지그 150: 제1 기판
160, 161, 162, 163: 가이드 장치 170: 스프링 부재
200: 접합 패드 250: 제2 기판

Claims (11)

  1. 곡면을 갖는 제1 기판을 안착하는 지그;
    상기 지그와 대향하여 배치되며, 상기 제1 기판과 접합될 유연성의 제2 기판이 안착되는 접합 패드;
    상기 제1 및 제2 기판을 접합하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 구동부; 및
    상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나의 이동에 따라 상기 제1 기판이 상기 제2 기판과 접촉하기 전에 상기 제2 기판과 먼저 접촉하도록 구성된 가이드 장치를 포함하는 기판 접합 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 장치는 상기 제1 기판의 상기 곡면에 대응하는 상기 지그의 단부에 설치되는,
    기판 접합 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 장치에 연결된 스프링 부재를 더 포함하는,
    기판 접합 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가이드 장치는 비점착성 재료로 형성되는,
    기판 접합 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 접합 패드는 중앙부가 주변부에 비해 돌출된 형상을 갖는,
    기판 접합 장치.
  6. 곡면을 갖는 제1 기판을 상기 곡면에 대응하는 단부에 설치된 가이드 장치를 포함하는 지그에 안착하는 단계;
    상기 제1 기판과 접합될 유연성의 제2 기판을 상기 지그와 대향하여 배치되는 접합 패드에 안착하는 단계;
    상기 가이드 장치가 상기 제2 기판과 접촉하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 단계; 및
    상기 제1 기판이 상기 제2 기판과 접촉하도록 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 추가로 이동시키는 단계를 포함하는 기판 접합 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 이동시키는 단계와 상기 지그 및 상기 접합 패드 중 적어도 하나를 추가로 이동시키는 단계는 연속적으로 이루어지는,
    기판 접합 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 가이드 장치는 비점착성 재료로 형성되는,
    기판 접합 방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 접합 패드는 중앙부가 주변부에 비해 돌출된 형상을 가지며,
    상기 추가로 이동시키는 단계에서는 상기 제2 기판의 중앙부가 상기 제2 기판의 주변부에 비해 상기 제1 기판에 먼저 접촉하는,
    기판 접합 방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 기판을 상기 지그에 안착하는 단계는,
    상기 가이드 장치를 원래 위치에 대해 바깥쪽으로 이동시키는 단계;
    상기 제1 기판을 상기 지그에 고정하는 단계; 및
    상기 가이드 장치를 상기 원래 위치로 복귀시키는 단계를 포함하는,
    기판 접합 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 지그는 상기 가이드 장치에 연결된 스프링 부재를 더 포함하며,
    상기 가이드 장치를 복귀시키는 단계는 상기 스프링 부재의 복원력에 의하여 수행되는,
    기판 접합 방법.
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