KR20180071461A - 액정표시장치 및 그의 제조방법 - Google Patents

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조재형
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Abstract

본 실시예에 의하면, 소자영역과 개구영역을 포함하며, 소자영역에는 박막트랜지스터가 적층되어 배치되고, 소자영역과 개구영역의 상부에 제1컬러필터층이 배치되는 제1기판, 제1기판에 대향되며, 엠보 형태의 반사판이 형성되어 있는 제2기판, 및 제1기판과 제2기판 사이에 배치되는 액정층을 포함하는 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 실시예들에 의하면, 마스크의 수를 저감하여 생산성을 향상시키고 제조비용을 절감할 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공할 수 있다.

Description

액정표시장치 및 그의 제조방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND MANUFATURING METHOD FOR THE SAME}
본 실시예들은 액정표시장치 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
최근에 액정 표시장치는 크고 얇은 형태로 개발되고 있다. 하지만, 액정표시장치를 크고 얇게 제조하는데는 많은 비용이 발생하여 고가로 제공된다. 이로 인해, 널리 사용되지 않고 있다.
또한, 액정 표시장치는 박막트랜지스터가 형성되는 제1기판과, 컬러필터가 형성되는 제2기판과, 제1기판과 제2기판을 결합하고 제1기판과 제2기판 사이에 액정을 배치하며, 컬러필터를 통과하는 빛을 액정에 인가되는 전압에 의해 선택적으로 조절함으로써 영상을 표시할 수 있다.
또한, 액정표시장치는 휘도를 높여 표시되는 영상의 시인성이 높아지도록 한다. 휘도를 높이기 위해서는 표시장치의 화면을 가리는 영역을 줄여 개구율이 높아지도록 하는 방안이 고안되고 있다.
본 실시예들의 목적은 마스크의 수를 저감하여 생산성을 향상시킬 수 있는 액정 표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 실시예들의 또 다른 목적은 화면이 큰 액정 표시장치 및 그의 제조방법을 제공하는 것이다.
일측면에서, 본 실시예들은, 소자영역과 개구영역을 포함하며, 소자영역에는 박막트랜지스터가 적층되어 배치되고, 소자영역과 개구영역의 상부에 제1컬러필터층이 배치되는 제1기판, 제1기판에 대향되며, 엠보 형태의 반사판이 형성되어 있는 제2기판, 및 제1기판과 제2기판 사이에 배치되는 액정층을 포함하는 액정표시장치를 제공하는 것이다.
다른 측면에서, 본 실시예들은, 제1기판 상에 소자영역에 박막트랜지스터를 배치하고 개구영역에 컬러필터층을 배치하되, 컬러필터층은 박막트랜지스터 상부에 적층되도록 배치하는 단계, 제2기판 상에 굴곡이 있는 반사판을 형성하는 단계, 및 제1기판과 제2기판을 결합하고, 제1기판과 제2기판 사이에 액정층을 배치하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 실시예들에 의하면, 마스크의 수를 저감하여 생산성을 향상시키고 제조비용을 절감할 수 있는 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공할 수 있다.
또한, 본 실시예들에 의하면, 화면이 큰 대형의 액정표시장치 및 그의 제조방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 액정표시장치의 일 실시예를 나타내는 구조도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 액정 표시장치의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 3a는 도 1에 도시된 액정표시장치의 적색의 화소 부분을 절단한 단면의 제1 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 3b는 도 1에 도시된 액정표시장치의 적색의 화소 부분을 절단한 단면의 제2 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 3c는 도 1에 도시된 액정표시장치의 적색의 화소 부분을 절단한 단면의 제3 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 4a 내지 도 4f는 제1기판의 제조과정을 나타내는 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 제2기판의 제조과정을 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 액정 표시장치의 다른 일 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 7a는 화소전극의 일 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 7b는 화소전극과 공통전극의 일 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 실시예에 따른 액정표시장치를 제조하는 방법의 일 실시예를 나타내는 순서도이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질, 차례, 순서 또는 개수 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 다른 구성 요소가 "개재"되거나, 각 구성 요소가 다른 구성 요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 본 실시예에 따른 액정 표시장치의 일 실시예를 나타내는 구조도이고, 도 2는 본 실시예에 따른 액정 표시장치의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 1을 참조하면, 액정 표시장치(100)는 복수의 게이트 라인(G1,G2,…,Gn-1,Gn)과 복수의 데이터라인(D1,D2,…,Dm-1,Dm)이 교차하는 표시패널(110)을 포함할 수 있다. 또한, 복수의 게이트라인(G1,G2,…,Gn-1,Gn)에 게이트신호를 인가하는 게이트구동부(120)와 복수의 데이터라인(D1,D2,…,Dm-1,Dm)에 데이터신호를 인가하는 데이터구동부(130)를 포함할 수 있다. 여기서, 게이트구동부(120)는 표시패널(110)과 구분되는 구성요소인 것으로 도시되어 있지만, 이에 한정되는 것은 아니며 표시패널(110) 측면의 비발광영역에 배치되어 있을 수 있다. 표시패널(110)은 화소가 형성되는 발광영역과 화소가 배치되지 않은 비발광영역을 포함할 수 있다.
표시패널(110)은 복수의 게이트라인(G1,G2,…,Gn-1,Gn)과 복수의 데이터라인(D1,D2,…,Dm-1,Dm)이 교차하는 영역에 복수의 화소(101)가 형성될 수 있고, 각 화소(101)는 데이터신호를 선택적으로 전달하는 박막트랜지스터를 포함할 수 있다. 또한, 각 화소(101)는 적색 화소(R), 녹색 화소(G), 청색 화소(G)일 수 있다. 적색 화소(R), 녹색 화소(G), 청색 화소(G)는 데이터신호에 대응하여 빛을 투과시켜 적색, 녹색, 청색이 표시되도록 할 수 있다.
또한, 도 2에 도시되어 있는 것과 같이 표시패널(110)은 제1기판(111)과, 제1기판(111) 상부에 배치되는 제2기판(112)과, 제1기판(111)과 제2기판(112) 사이에 배치되는 액정층(113)을 포함할 수 있다. 제1기판(111)은 복수의 박막트랜지스터(미도시)와, 복수의 게이트라인(G1,G2,…,Gn-1,Gn)과 복수의 데이터라인(D1,D2,…,Dm-1,Dm)이 형성될 수 있다. 또한, 제1기판(111)은 컬러필터(미도시)가 형성될 수 있다. 또한, 제1기판(111)의 박막트랜지스터가 선택적으로 데이터신호를 액정층에 인가함으로써 액정 배열을 조절하여 컬러필터를 통과하는 빛을 조절할 수 있다. 제2기판(112)은 반사층(미도시)이 배치될 수 있다. 반사층(미도시)은 굴곡이 형성될 수 있다. 굴곡을 갖는 반사층은 빛을 전반사(total reflection)시킬 수 있다. 액정층(113)이 제1기판(111)과 제2기판(112) 사이에서 일정한 간격을 유지하도록 하는 스페이서가 액정층(113) 내 포함될 수 있다.
도 3a는 도 1에 도시된 액정표시장치의 적색 화소 부분을 절단한 단면의 제1실시예를 나타내는 단면도이고, 도 3b는 도 1에 도시된 액정표시장치의 적색 화소부분을 절단한 단면의 제2실시예를 나타내는 단면도이고, 도 3c는 도 1에 도시된 액정표시장치의 적색의 화소 부분을 절단한 단면의 제3 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 3a를 참조하면, 액정표시장치(300)는 소자영역(302)과 개구영역(301)을 포함하며, 소자영역(302)에는 박막트랜지스터(TR)가 적층되어 배치되고, 소자영역(302)과 개구영역(301)의 상부에 제1컬러필터층(316a)이 배치되는 제1기판(310), 제1기판(310)에 대향하며, 굴곡을 갖는 반사판(323)이 형성되어 있는 제2기판(320), 및 제1기판(310)과 제2기판(320) 사이에 배치되는 액정층(330)을 포함할 수 있다.
제1기판(310)은 소자영역(302)에는 박막트랜지스터(TR)가 배치될 수 있다. 박막트랜지스터(TR)의 상부와 제1기판(310) 상에는 패시베이션층(315)이 형성될 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 개구영역(301)에는 제1컬러필터층(316a)이 배치될 수 있다. 도 3은 제1기판(310)의 적색 화소부분의 단면도이기 때문에, 개구영역(301)에 형성되는 제1컬러필터층(316a)은 적색 컬러필터를 포함할 수 있다. 하지만, 녹색 화소부분이면 개구영역(301)에 형성되는 제1컬러필터층(316a)은 녹색 컬러필터일 수 있고 청색 화소부분이면 개구영역(301)에 형성되는 제1컬러필터층(316a)은 청색 컬러필터일 수 있다. 또한, 제1기판(310)은 투명기판일 수 있다.
또한, 소자영역(302)에서 제1컬러필터층(316a)은 박막트랜지스터(TR) 상에 배치될 수 있다. 박막트랜지스터(TR) 상에 배치되는 제1컬러필터층(316a)은 화소의 색과 무관하게 적색 컬러필터일 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고, 소자영역(302)에서 제1컬러필터층(316a)의 상부에 제2컬러필터층(316b)이 형성될 수 있다. 제2컬러필터층(316b)은 박막트랜지스터(TR)의 상부에 박막트랜지스터(TR)와 중첩되는 영역에 형성될 수 있다. 여기서, 중첩은 두 개의 층이 수직 투영되면 두 개의 투명면 중 하나의 투영면이 다른 하나에 포함되는 것을 의미할 수 있다. 또한, 제1기판(310) 상에 박막트랜지스터(TR)가 형성된 면적보다 제2컬러필터층(316b)이 형성된 면적이 더 넓은 면적을 갖게 될 수 있다. 또한, 중첩은 일부 중첩을 포함할 수 있다. 박막트랜지스터(TR)는 빛이 방출되지 않기 때문에 박막트랜지스터(TR)가 배치되어 있는 소자영역(302)은 비개구영역일 수 있다. 또한, 적색, 녹색, 청색의 빛을 투과하는 화소들에서 서로 다른 화소와 접하는 부분에서 색 혼합을 방지하기 위해 박막트랜지스터(TR)가 배치되어 있는 부분과 중첩되도록 블랙매트릭스(BM)를 형성할 수 있다. 블랙매트릭스(BM)는 화소의 외곽에 형성되어 화소에서 방출되는 빛이 이웃하는 화소에서 방출되는 빛과 혼합되는 것을 방지하여 각 화소의 개구영역(301)에서 발광되는 빛이 혼합되지 않게 할 수 있다. 빛이 혼합되지 않게 되면 각 화소에서 표시하는 색이 선명하게 될 수 있다.
그리고, 박막트랜지스터(TR)가 형성되어 있는 소자영역(302)에 서로 다른 색을 갖는 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)이 중첩되어 적층되면 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)을 투과하는 빛의 양이 줄어들어 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)이 중첩된 부분에서 표시되는 색은 어두운 색일 수 있다. 따라서, 적층되어 있는 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)은 블랙매트릭스의 역할을 수행할 수 있다. 또한, 제1컬러필터층(316a)은 적색 컬러필터이고 제2컬러필터층(316b)은 청색 컬러필터일 수 있다. 이렇게 적색 컬러필터와 청색 컬러필터가 중첩된 경우가 적색 컬러필터와 녹색 컬러필터 또는 녹색 컬러필터와 청색 컬러필터가 충첩되어 있는 경우 보다 적층된 컬러필터를 투과되는 빛의 양이 더 줄어들어 제1컬러필터층과 제2컬러필터층이 중첩된 부분의 색이 더 어두어질 수 있다. 또한, 제2컬러필터층(316b)이 형성될 때, 제1컬러필터층(316a)에서 청색 화소에 대응되는 개구영역에 청색 컬러필터가 배치될 수 있다. 또한, 제2컬러필터층(316b)의 두께는 제1컬러필터층(316a)과 동일할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며 제1컬러필터층(316a)보다 더 얇게 형성될 수 있다.
그리고, 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)의 상부에 절연막(317)이 증착될 수 있다. 그리고, 절연막(317)에서 박막트랜지스터(TR)의 드레인전극(314b) 중 어느 하나의 전극은 노출될 수 있도록 컨텍홀(h)가 형성될 수 있다. 따라서, 박막트랜지스터(TR)의 드레인전극(314b)은 노출될 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 일 실시예에 있어서, 절연막(317)의 상부에 화소전극(318)이 형성될 수 있다. 화소전극(318)은 컨텍홀(h)를 통해 박막트랜지스터(TR)의 드레인전극(314b)과 연결될 수 있다. 또한, 일 실시예에 있어서, 절연막(317)의 상부에는 화소전극(318)과 공통전극(미도시)이 배치될 수 있다.
절연막(317)의 상부에 화소전극(318)과 공통전극이 배치되는 경우에는 화소전극(318)이 절연막(317)의 상부에서 일정한 간격을 갖고 배치되며 공통전극은 화소전극(318) 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 화소전극(318)과 공통전극은 횡전계방식으로 액정에 전계를 인가할 수 있다. 화소전극(318) 및/또는 공통전극을 컬러필터 상에 형성하게 되면 화소전극(318) 및/또는 공통전극을 증착하는 장치가 컬러필터에 의해 오염될 수 있다. 하지만, 절연막(317)을 컬러필터 상에 형성한 후 화소전극(318) 및/또는 공통전극을 형성하는 경우에는 컬러필터에 의해 화소전극 및/또는 공통전극을 증착하는 장치가 오염되는 것을 방지할 수 있다. 절연막(317)의 상부가 평평하여 화소전극(318)과 공통전극이 평평하게 형성될 수 있다.
제2기판(320) 상에 검은색 물질을 이용하여 엠보(321)와 스페이서(322)가 형성될 수 있다. 엠보(321)와 스페이서(322)는 동일한 물질로 형성될 수 있다. 엠보(321)와 스페이서(322)는 빛을 받으면 굳어지는 감광성물질을 포함할 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 제2기판(320)은 투명기판일 수도 있고 불투명기판일 수도 있다.
그리고, 엠보(321)가 형성되어 있는 부분에 반사판(323)이 형성될 수 있다. 반사판(323)은 엠보의 외주에 형성되어 엠보(321)에 대응되는 굴곡을 가질 수 있다. 반사판(323)이 굴곡을 갖게 되면 반사판(323)에 반사되는 빛은 전반사될 수 있다. 또한, 반사판(323)은 도전성물질을 포함할 수 있다. 반사판(323)이 도전성물질을 포함하고 있으면 반사판(323)을 공통전극으로 사용할 수 있다. 또한, 반사판(323)은 스페이서(322)의 외주에 형성될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 절연막(317)의 상부에 화소전극(318)이 형성되어 있는 경우 도 3b에 도시되어 있는 것과 같이 반사판(323)의 상부에 도전층(324)이 형성될 수 있다. 도전층(324)은 공통전극일 수 있다. 도전층(324)은 반사판(323)이 비도전성물질인 경우에 반사판(323) 상에 형성될 수 있다. 반사판(323) 상부에 도전층(324)가 형성되는 경우 도전층(324)는 투명전극으로 형성될 수 있다. 반사판(323) 상에 형성되는 도전층(324)은 형성하는 은(AG) 도팅(Dotting)공정을 이용하여 형성될 수 있다.
또한, 도 3c에 도시되어 있는 것과 같이 반사판(323)은 엠보(321)에만 형성되고 스페이서(322)에는 형성되지 않을 수 있다. 제1기판(310) 상의 절연막(317)상에 화소전극(318)과 공통전극이 배치되어 있게 되면 제2기판(320)에 전원을 연결할 필요가 없다.
그리고, 제1기판(310)과 제2기판(320)의 사이에 액정층(330)이 배치될 수 있다. 제1기판(310)과 제2기판(320)은 스페이서(322)에 의해 제1기판(310)과 제2기판(320)은 일정한 간격을 유지할 수 있다. 스페이서(322)는 소자영역(302)의 상부에 배치될 수 있다. 또한, 스페이서(322)는 소자영역(302)에서 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)이 중첩된 영역에 배치될 수 있다. 따라서, 스페이서(322)가 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)에 중첩된 영역에 배치됨으로써 비개구영역에 배치되어 스페이서(322)에 의한 개구율 저하가 발생되지 않게 될 수 있다. 또한, 반사판(323) 상부에 도전층(324)이 배치되어 있는 경우 스페이서(322)의 외면에도 도전층(324)이 증착될 수 있다. 스페이서(322)의 외면에 형성되어 있는 도전층(324) 통해 제1기판(310)에 형성되어 있는 공통전원을 전달하는 배선(미도시)과 제2기판(320)의 반사판(323) 상부에 형성되어 있는 도전층(324)은 도통되어 공통전원을 전달받을 수 있다. 스페이서(322)의 외면에 형성되는 도전층(324)은 은(AG) 도팅(Dotting)공정에 의해 형성될 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 스페이서(322)에 도전성물질을 포함하는 반사판(323)이 형성되어 있으면 제1기판(310)에 배치되어 있는 공통전원을 전달하는 배선과 스페이서가 연결될 수 있어 반사판(323)이 공통전극의 역할을 수행할 수 있다.
일반적으로 제1기판(310)에 공통전원이 전달되는 배선이 형성되고 배선에 전달되는 공통전원이 제2기판(320) 상의 반사판(323) 또는 반사판(323) 상에 형성되어 있는 도전층(324)에 전달되도록 할 때, 액정표시장치의 외부에서 배선과 제2기판(320) 상의 도전층(324)이 도통되도록 할 수 있다. 이러한 경우, 배선과 제2기판(320) 상의 도전층(324)이 연결되어 있는 부분의 수가 적어 배선과 제2기판(320) 상의 도전층(324)의 연결에 손상이 발생되면 공통전원이 도전층(324)에 전달되지 않게 되는 문제점이 발생할 수 있다. 하지만, 액정표시장치의 내부에 배치되어 있는 스페이서(322)를 통해 공통전극을 도통시키게 되면 효율이 높아지고 일부의 연결이 단선되더라도 다른 스페이서를 통해 공통전원이 제2기판(320) 상의 도전층(324)에 도달될 수 있어 공통전원을 보다 안정적으로 도전층(324)에 공급할 수 있다. 스페이서(322)가 공통전극을 도통시기기 위해 도전성물질을 포함하는 반사판(323) 또는 도전층(324)이 스페이서(322)에 형성되게 하거나, 스페이서(322)가 은도팅공정을 통해 전도성을 갖도록 할 수 있다.
제1기판(310)에 박막트랜지스터(TR)과 컬러필터층이 형성되고, 제2기판(320)에 반사판(323)이 형성되도록 함으로써 마스크의 수를 줄일 수 있어 공정을 단순히하고 제조비용을 절감할 수 있다.
도 4a 내지도 4f는 제1기판의 제조과정을 나타내는 단면도이다. 여기서, 제1기판은 적색 화소부분의 단면을 나타낸다.
도 4a를 참조하면, 제1기판(310) 상에 게이트메탈을 증착하고 패터닝하여 게이트전극(311)을 형성할 수 있다. 여기서, 제1기판(310) 상에 곧바로 게이트 메탈이 증착되는 것으로 도시되어 있지만, 이에 한정되는 것은 아니며 제1기판(310) 상에 버퍼층을 형성한 후 게이트메탈이 증착되도록 할 수 있다. 게이트 메탈을 증착하고 패터닝을 할 때 하나의 마스크가 필요할 수 있다.
도 4b를 참조하면, 게이트전극(311) 상에 게이트절연막(312)을 증착하고, 그 상부에 활성층(313)을 형성할 수 있다. 그리고, 활성층(313)의 상부에 소스/드레인 메탈을 증착하고 패터닝하여 소스전극(314a)과 드레인전극(314b)이 형성되도록 할 수 있다. 게이트전극(311), 활성층(313), 소스전극(314a) 및 드레인전극(314b)에 의해 제1기판(111) 상에 박막트랜지스터(TR)가 형성될 수 있다. 여기서, 박막트랜지스터는 바텀게이트 방식인 것으로 도시되어 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 게이트 전극(311) 상에 게이트절연막(312), 활성층(313) 및 소스전극(314a), 드레인전극(314b)를 형성할 때 하나의 마스크가 필요할 수 있다.
도 4c를 참조하면, 박막트랜지스터(TR)가 형성된 제1기판(310) 상에 패시베이션층(315)을 형성할 수 있다. 패시베이션층(315)은 박막트랜지스터(TR)를 보호할 수 있다. 그리고, 패시베이션층(315)의 상부에 제1컬러필터층(316a)을 형성할 수 있다. 제1컬러필터층(316a)은 소자영역과 개구영역에 형성될 수 있다. 도면이 적색 화소부분의 단면을 나타내고 있기 때문에 개구영역은 적색 화소에 대응되어 개구영역에는 적색 컬러필터를 포함하는 제1컬러필터층(316a)이 배치될 수 있다. 하지만, 적색 화소가 아닌 녹색 화소 또는 청색화소 부분의 단면인 경우 녹색 화소 또는 청색화소에 대응되는 개구영역에는 제1컬러필터층(316a)이 형성되지 않게 될 수 있다. 또한, 소자영역에서 박막트랜지스터(TR)의 상부를 포함하는 영역에 제1컬러필터층(316a)이 배치될 수 있다. 제1컬러필터층(316a)은 적색컬러필터일 수 있다. 또한, 소자영역에 배치되어 있는 제1컬러필터층(316a)과 패시베이션층(315)에 드레인전극(314b)이 노출되도록 컨텍홀이 형성될 수 있다. 하지만, 이에 한정되는 것은 아니며 소스전극(314a)이 노출되도록 컨텍홀(h1)이 형성될 수 있다. 하나의 마스크를 이용하여 제1컬러필터층(316a)을 형성할 수 있다. 또한, 또 다른 하나의 마스크를 이용하여 제1기판(310) 상의 개구영역 중 녹색 화소에 대응되는 개구영역에 녹색 컬러필터를 포함하는 제1컬러필터층(316a)을 배치할 수 있다.
따라서, 제1기판(310) 상의 제1컬러필터층(316a)은 적색화소에 대응되는 개구영역에 적색 컬러필터가 형성된 상태에서 녹색 화소에 대응되는 개구영역에 녹색 컬러필터가 배치될 수 있다. 이때, 청색 화소에 대응되는 개구영역에는 제1컬러필터층이 아직 형성되어 있지 않을 수 있다.
도 4d를 참조하면, 제1컬러필터층(316a)과 박막트랜지스터가 중첩된 영역의 상부에 제2컬러필터층(316b)이 배치될 수 있다. 제2컬러필터층(316b)은 청색 컬러필터를 포함할 수 있다. 제2컬러필터층(316b)이 제1컬러필터층(316a) 상에 배치될 때, 제1기판(310) 상의 청색 화소에 대응되는 개구영역에 청색 컬러필터를 포함하는 제1컬러필터층이 배치될 수 있다. 이로써, 적색화소에 대응되는 개구영역에는 적색컬러필터를 포함하는 제1컬러필터층(316a)이 배치되고 녹색화소에 대응되는 개구영역에는 녹색 컬러필터를 포함하는 제1컬러필터층(316a)이 배치되며 청색 화소에 대응되는 개구영역에는 청색 컬러필터를 포함하는 제1컬러필터층(316a)이 배치될 수 있다. 여기서, 개구영역에 형성되는 적색 컬러필터, 녹색 컬러필터, 청색 컬러필터는 동일한 층에 배치되기 때문에 제1컬러필터층이라고 칭한다. 또한, 소자영역에 제1컬러필터층과 중첩되어 배치되어 있는 컬러필터층은 제1컬러필터층과 다른 층에 배치되기 때문에 제2컬러필터층이라고 칭한다. 또한, 소자영역 상에 형성되어 있는 제1컬러필터층(316a)은 적색 컬러필터이고 소자영역 상에 형성되어 있는 제2컬러필터층(316b)은 청색 컬러필터일 수 있고, 적색 컬러필터와 청색 컬러필터가 적층되면 컬러필터층의 색이 어두워져 블랙매트릭스의 역할 수행할 수 있다. 이때, 소자영역(302)에 배치되어 있는 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)은 각각 적색 컬러필터와 청색 컬러필터에 한정되는 것은 아니지만, 두가지 색이 적층되어 혼합되는 경우에 적색 컬러필터와 청색 컬러필터가 적층된 경우 빛의 투과율이 가장 낮아질 수 있다. 또한, 제2컬러필터층(316b)에 제1컬러필터층(316a)과 패시베이션층(315)에 형성되어 있는 컨텍홀(h1)과 연결되는 컨텍홀(h2)이 형성되도록 할 수 있다. 또한, 제2컬러필터층(316b)과 청색 화소의 개구영역에 형성되는 청색 컬러필터를 형성할 때 하나의 마스크가 필요할 수 있다.
도 4e를 참조하면, 제1컬러필터층(316a)과 제2컬러필터층(316b)이 제1기판(111) 상에서 적층된 후 절연막(317)을 증착할 수 있다. 절연막(317)을 패터닝하여 절연막(317), 제2컬러필터층(316b), 제1컬러필터층(316a), 패시베이션층(315)을 모두 관통하는 컨텍홀(h)이 형성되도록 할 수 있다. 절연막(317)에 의해 제1기판(310)의 상부가 평탄화될 수 있다. 절연막(317)을 증착하고 컨텍홀을 형성할 때 하나의 마스크가 필요할 수 있다.
도 4f를 참조하면, 절연막(317)의 상부에 화소전극(318)이 형성될 수 있다. 화소전극(318)은 컨텍홀(h)에 의해 드레인전극(314b)과 연결될 수 있다. 또한, 화소전극(318)을 형성할 때 하부에 절연막(317)이 배치되어 있어 화소전극(318)을 증착하는 기구가 컬러필터에 의해 오염되는 것을 방지할 수 있다. 화소전극(318)을 형성할 때 하나의 마스크가 필요할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 화소전극(318)을 형성할 때 공통전극을 같이 절연막(317) 상부에 형성할 수 있다. 공통전극은 화소전극(318)을 형성할 때 같은 마스크를 이용하여 형성할 수 있다. 화소전극(318)과 공통전극을 같이 형성할 때, 화소전극(318)은 일정한 간격을 갖고 배치되고 공통전극은 화소전극(318) 사이에 배치될 수 있다. 이때, 절연막(317)에 의해 상부가 평탄화되어 있어 화소전극 및/또는 공통전극은 굴곡이 없는 면에 형성되어 화소전극 및/또는 공통전극이 형성될 때 단선되거나 굴곡에 따라 울퉁불퉁해지는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 제1기판(310) 상에 박막트랜지스터(TR)과 컬러필터층을 증착하는데에 7개의 마스크가 필요할 수 있다.
도 5a 및 도 5b는 제2기판의 제조과정을 나타내는 단면도이다.
도 5a를 참조하면, 제2기판(320) 상에 빛에 의해 굳는 감광성물질을 증착한 후 엠보(321)와 스페이서(322)를 형성할 수 있다. 엠보(321)와 스페이서(322)는 빛을 투과하는 슬릿을 조절하여 하프톤 감광 및/또는 풀톤 감광을 이용하여 형성되게 할 수 있다. 따라서, 엠보(321)와 스페이서(322)는 하나의 마스크를 이용하여 형성될 수 있다.
도 5b를 참조하면, 엠보(321)의 상부에 반사물질을 증착하여 반사판(323)이 형성되도록 할 수 있다. 또한, 엠보(321)의 상부에 반사물질을 증착할 때 스페이서(322)의 외주에도 반사물질을 증착하여 반사판(323)이 형성되도록 할 수 있다. 또한, 반사판(323)은 엠보(321)에 대응하여 굴곡을 갖게 될 수 있어 반사판(323)에서 빛은 전반사가 될 수 있다. 따라서, 하나의 마스크를 이용하여 반사판(323)을 형성할 수 있다. 또한, 엠보(321)에만 반사판(323)이 형성되고 스페이서(322)에는 반사판이(323)이 형성되지 않거나 엠보(321)과 스페이서(322)에 형성된 반사판이 비도전성물질인 경우 은(AG) 도팅 공정을 추가하여 반사판(323) 및/또는 스페이서(322)에 도전층을 형성하여 제2기판 상에 공통전극이 형성되도록 할 수 있다. 그리고, 스페이서(322)가 제1기판(310)의 하부에 형성되어 있는 공통전원을 전달하는 배선과 도통되어 공통전극으로 사용되는 반사판(323)에 공통전원이 스페이서(322)를 통해 전달되도록 할 수 있다.
그리고, 도 4f에 도시되어 있는 제1기판(310) 상의 절연막(317)의 상부에 화소전극과 공통전극이 형성되어 있는 경우, 제1기판을 도 제2기판(320)과 결합할 때, 스페이서(322)에 도전층이 배치되지 않은 제2기판을 결합할 수 있다. , 그리고, 제1기판(310)과 제2기판(320) 사이에 액정층(330)이 배치되도록 하여 액정표시장치(300)를 제조할 수 있다.
그리고, 도 4f에 도시되어 있는 절연막(317)의 상부에 화소전극(318)이 형성되어 있는 제1기판(310)을 도 5c에 되시된 제2기판(320)과 결합하고, 제1기판(310)과 제2기판(320) 사이에 액정층(330)이 배치되도록 하여 액정표시장치(300)를 제조할 수 있다.
따라서, 제2기판(320)을 제조하는데 2개의 마스크가 필요할 수 있다. 이로써, 제1기판을 제조하는데 필요한 7개의 마스크와 상부기판을 제조하는데 필요한 2개의 마스크가 필요하여 전반사 액정표시장치를 제조하는데 총 9개의 마스크가 필요하여 제조비용을 절감할 수 있고, 마스크의 수가 적어 대형으로 제조하는데 용이하게 될 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 액정 표시장치의 다른 일 실시예를 나타내는 단면도이다.
도 6을 참조하면, 제1기판(410) 상에 박막트랜지스터(TR)를 형성하고, 형성된 박막트랜지스터(TR) 상에 패시베이션층(415)을 형성할 수 있다. 제1기판(410) 상에서 박막트랜지스터(TR)가 배치되어 있는 영역을 소자영역이라고 칭하고 박막트랜지스터가 배치되어 있지 않은 영역을 개구영역라고 칭할 수 있다. 또한, 패시베이션층(415) 상부에 절연막(416)을 증착하여 배치할 수 있다. 이때, 절연막(416)의 상부는 엠보가 형성될 수 있다. 그리고, 엠보(321)의 상부에 반사메탈(417)이 도포될 수 있다. 또한, 반사메탈 상부에 화소전극(418)이 배치될 수 있다. 또한, 화소전극(418)과 같이 절연막(416)의 상부에 공통전극이 배치될 수 있다. 이 경우 화소전극(418) 및/또는 공통전극의 경우 엠보가 형성되어 있는 절연막(416)상에 형성되기 때문에 화소전극(418) 및/또는 공통전극은 굴곡이 형성될 수 있다. 특히, 일정한 간격으로 화소전극(418)이 형성되고 화소전극(418) 사이에 공통전극이 배치되는 경우 화소전극과 공통전극은 일정한 길이를 갖는 얇은 선의 형태로 배치될 수 있어 굴곡에 의해 화소전극과 공통전극은 단선이 발생하게 되는 문제점이 생길 수 있다.
그리고, 제2기판(420) 상에 컬러필터층(421)과 블랙매트릭스(BM)를 형성하고 그 상부에 절연막(423)을 형성한 후 일 영역에 블랙매트릭스(BM)와 중첩되도록 스페이서(424)를 형성할 수 있다.
그리고, 제1기판(410)과 제2기판(420)을 결합하고 제1기판(410)과 제2기판(420) 사이에 액정층(430)이 배치되도록 하여 액정 표시장치(400)가 제조될 수 있다. 이때, 스페이서(424)는 제1기판(423) 상의 소자영역에 접하도록 제1기판(410)과 제2기판(420)을 결합할 수 있다. 제1기판(410)과 제2기판(420)은 스페이서(424)에 의해 간격을 유지할 수 있다.
이와 같은 전반사 구조를 갖는 액정 표시장치(400)는 제1기판(410) 상에 트랜지스터를 형성할 때 6개의 마스크를 사용하고 제2기판(420) 상에 블랙매트릭스와 컬러필터와 스페이서를 형성할 때 5개의 마스크를 사용하게 되어 총 11개의 마스크가 필요하여 도 3에 도시된 액정표시장치보다 마스크의 수가 더 증가하게 될 수 있다.
도 7a는 화소전극의 일 실시예를 나타내는 평면도이고, 도 7b는 화소전극과 공통전극의 일 실시예를 나타내는 평면도이다.
도 7a를 참조하면, 공통전극은 제2기판의 반사판 상에 형성되기 때문에 제1기판(310) 상의 절연막(317) 상에는 화소전극(318a)이 형성될 수 있다. 화소전극(318a)은 절연막 상에 소정의 면적을 갖는 행태로 형성될 수 있다. 절연막(317)은 굴곡이 없기 때문에 화소전극(318a) 역시 굴곡이 없게 형성될 수 있다. 여기서, 화소전극(318a)은 사각형의 형태인 것으로 도시되어 있지만, 이는 예시적인 것일 뿐 이에 한정되는 것은 아니다.
도 7b를 참조하면, 절연막 상에 전극(318b)이 형성될 수 있다. 전극은 일정한 간격을 갖고 배치되는 화소전극(3181)과 화소전극(3181) 사이에 배치되는 공통전극(3182)를 포함할 수 있다. 화소전극(3181)과 공통전극(3182)은 횡전계 행태로 배치될 수 있다. 이때, 화소전극(3181)과 공통전극(3182)은 일정한 길이를 갖는 얇은 선과 같이 배치될 수 있다. 만약, 전극(318b)이 배치되는 절연막에 굴곡이 형성되어 있으면 화소전극(3181)과 공통전극(3182) 역시 굴곡이 형성될 수 있고 굴곡에 의해 화소전극(3182) 및/또는 공통전극(3182)이 단선될 수 있다. 하지만, 절연막에 굴곡이 없기 때문에 화소전극 및/또는 공통전극이 단선될 위험이 감소될 수 있다. 또한, 굴곡에 의해 화소전극(3182) 및/또는 공통전극(3182) 간의 전계가 왜곡되는 것을 방지할 수 있다.
도 8은 본 실시예에 따른 액정표시장치를 제조하는 방법의 일 실시예를 나타내는 순서도이다.
도 8을 참조하면, 액정표시장치를 제조하는 방법은 제1기판 상에 소자영역에 박막트랜지스터를 배치하고 개구영역에 컬러필터층을 배치하되, 컬러필터층은 박막트랜지스터 상부에 적층되도록 배치하고(S800), 제2기판 상에 굴곡이 있는 반사판을 형성하고(S810), 및 제1기판과 제2기판을 결합하고, 제1기판과 제2기판 사이에 액정층을 배치할 수 있다.(S820)
따라서, 제1기판 상에 박막트랜지스터와 컬러필터가 형성되고 제2기판 상에 반사층가 스페이서가 형성될 수 있다. 또한, 제1기판과 제2기판을 형성할 때 마스크의 수를 줄일 수 있어 공정이 보다 간단해질 수 있다.
또한, 박막트랜지스터와 컬러필터층을 배치할 때(S800)는, 제1기판 상에 박막트랜지스터를 형성하고, 박막트랜지스터와 제1기판을 덮는 제1컬러필터층을 형성하고, 제1컬러필터층의 일부를 노출시켜 박막트랜지스터의 소스 전극과 드레인전극 중 어느 하나의 전극이 노출되도록 제1컨텍홀을 형성하고, 제1컬러필터층 상에 박막트랜지스터와 중첩되는 영역에 제1컬러필터층과 다른 색을 갖는 컬러필터를 포함하는 제2컬러필터층이 배치되며, 제2컬러필터층에 형성된 제1컨텍홀과 연결되는 제2컨텍홀이 형성되고, 제1컬러필터층과 제2컬러필터층의 상부에 절연막을 증착하되, 절연막에 제2컨텍홀과 연결되는 제3컨텍홀이 형성되고, 절연막의 상부에 화소전극을 형성하여 화소전극이 제1컨텍홀과 제2컨텍홀을 통해 소스 전극과 드레인전극 중 어느 하나의 전극과 연결되게 할 수 있다.
또한, 제2기판 상에 엠보와 스페이서를 형성하고, 엠보 상부에 반사판을 형성할 수 있다. 반사판은 엠보 상부에 반사메탈을 증착하여 형성할 수 있다. 반사판은 도전물질을 포함할 수 있고 포함하지 않을 수도 있다. 반사판이 도전물질을 포함하지 않는 경우 반사판 상에 도전층이 형성되도록 할 수 있다. 또한, 엠보와 스페이서를 형성할 때, 엠보와 스페이서의 외면에 도전층을 적층할 수 있다.
또한, 절연막의 상부에 화소전극을 형성하는 단계에서, 화소전극은 소정 상기 절연막의 상부에 소정 간격을 갖고 형성되며, 상기 화소전극과 대응하는 공통전극이 화소전극 사이에 배치되게 할 수 있다. 이 경우 제2기판의 엠보와 스페이서의 외주에 도전층이 형성되지 않게 될 수 있다.
이상에서의 설명 및 첨부된 도면은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 나타낸 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 구성의 결합, 분리, 치환 및 변경 등의 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
300: 액정표시장치
310: 제1기판
320: 제2기판
TR: 트랜지스터
BM: 블랙 매트릭스

Claims (13)

  1. 소자영역과 개구영역을 포함하며, 소자영역에는 박막트랜지스터가 배치되고, 상기 개구영역의 상부에 제1컬러필터층이 배치되되, 상기 제1컬러필터층은 상기 박막트랜지스터의 상부에 더 배치되는 제1기판;
    상기 제1기판에 대향되며, 엠보 형태의 반사판이 형성되어 있는 제2기판; 및
    상기 제1기판과 상기 제2기판 사이에 배치되는 액정층을 포함하는 액정표시장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1컬러필터층 상부에 배치되는 절연막과, 상기 절연막 상부에 적층되는 화소전극을 포함하며, 상기 화소전극은 상기 제1컬러필터층과 상기 절연막의 일 영역에 형성되어 상기 박막트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 어느 하나의 전극에 연결되는 컨텍홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 어느 하나의 전극에 연결되는 액정표시장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 반사판의 상부에 적층되는 공통전극을 포함하는 액정표시장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1컬러필터 상부에 배치되는 절연막과, 상기 절연막 상부에 소정간격을 갖고 나란하게 배치되는 화소전극과, 상기 화소전극과 나란하게 배치되며 상기 화소전극 사이에 배치되는 공통전극을 포함하고, 상기 화소전극은 상기 제1컬러필터층과 상기 절연막의 일 영역에 형성되어 상기 박막트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극 중 어느 하나의 전극에 연결되는 컨텍홀을 통해 상기 박막트랜지스터의 소스전극 및 드레인전극 중 어느 하나의 전극에 연결되는 액정표시장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 박막트랜지스터의 상부에서 상기 제1기판과 상기 제2기판의 간격을 유지하는 스페이서가 상기 제2기판 상에 형성되는 액정표시장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 스페이서의 외면에 도전층이 도포되는 액정표시장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 박막트랜지스터 상에 제2컬러필터층이 배치되되, 상기 제2컬러필터층은 상기 제1컬러필터층과 컬러필터와 상기 스페이서가 중첩되는 영역에 형성되되, 상기 제2컬러필터층의 색은 하부에 중첩되어 배치되어 있는 상기 제1컬러필터층의 색과 다른 액정표시장치.
  8. 제1기판 상에 소자영역에 박막트랜지스터를 배치하고 개구영역에 컬러필터층을 배치하되, 상기 컬러필터층은 상기 박막트랜지스터 상부에 적층되도록 배치하는 단계;
    제2기판 상에 굴곡이 있는 반사판을 형성하는 단계; 및
    상기 제1기판과 상기 제2기판을 결합하고, 상기 제1기판과 상기 제2기판 사이에 액정층을 배치하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 박막트랜지스터와 컬러필터층을 배치하는 단계는,
    상기 제1기판 상에 박막트랜지스터를 형성하고, 상기 박막트랜지스터와 상기 제1기판을 덮는 제1컬러필터층을 형성하고, 상기 제1컬러필터층의 일부를 노출시켜 상기 박막트랜지스터의 소스 전극과 드레인전극 중 어느 하나의 전극이 노출되도록 제1컨텍홀을 형성하는 단계;
    상기 제1컬러필터층 상에 상기 박막트랜지스터와 중첩되는 영역에 상기 제1컬러필터층과 다른 색을 갖는 컬러필터를 포함하는 제2컬러필터층이 배치되며, 상기 제2컬러필터층에 형성된 상기 제1컨텍홀과 연결되는 제2컨텍홀이 형성되는 단계;
    상기 제1컬러필터층과 상기 제2컬러필터층의 상부에 절연막을 증착하되, 상기 절연막에 상기 제2컨텍홀과 연결되는 제3컨텍홀이 형성되는 단계; 및
    상기 절연막의 상부에 화소전극을 형성하여 상기 화소전극이 상기 제1컨텍홀과 상기 제2컨텍홀을 통해 상기 소스 전극과 상기 드레인전극 중 어느 하나의 전극과 연결되는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 반사판을 형성하는 단계는,
    상기 제2기판 상에 엠보와 스페이서를 형성하고, 상기 엠보 상부에 반사판을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 엠보와 상기 스페이서를 형성하는 단계에서, 상기 엠보와 상기 스페이서의 외면에 공통전극을 적층하는 단계를 더 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 절연막의 상부에 화소전극을 형성하는 단계에서, 상기 화소전극은 소정 상기 절연막의 상부에 소정 간격을 갖고 형성되며, 상기 화소전극과 대응하는 공통전극이 상기 화소전극 사이에 배치되는 단계를 더 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제1기판과 상기 제2기판을 결합할 때, 상기 스페이서는 상기 제2컬러필터층이 형성된 영역에 접하는 액정표시장치의 제조방법.
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