KR20180053791A - 원터치식 디스플레이서 세척장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 크라이오 펌프(Cryo Pump)의 냉각단(Cold Head)으로 사용되는 디스플레이서(Displacer)를 편리하고 빠르며 높은 세정율을 갖도록 세척하며, 이에 따라 고가의 디스플레이서에 대한 재사용이 가능하여 비용을 절감할 수 있고, 크라이오 펌프의 냉각효율을 신제품에 근접한 상태로 유지할 수 있도록 지그형태로 원터치 탈부착이 간편한 원터치식 디스플레이서 세척장치에 관한 것으로서, 크라이오 펌프(Cryo Pump)용 디스플레이서를 장착 및 고정하는 디스플레이서 장착고정부가 디스플레이서 고정홈이 길이방향으로 연장되게 형성된 홀더몸체와, 상기 홀더몸체의 일측 가장자리에 연결되어 상기 디스플레이서 고정홈을 개폐하는 고정커버와, 상기 홀더몸체 및 고정커버 중 어느 하나의 타측 가장자리 단면에 형성된 직선 그루브와, 다른 하나의 타측 가장자리 단면을 따라 돌출되어 상기 고정커버의 클로징시 상기 직선 그루브에 끼워지는 돌기 바를 구비한 디스플레이서 홀더 및 몸체 일측이 상기 디스플레이서 홀더의 홀더몸체에 고정되고, 타측에는 상기 세척액 및 열풍을 운반하는 세척라인 고정홈이 구비된 세척라인 고정부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

원터치식 디스플레이서 세척장치{One-touch type washing device of displacer}

본 발명은 크라이오 펌프(Cryo Pump)의 냉각단(Cold Head)으로 사용되는 디스플레이서(Displacer)에 관한 것으로서, 특히 수동으로 세척하던 방식보다 편리하고 빠르며 높은 세정율을 갖는 디스플레이서를 제공할 수 있으며, 이에 따라 고가의 디스플레이서에 대한 재사용이 가능하여 비용을 절감할 수 있고, 크라이오 펌프의 냉각효율을 신제품에 근접한 상태로 유지할 수 있도록 지그형태로 원터치 탈부착이 간편한 원터치식 디스플레이서 세척장치에 관한 것이다.

크라이오 펌프(Cryo Pump)는 유체가 팽창할 때 발생하는 온도강하(Joule-Thompson) 효과를 이용하여 극저온으로 냉각된 패널에 기체 분자를 응축 또는 흡착에 의해 포착하여 배기하는 진공펌프로서, 반도체 회로 제조 프로세스 등에 요구되는 청정한 진공 환경을 만들기 위해서 사용되며, 최근 각종 정밀 공업 장치뿐만 아니라 의료장비 및 군사용 장비에도 널리 활용되고 있다.

크라이오 펌프는 스퍼터링 장치, CVD 장치, 진공 증착 장치 등의 성막장치나, 진공 환경을 필요로 하는 그 외의 반도체 제조 장치의 진공챔버에 장착되어 진공챔버로부터 가스를 배기한다.

이를 위하여, 크라이오 펌프에 구비되는 냉각기는 작동 기체를 흡입하고, 이를 내부에서 팽창시켜 토출하는 열사이클에 의해 주변 온도를 극저온으로 냉각시킨다. 일반적으로, 크라이오 펌프에서는 유체로 액화 온도가 매우 낮고, 극저온 상태에서 화학적으로 안정한 헬륨기체를 주로 사용한다.

극저온 영역에서 기체를 비롯한 오일 등이 활성탄(Charcoal)에 포집 또는 흡착되는데, 진동이나 충격에 의하여 발생한 활성탄 분진이 냉매인 헬륨(He)가스와 함께 순환되면서 디스플레이서의 미세한 구리망에 걸려 구멍을 막게 되고, 이에 따라 냉각효율이 저하되는 문제점이 있다.

오염된 디스플레이서를 세척하기 위한 종래의 방법은, 작업자가 수동으로 디스플레이서를 세척제(IPA; IsoPropyl Alcohol)에 충분히 적신 후 고압의 공기를 주입하여 구리망에 붙어있는 오염물질을 제거하는 방식으로서, 디스플레이서 세척작업이 매우 더디고 세척상태가 일정치 못하여, 크라이오 펌프에 재사용할 만한 충분한 세정율을 갖는 세척이 이루어지기 어려운 문제점이 있다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 대한민국 등록특허공보 제10-1090905호(2011.12.01. 등록, 이하 '선행기술'이라 함)인 '극저온 냉동기용 디스플레이서의 세정장치'에는 극저온 냉동기용 디스플레이서 특히 2단 디스플레이서를 분해하지 않고 세정 가능하여 콜드 헤드의 세정 과정 중 많은 시간을 할애해야 하는 2단 디스플레이서 세정 과정에 소요되는 시간을 줄일 수 있도록 한 극저온 냉동기용 디스플레이서의 세정장치가 개시되어 있다.

상기 선행기술은 디스플레이서를 세정챔버에 장착 후 세정액을 유동시켜 세정함으로써 디스플레이서 분해와 조립 과정으로 인한 시간 손실 및 소손 등의 위험성을 낮출 수 있는 장점이 있으나, 디스플레이서를 세정챔버에 장착한 상태로 세정하기 때문에 충분한 세정율을 얻을 수 있는 세척이 이루어지지 않으므로 디스플레이서의 오염으로 인한 문제를 일시적으로 해소하는데 그칠 수 밖에 없는 문제점이 있다.

KR 10-1090905 B1 (2011.12.01. 등록) KR 10-2009-0085784 A (2009.08.10. 공개)

상술한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은 특히 종래의 세척방식보다 편리하고 빠르며 높은 세정율을 갖는 디스플레이서를 제공할 수 있는 원터치식 디스플레이서 세척장치를 제공하는데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치는, 크라이오 펌프(Cryo Pump)용 디스플레이서를 장착 및 고정하는 디스플레이서 장착고정부; 상기 장착고정부에 장착 및 고정된 디스플레이서 내부에 세척액을 유입시키는 세척액 유입부; 상기 세척액 유입부에서 유입되어 상기 디스플레이서 내부를 통과한 세척액을 배출하는 세척액 배출부; 및 상기 세척액에 의해 세척된 디스플레이서 내부에 열풍을 공급하여 건조시키는 디스플레이서 건조부;를 포함하여 구성되며, 상기 디스플레이서 장착고정부는, 디스플레이서 고정홈이 길이방향으로 연장되게 형성된 홀더몸체와, 상기 홀더몸체의 일측 가장자리에 연결되어 상기 디스플레이서 고정홈을 개폐하는 고정커버와, 상기 홀더몸체 및 고정커버 중 어느 하나의 타측 가장자리 단면에 형성된 직선 그루브와, 다른 하나의 타측 가장자리 단면을 따라 돌출되어 상기 고정커버의 클로징시 상기 직선 그루브에 끼워지는 돌기 바를 구비한 디스플레이서 홀더 및 몸체 일측이 상기 디스플레이서 홀더의 홀더몸체에 고정되고, 타측에는 상기 세척액 및 열풍을 운반하는 세척라인 고정홈이 구비된 세척라인 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때, 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치에 있어서, 상기 세척라인 고정홈은, 상기 디스플레이서 고정홈의 연장방향과 나란하게 형성된 제1 고정홈 및 상기 제1 고정홈과 직교하도록 형성된 제2 고정홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치는, 상기 돌기 바의 길이가 상기 디스플레이서 홀더의 길이에 비해 작고, 상기 돌기 바의 외주면과 그에 대응되는 직선 그루브의 내주면이 원형으로 라운드 진 것이 바람직하다.

전술한 바와 같이 본 발명은 원터치식으로 디스플레이서를 자동으로 세척함으로써 수동으로 세척하는 방식보다 편리하고 빠르며, 또한 펌프에 장착 상태로 세척하던 방식보다 높은 세정율을 갖는 디스플레이서를 제공할 수 있는 장점이 있다.

이에 따라 본 발명은 고가의 디스플레이서에 대한 재사용이 가능하여 비용을 절감할 수 있고, 크라이오 펌프의 냉각효율을 신제품에 근접한 상태로 유지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 적용되는 디스플레이서를 설명하기 위한 크라이오 펌프의 간략화된 단면도,
도 2는 본 발명에 적용되는 디스플레이서의 사진,
도 3은 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치의 블록구성도,
도 4는 본 발명에 따른 원터치로 디스플레이서의 장착 및 고정이 가능한 디스플레이서 장착부의 구성을 도시한 사시도,
도 5는 도 4의 결합단면도,
도 6은 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치에 디스플레이서가 장착된 상태를 나타낸 일 예시도.

이하에서는 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치에 대한 실시 예를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이하에서 설명되는 실시 예는 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것으로, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되지 않고 다양한 형태로 구현될 수 있다.

도면들 중 동일한 구성들은 가능한 한 어느 곳에서든지 동일한 부호들을 나타낸다. 하기의 설명에서 구체적인 특정 사항들이 나타나고 있는데, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해 제공된 것일 뿐, 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

여기서, 첨부된 도면들은 기술의 구성 및 작용에 대한 설명과 이해의 편의 및 명확성을 위해 일부분을 과장하거나 간략화하여 도시한 것으로, 각 구성요소가 실제의 크기와 정확하게 일치하는 것은 아님을 밝힌다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 한다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

아울러 어떤 부분이 어떤 구성요소를 포함한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, "부"의 용어에 대한 의미는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위 또는 모듈 형태를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 혹은 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수도 있다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 것으로서, 이는 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 개념과 당해 기술분야에서 통용 또는 통상적으로 인식되는 의미로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

본 발명은 크라이오 펌프(Cryo PumP)에서 고압의 헬륨(He)가스를 팽창시켜 주변으로부터 기화열을 빼앗음으로써 주변을 냉각시키는 냉각단(Cold Head) 또는 축냉기(畜冷器)로 사용되는 디스플레이서(Displacer)를 자동으로 세척할 수 있는 세척장치에 관한 것으로서, 종래에 수동으로 세척하던 방식보다 편리하고 빠르며 높은 세정율을 갖는 디스플레이서를 제공할 수 있으며, 이에 따라 고가의 디스플레이서에 대한 재사용이 가능하여 비용을 절감할 수 있고, 크라이오 펌프의 냉각효율을 신제품에 근접한 상태로 유지할 수 있는 원터치식 디스플레이서 세척장치를 제공한다.

특히, 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치는 디스플레이서의 탈부착이 간편한 원터치식 지그형 장착부가 제공된다.

먼저, 도 1은 본 발명에 적용되는 디스플레이서를 설명하기 위한 크라이오 펌프의 간략화된 단면도로서, 크라이오펌프(10)는 예를 들면 이온 주입 장치나 스퍼터링 장치 등의 진공챔버(20)에 장착되어서, 진공챔버(20) 내부의 진공도를 원하는 프로세스에 요구되는 레벨로까지 높이기 위해서 사용된다.

크라이오펌프(10)는 냉동기(11)와 패널구조체(12)와 열 실드(13)를 구비한다. 패널구조체(12)는 복수의 패널을 포함하고, 이들 패널은 냉동기(11)에 의해 냉각된다. 패널 표면에는 기체를 응축 또는 흡착에 의해 포착해서 배기하기 위한 극저온면이 형성된다.

상기 패널은 제1온도로 냉각되는 제1패널과, 제1온도보다 저온인 제2온도로 냉각되는 제2패널로 구성된다. 제1패널에는 제1온도에 따라 증기압이 낮은 기체가 응축에 의해 포착되어 배기되고, 제2패널에는 제2온도에 따라 증기압이 낮은 기체가 응축에 의해 포착되어 배기된다.

제2패널에는 증기압이 높기 때문에 제2온도로도 응축하지 않는 비응축성 기체를 포착하기 위해 표면에 흡착 영역이 형성된다. 흡착 영역은 예를 들면 패널 표면에 활성탄 등의 흡착제가 설치된다. 비응축성 기체는 제2온도로 냉각된 흡착 영역에 흡착되어 배기된다.

냉동기(11)는 제1단 실린더(14)와 제2단 실린더(15) 및 모터(16)로 구성되는데, 제1단 실린더(14)와 제2단 실린더(15)는 직렬로 접속되어 있고, 서로 연결되는 제1단 디스플레이서 및 제2단 디스플레이서가 각각 내장되어 있다. 제1단 디스플레이서 및 제2단 디스플레이서의 내부에는 축냉재가 장착되어 있다.

모터(16)는 제1단 실린더(14)의 단부에 형성되어 있는 모터용 하우징(18)의 내부에 설치되어 있다. 모터(16)는 제1단 디스플레이서 및 제2단 디스플레이서의 각각이 제1단 실린더(14) 및 제2단 실린더(15)의 내부를 왕복운동할 수 있도록 제1단 디스플레이서 및 제2단 디스플레이서에 접속된다.

냉동기(11)는 고압배관 및 저압배관(19)을 통해 접속되는 압축기(17)로부터 공급되는 고압의 작동 기체(예를 들면 헬륨 등)를 내부에서 팽창시켜서 제1실린더(14) 및 제2실린더(15)의 단부를 냉각시킨다. 압축기(17)는 냉동기(11)에서 팽창된 작동 기체를 회수해 다시 가압해서 냉동기(11)에 공급한다.

도 2는 본 발명에 적용되는 디스플레이서의 사진을 나타낸 도면으로서, (a)는 디스플레이서의 입체사진이고, (b)는 디스플레이서의 내부를 설명하기 위해 편의상 디스플레이서를 수직으로 자른 단면사진이며, (c)는 디스플레이서의 내부에 충진되는 충냉재인 구리망의 사진이다.

도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 극저온 영역에서 기체를 비롯한 오일 등이 활성탄(Charcoal)에 포집 또는 흡착되는 과정에서 진동이나 충격에 의하여 발생하는 활성탄 분진이 냉매인 헬륨(He)가스와 함께 순환되면서 디스플레이서로 유입될 경우, 디스플레이서의 내부는 미세한 구리망이 적층된 구조로 이루어져 있기 때문에 미세한 구리망에 걸려 구멍을 막게 되고, 이를 세척하기 위해서는 매우 곤란한 어려움이 있게 된다.

도 3은 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치의 블록구성도로서, 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치는 장착고정부(100), 세척액유입부(200), 세척액배출부(300) 및 건조부(400)로 구성된다.

상기 장착고정부(100)는 본 발명에 따라 디스플레이서(101)를 원터치로 장착 및 고정시키고, 상기 세척액유입부(200)는 세척액을 상기 장착고정부(100)에 장착된 디스플레이서(101)로 유입시키며, 상기 세척액배출부(300)는 상기 장착고정부(100)에 장착된 디스플레이서(101)에서 배출되는 세척액을 배출시키고, 상기 건조부(400)는 세척액이 유입 및 배출된 후, 상기 장착고정부(100)에 장착된 디스플레이서(101)를 열풍으로 건조시키기 위해 열풍을 공급한다.

도 4는 본 발명에 따른 원터치로 디스플레이서의 장착 및 고정이 가능한 디스플레이서 장착부의 구성을 도시한 사시도이고, 도 5는 도 4의 결합단면도이며, 도 6은 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치에 디스플레이서가 장착된 상태를 나타낸 일 예시도이다.

이하, 도 4 및 도 6을 참조하여, 본 발명에 따른 원터치로 디스플레이서를 장착 및 고정하는 장착고정부(100)를 상세히 설명한다.

도시된 바와 같이, 본 발명은 디스플레이서를 고정하는 홀더(110)와, 세척액 및 열풍이 공급 및 배출되는 세척라인이 고정되는 세척라인 고정부(120)를 포함한다.

홀더(110)는 디스플레이서가 끼워지는 디스플레이서 고정홈(113)이 형성된 홀더몸체(111)와, 홀더몸체(111)의 일측 가장자리에 회동 가능하게 연결되어 디스플레이서 고정홈(113)을 개폐하는 고정커버(112)와, 홀더몸체(111)의 타측 가장자리 단면에 형성된 직선 그루브(Groove, 114)와, 고정커버(112)의 타측 가장자리 단면에 형성되어 상기 직선 그루브(114)에 끼워지는 돌기 바(Bar, 115)를 구비한다.

홀더(110)는 디스플레이서 고정홈(113) 내에 디스플레이서를 배치한 후 고정커버(112)로 덮었을 때 상기 홀더몸체(111)와 고정커버(112)가 디스플레이서의 외주를 밀착되게 감쌀 수 있도록 구성된다. 이를 위해, 고정커버(112)의 내측면에는 디스플레이서의 외주에 상응하도록 라운드(Round)진 요입홈(112a)이 형성되는 것이 바람직하다. 홀더(110)를 이루는 홀더몸체(111)와 고정커버(112)는 동일한 길이로 설계되어 디스플레이서를 감싸는 면적을 극대화하는 것이 바람직하다.

직선 그루브(114)는 홀더몸체(111)의 타측 가장자리 단면을 따라 형성되고, 고정커버(112)의 클로징(Closing)시 상기 직선 그루브(114)에 끼워지는 돌기 바(115)는 고정커버(112)의 타측 가장자리 단면을 따라 돌출되게 형성된다.

여기서, 돌기 바(115)는 고정커버(112)의 가장자리 일부 길이구간에만 형성되는 것이 바람직하다. 즉, 돌기 바(115)의 길이를 고정커버(112)의 길이에 비해 작게 설계하면 홀더(110)의 분리시 용이하게 직선 그루브(114)로부터 돌기 바(115)를 이탈시킬 수 있다.

상기 돌기 바(115)의 외주면과 그에 대응되는 직선 그루브(114)의 내주면은 그 횡단면이 실질적으로 원형을 이루도록 라운드지게 설계하여 돌기 바(115)와 직선 그루브(114) 간의 착탈이 보다 용이하고 원활히 이루어지도록 하는 것이 바람직하다.

도 5는 홀더몸체(111)에 대한 고정커버(112)의 체결시 돌기 바(115)와 직선 그루브(114) 간의 결합관계를 나타내는 단면도이다.

세척라인 고정부(120)는 그 일측이 상기 홀더(110)의 홀더몸체(111)에 고정되도록 구성된다. 여기서, 홀더(110)에 대한 세척라인 고정부(120)의 고정 구조는 홀더(110)와 세척라인 고정부(120)를 사출성형으로 일체화함으로써 구현될 수 있다.

상기 세척라인 고정부(120)의 타측에는 디스플레이서에 세척액 및 열풍을 공급하는 라인이 끼워질 수 있는 세척라인 고정홈(121,122)이 형성된다. 세척라인 고정홈(121,122)은 디스플레이서 고정홈(113)의 연장방향과 나란하도록 길게 형성된 제1 고정홈(121) 및 상기 제1 고정홈(121)과 직교하는 제2 고정홈(122)을 포함하도록 구성되며, 설치환경에 따라 어느 하나의 고정홈이 선택되어 세척라인이 끼워진다. 상기 제1 고정홈(121)과 제2 고정홈(122)은 세척라인이 억지끼움될 수 있도록 그 최대 내경에 비해 개구부의 내경이 작게 설계되는 것이 바람직하다.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 세척라인 장착형 원터치식 디스플레이서 세척장치에 사용되는 디스플레이서 장착고정부(100)는 홀더몸체(111)의 디스플레이서 고정홈(113) 내에 디스플레이서(101)를 배치한 후 고정커버(112)를 덮어서 원터치 체결함으로써 간편히 홀더(110)에 디스플레이서(101)를 고정시킬 수 있으며, 세척라인 고정부(120)의 세척라인 고정홈(121,122) 중 예컨대, 제2 고정홈(122)에 세척라인(201)를 끼워 넣음으로써 세척라인(201)에 대한 장착이 이루어진다.

상기 홀더몸체(111)와 고정커버(112) 간의 체결은 양 부재의 가장자리 단면에 형성된, 그 횡단면이 원형으로 라운드 진 돌기 바(115)와 직선 그루브(114) 간의 결합에 의해 수행되고, 세척라인 고정부(120)의 제2 고정홈(122)과 세척라인(201) 간의 체결은 억지끼움에 의해 수행된다.

전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 원터치식 디스플레이서 세척장치는 원터치식으로 디스플레이서를 장착하여 자동으로 세척함으로써 수동으로 세척하는 방식보다 편리하고 빠르며, 또한 펌프에 장착 상태로 세척하던 방식보다 높은 세정율을 제공한다.

한편, 본 발명의 상세한 설명에서는 첨부된 도면에 의해 참조되는 바람직한 실시 예를 중심으로 구체적으로 기술되었으나, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구의 범위뿐 아니라 이 특허청구의 범위와 균등한 것들에 의해서 정해져야 한다.

Claims (3)

1. 크라이오 펌프(Cryo Pump)용 디스플레이서를 장착 및 고정하는 디스플레이서 장착고정부;
   상기 장착고정부에 장착 및 고정된 디스플레이서 내부에 세척액을 유입시키는 세척액 유입부;
   상기 세척액 유입부에서 유입되어 상기 디스플레이서 내부를 통과한 세척액을 배출하는 세척액 배출부; 및
   상기 세척액에 의해 세척된 디스플레이서 내부에 열풍을 공급하여 건조시키는 디스플레이서 건조부;를 포함하여 구성되며,
   상기 디스플레이서 장착고정부는,
   디스플레이서 고정홈이 길이방향으로 연장되게 형성된 홀더몸체와, 상기 홀더몸체의 일측 가장자리에 연결되어 상기 디스플레이서 고정홈을 개폐하는 고정커버와, 상기 홀더몸체 및 고정커버 중 어느 하나의 타측 가장자리 단면에 형성된 직선 그루브와, 다른 하나의 타측 가장자리 단면을 따라 돌출되어 상기 고정커버의 클로징시 상기 직선 그루브에 끼워지는 돌기 바를 구비한 디스플레이서 홀더 및
   몸체 일측이 상기 디스플레이서 홀더의 홀더몸체에 고정되고, 타측에는 상기 세척액 및 열풍을 운반하는 세척라인 고정홈이 구비된 세척라인 고정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 원터치식 디스플레이서 세척장치.
   
2. 제 1항에 있어서, 상기 세척라인 고정홈은,
   상기 디스플레이서 고정홈의 연장방향과 나란하게 형성된 제1 고정홈 및 상기 제1 고정홈과 직교하도록 형성된 제2 고정홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 원터치식 디스플레이서 세척장치.
   
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
   상기 돌기 바의 길이가 상기 디스플레이서 홀더의 길이에 비해 작고,
   상기 돌기 바의 외주면과 그에 대응되는 직선 그루브의 내주면이 원형으로 라운드 진 것을 특징으로 하는 원터치식 디스플레이서 세척장치.

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