KR20180047868A - 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법 - Google Patents

오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법 Download PDF

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Abstract

오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이송 방법에서는 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 하강시킬 수 있는 승하강부;를 사용한다. 그리고 상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀을 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부에 수용시킨 후, 상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동시킬 수 있다.

Description

오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법{Overhead Hoist Transfer and Method of Transferring using the same}
본 발명은 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것으로써, 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조시 목적물 등과 같은 물류의 이송에 사용되는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이를 이용한 이송 방법에 관한 것이다.
반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자는 박막 형성 공정, 포토리소그라피(photolithigraphy) 공정, 식각 공정, 금속 배선 공정 등과 같은 다양한 공정을 수행함에 의해 제조된다. 이에, 상기 집적회로 소자의 제조에서는 상기 집적회로 소자의 제조에 필요한 목적물을 이송하는 이송 공정을 항상 수행하고 있다.
언급한 이송 공정의 경우에는 주로 로봇암 등을 이용하여 이루어지고 있는데, 상기 로봇암 등을 이송 장치로 이용할 경우 상기 집적회로 소자의 제조를 위한 제조 라인 내의 공간 활용도가 저하되는 단점이 있다. 특히, 상기 제조 라인이 클린룸일 경우에는 상기 클린룸 자체가 고가로 이루어지기 때문에 상기 클린롬의 공간 활용도의 저하로 인한 경제적 손실이 발생하는 문제점이 있다.
이에, 최근에는 상기 클린룸의 천장에 이송 장치가 배치되는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템(Overhead Hoist Transfer)를 구비하여 상기 집적회로 소자의 이송 공정에 활용하고 있다. 그리고 상기 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 사용한 이송에서는 목적물을 파지하는 파지부를 상,하로 구동시켜 가공 장치의 포터에 로딩 또는 언로딩시킬 수 있다.
그러나 종래의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 경우에는 상기 파지부를 이용하여 상기 목적물을 수평 방향으로는 구동시키지 못하고 있다. 이에, 상기 포터가 가공 장치의 측벽 등에 위치할 경우 수평 이동이 이루어지지 않기 때문에 그 대응이 불가한 문제점이 있다. 또한, 상기 파지부를 이용하여 무리하게 상기 목적물을 수평 이동시킬 경우 무게 중심이 틀어지는 문제점이 발생할 수 있고, 무리한 운행으로 인하여 파티클이 발생하는 문제점도 있다.
본 발명은 일 목적은 목적물의 이송시 상승 및 하강을 위한 수직 구동과 더불어 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 목적물의 이송시 상승 및 하강을 위한 수직 구동과 더불어 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 제공하는데 있다.
언급한 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템은 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 승강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 있어서, 상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀, 및 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부로 이루어지는 가이드 유닛; 및 상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 수평 구동부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 포트는 상기 가공 장치의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치의 측벽에 매립되는 구조로 이루어질 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 가이드 핀이 수용될 때 상기 가이드 핀을 지지하도록 상기 수용부 내측에 구비되는 가이드 롤러를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템에서, 상기 수평 구동부는 상기 파지부 내에 구비될 수 있다.
언급한 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템의 이송 방법은 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 하강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법에 있어서, 상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀을 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부에 수용시키는 단계; 및 상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동시키는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이송 방법에서는 파지부가 포트를 따라 수평 방향으로 구동할 수 있기 때문에 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있다. 특히, 목적물을 수평 이송시킬 때 가이드 유닛을 이용하여 파지부를 지지함으로써 무게 중심이 틀어지는 것을 방지할 수 있고, 나아가 안정적인 수평 이송을 통하여 파티클의 발생을 최소화할 수 있다.
따라서 본 발명은 파티클의 발생없이 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있기 때문에 가공 장치의 측면 또는 매립 구조를 갖는 포트에서의 목적물의 이송에도 보다 용이하게 대응할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1의 가이드 유닛 및 수평 구동부를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 가이드 유닛 및 수평 구동부를 구체적으로 설명하기 위한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템은 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자를 제조하는 제조 라인(100)에서 기판, 마스크 등과 같은 목적물(19)을 이송하는데 사용할 수 있다. 특히, 상기 제조 라인(100)은 클린룸으로써 바닥(300)에는 집적회조 소자의 단위 공정 등을 수행할 수 있는 가공 장치(20)가 구비될 수 있고, 천장(200)에는 목적물(19)의 이송을 위한 이송 시스템이 구비될 수 있다.
여기서, 상기 목적물(19)이 마스크일 경우 상기 가공 장치(20)는 노광 공정을 수행하는 노광 장치일 수 있다. 그리고 상기 가공 장치(20)에는 상기 목적물(19)의 로딩 또는 언로딩시 상기 목적물(19)이 놓이는 포트(21) 및 포트 게이트(23) 등이 구비될 수 있다. 여기서, 상기 포트 게이트(23)를 포트(21)로도 이해할 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시예에서의 상기 포트(21) 및 상기 포트 게이트(23)는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 위치하거나 또는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 매립되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
그리고 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템(이하, '이송 시스템'이라 함)은 레일부(11), 주행부(13), 파지부(15), 승하강부(17) 등을 포함할 수 있다.
상기 레일부(11)는 상기 천장(200) 쪽에 배치되도록 구비되는 것으로써, 상기 목적물(19)의 이송시 경로를 안내할 수 있다. 이에, 상기 레일부(11)는 상기 목적물(19)이 이송되는 가공 장치(20)의 포트(21) 등과 같은 목적지들 및 상기 목적지들 사이를 경유하는 경유지에 대한 경로를 안내하도록 구비될 수 있다.
상기 주행부(13)는 상기 레일부(11)를 따라 주행할 수 있는 것으로써, 주로 상기 레일부(11)에 위치하는 주행휠, 상기 주행휠에 구동력을 제공할 수 있는 구동부 등을 포함할 수 있다.
특히, 상기 주행부(13)는 상기 레일부(11)를 따라 주행할 때 상기 목적물(19)을 매달고 주행하도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 주행부(13)의 단부에는 상기 목적물(19)을 파지할 수 있는 파지부(15)가 구비될 수 있다. 그리고 상기 파지부(15)를 사용한 상기 목적물의 파지는 그립핑(gripping) 방식이 아닌 포킹(forking) 방식에 의해 달성될 수 있다. 즉, 핸드 블라겟(hand bracket)이 상기 목적물과 그 상부의 플랜지(flange) 사이로 진입하여 플랜지를 떠서 들어 올리는 방식에 의해 상기 목적물의 파지가 이루어지는 것이다.
상기 승하강부(17)는 상기 목적물(19)의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부(15)를 가공 장치(20)의 포트(21)로 하강 또는 상기 가공 장치(20)의 포토(21)로부터 승강시킬 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 상기 승하강부(17)는 상기 파지부(15)를 상기 포트(21)로 하강 또는 상기 포트(21)로부터 승강시킬 수 있도록 상기 주행부(13)와 상기 파지부(15) 사이에서 상,하 구동을 하는 실린더 부재 등을 포함할 수 있다.
이에, 상기 이송 시스템은 상기 주행부(13)가 상기 목적물(19)을 매단 상태에서 상기 레일부(11)를 따라 주행하고 그리고 상기 가공 장치(20)의 포트(21)에서 상,하 구동을 함에 따라 상기 목적물(19)을 로딩 또는 언로딩시킬 수 있다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 시스템은 가이드 유닛(31), 수평 구동부(39) 등을 더 포함할 수 있다.
상기 가이드 유닛(31)은 후술하는 수평 구동부(39)를 사용한 상기 파지부(15)의 수평 이송시 상기 파지부(15)가 기울어져서 무게 중심이 틀어지는 것을 방지하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 가이드 유닛(31)은 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 파지부(15)를 지지하도록 구비될 수 있는 것이다.
이에, 상기 이송 시스템은 상기 파지부(15)를 지지하기 위한 가이드 유닛(31)을 구비할 수 있다. 상기 가이드 유닛(31)은 가이드 핀(33) 및 수용부(35)를 포함할 수 있다. 상기 가이드 핀(33)은 상기 파지부(15)의 일측으로부터 상기 포트(21)를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 수용부(35)는 상기 파지부(15)가 하강할 때 상기 가이드 핀(33)을 수용할 수 있도록 상기 포트(21) 일측에 구비될 수 있다. 즉, 상기 가이드 핀(33)은 상기 파지부(15)의 평면을 기준으로 수직 방향으로 연장되는 바(bar) 형상의 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 상기 수용부(35)는 상기 바 형상의 구조물인 상기 가이드 핀(33)을 수용할 수 있는 공간을 갖는 박스 형상의 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 다시 말해, 상기 가이드 유닛(31)은 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 향하여 하강할 때 상기 수용부(35)에 상기 가이드 핀(33)이 삽입되는 구조를 갖는 것이다.
따라서 본 발명에서는 후술하는 수평 구동부(39)를 사용한 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 가이드 유닛이 상기 파지부(15)를 지지함으로써 상기 파지부(15)가 기울어져서 무게 중심이 틀어지는 방지할 수 있고, 그 결과 보다 안정적으로 상기 파지부(15)의 수평 이동을 수행할 수 있다.
그리고 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35) 내에 수용될 때 보다 긴밀하게 지지될 필요가 있다. 이에, 상기 이송 시스템은 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35) 내에 수용될 때 상기 가이드 핀(33)을 지지하도록 상기 수용부(35) 내측에 가이드 롤러(37)를 구비할 수 있다. 여기서, 상기 가이드 롤러(37)는 상기 수용부(35) 내에 상기 가이드 핀(33)이 수용될 때 보다 긴밀한 지지를 위하여 상기 가이드 핀(33)과 접촉 회전하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 따라서 상기 가이드 롤러(37)는 접촉으로 인한 파티클 등의 발생을 최소화할 수 있도록 우레탄 재질 등으로 이루어질 수 있다.
상기 수평 구동부(39)는 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35)에 수용된 상태에서 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15)를 수평 이동시킬 수 있도록 구비될 수 있는 것이다. 여기서, 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 전체를 구동시키는 것으로도 이해할 수 있으나, 상기 파지부(15)를 수직 방향을 기준으로 이분할하여 상기 포트(21) 쪽을 향하는 부분이 상기 포트(21)를 따라 수평 방향으로 구동되는 것으로도 이해할 수 있다.
그리고 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 내에 배치되도록 구비될 수 있다. 이는, 상기 수평 구동부(39)의 동작으로 인하여 파티클 등이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 따라서 상기 수평 구동부(39)는 상기 파지부(15) 내에 실링 커버 등에 의해 밀폐되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 이송 시스템은 상기 수평 구동부(39)를 구비함으로써 상기 파지부(15)를 수평 이동시킬 수 있고, 상기 가이드 유닛(31)을 구비함으로써 상기 파지부(15)의 수평 이동시 상기 파지부(15)의 무게 중심이 틀어지는 것을 방지할 수 있다. 따라서 상기 이송 시스템을 사용할 경우 상기 목적물(19)을 보다 안정적으로 이송할 수 있고, 특히 상기 포트(21)가 상기 가공 장치(20)의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치(20)의 측벽에 매립되는 구조를 갖더라도 상기 목적물(19)의 이송에 별다른 지장을 주지 않을 것이다.
또한, 상기 수평 구동부(39)가 상기 파지부(15) 내에 밀폐되는 구조로 구비되기 때문에 상기 파지부(15)를 구동시킬 때 발생하는 파티클을 최소화할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 상기 이송 시스템은 시스템 자체에 대한 개조없이 상기 파지부(15)에 수평 구동 기능을 추가할 수 있고, 상기 가이드 유닛(31)을 구비함으로써 수평 구동시 기울어짐을 방지할 수 있는 것이다.
이하, 상기 이송 시스템을 사용하여 상기 목적물(19)을 이송하기 위한 방법에 대하여 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법을 설명하기 위한 공정도이다.
먼저 도 3에서의 이송 방법은 도 1에서의 이송 시스템을 사용하는 것이다. 이에, 도 1에서의 이송 시스템과 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 3을 참조하면, 상기 제조 라인(100)에서 상기 목적물(19)의 이송이 이루어진다. 즉, 상기 주행부(13)가 목적물(19)을 매달고 상기 레일부(11)를 따라 주행하는 것이다. 이때, 상기 목적물(19)은 상기 주행부(13)의 단부에 배치되는 상기 파지부(15)에 의해 파지된 상태를 유지한다. 그리고 상기 주행부(13)가 목적지인 상기 가공 장치(20)의 포트(21) 상부에 주행을 멈추고, 상기 포트(21) 상부에 위치한다.
이어서, 상기 승하강부(17)를 사용하여 상기 파지부(15)를 하강시킨다. 이에, 상기 파지부(15)에 파지된 상기 목적물(19)이 상기 포트(21)에 놓인다. 이때, 상기 가이드 핀(33)이 상기 수용부(35)에 수용된다.(S31 단계)
그리고 상기 수평 구동부(39)를 사용하여 상기 파지부(15)가 상기 포트(21)를 따라 수평 방향을 구동한다.(S33 단계) 이에, 상기 목적물(19)을 보다 정확한 지점으로 이송시킬 수 있다. 여기서, 상기 파지부(15)의 수평 이송시 상기 가이드 핀(33) 및 상기 수용부(35)에 의해 상기 파지부(15)가 지지됨에 따라 상기 파지부(15)의 무게 중심이 틀어지지 않고 안전하게 이송이 이루어진다.
본 발명의 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템 및 이송 방법에서는 파티클의 발생없이 목적물을 용이하게 수평 이동시킬 수 있기 때문에 가공 장치의 측면 또는 매립 구조를 갖는 포트에서의 목적물의 이송에도 보다 용이하게 대응할 수 있다. 이에, 본 발명은 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 레일부 13 : 주행부
15 : 파지부 17 : 승하강부
19 : 목적물 20 : 가공 장치
21 : 포트 23 : 포트 게이트
31 : 가이드 유닛 33 : 가이드 핀
35 : 수용부 37 : 가이드 레일
39 : 수평 구동부 100 : 제조 라인
200 : 천장 300 : 바닥

Claims (5)

  1. 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 승강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템에 있어서,
    상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀, 및 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부로 이루어지는 가이드 유닛; 및
    상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동될 수 있도록 구비되는 수평 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 포트는 상기 가공 장치의 측벽에 위치하는 구조 또는 상기 가공 장치의 측벽에 매립되는 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 가이드 핀이 수용될 때 상기 가이드 핀을 지지하도록 상기 수용부 내측에 구비되는 가이드 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 수평 구동부는 상기 파지부 내에 구비되는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템.
  5. 천장에 연결되는 레일부와, 목적물을 매달고 상기 레일부를 따라 주행할 수 있는 주행부와, 상기 목적물을 파지할 수 있는 파지부와, 상기 목적물의 로딩 또는 언로딩을 위하여 상기 파지부를 가공 장치의 포트로 하강 또는 상기 가공 장치의 포토로부터 하강시킬 수 있는 승하강부;를 포함하는 오버헤드 호이스트 트랜스퍼 이송 시스템의 이송 방법에 있어서,
    상기 파지부의 일측으로부터 상기 포트를 향하는 아래 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 가이드 핀을 상기 파지부가 하강할 때 상기 가이드 핀을 수용할 수 있도록 상기 포트 일측에 구비되는 수용부에 수용시키는 단계; 및
    상기 가이드 핀이 상기 수용부에 수용된 상태에서 상기 파지부가 상기 포트를 따라 수평 방향으로 구동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 오버헤드 호이스트 트렌스퍼 이송 시스템의 이송 방법.
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