KR20180041501A - Test socket - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a test socket which is to electrically connect a terminal of a device to be tested and a pad of a test device, comprising: a socket guide fixed to a test device and having a receiving space at the center thereof; and a socket block detachably mounted in the receiving space of the socket guide and having a test connection means for electrically connecting the device to be tested and the pad of the test device, to be coupled thereto. The socket block is coupled to the socket guide by being lowered toward the receiving space and is separated from the socket guide by being lifted. The socket block includes a separation means for lifting the same from the socket guide to be separated.

Description

검사용 소켓{Test socket}Test socket

본 발명은 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치를 상호 전기적으로 접속시키는 검사용 접속체를 간편하게 분리하여 교체할 수 있는 검사용 소켓에 대한 것이다.The present invention relates to a test socket, and more particularly, to a test socket which can easily separate and replace a test connector for electrically connecting an apparatus to be tested and an inspection apparatus.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스의 경우 불량여부를 검사하기 위한 소정의 전기적 검사를 수행하게 된다. 이러한 전기적 검사시 반도체 디바이스를 고가의 검사장치에 직접 접촉시키는 것이 아니라 도통성이 우수하면서 교체가 용이한 검사용 소켓을 이용하여 간접적으로 접촉시고 있게 된다.Generally, in the case of a semiconductor device that has been manufactured, a predetermined electrical inspection for inspecting the semiconductor device for defects is performed. In such an electrical inspection, the semiconductor device is indirectly brought into contact with an expensive inspection apparatus by using a test socket having excellent conductivity and easy replacement.

이러한 검사용 소켓은 수많은 반도체 디바이스의 접촉시 반도체 디바이스로부터 전달되는 충격을 흡수함은 물론 도통성능이 유지될 수 있다록 하기 위하여 포고핀 타입과 이방 도전성 시트 타입으로 구별된다.These inspection sockets are distinguished into a pogo pin type and an anisotropic conductive sheet type in order to absorb the impact transmitted from the semiconductor device upon contact of a large number of semiconductor devices and to maintain the continuity performance.

한편, 도 1에서는 종래기술의 포고핀 타입의 검사용 소켓을 나타내고 있게 된다. 종래기술의 검사용 소켓은, 반도체 디바이스가 탑재될 수 있도록 상측이 개방되고 내부를 향해 함몰된 형상의 반도체 디바이스 탑재수용부(110) 및 상하방향으로 관통된 복수의 삽입공(310)을 가지며 상기 반도체 디바이스 탑재수용부(110)의 상기 함몰된 형상의 바닥면에서부터 상측을 향해 돌출된 커넥터하우징(300)을 포함하며, 동일한 재질로 일체로 성형 형성된 칩커넥터수용 하우징; 상기 칩커넥터수용 하우징의 상기 삽입공(310)에 삽입되며, 상측부 및 하측부가 상기 삽입공(310)으로부터 각각 상하방향으로 돌출되어 상기 반도체 디바이스 및 상기 반도체 디바이스를 테스트 하기 위한 기판에 접촉가능한 커넥터(400); 및 상기 커넥터(400)의 하측부가 상기 기판에 전기적 접촉 가능하게 외부로 노출되도록 상기 삽입공(310)에 대응하는 위치에 마련되어 상기 삽입공(310)보다 작은 직경의 복수의 고정공(510)을 가지며, 상기 칩커넥터수용 하우징의 일면에 배치되어 상기 커넥터(400)의 하향 이탈을 방지하는 베이스커버(500);를 포함한다. 이러한 검사용 소켓에서 상기 칩커넥터 수용하우징은, 상기 반도체 디바이스 탑재 수용부(110)의 외곽에 배치되어 내측으로 함몰된 보강부재 수용부(120)를 더 포함하며, 상기 반도체 디바이스 검사용 소켓은, 상기 보강부재 수용부(120)에 수용되며 상기 칩커넥터 수용하우징에 결합되어 상기 칩커넥터 수용하우징을 보강하는 보강부재(130)를 더 포함하게 된다.Meanwhile, Fig. 1 shows a pogo pin type inspection socket of the prior art. The inspection socket of the related art has a semiconductor device mounting receptacle 110 having a top open and a bottom recessed shape so that the semiconductor device can be mounted thereon and a plurality of insertion holes 310 penetrating in the vertical direction, A chip connector receiving housing including a connector housing (300) protruding upward from a bottom surface of the recessed shape of the semiconductor device mounting receptacle (110) and formed integrally with the same material; And the semiconductor device and the semiconductor device are mounted on the chip connector housing, the chip connector housing is inserted into the insertion hole (310) of the chip connector housing and the upper side portion and the lower side portion protrude upward from the insertion hole (310) (400); And a plurality of fixing holes 510 provided at positions corresponding to the insertion holes 310 and smaller in diameter than the insertion holes 310 so that the lower portion of the connector 400 is exposed to the outside so as to be electrically contactable with the substrate. And a base cover 500 disposed on one side of the chip connector receiving housing to prevent downward deviation of the connector 400. In this inspection socket, the chip connector receiving housing further includes a reinforcing member receiving portion 120 disposed on the outer side of the semiconductor device mounting receiving portion 110 and recessed inward, And a reinforcing member 130 received in the reinforcing member receiving portion 120 and coupled to the chip connector receiving housing to reinforce the chip connector receiving housing.

이러한 종래기술에 따른 검사용 소켓은, 다음과 같은 문제점이 있다.The test socket according to the related art has the following problems.

먼저, 검사용 소켓은 수많은 반도체 디바이스에 대한 검사를 수행해야 하는 데, 수많은 반도체 디바이스를 검사하는 과정에서 손상되거나 마모되어 그 수명이 제한적이다. 또한 반도체 디바이스로부터 운반되어 오는 이물질에 의하여 표면에 이물질이 퇴적되어 수명이 저하되어 빈번한 교체가 필수적이라고 할 것이다.First, the inspection socket must be inspected for a large number of semiconductor devices, which are damaged or worn in the course of inspecting a large number of semiconductor devices, and their lifespan is limited. In addition, it is considered that frequent replacement is necessary because foreign substances transported from a semiconductor device deposit foreign substances on the surface thereof and the lifetime thereof decreases.

특히 검사용 소켓에서 교체가 이루어져야 할 부분은 소켓가이드가 아니라 커넥터 부분이라고 할 것인데 이러한 커넥터를 교체하기 위해서는 복수 위치에 체결되어 있는 볼트를 수작업으로 해체하는 작업을 수행한 후에 커넥터만을 교체한 후에 다시 볼트 체결해야 하는 등 커넥터의 교체에 많은 시간이 소요된다는 문제점이 있게 된다.Particularly, the part to be replaced in the inspection socket is not the socket guide but the connector part. In order to replace such a connector, it is necessary to manually disassemble the bolts fastened in plural positions, There is a problem in that it takes much time to replace the connector.

이와 같이 교체에 소요되는 시간이 길어길수록 검사를 위한 전체적인 시간 손실이 증가하고 이는 전체적인 제조원가를 높이게 되는 주요원인이 되는 단점이 있다. The longer the time required for replacement, the greater the overall time loss for the test, which is a major cause of the overall manufacturing cost increase.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 상승과 하강에 의하여 쉽게 분리 및 결합이 가능하고 분리수단에 의하여 분리가 용이하게 함으로서 전체적인 교체시간을 줄일 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a socket for inspection which can be easily separated by lifting and lowering and is easily separated by a separating means, .

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 커넥터는, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a testing socket for electrically connecting a terminal of a device to be inspected and a pad of the testing device to each other,

검사장치에 고정되어 설치될 수 있으며, 중앙에 수용공간을 마련하고 있는 소켓 가이드;A socket guide which can be fixedly installed on the inspection apparatus and has a housing space at the center thereof;

상기 소켓 가이드의 수용공간 내에 분리가능하게 안착되며 상기 피검사 디바이스와 상기 검사장치의 패드를 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 접속수단이 결합될 수 있는 소켓 블럭을 포함하되,And a socket block detachably mounted in the accommodating space of the socket guide and capable of being connected to inspection connecting means for electrically connecting the device under test and the pads of the inspecting device,

상기 소켓 블럭은 상기 수용공간을 향해 하강시키는 것에 의하여 상기 소켓 가이드에 결합되고 상기 소켓 블럭을 들어올리는 것에 의하여 상기 소켓 가이드로부터 분리되도록 구성되고,The socket block being configured to be detached from the socket guide by being coupled to the socket guide by lowering it toward the receiving space and lifting the socket block,

상기 소켓 블럭에는 상기 소켓 블럭을 상기 소켓 가이드로부터 들어올려 분리가능하게 하는 분리수단이 구비되어 있다.The socket block is provided with separating means for separating the socket block from the socket guide so as to be removable.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 분리수단은, 상기 소켓 블럭과 평행한 제1위치와, 상기 소켓 블럭으로부터 세워지는 제2위치 사이를 회전이동하며 상기 소켓 블럭에 대하여 힌지연결되어 있는 핸들일 수 있다.The separating means may be a handle rotatably moved between a first position parallel to the socket block and a second position erected from the socket block and hinged to the socket block.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 핸들은 양단이 상기 소켓 블럭에 각각 힌지식으로 회전가능하게 연결되며 전체적으로 "ㄷ" 자 형상을 가질 수 있다.The handle may be rotatably connected at both ends to the socket block by hinging, and may have a generally "C" shape.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 소켓 블럭은,The socket block includes:

전후 측벽과 좌우 측벽을 구비하는 사각 프레임 형상을 가지는 블럭 본체를 포함할 수 있다.And a block body having a rectangular frame shape having front and rear side walls and right and left side walls.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 블럭 본체의 전후 측벽의 내면에는 상기 제1위치와 제2위치 사이를 이동하는 핸들에 걸림으로서 상기 핸들이 제1위치를 임시적으로 유지되도록 하는 걸림부재가 마련될 수 있다.And an engaging member may be provided on an inner surface of the front and rear side walls of the block body so as to temporarily hold the handle at a first position by engaging with a handle that moves between the first position and the second position.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 걸림부재는 상기 핸들의 이동경로상에 배치되며 상기 전후 측벽의 내면으로부터 돌출되어 상기 핸들에 걸릴 수 있는 돌기일 수 있다.The latching member may be a protrusion disposed on the movement path of the handle and protruding from the inner surface of the front and rear side walls to be caught by the handle.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 돌기는 핸들에 소정이상의 힘을 가하는 것에 의하여 상기 돌기를 넘어 지날 수 있는 높이를 가질 수 있다.The protrusion may have a height that can overturn the protrusion by applying a predetermined force to the handle.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 검사용 접속수단은, 상기 블럭 본체의 하면측에 접촉하여 결합될 수 있다.The inspection connecting means can be brought into contact with the lower surface side of the block main body.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 검사용 접속수단은, 두께방향으로 도전성을 나타내는 이방 도전성 시트로서, Wherein the inspecting connection means is an anisotropically conductive sheet exhibiting conductivity in the thickness direction,

상기 이방 도전성 시트는, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 배치되는 복수의 도전부와, 상기 각 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하고,Wherein the anisotropic conductive sheet includes a plurality of conductive portions arranged at positions corresponding to terminals of the device to be inspected and an insulating portion for supporting and insulating the conductive portions,

각각의 도전부는 탄성절연물질 내에 도전성 입자가 두께방향으로 배열될 수 있다.Each of the conductive parts may be arranged in the thickness direction of the conductive particles in the elastic insulating material.

상기 검사용 커넥터에는,In the inspection connector,

상기 블럭 본체에는 하면으로부터 돌출되어 있는 복수의 위치결정용 돌기가 마련되며,The block body is provided with a plurality of positioning protrusions projecting from a lower surface thereof,

상기 검사용 접속수단에서는,In the inspection connecting means,

상기 위치결정용 돌기와 대응되는 위치마다 상기 위치결정용 돌기가 삽입될 수 있는 위치결정구멍이 마련될 수 있다.And a positioning hole into which the positioning protrusion can be inserted may be provided for each position corresponding to the positioning protrusion.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은,According to an aspect of the present invention,

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,A test socket for electrically connecting terminals of a device to be inspected and pads of an inspection apparatus with each other,

검사장치에 고정설치되며, 검사장치의 패드를 외부로 노출시키기 위한 제1구멍이 마련되는 소켓 가이드;A socket guide fixed to the inspection apparatus and provided with a first hole for exposing the pad of the inspection apparatus to the outside;

상기 소켓 가이드에 분리가능하게 장착되며 상기 제1구멍과 대응되는 위치에 제2구멍이 마련되어 상기 제2구멍을 통하여 하측에 결합되는 검사용 접속수단이 피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있도록 하는 소켓 블럭을 포함하되,A socket for detachably mounting on the socket guide and provided with a second hole at a position corresponding to the first hole and connected to the lower side through the second hole, Block,

상기 소켓 블럭에는 상기 소켓 블럭을 상기 소켓 가이드로부터 분리시킬 수 있도록 하는 분리수단이 구비된다.The socket block is provided with separating means for separating the socket block from the socket guide.

상기 검사용 커넥터에서,In the inspection connector,

상기 분리수단은, 상기 소켓 블럭에 수납되어 안착되는 제1위치와, 상기 소켓 블럭을 들어올릴 수 있는 제2위치 사이를 이동하도록 상기 소켓 블럭에 결합될 수 있다.The separating means may be coupled to the socket block to move between a first position for receiving and seating in the socket block and a second position for lifting the socket block.

본 발명에 따른 검사용 소켓은 분리수단에 의하여 소켓 블럭으로부터 소켓 가이드를 쉽게 분리하거나 결합할 수 있어 전체적인 교체시간을 줄일 수 있는 장점이 있다.The inspection socket according to the present invention can easily separate or connect the socket guide from the socket block by the separating means, thereby reducing the overall replacement time.

도 1은 종래기술의 검사용 소켓의 사시도
도 2는 도 1의 배면사시도
도 3은 도 1의 분리사시도.
도 4는 도 1의 단면도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓의 분리사시도.
도 6은 도 5의 일부 결합사시도.
도 7은 도 5의 결합사시도.
도 8 내지 도 10은 도 5의 검사용 소켓의 작동도.
도 11은 도 7의 ⅩⅠ- ⅩⅠ 단면도.1 is a perspective view of a conventional inspection socket;
Fig. 2 is a rear perspective view of Fig.
Figure 3 is an exploded perspective view of Figure 1;
Fig. 4 is a sectional view of Fig. 1; Fig.
5 is an exploded perspective view of a test socket according to an embodiment of the present invention;
Figure 6 is a partially assembled perspective view of Figure 5;
FIG. 7 is an assembled perspective view of FIG. 5; FIG.
Figs. 8 to 10 are operation views of the inspection socket of Fig. 5; Fig.
11 is a sectional view taken along the line XI-XI in Fig.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 첨부된 도면을 살펴보면서 상세하게 설명한다.Hereinafter, a test socket according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 검사용 소켓(100)은 전기적 검사가 요구되는 피검사 디바이스와, 상기 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하는 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 상호 전기적으로 접속시키는데 필요한 구성이다.The inspection socket 100 according to the present invention is disposed between a device to be inspected requiring an electrical inspection and an inspection device for performing an electrical inspection for the device to be inspected so that a terminal of the device to be inspected and a pad Which are necessary for mutual electrical connection.

이러한 검사용 소켓(100)은, 소켓 가이드(110), 소켓 블럭(120), 분리수단(130) 및 검사용 접속수단(140)을 포함한다.The inspection socket 100 includes a socket guide 110, a socket block 120, a separating means 130 and an inspection connecting means 140.

상기 소켓 가이드(110)는, 검사장치에 고정되어 설치될 수 있으며 중앙에 수용공간(111)을 마련하고 있는 것이다. 구체적으로 상기 소켓 가이드(110)는 전체적으로 직사각형 형태를 가지며 그 중앙에 직사각형 형태의 제1구멍(112)을 형성하고 있다. 상기 제1구멍(112)의 양측에는 피검사 디바이스를 운반하는 인서트(미도시)의 돌기를 수용할 수 있는 원기둥 형태의 지지체(114)를 사이에 두고 지지체 양측에 볼트 체결공(113)이 형성되어 있다. The socket guide 110 can be fixed to the inspection apparatus and has a receiving space 111 at the center thereof. Specifically, the socket guide 110 has a rectangular shape as a whole, and a rectangular first hole 112 is formed at the center thereof. On both sides of the first hole 112, bolt fastening holes 113 are formed on both sides of the support body with a cylindrical support member 114 capable of receiving projections of an insert (not shown) .

이러한 소켓 가이드(110)의 하측에는 검사장치가 마련되어 있으며 상기 검사장치에 볼트 체결공(113)을 통하여 고정되어 있게 되며, 검사장치의 패드는 제1구멍(112)을 통하여 외부로 노출됨으로서 제1구멍(112)을 통하여 검사용 접속수단(140)이 전기적으로 검사장치에 연결될 수 있게 된다.An inspection device is provided on the lower side of the socket guide 110 and is fixed to the inspection device through a bolt fastening hole 113. The pad of the inspection device is exposed to the outside through the first hole 112, So that the inspection connecting means 140 can be electrically connected to the inspection apparatus through the hole 112.

상기 소켓 블럭(120)은, 상기 소켓 가이드(110)의 수용공간(111) 내에 분리가능하게 안착되며 상기 피검사 디바이스와 상기 검사장치의 패드를 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 접속수단(140)이 결합될 수 있는 것이다. 소켓 블럭(120)은 상기 수용공간(111)을 향해 하강시키는 것에 의하여 상기 소켓 가이드(110)에 결합되고 상기 소켓 블럭(120)을 들어올리는 것에 의하여 상기 소켓 가이드(110)로부터 분리되도록 구성되어 있다.The socket block 120 is detachably seated in the receiving space 111 of the socket guide 110 and has inspection connecting means 140 for electrically connecting the device under test and the pads of the inspecting device Can be combined. The socket block 120 is configured to be separated from the socket guide 110 by being coupled to the socket guide 110 by lifting the socket block 110 toward the accommodation space 111 and lifting the socket block 120 .

이러한 소켓 블럭(120)은 상기 수용공간(111)과 대응되는 형상을 가지는 직사각형의 프레임 형상을 가지고 있다. 상기 소켓 블럭(120)에는 상기 제1구멍(112)과 대응하는 위치에 제2구멍(124)이 마련되어 있어서 상기 제2구멍(124)을 통하여 하측에 결합되는 검사용 접속수단(140)이 피검사 디바이스의 단자와 접촉가능하게 한다. The socket block 120 has a rectangular frame shape having a shape corresponding to the accommodation space 111. The socket block 120 is provided with a second hole 124 at a position corresponding to the first hole 112 so that the inspection connecting means 140 coupled to the lower side through the second hole 124 is connected to the socket 120. [ To be in contact with the terminals of the inspection device.

상기 직사각형 프레임 형상을 가지는 소켓 블럭(120)은 전후 측벽(122)과 좌우 측벽(123)을 각각 구비하고 있는 블럭 본체(121)를 구비한다. 전후 측벽(122)의 길이가 길고 좌우 측벽(123)의 길이가 짧게 형성되어 있는데, 좌우 측벽(123)의 양 측벽에는 외벽으로부터 돌출되는 돌출바(1231)가 마련되어 있게 된다. 상기 돌출부는 소켓 가이드(110)에 걸침으로서 소켓 블럭(120)이 소켓 가이드(110)에 안착되었을 때 전후방향 이동을 억제하는 기능을 수행하게 된다.The socket block 120 having a rectangular frame shape includes a block body 121 having front and rear side walls 122 and right and left side walls 123, respectively. The length of the front and rear side walls 122 is long and the length of the left and right side walls 123 is short. On both side walls of the left and right side walls 123, a protruding bar 1231 protruding from the outer wall is provided. When the socket block 120 is seated on the socket guide 110, the protruding portion functions to suppress movement in the forward and backward directions.

상기 전후 측벽(122)의 중앙에는 후술하는 분리수단(130)이 힌지식으로 끼워걸릴 수 있도록 하는 힌지공(1221)이 마련되어 있으며 상기 힌지공(1221)으로부터 좌우 측벽(123) 중 좌측벽을 향하여 내측으로 패여져서 분리수단(130)이 안착되어 수용될 수 있도록 하는 안착공간(1222)이 마련되어 있게 된다. 또한 상기 힌지공(1221)의 우측에는 분리수단(130)이 세워졌을 때 우측으로 눕혀지지 않도록 상기 분리수단(130)을 지지하기 위한 단턱부(1223)가 마련되어 있게 된다.A hinge hole 1221 is formed at the center of the front and rear side walls 122 so that the separating means 130 to be described later can be hingedly engaged. The hinge hole 1221 is formed in the center of the left and right side walls 123 And a seating space 1222 which is pierced inward so that the separating means 130 can be seated and accommodated. A step portion 1223 for supporting the separating means 130 is provided on the right side of the hinge hole 1221 so as not to be laid on the right side when the separating means 130 is erected.

상기 힌지공(1221)의 좌측에는 힌지공(1221)에 끼워걸려진 분리수단(130)이 세워진 상태(도 5에서의 위치로서 "제2위치"라고 합니다.)를 유지하거나 눕혀진 상태(도 10에서의 위치로서 "제1위치"라고 합니다.)를 유지할 수 있게 하는 걸림부재(1224)가 마련되어 있게 된다. 이러한 걸림부재(1224)는 전후 측벽(122)의 내면으로부터 돌출되며, 상기 힌지공(1221)의 주변에 마련되어 있게 된다. 이러한 걸림부재(1224)는 돌기로서 상기 소정의 힘을 가하는 경우에는 상기 분리수단(130)이 힌지부재를 넘어서 제1위치와 제2위치 사이를 이동할 수 있는 높이를 가질 수 있다.The left side of the hinge hole 1221 is provided with a separating means 130 held in a hinge hole 1221 in a state in which it is held (referred to as a "second position" in FIG. 5) (Hereinafter referred to as "first position" as a position at 10). The latching member 1224 protrudes from the inner surface of the front and rear side walls 122 and is provided around the hinge hole 1221. The latching member 1224 may have a height at which the separating means 130 can move between the first position and the second position beyond the hinge member when the predetermined force is applied as a projection.

상기 블럭 본체(121)의 4부분의 모서리 하면에는 위치결정용 돌기(125)가 각각 형성되어 있어서 상기 위치결정용 돌기(125)에 검사용 접속수단(140)의 위치결정구멍(144)이 끼워지게 함으로서 검사과정에서 검사용 접촉수단이 위치이동하는 것을 방지할 수 있다.Positioning protrusions 125 are formed on the bottom faces of the four corners of the block body 121 so that the positioning holes 144 of the inspection connecting means 140 are inserted into the positioning protrusions 125 It is possible to prevent the position of the inspection contact means from moving during the inspection process.

상기 분리수단(130)은, 소켓 블럭(120)에 설치되어 상기 소켓 블럭(120)을 상기 소켓 가이드(110)로부터 들어올려 분리가능하게 하는 것이다. 구체적으로 분리수단(130)은 소켓 블럭(120)과 평행한 제1위치와, 상기 소켓 블럭(120)으로부터 세워지는 제2위치 사이를 회전하도록 상기 소켓 블럭(120)에 대하셔 힌지연결되어 있는 핸들이다.The separating means 130 is installed in the socket block 120 so that the socket block 120 can be lifted from the socket guide 110 to be detachable. Specifically, the separating means 130 is hingedly connected to the socket block 120 to rotate between a first position parallel to the socket block 120 and a second position erected from the socket block 120 It is a handle.

구체적으로 상기 분리수단(130)은 양단이 상기 소켓 블럭(120)에 각각 힌지식으로 회전가능하게 연결되어 전체적으로 "ㄷ"자 형상을 가지는 것으로서, 양단이 힌지공(1221)에 끼워져 결합된다.Specifically, both ends of the separating means 130 are rotatably connected to the socket block 120 in a hinged manner, and both ends of the separating means 130 are inserted into the hinge holes 1221 and are coupled to each other.

분리수단(130)이 세워진 제2위치에 놓였을 때 상기 소켓 가이드(110)에 안착된 소켓 블럭(120)을 들어올려 상기 소켓 블럭(120)으로부터 소켓 가이드(110)를 용이하게 분리시키고 이후 소켓 블럭(120)으로부터 검사용 접속수단(140)을 교체한 후에는 상기 검사용 접속수단(140)이 결합된 상태로 이동하며 상기 소켓 가이드(110)에 소켓 블럭(120)을 안착시키게 할 수 있다. 이후에 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사를 수행하기 위해서는 분리수단(130)이 피검사 디바이스의 진입을 방해하지 않도록 하기 위하여 상기 분리수단(130)을 힌지축을 중심으로 회전시켜 제1위치로 이동되도록 하게 된다.When the separating means 130 is placed in the raised second position, the socket block 110 mounted on the socket guide 110 is lifted to easily separate the socket guide 110 from the socket block 120, The inspecting connection means 140 is moved in a coupled state and the socket block 110 is seated on the socket guide 110 after the inspecting connection means 140 is replaced from the block 120 . Thereafter, in order to perform the electrical inspection on the device to be inspected, the separating means 130 is rotated about the hinge axis to move to the first position so that the separating means 130 does not interfere with the entry of the device under test do.

한편, 소켓 블럭(120)에는 걸림부재(1224)가 마련되어 있으므로 제2위치 또는 제1위치를 유지시키도록 한다. 구체적으로 걸림부재(1224)는 걸림부재(1224)가 제2위치에 놓인 상태에서는 걸림부재(1224)의 좌측에 배치되어 상기 걸림부재(1224)가 눕혀지는 것을 방지하고, 상기 걸림부재(1224)가 제1위치에 놓인 경우에는 상기 분리수단(130)의 상측에 접촉하여 배치되는 것에 의하여 상기 걸림부재(1224)가 제1위치를 유지하도록 하는 것이다.Meanwhile, since the socket block 120 is provided with the latching member 1224, the second position or the first position is maintained. The engaging member 1224 is disposed on the left side of the engaging member 1224 in a state where the engaging member 1224 is in the second position to prevent the engaging member 1224 from being laid down, The engaging member 1224 is held in the first position by being disposed in contact with the upper side of the separating means 130. [

상기 검사용 접속수단(140)은 두께방향으로 도전성을 나타내는 이방 도전성 시트(141)로서, 상기 이방 도전성 시트(141)는 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 배치되는 복수의 도전부(142)와, 상기 각 도전부(142)를 지지하면서 절연시키는 절연부(143)를 포함한다. 이때 각각의 도전부(142)는 탄성절연물질 내에 도전성 입자(142a)가 두께방향으로 배열되어 있게 된다.The anisotropic conductive sheet 141 has a plurality of conductive portions 142 arranged at positions corresponding to the terminals of the device to be inspected, And an insulating part 143 for supporting and insulating each of the conductive parts 142. At this time, each of the conductive parts 142 has the conductive particles 142a arranged in the thickness direction in the elastic insulating material.

구체적으로 이방 도전성 시트(141)의 도전부(142)는 탄성절연물질 내에 자성을 나타내는 도전성 입자(142a)가 조밀하게 배열되어 있으며 두께방향으로 신장되며 절연부(143)에 의하여 서로 절연된 상태로 배치되어 있게 된다.Specifically, the conductive part 142 of the anisotropic conductive sheet 141 is formed by densely arranging the conductive particles 142a having magnetism in the elastic insulating material and extending in the thickness direction and being insulated from each other by the insulating part 143 .

도전부(142)를 구성하는 탄성절연물질로서는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러 가지의 것을 이용할 수 있고, 그 구체예로서는,폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공역(共役) 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피크롤히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다.As the elastic insulating material constituting the conductive portion 142, a polymer material having a crosslinked structure is preferable. As the curable polymeric substance-forming material usable for obtaining such a polymer substance, various ones can be used. Specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile Butadiene copolymer rubbers, block copolymer rubbers such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber and styrene-isoprene block copolymer, and hydrogenated products thereof, chloroprene rubber , Urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber and the like.

이상에 있어서, 얻을 수 있는 이방 도전성 시트(141)에 내후성이 요구되는 경우에는, 공역 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.In the above, when weatherability is required for the obtainable anisotropically conductive sheet 141, it is preferable to use a material other than the conjugated diene rubber, and in particular, from the viewpoints of molding processability and electrical characteristics, it is preferable to use silicone rubber.

실리콘 고무로서는, 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합(縮合)한 것이 바람직하다. 액상 실리콘 고무는, 그 점도가 왜곡 속도 101 sec로 105 포아즈 이하의 것이 바람직하며, 축합형의 것, 부가형의 것, 비닐기나 히드록실기를 함유하는 것 등의 어떠한 것이라도 좋다. 구체적으로는, 디메틸실리콘 미가공 고무, 메틸비닐실리콘 미가공 고무, 메틸페닐비닐실리콘 미가공 고무 등을 들 수 있다.As the silicone rubber, it is preferable that the liquid silicone rubber is crosslinked or condensed. The liquid silicone rubber preferably has a viscosity of 10 5 poise or less at a strain rate of 10 1 sec, and any of condensation type, addition type, vinyl type, and hydroxyl type may be used. Specific examples thereof include dimethyl silicone raw rubber, methyl vinyl silicone raw rubber, methylphenyl vinyl silicone raw rubber and the like.

탄성절연물질 내에 함유되는 도전성 입자(142a)로서는, 도전부(142)가 가압되었을 때 입자 자체가 변형되지 않는 강성을 가지는 소재가 사용되는 것이 좋다. 또한 당해 입자를 쉽게 배향시킬 수 있으므로, 자성을 띠는 도전성 입자(142a)가 이용된다. 이러한 도전성 입자(142a)의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속의 입자 혹은 이들 합금의 입자 또는 이들의 금속을 함유하는 입자, 또는 이들의 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 한 것, 혹은 비자성 금속 입자 혹은 글래스 비드 등의 무기물질 입자 또는 폴리머 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 한 것 등을 들 수 있다.As the conductive particles 142a contained in the elastic insulating material, it is preferable that a material having rigidity such that the particles themselves are not deformed when the conductive portion 142 is pressed is used. In addition, since the particles can be oriented easily, the conductive particles 142a having magnetism are used. Specific examples of such conductive particles 142a include particles of metal having magnetic properties such as iron, cobalt, and nickel, particles of these alloys, or particles containing these metals, or particles thereof as core particles, The surface of which is coated with a metal having a good conductivity such as gold, silver, palladium or rhodium, or inorganic particles or polymer particles such as non-magnetic metal particles or glass beads as core particles, Nickel, cobalt and the like, and the like.

이들 중에서는 니켈 입자를 코어 입자로 하고, 그 표면에 도전성이 양호한 금의 도금을 한 것을 이용하는 것이 바람직하다.Of these, nickel particles are preferably used as the core particles, and the surface of the nickel particles is plated with gold having good conductivity.

코어 입자의 표면에 도전성 금속을 피복하는 수단으로서는, 특별히 한정되는 것이 아니지만, 예컨대 화학 도금 또는 전해 도금법, 스패터링법, 증착법 등이 이용되고 있다. 도전성 입자(142a)로서, 코어 입자의 표면에 도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 경우에는, 양호한 도전성을 얻을 수 있으므로, 입자 표면에서의 도전성 금속의 피복률(코어 입자의 표면적에 대한 도전성 금속의 피복면적의 비율)이 40% 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 45% 이상, 특히 바람직하게는 47 내지 95%이다.The means for covering the surface of the core particle with the conductive metal is not particularly limited, and for example, a chemical plating or electrolytic plating method, a sputtering method, a vapor deposition method, or the like is used. When the conductive particles coated with conductive metal on the surface of the core particles are used as the conductive particles 142a, good conductivity can be obtained. Therefore, the coating ratio of the conductive metal on the particle surface (the coating ratio of the conductive metal to the surface area of the core particles Area ratio) is preferably 40% or more, more preferably 45% or more, particularly preferably 47 to 95%.

또한, 도전성 금속의 피복량은 코어 입자의 0.5 내지 50 질량%인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2 내지 30 질량%, 더욱 바람직하게는 3 내지 25 질량%, 특히 바람직하게는 4 내지 20 질량%이다. 피복되는 도전성 금속이 금인 경우에는, 그 피복량은 코어 입자의 0.5 내지 30 질량%인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2 내지 20 질량%, 더욱 바람직하게는 3 내지 15 질량%이다.The coating amount of the conductive metal is preferably 0.5 to 50 mass%, more preferably 2 to 30 mass%, further preferably 3 to 25 mass%, and particularly preferably 4 to 20 mass% to be. When the conductive metal to be coated is gold, the covering amount is preferably 0.5 to 30 mass%, more preferably 2 to 20 mass%, and still more preferably 3 to 15 mass% of the core particles.

또, 도전성 입자(142a)의 입자 직경은 1 내지 100 ㎛인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 2 내지 50 ㎛, 더욱 바람직하게는 3 내지 30 ㎛, 특히 바람직하게는 4 내지 20 ㎛이다.The particle diameter of the conductive particles 142a is preferably 1 to 100 占 퐉, more preferably 2 to 50 占 퐉, still more preferably 3 to 30 占 퐉, and particularly preferably 4 to 20 占 퐉.

이러한 검사용 접속수단(140)은 블럭 본체(121)의 하면측에 접촉하여 결합되는 것으로서, 가장자리에는 위치결정용 돌기(125)와 대응되는 위치마다 위치결정구멍(144)이 마련되어 있게 된다. The inspection connecting means 140 is in contact with the lower surface of the block main body 121 and is provided with positioning holes 144 at positions corresponding to the positioning protrusions 125 at the edges.

이러한 검사용 소켓(100)의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.The operation and effect of the inspection socket 100 will be described below.

먼저, 검사장치에 검사용 소켓(100)이 탑재된 상태에서, 검사가 필요한 피검사 디바이스가 소켓 블럭(120)의 제2구멍(124)과 대응되는 상부에서 하강하여 상기 제2구멍(124) 내부로 삽입된다. 이후 피검사 디바이스의 단자가 검사용 접속수단(140)의 도전부(142)와 각각 접촉하게 되면, 검사장치로부터 소정의 검사용 신호가 인가된다. 이후 상기 신호가 검사용 소켓(100), 피검사 디바이스로 흐르면서 소정의 전기적 검사를 수행하게 한다.The inspecting device requiring inspection is lowered from the upper portion corresponding to the second hole 124 of the socket block 120 to be inserted into the second hole 124, . Thereafter, when the terminals of the device to be inspected come into contact with the conductive portions 142 of the inspection connecting means 140, a predetermined inspection signal is applied from the inspection apparatus. Thereafter, the signal is passed through the test socket 100 and the device under test to perform a predetermined electrical test.

한편, 검사용 접속수단(140)이 빈번한 접속으로 인하여 손상되는 경우 교체를 해야 하는데, 이때 제1위치에 놓여진 분리수단(130)을 소정이상의 힘을 가하는 것에 의하여 걸림부재(1224)를 통과시켜 제2위치로 이동하게 한다. 구체적으로 도 7에 나타난 상태가 되도록 분리수단(130)을 이동시킨다. 이후 도 6에 도시된 바와 같이 분리수단(130)을 들어올려 검사용 접속수단(140)이 결합된 소켓 블럭(120)을 소켓 가이드(110)로부터 분리시킨다. 한편, 소켓 가이드(110)는 검사장치에 고정되어 있으므로 분리수단(130)을 상측으로 들어올려도 소켓 가이드(110)는 남겨진 상태로 소켓 블럭(120)만이 상승하게 되는 것이다.On the other hand, when the inspection connecting means 140 is damaged due to frequent connection, it is necessary to replace the separating means 130 placed at the first position, 2 position. Specifically, the separating means 130 is moved to the state shown in FIG. 6, the separating means 130 is lifted to separate the socket block 120 to which the inspecting connecting means 140 is coupled from the socket guide 110. Since the socket guide 110 is fixed to the inspection apparatus, only the socket block 120 is raised while the socket guide 110 is left, even if the separating means 130 is lifted upward.

이 상태에서 도 5에 도시된 바와 같이 소켓 블럭(120)으로부터 검사용 접속수단(140)을 제거한 후 새로운 검사용 접속수단(140)을 소켓 블럭(120)에 결합시킨 후에 도 6 내지 도 10의 순서대로 교체작업을 완료하게 되는 것이다.5, after the inspection connecting means 140 is removed from the socket block 120 and the new inspection connecting means 140 is coupled to the socket block 120, The replacement operation is completed in order.

이러한 본 발명의 검사용 소켓은 별도의 볼트 결합등이 필요없이 분리수단을 회전시켜 소켓 블럭에 대해서 세우고 이후 소켓 블럭을 들어올린 후에 검사용 접속수단을 빼내는 작업만으로 간편하게 검사용 접속수단을 교체할 수 있기 때문에 교체가 간편하고 교체시간이 획기적으로 단축되는 장점이 있게 된다.The inspection socket of the present invention can easily replace the inspection connection means simply by rotating the separating means against the socket block without lifting the bolt connection or the like and lifting up the socket block and removing the inspection connection means. So that it is easy to replace and the replacement time is remarkably shortened.

이러한 본 발명의 검사용 소켓은 위의 실시예에 한정되는 것은 아니며 다음과 같이 변형되는 것이 가능하다.The test socket of the present invention is not limited to the above embodiment, but can be modified as follows.

먼저, 본 실시예에서는 분리수단으로 힌지회전하는 핸들을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 소켓 블럭을 용이하게 분리할 수 있는 수단이라면 어떤 것이나 가능함은 물론이다.In the present embodiment, the handle is hinged by the separating means. However, the present invention is not limited to this, and any means can be used as long as it can easily separate the socket block.

또한, 본 실시예에서는 걸림수단으로 전후 측벽에 각각 하나씩 배치된 돌기를 예시하였으나, 돌기의 개수 및 형상이 상세한 설명 및 도면에 한정된 것은 아니며 설계자의 필요에 따라서 그 수 및 위치를 결정할 수 있다. 즉, 0도와 90도 사이에서 정지하는 것뿐 아니라 필요한 각도별도 분리수단이 멈춰지도록 돌기의 수를 증가시키는 것도 가능하며, 필요에 따라서 돌기의 수를 감축하는 것도 가능함은 물론이다.In the present embodiment, protrusions arranged one by one on the front and rear side walls as the engaging means are exemplified. However, the number and shape of the protrusions are not limited to the detailed description and drawings, and the number and position thereof can be determined according to the needs of the designer. That is, it is also possible to increase the number of projections so as to stop not only between 0 and 90 degrees but also to separate the necessary angle separately, and it is of course possible to reduce the number of projections as necessary.

또한, 본 실시예에서는 검사용 접속수단으로서 이방 도전성 시트만을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 포고핀이 검사용 접속수단으로 사용되는 것도 가능함은 물론이다.In this embodiment, only the anisotropic conductive sheet is used as the connecting means for inspecting, but the present invention is not limited thereto. It goes without saying that the pogo pin may be used as the connecting means for inspecting.

100...검사용 소켓 110...소켓 가이드
111...수용공간 112...제1구멍
113...볼트 체결공 114...지지체
120...소켓 블럭 121...블럭본체
122...전후 측벽 1221...힌지공
1222...안착공간 1223...단턱부
1224...걸림부재 123...좌우측벽
1231...돌출바 124...제2구멍
125...위치결정용 돌기 130...분리수단
140...검사용 접속수단 141...이방 도전성 시트
142...도전부 143...절연부
144...위치결정구멍 100 ... Socket for inspection 110 ... Socket guide
111 ... accommodating space 112 ... first hole
113 ... bolt fastening hole 114 ... support
120 ... socket block 121 ... block body
122 ... front and rear side walls 1221 ... hinge ball
1222 ... seating space 1223 ... end jaw
1224 ... engaging member 123 ... left and right side walls
1231 ... protruding bar 124 ... second hole
125 ... positioning projection 130 ... separation means
140 ... inspection connecting means 141 ... anisotropically conductive sheet
142 ... conductive portion 143 ... insulating portion
144 ... positioning hole

Claims (12)

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
검사장치에 고정되어 설치될 수 있으며, 중앙에 수용공간을 마련하고 있는 소켓 가이드;
상기 소켓 가이드의 수용공간 내에 분리가능하게 안착되며 상기 피검사 디바이스와 상기 검사장치의 패드를 전기적으로 접속시키기 위한 검사용 접속수단이 결합될 수 있는 소켓 블럭을 포함하되,
상기 소켓 블럭은 상기 수용공간을 향해 하강시키는 것에 의하여 상기 소켓 가이드에 결합되고 상기 소켓 블럭을 들어올리는 것에 의하여 상기 소켓 가이드로부터 분리되도록 구성되고,
상기 소켓 블럭에는 상기 소켓 블럭을 상기 소켓 가이드로부터 들어올려 분리가능하게 하는 분리수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.A test socket for electrically connecting terminals of a device to be inspected and pads of an inspection apparatus with each other,
A socket guide which can be fixedly installed on the inspection apparatus and has a housing space at the center thereof;
And a socket block detachably mounted in the accommodating space of the socket guide and capable of being connected to inspection connecting means for electrically connecting the device under test and the pads of the inspecting device,
The socket block being configured to be detached from the socket guide by being coupled to the socket guide by lowering it toward the receiving space and lifting the socket block,
Wherein the socket block is provided with separating means for separating the socket block from the socket guide so as to be detachable. 제1항에 있어서,
상기 분리수단은, 상기 소켓 블럭과 평행한 제1위치와, 상기 소켓 블럭으로부터 세워지는 제2위치 사이를 회전이동하며 상기 소켓 블럭에 대하여 힌지연결되어 있는 핸들인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1,
Wherein the separating means is a handle rotatably moved between a first position parallel to the socket block and a second position erected from the socket block and hinged to the socket block. 제2항에 있어서,
상기 핸들은 양단이 상기 소켓 블럭에 각각 힌지식으로 회전가능하게 연결되며 전체적으로 "ㄷ" 자 형상을 가지는 것을 특징으로 검사용 소켓.3. The method of claim 2,
Wherein the handle is rotatably connected at its both ends to the socket block in a hinged manner and has a generally "C" shape. 제2항에 있어서,
상기 소켓 블럭은,
전후 측벽과 좌우 측벽을 구비하는 사각 프레임 형상을 가지는 블럭 본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.3. The method of claim 2,
The socket block includes:
And a block body having a square frame shape having front and rear side walls and right and left side walls. 제4항에 있어서,
상기 블럭 본체의 전후 측벽의 내면에는 상기 제1위치와 제2위치 사이를 이동하는 핸들에 걸림으로서 상기 핸들이 제1위치를 임시적으로 유지되도록 하는 걸림부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.5. The method of claim 4,
Wherein an engaging member is provided on an inner surface of the front and rear side walls of the block body so as to temporarily hold the handle at a first position by engaging with a handle that moves between the first position and the second position. 제5항에 있어서,
상기 걸림부재는 상기 핸들의 이동경로상에 배치되며 상기 전후 측벽의 내면으로부터 돌출되어 상기 핸들에 걸릴 수 있는 돌기인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.6. The method of claim 5,
Wherein the latching member is a protrusion disposed on a movement path of the handle and protruding from an inner surface of the front and rear side walls to be caught by the handle. 제6항에 있어서,
상기 돌기는 핸들에 소정이상의 힘을 가하는 것에 의하여 상기 돌기를 넘어 지날 수 있는 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 6,
Wherein the protrusion has a height capable of falling over the protrusion by applying a predetermined force to the handle. 제4항에 있어서,
상기 검사용 접속수단은, 상기 블럭 본체의 하면측에 접촉하여 결합되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.5. The method of claim 4,
Wherein the inspection connecting means is brought into contact with the lower surface side of the block main body. 제4항에 있어서,
상기 검사용 접속수단은, 두께방향으로 도전성을 나타내는 이방 도전성 시트로서,
상기 이방 도전성 시트는, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치마다 배치되는 복수의 도전부와, 상기 각 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하고,
각각의 도전부는 탄성절연물질 내에 도전성 입자가 두께방향으로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.5. The method of claim 4,
Wherein the inspecting connection means is an anisotropically conductive sheet exhibiting conductivity in the thickness direction,
Wherein the anisotropic conductive sheet includes a plurality of conductive portions arranged at positions corresponding to terminals of the device to be inspected and an insulating portion for supporting and insulating the conductive portions,
Wherein each of the conductive parts has the conductive particles arranged in the thickness direction in the elastic insulating material. 제4항에 있어서,
상기 블럭 본체에는 하면으로부터 돌출되어 있는 복수의 위치결정용 돌기가 마련되며,
상기 검사용 접속수단에서는,
상기 위치결정용 돌기와 대응되는 위치마다 상기 위치결정용 돌기가 삽입될 수 있는 위치결정구멍이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.5. The method of claim 4,
The block body is provided with a plurality of positioning protrusions projecting from a lower surface thereof,
In the inspection connecting means,
And a positioning hole in which the positioning protrusion can be inserted is provided for each position corresponding to the positioning protrusion. 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 소켓에 있어서,
검사장치에 고정설치되며, 검사장치의 패드를 외부로 노출시키기 위한 제1구멍이 마련되는 소켓 가이드;
상기 소켓 가이드에 분리가능하게 장착되며 상기 제1구멍과 대응되는 위치에 제2구멍이 마련되어 상기 제2구멍을 통하여 하측에 결합되는 검사용 접속수단이 피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있도록 하는 소켓 블럭을 포함하되,
상기 소켓 블럭에는 상기 소켓 블럭을 상기 소켓 가이드로부터 분리시킬 수 있도록 하는 분리수단이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.A test socket for electrically connecting terminals of a device to be inspected and pads of an inspection apparatus with each other,
A socket guide fixed to the inspection apparatus and provided with a first hole for exposing the pad of the inspection apparatus to the outside;
A socket for detachably mounting on the socket guide and provided with a second hole at a position corresponding to the first hole and connected to the lower side through the second hole, Block,
Wherein the socket block is provided with separating means for separating the socket block from the socket guide. 제11항에 있어서,
상기 분리수단은, 상기 소켓 블럭에 수납되어 안착되는 제1위치와, 상기 소켓 블럭을 들어올릴 수 있는 제2위치 사이를 이동하도록 상기 소켓 블럭에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓. 12. The method of claim 11,
Wherein the separating means is coupled to the socket block so as to move between a first position where the separating means is accommodated in the socket block and a second position where the socket block can be lifted.
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