KR20170132118A - Speed Buffer, In-Line Type Substrate Processing System and Controlling Method Therefor - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 제조 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 스피드 버퍼, 이를 포함하는 연속 기판 처리 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate manufacturing apparatus, and more particularly, to a speed buffer, a continuous substrate processing system including the same, and a control method thereof.
기판 처리 장치는 진공 상태의 챔버 내에서 대상 기판에 물리적/화학적 증착, 이온 주입, 코팅 등의 공정을 수행하는 장치이며, 클러스터 타입으로부터 인라인 타입으로 발전해 왔다.The substrate processing apparatus is a device for performing physical / chemical deposition, ion implantation, coating, and the like on a target substrate in a vacuum chamber, and has been developed from a cluster type to an inline type.
인라인 타입의 기판 처리 장치 즉, 연속 기판 처리 시스템은 증착원이 정지해 있는 상태에서, 피처리 기판이 일렬로 배열된 챔버를 순차적 및 연속적으로 통과하면서 공정이 진행되는 시스템으로, 생산성이 높아 대량 생산이 유리한 이점이 있다.The inline type substrate processing apparatus, that is, the continuous substrate processing system, is a system in which the process proceeds while sequentially and continuously passing the chambers in which the substrates to be processed are arranged in a state in which the evaporation sources are stationary. This has the advantage.
피처리 기판은 예를 들어 태양 전지, 액정 표시 소자, 터치 패널, 유기 전계 발광 소자, 플라즈마 디스플레이, 전계 방출 소자, 플랙서블 디스플레이 등의 투명 도전막 등이 될 수 있으며, 이러한 피처리 기판은 점차 대형화되고 있다.The substrate to be processed may be, for example, a solar cell, a liquid crystal display device, a touch panel, an organic electroluminescent device, a plasma display, a field emission device, a transparent conductive film such as a flexible display, .
피처리 기판이 대형화됨에 따라, 생산 설비 또한 대형화될 수 밖에 없으며, 이는 전체적인 설비 면적을 증가시켜 생산비를 증가시키는 요인이 된다. 또한, 새로운 처리 공정의 개발 등도 생산비를 증가시키는 원인으로 작용한다.As the substrates to be processed become larger, the production equipment also becomes larger, which increases the overall equipment area and increases the production cost. In addition, the development of new processing processes and the like also contribute to increase the production cost.
최종 생산된 제품의 단가는 단위 면적당 생산성에 의존하며, 따라서 연속 기판 처리 시스템에서는 복수의 공정 챔버를 효율적으로 구성하여 설비비를 감축시키는 것이 중요하다.The unit price of the final product depends on the productivity per unit area. Therefore, in a continuous substrate processing system, it is important to efficiently construct a plurality of process chambers to reduce the equipment cost.
연속 기판 처리 시스템에서, 기판에 물질을 증착하는 동안에는 충분하고 균일한 증착을 위해 기판이 일정 속도로 이동한다. 그리고, 증착이 완료된 후에는 마스크 교체, 봉지 공정, 모듈화 공정, 시스템 공정 등이 수행된다. 이러한 일련의 공정을 수행함에 있어서, 증착 챔버 내를 이동하는 기판 간의 간격이 넓을 경우 증착원이 낭비된다.In a continuous substrate processing system, the substrate moves at a constant rate for sufficient and uniform deposition during material deposition on the substrate. After the deposition is completed, the mask replacement, the sealing process, the modularization process, the system process, and the like are performed. In performing such a series of processes, when the interval between the substrates moving in the deposition chamber is wide, the evaporation source is wasted.
따라서, 제품 단가를 보다 낮추기 위해서는 증착원의 효율적인 이용이 요구되며, 이를 위해 챔버 내에서 기판 간격을 최소화할 수 있는 방안이 요구되는 실정이다.Therefore, in order to lower the product cost, efficient use of the evaporation source is required, and in order to do this, a method of minimizing the substrate spacing in the chamber is required.
본 발명의 실시예는 기판 간의 간격을 최소화할 수 있는 스피드 버퍼, 이를 포함하는 연속 기판 처리 시스템 및 그 제어 방법을 제공한다.Embodiments of the present invention provide a speed buffer capable of minimizing a gap between substrates, a continuous substrate processing system including the same, and a control method thereof.
본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼는 반입되는 기판을 제 1 방향으로 이송하여 반출하는 스피드 버퍼로서, 상기 기판의 반입 여부를 검출하는 제 1 센서; 상기 스피드 버퍼 내에서 이송 중인 기판의 위치를 검출하는 제 2 센서; 및 선발 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 완전히 반출되기 전 후발 기판과 상기 선발 기판이 목표 간격을 갖도록 결정되는 후발 기판의 이송 속도에 응답하여, 상기 후발 기판을 이송하는 롤러의 회전 속도를 제어하는 드라이버;를 포함할 수 있다.A speed buffer according to an embodiment of the present invention is a speed buffer for transferring a substrate to be transferred in a first direction and carrying it out, comprising: a first sensor for detecting whether or not the substrate is carried; A second sensor for detecting the position of the substrate being transported in the speed buffer; And a driver for controlling a rotational speed of a roller for transferring the rear substrate in response to a feed rate of the rear substrate before the selection substrate is completely taken out of the speed buffer and a feed rate of the rear substrate determined so that the selection substrate has a target gap therebetween .
한편, 본 발명의 일 실시예에 의한 연속 기판 처리 시스템은 기판과 마스크를 정렬하는 얼라인 챔버; 지정된 위치에 설치되는 복수의 센서를 포함하며, 상기 얼라인 챔버로부터 기판을 제공받아 기 설정된 속도로 이송하여 반출하는 스피드 버퍼; 상기 스피드 버퍼로부터 제공된 기판을 기 설정된 공정 조건으로 처리하는 공정 챔버; 및 상기 스피드 버퍼로 제공된 선발 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 완전히 반출되기 전, 상기 스피드 버퍼로 반입된 후발 기판과 상기 선발 기판이 목표 간격을 갖도록 제어하는 속도 제어부;를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a continuous substrate processing system comprising: an alignment chamber for aligning a substrate and a mask; A speed buffer including a plurality of sensors installed at a designated position, the speed buffer being provided with a substrate from the aligning chamber and transferring the substrate at a predetermined speed and carrying it out; A processing chamber for processing the substrate provided from the speed buffer with predetermined processing conditions; And a speed controller for controlling the posterior substrate transferred to the speed buffer and the selection substrate to have a target distance before the selection substrate provided in the speed buffer is completely taken out of the speed buffer.
다른 한편, 본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법은 지정된 위치에 설치되는 복수의 센서를 포함하고 반입되는 기판을 기 설정된 속도로 이송하여 반출하는 스피드 버퍼를 제어하기 위한 속도 제어부에서의 제어 방법으로서, 상기 복수의 센서 중 어느 하나에 의해 상기 스피드 버퍼로의 기판 반입이 감지됨에 따라, 상기 제어부가 반입이 감지된 후발 기판보다 선행하여 이송 중인 선발 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 완전히 반출될 때까지의 잔여 시간을 예측하는 단계; 상기 속도 제어부가 상기 잔여 시간 내에 상기 후발 기판이 상기 선발 기판과 목표 간격을 갖도록 상기 후발 기판의 이송 속도를 결정하는 단계; 및 상기 결정된 이송 속도에 따라 상기 후발 기판을 이송하는 단계;를 포함할 수 있다.According to another aspect of the present invention, there is provided a speed buffer control method including a plurality of sensors installed at designated positions and controlling a speed buffer for controlling a speed buffer for transferring a substrate to be loaded at a predetermined speed to carry the substrate As a method, when the substrate is detected to be carried into the speed buffer by any one of the plurality of sensors, until the control board is completely taken out of the speed buffer, Predicting a remaining time of the first time; Determining a feed rate of the rear substrate so that the speed control unit has a target distance from the selection substrate within the remaining time; And transferring the rear substrate according to the determined transfer speed.
본 기술에 의하면, 공정 챔버로 제공되는 기판 간의 간격을 최적화할 수 있다. 따라서, 증착원의 효율적 이용이 가능하여 생산성을 향상시킬 수 있고, 최종 생산된 제품의 단가를 낮출 수 있다.According to the present technique, the spacing between substrates provided in a process chamber can be optimized. Therefore, the evaporation source can be used efficiently, and the productivity can be improved, and the unit cost of the final product can be lowered.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 연속 기판 처리 시스템의 구성도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼의 개략적인 평면도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 제어 시스템의 구성도,
도 4는 도 3에 도시한 속도 제어부의 일 예시도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법을 설명하기 위한 상세 흐름도,
도 7은 도 6에 도시한 시간 예측 과정의 일 예를 설명하기 위한 흐름도,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도,
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도,
도 10 및 도 11은 본 발명에 의한 스피드 버퍼 제어 개념을 설명하기 위한 도면이다.1 is a configuration diagram of a continuous substrate processing system according to an embodiment of the present invention;
2 is a schematic plan view of a speed buffer according to an embodiment of the present invention,
3 is a configuration diagram of a control system according to an embodiment of the present invention,
Fig. 4 is an example of the speed control unit shown in Fig. 3,
FIG. 5 is a flow chart for explaining a speed buffer control method according to an embodiment of the present invention; FIG.
6 is a detailed flowchart for explaining a speed buffer control method according to an embodiment of the present invention,
FIG. 7 is a flowchart for explaining an example of the time predicting process shown in FIG. 6;
FIG. 8 is a flowchart for explaining a speed buffer control method according to another embodiment of the present invention; FIG.
9 is a flowchart for explaining a speed buffer control method according to another embodiment of the present invention,
10 and 11 are views for explaining the concept of speed buffer control according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 구체적으로 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described more specifically with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 명세서에 첨부된 도면에서, 각 블록은 특정한 논리적 기능(들)을 실행하기 위한 하나 이상의 실행 가능한 명령어를 포함하는 모듈을 나타내거나, 세그먼트 또는 코드의 일부를 나타낼 수 있다. 아울러, 본 발명을 대체할 수 있는 실행 예들에서는 각 블록들에서 언급된 기능들이 다른 순서로 실행될 수도 있다. 예를 들어, 연속적으로 도시되어 있는 두 개의 블록들은 실질적으로 동시에 수행되는 것도 가능하고, 또는 대체 가능한 예에서 역순으로 수행되는 것도 가능함을 주목해야 한다.In the drawings attached to the specification of the present invention, each block represents a module comprising one or more executable instructions for executing a particular logical function (s), or may represent a segment or a portion of a code. In addition, in implementations that may replace the present invention, the functions mentioned in each block may be executed in a different order. For example, it should be noted that the two blocks shown in succession may be performed substantially concurrently, or alternatively, in the reverse order.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 연속 기판 처리 시스템의 구성도이다.1 is a configuration diagram of a continuous substrate processing system according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 연속 기판 처리 시스템(10)은 얼라인 챔버(101), 제 1 스피드 버퍼(103), 복수의 공정 챔버(105), 제 2 스피드 버퍼(107), 디태치 챔버(109)를 포함한다. 그리고, 각각의 챔버(101~109)는 제어 시스템(100)의 제어에 따라 기판을 이송시켜 목적하는 바에 따른 기판 처리를 수행한다.1, a continuous
각 챔버는 진공 상태로 제어되고 각 챔버 사이에는 게이트가 구비될 수 있다. 게이트는 오픈 상태를 유지하도록 제어될 수 있으나 이에 한정되지 않으며, 제어 시스템(100)의 제어에 따라 온/오프가 제어된다.Each chamber may be controlled in a vacuum state and a gate may be provided between the chambers. The gate may be controlled to remain open, but not limited thereto, and on / off is controlled under the control of the
얼라인 챔버(101)로부터 디태치 챔버(109)로 이동하는 기판은 각 챔버 내에 마련된 기판 이송부에 의해 지정된 방향으로 이송된다. 기판 이송부는 예를 들어 선형 레일, 이동식 컨베이어 벨트, 롤러 등으로 구성할 수 있으며, 기판은 지면에 대해 수평 또는 수직 상태로 설치될 수 있다.The substrate moving from the
도시하지 않았지만, 연속 기판 처리 시스템(10)은 기판 로딩 챔버, 기판 언로딩 챔버, 마스크 스톡 등을 더 포함될 수 있음은 물론이다.Although not shown, the continuous
기판 로딩 챔버로부터 얼라인 챔버(101)로 기판이 안내되면, 얼라인 챔버(101)는 기판과 마스크를 정렬한다.When the substrate is guided from the substrate loading chamber to the
제 1 스피드 버퍼(103)는 얼라인이 완료된 기판을 공정 챔버(105)로 안내한다. 특히, 본 발명에 의한 스피드 버퍼(103)는 선발 기판과 후발 기판간의 간격이 목적하는 간격을 갖도록 제어되는데, 이에 대한 구체적인 설명은 도 2를 참조하여 후술하기로 한다.The
공정 챔버(105)는 복수의 유닛(105-1~105-n)이 일렬로 배열되도록 구성된다. 각각의 공정 유닛(105-1~105-n)은 제어 시스템(100)의 제어에 따라 목적하는 바에 따른 종류 및 양의 소스가 배출되어 공정 챔버를 이동하는 기판에 목적하는 물질을 증착한다.The
제 2 스피드 버퍼(107)는 공정이 완료된 기판을 전달받아 디태치 챔버(109)로 제공하며, 디태치 챔버(109)는 공정이 완료된 기판과 마스크를 분리한다. 분리된 마스크는 반송 및 세정되어 재사용되며, 마스크가 분리된 기판은 다음 공정 모듈로 전달된다.The
제어 시스템(100)은 프로그램 가능한 마이크로 프로세서를 포함할 수 있다. 그리고, 메모리에 저장된 제어 소프트웨어를 실행하여 연속 기판 처리의 동작 전반에 관한 제어를 담당한다. 구체적으로는 전원 제어, 기판 이송 제어, 챔버 내 온도 제어, 증착 소스 제어 등을 수행하며, 운용자로부터의 명령을 제공받기 위한 입력 장치와 연속 기판 처리 시스템(10)의 상태를 모니터링할 수 있는 출력장치를 포함한다.The
또한, 제어 시스템(100)은 얼라인이 완료된 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)를 통해 공정 챔버(105)로 제공될 때, 기판 간의 간격이 목적하는 간격을 갖도록 제어한다.In addition, the
상술하였듯이 공정 챔버(105) 내에서는 기판에 균일하고 충분한 소스가 증착되도록 기판이 일정 속도로 이송하기 때문에, 기판 간의 간격은 스피드 버퍼(103)의 기판 이송 속도에 따라 결정되게 된다.As described above, since the substrate is transported at a constant speed so that a uniform and sufficient source is deposited on the substrate in the
따라서, 본 발명의 제어 시스템(100)은 제 1 스피드 버퍼(103)로 기판 반입이 감지되면 선발 기판이 공정 챔버로 완전히 진입하기 전에, 선발 기판과 후발 기판 간의 간격이 목표 간격을 갖도록 제 1 스피드 버퍼(103)의 기판 이송 속도를 제어한다.Thus, the
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼의 개략적인 평면도이다.2 is a schematic plan view of a speed buffer according to an embodiment of the present invention.
도 2에는 스피드 버퍼, 예를 들어 제 1 스피드 버퍼(103)의 개략적인 평면도를 나타내었으며, 기판(A)의 이송 방향을 중심으로 하여, 버퍼의 양 측벽에 복수의 롤러(1031)가 등간격으로 설치된 것을 알 수 있다.2 shows a schematic plan view of a speed buffer, for example, a
각각의 롤러(1031)에는 모터(M) 및 드라이버(D)가 전기적으로 연결된다. 드라이버(D)는 제어 시스템(100)의 제어에 따라 모터(M)를 구동하며, 모터(M)의 동력이 동력 전달축(1033)을 통해 롤러(1031)를 회전시켜 기판(A)이 공정 챔버(105) 측으로 진행하게 된다.The motor M and the driver D are electrically connected to each
한편, 제 1 스피드 버퍼(103)는 복수의 센서(S1: S11, S13)(S2: S21, S23) (S3: S31, S33)를 포함한다. 제 1 센서(S1)는 제 1 스피드 버퍼(103)의 입구에 설치되어 기판(A)의 반입을 감지한다. 제 2 센서(S2)는 기판(A)의 길이를 고려하여 지정된 위치에 설치되며, 예를 들어 기판(A)이 제 1 스피드 버퍼(103)로부터 반출을 개시하는 위치에 설치될 수 있다. 제 3 센서(S3)는 기판(A)이 제 1 스피드 버퍼(103)를 완전히 반출되었음을 감지하기 위한 것으로 생략하는 것도 가능하다. 이러한 의미에서, 제 1 센서(S1)는 반입 감지센서, 제 2 센서(S2)는 반출개시 감지센서, 제 3 센서(S3)는 반출완료 감지센서라 지칭할 수 있다. 아울러, 제 1 스피드 버퍼(103)는 상술한 제 1 내지 제 3 센서 외에 더욱 많은 개수의 센서들을 더 포함할 수 있으며, 이 경우 제 1 스피드 버퍼(103) 내를 이동하는 기판의 위치를 실시간으로 검출할 수 있다.On the other hand, the
한편, 도 2에는 개개의 롤러(1031)가 각각 모터(M) 및 드라이버(D)를 구비하는 것으로 도시하여, 각 롤러(1031)를 개별적으로 제어할 수 있음을 나타내었으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제 1 스피드 버퍼(103)는 제 2 센서(S2)를 기준으로 롤러(1031)를 구분하여, 제 1 기판 이송부(1035-1, 1035-2)에 의해 제 1 롤러군을 동시에 제어하거나, 제 2 기판 이송부(1037-1, 1037-2)에 의해 제 2 롤러군을 동시에 제어하는 것도 가능하다.2 shows that the
제 1 스피드 버퍼(103)로 기판이 반입되면 이는 제 1 센서(S1)에 의해 감지된다. 그러면, 제어 시스템(100)은 반입된 기판보다 선발하여 이동하는 기판이 존재하는지 확인하여, 두 기판 간의 간격을 목적하는 간격으로 제어한다. 이를 위해 제어 시스템(100)은 반입이 감지된 기판 즉, 후발 기판의 이송 속도를 가속시켜, 선발 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)를 완전히 벗어나기 전에, 두 기판 간의 간격을 목적하는 간격이 되도록 제어할 수 있다.When the substrate is loaded into the
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 제어 시스템의 구성도이다.3 is a configuration diagram of a control system according to an embodiment of the present invention.
도 3에 도시한 것과 같이, 제어 시스템(100)은 컨트롤러(110), 전원 제어부(120), 이송 제어부(130), 소스 제어부(140), 메모리(150), 사용자 인터페이스(UI, 160) 및 스피드 버퍼(103) 내에서의 기판 간격을 제어하기 위한 속도 제어부(170)를 포함한다.3, the
컨트롤러(110)는 마이크로 프로세서일 수 있으며, 이는 프로그램 가능하도록 설계될 수 있다.The
전원 제어부(120)는 연속 기판 처리 장치(10)의 전력을 제어하고, 이송 제어부(130)는 공정이 개시됨과 함께 얼라인 챔버(101)로부터 디태치 챔버(109)까지 기판이 이송되도록 롤러를 구동하기 위한 모터 및 드라이버를 제어한다.The
소스 제어부(140)는 공정 챔버(105) 내에서 분사되는 공정 소스의 종류, 양 등을 제어한다.The
메모리(150)는 제어 시스템(100)에 동작하는 데 필요한 각종 어플리케이션, 데이터 등이 저장되며, 기판 처리를 위해 필요한 제어 파라미터 등이 저장될 수 있다.The
사용자 인터페이스(160)는 운용자로부터 제어 명령, 데이터 등을 입력받기 위한 입력부(161) 및 연속 기판 처리 시스템(10)의 처리 상황, 진행 상황, 에러 여부 등을 운용자에게 제공하기 위한 출력부(163)를 포함한다.The
속도 제어부(170)는 제 1 센서(S1)로부터 제 1 스피드 버퍼(103)로의 기판 반입 사실이 감지됨에 따라, 반입된 기판보다 선발하여 이동하는 기판이 존재하는지 확인하여, 두 기판 간의 간격을 목적하는 간격으로 제어한다. 특히, 속도 제어부(170)는 반입이 감지된 기판 즉, 후발 기판의 이송 속도를 가속시켜, 선발 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)를 완전히 벗어나기 전에, 두 기판 간의 간격을 목적하는 간격이 되도록 제어할 수 있다.The
도 4는 도 3에 도시한 속도 제어부의 일 예시도이다.4 is a diagram illustrating an example of the speed control unit shown in FIG.
도 4를 참조하면, 속도 제어부(170)는 센서 관리부(171), 위치 검출부(173), 연산부(175), 속도 결정부(177) 및 제어신호 생성부(179)를 포함할 수 있다.4, the
센서 관리부(171)는 제 1 스피드 버퍼(103) 내에 설치된 복수의 센서 각각에 대한 위치 및 식별자를 관리하고, 각각의 센서로부터 전달되는 감지 신호를 수신한다.The
센서 관리부(171)에서 수신한 감지 신호에 기초하여 위치 검출부(173)는 제 1 스피드 버퍼(103) 내에 반입되어 있는 각 기판의 위치를 검출한다. 본 발명의 바람직한 실시예에서, 선발 기판의 위치는 상술한 제 2 센서(S2)에 의해 검출되고, 후발 기판의 위치는 제 1 센서(S1)에 의해 검출될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에서, 위치 검출부(173)는 제 1 스피드 버퍼(103)로 기판 반입이 검출되는 시점에, 선발 기판과 후발 기판 간의 간격을 검출하는 것도 가능하다. 선발 기판의 위치가 제 2 센서(S2)에 의해 검출되고, 후발 기판의 위치가 제 1 센서(S1)에 의해 검출되는 경우, 선발 기판의 이송 속도(V1), 제 1 및 제 2 센서(S1, S2)의 설치 위치에 기초하여 기판 간의 간격을 검출할 수 있다.Based on the detection signal received by the
연산부(175)는 선발 기판에 대한 위치를 예측한다. 보다 구체적으로, 연산부(175)는 센서 관리부(171)에 의해 후발 기판 감지신호가 제공되고, 위치 검출부(173)에서 선발 기판의 위치가 감지됨에 따라, 선발 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출될 때까지의 잔여 시간을 예측한다. 본 발명의 바람직한 실시예에서, 선발 기판의 위치가 제 2 센서(S2)에 의해 검출되는 경우, 제 2 센서(S2)의 설치 위치 및 선발 기판의 이송 속도에 기초하여 선발 기판이 완전히 반출되기 까지의 잔여 시간을 예측할 수 있다.The
속도 결정부(177)는 연산부(175)에서 선발 기판에 대한 잔여 시간이 예측됨에 따라, 예측된 잔여 시간 내에 후발 기판이 목적하는 위치로 이동할 수 있도록 후발 기판의 이송 속도를 결정한다.The
예를 들어, 선발 기판이 V1의 속도로 이송 중에 있고, 잔여 시간이 TR이라 가정한다. 후발 기판은 잔여시간(TR) 바람직하게는 TR-α의 시간 내에 선발 기판과 목표 간격(DT)를 갖도록 이송되어야 한다. 여기에서, α는 선발 기판과 후발 기판 간의 간격을 목표 간격으로 배치 완료하는 데 필요한 오프셋이 될 수 있다. 후발 기판은 시간 TR-α, 바람직하게는 TR-β(β<α)의 시간에 선발 기판과 목표 간격(DT)을 갖는 위치로 이송되어야 한다. TR-β 시간 후 선발 기판의 위치를 좌표 (X1, 0)으로 나타낼 수 있다면, 속도 결정부(177)는 TR-β 시간 후 후발 기판의 X축 위치가 (X1-DT)가 되도록 가속 이동 속도(V2)를 결정할 수 있다.For example, assume that the selected substrate is being transported at the speed of V1 and the remaining time is T R. The late substrate should be transported with the target substrate (D T ) within the remaining time (T R ), preferably within the time of T R -a. Here, alpha may be an offset necessary to complete the arrangement of the spacing between the starting substrate and the rear substrate to the target spacing. The late substrate should be transported to a position having a target spacing (D T ) with the starting substrate at the time T R -α, preferably T R -β (β <α). If T R -β be expressed by time coordinates (X1, 0), the position of the starting substrate and then, the
아울러, 속도 결정부(177)는 후발 기판과 선발 기판의 간격이 목표 간격(DT)에 도달하면, 후발 기판의 속도를 선발 기판의 속도(V1) 즉, 등간격 유지 속도로 변경한다.Further, the
제어신호 생성부(179)는 속도 결정부(177)에서 후발 기판의 이송 속도가 결정됨에 따라 제 1 스피드 버퍼(103) 내의 후발 기판을 이송하는 롤러의 드라이버로 속도 제어신호를 전송한다.The
이에 따라, 제 1 스피드 버퍼(103)로 기판 반입이 감지될 때 선발 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출되기 전, 선발 기판과 후발 기판의 간격이 목표 간격(DT)을 갖도록 후발 기판의 속도를 결정하여 이송시킬 수 있다.Thus, before the selection board is completely taken out of the
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.5 is a flowchart illustrating a method of controlling a speed buffer according to an embodiment of the present invention.
속도 제어부(170)의 센서 관리부(171)에 의해 제 1 스피드 버퍼(103)로 기판 반입이 감지됨에 따라(S100), 연산부(175)는 반입이 감지된 기판보다 선행하여 이송 중인 선발 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출될 때까지의 잔여 시간을 예측한다(S200).The
그리고, 속도 결정부(177)는 예측된 잔여 시간 내에 후발 기판이 선발 기판과 목표 간격(DT)을 가질 수 있도록 후발 기판의 속도를 결정하고, 이에 따라 생성된 제어신호를 후발 기판을 이송 중인 드라이버로 전송하여 후발 기판을 이송시킨다(S300).Then, the
각각의 단계에 대해 도 6을 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Each step will be described in more detail with reference to FIG.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법을 설명하기 위한 상세 흐름도이다.6 is a detailed flowchart for explaining a speed buffer control method according to an embodiment of the present invention.
연속 기판 처리 시스템(10)이 동작을 개시함에 따라, 속도 제어부(170)는 대기 상태에 있다(S101). 대기 상태 중에 센서 관리부(171)에 의해 제 1 스피드 버퍼(103)로부의 기판 반입이 감지되면(S103), 위치 검출부(173)는 센서 관리부(171)에서 감지되는 신호에 따라 선발 기판이 존재하는지 확인한다(S105).As the continuous
이 때, 선발 기판이 감지되지 않는 경우 즉, 반입이 감지된 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)에 최초로 반입된 기판이거나, 선발 기판이 이미 공정 챔버(105)로 반출되어 있는 상태에는 반입이 감지된 기판을 지정된 속도로 이송시킨다(S107).At this time, when the selection substrate is not detected, that is, the substrate on which the carry-in is detected is the first substrate loaded into the
한편, 선발 기판이 감지되는 경우 연산부(175)는 선발 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출될 때까지의 잔여 시간을 예측한다(S200). 본 발명의 바람직한 실시예에서, 선발 기판의 위치가 제 2 센서(S2)에 의해 검출되는 경우, 제 2 센서(S2)의 설치 위치 및 선발 기판의 이송 속도(V1)에 기초하여 선발 기판이 완전히 반출되기 까지의 잔여 시간(TR)을 예측할 수 있다.On the other hand, when the selection board is detected, the
선발 기판에 대한 잔여 시간(TR)이 예측된 후에는, 예측된 잔여 시간(TR) 내에 후발 기판을 목표 위치로 이송시키기 위해, 속도 결정부(177)가 후발 기판의 가속 이송 속도(V2)를 결정한다(S301).Remaining time (T R) after the prediction for the selected substrate, in order to transport to the target position the second-tier substrate within the predicted remaining time (T R), the
제어신호 생성부(179)는 단계 S301에서 결정된 후발 기판의 가속 이송 속도(V2)에 따른 제어명령을 해당 드라이버로 전달하고, 이에 따라 롤러가 구동되어 단계 S301에서 결정된 가속 이송 속도(V2)로 후발 기판이 이송된다(S303).The control
그 결과로 후발 기판과 선발 기판이 목표 간격을 갖게 되면, 속도 결정부(177)는 후발 기판의 속도를 선발 기판과 동일한 속도(V1)로 변경한다(S305).As a result, when the rear substrate and the selection substrate have a target distance, the
한편, 선발 기판에 대한 잔여 시간(TR)을 예측하는 단계(S200)는 예를 들어 도 7과 같이 구체화될 수 있다.Meanwhile, step S200 of predicting the remaining time T R for the selection substrate may be embodied as shown in FIG. 7, for example.
도 7은 도 6에 도시한 시간 예측 과정의 일 예를 설명하기 위한 흐름도이다.FIG. 7 is a flowchart for explaining an example of the time predicting process shown in FIG.
제 1 스피드 버퍼(103)로 반입 기판이 감지되고, 선발 기판이 존재하는 경우, 연산부(175)는 선발 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출되기 까지의 잔여 시간(TR)을 계산한다(S201).When the carry-in substrate is sensed by the
그리고, 연산부(175)는 롤러의 최대 이송 속도를 고려하여, 계산된 잔여 시간(TR) 내에 후발 기판을 목표 위치 즉, 선발 기판과 목표 간격(DT)을 갖는 위치로 이송시킬 수 있는지 확인한다(S203).Then, in consideration of the maximum conveying speed of the roller, the calculating
만약, 잔여 시간 내에 후발 기판의 이송이 불가능한 경우, 속도 결정부(177)는 후발 기판의 이송 속도를 기 설정된 속도(V3)로 결정하며, 이동 가능한 경우에는 단계 S300으로 진행한다. 본 발명의 일 실시예에서, 잔여 시간 내 후발 기판의 이송이 불가능한 경우의 후발 기판의 이송 속도는 기준 속도(Vref) 또는 롤러의 최고 이송 속도(Vmax)가 될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 여기에서, 기준 속도(Vref)는 공정 챔버 내의 기판 이송 속도이다.If it is impossible to feed the later substrate within the remaining time, the
한편, 도 6에 도시한 흐름도에서, 후발 기판을 가속 이송 속도(V2)로 이송하는 중에 또 다른 후발 기판(이하에서는 제 2 후발 기판이라 칭함)이 제 1 스피드 버퍼(103) 내로 유입될 수 있다. 후발 기판이 기 결정된 가속 이송 속도(V2)로 이송 중에 있으며, 제 2 후발 기판 측면에서는 V2로 이송 중인 후발 기판이 선발 기판이 될 것이므로, 이들 간의 간격을 목표 간격(DT)이 되도록 제어할 필요가 있다. 이에 대해 도 8을 참조하여 설명하면 다음과 같다.On the other hand, in the flowchart shown in Fig. 6, another later substrate (hereinafter referred to as a second substrate) may be introduced into the
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.8 is a flowchart illustrating a method of controlling a speed buffer according to another embodiment of the present invention.
가속 이송 속도(V2)의 속도로 후발 기판이 이송 중에 있는 상태에서 등간격 유지 속도(V1)로 후발 기판의 속도가 변경되기 전 즉, 도 6의 단계 S303과 단계 S305 사이에 제 2 후발 기판이 감지된 경우(S401)에는 속도 결정부(177)에서 다음의 세 가지 경우로 나누어 제 2 후발 기판을 제어할 수 있다.The second backing substrate is moved between the steps S303 and S305 of FIG. 6 before the speed of the backing substrate is changed to the equally spaced holding speed V1 in the state where the backing substrate is being conveyed at the speed of the accelerating transfer speed V2 If it is detected (S401), the
제 1 실시예로서, 제 2 후발 기판이 후발 기판의 속도를 모사하도록 제어하는 경우를 들 수 있다(S411).As a first embodiment, there is a case where the second late substrate controls to simulate the speed of the late substrate (S411).
후발 기판은 선발 기판과 목표 간격(DT)을 갖기 전까지는 V2의 속도로 이송하고, 목표 간격(DT)에 도달한 시점부터는 V1의 속도로 이송된다. 따라서, 제 2 후발 기판 또한 후발 기판과 마찬가지 속도로 제어할 수 있다. 다만, 본 실시예는 선발 기판과 후발 기판의 최초 간격과, 후발 기판과 제 2 후발 기판의 최초 간격이 동일한 경우에 적용될 수 있음을 유의하여야 한다.The late substrate is transported at a speed of V2 until it has a target distance D T from the starting substrate, and is transported at a speed of V1 from the time when the target distance D T is reached. Therefore, the second later substrate can be controlled at the same speed as the latter substrate. It should be noted, however, that this embodiment can be applied to the case where the initial gap between the selection substrate and the rear substrate is the same as the initial gap between the rear substrate and the second substrate.
제 2 실시예로서, 제 2 후발 기판을 일시 정지시키고(S421), 단계 S200 즉, 연산부(175)가 후발 기판이 제 1 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출될 때까지의 잔여 시간을 예측하는 단계(S200)로 진행한 후, 이후의 과정을 진행하도록 할 수 있다.As a second embodiment, the second late substrate is temporarily stopped (S421), and step S200, that is, the
제 3 실시예로서, V2로 이송 중에 있는 후발 기판에 대하여 지정된 시간(△t) 후의 위치를 예측하고(S431), △t 후 후발 기판과 제 2 후발 기판이 목표 간격(DT)을 갖도록 제 2 후발 기판의 속도(V4) 즉, 제 2 후발 기판의 가속 이송 속도를 결정한 후(S433), 결정된 속도(V4)로 제 2 후발 기판을 이송한다(S435). 아울러, V4의 속도로 제 2 후발 기판을 이송시켜, 후발 기판과 제 2 후발 기판 간의 간격이 목표 간격(DT)에 도달하는 시점부터는 제 2 후발 기판의 속도를 후발 기판의 속도로 변경한다(S437).Third Embodiment By way of example, predict the position after the time (△ t) is specified with respect to the second-tier substrates that during transport to V2, and (S431), △ t after the second-tier substrate and the second second-tier substrate so as to have a target spacing (D T) of claim After determining the speed V4 of the second substrate, that is, the accelerating speed of the second substrate in step S433, the second substrate is transferred at the determined speed V4 in step S435. At the same time, the second substrate is transferred at a speed of V4, and the speed of the second substrate is changed to the speed of the substrate after the interval between the substrate and the second substrate reaches the target distance D T S437).
따라서, 후발 기판이 선발 기판과 목표 간격(DT)을 갖도록 이송 중인 상황에서, 제 2 후발 기판이 검출되더라도, 후발 기판과 제 2 후발 기판 간의 간격을 원하는 간격(DT)으로 제어할 수 있다.Therefore, even in the situation where the second substrate is detected in a state where the second substrate is being conveyed to have the target distance D T from the first substrate, the interval between the second substrate and the second substrate can be controlled to a desired distance D T .
한편, 본 발명의 다른 실시예에서, 제 1 스피드 버퍼(103)로의 기판 반입이 감지된 후(S100), 선발 기판의 이동 위치를 예측(S200)하기 전, 선발 기판과 후발 기판 간의 간격에 따라 후발 기판의 속도를 제어할 수 있으며, 도 9를 참조하여 설명하면 다음과 같다.According to another embodiment of the present invention, after the substrate loading into the
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 스피드 버퍼 제어 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.9 is a flowchart illustrating a method of controlling a speed buffer according to another embodiment of the present invention.
제 1 스피드 버퍼(103)로의 기판 반입이 감지됨에 따라(S100), 위치 검출부(173)는 선발 기판의 감지 위치 및 이동 속도(V1)와 후발 기판의 감지 위치에 기초하여, 선발 기판과 후발 기판 간의 간격을 검출한다(S501).The
그리고, 검출된 두 기판 간의 간격과 목표 간격(DT)의 관계를 확인하여(S503), 검출 간격이 목표 간격(DT)보다 큰 경우에는 단계 S200으로 진행하여 이후의 과정이 계속 처리되도록 한다.And, so that the process after the continued processing intervals and target distance between the two substrates, the detected (D T) between the check (S503), the detection interval of the target interval is greater than (D T), the process advances to step S200 .
한편, 검출 간격이 목표 간격(DT)과 동일한 경우(S505)에는 속도 결정부(177)로 이를 알려 후발 기판이 선발 기판의 속도로 이송되도록 한다(S507).On the other hand, when the detection interval is equal to the target interval D T (S505), the
그렇지 않은 경우 즉, 검출 간격이 목표 간격(DT)보다 좁은 경우에는 속도 결정부(177)로 이를 보고하여, 기 설정된 시간동안 후발 기판의 이송이 정지되도록 하고, 그 후 선발 기판의 이송 속도로 후발 기판을 이송시킨다(S509).Otherwise, if the detection interval is narrower than the target interval D T , the
도 10 및 도 11은 본 발명에 의한 스피드 버퍼 제어 개념을 설명하기 위한 도면이다.10 and 11 are views for explaining the concept of speed buffer control according to the present invention.
얼라인 챔버(101)에서 얼라인이 완료된 제 1 기판(A1)이 제 1 스피드 버퍼(103)로 제공된 후, 시점 T1에서와 같이 스피드 버퍼(103) 내에 위치하고 있는 경우를 가정한다. 그리고, 이 시점에서 얼라인 챔버(101)에서 얼라인이 완료된 제 2 기판(A2)이 스피드 버퍼(103) 내로 반입이 시작된다고 가정한다. 아울러, 제 1 기판(A1)의 이송 속도는 V1이라 하자.It is assumed that the first substrate A1 having been aligned in the
제 1 센서(S1)에 의해 제 2 기판(A2)의 반입이 감지되고, 속도 제어부(170)는 선발 기판 즉, 제 1 기판(A1)이 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출되어 공정 챔버(105)로 반입되기 까지의 잔여 시간을 예측한다. 아울러, 잔여 시간 내에 제 2 기판(A2)과 제 1 기판(A1)이 목표 간격(DT)을 가질 수 있도록 제 2 기판(A2)의 가속 이송 속도(V2)를 결정한다.The second substrate A2 is detected by the first sensor S1 and the
이에 따라, 제 2 기판(A2)은 가속 이송 속도(V2)로 이송되게 되며, 시점 T2에서 제 1 기판(A1)과 간격(D1>DT)이 좁혀짐을 알 수 있다.In this way, the second substrate (A2) is to be transferred to the accelerating feed rate (V2), it can be seen that the first substrate (A1) and the interval (D1> D T) at time T2 is narrowed.
제 2 기판(A2)은 계속해서 가속 이송 속도(V2)로 이송되며, 시점 T3에서 선발 기판인 제 1 기판(A1)과의 간격(D2, D1>D2>DT)이 더욱 좁혀진 것을 알 수 있다.A second substrate (A2) will continue to be transferred to the accelerated transport speed (V2), distance (D2, D1>D2> D T) of the at the time T3 starting substrate of the first substrate (A1) is found that more narrowed have.
시점 T4에서 제 1 기판(A1)과 제 2 기판(A2)은 결국 목표 간격(DT)을 갖게 되며, 이 시점 이후부터 제 2 기판(A2)은 제 1 기판(A1)의 이송 속도(V1)와 동일한 속도로 이송된다.At the time T4, the first substrate A1 and the second substrate A2 eventually have the target distance D T , and from this point onward, the second substrate A2 is moved from the feed rate V1 of the first substrate A1 ). ≪ / RTI >
이와 같이 하여, 제 1 기판(A1)과 제 2 기판(A2)이 등간격을 유지하면서 공정 챔버(105) 측으로 반출되게 된다.In this way, the first substrate A1 and the second substrate A2 are carried out to the
이 경우, 도 11과 같이 얼라인 챔버(101)에 또 다른 제 3 기판(A3)이 얼라인이 완료되어 스피드 버퍼(103)로 이송될 수 있다(시점 T5).In this case, another third substrate A3 is aligned in the
이 경우에도, 제 2 기판(A2)이 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출되기까지의 잔여 시간에 따라 제 3 기판(A3)의 이송 속도를 결정하여, 제 3 기판(A3)을 가속 이송 속도(V4)로 이송시킨다. 따라서, 시점 T6에서 제 2 기판(A2)과 제 3 기판(A3)은 간격(D3>DT)을 갖게 되고, 제 3 기판(A3)에 대한 가속이 계속됨에 따라 시점 T7에서 제 2 및 제 3 기판(A2, A3) 간의 간격(D4, D3>D4>DT)은 더욱 좁혀지며, 시점 T8에서 제 2 기판(A2)과 제 3 기판(A3)이 목표 간격(DT)을 갖게 됨을 알 수 있다.In this case as well, the feed rate of the third substrate A3 is determined in accordance with the remaining time until the second substrate A2 is completely taken out of the
이와 같이, 본 발명에 의하면 스피드 버퍼(103)의 센서들(S1, S2)을 이용하여 선발 기판 및 후발 기판을 검출한다. 그리고, 선발 기판이 스피드 버퍼(103)로부터 완전히 반출되기 전, 후발 기판이 선발 기판과 목표 간격(DT)을 갖도록 후발 기판에 대한 가속 이송 속도를 결정하고, 이에 따라 후발 기판 이송 롤러의 회전 속도를 제어하여 후발 기판을 이송시킨다. 아울러, 선발 기판과 후발 기판이 목표 간격(DT)을 갖는 시점부터는 후발 기판의 이송 속도가 선발 기판의 이송 속도와 동일하도록 후발 기판 이송 롤러의 회전 속도를 제어한다. 따라서, 선발 기판과 후발 기판이 목표 간격(DT)을 유지한 상태로 공정 챔버(105)로 이송될 수 있다.As described above, according to the present invention, the selection substrate and the rear substrate are detected using the sensors S1 and S2 of the
한편, 이상에서는 스피드 버퍼의 반입 게이트와 반출 게이트의 높이에 무관하게 선발 기판에 대한 후발 기판의 속도를 제어하는 경우에 대해 설명하였다.In the above description, the speed of the rear substrate with respect to the starting substrate is controlled regardless of the height of the carry-in gate and the carry-out gate of the speed buffer.
본 발명의 일 예로서, 스피드 버퍼는 반입 게이트가 제 1 높이의 위치에 설치되고, 반출 게이트가 제 1 높이보다 낮은 제 2 높이의 위치에 설치될 수 있다. 이 경우, 얼라인 챔버로부터 반입 게이트로 제공되는 기판은 승강 수단에 의해 하강될 수 있다. 승강 수단은 롤러 자체를 승하강 시키는 실린더일 수도 있고, 기판을 유지하기 위한 핀을 구비한 실린더일 수 있다.As an example of the present invention, the speed buffer may be installed at a position of the first height, and the exit gate may be installed at a position of the second height lower than the first height. In this case, the substrate provided from the alignment chamber to the carry-in gate can be lowered by the lifting means. The elevating means may be a cylinder for raising and lowering the roller itself, or a cylinder having a pin for holding the substrate.
이상에서 설명한 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention can be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the embodiments described above are to be considered in all respects only as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.
10 : 연속 기판 처리 시스템
100 : 제어 시스템
101 : 얼라인 챔버
103 : 제 1 스피드 버퍼
105 : 공정 챔버
107 : 제 2 스피드 버퍼
109 : 디태치 챔버
1031 : 롤러
1033 : 동력 전달축
S1(S11, S13), S2(S21, S23), S3(S31, S33) : 센서
M : 모터
D : 드라이버
A : 기판
1035-1, 1035-2 : 제 1 기판 이송부
1037-1, 1037-2 : 제 2 기판 이송부10: Continuous substrate processing system
100: Control system
101: Alliin chamber
103: first speed buffer
105: Process chamber
107: Second speed buffer
109: Ditch Chamber
1031: Rollers
1033: Power transmission shaft
S1 (S11, S13), S2 (S21, S23), S3 (S31, S33)
M: Motor
D: Driver
A: substrate
1035-1 and 1035-2: a first substrate transfer section
1037-1, 1037-2: a second substrate transferring section
Claims (10)
상기 기판의 반입 여부를 검출하는 제 1 센서;
상기 스피드 버퍼 내에서 이송 중인 기판의 위치를 검출하는 제 2 센서; 및
선발 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 완전히 반출되기 전 후발 기판과 상기 선발 기판이 목표 간격을 갖도록 결정되는 후발 기판의 이송 속도에 응답하여, 상기 후발 기판을 이송하는 롤러의 회전 속도를 제어하는 드라이버;
를 포함하는 스피드 버퍼.1. A speed buffer for transferring a substrate to be carried in a first direction,
A first sensor for detecting whether the substrate is carried or not;
A second sensor for detecting the position of the substrate being transported in the speed buffer; And
A driver for controlling the rotational speed of the rollers for feeding the rear substrate in response to a feed rate of the rear substrate before the selection substrate is completely taken out of the speed buffer and a feed rate of the rear substrate determined so that the selection substrate has a target gap;
/ RTI >
상기 제 1 센서는 상기 스피드 버퍼의 입구측에 설치되는 반입 감지 센서인 스피드 버퍼.The method according to claim 1,
Wherein the first sensor is a carry-in sensor installed at an entrance side of the speed buffer.
상기 제 2 센서는, 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 반출을 개시하는 위치에 설치되는 반출개시 감지 센서인 스피드 버퍼.The method according to claim 1,
Wherein the second sensor is an unloading start detecting sensor that is installed at a position where the substrate starts unloading from the speed buffer.
기판이 상기 스피드 버퍼로부터 완전히 반출되었음을 감지하는 제 3 센서를 더 포함하는 스피드 버퍼.The method according to claim 1,
Further comprising a third sensor for sensing that the substrate has been completely removed from the speed buffer.
기판의 이송 방향을 중심으로 상기 스피드 버퍼의 양 측벽에 등간격으로 설치되는 복수의 롤러; 및
상기 복수의 롤러 각각으로 동력을 전달하는 모터;
를 포함하는 스피드 버퍼.The method according to claim 1,
A plurality of rollers provided at equal intervals on both side walls of the speed buffer around the conveying direction of the substrate; And
A motor for transmitting power to each of the plurality of rollers;
/ RTI >
상기 스피드 버퍼의 양 측벽에 지정된 간격으로 설치되는 복수의 센서그룹을 더 포함하는 스피드 버퍼.The method according to claim 1,
Further comprising a plurality of sensor groups installed at specified intervals on both side walls of the speed buffer.
지정된 위치에 설치되는 복수의 센서를 포함하며, 상기 얼라인 챔버로부터 기판을 제공받아 기 설정된 속도로 이송하여 반출하는 스피드 버퍼;
상기 스피드 버퍼로부터 제공된 기판을 기 설정된 공정 조건으로 처리하는 공정 챔버; 및
상기 스피드 버퍼로 제공된 선발 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 완전히 반출되기 전, 상기 스피드 버퍼로 반입된 후발 기판과 상기 선발 기판이 목표 간격을 갖도록 제어하는 속도 제어부;
를 포함하는 연속 기판 처리 시스템.An alignment chamber for aligning the substrate and the mask;
A speed buffer including a plurality of sensors installed at a designated position, the speed buffer being provided with a substrate from the aligning chamber and transferring the substrate at a predetermined speed and carrying it out;
A processing chamber for processing the substrate provided from the speed buffer with predetermined processing conditions; And
A speed controller for controlling the posterior substrate transferred to the speed buffer and the selection substrate to have a target gap before the selected substrate provided in the speed buffer is completely taken out of the speed buffer;
Wherein the substrate processing system further comprises:
상기 스피드 버퍼는, 상기 후발 기판의 반입 여부를 검출하는 제 1 센서; 및
상기 선발 기판의 위치를 검출하는 제 2 센서;
를 포함하는 연속 기판 처리 시스템.8. The method of claim 7,
Wherein the speed buffer comprises: a first sensor for detecting whether or not the later substrate is carried; And
A second sensor for detecting a position of the selection substrate;
Wherein the substrate processing system further comprises:
상기 제 1 센서는 상기 스피드 버퍼의 입구측에 설치되는 반입 감지 센서인 연속 기판 처리 시스템.9. The method of claim 8,
Wherein the first sensor is a carry-in sensor mounted on an inlet side of the speed buffer.
상기 제 2 센서는, 기판이 상기 스피드 버퍼로부터 반출을 개시하는 위치에 설치되는 반출개시 감지 센서인 연속 기판 처리 시스템.9. The method of claim 8,
Wherein the second sensor is an unloading start detecting sensor which is installed at a position where the substrate starts to be unloaded from the speed buffer.
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