KR20170068232A - 플라즈마 전극장치, 그 제조방법 및 공기조화기 - Google Patents

플라즈마 전극장치, 그 제조방법 및 공기조화기 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플라즈마 전극장치, 그 제조방법 및 공기조화기에 관한 것이다. 일 측면에 따른 플라즈마 전극장치는 절연체; 상기 절연체의 일면에 형성되어 플라즈마 방전을 수행하는 방전 전극; 및 상기 절연체의 타면에 형성되며, 상기 방전 전극과 작용하여 플라즈마 방전을 수행하는 접지 전극을 포함하고, 상기 방전 전극은 복수의 가지(branch)를 포함하는 패턴으로 형성되며, 상기 절연체는 소정의 곡률로 만곡되도록 유연성을 갖춘 재질로 이루어진다.

Description

플라즈마 전극장치, 그 제조방법 및 공기조화기 {Plasma electrode device, method of manufacturing the same and air conditioner}
본 발명은 플라즈마 전극장치, 그 제조방법 및 공기조화기에 관한 것이다.
최근 건물들은 에너지 절감을 위하여 외부 기체의 도입을 최소화하고, 기밀화됨에 따라, 실내공기 오염이 점점 심각해지는 추세이다. 이에 따라, 실내 오염 물질에 대한 각종 법적 규제가 점차 강화되고 있다.
한편, 가정 또는 회사등에 설치되는 가전제품이 작동되는 과정에서, 실내 오염물질이 가전제품 내에서 발생되어 침착되거나, 가전제품으로부터 배출될 수 있다. 이러한 실내 오염물질은 불쾌한 냄새를 유발할 수 있으며, 사용자의 위생에 악영향을 미칠 수 있다.
예를 들어, 공기 조화기, 제습기, 공기 청정기, 냉장고 또는 세탁기와 같이 수분을 포함하는 공기 또는 물을 사용하는 가전제품의 경우, 가전제품의 내부 또는 외부에 먼지나 미생물등에 의한 오염이 발생될 수 있다.
상세히, 상기 실내 오염물질에는, (1) 미세 먼지, 석면 등과 같은 입자상 오염 물질, (2) 이산화탄소, 포름알데히드, 휘발성 유기화합물(VOC, volatile organic comopounds) 등과 같은 기체상 오염 물질, 및 (3) 바이러스, 곰팡이, 박테리아 등의 생물학적 오염 물질로 구분될 수 있다.
이러한 실내 오염물질을 제거하기 위하여 연면 방전의 플라즈마 화학처리 방식이 이용될 수 있다. 일반적으로, 상기 연면 방전의 플라즈마 화학처리 방식은, 세라믹을 이용한 고주파 방전형으로 소자표면에 강력한 플라즈마 영역을 형성하여 다량의 OH 라디칼과 오존을 생성하고 이를 이용하여 오염물질을 제거하는 방식으로서 이해된다.
한편, 플라즈마 전극장치에서 발생하는 오존은 살균효과가 있으며 공기 중에 소량으로 존재하는 경우에는 상쾌감을 줄 수 있으나, 일정량 이상으로 증가하면 불쾌감을 줄 수 있으며, 장시간 흡입하면 호흡기관을 해칠 수 있다. 따라서, 플라즈마 전극장치에서 발생하는 오존의 양을 적정하게 조절하여야 한다.
본 출원인은 이러한 기술과 관련하여 종래에 아래와 같은 출원(이하, 종래기술)을 실시한 바 있다.
1. 등록번호 : 10-0657476, 발명의 명칭 : 연면 방전형 공기정화장치, 등록일자 : 2006년 12월 7일
위 종래기술에는, 2매로 부착된 절연성 유전체의 상면에 형성되는 방전 전극과, 2매의 절연성 유전체의 사이에 형성되는 접지 전극 및 상기 방전 전극이 대기 중에 직접 노출되지 않도록 밀폐시키는 코팅층이 포함되는 플라즈마 전극장치가 개시된다.
여기서, 상기 절연성 유전체는, 절연성 물질이 코팅되어 구성될 수 있다. 일례로, 상기 절연성 물질에는 PCV 및 세라믹 등이 포함된다.
한편, 플라즈마 전극장치에 인가되는 전압의 높을 경우, 작동 시 소음이 발생할 수 있으며, 플라즈마 방전 안정성이 저하되는 문제점이 있다.
한편, 종래의 플라즈마 전극장치에 사용되는 절연성 유전체는 PCV 또는 세라믹 등과 같이 유연성이 낮은 수지로 제작되므로, 공기조화기 등의 제품에 장착될 경우 곡면에 장착되기 어려운 문제점이 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 플라즈마 방전장치를 구부릴 수 있는 재질로 제작하여 공기조화기 등의 제품에 장착 시 설치 자유성을 향상시키는 것이다.
본 발명의 또 다른 과제는 비교적 낮은 전압에서도 방전 현상이 일어나는 플라즈마 전극장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 과제는 방전 전극의 설치면의 면적 대비 넓은 방전면적을 확보하는 것이다.
본 발명의 또 다른 과제는 플라즈마 방전 안정성을 확보하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
플라즈마 전극장치의 설치 자유성을 향상시키기 위해 본 발명의 실시 예에 따른 플라즈마 전극장치는 절연체; 상기 절연체의 일면에 형성되어 플라즈마 방전을 수행하는 방전 전극; 및 상기 절연체의 타면에 형성되며, 상기 방전 전극과 작용하여 플라즈마 방전을 수행하는 접지 전극을 포함하고, 상기 절연체는 소정의 곡률로 만곡되도록 유연성을 갖춘 재질로 이루어진다.
또한, 플라즈마 전극장치가 비교적 낮은 전압에서도 방전 현상이 일어나도록 하기 위해 상기 절연체의 두께는 수십 마이크로미터로 이루어진다.
또한, 고농도 라디칼 및 넓은 방전면적을 확보하기 위해 상기 방전 전극의 가지의 폭은 수십 마이크로미터로 이루어질 수 있다.
또한, 플라즈마 방전 안정성을 확보하기 위해 방전 전극의 패턴을 이루는 복수의 가지가 서로 일정 간격을 이루도록 형성되어야 한다. 이를 위해, 각각의 가지 사이에 배치된 비패턴부가 일정한 폭으로 형성된다.
본 발명의 실시 예에 의하면, 종래기술에 비해 비교적 낮은 전압 사용으로 플라즈마 방전을 일으킬 수 있으므로, 안전성이 향상되고, 방전시 발생하는 소음 및 오존을 저감시킬 수 있다.
또한, 유연성을 갖춘 절연체를 사용함으로써 플라즈마 전극장치를 곡면에 설치할 수 있으므로 설치 자유성을 확보할 수 있다.
멤스공정을 통해 절연체에 방전 전극을 코팅함으로써, 방전 전극의 폭을 좁게 형성할 수 있으므로 방전면적을 넓힐 수 있고, 방전 전극 간의 간격을 일정하게 함으로써 플라즈마 방전 안정성을 확보할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 플라즈마 전극장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ`을 따라 절개한 단면도이다.
도 3 내지 도 5는 멤스에 의해 절연체에 방전 전극이 형성되는 모습을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 공기조화기에 플라즈마 전극장치가 장착된 모습을 보여주는 도면이다.
이하에서는 도면을 참조하여, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 플라즈마 전극장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ`을 따라 절개한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 플라즈마 전극장치(100)는 절연체(110), 방전 전극(120) 및 접지 전극(130)을 포함한다.
상기 절연체(110)는 도시된 것과 같이 사각 판(Plate) 형상으로 이루어질 수 있으며, 상면(111)과 하면(113)이 형성될 수 있다. 다만, 상기 절연체(110)의 형상이 이에 한정되는 것은 아니며 설계 조건에 따라 적절한 형상으로 변경될 수 있다. 한편, 상기 절연체(110)의 상면(111)과 하면(113)은 상기 절연체(110)의 일면(111)과 타면(113)이라 지칭할 수 있다.
상기 방전 전극(120) 및 상기 접지 전극(130)은 상기 절연체(110)의 상면(111) 또는 하면(113)에 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 방전 전극(120) 및 상기 접지 전극(130)은 미세전자제어기술[미세전자기계시스템(Micro Electro Mechanical Systems, MEMS)]에 의해 상기 절연체(110)에 코팅될 수 있다.
미세전자제어기술, 즉 멤스는 증착과 식각 등의 과정을 반복하는 반도체 미세공정기술을 이용한 것으로서, 멤스에 의해 제작된 초미세 기계구조물은 마이크로미터 이하의 정밀도를 갖는다. 멤스 공정에 의하면 저렴한 비용으로 초미세 기계구조물의 대량생산이 가능한 장점이 있다.
상기 절연체(110)에는 전원이 연결되는 전극부(115)가 구비되며, 상기 방전 전극(120)은 상기 전극부(115)에 연결되어 전원이 인가될 수 있다. 상기 방전 전극(120)은 상기 전극부(115)로부터 연장되는 형상으로 이루어질 수 있다.
상기 방전 전극(120)은 상기 전극부(115)를 통해 전압이 인가됨으로써 플라즈마 방전을 수행할 수 있다. 이에 따라 상기 방전 전극(120) 주변을 유동하는 공기를 산화 또는 분해시킬 수 있다.
상기 방전 전극(120)은 상기 절연체(110)의 상면(111)에 다수의 가지(branch)를 가진 형상으로 패터닝(patterning)되어 형성될 수 있다.
구체적으로, 상기 방전 전극(120)은 금속 재질의 전도성 물질이 상기 절연체(110) 표면에 패턴을 이루어 형성된다. 일례로, 상기 방전 전극(120)은 금속판, 일례로 구리(Cu)로 구성될 수 있다.
상기 방전 전극(120)의 패턴 형상은 일정 면적을 갖는 밀폐된 형상을 이룰 수 있다. 일례로, 방전 전극(120)의 패턴 형상은 사다리 형상을 이룰 수 있다.
상기 방전 전극(120)의 패턴의 폭(d1)은 100 마이크로미터 이하로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 방전 전극(120)의 패턴의 폭(d1)은 수십 마이크로미터로 형성될 수 있다. 이는 상기 방전 전극(120)이 멤스에 의해 제작되므로 가능하다.
이와 같이 상기 방전 전극(120)의 패턴의 폭(d1)이 좁게 형성됨에 따라, 상기 방전 전극(120)은 넓은 방전 면적을 확보할 수 있으며, 고농도 라디칼을 발생시킬 수 있고, 상기 절연체(110)의 면적 대비하여 넓은 방전면적 확보가 가능하다.
상기 방전 전극(120)의 패턴 내부에는 전극이 형성되지 않는 비패턴부(117)가 구비될 수 있다. 구체적으로, 상기 방전 전극(120)의 패턴을 이루는 복수의 가지(123, 125) 사이에 상기 비패턴부(117)가 구비될 수 있다.
상기 비패턴부(117)는 다수개로 구비될 수 있으며, 각각의 비패턴부(117)의 폭(d2)이 서로 동일하게 형성될 수 있다. 즉, 상기 방전 전극(120)의 패턴을 이루는 복수의 가지(123, 125) 사이의 거리(d2)가 일정하게 형성되며, 이에 따라 플라즈마 방전 안정성이 향상될 수 있다.
상기 접지 전극(130)은 상기 절연체(110)의 하면(113)에 형성될 수 있다. 상기 접지 전극(130)은 상기 방전 전극(120)과 작용하여 플라즈마 방전을 수행할 수 있다. 상기 접지 전극(130)은 상기 방전 전극(120)과 같이 소정의 패턴을 이루도록 형성될 수 있다. 상기 접지 전극(130)의 패턴은 상기 방전 전극(120)의 패턴보다 작게 형성될 수 있다.
한편, 상기 방전 전극(120)과 상기 접지 전극(130) 사이의 간격이 좁아지면 플라즈마 방전을 위해 인가되는 전압이 낮아질 수 있다. 즉, 상기 절연체(110)의 두께(d2)가 얇아지면 상기 플라즈마 전극장치(100)에 인가되는 전압을 낮출 수 있다.
구체적으로, 상기 절연체(110)의 두께(d3)는 100 마이크로미터 이하로 이루어질 수 있다. 즉, 상기 절연체(110)의 두께(d3)는 수십 마이크로미터로 형성될 수 있다. 이는, 상기 절연체(110)가 내열성, 내화학성 및 내충격성 등을 갖춰 멤스 공정에서도 견딜수 있는 재질인 경우에 가능하다.
이하에서는 멤스(MEMS)에 의해 상기 절연체(110)에 상기 방전 전극(120)을 코팅시키는 방법에 대하여 설명한다.
도 3 내지 도 5는 멤스에 의해 절연체에 방전 전극이 형성되는 모습을 도시한 도면이다. 구체적으로, 도 3은 절연체를 도시하고, 도 4는 절연체의 일면에 금속판이 증착된 모습을 도시하고, 도 5는 금속판의 일부 영역을 식각함으로써 패턴을 이루는 방전 전극이 형성된 모습을 도시한다.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 소정의 두께의 절연체(110)가 마련되면, 상기 절연체(110)의 상면(111)에 금속판(120a)을 증착시킨 후, 상기 비패턴부(117) 등 상기 절연체(110)의 상면(111)에서 상기 방전 전극(120)이 존재하지 않는 부분을 식각(etching)한다. 식각방식은 플라즈마 등을 이용하는 건식 식각 또는 화학약품을 이용하는 습식 식각 등이 수행될 수 있다.
이에 따라, 상기 절연체(110)의 상면(111)에 미세 크기의 상기 방전 전극(120) 패턴부(120b)가 형성될 수 있다.
멤스 공정 시 증착 및 식각 과정에서 손상되는 것을 방지하기 위하여, 상기 절연체(110)는 내열성 및 내화학성을 갖춘 재질로 이루어질 수 있다. 일례로, 상기 절연체(110)는 폴리이미드(Polyimide) 수지로 구성될 수 있다.
상기 폴리이미드 수지는 1) 내열성이 뛰어나며, 2) 저온에서 고온까지 특성의 변화가 적고, 3) 내충격성과 치수안정성이 좋으며, 4) 전기특성이 뛰어나고, 5) 내화학성이 좋으며, 6) 내마찰성이 좋고, 타지 않는 특징이 있다.
한편, 상기 절연체(110)가 내열성 및 내화학성이 낮은 재질로 이루어진 경우, 멤스 공정을 통해 상기 절연체(110) 표면에 상기 방전 전극(120)과 상기 접지 전극(130) 코팅 시 증착 또는 식각 과정에서 상기 절연체(110)가 손상되는 문제점이 발생할 수 있다. 반면, 본 발명과 같이 절연체(110)가 내열성 및 내화학성을 갖춘 폴리이미드 수지로 이루어진 경우, 멤스 공정에 의한 손상이 최소화될 수 있다.
또한, 상기 폴리이미드 수지는 내충격성 및 내마찰성 등이 좋아 두께가 얇은 필름으로 제작할 수 있다. 따라서, 상기 절연체(110)가 폴리이미드 수지로 이루어진 경우, 두께를 얇게 제작할 수 있으므로 상기 방전 전극(120)과 상기 접지 전극(130) 사이의 간격을 좁혀 인가 전압을 줄일 수 있다. 상기 폴리이미드 수지를 절연체(110)로 이용할 경우 수십 마이크로 두께로 제작 가능하다.
또한, 상기 폴리이미드 수지는 유연성이 있어, 상기 절연체(110)가 폴리이미드 수지로 이루어진 경우 소정의 곡률로 구부러질 수 있다. 이에 따라, 상기 플라즈마 전극장치(100)를 곡면으로 이루어진 설치면에 장착할 수 있다. 상기 플라즈마 전극장치(100)의 설치에 관한 구체적인 내용은 도 6에서 후술한다.
상기 접지 전극(130)도 상기 방전 전극(120)과 같이 멤스(MEMS)에 의해 상기 절연체(110)의 하면(113)에 형성될 수 있으므로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
이하에서는 상기 플라즈마 전극장치(100)가 설치된 공기조화기에 대하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 공기조화기에 플라즈마 전극장치가 장착된 모습을 보여주는 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 공기조화기(200)는 내부에 다수의 부품이 수용되는 본체(210) 및 플라즈마 전극장치(100)를 포함한다. 상기 플라즈마 전극장치(100)는 상기 본체(210)에 장착되어 이온 발생에 의하여 오염물질과 냄새를 제거할 수 있다.
상기 본체(210)는, 상기 본체(210)의 외관을 형성하는 전방 프레임(212) 및 후방 프레임(213)을 포함한다. 상기 전방 프레임(212) 및 후방 프레임(213) 사이에는 각종 부품이 설치되기 위한 공간이 형성된다.
상기 본체(210) 내부 공간에는 실내 공기와 냉매 간의 열교환이 이루어지는 상기 실내열교환기(241)와, 실내 공기를 강제 유동시키기 위하여 팬(242)이 구비될 수 있다.
상기 본체(210)는 실내 공기가 흡입되기 위한 흡입구(216)와, 상기 본체(210) 내부로 흡입된 실내 공기를 토출시키기 위한 토출구(217)를 포함한다.
상기 공기조화기(200)는 상기 토출구(217)의 일측에 구비되는 토출 베인(230)을 더 포함할 수 있다. 상기 토출 베인(230)에는 상기 본체(210) 내부를 향하는 내면(231)과, 상기 본체(210)의 외부를 향하는 외면(233)이 형성될 수 있다. 한편, 상기 토출 베인(230)의 내면(231)과 외면(233)은 소정의 곡률을 갖는 곡면으로 이루어질 수 있다.
상기 토출 베인(230)은 힌지축(235)에 의해 상기 본체(210)와 연결될 수 있으며, 상기 힌지축(235)을 중심으로 회전할 수 있다. 상기 토출 베인(230)은 상기 팬(242)에 의해 유동되는 공기의 토출 방향을 가이드할 수 있다.
상기 플라즈마 전극장치(100)는 상기 토출 베인(230)에 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 토출구(217)에서 토출되는 공기에 포함된 오염물질과 냄새를 제거할 수 있으며, 상기 플라즈마 전극장치(100)에서 발생되는 이온은 상기 팬(242)에 의해 유동되는 공기에 의해 실내로 공급될 수 있다.
상기 플라즈마 전극장치(100)는 상기 토출 베인(230)의 내면(231)에 장착될 수 있다. 이에 따라, 상기 플라즈마 전극장치(100)가 외부로 노출되지 않도록 하는 동시에, 상기 플라즈마 전극장치(100)에서 발생되는 이온을 효과적으로 분산시킬 수 있다.
상기 플라즈마 전극장치(100)는 유연성을 갖춘 재질로 구성됨으로써, 상기 토출 베인(230)의 내면(231)의 형상에 대응되도록 곡면을 이룰 수 있다.
다만, 플라즈마 전극장치(100)의 설치 위치가 상기 토출 베인(230)의 내면(231)으로 제한되는 것은 아니며, 설계에 따라 적절히 변경될 수 있다. 즉, 상기 플라즈마 전극장치(100)는 상기 팬(242)에 의해 형성되는 공기 유로 상에 놓일 수 있다.
다른 실시 예로서, 상기 플라즈마 전극장치(100)는 도시된 것과 달리 상기 흡입구(216)와 상기 실내열교환기(241) 사이에 배치될 수 있다. 구체적으로, 상기 플라즈마 전극장치(100)는 상기 실내열교환기(241) 또는 상기 전방 프레임(212)의 내측에 설치될 수 있다. 상기 플라즈마 전극장치(100)를 상기 흡입구(216) 근처에 배치할 경우 상기 공기조화기(200)의 내부 살균이 가능하고, 부유물의 제거가 용이해진다.
또 다른 실시 예로서, 상기 플라즈마 전극장치(100)는 상기 팬(242)과 상기 토출구(217) 사이에 설치될 수 있다.
이처럼, 본 발명의 실시 예에 의한 플라즈마 전극장치(100)는 유연성을 갖춘 재질로 구성됨으로써, 평면 뿐만 아니라 곡면에도 설치 가능하므로 설치 자유성이 향상될 수 있다. 또한, 상기 플라즈마 전극장치(100)를 곡면으로 제작하기 위한 별도의 공정을 요하지 않으므로 제작비용이 절감될 수 있다.
100: 플라즈마 전극장치 110: 절연체
120: 방전 전극 130: 접지 전극
200: 공기조화기 230: 토출베인

Claims (10)

  1. 절연체;
    상기 절연체의 일면에 형성되어 플라즈마 방전을 수행하는 방전 전극; 및
    상기 절연체의 타면에 형성되며, 상기 방전 전극과 작용하여 플라즈마 방전을 수행하는 접지 전극을 포함하고,
    상기 방전 전극은 복수의 가지(branch)를 포함하는 패턴으로 형성되며,
    상기 절연체는 소정의 곡률로 만곡되도록 유연성을 갖춘 재질로 이루어지는 플라즈마 방전장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 절연체의 두께는 수십 마이크로미터인 플라즈마 방전장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 절연체는 폴리이미드 수지로 이루어지는 플라즈마 방전장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 방전 전극의 가지의 폭은 수십 마이크로미터인 플라즈마 방전장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 방전전극 및 상기 접지전극은 금속판을 상기 절연체에 증착한 후 일정 패턴을 따라 식각함으로써 형성되는 플라즈마 방전장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수의 가지가 서로 일정한 간격으로 배치되도록, 각각의 가지 사이에는 일정한 폭으로 구비되는 비패턴부가 형성되는 플라즈마 방전장치.
  7. 절연체를 제공하는 단계;
    상기 절연체의 일면에 금속판을 증착시키는 단계;
    상기 금속판의 일부를 식각함으로써, 복수의 가지가 일정 간격으로 이격되어 형성된 패턴을 이루는 방전 전극을 형성하는 단계;
    상기 절연체의 타면에 금속판을 증착시키는 단계; 및
    상기 금속판의 일부를 식각하여 접지 전극을 형성하는 단계를 포함하는 플라즈마 전극장치의 제조방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 가지는 수십 마이크로미터의 폭으로 형성하는 플라즈마 전극장치의 제조방법.
  9. 공기가 흡입되기 위한 흡입구와, 상기 흡입구를 통하여 흡입된 공기가 토출되기 위한 토출구를 가지는 본체;
    상기 본체 내에 구비되며 공기를 유동시키기 위한 팬; 및
    상기 팬에 의해 형성되는 공기 유로상에 놓이며, 다량의 이온을 발생시키는 플라즈마 전극장치를 포함하며,
    상기 플라즈마 전극장치는, 절연체;
    상기 절연체의 일면에 형성되어 플라즈마 방전을 수행하는 방전 전극; 및
    상기 절연체의 타면에 형성되며, 상기 방전 전극과 작용하여 플라즈마 방전을 수행하는 접지 전극을 포함하고,
    상기 방전 전극은 복수의 가지(branch)를 포함하는 패턴으로 형성되며,
    상기 절연체는 소정의 곡률로 만곡되도록 유연성을 갖춘 재질로 이루어지는 공기조화기.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 토출구에서 토출되는 공기를 가이드하며, 상기 본체 내부를 향하는 내면이 곡면으로 이루어진 토출 베인을 더 포함하고,
    상기 플라즈마 전극장치는 상기 토출 베인의 내면에 장착되며, 상기 토출 베인의 내면의 형상에 대응되도록 만곡되는 공기조화기.
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