KR20170033131A - Stacker of handler for testing semiconductor and handler for testing semiconductor - Google Patents

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KR20170033131A
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곽보현
이상훈
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Abstract

The present invention relates to a stacker of a handler for testing a semiconductor device and the handler to which the corresponding stacker is applied. The stacker of a handler for testing a semiconductor device according to the present invention opens or closes the inside of the stacker by rotating a partial alignment member. Also, the handler according to the present invention includes a standby stacker on the lower side of a loading stacker or an unloading stacker. According to the present invention as described above, the operating rate of the handler can be greatly increased.

Description

반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커 및 반도체소자 테스트용 핸들러{STACKER OF HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR AND HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR} TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a stacker for a semiconductor device test handler and a handler for a semiconductor device test. BACKGROUND OF THE INVENTION < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 반도체소자를 테스트할 때 사용되는 반도체소자 테스트용 핸들러에 관한 것으로, 특히 고객트레이를 적재할 수 있는 스택커에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a handler for testing semiconductor devices used for testing semiconductor devices, and more particularly to a stacker capable of loading a customer tray.

반도체소자 테스트용 핸들러(이하 '핸들러'라 약칭 함)는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결한 후 테스트 결과에 따라 반도체소자를 분류하는 장비이다.A handler for testing a semiconductor device (hereinafter referred to as a 'handler') is a device for sorting semiconductor devices according to a test result after electrically connecting semiconductor devices manufactured through a predetermined manufacturing process to a tester.

핸들러는 대한민국 등록 특허 10-0815131호(이하 '종래기술'이라 함) 등을 통해 공개되어 있다.The handler is disclosed in Korean Patent Registration No. 10-0815131 (hereinafter referred to as "Prior Art").

일반적으로 핸들러는 로딩위치에 있는 테스트트레이로 테스트되어야 할 반도체소자를 로딩(Loading)하고, 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩(Unloading)한다. 이 때, 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩되는 반도체소자는 로딩 플레이트에 있는 고객트레이로부터 공급되고, 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 언로딩되는 반도체소자는 언로딩 플레이트에 있는 빈 고객트레이로 적재된다. 여기서 로딩 플레이트 및 언로딩 플레이트는 트랜스퍼에 의한 고객트레이의 공급 및 회수를 위해 승강 가능하게 구비되며, 주지한 기술이므로 그 설명을 생략한다. In general, a handler loads a semiconductor device to be tested with a test tray at a loading position, and unloads a tested semiconductor device from a test tray at an unloading position. At this time, the semiconductor elements to be loaded into the test tray at the loading position are supplied from the customer tray at the loading plate, and the semiconductor elements to be unloaded from the test tray at the unloading position are loaded into the empty customer tray at the unloading plate . Here, the loading plate and the unloading plate are provided so as to be able to move up and down in order to supply and recover the customer tray by transfer, and a description thereof will be omitted.

위와 같은 핸들러는 처리 용량의 확장 및 가동률을 상승시키기 위해, 로딩 플레이트에 위치시킬 다수의 고객트레이를 수용하는 로딩 스택커와 언로딩플레이트로부터 회수되는 다수의 고객트레이를 수용하는 언로딩 스택커를 구비한다. 또한, 핸들러는 언로딩 플레이트로 빈 고객트레이를 공급하기 위한 엠프티(empty) 스택커나 불량 판정된 반도체소자들이 적재된 고객트레이를 수용하기 위한 배드빈 스택커 등을 가진다. 물론, 임의적인 필요에 따라서 더 많은 종류의 스택커들을 가질 수 있다. Such a handler includes a loading stacker for receiving a plurality of customer trays to be placed on a loading plate and an unloading stacker for receiving a plurality of customer trays recovered from the unloading plate to increase the capacity of the processing and increase the operating rate do. In addition, the handler has an empty stacker for supplying empty customer trays to the unloading plate, and a bad bin stacker for accommodating customer trays loaded with defective semiconductor elements. Of course, you can have more kinds of stackers depending on your specific needs.

한편, 종래기술을 살펴보면 고객트레이(종래기술에는 '트레이'라고 명명됨)를 적재할 수 있는 로딩 스택커(종래기술에는 '로딩부'로 명명됨), 언로딩 스택커(종래기술에는 '언로딩부'로 명명됨), 엠프티스택커(종래기술에는 '엠프티적재부'로 명명됨) 등이 제시되어 있다. On the other hand, according to the related art, a loading stacker (referred to as a 'loading part' in the prior art) capable of loading a customer tray (referred to as a 'tray' in the prior art), an unloading stacker Loading section '), and an empty stacker (referred to as an " empty loading section " in the prior art).

그런데, 종래기술 및 공지 기술들에 의하면 로딩 스택커에 수용된 고객트레이들이 모두 소진되거나 언로딩 스택커에 고객트레이가 채워지면, 핸들러의 가동을 정지시킨 후 로딩 스택커로 고객트레이를 공급하거나 언로딩 스택커로부터 고객트레이를 수거한 후 핸들러를 재가동시켜야만 한다. 그리고 이러한 고객트레이의 공급 및 수거에 따른 일련의 작업은 수작업에 의해 이루어져야만 한다. However, according to the prior art and known technologies, when the customer trays accommodated in the loading stacker are exhausted or the customer tray is filled in the unloading stacker, the operation of the handler is stopped, and the customer tray is supplied with the loading stacker, After picking up the customer tray from the stacker, the handler must be restarted. And a series of operations related to the supply and collection of such a customer tray must be performed manually.

따라서 그만큼 핸들러의 가동률 및 처리 용량이 하락하게 된다.
Therefore, the operating rate and the processing capacity of the handler are reduced accordingly.

본 발명의 제1 목적은 핸들러의 가동 중에도 고객트레이를 공급하거나 수거하는 작업이 이루어질 수 있는 기술을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION A first object of the present invention is to provide a technique for supplying or collecting a customer tray even during operation of a handler.

더 나아가 본 발명의 제2 목적은 핸들러의 가동 중에도 자동 대차를 이용하여 고객트레이를 자동으로 공급하거나 회수할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
A second object of the present invention is to provide a technique for automatically supplying or retrieving a customer tray using an automatic bogie even during operation of a handler.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커는, 수직 방향으로 적재되는 고객트레이를 정렬시키기 위한 다수의 정렬부재; 및 상기 다수의 정렬부재 중 전방에 있는 특정 정렬부재를 정역 회전시킴으로써 전방 측으로 내부를 개방하여 고객트레이가 진출 또는 진입할 수 있도록 하거나 내부를 폐쇄시키는 회전기; 를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a stacker for a semiconductor device testing handler, comprising: a plurality of alignment members for aligning a customer tray to be stacked in a vertical direction; And a rotator for opening or closing the inside of the customer tray by forward and reverse rotation of a specific aligning member in front of the plurality of aligning members to open or close the customer tray or to close the inside of the customer tray; .

상기 특정 정렬부재가 결합되며, 수직선을 회전축으로 하여 회전 가능하게 구비되는 회전봉; 을 더 포함하고, 상기 회전기는 상기 회전봉을 회전시키는 회전원을 포함한다.
A rotation bar coupled to the specific alignment member and rotatable about a vertical line as a rotation axis; And the rotator includes a rotation source for rotating the rotation bar.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는, 로딩(Loading)위치, 테스트(Test)위치 및 언로딩(Unloading)위치를 거쳐 다시 상기 로딩위치로 이어지는 일정한 순환 경로를 순환하며, 반도체소자가 안착될 수 있는 테스트트레이; 상기 테스트트레이가 상기 로딩위치에 있을 때, 로딩 플레이트에 있는 고객트레이에서 상기 테스트트레이로 반도체소자를 로딩시키는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의한 반도체소자의 로딩이 완료된 후 상기 테스트위치로 온 상기 테스트트레이의 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치; 테스트가 완료된 후 상기 테스트위치로부터 상기 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩 플레이트에 있는 빈 고객트레이로 언로딩시키는 언로딩장치; 상기 로딩 플레이트로 공급될 고객 트레이들이 수용될 수 있는 로딩 스택커 부분; 상기 언로딩 플레이트에서 회수될 고객 트레이들이 수용될 수 있는 언로딩 스택커 부분; 및 상기한 각 구성들에 대하여 필요한 제어를 수행하는 제어장치; 를 포함하고, 상기 로딩 스택커 부분은, 상기 로딩 플레이트로 이송될 고객 트레이가 수용될 수 있는 로딩 스택커; 상기 로딩 스택커의 하방에 구비되어서 상기 로딩 스택커로 공급될 고객트레이가 대기하는 제1 대기 스택커; 및 상기 제1 대기 스택커에 적재된 고객트레이를 상승시켜 상기 로딩 스택커로 이동시키는 제1 이동기; 를 포함하며, 상기 언로딩 스택커 부분은, 상기 언로딩 플레이트로부터 회수된 고객 트레이가 수용될 수 있는 언로딩 스택커; 상기 언로딩 스택커의 하방에 구비되어서 상기 언로딩 스택커로부터 온 고객트레이가 대기하는 제2 대기 스택커; 및 상기 언로딩 스택커에 적재된 고객트레이를 하강시켜 상기 제2 대기 스택커로 이동시키는 제2 이동기; 를 포함한다.In order to accomplish the above object, a handler for testing a semiconductor device according to the present invention circulates a certain circulating path leading to the loading position via a loading position, a test position, and an unloading position, A test tray on which semiconductor elements can be placed; A loading device for loading a semiconductor device from a customer tray in the loading plate to the test tray when the test tray is in the loading position; A connecting device for electrically connecting the semiconductor device of the test tray to the tester after the loading of the semiconductor device by the loading device is completed; An unloading device for unloading the tested semiconductor device from the test tray to the empty customer tray in the unloading plate after the test is completed; A loading stacker portion through which the customer trays to be fed to the loading plate can be received; An unloading stacker portion in which customer trays to be withdrawn from the unloading plate can be received; And a control device for performing necessary control for each of the above configurations; Wherein the loading stacker portion comprises a loading stacker in which a customer tray to be transported to the loading plate can be received; A first waiting stacker provided below the loading stacker and waiting for a customer tray to be supplied to the loading stacker; And a first mobile unit for moving up the customer tray loaded on the first waiting stacker to the loading stacker; Wherein the unloading stacker portion comprises an unloading stacker capable of receiving a withdrawn customer tray from the unloading plate; A second waiting stacker provided below the unloading stacker and waiting for a customer tray from the unloading stacker; And a second mobile unit for moving the customer tray loaded on the unloading stacker to the second waiting stacker; .

상기 제1 이동기 또는 제2 이동기는, 적재된 고객트레이를 받치는 받침판; 및 상기 받침판을 승강시키는 승강원; 을 포함하고, 상기 로딩 스택커 또는 언로딩 스택커는 고객트레이를 지지하거나 지지를 해제할 수 있는 지지기; 를 포함한다.The first mobile unit or the second mobile unit includes: a support plate supporting the loaded customer tray; And an elevating unit for elevating and lowering the bed plate; Wherein the loading stacker or unloading stacker is capable of supporting or releasing the customer tray; .

상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커는 제1항에 따른 스택커로 구비된다.Wherein the first waiting stacker or the second waiting stacker is provided with the stacker according to claim 1.

상기 핸들러는 자동 대차와 통신하기 위한 통신모듈; 을 더 포함하고, 상기 제어장치는 상기 통신모듈을 통해 상기 자동 대차로부터 고객트레이의 공급 또는 수거 신호가 오면 상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커를 개방시킨다.The handler comprising: a communication module for communicating with an automatic bogie; And the control device opens the first standby stacker or the second standby stacker when a supply or collection signal of the customer tray comes from the automatic lane through the communication module.

상기 제어장치에 의한 상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커의 개방은 상기 로딩장치 및 언로딩장치의 작동과 무관하게 이루어진다.The opening of the first waiting stacker or the second waiting stacker by the control device is performed irrespective of the operation of the loading device and the unloading device.

상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커의 하방에는 상기 자동 대차에 구비되어서 고객트레이를 지지하는 지지기구가 출입할 수 있는 출입공간이 구비되어 있다.An access space is provided under the first or second waiting stacker to allow the support mechanism to support the customer tray.

상기 지지기구가 상기 출입공간으로 진입하기 전에 상기 지지기구의 위치를 결정하기 위해 마련되는 피감지체; 를 더 포함할 수 있다.A touch sensor provided to determine a position of the support mechanism before the support mechanism enters the access space; As shown in FIG.

상기 지지기구가 상기 출입공간으로 진입하기 시작한 후에 상기 지지기구의 위치를 결정하기 위해 마련되는 센서도그; 를 더 포함할 수 있다.A sensor dog provided to determine the position of the support mechanism after the support mechanism begins to enter the access space; As shown in FIG.

상기 핸들러는 자동 대차와 결합되기 위한 결합기; 를 더 포함하고, 상기 결합기는, 하우징; 및 상기 하우징에 설치되는 롤러들; 을 포함하며, 상기 롤러들 중 전방에 있는 롤러들 간의 간격은 후방에 있는 롤러들 간의 간격보다 넓다.
The handler comprising: a coupler for coupling with an automatic bogie; Wherein the coupler comprises: a housing; And rollers installed in the housing; Wherein the spacing between the rollers in front of the rollers is wider than the spacing between the rollers in the rear.

본 발명에 따르면 핸들러의 가동에 무관하게 핸들러로 고객트레이를 공급하거나 핸들러로부터 고객트레이를 수거할 수 있고, 고객트레이의 공급 및 수거 작업을 자동 대차를 이용해 자동으로 수행할 수 있다.According to the present invention, it is possible to supply the customer tray with the handler or to collect the customer tray from the handler regardless of the operation of the handler, and the supply and collection work of the customer tray can be automatically performed using the automatic bogie.

따라서 핸들러의 가동률 및 처리 용량이 상승하는 효과가 있다.
Therefore, the operating rate and the processing capacity of the handler are increased.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러에 대한 개념적인 평면 구성도이다.
도 2는 도 1의 핸들러의 특징 부위에 대한 개념적인 정면도이다.
도 3은 도 2에서 로딩 스택커 부분의 일부를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 4는 도 3에서 로딩 스택커를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 5는 도 3에서 지지기를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 6은 도 5의 지지기의 작동을 설명하기 위한 작동 상태도이다.
도 7은 도 3에서 제1 대기 스택커를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 8은 도 7의 제1 대기 스택커에서 개방대의 작동 상태를 설명하기 위한 작동 상태도이다.
도 9는 도 7에서 회전기를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 10은 도 3에서 제1 이동기를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 11은 자동 대차가 도 1의 핸들러로 이동한 모습을 보여주는 배치도이다.
도 12는 도 1의 핸들러에서 결합기를 발췌한 발췌도이다.
도 13은 도 1의 핸들러가 제1 대기 스택커를 개방시킨 모습을 보여주는 작동 상태도이다.
도 14는 도 1의 핸들러가 제1 대기 스택커를 폐쇄시킨 모습을 보여주는 작동 상태도이다.
도 15는 도 1의 핸들러가 로딩 스택커를 개방시킨 모습을 보여주는 작동 상태도이다.
도 16은 도 1의 핸들러에서 제1 이동기에 의해 고객트레이가 제1 대기 스택커에서 로딩 스택커로 이동된 모습을 보여주는 작동 상태도이다.
도 17은 본 발명의 핸들러에 호응하는 자동 대차에 대한 개념적인 구성도이다.
도 18은 도 17의 자동 대차에 적용된 수급장치를 발췌한 발췌사시도이다.
도 19는 도 18의 수급장치에 적용된 지지기를 발췌한 발췌사시도이다.
도 20는 도 19의 지지기의 작동 상태를 설명하기 위한 참조도이다.
도 21은 도 18의 수급장치에 적용된 수급기에 대한 발췌 사시도이다.
도 22는 도 21의 수급기에 적용된 제1 이동유닛에 대한 발췌 사시도이다.
도 23은 도 21의 수급기에 적용된 승강유닛에 대한 발췌 사시도이다.
도 24는 도 21의 수급기에 적용된 제2 이동유닛에 대한 발췌 사시도이다.
도 25는 도 17의 자동 대차에 적용된 결합장치를 발췌한 발췌 사시도이다.
도 26은 도 1의 핸들러에 적용된 결합기 도 17의 자동 대차에 적용된 결합장치 간의 결합 구조를 설명하기 위한 참조도이다.
도 27은 받침프레임에 의해 공급 스택커에 있는 고객트레이를 받친 상태를 보여주는 작동 상태도이다.
도 28은 고객트레이들이 공급 스택커의 하방으로 하강된 상태를 보여주는 작동 상태도이다.
도 29는 공급 스택커의 위치를 확인하기 위해 받침프레임이 후방으로 일정 거리 이동한 상태를 보여주는 작동 상태도이다.
도 30은 핸들러의 받침판에 고객트레이를 얹어놓은 상태를 보여주는 작동 상태도이다.1 is a conceptual plan view of a handler for testing a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a conceptual front view of the feature of the handler of Figure 1;
FIG. 3 is an exploded perspective view showing a part of the loading stacker portion in FIG. 2; FIG.
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a loading stacker in FIG. 3; FIG.
Fig. 5 is an exploded perspective view showing a supporting device in Fig. 3;
6 is an operational state diagram for explaining the operation of the supporter of Fig.
FIG. 7 is an exploded perspective view showing the first waiting stacker in FIG. 3; FIG.
8 is an operational state diagram for explaining the operating state of the open band in the first standby stacker of Fig.
Fig. 9 is an exploded perspective view of the rotating machine in Fig. 7; Fig.
FIG. 10 is an exploded perspective view of the first mobile device in FIG. 3; FIG.
Fig. 11 is a layout diagram showing an automatic lane moving to the handler of Fig. 1; Fig.
12 is an excerpt of a handler of Fig.
13 is an operational state diagram showing the handler of Fig. 1 opening the first waiting stacker.
14 is an operational state diagram showing the handler of FIG. 1 closing the first waiting stacker.
Fig. 15 is an operational state view showing the handler of Fig. 1 opening the loading stacker. Fig.
FIG. 16 is an operational state view showing a state in which the customer tray is moved from the first waiting stacker to the loading stacker by the first mobile unit in the handler of FIG. 1;
17 is a conceptual diagram of an automatic bogie corresponding to the handler of the present invention.
18 is an exploded perspective view showing an example of a water supply apparatus applied to the automatic lorry of FIG.
FIG. 19 is an exploded perspective view illustrating a support device applied to the water supply apparatus of FIG. 18; FIG.
Fig. 20 is a reference diagram for explaining the operating state of the supporting device in Fig. 19; Fig.
FIG. 21 is an exploded perspective view of a feeder applied to the water supply apparatus of FIG. 18; FIG.
22 is an exploded perspective view of the first moving unit applied to the receiver of FIG.
23 is an exploded perspective view of the elevating unit applied to the receiver of FIG.
24 is an exploded perspective view of the second moving unit applied to the receiver of FIG.
FIG. 25 is an exploded perspective view showing a coupling device applied to the automatic bogie of FIG. 17; FIG.
Fig. 26 is a reference diagram for explaining a coupling structure applied to the handler of Fig. 1 and a coupling structure applied to the automatic bogie of Fig. 17;
Fig. 27 is an operational state diagram showing a state in which the customer tray is supported by the support frame in the supply stacker.
28 is an operational state diagram showing the customer trays being lowered below the supply stacker;
29 is an operational state diagram showing a state in which the support frame moves backward a certain distance in order to confirm the position of the supply stacker.
30 is an operational state view showing a state in which a customer tray is placed on a base plate of a handler.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 참고로 설명의 간결함을 위해 공지되었거나 중복되는 설명이나 도면의 부호 표기는 가급적 생략하거나 압축한다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. For the sake of simplicity of explanation, it is preferable to omit or compress the notation of the known or duplicated description or drawings as much as possible.

<핸들러에 대한 설명><Description of Handlers>

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 핸들러(100)에 대한 개념적인 평면 구성도이다. 참고로 본 실시예에서의 핸들러(100)는 테스트트레이(TT)가 수직인 상태에서 반도체소자들이 테스터(TESTER)에 전기적으로 연결되는 구조를 가진다. 1 is a conceptual plan view of a handler 100 according to an embodiment of the present invention. For reference, the handler 100 in this embodiment has a structure in which semiconductor elements are electrically connected to a tester (TESTER) in a state where the test tray TT is vertical.

본 발명에 따른 핸들러(100)는 도 1에서와 같이, 테스트트레이(TT), 제1 핸드(110), 제1 챔버(120), 테스트챔버(130), 연결장치(140), 제2 챔버(150), 제2 핸드(160), 로딩 스택커 부분(170), 언로딩 스택커 부분(180), 기타 스택커 부분(190), 제어장치(CA) 및 통신모듈(CM)을 포함하고 있다.1, the handler 100 according to the present invention includes a test tray TT, a first hand 110, a first chamber 120, a test chamber 130, a connecting device 140, (150), a second hand (160), a loading stacker portion (170), an unloading stacker portion (180), other stacker portions (190), a control device (CA) and a communication module have.

테스트트레이(TT)는 대한민국 공개특허 10-2007-0088010호 등에서 참조되는 바와 같이 반도체소자가 안착될 수 있는 복수의 인서트가 다소 유동 가능하게 설치되며, 다수의 이송장치(미도시)에 의해 정해진 폐쇄경로(C)를 따라 순환한다.The test tray TT includes a plurality of inserts, to which a semiconductor device can be loaded, is installed to be somewhat flowable, as referred to in Korean Patent Laid-Open No. 10-2007-0088010, and a plurality of inserts (not shown) And circulates along the path (C).

제1 핸드(110)는 로딩 플레이트(LP) 상의 고객트레이(CT)에 적재되어 있는 테스트되어야 할 반도체소자들을 제1 위치(P1)에 있는 테스트트레이(TT)로 로딩(Loading)시킨다. 이러한 경우 제1 핸드(110)는 반도체소자들을 테스트트레이(TT)에 로딩시키는 로딩장치로서 기능하며, 제1 위치(P1)는 로딩위치(Loading Position)가 된다.The first hand 110 loads the semiconductor elements to be tested loaded in the customer tray CT on the loading plate LP into the test tray TT in the first position P 1 . In this case, the first hand 110 functions as a loading device for loading the semiconductor elements into the test tray TT, and the first position P 1 becomes the loading position.

제1 챔버(120)는 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트 환경조건에 따라 예열(豫熱) 또는 예냉(豫冷)시키기 위해 마련된다.The first chamber 120 is provided to preheat or precool the semiconductor devices loaded in the test tray TT according to test environment conditions.

테스트챔버(130)는 제1 챔버(120)에서 예열 또는 예냉된 후 테스트위치(TP : Test Position)로 이송되어 온 테스트트레이(TT)의 반도체소자들을 테스트하기 위해 마련된다.The test chamber 130 is provided to test the semiconductor elements of the test tray TT that have been preheated or precooled in the first chamber 120 and then transferred to a test position TP.

연결장치(140)는 테스트챔버(130) 내의 테스트위치(TP)에 있는 테스트트레이(TT)를 테스트챔버(130) 측에 결합되어 있는 테스터(TESTER) 측으로 밀어 테스트트레이(TT)에 적재된 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결시킨다.The connecting device 140 pushes the test tray TT in the test position TP in the test chamber 130 toward the tester TESTER coupled to the test chamber 130, Connect the devices to the tester electrically.

제2 챔버(150)는 테스트챔버(130)로부터 이송되어 온 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 가열 또는 냉각된 반도체소자들을 상온(常溫) 또는 상온에 가깝게 회귀시키기 위해 마련된다. The second chamber 150 is provided to return the heated or cooled semiconductor devices loaded on the test tray TT transferred from the test chamber 130 to room temperature or near room temperature.

제2 핸드(160)는 제2 위치(P2)로 온 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트 등급별로 분류하면서 언로딩 플레이트(UP) 상에 있는 빈 고객트레이(CT)로 언로딩(Unloading)시킨다. 이러한 경우 제2 핸드(180)는 반도체소자들을 테스트트레이(TT)로부터 언로딩시키는 언로딩장치로서 기능하며, 제2 위치(P2)는 언로딩위치(Unloading Position)가 된다.The second hand 160 is moved to the empty customer tray CT on the unloading plate UP while classifying the semiconductor elements loaded in the on test tray TT by the test grade in the second position P 2 Unloading. In this case, the second hand 180 functions as an unloading device for unloading the semiconductor elements from the test tray TT, and the second position P 2 becomes the unloading position.

위와 같은 구성을 가지는 핸들러(100)에서 테스트트레이(TT)는 제1 위치(P1), 테스트위치(TP) 및 제2 위치(P2)를 지나 다시 제1 위치(P1)로 이어지는 순환 경로(C)를 따라서 순환 이동한다.Test in the handler 100 with the configuration as above, the tray (TT) is the first position (P 1), testing position (TP) and a second position (P 2) to pass again the first position (P 1) leading to the circulation And cyclically moves along the path (C).

그리고 근래에 본 출원인에 의해 새로이 제안된 핸들러에서는, 테스트 모드에 따라서 테스트트레이(TT)가 순환 경로(C)의 역방향으로 순환 이동할 수도 있다. 이러한 경우, 제1 핸드(110)와 제2 핸드(160), 제1 챔버(120)와 제2 챔버(150)의 역할이 전환되며, 제2 위치(P2)가 로딩위치가 되고 제1 위치(P1)가 언로딩위치가 된다.Recently, in the handler newly proposed by the present applicant, the test tray TT may circulate in the reverse direction of the circulation path C in accordance with the test mode. In this case, the roles of the first hand 110 and the second hand 160, the first chamber 120 and the second chamber 150 are switched, the second position P 2 becomes the loading position, The position P 1 becomes the unloading position.

한편, 로딩 스택커 부분(170)은 로딩 플레이트(LP)로 공급될 고객트레이(CT)를 수용하기 위해 마련된다.On the other hand, the loading stacker portion 170 is provided to accommodate a customer tray (CT) to be fed to the loading plate (LP).

언로딩 스택커 부분(180)은 언로딩 플레이트(UP)로부터 회수되는 고객트레이(CT)를 수용하기 위해 마련된다.The unloading stacker portion 180 is provided to receive a customer tray (CT) that is withdrawn from the unloading plate UP.

본 발명은 위의 로딩 스택커 부분(170)과 언로딩 스택커 부분(180)에 특징이 있으며, 차후에 더 자세히 설명한다.The present invention is characterized by the loading stacker portion 170 and the unloading stacker portion 180 above and will be described in more detail below.

기타 스택커 부분(190)은 제1 엠프티 스택커(191), 제2 엠프티 스택커(192), 배드빈 스택커(193) 및 멀티 스택커(194) 등을 포함한다.The other stacker portion 190 includes a first empty stacker 191, a second empty stacker 192, a bad bin stacker 193, a multi-stacker 194, and the like.

제1 엠프티 스택커(191)에는 언로딩 플레이트(UP)로 공급될 빈 고객트레이들이 수용된다.The first empty stacker 191 receives empty customer trays to be supplied to the unloading plate UP.

제2 엠프티 스택커(192)에는 로딩 플레이트(LP)에서 반도체소자가 비워진 고객트레이들이 수용된다. 참고로 제2 엠프티 스택커(192)에 수용된 빈 고객트레이는 트랜스퍼(도시되지 않음)에 의해 제1 엠프티 스택커(191)로 이송된 후 언로딩 플레이트(UP)로 공급될 수 있다. In the second empty stacker 192, the customer trays in which the semiconductor elements are emptied from the loading plate LP are accommodated. For reference, the empty customer tray accommodated in the second empty stacker 192 may be transferred to the first empty stacker 191 by a transfer (not shown) and then supplied to the unloading plate UP.

배드빈 스택커(193)에는 테스트 결과 불량 판정된 반도체소자들이 적재된 고객트레이들이 수용된다.In the bad bin stacker 193, the customer trays loaded with the semiconductor elements determined to be defective as a result of the test are accommodated.

멀티 스택커(194)에는 양호 판정된 등급들의 반도체소자들 중 상대적으로 소량인 등급의 반도체소들이 적재된 고객트레이들이 수용된다.The multi-stacker 194 accommodates customer trays loaded with relatively small quantities of semiconductor chips among the semiconductor devices of the determined good grades.

제어장치(CA)는 위의 각 구성들 중 작동 가능한 구성들에 대하여 필요한 제어를 수행한다.The control device (CA) performs the necessary control for the operable configurations among the above configurations.

통신모듈(CM)은 고객트레이를 공급하거나 수거하는 자동 대차(300)와 무선 통신을 하기 위해 마련된다. 이러한 통신모듈(CM)은 핸들러(100)와 고객트레이(CT)의 물류를 총괄 관리하는 관리서버(MS) 간의 통신을 수행하는데 사용될 수도 있으며, 핸들러(100)와 관리서버(MS) 간의 통신은 유선 통신으로 구현될 수도 있다.The communication module (CM) is provided for wireless communication with an automatic bogie (300) for supplying or collecting a customer tray. This communication module CM may be used to perform communication between the handler 100 and a management server (MS) that collectively manages the logistics of the customer tray (CT), and the communication between the handler 100 and the management server And may be implemented as wired communication.

결합기(JA, 도 2 참조)는 자동 대차(300)와의 기구적 결합을 위해 마련되며, 차후에 더 자세히 설명한다.
The coupler JA (see FIG. 2) is provided for mechanical coupling with the automatic bogie 300 and will be described in detail later.

계속하여 도 2 이하를 참조하여 본 발명의 특징적인 부위인 로딩 스택커 부분(170)과 언로딩 스택커 부분(180)에 대하여 더 자세히 설명한다.The loading stacker portion 170 and the unloading stacker portion 180, which are characteristic portions of the present invention, will now be described in more detail with reference to FIG. 2 and below.

도 2는 도 1의 핸들러(100)의 특징 부위에 대한 개념적인 정면도이다.2 is a conceptual front view of a feature of the handler 100 of FIG.

도 2를 참조하면 로딩 스택커 부분(170)은 2개의 로딩 스택커(171), 2개의 제1 대기 스택커(172) 및 2개의 제1 이동기(173)를 포함한다. 그리고 언로딩 스택커 부분(180)은 2개의 언로딩 스택커(181), 2개의 제2 대기 스택커(182) 및 2개의 제2 이동기(183)를 포함한다. 그리고 언로딩 스택커 부분(180)의 우측에는 전술한 기타 스택커 부분(190)이 구비된다. 물론, 실시하기에 따라서는 로딩 스택커 부분에 로딩 스택커, 제1 대기 스택커 및 제1 이동 스택커가 1개 씩만 구비되거나 3개 이상씩 구비될 수도 있으며, 언로딩 스택커 부분도 언로딩 스택커, 제2 대기 스택커 및 제2 이동 스택커가 1개 씩만 구비되거나 3개 이상씩 구비될 수도 있다.Referring to Figure 2, the loading stacker portion 170 includes two loading stackers 171, two first idle stackers 172, and two first movers 173. The unloading stacker portion 180 includes two unloading stackers 181, two second standby stackers 182, and two second mover 183. On the right side of the unloading stacker portion 180, the above-described other stacker portion 190 is provided. Of course, depending on the implementation, only one loading stacker, a first waiting stacker, and a first moving stacker may be provided or three or more may be provided in the loading stacker portion, and the unloading stacker portion may also be provided in the unloading stack The second waiting stacker, and the second moving stacker may be provided one by one or three or more.

한편, 위의 2개의 로딩 스택커(171)와 2개의 언로딩 스택커(181)는 실질적인 구성이 동일하고, 위의 2개의 제1 대기 스택커(172)와 2개의 제2 대기 스택커(182)도 실질적인 구성이 동일하며, 위의 2개의 제1 이동기(173)와 2개의 제2 이동기(183)도 실질적인 구성이 동일하다. 따라서 각각 하나의 로딩 스택커(171), 하나의 제1 대기 스택커(172), 하나의 제1 이동기(173)에 대한 설명으로 나머지에 대한 설명을 갈음한다.On the other hand, the two loading stackers 171 and the two unloading stackers 181 are substantially the same in construction, and the two first standby stackers 172 and the two second standby stackers 182 are also substantially the same in configuration, and the two first mobile devices 173 and the two second mobile devices 183 are substantially the same in configuration. Therefore, the description of the remaining loading stacker 171, the first standby stacker 172, and the first mobile device 173 will be omitted.

도 3은 로딩 스택커 부분(170)의 일부를 발췌한 발췌 사시도이다. 도 3에서와 같이 로딩 스택커 부분(170)에는 로딩 스택커(171), 제1 대기 스택커(172) 및 제1 이동기(173)가 상호 유기적으로 배치되어 있다.
3 is an exploded perspective view showing a part of the loading stacker portion 170. FIG. As shown in FIG. 3, the loading stacker 171, the first waiting stacker 172, and the first mobile device 173 are disposed in a coordinated manner in the loading stacker portion 170.

1. 제1 로딩 스택커에 대한 설명1. Description of the first loading stacker

제1 대기 스택커(172)의 상방에 구비되는 로딩 스택커(171)를 발췌한 도 4에서와 같이 로딩 스택커(171)는 정렬부재(171a)들 및 한 쌍의 지지기(171b)를 포함한다.As shown in FIG. 4, which extracts a loading stacker 171 provided above the first waiting stacker 172, the loading stacker 171 includes alignment members 171a and a pair of supports 171b .

정렬부재(171a)들은 상하 방향으로 긴 봉 형태로 8개가 구비된다. 그리고 8개의 정렬부재(171a)들은 2개씩 한 조가 되어 로딩 스택커(171)에 수용된 고객트레이(CT)의 사각 귀퉁이를 정렬시키고, 한편으로는 제1 대기 스택커(172)에서 상방으로 상승하여 오는 고객트레이(CT)들의 상승 이동을 안내한다.The alignment members 171a are provided in the form of eight long bars in the vertical direction. The eight alignment members 171a are arranged in pairs to align the square corners of the customer tray CT housed in the loading stacker 171 and on the other hand to rise upward in the first waiting stacker 172 It will guide the upward movement of customer trays (CT) coming.

지지기(171b)는 도 5의 발췌 사시도에서와 같이 2개의 회전봉(171b-1), 4개의 지지부재(171b-2), 회전원(171b-3), 승강부재(171b-4) 및 2개의 전환부재(171b-5)를 포함한다.5, the supporting unit 171b includes two rotating rods 171b-1, four supporting members 171b-2, a rotating circle 171b-3, elevating members 171b-4 and 171b- Five switching members 171b-5.

2개의 회전봉(171b-1)은 상호 일정 간격 이격되어 있으며, 회전원(171b-3)의 작동에 따라서 상호 반대 방향으로 회전한다.The two rotating rods 171b-1 are spaced apart from each other at regular intervals and rotate in opposite directions in accordance with the operation of the rotating circle 171b-3.

4개의 지지부재(171b-2)는 2개씩 나누어져서 회전봉(171b-1)에 고정 설치된다. 따라서 지지부재(171b-2)는 회전봉(171b-1)의 회전에 연동하여 함께 회전한다.The four support members 171b-2 are divided into two and fixed to the rotation bar 171b-1. Therefore, the support member 171b-2 rotates together with the rotation of the rotation rod 171b-1.

회전원(171b-3)은 회전봉(171b-1)들의 회전에 필요한 회전력을 제공하기 위한 것으로서, 본 발명에서는 실린더로 구비되고 있으나, 실시하기에 따라서는 모터로 구비될 수도 있다.The rotation source 171b-3 is provided to provide a rotation force necessary for rotation of the rotation rods 171b-1. In the present invention, the rotation source 171b-3 is provided with a cylinder, but may be provided with a motor as required.

승강부재(171b-4)는 회전원(171b-3)의 작동에 따라 승강하며, 회전원(171b-3)의 직선 이동 동력을 2개의 전환부재(171b-5)로 전달한다.The elevating member 171b-4 ascends and descends according to the operation of the rotating circle 171b-3 and transmits the linear moving power of the rotating circle 171b-3 to the two switching members 171b-5.

2개의 전환부재(171b-5)는 2개의 회전봉(171b-1)에 각각 나뉘어 결합되며, 승강부재(171b-4)의 승강에 따라 회전함으로써 회전원(171b-3)의 직선 이동 동력을 회전봉(171b-1)들의 회전력으로 전환한다.The two switching members 171b-5 are respectively connected to the two rotating rods 171b-1 and rotated together with the lifting and lowering of the elevating member 171b-4 to move the linear moving power of the rotating circle 171b- (171b-1).

위와 같은 구성을 가지는 지지기(171b)는 회전봉(171b-1)의 회전 상태에 따라 도 6의 (a)에서와 같이 로딩 스택커(171)에 수용된 고객트레이(CT)를 지지하거나 도 6의 (b)에서와 같이 로딩 스택커(171)의 내부를 하방 측으로 개방한다. 만일 도 6의 (b)에서와 같이 로딩 스택커(171)의 내부가 하방 측으로 개방된 경우에는 하방의 제1 대기 스택커(172)에 있는 고객트레이(CT)가 상승 이동(화살표 a 참조)하여 로딩 스택커(171)의 내부로 이동할 수 있게 된다. 물론, 제 1 대기 스택커(172)에 있는 고객트레이(CT)가 상승하면 도 6의 (a)에서와 같이 지지기(171b)가 고객트레이(CT)를 지지하는 상태로 전환된다.The supporting device 171b having the above structure supports the customer tray CT accommodated in the loading stacker 171 as shown in Fig. 6 (a) according to the rotating state of the rotating rod 171b-1, the inside of the loading stacker 171 is opened downward as shown in FIG. 6 (b), when the inside of the loading stacker 171 is opened downward, the customer tray CT in the downward first waiting stacker 172 moves up (see arrow a) So that it can move into the loading stacker 171. Of course, when the customer tray CT on the first waiting stacker 172 rises, the support 171b is switched to a state supporting the customer tray CT as shown in FIG. 6 (a).

참고로 언로딩 스택커(181)에서도 지지기가 고객트레이(CT)를 지지하거나 언로딩 스택커(181)의 내부를 하방 측으로 개방한다. 이 때, 언로딩 스택커(181)의 내부가 하방 측으로 개방되면, 언로딩 스택커(181)에 수용된 고객트레이(CT)가 하방의 제1 대기 스택커(182)로 하강 이동할 수 있게 된다.For reference, also in the unloading stacker 181, the supporting device supports the customer tray CT or opens the inside of the unloading stacker 181 downward. At this time, when the inside of the unloading stacker 181 is opened downward, the customer tray CT accommodated in the unloading stacker 181 can move downward to the first waiting stacker 182 below.

2. 제1 대기 스택커에 대한 설명2. Explanation of the First Waiting Stacker

로딩 스택커(171)의 하방에 구비되는 제1 대기 스택커(172)는 도 7의 발췌 사시도에서와 같이 8개의 정렬부재(172a, RB, OB) 및 2개의 회전기(172b)를 포함한다.The first waiting stacker 172 provided below the loading stacker 171 includes eight alignment members 172a, RB, OB and two rotators 172b as in the extracting perspective of FIG.

8개의 정렬부재(172a, RB, OB)는 상하 방향으로 긴 후방의 4개의 정렬봉(172a)과 상하 방향으로 긴 전방의 2개의 회전봉(RB) 및 2개의 개방대(OB)로 구성된다.The eight alignment members 172a, RB and OB are constituted by four alignment rods 172a long in the vertical direction, two rotation rods RB long in the vertical direction and two open bars OB.

4개의 정렬봉(172b)은 2개씩 한 조가 되어 제1 대기 스택커(172)에 수용된 고객트레이(CT)의 후방 양 측 귀퉁이를 정렬시키고, 한편으로는 로딩 스택커(171)를 향해 상방으로 상승하는 고객트레이(CT)들의 상승 이동을 안내한다.The four alignment rods 172b are arranged in pairs to align the rear side corners of the customer tray CT housed in the first waiting stacker 172 and on the one hand toward the loading stacker 171 Guide the ascending movement of ascending customer trays (CTs).

2개의 회전봉(RB)은 설치축(IS)에 수직선(PL, 도 9 참조)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 설치되며, 제1 대기 스택커(172)에 수용된 고객트레이(CT)의 전단 좌우 양측을 정렬시킨다.The two rotation bars RB are rotatably installed on the installation axis IS with a vertical line PL (see Fig. 9) as a rotation axis. The two rotation rods RB are rotatably mounted on the front left and right sides of the customer tray CT housed in the first waiting stacker 172 .

2개의 개방대(OB)는 각각 2개의 회전봉(RB)에 나뉘어 결합되며, 2개의 회전봉(RB)의 회전에 연동하여 회전한다. 따라서 2개의 개방대(RB)의 회전 상태에 따라서 도 8의 (a)에서와 같이 제1 대기 스택커(172)를 폐쇄시키는 역할과 더불어 제1 대기 스택커(172)에 수용된 고객트레이(CT)의 전단을 정렬하여 고객트레이(CT)의 흐트러짐을 바로잡거나, 도 8의 (b)에서와 같이 제1 대기 스택커(172)의 내부를 전방 측으로 개방시킨다. 참고로 도 8의 (a)에서는 회전봉(RB)이 고객트레이(CT)의 전단 좌우 양측을 정렬시키고 있음을 확인할 수 있다. 물론, 회전봉(RB)이 고객트레이(CT)의 정렬 기능을 가지지 않도록 구성하는 것도 가능하다. The two open bars OB are divided into two rotation bars RB, respectively, and rotate in association with the rotation of the two rotation bars RB. Accordingly, in accordance with the rotation state of the two open bobbins RB, as well as the role of closing the first waiting stucker 172 as shown in Fig. 8 (a), the customer tray CT To correct the disturbance of the customer tray CT or to open the inside of the first waiting stacker 172 forward as shown in FIG. 8 (b). In FIG. 8 (a), it can be seen that the rotary bar RB aligns the front left and right sides of the customer tray CT. Of course, it is also possible that the rotation bar RB does not have the alignment function of the customer tray CT.

2개의 회전기(172b)는 2개의 개방대(OB)를 각각 서로 반대 방향으로 회전시키기 위해 마련된다. 따라서 상호 동일한 구성을 가지므로 하나의 회전기(172b)에 대한 설명으로 나머지에 대한 설명을 갈음한다.Two rotators 172b are provided to rotate the two open bars OB in opposite directions to each other. Therefore, since they have the same configuration, the description of the one rotator 172b is omitted in the explanation of the rest.

회전기(172b)는 도 9의 발췌 사시도에서와 같이 피니언(172b-1), 랙(172b-2), 회전원(172b-3), 진퇴부재(172b-4), 가이드봉(172b-5), 가이드부재(172b-6)를 포함한다.The rotator 172b includes a pinion 172b-1, a rack 172b-2, a rotation source 172b-3, a retracting member 172b-4, a guide rod 172b-5, And a guide member 172b-6.

피니언(172b-1)은 회전봉(RB)에 결합되어 있다. 물론, 실시하기에 따라서는 피니언이 회전봉에 일체로 형성될 수도 있다.The pinion 172b-1 is coupled to the rotation bar RB. Of course, depending on the implementation, the pinion may be integrally formed with the rotation bar.

회전원(172b-3)의 작동에 따라 랙(172b-2)은 전후 방향으로 이동하며, 피니언(172b-1)과 기어물림 되어 있다.The rack 172b-2 moves in the forward and backward direction by the operation of the rotation source 172b-3, and is gear-meshed with the pinion 172b-1.

회전원(172b-3)은 랙(172b-2)을 전후 방향으로 이동시키기 위한 실린더로 구비된다.The rotation source 172b-3 is provided as a cylinder for moving the rack 172b-2 in the forward and backward directions.

진퇴부재(172b-4)는 회전원(172b-3)의 작동에 따라 전후 이동 가능하게 구비되며, 랙(172b-2)이 결합되어 있다. The advancing / retracting member 172b-4 is movable back and forth in accordance with the operation of the rotation source 172b-3, and the rack 172b-2 is coupled.

가이드봉(172b-5)은 진퇴부재(172b-4)에 결합되어 있다.The guide rod 172b-5 is coupled to the advancing / retracting member 172b-4.

가이드부재(172b-6)에는 가이드구멍(GH)이 형성되어 있다. 이러한 가이드구멍(GH)에 가이드봉(172b-5)이 통과되게 설치된다. 여기서 가이드구멍(GH) 측에는 가이드부시(GB)가 설치되는 것이 바람직하다. A guide hole GH is formed in the guide member 172b-6. And the guide rod 172b-5 is installed to pass through the guide hole GH. Here, it is preferable that a guide bush GB is provided on the guide hole GH side.

따라서 회전원(172b-3)이 작동하면 랙(172b-2)이 전후 방향으로 이동하게 되고, 피니언(172b-1), 회전봉(RB) 및 개방대(OB)가 회전하여 도 8의 (a) 또는 (b)의 상태로 된다. 물론, 진퇴부재(172b-4)에 결합된 랙(172b-2)의 전후 직선 이동은 가이드봉(172b-5) 및 가이드부재(172b-6)에 의해 적절히 안내된다.Therefore, when the rotation source 172b-3 is operated, the rack 172b-2 is moved in the forward and backward directions, and the pinion 172b-1, the rotation bar RB and the open band OB rotate, ) Or (b). Of course, the back and forth linear movement of the rack 172b-2 coupled to the advancing / retreating member 172b-4 is properly guided by the guide rod 172b-5 and the guide member 172b-6.

만일 도 8의 (b)의 상태가 되면, 고객트레이(CT)가 전방에서 제1 대기 스택커(172)의 내부로 진입(화살표 b 참조)할 수 있게 된다.8B, the customer tray CT is allowed to enter the first waiting stacker 172 (see arrow b) from the front.

참고로 제2 대기 스택커(182)에서도 회전기의 작동 상태에 따라 제2 대기 스택커(182)가 전방 측으로 개방될 수 있으며, 이러한 경우 제2 대기 스택커(182)에 수용된 고객트레이(CT)가 제2 대기 스택커(182)의 내부에서 전방으로 인출될 수 있다.The second waiting stacker 182 may be opened to the front side depending on the operating state of the rotator in the second waiting stacker 182. In this case, the customer tray CT accommodated in the second waiting stacker 182 may be opened, May be withdrawn forwardly within the second atmosphere stacker 182.

또한, 모터를 회전봉의 상측 또는 하측에 설치하여, 모터에 의해 회전봉(172b-1)을 직접 회전시키는 구조도 충분히 고려될 수 있다.Further, a structure in which the motor is provided on the upper side or the lower side of the rotation bar and the rotation bar 172b-1 is directly rotated by the motor can be sufficiently considered.

한편 도7을 다시 참조하면, 제1 대기 스택커(172)들 및 제2 대기 스택커(182)들의 하측에는 자동 대차(300)에 구비되어서 고객트레이(CT)를 지지하는 지지기구인 받침프레임(313a-1, 도 22 참조)이 출입할 수 있는 출입공간(ES)이 구비되어 있다. 그리고 회전대(RB)의 전방에는 자동 대차(300)가 고객트레이(CT)의 공급위치를 파악할 수 있도록 하기 위해서, 자동 대차(300)에 의해 감지될 수 있는 피감지체(PS)가 구비된다. 물론, 자동 대차(300)의 받침프레임(313a-1)에는 피감지체(PS)를 감지할 수 있는 감지체(313a-5, 도 22 참조)가 구비된다. 따라서 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 진입하기 전에 먼저 감지체(313a-5)에 의해 피감지체(PS)를 감지하면서 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 정교하게 진입할 수 있는 상하 방향으로의 높이와 좌우 방향으로의 위치를 확인할 수 있다. 더 나아가 출입공간(ES)의 하측 전방에는 센서도그(SD)가 구비된다. 이러한 센서도그(SD)는 피감지체(PS)의 보조수단으로서 활용되며, 피감지체(PS)를 통해 확인된 좌우 방향으로의 위치를 더 정확하게 확인하기 위해 마련된다. 물론, 자동 대차(300)의 받침프레임(313a-1)에는 센서도그(SD)를 인식할 수 있는 말굽 형상의 감지기(313a-6)가 구비된다. 감지기(313a-6)는 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 진입함에 따라 센서도그(SD)의 상측에서 후방으로 이동하면서 받침프레임(313a-1)의 중심 위치를 확인할 수 있으며, 더불어 받침프레임(313a-1)이 후방으로 너무 깊이 진입하거나 덜 진입하는 문제를 방지하기도 한다.7, on the lower side of the first standby stacker 172 and the second standby stacker 182, a support frame (not shown) provided in the automatic bogie 300 for supporting the customer tray CT, (See FIG. 22) are provided in the access space ES. In order to allow the automatic bogie 300 to grasp the supply position of the customer tray CT at the front of the swivel base RB, there is provided a contact bogie PS which can be detected by the automatic bogie 300. [ Of course, the supporting frame 313a-1 of the automatic bogie 300 is provided with a sensing element 313a-5 (see Fig. 22) capable of sensing the touch sensor PS. Therefore, before the support frame 313a-1 enters the access space ES, the support frame 313a-1 senses the touch sensor PS by the sensing body 313a-5, The height in the up-and-down direction and the position in the left-to-right direction in which the user can precisely enter can be confirmed. Furthermore, a sensor dog SD is provided at the lower front side of the entry / exit space ES. The sensor dog SD is utilized as an auxiliary means of the touch sensor PS and is provided for more accurately confirming the position in the left and right direction confirmed through the touch sensor PS. Of course, the horseshoe shaped sensor 313a-6 capable of recognizing the sensor dog SD is provided in the receiving frame 313a-1 of the automatic bogie 300. [ The sensor 313a-6 can ascertain the center position of the base frame 313a-1 while moving from the top to the rear of the sensor dog SD as the base frame 313a-1 enters the access space ES , And also prevents the support frame 313a-1 from entering too deeply or too little backward.

즉, 피감지체(PS)는 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 진입하기 전에 받침프레임(313a-1)의 위치를 결정하기 위해 마련되며, 센서도그(SD)는 받침프레임(313a-1)이 출입공간(ES)으로 진입하기 시작한 후에 받침프레임(313a-1)의 위치를 결정하기 위해 마련된다.
That is, the touch surface sensor PS is provided for determining the position of the support frame 313a-1 before the support frame 313a-1 enters the entry / exit space ES, 1 is set to determine the position of the supporting frame 313a-1 after it starts to enter the entry space ES.

3. 제1 이동기에 대한 설명3. Description of the first mobile device

도 10의 발췌 사시도에서와 같이 제1 이동기(173)는 받침판(173a) 및 승강원(173b)을 포함한다.10, the first mobile device 173 includes a base plate 173a and a lift source 173b.

받침판(173a)은 고객트레이(CT)들을 받친다.The support plate 173a supports the customer trays (CTs).

승강원(173b)은 받침판(173a)에 받쳐진 고객트레이(CT)를 상승시켜 고객트레이(CT)를 제1 대기 스택커(172)에서 로딩 스택커(171)로 상승 이동시키는 동력을 제공한다. 이러한 승강원(173b)은 본 실시예에서처럼 실린더로서 구비될 수도 있지만, 모터로 구비될 수도 있다. 물론, 받침판(173a)은 승강원(173b)에 의해 승강(화살표 c 참조)되므로, 승강원(173b)에 의해 받침판(173a)이 다시 하강될 수 있다.The ascending power source 173b raises the customer tray CT supported on the support plate 173a to provide power for moving the customer tray CT from the first standby stacker 172 to the loading stacker 171 . Such a power source 173b may be provided as a cylinder as in the present embodiment, but may also be provided as a motor. Of course, since the support plate 173a is raised and lowered (see arrow c) by the lift member 173b, the lift plate 173a can be lowered again by the lift member 173b.

참고로, 제2 이동기(183)는 언로딩 스택커(181)에 있는 고객트레이(CT)를 제2 대기 스택커(182)로 하강 이동시키는데 사용된다.
For reference, the second mobile device 183 is used to move the customer tray CT in the unloading stacker 181 down to the second waiting stacker 182.

위와 같은 스택커들의 배치 구조에서는, 트랜스퍼(도시되지 않음)가 로딩 스택커(171)에 있는 고객트레이(CT)들을 로딩 플레이트(LP)로 이동시키고, 언로딩 플레이트(UP)에 있는 고객트레이(CT)는 언로딩 스택커(181)로 이동시킨다. 여기서 제1 대기 스택커(172)와 제2 대기 스택커(182)는 트랜스퍼의 작동과 직접적인 관련성이 없음을 알 수 있다. 따라서 트랜스퍼가 로딩 스택커(171)나 언로딩 스택커(181)에 대하여 작업을 수행 중인 경우에도 제1 대기 스택커(172)로 고객트레이(CT)가 공급되거나 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)가 수거될 수 있다. 즉, 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)는 로딩 스택커(171)나 언로딩 스택커(181)와 별개로 구비되며, 로딩장치(110), 언000(160) 및 트랜스퍼의 작동과 무관하게 고객트레이(CT)를 수용하기 위한 내부의 수용 공간을 전방으로 개폐할 수 있는 것이다. 물론, 제1 대기 스택커(172)로 공급된 고객트레이(CT)는 제1 이동기(173)에 의해 로딩 스택커(171)로 상승할 수 있고, 언로딩 스택커(181)에 수용된 고객트레이(CT)는 제2 이동기(183)에 의해 제2 대기 스택커(182)로 하강할 수 있다.
(Not shown) moves the customer trays (CT) in the loading stacker 171 to the loading plate LP and the customer trays (not shown) in the unloading plate UP CT) to the unloading stacker 181. Where it can be seen that the first and second waiting stackers 172 and 182 are not directly related to the operation of the transfer. The customer tray CT is supplied to the first waiting stacker 172 or the second waiting stacker 182 is supplied to the first waiting stacker 172 even if the transfer is performing operations on the loading stacker 171 or the unloading stacker 181. [ The customer tray (CT) can be collected. That is, the first waiting stacker 172 and the second waiting stacker 182 are provided separately from the loading stacker 171 and the unloading stacker 181, and the loading device 110, And an internal accommodating space for accommodating the customer tray (CT) can be opened and closed forward irrespective of the operation of the transfer. Of course, the customer tray CT supplied to the first waiting stacker 172 can be elevated to the loading stacker 171 by the first mobile device 173, (CT) may be lowered to the second waiting stacker 182 by the second mobile station 183. [

이어서 위와 같은 구성을 가지는 핸들러(100)의 작동에 대하여 설명한다.Next, the operation of the handler 100 having the above configuration will be described.

핸들러(100)는 작동 중에 센서를 통해 제1 대기 스택커(171) 또는 제2 대기 스택커(181)에 있는 고객트레이(CT)들의 물량을 지속적으로 파악한다. 만일 제1 대기 스택커(172)가 비워진 상태이거나 제2 대기 스택커(182)를 비워야 하는 상황이 오면, 핸들러(100)는 통신모듈(CM)을 통해 관리서버(MS)로 자신의 상황 정보를 전송한다. 이하에서는 제1 대기 스택커(172)가 비워진 경우를 예로 들어 설명한다.The handler 100 continuously monitors the quantity of customer trays (CT) in the first waiting stacker 171 or the second waiting stacker 181 via the sensor during operation. If the first standby stacker 172 is empty or the second standby stacker 182 is empty, the handler 100 sends its status information to the management server (MS) via the communication module (CM) . Hereinafter, the case where the first waiting stacker 172 is empty will be described as an example.

관리서버(MS)는 핸들러(100)로부터 온 상황 정보를 파악한 후 자동 대차(300)로 해당 핸들러(100)에 고객트레이(CT)를 공급해 줄 것을 요구한다.The management server MS grasps the situation information from the handler 100 and requests the automated teller 300 to supply the customer tray CT to the handler 100. [

자동 대차(300)는 관리서버(MS)로부터 받은 명령에 따라 기 입력되어 있거나 관리서버(MS)로부터 받은 해당 핸들러(100)의 좌표값을 이용하여 해당 핸들러(100)로 이동하여 도 11에서와 같이 핸들러(100)의 전방에 인접하게 위치한다. 도 11의 상태에서는 자동 대차(300)와 핸들러(100) 간에 직접 근거리 무선 통신이 가능하다.The automatic bogie 300 moves to the corresponding handler 100 by using the coordinate value of the corresponding handler 100 received from the management server MS according to a command received from the management server MS, Likewise, it is positioned adjacent to the front of the handler 100. In the state shown in FIG. 11, short range wireless communication is possible between the automatic bogie 300 and the handler 100 directly.

도 11의 상태에서 자동 대차(300)와 핸들러(100)는 안정되게 고객트레이(CT)를 이동시키기 위해 결합대(JB)와 결합기(JA)에 의해 상호 기구적으로 단단히 결합된다. 여기서 결합대(JB)는 자동 대차(300)에 구비된다. 그리고 핸들러(100)에는 도 2에서와 같이 그 하단 부근에 결합기(JA)가 구비된다.11, the automatic bogie 300 and the handler 100 are firmly and mechanically coupled to each other by the coupler JB and the coupler JA in order to stably move the customer tray CT. Here, the coupling base JB is provided in the automatic bogie 300. The handler 100 is provided with a coupler JA near its lower end as shown in FIG.

도 12는 핸들러(100)에서 결합기(JA)를 발췌한 발췌도이다.FIG. 12 is an excerpt of an extractor of the coupler JA in the handler 100. FIG.

도 12에서와 같이 결합기(JA)는 하우징(H)과 2개씩 좌우 양측으로 나뉘어 상호 이격되게 설치된 4개의 롤러(R1, R1', R2, R2')로 구성된다. 여기서 전방의 2개의 롤러(R1, R2) 간의 간격(L1)은 후방의 2개의 롤러(R1', R2')간의 간격(L2)보다 더 넓어서, 진입해 오는 결합대(JB)를 적절히 안내할 수 있도록 되어 있다. 물론, 후방의 2개의 롤러(R1', R2') 간의 간격(L2)은 결합대(JB)가 양 롤러(R1', R2') 사이에 끼일 수 있는 간격을 가지도록 하여 핸들러(100)와 자동 대차(300) 상호 간의 위치가 단단히 고정될 수 있도록 되어 있으며, 결합대(JB)가 양 롤러(R1', R2') 사이로 진입하면서 핸들러(100)와 자동 대차(300) 간의 틀어진 위치도 바로 잡힐 수 있다. 또한, 롤러(R1, R1', R2, R2')로 진입해 오는 결합대(JB)를 안내하게 함으로써 마찰도 감소될 수 있다.As shown in FIG. 12, the coupler JA is composed of four rollers R 1 , R 1 ', R 2 and R 2 ' separated from each other by a housing H and two left and right sides. The distance L 1 between the two front rollers R 1 and R 2 is wider than the distance L 2 between the rear two rollers R 1 'and R 2 ' JB) can be appropriately guided. Of course, the interval L 2 between the two rear rollers R 1 'and R 2 ' may be set such that the coupling band JB has an interval that can be held between the rollers R 1 'and R 2 ' handler 100 and the automatic balance 300, and is so that the positions of the cross can be firmly fixed, combined for (JB) by both rollers (R 1 ', R 2' ) while entering between the handler 100 and the automatic balance ( 300 can also be corrected. In addition, the friction can be reduced by guiding the coupling band JB coming into the rollers R 1 , R 1 ', R 2 and R 2 '.

참고로 자동 대차(300)가 핸들러(100)에 접근할 때, 감지에 의해 정확한 위치를 설정하는 것을 고려할 수도 있다. 그러나 고객트레이(CT)의 정확한 공급 및 수거를 위해서는 양자 간의 위치가 정밀하게 설정될 필요성이 있는데, 현재의 감지 기술의 수준과 자동 대차(300)의 관성 등으로 인해 감지만으로는 양자 간의 정밀한 위치 설정이 곤란하다. 따라서 결합기(JA)와 결합대(JB)라는 기구적인 도구를 사용하여 자동 대차(300)와 핸들러(100) 양자 간의 위치를 정밀히 설정하고 있다.For reference, when the automatic bogie 300 approaches the handler 100, it may be considered to set an accurate position by sensing. However, in order to accurately supply and collect the customer tray (CT), it is necessary to precisely set the position between the two. Due to the current level of sensing technology and the inertia of the automatic bogie 300, It is difficult. Therefore, the position between both the automatic bogie 300 and the handler 100 is precisely set by using a mechanical device such as a coupler JA and a coupler JB.

한편, 상호 결합이 완료되면 핸들러(100)의 제어장치(CA)는 도 13에서와 같이 개방대(OB)를 역회전 시켜 제1 대기 스택커(172)를 개방시킨다. 그리고 도 13의 상태에서 자동 대차(300)에 의해 고객트레이(CT)가 제1 대기 스택커(172)로 공급된다. 물론, 도 13의 상태에서도 핸들러(100)는 로딩 스택커(171)에 있는 여분의 고객트레이(CT)를 로딩 플레이트(LP)로 이동시키면서 계속 작업을 수행한다. 즉, 자동 대차(300)에 의한 고객트레이(CT)의 공급이나 수거를 위한 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 개방과는 무관하게 핸들러(100)는 제1 핸드(110)나 제2 핸드(160) 등을 작동시키면서 작업을 지속적으로 수행하는 것이다.On the other hand, when the mutual coupling is completed, the controller CA of the handler 100 rotates the open band OB to open the first waiting stacker 172 as shown in FIG. In the state of FIG. 13, the customer tray CT is supplied to the first waiting stacker 172 by the automatic bogie 300. Of course, even in the state of FIG. 13, the handler 100 continues to work while moving the extra customer tray CT in the loading stacker 171 to the loading plate LP. That is, regardless of the opening of the first waiting stacker 172 or the second waiting stacker 182 for supplying or collecting the customer tray CT by the automatic bogie 300, And the work is continuously performed while operating the hand 110 or the second hand 160 and the like.

제1 대기 스택커(172)로 고객트레이(CT)의 공급이 완료되면, 핸들러(100)의 제어장치(CA)는 개방대(OB)를 정회전시켜 도 14에서와 같이 제1 대기 스택커(172)를 폐쇄시킨다. 이어서 자동 대차(300)와 핸들러(100) 간의 결합이 해제되고 자동 대차(300)는 임무 완성 후 관리서버(MS)의 다음 지시를 수행하기 위해 떠난다. 물론, 도 14의 상태에서 자동 대차(300)는 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 작업을 연속적으로 더 수행할 수도 있다.When the supply of the customer tray CT to the first waiting stacker 172 is completed, the control device CA of the handler 100 rotates the open table OB to rotate the first waiting stacker 172, (172). The coupling between the automatic bogie 300 and the handler 100 is then released and the automatic bogie 300 leaves after the completion of the mission to perform the next instruction of the management server (MS). Of course, in the state of FIG. 14, the automatic bogie 300 may further consecutively perform the task of collecting the customer tray (CT) from the second waiting stacker 182.

한편, 로딩 스택커(171)가 모두 비워지면, 도 15에서와 같이 로딩 스택커(171)의 지지기(171b)가 작동하여 로딩 스택커(171)를 하방향으로 개방시키고, 도 16에서와 같이 제1 이동기(173)가 작동하여 받침판(173a)을 상승시킴으로써 제1 대기 스택커(172)에 수용된 고객트레이(CT)들을 로딩 스택커(171)로 상승 이동시킨다.On the other hand, when all of the loading stacker 171 is emptied, the supporting device 171b of the loading stacker 171 operates as shown in FIG. 15 to open the loading stacker 171 downward, The first moving device 173 is operated to raise the support plate 173a to move the customer trays CT accommodated in the first waiting stacker 172 to the loading stacker 171.

도 16의 상태에서 지지기(171b)가 로딩 스택커(171)의 하방을 폐쇄시키면, 제1 이동기(173)가 작동하여 받침판(173a)을 하강시키게 되고, 받침판(173a)의 하강과 함께 고객트레이(CT)들이 약간 하강하면서 지지기(171b)의 지지부재(171b-2)에 받쳐지게 된다.16, when the supporting device 171b closes the lower portion of the loading stacker 171, the first moving device 173 operates to lower the supporting plate 173a. With the lowering of the supporting plate 173a, The trays CT are slightly lowered and supported by the support member 171b-2 of the support 171b.

따라서 이전에 공급된 마지막 고객트레이(CT)가 트랜스퍼(도시되지 않음)에 의해 로딩 스택커(171)에서 로딩 플레이트(LP)로 이동하면서 제1 대기 스택커(172)에 있는 고객트레이(CT)들이 로딩 스택커(171)로 공급될 수 있기 때문에, 고객트레이(CT)의 공급 또는 수거와 무관하게 핸들러(100)는 지속적으로 작동될 수 있는 것이다.The customer tray CT in the first waiting stacker 172 moves while the last customer tray CT previously supplied is moved from the loading stacker 171 to the loading plate LP by a transfer (not shown) The handler 100 can be continuously operated irrespective of the supply or collection of the customer tray CT, since they can be supplied to the loading stacker 171.

한편, 언로딩 스택커(181)에 수용된 고객트레이(CT)를 자동 대차(300)가 수거해 가는 작업은 로딩 스택커(171)로 고객트레이(CT)를 공급하는 작업과 고객트레이(CT)의 흐름만 반대이고 제반 구성들의 작동은 동일하므로 그 설명을 생략한다.
On the other hand, the operation of collecting the customer tray (CT) accommodated in the unloading stacker 181 by the automatic lorry 300 includes the operation of supplying the customer tray CT to the loading stacker 171, And the operation of all the components is the same, so that the description thereof will be omitted.

4. 참고적인 사항4. References

위의 실시예에서 설명된 제1 대기 스택커(172)와 제2 대기 스택커(182)의 개방 구조는 로딩 스택커(171), 언로딩 스택커(181), 제1 엠프티 스택커(191), 제2 엠프티 스택커(192), 배드빈 스택커(193) 및 멀티 스택커(194) 등에도 얼마든지 적용될 수 있다. 특히 제1 엠프티 스택커(191)에는 자동 대차(300)에 의해 빈 고객트레이(CT)를 공급할 수 있도록 구현되는 것이 바람직하므로, 제1 엠프티 스택커(191)는 전방으로 개방되거나 폐쇄될 수 있도록 구성할 필요성이 있다. 마찬가지로 불량 판정된 반도체소자가 적재된 고객트레이(CT)가 수납되는 배드빈 스택커(193)도 전방으로 개방되거나 폐쇄될 수 있도록 구성함으로써, 자동 대차(300)에 의해 불량 반도체소자가 적재된 고객트레이(CT)를 배드빈 스택커(193)로부터 수거할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.The opening structure of the first and second waiting stackers 172 and 182 described in the above embodiment is similar to that of the loading stacker 171, the unloading stacker 181, the first empty stacker 182, 191, the second empty stacker 192, the bad bin stacker 193, and the multi-stacker 194. It is preferable that the first empty stacker 191 is provided so as to be able to supply an empty customer tray CT to the first empty stacker 191 by the automatic bogie 300. Therefore, There is a need to configure it. The bad bin stacker 193 in which the customer tray CT loaded with the semiconductor elements which have been judged to be defective is also opened can be opened or closed forwardly so that the customer who has the bad semiconductor elements loaded by the automatic bogie 300 It is desirable to be able to collect the tray CT from the bad bin stacker 193.

또한, 위의 실시예에서는 자동 대차(300)를 이용한 고객트레이(CT)의 자동 공급과 수거를 위해 제1 대기 스택커(172)와 제2 대기 스택커(182)가 전방으로 개방될 수 있도록 하고 있지만, 수작업에 의해 고객트레이(CT)를 공급하거나 수거하도록 구현되는 것을 고려한다면 제1 대기 스택커와 제2 대기 스택커가 서랍을 넣고 빼듯이 전방으로 인출될 수 있는 구조도 충분히 고려될 수 있다.
In addition, in the above embodiment, the first waiting stacker 172 and the second waiting stacker 182 can be opened forward for automatic supply and collection of the customer tray (CT) using the automatic bogie 300 However, considering that it is implemented to manually supply or collect the customer tray (CT) by hand, the structure in which the first waiting stacker and the second waiting stacker can be pulled forward as if the drawer is inserted and withdrawn can be sufficiently taken into consideration .

<자동 대차에 대한 설명><Description of Automatic Bogie>

이어서 위의 핸들러(100)에 고객트레이(CT)를 공급하거나 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 자동 대차(300)에 대하여 설명한다.An automatic bogie 300 for supplying a customer tray CT to the handler 100 or collecting a customer tray CT from the handler 100 will be described.

도 17은 위의 핸들러(100)로 고객트레이(CT)를 공급하거나 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거할 수 있는 자동 대차(300)에 대한 개념적인 구성도이다.17 is a conceptual diagram of an automatic bogie 300 capable of supplying a customer tray CT with the handler 100 or collecting a customer tray CT from the handler 100. Fig.

본 실시예에 따른 자동 대차(300)는 수급장치(310), 결합장치(320), 이동장치(330), 통신모듈(340) 및 제어장치(350)를 포함한다.The automatic bogie 300 according to the present embodiment includes a receiving device 310, a coupling device 320, a mobile device 330, a communication module 340, and a control device 350.

수급장치(310)는 3개의 공급 스택커(311), 2개의 수거 스택커(312) 및 수급기(313)를 포함한다.The supply apparatus 310 includes three supply stackers 311, two collection stackers 312, and a water supplier 313.

3개의 공급 스택커(311) 및 2개의 수거 스택커(312)는 각각 고객트레이(CT)를 수용할 수 있으며, 그 구조가 서로 동일하다. 따라서 1개의 공급 스택커(311)에 대한 설명으로 나머지들에 대한 설명을 갈음한다.The three supply stackers 311 and the two collection stackers 312 can respectively accommodate a customer tray CT, and their structures are identical to each other. Therefore, the description of one of the supply stackers 311 is omitted.

도 18의 발췌 사시도에서와 같이 공급 스택커(311)는 2개의 지지기(311a) 및 8개의 정렬부재(311b)들을 포함한다.As shown in the extracted perspective view of Fig. 18, the supply stacker 311 includes two support members 311a and eight alignment members 311b.

2개의 지지기(311a)는 수직 방향으로 적층된 고객트레이(CT)의 좌우 양단을 지지하거나 지지를 해제한다. 여기서 지지기(311a)에 의한 고객트레이(CT)의 지지 상태가 해제된 경우에는 고객트레이(CT)들이 하방으로 이동될 수 있다. 이러한 지지기(311a)들 각각은 도 19의 발췌 사시도에서와 같이 회전봉(311a-1), 2개의 지지부재(311a-2), 회전원(311a-3) 및 전환부재(311a-4)를 포함한다.The two supports 311a support and release the left and right ends of the vertically stacked customer tray CT. Here, when the supporting state of the customer tray CT by the supporting device 311a is released, the customer trays CT can be moved downward. Each of these supporting devices 311a is rotatably supported by a rotating rod 311a-1, two supporting members 311a-2, a rotating circle 311a-3 and a switching member 311a-4 as shown in an exploded perspective view of Fig. .

회전봉(311a-1)들은 상호 일정 간격 이격되어 있으며, 회전원(311a-3)의 작동에 따라서 상호 반대 방향으로 정역 회전한다. The rotating rods 311a-1 are spaced apart from each other at regular intervals and rotate in opposite directions in opposite directions according to the operation of the rotating circle 311a-3.

지지부재(311a-2)는 회전봉(311a-1)에 고정 설치된다. 따라서 지지부재(311a-2)들은 회전봉(311a-1)의 회전에 연동하여 함께 회전한다.The support member 311a-2 is fixed to the rotation bar 311a-1. Therefore, the support members 311a-2 rotate together with the rotation of the rotation bar 311a-1.

회전원(311a-3)은 회전봉(311a-1)의 회전에 필요한 회전력을 제공하기 위한 것으로서, 본 실시예에서는 실린더로 구비되고 있으나, 실시하기에 따라서는 모터로 구비될 수도 있다. 또한, 본 실시예에서는 하나의 회전봉(311a-1)에 하나의 회전원(311a-3)을 구비하고 있지만, 실시하기에 따라서는 하나의 회전원으로 2개의 회전봉을 정역 회전시키도록 구현될 수도 있다.The rotation source 311a-3 is provided to provide rotation force necessary for rotation of the rotation bar 311a-1. In this embodiment, the rotation source 311a-3 is provided as a cylinder, but may be provided as a motor. In this embodiment, one rotating rod 311a-1 is provided with one rotating circle 311a-3, but it may be implemented to rotate two rotating rods in one rotating direction have.

전환부재(311a-4)는 회전봉(311a-1)에 각각 나뉘어 결합되며, 회전원(311a-3)의 작동에 따라 회전함으로써 회전원(311a-3)의 직선 이동 동력을 회전봉(311a-1)의 회전력으로 전환한다.The switching member 311a-4 is coupled to the rotation bar 311a-1 and rotates in accordance with the operation of the rotation source 311a-3 so that the linear movement power of the rotation source 311a- ).

위와 같은 구성을 가지는 지지기(311a)는 회전봉(311a-1)의 회전 상태에 따라 도 20의 (a)에서와 같이 공급 스택커(311)에 수용된 고객트레이(CT)를 지지하거나 도 20의 (b)에서와 같이 공급 스택커(311)의 수용 공간(AS)을 하방 측으로 개방한다. 만일 도 20의 (b)에서와 같이 공급 스택커(311)의 수용 공간(AS)이 하방 측으로 개방된 경우에는 고객트레이(CT)들이 수급기(313)에 의해 하방으로 이동(화살표 d 참조)할 수 있게 된다.The supporting device 311a having the above structure supports the customer tray CT accommodated in the supply stacker 311 as shown in FIG. 20 (a) or the supporting tray 311a according to the rotation state of the rotation bar 311a- the accommodating space AS of the supply stacker 311 is opened downward as shown in Fig. 20 (b), when the receiving space AS of the supply stacker 311 is opened downward, the customer trays CT move downward (see arrow d) by the receiver 313, .

참고로 수거 스택커(312)에서도 지지기가 고객트레이(CT)를 지지하거나 수거 스택커(312)의 수용 공간을 하방 측으로 개방한다. 이 때, 수거 스택커(312)의 수용 공간이 하방 측으로 개방되면, 수급기(313)에 의해 핸들러(100)로부터 수거되어 온 고객트레이(CT)들이 상방 이동할 수 있게 된다. 이 때, 수급기(313)에 의해 고객트레이(CT)들의 상방 이동이 완료되면, 지지기는 고객트레이(CT)들을 지지하는 상태로 전환된다.For reference, also in the collection stacker 312, the supporting device supports the customer tray CT or opens the receiving space of the collection stacker 312 downward. At this time, when the receiving space of the collection stacker 312 is opened downward, the customer trays CT collected from the handler 100 by the receiver 313 can be moved upward. At this time, when the upward movement of the customer trays CT is completed by the receiver 313, the supporting apparatus is switched to a state supporting the customer trays CT.

또한, 본 실시예에서는 공급 스택커(311)와 수거 스택커(312)를 나누고 있지만, 스택커를 비운 후 수거된 고객트레이(CT)를 비워진 스택커에 수용하도록 구현된 경우에는 공급 스택커와 수거 스택커의 구분이 없게 된다.Further, in the present embodiment, although the supply stacker 311 and the collection stacker 312 are divided, if the customer tray CT collected after emptying the stacker is accommodated in the empty stacker, There is no distinction of collection stacker.

정렬부재(311b)들은 상하 방향으로 긴 봉 형태로 8개가 구비된다. 그리고 8개의 정렬부재(311b)들은 2개씩 한 조가 되어 공급 스택커(311)에 수용된 고객트레이(CT)의 사각 귀퉁이를 정렬시키고, 한편으로는 하방으로 이동하는 고객트레이(CT)들의 하강 이동을 안내한다. 물론, 수거 스택커(312)에서는 정렬부재들이 상방으로 이동하는 고객트레이(CT)들의 상승 이동을 안내한다.The alignment members 311b are provided in the shape of eight long bars in the vertical direction. The eight aligning members 311b are arranged in pairs so that the square corners of the customer tray CT accommodated in the supply stacker 311 are aligned and the descending movement of the customer trays CT moving downward Guide. Of course, in the collection stacker 312, the alignment members guide the upward movement of the customer trays (CT) moving upward.

수급기(313)는 공급 스택커(311)로부터 고객트레이(CT)를 인출하여 핸들러(100)의 제1 대기 스택커(172)로 공급하고, 핸들러(100)의 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)를 수거하여 수거 스택커(112)에 수용시킨다. 이러한 수급기(313)는 도 21의 발췌 사시도에서와 같이 제1 이동유닛(313a), 승강유닛(313b) 및 제2 이동유닛(313c)을 포함한다.The feeder 313 fetches the customer tray CT from the supply stacker 311 and supplies it to the first standby stacker 172 of the handler 100 and the second standby stacker 182 of the handler 100 Collects the customer trays CT in the collection stacker 112. This receiving device 313 includes a first moving unit 313a, an elevating unit 313b and a second moving unit 313c as shown in an exploded perspective view of Fig.

제1 이동유닛(313a)은 도 22의 발췌 사시도에서와 같이 받침프레임(313a-1), 제1 이동기구(313a-2), 설치프레임(313a-3), 승강판(313a-4), 감지체(313a-5), 감지기(313a-6) 및 식별기(313a-7)를 포함한다.The first moving unit 313a includes a supporting frame 313a-1, a first moving mechanism 313a-2, an installation frame 313a-3, a lifting plate 313a-4, Includes a sensing element 313a-5, a sensor 313a-6, and an identifier 313a-7.

받침프레임(313a-1)은 고객트레이(CT)를 받치며, 전후 방향으로 이동 가능하게 마련된다. 이러한 받침프레임(313a-1)은 한 쌍의 받침바(bar)를 가진다.The support frame 313a-1 supports the customer tray CT and is movable in the front-rear direction. The support frame 313a-1 has a pair of support bars.

한 쌍의 받침바(bar)는 고객트레이(CT)의 좌우 양측을 균형 있게 받치기 위해 상호 간에 일정 간격(D) 이격된다. 여기서 한 쌍의 받침바(bar) 간의 간격(D)은 핸들러(100)의 제1 이동기(173)나 제2 이동기(183)에 구비된 고객트레이(CT)를 받치는 받침판(173a)이 한 쌍의 받침바(bar) 사이에 위치될 수 있도록 확보되는 것이 바람직하다. A pair of support bars are spaced apart from each other by a predetermined distance D to balance the left and right sides of the customer tray CT. Herein, the distance D between the pair of support bars is set such that the pair of support plates 173a that support the customer tray CT provided in the first mobile unit 173 of the handler 100 or the second mobile unit 183 It is preferable to ensure that it can be positioned between the support bars of the support frame.

제1 이동기구(313a-2)는 받침프레임(313a-1)을 전후 방향으로 이동시킨다. 따라서 받침프레임(313a-1)에 받쳐진 고객트레이(CT)들이 전후 방향으로 이동될 수 있다. 이러한 제1 이동기구(313a-2)는 다양한 형태로 구현될 수 있지만, 본 실시예에서는 모터(M1), 벨트(B1) 및 한 쌍의 레일(RL)로 구성되었다.The first moving mechanism 313a-2 moves the supporting frame 313a-1 in the front-rear direction. Therefore, the customer trays (CT) supported by the supporting frame 313a-1 can be moved in the back and forth direction. The first moving mechanism (313a-2) may be implemented in a variety of forms but, in the present embodiment has a motor (M 1), the belt (B 1) and the rail (RL) of the pair.

설치프레임(313a-3)은 전후 방향으로 이동 가능하게 승강판(313a-4)에 결합되며, 제1 이동기구(313a-2)가 설치된다.The mounting frame 313a-3 is coupled to the lift plate 313a-4 so as to be movable in the front-rear direction, and a first moving mechanism 313a-2 is provided.

승강판(313a-4)은 승강 가능하게 구비되며, 제1 이동기구(313a-2)가 설치된다. 따라서 승강판(313a-3)의 승강에 따라 설치프레임(313a-3), 제1 이동기구(313a-2) 및 받침프레임(313a-1)이 승강하게 된다. 여기서 승강판(313a-4)은 전후 이동되지 않는다.The lifting plate 313a-4 is provided so as to be movable up and down, and a first moving mechanism 313a-2 is provided. Therefore, the mounting frame 313a-3, the first moving mechanism 313a-2, and the supporting frame 313a-1 are raised and lowered with the lifting and lowering of the lifting plate 313a-3. Here, the lifting plate 313a-4 is not moved back and forth.

한편, 벨트(B1)의 일 측(P0)은 받침프레임(313a-1)과 결합되어 있고, 벨트(B1)의 타 측(Pa)은 결합부재(JE)에 의해 승강판(313a-4)에 결합되어 있다. 따라서 모터(M1)가 정역작동하면, 고정된 승강판(313a-4)에 대하여 설치프레임(313a-3)이 전후 이동하게 되고, 받침프레임(313a-1)도 설치프레임(313a-3)에 대하여 전후 이동하게 된다. 이러한 구조는 한정된 전후 폭을 가지는 자동 대차(300)에서 받침프레임(313a-1)이 전후 방향으로 충분히 이동할 수 있는 이동 거리를 가지게 하기 때문에 바람직하게 고려될 수 있다.On the other hand, one side P 0 of the belt B 1 is coupled with the support frame 313a-1, and the other side P a of the belt B 1 is coupled to the lifting plate 313a-4. Therefore, the motor (M 1) that when the forward and reverse operation, the installation frame (313a-3) with respect to a fixed W plate (313a-4) is moved forward and backward, supporting frames (313a-1) is also the installation frame (313a-3) As shown in Fig. This structure can be preferably considered because the supporting frame 313a-1 in the automatic bogie 300 having a limited front and rear width has a moving distance enough to move back and forth.

감지체(313a-5)는 핸들러(100)에 있는 피감지체(PS)를 감지하기 위해 마련된다. 이를 위해 감지체(313a-5)는 받침프레임(313a-1)의 받침바(bar) 후단에 구비된다. 따라서 받침프레임(313a-1)이 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 내부로 진입하기 전에 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 정확한 진입 위치를 결정할 수 있다.The sensing element 313a-5 is provided for sensing the touch sensor PS in the handler 100. [ For this, the sensing element 313a-5 is provided at the rear end of the support bar of the support frame 313a-1. Thus, before the support frame 313a-1 enters the interior of the first or second standby stacker 172 or 182, the first or second standby stacker 172, The correct entry position can be determined.

감지기(313a-6)는 하방으로 개방된 말굽형태로서 핸들러(100)의 센서도그(SD)를 감지한다. 이러한 감지기(313a-6)를 통해 받침프레임(313a-1)이 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 내부로 진입을 시작한 후 받침프레임(313a-1)의 좌우 위치를 확인하고 적절한 좌우 위치를 결정할 수 있다. 또한, 감지기(313a-6)를 통해 받침프레임(313a-1)의 과도한 진입이나 과소한 진입 상태를 확인할 수도 있기 때문에 받침프레임(313a-1)의 적절한 진입을 결정할 수 있다.The sensor 313a-6 senses the sensor dog SD of the handler 100 as a horseshoe shape opening downward. After the start frame 313a-1 starts to enter the inside of the first waiting stacker 172 or the second waiting stacker 182 through the sensor 313a-6, You can determine the position and determine the appropriate left and right position. In addition, it is possible to check whether the support frame 313a-1 is excessively or underexposed through the sensor 313a-6, so that the proper entry of the support frame 313a-1 can be determined.

즉, 감지체(313a-5) 및 감지기(313a-6)로 인해 자동 대차(300)가 제1 대기 스택커(172)로 고객트레이(CT)를 정확하게 공급하거나 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)를 정확하게 수거할 수 있다. That is, due to the sensing element 313a-5 and the sensor 313a-6, the automatic bogie 300 accurately supplies the customer tray CT to the first waiting stucker 172 or the second waiting stucker 182, It is possible to collect the customer tray (CT) accurately.

식별기(313a-7)는 받침프레임(313a-1)에 고객트레이(CT)가 적재되어 있는지 여부를 식별한다.The identifier 313a-7 identifies whether or not the customer tray CT is loaded on the receiving frame 313a-1.

승강유닛(313b)은 승강판(313a-4)을 승강시키기 위해 마련된다. 이를 위해 승강유닛(313b)은 도 23의 발췌 사시도에서와 같이 결합부재(313b-1), 승강기구(313b-2), 설치판(313b-3) 및 이동판(313b-4)을 포함한다.The elevating unit 313b is provided for raising and lowering the elevating plate 313a-4. To this end, the elevating unit 313b includes an engaging member 313b-1, an elevating mechanism 313b-2, a mounting plate 313b-3 and a moving plate 313b-4 as shown in an exploded perspective view of Fig. .

결합부재(313b-1)는 승강 가능하게 구비되며, 승강판(313a-4)과 결합된다. 따라서 결합부재(313b-1)가 승강함에 따라 승강판(313a-4)도 함께 승강하게 된다.The engaging member 313b-1 is provided so as to be movable up and down, and is engaged with the lift plate 313a-4. Therefore, the lifting plate 313a-4 also ascends and descends as the engaging member 313b-1 ascends and descends.

승강기구(313b-2)는 결합부재(313b-1)를 승강시킨다. 물론, 승강기구(313b-2)도 다양한 형태로 구현될 수 있지만, 본 실시예에서는 모터(M2), 스크류축(SS) 및 레일(R2)로 구성되었다. 이러한 승강기구(313b-2)는 상대적으로 하측에 있는 제1 대기 스택커(171)나 제2 대기 스택커(181)의 내부로 받침프레임(313a-1)이진입할 수 있도록 하거나 상대적으로 상측에 있는 제1 엠프티 스택커(191), 제2 엠프티 스택커(192), 배드빈 스택커(193) 및 멀티 스택커(194)의 내부로 받침프레임(313a-1)이 진입할 수 있도록 받침프레임(313a-1)의 높이를 결정한다. The elevating mechanism 313b-2 lifts the engaging member 313b-1. Of course, the elevating mechanism 313b-2 can be implemented in various forms, but in the present embodiment, it is composed of the motor M 2 , the screw shaft SS and the rail R 2 . The elevating mechanism 313b-2 is configured to allow the supporting frame 313a-1 to be inserted into the relatively lower first waiting stacker 171 or the second waiting stacker 181, 1 can be entered into the first empty stacker 191, the second empty stacker 192, the bad bin stacker 193 and the multi-stacker 194 in the first stacker 191, The height of the support frame 313a-1 is determined.

설치판(313b-3)은 그 하단이 이동판(313b-4)에 결합되며, 승강기구(313b-2)가 설치된다.The lower end of the mounting plate 313b-3 is coupled to the moving plate 313b-4, and the elevating mechanism 313b-2 is installed.

이동판(313b-4)은 좌우 방향으로 이동 가능하게 구비된다. 따라서 이동판(313b-4)의 좌우 이동에 따라 설치판(313b-3), 승강기구(313b-2) 및 승강기구(313b-2)에 결합된 제1 이동유닛(313a)이 좌우 방향으로 함께 이동한다.The moving plate 313b-4 is provided movably in the left-right direction. The first moving unit 313a coupled to the mounting plate 313b-3, the elevating mechanism 313b-2 and the elevating mechanism 313b-2 is moved in the left-right direction as the moving plate 313b- Move together.

제2 이동유닛(313c)은 설치판(313b-3)을 좌우 방향으로 이동시킨다. 이를 위해 제2 이동유닛(313c)은 도 24의 발췌 사시도에서와 같이 모터(313c-1), 스크류축(313c-2), 한 쌍의 레일(313c-3) 및 좌우이동체(313c-4)를 포함한다. 좌우이동체(313c-4)에는 이동판(313b-4)이 결합되어 있기 때문에, 모터(313c-1)가 동작하여 스크류축(313c-2)이 회전하면 좌우이동체(313c-4)가 한 쌍의 레일(313c-3)에 안내되면서 좌우 방향으로 이동하고, 이에 연동하여 승강유닛(313b) 및 제1 이동유닛(313a)이 좌우 방향으로 이동하게 된다.And the second moving unit 313c moves the mounting plate 313b-3 in the left-right direction. To this end, the second moving unit 313c includes a motor 313c-1, a screw shaft 313c-2, a pair of rails 313c-3, and a left and right moving member 313c- . When the motor 313c-1 is operated and the screw shaft 313c-2 is rotated, the left and right moving bodies 313c-4 are coupled to the pair of left and right moving bodies 313c-4 The elevating unit 313b and the first moving unit 313a are moved in the left and right direction while being guided by the rails 313c-3 of the elevating unit 313c-3.

위의 수급장치(310) 및 수급기(313)는 핸들러(100)로 고객트레이(CT)를 공급하는 기능 측면에서 볼 때에는 각각 공급장치 및 공급기로 명명될 수 있고, 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 기능 측면에서 볼 때에는 각각 수거장치 및 수거기로 명명될 수 있다. 즉, 본 실시예에서는 자동 대차(300)가 수급장치(310)에 의해 핸들러(100)로 고객트레이(CT)를 공급하거나 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하도록 구현되고 있지만, 핸들러(100)로 고객트레이(CT)를 공급하는 기능만을 가지는 자동 대차와 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 기능만을 가지는 자동 대차로 얼마든지 나뉘어 구현될 수도 있다.The receiving device 310 and the receiving device 313 may be referred to as a supplying device and a supplying device in terms of the function of supplying the customer tray CT to the handler 100, In terms of the function of collecting the CTs, can be named collectors and receivers, respectively. That is, in this embodiment, although the automatic bogie 300 is implemented to supply the customer tray CT to the handler 100 by the receiving device 310 or to collect the customer tray CT from the handler 100, An automatic boggling having only a function of supplying a customer tray (CT) to the mobile terminal 100 and an automatic boggling having only a function of collecting a customer tray (CT) from the handler 100 can be realized.

결합장치(320)는 핸들러(100)와 자동 대차(300) 간의 상호 위치를 고정시키기 위해 마련된다. 이를 위해 결합장치(320)는 도 25의 발췌 사시도에서와 같이 2개의 결합대(JB) 및 2개의 이동기구(322)를 포함한다.The coupling device 320 is provided to fix the mutual position between the handler 100 and the automatic bogie 300. [ To this end, the coupling device 320 includes two coupling bases JB and two movement mechanisms 322 as shown in the exploded perspective view of Fig.

2개의 결합대(JB)는 핸들러(100) 방향으로 긴 봉의 형태로서 그 후단이 핸들러(100) 측으로 이동하여 핸들러(100)에 있는 결합기(JA)의 하우징(H) 내부로 진입하거나 빠질 수 있다. 결합대(JB)가 하우징(H)의 내부로 진입할 때, 결합대(JB)의 후단은 도 26에서와 같이 전단의 롤러(R1, R2)들에 의해 적절히 진입이 안내된 후 후단의 롤러(R1', R2')들 사이에 끼워지게 된다. The two coupling bands JB are long rods in the direction of the handler 100 and the rear end thereof moves toward the handler 100 to enter or exit into the housing H of the coupler JA in the handler 100 . When the coupling base JB enters the inside of the housing H, the rear end of the coupling base JB is appropriately guided by the rollers R 1 and R 2 at the front end as shown in FIG. 26, Is inserted between the rollers (R 1 ', R 2 ').

2개의 이동기구(322)는 각각 한 개씩의 결합대(JB)를 핸들러(100) 측으로 이동시키거나 반대 방향으로 이동시킨다. 이러한 이동기구(322)는 2개의 로드리스 실린더(322a, 322b)로 구비될 수 있다. 부호 322a의 로드리스 실린더는 결합대(JB)의 후단이 결합기(JA)에 진입되기 전까지 결합대(JB)를 고속으로 이동시키고, 부호 322b의 로드리스 실린더는 결합대(JB)의 후단이 결합기(JA)의 하우징(H) 내부로 저속 진입하도록 한다.The two moving mechanisms 322 move one coupling bar JB toward the handler 100 or move them in the opposite direction. The moving mechanism 322 may be provided with two rodless cylinders 322a and 322b. The rodless cylinder 322a moves the coupling base JB at a high speed until the rear end of the coupling base JB enters the coupler JA and the rodless cylinder 322b has the rear end of the coupling base JB, To enter the housing (H) of the engine (JA) at a low speed.

이동장치(330)는 수급장치(310), 결합장치(320), 통신모듈(340) 및 제어장치(350)가 탑재되어 있으며, 제어장치(350)의 제어에 의해 요구된 목표 지점에 자동으로 이동할 수 있다. 이러한 자동 대차(300)의 무인 자동 이동과 관련된 기술은 주지된 기술이므로 그 설명을 생략한다.The mobile device 330 is equipped with a receiving device 310, a coupling device 320, a communication module 340 and a control device 350. The mobile device 330 is automatically placed at a target point required by the control of the control device 350 Can be moved. Since the technique relating to the automatic unmanned automatic movement of the automatic bogie 300 is a well-known technique, its description will be omitted.

통신모듈(340)은 핸들러(100)와 직접 통신하거나 관리서버(MS)와 통신하기 위해 마련된다. 특히, 통신모듈(340)은 자동 대차(300)가 핸들러(100)와 근접 거리에 있을 때, 자동 대차(300)가 핸들러(100)와 직접 무선 교신함으로써 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)의 개방을 요구할 수 있도록 한다.The communication module 340 is provided to directly communicate with the handler 100 or to communicate with the management server (MS). Particularly, when the automatic bogie 300 is in close proximity to the handler 100, the communication module 340 directly communicates with the handler 100 by radio communication with the first bogie stacker 172, 2 &lt; / RTI &gt; standby stacker 182 to open.

제어장치(350)는 수급장치(310), 결합장치(320), 이동장치(330) 및 통신모듈(340)을 제어한다. 즉, 제어장치(350)는 통신모듈(340)을 통해 관리서버(MS)로부터 수신한 명령에 따라 이동장치(330)를 제어하여 핸들러(100)로 접근시킨 후 결합장치(320)를 작동시켜 핸들러(100)와 자동 대차(300)를 결합시키고, 통신모듈(340)을 통해 핸들러(100)로 제1 대기 스택커(172)나 제2 대기 스택커(182)를 개방하도록 하는 명령을 전송한 다음 수급장치(310)를 제어하여 고객트레이(CT)를 이동시킨다.
The control device 350 controls the receiving device 310, the coupling device 320, the mobile device 330, and the communication module 340. That is, the control device 350 controls the mobile device 330 according to a command received from the management server (MS) through the communication module 340 to access the handler 100 and then operates the coupling device 320 Sends a command to couple the handler 100 and the automatic bogie 300 and to open the first waiting stucker 172 or the second waiting stucker 182 to the handler 100 via the communication module 340 And then controls the supply device 310 to move the customer tray CT.

계속하여 위와 같은 구성을 가지는 자동 대차(300)의 작동에 대하여 핸들러의 제1 대기 스택커(172)가 비워진 경우를 예로 들어 설명한다.Next, the case where the first standby stacker 172 of the handler is emptied for the operation of the automatic bogie 300 having the above configuration will be described as an example.

관리서버(MS)는 핸들러(100)로부터 온 상황 정보를 파악한 후 자동 대차(300)로 해당 핸들러(100)에 고객트레이(CT)를 공급해 줄 것을 요구한다. 물론, 자동 대차(300)에는 고객트레이(CT)가 적재되어 있다. 참고로 고객트레이(CT)는 제3의 장소에서 별도의 하역기에 의해 자동으로 자동 대차(300)에 공급될 수도 있고, 작업자에 의해 수동으로 자동 대차(300)에 공급될 수도 있다. The management server MS grasps the situation information from the handler 100 and requests the automated teller 300 to supply the customer tray CT to the handler 100. [ Of course, a customer tray (CT) is loaded on the automatic bogie (300). For reference, the customer tray (CT) may be automatically supplied to the automatic bogie (300) by a separate unloader at the third place, or may be supplied to the automatic bogie (300) manually by an operator.

자동 대차(300)는 관리서버(MS)로부터 받은 명령에 따라 기 입력되어 있거나 관리서버(MS)로부터 받은 해당 핸들러(100)의 좌표값을 이용하여 해당 핸들러(100)로 접근함으로써 도 11에서와 같이 핸들러(100)의 전방에 인접하게 위치한다. 도 11의 상태에서는 자동 대차(300)와 핸들러(100) 간에 직접 근거리 무선 통신이 가능하다.The automatic bogie 300 accesses the handler 100 using the coordinate values of the corresponding handler 100 received from the management server (MS) according to a command received from the management server (MS) Likewise, it is positioned adjacent to the front of the handler 100. In the state shown in FIG. 11, short range wireless communication is possible between the automatic bogie 300 and the handler 100 directly.

도 11의 상태에서 자동 대차(300)는 결합장치(320)를 작동시켜 결합대(JB)를 핸들러(100) 측으로 이동시켜서 결합대(JB)의 후단이 핸들러(100)의 결합기(JA)에 끼움 결합되게 한다. 이에 따라 자동 대차(300)와 핸들러(100)가 고정됨으로써 고객트레이(CT)의 이동이 안정적으로 이루어질 수 있다.11, the automatic bogie 300 operates the coupling device 320 to move the coupling base JB to the handler 100 side so that the rear end of the coupling base JB is coupled to the coupling device JA of the handler 100 Fit. Accordingly, since the automatic bogie 300 and the handler 100 are fixed, the movement of the customer tray CT can be stabilized.

이어서 자동 대차(300)의 제어장치(350)는 통신모듈(340)을 통해 제1 대기 스택커(172)의 개방을 요구한다. 또한, 제어장치(350)는 제2 이동유닛(313c)을 제어하여 비워질 것이 요구되는 공급 스택커(311)의 하방으로 받침프레임(313a-1)을 이동시킨다. 그리고 제어장치(350)는 승강유닛(313b)을 제어하여 받침프레임(313a-1)을 상승시킴으로써 도 27에서와 같이 공급 스택커(311)에 수용되어 있는 고객트레이(CT)를 받친다. 도 27의 상태에서 지지기(311a)가 고객트레이(CT)를 지지하는 상태를 해제하면 도 28에서와 같이 받침프레임(313a-1)이 하강함으로써 고객트레이(CT)들을 공급 스택커(311)의 하방으로 하강시킨다. 제어장치(350)는 도 28의 상태에서 제2 이동유닛(313c)을 제어하여 공급이 요구되는 제1 대기 스택커(172)의 전방에 받침프레임(313a-1)을 위치시킨 후, 제1 이동유닛(313a)을 제어하여 도 29에서와 같이 감지체(313a-4)가 제1 대기 스택커(172)의 약간 앞 측에 있는 피감지체(PS)를 감지할 수 있을 정도의 거리만큼 받침프레임(313a-1)을 후방으로 이동시킨다. 도 29의 상태에서 제어장치(350)는 제2 이동유닛(313c)을 제어하여 받침프레임(313a-1)을 좌우 방향으로 조금씩 이동시키면서 감지체(313a-5)를 통해 피감지체(PS)를 스캔하고, 감지체(313a-5)의 의해 감지된 피감지체(PS)의 위치정보를 통해 정확한 제1 대기 스택커(172)의 위치를 파악한다. 이에 따라 제1 대기 스택커(172)의 위치가 정확히 파악되면 파악된 위치를 기준으로 하여 받침프레임(313a-1)을 후방으로 이동시키고, 이러한 받침프레임(313a-1) 후방 이동 시에 감지기(313a-6)가 핸들러(100)의 센서도그(SD)를 감지하면서 좌우 중심 위치 확인 및 진입 정도를 확인하게 된다. 그리고 도 30에서와 같이 받침프레임(313a-1)이 후방으로 완전히 이동한 후에는 약간 하강함으로써 궁극적으로 핸들러(100)의 제1 이동기(173)에 구비된 받침판(173a)에 고객트레이(CT)를 얹어 놓는다. 여기서 핸들러(100)의 받침판(173a)이 한 쌍의 받침바(bar) 사이에 위치됨을 확인할 수 있다.The control device 350 of the automatic bogie 300 then requests the opening of the first waiting stacker 172 via the communication module 340. In addition, the control device 350 controls the second moving unit 313c to move the supporting frame 313a-1 to below the feeding stacker 311 which is required to be emptied. The control device 350 controls the elevating unit 313b to lift the supporting frame 313a-1 to thereby support the customer tray CT accommodated in the supplying stacker 311 as shown in Fig. 27, when the supporting device 311a releases the state of supporting the customer tray CT, the supporting frame 313a-1 descends as shown in Fig. 28, Downward. The control device 350 controls the second moving unit 313c in the state of Fig. 28 to position the supporting frame 313a-1 in front of the first waiting stacker 172 to be supplied, The movable unit 313a is controlled so that the sensing member 313a-4 can sense the touch sensing member PS slightly ahead of the first waiting stucker 172 as shown in Fig. 29, The frame 313a-1 is moved backward. 29, the control device 350 controls the second moving unit 313c to slightly move the supporting frame PS by moving the supporting frame 313a-1 in the left-right direction through the sensing member 313a-5 And detects the position of the first standby stacker 172 through the position information of the touch sensor PS sensed by the sensing element 313a-5. Accordingly, when the position of the first waiting stacker 172 is accurately grasped, the supporting frame 313a-1 is moved backward on the basis of the detected position, and when the supporting frame 313a-1 moves backward, 313a-6 senses the sensor dog SD of the handler 100 and confirms the left and right center positions and the entry level. After the support frame 313a-1 has completely moved backward as shown in FIG. 30, the support frame 313a-1 is slightly lowered and ultimately the customer tray CT is attached to the support plate 173a provided in the first mobile unit 173 of the handler 100, . Here, it can be seen that the base plate 173a of the handler 100 is positioned between the pair of base bars.

물론, 핸들러(100)의 받침판(173a)에 고객트레이(CT)를 얹어 놓은 후에는 받침프레임(313a-1)이 전방으로 이동하면서 그 다음 작업을 수행한다.Of course, after the customer tray CT is placed on the support plate 173a of the handler 100, the support frame 313a-1 moves forward to perform the next operation.

한편, 제2 대기 스택커(182)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 작업은 고객트레이(CT)의 흐름만 다를 뿐 고객트레이(CT)를 공급하는 작업으로부터 충분히 이해될 수 있으므로 그 설명을 생략한다.On the other hand, the operation of collecting the customer tray (CT) from the second waiting stacker 182 can be fully understood from the operation of supplying the customer tray (CT) only by the flow of the customer tray (CT) do.

참고로 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거하는 작업은 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 공급하는 작업 후에 이어서 연속적으로 이루어지거나 그 직전에 이루어질 수도 있지만, 예를 들면 자동 대차(300)가 다른 작업을 수행한 후 되돌아와서 해당 작업을 수행하거나 다른 자동 대차에 의해 시간차를 두고 수행될 수도 있다.For reference, the operation of collecting the customer tray CT from the handler 100 may be performed consecutively or immediately after the operation of supplying the customer tray CT from the handler 100. However, for example, 300 may perform the job after returning to perform another job or may be performed at a time difference by another automatic lane.

여하튼 해당 핸들러(100)에 대한 요구된 작업이 모두 완료되면, 자동 대차(300)는 핸들러(100)와의 결합을 해제시키고 다음 임무를 위해 이동한다.Anyway, when all of the requested tasks for the handler 100 are completed, the automatic bogie 300 releases the association with the handler 100 and moves for the next mission.

참고로 자동 대차(300)가 핸들러(100)로부터 고객트레이(CT)를 수거한 경우에는 제 3의 장소에서 별도의 하역기에 의해 자동으로 자동 대차(300)로부터 내려지거나, 작업자에 의해 수동으로 자동 대차(300)로부터 내려질 수 있다.
When the automatic bogie 300 collects the customer tray CT from the handler 100, the automatic bogie 300 is automatically removed from the automatic bogie 300 by a separate unloader at the third place, And can be lowered from the carriage 300.

상술한 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
Although the present invention has been fully described by way of example only with reference to the accompanying drawings, it is to be understood that the present invention is not limited thereto. It is to be understood that the scope of the invention is to be construed as being limited only by the following claims and their equivalents.

100 : 반도체소자 테스트용 핸들러
110 : 제1 핸드
140 : 연결장치
160 : 제2 핸드
170 : 로딩 스택커 부분
171 : 로딩 스택커
171b : 지지기
172 : 제1 대기 스택커
172a : 정렬봉
OB : 개방대
172b : 회전기
173 : 제1 이동기
173a : 받침판 173b : 승강원
180 : 언로딩 스택커 부분
181 : 언로딩 스택커
182 : 제2 대기 스택커
183 : 제2 이동기
TT : 테스트트레이 CA : 제어장치
CM : 통신모듈 ES : 출입공간
JA : 결합기100: Handler for semiconductor device test
110: first hand
140: connecting device
160: second hand
170: Loading Stacker portion
171: Loading Stacker
171b:
172: First waiting stacker
172a: alignment rod
OB: open band
172b:
173: First mobile station
173a: Support plate 173b:
180: Unloading Stacker portion
181: Unloading Stacker
182: second waiting stacker
183: second mobile station
TT: Test Tracer CA: Control Unit
CM: Communication module ES: Entrance space
JA: Coupler

Claims (11)

수직 방향으로 적재되는 고객트레이를 정렬시키기 위한 다수의 정렬부재; 및
상기 다수의 정렬부재 중 전방에 있는 특정 정렬부재를 정역 회전시킴으로써 전방 측으로 내부를 개방하여 고객트레이가 진출 또는 진입할 수 있도록 하거나 내부를 폐쇄시키는 회전기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커.A plurality of alignment members for aligning the vertically stacked customer trays; And
A rotator for opening and closing the inside of the customer tray by opening and closing the inside of the customer tray by forward and reverse rotation of a specific alignment member in front of the plurality of alignment members; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Stacker of handler for semiconductor device test. 제1 항에 있어서,
상기 특정 정렬부재가 결합되며, 수직선을 회전축으로 하여 회전 가능하게 구비되는 회전봉; 을 더 포함하고,
상기 회전기는 상기 회전봉을 회전시키는 회전원을 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러의 스택커.The method according to claim 1,
A rotation bar coupled to the specific alignment member and rotatable about a vertical line as a rotation axis; Further comprising:
Characterized in that the rotator includes a rotation source for rotating the rotation bar
Stacker of handler for semiconductor device test. 로딩(Loading)위치, 테스트(Test)위치 및 언로딩(Unloading)위치를 거쳐 다시 상기 로딩위치로 이어지는 일정한 순환 경로를 순환하며, 반도체소자가 안착될 수 있는 테스트트레이;
상기 테스트트레이가 상기 로딩위치에 있을 때, 로딩 플레이트에 있는 고객트레이에서 상기 테스트트레이로 반도체소자를 로딩시키는 로딩장치;
상기 로딩장치에 의한 반도체소자의 로딩이 완료된 후 상기 테스트위치로 온 상기 테스트트레이의 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키는 연결장치;
테스트가 완료된 후 상기 테스트위치로부터 상기 언로딩위치로 온 상기 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩 플레이트에 있는 빈 고객트레이로 언로딩시키는 언로딩장치;
상기 로딩 플레이트로 공급될 고객 트레이들이 수용될 수 있는 로딩 스택커 부분;
상기 언로딩 플레이트에서 회수될 고객 트레이들이 수용될 수 있는 언로딩 스택커 부분; 및
상기한 각 구성들에 대하여 필요한 제어를 수행하는 제어장치; 를 포함하고,
상기 로딩 스택커 부분은,
상기 로딩 플레이트로 이송될 고객 트레이가 수용될 수 있는 로딩 스택커;
상기 로딩 스택커의 하방에 구비되어서 상기 로딩 스택커로 공급될 고객트레이가 대기하는 제1 대기 스택커; 및
상기 제1 대기 스택커에 적재된 고객트레이를 상승시켜 상기 로딩 스택커로 이동시키는 제1 이동기; 를 포함하며,
상기 언로딩 스택커 부분은,
상기 언로딩 플레이트로부터 회수된 고객 트레이가 수용될 수 있는 언로딩 스택커;
상기 언로딩 스택커의 하방에 구비되어서 상기 언로딩 스택커로부터 온 고객트레이가 대기하는 제2 대기 스택커; 및
상기 언로딩 스택커에 적재된 고객트레이를 하강시켜 상기 제2 대기 스택커로 이동시키는 제2 이동기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러. A test tray through which a semiconductor device is seated, circulating a certain circulating path leading to the loading position via a loading position, a test position and an unloading position;
A loading device for loading a semiconductor device from a customer tray in the loading plate to the test tray when the test tray is in the loading position;
A connecting device for electrically connecting the semiconductor device of the test tray to the tester after the loading of the semiconductor device by the loading device is completed;
An unloading device for unloading the tested semiconductor device from the test tray to the empty customer tray in the unloading plate after the test is completed;
A loading stacker portion through which the customer trays to be fed to the loading plate can be received;
An unloading stacker portion in which customer trays to be withdrawn from the unloading plate can be received; And
A controller for performing necessary control for each of the above-described configurations; Lt; / RTI &gt;
The loading stacker portion
A loading stacker into which a customer tray to be delivered to the loading plate can be received;
A first waiting stacker provided below the loading stacker and waiting for a customer tray to be supplied to the loading stacker; And
A first mobile unit for moving the customer tray loaded on the first waiting stacker to the loading stacker; / RTI &gt;
The unloading stacker portion,
An unloading stacker capable of receiving a customer tray withdrawn from the unloading plate;
A second waiting stacker provided below the unloading stacker and waiting for a customer tray from the unloading stacker; And
A second mobile station for moving the customer tray loaded on the unloading stacker to the second waiting stacker; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Handler for testing semiconductor devices. 제3 항에 있어서,
상기 제1 이동기 또는 제2 이동기는,
적재된 고객트레이를 받치는 받침판; 및
상기 받침판을 승강시키는 승강원; 을 포함하고,
상기 로딩 스택커 또는 언로딩 스택커는 고객트레이를 지지하거나 지지를 해제할 수 있는 지지기; 를 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.The method of claim 3,
The first mobile station or the second mobile station,
A support plate supporting a loaded customer tray; And
Elevating the base plate; / RTI &gt;
The loading stacker or unloading stacker being capable of supporting or releasing the customer tray; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Handler for testing semiconductor devices. 제3 항에 있어서,
상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커는 제1항에 따른 스택커로 구비되는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.The method of claim 3,
Characterized in that said first waiting stacker or said second waiting stacker is provided with a stacker according to claim 1
Handler for testing semiconductor devices. 제5 항에 있어서,
자동 대차와 통신하기 위한 통신모듈; 을 더 포함하고,
상기 제어장치는 상기 통신모듈을 통해 상기 자동 대차로부터 고객트레이의 공급 또는 수거 신호가 오면 상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커를 개방시키는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.6. The method of claim 5,
A communication module for communicating with an automatic bogie; Further comprising:
Characterized in that the control device opens the first waiting stacker or the second waiting stacker when a supply or collection signal of the customer tray comes from the automatic lane through the communication module
Handler for testing semiconductor devices. 제6 항에 있어서,
상기 제어장치에 의한 상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커의 개방은 상기 로딩장치 및 언로딩장치의 작동과 무관하게 이루어지는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.The method according to claim 6,
Characterized in that the opening of the first waiting stacker or the second waiting stacker by the control device is independent of the operation of the loading and unloading devices
Handler for testing semiconductor devices. 제5 항에 있어서,
상기 제1 대기 스택커 또는 제2 대기 스택커의 하방에는 자동 대차에 구비되어서 고객트레이를 지지하는 지지기구가 출입할 수 있는 출입공간이 구비되는 것을 특징으로
반도체소자 테스트용 핸들러.6. The method of claim 5,
And an access space provided in the automatic bogie below the first waiting stacker or the second waiting stacker to allow a support mechanism for supporting the customer tray to enter and exit.
Handler for testing semiconductor devices. 제8 항에 있어서,
상기 지지기구가 상기 출입공간으로 진입하기 전에 상기 지지기구의 위치를 결정하기 위해 마련되는 피감지체; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.9. The method of claim 8,
A touch sensor provided to determine a position of the support mechanism before the support mechanism enters the access space; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Handler for testing semiconductor devices. 제9 항에 있어서,
상기 지지기구가 상기 출입공간으로 진입하기 시작한 후에 상기 지지기구의 위치를 결정하기 위해 마련되는 센서도그; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러. 10. The method of claim 9,
A sensor dog provided to determine the position of the support mechanism after the support mechanism begins to enter the access space; &Lt; RTI ID = 0.0 &gt;
Handler for testing semiconductor devices. 제3 항에 있어서,
자동 대차와 결합되기 위한 결합기; 를 더 포함하고,
상기 결합기는,
하우징; 및
상기 하우징에 설치되는 롤러들; 을 포함하며,
상기 롤러들 중 전방에 있는 롤러들 간의 간격은 후방에 있는 롤러들 간의 간격보다 넓은 것을 특징으로 하는
반도체소자 테스트용 핸들러.
The method of claim 3,
A coupler for coupling with an automatic bogie; Further comprising:
The coupler
housing; And
Rollers installed in the housing; / RTI &gt;
Characterized in that the distance between the rollers in front of the rollers is wider than the distance between the rollers in the rear
Handler for testing semiconductor devices.
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