KR20160149001A - 노광 장치에서의 카메라 조명 및 제어 방법 - Google Patents

노광 장치에서의 카메라 조명 및 제어 방법 Download PDF

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Abstract

노광 장치는 제1 모드에서 제1 광을 발산하고 제1 경로를 생성하는 노광 소스, 제2 모드에서 상기 제1 경로 상에 위치되어 제2 광을 발산하고 제2 경로를 생성하며, 상기 제1 모드에서 상기 제1 경로 바깥으로 이탈되는 조명 소스, 기판을 정렬할 수 있는 노광 스테이지 및 상기 노광 스테이지 위에 위치되고 상기 제1 또는 제2 광을 상기 기판에 제공하는 상부 구면경을 포함한다. 따라서, 노광 장치는 하나의 조명 소스에서 발산되는 광 경로를 제어하여 노광 스테이지 전체에 조명을 제공할 수 있다.

Description

노광 장치에서의 카메라 조명 및 제어 방법{CAMERA LIGHT OF EXPOSURE APPARATUS AND CAMERA LIGHT CONTROL METHOD}
본 발명은 노광 장치의 카메라 조명 제어 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하나의 조명 소스에서 발산되는 광 경로를 제어하여 노광 스테이지 전체에 조명을 제공하는 노광 장치에 관한 것이다.
노광 장치는 얼라인먼트 마크가 형성된 마스크를 사용하여 얼라인먼트 마크가 형성된 노광 대상체(예를 들어, 기판 또는 글라스)에 패턴 노광을 수행하기 전에, 마스크 측에 형성된 얼라인먼트 마크와 노광 대상체 측에 형성된 얼라인먼트 마크에 대한 위치 맞춤을 수행해야 한다. 이때, 종래의 노광 장치는 마스크와 노광 대상체를 오버레이한 후에, 마스크를 통하여 노광 대상체 위에 형성된 얼라인먼트 마크를 관찰하게 되며, 이에 마스크 측에 형성된 얼라인먼트 마크와 노광 대상체 측에 형성된 얼라인먼트 마크를 동시에 인식하여 마스크 측에 형성된 얼라인먼트 마크와 노광 대상체 측에 형성된 얼라인먼트 마크 간의 위치를 맞추도록 하였다.
종래의 노광 장치는 얼라인먼트 마크를 인식하기 위하여 사용되는 카메라 조명이 카메라가 움직이는 경우 같이 이동하여야 하였고, 카메라 수량에 대응하는 카메라 조명을 필요로 한다. 즉, 각각의 카메라는 복수의 얼라인먼트 마크들 각각을 인식하고, 각각의 조명은 복수의 얼라인먼트 마크들 각각에 조명 광을 제공할 수 있다. 따라서, 노광 대상체 및 마스크의 위치를 조정하기 위하여 불필요한 구성 및 비용이 발생한다.
한국등록특허 제10-0639626호는 노광 마스크의 위치 맞춤 방법 및 박막 소자 기판의 제조 방법에 관한 것으로, 동일한 노광 마스크에서의 얼라인먼트 마크 간의 최소 허용 간격을 유지하면서, 대상체의 얼라인먼트 마크에 필요한 영역을 축소할 수 있는 노광 마스크의 위치 맞춤 방법, 이것을 이용한 박막 소자 기판의 제조 방법을 제공한다.
한국등록특허 제10-0583694호는 정렬마크가 제공된 기판, 마스크 설계 방법, 컴퓨터 프로그램, 상기 마크를 노광하는 마스크, 디바이스 제조방법 및 그 디바이스에 관한 것으로, 다양한 종류의 패턴에 상응할 수 있고, 기존의 정렬툴과도 정렬될 수 있는 정렬마크를 제공하여 기판 및 마스크의 위치를 정렬하는 방법을 개시한다.
한국등록특허 제10-0639626호 (2006.10.23 등록) 한국등록특허 제10-0583694호 (2006.05.19 등록)
본 발명의 일 실시예는 하나의 조명 소스에서 발산되는 광 경로를 제어하여 노광 스테이지 전체에 조명을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는 기판 정렬 모드에서 조명 광 경로를 따라 발산되는 조명 광을 사용하여 기판 및 마스크를 정렬하고, 노광 모드에서 조명 소스를 노광 경로의 바깥으로 이탈시키고자 한다.
본 발명의 일 실시예는 하나의 조명 소스를 사용하여 복수의 카메라들이 기판 및 마스크의 마커를 인식하기 위해 필요한 조명 광을 제공하고자 한다.
실시예들 중에서, 노광 장치는 제1 모드에서 제1 광을 발산하고 제1 경로를 생성하는 노광 소스, 제2 모드에서 상기 제1 경로 상에 위치되어 제2 광을 발산하고 제2 경로를 생성하며, 상기 제1 모드에서 상기 제1 경로 바깥으로 이탈되는 조명 소스, 기판을 정렬할 수 있는 노광 스테이지 및 상기 노광 스테이지 위에 위치되고 상기 제1 또는 제2 광을 상기 기판에 제공하는 상부 구면경을 포함한다.
상기 조명 소스는 직선 운동 또는 회전 운동을 통해 상기 제1 경로 상에 위치되거나 또는 상기 제1 경로 바깥으로 이탈될 수 있다.
상기 노광 장치는 상기 제1 또는 제2 경로 상에 배치되고 상기 제1 또는 제2 광을 반사하여 상기 상부 구면경에 제공하는 광 경로 제어부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 또는 제2 광은 상기 노광 소스 또는 상기 조명 소스에 의하여 각각 발산되고, 상기 광 경로 제어부 및 상기 상부 구면경에 의하여 형성되는 상기 제1 또는 제2 경로를 따라 상기 노광 스테이지에 도달할 수 있다.
상기 노광 장치는 상기 노광 스테이지 아래에 위치되고 상기 제1 또는 제2 광을 상기 기판에 제공하는 하부 구면경을 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 노광 장치는 상기 제1 또는 제2 경로 상에 배치되고 상기 제1 또는 제2 광을 분리 및 반사하여 상기 상부 및 하부 구면경들에 제공하는 광 경로 제어부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 제1 또는 제2 광은 상기 노광 소스 또는 상기 조명 소스에 의하여 각각 발산되고, 상기 광 경로 제어부와 상기 상부 구면경 또는 상기 광 경로 제어부와 상기 하부 구면경에 의하여 형성되는 상기 제1 또는 제2 경로를 따라 상기 노광 스테이지에 도달할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 광 경로 제어부는 반사체로 구현되거나 또는 빔 스플리터로 구현될 수 있다.
상기 노광 장치는 상기 상부 구면경과 상기 노광 스테이지 사이에, 그 모서리들 각각에서 제1 마커를 포함하는 상부 마스크 및 상기 하부 구면경과 상기 노광 스테이지 사이에, 그 모서리들 각각에서 상기 제1 마커에 대응하는 제2 마커를 포함하는 하부 마스크를 장착한 마스크 홀딩부를 더 포함할 수 있다.
상기 기판은 상기 상부 및 하부 마스크들 사이에 배치되고 그 모서리들 각각의 상부 및 하부에서 상기 제1 및 제2 마커들 각각에 대응하는 제3 마커를 포함할 수 있다.
상기 노광 장치는 상기 노광 스테이지의 아래에 배치되어 상기 제1 내지 제3 마커들을 촬영할 수 있는 복수의 카메라들을 더 포함할 수 있다. 상기 마스크 홀딩부는 상기 제1 내지 제3 마커들을 기초로 상기 상부 및 하부 마스크들의 위치를 조정하여, 상기 상부 및 하부 마스크들을 상기 기판에 밀착시킬 수 있다.
실시예들 중에서, 노광 장치의 카메라 조명 제어 방법은 제1 모드에서 제1 광을 발산하고 제1 경로를 생성하는 노광 소스를 준비하는 단계, 제2 모드에서 상기 제1 경로 상에 위치되는 조명 소스를 사용하여 제2 광을 발산하고, 상기 제2 광을 반사하는 광 경로 제어부 및 노광 스테이지 위에 위치되는 상부 구면경을 통해 상기 제2 경로를 생성하는 단계 및 상기 제2 모드에서 상기 제2 광을 기초로, 상기 노광 스테이지 상에 정렬되는 기판 및 상기 기판의 상단에서 상기 기판과 밀착되는 상부 마스크를 정렬하는 단계를 포함한다.
상기 노광 장치의 카메라 조명 제어 방법은 상기 제1 모드에서 조명 소스를 직선 운동 또는 회전 운동을 통해 상기 제1 경로 바깥으로 이탈시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 경로를 생성하는 단계는 상기 제2 광을 분리 및 반사하는 광 경로 제어부 및 상기 노광 스테이지 아래에 위치되는 하부 구면경을 통해 상기 제2 경로를 생성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 노광 장치의 카메라 조명 제어 방법은 상기 노광 스테이지 상에 정렬되는 기판 및 상기 기판의 하단에서 상기 기판과 밀착되는 하부 마스크를 정렬하는 단계를 더 포함할 수 있다.
개시된 기술은 다음의 효과를 가질 수 있다. 다만, 특정 실시예가 다음의 효과를 전부 포함하여야 한다거나 다음의 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 개시된 기술의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장치는 하나의 조명 소스에서 발산되는 광 경로를 제어하여 노광 스테이지 전체에 조명을 제공할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장치는 기판 정렬 모드에서 노광 광 경로를 따라 발산되는 조명 광을 사용하여 기판 및 마스크를 정렬하고, 노광 모드에서 조명 소스를 노광 경로의 바깥으로 이탈시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장치는 하나의 조명 소스를 사용하여 복수의 카메라들이 기판 및 마스크의 마커를 인식하기 위해 필요한 조명 광을 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 있는 노광 장치를 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1에 있는 카메라의 조명 영역을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 1에 있는 기판 및 마스크의 결합 관계를 설명하는 도면이다.
도 5는 도 1에 있는 조명 소스의 이동 과정을 설명하는 도면이다.
도 6은 도 1에 있는 노광 장치에서 수행되는 카메라 조명 제어 과정을 설명하는 순서도이다.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
한편, 본 출원에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 실시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노광 장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1에 있는 노광 장치를 나타내는 측면도이다. 도 3은 도 1에 있는 카메라의 조명 영역을 나타내는 도면이고, 도 4는 도 1에 있는 기판 및 마스크의 결합 관계를 설명하는 도면이다. 도 5는 도 1에 있는 조명 소스의 이동 과정을 설명하는 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 노광 장치(100)는 노광 소스(110), 조명 소스(120), 광 경로 제어부(130), 상부 구면경(140), 하부 구면경(150), 노광 스테이지(160), 마스크 홀딩부(170), 복수의 카메라들(180)을 포함한다.
노광 소스(110)는 제1 모드에서 제1 광을 발산하고 제1 경로를 생성할 수 있다. 여기에서, 제1 모드는 기판(162)에 정렬된 마스크(172)를 사용하여 회로 패턴을 전사하는 모드에 해당할 수 있다. 즉, 제1 모드는 노광 소스(110)에 의하여 노광이 수행되는 모드를 의미한다. 또한, 제1 광은 회로 패턴을 전사하기 위하여 사용되는 자외선 광에 해당할 수 있다. 제1 경로는 제1 광이 광 경로 제어부(130)와 상부 구면경(140) 또는 광 경로 제어부(130)와 하부 구면경(150)에 의하여 진행되는 경로에 해당할 수 있다.
일 실시예에서, 노광 소스(110)는 자외선 소스(또는, UV Lamp)로 구현될 수 있다. 노광 소스(110)는 자외선 발생 장치(10)의 일단에 배치될 수 있고, 광 경로 제어부(130)를 향하여 제1 광을 발산할 수 있다.
조명 소스(120)는 제2 모드에서 제1 경로 상에 위치되어 제2 광을 발산하고 제2 경로를 생성하며, 제1 모드에서 제1 경로 바깥으로 이탈될 수 있다. 여기에서, 제2 모드는 기판(162)과 마스크(172)를 정렬하기 위하여 기판(162) 및 마스크(172)의 위치를 조정하는 모드에 해당할 수 있다. 즉, 제2 모드는 기판(162) 상에 노광 작업이 정밀하게 수행될 수 있도록 기판(162) 및 마스크(172)의 위치를 정렬할 수 있다. 또한, 제2 광은 제2 모드에서 복수의 카메라들(180)이 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)을 촬영할 수 있도록 제공되는 가시 광에 해당할 수 있다. 제2 경로는 제2 광이 광 경로 제어부(130)와 상부 구면경(140) 또는 광 경로 제어부(130)와 하부 구면경(150)에 의하여 진행되는 경로에 해당할 수 있다. 즉, 제2 광은 제2 경로를 따라 노광 스테이지(160) 전체에 도달할 수 있다.
조명 소스(120)는 직선 또는 회전 운동을 통해 제1 경로 상에 위치되거나 또는 제1 경로 바깥으로 이탈될 수 있다. 보다 구체적으로, 조명 이동 부재(20)는 자외선 발생 장치(10)의 일단에 배치되어 조명 소스(120)와 기계적으로 연결될 수 있다.
도 3a에서, 조명 소스(120)는 제2 모드에서 제1 경로 상에 위치되어 제2 광을 발산할 수 있다. 제2 광은 광 경로 제어부(130)와 상부 구면경(140) 또는 광 경로 제어부(130)와 하부 구면경(150)에 의하여 제2 경로를 따라 진행할 수 있다. 제2 광은 노광 스테이지(160) 전체에 조명 영역(310)을 형성하여, 복수의 카메라들(180)의 촬영 영역들(320)에 가시 광을 제공할 수 있다. 즉, 노광 장치(100)는 하나의 조명 소스(120)에서 발산되는 광 경로를 제어하여 노광 스테이지(160) 전체에 조명 영역(310)을 형성할 수 있다. 조명 영역(310)은 노광 스테이지(160) 전체에 형성되기 때문에, 복수의 카메라들(180)의 촬영 영역들(320)이 변경되는 경우에도, 조명 영역(310)은 복수의 카메라들의 촬영 영역들(320)을 포함할 수 있다. 따라서, 제2 광은 복수의 카메라들(180)이 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)을 촬영할 수 있도록 가시 광을 제공할 수 있다.
도 3b에서, 제2 광에 의한 조명 영역(310)은 복수의 카메라들의 촬영 영역들(320)을 포함할 수 있다. 복수의 카메라들의 촬영 영역들(320)은 노광 스테이지(160)의 모서리들에 각각 위치할 수 있다. 노광 스테이지(160)의 모서리들 각각에는 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)이 위치할 수 있고, 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)은 복수의 카메라들의 촬영 영역들(320)에 위치할 수 있다.
도 5a에서, 조명 소스(120)는 제1 모드에서 제1 경로의 바깥으로 이탈될 수 있다. 조명 소스(120)는 조명 이동 부재(20)에 의하여 직선 또는 회전 운동을 통해 제1 경로 바깥으로 이탈될 수 있다. 즉, 노광 소스(110)는 제1 모드에서 조명 소스(120)의 방해 없이 제1 광을 발산할 수 있다.
도 5b에서, 조명 소스(120)는 제2 모드에서 제1 경로 상에 위치될 수 있다. 조명 소스(120)는 제1 경로에서 이탈될 때와 반대되는 운동을 통해 제1 경로 상으로 복귀할 수 있다. 즉, 조명 소스(120)는 제2 모드에서 제1 광의 제1 경로를 차단하고, 제2 광을 발산할 수 있다.
일 실시예에서, 광 경로 제어부(130)는 제1 또는 제2 경로 상에 배치되고 제1 또는 제2 광을 반사하여 상부 구면경(140)에 제공할 수 있다. 예를 들어, 광 경로 제어부(130)는 반사체 또는 미러로 구현될 수 있다. 즉, 제1 또는 제2 광은 노광 소스(110) 또는 조명 소스(120)로부터 각각 발산되고, 광 경로 제어부(130)에 의하여 반사되어, 상부 구면경(140)에 제공될 수 있다.
다른 일 실시예에서, 광 경로 제어부(130)는 제1 또는 제2 경로 상에 배치되고 제1 또는 제2 광을 분리 및 반사하여 상부 및 하부 구면경들(140, 150)에 제공할 수 있다. 예를 들어, 광 경로 제어부(130)는 빔 스플리터(Beam Splitter)로 구현될 수 있다. 즉, 제1 또는 제2 광은 노광 소스(110) 또는 조명 소스(120)로부터 각각 발산되고, 광 경로 제어부(130)에 의하여 분리 및 반사되어, 상부 및 하부 구면경들(140, 150)에 제공될 수 있다.
상부 구면경(140)은 노광 스테이지(160) 위에 위치되고 제1 또는 제2 광을 기판(162)에 제공할 수 있다. 보다 구체적으로, 상부 구면경(140)은 기판(162) 위에 위치되어, 제1 또는 제2 광을 상부 마스크(172) 및 기판(162)의 상부에 제공할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 또는 제2 광은 광 경로 제어부(130)에 의하여 반사되고, 상부 구면경(140)에 의하여 반사되어, 노광 스테이지(160)의 상단에 제공될 수 있다. 즉, 제1 또는 제2 광은 노광 소스(110) 또는 조명 소스(120)에 의하여 각각 발산되고, 광 경로 제어부(130) 및 상부 구면경(140)에 의하여 형성되는 제1 또는 제2 경로를 따라 노광 스테이지(160)에 도달할 수 있다.
하부 구면경(150)은 노광 스테이지(160) 아래에 위치되고 제1 또는 제2 광을 기판에 제공할 수 있다. 보다 구체적으로, 하부 구면경(150)은 기판(162)의 아래에 위치되어, 제1 또는 제2 광을 하부 마스크(174) 및 기판(162)의 하부에 제공할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 또는 제2 광은 광 경로 제어부(130)에 의하여 분리되고, 하부 구면경(150)에 의하여 반사되어, 노광 스테이지(160)의 하단에 제공될 수 있다. 즉, 제1 또는 제2 광은 노광 소스(110) 또는 조명 소스(120)에 의하여 각각 발산되고, 광 경로 제어부(130)와 상부 구면경(140) 또는 광 경로 제어부(130)와 하부 구면경(150)에 의하여 형성되는 제1 또는 제2 경로를 따라 노광 스테이지(160)에 도달할 수 있다.
일 실시예에서, 구면경은 노광 스테이지(160)의 상부 또는 하부에 위치되고 제1 또는 제2 광을 기판(162)에 제공할 수 있다.
노광 스테이지(160)는 그 상단에 기판(162)을 정렬할 수 있고, 노광 장치(100)는 마스크(172) 상의 패턴을 노광 스테이지(160)에 정렬된 기판(162) 상에 전사할 수 있다. 일 실시예에서, 기판(162)은 상부 마스크(172)의 하부 및 노광 스테이지(160)의 상단에 배치되고, 그 모서리들 각각의 상부에서 제1 마커(410)에 대응하는 제3 마커(430)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제3 마커(430)는 홀(Hole)로 구현될 수 있다. 기판(162) 및 상부 마스크(172)는 제1 및 제3 마커(410, 430)를 기준으로 정렬될 수 있다.
다른 일 실시예에서, 기판(162)은 상부 및 하부 마스크들(172, 174) 사이에 배치되고, 그 모서리들 각각의 상부 및 하부에서 제1 및 제2 마커들(410, 420) 각각에 대응하는 제3 마커(430)를 포함할 수 있다. 기판(162) 및 상부 및 하부 마스크들(172, 174)은 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)을 기준으로 정렬될 수 있다.
일 실시예에서, 마스크 홀딩부(170)는 상부 구면경(140)과 노광 스테이지(160) 사이에, 그 모서리들 각각에서 제1 마커(410)를 포함하는 상부 마스크(172)를 장착할 수 있다. 예를 들어, 제1 마커(410)는 링(Ring)으로 구현될 수 있다.
다른 일 실시예에서, 마스크 홀딩부(170)는 상부 구면경(140)과 노광 스테이지(160) 사이에서 상부 마스크(172)를 장착하고, 하부 구면경(150)과 노광 스테이지(160) 사이에서 하부 마스크(174)를 장착할 수 있다. 여기에서, 하부 마스크(174)는 그 모서리들 각각에서 제2 마커(420)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 마커(420)는 도트(Dot)로 구현될 수 있다.
도 4a에서, 마스크 홀딩부(170)는 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)을 기초로 상부 및 하부 마스크들(172, 174)의 위치를 조정하여, 상부 및 하부 마스크들(172, 174)을 기판(162)에 밀착시킬 수 있다. 보다 구체적으로, 조명 소스(120)는 제2 경로를 따라 제2 광을 발산할 수 있고, 복수의 카메라들(180)이 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)을 촬영할 수 있도록 가시 광을 제공할 수 있다.
도 4b에서, 조명 소스(120)는 제2 경로를 따라 노광 스테이지(160) 상에 조명 영역(310)을 형성할 수 있고, 복수의 카메라들의 촬영 영역들(320)은 조명 영역(310)의 모서리에 각각 위치할 수 있다. 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)은 복수의 카메라들의 촬영 영역들(320)에 위치할 수 있다. 제1 마커(410)는 제3 마커(430)의 중심에 위치할 수 있고, 제2 마커(420)는 제1 마커(410)의 중심에 위치하여, 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)이 정렬될 수 있다. 즉, 기판(162) 및 상부 및 하부 마스크들(172, 174)은 제2 모드에서 위치가 정렬된 후, 제1 모드에서 제1 광에 의하여 전사될 수 있다.
복수의 카메라들(180)은 노광 스테이지(160)의 아래에 배치되어 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)을 촬영할 수 있다. 보다 구체적으로, 복수의 카메라들(180)은 노광 스테이지(160) 아래의 모서리들에 각각 배치되어, 기판(162), 상부 또는 하부 마스크들(172, 174)의 모서리들에 각각 배치된 제1 내지 제3 마커들(410 ~ 430)을 각각 촬영할 수 있다.
도 6은 도 1에 있는 노광 장치에서 수행되는 카메라 조명 제어 과정을 설명하는 순서도이다.
조명 소스(120)는 제2 모드에서 제1 경로 상에 위치되어 제2 광을 발산할 수 있다(단계 S610). 조명 소스(120)는 기판(162) 및 상부 및 하부 마스크들(172, 174)을 정렬하기 위한 가시 광을 광 경로 제어부(130)에 제공할 수 있다.
제2 광은 광 경로 제어부(130)와 상부 구면경(140) 또는 광 경로 제어부(130)와 하부 구면경(150)에 의하여 생성되는 제2 경로를 따라 진행할 수 있다(단계 S620). 일 실시예에서, 광 경로 제어부(130)가 반사체 또는 미러로 구현되는 경우, 제2 광은 광 경로 제어부(130) 및 상부 구면경(140)에 의하여 노광 스테이지(160) 전체에 도달할 수 있다. 다른 일 실시예에서, 광 경로 제어부(130)가 빔 스플리터로 구현되는 경우, 제2 광은 광 경로 제어부(130)와 상부 구면경(140) 또는 광 경로 제어부(130)와 하부 구면경(150)에 의하여 노광 스테이지(160)의 상부 및 하부에 도달할 수 있다.
마스크 홀딩부(170)는 노광 스테이지(160) 상에 위치되는 기판(162) 및 기판(162)과 밀착되는 상부 및 하부 마스크들(172, 174)을 정렬할 수 있다(단계 S630). 마스크 홀딩부(170)는 제1 마커(410)를 제3 마커(430)의 중심에 위치시키고, 제2 마커(420)를 제1 마커(410)의 중심에 위치시켜 기판(162) 및 상부 및 하부 마스크들(172, 174)을 정렬할 수 있다.
조명 소스(120)는 제1 모드에서 제1 경로 바깥으로 이탈될 수 있다(단계 S640). 조명 소스(120)는 조명 이동 부재(20)에 의하여 직선 또는 회전 운동을 통해 제1 경로 바깥으로 이탈될 수 있다.
노광 소스(110)는 제1 모드에서 제1 광을 발산하여 상부 및 하부 마스크들(172, 174)이 정렬된 기판(162)에 회로 패턴을 전사할 수 있다(단계 S650). 노광 소스(110)는 상부 및 하부 마스크들(172, 174)에 설계된 패턴을 기판(162)의 상부 및 하부에 전사할 수 있다.
노광 장치(100)는 하나의 조명 소스에서 발산되는 광 경로를 제어하여 노광 스테이지 전체에 조명을 제공할 수 있다. 노광 장치(100)는 기판 정렬 모드에서 조명 광 경로를 따라 발산되는 조명 광을 사용하여 기판 및 마스크를 정렬하고, 노광 모드에서 조명 소스를 노광 경로의 바깥으로 이탈시킬 수 있다. 또한, 노광 장치(100)는 하나의 조명 소스를 사용하여 복수의 카메라들이 기판 및 마스크의 마커를 인식하기 위해 필요한 조명 광을 제공할 수 있다.
상기에서는 본 출원의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 통상의 기술자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 노광 장치 110: 노광 소스
120: 조명 소스 130: 광 경로 제어부
140: 상부 구면경 150: 하부 구면경
160: 노광 스테이지 162: 기판
170: 마스크 홀딩부 172: 상부 마스크
174: 하부 마스크 180: 복수의 카메라들
310: 조명 영역 320: 복수의 카메라들의 촬영 영역들
410: 제1 마커 420: 제2 마커
430: 제3 마커
10: 자외선 발생 장치 20: 조명 이동 부재

Claims (9)

  1. 제1 모드에서 제1 광을 발산하고 제1 경로를 생성하는 노광 소스;
    제2 모드에서 상기 제1 경로 상에 위치되어 제2 광을 발산하고 제2 경로를 생성하며, 상기 제1 모드에서 상기 제1 경로 바깥으로 이탈되는 조명 소스;
    기판을 정렬할 수 있는 노광 스테이지; 및
    상기 노광 스테이지 위에 위치되고 상기 제1 또는 제2 광을 상기 기판에 제공하는 상부 구면경을 포함하는 노광 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 조명 소스는
    직선 운동 또는 회전 운동을 통해 상기 제1 경로 상에 위치되거나 또는 상기 제1 경로 바깥으로 이탈되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 또는 제2 경로 상에 배치되고 상기 제1 또는 제2 광을 반사하여 상기 상부 구면경에 제공하는 광 경로 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제1 또는 제2 광은
    상기 노광 소스 또는 상기 조명 소스에 의하여 각각 발산되고, 상기 광 경로 제어부 및 상기 상부 구면경에 의하여 형성되는 상기 제1 또는 제2 경로를 따라 상기 노광 스테이지에 도달하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 노광 스테이지 아래에 위치되고 상기 제1 또는 제2 광을 상기 기판에 제공하는 하부 구면경을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 또는 제2 경로 상에 배치되고 상기 제1 또는 제2 광을 분리 및 반사하여 상기 상부 및 하부 구면경들에 제공하는 광 경로 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 또는 제2 광은
    상기 노광 소스 또는 상기 조명 소스에 의하여 각각 발산되고, 상기 광 경로 제어부와 상기 상부 구면경 또는 상기 광 경로 제어부와 상기 하부 구면경에 의하여 형성되는 상기 제1 또는 제2 경로를 따라 상기 노광 스테이지에 도달하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.
  8. 제1 모드에서 제1 광을 발산하고 제1 경로를 생성하는 노광 소스를 준비하는 단계;
    제2 모드에서 상기 제1 경로 상에 위치되는 조명 소스를 사용하여 제2 광을 발산하고, 상기 제2 광을 반사하는 광 경로 제어부 및 노광 스테이지 위에 위치되는 상부 구면경을 통해 상기 제2 경로를 생성하는 단계; 및
    상기 제2 모드에서 상기 제2 광을 기초로, 상기 노광 스테이지 상에 위치되는 기판 및 상기 기판의 상단에서 상기 기판과 밀착되는 상부 마스크를 정렬하는 단계를 포함하는 노광 장치의 카메라 조명 제어 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제2 경로를 생성하는 단계는
    상기 제2 광을 분리 및 반사하는 광 경로 제어부 및 상기 노광 스테이지 아래에 위치되는 하부 구면경을 통해 상기 제2 경로를 생성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치의 카메라 조명 제어 방법.
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