KR20160119918A - Transfer robot with multi arm - Google Patents

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KR20160119918A
KR20160119918A KR1020150048425A KR20150048425A KR20160119918A KR 20160119918 A KR20160119918 A KR 20160119918A KR 1020150048425 A KR1020150048425 A KR 1020150048425A KR 20150048425 A KR20150048425 A KR 20150048425A KR 20160119918 A KR20160119918 A KR 20160119918A
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KR
South Korea
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position sensor
rail
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fork
arm
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Application number
KR1020150048425A
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Korean (ko)
Inventor
김태현
김종욱
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현대중공업 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a multi arm transfer robot, and more specifically, to the multi arm transfer robot capable of transferring multiple substrates at the same time. To this end, in the transfer robot comprising multiple arms to transfer the multiple substrates, provided is the multi arm transfer robot including: a rail part which is installed on the ground, and comprises a horizontal rail therein; a running part running on the rail of the rail part horizontally; a swivelling part rotating while being installed at an upper side of the running part; an elevation part which is installed at one side of the swivelling part, and is installed with a vertical rail arranged vertically; and an arm unit which rises vertically on the rail of the elevation part, and is installed with multiple forks supporting the substrate. Multiple adsorption pads fixing the substrate by adsorbing the substrate are installed on the fork, and a position sensor to sense a position of the substrate is installed.

Description

멀티 암 반송 로봇{Transfer robot with multi arm}Multi-arm transfer robot {Transfer robot with multi arm}

본 발명은 멀티 암 반송 로봇에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있는 멀티 암 반송 로봇에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-arm carrying robot, and more particularly, to a multi-arm carrying robot capable of carrying a plurality of substrates simultaneously.

일반적으로 로봇은 여러 산업 분야에서 다양한 목적으로 이용되고 있는데, 반도체 제조 분야에서 기판을 반송하기 위해 반송 로봇을 이용하는 것을 예로 들 수 있다.Generally, robots are used for various purposes in various industrial fields. For example, in the semiconductor manufacturing field, a carrier robot is used to transport a substrate.

이러한 반송 로봇은 반도체웨이퍼, 액정표시장치용기판, 플라즈마디스플레이(plasma display)용기판, FED(Field Emission Display)용기판, 광디스크용기판, 자기디스크용기판, 광자기디스크용기판, 포토마스크(photomask)용기판 등의 다양한 형태의 기판을 카세트(cassette)로 효율적으로 반송하기 위한 로봇 시스템이다.Such a carrier robot can be used as a semiconductor wafer, a liquid crystal display device container plate, a plasma display container plate, an FED (Field Emission Display) container plate, an optical disk container plate, a magnetic disk container plate, ) Container board and the like in a cassette.

이렇게 반송 로봇은 제품 제작에 사용되는 기판을 공정과 공정 사이에 설치되어 기판을 특정 카세트(cassette)에서 카세트(cassette)로 이송하고 상하로 이격되게 적재되도록 이송하여 다음 공정의 작업을 수행할 수 있도록 한다.In this way, the carrier robot is installed between the process and the process so that the substrate can be transferred from a specific cassette to a cassette and transferred to be stacked up and down, do.

도 1은 종래의 반송 로봇의 사시도로서, 도시된 바와 같이, 종래의 반송 로봇은 크게, 레일부(10), 주행부(20), 선회부(30), 승강부(40), 암 유닛(50)으로 구성된다.1 is a perspective view of a conventional conveying robot. As shown in the drawing, a conventional conveying robot mainly includes a rail part 10, a traveling part 20, a pivot part 30, a lift part 40, 50).

상기 종래의 반송 로봇의 암 유닛(50)은 승강부(40)를 기준으로 상, 하로 이동되고, 주행부(20)의 수평이동을 통해 특정 위치의 카세트(cassette)로 기판을 반송할 수 있도록 구성된다.The arm unit 50 of the conventional transport robot is moved up and down with respect to the lift unit 40 so that the substrate can be transported to a cassette at a specific position through the horizontal movement of the travel unit 20. [ .

하지만 종래의 반송 로봇의 경우, 암 유닛(50)에 설치되어 기판을 지지하는 포크(51)가 한 개만 설치됨으로써, 한 개의 기판만을 반송할 수밖에 없어 생산성이 떨어지는 문제가 있다.However, in the case of the conventional carrying robot, only one fork 51 is provided for supporting the substrate, which is provided in the arm unit 50, so that only one substrate can be transported.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있고, 기판의 개수 및 크기를 자동으로 인식하여 제어할 수 있는 멀티 암 반송 로봇을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is conceived to solve the problems of the conventional art described above, and it is an object of the present invention to provide a multi-arm carrying robot capable of simultaneously conveying a plurality of substrates and automatically recognizing and controlling the number and size of substrates. .

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상으로는, 복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서, 지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부; 상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부; 상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부; 상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및 상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되, 상기 포크에는 기판을 흡착하여 고정시키는 복수개의 흡착패드가 설치되고, 기판의 위치를 감지하기 위한 위치센서가 설치되는 것을 특징 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a transport robot including a plurality of arms for transporting a plurality of substrates, the transport robot comprising: a rail disposed on the ground and having a horizontal rail; A running portion that runs horizontally on a rail of the rail portion; A revolving portion provided on the upper portion of the traveling portion and rotating; An elevating portion provided at one side of the swivel portion and provided with a vertical rail arranged in a vertical phase; And an arm unit vertically lifted and lowered on the rails of the elevating unit and provided with a plurality of forks for supporting the substrate, wherein the fork is provided with a plurality of adsorption pads for adsorbing and fixing the substrate, And a position sensor for detecting the position of the robot is installed.

이때, 상기 위치센서는, 포크의 외측 부분에 설치되는 제1 위치센서와 포크의 핸드프레임 측 부분에 설치되는 제2 위치센서를 포함하는 것이 바람직하다.In this case, the position sensor preferably includes a first position sensor installed at an outer portion of the fork and a second position sensor installed at a portion of the fork at a side of the hand frame.

또한, 상기 위치센서는, 포크의 외측 부분에 설치되는 제1 위치센서와 포크의 핸드프레임 측 부분에 설치되는 제2 위치센서를 포함하는 것이 바람직하다.Preferably, the position sensor includes a first position sensor provided at an outer portion of the fork and a second position sensor provided at a portion of the fork at a side of the hand frame.

한편, 상기 흡착패드는, 위치센서의 감지 여부에 따라 복수개의 흡착패드 중 선별적으로 선택되어 작동될 수 있는 것을 특징으로 한다.The adsorption pad may be selectively selected from a plurality of adsorption pads depending on whether the position sensor is sensed or not.

또한, 상기 흡착패드의 흡입 압력과 위치센서의 감지 여부에 따라 기판의 개수와 크기를 판별할 수 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the number and size of the substrate can be determined according to the suction pressure of the adsorption pad and the detection of the position sensor.

상기와 같은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 다음과 같은 효과가 있다.The above-described multi-arm carrying robot according to the present invention has the following effects.

복수개의 암을 소정의 간격으로 배치될 수 있도록 구성하고 복수개의 포크를 설치하여 한 번의 이송으로 복수개의 기판을 반송할 수 있게 된다.A plurality of arms can be arranged at predetermined intervals, and a plurality of forks can be provided, so that a plurality of substrates can be carried by one transfer.

또한, 포크에 복수개의 흡착패드와 위치센서를 통해 기판의 개수와 크기를 자동을 인식하여 포크 한 개에서 복수개의 기판을 고정할 수 있고 반송하고자 하는 기판의 상황에 최적화되어 작동될 수 있게 된다.Also, the number and size of the substrates can be automatically recognized through the plurality of adsorption pads and the position sensor on the fork, so that a plurality of substrates can be fixed on one fork and can be optimally operated in the situation of the substrate to be transported.

이에 따라, 복수개의 기판을 한 번에 반송함으로써 생산성을 높일 수 있고, 실시간으로 반송되는 기판 상황의 데이터 수집 및 기판의 특성에 대응하여 작동할 수 있어 전력 손실을 줄일 수 있는 효과가 있다.Accordingly, productivity can be improved by transporting a plurality of substrates at a time, and it is possible to operate in accordance with the data collection of the substrate state conveyed in real time and the characteristics of the substrate, thereby reducing power loss.

도 1은 종래의 반송 로봇의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 측면도.
도 4는 개별 핸드프레임과 포크의 사시도.
도 5는 포크 상에 소형 기판이 안착된 상태를 나타낸 사용상태도.
도 6은 포크 상에 중형 기판이 안착된 상태를 나타낸 사용상태도.
도 7은 포크 상에 대형 기판이 안착된 상태를 나타낸 사용상태도.1 is a perspective view of a conventional carrying robot.
2 is a perspective view of a multi-arm carrying robot according to the present invention.
3 is a side view of a multi-arm carrying robot according to the present invention.
4 is a perspective view of an individual hand frame and a fork;
Fig. 5 is a state of use in which a small substrate is placed on a fork; Fig.
6 is a state of use in which a middle substrate is placed on a fork;
Fig. 7 is a state in which a large substrate is placed on a fork. Fig.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.The terms and words used in the present specification and claims should not be construed as limited to ordinary or dictionary meanings and the inventor may properly define the concept of the term to describe its invention in the best possible way And should be construed in accordance with the principles and meanings and concepts consistent with the technical idea of the present invention.

이하에서는, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도 2 내지 도 7을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 7 attached hereto.

도 2는 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇의 측면도, 도 4는 개별 핸드프레임과 포크의 사시도, 도 5는 포크 상에 소형 기판이 안착된 상태를 나타낸 사용상태도, 도 6은 포크 상에 중형 기판이 안착된 상태를 나타낸 사용상태도, 도 7은 포크 상에 대형 기판이 안착된 상태를 나타낸 사용상태도이다.Fig. 2 is a perspective view of the multi-arm carrying robot according to the present invention, Fig. 3 is a side view of the multi-arm carrying robot according to the present invention, Fig. 4 is a perspective view of the individual hand frame and the fork, Fig. 6 is a use state view showing a state in which a middle substrate is seated on a fork, and Fig. 7 is a use state showing a state in which a large substrate is seated on the fork.

도면을 참조하여 설명하면, 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 크게, 레일부(100), 주행부(200), 선회부(300), 승강부(400), 암 유닛(500)을 포함하여 구성된다.The multi-arm transportation robot according to the present invention mainly includes a rail part 100, a traveling part 200, a pivot part 300, a lift part 400, and an arm unit 500 .

또한, 상기 멀티 암 반송 로봇은 복수개의 기판을 동시에 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된다.Also, the multi-arm transportation robot is provided with a plurality of arms so that a plurality of substrates can be simultaneously transported.

도 2를 참조하여 설명하면, 레일부(100)는 지면에 설치되고, 후술하는 주행부(200)가 수평상에서 주행할 수 있도록 안내하는 수평레일(110)을 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 2, the rail 100 includes a horizontal rail 110 installed on the ground and guiding the traveling unit 200, which will be described later, to travel horizontally.

상기 수평레일(110)은 주행부(200)와 접하는 면, 즉, 레일부(100)의 내측에 설치될 수 있다.The horizontal rail 110 may be installed on a surface that contacts the running unit 200, that is, inside the rail 100.

또한, 상기 수평레일(110)은 주행부(200)의 수평 이동이 가능하도록 안내하기 위한 역할을 하는 것으로, 수평상으로 레일부(100)의 길이만큼 연장될 수 있다.In addition, the horizontal rail 110 serves to guide the traveling unit 200 in a horizontal direction, and may extend as much as the length of the rail 100 in a horizontal plane.

한편, 주행부(200)의 수평 이동이 가능하도록 형성되는 수평레일(110)의 형태를 보면, 평기어 형태의 랙기어, LM가이드의 레일, 볼스크류 구동 방식의 스크류 등으로, 수평 이동이 가능한 구조이면 어느 하나로 한정하지 않는다.On the other hand, as for the form of the horizontal rail 110 formed so as to enable the horizontal movement of the traveling unit 200, a rack gear of a flat gear type, a rail of an LM guide, a screw of a ball screw driving system, It is not limited to any one structure.

또한, 상기 레일부(100)는 내부에 공간이 마련되도록 형성되고 'ㄷ'자 또는 'ㅁ'자 형태로 형성될 수 있다.In addition, the rail part 100 may be formed to have a space therein, and may be formed in a 'C' shape or a 'C' shape.

여기서 상기 레일부(100)의 내부 공간에는 수평 케이블베어(120)가 설치될 수 있고, 상기 수평 케이블베어(120)는 레일부(100)의 양측으로 나란히 배치될 수 있다.Here, the horizontal cable bear 120 may be installed in the inner space of the rail 100, and the horizontal cable bear 120 may be arranged on both sides of the rail 100.

즉, 상기 수평 케이블베어(120)는 레일부(100)의 양측으로 한 쌍으로 구성되어 배치될 수 있고, 이는, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄이기 위해 레일부(100)의 양측으로 한 쌍으로 나누어 배치시키기 위함이다.That is, the horizontal cable bails 120 may be arranged in pairs on both sides of the rail part 100, and may be arranged on both sides of the rail part 100 in order to reduce the width of the horizontal cable bear 120 In order to arrange them in pairs.

이렇게 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄임으로써 상기 레일부(100)의 설치 면적을 줄일 수 있음은 물론 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과를 얻을 수 있게 된다.By reducing the width of the horizontal cable bear 120, it is possible to reduce the installation area of the rail 100 and to reduce the operation interference area of the robot.

한편, 상기 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄이기 위함으로, 레일부(100) 양측에 설치되는 한 쌍의 수평 케이블베어(120) 중 어느 하나의 수평 케이블베어(120)는 후술하는 배선설치부(130)를 기준으로 일측으로 설치되는 제1 수평 케이블베어(121), 타측에 설치되는 제2 수평 케이블베어(122)를 포함한다.In order to reduce the width of the horizontal cable bear 120, any one of the horizontal cable bear 120 of the pair of horizontal cable bearers 120 installed on both sides of the rail 100 may be connected to a wiring installation part A first horizontal cable bearing 121 installed at one side with respect to the first horizontal cable bearer 130, and a second horizontal cable bearing 122 installed at the other side.

상기 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 수평 케이블베어(122) 레일부(100)의 양측에 설치된 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 설치된다.The first horizontal cable bear 121 and the second horizontal cable bear 122 are installed on one side and the other side with respect to the wiring installation part 130 provided on both sides of the rail part 100.

또한, 후술하는 주행부(200)의 수평 이동에 따라 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 수평 케이블베어(122)가 수평상에서 좌, 우로 서로 반대되는 위치로 번갈아 가면서 이동하게 된다.In addition, the first horizontal cable bear 121 and the second horizontal cable bear 122 alternately move horizontally to the opposite positions to each other in accordance with the horizontal movement of the traveling unit 200, which will be described later.

이와 같이, 수평 케이블베어(120)를 레일부(100) 양측으로 나누어 배치하고, 양측 중 한쪽에 설치되는 어느 하나의 수평 케이블베어(120)는 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나누어 설치함으로써, 수평 케이블베어(120)의 폭을 줄일 수 있게 되는 것이다.In this way, the horizontal cable bear 120 is divided into two parts on both sides of the rail part 100, and one of the horizontal cable bearings 120 installed on one of the two sides is connected to one side and the other side with reference to the wiring part 130 The width of the horizontal cable bear 120 can be reduced.

즉, 상기 수평 케이블베어(120)를 레일부(100) 양측을 나누어 배치시킴으로써 그 폭을 1/2로 줄일 수 있고, 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나눔으로써 폭을 다시 1/2로 줄일 수 있게 된다.In other words, the width of the horizontal cable bear 120 can be reduced by half by disposing both side portions of the rail portion 100, and by dividing the horizontal cable bear 120 into one side and the other side with reference to the wiring installation portion 130, 1/2. ≪ / RTI >

이는, 한쪽 방향에 모든 케이블을 묶음으로 배치시킨 상태로 케이블베어를 설치할 때와 비교하여 그 폭을 1/4로 줄일 수 있고, 레일부(100)의 설치면적을 줄일 수 있게 된다.This makes it possible to reduce the width of the cable bear by 1/4 and reduce the installation area of the rail portion 100 as compared with a case where all the cables are bundled in one direction and the cable bear is installed.

또한, 반송 로봇 암의 수에 대응하여 수평 케이블베어(120)의 개수가 구성될 수 있도록 할 수도 있으며, 이에 따라, 암의 개수에 대응하여 수평 케이블베어(120)의 개수가 정해지면서 수평 케이블베어(120)를 가변적으로 설계할 수도 있다.In addition, the number of the horizontal cable bails 120 may correspond to the number of the transport robot arms. Accordingly, the number of the horizontal cable bails 120 is determined corresponding to the number of the arms, (120) may be variably designed.

한편, 상기 레일부(100) 양측에는 전원 및 제어 신호를 외부로부터 인가받기 위한 배선설치부(130)가 설치되고, 그 위치는 레일부(100)의 중간 지점이 될 수 있다.On both sides of the rail 100, a wiring installation part 130 for receiving a power supply and a control signal from the outside is provided, and the location of the wiring installation part 130 may be a midpoint of the rail 100.

따라서, 상기에서 설명한 바와 같이, 제1 수평 케이블베어(121)와 제2 케이블베어(122)가 상기 배선설치부(130)를 기준으로 일측과 타측으로 각각 나누어 설치됨에 따라, 수평 케이블베어(120)의 원활한 이동을 위해서 상기 배선설치부(130)가 설치되는 위치는 레일부(100)의 중간 지점으로 설정하는 것이 바람직할 것이다.Therefore, as described above, since the first horizontal cable bear 121 and the second cable bear 122 are separately installed on one side and the other side with respect to the wiring installation part 130, the horizontal cable bear 120 It is preferable that the position where the wiring installation part 130 is installed is set as an intermediate point of the rail part 100. [

한편, 상기 배선설치부(130)는 레일부(100)의 외부로 돌출되지 않도록 레일부(100) 내부로 내장되도록 복수개의 단자가 구비된 케이블 커넥터(미도시)가 설치된다.The wiring installation part 130 is provided with a cable connector (not shown) having a plurality of terminals to be installed inside the rail part 100 so as not to protrude outside the rail part 100.

상기 케이블 커넥터는 로봇의 전원 및 신호 제어를 위한 케이블을 접속하기 위한 단자로서, 그 위치가 레일부(100) 안쪽에 위치할 수 있도록 설치된다.The cable connector is a terminal for connecting a cable for power supply and signal control of the robot and is installed so that its position can be located inside the rail 100.

여기서 상기 케이블 커넥터에 접속되는 케이블 측 커넥터는 'ㄱ'가 형태로 꺾어진 구조의 커넥터일 수 있으며, 이로 인해, 외부로부터 케이블이 케이블 커넥터에 접속된 상태에서도 레일부(100) 외부로 돌출되지 않는 구조가 될 수 있다.Here, the cable-side connector connected to the cable connector may be a connector having a structure in which the cable is connected to the cable connector from the outside, so that the cable-side connector does not protrude outside the rail portion 100 .

따라서, 반송 로봇의 설치 공간을 최소화시켜 로봇의 동작간섭영역을 줄일 수 있는 효과를 도모한다.Therefore, the installation space of the transportation robot can be minimized and the operation interference area of the robot can be reduced.

한편, 레일부(100)는 지면에 직접 설치되거나, 설치공간의 환경에 맞게 지면으로부터 일정 높이를 띄운 상태로 설치하기 위해 레일부(100) 외측으로 복수개의 서포트(140)가 설치될 수 있다.Meanwhile, the rail part 100 may be installed directly on the ground, or a plurality of supports 140 may be installed outside the rail part 100 in order to install the rail part 100 in a state in which the rail part 100 has a predetermined height from the ground according to the environment of the installation space.

상기 서포트(140) 일측에는 수직으로 타공된 장공이 형성되고, 레일부(100)에 대해 장공에 볼트가 결합되어 서포트(140)가 설치될 수 있는 구조로 이루어진다.A vertical hole is formed at one side of the support 140 and a bolt is coupled to the rail 100 to support the support 140.

다음으로, 주행부(200)는 반송 로봇의 수평 이동을 위한 부분이다.Next, the traveling unit 200 is a part for horizontally moving the transportation robot.

상기 주행부(200)는 상기 레일부(100)의 수평레일(110) 상에서 수평으로 주행한다.The traveling unit 200 runs horizontally on the horizontal rail 110 of the rail 100.

이를 위해, 수평레일(110)의 구조에 대응하도록 수평 구동부(210)가 형성될 수 있는데, 그 예로, 수평레일(110)이 평기어 형태의 랙기어로 구성될 경우, 주행부(200)에는 수평 구동부(210)는 피니언기어를 포함하는 모터가 설치될 수 있다.For this purpose, the horizontal drive unit 210 may be formed to correspond to the structure of the horizontal rail 110. For example, when the horizontal rail 110 is a rack gear of the spur gear type, The horizontal driving unit 210 may include a motor including a pinion gear.

따라서, 랙기어의 수평레일(110) 상에서 피니언기어가 설치된 수평 구동부(210)에 의해 주행부(200)가 수평상에서 이동할 수 있게 된다.Therefore, the driving unit 200 can be moved horizontally by the horizontal driving unit 210 provided with the pinion gear on the horizontal rail 110 of the rack gear.

상기에서 설명한 바와 같이, 다양한 형태로 수평레일(110)을 구성할 수 있고, 이와 대응되도록 수평 구동부(210)를 구성할 수 있다.As described above, the horizontal rail 110 can be configured in various forms, and the horizontal driver 210 can be configured to correspond to the horizontal rail 110.

다음으로, 선회부(300)는 반송 로봇의 회전동작을 하기 위한 부분이다.Next, the swivel part 300 is a part for rotating the carrier robot.

상기 선회부(300)는 상기 주행부(200) 상측에 설치되고, 360도 회전 가능하도록 구성된다.The swivel part 300 is installed on the traveling part 200 and is rotatable 360 degrees.

다음으로, 승강부(400)는 후술하는 암 유닛(500)을 수직상에서 승강하기 위한 가이드 역할을 한다.Next, the elevating part 400 serves as a guide for vertically elevating and lowering the arm unit 500, which will be described later.

상기 승강부(400)는 선회부(300) 상측 또는 일측에 수직으로 배치되거나 선회부(300)의 중심에서 편심되도록 배치될 수 있다.The elevating part 400 may be vertically disposed on the upper side or one side of the swivel part 300 or may be arranged to be eccentric from the center of the swivel part 300.

이렇게 상기 승강부(400)를 선회부(300)로부터 편심되도록 배치시키는 이유는 후술하는 암 유닛(500)의 슬라이딩 암(540)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회부(300)의 회전 동작이 이루어질 수 있도록 하기 위함이다.The elevating part 400 is disposed eccentrically from the swivel part 300 so that the sliding arm 540 of the arm unit 500 described later can be rotated in the direction of the swivel part 300 In order to allow the rotation operation of the motor.

한편, 상기 승강부(400) 일측에는 수직으로 수직레일(410)이 설치된다.Meanwhile, a vertical rail 410 is vertically installed on one side of the elevating part 400.

상기 수직레일(410)은 수평레일(110)과 마찬가지로 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 수직으로 이동하도록 안내할 수 있는 구조이면 어느 한 가지 형태로 한정하지 않는다.The vertical rail 410 may be formed in various shapes as well as the horizontal rail 110, and is not limited to any one structure that can guide the vertical rail 410 to move vertically.

한편, 상기 승강부(400) 내부에는 암 유닛(500)의 작동을 위해 케이블을 보호하고 암 유닛(500)의 승강에 따라 이동하는 수직 케이블베어(420)가 설치된다.The vertical cable bear 420 is installed inside the elevating unit 400 to protect the cable for moving the arm unit 500 and move as the arm unit 500 moves up and down.

이때, 상기 수직 케이블베어(420)는 승강부(400)의 양측으로 나누어 한 쌍으로 배치되도록 이루어질 수 있다.At this time, the vertical cable bails 420 may be divided into two parts on both sides of the elevating part 400.

이는, 수직 케이블베어(420)의 폭을 줄이기 위해 승강부(400) 양측으로 나누어 배치시키기 위함이다.In order to reduce the width of the vertical cable bear 420, the vertical cable bear 420 is divided into two parts.

여기서, 상기 승강부(400)의 양측으로 나누어 설치되는 한 쌍의 수직 케이블베어(420) 중 승강부(400) 일측에 설치되는 수직 케이블베어(420)는 암 유닛(500)의 승강에 따라 각각 상측과 하측으로 이동하는 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)를 포함한다.The vertical cable bear 420 installed on one side of the elevation part 400 of the pair of vertical cable bearers 420 installed on both sides of the elevation part 400 is moved up and down by the arm unit 500 And includes a first vertical cable bear 421 and a second vertical cable bear 422 moving upward and downward.

이에 따라, 후술하는 암 유닛(500)의 수직 이동에 따라 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)가 수직상에서 상, 하로 서로 반대되는 위치로 번갈아 가면서 이동하게 된다.Accordingly, the first vertical cable bear 421 and the second vertical cable bear 422 are alternately moved vertically and vertically to each other in accordance with the vertical movement of the arm unit 500 described later.

이와 같이, 수직 케이블베어(420)를 승강부(400) 양측으로 나누어 배치하고, 양측 중 한쪽에 설치되는 어느 하나의 수직 케이블베어(420)는 상, 하측으로 나누어 설치함으로써, 수직 케이블베어(420)의 폭을 줄일 수 있게 되는 것이다.The vertical cable bear 420 is divided into two parts on both sides of the lift part 400 and one vertical cable bear 420 installed on one side of the vertical cable bear 420 is divided into upper and lower parts, ) Can be reduced.

즉, 상기 수직 케이블베어(420)를 승강부(400) 양측을 나누어 배치시킴으로써 그 폭을 1/2로 줄일 수 있고, 상, 하측으로 각각 나눔으로써 폭을 다시 1/2로 줄일 수 있게 된다.In other words, the width of the vertical cable bear 420 can be reduced by half by disposing the vertical cable bearer 420 on both sides of the vertical cable bearer 420, and by dividing the vertical cable bearer 420 into upper and lower sides, the width can be reduced to 1/2.

이는, 한쪽 방향에 모든 케이블을 묶음으로 배치시킨 상태로 케이블베어를 설치할 때와 비교하여 그 폭을 1/4로 줄일 수 있고, 승강부(400)의 부피를 줄일 수 있게 된다.This makes it possible to reduce the width of the cable bear by 1/4 and reduce the volume of the elevation part 400 as compared with a case where all the cables are arranged in a bundle in one direction.

다음으로, 암 유닛(500)은 기판을 지지하는 복수개의 포크(550)가 설치되는 부분이다.Next, the arm unit 500 is a portion where a plurality of forks 550 supporting the substrate are installed.

상기 암 유닛(500)은 크게, 암베이스(510), 암바디(520), 슬라이딩 암(530), 핸드프레임(540), 포크(550)를 포함하여 구성된다.The arm unit 500 includes an arm base 510, an arm body 520, a sliding arm 530, a hand frame 540, and a fork 550.

상기 암베이스(510)는 상기 승강부(400)에 결합되고 수직레일(410)에 상에서 수직으로 승강하는 부분이다.The arm base 510 is coupled to the elevating unit 400 and vertically moves up and down on the vertical rail 410.

상기 암베이스(510) 내부에는 수직레일(410)의 구조와 대응되도록 수직 구동부(511)가 설치된다.Inside the arm base 510, a vertical driving unit 511 is provided to correspond to the structure of the vertical rail 410.

수직 구동부(511)는 상기 주행부(200)의 수평 구동부(210)와 마찬가지로 수직레일(410)의 구조에 대응되도록 구성된다.The vertical driving unit 511 is configured to correspond to the structure of the vertical rail 410 in the same manner as the horizontal driving unit 210 of the driving unit 200.

한편, 상기 암베이스(510)에는 승강부(400)에 대해 직각을 이루도록 배치되는 암바디(520)가 설치된다.The arm base 520 is disposed on the arm base 510 at right angles to the elevation part 400.

이때, 상기 암바디(530)는 복수개의 기판이 특정 간격으로 이격되고 간격의 범위를 확장시키기 위해 승강부(400)에 체결되어 승강하는 암베이스(510)가 상측과 하측에 각각 분리되어 설치될 수도 있다.At this time, the arm body 530 is installed separately from the upper and lower sides of the arm base 510, which is fastened to and lifted by the elevating part 400 to extend a range of a plurality of substrates, It is possible.

즉, 포크(550)의 간격을 설정함에 있어 일률적으로 동일한 간격으로 배치되지 않고 필요에 따라 상, 하측을 분리하여 간격을 설정할 수 있게 되는 것이다.That is, in setting the intervals of the forks 550, the upper and lower sides may be separated from each other as needed, without being arranged at uniform intervals.

한편, 상기 상, 하측의 암베이스(510) 사이에는 리밋센서(미도시)가 설치될 수도 있다.Meanwhile, a limit sensor (not shown) may be installed between the upper and lower arm bases 510.

이러한, 상기 리밋센서에 의해 상, 하측의 암베이스(510) 서로 근접한 상태가 되면 더 이상 구동되지 않도록 하여 상, 하측의 암베이스(510) 사이의 간격을 감지하여 암베이스(510) 간에 충돌을 방지한다.When the upper and lower arm bases 510 are brought close to each other by the limit sensor, the distance between the upper and lower arm bases 510 is sensed by preventing the upper and lower arm bases 510 from being driven further, prevent.

한편, 상기 암베이스(510)에는 상측과 하측의 암바디(530) 사이의 간격을 조절하기 위해 스페이서(미도시)가 설치될 수 있다.A spacer (not shown) may be provided on the arm base 510 to adjust the distance between the upper and lower arms 530.

상기 스페이서는 암베이스(510) 상측과 하측의 암바디(530)에 설치될 수 있다.The spacer may be installed on the upper and lower arm bodies 530 of the arm base 510.

또한, 상기 스페이서는 복수개로 이루어져 간격을 미세하게 설정할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the spacers are composed of a plurality of spacers so that spacing can be finely set.

따라서, 상기 암베이스(510)에 설치되는 스페이서의 개수를 임의로 정하여 복수개의 스페이서를 적층시킴으로써 상측의 암바디(530)와 하측의 암바디(530) 사이의 간격을 띄울 수 있게 된다.Therefore, the spacing between the upper arm body 530 and the lower arm body 530 can be increased by stacking a plurality of spacers by arbitrarily determining the number of the spacers provided on the arm base 510.

또한, 복수개로 구성되는 각 스페이서의 두께를 달리하여 적용시킬 수도 있다.Further, the thickness of each of the plurality of spacers may be differently applied.

상기 슬라이딩 암(540)은 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 암바디(530)에 대해 윗면에서 봤을 때 직각을 이루는 구조로 설치된다.As shown in FIG. 2, the sliding arm 540 is installed at a right angle to the arm body 530 when viewed from the top.

여기서, 상기 슬라이딩 암(540)은 복수개로 구성될 수 있고, 2개를 1개 쌍을 이루도록 일정 간격을 두고 4개의 쌍으로 구성될 수 있다.Here, the sliding arm 540 may be composed of a plurality of sliding doors, and the sliding arms 540 may be formed of four pairs at regular intervals to form two pairs.

하지만, 이는, 도면을 참고하여 설명하기 위한 것으로, 슬라이딩 암(540)의 개수는 한정하지 않는다.However, this is to be described with reference to the drawings, and the number of the sliding arms 540 is not limited.

한편, 상기 암 유닛(500)은 선회부(300) 회전시 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 선회할 수 있도록 슬라이딩 암(540)의 크기가 레일부(100)의 면적 보다 작게 형성되는 것이 바람직하다.The sliding arm 540 is formed to be smaller than the area of the rail 100 so that the arm unit 500 can be pivoted without departing from the area of the rail 100 when the swivel unit 300 rotates. .

즉, 그 예로서, 선회부(300)의 일측으로 편심되도록 승강부(400)를 배치하고, 승강부(400) 일측, 선회부(300)의 중앙에 레일부(100)의 면적보다 작게 슬라이딩 암(540)이 배치되도록 함으로써, 선회부(300)의 회전시 슬라이딩 암(540)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않고 회전할 수 있게 되는 것이다.That is, as an example, the elevating part 400 is disposed eccentrically to one side of the swivel part 300, and the sliding part 300 is slid in the center of the swivel part 400, The sliding arm 540 can be rotated without departing from the area of the rail part 100 when the swivel part 300 is rotated.

상기 슬라이딩 암(530)은 후술하는 핸드프레임(540)이 수평상으로 이동할 수 있도록 하기 위한 것으로, 모터(미도시)를 포함할 수 있다.The sliding arm 530 may include a motor (not shown) for moving the hand frame 540 described below in a horizontal direction.

또한, 상기 슬라이딩 암(530)에는 하측면과 상측면으로 레일홈(531)이 길이방향으로 형성될 수 있다.Further, the sliding arm 530 may be formed with a rail groove 531 in the longitudinal direction from the lower side and the upper side.

상기 레일홈(531)은 슬라이딩 암(530)에 홈 형태로 형성되거나, 돌출된 레일의 형태로도 이루어질 수 있으며, 핸드프레임(540)과 결합되어 슬라이딩될 수 있는 구성이면 이를 모두 포함한다.The rail groove 531 may be formed in the form of a groove in the sliding arm 530 or may be formed in the form of a protruded rail and may be combined with the hand frame 540 so as to be slidable.

따라서, 핸드프레임(540)이 레일홈(531)에 안착된 상태로 슬라이딩될 수 있게 되는 것이다.Therefore, the hand frame 540 can be slid in a state of being seated in the rail groove 531. [

또한, 복수개의 핸드프레임(540)이 각각 개별적으로 슬라이딩될 수도 있다.In addition, the plurality of hand frames 540 may be individually slid.

한편, 도 3을 참고하여 설명하면, 상기 핸드프레임(540)은 후술하는 포크(550)를 설치하기 위한 부분이다.3, the hand frame 540 is a part for installing a fork 550 to be described later.

상기 핸드프레임(540)은 상기 슬라이딩 암(530)에 설치된다.The hand frame 540 is installed on the sliding arm 530.

즉, 복수개로 구성되는 슬라이딩 암(530)의 개수에 맞게 상측면과 하측면에 설치될 수 있다.That is, it may be installed on the upper and lower sides in accordance with the number of the sliding arms 530.

즉, 상측의 암바디(530)에 설치되는 슬라이딩 암(530)에 설치되는 핸드프레임(540)은 슬라이딩 암(530) 하측면에, 하측의 암바디(520)에 설치되는 슬라이딩 암(530)에 설치되는 핸드프레임(540)은 슬라이딩 암(530) 상측면에 설치될 수 있다.That is, the hand frame 540 mounted on the sliding arm 530 installed on the upper arm body 530 is mounted on the lower side of the sliding arm 530, the sliding arm 530 installed on the lower arm body 520, The hand frame 540 installed on the sliding arm 530 may be installed on the side surface of the sliding arm 530.

또한, 슬라이딩 암(530)의 레일홈(531)에 체결될 수도 있다.Further, it may be fastened to the rail groove 531 of the sliding arm 530.

이때, 상기 핸드프레임(540)은 직각으로 절곡된 구조로 형성되되, 그 길이를 달리하여 상측의 슬라이딩 암(530)과 하측의 슬라이딩 암(530) 사이에 핸드프레임(540)이 일정 간격으로 배열될 수 있도록 구성된다.At this time, the hand frame 540 is bent at right angles, and the hand frame 540 is arranged between the upper sliding arm 530 and the lower sliding arm 530 at regular intervals Lt; / RTI >

이를 위해, 상측의 슬라이딩 암(530)에는 'ㄴ'자 형태로 절곡되도록 하고, 하측의 슬라이딩 암(530)에는 'ㄱ'자 형태로 절곡되도록 구성하는 것이 바람직하다.To this end, it is preferable that the upper sliding arm 530 is bent in an 'a' shape and the lower sliding arm 530 is bent in an 'a' shape.

상기 포크(550)는 기판을 지지하기 위한 역할을 하는 부분이다.The fork 550 serves to support the substrate.

상기 포크(550)는 복수개가 설치되며, 상기 핸드프레임(540)의 개수에 대응하도록 구성된다.A plurality of the forks 550 are provided, and are configured to correspond to the number of the hand frames 540.

즉, 상기 핸드프레임(540)의 끝단부에 막대 형태로 설치될 수 있다.In other words, it may be provided in the form of a rod at the end of the hand frame 540.

따라서, 기판은 복수개의 포크(550)에 얹어진 상태로 정렬된 상태로 반송될 수 있다.Accordingly, the substrate can be transported in a state of being placed on the plurality of forks 550.

그리고 상기 포크(560)는 슬라이딩 암(540)의 길이 보다 길지 않도록 형성되는 것이 바람직하다.The fork 560 may be formed to be longer than the length of the sliding arm 540.

상기 포크(550)는 흡착패드(551)과 위치센서(552)를 포함한다.The fork 550 includes an adsorption pad 551 and a position sensor 552.

상기 흡착패드(551)는 기판을 포크(550)에 고정시키기 위한 역할을 한다.The adsorption pad 551 serves to fix the substrate to the fork 550.

또한, 흡착패드(551)는 복수개의 기판을 동시에 고정시키기 위해 복수개의 흡착패드(551)가 일정 간격마다 설치된다.In addition, the adsorption pad 551 is provided with a plurality of adsorption pads 551 at predetermined intervals so as to simultaneously fix a plurality of substrates.

한편, 상기 위치센서(552)는 흡착패드(551)과 인접한 위치에 설치되어 기판의 위치를 감지하게 된다.Meanwhile, the position sensor 552 is installed at a position adjacent to the adsorption pad 551 to sense the position of the substrate.

상기 위치센서(552)는 포크(550)의 외측 부분에 설치되는 제1 위치센서(552a)와 포크(550)의 핸드프레임(540) 측 부분에 설치되는 제2 위치센서(552b)를 포함하고, 상기 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b) 사이에 설치되는 제3 위치센서(552c)를 포함할 수 있다.The position sensor 552 includes a first position sensor 552a provided at an outer portion of the fork 550 and a second position sensor 552b provided at a portion of the fork 550 near the hand frame 540 And a third position sensor 552c installed between the first position sensor 552a and the second position sensor 552b.

상기 제1 위치센서(552a)는 포크(550)의 끝단부분에 위치되되, 포크(550)의 가장 끝단부분에 설치되는 흡착패드(551) 보다 핸드프레임(540) 측 방향의 안쪽으로 설치된다.The first position sensor 552a is located at the end of the fork 550 and is disposed inside the side of the hand frame 540 than the suction pad 551 provided at the end of the fork 550. [

또한, 상기 제2 위치센서(552b)는 포크(550) 상에서 핸드프레임(540) 측 방향 일측에 설치된다.The second position sensor 552b is installed on a side of the fork 550 in the direction of the hand frame 540.

그리고, 상기 복수개의 흡착패드(551)는 제1 위치센서(552a)와 인접하고 포크(550)의 끝단 방향에 설치되며, 또 다른 흡착패드(551)들은 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b) 사이에 설치될 수 있다.The plurality of adsorption pads 551 are adjacent to the first position sensor 552a and are disposed in the end direction of the fork 550. The other adsorption pads 551 are disposed between the first position sensor 552a and the second position sensor 552a, And may be installed between the position sensors 552b.

여기서, 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b) 사이에 제3 위치센서(552c)가 설치될 수 있다.Here, a third position sensor 552c may be provided between the first position sensor 552a and the second position sensor 552b.

이렇게, 포크(550)의 끝단부터, 흡착패드(551), 제1 위치센서(552a), 흡착패드(551), 제3 위치센서(552c), 흡착패드(551), 제2 위치센서(552b) 순으로 배열될 수 있다.The first position sensor 552a, the adsorption pad 551, the third position sensor 552c, the adsorption pad 551, the second position sensor 552b ).

상기와 같이 흡착패드(551)는 위치센서(552)의 기판 감지 여부에 따라 복수개의 흡착패드(551) 중 선별적으로 선택되어 작동될 수 있도록 구성된다.As described above, the adsorption pad 551 is configured to be selectively selected among a plurality of the adsorption pads 551 according to whether the position sensor 552 detects the substrate.

또한, 흡착패드(551)의 흡입 압력과 위치센서(552)의 감지 여부에 따라 기판의 개수와 크기를 판별할 수도 있다.Also, the number and size of the substrates may be determined according to the suction pressure of the adsorption pad 551 and the detection of the position sensor 552.

즉, 흡착패드(551)에 안착되는 기판은 각 위치센서(552)의 감지되는 여부를 통해 기판의 크기를 판별할 수 있고, 흡착패드(551)에 안착된 기판의 유무에 따라 흡착패드(551)의 흡입 압력의 차를 비교하여 기판이 흡착패드(551)에 안착되었는지를 판단하여 기판의 개수 및 크기를 판별할 수 있게 되는 것이다.That is, the substrate that is placed on the adsorption pad 551 can determine the size of the substrate through whether or not each position sensor 552 is sensed, and can detect the size of the adsorption pad 551 And determines whether the substrate is seated on the adsorption pad 551, thereby determining the number and size of the substrates.

이렇게, 흡착패드(551)에 안착된 기판의 특성에 따라 흡착패드(551)의 작동 유무를 결정할 수 있게 된다.Thus, the operation of the adsorption pad 551 can be determined according to the characteristics of the substrate placed on the adsorption pad 551.

이하에서는 도 5 내지 도 7을 참고하여 기판의 개수 및 크기에 따라 위치센서(552)가 기판을 감지하고 흡착패드(551)가 작동되는 다양한 실시예를 구체적으로 설명한다.5 to 7, various embodiments in which the position sensor 552 senses the substrate and the adsorption pad 551 is operated according to the number and size of the substrates will be described in detail.

먼저, 소형 크기 2개의 기판이 포크(550)에 고정된 예를 설명한다.First, an example in which two small size substrates are fixed to the fork 550 will be described.

소형 크기의 기판 중 하나는 포크(550)의 끝단 부분에 위치된 흡착패드(551) 위치에 배치되고, 다른 하나의 소형 크기의 기판은 핸드프레임(540) 측 가장장리의 흡착패드(551) 위치에 배치된다.One of the small size substrates is disposed at the position of the adsorption pad 551 located at the end portion of the fork 550 and the other small size substrate is disposed at the position of the adsorption pad 551 at the longest side of the hand frame 540 side .

이때, 소형 크기의 기판은 각각 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b)에 의해 감지되었지만 제3 위치센서(552c)에는 기판이 감지되지 않음에 따라, 소형 크기의 기판이거나 중형 크기의 기판이 2개일 경우로 판단할 수 있게 된다.At this time, the small size substrates are detected by the first position sensor 552a and the second position sensor 552b respectively, but the third position sensor 552c does not detect the substrate, so that the small size substrate or the medium size It can be determined that the number of substrates is two.

이때, 다시 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b) 사이에 배치되는 흡착패드(551)를 작동시켜 흡입되는 압력의 차를 비교한다.At this time, the suction pad 551 disposed between the first position sensor 552a and the second position sensor 552b is actuated to compare the difference in the suction pressure.

이렇게 복수개의 흡착패드(551)의 흡입 시 발생하는 흡입 압력의 차가 발생하게 되면 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b) 사이에는 기판이 안착되지 않음으로 판단할 수 있고, 이 경우는 최종적으로 소형 크기의 기판 2개가 배치되었음으로 판단할 수 있게 된다.When a difference in suction pressure occurs during the suction of the plurality of suction pads 551, it can be determined that the substrate is not seated between the first position sensor 552a and the second position sensor 552b. In this case, It can be judged that two small size substrates are finally disposed.

따라서, 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b)와 인접한 양측의 흡착패드(551)만 작동될 수 있도록 제어한다.Therefore, only the first adsorption pad 551 adjacent to the first position sensor 552a and the second position sensor 552b can be operated.

다음으로, 중형 크기 2개의 기판이 포크(550)에 고정된 예를 설명한다.Next, an example in which two substrates of medium size are fixed to the fork 550 will be described.

중형 크기의 기판 중 하나는 포크(550)의 끝단 부분에 위치된 흡착패드(551) 위치에 배치되고, 다른 하나의 소형 크기의 기판은 핸드프레임(540) 측 가장장리의 흡착패드(551) 위치에 배치된다.One of the medium size substrates is disposed at the position of the adsorption pad 551 located at the end portion of the fork 550 and the other small size substrate is disposed at the position of the adsorption pad 551 at the longest side of the hand frame 540 side .

이때, 중형 크기의 기판은 각각 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b)에 의해 감지되었지만, 제3 위치센서(552c)에는 기판이 감지되지 않음에 따라, 소형 크기의 기판이거나 중형 크기의 기판이 2개일 경우로 판단할 수 있게 된다.At this time, the medium size substrate is detected by the first position sensor 552a and the second position sensor 552b, respectively, but the substrate is not detected in the third position sensor 552c, It can be determined that the number of substrates is two.

이때, 다시 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b) 사이에 배치되는 흡착패드(551)를 작동시켜 흡입되는 압력의 차를 비교한다.At this time, the suction pad 551 disposed between the first position sensor 552a and the second position sensor 552b is actuated to compare the difference in the suction pressure.

그 다음, 복수개의 흡착패드(551)의 흡입 시 흡착패드(551) 간에 흡입 압력의 차가 발생하지 않을 경우, 최종적으로 중형 크기의 기판 2개가 배치되었음으로 판단할 수 있게 된다.Next, when there is no difference in suction pressure between the adsorption pads 551 when the plurality of adsorption pads 551 are sucked, it can be judged that two medium size substrates are finally disposed.

따라서, 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b)와 인접한 양측의 흡착패드(551) 모두 작동될 수 있도록 제어한다.Therefore, both the first position sensor 552a and the second position sensor 552b and the adjacent adsorption pads 551 are controlled to be operated.

다음으로, 대형 크기 1개의 기판이 포크(550)에 고정된 예를 설명한다.Next, an example in which one substrate of a large size is fixed to the fork 550 will be described.

대형 크기의 기판이 포크(550)의 끝단 부분에 위치된 흡착패드(551) 위치에서 핸드프레임(540) 측 가장장리의 흡착패드(551) 위치에 걸쳐 배치된다.A large size substrate is disposed over the position of the suction pad 551 at the end of the fork 550 and at the position of the suction pad 551 at the side of the hand frame 540 at the front end.

이때, 대형 크기의 기판은 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b) 및 제3 위치센서(552c) 모두 감지됨에 따라, 대형 크기의 1개의 기판이 안착된 것으로 판단할 수 있게 된다.At this time, the large-size substrate can be judged that one substrate of a large size is seated as the first position sensor 552a, the second position sensor 552b and the third position sensor 552c are detected .

이에 따라, 이 경우에는 흡착패드(551)의 압력의 차를 비교하지 않더라도 대형 크기의 기판으로 판단할 수 있어 복수개의 흡착패드(551) 모두 작동될 수 있도록 제어한다.Accordingly, in this case, even if the pressure difference of the adsorption pad 551 is not compared, it can be determined that the substrate is a large-sized substrate, so that the plurality of adsorption pads 551 can be operated.

또한, 소형 크기의 기판과 중형 크기의 기판을 사용하는 경우에는 제3 위치센서(552c)가 삭제된 구성, 즉, 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b)만으로도 소형 크기의 기판과 중형 크기의 기판 크기를 판별할 수 있게 된다.In the case of using a substrate of a small size and a substrate of a medium size, the third position sensor 552c may be omitted, i.e., only the first position sensor 552a and the second position sensor 552b may be used, And the substrate size of a medium size can be discriminated.

여기서, 상기 양측에 배치되는 흡착패드(551)를 하나의 그룹으로, 제1 위치센서(552a)와 제2 위치센서(552b) 사이에 배치되는 흡착패드(551)을 다른 그룹으로 설정하여 각 그룹별로 작동될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.Here, the adsorption pads 551 disposed on both sides are set as one group, and the adsorption pads 551 disposed between the first position sensor 552a and the second position sensor 552b are set as different groups, It is preferable to be constructed so as to be able to operate independently.

상기와 같이, 흡착패드(551)와 위치센서(552)를 통해 기판의 개수 및 크기를 산출할 수 있고, 이를 실시간으로 모니터링 할 수 있게 된다.As described above, the number and the size of the substrate can be calculated through the adsorption pad 551 and the position sensor 552, and it can be monitored in real time.

또한, 기판의 특성에 맞도록 흡착패드(551)를 제어하여 전력 낭비를 줄여 소음 및 전력을 줄일 수 있게 된다.In addition, the absorption pad 551 is controlled according to the characteristics of the substrate, thereby reducing power consumption and noise.

상기 실시예에서는 4개의 흡착패드(551)를 일예로 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상은 흡착패드(551)의 개수를 한정하지 않으며 기판의 특성에 따라 흡착패드(551)가 더 추가될 수 있음을 밝힌다.Although the four adsorption pads 551 have been described as an example in the above embodiment, the technical idea of the present invention is not limited to the number of the adsorption pads 551, and the adsorption pads 551 may be further added depending on the characteristics of the substrate I will.

이하에서는 도 2 내지 도 7을 참조하여 상기 설명한 멀티 암 반송 로봇의 작용에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the above-described multi-arm carrying robot will be described with reference to Figs. 2 to 7. Fig.

먼저, 작업공간의 지면에 레일부(100)가 설치되고, 레일부(100)에 설치된 수평레일(110) 상에서 주행부(200)의 수평 구동부(210)의 작동에 의해 주행부(200)는 수평 상에서 좌, 우로 주행하게 된다.First, a rail part 100 is installed on a ground surface of a work space, and the running part 200 is operated by the operation of the horizontal driving part 210 of the driving part 200 on the horizontal rail 110 installed on the rail part 100 It travels horizontally left and right.

이때, 레일부(100)에 설치된 수평 케이블베어(120)는 주행부(200)의 양측, 즉, 레일부(100)의 양측 부분에 설치된 한 쌍의 수평 케이블베어(120)는 주행부(200)의 주행에 따라 수평상에서 좌, 우로 번갈아 가면서 이동하게 된다.The horizontal cable bear 120 installed on the rail part 100 has a pair of horizontal cable bearings 120 installed on both sides of the running part 200, that is, both side parts of the rail part 100, In accordance with the running of the vehicle.

그 다음, 반송 로봇의 회전 동작을 요하는 경우, 선회부(300)의 작동에 의해 회전 동작을 구현한다.Next, when the turning operation of the conveying robot is required, the turning operation is realized by the operation of the turning unit 300. [

이때, 승강부(400)가 선회부(300)로부터 편심되도록 배치되고, 슬라이딩 암(540)이 선회부(300) 중앙의 상측에 배치되어 선회부(300)의 회전 동작 시 암 유닛(500)이 레일부(100)의 면적을 벗어나지 않은 상태로 회전이 가능하게 된다.At this time, the elevating part 400 is disposed eccentrically from the swivel part 300, and the sliding arm 540 is disposed on the upper side of the center of the swivel part 300 so that the arm unit 500, It is possible to rotate in a state in which the area of the rail part 100 does not deviate.

그 다음, 수직으로 이동하는 동작이 필요한 경우, 승강부(400)의 수직레일(410) 상에서 암 유닛(500)의 암베이스(510)가 수직으로 승강되면서 수직 동작을 구현한다.Then, when vertical movement is required, the arm base 500 of the arm unit 500 is lifted vertically on the vertical rail 410 of the lifting unit 400 to implement a vertical motion.

여기서, 상기 암베이스(510)는 수직 구동부(511)의 작동에 따라 구동되고, 상측 또는 하측으로 승강부(400) 상에서 수직으로 주행이 가능해진다.Here, the arm base 510 is driven in accordance with the operation of the vertical driving unit 511, and can be vertically traveled on the elevating unit 400 upward or downward.

이때, 승강부(400)에 설치된 수직 케이블베어(420), 즉, 제1 수직 케이블베어(421)와 제2 수직 케이블베어(422)는 암베이스(510)와 연동되어 수직 구동부(511)에 따라 상, 하로 이동하게 된다.At this time, the vertical cable bear 420, that is, the first vertical cable bear 421 and the second vertical cable bear 422 installed in the elevation part 400 are interlocked with the arm base 510 to be connected to the vertical driving part 511 And then moves up and down.

또한, 경우에 따라 암베이스(510) 상, 하측으로 스페이서를 설치하여 암바디(520)와 암바디(520) 사이의 간격을 설정할 수 있게 된다.In some cases, a spacer may be provided on the lower side of the arm base 510 to set a gap between the lower body 520 and the lower body 520.

한편, 암 유닛(500)에 설치되는 포크(550)에 기판이 얹어지는데, 기판의 특성 및 크기에 따라 기판의 개수를 정하고, 이에 대하여 핸드프레임(550)의 배열을 달리하여 포크(560) 사이의 간격을 설정할 수 있다.The number of the substrates is determined according to the characteristics and the size of the substrate. The number of the substrates is determined by the arrangement of the hand frames 550, Can be set.

이때, 상기 포크(550)에 안착 고정되는 기판의 개수와 크기는 흡착패드(551)와 위치센서(552)를 통해 판단하고 흡착패드(551)를 선택적으로 선별하여 제어하여 작동된다.At this time, the number and size of the substrates that are fixed to the fork 550 are determined through the adsorption pad 551 and the position sensor 552, and the adsorption pad 551 is selectively controlled to operate.

이와 같이, 상기 본 발명에 따른 멀티 암 반송 로봇은 복수개의 기판을 탑재한 상태로 수평, 수직, 회전 동작을 구현하여 반송 작업을 수행할 수 있게 된다.As described above, the multi-arm transportation robot according to the present invention can carry out the transportation operation by implementing the horizontal, vertical, and rotation operations with a plurality of substrates mounted thereon.

상기 설명한 바와 같이, 복수개의 슬라이딩 암(540)을 소정의 간격으로 배치될 수 있도록 구성하고 복수개의 포크(560)를 설치하여 한 번의 이송으로 복수개의 기판을 반송할 수 있게 된다.As described above, a plurality of sliding arms 540 can be arranged at predetermined intervals, and a plurality of forks 560 can be provided, so that a plurality of substrates can be transported in one transport.

또한, 포크(550)에 복수개의 흡착패드(551)와 위치센서(552)를 통해 기판의 개수와 크기를 자동을 인식하여 포크(550) 한 개에서 복수개의 기판을 고정할 수 있고 반송하고자 하는 기판의 상황에 최적화되어 작동될 수 있게 된다.It is also possible to automatically recognize the number and size of the substrates through the plurality of adsorption pads 551 and the position sensor 552 on the forks 550 so that a plurality of substrates can be fixed on one fork 550, So that it can be optimally operated in the state of the substrate.

이에 따라, 복수개의 기판을 한 번에 반송함으로써 생산성을 높일 수 있고, 실시간으로 반송되는 기판 상황의 데이터 수집 및 기판의 특성에 대응하여 작동할 수 있어 전력 손실을 줄일 수 있는 특징이 있는 것이다.This makes it possible to increase the productivity by transporting the plurality of substrates at a time, and to operate in accordance with the characteristics of the substrate and the data collection of the substrate state conveyed in real time, thereby reducing power loss.

한편, 본 발명은 앞서 설명한 실시예로 한정되는 것이 아니라 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있고, 그러한 수정 및 변형이 가해진 것도 본 발명의 기술적 사상에 속하는 것으로 보아야 한다.While the present invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. .

100: 레일부 110: 수평레일
120: 수평 케이블베어 121: 제1 수평 케이블베어
122: 제2 수평 케이블베어 130: 배선설치부
140: 서포트 200: 주행부
210: 수평 구동부 300: 선회부
400: 승강부 410: 수직레일
420: 수직 케이블베어 421: 제1 수직 케이블베어
422: 제2 수직 케이블베어 500: 암 유닛
510: 암베이스 511: 수직 구동부
520: 암바디 530: 슬라이딩 암
531: 레일홈 540: 핸드프레임
550: 포크 551: 흡착패드
552: 위치센서 552a: 제1 위치센서
552b: 제2 위치센서 552c: 제3 위치센서100: rail part 110: horizontal rail
120: Horizontal cable bare 121: First horizontal cable bare
122: second horizontal cable bear 130: wiring installation part
140: Support 200:
210: horizontal driving unit 300:
400: elevating part 410: vertical rail
420: vertical cable bear 421: first vertical cable bearing
422: second vertical cable bear 500: arm unit
510: arm base 511: vertical driving part
520: arm body 530: sliding arm
531: rail groove 540: hand frame
550: fork 551: adsorption pad
552: position sensor 552a: first position sensor
552b: second position sensor 552c: third position sensor

Claims (5)

복수의 기판을 반송할 수 있도록 복수개의 암이 구비된 반송 로봇에 있어서,
지면에 설치되고 내부에 수평레일이 구비되는 레일부;
상기 레일부의 레일 상에서 수평으로 주행하는 주행부;
상기 주행부 상측에 설치되어 회전하는 선회부;
상기 선회부 일측에 설치되고 수직상으로 배치되는 수직레일이 설치된 승강부; 및
상기 승강부의 레일상에서 수직으로 승강하고, 기판을 지지하는 복수개의 포크가 설치된 암 유닛;을 포함하여 구성되되,
상기 포크에는 기판을 흡착하여 고정시키는 복수개의 흡착패드가 설치되고, 기판의 위치를 감지하기 위한 위치센서가 설치되는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.A transfer robot comprising a plurality of arms for transferring a plurality of substrates,
A rail part installed on the ground and having a horizontal rail inside;
A running portion that runs horizontally on a rail of the rail portion;
A revolving portion provided on the upper portion of the traveling portion and rotating;
An elevating portion provided at one side of the swivel portion and provided with a vertical rail arranged in a vertical phase; And
And a plurality of forks mounted vertically on the rails of the elevating unit and supporting the substrate,
Wherein the fork is provided with a plurality of adsorption pads for adsorbing and fixing the substrate, and a position sensor for detecting the position of the substrate is installed. 제 1항에 있어서,
상기 위치센서는, 포크의 외측 부분에 설치되는 제1 위치센서와 포크의 핸드프레임 측 부분에 설치되는 제2 위치센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the position sensor includes a first position sensor provided at an outer portion of the fork and a second position sensor provided at a portion of the fork at a side of the hand frame. 제 1항에 있어서,
상기 위치센서는, 포크의 외측 부분에 설치되는 제1 위치센서와 포크의 핸드프레임 측 부분에 설치되는 제2 위치센서 및 상기 제1 위치센서와 제2 위치센서 사이에 설치되는 제3 위치센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.The method according to claim 1,
The position sensor includes a first position sensor provided on the outside portion of the fork, a second position sensor provided on the hand frame side portion of the fork, and a third position sensor provided between the first position sensor and the second position sensor And the multi-arm carrying robot comprises: 제 1항에 있어서,
상기 흡착패드는, 위치센서의 감지 여부에 따라 복수개의 흡착패드 중 선별적으로 선택되어 작동될 수 있는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of suction pads can be selectively selected and operated according to whether or not the position sensor is sensed. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡착패드의 흡입 압력과 위치센서의 감지 여부에 따라 기판의 개수와 크기를 판별할 수 있는 것을 특징으로 하는 멀티 암 반송 로봇.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the number and size of the substrates can be determined according to the suction pressure of the adsorption pad and the detection of the position sensor.
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