KR20160091142A - 미세입자 및 가스입자 측정 시스템 - Google Patents
미세입자 및 가스입자 측정 시스템 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20160091142A KR20160091142A KR1020150011419A KR20150011419A KR20160091142A KR 20160091142 A KR20160091142 A KR 20160091142A KR 1020150011419 A KR1020150011419 A KR 1020150011419A KR 20150011419 A KR20150011419 A KR 20150011419A KR 20160091142 A KR20160091142 A KR 20160091142A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- sensor
- fine particles
- gas
- mass
- concentration
- Prior art date
Links
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 claims abstract description 239
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 24
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 9
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 claims description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 241000700605 Viruses Species 0.000 claims description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 3
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 12
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000003380 quartz crystal microbalance Methods 0.000 description 4
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0656—Investigating concentration of particle suspensions using electric, e.g. electrostatic methods or magnetic methods
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
- B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
- B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
- B03C3/38—Particle charging or ionising stations, e.g. using electric discharge, radioactive radiation or flames
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
- G01N15/0618—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support of the filter type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N5/00—Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid
- G01N5/02—Analysing materials by weighing, e.g. weighing small particles separated from a gas or liquid by absorbing or adsorbing components of a material and determining change of weight of the adsorbent, e.g. determining moisture content
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템은 공기에 포함된 미세입자를 대전(electrification)시키는 대전부, 전기적 인력을 통해서, 대전된 미세입자를 포획하는 미세입자 포획부, 및 포획된 미세입자에 기반하여 상기 공기 중에 포함된 미세입자의 농도를 측정하는 측정부를 포함할 수 있다.
Description
본 발명은 미세입자 및 가스입자 측정 시스템에 관한 것이다.
공기 중에 포함된 입자의 양을 측정하는 방법으로 종래에는 흡입관으로 흡입된 공기에 포함된 미세입자를 원심력을 이용하여 미세입자의 크기(또는 질량)별로 분리한 후, 분리된 미세입자를 미세필터에 포집하여 분석하는 방법이 사용되고 있다.
즉, 흡입관과 필터를 이용하여 미세입자를 포집하는 방식은 공기의 양을 일정하게 유지하고, 일정한 크기의 흡입관을 이용하여 미세입자를 원심력을 이용하여 크기에 따라 분류한다.
그러나, 미세입자의 크기가 1um 이하인 경우, 원심력 및 미세필터를 이용하더라도, 대부분이 미세필터에 포집되지 않고, 공기와 함께 흡입관의 밖으로 배출되기 때문에 정확한 미세입자의 양을 측정하기 어려운 문제점이 있다.
공기 중 미세입자의 양을 측정하는 또 다른 방법으로 광학계를 이용하여 산란 특성을 측정하여 PM10, PM2.5 PM1.0 등으로 입자의 크기별로 미세입자의 수를 카운팅하는 방법이 상용화되어 있으며 가격이 비싸고 산란광학계를 구성하기 위해 계측기기의 크기를 센서소자 형태로 작게 줄이기 어려운 문제점이 있다.
최근에는, 휴대형 스마트기기에 구비된 카메라를 이용하여, 공기의 투과도를 분석하여 공기의 청정도를 측정하는 방법도 제안되고 있지만, 측정결과가 정확하지 않을 가능성이 높고, 공기 중에 포함된 크기가 작은 초미세입자를 정밀 분석하는 것은 불가능하다.
본 발명의 목적은 미세필터 및 원심력을 이용하지 않고, 공기에 포함된 미세입자 및 가스입자의 농도를 측정하는 미세입자 및 가스입자 측정 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 목적은 산란광학계를 이용하지 않고, 공기에 부유하는 미세입자의 농도를 측정하는 초소형 미세입자 측정 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 포획된 미세입자 및 가스입자를 정성적으로 분석하는 미세입자 및 가스입자 측정 시스템을 제공하는 데 있다.
상기와 같은 기술적 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템은 공기에 포함된 미세입자를 대전(electrification)시키는 대전부, 전기적 인력을 통해서, 대전된 미세입자를 포획하는 미세입자 포획부, 및 포획된 미세입자에 기반하여 상기 공기 중에 포함된 미세입자의 농도를 측정하는 측정부를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 대전부는 음이온 또는 양이온을 발생시켜 상기 미세입자를 음(-)전하 또는 양(+)전하로 대전시키는 음이온 발생 모듈을 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 미세입자 포획부는 상기 대전된 미세입자가 흡착되는 미세입자 포획센서를 포함하고, 상기 미세입자 포획센서는 상기 대전된 미세입자의 효과적 흡착을 위한 정전기력을 발생시키는 전계가 인가되어 상기 대전된 미세입자가 흡착되는 센서전극, 및 상기 센서전극과의 관계에서 전압의 기준이 되는 상대전극을 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 측정부는 상기 센서전극에 흡착된 미세입자의 두께를 측정하는 두께 측정부, 및 측정된 두께에 기반하여, 상기 미세입자가 공기 중에 포함된 농도를 산출하는 농도 산출부를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 센서전극은 금속 박막으로 형성되고, 상기 두께 측정부는 상기 흡착된 미세입자의 두께에 따라 변화하는 광학적 특성을 이용하여 상기 흡착된 미세입자의 두께를 측정할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 측정부는 상기 센서전극에 흡착된 미세입자의 질량을 측정하는 질량 측정부, 및 측정된 질량에 기반하여, 상기 미세입자가 공기 중에 포함된 농도를 산출하는 농도 산출부를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 측정부는 상기 미세입자 포획센서에 시간당 흡착되어 출력되는 센서의 질량 혹은 두께 변화값과 공기 중 미세입자의 미세먼지량과의 상관관계를 통해 표준관계식을 만들고 이를 이용하여 미지의 공기 중 미세입자의 농도를 산출하는 산출부를 포함할 수 있다.
실시예에 있어서, 상기 측정부는 상기 미세입자 포획센서에 일련번호를 부여하고, 상기 일련번호에 따라 측정된 농도, 측정시 온습도 등의 기상정보, 상기 측정된 농도의 측정시간 및 상기 측정된 농도의 측정날짜 중 적어도 하나 이상을 저장할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 일련번호 및 상기 일련번호에 따라 저장된 데이터를 외부의 장치에 전달하는 통신부를 더 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 센서전극에 흡착된 미세입자의 성분을 분석하여, 유해물질 또는 유해바이러스의 존재 여부를 판단하는 분석부를 더 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 공기를 흡입하여 상기 대전부에 제공하는 흡입관, 및 상기 흡입관에 흡입되는 공기의 양 또는 공기의 흐름을 제어하는 공기 제어기를 더 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 측정부는 수정진동자마이크로밸런스(QCM), 표면공명(SPR), 두께측정기(elipsometer), 라만산란 등을 이용하는 센서 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.
실시 예에 있어서, 상기 측정부는 미세입자의 흡착효율과 검출성능을 향상시키기 위하여 센서전극 표면에 마이크로나노패턴을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 미세입자 및 가스입자 측정 시스템의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 미세필터 및 원심력을 이용하지 않고, 공기에 포함된 미세입자 및 초미세입자의 농도를 측정할 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 산란 광학계를 이용하지 않고, 공기에 부유하는 초미세입자의 농도를 측정할 수 있는 초소형 시스템을 구현할 수 있다.
본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 초소형 시스템으로 측정한 공기 중 부유 초미세 농도를 모바일기기와 연계시켜, 현장에서 시간별로 변화하는 초미세입자의 농도 변화를 원격으로 측정할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예들 중 적어도 하나에 의하면, 포획된 미세입자를 정성적으로 분석할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템을 나타내는 도면이다.
도 2a는 본 발명의 다른 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템을 나타내는 도면이다.
도 2b는 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템을 나타내는 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 미세입자를 포획하는 센서를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 입자의 두께를 광학적으로 측정하는 두께 측정부의 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자의 두께를 광학적으로 측정하는 두께 측정부의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 및 가스입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자 또는 가스입자의 질량을 측정하는 예를 나타내는 도면이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자를 정성적으로 분석하는 예를 나타내는 도면이다.
도 2a는 본 발명의 다른 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템을 나타내는 도면이다.
도 2b는 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템을 나타내는 도면이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 미세입자를 포획하는 센서를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 입자의 두께를 광학적으로 측정하는 두께 측정부의 예를 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자의 두께를 광학적으로 측정하는 두께 측정부의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 및 가스입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자 또는 가스입자의 질량을 측정하는 예를 나타내는 도면이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자를 정성적으로 분석하는 예를 나타내는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 명세서에 개시된 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. 이하의 설명에서 사용되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다. 또한, 본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명하기로 한다. 본 발명은 본 발명의 정신 및 필수적 특징을 벗어나지 않는 범위에서 다른 특정한 형태로 구체화될 수 있음은 당업자에게 자명하다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템을 나타내는 도면이다. 도 1을 참조하면, 미세입자 측정 시스템은 대전부(110), 미세입자 포획부(130) 및 측정부(150)를 포함할 수 있다.
대전부(110)는 공기에 포함된 미세입자가 전하를 띠는 미세입자가 되도록 공기에 포함된 미세입자를 대전(electrification)시킬 수 있다. 구체적으로, 대전부(110)는 전기적으로 중성상태인 공기 중 미세입자의 양전하량과 음전하량이 불균형을 이루도록 하여, 공기 중 미세입자가 양전기 또는 음전기를 띠게 만들 수 있다. 이를 위해서, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템에 포함되는 대전부(110)는 미세입자가 음전하를 포함하여 음전기를 띠도록, 음이온을 발생시켜 미세입자를 음이온으로 대전시키는 음이온 발생 모듈을 포함할 수 있다.
미세입자 포획부(130)는 대전부(110)에서 대전된 미세입자를 전기적 인력을 통해서 포획할 수 있다. 구체적으로, 미세입자 포획부(130)는 대전부(110)에서 대전된 미세입자의 전하와 반대되는 전하로 대전되는 미세입자 포획센서를 포함할 수 있고, 대전된 미세입자의 전하와 미세입자 포획센서의 전하 사이에서 작용하는 전기적 인력에 의해서, 대전부(110)에서 대전된 미세입자는 미세입자 포획부(130)에 흡착될 수 있다. 미세입자 포획센서의 구체적인 내용은 도 3a 및 도 3b를 통하여 설명한다.
측정부(150)는 미세입자 포획부(130)에서 포획된 미세입자에 기반하여, 공기 중에 포함된 미세입자의 농도를 측정할 수 있다. 구체적으로, 측정부(150)는 미세입자 포획부에 포획된 미세입자의 두께 또는 질량을 바탕으로, 이와 비례하는 상관관계에 있는 농도를 측정할 수 있다.
이를 위해서, 측정부(150)는 미세입자 포획센서에 흡착된 미세입자의 두께를 측정하는 두께 측정부 또는 질량을 측정하는 질량 측정부를 포함할 수 있고, 측정된 두께 또는 질량에 기반하여, 해당 미세입자가 공기 중에 얼마나 포함되어 있는지를 나타내는 농도를 산출하는 농도 산출부를 포함할 수 있다. 구체적으로, 측정부(150)는 수정진동자질량센서(QCM), 표면공명(SPR), 두께측정기(elipsometer) 또는 라만산란 등을 이용하는 센서 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다. 측정부(150)의 구체적인 내용은 도 4 내지 도 6b를 통하여 구체적으로 설명한다.
그리고, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 미세입자가 포함된 농도를 측정하는 대상이 되는 공기를 흡입하여 대전부(110)에 제공하는 흡입관을 더 포함할 수 있고, 흡입관에 흡입되는 공기의 양 또는 공기의 흐름을 제어하는 공기 제어기를 더 포함할 수 있다. 여기서, 공기 제어기는 팬(fan) 장치로 구현될 수 있다.
위와 같은 구성을 바탕으로, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 원심력 및 미세필터를 이용하지 않고, 미세입자의 포획 및 농도 측정이 가능하다. 그리고, 미세입자의 크기와 관계없이 미세입자는 전기적 성질을 띠도록 대전될 수 있고, 전기적 인력 역시 미세입자의 크기와 관계없이 작용하므로, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 미세입자의 크기에 영향을 받지 않는다. 그 결과, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 미세필터로 포집되지 않은 초미세입자까지 정확하게 포획할 수 있고, 공기 중에 포함된 미세입자의 농도를 정확하게 측정할 수 있다.
도 2a는 본 발명의 다른 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템을 나타내는 도면이다. 도 2a를 참조하면, 미세입자 측정 시스템은 대전부(210), 미세입자 포획부(230), 측정부(250) 및 통신부(270)를 포함할 수 있다.
도 2a의 미세입자 측정 시스템에 포함되는 대전부(210), 미세입자 포획부(230) 및 측정부(250)는 도 1에서 설명한 바와 동일하므로, 구체적인 설명은 생략하고, 도 1과 비교하여 차이점이 있는 구성을 설명한다.
미세입자 측정 시스템은 통신부(270)를 더 포함할 수 있다. 통신부(270)는 측정부(250)과 연결되고, 외부에 존재하는 장치와 데이터를 송수신할 수 있다. 구체적으로, 통신부(270)는 측정부(250)에서 측정된 데이터를 외부의 장치(예를 들어, 서버)에 송신할 수 있다. 그리고, 통신부(270)가 사용하는 통신 채널은 유/무선 통신이 될 수 있으며, 특정한 통신 방식에 한정되는 것은 아니다.
공기 중에 포함된 미세입자의 농도는 시간에 따라 변화할 수 있고, 이러한 변화에 대한 데이터는 공기의 오염도 연구에 관한 자료로 사용될 수 있으므로, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 통신부(270)를 통하여 농도가 측정된 시간, 농도가 측정된 날짜 또는 측정된 농도 등에 관한 데이터를 실시간으로 외부의 서버 등에 전달할 수 있다.
구체적으로, 측정부(250)는 특정한 상황에서 미세입자를 포획한 미세입자 포획센서가 다른 미세입자 포획센서와 구분되도록, 일련번호를 부여할 수 있다. 그리고, 측정부(250)는 해당 일련번호에 대응하는 미세입자 포획센서에서 측정된 미세입자의 농도, 측정된 농도의 측정시간 및 측정된 농도의 측정날짜 중 적어도 하나 이상을 해당 일련번호와 함께 저장할 수 있다.
그리고, 통신부(270)는 측정부(250)에서 부여된 일련번호 및 해당 일련번호에 따라 저장된 측정된 미세입자의 농도, 측정된 농도의 측정시간 및 측정된 농도의 측정날짜 중 적어도 하나 이상의 데이터를 외부의 장치에 전달할 수 있다.
위와 같은 구성을 바탕으로, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 미세입자의 측정된 농도 및 이와 관련된 데이터를 외부의 장치에 실시간으로 전달할 수 있다.
도 2b는 본 발명의 또 다른 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템을 나타내는 도면이다. 도 2b를 참조하면, 미세입자 측정 시스템은 대전부(210), 미세입자 포획부(230), 측정부(250) 및 분석부(290)를 포함할 수 있다.
도 2b의 미세입자 측정 시스템에 포함되는 대전부(210), 미세입자 포획부(230) 및 측정부(250)는 도 1에서 설명한 바와 동일하므로, 구체적인 설명은 생략하고, 도 1과 비교하여 차이점이 있는 구성을 설명한다.
미세입자 측정 시스템은 분석부(290)를 더 포함할 수 있다. 분석부(290)는 미세입자 포획부(230)와 연결되고, 포획된 미세입자를 정성적으로 분석할 수 있다. 구체적으로, 분석부(290)는 필요에 따라 포획된 미세입자의 정밀한 분석이 필요한 경우, 미세입자 포획센서에 흡착된 미세입자의 성분이 무엇인지 판단하고, 해당 성분이 인체에 유해한 유해물질 또는 유해바이러스인지 여부를 판단할 수 있다. 예들 들어, 분석부(290)는 미세입자 포획센서에 흡착된 미세입자를 정성적으로 분석할 수 있는 전자현미경(SEM, scanning election microscopy) 또는 광학현미경을 포함할 수 있고, EDX(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)분석 또는 분광법(photo spectrometry)을 통해서, 흡착된 미세입자의 성분을 분석할 수 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 미세입자를 포획하는 센서를 나타내는 도면이다. 도 3a는 미세입자 포획센서를 상부에서 바라본 도면이고, 도 3b는 미세입자 포획센서의 단면을 나타내는 도면이다.
본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템의 미세입자 포획부는 미세입자 포획센서를 포함할 수 있다. 여기서, 미세입자 포획센서는 대전부에서 대전된 미세입자가 전기적 인력을 통해서 흡착되는 센서일 수 있다.
미세입자 포획센서는 센서전극(310) 및 상대전극(320)을 포함할 수 있고, 보호막(321) 및 기판(330)을 더 포함할 수 있다.
센서전극(310)은 금속박막으로 형성된 금속박막전극일 수 있고, 투명한 재질로 형성될 수 있다. 그리고, 센서전극(310)은 대전부에서 대전된 미세입자가 띠는 전하와 전기적으로 반대되는 전하로 대전될 수 있다. 그로 인해서, 대전된 미세입자는 센서전극(310)에 흡착되고, 반복적인 대전된 미세입자의 흡착에 따라, 누적되는 대전된 미세입자는 센서전극(310) 상부에 층으로 형성될 수 있다.
상대전극(320)은 센서전극(310)이 대전부에서 대전된 미세입자가 띠는 전하와 전기적으로 반대되는 전하로 대전될 수 있도록, 센서전극(320)과의 관계에서 전압의 기준이 되는 전극일 수 있다. 구체적으로, 미세입자 포획센서는 상대전극(320)을 기준으로 전압을 제어하여, 센서전극(320)이 대전되는 전하의 종류와 전하량을 제어할 수 있다. 상대전극(320)은 역시 투명한 재질로 형성될 수 있다.
위와 같은 센서전극(310) 및 상대전극(320)은 기판(330)의 상부에 형성될 있고, 기판(330)은 투명한 재질로 형성된 투명한 기판일 수 있다. 기판(330)이 투명한 기판인 경우, 측정부는 센서전극(310)에 흡착되어 층을 형성하는 미세입자의 두께를 기판(330)의 하부에서 광학적으로 측정할 수 있다.
보호막(321)은 상대전극(320) 상부에 형성되고, 대전된 미세입자의 적층에 의해 센서전극(310)과 상대전극(320)이 단락(short)되는 것을 방지할 수 있다. 보호막(321) 역시 투명한 재질로 형성될 수 있다.
그리고, 상대전극(320)은 미세입자 포획센서와 동일한 기판에 형성되지 않을 수 있다. 즉, 센서전극(310)과 동일한 기판에 형성될 필요는 없으며, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템을 제작하는데 있어 필요하다면, 기판 외부(예를 들어, 흡입관 등)에 별도의 전극으로 형성될 수 있다. 그리고, 상대전극(320)은 센서전극(310)과 별도의 기판에 형성되어, 평행판 전극 혹은 별개의 전극 구조로 형성되어 센서전극(310)과 상대전극(320) 사이에 정전기력 작용을 위한 전기장을 형성시키는 것도 가능하다.
즉, 도 3a 및 도 3b에 도시된 미세입자 포획센서는 하나의 일 예로서 설명되었으며, 본 발명에 포함되는 미세입자 포획센서의 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템에 포함되는 미세입자 포획부는 시간에 따른 미세입자의 농도의 측정을 위해서, 복수의 미세입자 포획센서를 구비할 수 있다. 농도가 측정된 미세입자 포획센서는 다음 측정을 위해서 자동으로 언로딩(unloading)될 수 있고, 새로운 미세입자 포획센서는 자동으로 로딩(loading)될 수 있다. 구체적으로, 시간의 변화에 따라 자동으로 미세입자 포획센서가 교환되도록 구현될 수 있다.
도 4 는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 입자의 두께를 광학적으로 측정하는 두께 측정부의 예를 나타내는 도면이다.
본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템의 측정부는 앞서 설명한 바와 같이 센서전극(340)에 흡착된 미세입자의 두께를 측정하는 두께 측정부를 포함할 수 있고, 도 4는 미세입자 포획센서의 기판(330)의 상부에서, 흡착된 미세입자의 두께를 측정하는 두께 측정부를 나타내는 도면이다.
두께 측정부는 광원(410), 분석기(450) 및 광 검출기(460)를 포함할 수 있고, 편광기(420) 및 보상기(430, 440)를 더 포함할 수 있다.
광원(410)에서 출력된 광은 편광기(420)를 통하여 정렬되고, 보상기(430)를 통하여 보상되어, 미세입자 포획센서의 센서전극(310)의 상부에 흡착된 미세입자 층(340)에 도달한다. 도달된 광은 흡착된 미세입자 층(340), 센서전극(310) 또는 기판(330)에서 반사되거나 또는 굴절된 후 반사된다. 반사된 광은 보상기(440)를 통과하여 분석기(450) 및 광 검출기(460)에 도달한다.
즉, 두께 측정부는 분석기(450) 및 광 검출기(460)에 도달된 광의 광학적 특성을 이용하여, 센서전극(310)의 상부에 흡착된 미세입자 층(340)의 두께를 측정할 수 있다. 그리고, 측정부에 포함되는 농도 산출부는 측정된 두께, 흡입된 공기의 흐름 또는 미세먼지가 흡착된 시간을 고려하여, 미세입자의 농도를 산출할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자의 두께를 광학적으로 측정하는 두께 측정부의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 5는 미세입자 포획센서의 기판(330)의 하부에서, 흡착된 미세입자의 두께를 측정하는 두께 측정부를 나타내는 도면이다.
두께 측정부는 매칭부(510) 및 프리즘(540)을 포함할 수 있다.
매칭부(510)는 기판(330) 하부에 형성되어, 프리즘(540)과 미세입자 포획센서를 광학적으로 연결할 수 있다. 여기서, 매칭부(510)는 매칭오일(matching oil)로 형성될 수 있다.
도 4에서 설명한 두께 측정부와 마찬가지로 광원에서 출력된 광(520)은 프리즘(540)을 통과하여 기판(330)의 하부에 도달한다. 도달된 광은 기판(330), 센서전극(310) 또는 흡착된 미세입자 층(340)에서 반사되거나 또는 굴절된 후 반사된다. 반사된 광(530)은 다시 프리즘(540)을 통과하여 외부로 출력되어, 분석기 및 광 검출기에 도달한다.
즉, 두께 측정부는 분석기 및 광 검출기에 도달된 광의 광학적 특성을 이용하여, 센서전극(310)의 상부에 흡착된 미세입자 층(340)의 두께를 측정할 수 있다. 그리고, 측정부에 포함되는 농도 산출부는 측정된 두께, 흡입된 공기의 흐름 또는 미세먼지가 흡착된 시간을 고려하여, 미세입자의 농도를 산출할 수 있다.
위와 같은 구성을 바탕으로, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 흡착된 미세입자의 두께를 측정할 수 있고, 측정된 두께를 바탕으로 공기 중에 미세입자가 포함된 농도를 측정할 수 있다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자의 질량을 측정하는 예를 나타내는 도면이다. 도 6a는 질량을 측정할 수 있는 미세입자 포획센서를 상부에서 바라본 도면이고, 도 6b는 질량을 측정할 수 있는 미세입자 포획센서의 단면을 나타내는 도면이다.
먼저, 도 6a 및 도 6b를 참조하면, 측정부에 포함되는 질량 측정부가, 질량을 측정할 수 있는 미세입자 포획센서의 기계적 공진주파수와 유사한 전기공진회로로 센서를 구동하면, 질량센서는 고유의 기계적 공진주파수로 자가공진하게 된다. 이때 외부 물질의 흡착으로 인해 미세입자 포획센서의 전체 질량이 변하게 되면, 질량센서의 공진주파수는 변화(낮아지게)하게 되며, 구동회로의 자가공진주파수도 그에 맞춰 변하게 된다. 구체적으로 설명하면, 기판(611) 상부의 센서전극(621)에 미세입자가 흡착되어 질량감지센서의 질량이 변하게 되면, 해당 미세입자의 흡착된 질량에 따라 미세입자 포획센서의 공진주파수가 변화하게 될 것이고, 질량 측정부는 변화된 공진주파수에 기반하여, 흡착된 미세입자의 질량을 측정할 수 있다. 그리고, 미세입자 포획센서는 기판(611)의 상면 및 하면 모두에 센서전극(621, 622)을 구비할 수 있다. 또한, 센서전극(621, 622)은 미세입자의 흡착효율과 검출성능 향상 및 흡착되는 미세입자의 선택성을 만들기 위해서, 표면에 마이크로나노패턴을 포함할 수 있다. 또한, 미세입자의 크기 혹은 화학공유결합의 원리에 따라, 센서전극(621, 622)의 표면은 물리적, 화학적 기능기를 더 포함할 수 있다. 더 구체적으로는 특정 가스입자에 반응하도록 센서전극(621, 622)의 표면을 특정 소재로 나노구조형상으로 센서 표면을 개질할 수 있으며, 이를 통해 공기 중의 미량의 가스입자의 질량을 선택적으로 탐지하는 것도 가능하다.
도 6c는 미세입자 포획센서의 주파수 변화를 측정하는 회로를 나타내는 도면이다. 도 6c를 참조하면, 회로는 제1 및 제2센서(641, 642), 주파수 비교기(650), 주파수 전압 변환기(660) 및 ADC/MCU/통신부(670)를 포함할 수 있다.
제1센서(641) 및 제2센서(642)는 앞서 설명한 미세입자 포획센서가 될 수 있고, 두 개의 센서 중 어느 하나의 센서(예를 들어, 제1센서(641))는 기준 센서가 되고, 다른 하나의 센서(예를 들어, 제2센서(642))는 실제로 미세입자를 흡착하는 센서가 될 수 있다. 여기서, 기준 센서(641)는 외부 환경에 노출되지 않아 미세입자의 흡착이 발생하지 않도록 할 수 있다. 구체적으로, 제1센서(641) 및 제2센서(642)는 고감도의 질량측정을 위해MHz 이상의 공진주파수를 가지는 수정진동자질량센서(QCM)일 수 있다.
주파수 비교기(650)는 제1센서(641) 및 제2 센서(642)와 연결되어, 제1센서(641) 및 제2 센서(642)의 공진 주파수의 차이를 생성하고, 생성된 공진 주파수의 차이값을 주파수 전압 변환기(660)에 전달할 수 있다. 여기서, 공진 주파수의 차이값은 수 Hz내지 수십 kHz 범위의 값이 될 수 있다.
또한, 제3센서, 제4센서, … 및 제 n센서 등은 여러 가지 다양한 화학 기능기로 선택적으로 처리되어, 선택적 미세입자 포획이 가능하도록 복수개의 센서 어레이로 구현될 수 있다. 이러한 경우, 기준이 되는 제1센서와의 주파수 이격 정도를 복수 개의 센서별로 감지하고, 그 정도의 차이를 패턴인식 형태로 인식하여 공기 중 미세입자의 정량적인 분석 및 정성적인 분석이 가능하다.
주파수 전압 변환기(660)는 주파수 비교기(650)로부터 수신한 공진 주파수의 차이값을 전압으로 변환하여 ADC, MCU 및 통신부(670)에 전달할 수 있다.
ADC/MCU/통신부(670)는 주파수 전압 변환기(660)로부터 수신된 전압(V)을 디지털 신호로 변환할 수 있다. 그리고, ADC/MCU/통신부(670)는 변환된 디지털 신호를 유무선 통신 채널을 이용하여 다른 기기(예를 들어, 모바일 기기 또는 서버 등)에 전달할 수 있다. 이를 통해서, 미세입자가 발생되는 현장에서 시간별로 변화하는 미세입자의 농도 변화는 현장과 이격된 장소에서 원격으로 측정될 수 있다.
한편, 측정부에 포함되는 농도 산출부는 측정된 질량, 흡입된 공기의 흐름 또는 미세먼지가 흡착된 시간을 고려하여, 미세입자의 농도를 산출할 수 있다. 그리고, 농도 산출부는 MCU에서 도 6c의 ADC, 메모리 및 통신부(670) 혹은 통신부를 통해 외부 서버 데이터베이스와 연결될 수 있고, 이러한 경우, 농도 산출부는 질량 측정부의 측정 결과를 MCU나 서버에 저장된 데이터와 비교 연산하여 미세입자의 농도를 산출할 수 있다.
측정부의 구체적인 실험 예를 설명하면 다음과 같다. 미세먼지의 흡착에 따른 주파수 전압 변환기(660)의 출력 전압의 변화값(초기값과의 이격정도)은 200mV가 될 수 있으며, 해당 값은 미세먼지의 160ng의 흡착량에 해당할 수 있다. 즉, 일례로 5.5 mV 전압변화 = 1 Hz 공진주파수 변화 = 2ng질량변화에 해당할 수 있다. 이러한 미세입자의 농도를 산출하는 방법은 시간당 미세입자 포획센서에 흡착되는 미세입자의 흡착량과 이로 인한 전압출력 변화값과 대기 중 미세입자의 상관관계를 나타내는 식을 구한 후, 시간당 주파수 전압 변환기(660)의 출력전압 변화를 미지의 미세먼지 농도로 환산하여 산출할 수 있다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 미세입자 측정 시스템에서 흡착된 미세입자를 정성적으로 분석하는 예를 나타내는 도면이다. 도 7a는 전자현미경을 통하여 미세입자 포획센서에 흡착된 미세입자를 관찰한 도면이고, 도 6b는 광학현미경을 통하여 미세입자 포획센서에 흡착된 미세입자를 관찰한 도면이다.
앞서 설명한 바와 같이, 분석부(290)는 미세입자 포획센서에 흡착된 미세입자를 정성적으로 분석할 수 있는 전자현미경 또는 광학현미경을 포함할 수 있다. 이를 통하여, 공기 중에 포함된 미세입자의 성분을 분석할 수 있다.
도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 전자현미경 또는 광학현미경을 통하여 흡착된 미세입자를 관찰하면, 미세입자들(710 내지 760)을 육안으로 확인할 수 있다. 이를 통하여, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 공기 중에 포함된 미세입자의 농도뿐만 아니라, 해당 미세입자가 무엇인지 분석할 수 있고, 해당 미세입자가 유해물질(예를 들어 중금속) 또는 유해바이러스에 해당하는지 여부를 정확하게 분석할 수 있다.
결국, 본 발명에 따른 미세입자 측정 시스템은 원심력 및 미세필터를 이용하지 않고, 미세입자의 포획 및 농도 측정이 가능하다. 또한, 미세입자의 크기와 관계없는 전기적 인력을 이용하므로, 미세필터로 포집되지 않은 초미세입자까지 정확하게 포획할 수 있고, 공기 중에 포함된 미세입자의 농도를 정확하게 측정할 수 있다.
따라서, 이상의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 본 발명의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 본 발명의 범위에 포함된다.
Claims (19)
- 전기적 인력을 통해서, 미세입자를 포획하는 미세입자 포획부; 및
포획된 미세입자에 기반하여 공기 중에 포함된 미세입자의 농도를 측정하는 측정부를 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 1 항에 있어서,
공기에 포함된 상기 미세입자를 대전(electrification)시키는 대전부를 더 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 2 항에 있어서,
상기 대전부는,
음이온 또는 양이온을 발생시켜 상기 미세입자를 음(-)전하 또는 양(+)전하로 대전시키는 이온 발생 모듈을 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 2 항에 있어서,
상기 미세입자 포획부는,
상기 대전된 미세입자가 흡착되는 미세입자 포획센서를 포함하고,
상기 미세입자 포획센서는,
상기 대전된 미세입자를 포획하기 위한 정전기력을 발생시키는 전기장을 형성하는 센서전극; 및
상기 센서전극과의 관계에서 전압의 기준이 되는 상대전극을 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 2 항에 있어서,
상기 측정부는,
상기 센서전극에 흡착된 미세입자의 질량을 측정하는 질량 측정부; 및
측정된 시간당 질량 변화량과 기입력된 표준관계식에 기반하여, 상기 공기 중에 포함된 부유 미세입자의 농도를 산출하는 농도 산출부를 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 5 항에 있어서,
상기 센서전극은,
금속 박막으로 형성되고,
상기 질량 측정부는,
상기 흡착된 미세입자의 양에 따라 변화하는 수정진동자질량센서(QCM)의 공진주파수변화를 이용하여 상기 흡착된 미세입자의 시간당 질량변화를 측정하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 2 항에 있어서,
상기 측정부는,
상기 센서전극에 흡착된 미세입자의 두께를 측정하는 두께 측정부; 및
측정된 시간당 두께 변화에 기반하여, 상기 공기 중에 포함된 부유 미세입자의 농도를 산출하는 농도 산출부를 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 4 항에 있어서,
상기 측정부는,
상기 미세입자 포획센서에 일련번호를 부여하고, 상기 일련번호에 따라 측정된 농도, 측정시 온도, 측정시 습도, 상기 측정된 농도의 측정시간 및 상기 측정된 농도의 측정날짜 중 적어도 하나 이상을 저장하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 8 항에 있어서,
상기 일련번호 및 상기 일련번호에 따라 저장된 데이터를 외부의 장치에 전달하는 통신부를 더 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 4 항에 있어서,
상기 센서전극에 흡착된 미세입자의 성분을 분석하여, 유해물질 또는 유해바이러스의 존재 여부를 판단하는 분석부를 더 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 제 2 항에 있어서,
상기 공기를 흡입하여 상기 대전부에 제공하는 흡입관; 및
상기 흡입관에 흡입되는 공기의 양 또는 공기의 흐름을 제어하는 공기 제어기를 더 포함하는 미세입자 측정 시스템.
- 물리적 흡착 또는 화학적 흡착을 통해서, 가스입자를 포획하는 가스입자 포획부; 및
포획된 가스입자에 기반하여 공기 중에 포함된 가스입자의 농도를 측정하는 측정부를 포함하는 가스입자 측정 시스템.
- 제 12 항에 있어서,
상기 가스입자 포획부는,
상기 가스입자가 흡착되는 가스입자 포획센서를 포함하고,
상기 가스입자 포획센서는,
상기 가스입자의 크기 또는 상기 가스입자의 화학결합 원리에 따른 물리적 기능기 또는 화학적 기능기를 표면에 포함하는 가스입자 측정 시스템.
- 제 13 항에 있어서,
상기 가스입자 포획센서는,
특정한 가스입자에 반응하도록 특정 소재로 형성되는 나노구조형상을 상기 표면에 포함하는 가스입자 측정 시스템.
- 제 12 항에 있어서,
상기 가스입자 포획부는,
포획된 가스입자의 질량을 감지하는 질량센서를 포함하고,
상기 측정부는,
측정된 시간당 질량 변화량과 기입력된 표준관계식에 기반하여, 상기 공기 중에 포함된 가스입자의 농도를 산출하는 농도 산출부를 포함하는 가스입자 측정 시스템.
- 제 15 항에 있어서,
상기 질량센서는,
외부 환경에 노출되지 않는 제1센서; 및
상기 가스입자를 흡착하는 제2센서를 포함하고,
상기 농도 산출부는,
상기 제1센서 및 제2센서의 공진 주파수 차이를 생성하는 주파수 비교기;
상기 공진 주파수 차이를 전압으로 변환하는 주파수 전압 변환기; 및
상기 전압을 디지털 신호로 변환하고, 유무선 통신 채널을 이용하여 상기 디지털 신호를 원격의 다른 기기에 전달하는 ADC/MCU/통신부를 포함하는 가스입자 측정 시스템.
- 제 16 항에 있어서,
상기 제1 센서 및 제2센서는,
질량에 따라 공진 주파수가 변화하는 수정진동자질량센서(QCM)인 가스입자 측정 시스템.
- 제 12 항에 있어서,
상기 가스입자 포획부는,
상기 가스입자의 종류에 따라 개별적으로 대응되는 복수의 질량센서를 포함하고,
상기 복수의 질량센서 각각은,
상기 가스입자의 종류에 따라 상기 가스입자를 선택적으로 흡착하는 각각의 화학 기능기를 포함하며, 복수의 가스입자가 혼합되어 있는 공기에 대한 상기 복수의 질량센서의 반응 정도를 패턴으로 인식하여, 미지의 가스입자를 분석하는, 센서 어레이로 구현되는 가스입자 측정 시스템.
- 제 18 항에 있어서,
상기 측정부는,
상기 복수의 질량센서 중 외부 환경에 노출되지 않는 기준센서의 공진주파수와 나머지 다른 질량센서의 공진주파수 차이에 기반하여, 상기 가스입자를 분석하는 가스입자 측정 시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150011419A KR102002665B1 (ko) | 2015-01-23 | 2015-01-23 | 미세입자 및 가스입자 측정 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150011419A KR102002665B1 (ko) | 2015-01-23 | 2015-01-23 | 미세입자 및 가스입자 측정 시스템 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160091142A true KR20160091142A (ko) | 2016-08-02 |
| KR102002665B1 KR102002665B1 (ko) | 2019-10-01 |
Family
ID=56708244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150011419A KR102002665B1 (ko) | 2015-01-23 | 2015-01-23 | 미세입자 및 가스입자 측정 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102002665B1 (ko) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200024417A (ko) * | 2018-08-28 | 2020-03-09 | 전자부품연구원 | 마이크로 공진기를 이용한 미세먼지 측정장치 및 측정방법 |
| KR102159254B1 (ko) * | 2019-06-10 | 2020-09-23 | 한국원자력연구원 | 미세먼지 분석 장치 및 미세먼지 분석 방법 |
| KR102159941B1 (ko) * | 2019-06-10 | 2020-09-25 | 울산과학기술원 | Qcm 센서를 포함하는 전기식 입자 분석 장치 |
| KR102181866B1 (ko) * | 2019-07-23 | 2020-11-23 | 한국광기술원 | 나노물질 네트워크 소자를 이용한 미세먼지 감지 장치 및 방법 |
| KR102256445B1 (ko) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | (주)와이솔 | 먼지 탈착이 가능한 먼지 센서 |
| CN115106195A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-27 | 南通黄海药械有限公司 | 基于粉尘分析的园林工程施工用除尘*** |
| WO2023119846A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 太陽誘電株式会社 | におい測定装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3757329B2 (ja) * | 2000-08-07 | 2006-03-22 | 株式会社日立製作所 | 有害化学物質監視装置およびその方法 |
| JP2006337332A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ngk Insulators Ltd | 物質検出装置 |
| JP2010032488A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-02-12 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質検出装置 |
| JP2012141277A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-26 | Sharp Corp | 検出装置および検出方法 |
| JP2013096722A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Fujitsu Ltd | 浮遊粒子状物質測定装置及び浮遊粒子状物質測定方法 |
| US20140083167A1 (en) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | Msp Corporation | Particle sampling and measurement in the ambient air |
| JP2014219225A (ja) * | 2013-05-02 | 2014-11-20 | 日本特殊陶業株式会社 | 微粒子測定システム |
-
2015
- 2015-01-23 KR KR1020150011419A patent/KR102002665B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3757329B2 (ja) * | 2000-08-07 | 2006-03-22 | 株式会社日立製作所 | 有害化学物質監視装置およびその方法 |
| JP2006337332A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ngk Insulators Ltd | 物質検出装置 |
| JP2010032488A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-02-12 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質検出装置 |
| JP2012141277A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-26 | Sharp Corp | 検出装置および検出方法 |
| JP2013096722A (ja) * | 2011-10-28 | 2013-05-20 | Fujitsu Ltd | 浮遊粒子状物質測定装置及び浮遊粒子状物質測定方法 |
| US20140083167A1 (en) * | 2012-09-21 | 2014-03-27 | Msp Corporation | Particle sampling and measurement in the ambient air |
| JP2014219225A (ja) * | 2013-05-02 | 2014-11-20 | 日本特殊陶業株式会社 | 微粒子測定システム |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200024417A (ko) * | 2018-08-28 | 2020-03-09 | 전자부품연구원 | 마이크로 공진기를 이용한 미세먼지 측정장치 및 측정방법 |
| KR102159254B1 (ko) * | 2019-06-10 | 2020-09-23 | 한국원자력연구원 | 미세먼지 분석 장치 및 미세먼지 분석 방법 |
| KR102159941B1 (ko) * | 2019-06-10 | 2020-09-25 | 울산과학기술원 | Qcm 센서를 포함하는 전기식 입자 분석 장치 |
| KR102181866B1 (ko) * | 2019-07-23 | 2020-11-23 | 한국광기술원 | 나노물질 네트워크 소자를 이용한 미세먼지 감지 장치 및 방법 |
| KR102256445B1 (ko) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | (주)와이솔 | 먼지 탈착이 가능한 먼지 센서 |
| WO2023119846A1 (ja) * | 2021-12-24 | 2023-06-29 | 太陽誘電株式会社 | におい測定装置 |
| CN115106195A (zh) * | 2022-06-14 | 2022-09-27 | 南通黄海药械有限公司 | 基于粉尘分析的园林工程施工用除尘*** |
| CN115106195B (zh) * | 2022-06-14 | 2023-11-03 | 南通黄海药械有限公司 | 基于粉尘分析的园林工程施工用除尘*** |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102002665B1 (ko) | 2019-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20160091142A (ko) | 미세입자 및 가스입자 측정 시스템 | |
| US8666679B2 (en) | Micro-fabricated double condenser method and apparatus for the measurement of number-size distribution of airborne nano-particles | |
| US7041153B2 (en) | Method of measuring floating dusts | |
| JP6253844B2 (ja) | センサシステム及びセンサ方法 | |
| US9541488B2 (en) | Particle sampling and measurement in the ambient air | |
| CN110325844A (zh) | 用于监测空气颗粒物的***和方法 | |
| JP6168208B2 (ja) | 粒子濃度分布が一様なサンプル作成装置、及びナノ粒子膜成膜装置 | |
| KR101865516B1 (ko) | 미세먼지 농도 측정시스템 | |
| CN106415235A (zh) | 气溶胶质量传感器和感测方法 | |
| CN103940711A (zh) | 一种基于圆盘微机械谐振器的pm2.5颗粒物检测装置 | |
| Poenar | Microfluidic and micromachined/MEMS devices for separation, discrimination and detection of airborne particles for pollution monitoring | |
| US11630037B2 (en) | Particulate matter detection | |
| Ngo et al. | Measurement of PM 2.5 mass concentration using an electrostatic particle concentrator-based quartz crystal microbalance | |
| US20210405007A1 (en) | Low-flow size-selective inlet for air quality sensors and air quality sensor | |
| US20150068282A1 (en) | Portable Ultrafine Particle Sizer (PUPS) Apparatus | |
| JP3758577B2 (ja) | 大気中の浮遊粒子状物質の捕集装置および捕集した浮遊粒子状物質の測定方法 | |
| TWI695163B (zh) | 粒狀物感測裝置 | |
| US10656067B2 (en) | Measuring arrangement and method of directing and detecting particles | |
| US20170276590A1 (en) | System and method for detecting particles | |
| JP2020012846A (ja) | 嗅覚システム、匂い識別装置、匂い識別方法 | |
| Yang et al. | An integrated system for automated measurement of airborne pollen based on electrostatic enrichment and image analysis with machine vision | |
| JP2012132700A (ja) | 粒子測定装置 | |
| Kwon et al. | Particle size spectrometer using inertial classification and electrical measurement techniques for real-time monitoring of particle size distribution | |
| JP4970985B2 (ja) | 花粉量算出方法、花粉量算出プログラム、花粉量算出システム | |
| RU2367932C2 (ru) | Импактор радиометрический |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| AMND | Amendment | ||
| E601 | Decision to refuse application | ||
| AMND | Amendment | ||
| X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
| GRNT | Written decision to grant |