KR20160091131A - Electrical connector assembly - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 전기커넥터 조립체 에 대한 것이다.The present invention is directed to an electrical connector assembly.
반도체 웨이퍼 등의 기판(이하, '기판'이라 함) 상에 박막을 형성하거나, 반도체 소자를 조립하거나, 또는 상기 반도체 소자 등을 검사하는 반도체장치의 경우에 일반적으로 상기 기판 또는 반도체 소자가 수용되는 챔버를 구비하고, 상기 챔버의 내부에서 증착공정, 조립공정 또는 검사공정을 진행한다.In the case of a semiconductor device in which a thin film is formed on a substrate such as a semiconductor wafer (hereinafter, referred to as a substrate), a semiconductor device is assembled, or a semiconductor device is inspected, And a deposition process, an assembling process or an inspection process is performed inside the chamber.
이 때, 상기 각 공정 중에 상기 챔버 내부는 진공 상태와 같이 통상 대기압보다 낮은 압력을 유지하도록 조절된다. 상기와 같이 진공 상태를 유지하는 챔버 내부에서는 전기적인 연결수단을 구비하는 경우에 대기압의 상태에 비해 아킹 등이 발생할 수 있다. 예를 들어, 도 4는 진공 상태를 유지하는 챔버 내부에 구비되는 FIR(Far Infrared) 히터(20)에 전력을 공급하는 커넥터 구조를 도시한다.At this time, the inside of the chamber is adjusted to maintain a pressure lower than the normal atmospheric pressure, such as a vacuum state. In the case of providing the electric connection means in the chamber maintaining the vacuum state as described above, arcing or the like may occur compared to the state of the atmospheric pressure. For example, FIG. 4 shows a connector structure for supplying electric power to a FIR (Far Infrared)
도 4에 도시된 FIR 히터(20)는 상대적으로 두께가 얇은 판 형상을 가지며 상기 판의 일측에 전기적인 패턴(23)이 형성되어 상기 패턴(23)을 통해 전력을 공급받는다.The
종래에는 상기 패턴(23)에 전력케이블(7)을 연결하기 위하여 러그(9)를 활용하였다. 구체적으로, 상기 러그(9)가 관통하는 외부 세라믹 부재(6)와 상기 외부 세라믹 부재(6)의 내측에 구비되어 중심을 맞추는 내부 세라믹 부재(4)를 구비하고, 상기 내부 세라믹 부재(4)와 외부 세라믹 부재(6)를 관통하는 금속 볼트(2) 및 너트(8)에 의해 러그(9)와 패턴(23)을 서로 전기적으로 연결하였다.Conventionally, a lug 9 has been utilized to connect the power cable 7 to the
그런데, 종래 커넥터 구조에서는 FIR 히터(20)를 관통하는 볼트(2)를 너트(8)에 의해 체결하는 구조이므로, 볼트(2) 및 너트(8)의 체결력이 약하면 상기 러그(9)가 상기 패턴(23)에 충분히 접속되지 않고 틈이 발생하여 아킹이 발생할 수 있으며, 반대로 상기 볼트(2) 및 너트(8)의 체결력이 너무 강하면 상기 내부 세라믹 부재(4)와 외부 세라믹 부재(6)의 파손을 유발할 수 있었다. 즉, 작업자의 작업 숙련도에 따라 상기 커넥터의 접속 품질이 달라지게 된다.In the conventional connector structure, since the bolts 2 passing through the
나아가, 종래 커넥터 구조에서는 상기 전력케이블(7)이 상기 FIR 히터(20)와 인접하여 배치됨으로써, 상기 FIR 히터(20)에서 발생하는 열에 의해 상기 전력케이블(7)의 절연층이 녹아 상기 전력케이블(7)과 상기 FIR 히터(20) 사이에 아킹이 발생하는 문제점을 수반하였다.Further, in the conventional connector structure, the power cable 7 is disposed adjacent to the
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 상대적으로 저압의 상태를 유지하는 챔버의 내측에 구비되는 전기커넥터 조립체에 있어서, 전기적인 아킹이나 전기 누설을 방지할 수 있는 전기커넥터 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an electrical connector assembly for preventing electrical arcing and electrical leakage in an electrical connector assembly provided inside a chamber that maintains a relatively low- .
또한, 본 발명은 작업자의 작업 숙련도에 관계 없이 일정 수준 이상의 전기적 접속 상태를 유지하는 전기커넥터 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide an electrical connector assembly that maintains a predetermined level of electrical connection regardless of the skill of a worker.
상기와 같은 본 발명의 목적은 몸체부, 상기 몸체부의 일단에 구비되어 전력케이블이 전기적으로 연결되는 연결부와, 상기 몸체부의 타단에 구비되어 체결부재가 연결되는 체결구가 구비되고 전력을 전달하는 고정부를 구비하는 통전부 및 상기 통전부를 감싸며 상기 전력케이블이 삽입되는 관통구가 구비된 연장부를 포함하는 절연부를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기커넥터 조립체에 의해 달성된다.According to another aspect of the present invention, there is provided an electric power transmission system including a body, a connector provided at one end of the body and electrically connected to a power cable, and a fastener provided at the other end of the body to connect the fastener, And an insulation portion including a conductive portion having a conductive portion and an extension portion having a through hole into which the conductive cable is inserted to surround the conductive portion.
여기서, 상기 연결부에는 상기 전력케이블의 단부가 소정 깊이 삽입되는 삽입홈과, 상기 삽입홈에 삽입된 상기 전력케이블의 단부를 고정하는 고정부재가 연결되는 관통구를 구비할 수 있다.The connection portion may include an insertion groove into which the end of the power cable is inserted to a predetermined depth and a through hole through which the fixing member for fixing the end portion of the power cable inserted into the insertion groove is connected.
또한, 상기 고정부에는 외부의 전기접속부와 연결되는 돌출부를 더 구비하고, 상기 체결구에 연결되는 체결부재는 절연재질로 구비될 수 있다.Further, the fixing portion may further include a protrusion connected to an external electrical connection portion, and the fastening member connected to the fastening portion may be formed of an insulating material.
한편, 상기 체결구에 연결되는 체결부재가 금속으로 이루어져 상기 체결부재를 통해 상기 통전부로 전력이 전달될 수 있다.Meanwhile, the fastening member connected to the fastening member may be made of metal, so that electric power can be transmitted to the current passing portion through the fastening member.
한편, 상기 통전부는 전도성 금속을 포함할 수 있다.Meanwhile, the conductive part may include a conductive metal.
나아가, 상기 절연부는 사출로 형성될 수 있다.Further, the insulating portion may be formed by injection molding.
전술한 구성을 가지는 본 발명의 전기커넥터 조립체에 따르면 전도성 금속으로 이루어진 통전부에 의해 전기적인 접속을 하게 되므로 통전부와 외부의 전기접속부와의 틈 발생을 방지하여 진공 상태의 챔버 내에서 전기적인 아킹이나 전기 누설을 방지할 수 있다.According to the electrical connector assembly of the present invention having the above-described configuration, since the electrical connection is made by the conductive part made of conductive metal, it is possible to prevent a gap between the conductive part and the external electrical connection part, And electric leakage can be prevented.
또한, 본 발명은 작업자의 작업 숙련도에 관계 없이 일정 수준 이상의 전기적 접속 상태를 유지할 수 있다.Further, the present invention can maintain the electrical connection state at a certain level or more regardless of the work skill of the operator.
도 1은 일 실시예에 따른 전기커넥터 조립체의 단면도,
도 2는 도 1에서 통전부를 도시한 사시도,
도 3은 다른 실시예에 따른 전기커넥터 조립체의 단면도,
도 4는 종래 커넥터 장치의 구조를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an electrical connector assembly according to one embodiment,
Fig. 2 is a perspective view showing a conductive part in Fig. 1,
3 is a cross-sectional view of an electrical connector assembly according to another embodiment,
4 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional connector device.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들에 따른 전기커넥터 조립체에 대해서 상세하게 살펴보도록 한다. 이하 설명되는 전기커넥터 조립체는 기판 상에 박막을 증착하는 박막증착장치, 반도체소자를 조립하는 조립장치 또는 상기 반도체소자를 검사하는 검사장치와 같이 상대적으로 저압의 상태를 유지하는 챔버 내부에서 소정의 공정을 진행하는 반도체장치에 모두 적용될 수 있다.Hereinafter, an electrical connector assembly according to various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The electrical connector assembly to be described below may be applied to a semiconductor device such as a thin film deposition apparatus for depositing a thin film on a substrate, an assembling apparatus for assembling the semiconductor element, or an inspection apparatus for inspecting the semiconductor element, The present invention is not limited thereto.
도 1은 일 실시예에 따른 전기커넥터 조립체의 단면도이고, 도 2는 도 1에서 통전부를 도시한 사시도이다. 도 1 및 도 2에서는 FIR 히터(20)의 패턴(23)에 전기적으로 연결되는 전기커넥터 조립체(1000)를 예로 들어 설명한다.FIG. 1 is a cross-sectional view of an electrical connector assembly according to an embodiment, and FIG. 2 is a perspective view showing a conductive part in FIG. 1. FIG. 1 and 2, an
도 1 및 도 2를 참조하면, 전기커넥터 조립체(1000)는 전력을 전달하는 통전부(100)와 상기 통전부(100)를 감싸는 절연부(200)를 구비할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2, the
구체적으로, 상기 통전부(100)는 몸체부(110)와, 상기 몸체부(110)의 일단에 구비되어 전력케이블(300)이 전기적으로 연결되는 연결부(130)와, 상기 몸체부(110)의 타단에 구비되어 체결부재(10)가 연결되는 체결구(124)가 구비되고 전력을 전달하는 고정부(120)를 구비할 수 있다. 또한, 상기 절연부(200)는 상기 통전부(100)를 감싸며 상기 전력케이블(300)이 삽입되는 관통구(220)가 구비된 연장부(210)를 포함할 수 있다.The
상기 통전부(100)는 전도성 있는 금속 등으로 형성될 수 있다. 상기 통전부(100)는 몸체부(110)와 상기 몸체부(110)의 양단에 각각 연결부(130)와 고정부(120)를 구비할 수 있다.The
상기 연결부(130)는 전력을 전송하는 전력케이블(300)이 전기적으로 연결되는 역할을 한다. 상기 연결부(130)에는 상기 전력케이블(300)의 단부가 소정 깊이 삽입되는 삽입홈(136)과, 상기 삽입홈(136)에 삽입된 상기 전력케이블(300)의 단부를 고정하는 고정부재(132)가 관통하는 관통구(134)를 구비할 수 있다.The
상기 삽입홈(136)은 상기 연결부(130)의 선단부에 형성될 수 있으며, 상기 전력케이블(300)의 단부가 삽입될 수 있도록 미리 결정된 깊이로 형성될 수 있다.The
한편, 상기 삽입홈(136)에 상기 전력케이블(300)의 단부가 삽입된 경우에 상기 전력케이블(300)의 이탈을 방지할 수 있도록 고정부재(132)를 구비할 수 있다. 상기 고정부재(132)는 볼트 등으로 이루어질 수 있으며, 상기 연결부(130)의 일측에 구비된 관통구(134)를 통하여 체결되어 상기 전력케이블(300)의 단부를 가압하여 상기 전력케이블(300)을 고정한다.The
상기 전력케이블(300)은 절연층(320)이 벗겨져서 상기 전력케이블(300)의 도체(310)가 상기 삽입홈(136)으로 삽입된다. 따라서, 상기 도체(310)와 상기 통전부(100)의 접속에 의해 상기 전력케이블(300)과 상기 통전부(100)가 전기적으로 연결된다.The
상기 연결부(130)와 몸체부(110) 사이에는 제1 오목부(138)를 구비할 수 있다. 전술한 절연부(200)는 상기 통전부(100)를 감싸도록 구비될 수 있으며, 이 경우 상기 절연부(200)는 사출 등에 의해 형성될 수 있다. 따라서, 상기 사출에 의해 형성된 상기 절연부(200)가 상기 통전부(100)에 보다 견고하게 연결되도록 상기 제1 오목부(138)를 구비할 수 있다.A first
한편, 상기 고정부(120)는 상기 전기커넥터 조립체(1000)를 고정시키는 체결부재(10)가 연결될 수 있다. 상기 체결부재(10)는 볼트 등으로 이루어질 수 있으며, 상기 고정부(120)에는 상기 체결부재(10)가 체결 및 연결되는 체결구(124)를 구비할 수 있다.Meanwhile, the
도 1에서는 상기 FIR 히터(20)를 관통하여 상기 체결부재(10)가 구비된다. 따라서, 본 실시예에서 상기 체결부재(10)는 절연 재질로 구성될 수 있으며, 예를 들어 세라믹으로 형성된 볼트 등으로 이루어질 수 있다.In FIG. 1, the
따라서, 상기 통전부(100)를 전도성 있는 금속 등으로 구성하고, 상기 체결부재(10)를 절연성 있는 세라믹 등으로 구성하는 경우에 상기 체결부재(10)를 상기 고정부(120)의 체결구(124)에 체결하여 상기 전기커넥터 조립체(1000)를 고정할 수 있다. 또한, 상기 체결부재(10)에 의해 상기 전기커넥터 조립체(1000)를 고정하는 경우에 상기 통전부(100)가 금속으로 구성되므로 상기 체결부재(10)를 체결하는 경우에 작업자에 따라 상대적으로 많은 체결력을 가하는 경우에도 상기 통전부(100)의 파손을 방지할 수 있으며, 상기 통전부(100)와 상기 FIR 히터(20)의 패턴(23) 사이의 접속을 보다 견고히 유지할 수 있다.Therefore, when the
한편, 상기 고정부(120)에는 외부의 전기접속부, 즉 상기 FIR 히터(20)의 패턴(23)과 연결되는 돌출부(122)를 더 구비할 수 있다. 상기 돌출부(122)는 상기 고정부(120)의 타단부에 형성되며, 소정 길이로 돌출되도록 형성된다. 따라서, 상기 돌출부(122)는 전술한 체결부재(10)가 상기 체결구(124)에 체결되는 경우에 상기 체결부재(10)의 체결력에 의해 상기 FIR 히터(20)의 패턴(23)에 접속하게 된다. 이 경우, 상기 돌출부(122)와 상기 FIR 히터(20)의 패턴(23)은 서로 면접촉을 하게 되어, 종래 커넥터 구조에 비해 서로 간에 상대적으로 더 강한 접촉력 및 더 넓은 접촉면적을 유지할 수 있다.The
한편, 상기 고정부(120)에도 제2 오목부(126)가 형성될 수 있으며, 상기 절연부(200)가 사출되는 경우에 상기 제1 오목부(138)와 마찬가지로 상기 절연부(200)를 지지하는 역할을 하게 된다.The second
따라서, 상기 전력케이블(300)에 의해 상기 연결부(130)로 전달된 전력은 상기 몸체부(110) 및 상기 고정부(120)의 돌출부(122)를 통해 상기 FIR 히터(20)의 패턴(23)으로 연결되어, 상기 FIR 히터(20)로 전력을 공급하게 된다.The power transmitted to the
도 3은 다른 실시예에 따른 전기커넥터 조립체의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of an electrical connector assembly according to another embodiment.
도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 전기커넥터 조립체(2000)는 피드스루(feed-through)(410)에 구비된 것으로 도시된다. 구체적으로 전기커넥터 조립체(1000)는 피드스루(410)의 금속부(430)가 아니라 절연부(420)에 구비될 수 있다. 도 3에서 상기 피드스루(410)의 상부가 챔버의 외부에 해당하며, 상기 피드스루(410)의 하부가 챔버 내부에 해당한다.Referring to FIG. 3, an
이 경우, 상기 전기커넥터 조립체(2000)는 전술한 도 1 및 도 2의 실시예와 비교하여 상기 고정부(120)의 구조에 있어서 차이가 있다.In this case, the
즉, 본 실시예의 전기커넥터 조립체(2000)는 상기 고정부(120)에 돌출부(122)를 구비하지 않는다. 이 때, 전술한 실시예와 달리 상기 고정부(120)의 체결구(124)에 체결되는 체결부재(400)가 금속과 같은 전도성 있는 재질로 구성될 수 있다. 상기 체결부재(400)가 상기 피드스루(410)의 절연부(420)를 관통하여 상기 전기커넥터 조립체(2000)에 연결되며, 구체적으로 상기 통전부(100)에 연결된다. 따라서, 상기 챔버 외부의 전력공급원(미도시)에서 공급되는 전력은 상기 체결부재(400)를 통해 상기 통전부(100)의 고정부(120)로 공급된다. 상기 고정부(120)로 공급된 전력은 상기 몸체부(110) 및 연결부(130)를 통해 상기 전력케이블(300)로 전달된다.That is, the
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 당업자는 이하에서 서술하는 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 변형된 실시가 기본적으로 본 발명의 특허청구범위의 구성요소를 포함한다면 모두 본 발명의 기술적 범주에 포함된다고 보아야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention as defined in the appended claims. You can do it. It is therefore to be understood that the modified embodiments are included in the technical scope of the present invention if they basically include elements of the claims of the present invention.
100...통전부
110...몸체부
120...고정부
130...연결부
300...전력케이블100 ... conduit
110 ... body portion
120 ... fixed portion
130 ... connection
300 ... power cable
Claims (6)
상기 통전부를 감싸며 상기 전력케이블이 삽입되는 관통구가 구비된 연장부를 포함하는 절연부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기커넥터 조립체.A power supply unit provided at one end of the body unit and having a connection part electrically connected to the power cable and a fixing part provided at the other end of the body part to connect the coupling member and having a fixing part for transmitting electric power; And
And an insulation part including an extension part having a through hole through which the power cable is inserted to surround the conductive part.
상기 연결부에는 상기 전력케이블의 단부가 소정 깊이 삽입되는 삽입홈과, 상기 삽입홈에 삽입된 상기 전력케이블의 단부를 고정하는 고정부재가 연결되는 관통구를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기커넥터 조립체.The method according to claim 1,
Wherein the connection portion includes an insertion groove into which an end portion of the power cable is inserted to a predetermined depth and a through hole through which a fixing member for fixing an end portion of the power cable inserted into the insertion groove is connected.
상기 고정부에는 외부의 전기접속부와 연결되는 돌출부를 더 구비하고, 상기 체결구에 연결되는 체결부재는 절연재질로 구비되는 것을 특징으로 하는 전기커넥터 조립체.(3항은 원래 실시예, 즉 세라믹 볼트에 연결되는 구조이며, 아래 4항은 새로 추가된 실시예, 즉 돌출부 없이 금속 볼트를 통해 전기를 받는 구조를 청구하고 있습니다)The method according to claim 1,
Wherein the fixing part further comprises a protrusion connected to an external electrical connection part, and a fastening member connected to the fastening part is made of an insulating material. (Item 3 is an original embodiment, that is, a ceramic bolt , And the following paragraph 4 states that the newly added embodiment, ie, a structure that receives electricity through metal bolts without protrusions)
상기 체결구에 연결되는 체결부재가 금속으로 이루어져 상기 체결부재를 통해 상기 통전부로 전력이 전달되는 것을 특징으로 하는 전기커넥터 조립체.The method according to claim 1,
Wherein the fastening member connected to the fastening member is made of metal, and electric power is transmitted to the current passing portion through the fastening member.
상기 통전부는 전도성 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기커넥터 조립체.The method according to claim 1,
Wherein the conductive portion comprises a conductive metal.
상기 절연부는 사출로 형성되는 것을 특징으로 하는 전기커넥터 조립체.
The method according to claim 1,
Wherein the insulating portion is formed by injection molding.
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Legal Events
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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