KR20160083917A

KR20160083917A - 전자 유량계

Info

Publication number: KR20160083917A
Application number: KR1020167014917A
Authority: KR
Inventors: 신이치로 사카타
Original assignee: 가부시끼가이샤 도시바
Priority date: 2014-11-17
Filing date: 2015-01-06
Publication date: 2016-07-12
Also published as: US20170322060A1; WO2016079999A1; JP2016095279A; CN105814412A

Abstract

실시 형태의 전자 유량계는 피측정 대상물이 흐르는 측정관과, 상기 측정관의 직경 방향 외측에 설치되고, 상기 측정관 내에 자계를 발생시키는 제1 코일과, 상기 제1 코일과는 쌍을 이루도록, 상기 측정관의 둘레 방향으로 설치되고, 상기 측정관 내에 상기 자계를 발생시키는 제2 코일과, 상기 제1 코일 및 상기 제2 코일의 내주측에, 상기 측정관의 직경 방향으로 삽입되어 있는 코어 부재와, 상기 피측정 대상물이 상기 자계를 가로지를 때에 발생하는 유도 기전력을 검출하는 전극부를 구비하고, 상기 제1 코일의 내주 및 상기 제2 코일의 내주와 상기 코어 부재의 외경은, 복수의 상기 코어 부재가 상기 제1 코일의 내주 및 상기 제2 코일의 내주에 삽입 가능한 형상을 갖고 있다.

Description

전자 유량계{ELECTROMAGNETIC FLOWMETER}

본 발명의 실시 형태는, 전자 유량계에 관한 것이다.

전자 유량계는, 자계 내에 도전성의 유체가 흐른 때에 유속에 따른 유도 기전력이 발생되는 것을 이용한 유량계이다. 이 자계를 발생시키기 위하여 영구 자석이나 여자 코일을 사용하고 있고, 일반적으로는, 비자성체 재료를 포함하는 측정관(검출기)의 외부에 대향시켜서 여자 코일을 설치하고, 여자 코일에 전류(이하, 여자 전류라고 칭한다)를 흘림으로써 측정관의 내부에 자계를 발생시키고 있다.

전자 유량계에 있어서는, 여러가지 구경의 측정관이 있고, 구경마다 코일의 크기, 형상을 바꿀 필요가 있기 때문에, 다종의 코일을 준비할 필요가 있다. 또한, 대구경의 전자 유량계에 적용하기 위한 대형 코일은, 측정관 내에 있어서의 자계의 분포 조정이 곤란하다고 하는 과제가 있다.

일본 특허 공개 제2001-281028호 공보

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 피측정 대상물을 흘리는 측정관에 설치하는, 자계 발생용의 코일을 포함하는 코일 유닛을 적은 종류의 부품으로 형성 가능하게 하는 전자 유량계를 제공하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 실시 형태의 전자 유량계는 피측정 대상물이 흐르는 측정관과, 상기 측정관의 직경 방향 외측에 설치되고, 상기 측정관 내에 자계를 발생시키는 제1 코일과, 상기 제1 코일과는 쌍을 이루도록, 상기 측정관의 둘레 방향으로 설치되고, 상기 측정관 내에 자계를 발생시키는 제2 코일과, 상기 제1 코일 및 상기 제2 코일의 내주측에, 상기 측정관의 직경 방향으로 삽입되어 있는 코어 부재와, 상기 측정관 내에 설치되고, 상기 피측정 대상물이 상기 측정관 내에 흐를 때에 발생하는 유도 기전력을 검출하는 전극부를 구비하고, 상기 제1 코일의 내주 및 상기 제2 코일의 내주와 상기 코어 부재의 외경은, 복수의 상기 코어 부재가 상기 제1 코일의 내주 및 상기 제2 코일의 내주에 삽입 가능한 형상을 갖고 있다.

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태인 전자 유량계의 사시도.
도 2는 도 1에 있어서의 전자 유량계의 검출기 A-A를 따른 단면도.
도 3은 도 2에 있어서의 전자 유량계의 검출기 B-B를 따른 단면도.
도 4는 도 3에 있어서의 전자 유량계의 코일 유닛의 C-C에 있어서의 단면도.
도 5는 본 발명의 제2 실시 형태인 전자 유량계의 검출기 단면도.
도 6은 도 5에 있어서의 전자 유량계의 검출기 D-D에 있어서의 단면도.
도 7은 본 발명의 제3 실시 형태인 전자 유량계의 검출기 단면도.
도 8은 도 7에 있어서의 전자 유량계의 검출기 E-E에 있어서의 단면도.
도 9는 본 발명의 제4 실시 형태인 전자 유량계의 검출기 단면도.
도 10은 도 9에 있어서의 전자 유량계의 검출기 F-F에 있어서의 단면도.
도 11은 본 발명의 제5 실시 형태인 전자 유량계의 검출기 단면도.
도 12는 도 11에 있어서의 전자 유량계의 검출기 G-G에 있어서의 단면도.
도 13은 본 발명의 제6 실시 형태인 전자 유량계의 검출기 단면도.
도 14는 본 발명의 제7 실시 형태인 전자 유량계의 배관의 도면.
도 15는 본 발명의 제7 실시 형태인 전자 유량계의 조정 기구의 도면.

이하, 전자 유량계의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.

(제1 실시 형태)

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태 전자 유량계의 사시도이다. 전자 유량계(1)는 측정관 내에 도전성의 피측정 대상물이 흘렀을 때에 발생하는 유도 기전력을 검출하는 검출기(2)와, 검출한 유도 기전력의 신호를 유량값으로 변환하는 변환기(3)를 구비하고 있고, 연결부(13)로 연결되어 있다. 이 전자 유량계(1)는 예를 들어, 항상 여자 방식(교류 여자 방식)의 전자 유량계로서 구성될 수 있다.

검출기(2)는 내부에 유로(7a)가 설치된 관체(7)와, 유로(7a)에 흐르는 피측정 유체의 유량을 검출하는 검출부(14)를 갖는다. 관체(7)는 측정관(4), 플랜지(5), 라이닝(6), 케이스(20)를 갖는다.

변환기(3)는 하우징(10)과 표시 장치(12)를 구비한다. 표시 장치(12)의 표시 화면(12a)은 패널(11)로 덮여 있다. 변환기(3)는 검출기(2)로 검출된 유도 기전력의 크기로부터, 측정관(4)의 유로(7a)에 흐르는 피측정 대상물의 유량으로 변환한다. 변환된 유량의 값은 변환기(3)의 표시 장치(12)에 표시된다.

연결부(13)는 검출기(2)와 변환기(3)를 연결하고 있다. 이 연결부(13)의 내부는 검출기(2)와 변환기(3)를 전기적으로 접속하는 배선 등이 설치되어 있다. 상기 배선 등은 검출기(2)에 있어서 검출된 유도 기전력을 변환기(3)로 전송한다. 또한, 상기 배선 등은 검출기(2)에 배치되어 있는, 후술하는 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를, 전자 유량계(1)의 외부로부터 변환기(3)를 통하여, 검출기(2)로 전송한다.

플랜지(5)는 측정관(4)의 상류측 및 하류측의 단부에 설치된다. 플랜지(5)는 검출기(2)와 상류측 및 하류측의 배관(도시하지 않음)을 접합하는 접합부이다. 플랜지(5)는 검출기(2)의 상류측, 하류측 양쪽에 각각에 접합면(5a)을 갖고, 접합면(5a)의 표면에는 복수의 구멍(5b)을 갖고 있다. 플랜지(5)는 접합면(5a)과, 피측정 대상물이 흐르는 상류 및 하류의 각각의 배관의 접합면을 중첩하여 접합된다. 그 때, 복수의 구멍(5b)과 별도의 관체의 접합면에 존재하는 구멍을 중첩하고, 접속용의 볼트 및 너트 등으로 접합시킨다.

라이닝(6)은 측정관(4)의 내면(4b)에 설치되어 있다. 라이닝(6)은 측정관(4)의 내부를 덮는 절연물이다. 관체(7)의 측정관(4) 내부에 라이닝(6)을 실시함으로써 피측정 대상물이 흐르는 유로(7a)를 형성하고 있다. 라이닝(6)은 측정관(4)의 피측정 대상물에 대한 내약품성, 내열성, 내부착성 등을 도모한다. 또한, 라이닝(6)은 자계와 피측정 대상물에 의해 발생한 유도 기전력의 측정관(4)으로의 유출을 방지한다. 라이닝(6)은 예를 들어 불소 수지 등에 의해 구성될 수 있다.

도 2는 도 1의 제1 실시 형태의 전자 유량계 검출기(2)의 A-A에 관한 단면도이다. 즉, 도 2는 피측정 대상물이 흐르는 방향에 대하여 평행한 평면에 있어서의 단면도이다. 또한, 도 2는 검출기(2)의 양단에 있는 플랜지(5)의 사이의 부분에 대하여 도시한 것이며, 플랜지(5)는 도시하고 있지 않다. 또한, 도 3은 도 2의 전자 유량계 검출기(2)의 B-B에 관한 단면도이며, 케이스(20)(도시하지 않음)의 내부의 단면도이다. 즉, 도 3은 피측정 대상물이 흐르는 방향에 대하여 직교하는 평면에 있어서의 단면도이다.

케이스(20)는 주위벽부(15) 및 주위벽부(16)를 포함하고 있다. 케이스(20)는 연결부(13)를 통하여 후술하는 변환기(3)와 연결되어 있다. 케이스(20)는 측정관(4)의 직경 방향 외측에 배치된 후술하는 코일 유닛(8)을 덮는 주위벽부이며, 측정관(4)에 용접되어 있다.

검출부(14)는 1쌍의 코일 유닛(8, 8)과 피측정 대상물에 접액하는 1쌍의 전극부(9, 9)(도 2에서는 하나만이 도시되어 있다)를 갖는다. 1쌍의 코일 유닛(8, 8)은, 측정관(4)의 내부 유로(7a)에 일정한 자계를 발생한다. 1쌍의 전극부(9, 9)는, 유로(7a)에 흐르는 피측정 대상물이 자계를 통과함으로써 발생하는 유도 기전력을 검출한다.

축심 Ax는 검출기(2)의 측정관(4)의 축심이다. 또한, 피측정 대상물은 측정관(4)의 유로(7a)를 축심 Ax와 동일한 방향(x축 방향=측정관(4)의 축 방향)으로 흐른다. 측정관(4)은 제1면인 외면(4a)과, 제2면인 내면(4b)을 갖는다. 외면(4a)에는 베이스 부재(17)가 설치되어 있다. 베이스 부재(17)에는 코일 유닛(8)이 설치되어 있다. 코일 유닛(8)의 베이스 부재(17)와 반대측에는 외측 부재(19)가 설치되어 있다. 이들, 베이스 부재(17), 코일 유닛(8), 외측 부재(19)를 덮도록 외면(4a)에 케이스(20)가 설치되어 있다. 이 케이스(20)는 용접 등에 의해 고정되어 있다. 플랜지(5)는 측정관(4)의 외면(4a)에 설치되어 있다. 또한, 1쌍의 전극부(9, 9) 및 라이닝(6)은 측정관(4)의 내면(4b)에 설치되어 있다. 1쌍의 전극부(9, 9)를 연결하는 선은 측정관(4)의 축심 Ax와 대략 직교하고 있다.

라이닝(6)은 통부(6a)(도 2 참조)와 플레어부(6b)(도 1 참조)를 갖는다. 통부(6a)는 측정관(4)의 내면(4b)을 덮어서, 피측정 대상물로부터, 내면(4b)을 보호하고 있다. 플레어부(6b)는 단부면(6c)을 갖고 있다. 단부면(6c)은 관체(7)의 외면을 구성하고 있다. 플레어부(6b)는 플랜지(5)의 단부면(5a)(도 1 참조)과 접촉하고 있고, 피측정 대상물로부터 단부면(5a)을 보호하고 있다.

베이스 부재(17)는 측정관(4)을 개재하여 서로 대향 배치된 제1 베이스 부재(17A)와 제2 베이스 부재(17B)를 갖는다. 즉, 제1 베이스 부재(17A)와 제2 베이스 부재(17B)는, 측정관(4)의 축심 Ax를 사이에 두고 양측에 각각 설치되어 있다. 베이스 부재(17)는 자성 재료를 포함하고 있다. 베이스 부재(17)는 용접 등에 의해 측정관(4)의 외면(4a)에 고정되어 있다. 제1 베이스 부재(17A) 및 제2 베이스 부재(17B)는 각각, 코어 부재(21)를 갖는다. 코어 부재(21)는 베이스 부재(17)로부터 측정관(4)의 직경 방향 외측을 향하여 고정되어 있다. 코어 부재(21)는 용접 등에 의해 베이스 부재(17)에 고정되어 있다. 이 코어 부재(21)는 코일 유닛(8)의 코어 부재이다.

코일 유닛(8)은 예를 들어 원통형의 코일(8a)을 갖는다. 코일(8a)의 내주는, 코어 부재(21)를 2개 이상 수용하는 것이 가능하다. 코일 유닛(8)은 제1 베이스 부재(17A), 제2 베이스 부재(17B)에 설치되어 있고, 코일(8a)의 통 내에 상기 코어 부재(21)를 2개 이상 삽입할 수 있다.

외측 부재(19)는 평평한 판형으로 구성되어 있다. 외측 부재(19)는 제1 베이스 부재(17A)와 제2 베이스 부재(17B)에 대응하여 설치되어 있다. 또한, 외측 부재(19)는 코일 유닛(8)의 베이스 부재(17)와는 코일(8a)을 개재하여 반대측에 위치되어 있다. 외측 부재(19)는 용접 등에 의해, 코어 부재(21)와 고정될 수 있다. 이에 의해 코일 유닛(8)은 베이스 부재(17)와 외측 부재(19) 사이에 위치된다. 외측 부재(19)는 코일 유닛(8)이 측정관(4)의 직경 방향 외측으로 빠져 나가는 것을 방지할 수 있다. 코일 유닛(8)은 외측 부재(19)를 지지하는 지지 부재의 기능도 갖는다.

도 4는 도 3의 코일 유닛(8)에 관한 C-C에서의 단면도이다. 도 4는 코일(8a)에 삽입되는 코어 부재(21)의 개수와 배치 방법의 일례이다. 도 4의 (a)와 같이 4개의 코어 부재(21)를 배치함으로써, 도 2 및 도 3에 있어서의 코일 유닛(8)의 코어 부재(21)의 배치가 된다. 코일 유닛(8)의 코어 부재(21)의 개수를 도 4의 (b), (c), (d)에 도시한 바와 같이 3개, 2개, 1개로 변경하거나, 코어 부재(21)를 코일(8a)의 내주에서 고정 위치를 변화시킴으로써, 측정관(4) 내의 자계 분포가 변동하여, 1쌍의 전극부(9, 9)의 유도 기전력의 검출 정밀도를 높일 수 있다. 복수의 코어 부재(21)의 배치는 예를 들어, 코일(8a)의 내주의 중심으로부터 동일 거리의 원주 상에 배치하는 방식 등이 있다. 본 실시 형태에 있어서, 코일(8a)에 삽입하는 코어 부재(21)의 개수 및 배치에 대해서는 도 4에 한정되지 않고, 측정관(4)의 구경에 따라, 개수의 증감, 고정 위치의 변경이 가능하게 한다.

코일(8a)에 여자 전류를 흘림으로써, 코일 유닛(8)의 내측에 발생한 자속은 베이스 부재(17)에 의해 측정관(4)의 외면(4a)을 따라 퍼진다. 퍼진 자속은 한쪽의 제1 베이스 부재(17A)로부터 다른쪽의 제2 베이스 부재(17B)를 향하여 측정관(4) 내의 유로(7a)를 횡단하도록 흐른다. 이 측정관(4) 내의 유로(7a)에 발생하는 자계의 분포는, 코일(8a)에 삽입하는 코어 부재(21)의 개수나, 코어 부재(21)의 고정 위치를 변경함으로써 변화한다. 또한, 코일(8a)에 삽입되는 코어 부재(21)를 증가시키면 발생하는 자속수가 증가하기 때문에, 자속의 밀도는 커진다.

본 실시 형태에 있어서, 베이스 부재(17)에는, 측정관(4)의 축 방향(x 방향)으로 간격을 두고 복수의 코일 유닛(8)이 설치되어 있다. 이 경우, 베이스 부재(17)를 통하여, 측정관(4) 내에 발생하는 자속의 밀도가 커진다. 코일(8a)은 동일 부품이며, 코어 부재(21)의 개수는 측정관(4)의 축심 Ax를 끼워서 쌍을 이루는 코일 유닛(8)마다 동수의 개수로 하고 있다. 검출기(2)의 1쌍의 전극부(9, 9)에 의한 유도 기전력의 검출을 고정밀도로 행하기 위해서는, 측정관(4) 내의 자계 분포를 조정할 필요가 있다. 1쌍의 전극부(9, 9)로부터 측정관(4)의 축 방향으로 멀어짐에 따라서, 1쌍의 전극부(9, 9)의 유도 기전력의 검출 감도는 저하된다. 이 때문에, 1쌍의 전극부(9, 9)에 가까운 코일 유닛(8)에는 코어 부재(21)를 1개 삽입하고, 1쌍의 전극부(9, 9)로부터 이격된 장소에 있는 코일 유닛(8)에는 코어 부재(21)를 2개 삽입하는 등의 방식으로, 발생하는 자계의 강도를 선택할 수 있다.

본 실시 형태에서는, 측정관(4)의 구경이 상이해도, 코일(8a)나 코어 부재(21)의 사양을 바꾸지 않고, 동일한 사양의 것을 사용함으로써 코일 유닛(8)의 공통화를 도모한다. 즉, 측정관(4)의 구경이 상이해도, 코일(8a)의 권회수, 직경, 형상, 길이, 크기 등의 사양 및 코어 부재(21)의 길이, 굵기 등의 사양을 동일하게 할 수 있어, 공유화를 도모할 수 있다.

측정관(4)의 구경이 상이한 다른 전자 유량계의 측정관(4) 내의 자계 강도는, 코어 부재(21)의 개수 증감, 배치 방법을 변경함으로써 선택할 수 있다. 측정관(4)의 구경을 크게 한 경우에는, 코일 유닛(8)의 개수를 증가시킴으로써 측정관(4) 내에 강한 자계를 발생시킬 수 있다. 이에 의해, 전자 유량계(1)의 제조에 필요로 하는 수고를 삭감할 수 있다. 또한, 다품종의 코일 유닛(8)을 소량 사용하는 제조 형태로부터, 소품종의 코일 유닛(8)을 다량으로 사용하는 제조 형태로 변경하는 점에서, 비용을 저감하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 외부 부재(19)와 케이스(20)의 주위벽부(16) 사이에는, 측정관(4)의 축 방향(x 방향)을 따라 연장하는 간극(18)이 설치되어 있다. 이에 의해, 케이스(20)나, 베이스 부재(17), 외측 부재(19) 등의 제조 변동(치수 변동)을 흡수할 수 있다. 또한, 간극(18)이 없는 경우에 비하여, 케이스(20)나, 베이스 부재(17), 외측 부재(19) 등을 측정관(4)에 설치하는 작업을, 용이하고 또한 고정밀도로 행하는 것을 가능하게 한다.

또한, 본 실시 형태에서는, 케이스(20) 중 적어도 주위벽부(16)는 예를 들어 철강 등의 자성 재료를 포함하고 있다. 이로 인해, 한쪽의 제1 베이스 부재(17A)로부터 측정관(4) 내를 통과하여 다른쪽의 제2 베이스 부재(17B)에 흐른 자속은 그 주위벽부(16) 속을 둘레 방향을 따라 흐르고, 간극(18)을 통하여 제1 베이스 부재(17A)에 복귀된다. 즉, 주위벽부(16)는 귀환 자로의 적어도 일부를 구성하고 있다.

주위벽부(16)를 귀환 자로로 하고 있으므로, 귀환 자로를 코어 부재(21)에 직접 결합하는 종래의 구성과 비교하여, 주위벽부(16)에의 충격이 코일 유닛(8)에 전해지는 것을 억제할 수 있어, 전자 유량계(1)의 신뢰성을 높일 수 있다. 또한, 주위벽부(16)가 귀환 자로의 일부를 구성하고 있기 때문에, 귀환 자로와 주위벽부(16)를 별도의 부재로 구성한 경우에 비하여, 전자 유량계(1)를 소형으로 구성하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 실시 형태는 피측정 대상물과 전극부가 접촉하는, 접액형 전자 유량계를 예시하고 있다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 이 접액형 전자 유량계에 한정되지 않고, 기타의 측정형, 예를 들어, 피측정 대상물과 전극부가 접촉하지 않는, 비접액형 전자 유량계여도 된다.

또한, 본 실시 형태에서는, 원통형으로 감은 코일(8a)을 함침 처리로 굳힘으로써 코일 유닛(8)을 구성해도 되고, 자기 융착성의 코일(8a)을 사용하고, 그 코일(8a)을 원통형으로 감은 상태에서 굳힘으로써 코일 유닛(8)을 구성해도 된다.

본 실시 형태에 의해 측정관(4) 내에 일정한 자계를 강하게 발생시킬 수 있어, 1쌍의 전극부(9, 9)에 있어서의 유도 기전력의 검출 정밀도가 향상된다는 효과가 얻어진다.

(제2 실시 형태)

도 5는 제2 실시 형태의 전자 유량계(1)의 검출기(2)의 일례로서, 검출기(2)의 양단에 있는 플랜지(5)의 사이의 부분을 도시한 것이다. 본 실시 형태는, 제1 실시 형태와 비교하여, 코일 유닛(8)의 쌍을 축 방향(x축 방향)으로 증가시키고 있다. 제1 실시 형태에서는 2쌍의 코일 유닛(8)을 측정관(4)의 축 방향으로 배치하고 있는 것에 비해서(도 2 참조), 본 실시 형태에서는 3쌍의 코일 유닛(8)을 배치하고 있다(도 5 참조). 코일 유닛(8)의 수를 증가시킴으로써, 측정관(4)의 유로(7a)에 자계를 강하게 발생시킬 수 있다. 이로 인해, 측정관(4)의 구경이 제1 실시 형태의 것보다도 큰 경우에도 전극부(9, 9)는 고정밀도로 유도 기전력을 검출할 수 있다.

도 6은 도 5의 전자 유량계 검출기(2)의 D-D에 관한 단면도이며, 케이스(20)(도시하지 않음)의 내부의 단면도이다. 즉, 도 6은 피측정 대상물이 흐르는 방향에 대하여 직교하는 평면에 있어서의 단면도이다.

코일 유닛(8)은 측정관(4)의 축 방향(x축 방향)으로 3쌍을 이루어서 배치되어 있다. 복수 쌍의 코일 유닛(8)은 이 중의 1쌍의 코일 유닛(8, 8)을 연결하는 선과, 측정관(4) 내에 설치된 1쌍의 전극부(9, 9)(도 5에서는 1개만 도시하고 있다)를 연결하는 선이 직교하도록 배치되어 있다(도 6 참조). 여기서, 각 코일 유닛(8)을 구성하는 코일(8a)은 제1 실시 형태의 것과 동일 부품이며, 또한, 이 코일 유닛(8)에 삽입하는 코어 부재(21)도 제1 실시 형태와 동일하다.

여기서, 검출기(2)의 1쌍의 전극부(9, 9)에 의한 유도 기전력의 검출을 고정밀도로 행하기 위해서는, 측정관(4) 내의 자계 분포를 조정할 필요가 있다. 도 5의 좌측 단부 및 우측 단부의 1쌍의 코일 유닛(8)은 중앙의 코일 유닛(8)과 비교하여, 1쌍의 전극부(9, 9)로부터 먼 거리에 배치되어 있다. 좌측 단부 및 우측 단부의 1쌍의 코일 유닛(8)으로부터 발생하는 자계의 강도는 중앙의 코일 유닛(8)으로부터 발생하는 자계와 비교하여, 전극부(9) 부근에서 약해져서, 발생하는 유도 기전력이 작아진다. 이로 인해, 노이즈에 의한 변동의 영향이 강하게 나타나게 된다. 이에 의해, 양단의 쌍을 이루는 코일 유닛(8)에 대해서는, 1쌍의 전극부(9, 9)의 유도 기전력의 검출에 대한 영향이 적다. 중앙에 배치된 1쌍의 코일 유닛(8)에 대해서는 양단의 쌍을 이루는 코일 유닛(8)보다도 1쌍의 전극부(9, 9)에 가까운 거리에 배치되어 있기 때문에, 1쌍의 전극부(9, 9)의 유도 기전력의 검출에 대한 영향은 높아진다. 이 때문에, 양단의 쌍을 이루는 코일 유닛(8)은 중앙의 1쌍의 코일 유닛(8)보다도 코어 부재(21)를 많이 삽입함으로써, 측정관(4) 내에 발생하는 자계를 강하게 발생시킬 수 있다. 예를 들어, 양단의 쌍을 이루는 코일 유닛(8)에 삽입되는 코어 부재(21)는 2개로 하고, 중앙의 1쌍의 코일 유닛(8)에 삽입되는 코어 부재(21)는 1개로 해도 된다. 또한, 어느 하나의 쌍을 이루는 코일 유닛(8)에 2개 이상의 코어 부재(21)를 삽입하고, 양단의 쌍을 이루는 코일 유닛(8)은 중앙의 1쌍의 코일 유닛(8)보다도 많이 삽입하는 것으로 해도 된다.

또한, 코일 유닛(8) 내의 코어 부재(21)의 배치 방법은 각 코일 유닛(8)에 있어서 배치를 변경하는 것이 가능하다.

본 실시 형태에 대해서, 도 5에서는 코일 유닛(8)을 3쌍으로 하고 있지만, 이것 이상이어도 되고, 코일 유닛(8)의 수는 도 5에 한정되지 않는 것으로 한다. 또한, 도 6에 있어서 코일 유닛(8)은 코어 부재(21)를 4개로 하고 있지만, 개수는 도 6에 한정되지 않는 것으로 한다.

본 실시 형태에 의해 측정관(4) 내의 유로(7a)에 균일한 자계를 강하게 발생시킬 수 있어, 1쌍의 전극부(9, 9)에 있어서의 유도 기전력의 검출 정밀도가 향상된다는 효과가 얻어진다.

(제3 실시 형태)

도 7은 제3 실시 형태에 대하여 전자 유량계(1)의 검출기(2)의 일례로서, 검출기(2)의 양단에 있는 플랜지(5)의 사이의 부분에 대하여 도시한 것이다. 또한, 도 8은 도 7의 전자 유량계 검출기(2)의 E-E에 관한 단면도이며, 케이스(20)(도시하지 않음)의 내부의 단면도이다. 즉, 도 8은 피측정 대상물이 흐르는 방향에 대하여 직교하는 평면에 있어서의 단면도이다.

본 실시 형태는 도 7과 같이, 축 방향에 대해서는 측정관(4)의 1쌍의 전극부(9, 9)(도 7에서는 1개만 도시하고 있다)를 통과하는 위치에 코일 유닛(8)이 1쌍 배치되어 있다. 또한, 본 실시 형태는 도 8과 같이, 측정관(4)의 둘레 방향을 따라 2쌍의 코일 유닛(8)(도 8에서는 8A, 8B, 8C, 8D가 된다)이 배치되어 있다. 여기서, 각 코일 유닛(8)을 구성하는 코일(8a)은 제1 내지 제2 실시 형태의 것과 동일 부품이다. 또한, 이 코일 유닛(8)에 삽입하는 코어 부재(21)도 제1 내지 제2 실시 형태와 동일하다. 코일 유닛(8)의 쌍은 축심 Ax를 끼워서 구성하고 있다. 또한, 코일 유닛(8)의 쌍은 축심 Ax를 개재하지 않고 대향을 이루는 구성으로 하여도 된다. 도 8에 있어서, 축심 Ax를 끼워서 쌍을 이루는 구성이란, 코일 유닛(8A)과 코일 유닛(8B)을 포함하는 쌍, 및 코일 유닛(8C)과 코일 유닛(8D)을 포함하는 쌍이다. 또한, 도 8에 있어서, 축심 Ax를 개재하지 않고 대향을 이루는 구성이란, 코일 유닛(8A)과 코일 유닛(8D)을 포함하는 쌍, 및 코일 유닛(8C)과 코일 유닛(8B)을 포함하는 쌍이다.

2쌍의 코일 유닛(8)의 한쪽 부분은 제1 베이스 부재(17A)에 의해 측정관(4)에 접속되어 있고, 반대측에 위치하는 다른쪽 부분은 제2 베이스 부재(17B)에 접속되어 있다. 또한, 2쌍의 코일 유닛(8)의 한쪽 부분은 외측 부재(19)에 의해 접속되어 있고, 반대측에 위치하는 다른쪽 부분도 전술한 것과는 다른 외측 부재(19)에 의해 접속되어 있다.

본 실시 형태에 있어서, 쌍을 이루는 각각의 코일 유닛(8)에 대하여 코어 부재(21)의 개수 증감, 및 배치의 변경을 하는 것이 가능하다.

본 실시 형태에서는 도 8에 있어서 2쌍의 코일 유닛(8)으로 했지만, 코일 유닛(8)의 쌍의 수는 3쌍 이상이어도 되고, 도 8의 실시 형태에 한정되지 않는 것으로 한다. 또한, 쌍을 이루는 코일 유닛(8)에 삽입되는 코어 부재(21)는 1쌍의 코일 유닛(8)에 있어서 적어도 1개 삽입되는 것으로 하고, 그 이외의 쌍을 이루는 코일 유닛(8)에 삽입되는 코어 부재(21)의 개수에 대해서도 한정하지 않는 것으로 한다.

본 실시 형태에 의해 측정관(4) 내의 유로(7a)에 일정한 자계를 강하게 발생시킬 수 있어, 1쌍의 전극부(9, 9)에 있어서의 유도 기전력의 검출 정밀도가 향상된다는 효과가 얻어진다.

(제4 실시 형태)

도 9는 제4 실시 형태에 대하여 전자 유량계(1)의 검출기(2)의 일례로서, 검출기(2)의 양단에 있는 플랜지(5)의 사이의 부분에 대하여 도시한 것이다. 또한, 도 10은 도 9의 전자 유량계 검출기(2)의 F-F에 관한 단면도이며, 케이스(20)(도시하지 않음)의 내부의 단면도이다. 즉, 도 10은 피측정 대상물이 흐르는 방향에 대하여 직교하는 평면에 있어서의 단면도이다. 본 실시 형태는, 제1 실시 형태와 비교하여, 코일 유닛(8)의 쌍을 둘레 방향으로 증가시키고 있다. 제1 실시 형태에서는 측정관(4)의 둘레 방향에 대하여 1쌍의 코일 유닛(8)을 측정관(4)의 외주부에 배치하고 있는 것에 비해서(도 3 참조), 본 실시 형태에서는 측정관(4)의 둘레 방향에 대하여 3쌍의 코일 유닛(8)을 배치하고 있다(도 10 참조). 측정관(4)의 구경이 제1 실시 형태의 것보다도 큰 경우에도, 코일 유닛(8)의 수를 증가시킴으로써, 측정관(4) 내에 일정한 자계를 강하게 발생시킬 수 있다.

본 실시 형태는 도 9와 같이 측정관(4)의 축 방향(x축 방향)을 따라 2쌍의 코일 유닛(8)이 배치되어 있다. 또한, 본 실시 형태는 도 10과 같이, 측정관(4)의 둘레 방향을 따라 3쌍의 코일 유닛(8)(도 10에서는 8A, 8B, 8C, 8D, 8E, 8F가 된다)이 배치되어 있다. 여기서, 각 코일 유닛(8)을 구성하는 코일(8a)은 제1 내지 제3 실시 형태의 것과 동일 부품이다. 또한, 이 코일 유닛(8)에 삽입하는 코어 부재(21)도 제1 내지 제3 실시 형태와 동일한 것이다. 도 10에 있어서, 코일 유닛(8E)과 코일 유닛(8F)이 축심 Ax를 끼워서 쌍을 이루고 있다. 나머지 4개의 코일 유닛(8)은 축심 Ax를 끼워서 쌍을 이루어서 구성하고 있다. 또한, 4개의 코일 유닛(8)은 축심 Ax를 개재하지 않고 대향을 이루는 구성으로 하여도 된다. 도 10에 있어서, 축심 Ax를 끼워서 쌍을 이루는 구성이란, 코일 유닛(8A)과 코일 유닛(8B)을 포함하는 쌍, 및 코일 유닛(8C)과 코일 유닛(8D)을 포함하는 쌍이다. 또한, 도 10에 있어서, 축심 Ax를 개재하지 않고 대향을 이루는 구성이란, 코일 유닛(8A)과 코일 유닛(8D)을 포함하는 쌍, 및 코일 유닛(8C)과 코일 유닛(8B)을 포함하는 쌍이다.

또한, 3쌍의 코일 유닛(8)의 한쪽 부분은 제1 베이스 부재(17A)에 의해 측정관(4)에 접속되어 있고, 측정관(4)의 축심 Ax를 사이에 두고 반대측에 위치하는 다른쪽 부분은 제2 베이스 부재(17B)에 접속되어 있다. 또한, 3쌍의 코일 유닛(8)의 한쪽 부분은 외측 부재(19)에 의해 접속되어 있고, 측정관(4)의 축심 Ax를 사이에 두고 반대측에 위치하는 다른쪽 부분도 전술한 것과는 다른 외측 부재(19)에 의해 접속되어 있다.

본 실시 형태에서는 도 10에 있어서 3쌍의 코일 유닛(8)으로 했지만, 코일 유닛(8)의 쌍의 수는 4쌍 이상이어도 되고, 도 10의 실시 형태에 한정되지 않는 것으로 한다. 또한, 쌍을 이루는 코일 유닛(8)에 삽입되는 코어 부재(21)는 적어도 1쌍의 코일 유닛(8)에 있어서 동수가 삽입되는 것으로 하고, 그 이외의 쌍을 이루는 코일 유닛(8)에 삽입되는 코어 부재(21)의 개수에 대해서도 한정하지 않는 것으로 한다.

본 실시 형태의 전자 유량계(1)는 예를 들어, 측정관(4)의 구경이 큰 것으로서, 1쌍의 전극부(9, 9)(도 9에서는 1개만 도시하고 있다)로부터 이격된 개소에 코일 유닛(8)을 배치하고 있는 경우 등에 있어서는 측정관(4) 내의 유로(7a)에 일정한 자계를 강하게 발생시킬 수 있어, 1쌍의 전극부(9, 9)에 있어서의 유도 기전력의 검출 정밀도가 향상된다는 효과가 얻어진다.

(제5 실시 형태)

도 11은 제5 실시 형태에 대하여 전자 유량계(1)의 검출기(2)의 일례로서, 검출기(2)의 양단에 있는 플랜지(5)의 사이의 부분에 대하여 도시한 것이다. 또한, 도 12는 도 11의 전자 유량계(1)의 검출기(2)의 G-G에 관한 단면도이며, 케이스(20)(도시하지 않음)의 내부의 단면도이다. 즉, 도 12는 피측정 대상물이 흐르는 방향에 대하여 직교하는 평면에 있어서의 단면도이다. 본 실시 형태는, 제1 실시 형태와 비교하여, 측정관(4)의 구경이 제1 실시 형태의 것과 동등 정도의 크기를 갖는 전자 유량계에의 적용이 상정된다.

본 실시 형태는 측정관(4)의 축 방향(x 방향)으로 배열된 2쌍의 코일 유닛(8, 8)과 자성 재료를 포함한 환상 부재(30)(피복 부재)를 갖는다. 환상 부재(30)는 쌍을 이루는 코일 유닛(8)을 측정관(4)의 둘레 방향으로 피복한 것이다. 환상 부재(30)는 코일 유닛(8)의 베이스 부재(17)와는 반대측에 위치되고, 용접 등에 의해 코어 부재(21) 각각에 용접되어 있다. 이로 인해, 환상 부재(30)는 코일 유닛(8)의 피복 부재이다. 또한, 이 환상 부재(30)는 귀환 자로의 일례이다. 환상 부재(30)를 귀환 자로로서 설치함으로써, 측정관(4) 내의 유로(7a)에 발생하는 자계를 강하게 발생시킬 수 있어, 1쌍의 전극부(9, 9)에 있어서의 유도 기전력의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

여기서, 코일 유닛(8)은 예를 들어 원통형의 코일(8a) 등을 갖는다. 코일(8a)의 내주는, 코어 부재(21)를 2개 이상 수용하는 것이 가능하다. 본 실시 형태의 효과는, 코일 유닛(8)에 있어서의 코어 부재(21)의 개수 증감 및 배치의 변경에 의해, 측정관(4) 내의 유로(7a)에 발생하는 자계를 강하게 할 수 있는 것이다.

(제6 실시 형태)

도 13은 제6 실시 형태에 대하여 전자 유량계(1)의 검출기(2)의 일례로서, 피측정 대상물이 흐르는 방향에 대하여 직교하는 평면에 있어서의 단면도이다. 제5 실시 형태에 대하여 측정관(4)의 둘레 방향으로 배치하는 쌍을 이루는 코일 유닛(8)의 수를 증가한 것이다. 측정관(4)의 구경이 더 큰 경우에는, 코일 유닛(8)의 쌍을 둘레 방향으로 증가시킴으로써, 측정관(4)의 유로(7a)에 자계를 강하게 발생시킬 수 있다.

도 13에서는, 측정관(4)의 둘레 방향을 따라 3쌍을 이루는 코일 유닛(8)(도 13에서는 8A, 8B, 8C, 8D, 8E, 8F가 된다)이 배치되어 있다. 도 13에 있어서, 코일 유닛(8E)과 코일 유닛(8F)이 축심 Ax를 끼워서 쌍을 이루고 있다. 나머지 4개의 코일 유닛(8)은 축심 Ax를 끼워서 쌍을 이루어서 구성하고 있다. 또한, 4개의 코일 유닛(8)은 축심 Ax를 개재하지 않고 대향을 이루는 구성으로 하여도 된다. 도 13에 있어서, 축심 Ax를 끼워서 쌍을 이루는 구성이란, 코일 유닛(8A)과 코일 유닛(8B)을 포함하는 쌍, 및 코일 유닛(8C)과 코일 유닛(8D)을 포함하는 쌍이다. 또한, 도 13에 있어서, 축심 Ax를 개재하지 않고 대향을 이루는 구성이란, 코일 유닛(8A)과 코일 유닛(8D)을 포함하는 쌍, 및 코일 유닛(8C)과 코일 유닛(8B)을 포함하는 쌍이다.

복수 쌍의 코일 유닛(8, 8)은 예를 들어 원통형의 코일(8a) 등을 갖는다. 코일(8a)의 내주는, 코어 부재(21)를 2개 이상 수용하는 것이 가능하다. 또한, 본 실시 형태는 환상 부재(30)를 갖고, 이 환상 부재(30)는 귀환 자로의 일례이다. 환상 부재(30)를 귀환 자로로서 설치함으로써, 측정관(4) 내의 유로(7a)에 발생하는 자계를 강하게 발생시킬 수 있어, 1쌍의 전극부(9, 9)에 있어서의 유도 기전력의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

본 실시 형태의 효과는, 코일 유닛(8)에 있어서의 코어 부재(21)의 개수 증감 및 배치의 변경에 의해, 측정관(4) 내의 유로(7a)에 발생하는 자계를 강하게 할 수 있는 것이다.

(제7 실시 형태)

본 실시 형태에 있어서의 전자 유량계(1)는 도 8의 전자 유량계(1)와 동일한 구성을 하고 있다. 또한, 도 14는 본 실시 형태의 전자 유량계(1)의 배관의 예이다. 전자 유량계(1)의 좌우로는 다른 관체와 배관이 되어 있다. 좌측의 배관은 상류측이며, 피측정 대상물은 좌측의 관체로부터 x축 방향으로 전자 유량계(1)에 유입된다.

전자 유량계(1)는 피측정 대상물이 안정적으로 일정량 흐르고 있는 상태에서 사용함으로써, 고정밀도로 측정하는 것이 가능하다. 그 때문에, 전자 유량계(1)는 상류측 및 하류측 모두에 직선의 관체와의 사이에 배치하는 것이 바람직하다. 전자 유량계(1)의 측정관의 구경을 D라 한 경우, 측정관의 구경의 5배의 거리, 5D 이상의 직관 길이의 관체가 상류 및 하류에 전자 유량계의 검출부로부터 연결되는 것이 바람직하다고 되어 있다.

그러나, 관체의 배관에 따라서는 도 14와 같이, 충분히 긴 직관 길이의 관체를 취할 수 없어, 90도 굴곡관(31)의 이웃에 배치되는 경우가 있다. 90도 굴곡관(31)은 관체가 90도의 곡선의 형상을 갖고 있다. 또한, 피측정 대상물의 유량을 조정하는 구획 밸브(32)가 전자 유량계로부터 상기 5D 미만의 길이의 직관 길이로 배치되는 경우도 있다. 이러한 경우, 전자 유량계(1)의 측정관(4) 내의 유로(7a)에 흐르는 피측정 대상물은 비축대칭의 흐름(이하 편류라고 칭한다)이 되어, 유도 기전력의 검출 정밀도가 저하된다.

본 실시 형태의 전자 유량계(1)는 측정관(4)의 관 내에 발생한 자계의 분포에 의해, 쌍을 이루고 있는 코일 유닛(8)에 도통하고 있는 여자 전류를 조정하여, 자계의 분포를 조정시키는 전자 유량계(1)이다.

여기서, 전자 유량계(1)를 조립한 후에는 코일 유닛(8)을 용접하고, 주위벽부(15) 및 주위벽부(16)로 덮기 때문에, 조립 후에 코일(8a)에 삽입되는 코어수의 조정을 할 수는 없다(도 1 참조). 그 때문에, 전자 유량계(1)의 변환기(3)로, 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를 조정함으로써, 측정관(4)의 내부에 발생한 자계의 분포를 조정하게 된다.

도 15는 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를 조정하는 조정 기구(34)를 예시한 도면이다. 변환기(3)에는 여자 전류를 조정하는 조정 기구(34)를 구비하고 있다. 코일 유닛(8)이 복수 쌍인 경우(도 15에서는 8A, 8B, 8C, 8D가 된다), 쌍이 되는 코일 유닛(8)마다 드라이브 유닛(33)(도 15에서는 33A, 33B, 33C, 33D가 된다)이 접속되어 있다. 드라이브 유닛(33)은 코일 유닛(8)에 전압 Vcc가 인가되면, 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를 조정하는 장치이다. 조정 기구(34)는 각 코일 유닛(8)에 접속되어 있는 드라이브 유닛(33)을 제어함으로써, 각 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를 조정할 수 있다. 이에 의해, 조정 기구(34)는 측정관(4) 내에 발생하는 전계를 조정할 수 있다.

이상으로부터, 본 실시 형태는, 측정관(4)의 관 내에 발생하고 있는 자계 분포로부터, 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를 조정함으로써, 피측정 대상물의 편류에 대하여 고정밀도로 유도 기전력의 검출을 하는 것이 가능하게 되는 효과를 갖는다.

또한, 전자 유량계(1)의 설치 시에 상술한 바와 같이, 여자 전류의 조정에 의한 측정관(4) 내의 자계 분포의 조정을 행한 경우에도, 배관 후의 환경에 의해, 전자 유량계(1)에 흐르는 피측정 대상물의 흐트러짐이 강한 흐름(이하, 난류라고 칭한다)에 의해 측정값과 실제의 유량에 차이가 발생하는 경우가 있다.

전자 유량계(1)에 실제로 흘린 피측정 대상물의 유량과, 전자 유량계(1)가 산출한 측정값에 차이가 있는 경우에 있어서, 상기 조정 기구(34)에 의해, 전자 유량계(1)의 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를 조정함으로써, 측정값과 실제의 유량의 차이를 없애는 실류 교정을 거는 것이 가능하다.

전자 유량계(1)의 측정량과 실제로 흘린 피측정 대상물 간의 오차를 시정하기 위해서는, 측정관(4)에 발생한 자계의 분포를 조정할 필요가 있다. 여기서, 전자 유량계(1)를 조립한 후에는 코일 유닛(8)을 용접하고, 주위벽부(15) 및 주위벽부(16)로 덮기 때문에, 조립 후에 코일(8a)에 삽입되는 코어수의 조정을 할 수는 없다(도 1 참조). 그 때문에, 전자 유량계(1)의 변환기(3)로, 코일 유닛(8)에 도통하는 여자 전류를 조정함으로써, 측정관(4)의 유로(7a)에 발생한 자계의 분포를 조정한다. 쌍이 되는 코일 유닛(8)마다 드라이브 유닛(33)이 접속되어 있고, 각 드라이브 유닛(33)을 제어함으로써, 흐르고 있는 여자 전류의 전류량을 조정할 수 있다.

이상으로부터, 난류에 대하여 측정관(4)의 관 내에 발생하고 있는 자계 분포로부터, 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를 조정함으로써, 전자 유량계(1)의 측정량과 실제로 흘린 피측정 대상물 간의 오차를 억제하는 자계의 분포를 발생시킬 수 있다. 그리고 본 실시 형태는 전자 유량계(1)에 흐르는 피측정 대상물의 유량 측정값과 실제의 유량과의 차이를 없애는 효과를 갖는다.

이상의 실시 형태 1 내지 실시 형태 7은 피측정 대상물과 전극부가 접촉하는, 접액형 전자 유량계를 예시하고 있다. 라이닝(6)으로 전극부(9) 이외의 측정관 내면을 덮음으로써, 전극부(9)의 유도 기전력의 검출 정밀도가 향상된다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 이 접액형 전자 유량계에 한정되지 않고, 기타의 측정형, 예를 들어, 피측정 대상물과 전극부(9)가 접촉하지 않는, 비접액형 전자 유량계여도 된다.

또한, 전자 유량계는 상기 검출기(2)와, 검출기(2)가 검출한 유도 기전력의 신호를 증폭하고, 유량 표시 등으로 변환하는 변환기(3)를 일체로 한 끼워넣기형, 및 분리한 분리형이 있다. 본 실시 형태는 상기 끼워넣기형과 분리형 중의 어느 방식이어도 된다.

실시 형태 7의 조정 기구(34)는 드라이브 유닛(33)에 의해 코일 유닛(8)에 흐르는 여자 전류를 조정할 수 있는 것으로 했지만, 조정 기구(34)의 구조는 이것에 한정되지 않는 것으로 한다. 또한 실시 형태 7에 있어서, 조정 기구(34)는 변환기(3)에 내장되어 있는 것으로 했지만, 조정 기구(34)와 변환기(3)는 동일한 하우징에 존재하지 않고, 외부 접속되어 있어도 된다.

본 발명의 몇 가지의 실시 형태를 설명했지만, 이들 실시 형태는, 예로서 제시한 것이며, 발명의 범위를 한정하는 것은 의도하고 있지 않다. 이들 신규의 실시 형태는, 그 밖에의 다양한 형태로 실시되는 것이 가능하고, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 다양한 생략, 치환, 변경을 행할 수 있다. 이들 실시 형태나 그 변형은, 발명의 범위나 요지에 포함됨과 함께, 청구범위에 기재된 발명과 그 균등의 범위에 포함된다.

Claims

피측정 대상물이 흐르는 측정관과,
상기 측정관의 직경 방향 외측에 설치되고, 상기 측정관 내에 자계를 발생시키는 제1 코일과,
상기 제1 코일과는 쌍을 이루도록, 상기 측정관의 직경 방향 외측에 설치되고, 상기 측정관 내에 상기 자계를 발생시키는 제2 코일과,
상기 제1 코일 및 상기 제2 코일의 내주측에, 상기 측정관의 직경 방향으로 삽입되어 있는 코어 부재와,
상기 측정관 내에 설치되고, 상기 피측정 대상물이 상기 측정관 내에 흐를 때에 발생하는 유도 기전력을 검출하는 전극부
를 구비하고,
상기 제1 코일의 내주 및 상기 제2 코일의 내주와 상기 코어 부재의 외경은, 복수의 상기 코어 부재가 상기 제1 코일의 내주 및 상기 제2 코일의 내주에 삽입 가능한 형상을 갖고,
상기 제1 코일의 내주 및 상기 제2 코일의 내주에 삽입되는 상기 코어 부재의 개수는, 상기 측정관의 구경에 따라서 설정 가능한, 전자 유량계.
제1항에 있어서, 상기 제1 코일과 상기 측정관의 둘레 방향으로 인접하여 설치되고, 상기 측정관 내에 자계를 발생시키는 제3 코일과,
상기 제2 코일과 상기 측정관의 둘레 방향으로 인접하고, 상기 제3 코일과 쌍을 이루도록 설치되고, 상기 측정관 내에 자계를 발생시키는 제4 코일
을 더 구비하고,
상기 제3 코일의 내주 및 상기 제4 코일의 내주와 상기 코어 부재의 외경은, 복수의 상기 코어 부재가 상기 제3 코일의 내주 및 상기 제4 코일의 내주에 삽입 가능한 형상을 갖는 전자 유량계.
제1항에 있어서, 상기 제1 코일과 상기 측정관의 축 방향으로 인접하여 설치되고, 상기 측정관 내에 자계를 발생시키는 제5 코일과,
상기 제2 코일과 상기 측정관의 축 방향으로 인접하고, 상기 제5 코일과 쌍을 이루도록 설치되고, 상기 측정관 내에 자계를 발생시키는 제6 코일
을 더 구비하고,
상기 제5 코일의 내주 및 상기 제6 코일의 내주와 상기 코어 부재의 외경은, 복수의 상기 코어 부재가 상기 제5 코일의 내주 및 상기 제6 코일의 내주에 삽입 가능한 형상을 갖는 전자 유량계.
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제1 코일의 내주에 삽입되는 상기 코어 부재의 개수 및
상기 제2 코일의 내주에 삽입되는 상기 코어 부재의 개수는, 기타의 각 코일의 내주에 삽입되는 상기 코어 부재의 개수와 상이한 전자 유량계.
제4항에 있어서, 상기 제1 코일과 상기 제2 코일의 페어, 및 상기 상기 제5 코일과 상기 제6 코일의 페어 중 상기 전극부로부터의 거리가 먼 페어의 상기 코어 부재의 개수는, 상기 전극부로부터의 거리가 가까운 페어의 상기 코어 부재의 개수보다도 많은, 전자 유량계.
제2항에 있어서, 상기 측정관의 내부에 형성되는 자계의 분포에 따라, 각 코일에 흐르는 여자 전류의 전류값을 조정하는 조정 기구를 더 구비하는, 전자 유량계.
제6항에 있어서, 상기 조정 기구는, 상기 전극부로 검출한 유도 기전력으로부터 산출한 측정값과, 상기 측정관에 흘린 피측정 대상물의 실제 유량과의 차이에 따라, 각 코일에 흐르는 여자 전류의 전류값을 조정하는 전자 유량계.