KR20160014528A - Probe unit, method of manufacturing probe unit and method of inspecting - Google Patents

Abstract

The present invention relates to a probe pin, a probe unit including a support portion supporting the probe pin, a method for manufacturing the probe unit, and a method for inspecting a substrate by using the probe unit. In order to realize a weight reduction, the probe unit comprises a probe pin (2) and a support portion (3) which supports the probe pin (2). The support portion (3) comprises: arms (11, 12) which are spaced apart to face each other and have a band shape; a holding portion (13) which holds base ends (21a, 22a) of the arms (11, 12); and the probe pin (2) which functions as a connection portion connecting front ends (21b, 22b) of the arms (11, 12). The support portion (3) constructs a four-bar linkage that permits linear or approximately linear movement of the probe pin (2). In each of the arms (11, 12), through-holes (H1a, H1b, H2a, H2b) are formed in a region slightly closer to a front end than the base end and a region slightly closer to the base end than the front end. Center portions (21c, 22c) between the through-holes function as each link constituting the four-bar linkage, and formation positions (P1a, P1b, P2a, P2b) of the through-holes function as joints in the four-bar linkage.

Description

프로브 유닛, 프로브 유닛 제조 방법 및 검사 방법{PROBE UNIT, METHOD OF MANUFACTURING PROBE UNIT AND METHOD OF INSPECTING}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a probe unit, a probe unit manufacturing method and a probe unit,

본 발명은, 프로브 핀과 프로브 핀을 지지하는 지지부를 구비한 프로브 유닛, 그 프로브 유닛을 제조하는 프로브 유닛 제조 방법 및 그 프로브 유닛을 이용해 기판을 검사하는 검사 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a probe unit having a probe pin and a support for supporting the probe pin, a probe unit manufacturing method for manufacturing the probe unit, and an inspection method for inspecting a substrate using the probe unit.

이러한 종류의 프로브 유닛으로서, 하기 특허 문헌 1에 있어서 출원인이 개시한 프로브가 알려져 있다. 이 프로브는, 프로브 본체 및 고정구를 구비하고 있다. 고정구는, 프로브 본체를 고정하는 프로브 고정부와, 프로브 안내 기구에 부착하기 위한 부착부와, 프로브 고정부 및 부착부를 연결하는 한쌍의 연결용 아암을 구비하여 구성되어 있다. 이 경우, 각 연결용 아암에 있어서의 부착부와의 연결 개소 및 프로브 고정부와의 연결 개소에는, 연결용 아암을 두께 방향(상하 방향)으로 원호상으로 절결한 지점이 각각 형성되어 있다. 이 프로브에서는, 고정구에 있어서의 프로브 고정부, 부착부, 연결용 아암 및 각 지점에 의해, 프로빙의 방향과는 역방향으로의 프로브 핀의 직동 또는 근사적인 직동을 허용하는 4절 회전 기구가 구성된다. 이 때문에, 이 프로브에서는, 프로빙 대상의 표면에 프로브 본체의 선단이 접촉한 상태로부터 부착부가 더 하강했을 때에, 프로빙 대상의 표면 상을 프로브 본체의 선단이 이동함에 의한 접촉흔의 발생을 적게 억제하는 것이 가능해진다.As such a probe unit, a probe disclosed by the applicant in Patent Document 1 is known. The probe includes a probe main body and a fixture. The fixture includes a probe fixing section for fixing the probe main body, an attachment section for attachment to the probe guide mechanism, and a pair of connection arms for connecting the probe fixing section and the attachment section. In this case, a point where the connecting arms are cut in a thickness direction (up-and-down direction) is formed in a circular arc on each of the connecting portions of the connecting arms and the connecting portions of the probe fixing portions. In this probe, a four-segment rotating mechanism is constituted by a probe fixing portion, an attaching portion, a connecting arm, and respective points in a fixture, which permits a linear or approximate direct operation of the probe pin in a direction opposite to the probing direction . Therefore, in this probe, when the tip of the probe main body comes into contact with the surface of the probe to be further lowered from the state where the tip of the probe body is lowered, generation of contact shake due to movement of the tip of the probe main body on the probe surface is suppressed Lt; / RTI >

일본국 특허 제4717144호 공보(제5－6페이지, 도 1)Japanese Patent No. 4717144 (pages 5-6, Fig. 1)

그런데, 상기한 종래의 프로브에는, 개선해야 할 이하의 과제가 있다. 즉, 이 프로브에서는, 각 연결용 아암을 두께 방향으로 절결함으로써 지점을 형성하고 있다. 이 경우, 절결 부분을 지점으로서 기능시키기 위해서는, 절결 부분의 강성을 다른 부분보다도 충분히 저하시킬 필요가 있고, 이를 위해서는, 절결 부분과 다른 부분(절결되지 않은 부분)의 두께를 명확하게 다르게 할 필요가 있다. 이 때문에, 종래의 프로브에서는, 연결용 아암의 두께(절결되지 않은 부분의 두께)를 어느 정도 두껍게 할 필요가 있다. 한편, 프로빙 시에는, 프로브 본체의 선단부와 접촉 대상의 접촉에 의해서 접촉 대상에 타흔이 생긴다. 이 경우, 프로브 전체의 질량이 클수록 큰 타흔이 생기게 된다. 이 때문에, 타흔을 작게 하기 위해서는, 프로브 전체의 질량을 작게 할 필요가 있다. 그러나, 종래의 프로브에서는, 상기한 것처럼, 연결용 아암의 두께를 어느 정도 두껍게 할 필요가 있으므로 경량화가 곤란해지고, 이 점의 개선이 요구되고 있다.However, the above-described conventional probe has the following problems to be improved. That is, in this probe, each connection arm is cut in the thickness direction to form a point. In this case, in order to make the notched portion function as a point, it is necessary to sufficiently lower the rigidity of the notched portion than other portions. For this purpose, it is necessary to make the thickness of the notched portion different from the thickness of the other portion have. Therefore, in the conventional probe, it is necessary to increase the thickness of the connecting arm (the thickness of the not-cut portion) to some extent. On the other hand, at the time of probing, scratches are generated in the contact object due to contact between the distal end portion of the probe main body and the object to be contacted. In this case, the greater the mass of the entire probe, the larger the scratch. For this reason, in order to reduce the scratches, it is necessary to reduce the mass of the entire probe. However, in the conventional probe, as described above, since it is necessary to increase the thickness of the connecting arm to some extent, it is difficult to reduce the weight, and improvement of this point is required.

본 발명은, 이러한 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 경량화를 실현할 수 있는 프로브 유닛, 프로브 유닛 제조 방법 및 그 프로브 유닛이 가지는 효과를 실현할 수 있는 검사 방법을 제공하는 것을 주목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and its object is to provide a probe unit, a probe unit manufacturing method, and an inspection method capable of realizing the effects of the probe unit.

상기 목적을 달성하기 위해 청구항 1기재의 프로브 유닛은, 프로브 핀과, 해당 프로브 핀을 지지하는 지지부를 구비한 프로브 유닛으로서, 상기 지지부는, 상기 프로브 핀을 프로빙시킬 때의 프로빙의 방향을 따라서 서로 이격하여 대향하는 상태로 배치된 띠형상의 제1 아암 및 제2 아암과, 해당 각 아암의 각 기단부를 유지하는 유지부와, 상기 프로브 핀이 부착 가능하게 구성됨과 더불어 상기 각 아암의 각 선단부들을 연결하는 연결부를 구비하고, 상기 프로빙의 방향과는 역방향으로의 상기 프로브 핀의 직동 또는 근사적인 직동을 허용하는 4절 링크 기구를 구성하고, 상기 각 아암은, 상기 기단부보다도 약간 상기 선단부측의 부위 및 해당 선단부보다도 약간 해당 기단부측의 부위에 관통공이 각각 형성되고, 해당 각 관통공의 사이의 중간 부위가 상기 4절 링크 기구를 구성하는 각 링크로서 기능함과 더불어, 해당 각 관통공의 형성 부위가 상기 4절 링크 기구를 구성하는 조인트로서 기능하도록 구성되어 있다.In order to attain the above object, a probe unit according to claim 1 is a probe unit having a probe pin and a support portion for supporting the probe pin, wherein the support portion includes a plurality of probes, Shaped first arms and second arms spaced apart from each other in a state of being opposed to each other, holding portions for holding respective proximal ends of the respective arms, probe pins being attachable to the distal ends of the arms, And a fourth link mechanism that permits a linear or approximate direct operation of the probe pin in a direction opposite to the probing direction, wherein each of the arms has a connecting portion for connecting a portion on the distal end side And a through hole is formed at a position slightly closer to the proximal end side than the tip end, and an intermediate portion between the through holes In addition to functioning as the links constituting the group 4-bar linkage mechanism, a forming portion of the each through-hole is configured to function as a joint constituting the four-bar linkage mechanism.

청구항 2기재의 프로브 유닛은, 청구항 1기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 아암은, 해당 아암에 있어서의 폭방향의 단부와 상기 관통공의 사이의 가장자리부의 폭이, 해당 아암의 길이 방향을 따라서 상기 중간 부위로부터 이격함에 따라서 넓어지도록 형성되어 있다.According to a second aspect of the present invention, there is provided a probe unit according to claim 1, wherein the arm has a width in a width direction of the arm and a width of an edge portion between the through- And is formed to be wider as it is spaced apart from the intermediate portion.

청구항 3기재의 프로브 유닛은, 청구항 2기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 아암은, 상기 관통공을 사이에 끼고 대향하는 2개의 상기 가장자리부가, 해당 아암에 있어서의 상기 폭방향의 중심을 통과하는 상기 길이 방향을 따른 중심선을 대칭축으로 하여 선대칭의 형상이 되도록 형성되어 있다.According to a third aspect of the present invention, in the probe unit according to the second aspect of the present invention, the arm has two opposing edge portions with the through-hole interposed therebetween, Symmetrically with respect to the center line along the longitudinal direction.

청구항 4기재의 프로브 유닛은, 청구항 1기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 프로브 핀이 상기 제1 아암의 상기 선단부 및 상기 제2 아암의 상기 선단부에 고정되어 해당 프로브 핀이 상기 연결부로서 기능하도록 구성되어 있다.The probe unit according to claim 4 is the probe unit according to claim 1, wherein the probe pin is fixed to the tip portion of the first arm and the tip portion of the second arm so that the probe pin functions as the connecting portion have.

청구항 5기재의 프로브 유닛은, 청구항 2기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 프로브 핀이 상기 제1 아암의 상기 선단부 및 상기 제2 아암의 상기 선단부에 고정되어 해당 프로브 핀이 상기 연결부로서 기능하도록 구성되어 있다.The probe unit according to claim 5 is the probe unit according to claim 2, wherein the probe pin is fixed to the distal end of the first arm and the distal end of the second arm so that the probe pin functions as the connecting part have.

청구항 6기재의 프로브 유닛은, 청구항 3기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 프로브 핀이 상기 제1 아암의 상기 선단부 및 상기 제2 아암의 상기 선단부에 고정되어 해당 프로브 핀이 상기 연결부로서 기능하도록 구성되어 있다.According to a sixth aspect of the present invention, in the probe unit according to the third aspect of the present invention, the probe pin is fixed to the distal end portion of the first arm and the distal end portion of the second arm so that the probe pin functions as the connecting portion have.

청구항 7기재의 프로브 유닛은, 청구항 1기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 각 아암은, 해당 아암의 길이 방향을 따라서 상기 중간 부위에 형성된 리브를 구비하여 구성되어 있다.According to a seventh aspect of the present invention, in the probe unit according to the first aspect of the present invention, each of the arms has a rib formed in the intermediate portion along the longitudinal direction of the arm.

청구항 8기재의 프로브 유닛은, 청구항 1기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 프로브 핀을 한쌍 구비함과 더불어, 상기 제1 아암 및 상기 제2 아암을 각각 한쌍 구비하고, 상기 유지부는, 상기 한쌍의 제1 아암이 인접하여 연장되는 상태로 해당 각 제1 아암의 상기 각 기단부를 유지함과 더불어, 상기 한쌍의 제2 아암이 인접하여 연장되는 상태로 해당 각 제2 아암의 상기 각 기단부를 유지한다.The probe unit according to claim 8 is the probe unit according to claim 1, wherein a pair of the probe pins is provided, and a pair of the first arm and the second arm are respectively provided, 1 arms extend adjacent to each other and hold the base ends of the respective first arms and hold the respective base ends of the respective second arms in a state in which the pair of second arms extend adjacent to each other.

청구항 9기재의 프로브 유닛은, 청구항 8기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 각 제1 아암은, 해당 각 제1 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 해당 각 제1 아암을 일체로 제작한 후에, 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지된 상태에서 해당 각 제1 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방부터 상기 선단부까지의 사이를 분리하여 구성되고, 상기 각 제2 아암은, 해당 각 제2 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 해당 각 제2 아암을 일체로 제작한 후에, 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지된 상태에서 해당 각 제2 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방부터 상기 선단부까지의 사이를 분리하여 구성되어 있다.According to a ninth aspect of the present invention, in the probe unit according to the eighth aspect, each of the first arms has a positional relationship when each of the base ends of the corresponding first arm is held by the holding unit The first arm is integrally formed and then separated from the vicinity of at least the base end portion to the tip end portion of each first arm in a state in which each base end portion is held by the holding portion, Wherein each of the second arms is formed integrally with each of the second arms in a state in which the positional relationship when each of the base ends of the respective second arms is held by the holding section is integrally formed, And the second arm is separated from at least the vicinity of the base end portion to the tip end portion in the state of being held by the holding portion.

청구항 10기재의 프로브 유닛은, 청구항 9기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 각 제1 아암은, 비도전성을 가지고 상기 각 기단부들이 연결된 상태에서 일체로 제작됨과 더불어 해당 각 기단부가 연결된 상태인 채 상기 유지부에 의해서 유지되고, 상기 각 제2 아암은, 비도전성을 가지고 상기 각 기단부들이 연결된 상태에서 일체로 제작됨과 더불어 해당 각 기단부가 연결된 상태인 채로 상기 유지부에 의해서 유지되어 있다.The probe unit according to claim 10 is the probe unit according to claim 9, wherein each of the first arms has a non-conductive property and is integrally manufactured in a state where the respective base ends are connected to each other, And each of the second arms has a non-conductive property and is integrally formed in a state where the base ends are connected to each other, and the base ends of the second arms are held by the holder while the base ends are connected.

청구항 11기재의 프로브 유닛은, 청구항 1기재의 프로브 유닛에 있어서, 상기 각 아암 중의 상기 프로빙 시에 프로빙 대상측에 위치하는 아암에 있어서의 해당 프로빙 대상에 대향하는 면측에 절연체를 통하여 설치된 도전성을 가지는 실드판을 구비하고 있다.The probe unit according to claim 11 is the probe unit according to claim 1, wherein the arm of the arm located on the probing object side at the time of probing of each of the arms has conductivity provided through the insulator on the surface side facing the probing object And a shield plate.

청구항 12기재의 프로브 유닛 제조 방법은, 청구항 8기재의 프로브 유닛을 제조하는 프로브 유닛 제조 방법으로서, 상기 한쌍의 제1 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 해당 양 제1 아암을 일체로 제작한 후에, 해당 각 제1 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방부터 상기 선단부까지의 사이를 분리시켜 해당 각 제1 아암을 제작하고, 상기 한쌍의 제2 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 해당 양 제2 아암을 일체로 제작한 후에, 해당 각 제2 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방부터 상기 선단부까지의 사이를 분리시켜 해당 각 제2 아암을 제작하여 상기 프로브 유닛을 제조한다.According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided a probe unit manufacturing method for manufacturing the probe unit according to the eighth aspect of the present invention, wherein the positional relationship when each of the base ends of the pair of first arms is held by the holding unit is maintained , The first arm of the first arm is manufactured by separating at least the vicinity of the proximal end of the first arm from the distal end of the first arm to form the respective first arm, After the first and second arms are integrally formed in a state in which the positional relationship when the base ends of the arms are held by the holding section is integrally formed, And the respective second arms are manufactured to manufacture the probe unit.

청구항 13기재의 프로브 유닛 제조 방법은, 청구항 12기재의 프로브 유닛 제조 방법에 있어서, 상기 한쌍의 제1 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 상기 일체로 제작한 각 제1 아암의 상기 각 기단부를 상기 유지부에 유지시킨 상태에서 해당 각 제1 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방부터 상기 선단부까지의 사이를 분리시키고, 상기 일체로 제작한 각 제2 아암의 상기 각 기단부를 상기 유지부에 유지시킨 상태에서 해당 각 제2 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방부터 상기 선단부까지의 사이를 분리시켜 상기 프로브 유닛을 제조한다.According to a thirteenth aspect of the present invention, in the probe unit manufacturing method according to the twelfth aspect, in a state in which the positional relationship when each of the base ends of the pair of first arms is held by the holding unit is maintained, The first arm is separated from the vicinity of the proximal end portion to the distal end portion of each first arm in a state in which the proximal end portions of the respective first arms are held by the holding portion, The probe unit is manufactured by separating at least the vicinity of the proximal end portion of the respective second arm from the proximal end portion in a state where the proximal end portions of the two arms are held by the retaining portion.

청구항 14기재의 검사 방법은, 기판을 검사하는 검사 방법으로서, 청구항 1 내지 11 중 어느 한 항에 기재의 프로브 유닛의 상기 프로브 핀을 상기 프로빙 대상으로서의 상기 기판에 프로빙시키고, 해당 프로브 핀을 통하여 입출력하는 전기 신호에 의거해 해당 기판을 검사한다.The inspection method according to claim 14 is an inspection method for inspecting a substrate, wherein the probe pin of the probe unit according to any one of claims 1 to 11 is probed on the substrate as the probing object, The substrate is inspected based on the electric signal.

청구항 1기재의 프로브 유닛에서는, 띠형상의 제1 아암 및 제2 아암에 있어서의 기단부보다도 약간 선단부측의 부위 및 선단부보다도 약간 기단부측의 부위에 관통공이 각각 형성되고, 각 관통공의 사이의 중간 부위가 각 링크로서 기능함과 더불어, 각 관통공의 형성 부위가 조인트로서 기능하는 4절 링크 기구가 지지부에 의해서 구성된다. 즉, 이 프로브 유닛에서는, 띠형상의 각 아암에 관통공을 형성하고, 그 관통공의 형성 부위를 탄성 변형하기 쉽게 함으로써, 형성 부위를 조인트로서 기능시키고 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛에 의하면, 아암을 두께 방향으로 절결하여 그 부분을 조인트로서 기능시키는 (아암에 어느 정도의 두께가 필요한) 종래의 구성과 비교하여, 각 아암을 충분히 박형화할 수 있으므로, 각 아암을 충분히 경량화시킬 수 있는 결과, 프로브 유닛을 충분히 경량화시킬 수 있다. 따라서, 이 프로브 유닛에 의하면, 프로빙 시의 프로빙 대상에 대한 프로브 핀의 접촉에 의해서 프로빙 대상에 발생하는 타흔을 충분히 작게 억제할 수 있다.In the probe unit according to claim 1, a through hole is formed at a portion slightly closer to the distal end side than the proximal end portion of the first arm and the second arm and at a portion slightly closer to the proximal end side than the distal end of the strip-shaped first arm and the second arm, And the four-bar link mechanism in which the forming portions of the through holes serve as joints is constituted by the supporting portion. That is, in this probe unit, a through hole is formed in each of the band-shaped arms, and the formed portion of the through-hole is easily deformed elastically, so that the formed portion functions as a joint. Therefore, according to this probe unit, each arm can be made sufficiently thin as compared with the conventional configuration in which the arm is cut out in the thickness direction to function as a joint (a certain thickness is required for the arm) As a result, the arm can be made sufficiently lightweight, and as a result, the probe unit can be made sufficiently light. Therefore, according to this probe unit, it is possible to suppress the scratches generated on the probing object to be sufficiently small by the contact of the probe pin with the probing object during probing.

청구항 2기재의 프로브 유닛에 의하면, 아암에 있어서의 폭 방향의 단부와 관통공 사이의 가장자리부의 폭이, 아암의 길이 방향을 따라서 중간 부위부터 이격함에 따라서 넓어지도록 아암을 형성함으로써, 프로빙 시에 각 가장자리부에 생기는 응력의 집중을 작게 억제할 수 있으므로, 응력의 집중에 의한 가장자리부의 파손을 확실하게 방지할 수 있다.According to the probe unit described in claim 2, since the arm is formed such that the width of the arm in the width direction and the width of the edge portion between the through holes are spaced apart from the intermediate portion along the longitudinal direction of the arm, The concentration of the stress generated at the edge portion can be suppressed to a small degree, so that breakage of the edge portion due to concentration of stress can be reliably prevented.

청구항 3기재의 프로브 유닛에 의하면, 관통공을 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부가, 아암에 있어서의 폭방향의 중심을 통과하는 중심선을 대칭축으로 하여 선대칭의 형상이 되도록 아암을 형성함으로써, 관통공을 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부에 있어서 생기는 응력이 중심선을 대칭축으로 하여 선대칭이 되므로, 가장자리부에 있어서의 응력의 집중을 보다 작게 억제할 수 있는 결과, 각 가장자리부의 파손을 보다 확실하게 방지할 수 있다.According to the probe unit of claim 3, the arm is formed so as to have a line-symmetrical shape with the two opposing edge portions sandwiching the through-hole with the symmetry axis passing through the center in the width direction of the arm, The stress generated at the two edge portions opposed to each other with respect to the center line is symmetric about the center line as a symmetrical axis, so that concentration of stress at the edge portion can be suppressed to be smaller. As a result, breakage of each edge portion can be prevented more reliably can do.

또한, 청구항 4 내지 6기재의 프로브 유닛에 의하면, 프로브 핀을 연결부로서 기능하도록 프로브 유닛을 구성함으로써, 프로브 핀과는 별도 부재의 연결부를 설치하는 구성과 비교하여, 프로브 유닛을 한층 더 경량화시킬 수 있다.According to the probe unit according to claims 4 to 6, since the probe unit is configured so as to function as the connecting portion, the probe unit can be further reduced in weight compared with the configuration in which the connecting portion of the probe pin is provided separately from the probe pin have.

또한, 청구항 7기재의 프로브 유닛에 의하면, 아암의 길이 방향을 따라서 아암의 중간 부위에 형성된 리브를 구비하여 아암을 구성함으로써, 리브에 의해서 중간 부위의 강성을 다른 부분(특히, 관통공의 형성 부위)보다도 높일 수 있으므로, 각 관통공의 형성 부위를 한층 더 탄성 변형하기 쉽게 할 수 있다. 따라서, 이 프로브 유닛에 의하면, 프로빙 시에 프로빙 대상에 생기는 타흔을 더욱 작게 억제할 수 있다.According to the probe unit of claim 7, since the arm is provided with the ribs formed at the intermediate portion of the arm along the longitudinal direction of the arm, the rigidity of the intermediate portion can be adjusted by the ribs to other portions ), It is possible to make the formation sites of the respective through holes more easily elastically deformed. Therefore, with this probe unit, it is possible to further suppress the scratches on the probing object during probing.

또한, 청구항 8기재의 프로브 유닛에서는, 프로브 핀을 한쌍 구비함과 더불어, 제1 아암 및 제2 아암을 각각 한쌍 구비하고, 유지부가, 한쌍의 제1 아암의 각 기단부를 유지함과 더불어, 한쌍의 제2 아암의 각 기단부를 유지한다. 즉 이 프로브 유닛에서는, 지지부에 의해서 한쌍의 프로브 핀이 지지되어 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛에 의하면, 프로빙 대상에 있어서의 1개의 프로빙 부위에 대하여 2개의 프로브 핀을 프로빙시켜 행하는 4단자법이나 4단자쌍법에 의한 측정이나 검사에 있어서 이 프로브 유닛을 적합하게 사용할 수 있음과 더불어, 프로빙 시에 프로브 핀의 타격에 의해서 생기는 타흔을 충분히 작게 억제할 수 있다.In the probe unit according to the eighth aspect of the present invention, a pair of probe pins are provided, and a pair of the first arm and the second arm are respectively provided. The holding portion holds the base ends of the pair of first arms, Thereby holding the proximal end portions of the second arms. That is, in this probe unit, a pair of probe pins are supported by the support portion. Therefore, according to this probe unit, the probe unit can be suitably used in the measurement or inspection by the four-terminal method or the four-terminal pair method in which two probe pins are probed with respect to one probing site in the probing object In addition, it is possible to suppress the scratches caused by hitting the probe pin at the time of probing to be sufficiently small.

또한, 청구항 9재의 프로브 유닛에서는, 한쌍의 제1 아암 및 한쌍의 제2 아암의 각 기단부가 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 각 제1 아암 및 각 제2 아암을 일체로 제작한 후에, 각 기단부가 유지부에 의해서 유지된 상태에서 기단부의 근방부터 선단부까지의 사이를 분리하여 각 제1 아암 및 각 제2 아암이 구성되어 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛에 의하면, 한쌍의 제1 아암 및 한쌍의 제2 아암을 동일한 제작 조건(동일한 재질의 재료나 동일한 재료의 동일 부분을 이용한 동일한 가공 조건)으로 각각 한번에 제작할 수 있으므로, 재질적인 편차나 조건의 상이에 의한 각 아암에 있어서의 치수나 탄성률 등의 제원의 편차를 적게 억제할 수 있다. 또한, 이 프로브 유닛에 의하면, 각 제1 아암 및 각 제2 아암을 일체로 제작했을 때의 위치 관계를 유지한 상태에서, 각 제1 아암 및 각 제2 아암을 유지부에 유지시킬 수 있으므로, 각 제1 아암 및 각 제2 아암을 유지부에 유지시킬 때의 각 제1 아암들 및 각 제2 아암들의 위치 어긋남의 발생을 확실하게 방지할 수 있다. 따라서, 이 프로브 유닛에 의하면, 정확한 프로빙을 실현할 수 있다.In the probe unit according to the ninth aspect of the present invention, the first arm and the second arm may be integrally formed with each other while maintaining the positional relationship when the base ends of the pair of first arm and the pair of second arms are held by the holding portion The first arm and the second arm are formed by separating the portion from the vicinity of the proximal end to the distal end in a state where each proximal end portion is held by the retaining portion. Therefore, according to this probe unit, since the pair of first arms and the pair of second arms can be manufactured at the same time under the same manufacturing conditions (same processing conditions using the same material or the same part of the same material) at one time, Variations in specifications such as dimensions and elastic modulus in each arm due to variations in deviation or conditions can be suppressed to a small extent. Further, according to this probe unit, since the first arm and the second arm can be held by the holding portion in a state in which the positional relationship when the first arm and the second arm are integrally formed is maintained, It is possible to reliably prevent occurrence of misalignment of the first arms and the second arms when each of the first arm and the second arm is held in the holding portion. Therefore, with this probe unit, accurate probing can be realized.

또한, 청구항 10기재의 프로브 유닛에서는, 각 제1 아암 및 제2 아암이, 비도전성을 가지고 각 기단부들이 연결된 상태에서 각각 일체로 제작됨과 더불어 각 기단부가 연결된 상태인 채로 유지부에 의해서 유지되어 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛에 의하면, 각 제1 아암 및 각 제2 아암을 유지부에 한번에 유지시킬 수 있는 결과, 조립 효율을 충분히 향상시킬 수 있다.Further, in the probe unit according to claim 10, each of the first arm and the second arm is integrally formed in a state that each of the proximal ends is non-conductive, and each proximal end is connected and held by the holding unit . Therefore, according to this probe unit, each of the first arm and the second arm can be held in the holding unit at once, and as a result, the assembly efficiency can be sufficiently improved.

또한, 청구항 11기재의 프로브 유닛에 의하면, 프로빙 시에 프로빙 대상측에 위치하는 아암에 있어서의 프로빙 대상에 대향하는 면측에 절연체를 통하여 설치된 도전성을 가지는 실드판을 구비함으로써, 아암과 프로빙 대상의 사이의 부유 용량을 충분히 저감시킬 수 있으므로, 부유 용량에 의한 검사 정밀도의 저하를 확실하게 방지할 수 있다.In addition, according to the probe unit of claim 11, since the shield plate having conductivity provided through the insulator on the surface of the arm located on the probing object side facing the probing object at the time of probing is provided, It is possible to reliably prevent deterioration of inspection accuracy due to the stray capacitance.

또한, 청구항 12기재의 프로브 유닛 제조 방법에 의하면, 한쌍의 제1 아암이 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 양 제1 아암을 일체로 제작한 후에 기단부의 근방부터 선단부까지의 사이를 분리시켜 각 제1 아암을 제작하고, 한쌍의 제2 아암이 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 양 제2 아암을 일체로 제작한 후에 기단부의 근방부터 선단부까지의 사이를 분리시켜 각 제2 아암을 제작함으로써, 한쌍의 제1 아암 및 한쌍의 제2 아암을 동일한 제작 조건(동일한 재질의 재료나 동일한 재료의 동일 부분을 이용한 동일한 가공 조건)으로 각각 한번에 제작할 수 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛 제조 방법에 의하면, 재질적인 편차나 조건의 상이에 의한 각 아암에 있어서의 치수나 탄성률 등의 제원의 편차를 적게 억제할 수 있는 결과, 정확한 프로빙이 가능한 프로브 유닛을 제조할 수 있다.According to the probe unit manufacturing method of claim 12, since the first arm is integrally formed in a state in which the positional relationship when the pair of first arms are held is separated, the portion from the vicinity of the base end to the distal end is separated The second arm is integrally formed in a state in which the positional relationship when the pair of second arms is held is integrally formed and then the space from the vicinity of the base end to the tip end is separated, By manufacturing the arm, a pair of the first arm and the pair of the second arms can be manufactured at once in the same manufacturing conditions (same processing conditions using the same material or the same part of the same material). Therefore, according to this probe unit manufacturing method, variations in specifications such as dimensions and elastic moduli of each arm due to material variations and conditions can be suppressed to a small extent, and as a result, a probe unit capable of accurately probing can be manufactured .

또한, 청구항 13기재의 프로브 유닛 제조 방법에 의하면, 각 제1 아암 및 각 제2 아암을 일체로 제작했을 때의 위치 관계를 유지한 상태에서, 각 제1 아암 및 각 제2 아암을 유지부에 유지시킬 수 있으므로, 각 제1 아암 및 각 제2 아암을 유지부에 유지시킬 때의 각 제1 아암들 및 각 제2 아암들의 위치 어긋남의 발생을 확실하게 방지할 수 있다. 따라서, 이 프로브 유닛 제조 방법에 의하면, 보다 정확한 프로빙이 가능한 프로브 유닛을 제조할 수 있다.According to the probe unit manufacturing method of the thirteenth aspect of the present invention, in a state in which the positional relationship when the first arm and the second arm are integrally formed is maintained, each of the first arm and the second arm It is possible to reliably prevent the positional deviation of the first arms and the second arms when the first arm and the second arm are held on the holding portion. Therefore, according to this probe unit manufacturing method, a probe unit capable of more accurate probing can be manufactured.

또한, 청구항 14기재의 검사 방법에 의하면, 상기의 프로브 유닛의 프로브 핀을 프로빙 대상으로서의 기판에 프로빙시켜, 프로브 핀을 통하여 입출력하는 전기 신호에 의거하여 기판을 검사함으로써, 프로빙 시의 기판에 대한 프로브 핀의 접촉에 의해서 기판에 생기는 타흔을 충분히 작게 억제할 수 있다.According to the inspection method of claim 14, the probe pin of the probe unit is probed on the substrate as a probing object, and the substrate is inspected based on the electric signal input / output through the probe pin. Thus, It is possible to suppress the scratches on the substrate by the contact of the pins to a sufficiently small size.

도 1은 프로브 유닛(1)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 이동 기구(300)에 고정한 상태의 프로브 유닛(1)의 측면도이다.
도 3은 프로브 유닛(1)의 평면도이다.
도 4는 프로브 유닛(1)의 저면도이다.
도 5는 프로브 유닛(1)의 동작을 설명하는 제1의 설명도이다.
도 6은 프로브 유닛(1)의 동작을 설명하는 제2의 설명도이다.
도 7은 프로브 유닛(101)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 8은 아암(111)의 제작 방법을 설명하는 제1의 설명도이다.
도 9는 아암(111)의 제작 방법을 설명하는 제2의 설명도이다.
도 10은 아암(112)의 제작 방법을 설명하는 제1의 설명도이다.
도 11은 아암(112)의 제작 방법을 설명하는 제2의 설명도이다.
도 12는 아암(501)의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 13은 도 12에 있어서의 X－X선 단면도이다.
도 14는 아암(501)에 있어서의 리브(511)의 다른 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 15는 아암(502)의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 16은 도 15에 있어서의 Y－Y선 단면도이다.
도 17은 아암(502)에 있어서의 리브(512)의 다른 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 18은 프로브 유닛(1A)의 평면도이다.
도 19는 아암(11A)에 있어서의 관통공(H1Aa) 근방의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 20은 아암(11A)에 있어서의 관통공(H1Ab) 근방의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 21은 프로브 유닛(1A)의 저면도이다.
도 22는 아암(12A)에 있어서의 관통공(H2Aa) 근방의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 23은 아암(12A)에 있어서의 관통공(H2Ab) 근방의 구성을 나타내는 평면도이다.
도 24는 프로브 유닛(1B)의 측면도이다.
도 25는 프로브 유닛(601)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 26은 프로브 유닛(601)의 제조 방법을 설명하는 제1의 설명도이다.
도 27은 프로브 유닛(601)의 제조 방법을 설명하는 제2의 설명도이다.
도 28은 프로브 유닛(601)의 제조 방법을 설명하는 제3의 설명도이다.
도 29는 프로브 유닛(601)의 제조 방법을 설명하는 제4의 설명도이다.Fig. 1 is a perspective view showing a configuration of the probe unit 1. Fig.
Fig. 2 is a side view of the probe unit 1 in a state fixed to the moving mechanism 300. Fig.
3 is a plan view of the probe unit 1. Fig.
Fig. 4 is a bottom view of the probe unit 1. Fig.
Fig. 5 is a first explanatory diagram for explaining the operation of the probe unit 1. Fig.
Fig. 6 is a second explanatory diagram for explaining the operation of the probe unit 1. Fig.
Fig. 7 is a perspective view showing the configuration of the probe unit 101. Fig.
8 is a first explanatory view for explaining a method of manufacturing the arm 111. Fig.
9 is a second explanatory view for explaining a method of manufacturing the arm 111. Fig.
10 is a first explanatory view for explaining a method of manufacturing the arm 112. Fig.
11 is a second explanatory view for explaining a method of manufacturing the arm 112. Fig.
12 is a plan view showing the configuration of the arm 501. Fig.
13 is a sectional view taken along the line X-X in Fig.
14 is a sectional view showing another example of the structure of the rib 511 in the arm 501. Fig.
15 is a plan view showing the configuration of the arm 502. Fig.
16 is a sectional view taken along the line Y-Y in Fig.
17 is a sectional view showing another example of the configuration of the rib 512 in the arm 502. Fig.
18 is a plan view of the probe unit 1A.
Fig. 19 is a plan view showing a configuration in the vicinity of the through hole H1Aa in the arm 11A.
20 is a plan view showing a configuration in the vicinity of the through hole H1Ab in the arm 11A.
21 is a bottom view of the probe unit 1A.
Fig. 22 is a plan view showing a configuration in the vicinity of the through hole H2Aa in the arm 12A.
Fig. 23 is a plan view showing a configuration in the vicinity of the through hole H2Ab in the arm 12A.
24 is a side view of the probe unit 1B.
Fig. 25 is a perspective view showing a configuration of the probe unit 601. Fig.
26 is a first explanatory view for explaining a manufacturing method of the probe unit 601. Fig.
Fig. 27 is a second explanatory view for explaining the manufacturing method of the probe unit 601. Fig.
28 is a third explanatory view for explaining the manufacturing method of the probe unit 601. Fig.
29 is a fourth explanatory diagram for explaining a manufacturing method of the probe unit 601. Fig.

이하, 프로브 유닛, 프로브 유닛 제조 방법 및 검사 방법의 실시의 형태에 대하여, 첨부 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, embodiments of the probe unit, the probe unit manufacturing method and the inspection method will be described with reference to the accompanying drawings.

최초로, 프로브 유닛의 일예로서의 도 1에 나타내는 프로브 유닛(1)의 구성에 대하여 설명한다. 프로브 유닛(1)은, 동 도면에 나타내는 바와 같이, 프로브 핀(2) 및 지지부(3)를 구비하여 구성되어 있다.First, the configuration of the probe unit 1 shown in Fig. 1 as an example of the probe unit will be described. As shown in the figure, the probe unit 1 comprises a probe pin 2 and a support portion 3. [

프로브 핀(2)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 선단부(2a)가 뾰족한 원주상으로 형성되어 있다. 이 프로브 핀(2)은, 이동 기구(300)(도 2 참조)에 의해서 프로브 유닛(1)이 이동되었을 때에 프로빙 대상(예를 들면, 동 도면에 나타내는 기판(200))에 선단부(2a)가 프로빙(접촉)된다.As shown in Fig. 1, the probe pin 2 is formed into a cylindrical shape with a tip end 2a having a sharp tip. The probe pin 2 is provided with a distal end 2a on a probing object (for example, the substrate 200 shown in the drawing) when the probe unit 1 is moved by the moving mechanism 300 (see Fig. 2) Is probed.

지지부(3)는, 프로브 핀(2)을 지지 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는, 지지부(3)는, 도 1, 2에 나타내는 바와 같이, 아암(11)(제1 아암), 아암(12)(제2 아암) 및 유지부(13)를 구비하여 구성되어 있다.The supporting portion 3 is configured to be capable of supporting the probe pin 2. [ Specifically, as shown in Figs. 1 and 2, the support portion 3 includes an arm 11 (first arm), an arm 12 (second arm), and a holding portion 13 .

아암(11, 12)은, 도 1~도 4에 나타내는 바와 같이, 띠형상(길고 가는 판상)으로 각각 형성되어 있다. 이 경우, 아암(11, 12)은, 일예로서 금속으로 형성되고, 도전성을 가지고 있다. 또한, 아암(11, 12)은, 프로브 핀(2)을 프로빙시킬 때의 프로빙의 방향(도 2에 있어서의 하향)을 따라서 서로 이격하여 각 면끼리 대향하는 상태로 배치되어 있다. 또한, 아암(11, 12)은, 유지부(13)에 의해서 기단부(21a, 22a)가 유지되어 있다.As shown in Figs. 1 to 4, the arms 11 and 12 are each formed in a band shape (long and thin plate shape). In this case, the arms 11 and 12 are made of metal, for example, and have conductivity. The arms 11 and 12 are spaced from each other along the probing direction (downward in Fig. 2) when the probe pins 2 are probed, and are arranged so that their faces are opposed to each other. The base portions 21a and 22a of the arms 11 and 12 are held by the holding portion 13.

또한, 도 2~도 4에 나타내는 바와 같이, 아암(11)에 있어서의 기단부(21a)보다도 약간 선단부(21b)측의 부위에는, 관통공(H1a)이 형성되고, 아암(11)에 있어서의 선단부(21b)보다도 약간 기단부(21a)측의 부위에는, 관통공(H1b)이 형성되어 있다. 또한, 아암(12)에 있어서의 기단부(22a)보다도 약간 선단부(22b)측의 부위에는, 관통공(H2a)이 형성되고, 아암(12)에 있어서의 선단부(22b)보다도 약간 기단부(22a)측의 부위에는, 관통공(H2b)이 형성되어 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 각 관통공(H1a, H1b, H2a, H2b)을 구별하지 않을 때에는, 「관통공 H」라고도 한다.2 to 4, a through hole H1a is formed at a portion of the arm 11 slightly closer to the distal end portion 21b than the proximal end portion 21a, and a through hole H1a is formed in the arm 11, A through hole H1b is formed at a portion slightly closer to the proximal end 21a than the distal end 21b. A through hole H2a is formed in a portion of the arm 12 slightly closer to the distal end 22b than the proximal end 22a of the arm 12 and a proximal end 22a of the arm 12, A through hole H2b is formed in a region on the side of the substrate W. In the following description, when the through holes H1a, H1b, H2a, and H2b are not distinguished, they are also referred to as "through holes H".

여기서, 아암(11, 12)에 관통공(H)을 형성함으로써, 각 관통공(H)의 형성 부위(P1a, P1b, P2a, P2b)(도 1~도 4 참조：이하, 구별하지 않을 때에는 「형성 부위 P」라고도 한다)의 강성이, 아암(11, 12)에 있어서의 다른 부위의 강성보다도 충분히 저하하고, 이에 따라서 각 형성 부위(P)에 있어서 탄성 변형되기 쉬워진다.Here, by forming the through holes H in the arms 11 and 12, the forming portions P1a, P1b, P2a, and P2b of the through holes H (see FIGS. 1 to 4: The rigidity of the forming region P is sufficiently lower than the rigidity of the other portions of the arms 11 and 12, and accordingly, the forming region P is easily deformed elastically.

또한, 도 2~도 4에 도시하는 바와 같이, 아암(11, 12)의 각 선단부(21b, 22b)에는, 프로브 핀(2)의 기단부(2b)를 삽통시켜 고정하기 위한 삽통공(21d, 22d)이 각각 형성되어 있다.2 to 4, insertion holes 21d and 21d for inserting and fixing the proximal end 2b of the probe pin 2 are formed in the distal end portions 21b and 22b of the arms 11 and 12, respectively. 22d are formed.

유지부(13)는, 도 1, 2에 도시하는 바와 같이, 3개의 유지 부재(31~33)로 구성되어, 각 아암(11, 12)의 각 기단부(21a, 22a)를 유지한다. 이 경우, 유지부(13)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 유지 부재(31, 32)의 사이에 아암(11)을 끼워넣고, 유지 부재(32, 33)의 사이에 아암(12)을 끼워넣고, 고정용 나사(34)를 각 유지 부재(32, 33)의 삽통공에 삽통시켜 유지 부재(31)의 나사구멍에 조여넣음으로써 각 아암(11, 12)의 각 기단부(21a, 22a)를 유지하도록 구성되어 있다. 또한, 유지 부재(31)에는, 프로브 유닛(1)을 이동 기구(300)에 고정하기 위한 고정용 구멍(31a)이 형성되어 있다.The holding portion 13 is composed of three holding members 31 to 33 and holds the proximal ends 21a and 22a of the arms 11 and 12 as shown in Figs. 2, the arm 11 is sandwiched between the retaining members 31 and 32, and the arm 12 is interposed between the retaining members 32 and 33. In this case, And the fixing screws 34 are inserted into the insertion holes of the holding members 32 and 33 and are screwed into the screw holes of the holding member 31 to thereby fix the proximal ends 21a and 22a of the arms 11 and 12 ). A fixing hole 31a for fixing the probe unit 1 to the moving mechanism 300 is formed in the holding member 31. [

이 프로브 유닛(1)에서는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 프로브 핀(2)의 기단부(2b)측이 각 아암(11, 12)의 각 선단부(21b, 22b)에 고정되어 있고, 프로브 핀(2)에 의해서 각 선단부(21b, 22b)들이 연결되어 있다. 즉, 이 프로브 유닛(1)에서는, 프로브 핀(2)이 연결부로서 기능하도록 구성되어 있다. 이 경우, 프로브 핀(2)의 기단부(2b)측을 각 아암(11, 12)의 각 선단부(21b, 22b)에 고정하는 방법으로는, 도전성 접착제로 접착하는 방법, 납땜이나 레이저를 이용해 용접하는 방법, 및 프로브 핀(2)의 기단부(2b)를 아암(11, 12)의 삽통공(21d, 22d)에 압입하는 방법 등의 각종 방법을 채용할 수 있다.2, the proximal end 2b side of the probe pin 2 is fixed to the distal end portions 21b and 22b of the arms 11 and 12, And the distal end portions 21b and 22b are connected by the distal end portion 2. That is, in the probe unit 1, the probe pin 2 is configured to function as a connection portion. In this case, the method of fixing the proximal end 2b side of the probe pin 2 to the distal end portions 21b and 22b of the arms 11 and 12 may be a method of bonding with a conductive adhesive agent, And a method of pressing the proximal end portion 2b of the probe pin 2 into the insertion holes 21d and 22d of the arms 11 and 12 can be employed.

다음에, 프로브 유닛(1)을 구성하는 각 구성 요소의 치수의 일예에 대하여, 도면을 참조하여 설명한다. 프로브 핀(2)은, 전체 길이가 4mm, 직경이 0.2mm로 형성되어 있다. 또한, 프로브 핀(2)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 지지부(3)에 있어서의 아암(11, 12)의 각 선단부(21b, 22b)에 각각 형성되어 있는 삽통공(21d, 22d)에 기단부(2b)가 삽통되고, 삽통공(21d)에 삽통되어 있는 부분(동 도면에 있어서의 상측의 단부)과, 아암(12)의 삽통공(21d)에 삽통되어 있는 부분(동 도면에 있어서의 상하 방향의 중간 부분)의 거리가 2mm가 되는 상태에서 각 선단부(21b, 22b)에 고정되어 있다.Next, dimensions of the respective constituent elements constituting the probe unit 1 will be described with reference to the drawings. The probe pin 2 has a total length of 4 mm and a diameter of 0.2 mm. 2, the probe pins 2 are inserted into the insertion holes 21d and 22d formed at the distal end portions 21b and 22b of the arms 11 and 12 of the support portion 3, respectively, The base portion 2b is inserted and the portion inserted into the insertion hole 21d (the upper end in the drawing) and the portion inserted into the insertion hole 21d of the arm 12 22b in the state in which the distance between the distal end portions 21b, 22b is 2 mm.

지지부(3)의 아암(11)은, 전체 길이가 12.7mm, 폭이 1mm, 두께가 0.05mm로 형성되어 있다. 또한, 아암(11)은, 지지부(3)에 있어서의 유지 부재(31)의 선단부(도 1에 있어서의 우측의 단부)로부터 뻗어나간 부분의 길이가 6mm로 규정되어 있다. 또한, 아암(11)의 관통공(H1a, H1b)은, 각 변이 0.6mm의 대략 직사각형으로 각각 형성되어 있다. 또한, 관통공(H1a)은, 유지 부재(31)의 선단부와 유지 부재(31)의 선단부측에 위치하는 가장자리부의 사이의 거리가 0.2mm가 되는 위치에 형성되어 있다. 또한, 관통공(H1b)은, 아암(11)의 선단부(21b)에 형성되어 있는 프로브 핀(2)을 삽통시키는 삽통공(21d)(도 2 참조)과 삽통공(21d)측에 위치하는 가장자리부의 사이의 거리가 0.3mm가 되는 위치에 형성되어 있다.The arm 11 of the support portion 3 is formed to have a total length of 12.7 mm, a width of 1 mm, and a thickness of 0.05 mm. The length of the arm 11 extending from the distal end portion (the right end in Fig. 1) of the holding member 31 in the support portion 3 is defined to be 6 mm. The through holes H1a and H1b of the arm 11 are each formed into a substantially rectangular shape of 0.6 mm in each side. The through hole H1a is formed at a position where the distance between the tip end of the holding member 31 and the edge portion located on the tip end side of the holding member 31 is 0.2 mm. The through hole H1b has a through hole 21d (see FIG. 2) for inserting the probe pin 2 formed at the tip end portion 21b of the arm 11 and a through hole 21d And the distance between the edge portions is 0.3 mm.

지지부(3)의 아암(12)은, 전체 길이가 13mm, 폭이 1mm, 두께가 0.05mm로 형성되어 있다. 또한, 아암(12)은, 지지부(3)에 있어서의 유지 부재(33)의 선단부(도 1에 있어서의 우측의 단부)로부터 뻗어나가 있는 부분의 길이가 10mm로 규정되어 있다. 또한, 아암(12)의 관통공(H2a, H2b)은, 각 변이 0.6mm인 대략 직사각형으로 각각 형성되어 있다. 또한, 관통공(H2a)은, 유지 부재(33)의 선단부와 유지 부재(33)의 선단부측에 위치하는 가장자리부의 사이의 거리가 0.2mm가 되는 위치에 형성되어 있다. 또한, 관통공(H2b)은, 아암(12)의 선단부(22b)에 형성되어 있는 프로브 핀(2)을 삽통시키는 삽통공(22d)(도 2 참조)과 삽통공(22d)측에 위치하는 가장자리부의 사이의 거리가 0.3mm가 되는 위치에 형성되어 있다. 또한, 상기한 각 구성 요소의 치수는, 일예이며, 적절히 변경할 수 있다.The arm 12 of the support portion 3 is formed to have a total length of 13 mm, a width of 1 mm, and a thickness of 0.05 mm. The length of the arm 12 extending from the distal end portion (right end portion in Fig. 1) of the holding member 33 in the support portion 3 is defined as 10 mm. The through holes H2a and H2b of the arm 12 are each formed into a substantially rectangular shape with a side of 0.6 mm. The through hole H2a is formed at a position where the distance between the distal end portion of the holding member 33 and the edge portion located on the distal end side of the holding member 33 is 0.2 mm. The through hole H2b has a through hole 22d (see FIG. 2) for inserting the probe pin 2 formed at the tip end portion 22b of the arm 12 and a through hole 22d And the distance between the edge portions is 0.3 mm. In addition, the dimensions of the above-described respective components are merely examples and can be suitably changed.

여기서, 이 프로브 유닛(1)에서는, 상기한 것처럼, 아암(11, 12)이, 각 관통공(H)의 각 형성 부위(P)에 있어서 탄성 변형하기 쉬워진다. 이 때문에, 프로브 유닛(1)에서는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 유지부(13)가 이동 기구(300)에 고정된 상태에서, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)에 대하여 프로빙의 방향과는 역방향(동 도면에 있어서의 상향)으로 힘이 가해졌을 때에는, 각 형성 부위(P)를 지점으로 하여, 아암(11)의 중간 부위(21c), 아암(12)의 중간 부위(22c), 아암(11, 12)의 각 선단부(21b, 22b) 및 프로브 핀(2)이 회동(이동)한다. 이러한 프로브 유닛(1)의 각 구성 요소의 회동 동작은, 도 6에 도시하는 바와 같이, 중간 부위(21c, 22c)가 링크(마디)로서 기능함과 더불어, 각 형성 부위(P)가 조인트(관절 또는 지점)로서 기능하는 4절 링크 기구(4절 회전 기구)의 회동 동작과 동일하다. 즉, 이 프로브 유닛(1)에서는, 아암(11, 12), 유지부(13) 및 연결부로서 기능하는 프로브 핀(2)에 의해서 4절 링크 기구가 구성된다. 또한, 이 프로브 유닛(1)에서는, 프로브 핀(2)에 대하여 프로빙의 방향과는 역방향(동 도면에 있어서의 상향)으로 힘이 가해졌을 때에, 동 도면에 나타내는 바와 같이, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)가 직동 또는 근사적 직동을 허용하도록, 아암(11, 12)(중간 부위(21c, 22c)의 길이나, 아암(11, 12)의 간격이 규정되어 있다.In this probe unit 1, as described above, the arms 11 and 12 are easily deformed elastically at angularly formed portions P of the respective through holes H, as described above. 5, in the state in which the holding unit 13 is fixed to the moving mechanism 300, the probing direction and the probing direction with respect to the distal end portion 2a of the probe pin 2 The intermediate portion 21c of the arm 11, the intermediate portion 22c of the arm 12, and the intermediate portion 22c of the arm 12 are formed with the forming portion P as a point when the force is applied in a reverse direction The distal ends 21b and 22b of the arms 11 and 12 and the probe pin 2 are rotated (moved). As shown in Fig. 6, the intermediate parts 21c and 22c function as links (nodes), and the respective forming parts P function as joints (joints) Joints or points) of a four-bar link mechanism (four-turn mechanism). That is, in this probe unit 1, the four-bar link mechanism is constituted by the arms 11 and 12, the holding portion 13 and the probe pin 2 serving as a connecting portion. In this probe unit 1, when a force is applied to the probe pin 2 in a direction opposite to the probing direction (upward in the drawing), as shown in the figure, The lengths of the intermediate portions 21c and 22c and the distance between the arms 11 and 12 are defined so that the tip portion 2a of the arms 11 and 12 can be linearly or approximately linearly operated.

또한, 이 프로브 유닛(1)에서는, 띠형상으로 형성된 아암(11, 12)에 관통공(H)을 형성하고, 그 관통공(H)의 형성 부위(P)를 탄성 변형하기 쉽게 함으로써, 형성 부위(P)를 조인트로서 기능시키고 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛(1)에서는, 아암을 두께 방향으로 절결하여 그 부분을 조인트로서 기능시키는 종래의 구성, 즉, 아암에 어느 정도의 두께가 필요한 구성과 비교하여, 아암(11, 12)을 충분히 박형화할 수 있으므로, 아암(11, 12)을 경량화할 수 있는 결과, 그 만큼, 프로브 유닛(1)을 경량화시키는 것이 가능해진다.In the probe unit 1, the through holes H are formed in the arms 11 and 12 formed in a strip shape, and the forming sites P of the through holes H are easily deformed elastically, And the region P functions as a joint. Therefore, in the probe unit 1, the arms 11 and 12 are formed in a conventional configuration in which the arm is cut out in the thickness direction to function as a joint, that is, It is possible to make the arms 11 and 12 light in weight, and as a result, the probe unit 1 can be made lighter.

다음에, 프로브 유닛(1)을 이용하여, 프로빙 대상의 일예로서의 기판(200)을 검사하는 검사 방법, 및 프로빙 시의 프로브 유닛(1)의 동작에 대하여, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Next, the inspection method for inspecting the substrate 200 as an example of a probing object and the operation of the probe unit 1 at the time of probing will be described in detail with reference to the drawings using the probe unit 1.

이 프로브 유닛(1)은, 도 2에 도시하는 바와 같이, 유지부(13)의 유지 부재(31)에 형성되어 있는 고정용 구멍(31a)에 고정용 나사(301)를 삽통시키고, 이동 기구(300)의 나사구멍에 고정용 나사(301)를 나사 조임으로써 이동 기구(300)에 고정된다.2, the probe unit 1 has a fixing screw 301 inserted into a fixing hole 31a formed in a holding member 31 of a holding portion 13, (300) by screwing the fixing screw (301) into the screw hole of the screw (300).

이동 기구(300)에 대하여 프로빙의 지시가 이루어졌을 때에는, 이동 기구(300)가, 프로브 유닛(1)을 프로빙 대상으로서의 기판(200)의 상방으로 이동시킨다. 다음에, 이동 기구(300)는, 프로브 유닛(1)을 하강(하향으로 이동)시킨다. 계속하여, 프로브 유닛(1)의 하강에 따라, 도 2에 나타내는 바와 같이, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)가 기판(200)의 표면(201)에 접촉된다.When the probing instruction is issued to the moving mechanism 300, the moving mechanism 300 moves the probe unit 1 to the upper side of the substrate 200 to be probed. Next, the moving mechanism 300 causes the probe unit 1 to move downward (move downward). 2, the distal end portion 2a of the probe pin 2 is brought into contact with the surface 201 of the substrate 200 as the probe unit 1 is lowered.

다음에, 이동 기구(300)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 프로브 유닛(1)을 한층 더 하강시킨다. 이에 따라, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)가 기판(200)의 표면(201)을 하향 가압한다. 또한, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)에 대하여 가압력의 반력이 상향으로 가해진다. 이 때에, 동 도면에 나타내는 바와 같이, 아암(11, 12)의 각 형성 부위(P)를 지점으로 하여, 아암(11)의 중간 부위(21c), 아암(12)의 중간 부위(22c), 아암(11, 12)의 각 선단부(21b, 22b) 및 프로브 핀(2)이, 4절 링크 기구와 동일한 동작으로 회동한다. 구체적으로는, 중간 부위(21c)가 형성 부위(P1a)를 지점으로 하여, 동 도면에 있어서의 좌회전(반시계 방향)으로 회동하고, 중간 부위(22c)가 형성 부위(P2a)를 지점으로 하여, 동 도면에 있어서의 좌회전으로 회동한다. 또한, 프로브 핀(2)에 의해서 연결된 선단부(21b, 22b) 및 프로브 핀(2)이 형성 부위(P1b, P2b)를 지점으로 하여, 동 도면에 있어서의 우회전(시계 방향)으로 회동한다.Next, the moving mechanism 300 causes the probe unit 1 to descend further, as shown in Fig. The distal end portion 2a of the probe pin 2 presses the surface 201 of the substrate 200 downward. In addition, a reaction force of the pressing force is applied upward to the tip end portion 2a of the probe pin 2. At this time, as shown in the figure, the middle portion 21c of the arm 11, the middle portion 22c of the arm 12, The distal ends 21b and 22b of the arms 11 and 12 and the probe pin 2 are rotated in the same manner as the four-bar link mechanism. Concretely, the intermediate portion 21c is rotated counterclockwise in the drawing with the forming portion P1a as a fulcrum, and the intermediate portion 22c is rotated with the forming portion P2a as a point , And turns to the left in Fig. The tip portions 21b and 22b connected by the probe pin 2 and the probe pin 2 are rotated in the clockwise direction in the drawing with the forming portions P1b and P2b as points.

계속하여, 이동 기구(300)는, 미리 정해진 거리만큼 프로브 유닛(1)을 하강시킨 시점에서 하강을 정지한다.Subsequently, the moving mechanism 300 stops descending when the probe unit 1 is lowered by a predetermined distance.

이 경우, 이 프로브 유닛(1)에서는, 상기한 것처럼, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)가 직동 또는 근사적 직동을 허용하도록(도 6 참조), 아암(11, 12)의 길이나, 아암(11, 12)의 간격이 규정되어 있다. 이 때문에, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)가 기판(200)의 표면(201)에 접촉하고 나서 프로브 유닛(1)의 하강이 정지하기 까지의 사이에서는, 최초의 접촉 위치에 위치한 상태가 유지된다. 이 때문에, 이 프로브 유닛(1)에서는, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)가 기판(200)의 표면(201) 상을 이동함에 의한 상처의 발생을 확실하게 방지하는 것이 가능해진다.In this case, in the probe unit 1, as described above, the length of the arms 11 and 12 is set so that the tip end 2a of the probe pin 2 can be linearly or approximately linearly operated (see FIG. 6) The distance between the arms 11, 12 is defined. Therefore, the state in which the tip end portion 2a of the probe pin 2 is positioned at the initial contact position between the time when the tip end portion 2a of the probe pin 2 comes into contact with the surface 201 of the substrate 200 and the time when the fall- maintain. Therefore, in the probe unit 1, it is possible to reliably prevent the occurrence of scars due to the movement of the distal end portion 2a of the probe pin 2 on the surface 201 of the substrate 200.

또한, 이 프로브 유닛(1)에서는, 상기한 것처럼, 아암(11, 12)을 박형화하여 충분히 경량화함으로써, 프로브 유닛(1)을 경량화하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 프로빙 시의 기판(200)(프로빙 대상)에 대한 프로브 핀(2)의 선단부(2a)의 접촉에 의해서 기판(200)의 표면(201)에 생기는 타흔을 충분히 작게 억제하는 것이 가능해진다.Further, in the probe unit 1, as described above, the arms 11 and 12 are thinned to be sufficiently lightweight so that the weight of the probe unit 1 can be reduced. This makes it possible to suppress the scratches on the surface 201 of the substrate 200 to be sufficiently small by the contact of the tip portion 2a of the probe pin 2 with respect to the substrate 200 (probing object) at the time of probing .

다음에, 도면 외의 기판 검사 장치가, 프로브 핀(2)을 통하여 입출력하는 전기 신호에 의거하여, 기판(200)의 검사를 실행한다.Next, the substrate inspection apparatuses other than the drawings perform the inspection of the substrate 200 on the basis of the electric signals input / output through the probe pins 2.

계속하여, 검사가 종료하고, 이동 기구(300)에 대하여 프로빙의 종료 지시가 이루어졌을 때에는, 이동 기구(300)가, 프로브 유닛(1)(유지부(13))을 상승시킨다. 이에 따라, 프로브 핀(2)에 의한 기판(200)의 표면(201)에 대한 가압이 해제되어, 프로브 핀(2)의 선단부(2a)에 대하여 상향으로 가해지는 가압력의 반력이 해제된다. 이 때, 아암(11, 12)의 각 중간 부위(21c, 22c), 아암(11, 12)의 각 선단부(21b, 22b) 및 프로브 핀(2)이, 4절 링크 기구로서 동작하고, 즉 상기한 프로빙 시의 방향과는 역방향으로 각각 회동하여, 도 5에 나타내는 상태로부터 도 2에 나타내는 초기 상태로 복귀한다.Subsequently, when the inspection is completed and an instruction to end the probing is issued to the moving mechanism 300, the moving mechanism 300 raises the probe unit 1 (holding portion 13). The pressing on the surface 201 of the substrate 200 by the probe pin 2 is released and the reaction force of the pressing force applied upward against the tip end 2a of the probe pin 2 is released. At this time, the intermediate portions 21c and 22c of the arms 11 and 12, the distal ends 21b and 22b of the arms 11 and 12, and the probe pin 2 operate as a four-bar link mechanism, And returns to the initial state shown in Fig. 2 from the state shown in Fig. 5 by rotating in the opposite direction to the above-mentioned direction of probing.

이상에 의해, 기판(200)에 대한 프로브 유닛(1)의 프로브 핀(2)의 프로빙 및 프로빙 해제가 종료한다.Thus, probing and probing release of the probe pin 2 of the probe unit 1 with respect to the substrate 200 is completed.

이와 같이, 이 프로브 유닛(1)에서는, 띠형상의 아암(11, 12)에 있어서의 기단부(21a)보다도 약간 선단부(21b)측의 부위 및 선단부(21b)보다도 약간 기단부(21a)측의 부위에 관통공(H)이 각각 형성되고, 각 관통공(H)의 사이의 중간 부위(21c, 22c)가 각 링크로서 기능함과 더불어, 각 관통공(H)의 각 형성 부위(P)가 조인트로서 기능하는 4절 링크 기구가 지지부(3)에 의해서 구성된다. 즉, 이 프로브 유닛(1)에서는, 띠형상의 아암(11, 12)에 관통공(H)을 형성하고, 그 관통공(H)의 형성 부위(P)를 탄성 변형하기 쉽게 함으로써, 형성 부위(P)를 조인트로서 기능시키고 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛(1)에 의하면, 아암을 두께 방향으로 절결하여 그 부분을 조인트로서 기능시키는(아암에 어느 정도의 두께가 필요한) 종래의 구성과 비교하여, 아암(11, 12)을 충분히 박형화할 수 있으므로, 아암(11, 12)을 충분히 경량화할 수 있는 결과, 프로브 유닛(1)을 충분히 경량화할 수 있다. 따라서, 이 프로브 유닛(1)에 의하면, 프로빙 시의 프로빙 대상(기판(200))에 대한 프로브 핀(2)의 접촉에 의해서 프로빙 대상에 생기는 타흔을 충분히 작게 억제할 수 있다.As described above, in the probe unit 1, the portion of the band-like arms 11 and 12 slightly closer to the distal end portion 21b than the proximal end portion 21a and the portion of the proximal end 21a side of the distal end portion 21b The intermediate portions 21c and 22c between the through holes H serve as respective links and the angular forming portions P of the through holes H are formed in And the four-bar link mechanism functioning as a joint is constituted by the support portion 3. [ That is, in the probe unit 1, the through holes H are formed in the band-like arms 11 and 12, and the forming sites P of the through holes H are easily deformed elastically, (P) function as a joint. Therefore, compared with the conventional configuration in which the arm is cut out in the thickness direction and the portion thereof functions as a joint (a certain thickness is required for the arm), the probe unit 1 is provided with the arms 11 and 12 The arms 11 and 12 can be made sufficiently lightweight, and as a result, the probe unit 1 can be sufficiently light-weighted. Therefore, according to the probe unit 1, it is possible to sufficiently reduce the scratches on the probing object due to the contact of the probe pin 2 with respect to the probing object (substrate 200) at the time of probing.

또한, 이 프로브 유닛(1)에 의하면, 프로브 핀(2)을 연결부로서 기능하도록 프로브 유닛(1)을 구성함으로써, 프로브 핀(2)과는 별도 부재의 연결부를 설치하는 구성과 비교하여, 프로브 유닛(1)을 한층 더 경량화할 수 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛(1)에 의하면, 프로빙 시의 프로빙 대상(기판(200))에 대한 프로브 핀(2)의 접촉에 의해서 프로빙 대상에 발생하는 타흔을 더욱 작게 억제할 수 있다.The probe unit 1 is configured such that the probe unit 2 is configured to function as a connecting portion so that the probe unit 2 is configured such that the connection portion of the probe pin 2, The unit 1 can be further reduced in weight. Therefore, with this probe unit 1, it is possible to further reduce the scratches generated on the probing object due to the contact of the probe pin 2 with respect to the probing object (substrate 200) at the time of probing.

또한, 이 검사 방법에서는, 상기한 프로브 유닛(1)을 이용해 프로빙 대상으로서 기판(200)을 검사함으로써, 프로브 유닛(1)이 가지는 상기 각 효과, 즉, 프로빙 시에 기판(200)에 생기는 타흔을 충분히 작게 억제할 수 있다고 하는 효과를 실현할 수 있다.In this inspection method, by inspecting the substrate 200 as a probing object by using the probe unit 1 described above, the effects of the probe unit 1, that is, Can be suppressed sufficiently small.

다음에, 프로브 유닛의 다른 일예로서의 도 7에 나타내는 프로브 유닛(101)의 구성에 대하여 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상기한 프로브 유닛(1)과 동일한 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙여, 중복되는 설명을 생략한다.Next, the configuration of the probe unit 101 shown in Fig. 7 as another example of the probe unit will be described. In the following description, the same constituent elements as those of the above-described probe unit 1 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

프로브 유닛(101)은, 도 7에 나타내는 바와 같이, 한쌍의 프로브 핀(2) 및 지지부(103)를 구비하여 구성되어 있다. 지지부(103)는, 한쌍의 아암(111)(제1 아암), 한쌍의 아암(112)(제2 아암) 및 유지부(113)를 구비하여 구성되어 있다. 각 아암(111, 112)은, 프로브 유닛(1)의 아암(11, 12)과 동일하게 하여, 금속에 의해서 띠형상으로 각각 형성되어 있다. 또한, 각 아암(111, 112)에는, 아암(11, 12)과 동일하게 하여, 관통공(H)이 형성되어 있다.The probe unit 101 includes a pair of probe pins 2 and a support portion 103 as shown in Fig. The supporting portion 103 is constituted by a pair of arms 111 (first arm), a pair of arms 112 (second arm), and a holding portion 113. Each of the arms 111 and 112 is formed like a band by metal in the same manner as the arms 11 and 12 of the probe unit 1. Through holes H are formed in the arms 111 and 112 in the same manner as the arms 11 and 12.

유지부(113)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 3개의 유지 부재(131~133)로 구성되고, 각 아암(111)이 인접하여 평행하게 연장되는 상태(1개의 가상 평면 상에 인접하여 배치된 배치 상태)에서 각 아암(111)의 각 기단부(121a)를 유지함과 더불어, 각 아암(112)이 인접하여 평행하게 연장되는 상태(1개의 가상 평면 상에 인접하여 배치된 배치 상태)에서 각 아암(112)의 각 기단부(122a)를 유지한다. 또한, 유지 부재(131)에는, 프로브 유닛(101)을 이동 기구(300)에 고정하기 위한 고정용 구멍(131a)이 형성되어 있다.As shown in Fig. 7, the holding portion 113 is composed of three holding members 131 to 133, and each of the arms 111 is arranged in a state of being adjacent to and extending in parallel (In a state in which the arms 112 are arranged adjacent to each other on a virtual plane) in parallel with each other while holding each base end 121a of each arm 111 in a state And holds the proximal end portions 122a of the arms 112. [ A fixing hole 131a for fixing the probe unit 101 to the moving mechanism 300 is formed in the holding member 131. [

이 프로브 유닛(101)에서는, 지지부(103)에 의해서 한쌍의 프로브 핀(2)이 지지되어 있다. 이 때문에, 프로빙 대상에 있어서의 1개의 프로빙 부위에 대하여 2개의 프로브 핀(2)을 프로빙시켜 행하는 4단자법이나 4단자쌍법에 의한 측정이나 검사에 있어서 이 프로브 유닛(101)을 매우 적합하게 사용할 수 있다. 또한, 이 프로브 유닛(101)에 있어서도, 상기한 프로브 유닛(1)과 동일한 효과, 즉, 프로빙 시의 프로브 핀(2)의 이동에 의한 상처 발생의 방지, 및 프로빙 시에 프로브 핀(2)의 타격에 의해서 생기는 타흔의 억제를 실현할 수 있다. 또한, 이 프로브 유닛(101)을 이용한 검사 방법에 있어서도, 상기한 프로브 유닛(1)을 이용한 검사 방법과 동일한 효과를 실현할 수 있다.In this probe unit 101, a pair of probe pins 2 are supported by a support portion 103. Therefore, in the measurement or inspection by the four-terminal method or the four-terminal pair method in which two probe pins 2 are probed with respect to one probing site in the probing object, the probe unit 101 is suitably used . This probe unit 101 also has the same effects as those of the probe unit 1 described above, that is, to prevent the occurrence of wounds due to the movement of the probe pins 2 during probing, It is possible to realize suppression of scratches caused by the impact of the impact. Also in the inspection method using the probe unit 101, the same effect as the inspection method using the probe unit 1 described above can be realized.

다음에, 상기한 프로브 유닛(101)을 제조하는 프로브 유닛 제조 방법에 대하여, 아암(111, 112)의 제작 방법을 중심으로 설명한다. 이 프로브 유닛(101)에 이용하는 아암(111)을 제작할 때는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 우선, 한쌍의 아암(111)을 일체로 한 중간체(401)를 제작한다. 이 중간체(401)는, 동 도면에 나타내는 바와 같이, 한쌍의 아암(111)의 각 기단부(121a)가 유지부(113)에 의해서 유지될 때의 위치 관계(도 7 참조)를 유지한 상태에서, 각 아암(111)이 연결부(411)에 의해서 연결된 형상을 이루고 있다. 이 경우, 중간체(401)의 제작 방법으로는, 전기 주형에 의한 제작 방법, 프레스에 의한 방법, 및 깎아냄에 의한 제작 방법 등을 채용할 수 있다.Next, a method of manufacturing a probe unit for manufacturing the above-described probe unit 101 will be described focusing on a method of manufacturing the arms 111 and 112. FIG. When manufacturing the arm 111 used for the probe unit 101, first, as shown in FIG. 8, an intermediate body 401 having a pair of arms 111 integrally formed is manufactured. As shown in the figure, the intermediate body 401 is in a state in which the positional relationship (see FIG. 7) when each base end portion 121a of the pair of arms 111 is held by the holding portion 113 is maintained , And each arm 111 is connected by a connection part 411. As shown in FIG. In this case, as a method for producing the intermediate body 401, a manufacturing method using an electric mold, a pressing method, a carving method, or the like can be adopted.

다음에, 중간체(401)(일체로 한 각 아암(111))의 연결부(411)를 도 8에 파선으로 표시하는 개소에서 절단하여 잘라내고, 다음에, 도 9에 도시하는 바와 같이, 각 아암(111)을 분리시킨다. 이에 따라, 한쌍의 아암(111)이 제작된다.Next, the connecting portion 411 of the intermediate body 401 (each arm 111 integrally formed) is cut at a portion indicated by a broken line in Fig. 8 and cut out. Then, as shown in Fig. 9, (111). Thus, a pair of arms 111 are manufactured.

또한, 아암(112)을 제작할 때, 도 10에 나타내는 바와 같이, 한쌍의 아암(112)을 일체로 한 중간체(402)를, 중간체(401)의 제작 방법과 동일한 제작 방법으로 제작한다. 이 중간체(402)는, 동 도면에 나타내는 바와 같이, 한쌍의 아암(112)의 각 기단부(122a)가 유지부(113)에 의해서 유지될 때의 위치 관계(도 7 참조)를 유지한 상태에서, 각 아암(112)이 연결부(412)에 의해서 연결된 형상을 이루고 있다.10, an intermediate body 402 in which a pair of arms 112 are integrally formed is manufactured by the same manufacturing method as the intermediate body 401 manufacturing method. As shown in the figure, the intermediate body 402 is in a state in which the positional relationship (see Fig. 7) when each base end portion 122a of the pair of arms 112 is held by the holding portion 113 is maintained And each arm 112 is connected by a connection part 412.

계속하여, 중간체(402)(일체로 한 각 아암(112))의 연결부(412)를 도 10에 나타내는 파선의 개소에서 절단하여 잘라내고, 이어서, 도 11에 나타내는 바와 같이, 각 아암(112)을 분리시킨다. 이에 따라, 한쌍의 아암(112)이 제작된다.Subsequently, the connecting portion 412 of the intermediate body 402 (each of the arms 112 integrally formed) is cut at a portion indicated by a broken line in FIG. 10 and cut out. Then, as shown in FIG. 11, . Thus, a pair of arms 112 are manufactured.

다음에, 각 아암(111, 112)의 기단부(121a, 122a)를 유지부(113)로 유지한다. 계속하여, 각 아암(111, 112)의 선단부(121b, 122b)에 프로브 핀(2)을 고정한다. 이상에 의해 프로브 유닛(101)이 제조된다.Next, the proximal end portions 121a and 122a of the arms 111 and 112 are held by the holding portions 113, respectively. Subsequently, the probe pins 2 are fixed to the distal end portions 121b and 122b of the arms 111 and 112, respectively. Thus, the probe unit 101 is manufactured.

이 제조 방법에 의하면, 상기의 제작 방법으로 아암(111, 112)을 제작함으로써, 한쌍의 아암(111)을 동일한 제작 조건으로 제작하고, 한쌍의 아암(112)을 동일한 제작 조건으로 제작할 수 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 전기 주형에 의해서 아암(111, 112)을 제작할 경우에는, 동일한 전기 주형 재료를 이용해 동일한 전기 주형 조건으로 각 아암(111) 및 각 아암(112)을 각각 한번에 제작할 수 있고, 예를 들면, 프레스나 깎아냄에 의해서 아암(111, 112)을 제작할 경우에는, 가공하는 재료(금속판이나 금속 블록)에 있어서의 동일 부분을 이용해 동일한 프레스 조건이나 동일한 절삭 조건으로 각 아암(111) 및 각 아암(112)을 각각 한번에 제작할 수 있다. 이 때문에, 이 제조 방법에 의하면, 재질적인 편차나 조건의 상이에 의한 각 아암(111, 112)에 있어서의 치수나 탄성률 등의 제원의 편차를 적게 억제할 수 있는 결과, 정확한 프로빙이 가능한 프로브 유닛(101)을 제조할 수 있다. 또한, 이 프로브 유닛(101)을 이용한 검사 방법에 의하면, 정확한 프로빙을 행할 수 있다.According to this manufacturing method, by manufacturing the arms 111 and 112 by the above-described manufacturing method, the pair of arms 111 can be manufactured under the same manufacturing conditions and the pair of arms 112 can be manufactured under the same manufacturing conditions. Concretely, for example, when the arms 111 and 112 are manufactured by using an electric mold, the arms 111 and the arms 112 can be manufactured at one time under the same electric mold condition using the same electric mold material For example, when the arms 111 and 112 are manufactured by pressing or shaving, the same portions of the material (metal plate or metal block) to be processed are used to press the arms 111 and 112 in the same pressing condition or the same cutting condition 111 and each arm 112 can be manufactured at one time. Therefore, according to this manufacturing method, variations in specifications such as dimensions and elastic moduli of the arms 111 and 112 due to material variations and conditions can be suppressed to a small extent. As a result, (101) can be produced. Further, according to the inspection method using the probe unit 101, accurate probing can be performed.

또한, 상기의 예에서는, 중간체(401, 402)(일체로 한 각 아암(111, 112))을 절단하여 한쌍의 아암(111) 및 한쌍의 아암(112)으로 분리한 후에, 각 아암(111, 112)의 각 기단부(121a, 122a)를 유지부(113)에 유지시켜 프로브 유닛(101)을 제조하고 있는데, 다음과 같이 하여 프로브 유닛(101)을 제조할 수도 있다. 우선, 중간체(401, 402)를 제작한 후에, 중간체(401, 402)에 있어서의 각 아암(111, 112)의 각 기단부(121a, 122a)측의 부분만을 분리한다. 다음에, 그 상태(각 기단부(121a, 122a)측 이외의 부분이 접속되고, 각 아암(111, 112)이 각각 일체로 되어 있는 상태)인 채로, 각 기단부(121a, 122a)를 유지부(113)에 유지시킨다. 다음에, 그 상태에서 중간체(401, 402)에 있어서의 각 기단부(121a, 122a)의 근방부터 각 선단부(121b, 122b)까지의 사이를 분리한다. 즉, 이 시점에서, 각 아암(111, 112)이 각 기단부(121a, 122a)로부터 각 선단부(121b, 122b)까지 분리된다. 이와 같이 하여 제조한 프로브 유닛(101)에서는, 중간체(401, 402)를 형성했을 때의 각 아암(111) 및 각 아암(112)의 위치 관계를 유지한 상태에서, 각 아암(111) 및 각 아암(112)을 유지부(113)에 유지시킬 수 있으므로, 각 아암(111) 및 각 아암(112)을 유지부(113)에 유지시킬 때의 각 아암(111)들 및 각 아암(112)들의 위치 어긋남의 발생을 확실하게 방지할 수 있다. 이 때문에, 이 제조 방법에 의하면, 한층 더 정확한 프로빙이 가능한 프로브 유닛(101)을 제조할 수 있다. 또한, 이 프로브 유닛(101)을 이용한 검사 방법에 의하면, 한층 더 정확한 프로빙을 행할 수 있다.In the above example, the intermediates 401 and 402 (the arms 111 and 112 integrally formed) are cut and separated into a pair of arms 111 and a pair of arms 112, The prober unit 101 is manufactured by holding the proximal ends 121a and 122a of the probes 112 and 112 on the holding unit 113. The probe unit 101 can also be manufactured as follows. Only the portions of the arms 111 and 112 on the proximal ends 121a and 122a side of the intermediates 401 and 402 are separated after the intermediates 401 and 402 are produced. Next, the proximal end portions 121a and 122a are held in the holding portions 121a and 122a while the state (a portion other than the proximal end portions 121a and 122a is connected and the arms 111 and 112 are respectively integrated) 113). Next, in this state, the portions from the vicinities of the proximal ends 121a, 122a of the intermediate bodies 401, 402 to the distal ends 121b, 122b are separated. That is, at this point, the arms 111 and 112 are separated from the proximal ends 121a and 122a to the distal ends 121b and 122b, respectively. In the probe unit 101 thus manufactured, the arm 111 and the arm 112 are held while maintaining the positional relationship between the arms 111 and 112 when the intermediates 401 and 402 are formed, The arms 112 and the arms 112 when the arms 111 and the arms 112 are held by the holding portions 113 can be held by the holding portions 113, It is possible to reliably prevent the occurrence of the positional deviation of the two members. Therefore, according to this manufacturing method, it is possible to manufacture the probe unit 101 capable of more accurate probing. Further, according to the inspection method using the probe unit 101, more accurate probing can be performed.

또한, 프로브 유닛, 프로브 유닛 제조 방법 및 검사 방법은, 상기의 구성 및 방법에 한정되지 않는다. 예를 들면, 아암(11, 12)(아암(111, 112))을 대신해, 도 12, 15에 각각 나타내는 아암(501, 502)을 이용하는 구성 및 방법을 채용할 수도 있다. 아암(501)(제1 아암)은, 도 12에 나타내는 바와 같이, 각 관통공(H)의 사이의 중간 부위(521c)에 아암(501)의 길이 방향을 따라서 형성된 리브(511)를 구비하여 구성되어 있다. 이 경우, 리브(511)는, 일예로서, 도 13에 나타내는 바와 같이, 단면 형상이 상방으로 돌출하는 직경이 0.3mm인 반원통형(반타원통형)으로 형성되어 있다. 또한, 아암(501)은, 일예로서, 폭이 1mm로 형성되어 있고, 도 12에 나타내는 바와 같이, 리브(511)는, 아암(501)의 폭방향의 중앙부에 형성되어 있다. 따라서, 리브(511)의 폭방향의 양 단부로부터 아암(501)의 폭방향의 양 가장자리부까지의 각각의 길이가 0.35mm로 되어 있다. 또한, 도 14에 도시하는 바와 같이, 리브(511)를, 반원주형(반타원주형)의 단면 형상으로 형성할 수도 있다.Further, the probe unit, the probe unit manufacturing method and the inspection method are not limited to the above-described configuration and method. For example, instead of the arms 11 and 12 (the arms 111 and 112), a configuration and a method using the arms 501 and 502 respectively shown in Figs. 12 and 15 may be employed. As shown in Fig. 12, the arm 501 (first arm) is provided with a rib 511 formed along the longitudinal direction of the arm 501 at an intermediate portion 521c between the through holes H Consists of. In this case, as shown in Fig. 13, for example, the rib 511 is formed into a semicylindrical shape (a half cylindrical shape) having a diameter of 0.3 mm projecting upward in a cross-sectional shape. The arm 501 is formed to have a width of 1 mm, for example. As shown in Fig. 12, the ribs 511 are formed at the central portion in the width direction of the arm 501. Therefore, the respective lengths from both end portions in the width direction of the rib 511 to both edge portions in the width direction of the arm 501 are 0.35 mm. Further, as shown in Fig. 14, the ribs 511 may be formed in a cross-sectional shape of a semi-circular mold (semi-elliptical mold).

또한, 아암(502)(제2 아암)은, 도 15에 나타내는 바와 같이, 각 관통공(H)의 사이의 중간 부위(522c)에 아암(502)의 길이 방향을 따라서 형성된 리브(512)를 구비하여 구성되어 있다. 이 경우, 리브(512)는, 일예로서, 도 16에 나타내는 바와 같이, 아암(501)의 리브(511)와 동일하게, 단면 형상이 상방으로 돌출하는 직경이 0.3mm인 반원통형(반타원통형)으로 형성되어 있다. 또한, 아암(502)은, 일예로서, 폭이 1mm로 형성되어 있고, 도 15에 나타내는 바와 같이, 리브(512)는, 아암(502)의 폭방향의 중앙부에 형성되어 있다. 따라서, 리브(512)의 폭 방향의 양 단부로부터 아암(502)의 폭방향의 양 가장자리부까지의 각각의 길이가 0.35mm로 되어 있다. 또한, 도 17에 나타내는 바와 같이, 리브(512)를, 반원주형(반타원주형)의 단면 형상으로 형성할 수도 있다. 이 구성에 의하면, 중간 부위(521c, 522c)에 형성한 리브(511, 512)에 의해서 중간 부위(521c, 522c)의 강성을 다른 부분(특히, 관통공(H)의 형성 부위(P))보다도 높일 수 있으므로, 각 관통공(H)이 형성된 각 형성 부위(P)를 더욱 탄성 변형하기 쉽게 할 수 있다. 따라서, 이 구성에 의하면, 프로빙 시에 프로빙 대상에 생기는 타흔을 더욱 작게 억제할 수 있다.15, the arm 502 (second arm) is provided with a rib 512 formed along the longitudinal direction of the arm 502 at an intermediate portion 522c between the through holes H Respectively. In this case, as shown in Fig. 16, for example, the rib 512 has a semi-cylindrical (rhea cylindrical) shape with a diameter of 0.3 mm which protrudes upward in a cross-sectional shape like the rib 511 of the arm 501, Respectively. As shown in Fig. 15, the ribs 512 are formed at a central portion in the width direction of the arm 502, as shown in Fig. Therefore, the respective lengths from both end portions in the width direction of the rib 512 to both edge portions in the width direction of the arm 502 are 0.35 mm. Further, as shown in Fig. 17, the ribs 512 may be formed in a cross-sectional shape of a semicircular mold (semi-elliptical mold). According to this configuration, the rigidity of the intermediate portions 521c and 522c can be made different from the rigidity of the other portions (in particular, the forming portion P of the through hole H) by the ribs 511 and 512 formed in the intermediate portions 521c and 522c, It is possible to make the forming portions P formed with the respective through holes H more easily elastically deformed. Therefore, according to this configuration, it is possible to further reduce the scratches on the probing object during probing.

또한, 아암(11, 12)(아암(111, 112))의 선단부(21b, 22b)(선단부(121b, 122b))에 프로브 핀(2)을 직접 고정하는 구성, 즉, 프로브 핀(2)의 기단부(2b)측을 연결부로서 기능시키는 구성예에 대하여 상기했지만, 프로브 핀(2)과는 별체로 형성되고, 프로브 핀(2)을 부착(탈착) 가능하게 형성되어 선단부(21b, 22b)(선단부(121b, 122b))를 연결하는 연결부를 구비한 구성을 채용할 수도 있다.The probe pin 2 is directly fixed to the distal end portions 21b and 22b (distal end portions 121b and 122b) of the arms 11 and 12 (arms 111 and 112) The distal end portions 21b and 22b are formed separately from the probe pin 2 and are formed so as to be capable of attaching (detaching) the probe pin 2, (The distal end portions 121b and 122b).

또한, 도 18에 나타내는 프로브 유닛(1A)을 채용할 수 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상기한 프로브 유닛(1, 101)과 동일한 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙여, 중복되는 설명을 생략한다.Further, the probe unit 1A shown in Fig. 18 can be employed. In the following description, the same constituent elements as those of the probe units 1 and 101 are denoted by the same reference numerals, and redundant explanations are omitted.

이 프로브 유닛(1A)에서는, 도 18~도 20에 나타내는 바와 같이, 지지부(3A)를 구성하는 아암(11A)의 측단부(21Ae, 21Af)(폭방향의 단부)와, 아암(11A)에 있어서의 기단부(21Aa)보다도 약간 선단부(21Ab)측의 부위에 형성되어 있는 관통공(H1Aa)의 사이의 가장자리부(E1a, E1b)의 폭(W)이, 아암(11A)의 길이 방향(각 도면에 있어서의 좌우 방향)을 따라서 중간 부위(21Ac)로부터 이격함에 따라서(기단부(21Aa)에 가까워짐에 따라서) 넓어지도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 일예로서, 가장자리부(E1a, E1b)에 있어서의 중간 부위(21Ac)에 가장 가까운 부위에 있어서의 폭(W)이 0.1mm이고, 가장자리부(E1a, E1b)에 있어서의 중간 부위(21Ac)로부터 가장 멀리 이격되는 부위에 있어서의 폭(W)이 0.15mm가 되도록 형성되어 있다. 이 경우, 가장자리부(E1a, E1b)(관통공(H1Aa)를 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부)는, 아암(11A)에 있어서의 폭방향의 중심을 통과하는 길이 방향을 따른 중심선(21Ag)을 대칭축으로 하여 선대칭의 형상이 되도록 형성되어 있다.In this probe unit 1A, as shown in Figs. 18 to 20, the side end portions 21Ae and 21Af (end portions in the width direction) of the arm 11A constituting the support portion 3A and the side end portions 21Ae and 21Af The width W of the edge portions E1a and E1b between the through holes H1Aa formed in the portion slightly closer to the distal end portion 21Ab than the proximal end portion 21Aa in the longitudinal direction of the arm 11A (In the left-right direction in the figure) as it is spaced from the intermediate portion 21Ac (closer to the proximal end 21Aa). Specifically, in this probe unit 1A, for example, the width W at the portion closest to the intermediate portion 21Ac of the edge portions E1a and E1b is 0.1 mm, the edge portion E1a , And E1b is 0.15 mm at the portion farthest from the intermediate portion 21Ac. In this case, the edge portions E1a and E1b (the two edge portions opposed to each other with the through-hole H1Aa therebetween) are aligned with the center line 21Ag along the longitudinal direction passing through the center in the width direction of the arm 11A ) As a symmetry axis.

또한, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 도 18~도 20에 나타내는 바와 같이, 아암(11A)의 측단부(21Ae, 21Af)와, 아암(11A)에 있어서의 선단부(21Ab)보다도 약간 기단부(21Aa)측의 부위에 형성되어 있는 관통공(H1Ab)의 사이의 가장자리부(E1c, E1d)의 폭(W)이, 아암(11A)의 길이 방향을 따라서 중간 부위(21Ac)로부터 이격함에 따라서(선단부(21Ab)에 가까워짐에 따라서) 넓어지도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 일예로서, 가장자리부(E1c, E1d)에 있어서의 중간 부위(21Ac)에 가장 가까운 부위에 있어서의 폭(W)이 0.1mm이고, 가장자리부(E1c, E1d)에 있어서의 중간 부위(21Ac)로부터 가장 멀리 이격하는 부위에 있어서의 폭(W)이 0.15mm가 되도록 형성되어 있다. 이 경우, 가장자리부(E1c, E1d)(관통공(H1Ab)을 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부)는, 아암(11A)의 중심선(21Ag)을 대칭축으로 하여 선대칭의 형상이 되도록 형성되어 있다.In this probe unit 1A, as shown in Figs. 18 to 20, the side end portions 21Ae and 21Af of the arm 11A and the proximal end portions 21Aa and 21Ab of the arm 11A As the width W of the edge portions E1c and E1d between the through holes H1Ab formed in the portion on the side of the arm 11A is spaced from the intermediate portion 21Ac along the longitudinal direction of the arm 11A (Closer to the upper surface 21Ab). Specifically, in this probe unit 1A, for example, the width W at a portion nearest to the intermediate portion 21Ac of the edge portions E1c and E1d is 0.1 mm, and the edge portions E1c And E1d is 0.15 mm at the portion farthest from the intermediate portion 21Ac. In this case, the edge portions E1c and E1d (two edge portions opposed to each other with the through hole H1Ab interposed therebetween) are formed so as to have a line-symmetrical shape with the center line 21Ag of the arm 11A as an axis of symmetry .

마찬가지로, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 도 21~도 23에 나타내는 바와 같이, 지지부(3A)를 구성하는 아암(12A)의 측단부(22Ae, 22Af)(폭 방향의 단부)와, 아암(12A)에 있어서의 기단부(22Aa)보다도 약간 선단부(22Ab)측의 부위에 형성되어 있는 관통공(H2Aa)의 사이의 가장자리부(E2a, E2b)의 폭(W)이, 아암(12A)의 길이 방향(각 도면에 있어서의 좌우 방향)을 따라서 중간 부위(22Ac)로부터 이격함에 따라서(기단부(22Aa)에 가까워짐에 따라서) 넓어지도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 일예로서, 가장자리부(E2a, E2b)에 있어서의 중간 부위(22Ac)에 가장 가까운 부위에 있어서의 폭(W)이 0.1mm이고, 가장자리부(E2a, E2b)에 있어서의 중간 부위(22Ac)로부터 가장 멀리 이격하는 부위에 있어서의 폭(W)이 0.15mm가 되도록 형성되어 있다. 이 경우, 가장자리부(E2a, E2b)(관통공(H2Aa)을 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부)는, 아암(12A)에 있어서의 폭 방향의 중심을 통과하는 길이 방향을 따른 중심선(22Ag)을 대칭축으로 하여 선대칭의 형상이 되도록 형성되어 있다.21 to 23, the probe unit 1A includes the side end portions 22Ae and 22Af (end portions in the width direction) of the arm 12A constituting the support portion 3A, The width W of the edge portions E2a and E2b between the through holes H2Aa formed in the portion slightly closer to the distal end portion 22Ab than the proximal end portion 22Aa in the longitudinal direction of the arm 12A (Toward the proximal end 22Aa) in a direction away from the intermediate portion 22Ac along the longitudinal direction (the left-right direction in each drawing). Specifically, in this probe unit 1A, for example, the width W at the portion closest to the intermediate portion 22Ac of the edge portions E2a and E2b is 0.1 mm, the edge portion E2a And E2b is 0.15 mm at the portion farthest from the intermediate portion 22Ac. In this case, the edge portions E2a and E2b (the two edge portions opposed to each other with the through hole H2Aa interposed therebetween) are aligned with the center line 22Ag along the longitudinal direction passing through the center in the width direction of the arm 12A ) As a symmetry axis.

또한, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 도 21~도 23에 나타내는 바와 같이, 아암(12A)의 측단부(22Ae, 22Af)와, 아암(12A)에 있어서의 선단부(22Ab)보다도 약간 기단부(22Aa)측의 부위에 형성되어 있는 관통공(H2Ab)(이하, 관통공(H1Aa, H1Ab, H2Aa, H2Ab)을 구별하지 않을 때에는 「관통공 H」라고도 한다)의 사이의 가장자리부(E2c, E2d)(이하, 가장자리부(E1a~E1d, E2a~E2d)를 구별하지 않을 때에는 「가장자리부 E」라고도 한다)의 폭(W)이, 아암(12A)의 길이 방향을 따라서 중간 부위(22Ac)로부터 이격함에 따라서(선단부(22Ab)에 근접함에 따라서) 넓어지도록 형성되어 있다. 구체적으로는, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 일예로서, 가장자리부(E2c, E2d)에 있어서의 중간 부위(22Ac)에 가장 가까운 부위에 있어서의 폭(W)이 0.1mm이고, 가장자리부(E2c, E2d)에 있어서의 중간 부위(22Ac)로부터 가장 멀리 이격하는 부위에 있어서의 폭(W)이 0.15mm가 되도록 형성되어 있다. 이 경우, 가장자리부(E2c, E2d)(관통공(H2Ab)을 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부)는, 아암(12A)의 중심선(22Ag)을 대칭축으로 하여 선대칭의 형상이 되도록 형성되어 있다.21 to 23, the proximal end portions 22Ae and 22Af of the arm 12A and the proximal end portions 22Aa and 22Ab of the arm 12A are formed in the proximal end portion 22Aa E2d between the through holes H2Ab (hereinafter also referred to as " through holes H " when the through holes H1Aa, H1Ab, H2Aa and H2Ab are not distinguished) (Hereinafter, also referred to as " edge E " when the edge portions E1a to E1d and E2a to E2d are not distinguished) is spaced apart from the middle portion 22Ac along the longitudinal direction of the arm 12A (Toward the distal end portion 22Ab). Specifically, in this probe unit 1A, for example, the width W at the portion closest to the middle portion 22Ac of the edge portions E2c and E2d is 0.1 mm, the edge portion E2c And E2d is 0.15 mm at the portion farthest from the intermediate portion 22Ac. In this case, the edge portions E2c and E2d (two edge portions opposed to each other with the through hole H2Ab sandwiched therebetween) are formed to have a line-symmetrical shape with the center line 22Ag of the arm 12A as a symmetrical axis .

이 프로브 유닛(1A)에서는, 도 18~도 23에 나타내는 바와 같이, 각 관통공(H)의 형상을 대략 사다리꼴로 함으로써, 각 가장자리부(E)의 폭(W)이나 형상이 상기한 조건을 만족하도록 아암(11A, 12A)이 형성되어 있다.In this probe unit 1A, as shown in Figs. 18 to 23, the shape of each through hole H is made substantially a trapezoidal shape so that the width W and the shape of each edge portion E satisfy the above- The arms 11A and 12A are formed so as to satisfy the following conditions.

이 프로브 유닛(1A)에서는, 각 가장자리부(E)의 폭(W)이 중간 부위(21Ac, 22Ac)로부터 이격함에 따라서 넓어지도록 아암(11A, 12A)을 형성함으로써, 프로빙 시에 각 가장자리부(E)에 생기는 응력의 집중을 작게 억제할 수 있다. 구체적으로는, 아암(11A, 12A)와 같은 대들보형상의 부재에서는, 횡단면의 형상 및 면적이 아암(11A, 12A)의 길이 방향에 있어서의 어느 위치에 있어서나 일정할 때는, 프로빙 시에 생기는 응력이, 중간 부위(21Ac, 22Ac)로부터 이격함에 따라서(기단부(21Aa, 22Aa)측에 있어서는 기단부(21Aa, 22Aa)에 가까울수록, 선단부(21Ab, 22Ab)측에 있어서는 선단부(21Ab, 22Ab)에 가까울수록) 커진다. 이 때문에, 각 가장자리부(E)의 폭(W)이 일정한 구성에서는, 각 가장자리부(E)에 생기는 응력이, 중간 부위(21Ac, 22Ac)로부터 이격할수록 커지고, 중간 부위(21Ac, 22Ac)로부터 가장 멀리 이격하는 부위에 응력이 집중한다. 이에 대하여, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 각 가장자리부(E)의 폭(W)이 중간 부위(21Ac, 22Ac)로부터 이격함에 따라서 넓어지도록 아암(11A, 12A)이 형성되어 있기 때문에, 각 가장자리부(E)에 있어서의 응력의 집중을 작게 억제할 수 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛(1A), 및 이 프로브 유닛(1A)을 이용한 검사 방법에 의하면, 응력의 집중에 의한 각 가장자리부(E)의 파손을 확실히 방지할 수 있다.In the probe unit 1A, the arms 11A and 12A are formed so that the width W of each of the edge portions E becomes wider as they are separated from the intermediate portions 21Ac and 22Ac, E) can be suppressed to a small degree. Specifically, when the cross-sectional shape and area of the girder-shaped member such as the arms 11A and 12A are constant at any position in the longitudinal direction of the arms 11A and 12A, the stress 22Aa is closer to the proximal ends 21Aa and 22Aa and closer to the distal ends 21Ab and 22Ab on the distal ends 21Ab and 22Ab as the proximal ends 21Aa and 22Aa are closer to the proximal ends 21Aa and 22Aa More). Therefore, in the configuration in which the width W of each edge portion E is constant, the stress generated in each edge portion E becomes larger as the distance from the intermediate portions 21Ac and 22Ac increases, Stress concentrates at the most distant part. On the contrary, in this probe unit 1A, since the arms 11A and 12A are formed so that the width W of each edge portion E becomes larger as the width W is separated from the intermediate portions 21Ac and 22Ac, The concentration of the stress in the portion E can be suppressed to be small. Therefore, according to the inspection method using the probe unit 1A and the probe unit 1A, it is possible to reliably prevent breakage of the edge portions E due to concentration of stress.

또한, 이 프로브 유닛(1A)에서는, 각 관통공(H)을 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부(E)가, 아암(11A, 12A)의 중심선(21Ag, 22Ag)을 대칭축으로 하여 선대칭의 형상이 되도록 아암(11A, 12A)이 형성되어 있기 때문에, 각 관통공(H)을 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부(E)에 있어서 생기는 응력 분포가 중심선(21Ag, 22Ag)을 대칭축으로 하여 선대칭이 된다. 즉, 각 관통공(H)을 사이에 끼고 대향하는 2개의 가장자리부(E)에 있어서 생기는 응력 분포가 도 18~도 23에 있어서의 상하 방향에 있어서 균등해진다. 이 때문에, 이 프로브 유닛(1A), 및 이 프로브 유닛(1A)을 이용한 검사 방법에 의하면, 각 가장자리부(E)에 있어서의 응력의 집중을 보다 작게 억제할 수 있는 결과, 각 가장자리부(E)의 파손을 보다 확실히 방지할 수 있다.In this probe unit 1A, the two edge portions E opposed to each other with the through holes H sandwiching the center lines 21Ag and 22Ag of the arms 11A and 12A as symmetrical axes, The stress distribution generated at the two edge portions E opposed to each other with the through holes H being symmetrical about the center lines 21Ag and 22Ag is formed by the arms 11A and 12A, It becomes line symmetry. That is, the stress distribution occurring at the two opposite edge portions E with the through holes H therebetween is equalized in the vertical direction in Figs. 18 to 23. Therefore, according to the inspection method using the probe unit 1A and the probe unit 1A, it is possible to suppress the concentration of the stress at each edge portion E to be smaller. As a result, the edge portions E Can be prevented more reliably.

또한, 도 24에 나타내는 프로브 유닛(1B)을 채용할 수도 있다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 상기한 프로브 유닛(1, 101, 1A)과 동일한 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙여, 중복하는 설명을 생략한다.The probe unit 1B shown in Fig. 24 may also be employed. In the following description, the same constituent elements as those of the above-described probe units 1, 101, and 1A are denoted by the same reference numerals, and redundant explanations are omitted.

이 프로브 유닛(1B)은, 도 24에 나타내는 바와 같이, 상기한 프로브 유닛(1)이 구비하고 있는 각 구성 요소에 추가하여, 절연 시트(41) 및 실드판(42)을 구비하여 구성되어 있다. 절연 시트(41)는, 절연체의 일예이며, 수지 등의 비도전성(절연성)을 가지는 재료로 시트상으로 형성되어 있다. 실드판(42)은, 예를 들면 구리나 알루미늄 등의 도전성을 가지는 금속에 의해서 박판상으로 형성되어 있다. 이 실드판(42)은, 동 도면에 나타내는 바와 같이, 아암(11, 12) 중, 프로빙 시에 프로빙 대상으로서의 기판(200)측에 위치하는 아암(12)에 있어서의 기판(200)에 대향하는 면(동 도면에 있어서의 하면：이하, 「대향면」이라고도 한다)측에 절연 시트(41)를 통하여(아암(12)에 대하여 절연된 상태로) 설치되고, 고정용 나사(35)에 의해서 유지부(13)(유지 부재(31, 32))에 고정되어 있다. 또한, 실드판(42)은, 도면 외의 배선을 통하여, 예를 들면 접지 전위(기준 전위)에 접속된다.24, the probe unit 1B includes an insulating sheet 41 and a shield plate 42 in addition to the components of the probe unit 1 described above . The insulating sheet 41 is an example of an insulator and is formed in a sheet form from a material having a non-conductive property (insulating property) such as resin. The shield plate 42 is formed in a thin plate shape by a conductive metal such as copper or aluminum. As shown in the drawing, this shield plate 42 is provided on the side opposite to the substrate 200 in the arm 12 positioned on the substrate 200 side as a probing object during probing, (In a state of being insulated with respect to the arm 12) through the insulating sheet 41 on the side of the fixing screw 35 (hereinafter referred to as the " opposite surface " And is fixed to the holding portion 13 (holding members 31 and 32). Further, the shield plate 42 is connected to, for example, a ground potential (reference potential) through a wiring outside the drawing.

이 경우, 실드판(42)을 구비하지 않은 구성에서는, 아암(12)이 금속으로 형성되어 있기 때문에, 아암(12)과 프로빙 대상의 사이의 부유 용량이 커지는 경우가 있고, 이 부유 용량에 의해서 검사 정밀도가 저하할 우려가 있다. 이에 대하여, 이 프로브 유닛(1B)에 의하면, 아암(12)의 대향면측에 실드판(42)을 설치함으로써, 아암(12)과 프로빙 대상의 사이의 부유 용량을 충분히 저감시킬 수 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛(1B), 및 이 프로브 유닛(1B)을 이용한 검사 방법에 의하면, 부유 용량에 의한 검사 정밀도의 저하를 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 실드판(42)의 고정에 이용하고 있는 고정용 나사(35)가 금속제라고 해도, 실드판(42)과 고정용 나사(35)가 도통하기 때문에, 고정용 나사(35)에 의해서 생기는 부유 용량도 캔슬할 수 있다. 또한, 실드판(42)이 박판상으로 형성되어 있기 때문에, 프로빙 시의 아암(12)과 프로빙 대상의 사이에 있어서의 충분한 클리어런스를 확보할 수 있는 결과, 프로빙에 지장을 초래하는 사태를 회피할 수 있다.In this case, in the configuration without the shield plate 42, since the arm 12 is formed of metal, the stray capacitance between the arm 12 and the object to be probed may become large, There is a fear that the inspection precision is lowered. On the other hand, according to this probe unit 1B, the stray capacitance between the arm 12 and the object to be probed can be sufficiently reduced by providing the shield plate 42 on the opposite surface side of the arm 12. Therefore, according to the inspection method using the probe unit 1B and the probe unit 1B, it is possible to reliably prevent deterioration of the inspection accuracy due to the stray capacitance. Even if the fixing screw 35 used for fixing the shield plate 42 is made of metal, since the shield plate 42 and the fixing screw 35 are electrically connected to each other, The stray capacitance can also be canceled. Further, since the shield plate 42 is formed in a thin plate shape, it is possible to ensure a sufficient clearance between the arm 12 and the probing object at the time of probing. As a result, have.

또한, 금속으로 형성한 아암(11, 12)(아암(111, 112))을 이용하는 예에 대하여 상기했는데, 사출 성형 등에 의해서 형성한 수지제의 아암(제1 아암 및 제2 아암)을 이용하는 구성을 채용할 수도 있다. 이 경우, 수지 제의 아암을 이용할 때는, 아암의 표면 전체 또는 일부에 도전막(도전층)을 형성함으로써, 프로브 핀(2)과 유지부(13)(유지부(113))의 사이를 그 도전막을 통하여 전기적으로 접속하는 구성을 채용할 수도 있다. 또한, 상기한 프로브 유닛(101)과 같이, 한쌍의 프로브 핀(2)을 구비한 프로브 유닛에 있어서 수지 제의 아암을 이용할 때는, 일체로 제작한 한쌍의 아암(프로브 유닛(101)에 있어서의 한쌍의 아암(111), 및 한쌍의 아암(112))을 떼어낼 때에, 각 아암에 있어서의 기단부의 근방부터 선단부까지의 사이만을 잘라떼어내고, 각 기단부들을 연결시킨 채의 상태로 유지부에 의해서 유지하는 구성(각 아암에 있어서의 적어도 기단부의 근방부터 선단부까지의 사이를 분리시키는 구성의 일예)을 채용할 수도 있다. 이 구성을 채용한 구체적인 예로서, 도 25에 나타내는 프로브 유닛(601)에 대하여 이하 설명한다. 또한 상기한 프로브 유닛(1, 101, 1A, 1B)과 동일한 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙어, 중복되는 설명을 생략한다.In the above embodiment, the arms 11 and 12 (arms 111 and 112) formed of metal are used. However, a configuration using a resin arm (first arm and second arm) formed by injection molding or the like May be employed. In this case, when using a resin arm, a conductive film (conductive layer) is formed on the whole or a part of the surface of the arm so that the space between the probe pin 2 and the holding portion 13 (holding portion 113) And electrically connected through a conductive film. When using a resin arm in a probe unit having a pair of probe pins 2 as in the probe unit 101 described above, a pair of arms (probe unit 101) The pair of arms 111 and the pair of arms 112) is cut off only from the vicinity of the proximal end to the distal end of each arm, and the proximal end portions of the arms are connected to the holding portion (An arrangement of separating at least the portion from the vicinity of the base end to the tip end of each arm) may be adopted. As a concrete example in which this configuration is adopted, the probe unit 601 shown in Fig. 25 will be described below. The same components as those of the above-described probe units (1, 101, 1A, 1B) are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

이 프로브 유닛(601)은, 도 25에 도시하는 바와 같이, 한쌍의 프로브 핀(2) 및 지지부(603)를 구비하여 구성되어 있다. 지지부(603)는, 한쌍의 아암(611)(제1 아암), 한쌍의 아암(612)(제2 아암) 및 유지부(613)를 구비하여 구성되어 있다. 도 27에 도시하는 바와 같이, 각 아암(611)은, 비도전성(절연성)을 가지는 재료에 의해서 각 기단부(621a)들이 연결된 상태에서 일체로 제작됨과 더불어(각 아암(611)을 일체화한 것을 「중간체(701)」라고도 한다), 도 25에 도시하는 바와 같이, 각 기단부(621a)가 연결된 상태인 채로 유지부(613)에 의해서 유지되어 있다. 또한, 각 아암(611)은, 각 기단부(621a)가 유지부(613)에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 양 아암(611)을 일체로 제작한 후에(중간체(701)를 제작한 후에), 각 기단부(621a)가 유지부에 의해서 유지된 상태에서 기단부(621a)의 근방부터 선단부(621b)까지의 사이가 분리되어 구성되어 있다. 이 경우, 이 프로브 유닛(601)에서는, 동 도면에 도시하는 바와 같이, 유지부(613)에 의해서 유지될 때의 각 아암(611)의 위치 관계는, 각 아암(611)이 1개의 가상 평면 상에 인접하고 또한 각 아암(611)이 기단부(621a)로부터 선단부(621b)를 향함에 따라서 서로 근접하는 위치 관계로 되어 있다. 또한, 도 27에 도시하는 바와 같이, 아암(611)에는, 프로브 핀(2)을 도면 외의 기판 검사 장치 등에 전기적으로 접속하기 위한 도체 패턴(641)이 형성되어 있다.As shown in Fig. 25, the probe unit 601 includes a pair of probe pins 2 and a support portion 603. The support portion 603 includes a pair of arms 611 (first arm), a pair of arms 612 (second arm), and a holding portion 613. As shown in Fig. 27, each arm 611 is integrally manufactured in a state in which the proximal end portions 621a are connected by a material having non-conductive (insulating) property (the one in which each arm 611 is integrated is referred to as " Intermediate 701 ") is held by the holding portion 613 while each proximal end portion 621a is connected as shown in Fig. Each of the arms 611 is formed by integrally forming both arms 611 in a state in which the positional relationship when each base end 621a is held by the holding portion 613 The base portion 621a is separated from the vicinity of the proximal end portion 621a to the distal end portion 621b in a state where each proximal end portion 621a is held by the holding portion. In this case, in the probe unit 601, as shown in the figure, the positional relationship of each arm 611 when held by the holding portion 613 is such that each arm 611 is in one virtual plane And each of the arms 611 has a positional relationship in which they are close to each other as they move from the proximal end 621a toward the distal end 621b. 27, a conductor pattern 641 for electrically connecting the probe pin 2 to a substrate inspecting apparatus or the like outside the drawing is formed on the arm 611. As shown in Fig.

각 아암(612)은, 도 29에 도시하는 바와 같이, 비도전성을 가지는 재료에 의해서 각 기단부(622a)들이 연결된 상태에서 일체로 제작됨과 더불어(각 아암(612)을 일체화한 것을 「중간체(702)」라고도 한다), 도 25에 도시하는 바와 같이, 각 기단부(622a)가 연결된 상태인 채로 유지부(613)에 의해서 유지되어 있다. 또한, 각 아암(612)은, 각 아암(611)과 동일하게 하여, 각 기단부(622a)가 유지부(613)에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 양 아암(612)을 일체로 제작한 후에(중간체(702)를 제작한 후에), 각 기단부(622a)가 유지부에 의해서 유지된 상태에서 기단부(622a)의 근방부터 선단부(622b)까지의 사이가 분리되어 구성되어 있다. 이 경우, 동 도면에 도시하는 바와 같이, 유지부(613)에 의해서 유지될 때의 각 아암(612)의 위치 관계는, 각 아암(612)이 1개의 가상 평면 상에 인접하고 또한 각 아암(612)이 기단부(622a)로부터 선단부(622b)를 향함에 따라서 서로 근접하는 위치 관계로 되어 있다. 또한, 도 29에 도시하는 바와 같이, 아암(612)에는, 프로브 핀(2)을 도면 외의 기판 검사 장치 등에 전기적으로 접속하기 위한 도체 패턴(642)이 형성되어 있다.29, each arm 612 is integrally manufactured in a state where the proximal end portions 622a are connected by a material having a non-conductive property (the one integrated with each arm 612 is referred to as an "intermediate body 702 ) &Quot;) is held by the holding portion 613 while each proximal end portion 622a is connected, as shown in Fig. Each of the arms 612 has the same structure as that of each arm 611 so that both arms 612 can be integrally formed with each other in a state in which the positional relationship when each base end 622a is held by the holding portion 613 is maintained, And the distal end portion 622b is separated from the proximal end portion 622a in a state in which each proximal end portion 622a is held by the holding portion. In this case, as shown in the figure, the positional relationship of each arm 612 when held by the holding portion 613 is such that each arm 612 is adjacent on one virtual plane, 612 are close to each other as they approach the distal end 622b from the proximal end 622a. 29, a conductor pattern 642 for electrically connecting the probe pin 2 to a substrate inspecting apparatus or the like outside the drawing is formed in the arm 612. [

다음에, 프로브 유닛(601)의 제조 방법에 대하여 설명한다. 우선, 도 26에 도시하는 바와 같이, 수지 등의 비도전성(절연성)을 가지는 재료를 이용해 중간체(701)를 제작한다. 중간체(701)는, 한쌍의 아암(611)의 각 기단부(621a)가 유지부(613)에 의해서 유지될 때의 위치 관계(도 25 참조)를 유지한 상태에서, 각 아암(611)이 연결부(631a, 631b)에 의해서 연결되어 있다. 중간체(701)의 제작 방법으로는, 사출 성형에 의한 제작 방법, 깎아냄에 의한 제작 방법, 및 3D 프린터를 이용한 제작 방법 등을 채용할 수 있다. 이어서, 도 27에 도시하는 바와 같이, 중간체(701)에 있어서의 각 아암(611)의 기단부(621a)로부터 선단부(621b)에 걸쳐 도체 패턴(641)을 형성한다.Next, a method of manufacturing the probe unit 601 will be described. First, as shown in Fig. 26, an intermediate body 701 is produced using a material having a non-conductive (insulating) property such as a resin. The intermediate body 701 is formed so that each arm 611 is connected to the connecting portion 611 while maintaining the positional relationship (see Fig. 25) when each proximal end portion 621a of the pair of arms 611 is held by the holding portion 613, (631a, 631b). As a production method of the intermediate body 701, a production method by injection molding, a production method by carving, and a production method using a 3D printer can be adopted. 27, a conductor pattern 641 is formed from the proximal end 621a to the distal end 621b of each arm 611 of the intermediate body 701. Then, as shown in Fig.

계속하여, 도 28에 도시하는 바와 같이, 수지 등의 비도전성을 가지는 재료를 이용하여, 중간체(701)의 제작 방법과 동일한 제작 방법으로 중간체(702)를 제작한다. 중간체(702)는, 한쌍의 아암(612)의 각 기단부(622a)가 유지부(613)에 의해서 유지될 때의 위치 관계(도 25 참조)를 유지한 상태에서, 각 아암(611)이 연결부(632a, 632b)에 의해서 연결되어 있다. 이어서, 도 29에 도시하는 바와 같이, 중간체(702)에 있어서의 각 아암(612)의 기단부(622a)로부터 선단부(622b)에 걸쳐 도체 패턴(642)을 형성한다.Subsequently, as shown in Fig. 28, the intermediate body 702 is produced by the same manufacturing method as that for the intermediate body 701, using a material having a non-conductive property such as resin. The intermediate body 702 is provided so that each arm 611 is connected to the connecting portion 612 while maintaining the positional relationship (see Fig. 25) when each proximal end portion 622a of the pair of arms 612 is held by the holding portion 613, 632a and 632b, respectively. 29, a conductor pattern 642 is formed from the proximal end portion 622a of each arm 612 to the distal end portion 622b of the intermediate body 702. Then, as shown in Fig.

다음에, 중간체(701, 702)의 기단부측(연결부(631a, 632a))을 유지부(613)로 유지한다. 계속하여, 중간체(701, 702)의 선단부측, 즉, 각 아암(611, 612)의 선단부(621b, 622b)측의 연결부(631b, 632b)를 도 27, 29에 나타내는 파선의 개소에서 절단하여 잘라떼어내고, 각 아암(611, 612)에 있어서의 기단부(621a, 622a)의 근방부터 선단부(621b, 622b)까지의 사이를 분리시킨다. 이상에 의해 프로브 유닛(601)이 제조된다.Next, the proximal end sides (connecting portions 631a and 632a) of the intermediate bodies 701 and 702 are held by the holding portion 613. Subsequently, the connection portions 631b and 632b on the distal end side of the intermediates 701 and 702, that is, on the distal end portions 621b and 622b of the arms 611 and 612 are cut at the broken line portions shown in Figs. 27 and 29 And is separated from the vicinity of the proximal end portions 621a and 622a of the arms 611 and 612 to the distal end portions 621b and 622b. Thus, the probe unit 601 is manufactured.

이 프로브 유닛(601)에서는, 상기한 것처럼, 각 아암(611) 및 각 아암(612)이 각 기단부(621a)들 및 각 기단부(622a)들을 연결한 상태에서 각각 일체로 제작됨과 더불어, 각 기단부(621a)들 및 각 기단부(622a)들을 연결한 상태인 채로 유지부(613)에 의해서 유지되어 있다. 이 때문에, 이 프로브 유닛(601)에 의하면, 유지부(613)에 의해서 유지시킬 때의 각 아암(611) 및 각 아암(612)의 위치 관계를 유지한 상태에서 각 아암(611) 및 각 아암(612)을 제작할 수 있고, 또한 제작했을 때의 위치 관계를 확실히 유지한 상태로 유지부(613)에 유지시킬 수 있다(부착한다). 이 때문에, 이 프로브 유닛(601)에 의하면, 각 아암(611) 및 각 아암(612)을 제작할 때의, 재질적인 편차나 제작 조건의 상이에 의한 각 아암(611)들 및 각 아암(612)들의 치수나 탄성률 등의 제원의 편차를 적게 억제할 수 있음과 더불어, 각 아암(611) 및 각 아암(612)을 유지부(613)에 유지시킬 때의 각 아암(611)들 및 각 아암(612)들의 위치 어긋남의 발생을 확실하게 방지할 수 있다. 이 결과, 이 프로브 유닛(601), 및 이 프로브 유닛(601)을 이용한 검사 방법에 의하면, 보다 정확한 프로빙을 행할 수 있다. 또한, 이 프로브 유닛(601)에 의하면, 한쌍의 아암(611) 및 한쌍의 아암(612)을 유지부(613)에 한번에 유지시킬 수 있으므로, 프로브 유닛(601)의 조립 효율을 충분히 향상시킬 수 있다.In the probe unit 601, as described above, the arms 611 and the arms 612 are integrally formed in a state where the proximal end portions 621a and the proximal end portions 622a are connected to each other, Are held by the holding portion 613 while being connected to the base portions 621a and the base portions 622a. The probe unit 601 can maintain the positional relationship between the arms 611 and the arms 612 when the arm 611 and the arm 611 are held by the holding unit 613, (Attached) to the holding portion 613 in a state in which the positional relationship at the time of fabrication can be securely maintained. Therefore, the probe unit 601 allows each of the arms 611 and each of the arms 612 to be deformed due to material variations and manufacturing conditions when the arms 611 and the arms 612 are manufactured, It is possible to reduce variations in specifications such as the dimensions and the elastic modulus of the arms 611 and each arm 611 and the arm 612 when the arms 611 and the arms 612 are held by the holding portions 613, 612 can be surely prevented from being displaced. As a result, according to the probe unit 601 and the inspection method using the probe unit 601, more accurate probing can be performed. According to this probe unit 601, since the pair of arms 611 and the pair of arms 612 can be held on the holding portion 613 at one time, the assembly efficiency of the probe unit 601 can be sufficiently improved have.

1, 1A, 1B, 101, 601 : 프로브 유닛 2 : 프로브 핀
3, 3A, 103, 603 : 지지부 11, 11A, 111, 501, 611 : 아암
12, 12A, 112, 502, 612 : 아암 13, 113, 613 : 유지부
21a, 21Aa, 121a, 621a : 기단부 22a, 22Aa, 122a, 622a : 기단부
21b, 21Ab, 121b, 621b : 선단부 22b, 22Ab, 122b, 622b : 선단부
21c, 22c, 21Ac, 22Ac, 521c, 522c : 중간 부위
21Ae, 21Af, 22Ae, 22Af : 측단부 21Ag, 22Ag : 중심선
41 : 절연 시트 42 : 실드판
401, 402, 701, 702 : 중간체 411, 631a, 631b, 711 : 연결부
412, 632a, 632b, 712 : 연결부 511, 512 : 리브
E1a~E1d, E2a~E2d : 가장자리부 H1a, H1b, H1Aa, H1Ab : 관통공
H2a, H2b, H2Aa, H2Ab : 관통공 P1a, P1b, P2a, P2b : 형성 부위
W : 폭1, 1A, 1B, 101, 601: probe unit 2: probe pin
3, 3A, 103, 603: Support parts 11, 11A, 111, 501, 611:
12, 12A, 112, 502, 612: arms 13, 113, 613:
21a, 21Aa, 121a, 621a: proximal portions 22a, 22Aa, 122a, 622a:
21b, 21Ab, 121b, 621b: distal end portions 22b, 22Ab, 122b, 622b:
21c, 22c, 21Ac, 22Ac, 521c, and 522c:
21Ae, 21Af, 22Ae, 22Af: side end portions 21Ag, 22Ag: center line
41: insulation sheet 42: shield plate
401, 402, 701, 702: Intermediate 411, 631a, 631b, 711:
412, 632a, 632b, 712: connection portions 511, 512: ribs
E1a to E1d, E2a to E2d: Edge portions H1a, H1b, H1Aa, H1Ab:
H2a, H2b, H2Aa, H2Ab: Through holes P1a, P1b, P2a, P2b:
W: Width

Claims (14)

프로브 핀과, 상기 프로브 핀을 지지하는 지지부를 구비한 프로브 유닛으로서,
상기 지지부는, 상기 프로브 핀을 프로빙 대상에 프로빙시킬 때의 프로빙의 방향을 따라서 서로 이격하여 대향하는 상태로 배치된 띠형상의 제1 아암 및 제2 아암과, 상기 각 아암의 각 기단부를 유지하는 유지부와, 상기 프로브 핀을 부착 가능하게 구성됨과 더불어 상기 각 아암의 각 선단부들을 연결하는 연결부를 구비하고, 상기 프로빙의 방향과는 역방향으로의 상기 프로브 핀의 직동 또는 근사적인 직동을 허용하는 4절 링크 기구를 구성하고,
상기 각 아암은, 상기 기단부보다도 약간 상기 선단부측의 부위 및 상기 선단부보다도 약간 상기 기단부측의 부위에 관통공이 각각 형성되고, 상기 각 관통공의 사이의 중간 부위가 상기 4절 링크 기구를 구성하는 각 링크로서 기능함과 더불어, 상기 각 관통공의 형성 부위가 상기 4절 링크 기구를 구성하는 조인트로서 기능하도록 구성되어 있는, 프로브 유닛.A probe unit comprising: a probe pin; and a support for supporting the probe pin,
The support portion includes a first arm and a second arm that are arranged in a state of being opposed to and spaced apart from each other along the direction of probing when probing the probe pins to the probing object, And a connecting portion connecting the distal ends of the arms so as to be able to attach the probe pins and to allow the probe pins to move in a direction opposite to the probing direction Section link mechanism,
Wherein each of the arms is provided with a through hole at a portion slightly closer to the distal end side than the proximal end portion and at a portion slightly closer to the proximal end side than the distal end portion and an intermediate portion between the through- And a forming site of each of the through holes is configured to function as a joint constituting the four-bar link mechanism. 청구항 1에 있어서,
상기 아암은, 상기 아암에 있어서의 폭 방향의 단부와 상기 관통공의 사이의 가장자리부의 폭이, 상기 아암의 길이 방향을 따라서 상기 중간 부위로부터 이격함에 따라서 넓어지도록 형성되어 있는, 프로브 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the arm is formed such that a width of an end portion in the width direction of the arm and an edge portion between the through hole is widened along the longitudinal direction of the arm and is spaced apart from the intermediate portion. 청구항 2에 있어서,
상기 아암은, 상기 관통공을 사이에 끼고 대향하는 2개의 상기 가장자리부가, 상기 아암에 있어서의 상기 폭방향의 중심을 통과하는 상기 길이 방향을 따른 중심선을 대칭축으로 하여 선 대칭의 형상이 되도록 형성되어 있는, 프로브 유닛.The method of claim 2,
The arm is formed so as to have a line-symmetrical shape with the center line along the longitudinal direction passing through the center of the arm in the width direction as an axis of symmetry about the two edge portions opposed to each other with the through-hole interposed therebetween The probe unit. 청구항 1에 있어서,
상기 프로브 핀이 상기 제1 아암의 상기 선단부 및 상기 제2 아암의 상기 선단부에 고정되어 상기 프로브 핀이 상기 연결부로서 기능하도록 구성되어 있는, 프로브 유닛.The method according to claim 1,
Wherein the probe pin is fixed to the distal end portion of the first arm and the distal end portion of the second arm so that the probe pin functions as the connecting portion. 청구항 2에 있어서,
상기 프로브 핀이 상기 제1 아암의 상기 선단부 및 상기 제2 아암의 상기 선단부에 고정되어 상기 프로브 핀이 상기 연결부로서 기능하도록 구성되어 있는, 프로브 유닛.The method of claim 2,
Wherein the probe pin is fixed to the distal end portion of the first arm and the distal end portion of the second arm so that the probe pin functions as the connecting portion. 청구항 3에 있어서,
상기 프로브 핀이 상기 제1 아암의 상기 선단부 및 상기 제2 아암의 상기 선단부에 고정되어 상기 프로브 핀이 상기 연결부로서 기능하도록 구성되어 있는, 프로브 유닛.The method of claim 3,
Wherein the probe pin is fixed to the distal end portion of the first arm and the distal end portion of the second arm so that the probe pin functions as the connecting portion. 청구항 1에 있어서,
상기 각 아암은, 상기 아암의 길이 방향을 따라서 상기 중간 부위에 형성된 리브를 구비하여 구성되어 있는, 프로브 유닛.The method according to claim 1,
Wherein each of the arms comprises a rib formed in the intermediate portion along the longitudinal direction of the arm. 청구항 1에 있어서,
상기 프로브 핀을 한쌍 구비함과 더불어, 상기 제1 아암 및 상기 제2 아암을 각각 한쌍 구비하고,
상기 유지부는, 상기 한쌍의 제1 아암이 인접하여 연장되는 상태로 상기 각 제1 아암의 상기 각 기단부를 유지함과 더불어, 상기 한쌍의 제2 아암이 인접하여 연장되는 상태로 상기 각 제2 아암의 상기 각 기단부를 유지하는, 프로브 유닛.The method according to claim 1,
A pair of probe pins, and a pair of the first arm and the second arm,
Wherein the holding portion holds the respective base ends of the first arms in a state in which the pair of first arms are adjacent to each other and that the pair of second arms extend in a state of being adjacent to each other, And retains each of said base ends. 청구항 8에 있어서,
상기 각 제1 아암은, 상기 각 제1 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 상기 각 제1 아암을 일체로 제작한 후에, 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지된 상태에서 상기 각 제1 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방으로부터 상기 선단부까지의 사이를 분리하여 구성되고,
상기 각 제2 아암은, 상기 각 제2 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 상기 각 제2 아암을 일체로 제작한 후에, 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지된 상태에서 상기 각 제2 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방으로부터 상기 선단부까지의 사이를 분리하여 구성되어 있는, 프로브 유닛.The method of claim 8,
Wherein each of the first arms is formed integrally with the first arms in a state in which the positional relationship when each of the base ends of the first arms is held by the holding section is integrally formed, Wherein the first arm is separated from the vicinity of the proximal end portion to the distal end portion in a state in which the first arm is held by the holding portion,
Wherein each of the second arms is formed integrally with each of the second arms in a state in which the positional relationship when each of the base ends of the second arms is held by the holding section is integrally formed, And the second arm is separated from at least the vicinity of the proximal end portion to the distal end portion in the state of being held by the holding portion. 청구항 9에 있어서,
상기 각 제1 아암은, 비도전성을 가지고 상기 각 기단부들이 연결된 상태에서 일체로 제작됨과 더불어 상기 각 기단부가 연결된 상태인 채로 상기 유지부에 의해서 유지되고,
상기 각 제2 아암은, 비도전성을 가지고 상기 각 기단부들이 연결된 상태에서 일체로 제작됨과 더불어 상기 각 기단부가 연결된 상태인 채로 상기 유지부에 의해서 유지되어 있는, 프로브 유닛.The method of claim 9,
Wherein each of the first arms has a non-conductive property and is integrally formed in a state in which the base ends are connected to each other, and is held by the holding unit while the base ends are connected,
Wherein each of the second arms has a non-conductive property and is integrally formed in a state where the base ends are connected to each other, and the base ends of the second arms are held by the holding unit while the base ends are connected. 청구항 1에 있어서,
상기 각 아암 중 상기 프로빙 시에 상기 프로빙 대상측에 위치하는 아암에 있어서의 상기 프로빙 대상에 대향하는 면측에 절연체를 통하여 설치된 도전성을 가지는 실드판을 구비하고 있는, 프로브 유닛.The method according to claim 1,
And a shielding plate having conductivity provided through an insulator on a surface side of the arm located on the probing object side at the time of probing, the surface of the arm facing the probing object. 청구항 8에 기재된 프로브 유닛을 제조하는 프로브 유닛 제조 방법으로서,
상기 한쌍의 제1 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 상기 양 제1 아암을 일체로 제작한 후에, 상기 각 제1 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방으로부터 상기 선단부까지의 사이를 분리시켜 상기 각 제1 아암을 제작하고,
상기 한쌍의 제2 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서 상기 양 제2 아암을 일체로 제작한 후에, 상기 각 제2 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방으로부터 상기 선단부까지의 사이를 분리시켜 상기 각 제2 아암을 제작하여 상기 프로브 유닛을 제조하는, 프로브 유닛 제조 방법.A probe unit manufacturing method for manufacturing the probe unit according to claim 8,
After the first arm is integrally formed in a state in which the positional relationship when each of the base ends of the pair of first arms is held by the holding section is integrally formed, The first arm is manufactured by separating the portion from the vicinity of the first arm to the tip,
After the first and second arms are integrally formed in a state in which the positional relationship when the base ends of the pair of second arms are held by the holding section is integrally formed, Wherein the probe unit is manufactured by separating a portion between the vicinity of the tip end portion and the distal end portion by manufacturing each of the second arms. 청구항 12에 있어서,
상기 한쌍의 제1 아암의 상기 각 기단부가 상기 유지부에 의해서 유지될 때의 위치 관계를 유지한 상태에서,
상기 일체로 제작한 각 제1 아암의 상기 각 기단부를 상기 유지부에 유지시킨 상태에서 상기 각 제1 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방으로부터 상기 선단부까지의 사이를 분리시키고,
상기 일체로 제작한 각 제2 아암의 상기 각 기단부를 상기 유지부에 유지시킨 상태에서 상기 각 제2 아암에 있어서의 적어도 상기 기단부의 근방으로부터 상기 선단부까지의 사이를 분리시켜 상기 프로브 유닛을 제조하는, 프로브 유닛 제조 방법.The method of claim 12,
In a state in which the positional relationship when each of the base ends of the pair of first arms is held by the holding portion is maintained,
The first arm is separated from the vicinity of the proximal end to the distal end of the first arm in a state in which the proximal end of each of the integrally formed first arms is held by the holding portion,
The probe unit is manufactured by separating between the vicinity of at least the base end portion and the tip end portion of each of the second arms in a state in which the base end portions of the integrally formed second arms are held by the holding portion , A method of manufacturing a probe unit. 기판을 검사하는 검사 방법으로서,
청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 기재된 프로브 유닛의 상기 프로브 핀을 상기 프로빙 대상으로서의 상기 기판에 프로빙시키고, 상기 프로브 핀을 통하여 입출력하는 전기 신호에 의거하여 상기 기판을 검사하는, 검사 방법.An inspection method for inspecting a substrate,
An inspection method for probing the probe pin of the probe unit according to any one of claims 1 to 11 on the substrate as the probing object and inspecting the substrate based on an electrical signal input / output through the probe pin.

Images