KR20160013844A - Maintenance prediction device and prediction method therefor - Google Patents

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KR20160013844A
KR20160013844A KR1020157027986A KR20157027986A KR20160013844A KR 20160013844 A KR20160013844 A KR 20160013844A KR 1020157027986 A KR1020157027986 A KR 1020157027986A KR 20157027986 A KR20157027986 A KR 20157027986A KR 20160013844 A KR20160013844 A KR 20160013844A
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KR1020157027986A
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다쿠야 오카다
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에드워즈 가부시키가이샤
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Abstract

회전체의 회전에 의해 가스를 배기하는 진공 펌프, 그 외의 피메인터넌스 장치에 있어서, 그 메인터넌스의 필요성을 고정밀도로 알릴 수 있도록 한 메인터넌스 예측 장치를 제공한다.
메인터넌스 예측 장치(1)는, 피메인터넌스 장치(일례로서, 진공 펌프 P)에서 발생한 충격을 센서 신호 S로서 출력하는 센서부(2)와 센서 신호 S를 처리하는 신호 처리부(3)를 구비하고, 신호 처리부(3)는 측정 산출 처리와 메인터넌스 예측 처리를 실행한다. 측정 산출 처리는, 센서 신호 S의 상승부터 하강까지의 간격을 접촉 시간으로서 측정하거나, n번째의 충격에 의한 센서 신호 S의 상승부터 n+1회째의 충격에 의한 센서 신호 S의 상승까지의 간격을 충격 간격으로서 측정하거나, 혹은, 상기 충격 간격에 대한 상기 접촉 시간의 비율을 충격 비율로서 측정한다. 메인터넌스 예측 처리는, 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 역치를 구비함과 함께, 그 역치와 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값의 비교 결과에 의거하여 상기 피메인터넌스 장치의 메인터넌스 정보를 출력한다. Provided is a maintenance prediction device that can accurately inform the necessity of maintenance of a vacuum pump and other maintenance devices that exhaust gas by rotation of a rotating body.
The maintenance prediction apparatus 1 includes a sensor unit 2 for outputting a shock generated by a maintenance device (vacuum pump P as an example) as a sensor signal S and a signal processing unit 3 for processing the sensor signal S, The signal processing section 3 executes measurement calculation processing and maintenance prediction processing. The measurement calculation process may be performed by measuring the interval from the rising to the falling of the sensor signal S as the contact time or the interval between the rise of the sensor signal S by the nth impact and the rise of the sensor signal S by the n + Is measured as an impact distance, or the ratio of the contact time to the impact distance is measured as an impact ratio. The maintenance prediction process includes a step of calculating the contact time based on the contact time, the impact distance, or the threshold value of the impact ratio, and comparing the threshold value and the contact time, the impact distance, And outputs the maintenance information of the maintenance apparatus.

Description

메인터넌스 예측 장치와 그 예측 방법{MAINTENANCE PREDICTION DEVICE AND PREDICTION METHOD THEREFOR}[0001] MAINTENANCE PREDICTION DEVICE AND PREDICTION METHOD THEREFOR [0002]

본 발명은, 회전체의 회전에 의해 가스를 배기하는 진공 펌프, 그 외의 피(被)메인터넌스 장치에 적용되는 메인터넌스 예측 장치에 관한 것이며, 특히, 그 피메인터넌스 장치에 있어서의 메인터넌스의 필요성을 고정밀도로 알릴 수 있도록 한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pump for evacuating a gas by rotation of a rotating body and a maintenance prediction apparatus applied to other maintenance apparatuses and more particularly to a maintenance- So that it can be informed.

종래, 반도체 제조 장치에서는, 반도체 에칭 등의 프로세스에서 생성되는 가스나, 프로세스에서 사용한 가스(프로세스 가스) 등을 프로세스 챔버로부터 외부로 배기하는 수단으로서, 터보 분자 펌프 등의 진공 펌프를 사용하고 있다. 이런 종류의 진공 펌프로서는 예를 들면, 특허 문헌 1의 진공 펌프(P)가 알려져 있다. Conventionally, in a semiconductor manufacturing apparatus, a vacuum pump such as a turbo molecular pump is used as a means for exhausting a gas generated in a process such as semiconductor etching or a gas (process gas) used in a process from the process chamber to the outside. As this type of vacuum pump, for example, a vacuum pump (P) of Patent Document 1 is known.

이 문헌 1의 진공 펌프(P)는, 회전체(4)의 회전에 의해, 케이싱(1)의 흡기구(1c)로부터 배기구(1d)를 향하여, 가스를 배기하는 구조로 되어 있다. 이러한 구조의 진공 펌프(P)에서는, 배기하는 가스의 종류에 따라 진공 펌프(P) 내에 생성물이 퇴적하는 경우가 있어, 퇴적한 생성물(이하 「진공 펌프내 퇴적물」이라고 한다)과 회전체의 접촉에 의한 진공 펌프(P)의 고장이 발생할 수 있기 때문에, 진공 펌프(P)의 메인터넌스로서, 진공 펌프내 퇴적물을 제거하는 작업이 필요해진다. The vacuum pump P of this document 1 has a structure for exhausting gas from the inlet port 1c of the casing 1 toward the outlet port 1d by the rotation of the rotating body 4. [ In the vacuum pump P having such a structure, the product may accumulate in the vacuum pump P depending on the type of the gas to be discharged, and the contact between the accumulated product (hereinafter referred to as "the deposit in the vacuum pump") and the rotating body It is necessary to remove the deposits in the vacuum pump as a maintenance of the vacuum pump P because the failure of the vacuum pump P by the vacuum pump P may occur.

그런데, 특허 문헌 1에서는, 상기와 같은 진공 펌프내 퇴적물과 회전체(4)의 접촉에 의한 진공 펌프(P)의 고장을 예측하는 방법(고장 예측 방법)을 개시하고 있다. 동일 문헌 1의 단락 0014와 0016의 기재를 참조하면, 그 고장 예측 방법은, 회전체(4)의 축변위 중, 고장의 요인이 되는 축변위의 적산 회수 혹은 발생 회수를 카운트하여, 이와 같은 카운트치가 소정 회수를 넘은 경우에 경보를 발하는 것이다. Patent Document 1 discloses a method (failure prediction method) for predicting the failure of the vacuum pump P due to the contact between the deposit in the vacuum pump and the rotating body 4 as described above. Referring to the description of paragraphs 0014 and 0016 of the same document 1, the failure prediction method is a method of counting the number of times of integration or the number of times of occurrence of an axial displacement which is a factor of failure during the axial displacement of the rotating body 4, An alarm is issued when the value exceeds the predetermined number of times.

그러나, 먼저 설명한 특허 문헌 1에 개시된 고장 예측 방법에서는, 상기 대로, 경보를 발하기 위해 필요한 카운트의 트리거가 축변위이다. 이 때문에, 예를 들면, 작업자가 부주의로 진공 펌프에 접촉한 것에 의한 진동으로 발생한 축변위 등, 회전체(4)와 진공 펌프내 퇴적물의 접촉에 의한 축변위와는 무관계의 예기치 않은 축변위까지도 카운트해 버려, 카운트 미스가 생긴다. 그리고, 이러한 카운트 미스를 포함한 카운트치에 의거하여 경보를 발하게 되기 때문에, 오보도 있어, 경보에 의해 진공 펌프(P)의 메인터넌스의 필요성을 고정밀도로 알릴 수는 없다. However, in the failure prediction method disclosed in the above-described Patent Document 1, the triggers of counts necessary for issuing an alarm are axial displacements as described above. For this reason, even unexpected axial displacements which are not related to the axial displacement due to contact between the rotary body 4 and the deposit in the vacuum pump, such as axial displacement caused by vibration caused by the operator inadvertently touching the vacuum pump We count, and count mistake occurs. Since an alarm is issued on the basis of the count value including the count error, there is an error, and the necessity of the maintenance of the vacuum pump P can not be notified with high accuracy.

또한, 상기 괄호 안의 부호는 특허 문헌 1에서 사용되고 있는 부호이다. In addition, the reference numerals in parentheses are the same as those used in Patent Document 1.

국제 공개 제2012/121383호International Publication No. 2012/121383

본 발명은, 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 회전체의 회전에 의해 가스를 배기하는 진공 펌프, 그 외의 피메인터넌스 장치에 있어서, 그 메인터넌스의 필요성을 고정밀도로 알릴 수 있도록 한 메인터넌스 예측 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a vacuum pump for evacuating gas by rotation of a rotating body and other maintenance- And to provide a prediction device.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 피메인터넌스 장치에서 발생한 충격을 센서 신호로서 출력하는 센서부와, 상기 센서 신호를 처리하는 신호 처리부를 구비하고, 상기 신호 처리부는, 상기 센서 신호의 상승부터 하강까지의 간격을 접촉 시간으로서 측정하거나, 혹은, n번째의 충격에 의한 상기 센서 신호의 상승부터 n+1회째의 충격에 의한 상기 센서 신호의 상승까지의 간격을 충격 간격으로서 측정하거나, 혹은, 상기 충격 간격에 대한 상기 접촉 시간의 비율을 충격 비율로서 산출하는 측정 산출 처리와, 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 역치를 구비함과 함께, 그 역치와 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값의 비교 결과에 의거하여 상기 피메인터넌스 장치의 메인터넌스 정보를 출력하는 메인터넌스 예측 처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 것이다. In order to achieve the above object, the present invention provides a sensor device comprising: a sensor unit for outputting an impact generated in a maintenance device as a sensor signal; and a signal processing unit for processing the sensor signal, The interval from the rise of the sensor signal due to the n-th impact to the rise of the sensor signal due to the (n + 1) -th impact is measured as the impact interval, Calculating a ratio of the contact time to the impact distance as an impact ratio, and calculating a contact time, a shock distance, or a threshold value of the impact ratio, A maintenance which outputs the maintenance information of the maintenance subject apparatus based on the comparison result of the interval or the value of the impact ratio And executes prediction processing.

상기 본 발명에 있어서, 상기 메인터넌스 예측 처리는, 메인터넌스의 필요 정도를 레벨 분류하여, 상기 역치를 그 레벨에 대응시켜 구비함과 함께, 그 레벨 마다, 그 레벨에 대응하는 역치와 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값을 비교한 결과, 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율 중 적어도 어느 하나의 값이 상기 역치를 초과한 경우에, 상기 메인터넌스 정보의 출력으로서, 알람을 발생시키거나, 또는, 표시기로 표시하도록 구성해도 된다. In the present invention, it is preferable that the maintenance prediction process includes a step of level-classifying the degree of maintenance required, the threshold value corresponding to the level, the threshold value corresponding to the level, the contact time, When the value of at least one of the contact time, the impact distance, and the impact ratio exceeds a threshold value as a result of comparing the value of the impact ratio or the value of the impact ratio as an output of the maintenance information, Or may be displayed on a display device.

상기 본 발명에 있어서, 상기 메인터넌스 예측 처리는, 상기 역치와 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값을 비교한 결과, 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율 중 적어도 어느 하나의 값이 상기 역치를 초과한 경우에, 메인터넌스 정보의 출력으로서, 알람을 발생시키거나, 또는, 표시기로 표시하도록 구성하는 것도 가능하다. In the present invention, it is preferable that the maintenance prediction process is a process of calculating at least one of the contact time, the impact interval, and the impact ratio as a result of comparing the threshold value with the contact time, the impact interval, It is also possible to generate an alarm as the output of the maintenance information or to display it with a display device when the value of the maintenance information exceeds the threshold value.

상기 본 발명에 있어서, 상기 메인터넌스 예측 처리는, 상기 역치와 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값을 비교한 결과, 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율 중 적어도 어느 하나의 값이 상기 역치를 초과한 경우에, 메인터넌스 정보의 출력으로서, 알람을 발생시키거나, 또는, 표시기로 표시하도록 구성해도 된다. In the present invention, it is preferable that the maintenance prediction process is a process of calculating at least one of the contact time, the impact interval, and the impact ratio as a result of comparing the threshold value with the contact time, the impact interval, An alarm may be generated as an output of the maintenance information, or may be displayed by a display device when the value of the maintenance information exceeds the threshold value.

상기 본 발명에 있어서, 상기 역치는 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값의 변화율이어도 된다. In the present invention, the threshold value may be a rate of change of the contact time, the impact interval, or the value of the impact ratio.

상기 본 발명에 있어서, 상기 신호 처리부는, 상기 센서 신호에 대해, 적어도 2개의 충격 판단용 역치를 구비하고, 상기 충격 판단용 역치와 상기 센서 신호를 비교함으로써, 상기 충격이 상기 측정 산출 처리에서 취급하는 충격인지 어떤지를 판별하는 기능을 구비해도 된다. In the present invention, the signal processing unit may include at least two shock determination threshold values for the sensor signal, and may compare the sensor signal with the threshold value for impact determination so that the impact is treated in the measurement calculation processing A function of determining whether or not an impact is generated.

또, 본 발명은, 회전체의 회전에 의해 가스를 배기하는 진공 펌프에 이용하는 메인터넌스 예측 장치로서, 상기 진공 펌프에서 발생한 충격을 센서 신호로서 출력하는 센서부와, 상기 센서 신호를 처리하는 신호 처리부를 구비하고, 상기 신호 처리부는, 상기 센서 신호에 대해, 적어도 2개의 충격 판단용 역치를 구비하고, 상기 충격 판단용 역치와 상기 센서 신호를 비교함으로써, 상기 충격이 상기 회전체와 상기 진공 펌프 내의 퇴적물의 접촉에 의해 발생한 것인지 어떤지를 판별하는 기능을 구비하는 것을 특징으로 한다. The present invention also provides a maintenance prediction apparatus for use in a vacuum pump for evacuating gas by rotation of a rotating body, the maintenance prediction apparatus comprising: a sensor section for outputting a shock generated in the vacuum pump as a sensor signal; and a signal processing section Wherein the signal processing unit includes at least two shock determination thresholds for the sensor signal and compares the sensor signal with the shock determination threshold value to determine whether the shock is caused to occur in the rotary body and in the vacuum pump And a function of judging whether or not it has been caused by the contact of the contact surface.

또한, 본 발명은, 상기 메인터넌스 예측 장치를 구비한 진공 펌프이다. Further, the present invention is a vacuum pump equipped with the maintenance prediction device.

본 발명에 있어서는, 메인터넌스 예측 장치 및 그 예측 방법의 구체적인 요건으로서, 상기 대로, 피메인터넌스 장치에서 발생한 충격을 센서 신호로서 출력하고, 이 센서 신호로부터 얻어지는 정보, 구체적으로는 접촉 시간, 충격 간격, 또는 충격 비율과 각각의 역치의 비교 결과에 의거하여 메인터넌스 정보를 출력하도록 구성했기 때문에, 회전체의 축변위를 카운트하여 경보를 발하는 종래 방식과 같은 카운트 미스에 의한 오보가 생기지 않고, 피메인터넌스 장치의 메인터넌스의 필요성을 고정밀도로 알릴 수 있다. In the present invention, as a specific requirement of the maintenance prediction apparatus and the prediction method thereof, the impact generated in the maintenance target apparatus is output as a sensor signal and the information obtained from the sensor signal, specifically the contact time, The maintenance information is outputted on the basis of the comparison result of the impact ratio and the respective threshold values. Therefore, there is no misunderstanding caused by the count error as in the conventional method of counting the axial displacement of the rotating body and issuing an alarm, Can be known with high accuracy.

도 1은 본 발명의 일실시 형태인 메인터넌스 예측 장치의 처리 블럭도.
도 2는 도 1의 신호 처리부를 마이크로 컴퓨터로 구성한 경우의 하드웨어 구성도.
도 3은 도 1의 센서부를 탑재한 진공 펌프의 단면도.
도 4는 도 3의 진공 펌프를 그 상면으로부터 보았을 때의 센서부의 설치 개소의 설명도.
도 5의 (a)는 진공 펌프의 회전체와 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때에 출력되는 센서 신호 S와 접촉 시간의 설명도, (b)는 접촉 시간의 계측 방법의 설명도.
도 6은 진공 펌프의 회전체와 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때에 출력되는 센서 신호 S와 충격 간격의 설명도.
도 7은 진공 펌프의 회전체와 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때에 출력되는 센서 신호 S와 충격 비율의 설명도.
도 8은 역치의 레벨 분류의 일례를 나타낸 레벨 분류 설명도.
도 9는 도 1의 메인터넌스 예측 장치에 있어서, 그 신호 처리부를 예를 들면 도 2의 마이크로 컴퓨터로 구성한 경우에 있어서의 메인 처리의 플로차트도.
도 10은 도 9의 메인 처리에 부수하는 서브 처리 1의 플로차트도.
도 11은 도 9의 메인 처리에 부수하는 서브 처리 2의 플로차트도.
도 12는 도 9의 메인 처리에 부수하는 서브 처리 3의 플로차트도.
도 13의 (a)는 도 3의 진공 펌프에서 발생한 충격에 따라 출력되는 센서 신호의 설명도, 이 도 (b)는 (a)에 나타낸 센서 신호 S1의 모식도.1 is a processing block diagram of a maintenance prediction apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a hardware block diagram of the case where the signal processing unit of Fig. 1 is constituted by a microcomputer; Fig.
3 is a sectional view of a vacuum pump equipped with the sensor unit of Fig.
Fig. 4 is an explanatory diagram of a mounting position of the sensor unit when the vacuum pump of Fig. 3 is viewed from above; Fig.
Fig. 5 (a) is an explanatory diagram of the contact time with the sensor signal S outputted when the rotating body of the vacuum pump is in contact with the deposit in the vacuum pump, and Fig. 5 (b) is an explanatory diagram of a method of measuring the contact time.
6 is an explanatory diagram of a sensor signal S and an impact interval output when the rotating body of the vacuum pump and the deposit in the vacuum pump are in contact with each other.
7 is an explanatory diagram of a sensor signal S and an impact ratio outputted when the rotating body of the vacuum pump and the deposit in the vacuum pump are in contact with each other.
8 is a level classification explanatory diagram showing an example of level classification of a threshold value.
Fig. 9 is a flow chart of main processing in the case where the signal processing unit is configured by the microcomputer of Fig. 2, for example, in the maintenance prediction apparatus of Fig.
Fig. 10 is a flowchart of sub-process 1 added to the main process of Fig.
11 is a flowchart of sub-process 2 attached to the main process of Fig.
Fig. 12 is a flowchart of a sub-process 3 added to the main process of Fig.
Fig. 13 (a) is an explanatory diagram of a sensor signal outputted in response to an impact generated in the vacuum pump of Fig. 3, and Fig. 13 (b) is a schematic diagram of the sensor signal S1 shown in Fig.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대해서, 첨부한 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 피메인터넌스 장치의 일례로서, 진공 펌프를 들고 있지만, 이것에 한정되지는 않으며, 본 발명에 관련된 메인터넌스 예측 장치는, 진공 펌프 이외의 다른 피메인터넌스 장치에 있어서, 그 메인터넌스의 필요성을 알리는 수단으로서 채용할 수도 있다. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a best mode for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, the maintenance predictor relating to the present invention is not limited to the vacuum pump as an example of the to-be-maintained maintenance apparatus. It may be employed as a means for notifying the necessity.

도 1은, 본 발명의 일실시 형태인 메인터넌스 예측 장치의 처리 블럭도, 도 2는 도 1의 신호 처리부를 마이크로 컴퓨터로 구성한 경우의 하드웨어 구성도, 도 3은 도 1의 센서부를 탑재한 진공 펌프의 단면도, 도 4는 도 3의 진공 펌프를 그 상면측으로부터 보았을 때의 센서부의 설치 개소의 설명도이다. Fig. 1 is a block diagram of a maintenance prediction apparatus according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a hardware block diagram when the signal processing unit of Fig. 1 is constituted by a microcomputer. Fig. 4 is an explanatory diagram of the installation position of the sensor portion when the vacuum pump of Fig. 3 is viewed from the upper surface side thereof. Fig.

도 1의 메인터넌스 예측 장치(1)는, 예를 들면 도 3의 진공 펌프 P에서 발생한 충격을 센서 신호 S로서 출력하는 센서부(2)와, 상기 센서 신호 S를 처리하는 신호 처리부(3)를 구비하고 있다. The maintenance prediction apparatus 1 of FIG. 1 includes, for example, a sensor unit 2 for outputting an impact generated in the vacuum pump P of FIG. 3 as a sensor signal S, and a signal processing unit 3 for processing the sensor signal S Respectively.

도 3의 진공 펌프 P는, 터보 분자 펌프로서의 기능과 나사홈 배기 펌프로서의 기능을 겸비한 복합 펌프이며, 회전체 R이 그 회전축 S를 중심으로 하여 회전함으로써, 케이싱 K의 흡기구 K1로부터 배기구 K2를 향해, 가스를 배기하는 구성으로 되어 있다. The vacuum pump P shown in Fig. 3 is a complex pump having a function as a turbo-molecular pump and a function as a screw groove exhaust pump. The rotary body R rotates about its rotation axis S so that it can move from the intake port K1 of the casing K toward the exhaust port K2 , And the gas is exhausted.

상기 센서부(2)는, 예를 들면 도 3과 도 4에 나타낸 바와 같이, 진공 펌프 P의 펌프 베이스 B에 설치할 수 있다. 도 4의 예에서는, 펌프 베이스 B의 원주 방향으로 90도 간격으로 센서부(2)를 2개 설치하고 있지만, 이것에 한정되지는 않으며, 센서부(2)의 설치 개수나 배치 장소는 필요에 따라 적당히 변경할 수 있다. As shown in Figs. 3 and 4, the sensor unit 2 can be installed in the pump base B of the vacuum pump P. Fig. 4, two sensor units 2 are provided at intervals of 90 degrees in the circumferential direction of the pump base B. However, the number of the sensor units 2 is not limited to this, You can change it accordingly.

또, 이런 종류의 센서부(2)로서는, 예를 들면, 공지의 충격 센서, 가속도 센서, 진동 센서 등을 채용할 수 있지만, 이것에 한정되지는 않으며, 충격을 센서 신호로서 검지하여 출력할 수 있는 센서이면, 어떠한 것이어도 센서부(2)로서 채용하는 것이 가능하다. As the sensor unit 2 of this type, for example, a known impact sensor, an acceleration sensor, a vibration sensor, or the like can be employed. However, the present invention is not limited to this. Any sensor can be employed as the sensor unit 2.

상기 신호 처리부(3)는, 예를 들면, 도 2에 나타낸 바와 같이, CPU(301), 데이터 기억 메모리 등의 기억 수단(302), 센서 신호의 입력부(303), 및, 액정 디스플레이 등의 표시기(304), 스피커(305) 등을 구비한 마이크로 컴퓨터(300)로부터 구성할 수 있다. 2, the signal processing unit 3 includes a CPU 301, storage means 302 such as a data storage memory, a sensor signal input unit 303, and a display unit such as a liquid crystal display A microphone 305, a microphone 304, a speaker 305, and the like.

상기 신호 처리부(3)는, 하기 (0)의 충격 판별 처리, 하기 (1-1) 내지 (1-3)의 측정 혹은 산출 처리, 및, 하기 (2)의 메인터넌스 예측 처리를 포함하는 프로그램으로서 구성하고, 상기 마이크로 컴퓨터(300)의 CPU(301)에서 상기 프로그램을 실행·처리한다는 구성을 채용할 수 있다. The signal processing unit 3 is a program including the following impact discrimination processing, the measurement or calculation processing of the following (1-1) to (1-3), and the maintenance prediction processing of the following (2) And the CPU 301 of the microcomputer 300 executes and processes the program.

(0) 충격 판별 처리：이 (0) 충격 판별 처리는, 상기 센서 신호 S에 대해, 적어도 2개의 충격 판단용 역치(본 실시 형태에서는, 도 13에 나타낸 하한 역치 V1과 상한 역치 V2)를 구비하고, 그 충격 판단용 역치와 상기 센서 신호 S를 비교함으로써, 진공 펌프 P에서 발생한 충격이 하기 (1-1) 내지 (1-3)의 측정 혹은 산출 처리에서 취급하는 충격인지 어떤지(본 실시 형태에서는, 상기 충격이 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물의 접촉에 의해 발생한 것인지 어떤지)를 판별하는 처리이다. (0) Impact discrimination process: The (0) impact discrimination process comprises at least two shock determination threshold values (the lower limit threshold value V1 and the upper limit threshold value V2 shown in FIG. 13 in this embodiment) for the sensor signal S And compares the threshold value for impact determination with the sensor signal S to determine whether or not the impact generated in the vacuum pump P is an impact to be handled in the measurement or calculation processing of the following (1-1) to (1-3) , It is determined whether or not the impact is caused by the contact between the rotating body R and the deposit in the vacuum pump.

도 13(a)는, 도 3의 진공 펌프에서 발생한 충격에 따라 출력되는 센서 신호의 설명도이다. Fig. 13 (a) is an explanatory diagram of a sensor signal outputted in response to an impact generated in the vacuum pump of Fig. 3;

도 13(a)에 있어서, 제1 센서 신호 S1은, 회전체 R의 회전축 S가 보호 베어링 TB에 접촉했을 때에 출력되는 것이다. 이 제1 센서 신호 S1과 같이 신호 레벨이 높은 센서 신호는, 대기 돌입 시에도 출력된다. 대기 돌입이란, 밸브의 개폐 시나 백 펌프의 이상 등에 의해, 대기압에 가까운 압력의 공기가 진공 펌프 P 내에 도입되었을 때에, 회전체에 급격한 힘(양력)이 발생하는 현상이다. In Fig. 13 (a), the first sensor signal S1 is output when the rotational axis S of the rotating body R contacts the protective bearing TB. A sensor signal having a high signal level like this first sensor signal S1 is also outputted at the time of inrush. Atmospheric inrushing is a phenomenon in which sudden force (lift) is generated in the rotating body when air having a pressure close to atmospheric pressure is introduced into the vacuum pump P due to opening and closing of the valve or an abnormality of the back pump.

도 13(a)에 있어서, 제2 센서 신호 S2는, 자기 베어링 MB에 의해 비접촉 지지되는 회전체 R이 자력으로 지지 위치까지 부상할 때, 또는, 회전체 R의 가감 속도 시에 출력되는 것이다. 또, 제3 센서 신호 S3은, 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물이 접촉했을 때에 출력되는 것이다. 13 (a), the second sensor signal S2 is outputted when the rotating body R, which is not contact-supported by the magnetic bearing MB, floats to the supporting position by magnetic force or when the rotating body R is accelerated or decelerated. The third sensor signal S3 is output when the rotating body R and the deposit in the vacuum pump come in contact with each other.

또, 이 도 13(a)에 있어서, 2개의 충격 판단용 역치(하한 역치 V1, 상한 역치 V2) 중, 하한 역치 V1은, 예를 들면 상기 제2 센서 신호 S2와 같이 신호 레벨이 낮은 것을 노이즈 신호로서 제거하기 위해 설정한 것이다. 상한 역치 V2는, 예를 들면 상기 제1 센서 신호 S1과 같이 신호 레벨이 높은 것을 일레귤러 신호로서 제거하기 위해 설정한 것이다. 13A, the lower limit threshold value V1 of the two shock determination thresholds (the lower threshold value V1 and the upper threshold value V2) is set such that, for example, the lower signal level, such as the second sensor signal S2, It is set to remove as a signal. The upper limit threshold value V2 is set to remove, for example, a signal having a high signal level as the first sensor signal S1 as a regular signal.

상기 노이즈 신호나 상기 일레귤러 신호의 신호 레벨은 진공 펌프 P의 종류, 구조, 형식 등의 사양에 따라 상이하기 때문에, 상기 2개의 역치 V1, V2는, 고정치로서 1개의 값으로 설정되는 것이 아니라, 진공 펌프 P의 종류, 구조, 형식 등의 사양에 따라 적당히 변경되는 것으로 한다. Since the signal level of the noise signal or the one regular signal differs depending on specifications such as the type, structure, and type of the vacuum pump P, the two threshold values V1 and V2 are not set to one value as a fixed value , The type, structure, and type of the vacuum pump P, as appropriate.

그런데, 이 (0) 충격 판별 처리에 있어서는, 상기 2개의 충격 판단용 역치(하한 역치 V1, 상한 역치 V2)와 센서 신호 S(S1, S2, S3)를 비교한 결과, 예를 들면 상기 제1 센서 신호 S1과 같이 신호 레벨이 상한 역치 V2를 넘는 센서 신호는, 하기 (1-1) 내지 (1-3)의 측정 혹은 산출 처리에서 취급하는 충격은 아닌 것으로서 제외하는 처리, 및, 상기 제2 센서 신호 S2와 같이 신호 레벨이 하한 역치 V1을 밑도는 센서 신호도 역시, 마찬가지로, 하기 (1-1) 내지 (1-3)의 측정 혹은 산출 처리에서 취급하는 충격은 아닌 것으로서 제외하는 처리, 및, 제3 센서 신호 S3과 같이 신호 레벨이 하한 역치 V1로부터 상한 역치 V2까지의 범위에 포함되는 센서 신호는, 하기 (1-1) 내지 (1-3)의 측정 혹은 산출 처리에서 취급하는 충격인 것으로서 채용하는 처리를 행해도 된다. As a result of comparing the two shock determination thresholds (lower threshold value V1, upper threshold value V2) with the sensor signals S (S1, S2, S3) in the (0) impact discrimination process, The sensor signal whose signal level exceeds the upper limit threshold value V2 as in the case of the sensor signal S1 is excluded as an impact not to be handled in the measurement or calculation processing of (1-1) to (1-3) below, Similarly to the sensor signal S2, the sensor signal whose signal level is lower than the lower limit threshold value V1 is also subjected to the processing of excluding the shocks to be handled in the measurement or calculation processing in the following (1-1) to (1-3) The sensor signal included in the range of the signal level from the lower limit threshold value V1 to the upper limit threshold value V2 like the third sensor signal S3 is an impact handled in the measurement or calculation processing of the following (1-1) to (1-3) A process to be employed may be performed.

보호 베어링 TB에 접촉하고 있을 때에 출력되는 센서 신호 S1은, 도 13(b)와 같은 파형이 되어, 하한 역치 V1을 넘고 나서 2msec 간에서 상한 역치 V2를 넘어 버린다. 이것으로부터, 2msec마다 센서 신호 S를 측정하는 경우에는, 제1 센서 신호 S1과 같이 신호 레벨이 하한 역치 V1을 넘고 나서 2msec 이내에 상한 역치 V2를 넘는 센서 신호는, 일레귤러 신호로서 제외한다. 이런 한편, 제3 센서 신호 S3과 같이 신호 레벨이 하한 역치 V1을 넘고 나서 2msec 이내에 상한 역치 V2를 넘지 않는 센서 신호는, 하기 (1-1) 내지 (1-3)의 측정 혹은 산출 처리에서 취급하는 충격인 것으로서 채용하여, 도 5 내지 도 7과 같이 정형된 센서 신호 S의 형태로 출력되도록 해도 된다. The sensor signal S1 output when the sensor element is in contact with the protective bearing TB becomes a waveform as shown in Fig. 13 (b), and exceeds the upper limit threshold value V2 for 2 msec after exceeding the lower limit threshold value V1. Accordingly, when the sensor signal S is measured every 2 msec, the sensor signal exceeding the upper limit threshold value V2 within 2 msec after the signal level exceeds the lower threshold value V1 as the first sensor signal S1 is excluded as one regular signal. On the other hand, as in the third sensor signal S3, a sensor signal whose signal level does not exceed the upper limit threshold value V2 within 2 msec after exceeding the lower threshold value V1 is subjected to measurement or calculation processing in the following (1-1) to And may be output in the form of a sensor signal S shaped as shown in Figs. 5 to 7.

(1-1) 측정 처리：이 (1-1) 측정 처리는, 도 5(a)에 나타낸 바와 같이, 센서 신호 S의 상승 t0으로부터 하강 t1까지의 간격을 접촉 시간 ΔT로서 측정하는 처리이다. (1-2) 측정 처리：이 (1-2) 측정 처리는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물의 n번째의 접촉에 의한 센서 신호 S의 상승부터, n+1회째의 충격에 의한 센서 신호 S의 상승까지의 간격을 충격 간격 ΔG로서 측정하는 처리이다. (1-3) 산출 처리：이 (1-3) 산출 처리는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 상기 충격 간격 ΔG에 대한 상기 접촉 시간 ΔT의 비율(=접촉 시간 ΔT/충격 간격 ΔG)을 충격 비율 ΔT/ΔG로서 산출하는 처리이다. (1-1) Measurement process: The (1-1) measurement process is a process for measuring the interval from the rise t0 to the fall t1 of the sensor signal S as the contact time? T, as shown in Fig. 5A. (1-2) Measurement process: As shown in Fig. 6, the (1-2) measurement process is started from the rise of the sensor signal S due to the nth contact between the rotating body R of the vacuum pump P and the deposit in the vacuum pump , and the interval up to the rise of the sensor signal S due to the (n + 1) th impact is measured as the impact interval? G. (1-3) Calculation process: As shown in Fig. 7, the calculation process (1-3) is a process for calculating the ratio (= contact time ΔT / impact interval ΔG) of the contact time ΔT to the impact distance ΔG to the impact ratio ? T /? G.

(2) 메인터넌스 예측 처리：이 (2) 메인터넌스 예측 처리는, 상기 접촉 시간 ΔT, 상기 충격 간격 ΔG, 상기 충격 비율 ΔT/ΔG의 역치를 구비함과 함께, 그 역치와 상기 접촉 시간 ΔT, 상기 충격 간격 ΔG, 상기 충격 비율 ΔT/ΔG의 값의 비교 결과에 의거하여 상기 진공 펌프 P의 메인터넌스 정보를 출력하는 처리이다. (2) Maintenance Prediction Processing: (2) The maintenance prediction processing includes a threshold value of the contact time? T, the impact interval? G, the impact ratio? T /? G, The interval? G, and the value of the impact ratio? T /? G, the maintenance information of the vacuum pump P is outputted.

상기 접촉 시간 ΔT, 상기 충격 간격 ΔG, 상기 충격 비율 ΔT/ΔG의 역치는, CPU(301)가 참조 가능한 예를 들면 도 2의 기억 수단(302)에 미리 저장해 둘 수 있다. The contact time DELTA T, the impact distance DELTA G, and the threshold value of the impact ratio DELTA T / DELTA G can be stored in advance in the storage means 302 shown in Fig. 2, which can be referred to by the CPU 301, for example.

또, 상기 마이크로 컴퓨터(300)는, 진공 펌프 P의 도시하지 않은 컨트롤 유닛에 탑재되어 있는 마이크로 컴퓨터로 대용해도 되고, 그것과는 별개로 설치해도 된다. The microcomputer 300 may be replaced with a microcomputer mounted on a control unit (not shown) of the vacuum pump P, or may be provided separately from the microcomputer.

도 5(a)는, 진공 펌프의 회전체와 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때에 출력되는 센서 신호 S와 접촉 시간의 설명도, 도 5(b)는, 접촉 시간의 계측 방법의 설명도이다. Fig. 5 (a) is an explanatory diagram of the contact time with the sensor signal S outputted when the rotating body of the vacuum pump is in contact with the deposit in the vacuum pump, and Fig. 5 (b) is an explanatory diagram of the method of measuring the contact time .

도 5(a)에 있어서, 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때의 센서 신호 S는 H레벨로 나타내고, 그들이 접촉하고 있지 않을 때의 센서 신호 S는 L레벨로 나타내고 있다. 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물의 접촉 시간은 부호 ΔT로 나타내고 있다. In Fig. 5 (a), the sensor signal S when the rotating body R of the vacuum pump P is in contact with the deposit in the vacuum pump is indicated as H level, the sensor signal S when they are not in contact is indicated as L level have. The contact time between the rotating body R of the vacuum pump P and the deposit in the vacuum pump is represented by the symbol AT.

상기 접촉 시간 ΔT는 도 5(b)에 나타낸 방식으로 취득할 수 있다. 도 5(b)에서는, 센서 신호 S의 상승 t0을 트리거로 하여 클록 펄스를 기동하고, 센서 신호 S의 하강 t1을 트리거로 하여 클록 펄스를 정지시킴과 함께, 그 클록 펄스수를 카운트함으로써, 접촉 시간 ΔT를 취득하고 있다. 이 도 (b)의 경우, 클록 펄스의 주기가 2msec이며, 클록 펄스수의 카운트치가 4가 되기 때문에, 접촉 시간 ΔT는 대략 8msec가 된다. The contact time? T can be obtained in the manner shown in Fig. 5 (b). 5 (b), the clock pulse is triggered by the rise t0 of the sensor signal S, the clock pulse is stopped by using the falling t1 of the sensor signal S as a trigger, and the number of clock pulses is counted, The time? T is acquired. In this case, since the period of the clock pulse is 2 msec and the count value of the clock pulse number is 4, the contact time? T is approximately 8 msec.

클록 펄스의 주기가 2msec인 것에 의해, 2msec 미만의 오차를 가지지만, 메인터넌스 시기를 예측하는데 있어서는 문제 없는 레벨이다. Although the period of the clock pulse is 2 msec, it has an error of less than 2 msec, but it is a problem-free level in predicting the maintenance time.

진공 펌프 P 내에 생성물이 퇴적하고, 그 퇴적량이 소정량에 이르면, 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물(진공 펌프내에 퇴적한 생성물)의 접촉이 생긴다. 진공 펌프내 퇴적물의 퇴적 범위(표면적)가 확대되면, 그에 따라, 접촉 시간 ΔT는 길어진다. When the product accumulates in the vacuum pump P and the accumulated amount reaches a predetermined amount, contact between the rotor R of the vacuum pump P and the deposit (product deposited in the vacuum pump) in the vacuum pump occurs. As the deposition range (surface area) of the deposit in the vacuum pump is enlarged, the contact time DELTA T becomes longer accordingly.

상기 (1-1) 측정 처리에서는, 접촉 시간 ΔT를 측정하고 있으므로, 접촉 시간 ΔT의 값으로부터 진공 펌프내 퇴적물의 퇴적 상황(특히 퇴적 범위)을 리얼타임으로 예측할 수 있다. 예를 들면, 접촉 시간 ΔT가 길면 펌프내 퇴적물의 퇴적 범위가 넓고, 접촉 시간 ΔT가 짧으면 펌프내 퇴적물의 퇴적 범위가 좁은 것으로 예측할 수 있어, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 그 예측으로부터 진공 펌프 P의 메인터넌스의 필요성을 리얼타임으로 판단할 수 있다. In the above-mentioned (1-1) measurement process, the contact time? T is measured, and therefore the accumulation condition (particularly the accumulation range) of the deposit in the vacuum pump can be predicted in real time from the value of the contact time? T. For example, if the contact time DELTA T is long, the deposition range of the deposit in the pump is wide, and if the contact time DELTA T is short, it can be predicted that the accumulation range of the deposit in the pump is narrow. In the maintenance prediction process, The necessity of maintenance of P can be judged in real time.

즉, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 예를 들면 도 8에 나타낸 바와 같이, 메인터넌스의 필요 정도를 Level 1부터 Level 8과 같이 레벨 분류하여, 상기 역치(이 도면 중의 수치를 참조)를 그 레벨에 대응시켜 구비함과 함께, 그 레벨 마다, 그 레벨에 대응하는 역치와 상기 접촉 시간 ΔT를 비교한 결과, 상기 접촉 시간 ΔT의 값이 상기 역치를 초과한 경우에는, 메인터넌스 정보의 출력으로서, 그 초과한 역치에 대응하는 레벨을 표시기(304)로 표시한다. 또, 그 레벨이 예를 들면 도 8의 Level 5였다면, 스피커(305)를 사용하여 알람을 발생시키거나, 혹은 상기 레벨이 예를 들면 도 8의 Level 8이였다면, 진공 펌프 P를 정지시키는 등의 조치를 취한다. That is, in the maintenance prediction process (2), for example, as shown in FIG. 8, the level of maintenance required is classified as Level 1 to Level 8, and the threshold value (see numerals in the figure) And when the value of the contact time? T exceeds the threshold value as a result of comparison between the threshold value corresponding to the level and the contact time? T for each level, as the output of the maintenance information, A level corresponding to the exceeded threshold value is indicated by the indicator 304. If the level is, for example, Level 5 in FIG. 8, an alarm is generated using the speaker 305, or if the level is, for example, Level 8 in FIG. 8, the vacuum pump P is stopped Take action.

또, 다른 실시 형태로서, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 상기와 같은 레벨 분류를 하지 않는 방식을 채용할 수도 있다. 이 경우, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 측정한 접촉 시간 ΔT의 값과 그 역치를 비교한 결과, 접촉 시간 ΔT의 값이 역치를 초과하고 있는지, 또는 그 값의 변화율이 역치(이 경우의 역치는 상기 변화율의 역치)를 초과하고 있다면, 진공 펌프내 퇴적물의 퇴적 상황이 메인터넌스를 필요로 하는 레벨에 도달한 것으로 예측하고, 또한, 메인터넌스 정보의 출력으로서, 스피커(305)를 사용하여 알람을 발생시키거나, 또는, 알람의 발생 대신에, 혹은, 알람의 발생과 병용하여, 진공 펌프 P에 메인터넌스의 필요가 생긴 취지를 표시기(304)로 표시하는 등의 조치를 취해도 된다. As another embodiment, the maintenance prediction processing described in (2) above may employ a method of not performing the level classification as described above. In this case, in the above-mentioned (2) maintenance prediction processing, if the value of the contact time? T exceeds the threshold value as a result of comparing the measured value of the contact time? T with the threshold value, or if the rate of change of the contact time? The threshold value of the rate of change), it is predicted that the accumulation state of the deposit in the vacuum pump has reached a level requiring maintenance, and the alarm 305 is used as the output of the maintenance information Alternatively, measures may be taken such that the indicator 304 indicates that maintenance of the vacuum pump P has become necessary, instead of generating an alarm, or in combination with generation of an alarm.

도 6은, 진공 펌프의 회전체와 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때에 출력되는 센서 신호 S와 충격 간격의 설명도이다. 6 is an explanatory diagram of a sensor signal S and an impact interval output when the rotating body of the vacuum pump and the deposit in the vacuum pump are in contact with each other.

도 6에 있어서, 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때의 센서 신호 S는 H레벨로 나타내고, 그들이 접촉하고 있지 않을 때의 센서 신호 S는 L레벨로 나타내고 있다. 또, 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물의 충격 간격은 부호 ΔG로 나타내고 있다. 여기서, 충격 간격 ΔG란, n번째의 센서 신호 S의 상승부터 n+1번째의 센서 신호 S의 상승까지의 간격이다. In Fig. 6, the sensor signal S when the rotating body R of the vacuum pump P is in contact with the deposit in the vacuum pump is represented by H level, and the sensor signal S when they are not in contact is indicated by L level. The impact distance between the rotating body R of the vacuum pump P and the deposit in the vacuum pump is represented by the symbol? G. Here, the impact interval? G is an interval from the rise of the n-th sensor signal S to the rise of the (n + 1) -th sensor signal S.

상술한 바와 같이, 진공 펌프 P 내에 퇴적물이 퇴적하고, 그 퇴적량이 소정량에 이르면, 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물의 접촉이 생긴다. 그리고, 진공 펌프내 퇴적물의 퇴적 개소가 복수 개소에 점재하듯이 증가하는 등, 퇴적 개소의 증가에 수반하여, 충격 간격 ΔG는 짧아진다. As described above, when sediments are deposited in the vacuum pump P and the deposition amount reaches a predetermined amount, contact between the rotor R of the vacuum pump P and the deposit in the vacuum pump occurs. Further, the deposition interval DELTA G is shortened with the increase of deposition positions, for example, deposition positions of deposits in the vacuum pump increase at a plurality of locations.

상기 (1-2) 측정 처리에서는, 충격 간격 ΔG를 측정하고 있으므로, 충격 간격 ΔG로부터 진공 펌프내 퇴적물의 퇴적 상황을 리얼타임으로 예측할 수 있다. 예를 들면, 충격 간격 ΔG가 짧으면 펌프내 퇴적물의 퇴적 개소가 근접해서 복수 점재하고 있다고 예측할 수 있으며, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 그 예측으로부터 진공 펌프 P의 메인터넌스의 필요성을 리얼타임으로 판단한다. In the (1-2) measurement process, since the impact gap? G is measured, it is possible to predict the deposition state of the deposit in the vacuum pump in real time from the impact gap? G. For example, if the impact interval? G is short, it can be predicted that the accumulation points of the sediments in the pump are close to each other and that a plurality of points are close to each other. In the maintenance prediction process (2), the necessity of maintenance of the vacuum pump P do.

즉, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 예를 들면 도 8에 나타낸 바와 같이, 메인터넌스의 필요 정도를 Level 1부터 Level 8과 같이 레벨 분류하여, 상기 역치(이 도면 중의 수치를 참조)를 그 레벨에 대응시켜 구비함과 함께, 그 레벨 마다, 그 레벨에 대응하는 역치와 상기 충격 간격 ΔG를 비교한 결과, 충격 간격 ΔG의 값이 상기 역치를 초과한 경우에는, 그 초과한 역치에 대응하는 레벨을 표시기(304)로 표시한다. 또, 그 레벨이 예를 들면 도 8에 나타내는 Level 5였다면, 스피커(305)를 사용하여 알람을 발생시키거나, 혹은, 상기 레벨이 예를 들면 도 8에 나타내는 Level 8이였다면, 진공 펌프 P를 정지시키는 등의 조치를 취한다. That is, in the maintenance prediction process (2), for example, as shown in FIG. 8, the level of maintenance required is classified as Level 1 to Level 8, and the threshold value (see numerals in the figure) And when the value of the impact gap? G exceeds the threshold value as a result of comparison between the threshold value corresponding to the level and the impact gap? G for each level, a level corresponding to the exceeded threshold value Is displayed on the display unit 304. [ If the level is, for example, Level 5 shown in FIG. 8, an alarm is generated using the speaker 305, or if the level is, for example, Level 8 shown in FIG. 8, And take measures such as stopping.

또, 다른 실시 형태로서, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 상기와 같은 레벨 분류를 하지 않는 방식을 채용할 수도 있다. 이 경우, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 측정한 충격 간격 ΔG의 값과 그 역치를 비교한 결과, 충격 간격 ΔG의 값이 역치를 초과하고 있는지, 또는, 그 값의 변화율이 역치(이 경우의 역치는 상기 변화율의 역치)를 초과하고 있다면, 진공 펌프내 퇴적물의 퇴적 상황이 메인터넌스를 필요로 하는 레벨에 도달한 것으로 예측하고, 또한, 메인터넌스 정보의 출력으로서, 스피커(305)를 사용하여 알람을 발생시키거나, 또는, 메인터넌스의 필요가 생긴 취지를 표시기(304)로 표시하는 등의 조치를 취해도 된다. As another embodiment, the maintenance prediction processing described in (2) above may employ a method of not performing the level classification as described above. In this case, in the above-mentioned (2) maintenance prediction processing, if the value of the impact interval? G exceeds the threshold value as a result of comparing the measured impact interval? G with the threshold value or if the rate of change of the impact interval? , The accumulation state of the deposit in the vacuum pump is predicted to have reached a level requiring maintenance, and further, as an output of the maintenance information, an alarm Or the display device 304 may be displayed to indicate that a need for maintenance has occurred.

도 7은, 진공 펌프의 회전체와 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때에 출력되는 센서 신호 S와 충격 비율의 설명도이다. 7 is an explanatory diagram of the sensor signal S and the impact ratio output when the rotating body of the vacuum pump and the deposit in the vacuum pump are in contact with each other.

도 7에 있어서, 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물이 접촉하고 있을 때의 센서 신호 S는 H레벨로 나타내고, 그들이 접촉하고 있지 않을 때의 센서 신호 S는 L레벨로 나타내고 있다. 이 도면 중의 ΔT는 상술한 접촉 시간, ΔG는 상술한 충격 간격이며, 충격 비율 ΔT/ΔG는 충격 간격 ΔG에 대한 접촉 시간 ΔT의 비율이다. In Fig. 7, the sensor signal S when the rotating body R of the vacuum pump P is in contact with the deposit in the vacuum pump is represented by H level, and the sensor signal S when they are not in contact is indicated by L level. In the figure, ΔT is the above-mentioned contact time, ΔG is the above-mentioned impact distance, and the impact ratio ΔT / ΔG is the ratio of the contact time ΔT to the impact distance ΔG.

상기 (1-3) 측정 처리에서는, 충격 비율 ΔT/ΔG를 측정하고 있으므로, 그 충격 비율 ΔT/ΔG의 값으로부터 진공 펌프내 퇴적물의 퇴적 상황을 리얼타임으로 예측할 수 있다. 예를 들면, 충격 비율 ΔT/ΔG의 값이 큰 경우는, 1회의 충격으로 접촉하고 있는 상황이 길게 계속되고 있다고 예측할 수 있으며, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 그 예측으로부터 진공 펌프 P의 메인터넌스의 필요성을 리얼타임으로 판단한다. In the measurement process (1-3), since the impact ratio? T /? G is measured, the deposition state of the deposit in the vacuum pump can be predicted in real time from the value of the impact ratio? T /? G. For example, in the case where the value of the impact ratio DELTA T / DELTA G is large, it can be predicted that the state of contact with one impact continues for a long time. In the maintenance prediction processing (2) In real time.

즉, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 예를 들면 도 8에 나타낸 바와 같이, 메인터넌스의 필요 정도를 Level 1부터 Level 8과 같이 레벨 분류하여, 상기 역치(이 도면 중의 수치를 참조)를 그 레벨에 대응시켜 구비함과 함께, 그 레벨 마다, 그 레벨에 대응하는 역치와 충격 비율 ΔT/ΔG를 비교한 결과, 충격 비율 ΔT/ΔG의 값이 상기 역치를 초과한 경우에는, 그 초과한 역치에 대응하는 레벨을 표시기(304)로 표시한다. 또, 그 레벨이 예를 들면 도 8에 나타내는 Level 5였다면, 스피커(305)를 사용하여 알람을 발생시키거나, 혹은 상기 레벨이 예를 들면 도 8에 나타내는 Level 8이였다면, 진공 펌프 P를 정지시키는 등의 조치를 취한다. That is, in the maintenance prediction process (2), for example, as shown in FIG. 8, the level of maintenance required is classified as Level 1 to Level 8, and the threshold value (see numerals in the figure) And when the value of the impact ratio? T /? G exceeds the threshold value as a result of comparison between the threshold value corresponding to the level and the impact ratio? T /? G for each level, The corresponding level is indicated by the indicator 304. If the level is, for example, Level 5 shown in Fig. 8, an alarm is generated using the speaker 305, or if the level is, for example, Level 8 shown in Fig. 8, And take measures such as

또, 다른 실시 형태로서, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 상기와 같은 레벨 분류를 하지 않는 방식을 채용할 수도 있다. 이 경우, 상기 (2) 메인터넌스 예측 처리에서는, 산출한 충격 비율 ΔT/ΔG의 값과 그 역치를 비교한 결과, 충격 비율 ΔT/ΔG의 값이 역치를 초과하고 있는지, 또는, 그 값의 변화율이 역치(이 경우의 역치는 상기 변화율의 역치)를 초과하고 있다면, 진공 펌프내 퇴적물의 퇴적 상황이 메인터넌스를 필요로 하는 레벨에 도달한 것으로 예측하고, 또한, 메인터넌스 정보의 출력으로서, 스피커(305)를 사용하여 알람을 발생시키거나, 또는, 메인터넌스의 필요가 생긴 취지를 표시기(304)로 표시하는 등의 조치를 취해도 된다. As another embodiment, the maintenance prediction processing described in (2) above may employ a method of not performing the level classification as described above. In this case, in the above-mentioned (2) maintenance prediction processing, if the value of the impact ratio? T /? G exceeds the threshold value as a result of comparison between the calculated impact ratio? T /? G and the threshold value, (The threshold value in this case exceeds the threshold value of the rate of change), it is predicted that the accumulation state of the deposit in the vacuum pump has reached a level requiring maintenance, and the speaker 305, Or to display an indication that the need for maintenance has arisen on the display device 304. In this case,

이상 설명한 접촉 시간 ΔT, 충격 간격 ΔG, 충격 비율 ΔT/ΔG의 역치는, 경험칙으로부터 얻어지는 것이나, 실험에서 메인터넌스의 필요가 생겼을 때의 접촉 시간, 충격 간격, 충격 비율을 채용해도 된다. Threshold values of the contact time DELTA T, the impact interval DELTA G, and the impact ratio DELTA T / DELTA G described above are obtained from the empirical rule, but the contact time, the impact interval and the impact ratio at the time of necessity of maintenance in the experiment may be employed.

또, 이상 설명한 알람의 발생과 메인터넌스의 필요가 생긴 취지의 표시는, 병용해도 된다. In addition, the indication of occurrence of alarm and necessity of maintenance described above may be used in combination.

또한, 상기와 같이 알람을 발생시키거나 표시기로 표시하는 등의 메인터넌스 정보의 출력에 대해서는, 상기 접촉 시간 ΔT, 상기 충격 간격 ΔG, 상기 충격 비율 ΔT/ΔG 중 적어도 1개의 값이 상기 역치를 초과한 경우에 행할 수 있다. 예를 들면, 접촉 시간 ΔT와 충격 간격 ΔG는 각각의 역치를 초과하고 있지 않지만, 충격 비율 ΔT/ΔG 만이 그 역치를 초과한 경우에, 메인터넌스 정보의 출력이 행해지도록 구성해도 되고, 이것과는 별도로, 접촉 시간 ΔT, 충격 간격 ΔG, 충격 비율 ΔT/ΔG의 모두가 각각의 역치를 초과한 경우에 처음으로, 메인터넌스 정보의 출력이 행해지도록 구성해도 된다. As for the output of the maintenance information such as generating an alarm or displaying with an indicator as described above, at least one of the contact time? T, the impact interval? G, and the impact ratio? T /? G exceeds the threshold value Can be done. For example, the contact time? T and the impact interval? G do not exceed the respective threshold values, but the maintenance information may be output when only the impact ratio? T /? G exceeds the threshold value. Alternatively, , The maintenance information may be output for the first time when all of the contact time DELTA T, the impact interval DELTA G, and the impact ratio DELTA T / DELTA G exceed their respective threshold values.

도 9는, 도 1의 메인터넌스 예측 장치에 있어서, 그 신호 처리부를 예를 들면 도 2의 마이크로 컴퓨터로 구성한 경우에 있어서의 메인 처리의 플로차트도, 도 10은, 도 9의 메인 처리에 부수하는 서브 처리 1의 플로차트도, 도 11은, 도 9의 메인 처리에 부수하는 서브 처리 2의 플로차트도, 도 12는, 도 9의 메인 처리에 부수하는 서브 처리 3의 플로차트도이다. Fig. 9 is a flow chart of the main processing in the case where the signal processing unit of the maintenance prediction apparatus of Fig. 1 is configured by the microcomputer of Fig. 2, Fig. 10 is a flowchart Fig. 11 is a flowchart of the sub-process 2 accompanying the main process of Fig. 9, and Fig. 12 is a flowchart of the sub-process 3 accompanying the main process of Fig.

도 1의 메인터넌스 예측 장치(1)는, 예를 들면 진공 펌프 P의 운전 개시를 트리거로 하여, 도 9의 메인 처리를 개시한다(스타트). The maintenance prediction apparatus 1 of FIG. 1 starts the main process of FIG. 9, for example, by starting the operation of the vacuum pump P as a trigger (start).

이 도 9의 메인 처리에서는, 처음에, 접촉 판정 처리로서, 상기 (0) 충격 판정 처리를 행하고, 그 처리에서 제외되지 않았던 충격을 진공 펌프 P의 회전체 R과 진공 펌프내 퇴적물이 접촉한 회수(이하 「접촉 회수」라고 한다)로서 카운트하여(ST1), 도 10의 서브 처리 1로 이행한다(ST2). In the main process of Fig. 9, first, as the contact determination process, the above (0) shock determination process is performed, and the impact that has not been excluded from the process is detected as the number of times the rotating body R of the vacuum pump P is in contact with the deposit in the vacuum pump (Hereinafter referred to as " number of contacts ") (ST1), and shifts to sub-process 1 of FIG. 10 (ST2).

도 10의 서브 처리 1에서는, n번째(n은 접촉 회수의 카운트치. 이하도 동일)의 접촉에 의해 생긴 센서 신호 S의 상승부터 하강까지의 간격을, n번째의 접촉 시간 ΔT로서 측정하고(ST201), 그 접촉 시간 ΔT의 측정이 완료되면, 접촉 시간 ΔT에 대해서 레벨 특정을 행한다. 이 레벨 특정에 의해, 측정한 상기 접촉 시간 ΔT가 도 8에 나타낸 레벨(Level 1부터 Level 8) 중의 어느 레벨에 해당하는지, 그 접촉 시간 ΔT의 레벨이 특정된다(ST202). 10, the interval from the rise to the fall of the sensor signal S caused by the n-th contact (n is the count value of the number of contacts, the same applies hereinafter) is measured as the n-th contact time? T ST201). When the measurement of the contact time DELTA T is completed, the level of the contact time DELTA T is specified. With this level specification, the level of the contact time? T is specified (ST202) to determine which level of the measured contact time? T corresponds to the level (Level 1 to Level 8) shown in FIG.

다음에, 이 도 10의 서브 처리 1에서는, 플래그 리셋 처리로서 제1 메인터넌스 플래그를 No로 설정하고(ST203), 제1 메인터넌스 판정 처리로서, 상기 ST202에 있어서 특정한 접촉 시간 ΔT의 레벨에서 알람을 발생시키는 등의 조치를 취할 필요가 있는지 등, 메인터넌스 정보를 출력할 필요성이 있는지 아닌지를 판정하고(ST204), 그 필요성이 있는 경우는 상기 제1 메인터넌스 플래그를 Yes로 설정하고(ST204의 Yes, ST205) 도 9의 메인 처리로 돌아오지만, 그 필요성이 없는 경우는 ST205의 처리를 스킵하고 도 9의 메인 처리로 돌아온다(ST204의 NO). Next, in the sub-process 1 of FIG. 10, the first maintenance flag is set to "No" as the flag reset process (ST203), and as the first maintenance determination process, an alarm is generated at the level of the contact time ΔT specified in ST202 (ST204). If it is necessary, the first maintenance flag is set to "Yes" (Yes in ST204, ST205). If it is necessary to output the maintenance information, The process returns to the main process of FIG. 9, but if there is no necessity, the process of ST205 is skipped and the process returns to the main process of FIG. 9 (NO in ST204).

이상과 같이 하여 서브 처리 1로부터 메인 처리로 돌아오면, 다음에, 메인 처리에서는, 접촉 회수의 카운트치 n을 참조하여, 접촉 회수(카운트치 n)가 2 이상인지 아닌지를 판정한다(ST3). 여기서, 접촉 회수(카운트치 n)가 2 이상이 아닌(카운트치 n=0 또는 1) 경우는, ST4의 서브 처리 2 및 ST5의 서브 처리 3을 스킵하고 ST6의 처리로 이행하지만(ST3의 No), 접촉 회수(카운트치 n)가 2 이상인 경우는, 도 11의 서브 처리 2로 이행한다(ST3의 Yes, ST4). When the main process returns from the sub-process 1 to the main process as described above, the main process refers to the count value n of the number of touches to determine whether or not the number of touches (count value n) is 2 or more (ST3). Here, when the number of touches (count value n) is not 2 or more (count value n = 0 or 1), sub-process 2 of ST4 and sub-process 3 of ST5 are skipped and the process shifts to the process of ST6 ), And when the number of contacts (count value n) is two or more, the process shifts to sub-process 2 in Fig. 11 (Yes in ST3, ST4).

도 11의 서브 처리 2에서는, n번째의 접촉에 의한 센서 신호 S의 상승부터 n+1회째의 접촉에 의한 센서 신호 S의 상승까지의 간격을 충격 간격 ΔG로서 측정함과 함께, 이 충격 간격 ΔG와 상기 ST2의 접촉 시간 ΔT로부터 충격 비율 ΔT/ΔG를 산출한다(ST401). 그리고, 이와 같은 산출이 완료되면, 충격 간격 ΔG에 대해서 레벨 특정을 행한다. 이 레벨 특정에 의해, 충격 간격 ΔG가 도 8에 나타낸 레벨(Level 1부터 Level 8) 중의 어느 레벨에 해당하는지, 그 충격 간격 ΔG의 레벨이 특정된다(ST402). 11, the interval from the rise of the sensor signal S by the n-th contact to the rise of the sensor signal S by the (n + 1) th contact is measured as the impact gap? G, And the contact time DELTA T of ST2 (ST401). Then, when such calculation is completed, the level of the impact interval? G is specified. By this level specification, the level of the impact interval? G is specified (ST402) as to which level of the impact interval? G corresponds to the level (Level 1 to Level 8) shown in FIG.

다음에, 이 도 11의 서브 처리 2에서는, 플래그 리셋 처리로서 제2 메인터넌스 플래그를 No로 설정하고(ST403), 제2 메인터넌스 판정 처리로서, 상기 ST402에 있어서 특정한 충격 간격 ΔG의 레벨에서 알람을 발생시키는 등의 조치를 취할 필요가 있는지 등, 메인터넌스 정보를 출력할 필요성이 있는지 아닌지를 판정하고(ST404), 그 필요성이 있는 경우는 상기 제2 메인터넌스 플래그를 Yes로 설정하고(ST404의 Yes, ST405) 도 9의 메인 처리로 돌아오지만, 그 필요성이 없는 경우는 ST405의 처리를 스킵하고 도 9의 메인 처리로 돌아온다(ST404의 NO). 이상과 같이 하여 서브 처리 2로부터 메인 처리로 돌아오면, 메인 처리로부터 도 12의 서브 처리 3으로 이행한다(ST5). Next, in sub-process 2 of FIG. 11, the second maintenance flag is set to "No" as the flag reset process (ST403), and as the second maintenance determination process, an alarm is generated at the level of the specific impact interval? (ST404). If it is necessary, the second maintenance flag is set to "Yes" (Yes in ST404, ST405). If it is necessary to output the maintenance information, The process returns to the main process of FIG. 9, but if there is no necessity, the process of ST405 is skipped and the process returns to the main process of FIG. 9 (NO in ST404). After returning from the sub-process 2 to the main process as described above, the main process shifts to the sub-process 3 of FIG. 12 (ST5).

도 12의 서브 처리 3에서는, ST201에서 측정한 접촉 시간 ΔT와 ST401에서 측정한 충격 간격 ΔG로부터 충격 비율 ΔT/ΔG를 산출한다(ST501). 그리고, 이와 같은 산출이 완료되면, 충격 비율 ΔT/ΔG에 대해서 레벨 특정을 행한다. 이 레벨 특정에 의해, 충격 간격 ΔG가 도 8에 나타낸 레벨(Level 1부터 Level 8) 중의 어느 레벨에 해당하는지, 그 충격 비율 ΔT/ΔG의 레벨이 특정된다(ST502). 12, the impact ratio? T /? G is calculated from the contact time? T measured in ST201 and the impact interval? G measured in ST401 (ST501). Then, when such calculation is completed, the level of the impact ratio? T /? G is specified. With this level specification, the level of the impact ratio DELTA T / DELTA G is specified (ST502) as to which level of the impact interval? G corresponds to the level (Level 1 to Level 8) shown in FIG.

다음에, 이 도 12의 서브 처리 3에서는, 플래그 리셋 처리로서 제3 메인터넌스 플래그를 No로 설정하고(ST503), 제3 메인터넌스 판정 처리로서, 상기 ST502에 있어서 특정한 충격 비율 ΔT/ΔG의 레벨에서 알람을 발생시키는 등의 조치를 취할 필요가 있는지 등, 메인터넌스 정보를 출력할 필요성이 있는지 아닌지를 판정하고(ST504), 그 필요성이 있는 경우는 상기 제3 메인터넌스 플래그를 Yes로 설정하고(ST504의 Yes, ST505) 도 9의 메인 처리로 돌아오지만, 그 필요가 없는 경우는 ST505의 처리를 스킵하고 도 9의 메인 처리로 돌아온다(ST504의 NO). Next, in the sub-process 3 of FIG. 12, the third maintenance flag is set to "No" as the flag reset process (ST503), and as the third maintenance determination process, an alarm (ST504). If it is necessary, the third maintenance flag is set to " Yes " (Yes in ST504, 9). If there is no need to do so, the process of ST505 is skipped and the process returns to the main process of FIG. 9 (NO in ST504).

이상과 같이 하여 서브 처리 3으로부터 메인 처리로 돌아오면, 메인 처리에서는, 메인터넌스 종합 판정 처리를 행한다. 이 메인터넌스 종합 판정 처리는, 상기 제1부터 제3 메인터넌스 플래그를 참조하여, 적어도 어느 하나의 메인터넌스 플래그가 Yes인 경우에는 진공 펌프 P의 메인터넌스를 행할 필요가 있는 것으로 판정하는 등, 제1부터 제3 메인터넌스 플래그의 내용(Yes나 No)에 의거하여 진공 펌프 P의 메인터넌스의 필요성을 판정한다(ST6). 여기서, 메인터넌스의 필요성이 있다고 판정한 경우는 진공 펌프 P의 정지 처리를 행하지만(ST6의 Yes, ST7), 그 필요성은 없다고 판정한 경우는 ST6의 처리를 스킵하고 ST1의 처리로 돌아온다. When the sub-process 3 returns from the sub-process 3 to the main process as described above, the main- tenance synthesis determination process is performed in the main process. The maintenance comprehensive judgment processing refers to the first to third maintenance flags and judges that it is necessary to perform maintenance of the vacuum pump P when at least one of the maintenance flags is Yes, The necessity of maintenance of the vacuum pump P is determined based on the contents of the maintenance flag (Yes or No) (ST6). Here, if it is determined that there is a need for maintenance, the stopping process of the vacuum pump P is performed (Yes in ST6, ST7). However, if it is determined that there is no necessity, the process in ST6 is skipped and the process returns to ST1.

상기 ST6에서의 메인터넌스 종합 판정 처리에 대해서는, 그 일실시 형태로서, ST202에서 특정한 접촉 시간 ΔT, ST402에서 특정한 충격 간격 ΔG, 및, ST502에서 특정한 충격 비율 ΔT/ΔG의 전부가 각각의 소정의 레벨을 넘고 있는, 즉, 각각의 소정의 레벨에 대응하는 역치를 넘고 있음으로써, 제1부터 제3 메인터넌스 플래그가 전부 Yes로 설정되어 있기 때문에, 진공 펌프 P의 메인터넌스의 필요성이 있는 것으로 판정해도 된다. 또, 이것과는 다른 실시 형태로서, 상기 접촉 시간 ΔT, 상기 충격 간격 ΔG, 또는 상기 충격 비율 ΔT/ΔG 중 어느 1개 또는 2개가 각각의 소정의 레벨을 넘고 있는, 즉, 각각의 소정의 레벨에 대응하는 역치를 넘고 있음으로써, 어느 1개 또는 2개의 메인터넌스 플래그가 Yes로 설정되어 있기 때문에, 진공 펌프 P의 메인터넌스의 필요성이 있는 것으로 판정해도 된다. As one embodiment of the maintenance synthesis determination process in ST6, all of the contact time ΔT specified in ST202, the impact interval ΔG specified in ST402, and the impact ratio ΔT / ΔG specified in ST502 are set to respective predetermined levels It is determined that maintenance of the vacuum pump P is necessary because the first to third maintenance flags are all set to Yes by exceeding the threshold corresponding to each predetermined level. As another embodiment, it is also possible that any one or two of the contact time DELTA T, the impact distance DELTA G, or the impact ratio DELTA T / DELTA G exceeds a predetermined level, that is, It is determined that maintenance of the vacuum pump P is necessary because one or two maintenance flags are set to " Yes ".

이상 설명한 실시 형태의 메인터넌스 예측 장치(1)에서는, 진공 펌프 P에서 발생한 충격을 센서 신호 S로서 출력하고, 이 센서 신호 S로부터 얻어지는 정보, 구체적으로는, 회전체와 진공 펌프내 퇴적물의 접촉 시간, 충격 간격, 또는 충격 비율과 각각의 역치의 비교 결과에 의거하여 진공 펌프 P의 메인터넌스 정보를 출력하도록 구성했기 때문에, 회전체 R의 축변위를 카운트하여 경보를 발하는 종래 방식과 같은 카운트 미스에 의한 오보가 생기지 않고, 진공 펌프 P의 메인터넌스의 필요성을 고정밀도로 알릴 수 있다. In the maintenance prediction apparatus 1 of the embodiment described above, the impact generated in the vacuum pump P is output as the sensor signal S, and the information obtained from the sensor signal S, specifically, the contact time between the rotating body and the deposit in the vacuum pump, The maintenance information of the vacuum pump P is outputted on the basis of the result of the comparison of the impact distance or the impact ratio and the respective threshold values. Therefore, the misalignment due to the count mistake And the necessity of maintenance of the vacuum pump P can be notified with high accuracy.

본 발명은, 이상 설명한 실시 형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에 있어서 통상의 지식을 가지는 사람에 의해 다양한 변형이 가능하다. The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the technical scope of the present invention by a person having ordinary skill in the art.

1 메인터넌스 예측 장치 2 센서부
3 신호 처리부 300 마이크로 컴퓨터
301 CPU 302 기억 수단
303 입력부 304 표시기
305 스피커 P 진공 펌프
S 센서 신호1 Maintenance prediction device 2 Sensor part
3 signal processor 300 microcomputer
301 CPU 302 Storage means
303 input unit 304 indicator
305 speaker P vacuum pump
S sensor signal

Claims (7)

피(被)메인터넌스 장치에서 발생한 충격을 센서 신호로서 출력하는 센서부와, 상기 센서 신호를 처리하는 신호 처리부를 구비하고, 상기 신호 처리부는, 상기 센서 신호의 상승부터 하강까지의 간격을 접촉 시간으로서 측정하거나, 혹은, n회째의 충격에 의한 상기 센서 신호의 상승부터 n+1회째의 충격에 의한 상기 센서 신호의 상승까지의 간격을 충격 간격으로서 측정하거나, 혹은, 상기 충격 간격에 대한 상기 접촉 시간의 비율을 충격 비율로서 산출하는 측정 산출 처리와, 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 역치를 구비함과 함께, 그 역치와 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값의 비교 결과에 의거하여 상기 피메인터넌스 장치의 메인터넌스 정보를 출력하는 메인터넌스 예측 처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 메인터넌스 예측 장치.And a signal processing unit for processing the sensor signal, wherein the signal processing unit sets the interval from the rising to the falling of the sensor signal as the contact time Or the interval from the rise of the sensor signal due to the n-th impact to the rise of the sensor signal due to the (n + 1) th impact is measured as an impact interval, or the contact time And a value of the impact ratio, or the value of the impact ratio, or the value of the impact ratio, as the impact ratio, And a maintenance prediction process for outputting the maintenance information of the maintenance target apparatus based on a result of the comparison Predictive maintenance device. 청구항 1에 있어서,
상기 메인터넌스 예측 처리는, 메인터넌스의 필요 정도를 레벨 분류하여, 상기 역치를 그 레벨에 대응시켜 구비함과 함께, 그 레벨 마다, 그 레벨에 대응하는 역치와 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값을 비교한 결과, 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율 중 적어도 어느 하나의 값이 상기 역치를 초과한 경우에, 상기 메인터넌스 정보의 출력으로서, 알람을 발생시키거나, 또는, 표시기로 표시하는 것을 특징으로 하는 메인터넌스 예측 장치.The method according to claim 1,
Wherein the maintenance prediction processing includes a step of leveling the degree of maintenance required and associating the threshold value with the level, and calculating, for each level, a threshold value corresponding to the level and the contact time, An alarm is generated as an output of the maintenance information when at least one of the contact time, the impact distance, and the impact ratio exceeds a threshold value as a result of comparison of the ratio values, And displays the maintenance prediction result on a display device. 청구항 1에 있어서,
상기 메인터넌스 예측 처리는, 상기 역치와 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값을 비교한 결과, 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율 중 적어도 어느 하나의 값이 상기 역치를 초과한 경우에, 메인터넌스 정보의 출력으로서, 알람을 발생시키거나, 또는, 표시기로 표시하는 것을 특징으로 하는 메인터넌스 예측 장치.The method according to claim 1,
Wherein the maintenance prediction processing is performed such that at least any one of the contact time, the impact interval, and the impact ratio as a result of comparing the threshold value, the contact time, the impact interval, The alarm is generated as the output of the maintenance information or is displayed by a display device. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 역치는 상기 접촉 시간, 상기 충격 간격, 또는 상기 충격 비율의 값의 변화율인 것을 특징으로 하는 메인터넌스 예측 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the threshold value is a change rate of the contact time, the impact interval, or the value of the impact ratio. 회전체의 회전에 의해 가스를 배기하는 진공 펌프에 이용하는 메인터넌스 예측 장치로서, 상기 진공 펌프에서 발생한 충격을 센서 신호로서 출력하는 센서부와, 상기 센서 신호를 처리하는 신호 처리부를 구비하고, 상기 신호 처리부는, 상기 센서 신호에 대해, 적어도 2개의 충격 판단용 역치를 구비하고, 상기 충격 판단용 역치와 상기 센서 신호를 비교함으로써, 상기 충격이 상기 회전체와 상기 진공 펌프 내의 퇴적물의 접촉에 의해 발생한 것인지 어떤지를 판별하는 기능을 구비하는 것을 특징으로 하는 메인터넌스 예측 장치.A maintenance prediction apparatus for use in a vacuum pump for evacuating a gas by rotation of a rotating body, comprising: a sensor unit for outputting a shock generated by the vacuum pump as a sensor signal; and a signal processing unit for processing the sensor signal, Judges whether or not the shock is caused by the contact between the rotary body and the deposit in the vacuum pump, by comparing the sensor signal with the threshold value for shock determination, And a function of judging whether or not the vehicle is in a running state. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 신호 처리부는, 상기 센서 신호에 대해, 적어도 2개의 충격 판단용 역치를 구비하고, 상기 충격 판단용 역치와 상기 센서 신호를 비교함으로써, 상기 충격이 상기 측정 산출 처리에서 취급하는 충격인지 어떤지를 판별하는 기능을 구비하는 것을 특징으로 하는 메인터넌스 예측 장치.The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the signal processing unit has at least two shock determination thresholds for the sensor signal and compares the sensor signal with the shock determination threshold value to determine whether or not the impact is an impact to be handled in the measurement calculation process And a function of estimating the maintenance of the vehicle. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 메인터넌스 예측 장치를 구비한 진공 펌프.A vacuum pump comprising the maintenance prediction device according to any one of claims 1 to 6.
KR1020157027986A 2013-05-31 2014-03-07 Maintenance prediction device and prediction method therefor KR20160013844A (en)

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