KR20150140890A - 전자부품 테스트장치 및 전자부품 테스트 핸들러 - Google Patents

전자부품 테스트장치 및 전자부품 테스트 핸들러 Download PDF

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KR20150140890A
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Abstract

본 발명은 전자부품에 대한 내부검사를 수행하기 위해 전자부품에 전압이 인가됨에 따른 정전용량을 측정하는 제1측정부, 상기 제1측정부가 회전 가능하게 결합되는 결합부, 및 상기 제1측정부가 제1방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 제1테스트모드 및 상기 제1측정부가 상기 제1방향과 상이한 제2방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 제2테스트모드 간에 전환되도록 상기 제1측정부를 회전시키는 테스트모드전환부를 포함하는 전자부품 테스트장치 및 전자부품 테스트 핸들러에 관한 것이다.

Description

전자부품 테스트장치 및 전자부품 테스트 핸들러{Apparatus for Testing Electronic Component and Test Handler for Electronic Component}
본 발명은 전자부품을 테스트하기 위한 전자부품 테스트장치 및 전자부품 테스트 핸들러에 관한 것이다.
메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자, CPU(Central Processing Unit) 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 예컨대, 전자부품은 번인 소팅 핸들러, 테스트 핸들러 등과 같은 핸들러장비를 통해 테스트 공정을 거쳐 등급별로 분류되는 등 여러 가지 공정을 거치게 된다.
상기 테스트 핸들러는 전자부품에 대한 로딩공정, 테스트공정, 및 언로딩공정을 수행한다. 상기 로딩공정은 테스트 핸들러가 고객트레이(User Tray)에서 테스트 트레이(Test Tray)로 전자부품을 로딩하는 공정이다. 상기 테스트공정은 테스트 핸들러가 테스트 트레이에 수납된 전자부품을 테스트장비에 접속시키는 공정이다. 상기 테스트장비는 전자부품에 대해 소정의 테스트를 수행한다. 상기 언로딩공정은 테스트 핸들러가 테스트 트레이에서 고객트레이로 전자부품을 언로딩하는 공정이다. 이 경우, 테스트 핸들러는 전자부품을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류한다.
상기 핸들러장비가 번인 소팅 핸들러인 경우, 상기 번인 소팅 핸들러는 테스트 트레이를 대신하여 번인보드(Burn-in Board)를 이용함으로써, 상기 로딩공정, 상기 테스트공정 및 상기 언로딩공정을 수행한다.
여기서, 전자부품은 전기적 동작 검사뿐만 아니라, 내부검사 등을 거치게 된다. 종래에는 전자부품에 대한 내부검사가 X선 검사기를 이용하여 수행되었다. X선 검사기가 전자부품의 내부, 예를 들어 회로 패턴을 촬영하면, 검사자가 회로 패턴의 촬영 이미지에 대해 육안 검사를 통해 회로 패턴의 불량 여부를 판단하는 방식으로 전자부품에 대한 내부검사가 수행되었다.
그러나, 종래와 같이 X선 검사기를 이용한 방식은 검사자의 육안 검사를 필요로 하므로, 검사자의 경험 등에 따라 전자부품에 대한 내부검사의 정확성이 저하될 뿐만 아니라 전자부품에 대한 내부검사를 수행하는데 걸리는 시간이 증가하는 문제가 있다. 또한, 전자부품이 MCP(Multi-Chip Package) 기술에 의해 복수개의 칩을 하나의 패키지에 쌓아 올린 복층 구조로 이루어진 것인 경우, X선 검사기를 이용하여서는 내부검사가 불가능한 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 전자부품에 대한 내부검사의 정확성을 향상시킬 수 있는 전자부품 테스트장치 및 전자부품 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.
본 발명은 다양한 구조로 제조되는 전자부품에 대해 내부검사를 수행할 수 있는 전자부품 테스트장치 및 전자부품 테스트 핸들러를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 테스트장치는 전자부품에 대한 내부검사를 수행하기 위해 전자부품에 전압이 인가됨에 따른 정전용량을 측정하는 제1측정부; 상기 제1측정부가 회전 가능하게 결합되는 결합부; 및 상기 결합부에 결합되고, 상기 제1측정부가 제1방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 제1테스트모드 및 상기 제1측정부가 상기 제1방향과 상이한 제2방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 제2테스트모드 간에 전환되도록 상기 제1측정부를 회전시키는 테스트모드전환부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러는 테스트될 전자부품을 트레이로 로딩하는 로딩공정을 수행하는 로딩부; 테스트된 전자부품을 트레이로부터 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 언로딩부; 전자부품에 대한 내부검사를 수행하는 전자부품 테스트장치; 및 상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 이루어지는 교환위치 및 상기 내부검사가 이루어지는 테스트위치 간에 트레이를 순환하여 이동시키는 이송부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 전자부품에 대한 내부검사의 정확성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 전자부품에 대한 내부검사를 수행하는 걸리는 시간을 단축함으로써 전자부품에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.
본 발명은 다양한 구조로 제조되는 전자부품에 대해 내부검사를 수행할 수 있도록 구현됨으로써, 다양한 전자부품에 대해 적용 가능한 범용성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치의 개략적인 사시도
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치가 전자부품에 대한 내부검사를 수행하는 과정을 나타낸 개략적인 측단면도
도 4는 테스트모드전환부를 설명하기 위한 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치의 개략적인 사시도
도 4 내지 도 8은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 장치가 테스트모드를 전환하는 동작을 설명하기 위한 개념적인 평면도
도 9는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 개략적인 평면도
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 로딩부가 로딩공정을 수행하는 과정을 나타낸 개략적인 측면도
도 12는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러가 트레이를 이동시키는 과정을 설명하기 위한 개념도
도 13은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 이송부의 개략적인 평면도
도 14는 제1결합기구에 제1트레이가 분리 가능하게 결합되는 구조를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 15는 제2결합기구에 제2트레이가 분리 가능하게 결합되는 구조를 설명하기 위한 개략적인 사시도
도 16은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 제1이동부의 개략적인 사시도
도 17은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 제2이동부의 개략적인 사시도
도 18 내지 도 21은 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 이송부가 제1트레이와 제2트레이를 이동시키는 과정을 설명하기 위한 개념도
도 22는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러에 있어서 이송부의 개략적인 정면도
이하에서는 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1을 참고하면, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 전자부품(400, 도 2에 도시됨)에 대한 내부검사를 수행하기 위한 것이다. 전자부품은 메모리 반도체 소자, 비메모리 반도체 소자, CPU 등일 수 있다. 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 전자부품(400)에 전압이 인가됨에 따른 정전용량을 측정하는 제1측정부(310), 상기 제1측정부(310)가 회전 가능하게 결합되는 결합부(320), 및 상기 제1측정부(320)를 회전시키는 테스트모드전환부(330)를 포함한다.
도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 제1측정부(310)는 전자부품(400)에 전압이 인가됨에 따른 정전용량을 측정함으로써, 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 검사자의 육안 검사 없이도 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 전자부품(400)에 대한 내부검사의 정확성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 MCP 기술에 의해 복수개의 칩을 하나의 패키지에 쌓아 올린 복층 구조로 이루어진 전자부품(400) 등을 포함하여 다양한 구조로 제조되는 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행할 수 있다. 전자부품(400)에 인가되는 전압은 테스트장비(T, 도 2에 도시됨)로부터 제공될 수 있다. 테스트장치(T)는 전자부품(400)에 접속된 상태에서 전자부품(400)에 내부검사를 위한 전압을 인가한다. 전자부품(400)은 트레이(200, 도 2에 도시됨)에 수납된 상태에서 내부검사가 수행될 수 있다. 상기 트레이(200)는 전자부품을 수납하기 위한 것으로, 테스트 트레이 또는 번인보드일 수 있다.
상기 제1측정부(310)는 제1프로브(311, 도 2에 도시됨), 및 제1측정본체(312, 도 2에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1프로브(311)는 상기 제1측정본체(312)에 결합된다. 상기 제1프로브(311)는 전자부품(400)의 상면에 접촉된 상태에서 전자부품(400)에 전압이 인가됨에 따른 정전용량을 측정한다. 상기 제1측정본체(312)에는 상기 제1프로브(311)가 복수개 결합될 수 있다. 상기 제1프로브(311)들은 서로 이격되게 상기 제1측정본체(312)에 결합된다.
상기 제1측정본체(312)는 상기 결합부(320)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1측정본체(312)는 상기 테스트모드전환부(33)에 의해 회전된다. 상기 제1측정본체(312)가 회전함에 따라, 상기 제1프로브(311)는 전자부품(400)에 접촉되는 위치가 변경된다. 상기 제1측정부(310)가 상기 제1프로브(311)를 복수개 포함하는 경우, 상기 제1프로브(311)들은 상기 제1측정본체(312)가 회전함에 따라 전자부품(400)에 대한 상대적인 방향이 변경된다.
상기 제1측정부(310)는 제1가압핀(313, 도 2에 도시됨)을 포함할 수 있다.
상기 제1가압핀(313)은 전자부품(400)이 갖는 리드(410)를 가압한다. 이에 따라, 상기 제1가압핀(313)은 상기 리드(410)를 상기 테스트장비(T)에 접속시킨다. 상기 제1측정부(310)는 상기 제1가압핀(313)을 복수개 포함할 수 있다. 상기 제1가압핀(313)들은 상기 제1프로브(311)의 외측에 위치되게 상기 제1측정본체(312)에 결합된다. 즉, 상기 제1프로브(311)는 상기 제1가압핀(313)들의 내측에 위치한다.
상기 제1가압핀(313)는 도 2에 도시된 바와 같이 전자부품(400)의 상측에 위치된 상태에서, 도 3에 도시된 바와 같이 상기 결합부(320)가 하강함에 따라 하강하여 전자부품(400)의 리드(410)를 가압한다. 이에 따라, 전자부품(400)은 상기 테스트장비(T)에 접속된다. 상기 제1프로브(311)는 상기 결합부(320)가 하강함에 따라 하강하여 전자부품(400)의 상면에 접촉된다. 이 상태에서 상기 테스트장비(T)가 전자부품(400)에 전압을 인가하면, 상기 제1프로브(311)는 전자부품(400)에 대한 정전용량을 측정한다. 상기 제1프로브(311)는 측정한 정전용량을 검사기구(500)에 제공한다. 상기 제1프로브(311)는 유선통신 및 무선통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 측정한 정전용량을 상기 검사기구(500)에 제공할 수 있다.
상기 검사기구(500)는 상기 제1프로브(311)가 측정한 정전용량을 기준정전용량과 비교함으로써, 전자부품(400)에 내부 결함이 있는지 여부를 판단한다. 기준정전용량은 전자부품(400)의 리드(410)가 리드 프레임에 솔더링된 부위 중에서 개방(Open)된 부위가 없는 정상적인 경우에 해당하는 값으로, 사용자에 의해 미리 설정될 수 있다. 예컨대, 상기 검사기구(500)는 기설정된 테스트시간 동안 상기 제1프로브(311)가 측정한 정전용량을 전압값으로 변환하고, 시간에 따라 변화되는 전압값이 기준전압범위를 벗어나면 전자부품(400)에 내부 결합이 있는 것으로 판단할 수 있다. 테스트시간 및 기준전압범위는 사용자에 의해 미리 설정될 수 있다. 상기 검사기구(500)는 유선통신 및 무선통신 중에서 적어도 하나를 이용하여 상기 테스트장비(T)에 전자부품(400)에 인가하는 전압에 대한 구동신호를 제공할 수 있다. 상기 테스트장비(T)가 내부검사 이외에 전자부품(400)에 대한 전기적 특성을 테스트하는 경우, 상기 검사기구(500)는 내부검사에 추가로 상기 테스트장비(T)로부터 전기적 특성에 대한 테스트 결과를 수신하여 전자부품(400)이 정상적으로 작동하는지 여부를 판단할 수도 있다. 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 상기 검사기구(500)와 별개의 장치로 구현될 수 있다. 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 상기 검사기구(500)를 포함하여 구현될 수도 있다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 제1측정부(310)는 제1돌출기구(314, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1돌출기구(314)는 일측이 상기 제1측정본체(312)에 결합된다. 상기 제1돌출기구(314)는 상기 제1측정본체(312)의 회전축으로부터 이격되게 상기 제1측정본체(312)로부터 돌출되게 형성된다. 상기 제1돌출기구(314)는 타측이 상기 테스트모드전환부(330)에 결합된다. 이에 따라, 상기 테스트모드전환부(330)가 상기 제1돌출기구(314)를 이동시키면, 상기 제1측정본체(312)는 회전축을 중심으로 회전하게 된다.
도 1 내지 도 5를 참고하면, 상기 결합부(320)는 상기 제1측정부(310) 및 상기 테스트모드전환부(330)를 지지한다. 상기 제1측정부(310)는 상기 결합부(320)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1측정부(310)는 상기 제1프로브(311)가 결합된 제측정본체(312)의 일측이 상기 결합부(320)의 하측에 위치되게 상기 결합부(320)에 결합된다. 상기 테스트모드전환부(330)는 상기 제1측정부(310)에 결합되도록 상기 결합부(320)에 결합된다. 상기 테스트모드전환부(330)는 상기 측정본체(312)의 타측에 결합된다. 상기 결합부(320)는 상기 제1측정부(310)가 복수개 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1측정부(310)들은 서로 소정 거리 이격되게 상기 결합부(320)에 결합된다.
상기 결합부(320)는 상기 제1측정부(310)가 전자부품(400)에 접촉되도록 상기 제1측정부(310)를 하강시킨다. 상기 결합부(320)는 상기 제1측정부(310)가 전자부품(400)으로부터 이격되도록 상기 제1측정부(310)를 상승시킨다. 이 경우, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 구동부(340)를 포함할 수 있다. 상기 구동부(340)는 상기 결합부(320)를 승강시킴으로써, 상기 제1측정부(310)를 승강시킨다. 상기 구동부(340)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류(Ball Screw)와 볼너트(Ball Nut) 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 결합부(320)를 승강시킬 수 있다.
도 1 내지 도 8을 참고하면, 상기 테스트모드전환부(330)는 상기 결합부(320)에 결합된다. 상기 테스트모드전환부(330)는 상기 제1측정부(310)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 테스트모드전환부(330)는 전자부품(400)에 대한 테스트모드를 제1테스트모드 및 제2테스트모드 간에 전환할 수 있다. 상기 제1테스트모드는 상기 제1측정부(310)가 제1방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 테스트모드이다. 예컨대, 상기 제1테스트모드는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1측정부(310)가 상기 제1방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 테스트모드일 수 있다. 상기 제2테스트모드는 상기 제1측정부(310)가 제2방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 테스트모드이다. 상기 제2방향 및 상기 제1방향은 서로 상이한 방향이다. 예컨대, 상기 제2테스트모드는 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제1측정부(310)가 상기 제1방향에 대해 수직한 제2방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 테스트모드일 수 있다. 상기 제1측정부(310)가 상기 제2방향 및 상기 제1방향 간에 회전함에 따라 상기 제1프로브(311)가 전자부품(400)에 접촉되는 위치가 변경된다.
따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 전자부품(400)에 대한 내부검사를 상기 제1테스트모드 및 상기 제2테스트모드 간에 전환하여 수행할 수 있도록 구현됨으로써, 전자부품(400)에 대한 내부검사의 정확성을 더 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 상기 제1테스트모드로 테스트한 결과, 불량으로 판별된 전자부품(400)을 상기 제2테스트모드로 테스트할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 양품임에도 불량으로 판별된 전자부품(400)이 한 번의 테스트로 불량으로 판단됨에 따라 손실되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 상기 제1테스트모드로 테스트한 결과, 양품으로 판별된 전자부품(400)을 상기 제2테스트모드로 테스트할 수도 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 상기 제1테스트모드 및 상기 제2테스트모드 모두에서 양품으로 판단된 전자부품만을 양품으로 판별함으로써, 우수한 품질을 갖는 전자부품(400)만이 출하되도록 구현될 수 있다. 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 모든 전자부품(400)을 상기 제1테스트모드 및 상기 제2테스트모드를 번갈아서 테스트하도록 구현될 수도 있다.
도 1 내지 도 8을 참고하면, 상기 테스트모드전환부(330)는 제1연결기구(331, 도 4에 도시됨), 및 제1전환기구(332, 도 1에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1연결기구(331)는 상기 제1측정부(310)에 연결된다. 상기 제1연결기구(331)는 상기 제1돌출기구(314)에 결합됨으로써, 상기 제1측정본체(312)에 연결될 수 있다. 상기 제1연결기구(331)는 상기 결합부(320)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 결합부(320)에 상기 제1측정부(310)가 복수개 결합되는 경우, 상기 제1연결기구(331)는 상기 제1측정부(310)들이 갖는 제1돌출기구(314)들에 결합될 수 있다.
상기 제1전환기구(332)는 상기 제1연결기구(331)를 이동시킨다. 상기 제1연결기구(331)가 이동함에 따라, 상기 제1측정본체(312)가 회전한다. 이에 따라, 상기 제1측정부(310)는 상기 제1테스트모드 및 상기 제2테스트모드 간에 전환될 수 있다. 상기 제1전환기구(332)가 상기 제1연결기구(331)를 이동시키면, 상기 제1측정본체(312)는 상기 제1돌출기구(314)가 회전함에 따라 회전할 수 있다. 상기 결합부(320)에 상기 제1측정부(310)가 복수개 결합되는 경우, 상기 제1전환기구(332)는 상기 제1연결기구(331)를 이동시킴으로써 상기 제1측정부(310)들을 동시에 회전시킬 수 있다.
예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 제1전환기구(332)가 상기 제1연결기구(331)를 우측으로 이동시키면, 상기 제1돌출기구(314)가 시계방향으로 회전함에 따라 상기 제1측정본체(312)가 시계방향으로 회전한다. 이에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1측정부(310)들은 시계방향으로 회전하여 제1테스트모드로 전자부품(400)을 테스트할 수 있게 된다. 이 경우, 상기 제1프로브(311)들은 좌우로 이격되는 제1방향을 향하게 된다.
예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 제1전환기구(332)가 상기 제1연결기구(331)를 좌측으로 이동시키면, 상기 제1돌출기구(314)가 반시계방향으로 회전함에 따라 상기 제1측정본체(312)가 반시계방향으로 회전한다. 이에 따라, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 제1측정부(310)들은 반시계방향으로 회전하여 제2테스트모드로 전자부품(400)을 테스트할 수 있게 된다. 이 경우, 상기 제1프로브(311)들은 상하로 이격되는 제2방향을 향하게 된다.
이와 같이, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 상기 제1테스트모드 및 상기 제2테스트모드 간에 테스트모드가 전환되는 과정에서 상기 제1측정부(310)들이 상기 제1연결기구(331)를 통해 동일한 각도로 회전되도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 전자부품들이 모두 동일한 조건에서 내부검사가 수행되도록 구현됨으로써, 전자부품들에 대한 내부검사의 정확성을 더 향상시킬 수 있다.
상기 제1전환기구(332)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제1연결기구(331)를 이동시킬 수 있다.
도 1 내지 도 8을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 제2측정부(350, 도 1에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2측정부(350)는 상기 제1측정부(310)로부터 이격되게 상기 결합부(320)에 결합된다. 본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 상기 제2측정부(350) 및 상기 제1측정부(310)를 각각 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 제2측정부(350)들 및 상기 제1측정부(310)들은 행렬(Matrix)을 이루도록 상기 결합부(320)에 결합될 수 있다. 상기 제2측정부(350)는 제2프로브, 제2측정본체, 제2가압핀, 및 제2돌출기구를 포함할 수 있다. 상기 제2프로브, 상기 제2측정본체, 상기 제2가압핀, 및 상기 제2돌출기구는 각각 상기 제1프로브(311), 상기 제1측정본체(312), 상기 제1가압핀(313), 및 상기 제1돌출기구(314)와 동일하게 구성되므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
본 발명의 변형된 실시예에 따른 전자부품 테스트장치(300)가 상기 제2측정부(350)를 포함하는 경우, 상기 테스트모드전환부(330)는 제2전환기구(333, 도 1에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2전환기구(333)는 상기 제2측정부(350)가 상기 제1테스트모드 및 상기 제2테스트모드 간에 전환되도록 상기 제2측정부(350)를 회전시킬 수 있다. 상기 제2전환기구(333)는 상기 제1전환기구(332)로부터 소정 거리 이격되게 상기 결합부(320)에 결합된다. 상기 제2전환기구(333)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제2측정부(350)를 회전시킬 수 있다.
상기 테스트모드전환부(330)는 제2연결기구(334, 도 4에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2연결기구(334)는 상기 제2측정부(350)에 연결된다. 상기 제2연결기구(334)는 상기 제2돌출기구에 결합됨으로써, 상기 제2측정본체에 연결될 수 있다. 상기 제2연결기구(334)는 상기 결합부(320)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 결합부(320)에 상기 제2측정부(350)가 복수개 결합되는 경우, 상기 제2연결기구(334)는 상기 제2측정부(350)들이 갖는 제2돌출기구들에 결합될 수 있다.
상기 제2전환기구(333)는 상기 제2연결기구(334)를 이동시킨다. 상기 제2연결기구(334)가 이동함에 따라, 상기 제2측정본체가 회전한다. 이에 따라, 상기 제2측정부(350)는 상기 제1테스트모드 및 상기 제2테스트모드 간에 전환될 수 있다. 상기 제2전환기구(333)가 상기 제2연결기구(334)를 이동시키면, 상기 제2측정본체는 상기 제2돌출기구가 회전함에 따라 회전할 수 있다. 상기 결합부(320)에 상기 제2측정부(350)가 복수개 결합되는 경우, 상기 제2전환기구(333)는 상기 제2연결기구(334)를 이동시킴으로써 상기 제2측정부(350)들을 동시에 회전시킬 수 있다.
예컨대, 상기 제2전환기구(333)가 상기 제2연결기구(334)를 우측으로 이동시키면, 상기 제2돌출기구가 시계방향으로 회전함에 따라 상기 제2측정본체가 시계방향으로 회전한다. 이에 따라, 상기 제2측정부(350)들은 시계방향으로 회전하여 제1테스트모드로 전자부품(400)을 테스트할 수 있게 된다.
예컨대, 상기 제2전환기구(333)가 상기 제2연결기구(334)를 좌측으로 이동시키면, 상기 제2돌출기구가 반시계방향으로 회전함에 따라 상기 제2측정본체가 반시계방향으로 회전한다. 이에 따라, 상기 제2측정부(350)들은 반시계방향으로 회전하여 제2테스트모드로 전자부품(400)을 테스트할 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 상기 제1테스트모드 및 상기 제2테스트모드 간에 테스트모드가 전환되는 과정에서 상기 제2측정부(350)들이 상기 제2연결기구(334)를 통해 동일한 각도로 회전되도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트장치(300)는 전자부품들이 모두 동일한 조건에서 내부검사가 수행되도록 구현됨으로써, 전자부품들에 대한 내부검사의 정확성을 더 향상시킬 수 있다.
상기 제2전환기구(333) 및 상기 제1전환기구(332)는 각각 상기 제2측정부(350) 및 상기 제2측정부(310)를 개별적으로 회전시킨다. 예컨대, 상기 제2측정부(350)가 상기 제2전환기구(333)에 의해 회전되어 제1테스트모드로 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행하고, 상기 제1측정부(310)가 상기 제1전환기구(332)에 의해 회전되어 제2테스트모드로 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행할 수 있다. 예컨대, 상기 제2측정부(350)가 상기 제2전환기구(333)에 의해 회전되어 제2테스트모드로 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행하고, 상기 제1측정부(310)가 상기 제1전환기구(332)에 의해 회전되어 제1테스트모드로 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행할 수도 있다. 상기 제2측정부(350) 및 상기 제1측정부(310)는 동일한 테스트모드로 전자부품(400)에 대한 내부검사를 수행할 수도 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 로딩공정을 수행하는 로딩부(2), 언로딩공정을 수행하는 언로딩부(3), 테스트공정을 수행하는 전자부품 테스트장치(4), 및 트레이를 이동시키는 이송부(100)를 포함한다. 상기 로딩공정은 상기 트레이(200)에 전자부품을 로딩하는 공정이다. 상기 언로딩공정은 상기 트레이(200)로부터 전자부품을 언로딩하는 공정이다. 상기 테스트공정은 상기 트레이(200)에 수납된 전자부품에 대해 내부검사를 수행하는 공정이다. 상기 전자부품 테스트장치(4)는 상술한 바와 같으므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다. 상기 이송부(100)는 상기 트레이(200)를 교환위치(EP) 및 테스트위치(TP) 간에 이동시킨다. 상기 교환위치(EP)는 전자부품에 대해 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정이 수행되는 위치이다. 상기 테스트위치(TP)는 전자부품에 대해 상기 테스트공정이 수행되는 위치이다.
도 9 및 도 10을 참고하면, 상기 로딩부(2)는 테스트될 전자부품을 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에 수납시키는 로딩공정을 수행한다. 상기 로딩부(2)는 로딩스택커(21) 및 로딩픽커(22)를 포함할 수 있다.
상기 로딩스택커(21)는 테스트될 전자부품이 담겨진 고객트레이를 복수개 저장한다. 상기 로딩스택커(21)는 고객트레이들을 상기 로딩픽커(22)가 전자부품을 픽업할 수 있는 픽업위치로 순차적으로 이동시킨다.
상기 로딩픽커(22)는 상기 로딩스택커(21)에 위치한 고객트레이에서 전자부품을 픽업한 후에, 픽업한 전자부품을 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에 수납시킨다. 상기 로딩픽커(22)는 고객트레이로부터 한번에 복수개의 전자부품을 픽업한 후에, 한번에 복수개의 전자부품을 상기 트레이(200)에 수납시킬 수 있다.
상기 로딩픽커(22)는 갠트리(10)에 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 이 경우, 상기 이송부(100)는 상기 로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)를 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 제2축방향(Y축 방향)은 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 수직한 방향이다. 상기 로딩스택커(21)는 상기 로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 픽업위치에 위치한 고객트레이를 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다.
상기 로딩부(2)는 로딩버퍼(23, 도 10에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 로딩버퍼(23)는 테스트될 전자부품을 수납한다. 상기 로딩픽커(22)는 테스트될 전자부품을 상기 고객트레이에서 상기 로딩버퍼(23)로 이송한 후에 상기 로딩버퍼(23)에서 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)로 이송한다. 상기 로딩버퍼(23)는 제1로딩수납홈(231), 및 제2로딩수납홈(232)을 포함할 수 있다.
상기 제1로딩수납홈(231)은 상기 제2로딩수납홈(232)에 비해 큰 크기로 형성된다. 이에 따라, 상기 제1로딩수납홈(231)은 상기 제2로딩수납홈(232)에 수납되는 전자부품에 비해 큰 크기를 갖는 전자부품을 수납할 수 있다.
상기 제2로딩수납홈(232)은 상기 제1로딩수납홈(231)에 비해 작은 크기로 형성된다. 이에 따라, 상기 제2로딩수납홈(232)은 상기 제1로딩수납홈(231)에 수납되는 전자부품에 비해 작은 크기를 갖는 전자부품을 수납할 수 있다. 상기 제2로딩수납홈(232) 및 상기 제1로딩수납홈(231)은 서로 연결되게 형성된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 전자부품이 다른 크기를 갖는 것으로 변경되는 경우, 상기 제1로딩버퍼(23)를 교체하지 않고도 변경된 전자부품에 대해 로딩공정을 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 전자부품의 변경에 용이하게 대응할 수 있다.
도 11 및 도 12를 참고하면, 상기 로딩부(2)는 제1개폐기구(24)를 포함할 수 있다.
상기 제1개폐기구(24)는 상기 트레이(200)에서 전자부품을 고정하기 위한 고정기구(201)를 이동시킨다. 상기 트레이(200)가 캐리어모듈을 이용하여 전자부품을 수납하는 테스트 트레이인 경우, 상기 제1개폐기구(24)는 가압핀을 이용하여 상기 캐리어모듈이 갖는 고정기구(201)를 가압하여 이동시킬 수 있다. 상기 트레이(200)가 번인소켓을 이용하여 전자부품을 수납하는 번인보드인 경우, 상기 제1개폐기구(24)는 상기 번인소켓을 가압하여 상기 번인소켓이 갖는 고정기구(201)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1개폐기구(24)가 상기 고정기구(201)를 이동시켜서 상기 트레이(200)를 개방시킨 상태에서, 상기 로딩픽커(22)는 상기 트레이(200)에 전자부품을 수납시킬 수 있다. 상기 제1개폐기구(24)가 상기 트레이(200)로부터 이격되면, 상기 고정기구(201)는 복원력에 의해 이동되어서 상기 트레이(200)를 폐쇄시킬 수 있다.
상기 제1개폐기구(24)는 상기 교환위치(EP)의 상측에 위치되게 설치된다. 상기 제1개폐기구(24)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)의 상측에서 승강함으로써, 상기 고정기구(201)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1개폐기구(24)는 상기 로딩픽커(22)를 통과시키기 위한 통과공(241)을 포함한다. 상기 로딩픽커(22)는 상기 제1개폐기구(24)에 의해 고정기구(201)가 이동된 상태에서, 상기 통과공(241)을 통해 상기 제1개폐기구(24)를 통과하여 상기 트레이(200)에 전자부품을 수납시킬 수 있다. 상기 제1개폐기구(24)는 상기 통과공(241)을 복수개 포함할 수 있다.
도 11 및 도 12를 참고하면, 상기 로딩부(2)는 감지기구(25)를 포함할 수 있다.
상기 감지기구(25)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에 전자부품이 존재하는지 여부를 감지한다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 트레이(200)에 전자부품이 부족하게 수납된 상태로 상기 테스트위치(TP)로 이동하게 되는 것을 방지할 수 있다.
상기 감지기구(25)는 상기 교환위치(EP)의 하측에 위치되게 설치된다. 상기 감지기구(25)는 상기 교환위치(EP)의 하측에서 상측으로 감지광을 방출한 후에 감지광이 수신되는 광량에 따라 트레이(200)에 전자부품이 존재하는지 여부를 감지할 수 있다. 상기 감지기구(25)는 감지광을 방출한 후에 감지광이 전자부품에 반사되어 수광되면, 트레이(200)에 전자부품이 존재하는 것으로 판단한다. 상기 감지기구(25)는 감지광을 방출한 후에 감지광이 수광되지 않으면, 트레이(200)에 전자부품이 존재하지 않는 것으로 판단한다. 이 경우, 상기 트레이(200)는 감지광을 통과시키기 위한 감지공(202)을 포함한다. 상기 감지공(202)은 상기 트레이(200)의 밑면을 관통하여 형성된다. 상기 로딩부(2)는 상기 감지기구(25)를 복수개 포함할 수 있다.
도 9 내지 도 12를 참고하면, 상기 언로딩부(3)는 테스트된 전자부품을 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)로부터 분리하는 언로딩공정을 수행한다. 상기 언로딩부(3)는 언로딩스택커(31) 및 언로딩픽커(32)를 포함할 수 있다.
상기 언로딩스택커(31)는 테스트된 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 복수개 저장한다. 상기 언로딩스택커(31)는 고객트레이들을 상기 언로딩픽커(32)가 전자부품을 수납시킬 수 있는 수납위치로 순차적으로 이동시킨다.
상기 언로딩픽커(32)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에서 전자부품을 픽업한 후에, 상기 언로딩스택커(31)에 위치한 고객트레이에 수납시킨다. 이 경우, 상기 언로딩픽커(32)는 전자부품을 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 고객트레이에 수납시킬 수 있다. 이를 위해, 상기 언로딩부(3)는 상기 언로딩스택커(31)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 언로딩부(3)는 제1등급에 해당하는 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 저장하는 제1언로딩스택커(311), 불량에 해당하는 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 저장하는 제2언로딩스택커(312), 및 양풍이면서 제2등급 이하의 등급에 해당하는 전자부품이 담겨지는 고객트레이를 저장하는 제3언로딩스택커(313)를 포함할 수 있다. 상기 언로딩픽커(32)는 트레이(200)로부터 한번에 복수개의 전자부품을 픽업한 후에, 한번에 복수개의 전자부품을 고객트레이에 수납시킬 수도 있다.
상기 언로딩픽커(32)는 상기 갠트리(10)에 상기 제1축방향(X축 방향)으로 이동 가능하게 결합된다. 이 경우, 상기 이송부(100)는 상기 언로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)를 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 언로딩스택커(31)는 상기 언로딩공정이 수행되는 과정에서 상기 수납위치에 위치한 고객트레이를 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 이송부(100)는 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 상기 트레이(200)를 상기 교환위치(EP)와 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 언로딩픽커(32) 및 상기 로딩픽커(31)가 상기 언로딩공정 및 상기 로딩공정을 수행하는 과정에서 이동하는 거리를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 언로딩공정 및 상기 로딩공정에 걸리는 시간을 단축할 수 있다.
상기 언로딩픽커(32)는 상기 제1개폐기구(24)가 상기 고정기구(201)를 이동시켜서 트레이(200)를 개방시킨 상태에서, 상기 트레이(200)로부터 전자부품을 픽업할 수 있다. 상기 언로딩픽커(32)는 상기 제1개폐기구(24)에 의해 고정기구(201)가 이동된 상태에서, 상기 통과공(241)을 통해 상기 제1개폐기구(24)를 통과하여 상기 트레이(200)로부터 전자부품을 픽업할 수 있다. 상기 감지기구(25)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 트레이(200)에 전자부품이 존재하는지 여부를 감지함으로써, 상기 언로딩공정이 완료된 후에 상기 트레이(200)에 전자부품이 남아있는지 여부를 확인할 수 있다.
도 1 내지 도 12를 참고하면, 상기 테스트장치(300)는 전자부품에 대한 내부검사를 수행하는 테스트공정을 수행한다. 상기 테스트장치(300)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 테스트장비(T, 도 12에 도시됨)의 상측에 위치되게 설치된다. 상기 트레이(200)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 테스트장치(300) 및 테스트장비(T) 사이에 위치한다.
도시되지 않았지만, 본 발명에 따른 전자부품 테스트 핸들러(1)는 상기 고정기구(201, 도 11에 도시됨)를 이동시키기 위한 제2개폐기구를 포함할 수 있다. 상기 제2개폐기구가 상기 고정기구(201)를 이동시켜서 상기 트레이(200)를 개방시킨 상태에서, 상기 테스트장치(300)는 트레이(200)에 수납된 전자부품에 대한 내부검사를 수행할 수 있다. 상기 제2개폐기구가 상기 트레이(200)로부터 이격되면, 상기 고정기구(201)는 복원력에 의해 이동되어서 상기 트레이(200)를 폐쇄시킬 수 있다.
도 1 내지 도 12를 참고하면, 상기 이송부(100)는 도 12에 도시된 바와 같이 트레이(200)를 상기 교환위치(EP) 및 테스트위치(TP) 간에 이송한다. 도 12에서 실선으로 표시된 화살표는 상기 트레이(200)가 상기 교환위치(EP)에서 상기 테스트위치(TP)로 이동하는 동선을 표시한 것이다. 도 12에서 점선으로 표시된 화살표는 상기 트레이(200)가 상기 테스트위치(TP)에서 상기 교환위치(EP)로 이동하는 동선을 표시한 것이다.
상기 이송부(100)는 제1트레이(210)가 결합되는 제1결합기구(110), 제2트레이(220)가 결합되는 제2결합기구(120), 상기 제1결합기구(110)를 이동시키는 제1이동부(130), 및 상기 제2결합기구(120)를 이동시키는 제2이동부(140)를 포함한다.
도 13 및 도 14를 참고하면, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제1트레이(210)를 지지한다. 상기 제1트레이(110)는 전자부품을 수납하기 위한 것으로, 상기 트레이(200)와 동일한 것이다. 상기 제1트레이(110)는 테스트 트레이 또는 번인보드일 수 있다. 상기 제1트레이(210)는 상기 제1결합기구(110)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1트레이(210)는 상기 제1이동부(130)가 상기 제1결합기구(110)를 이동시킴에 따라 함께 이동한다.
상기 이송부(100)는 상기 제1트레이(210)가 교체 가능하도록 구현된다. 예컨대, 상기 제1결합기구(110)에 테스트 트레이가 결합되는 경우, 테스트 트레이가 상기 제1트레이(210)로 기능할 수 있다. 이 경우, 상기 이송부(100)는 테스트 트레이에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다. 예컨대, 상기 제1결합기구(110)에 번인보드가 결합되는 경우, 번인보드가 상기 제1트레이(210)로 기능할 수 있다. 이 경우, 상기 이송부(100)는 번인보드에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다.
따라서, 상기 이송부(100)는 상기 제1결합기구(110)를 이용함으로써, 테스트 트레이 및 번인보드가 공통적으로 적용 가능하도록 구현된다. 이에 따라, 상기 이송부(100)는 전자부품의 종류, 전자부품에 대해 수행된 테스트의 종류 등이 변경되는 경우, 상기 제1이동부(130)에 대한 교체 없이도 변경된 전자부품에 대응할 수 있다.
상기 제1결합기구(110)는 제1삽입홈(111), 및 제1홀딩기구(112)를 포함할 수 있다.
상기 제1삽입홈(111)에는 상기 제1트레이(210)가 삽입된다. 상기 제1삽입홈(111)은 상기 제1트레이(210)와 대략 일치하는 형태 및 대략 일치하는 크기로 형성될 수 있다.
상기 제1홀딩기구(112)는 상기 제1삽입홈(111)에 삽입된 제1트레이(210)를 홀딩한다. 상기 제1홀딩기구(112)는 상기 제1트레이(210)가 테스트 트레이와 번인보드 간에 교체되도록 상기 제1트레이(210)를 분리 가능하게 홀딩한다. 상기 제1홀딩기구(112)는 제1홀딩부재(1121), 및 제1탄성부재(1122)를 포함할 수 있다..
상기 제1홀딩부재(1121)는 상기 제1결합기구(110)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1홀딩부재(1121)는 상기 제1트레이(210)에 삽입됨으로써, 상기 제1트레이(210)를 홀딩한다.
상기 제1탄성부재(1122)는 상기 제1결합기구(111) 및 상기 제1홀딩부재(1121)의 사이에 위치한다. 상기 제1탄성부재(1122)는 상기 제1결합기구(111)에 지지된 상태로 상기 제1홀딩부재(1121)를 탄성적으로 가압한다. 상기 제1홀딩부재(1121)는 상기 제1탄성부재(1122)가 제공하는 탄성력을 이용하여 상기 제1삽입홈(111)에 삽입된 제1트레이(210)를 홀딩한다. 상기 제1삽입홈(111)에 삽입된 제1트레이(210)가 외력에 의해 이동하면, 상기 제1탄성부재(1122)는 상기 제1홀딩부재(1121)에 밀려서 압축된다. 이에 따라, 상기 제1트레이(210)는 상기 제1삽입홈(111)으로 이탈됨으로써, 상기 제1결합기구(111)로부터 분리된다.
상기 제1결합기구(111)는 상기 제1홀딩기구(112)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1홀딩기구(112)들 중의 일부는 상기 제1트레이(210)의 일측에 삽입되고, 상기 제1홀딩기구(112)들 중의 일부는 상기 제1트레이(210)의 타측에 삽입될 수 있다.
도 13 및 도 15를 참고하면, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제2트레이(220)를 지지한다. 상기 제2트레이(220)는 전자부품을 수납하기 위한 것으로, 상기 트레이(200)와 동일한 것이다. 상기 제2트레이(220)는 테스트 트레이 또는 번인보드일 수 있다. 상기 제2트레이(220)는 상기 제2결합기구(120)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제2트레이(220)는 상기 제2이동부(140)가 상기 제2결합기구(120)를 이동시킴에 따라 함께 이동한다.
상기 이송부(100)는 상기 제2트레이(220)가 교체 가능하도록 구현된다. 예컨대, 상기 제2결합기구(120)에 테스트 트레이가 결합되는 경우, 테스트 트레이가 상기 제2트레이(220)로 기능할 수 있다. 이 경우, 상기 이송부(100)는 테스트 트레이에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다. 예컨대, 상기 제2결합기구(120)에 번인보드가 결합되는 경우, 번인보드가 상기 제2트레이(220)로 기능할 수 있다. 이 경우, 상기 이송부(100)는 번인보드에 대해 상기 로딩공정, 상기 테스트공정, 및 상기 언로딩공정이 수행되도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다.
따라서, 상기 이송부(100)는 상기 제2결합기구(120)를 이용함으로써, 테스트 트레이 및 번인보드가 공통적으로 적용 가능하도록 구현된다. 이에 따라, 상기 이송부(100)는 전자부품의 종류, 전자부품에 대해 수행된 테스트의 종류 등이 변경되는 경우, 상기 제2이동부(140)에 대한 교체 없이도 변경된 전자부품에 대응할 수 있다.
상기 제2결합기구(120)는 제2삽입홈(121), 및 제2홀딩기구(122)를 포함할 수 있다.
상기 제2삽입홈(121)에는 상기 제2트레이(220)가 삽입된다. 상기 제2삽입홈(121)은 상기 제2트레이(220)와 대략 일치하는 형태 및 대략 일치하는 크기로 형성될 수 있다.
상기 제2홀딩기구(122)는 상기 제2삽입홈(121)에 삽입된 제2트레이(220)를 홀딩한다. 상기 제2홀딩기구(122)는 상기 제2트레이(220)가 테스트 트레이와 번인보드 간에 교체되도록 상기 제2트레이(220)를 분리 가능하게 홀딩한다. 상기 제2홀딩기구(122)는 제2홀딩부재(1221), 및 제2탄성부재(1222)를 포함할 수 있다..
상기 제2홀딩부재(1221)는 상기 제2결합기구(120)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2홀딩부재(1221)는 상기 제2트레이(220)에 삽입됨으로써, 상기 제2트레이(220)를 홀딩한다.
상기 제2탄성부재(1222)는 상기 제1결합기구(111) 및 상기 제2홀딩부재(1221)의 사이에 위치한다. 상기 제2탄성부재(1222)는 상기 제1결합기구(111)에 지지된 상태로 상기 제2홀딩부재(1221)를 탄성적으로 가압한다. 상기 제2홀딩부재(1221)는 상기 제2탄성부재(1222)가 제공하는 탄성력을 이용하여 상기 제2삽입홈(121)에 삽입된 제2트레이(220)를 홀딩한다. 상기 제2삽입홈(121)에 삽입된 제2트레이(220)가 외력에 의해 이동하면, 상기 제2탄성부재(1222)는 상기 제2홀딩부재(1221)에 밀려서 압축된다. 이에 따라, 상기 제2트레이(220)는 상기 제2삽입홈(121)으로 이탈됨으로써, 상기 제1결합기구(111)로부터 분리된다.
상기 제1결합기구(111)는 상기 제2홀딩기구(122)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제2홀딩기구(122)들 중의 일부는 상기 제2트레이(220)의 일측에 삽입되고, 상기 제2홀딩기구(122)들 중의 일부는 상기 제2트레이(220)의 타측에 삽입될 수 있다.
도 12 내지 도 16을 참고하면, 상기 제1이동부(130)는 상기 제1트레이(210)가 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다. 상기 제1이동부(130)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1트레이(210)에 테스트될 전자부품이 로딩되면, 상기 제1결합기구(110)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제1트레이(210)에 수납된 전자부품에 대한 테스트가 완료되면, 상기 제1이동부(130)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 교환위치(EP)로 이동시킨다. 상기 교환위치(EP)에서 테스트된 전자부품이 언로딩되고 테스트될 전자부품이 로딩되면, 상기 제1이동부(130)는 다시 상기 제1결합기구(110)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 이와 같이 상기 제1이동부(130)는 상기 제1결합기구(110)를 이동시킴으로써, 상기 제1트레이(210)를 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동시킬 수 있다.
상기 제1이동부(130)는 제1승강기구(131, 도 16에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1승강기구(131)는 상기 제1결합기구(110)를 승강시킨다. 이에 따라, 상기 제1이동부(130)는 상기 제1결합기구(110)가 상기 제2결합기구(120)를 회피하여 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킬 수 있다. 상기 제1결합기구(110)는 상기 제1승강기구(131)에 승강 가능하게 결합된다.
상기 제1승강기구(131)는 상기 제1트레이(210)의 이동경로가 제1이동경로(MP1, 도 12에 도시됨) 및 제2이동경로(MP2, 도 12에 도시됨) 간에 전환되도록 상기 제1결합기구(110)를 승강시킨다. 상기 제2이동경로(MP2)는 상기 제1이동경로(MP1)의 하측에 위치한다. 상기 제2결합기구(120)가 상기 제2이동경로(MP2)에 위치하는 경우, 상기 제1승강기구(131)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2결합기구(120)를 회피하여 이동할 수 있다. 상기 제2결합기구(120)가 상기 제1이동경로(MP1)에 위치하는 경우, 상기 제1승강기구(131)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2결합기구(120)를 회피하여 이동할 수 있다.
상기 제1승강기구(131)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제1결합기구(110)를 승강시킬 수 있다.
상기 제1이동부(130)는 제1이동기구(132, 도 16에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1이동기구(132)는 상기 제1트레이(210)가 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 이동시킨다. 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1승강기구(131)가 상기 제1결합기구(110)의 이동경로를 전환하면, 상기 제1결합기구(110)를 전환된 이동경로를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제1승강기구(131)가 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시키면, 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1결합기구(110)가 상기 제2이동경로(MP2) 상에 위치한 제2결합기구(120)를 회피하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 이동시킨다. 상기 제1승강기구(131)가 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시키면, 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1결합기구(110)가 상기 제1이동경로(MP1) 상에 위치한 제2결합기구(120)를 회피하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP1)를 따라 이동시킨다.
상기 제1이동기구(132)는 상기 제1승강기구(131)를 이동시킴으로써, 상기 제1결합기구(110)를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1승강기구(131)는 상기 제1이동기구(132)에 결합된다. 상기 제1이동기구(132)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제1결합기구(110)를 이동시킬 수 있다.
상기 제1이동부(130)는 제1보조승강기구(133, 도 16에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제1보조승강기구(133)는 상기 제1결합기구(110)를 승강시킨다. 상기 제1승강기구(131)가 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킨 상태에서, 상기 제1보조승강기구(133)는 상기 제1결합기구(110)를 추가로 승강시킬 수 있다. 상기 제1보조승강기구(133)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제1트레이(210)에 수납된 전자부품이 상기 테스트장비에 접속되도록 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이송부(100)는 상기 제1결합기구(110)가 상기 테스트장비에 방해됨이 없이 상기 제2이동경로(MP2)를 따라 이동할 수 있도록 구현된다.
상기 제1보조승강기구(133)는 일측이 상기 제1승강기구(131)에 결합되고, 타측이 상기 제1결합기구(110)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제1승강기구(131)는 상기 제1보조승강기구(133)를 승강시킴으로써, 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1) 및 상기 제2이동경로(MP2) 간에 승강시킬 수 있다. 상기 제1승강기구(131)가 일측이 상기 제1보조승강기구(133)에 결합되고, 타측이 상기 제1결합기구(110)에 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1보조승강기구(133)는 상기 제1승강기구(131)를 승강시킴으로써, 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)에서 추가로 승강시킬 수 있다.
상기 제1보조승강기구(133)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제1결합기구(110)를 승강시킬 수 있다.
도 12 내지 도 17을 참고하면, 상기 제2이동부(140)는 상기 교환위치(EP, 도 12에 도시됨) 및 상기 테스트위치(TP, 도 12에 도시됨) 간에 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다.
상기 제2이동부(140)는 상기 제2트레이(220)가 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다. 상기 제2이동부(140)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제2트레이(220)에 테스트될 전자부품이 로딩되면, 상기 제2결합기구(120)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2트레이(220)에 수납된 전자부품에 대한 테스트가 완료되면, 상기 제2이동부(140)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 교환위치(EP)로 이동시킨다. 상기 교환위치(EP)에서 테스트된 전자부품이 언로딩되고 테스트될 전자부품이 로딩되면, 상기 제2이동부(140)는 다시 상기 제2결합기구(120)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 이와 같이 상기 제2이동부(140)는 상기 제2결합기구(120)를 이동시킴으로써, 상기 제2트레이(220)를 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 이송부(100)는 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)를 통해 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)를 개별적으로 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이송부(100)는 상기 제1트레이(210) 및 상기 제2트레이(220)를 개별적으로 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 이동시킬 수 있다.
따라서, 상기 이송부(100)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1트레이(210)에 대해 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정이 수행되는 동안, 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2트레이(220)에 대해 상기 테스트공정이 수행되도록 구현된다. 또한, 상기 이송부(100)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제2트레이(220)에 대해 상기 로딩공정 및 상기 언로딩공정이 수행되는 동안, 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제1트레이(220)에 대해 상기 테스트공정이 수행되도록 구현된다.
이에 따라, 상기 이송부(100)는 전자부품에 대해 상기 로딩공정, 상기 언로딩공정, 및 상기 테스트공정이 이루어지는 걸리는 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 상기 이송부(100)는 전자부품에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.
상기 제2이동부(140)는 제2승강기구(141, 도 17에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2승강기구(141)는 상기 제2결합기구(120)를 승강시킨다. 이에 따라, 상기 제2이동부(140)는 상기 제2결합기구(120)가 상기 제1결합기구(110)를 회피하여 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2결합기구(120)는 상기 제2승강기구(141)에 승강 가능하게 결합된다.
상기 제2승강기구(141)는 상기 제2트레이(220)의 이동경로가 상기 제1이동경로(MP1, 도 12에 도시됨) 및 상기 제2이동경로(MP2, 도 12에 도시됨) 간에 전환되도록 상기 제2결합기구(120)를 승강시킨다. 상기 제1결합기구(110)가 상기 제2이동경로(MP2)에 위치하는 경우, 상기 제2승강기구(141)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제1결합기구(110)를 회피하여 이동할 수 있다. 상기 제1결합기구(110)가 상기 제1이동경로(MP1)에 위치하는 경우, 상기 제2승강기구(141)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제1결합기구(110)를 회피하여 이동할 수 있다.
상기 제2승강기구(141)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제2결합기구(120)를 승강시킬 수 있다.
상기 제2이동부(140)는 제2이동기구(142, 도 17에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2이동기구(142)는 상기 제2트레이(220)가 상기 교환위치(EP) 및 상기 테스트위치(TP) 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 이동시킨다. 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2승강기구(141)가 상기 제2결합기구(120)의 이동경로를 전환하면, 상기 제2결합기구(120)를 전환된 이동경로를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 제2승강기구(141)가 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시키면, 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)가 상기 제2이동경로(MP2) 상에 위치한 제1결합기구(110)를 회피하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 이동시킨다. 상기 제2승강기구(141)가 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시키면, 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)가 상기 제1이동경로(MP1) 상에 위치한 제1결합기구(110)를 회피하여 이동하도록 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP1)를 따라 이동시킨다.
상기 제2이동기구(142)는 상기 제2승강기구(141)를 이동시킴으로써, 상기 제2결합기구(120)를 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2승강기구(141)는 상기 제2이동기구(142)에 결합된다. 상기 제2이동기구(142)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제2결합기구(120)를 이동시킬 수 있다.
상기 제2이동부(140)는 제2보조승강기구(143, 도 17에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2보조승강기구(143)는 상기 제2결합기구(120)를 승강시킨다. 상기 제2승강기구(141)가 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킨 상태에서, 상기 제2보조승강기구(143)는 상기 제2결합기구(120)를 추가로 승강시킬 수 있다. 상기 제2보조승강기구(143)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2트레이(220)에 수납된 전자부품이 상기 테스트장비에 접속되도록 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이송부(100)는 상기 제2결합기구(120)가 상기 테스트장비에 방해됨이 없이 상기 제2이동경로(MP2)를 따라 이동할 수 있도록 구현된다.
상기 제2보조승강기구(143)는 일측이 상기 제2승강기구(141)에 결합되고, 타측이 상기 제2결합기구(120)에 결합될 수 있다. 이 경우, 상기 제2승강기구(141)는 상기 제2보조승강기구(143)를 승강시킴으로써, 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1) 및 상기 제2이동경로(MP2) 간에 승강시킬 수 있다. 상기 제2승강기구(141)가 일측이 상기 제2보조승강기구(143)에 결합되고, 타측이 상기 제2결합기구(120)에 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 제2보조승강기구(143)는 상기 제2승강기구(141)를 승강시킴으로써, 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)에서 추가로 승강시킬 수 있다.
상기 제2보조승강기구(143)는 유압실린더 또는 공압실린더 등을 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류와 볼너트 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 리니어모터를 이용한 방식 등을 이용하여 상기 제2결합기구(120)를 승강시킬 수 있다.
도 12 내지 도 21을 참고하면, 상술한 바와 같은 제1이동부(130) 및 제2이동부(140)는 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)가 서로 회피하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)를 다음과 같이 이동시킬 수 있다. 도 18 내지 도 21에는 제1트레이(210)와 제2트레이(220)를 명확하게 구분하기 위해 제1트레이(210)에 복수개의 점이 표시되어 있고, 제2트레이(220)에 빗금이 표시되어 있다.
우선, 도 18에 도시된 바와 같이, 상기 제1결합기구(110)는 상기 교환위치(EP)에 위치한 상태이고, 상기 제2결합기구(120)는 상기 테스트위치(TP)에 위치한 상태이다. 상기 교환위치(EP)에 위치한 제1결합기구(110)에 대해서는 상기 제1결합기구(110)에 결합된 제1트레이(210)에 대해 로딩공정이 수행된다. 상기 테스트위치(TP)에 위치한 제2결합기구(120)에 대해서는 상기 제2결합기구(120)에 결합된 제2트레이(220)에 대해 테스트공정이 수행된다. 이 경우, 상기 제2결합기구(120)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2승강기구(141)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)로 하강된 후에, 상기 제2보조승강기구(143)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강된 상태이다. 상기 제1결합기구(110)는 상기 로딩공정이 수행되는 동안 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1승강기구(131)에 의해 상기 제2이동경로(MP1)로 하강된 상태이다. 상기 제1결합기구(110)는 상기 로딩공정이 수행되는 동안 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1승강기구(131)에 의해 상기 제2이동경로(MP1)로 하강된 후에, 상기 제1보조승강기구(133)에 의해 상기 제2이동경로(MP1)의 하측으로 하강된 상태일 수도 있다.
다음, 상기 제2결합기구(120)가 상기 테스트위치(TP)에 위치한 상태에서, 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 교환위치(EP)에서 대기위치(WP)로 이동시킨다. 상기 대기위치(WP)는 상기 교환위치(EP)와 상기 테스트위치(TP) 사이에 위치한다. 이에 따라, 상기 제1트레이(210)는 상기 로딩공정이 완료된 후에 상기 대기위치(WP)에서 대기하게 된다. 따라서, 상기 이송부(100)는 상기 제2트레이(220)에 대해 테스트공정이 수행되는 동안, 상기 로딩공정이 완료된 제1트레이(210)를 상기 테스트위치(TP)에 가까운 위치로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 이송부(100)는 상기 제2트레이(220)에 대해 테스트공정이 완료된 후에, 상기 제1트레이(210)를 상기 테스트위치(TP)로 이동시키는데 걸리는 시간을 줄일 수 있다. 이 경우, 상기 제1결합기구(110)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제1승강기구(131)에 의해 상기 제1이동경로(MP1)로 상승된 후에, 상기 제1이동기구(132)에 의해 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 교환위치(EP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동할 수 있다.
다음, 상기 제2트레이(220)에 대한 테스트공정이 완료되면, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)를 따라 상기 테스트위치(TP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제1이동경로(MP1) 상에 위치한 제1결합기구(110)를 회피하여 상기 테스트위치(TP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동할 수 있다. 상기 제1이동기구(131)는 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 대기위치(WP)에서 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 이에 따라, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2이동경로(MP2) 상에 위치한 제2결합기구(120)를 회피하여 상기 대기위치(WP)에서 상기 테스트위치(TP)로 이동할 수 있다. 이 경우, 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)는 동시에 이동할 수도 있고, 순차적으로 이동할 수도 있다.
다음, 도 20에 도시된 바와 같이 상기 제1승강기구(131)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제1결합기구(110)를 상기 제1이동경로(MP1)에서 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킨다. 이에 따라, 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2결합기구(120)를 회피하여 상기 테스트장비(T) 쪽으로 하강할 수 있다. 상기 제1결합기구(110)는 상기 제2이동경로(MP2)로 하강된 후에, 상기 제1보조승강기구(133)에 의해 상기 테스트장비(T)에 접속되도록 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강할 수 있다. 상기 제2승강기구(132)는 상기 대기위치(WP)에서 상기 제2결합기구(120)를 상기 제2이동경로(MP2)에서 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시킨다. 이에 따라, 상기 제2결합기구(120)는 상기 제1결합기구(110)를 회피하여 상기 교환위치(EP) 쪽으로 상승할 수 있다. 이 경우, 상기 제2결합기구(120)와 상기 제1결합기구(110)는 동시에 승강할 수도 있고, 순차적으로 승강할 수도 있다.
다음, 도 21에 도시된 바와 같이 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 대기위치(WP)에서 상기 교환위치(EP)로 이동시킨다. 상기 제2결합기구(120)가 상기 교환위치(EP)에 위치되면, 상기 제2결합기구(120)에 결합된 제2트레이(220)에 대해 언로딩공정이 수행된다. 이 경우, 상기 제2결합기구(120)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제2승강기구(141)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)로 하강될 수 있다. 상기 제2결합기구(120)는 상기 교환위치(EP)에서 상기 제2승강기구(141)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)로 하강된 후에, 상기 제2보조승강기구(143)에 의해 상기 제2이동경로(MP2)의 하측으로 하강될 수도 있다. 상기 교환위치(EP)에서는 상기 제2트레이(220)에 대해 상기 언로딩공정과 상기 로딩공정이 병행하여 수행될 수도 있다. 상기 제2트레이(220)에 대해 상기 언로딩공정과 상기 로딩공정이 수행되는 동안, 상기 제1트레이(210)에 대해서는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 테스트공정이 수행된다.
다음, 상기 제2트레이(220)에 대한 로딩공정이 완료되면, 상기 제2이동기구(142)는 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)를 따라 상기 교환위치(EP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동시킨 후에 상기 테스트위치(TP)로 이동시킨다. 상기 제2결합기구(120)가 상기 테스트위치(TP)에 위치되면, 상기 제2승강기구(141)는 상기 테스트위치(TP)에서 상기 제2결합기구(120)를 상기 제1이동경로(MP1)에서 상기 제2이동경로(MP2)로 하강시킨다. 상기 제1이동기구(132)는 상기 제1트레이(210)에 대한 테스트공정이 완료되면, 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)를 따라 상기 테스트위치(TP)에서 상기 대기위치(WP)로 이동시킨 후에 상기 교환위치(EP)로 이동시킨다. 이 과정에서, 상기 제1승강기구(131)는 상기 대기위치(WP)에서 상기 제1결합기구(110)를 상기 제2이동경로(MP2)에서 상기 제1이동경로(MP1)로 상승시킨다. 이 경우, 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)는 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)가 서로 회피하여 이동하도록 상기 제1결합기구(110) 및 상기 제2결합기구(120)를 도 18 내지 도 21에 도시된 바와 같은 순서로 이동시킬 수 있다.
도 22를 참고하면, 상기 이송부(100)는 본체(150)를 포함할 수 있다.
상기 본체(150)는 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)를 지지한다. 상기 본체(150)는 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)가 이동하기 위한 이동홈(151)을 포함한다. 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)는 상기 이동홈(151)에서 상기 교환위치(EP, 도 21에 도시됨) 및 상기 테스트위치(TP, 도 21에 도시됨) 간에 이동한다.
상기 제1이동부(130)는 상기 본체(150)의 일측에 결합된다. 상기 제2이동부(140)는 상기 본체(150)의 타측에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1이동부(130)와 상기 제2이동부(140)는 상기 이동홈(151)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 본체(150)에 결합된다. 이에 따라, 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)는 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)를 이동시키는 과정에서 서로 간섭되지 않는다. 따라서, 상기 이송부(100)는 상기 제1이동부(130) 및 상기 제2이동부(140)가 서로 충돌하는 것을 방지할 수 있다.
상기 제1결합기구(110)는 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제1이동부(130)에 결합된다. 상기 제1방향(A 화살표 방향)은 상기 본체(150)의 일측에서 타측을 향하는 방향이다. 상기 제2결합기구(120)는 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 상기 제2이동부(140)에 결합된다. 상기 제2방향(B 화살표 방향)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)에 대해 반대되는 방향으로, 상기 본체(150)의 타측에서 일측을 향하는 방향이다. 따라서, 상기 이송부(100)는 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)가 간섭되는 정도를 줄임으로써, 상기 제1결합기구(110)와 상기 제2결합기구(120)가 서로 충돌할 위험을 줄일 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
300 : 전자부품 테스트장치 310 : 제1측정부
320 : 결합부 330 : 테스트모드전환부
340 : 구동부 350 : 제2측정부

Claims (11)

  1. 전자부품에 대한 내부검사를 수행하기 위해 전자부품에 전압이 인가됨에 따른 정전용량을 측정하는 제1측정부;
    상기 제1측정부가 회전 가능하게 결합되는 결합부; 및
    상기 결합부에 결합되고, 상기 제1측정부가 제1방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 제1테스트모드 및 상기 제1측정부가 상기 제1방향과 상이한 제2방향을 향한 상태로 정전용량을 측정하는 제2테스트모드 간에 전환되도록 상기 제1측정부를 회전시키는 테스트모드전환부를 포함하는 전자부품 테스트장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1측정부는 정전용량을 측정하기 위한 복수개의 제1프로브, 및 상기 제1프로브들이 결합되는 제1측정본체를 포함하고;
    상기 결합부에는 상기 제1측정부가 복수개 결합되며;
    상기 테스트모드전환부는 상기 제1측정부들이 갖는 제1측정본체들에 연결되게 결합되는 제1연결기구, 및 상기 제1연결기구가 이동함에 따라 상기 제1측정본체들이 회전하도록 상기 제1연결기구를 이동시키는 제1전환기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1측정부는 정전용량을 측정하기 위한 복수개의 제1프로브, 상기 제1프로브들이 결합되는 제1측정본체, 및 상기 제1측정본체의 회전축으로부터 이격되도록 상기 제1측정본체로부터 돌출되게 형성되는 제1돌출기구를 포함하고;
    상기 테스트모드전환부는 상기 제1돌출기구에 결합되는 제1연결기구, 및 상기 제1연결기구가 이동함에 따라 상기 제1돌출기구가 회전하도록 상기 제1연결기구를 이동시키는 제1전환기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트장치.
  4. 제1항에 있어서,
    전자부품에 대한 내부검사를 수행하기 위해 전자부품에 전압이 인가됨에 따른 정전용량을 측정하는 제2측정부를 포함하고;
    상기 결합부에는 상기 제1측정부 및 상기 제2측정부가 서로 이격되게 결합되며;
    상기 테스트모드전환부는 상기 제1측정부가 상기 제1테스트모드와 상기 제2테스트모드 간에 전환되도록 상기 제1측정부를 회전시키는 제1전환기구, 및 상기 제2측정부가 상기 제1테스트모드와 상기 제2테스트모드 간에 전환되도록 상기 제2측정부를 회전시키는 제2전환기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1전환기구 및 상기 제2전환기구는 각각 상기 제1측정부 및 상기 제2측정부를 개별적으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트장치.
  6. 테스트될 전자부품을 트레이로 로딩하는 로딩공정을 수행하는 로딩부;
    테스트된 전자부품을 트레이로부터 언로딩하는 언로딩공정을 수행하는 언로딩부;
    전자부품에 대한 내부검사를 수행하는 제1항 내지 제5항 중에서 어느 하나의 전자부품 테스트장치; 및
    상기 로딩공정과 상기 언로딩공정이 이루어지는 교환위치 및 상기 내부검사가 이루어지는 테스트위치 간에 트레이를 순환하여 이동시키는 이송부를 포함하는 전자부품 테스트 핸들러.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 로딩부는 테스트될 전자부품이 담겨진 고객트레이를 저장하는 로딩스택커, 테스트될 전자부품이 수납되는 로딩버퍼, 및 테스트될 전자부품을 고객트레이에서 상기 로딩버퍼로 이송한 후에 상기 로딩버퍼에서 상기 교환위치에 위치한 트레이로 이송하는 로딩픽커를 포함하고;
    상기 로딩버퍼는 테스트될 전자부품이 수납되는 제1로딩수납홈, 및 상기 제1로딩수납홈에 연결되게 형성되는 제2로딩수납홈을 포함하며;
    상기 제2로딩수납홈은 상기 제1로딩수납홈에 수납되는 전자부품에 비해 작은 크기를 갖는 전자부품이 수납되도록 상기 제1로딩수납홈에 비해 작은 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
  8. 제6항에 있어서, 상기 이송부는
    트레이가 결합되는 제1결합기구;
    상기 제1결합기구에 결합된 트레이가 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제1결합기구를 이동시키는 제1이동부;
    트레이가 결합되는 제2결합기구; 및
    상기 제2결합기구에 결합된 트레이가 상기 제1결합기구에 결합된 트레이를 회피하여 상기 교환위치 및 상기 테스트위치 간에 순환하여 이동하도록 상기 제2결합기구를 이동시키는 제2이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1이동부는 상기 제1결합기구에 결합된 트레이의 이동경로가 제1이동경로 및 상기 제1이동경로의 하측에 위치한 제2이동경로 간에 전환되도록 상기 제1결합기구를 승강시키는 제1승강기구, 및 상기 제1결합기구에 결합된 트레이가 상기 제1승강기구에 의해 전환된 이동경로를 따라 이동하도록 상기 제1결합기구를 이동시키는 제1이동기구를 포함하고;
    상기 제2이동부는 상기 제2결합기구에 결합된 트레이의 이동경로가 상기 제1이동경로 및 상기 제2이동경로 간에 전환되도록 상기 제2결합기구를 승강시키는 제2승강기구, 및 상기 제2결합기구에 결합된 트레이가 상기 제2승강기구에 의해 전환된 이동경로를 따라 이동하도록 상기 제2결합기구를 이동시키는 제2이동기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1승강기구는 상기 테스트위치에서 상기 제1트레이의 이동경로가 상기 제1이동경로에서 상기 제2이동경로로 전환되도록 상기 제1결합기구를 하강시키고, 상기 교환위치와 상기 테스트위치의 사이에 위치한 대기위치에서 상기 제1트레이의 이동경로가 상기 제2이동경로에서 상기 제1이동경로로 전환되도록 상기 제1결합기구를 상승시키며,
    상기 제2승강기구는 상기 테스트위치에서 상기 제2트레이의 이동경로가 상기 제1이동경로에서 상기 제2이동경로로 전환되도록 상기 제2결합기구를 하강시키고, 상기 대기위치에서 상기 제2트레이의 이동경로가 상기 제2이동경로에서 상기 제1이동경로로 전환되도록 상기 제2결합기구를 상승시키는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 이송부는 트레이가 결합되는 제1결합기구를 포함하고,
    상기 제1결합기구는 트레이가 삽입되는 제1삽입홈, 및 상기 제1삽입홈에 삽입된 제1트레이를 홀딩하는 제1홀딩기구를 포함하며,
    상기 제1홀딩기구는 트레이가 테스트 트레이와 번인보드 간에 교체되도록 트레이를 분리 가능하게 홀딩하는 것을 특징으로 하는 전자부품 테스트 핸들러.
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