KR20150134001A - 공정 설비 제어 방법 - Google Patents

Abstract

공정 설비 제어 방법은 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속하는 단계, 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 휴대한 상태로 상기 공정 설비 중 그 전체적인 동작을 제어하는 제어부와 사각 지대에 위치한 어느 한 구동 유닛으로 이동하는 단계 및 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계를 포함한다.

Description

공정 설비 제어 방법{METHOD FOR CONTROLLING A PROCESS EQUIPMENT}

본 발명은 공정 설비 제어 방법에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 소자를 제조하기 위한 공정 설비를 원격으로 구동시킬 수 있는 제어 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자는 칩이 기판 상에 연결된 구조를 갖는 전자 부품 중의 하나이다. 상기 반도체 소자는 일 예로, 디램(DRAM), 에스램(SRAM) 등과 같은 메모리 소자를 포함할 수 있다.

상기 반도체 소자는 실리콘 재질의 얇은 단결정 기판으로 이루어진 웨이퍼(wafer)를 기초로 하여 제조된다. 구체적으로, 상기 반도체 소자는 상기 웨이퍼 상에 회로 패턴이 증착 및 식각 방식을 통해 패터닝된 다수의 칩들을 형성하는 팹 공정과, 상기 팹 공정에서 형성된 칩들 각각을 기판들 각각에 전기적으로 연결시키는 본딩 공정 등을 수행하여 제조된다.

이와 같은 공정들은 각각의 특성에 맞게 개발된 각 공정 설비에서 진행된다. 이에, 상기 공정 설비는 상기 반도체 소자의 생산성 향상을 위하여 통상적으로 자동화 시스템으로 운영되고 있다.

하지만, 상기 공정 설비는 최초 상기 반도체 소자의 생산 공장 내부에 설치할 때 그 자동화 동작을 설계된 내용에 따라 설정하기 위한 셋업 작업 또는 자동화 공정 도중 발생되는 고장을 수리하기 위한 유지 보수 작업 등의 수동적인 구동이 필요할 때도 있다.

이에, 최근 상기 반도체 소자가 대량 생산화 추세에 있음에 따라 상기 공정 설비의 사이즈도 커지고 있으므로, 상기 공정 설비를 수동 동작 시키고자 그 제어부를 조작할 경우 상기 공정 설비의 상기 제어부로부터 거리가 멀어 상기 제어부를 조작하는 작업자가 볼 수 없는 사각 지대의 구동 유닛에 대해서는 상기 제어부와 상기 사각 지대의 구동 유닛 각각에 두 명의 작업자가 위치해야 하거나, 한 명의 작업자가 이 두 위치를 번갈아 이동하면서 수동 작업을 진행해야 하는 불편함이 있다.

대한민국 특허공개 제10-2005-0112733호 (공개일; 2005.12.01, 반도체 제조설비의 공정자동 제어방법) 대한민국 특허공개 제10-1997-0077079호 (공개일; 1997.12.12, 반도체 공정설비의 제어장치)

본 발명의 목적은 공정 설비를 원격 구동시킬 수 있는 공정 설비 제어 방법을 제공하는 것이다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 공정 설비 제어 방법은 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속하는 단계, 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 휴대한 상태로 상기 공정 설비 중 그 전체적인 동작을 제어하는 제어부와 사각 지대에 위치한 어느 한 구동 유닛으로 이동하는 단계 및 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계를 포함한다.

일 실시예에 따른 상기 무선 접속하는 단계는 상기 공정 설비에서 보안 코드를 부여하는 단계 및 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하여 상기 모바일 장치를 상기 공정 설비에 무선 접속하는 단계를 포함할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 공정 설비 제어 방법은 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하는 단계가 진행될 때 그 전에 상기 공정 설비와 무선 접속된 다른 모바일 장치는 접속이 차단되는 것을 특징으로 할 수 있다.

일 실시예에 따른 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계는 상기 모바일 장치에 구동 목표값을 설정하는 단계, 상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛을 원격 구동시키는 단계, 상기 구동된 구동 유닛이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하는 단계 및 상기 확인한 결과, 상기 구동 유닛이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을경우에는 상기 공정 설비의 제어부에 이를 저장하는 단계를 포함할 수 있다.

이러한 공정 설비 제어 방법에 따르면, 작업자가 휴대가 간편한 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속한 다음, 상기 공정 설비의 제어부와 사각 지대에 위치하는 구동 유닛으로 이동한 후, 상기 구동 유닛을 상기 무선 접속한 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시킴으로써, 한명의 작업자가 상기 공정 설비를 편리하게 수동 동작할 수 있다. 이로써, 상기 공정 설비를 수동 동작하는 작업 인원 및 작업 시간을 줄임으로써, 전체적인 공정 비용을 절감할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 설비를 제어하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 순서도를 설명하기 위하여 공정 설비를 개략적으로 나타낸 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하기 위하여 보안 코드가 부여되는 상태를 실제적으로 나타낸 공정 설비의 화면을 캡쳐한 그림이다.
도 4는 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하는 과정에서 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.
도 5는 도 1에 도시된 순서도에서 공정 설비를 원격 구동할 때의 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 공정 설비 제어 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 공정 설비를 제어하는 방법을 단계적으로 나타낸 순서도이고, 도 2는 도 1에 도시된 순서도를 설명하기 위하여 공정 설비를 개략적으로 나타낸 구성도이고, 도 3은 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하기 위하여 보안 코드가 부여되는 상태를 실제적으로 나타낸 공정 설비의 화면을 캡쳐한 그림이며, 도 4는 도 1에 도시된 순서도에서 모바일 장치를 공정 설비에 무선 접속하는 과정에서 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이며, 도 5는 도 1에 도시된 순서도에서 공정 설비를 원격 구동할 때의 모바일 장치의 화면을 캡쳐한 그림이다.

도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 공정 설비(10)를 제어하기 위하여 우선 작업자(20)는 모바일 장치(30)를 이용하여 공정 설비(10)에 무선 접속한다(S100). 여기서, 상기 공정 설비(10)는 일 예로, 반도체 소자를 자동화 방식을 통해서 제조하는데 필요한 장비일 수 있다. 또한, 상기 모바일 장치(30)는 안드로이드 방식 또는 iOS 방식이 적용된 스마트폰, 태블릿 PC 또는 노트북과 같이 휴대가 간편하면서 무선 통신이 가능한 모든 장치를 포함할 수 있다.

이에, 본 S100 단계를 구체적으로 설명하면, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)로 이동하여 상기 공정 설비(10)를 on시킨 후 상기 제어부(12)의 조작 패널에 구동 준비 상태가 표시되도록 한다. 이후, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)의 많은 구동 유닛(14)들 중 수동 구동이 필요한 어느 한 구동 유닛(14)을 상기 표시된 조작 패널을 참조하여 선택한다. 여기서, 상기 선택된 구동 유닛(14)은 본 발명의 효과를 확실하게 이해하기 위하여 상기 제어부(12)에 위치한 작업자(20)가 직접 눈으로 확인하기 어려운 사각 지대에 위치한 것일 수 있다. 이러면, 상기에서 선택된 구동 유닛(14)에 관한 정보가 상기 조작 패널에 표시되면서 터치 스크린, 마우스 또는 키보드를 이용한 수동 조작이 가능한 상태로 변경된다.

이런 상황에서 상기 선택된 구동 유닛(14)에 관한 정보가 표시된 조작 패널을 참조하여 상기 구동 유닛(14)을 원격 조정할 수 있는 모드를 실행한다. 이러면, 도 3에서와 같이, 설비 IP, 브라우저 접속 및 동작 보안 코드가 상기 조작 패널의 화면 상에 표시된다.

이에, 작업자(20)는 휴대한 모바일 장치(30)의 웹 브라우저를 실행한 다음, 도 3에 표시된 "\\192.168.0.112\\REMOTE"와 같은 웹 주소를 상기 웹 브라우저의 주소창에 입력한다.

이러면, 도 4에서와 같이 상기 모바일 장치(30)의 화면에 상기 공정 설비(10)의 제어와 관련된 정보들이 표시된다. 이에, 작업자(20)는 상기 표시된 정보들 중 상기 공정 설비(10)에 사전에 미리 준비해둔 html 파일을 선택한다. 이러면, 상기 모바일 장치(30)의 화면에 상기 공정 설비(10)의 선택된 구동 유닛(14)을 원격 구동할 수 있는 화면이 도 5에서와 같이 표시된다.

상기에서 설명한 본 S100 단계에서와 같이, 작업자(20)가 휴대한 모바일 장치(30)를 이용하여 상기 공정 설비(10)에 웹브라우저를 통해 무선 접속하게 되면, 상기 공정 설비(10)에 설비용 html 파일을 사전에 미리 준비해 두고 있기 때문에, 별도의 실행 어플리케이션을 굳이 개발할 필요성이 없다는 장점이 있다. 또한, 상기 모바일 장치(30)가 상기 공정 설비(10)의 html 파일을 로딩할 때 공유 폴더 방식으로 접근할 수 있으므로, 상기 공정 설비(10)에 웹 서비스를 위한 서버가 필요없다는 또 다른 장점이 있다. 즉, 상기 모바일 장치(30)에서 상기 html 파일이 로딩된 이후에는 상기 로딩된 html 파일 안에서 모든 이벤트, 예컨대 화면 갱신, TCP/IP 통신 또는 명령 수행 등이 자체적으로 처리되기 때문이다.

이렇게 도 5에서와 같이 원격 구동 화면이 표시되면, 작업자(20)는 사용자 IP와 상기 공정 설비(10)의 IP 및 상기 공정 설비(10)의 조작 패널 화면에 표시된 보안 코드를 상기 휴대한 모바일 장치(30)에 입력한다. 이때, 작업자(20)가 상기 보안 코드를 상기 모바일 장치(30)에 입력하면, 이전에 다른 작업자(20)의 모바일 장치(30)를 통한 무선 접속이 동시에 차단된다. 이는, 상기 선택된 구동 유닛(14)의 수동 구동을 단 한 사람의 작업자(20)에 의해서 진행되도록 함으로써, 다수의 작업자(20)가 동일한 구동 유닛(14)을 수동 동작할 경우 발생될 수 있는 상기 구동 유닛(14)의 기계적 손상 및 이를 직접 주시하면서 수동 구동하는 작업자(20)의 신체적 상해를 방지하기 위해서이다. 또한, 이와 유사한 개념으로 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)에 의한 상기 선택된 구동 유닛(14)의 구동도 제한하여 다른 작업자(20)가 상기 제어부(12)를 통해 구동하지 못하도록 한다.

이렇게 작업자(20)의 모바일 장치(30)와 상기 공정 설비(10)의 무선 접속이 성공되면 상기 공정 설비(10)의 조작 패널 화면과 상기 모바일 장치(30)의 화면에 "무선 접속 중"을 알리는 정보가 표시된다. 예를 들어, 상기 "무선 접속 중" 정보는 로그 정보로 표시될 수 있다.

이어서, 작업자(20)는 상기 공정 설비(10)에 무선 접속된 모바일 장치(30)를 휴대한 상태로 상기 공정 설비(10) 중 상기의 설명에서 선택된 사각 지대에 위치하는 구동 유닛(14)으로 이동한다(S200).

이어서, 작업자(20)는 상기 휴대한 모바일 장치(30)의 원격 구동 화면을 이용하여 상기 선택된 구동 유닛(14)을 원격 구동시킨다(S300). 구체적으로, 작업자(20)는 상기 원격 구동 화면을 통해서 목표값을 설정한 후, 상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛(14)을 원격 구동시킨다. 이에, 작업자(20)는 상기 원격 구동된 구동 유닛(14)이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하여, 그 결과 상기 구동 유닛(14)이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛(14)을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을 경우에는 상기 공정 설비(10)의 제어부(12), 즉 상기 html 파일에 이 정보를 저장한다. 이후, 작업자(20)는 상기 선택된 구동 유닛(14)의 수동 원격 구동 작업을 완료하면, 상기의 무선 접속을 차단하여 그 원격 모드를 해제한다.

이와 같이, 작업자(20)가 휴대가 간편한 상기 모바일 장치(30)를 이용하여 상기 공정 설비(10)에 웹브라우저를 통해 무선 접속한 다음, 상기 공정 설비(10)의 제어부(12)와 사각 지대에 위치하는 상기 선택된 구동 유닛(14)으로 이동한 후, 상기 선택된 구동 유닛(14)을 상기 무선 접속한 모바일 장치(30)를 이용하여 원격 구동시킴으로써, 단 한명의 작업자(20)가 상기 공정 설비(10)를 편리하게 수동 동작할 수 있다. 이로써, 상기 공정 설비(10)를 수동 동작하는 작업 인원 및 작업 시간을 줄임으로써, 전체적인 공정 비용을 절감할 수 있다.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 : 공정 설비 12 : 제어부
14 : 구동 유닛 20 : 작업자
30 : 모바일 장치

Claims (4)

1. 모바일 장치를 이용하여 공정 설비에 웹브라우저를 통해 무선 접속하는 단계;
   상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 휴대한 상태로 상기 공정 설비 중 그 전체적인 동작을 제어하는 제어부와 사각 지대에 위치한 어느 한 구동 유닛으로 이동하는 단계; 및
   상기 어느 한 구동 유닛을 상기 공정 설비에 무선 접속된 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계를 포함하는 공정 설비 제어 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 무선 접속하는 단계는
   상기 공정 설비에서 보안 코드를 부여하는 단계; 및
   상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하여 상기 모바일 장치를 상기 공정 설비에 무선 접속하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 모바일 장치에 상기 부여된 보안 코드를 입력하는 단계가 진행될 때 그 전에 상기 공정 설비와 무선 접속된 다른 모바일 장치는 접속이 차단되는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 어느 한 구동 유닛을 상기 모바일 장치를 이용하여 원격 구동시키는 단계는,
   상기 모바일 장치에 구동 목표값을 설정하는 단계;
   상기 설정된 목표값에 따라 상기 구동 유닛을 원격 구동시키는 단계;
   상기 구동된 구동 유닛이 상기 설정된 목표값에 따라 구동되었는지 확인하는 단계; 및
   상기 확인한 결과, 상기 구동 유닛이 상기 설정된 목표값으로 구동되지 않았을 경우에는 상기 구동 유닛을 재구동시키고, 상기 설정된 목표값으로 구동되었을경우에는 상기 공정 설비의 제어부에 이를 저장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 설비 제어 방법.

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