KR20150119790A - Scribe head and scribe apparatus - Google Patents

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KR20150119790A
KR20150119790A KR1020150020249A KR20150020249A KR20150119790A KR 20150119790 A KR20150119790 A KR 20150119790A KR 1020150020249 A KR1020150020249 A KR 1020150020249A KR 20150020249 A KR20150020249 A KR 20150020249A KR 20150119790 A KR20150119790 A KR 20150119790A
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야스히로 하시모토
토루 나루오
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

Provided are a scribe head capable of actively converting a holder due to a simple structure thereof, and a scribe device. The scribe head (2) comprises: a wheel holder (228) disposed to be able to access to and be separated from a mother substrate (G); a wheel holder (238) disposed to be able to access to and be separated from the mother substrate (G); a cylindrical cam (212) rotated by a servomotor (211); a cam follower (221) coming in contact with a cam surface (212a) of the cylindrical cam (212); and a cam follower (231) coming in contact with a cam surface (212b) of the cylindrical cam (212). When the cylindrical cam (212) is rotated clockwise when being seen in a Z axis part side, the cam follower (221) is pressed by the cam surface (212a), so the wheel holder (228) accesses to the mother substrate (G). When the cylindrical cam 9212) is rotated counterclockwise when being seen in a Z axis part side, the cam follower (231) is pressed by the cam surface (212b), so the wheel holder (238) accesses to the mother substrate (G).

Description

스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치{SCRIBE HEAD AND SCRIBE APPARATUS}[0002] SCRIBE HEAD AND SCRIBE APPARATUS [0003]

본 발명은, 기판에 스크라이브 라인을 형성하기 위하여 이용되는 스크라이브 헤드 및 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribe apparatus having a scribe head and a scribe head used for forming a scribe line on a substrate.

종래, 유리 기판 등의 취성(脆性) 재료 기판의 분단은, 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 형성된 스크라이브 라인을 따라서 기판 표면에 소정의 힘을 부가하는 브레이크 공정에 의해서 행해진다. 스크라이브 공정에서는, 스크라이빙 휠의 칼끝이 기판 표면을 누르면서 소정의 라인을 따라서 이동된다. 스크라이브 라인의 형성에는 스크라이브 헤드를 구비한 스크라이브 장치가 이용된다.Conventionally, breaking of a brittle material substrate such as a glass substrate is performed by a scribing step of forming a scribe line on the surface of the substrate and a breaking step of applying a predetermined force to the surface of the substrate along the scribe line formed. In the scribing step, the cutting edge of the scribing wheel is moved along a predetermined line while pressing the surface of the substrate. A scribe apparatus having a scribe head is used to form the scribe line.

상기 스크라이브 공정에 있어서, 스크라이브 라인을 형성하기 위한 칼 끝이, 하나의 칼 끝으로부터 다른 칼 끝으로 전환되는 일이 있다. 또한, 스크라이브 라인의 형성 시, 칼 끝이 압압되는 면과 반대쪽의 면이, 백업 롤러에 의해서 눌려지는 일도 있다. 이러한 칼 끝의 전환이나 백업 롤러의 적용에 원활하게 대응하기 위한 구성으로서, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시된 구성을 이용할 수 있다. 이 구성에서는, 하나의 스크라이브 헤드에, 칼 끝이나 백업 롤러를 유지하기 위한 2개의 홀더가 승강가능하게 설치된다.In the scribing step, a knife edge for forming a scribe line may be switched from one knife edge to another. Further, when the scribe line is formed, the surface opposite to the surface where the end of the knife is pressed may be pressed by the backup roller. For example, the configuration disclosed in Patent Document 1 can be used as a configuration for smoothly coping with the switching of the end of a knife or the application of a backup roller. In this configuration, two scribe heads are provided on the scribe head so that two holders for holding the end of the knife and the backup roller can be raised and lowered.

JPJP 2011-1946282011-194628 AA

상기 특허문헌 1에 개시된 구성에서는, 2개의 홀더를 전환하기 위한 전환 모터가, 홀더를 승강시키기 위한 승강 모터와는 별도로, 스크라이브 헤드에 설치된다. 이 때문에, 스크라이브 헤드의 중량이 증가하고, 또한, 전환과 승강을 연계시키기 위한 기구가 복잡해진다. 또, 이와 같이 기구가 복잡하기 때문에, 홀더의 전환 동작에 요하는 시간이 길어진다는 문제도 일어날 수 있다.In the configuration disclosed in Patent Document 1, the switching motor for switching the two holders is provided in the scribe head separately from the elevating motor for moving the holder. Therefore, the weight of the scribe head is increased, and the mechanism for linking the switching and the elevation is complicated. Also, since the mechanism is complicated as described above, there is a problem that the time required for the holder switching operation becomes long.

이러한 과제를 감안하여, 본 발명은, 간소한 구성에 의해 원활하게 홀더를 전환하는 것이 가능한 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.In view of these problems, it is an object of the present invention to provide a scribe head and scribe device capable of smoothly switching a holder by a simple structure.

본 발명의 제1 양상은, 기판의 스크라이브에 이용되는 스크라이브 헤드에 관한 것이다. 이 양상에 따른 스크라이브 헤드는, 기판에 접근 및 이간 가능하게 배치된 제1 홀더와, 상기 기판에 접근 및 이간 가능하게 배치된 제2 홀더와, 상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더를 승강시키기 위한 모터와, 상기 모터에 의해서 회전되는 회전부와, 상기 회전부의 회전을 상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더에 전달하는 전달 기구를 구비한다. 상기 전달 기구는, 상기 회전부의 회전 위치에 따라서, 상기 제1 홀더와 상기 제2 홀더의 상기 기판에 대한 접근 및 이간을 전환하는 연계부를 구비한다.A first aspect of the present invention relates to a scribe head used for scribing a substrate. According to this aspect, a scribe head comprises a first holder, which is disposed so as to be accessible to and spaced from a substrate, a second holder which is disposed so as to be accessible and separable from the substrate, and a second holder A motor, a rotating portion rotated by the motor, and a transmitting mechanism transmitting the rotation of the rotating portion to the first holder and the second holder. The transfer mechanism has an interlocking portion for switching the approach and disconnection of the first holder and the second holder with respect to the substrate in accordance with the rotation position of the rotation portion.

본 양상에 따른 스크라이브 헤드에 따르면, 모터에 의해서 회전부가 회전됨으로써, 제1 홀더와 제2 홀더 중 어느 한쪽이 기판에 접근한다. 따라서, 간단한 구성에 의해 원활하게 스크라이브 동작에 이용하는 홀더를 전환할 수 있다.According to the scribe head according to this aspect, the rotating part is rotated by the motor so that either the first holder or the second holder approaches the substrate. Therefore, the holder used for the scribe operation can be switched smoothly by a simple structure.

제1 양상에 따른 스크라이브 헤드에 있어서, 상기 전달 기구는, 상기 회전부가 제1 방향으로 중립 위치로부터 회전하면 상기 제1 홀더를 상기 기판에 접근시키고, 상기 회전부가 상기 제1 방향과 반대인 제2 방향으로 상기 중립 위치로부터 회전하면 상기 제2 홀더를 상기 기판에 접근시키도록 구성될 수 있다. 이와 같이 하면, 회전체의 회전 방향을 전환함으로써, 스크라이브 동작에 이용하는 홀더를 전환할 수 있다.In the scribing head according to the first aspect, the transfer mechanism approaches the first holder to the substrate when the rotating part is rotated from the neutral position in the first direction, and the rotating part approaches the substrate To approach the substrate when the second holder is rotated from the neutral position in the first direction. By doing so, it is possible to switch the holder used in the scribing operation by switching the rotating direction of the rotating body.

제1 양상에 따른 스크라이브 헤드에 있어서, 상기 연계부는, 상기 회전부에 구비된 캠 면과, 상기 제1 홀더에 설치되어 상기 캠 면에 맞닿는 제1 캠 종동자와, 상기 제2 홀더에 설치되어 상기 캠 면에 맞닿는 제2 캠 종동자와, 상기 제1 캠 종동자 및 상기 제2 캠 종동자를 상기 캠 면에 접근하는 방향으로 가압하는 탄성부재를 구비하는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 캠과 캠 종동자에 의해 홀더를 전환하는 구성을 이용함으로써, 전달 기구의 간소화를 도모할 수 있고, 또한, 홀더의 승강 제어를 양호하게 행할 수 있다.The scribing head according to the first aspect is characterized in that the linkage section has a cam surface provided in the rotating section, a first cam follower provided on the first holder and abutting against the cam surface, A second cam follower contacting the cam surface and an elastic member pressing the first cam follower and the second cam follower in a direction approaching the cam surface. By using the configuration in which the holder is switched by the cam and the cam follower as described above, the transmission mechanism can be simplified and the holder can be controlled to ascend and descend satisfactorily.

이 경우, 상기 제1 홀더가 상기 기판에 접근하는 동작 위치에 있을 때, 상기 제2 캠 종동자는 상기 캠 면과 비접촉이며, 상기 제2 홀더가 상기 기판에 접근하는 동작 위치에 있을 때, 상기 제1 캠 종동자는 상기 캠 면과 비접촉인 것이 바람직하다. 이와 같이 하면, 한쪽의 홀더가 스크라이브 동작에 이용될 경우에 다른 쪽의 홀더의 캠 종동자가 캠의 회전에 부하로 되는 일이 없어, 한쪽의 홀더의 승강 제어를 보다 양호하게 행할 수 있다.In this case, when the first holder is in the operative position to approach the substrate, the second cam follower is not in contact with the cam surface, and when the second holder is in the operative position to approach the substrate, It is preferable that the first cam follower is not in contact with the cam surface. In this case, when one of the holders is used for the scribing operation, the cam follower of the other holder does not become a load on the rotation of the cam, so that the lift control of one holder can be performed more favorably.

이 경우, 스크라이브 헤드는, 상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더를 각각 상기 비접촉의 상태로 유지하기 위한 스토퍼를 구비하는 구성으로 될 수 있다. 이와 같이 하면, 간소한 구성에 의해 확실히 스크라이브 동작에 이용되지 않은 쪽의 홀더의 캠 종동자를 캠 면에 대하여 비접촉 상태로 유지할 수 있다.In this case, the scribe head may be configured to include a stopper for holding the first holder and the second holder in the non-contact state, respectively. By doing so, the cam follower of the holder which is not reliably used for the scribing operation can be kept in a noncontact state with respect to the cam surface by the simple structure.

본 발명의 제2 양상은 스크라이브 장치에 관한 것이다. 제2 양상에 따른 스크라이브 장치는, 상기 제1 양상의 스크라이브 헤드와, 절단 대상의 기판을 지지하는 지지부와, 상기 지지부에 지지된 상기 기판에 대해서 상기 스크라이브 헤드를 이동시키는 이동 기구를 구비한다.A second aspect of the present invention relates to a scribe apparatus. The scribing apparatus according to the second aspect comprises a scribe head of the first aspect, a support section for supporting the substrate to be cut, and a moving mechanism for moving the scribe head with respect to the substrate supported by the support section.

본 양상에 따른 스크라이브 장치에 따르면, 상기 제1 양상의 스크라이브 헤드와 마찬가지 작용 및 효과가 발휘될 수 있다.According to the scribing apparatus according to this aspect, the same operation and effect as those of the scribing head of the first aspect can be exhibited.

이 양상에 따른 스크라이브 장치에 있어서, 상기 제1 홀더에는, 예를 들면, 스크라이브 라인을 형성하기 위한 제1 칼 끝이 유지되고, 상기 제2 홀더에는, 예를 들면, 스크라이브 라인을 형성하기 위한 제2 칼 끝 또는 기판을 누르기 위한 롤러가 유지된다. 제2 홀더에 제2 칼 끝이 유지될 경우, 회전부를 회전시킴으로써, 스크라이브 동작에 이용하는 칼 끝을 제1 칼 끝과 제2 칼 끝 간에 전환할 수 있다. 제2 홀더에 롤러가 유지될 경우, 회전부를 회전시킴으로써, 스크라이브 동작에 이용하는 대상물을 제1 칼 끝과 롤러 간에 전환할 수 있다.In the scribing apparatus according to this aspect, for example, a first knife edge for forming a scribe line is held in the first holder, and a second knife for forming a scribe line, for example, 2 The end of the blade or roller for pressing the substrate is held. When the second end of the knife is held in the second holder, the knife end used for the scribing operation can be switched between the first knife end and the second knife end by rotating the rotating portion. When the roller is held in the second holder, the object used in the scribing operation can be switched between the first knife edge and the roller by rotating the rotating portion.

이상 기술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 간소한 구성에 의해 원활하게 홀더를 전환하는 것이 가능한 스크라이브 헤드 및 스크라이브 장치를 제공할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, it is possible to provide a scribe head and scribe device capable of smoothly switching a holder by a simple structure.

본 발명의 효과 내지 의의는, 이하에 나타낸 실시형태의 설명에 의해 더욱 명확해질 것이다. 단, 이하에 나타낸 실시형태는, 어디까지나, 본 발명을 실시화할 때의 하나의 예시로서, 본 발명은, 이하의 실시형태에 기재된 것으로 하등 제한되는 것은 아니다.The effect or significance of the present invention will become more apparent from the following description of the embodiments. It should be noted, however, that the embodiments described below are merely illustrative of the embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to those described in the following embodiments.

도 1은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 구성을 도시한 모식도;
도 2는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 일부 분해 사시도;
도 3은 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 정면도;
도 4는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 측면도;
도 5는 실시형태에 따른 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 사시도;
도 6은 실시형태에 따른 커터 휠이 하강되었을 때의 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 정면도;
도 7은 실시형태에 따른 커터 휠이 하강되었을 때의 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 측면도;
도 8은 실시형태에 따른 백업 롤러가 하강되었을 때의 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 정면도;
도 9는 실시형태에 따른 백업 롤러가 하강되었을 때의 스크라이브 헤드의 구성을 도시한 측면도;
도 10은 실시형태에 따른 스크라이브 장치의 요부 구성을 도시한 블록도, 및 스크라이브 장치의 동작의 흐름을 나타낸 순서도;
도 11은 변경예에 따른 스크라이브 헤드의 구동부와 승강부를 도시한 모식도.1 is a schematic diagram showing a configuration of a scribing apparatus according to an embodiment;
2 is a partially exploded perspective view showing a configuration of a scribe head according to an embodiment;
3 is a front view showing a configuration of a scribe head according to the embodiment;
4 is a side view showing a configuration of a scribe head according to the embodiment;
5 is a perspective view showing a configuration of a scribe head according to an embodiment;
6 is a front view showing a configuration of a scribe head when the cutter wheel is lowered according to the embodiment;
7 is a side view showing the structure of a scribe head when the cutter wheel is lowered according to the embodiment;
8 is a front view showing a configuration of a scribe head when the backup roller is lowered according to the embodiment;
9 is a side view showing a configuration of a scribe head when the backup roller is lowered according to the embodiment;
FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of the essential part of the scribing apparatus according to the embodiment, and a flowchart showing the flow of operation of the scribing apparatus; FIG.
11 is a schematic diagram showing a driving part and a lifting part of a scribe head according to a modification example;

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서, 도면을 참조해서 설명한다. 또, 각 도면에는, 편의상, 서로 직교하는 X축, Y축 및 Z축이 부기되어 있다. X-Y 평면은 수평면에 평행하고, Z축 방향은 연직방향이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other for the sake of convenience. The X-Y plane is parallel to the horizontal plane, and the Z-axis direction is the vertical direction.

본 실시형태에 있어서, 컨베이어(11)는 특허청구범위에 기재된 「지지부」에 상당하고, 서보모터(211)는 특허청구범위에 기재된 「모터」에 상당한다. 또, 원통 캠(212)은 특허청구범위에 기재된 「회전부」에 상당한다. 또한, 캠 면(212a), (212b)과, 캠 종동자(221), (231)와, 탄성부재(225b), (235b)는 특허청구범위에 기재된 「연계부」에 상당한다. 또, 연결부(222), (232)와, 압압부(224), (234)와, 리니어 가이드(225a), (235a)와, 홀더 가이드(226), (236)와, 홀더 유지체(227), (237)는 특허청구범위에 기재된 「전달 기구」에 상당한다. 또한, 휠 홀더(228)는 특허청구범위에 기재된 「제1 홀더」에 상당한다. 또, 휠 홀더(238)는 특허청구범위에 기재된 「제2 홀더」에 상당한다. 또한, 커터 휠(229)은 특허청구범위에 기재된 「제1 칼 끝」 또는 「제2 칼 끝」에 상당한다. 또, 백업 롤러(239)는 특허청구범위에 기재된 「롤러」에 상당한다. 단, 상기 특허청구범위와 본 실시형태의 대응에 의해, 특허청구범위에 관한 발명이 본 실시형태로 한정되는 것은 아니다.In the present embodiment, the conveyor 11 corresponds to the "support portion" described in the claims, and the servomotor 211 corresponds to the "motor" described in the claims. The cylindrical cam 212 corresponds to the " rotating part " The cam surfaces 212a and 212b, the cam followers 221 and 231 and the elastic members 225b and 235b correspond to the " linkage portion " The linear guides 225a and 235a and the holder guides 226 and 236 and the holder holders 227 and 236 are provided with the connecting portions 222 and 232, the pressing portions 224 and 234, ) And (237) correspond to the "transmission mechanism" described in the claims. Further, the wheel holder 228 corresponds to the " first holder " described in the claims. The wheel holder 238 corresponds to the " second holder " described in the claims. Further, the cutter wheel 229 corresponds to " first cutting edge " or " second cutting edge " The backup roller 239 corresponds to a " roller " However, the invention relating to the claims is not limited to this embodiment by the correspondence between the claims and the present embodiment.

도 1(a) 및 도 1(b)는 스크라이브 장치(1)의 구성을 도시한 모식도이다. 도 1(a)는 Y축 정측(正側)에서 스크라이브 장치(1)를 본 모식도이고, 도 1(b)는 X축 부측(負側)에서 스크라이브 장치(1)를 본 모식도이다.1 (a) and 1 (b) are schematic diagrams showing the construction of a scribe apparatus 1. Fig. Fig. 1 (a) is a schematic view showing the scribe device 1 on the positive Y-axis side, and Fig. 1 (b) is a schematic view showing the scribe device 1 on the X-axis side (negative side).

도 1(a)를 참조하면, 스크라이브 장치(1)는, 컨베이어(11)와, 지주(12a), (12b)와, 가동 가이드(13a), (13b)와, 가동 가이드(14a), (14b)와, 접동 유닛(15), (16)과, 2개의 스크라이브 헤드(2)를 구비한다.1 (a), the scribing apparatus 1 includes a conveyor 11, struts 12a and 12b, movable guides 13a and 13b, movable guides 14a and 14b, 14b, sliding units 15, 16, and two scribe heads 2.

도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 컨베이어(11)는, 스크라이브 헤드(2)가 설치되어 있는 개소를 제외하고, Y축 방향으로 연장되도록 설치되어 있다. 컨베이어(11) 상에는 마더 기판(G)이 놓인다. 마더 기판(G)은, 1쌍의 유리 기판이 상호 접합된 기판 구조를 가진다. 마더 기판(G)은 컨베이어(11)에 의해 Y축 방향으로 이송된다.As shown in Fig. 1 (b), the conveyor 11 is provided so as to extend in the Y-axis direction except for a portion where the scribe head 2 is installed. A mother substrate (G) is placed on the conveyor (11). The mother substrate (G) has a substrate structure in which a pair of glass substrates are bonded to each other. The mother substrate (G) is conveyed in the Y-axis direction by the conveyor (11).

지주(12a), (12b)는, 스크라이브 장치(1)의 베이스에 컨베이어(11)를 사이에 두고 수직으로 설치되어 있다. 가동 가이드(13a), (13b) 및 가동 가이드(14a), (14b)는, 각각, X축 방향에 평행이 되도록, 지주(12a), (12b) 사이에 가설되어 있다. 접동 유닛(15), (16)은, 각각, 가동 가이드(13a), (13b), 가동 가이드(14a), (14b)에 접동 가능하게 설치되어 있다. 가동 가이드(13a), (13b) 및 가동 가이드(14a), (14)에는, 각각, 소정의 구동 기구가 설치되어 있어, 이 구동 기구에 의해, 접동 유닛(15), (16)이 X축 방향에 접동된다.The supports 12a and 12b are vertically provided on the base of the scribe apparatus 1 with the conveyor 11 therebetween. The movable guides 13a and 13b and the movable guides 14a and 14b are laid between the struts 12a and 12b so as to be parallel to the X axis direction. The sliding units 15 and 16 are slidably mounted on the movable guides 13a and 13b and the movable guides 14a and 14b, respectively. Each of the movable guides 13a and 13b and the movable guides 14a and 14 is provided with a predetermined driving mechanism so that the sliding units 15 and 16 are movable in the X- Direction.

Z축 부측의 스크라이브 헤드(2)는, 구동부(21)와, 승강부(22), (23)를 구비한다. 승강부(22)에는 커터 휠(229)(도 3참조)이 장착되어 있고, 승강부(23)에는 백업 롤러(239)(도 3 참조)가 장착되어 있다. 구동부(21)는, 승강부(22)와 승강부(23) 중 어느 한쪽을 상승시키고, 다른 한쪽을 하강시킨다. Z축 정측의 스크라이브 헤드(2)도, Z축 부측의 스크라이브 헤드와 마찬가지 구성을 구비한다. 2개의 스크라이브 헤드(2)는, 한쪽 스크라이브 헤드(2)의 커터 휠(229)과 다른 쪽 스크라이브 헤드(2)의 백업 롤러(239)가 서로 대향하도록 배치되어 있다.The scribe head 2 on the Z axis side has a driving part 21 and elevating parts 22 and 23. A cutter wheel 229 (see FIG. 3) is mounted on the elevating portion 22 and a backup roller 239 (see FIG. 3) is mounted on the elevating portion 23. The driving unit 21 raises either the elevating unit 22 or the elevating unit 23 and lower the other. The scribe head 2 on the positive Z-axis side also has a configuration similar to that of the scribe head on the Z-axis side. The two scribe heads 2 are arranged so that the cutter wheel 229 of one scribe head 2 and the backup roller 239 of the other scribe head 2 are opposed to each other.

Z축 부측의 스크라이브 헤드(2)의 승강부(22)와, Z축 정측의 스크라이브 헤드(2)의 승강부(23)를, 각각, 마더 기판(G)에 근접시킴으로써, Z축 부측의 커터 휠(229)(도 3 참조)이 마더 기판(G)의 상부면에 압접된다. 이 때, 마더 기판(G)의 하부면은, 둘레면이 평평한 백업 롤러(239)(도 3참조)에 의해 백업된다. 그리고, 소정의 구동 기구(도시 생략)로부터 접동 유닛(15), (16)이 X축 방향으로 이송된다. 이것에 의해, Z축 부측의 커터 휠(229)(도 3참조)이 마더 기판(G)의 상부면에 압접된 상태에서 이동하여, 마더 기판(G)의 상부면에 스크라이브 라인이 형성된다. 마더 기판(G)의 하부면에 스크라이브 라인이 형성될 경우에는, Z축 정측의 커터 휠(229)(도 3참조)과, Z축 부측의 백업 롤러(239)(도 3 참조)가 마더 기판(G)에 근접된다.The elevation portion 22 of the scribe head 2 on the Z axis side and the elevation portion 23 of the scribe head 2 on the positive Z axis side are brought close to the mother substrate G, The wheel 229 (see Fig. 3) is brought into pressure contact with the upper surface of the mother substrate G. At this time, the lower surface of the mother substrate G is backed up by a backup roller 239 (see Fig. 3) whose circumferential surface is flat. Then, the sliding units 15, 16 are fed in the X-axis direction from a predetermined driving mechanism (not shown). Thus, the cutter wheel 229 (see FIG. 3) on the Z axis side moves in a state of being in pressure contact with the upper surface of the mother substrate G, and a scribe line is formed on the upper surface of the mother substrate G. When the scribe line is formed on the lower surface of the mother substrate G, the cutter wheel 229 (see Fig. 3) on the positive side of the Z axis and the backup roller 239 (see Fig. 3) (G).

이와 같이, 1쌍의 유리 기판이 상호 접합된 마더 기판(G)에 대해서, 스크라이브 라인이 형성될 경우, 적절하게 커터 휠(229)(도 3 참조)과 백업 롤러(239)(도 3 참조)를 전환할 필요가 있다. 또, 수지 기판을 절단할 경우에는, 수지 기판을 컷팅할 때에 솟아오른 수지를 억제하기 위해서, 압궤롤러를 이용할 수 있다. 이와 같이, 스크라이브 헤드(2)에서는, 복수 종류의 툴(tool)이 이용될 수 있다. 그래서, 본 실시형태에서는, 간이하게 툴을 전환할 수 있는 구성이 설치되어 있다.3) and the backup roller 239 (see Fig. 3) when the scribe line is formed on the mother substrate G in which the pair of glass substrates are bonded to each other, . When the resin substrate is cut, a crushing roller can be used to suppress the resin rising at the time of cutting the resin substrate. As described above, in the scribe head 2, a plurality of kinds of tools can be used. Thus, in the present embodiment, a configuration is provided so that the tool can be switched easily.

도 2는 스크라이브 헤드(2)의 구성을 도시한 일부 분해 사시도이다.2 is a partially exploded perspective view showing the structure of the scribe head 2.

스크라이브 헤드(2)는, 구동부(21)와, 승강부(22), (23)와, 베이스 플레이트(24)와, 상부 플레이트(25)와, 하부 플레이트(26)와, 밀봉(seal) 부재(27)와, 커버(28)를 구비한다.The scribe head 2 includes a driving part 21, elevating parts 22 and 23, a base plate 24, an upper plate 25, a lower plate 26, (27), and a cover (28).

베이스 플레이트(24)는, X축 정방향에서 보았을 때에, 거의 직사각형의 윤곽을 지닌다. 베이스 플레이트(24)의 2개의 측면에는 스텝부(24a)가 형성되어 있다. 베이스 플레이트(24)에는 복수의 나사 구멍이 형성되어 있다.The base plate 24 has a substantially rectangular contour when viewed in the X-axis positive direction. Step portions 24a are formed on the two side surfaces of the base plate 24. The base plate 24 is formed with a plurality of screw holes.

상부 플레이트(25)는, 상부면에서 보아서, 거의 직사각형의 윤곽을 지닌다. 상부 플레이트(25)의 측면에는 스텝부(25a)가 형성되어 있다. 상부 플레이트(25)의 중앙에는 개구부가 형성되어 있다(도시 생략). 상부 플레이트(25)의 스텝부(25a)에는 복수의 나사 구멍이 형성되어 있다. 또한, 상부 플레이트(25)에는 급기용 조인트(25b)가 설치되어 있다.The upper plate 25 has a substantially rectangular contour as viewed from the upper surface. A step portion 25a is formed on a side surface of the upper plate 25. [ An opening is formed at the center of the upper plate 25 (not shown). A plurality of screw holes are formed in the step portion 25a of the upper plate 25. [ The upper plate 25 is provided with a supply joint 25b.

하부 플레이트(26)는, 상부면에서 보아서, 거의 직사각형의 윤곽을 지닌다. 하부 플레이트(26)의 측면에는 스텝부(26a)가 형성되어 있다. 하부 플레이트(26)에는 개구부(26b), (26c)가 형성되어 있다. 하부 플레이트(26)의 스텝부(26a)에는 복수의 나사 구멍이 형성되어 있다.The lower plate 26 has a substantially rectangular contour as viewed from the upper surface. A step portion 26a is formed on a side surface of the lower plate 26. As shown in Fig. The lower plate 26 is provided with openings 26b and 26c. The step portion 26a of the lower plate 26 is formed with a plurality of screw holes.

도 2의 상태에 있어서, 상부 플레이트(25)와 하부 플레이트(26)는, 나사에 의해서, 베이스 플레이트(24)에 나사 연결되어 있다. 이 상태에서, 스텝부(24a), (25a), (26a)는, 하나로 연결되어 있다. 즉, 상부 플레이트(25)에 형성된 스텝부(25a)의 양 단부가, 베이스 플레이트(24)의 2개의 측면에 형성된 스텝부(24a)의 상단부에 각각 연결되어 있다. 또한, 하부 플레이트(26)에 형성된 스텝부(26a)의 양 단부가, 베이스 플레이트(24)의 2개의 측면에 형성된 스텝부(24a)의 하단부에 각각 연결되어 있다.In the state of Fig. 2, the upper plate 25 and the lower plate 26 are screwed to the base plate 24 by screws. In this state, the step portions 24a, 25a, and 26a are connected together. Both ends of the step portion 25a formed on the upper plate 25 are connected to the upper end portions of the step portion 24a formed on the two side surfaces of the base plate 24, respectively. Both ends of the step portion 26a formed on the lower plate 26 are connected to the lower end portions of the step portion 24a formed on the two side surfaces of the base plate 24, respectively.

도 2의 상태에 있어서, 베이스 플레이트(24)는, X축 정측의 측면과 X축 부측의 측면이 각각 Y-Z 평면(연직면)에 평행하게 되어 있다. 또, 상부 플레이트(25)는, Z축 정측의 측면과 Z축 부측의 측면이 각각 X-Y 평면(수평면)에 평행하게 되어 있고, 하부 플레이트(26)는, Z축 정측의 측면과 Z축 부측의 측면이 각각 X-Y 평면(수평면)에 평행하게 되어 있다. 즉, 상부 플레이트(25)와 하부 플레이트(26)는, 베이스 플레이트(24)에 수직으로 연결되고, 또한, 소정의 간격을 두고 서로 정대향하도록, 베이스 플레이트(24)에 부착되어 있다.In the state of Fig. 2, the base plate 24 has the side surface on the positive X-axis side and the side surface on the X-axis side side parallel to the Y-Z plane (vertical surface), respectively. The upper plate 25 has a side surface on the positive Z axis side and a side surface on the Z axis side parallel to the XY plane (horizontal plane), and the lower plate 26 has the side surface on the positive Z axis and the side surface on the Z axis side And the side surfaces are respectively parallel to the XY plane (horizontal plane). That is, the upper plate 25 and the lower plate 26 are attached to the base plate 24 so as to be vertically connected to the base plate 24 and to face each other at a predetermined interval.

도 3은 구동부(21)와 승강부(22), (23)를 X축 부측에서 본 구성을 도시한 정면도이다. 도 4(a)는 구동부(21)와 승강부(22)를 Y축 정측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 4(b)는 구동부(21)와 승강부(23)를 Y축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 또, 도 3, 도 4(a) 및 도 4(b)에서는, 연결부(222)가 투시된 상태가 도시되어 있다. 또한, 도 3, 도 4(a) 및 도 4(b)에는, 원통 캠(212)이 중립 위치에 있을 때의 상태가 도시되어 있다.3 is a front view showing the configuration of the driving section 21 and the elevation sections 22 and 23 viewed from the X axis side. 4 (a) is a side view showing the configuration of the driving section 21 and the elevation section 22 viewed from the positive Y-axis side. 4 (b) is a side view showing the configuration of the driving section 21 and the elevation section 23 viewed from the Y-axis side. 3, 4 (a) and 4 (b) show a state in which the connecting portion 222 is viewed. 3, 4 (a) and 4 (b) show the state when the cylindrical cam 212 is in the neutral position.

도 3을 참조하면, 구동부(21)는 서보모터(211)와, 원통 캠(212)을 구비한다.Referring to FIG. 3, the driving unit 21 includes a servo motor 211 and a cylindrical cam 212.

서보모터(211)는 출력 축의 축심이 Z축에 평행하게 되도록 배치되어 있다. 서보모터(211)는 출력 축이 원통 캠(212)의 상부에 형성된 구멍에 압입되어 있다. 또, 서보모터(211)의 출력 축 밑 부분은, 상부 플레이트(25)에 형성된 개구부의 직경보다도 약간 작은 원주부로 되어 있다. 서보모터(211)는, 이 원주부가 상부 플레이트(25)의 개구부에 거의 간극 없이 삽입되도록 하여, 상부 플레이트(25)의 상부면에 설치되어 있다.The servo motor 211 is disposed such that the axis center of the output shaft is parallel to the Z axis. The output shaft of the servo motor 211 is press-fitted into a hole formed in the upper portion of the cylindrical cam 212. The lower portion of the output shaft of the servo motor 211 is formed as a circumferential portion slightly smaller than the diameter of the opening formed in the upper plate 25. [ The servo motor 211 is mounted on the upper surface of the upper plate 25 such that the circumferential portion is inserted into the opening of the upper plate 25 with almost no gap.

원통 캠(212)은, 원주가 2개의 방향에서부터 사선으로 절결된 형상을 지닌다. 서보모터(211)의 출력 축과 원통 캠(212)은, 나사에 의해서 압착 고정되어 있다. 따라서, 서보모터(211)가 구동되면, 원통 캠(212)은, 서보모터(211)의 출력 축과 일체가 되어서, X-Y 평면에 평행한 방향으로 회전한다. 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 원통 캠(212)의 캠 면(212a)는, X-Y 평면(수평면)에 대해서, 소정의 각도로 경사져 있다. 또, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 원통 캠(212)의 캠 면(212b)은, X-Y 평면(수평면)에 대해서, 소정의 각도로 경사져 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이 원통 캠(212)이 중립 위치에 있을 때, 캠 면(212a)과 캠 면(212b)은, 서로 좌우 방향으로 대칭인 형상으로 되어 있다.The cylindrical cam 212 has a shape in which the circumference is cut out diagonally from two directions. The output shaft of the servo motor 211 and the cylindrical cam 212 are fixed by a screw. Therefore, when the servo motor 211 is driven, the cylindrical cam 212 becomes integral with the output shaft of the servo motor 211 and rotates in a direction parallel to the X-Y plane. As shown in Fig. 4 (a), the cam surface 212a of the cylindrical cam 212 is inclined at a predetermined angle with respect to the X-Y plane (horizontal plane). 4 (b), the cam surface 212b of the cylindrical cam 212 is inclined at a predetermined angle with respect to the X-Y plane (horizontal plane). As shown in Fig. 3, when the cylindrical cam 212 is at the neutral position, the cam surface 212a and the cam surface 212b are symmetrical in the left-right direction.

도 3을 참조하면, 승강부(22)는, 캠 종동자(221)와, 연결부(222)와, 스토퍼(223a), (223b)와, 압압부(224)와, 리니어 가이드(225a)와, 탄성부재(225b)와, 홀더 가이드(226)와, 홀더 유지체(227)와, 휠 홀더(228)와, 커터 휠(229)을 구비한다. 마찬가지로, 승강부(23)는, 캠 종동자(231)와, 연결부(232)와, 스토퍼(233a), (233b)와, 압압부(234)와, 리니어 가이드(235a)와, 탄성부재(235b)와, 홀더 가이드(236)와, 홀더 유지체(237)와, 휠 홀더(238)와, 백업 롤러(239)를 구비한다. 승강부(22)와 승강부(23)는, X-Z평면에 대해서 면대칭이 되도록 배치되어 있다.3, the lifting portion 22 includes a cam follower 221, a connecting portion 222, stoppers 223a and 223b, a pressing portion 224, a linear guide 225a, A holder 226, a holder 227, a wheel holder 228, and a cutter wheel 229. The elastic member 225b, the holder guide 226, the holder holder 227, the wheel holder 228, Similarly, the lifting portion 23 includes a cam follower 231, a connecting portion 232, stoppers 233a and 233b, a pressing portion 234, a linear guide 235a, A holder holder 236, a wheel holder 238, and a back-up roller 239. The holder 236 includes a holder 236, The elevating portion 22 and the elevating portion 23 are arranged so as to have a plane symmetry with respect to the X-Z plane.

캠 종동자(221)는, Y축에 평행한 고정 축(222a)에 의해, 연결부(222)에 회전가능하게 축지지되어 있다. 원통 캠(212)의 캠 면(212a)(도 4(a) 참조)은, 캠 종동자(221)의 외주면에 맞닿아 있다. 원통 캠(212)이 서보모터(211)에 의해서 회전되면, 캠 면(212a)(도 4(a) 참조)과 캠 종동자(221)의 맞닿음 위치가 Z축 방향으로 변화된다. 이것에 의해, 캠 종동자(221)가 상하 방향(Z축 방향)에 이동된다.The cam follower 221 is rotatably supported on the connecting portion 222 by a fixed shaft 222a parallel to the Y axis. The cam surface 212a (see Fig. 4 (a)) of the cylindrical cam 212 is in contact with the outer circumferential surface of the cam follower 221. When the cylindrical cam 212 is rotated by the servomotor 211, the abutting position of the cam surface 212a (see Fig. 4 (a)) and the cam follower 221 changes in the Z-axis direction. As a result, the cam followers 221 are moved in the vertical direction (Z-axis direction).

연결부(222)는, 1개의 모서리가 절결된 대략 직육면체의 형상을 지닌다. 연결부(222)의 위쪽(Z축 부측)에는, 캠 종동자(221)를 축지지하기 위한 고정 축(222a)이 고착되어 있고, 연결부(222)의 아래쪽(Z축 정측)에는, 압압부(224)를 연결 고정하기 위한 2개의 고정 축(222b)이 고착되어 있다. 연결부(222)는, 도시한 바와 같이, 절결부(222c)가 압압부(224)의 상부면에 걸리도록 해서, 캠 종동자(221)와 압압부(224)를 연결하고 있다. 따라서, 캠 종동자(221)에 전달된 구동력은 연결부(222)를 개재해서 압압부(224)에 전달된다.The connecting portion 222 has a substantially rectangular parallelepiped shape with one corner cut out. A fixing shaft 222a for holding the cam follower 221 is fixed to the upper side (Z-axis side portion) of the connecting portion 222. A pressing shaft 222a is fixed to the lower portion 224 are fixed to two fixing shafts 222b. The connecting portion 222 connects the cam follower 221 and the pressing portion 224 so that the cutout portion 222c is caught on the upper surface of the pressing portion 224 as shown in the figure. Therefore, the driving force transmitted to the cam follower 221 is transmitted to the pressing portion 224 via the connecting portion 222. [

도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 스토퍼(223a)는, 나사 형상의 부재이며, 연결부(222)의 상부면 중앙에 고착되어 있다. 스토퍼(223b)는, 나사 형상의 부재이며, 상부 플레이트(25)의 스토퍼(223a)에 대향하는 위치에 고착되어 있다. 스토퍼(223a)의 상부면 및 스토퍼(223b)의 하부면은, X-Y 평면에 평행하게 되어 있다. 스토퍼(223a)는, 스토퍼(223b)와 맞닿음으로써 연결부(222)에 연결된 캠 종동자(221)의 위쪽으로의 이동을 소정의 범위로 제한한다. 즉, 원통 캠(212)이 소정 이상으로 회전했다고 해도, 스토퍼(223a)가 스토퍼(223b)에 맞닿음으로써, 연결부(222) 및 캠 종동자(221)의 상승이 억제되어, 캠 종동자(221)와 캠 면(212a) 사이에는 간극이 발생한다.4A, the stopper 223a is a screw-shaped member and is fixed to the center of the upper surface of the connecting portion 222. As shown in Fig. The stopper 223b is a screw-like member and is fixed to a position facing the stopper 223a of the upper plate 25. [ The upper surface of the stopper 223a and the lower surface of the stopper 223b are parallel to the X-Y plane. The stopper 223a restricts the upward movement of the cam follower 221 connected to the connecting portion 222 by abutting against the stopper 223b to a predetermined range. That is, even if the cylindrical cam 212 rotates more than a predetermined amount, the stopper 223a comes into contact with the stopper 223b, whereby the rise of the connecting portion 222 and the cam follower 221 is suppressed, 221 and the cam surface 212a.

압압부(224)는, 배면(X축 부측의 면)에 가이드받이부(224a)가 설치되어 있다. 가이드받이부(224a)는 나사에 의해서 압압부(224)에 고착되어 있다. 압압부(224)의 하부면(Z축 정측의 면)에는 원통부(224b)가 형성되어 있다. 원통부(224b)의 외주의 직경은 하부 플레이트(26)의 개구부(26b)(도 2 참조)의 직경보다도 약간 작다. 원통부(224b)는 하부 플레이트(26)의 개구부(26b)에 삽입된다. 원통부(224b)의 하단면은 홀더 유지체(227)에 나사체결되어 있다.The pressing portion 224 is provided with a guide receiving portion 224a on the back surface (the surface on the X axis side). The guide receiving portion 224a is fixed to the pressing portion 224 by a screw. A cylindrical portion 224b is formed on the lower surface (surface on the positive Z-axis side) of the pressing portion 224. The diameter of the outer periphery of the cylindrical portion 224b is slightly smaller than the diameter of the opening 26b (see Fig. 2) of the lower plate 26. [ The cylindrical portion 224b is inserted into the opening 26b of the lower plate 26. [ The lower end surface of the cylindrical portion 224b is screwed to the holder holding member 227. [

리니어 가이드(225a)는, Z축 방향으로 연장되도록, 베이스 플레이트(24)에 나사에 의해서 고착되어 있다. 압압부(224)의 가이드받이부(224a)는 리니어 가이드(225a)와 맞물려 있다. 이것에 의해, 압압부(224)는, 리니어 가이드(225a)에 의해서, 상하 방향(Z축 방향)으로 안내된다. 탄성부재(225b)는, 상단부가 상부 플레이트(25)에 고정된 나사의 선단부에 형성된 구멍에 걸려 있고, 하단부가 압압부(224)의 배면에 형성된 볼록부에 걸려 있다. 또, 탄성부재(225b)는 Y축 정측과 베이스 플레이트(24)의 Y축 방향의 중앙 부근에 각각 설치되어 있다. 압압부(224)는 탄성부재(225b)에 의해서 위쪽 방향(Z축 부방향)으로 가압되어 있다. 탄성부재(225b)는, 예를 들면, 코일 스프링에 의해 구성되어 있다.The linear guide 225a is fixed to the base plate 24 by screws so as to extend in the Z-axis direction. The guide receiving portion 224a of the pressing portion 224 is engaged with the linear guide 225a. Thus, the pressing portion 224 is guided in the up-down direction (Z-axis direction) by the linear guide 225a. The upper end of the elastic member 225b is engaged with a hole formed in the distal end of the screw fixed to the upper plate 25 and the lower end of the elastic member 225 is engaged with the convex portion formed on the back surface of the pressing portion 224. The elastic members 225b are provided near the center in the Y axis direction of the Y axis positive side and the base plate 24, respectively. The pressing portion 224 is pressed upward (Z-axis direction) by the elastic member 225b. The elastic member 225b is constituted by, for example, a coil spring.

홀더 가이드(226)는 판부(226a)와 원통부(226b)로 이루어지고 있다. 원통부(226b)의 내측은 상하 방향(Z축 방향)으로 관통하는 개구로 되어 있다. 홀더 가이드(226)의 판부(226a)는 하부 플레이트(26)의 하부면(Z축 정측)에 나사에 의해 나사 연결되어 있다. 원통부(226b)의 내주의 직경은, 압압부(224)의 원통부(224b)의 외주의 직경보다도 간신히 크다. 압압부(224)가 상하 방향(Z축 방향)으로 이동하면, 압압부(224)의 원통부(224b)가 원통부(226b)의 내주를 따라서 이동한다. 또한, 홀더 가이드(226)는, 원통부(226b)의 외주를 따라서, 후술하는 홀더 유지체(227)을 상하 방향(Z축 방향)에 안내한다.The holder guide 226 includes a plate portion 226a and a cylindrical portion 226b. The inside of the cylindrical portion 226b is an opening passing through in the vertical direction (Z-axis direction). The plate portion 226a of the holder guide 226 is screwed to the lower surface (Z-axis positive side) of the lower plate 26 by a screw. The diameter of the inner periphery of the cylindrical portion 226b is barely larger than the diameter of the outer periphery of the cylindrical portion 224b of the pressing portion 224. [ When the pressing portion 224 moves in the vertical direction (Z-axis direction), the cylindrical portion 224b of the pressing portion 224 moves along the inner periphery of the cylindrical portion 226b. The holder guide 226 guides the holder holding member 227, which will be described later, along the outer periphery of the cylindrical portion 226b in the vertical direction (Z-axis direction).

홀더 유지체(227)에는, Z축 정측과 Z축 부측에, 각각 개구가 형성되어 있다. Z축 부측의 개구의 직경은, 홀더 가이드(226)의 원통부(226b)의 외주의 직경보다도 약간 크다. Z축 정측의 개구의 직경은, Z축 부측의 개구의 직경보다도 작다. 홀더 가이드(226)의 원통부(226b)가 홀더 유지체(227)의 Z축 부측의 개구에 삽입되어서, 홀더 유지체(227)는 나사에 의해 압압부(224)의 원통부(224b)에 나사 연결된다. 이것에 의해, 홀더 유지체(227)는 압압부(224)에 조립된다.The holder holding member 227 is provided with openings on the Z axis positive side and the Z axis side. The diameter of the opening in the Z axis portion side is slightly larger than the diameter of the outer periphery of the cylindrical portion 226b of the holder guide 226. [ The diameter of the opening on the Z axis positive side is smaller than the diameter of the opening on the Z axis side. The cylindrical portion 226b of the holder guide 226 is inserted into the opening on the Z axis side of the holder holding body 227 so that the holder holding body 227 is screwed to the cylindrical portion 224b of the pressing portion 224 Screw connection. Thereby, the holder holding member 227 is assembled to the pressing portion 224.

휠 홀더(228)는, 홀더 유지체(227)에 의해서 Z축 정측에 유지되어 있다. 휠 홀더(228)는, 휠 형상의 커터 휠(229)을, X축에 평행한 2개의 지축(支軸)에 의해서, 회전가능하게 축지지한다. 커터 휠(229)은, 선단부가 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하기 위한 칼로 되어 있다.The wheel holder 228 is held on the positive Z-axis side by the holder holding member 227. The wheel holder 228 rotatably supports the wheel-shaped cutter wheel 229 by two supporting shafts parallel to the X-axis. The tip of the cutter wheel 229 is a knife for forming a scribe line on the surface of the mother substrate G. [

승강부(23)는, 백업 롤러(239)를 제외하고, 승강부(22)와 대략 마찬가지로 해서 구성되어 있다. 승강부(23)의 휠 홀더(238)는, 백업 롤러(239)를, X축에 평행한 2개의 지축에 의해서, 회전가능하게 축지지한다. 백업 롤러(239)는 둘레면이 평평한 형상을 가지고 있다.The elevating portion 23 is constructed in substantially the same manner as the elevating portion 22 except for the backup roller 239. [ The wheel holder 238 of the elevation portion 23 rotatably supports the backup roller 239 by two support shafts parallel to the X axis. The backup roller 239 has a flat circumferential surface.

도 2로 돌아가면, 밀봉 부재(27)는 고무 프레임(27a) 내지 (27d)과, 잠금쇠(27e)로 이루어진다. 고무 프레임(27a) 내지 (27d)은, 각각, 공기가 스며들지 않는 탄성부재이다. 고무 프레임(27a)는 상부 플레이트(25)의 스텝부(25a)에, 고무 프레임(27b)은 하부 플레이트(26)의 스텝부(26a)에 끼워넣어지는 형상을 가지고 있다. 고무 프레임(27c), (27d)은, 각각, 베이스 플레이트(24)의 Y축 부측의 스텝부(24a)와 Y축 정측의 스텝부(24a)에 끼워넣어지는 형상을 가지고 있다. 고무 프레임(27a) 내지 (27d)의 두께는, 스텝부(24a), (25a) 및 (26a)의 깊이보다도 약간 작다. 잠금쇠(27e)는, 베이스 플레이트(24)의 스텝부(24a)의 Z축 방향의 폭보다도 약간 크다.2, the sealing member 27 is composed of rubber frames 27a to 27d and a catch 27e. Each of the rubber frames 27a to 27d is an elastic member that does not infiltrate air. The rubber frame 27a has a shape that is inserted into the step portion 25a of the upper plate 25 and the rubber frame 27b is fitted into the step portion 26a of the lower plate 26. [ Each of the rubber frames 27c and 27d has a shape that is sandwiched between the step portion 24a on the Y axis side of the base plate 24 and the step portion 24a on the positive Y axis side. The thicknesses of the rubber frames 27a to 27d are slightly smaller than the depths of the step portions 24a, 25a and 26a. The catch 27e is slightly larger than the width of the step portion 24a of the base plate 24 in the Z-axis direction.

커버(28)는 좌측 커버부(28a)와, 우측 커버부(28b)로 이루어진다. 좌측 커버부(28a)는, 판 형상의 좌측면부(28c)와, 좌측면부(28c)의 X축 부측의 단부가 절곡된 절곡부(28d)로 구성되어 있다. 우측 커버부(28b)는, 판 형상의 우측면부(28e)와 앞면부(28f)와, 우측면부(28e)의 Y축 정측의 단부가 X축 부측에 1단 높은 스텝부(28g)로 구성되어 있다.The cover 28 is composed of a left cover portion 28a and a right cover portion 28b. The left cover portion 28a is composed of a plate-like left side surface portion 28c and a bent portion 28d where the end portion of the left side surface portion 28c on the X axis side is bent. The right cover portion 28b includes a plate-shaped right side portion 28e and a front side portion 28f and an end portion of the right side portion 28e on the Y axis positive side is constituted by a step portion 28g .

고무 프레임(27a)이 스텝부(25a)에, 고무 프레임(27b)이 스텝부(26a)에, 고무 프레임(27c), (27d)이 스텝부(24a)에 끼워넣어진 상태에서, 좌측 커버부(28a)의 상하의 단부가 고무 프레임(27a), (27b), (27d)의 표면에 닿아 있다. 그리고, 좌측 커버부(28a)의 절곡부(28d)와 우측 커버부(28b)의 스텝부(28g) 사이에 스펀지(28h)가 끼워넣어지도록 하고, 우측 커버부(28b)의 상하의 단부가 고무 프레임(27a), (27b), (27c)의 표면에 닿아 있다. 이 상태에서, 좌측 커버부(28a), 우측 커버부(28b)의 가장자리에 형성된 구멍을 개재해서, 나사가 베이스 플레이트(24), 상부 플레이트(25) 및 하부 플레이트(26)에 나사 연결된다.In a state in which the rubber frame 27a is engaged with the step portion 25a while the rubber frame 27b is fitted to the step portion 26a and the rubber frames 27c and 27d are fitted to the step portion 24a, Upper and lower ends of the portion 28a touch the surfaces of the rubber frames 27a, 27b, and 27d. The sponge 28h is sandwiched between the bent portion 28d of the left cover portion 28a and the step portion 28g of the right cover portion 28b and the upper and lower ends of the right cover portion 28b are made of rubber And touches the surfaces of the frames 27a, 27b, and 27c. In this state, the screws are screwed to the base plate 24, the upper plate 25 and the lower plate 26 through the holes formed in the edges of the left cover portion 28a and the right cover portion 28b.

그리고, 잠금쇠(27e)가 고무 프레임(27a), (27b), (27c)을 덮도록 베이스 플레이트(24)의 Y축 부측의 측면에 부착되고, 잠금쇠(27e)가 나사에 의해 베이스 플레이트(24)에 나사 연결된다. 이것에 의해, 좌측면부(28c)의 상하의 단부가 고무 프레임(27a), (27b)에 눌리고, 좌측면부(28c)의 X축 정측의 단부가 고무 프레임(27a), (27b), (27d)에 눌리도록 해서, 좌측 커버부(28a)가 베이스 플레이트(24), 상부 플레이트(25) 및 하부 플레이트(26)에 고정된다. 또한, 앞면부(28f) 및 우측면부(28e)의 상하의 단부가 고무 프레임(27a), (27b)에 눌리고, 우측면부(28e)의 X축 정측의 단부가 고무 프레임(27a), (27b), (27c)에 눌리도록 해서, 우측 커버부(28b)가 베이스 플레이트(24), 상부 플레이트(25) 및 하부 플레이트(26)에 고정된다. 이와 같이 해서, 도 5에 나타낸 바와 같이 스크라이브 헤드(2)를 조립할 수 있다.The catch 27e is attached to the side surface on the Y axis side of the base plate 24 so as to cover the rubber frames 27a, 27b and 27c and the catch 27e is fixed to the base plate 24 ). This allows the upper and lower ends of the left side face portion 28c to be pressed against the rubber frames 27a and 27b and the end portion of the left side face portion 28c on the positive X axis side to be pressed against the rubber frames 27a, 27b, The left cover portion 28a is fixed to the base plate 24, the upper plate 25, and the lower plate 26 so as to be pressed. The upper and lower ends of the front face portion 28f and the right side face portion 28e are pressed against the rubber frames 27a and 27b and the ends of the right side face portion 28e on the positive X axis side are pressed against the rubber frames 27a and 27b, The right cover portion 28b is fixed to the base plate 24, the upper plate 25 and the lower plate 26 so that the right and left cover portions 28b and 27c are pressed. In this manner, the scribe head 2 can be assembled as shown in Fig.

도 5는 스크라이브 헤드(2)의 구성을 도시한 사시도이다.5 is a perspective view showing a configuration of the scribe head 2.

도 5에 나타낸 바와 같이, 구동부(21)가 수용되는 베이스 플레이트(24)와 상부 플레이트(25) 및 하부 플레이트(26) 사이의 공간이 커버(28)에 의해 둘러싸여 있다. 이와 같이, 구동부(21)는, 커버(28)와, 베이스 플레이트(24)와 상부 플레이트(25)와, 하부 플레이트(26)에 의해 형성된 폐공간 내에 배치되어 있기 때문에, 스크라이브 헤드(2)의 측면 등으로부터 구동부(21)에 컬릿(cullet)이나 먼지 등이 침입하는 것이 억제된다. 또한, 상부 플레이트(25)의 급기용 조인트(25b)로부터 공기가 공급됨으로써, 폐공간 내로부터 외부를 향하는 공기의 흐름이 발생하여, 컬릿이나 먼지 등이 구동부(21)에 침입하는 것이 더욱 억제된다.The space between the upper plate 25 and the lower plate 26 is surrounded by the cover 28 as shown in Fig. Since the drive unit 21 is disposed in the closed space formed by the cover 28, the base plate 24, the upper plate 25 and the lower plate 26, Cullet, dust or the like is prevented from entering the driving portion 21 from the side surface or the like. Further, air is supplied from the air supply joint 25b of the upper plate 25, so that a flow of air from the inside of the closed space toward the outside is generated, and the entry of the cullet, dust, etc. into the drive unit 21 is further suppressed .

도 1(b)에 나타낸 바와 같이, 1쌍의 유리 기판이 상호 접합된 마더 기판(G)에 대해서, 스크라이브 라인이 형성될 경우, 상하에 1쌍의 스크라이브 헤드(2)가 배치됨으로써 기판이 끼워진다. 이 경우, 백업 롤러(239)는, 반대쪽에 배치되는 스크라이브 헤드(2)의 커터 휠(229)에 대향하여, 커터 휠(229)에 의해서 부여되는 압력을 받아서 기판을 지지한다.As shown in Fig. 1 (b), when a scribe line is formed on a mother substrate G on which a pair of glass substrates are bonded to each other, a pair of scribe heads 2 are arranged on the upper and lower sides, Loses. In this case, the back-up roller 239 receives the pressure applied by the cutter wheel 229 to oppose the cutter wheel 229 of the scribe head 2 disposed on the opposite side to support the substrate.

도 6 내지 도 7(b)를 참조하여, 커터 휠(229)을 강하시키는 동작에 대해서 설명한다.The operation of dropping the cutter wheel 229 will be described with reference to Figs. 6 to 7 (b).

도 6은 구동부(21)와 승강부(22), (23)를 X축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 7(a)는 구동부(21)와 승강부(22)를 Y축 정측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 7(b)는 구동부(21)와 승강부(23)를 Y축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 또, 도 7(a) 및 (b)에서는, 연결부(222)가 투시된 상태가 도시되어 있다.Fig. 6 is a side view showing the configuration of the driving section 21 and the elevating sections 22, 23 viewed from the X-axis side. 7 (a) is a side view showing the configuration of the driving unit 21 and the elevation unit 22 viewed from the positive Y-axis side. 7 (b) is a side view showing the configuration of the drive section 21 and the elevation section 23 viewed from the Y-axis side. 7 (a) and 7 (b), a state in which the connecting portion 222 is viewed is shown.

도 6을 참조하면, 서보모터(211)가 구동되어, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 회전하면, 서보모터(211)의 출력 축과 일체적으로 장착된 원통 캠(212)이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 중립 위치로부터 회전한다. 이것에 의해, 도 7(a)에 나타낸 바와 같이, 캠 면(212a)과 캠 종동자(221)의 맞닿는 위치가 경사면을 내려가는 방향으로 이동하고, 연결부(222)를 개재해서 압압부(224)가 아래쪽 방향(Z축 정측)으로 이동한다.6, when the servo motor 211 is driven so that the output shaft of the servo motor 211 rotates in the clockwise direction as viewed from the Z axis side, The cam 212 rotates clockwise from the neutral position when viewed from the Z axis side. 7 (a), the contact position between the cam surface 212a and the cam follower 221 moves in the direction of lowering the inclined surface, and the pushing portion 224 is moved via the connecting portion 222, Moves in the downward direction (positive Z-axis direction).

이 때, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 압압부(234)는, 탄성부재(235b)에 의해서, 위쪽 방향(Z축 부방향)으로 가압되어 있기 때문에, 캠 면(212b)과 캠 종동자(231)의 맞닿는 위치가 경사면을 올라가는 방향으로 이동한다. 압압부(224)는 리니어 가이드(225a)에 안내되어서 아래쪽 방향으로 이동하고, 압압부(224)의 원통부(224b)에 고정된 홀더 유지체(227)는 홀더 가이드(226)의 원통부(226b)에 안내되어서 아래쪽 방향으로 이동한다. 동시에, 압압부(234)는 리니어 가이드(235a)에 안내되어서 위쪽 방향으로 이동하고, 압압부(234)의 원통부(234b)에 고정된 홀더 유지체(237)는 홀더 가이드(236)의 원통부(236b)에 안내되어서 위쪽 방향으로 이동한다.7 (b), since the pressing portion 234 is pressed upward (Z-axis direction) by the elastic member 235b, the cam surface 212b and the cam follower The contact position of the motion member 231 moves in the direction of raising the inclined surface. The pressing portion 224 is guided by the linear guide 225a and moves downward so that the holder holding member 227 fixed to the cylindrical portion 224b of the pressing portion 224 is pressed against the cylindrical portion 227 of the holder guide 226 226b to move downward. At the same time, the pressing portion 234 is guided by the linear guide 235a so as to move upward, and the holder holding member 237 fixed to the cylindrical portion 234b of the pressing portion 234, And is guided to the upper portion 236b.

이와 같이 해서 승강부(23)가 위쪽 방향으로 이동하면, 이윽고, 스토퍼(233a)가 스토퍼(233b)에 맞닿는다. 이것에 의해, 승강부(23)의 위쪽방향의 이동이 억제되어, 캠 종동자(231)와 원통 캠(212)의 캠 면(212b) 사이에 간극이 발생한다. 따라서, 다른 쪽 승강부(22)를 아래쪽 방향으로 이동시킬 때에 캠 종동자(231)가 부하로 되는 일이 없어, 승강부(22)를 원활하게 아래쪽 방향으로 이동시킬 수 있다.When the lift portion 23 moves upward in this manner, the stopper 233a comes into contact with the stopper 233b before long. As a result, the upward movement of the lifting portion 23 is suppressed, and a gap is generated between the cam follower 231 and the cam surface 212b of the cylindrical cam 212. [ Therefore, when the other elevating portion 22 is moved in the downward direction, the cam follower 231 does not become a load, and the elevating portion 22 can be smoothly moved downward.

도 8 내지 도 9(b)를 참조하여, 백업 롤러(239)를 강하시키는 동작에 대해서 설명한다.The operation of dropping the backup roller 239 will be described with reference to Figs. 8 to 9B.

도 8은 구동부(21)와 승강부(22), (23)를 X축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 9(a)는 구동부(21)와 승강부(22)를 Y축 정측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 도 9(b)는 구동부(21)와 승강부(23)를 Y축 부측에서 본 구성을 도시한 측면도이다. 또, 도 9(a) 및 도 9(b)에서는, 연결부(222)가 투시된 상태가 도시되어 있다.8 is a side view showing the configuration of the drive section 21 and the elevation sections 22 and 23 viewed from the X-axis side. 9 (a) is a side view showing the configuration of the driving unit 21 and the elevating unit 22 viewed from the positive Y-axis. 9 (b) is a side view showing the structure of the driving section 21 and the elevation section 23 viewed from the Y-axis side. 9 (a) and 9 (b) show a state in which the connecting portion 222 is viewed through.

도 8을 참조하여, 서보모터(211)가 구동되어, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 회전하면, 서보모터(211)의 출력 축과 일체적으로 장착된 원통 캠(212)이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 중립 위치로부터 회전한다. 이것에 의해, 도 9(b)에 나타낸 바와 같이, 캠 면(212b)과 캠 종동자(231)의 맞닿는 위치가 경사면을 내려가는 방향으로 이동하고, 연결부(232)를 개재해서 압압부(234)가 아래쪽 방향(Z축 정측)으로 이동한다.8, when the servo motor 211 is driven so that the output shaft of the servo motor 211 rotates in the counterclockwise direction as viewed from the Z-axis side, the output shaft of the servo motor 211 is integrally mounted with the output shaft of the servo motor 211 The cylindrical cam 212 rotates counterclockwise from the neutral position when viewed from the Z axis side. 9 (b), the contact position between the cam surface 212b and the cam follower 231 moves in the direction of lowering the inclined surface, and the pressing portion 234 is moved via the connecting portion 232, Moves in the downward direction (positive Z-axis direction).

이 때, 도 9(a)에 나타낸 바와 같이, 압압부(224)는 탄성부재(225b)에 의해, 위쪽 방향(Z축 부방향)으로 가압되어 있기 때문에, 캠 면(212a)과 캠 종동자(221)의 맞닿는 위치가 경사면을 올라가는 방향으로 이동한다. 압압부(234)는 리니어 가이드(235a)에 안내되어서 아래쪽 방향으로 이동하고, 압압부(234)의 원통부(234b)에 고정된 홀더 유지체(237)는 홀더 가이드(236)의 원통부(236b)에 안내되어서 아래쪽 방향으로 이동한다. 동시에, 압압부(224)는 리니어 가이드(225a)에 안내되어서 위쪽 방향으로 이동하고, 압압부(224)의 원통부(224b)에 고정된 홀더 유지체(227)는 홀더 가이드(226)의 원통부(226b)에 안내되어서 위쪽 방향으로 이동한다.9 (a), since the pressing portion 224 is pressed upward (Z-axis direction) by the elastic member 225b, the cam surface 212a and the cam follower The abutting position of the abutting portion 221 moves in the direction of raising the inclined surface. The pressing portion 234 is guided by the linear guide 235a and moves downward so that the holder holding member 237 fixed to the cylindrical portion 234b of the pressing portion 234 is pressed against the cylindrical portion 237 of the holder guide 236 236b to move downward. At the same time, the pressing portion 224 is guided by the linear guide 225a and moves in the upward direction, and the holder holding member 227 fixed to the cylindrical portion 224b of the pressing portion 224 is supported by the cylinder 224 of the holder guide 226, Is guided by the portion 226b and moves in the upward direction.

이와 같이 해서 승강부(22)가 위쪽 방향으로 이동되면, 이윽고, 스토퍼(223a)가 스토퍼(223b)에 맞닿는다. 이것에 의해, 승강부(22)의 위쪽 방향의 이동이 억제되어, 캠 종동자(221)와 원통 캠(212)의 캠 면(212a) 사이에 간극이 발생한다. 따라서, 다른 쪽 승강부(23)의 아래쪽 방향으로 이동시킬 때에 캠 종동자(221)가 부하로 되는 일이 없어, 승강부(23)를 원활하게 아래쪽 방향으로 이동시킬 수 있다.When the lifting portion 22 is moved upward in this manner, the stopper 223a comes into contact with the stopper 223b before long. As a result, the upward movement of the lift portion 22 is suppressed, and a gap is generated between the cam follower 221 and the cam surface 212a of the cylindrical cam 212. [ Therefore, the cam follower 221 does not become a load when the cam follower 221 is moved in the downward direction of the other cam follower 23, and the cam follower 23 can be smoothly moved downward.

이와 같이 해서, 원통 캠(212)이 한쪽으로 회동됨으로써, 도 1(b)에 나타낸 바와 같이, Z축 부측의 마더 기판(G)에 커터 휠(229)이 압접되고, Z축 정측의 마더 기판(G)에 백업 롤러(239)가 압접되어서, Z축 부측의 마더 기판(G)에 스크라이브 라인이 형성된다. 또한, Z축 정측의 마더 기판(G)에 스크라이브 라인이 형성될 경우에는, 원통 캠(212)이 다른 쪽으로 회동됨으로써, Z축 부측의 마더 기판(G)에 백업 롤러(239)가 압접되고, Z축 정측의 마더 기판(G)에 커터 휠(229)이 압접된다. 이것에 의해, Z축 정측의 마더 기판(G)에 스크라이브 라인이 형성된다.1B, the cutter wheel 229 is pressed against the mother substrate G on the Z-axis side and the mother substrate G on the mother substrate G on the positive Z- The backup roller 239 is brought into pressure contact with the substrate G to form a scribe line on the mother substrate G on the Z axis side. When the scribe line is formed on the mother substrate G on the positive Z axis side, the cylindrical cam 212 rotates to the other side, so that the backup roller 239 is pressed against the mother substrate G on the Z axis side, The cutter wheel 229 is pressed against the mother substrate G on the positive Z-axis side. As a result, a scribe line is formed on the mother substrate G on the positive Z-axis side.

도 10(a)는 스크라이브 장치(1)의 요부 구성을 도시한 블록도이다.10 (a) is a block diagram showing the configuration of the main part of the scribe apparatus 1. Fig.

제어부(3)는 제어 프로그램에 따라서 각 부를 제어한다. 이동 기구(4)는, 컨베이어(11)에 놓인 마더 기판(G)에 대해서 스크라이브 헤드(2)를 이동시키는 기구부이다. 이동 기구(4)는, 도 1에 나타낸 지주(12a), (12b)와, 가동 가이드(13a), (13b)와, 가동 가이드(14a), (14b)와, 접동 유닛(15), (16)을 포함하고 있다.The control unit 3 controls each unit according to the control program. The moving mechanism 4 is a mechanism for moving the scribe head 2 with respect to the mother substrate G placed on the conveyor 11. [ The moving mechanism 4 includes the struts 12a and 12b shown in Fig. 1, the movable guides 13a and 13b, the movable guides 14a and 14b, the sliding units 15, 16).

도 10(b)는 스크라이브 장치(1)의 동작의 흐름을 나타낸 순서도이다.10 (b) is a flowchart showing the flow of the operation of the scribe apparatus 1. Fig.

컨베이어(11)에 마더 기판(G)이 세트되면, 제어부(3)는 스크라이브 헤드(2)를 선두의 스크라이브 라인의 개시 위치로 이동시킨다(S11). 다음에, 제어부(3)는, 이동 기구(4)와 구동부(21)를 제어하여, 휠 홀더(228) 또는 휠 홀더(238)를 마더 기판(G)에 접근시킨다(S12). 예를 들면, 도 10(a)에 있어서, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 휠 홀더(228)가 마더 기판(G)에 접근되고, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 휠 홀더(238)가 마더 기판(G)에 접근된다. 이 제어는, 상기와 같이 원통 캠(212)을 중립 위치로부터 어느 한쪽 방향으로 소정의 위치까지 회전시킴으로써 행해진다. 이것에 의해, 커터 휠(229)과 백업 롤러(239)가 마더 기판(G)에 압접된다.When the mother substrate G is set on the conveyor 11, the control unit 3 moves the scribe head 2 to the starting position of the scribe line at the head (S11). Next, the control section 3 controls the moving mechanism 4 and the driving section 21 to approach the wheel holder 228 or the wheel holder 238 to the mother substrate G (S12). 10 (a), the wheel holder 228 of the upper scribe head 2 approaches the mother substrate G and the wheel holder 238 of the scribe head 2 at the lower side of the scribe head 2 contacts the mother substrate G, And approaches the substrate G. This control is performed by rotating the cylindrical cam 212 from a neutral position to a predetermined position in either direction as described above. As a result, the cutter wheel 229 and the backup roller 239 are brought into pressure contact with the mother substrate G.

그리고, 제어부(3)는, 이동 기구(4)와 구동부(21)를 제어하고, 마더 기판(G)에 커터 휠(229)과 백업 롤러(239)가 압접된 상태에서, 선두의 스크라이브 라인에 대한 스크라이브 동작을 실행한다(S13). 이 때, 제어부(3)는 구동부(21)의 서보모터(211)에 소정의 토크를 유지시킨다. 이것에 의해, 마더 기판(G) 표면에 나타나는 기복이, 서보모터(211)의 토크와 원통 캠(212)의 캠 면에 의해서 흡수된다.The control unit 3 controls the moving mechanism 4 and the driving unit 21 to drive the cutter wheel 229 and the backup roller 239 in contact with the mother substrate G The scribing operation is executed (S13). At this time, the control unit 3 keeps the servo motor 211 of the driving unit 21 at a predetermined torque. The undulations appearing on the surface of the mother substrate G are absorbed by the torque of the servomotor 211 and the cam surface of the cylindrical cam 212. [

해당 스크라이브 라인의 종료 위치까지 스크라이브가 행해지면(S14: "예"), 제어부(3)는, 이동 기구(4)와 구동부(21)에 스크라이브 동작을 종료시킨다(S15). 그리고, 제어부(3)는, 이동 기구(4)와 구동부(21)를 제어하여, 휠 홀더(228) 또는 휠 홀더(238)를 마더 기판(G)으로부터 이간시킨다(S16). 예를 들면, 도 10(a)에 있어서, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 휠 홀더(228)가 마더 기판(G)으로부터 이간되고, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 휠 홀더(238)가 마더 기판(G)으로부터 이간된다. 이 동작에 의해, 원통 캠(212)이 도 3에 나타낸 중립 위치에 위치결정된다. 따라서, 위쪽의 스크라이브 헤드(2)의 커터 휠(229) 및 백업 롤러(239)와, 아래쪽의 스크라이브 헤드(2)의 커터 휠(229) 및 백업 롤러(239)는, 모두, 마더 기판(G)으로부터 이간된 상태가 된다.The control unit 3 ends the scribing operation to the moving mechanism 4 and the driving unit 21 (S15) when scribing is performed to the end position of the scribe line concerned (S14: Yes). The control unit 3 controls the moving mechanism 4 and the driving unit 21 to move the wheel holder 228 or the wheel holder 238 away from the mother substrate G in step S16. 10 (a), the wheel holder 228 of the upper scribe head 2 is separated from the mother substrate G, and the wheel holder 238 of the scribe head 2 on the lower side is separated from the mother substrate G, Is separated from the substrate (G). By this operation, the cylindrical cam 212 is positioned at the neutral position shown in Fig. The cutter wheel 229 and the backup roller 239 of the upper scribing head 2 and the cutter wheel 229 and the backup roller 239 of the lower scribing head 2 are both disposed on the mother substrate G ).

S11 내지 S16의 동작은, 마더 기판(G)에 설정된 모든 스크라이브 라인에 대한 스크라이브가 완료될 때까지 반복된다(S17). 마더 기판(G)의 아래쪽에 대해서, 스크라이브 라인이 형성될 경우, 제어부(3)는, 도 10(a)에 있어서, 아래쪽의 휠 홀더(228)가 마더 기판(G)에 접근하고, 위쪽의 휠 홀더(238)가 마더 기판(G)에 접근하도록, 구동부(21)를 제어한다. 모든 스크라이브 라인에 대한 스크라이브가 완료되면(S17: "예"), 제어부(3)는, 해당 마더 기판(G)에 대한 스크라이브 동작을 종료한다.The operations of S11 to S16 are repeated until scribing for all the scribe lines set on the mother substrate G is completed (S17). 10 (a), the lower wheel holder 228 approaches the mother substrate G, and the lower wheel holder 228 approaches the mother substrate G. When the scribe line is formed on the lower side of the mother substrate G, The drive unit 21 is controlled so that the wheel holder 238 approaches the mother substrate G. [ When the scribing for all the scribe lines is completed (S17: YES), the control unit 3 ends the scribing operation for the mother substrate G. [

<실시형태의 효과>&Lt; Effect of Embodiment >

이하, 본 실시형태에 의한 작용 및 효과에 대해서 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the present embodiment will be described.

도 6에 나타낸 바와 같이, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 회전되면, 커터 휠(229)이 하강되고, 백업 롤러(239)가 상승된다. 다른 한편, 도 8에 나타낸 바와 같이, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 회전되면, 백업 롤러(239)가 하강되고, 커터 휠(229)이 상승된다. 이들의 승강 동작이 1개의 서보모터(211)와 원통 캠(212)을 구비하는 구동부(21)에 의해서 행행진다. 이와 같이, 본 실시형태에서는, 간소한 구성으로 커터 휠(229)과 백업 롤러(239)를 전환할 수 있다.6, when the output shaft of the servo motor 211 is rotated clockwise as viewed from the Z axis side, the cutter wheel 229 is lowered and the backup roller 239 is raised. On the other hand, as shown in Fig. 8, when the output shaft of the servo motor 211 is rotated counterclockwise as seen from the Z axis side, the backup roller 239 is lowered and the cutter wheel 229 is raised. The lifting and lowering operation is performed by the driving unit 21 having the single servo motor 211 and the cylindrical cam 212. [ As described above, in the present embodiment, the cutter wheel 229 and the backup roller 239 can be switched with a simple structure.

또, 도 9(a)에 나타낸 바와 같이, 백업 롤러(239)를 하강시킨 상태에서는, 스토퍼(223a), (223b)가 서로 당접하여, 캠 종동자(221)와 캠 면(212a)이 비접촉으로 된다. 이 때문에, 캠 종동자(221)와 캠 면(212a)이 원통 캠(212)의 회전에 부하로 되는 일이 없다. 따라서, 원활하면서도 정밀도 양호하게, 백업 롤러(239)의 제어를 행할 수 있다. 또한, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 커터 휠(229)을 하강시킨 상태에서는, 스토퍼(223a), (233b)에 의해서, 캠 종동자(231)와 캠 면(212b)이 비접촉으로 된다. 이 때문에, 캠 종동자(231)와 캠 면(212b)이 원통 캠(212)의 회전에 부하로 되는 일이 없어, 커터 휠(229)의 제어를 원활하게 행할 수 있다.9 (a), when the backup roller 239 is lowered, the stoppers 223a and 223b come into contact with each other, and the cam follower 221 and the cam surface 212a are not in contact with each other . Therefore, the cam follower 221 and the cam surface 212a do not become a load on the rotation of the cylindrical cam 212. Therefore, it is possible to control the backup roller 239 smoothly and with high precision. 7B, when the cutter wheel 229 is lowered, the cam followers 231 and the cam surfaces 212b are brought into noncontact with the stoppers 223a and 233b . Therefore, the cam follower 231 and the cam surface 212b do not become a load on the rotation of the cylindrical cam 212, and the control of the cutter wheel 229 can be performed smoothly.

이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 하등 제한되는 것은 아니고, 또한, 본 발명의 실시형태도 상기 이외에 각종 변경이 가능하다.Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications of the embodiments of the present invention are possible.

예를 들면, 상기 실시형태에서는, 원통 캠(212)과 캠 종동자(221), (231)에 의해서, 휠 홀더(228), (238)가 승강되었지만, 다른 구동 수단에 의해서 휠 홀더가 승강되어도 된다. 예를 들면, 도 11에 나타낸 바와 같이, 랙·앤드·피니언 방식에 의해 휠 홀더가 승강되어도 된다.For example, in the above embodiment, the wheel holders 228 and 238 are lifted by the cylindrical cam 212 and the cam followers 221 and 231, but the wheel holder is lifted . For example, as shown in Fig. 11, the wheel holder may be raised and lowered by a rack-and-pinion method.

도 11은 변경예에 따른 스크라이브 헤드의 구동부와 승강부를 도시한 모식도이다.11 is a schematic diagram showing a driving part and a lifting part of a scribe head according to a modified example.

변경예에 따른 스크라이브 헤드는, 구동부(51)와, 승강부(52), (53)를 포함하고 있다. 구동부(51)는 기어(511)를 구비하고, 기어(511)의 회전축에는 도시하지 않은 모터가 접속되어 있다. 승강부(52), (53)는, 각각, 상하 방향으로 뻗는 판 형상의 랙 기어(521), (531)와, 툴 홀더(522), (532)와, 커터 툴(523), (533)을 구비한다. 기어(511)는 랙 기어(521), (531)에 맞물려 있다.The scribing head according to the modified example includes a driving part 51 and elevating parts 52, 53. The driving unit 51 includes a gear 511, and a motor (not shown) is connected to the rotation shaft of the gear 511. The elevating portions 52 and 53 are provided with plate racks 521 and 531 extending in the vertical direction, tool holders 522 and 532 and cutter tools 523 and 533 ). The gear 511 is engaged with the rack gears 521 and 531.

모터에 의해서 기어(511)가 회전되면, 랙 기어(521), (531)가 각각 상하 대칭으로 구동된다. 즉, 승강부(52)가 기어(511)에 의해 아래쪽 방향으로 이송될 경우, 승강부(53)가 기어에 의해 위쪽 방향으로 이송된다. 이것에 의해, 상기 실시형태와 마찬가지로, 1개의 구동부(51)에 의해, 2개의 커터 툴(523), (533)을 적당히 바꿀 수 있다.When the gear 511 is rotated by the motor, the rack gears 521 and 531 are driven up and down symmetrically, respectively. That is, when the elevating portion 52 is conveyed downward by the gear 511, the elevating portion 53 is conveyed upward by the gear. Thereby, similarly to the above-described embodiment, the two drive tools 51 can appropriately change the two cutter tools 523 and 533.

또, 상기 실시형태에서는, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 시계 방향으로 회전되면 승강부(22)가 하강되고, 서보모터(211)의 출력 축이 Z축 부측에서 보아서 반시계 방향으로 회전되면 승강부(23)가 하강되도록 원통 캠(212)의 캠 면(212a), (212b)이 구성되었다. 이것 대신에, 예를 들면, 원통 캠(212)의 회전 방향을 반전시키지 않고 1방향으로 회전시키면서, 승강부(22)의 전환이 행해져도 된다. 예를 들면, 0℃ 내지 180℃의 회동 범위에 있어서, 승강부(22)가 하강되고, 180° 내지 360°의 회동 범위에서, 승강부(23)가 하강되도록, 원통 캠(212)이 제어되어도 된다. 이 경우, 캠 면의 형상과 캠 종동자의 구성은, 이러한 제어의 변경에 따라서 적절하게 변경될 수 있다.In the above embodiment, when the output shaft of the servo motor 211 is rotated in the clockwise direction as viewed from the Z-axis side, the lift portion 22 is lowered, and the output shaft of the servo motor 211 is half The cam surfaces 212a and 212b of the cylindrical cam 212 are configured so that the elevation portion 23 is lowered when the cam shaft 212 is rotated in the clockwise direction. Instead of this, for example, the elevation portion 22 may be switched while rotating the cylindrical cam 212 in one direction without reversing the direction of rotation. The elevating portion 22 is lowered and the elevating portion 23 is lowered in the pivoting range of 180 ° to 360 ° in the pivot range of 0 ° C to 180 ° C, . In this case, the shape of the cam surface and the configuration of the cam follower can be appropriately changed in accordance with the change of the control.

또한, 상기 실시형태에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 스토퍼(223a), (223b), (233a), (233b)는, 각각, 별체로서 구성되었지만, 예를 들면, 연결부(222), (223)의 상부면을 위쪽 방향으로 돌출시킴으로써 스토퍼(223a), (223b)가 형성되어 있어도 되고, 상부 플레이트(25)의 하부면을 아래쪽 방향으로 돌출시킴으로써 스토퍼(233a), (233b)가 형성되어 있어도 된다. 그 외에, 스토퍼는, 원통 캠(212)의 캠 면(212a), (212b)과 캠 종동자(221), (231)가 비접촉 상태로 하는 것이 가능하면, 어떤 형태이어도 된다.3, each of the stoppers 223a, 223b, 233a, and 233b is formed as a separate member. However, the stoppers 223a, 223b, 233a, The stoppers 223a and 223b may be formed by projecting the upper surface of the upper plate 25 in the upward direction or the stoppers 233a and 233b may be formed by projecting the lower surface of the upper plate 25 in the downward direction do. The stopper may have any shape as long as the cam surfaces 212a and 212b of the cylindrical cam 212 and the cam followers 221 and 231 can be brought into a noncontact state.

또, 스토퍼(223a), (223b), (233a), (233b)를 설치하지 않고, 원통 캠(212)의 캠 면(212a), (212b)과 캠 종동자(221), (231)가 항상 접촉하도록 구성할 수도 있다. 단, 이 경우에는, 스크라이브 라인의 형성에 이용되지 않는 쪽의 승강부의 캠 종동자가 원통 캠(212)의 회전의 부하로 되어, 스크라이브 라인의 형성에 이용되는 쪽의 승강부의 제어가 불안정하게 되는 것이 염려된다. 따라서, 원활하면서도 정밀도 양호하게 승강부를 제어하기 위해서는, 상기 실시형태와 같이, 스토퍼(223a), (223b), (233a), (233b)에 의해서 캠 면(212a), (212b)과 캠 종동자(221), (231)를 비접촉 상태로 하는 것이 바람직하다.The cam surfaces 212a and 212b of the cylindrical cam 212 and the cam followers 221 and 231 are not provided with the stoppers 223a, 223b, 233a, and 233b, It can be configured to always be in contact. However, in this case, the cam follower of the elevation portion which is not used for formation of the scribe line becomes the load of rotation of the cylindrical cam 212, and the control of the elevation portion used for forming the scribe line becomes unstable . Therefore, the cam surfaces 212a and 212b and the cam followers 223a, 223b, 233a, and 233b are moved by the stoppers 223a, 233a, and 233b in the same manner as in the above- (221) and (231) in a non-contact state.

또한, 상기 실시형태에서는, 휠 홀더(228)에 커터 휠(229), 휠 홀더(238)에 백업 롤러(239)가 유지되었지만, 휠 홀더(238)에도 커터 휠(229)이 유지되어 있어도 된다.Although the cutter wheel 229 is held in the wheel holder 228 and the backup roller 239 is held in the wheel holder 238 in the above embodiment, the cutter wheel 229 may be held in the wheel holder 238 .

또, 상기 실시형태에서는, 마더 기판(G)의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 커터로서, 지축 둘레를 회전하는 커터 휠(229)이 이용되었지만, 스크라이브 라인을 형성하는 커터는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 마더 기판(G)의 표면에 압접하면서 회전하는 일 없이 이동하는 커터를 이용한 스크라이브 헤드에도, 본 발명을 적용가능하다.In the above embodiment, the cutter wheel 229 that rotates around the shaft is used as the cutter for forming the scribe line on the surface of the mother substrate G, but the cutter for forming the scribe line is not limited to this. For example, the present invention is also applicable to a scribe head using a cutter that moves without coming into contact with the surface of the mother substrate G while rotating.

이밖에, 본 발명의 실시형태는, 특허청구범위에 나타낸 기술적 사상의 범위 내에 있어서, 적절하게 각종 변경이 가능하다.In addition, various modifications of the embodiments of the present invention can be appropriately made within the scope of the technical idea shown in the claims.

1: 스크라이브 장치 2: 스크라이브 헤드
4: 이동 기구 11: 컨베이어
211: 서보모터 212: 원통 캠
212a, 212b: 캠 면 221, 231: 캠 종동자
222, 232: 연결부 223a, 223b, 233a, 233b: 스토퍼
224, 234: 압압부 225a, 235a: 리니어 가이드
225b, 235b: 탄성부재 226, 236: 홀더 가이드
227, 237: 홀더 유지체 228, 238: 휠 홀더
229: 커터 휠 239: 백업 롤러
G: 마더 기판1: scribe device 2: scribe head
4: Moving mechanism 11: Conveyor
211: Servo motor 212: Cylinder cam
212a, 212b: cam surfaces 221, 231: cam follower
222, 232: connection portions 223a, 223b, 233a, 233b: stopper
224, 234: pressing portions 225a, 235a: linear guides
225b, 235b: elastic members 226, 236: holder guide
227, 237: holder holder 228, 238: wheel holder
229: Cutter wheel 239: Backup roller
G: Mother substrate

Claims (7)

기판의 스크라이브에 이용되는 스크라이브 헤드로서,
상기 기판에 접근 및 이간 가능하게 배치된 제1 홀더;
상기 기판에 접근 및 이간 가능하게 배치된 제2 홀더;
상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더를 승강시키기 위한 모터;
상기 모터에 의해서 회전되는 회전부; 및
상기 회전부의 회전을 상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더에 전달하는 전달 기구를 포함하되,
상기 전달 기구는, 상기 회전부의 회전 위치에 따라서, 상기 제1 홀더와 상기 제2 홀더의 상기 기판에 대한 접근 및 이간을 전환하는 연계부를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.A scribe head used for scribing a substrate,
A first holder disposed proximate to and spaced from the substrate;
A second holder disposed proximate to and spaced from the substrate;
A motor for raising and lowering the first holder and the second holder;
A rotating part rotated by the motor; And
And a transmission mechanism for transmitting the rotation of the rotation unit to the first holder and the second holder,
Wherein the transfer mechanism comprises an interlocking portion for switching the approach and the disconnection of the first holder and the second holder with respect to the substrate in accordance with the rotation position of the rotary portion. 제1항에 있어서,
상기 전달 기구는, 상기 회전부가 제1 방향으로 중립 위치로부터 회전하면 상기 제1 홀더를 상기 기판에 접근시키고, 상기 회전부가 상기 제1 방향과는 반대인 제2 방향으로 상기 중립 위치로부터 회전하면 상기 제2 홀더를 상기 기판에 접근시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.The method according to claim 1,
Wherein the transfer mechanism causes the first holder to approach the substrate when the rotation unit rotates from the neutral position in the first direction and when the rotation unit rotates from the neutral position in the second direction opposite to the first direction, And the second holder approaches the substrate. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 연계부는,
상기 회전부에 구비된 캠 면과,
상기 제1 홀더에 설치되어 상기 캠 면에 맞닿는 제1 캠 종동자와,
상기 제2 홀더에 설치되어 상기 캠 면에 맞닿는 제2 캠 종동자와,
상기 제1 캠 종동자 및 상기 제2 캠 종동자를 상기 캠 면에 접근하는 방향으로 가압시키는 탄성부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.3. The method according to claim 1 or 2,
The linkage unit,
A cam surface provided in the rotating portion,
A first cam follower provided on the first holder and contacting the cam surface,
A second cam follower provided on the second holder and contacting the cam surface,
And an elastic member for urging the first cam follower and the second cam follower in a direction approaching the cam surface. 제3항에 있어서,
상기 제1 홀더가 상기 기판에 접근하는 동작 위치에 있을 때, 상기 제2 캠 종동자는 상기 캠 면과 비접촉이며, 상기 제2 홀더가 상기 기판에 접근하는 동작 위치에 있을 때, 상기 제1 캠 종동자는 상기 캠 면과 비접촉인 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.The method of claim 3,
Wherein when the first holder is in the operative position to approach the substrate, the second cam follower is not in contact with the cam surface, and when the second holder is in the operative position to approach the substrate, And the follower is not in contact with the cam surface. 제4항에 있어서,
상기 제1 홀더 및 상기 제2 홀더를 각각 상기 비접촉 상태로 유지하기 위한 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 헤드.5. The method of claim 4,
And a stopper for holding the first holder and the second holder in the non-contact state, respectively. 제1항 또는 제2항에 기재된 스크라이브 헤드;
절단 대상 기판을 지지하는 지지부; 및
상기 지지부에 지지된 상기 기판에 대해서 상기 스크라이브 헤드를 이동시키는 이동 기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.A scribe head according to any one of claims 1 to 3;
A support for supporting the substrate to be cut; And
And a moving mechanism for moving the scribe head with respect to the substrate supported by the support portion. 제6항에 있어서,
상기 제1 홀더에는 스크라이브 라인을 형성하기 위한 제1 칼 끝이 유지되고,
상기 제2 홀더에는 스크라이브 라인을 형성하기 위한 제2 칼 끝 또는 기판을 누르기 위한 롤러가 유지되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 장치.The method according to claim 6,
Wherein the first holder holds a first knife edge for forming a scribe line,
Wherein a second knife edge for forming a scribe line or a roller for pressing the substrate is held in the second holder.
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