KR20150086134A - Minute rotary type image spectrum device - Google Patents
Minute rotary type image spectrum device Download PDFInfo
- Publication number
- KR20150086134A KR20150086134A KR1020140006328A KR20140006328A KR20150086134A KR 20150086134 A KR20150086134 A KR 20150086134A KR 1020140006328 A KR1020140006328 A KR 1020140006328A KR 20140006328 A KR20140006328 A KR 20140006328A KR 20150086134 A KR20150086134 A KR 20150086134A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- prism
- rotating body
- diffraction grating
- spectrometer
- slit
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 투과형 회절격자를 이용하여 1차원 이미지에 대한 분광 스펙트럼을 얻는 분광장치에 관한 것으로, 특히 장치를 고정된 중심축(center axis)을 중심으로 정역회전시키면서 각각의 미세한 각(angle)마다 1차원 이미지의 분광스펙트럼을 모아, 최종적으로 2차원 이미지의 분광 스펙트럼을 얻을 수 있는 미세 회전형 이미지 분광장치에 관한 것이다.The present invention relates to a spectroscopic apparatus for obtaining a spectroscopic spectrum for a one-dimensional image using a transmission grating, and more particularly, Dimensional image, and ultimately obtaining a spectral spectrum of a two-dimensional image.
일반적으로 분광장치는 분광을 위해 회절격자를 이용하는 방법과, 마이켈슨 간섭계(Michelson Interferometer)를 이용한다.Generally, a spectroscopic apparatus uses a diffraction grating for spectroscopy and a Michelson interferometer.
상기 마이켈슨 간섭계를 이용하는 경우에는 간섭계의 한쪽 거울의 위치를 이동해가면서 각각의 파장에 대한 2차원 이미지 정보들을 얻는다.When the Michelson interferometer is used, two-dimensional image information of each wavelength is obtained while moving the position of one mirror of the interferometer.
한편, 회절격자를 이용하는 경우에는 폭이 좁은 슬릿을 통과한, 즉 1차원적 선(line) 이미지를 투과형 회절격자 또는 반사형 회절격자에 회절시켜 분광된 스펙트럼 정보를 얻는다.On the other hand, when a diffraction grating is used, spectral information obtained by passing a narrow-width slit, that is, a one-dimensional line image is diffracted to a transmission type diffraction grating or a reflection type diffraction grating.
여기서, 간섭계를 이용한 초미세분광기는 상대적으로 정밀한 광학적 부품들이 필요하다. 특히 2차원 이미지가 왜곡되지 않게 하기해서 거울(mirror)과 beam-splitter의 표면의 평탄도가 전 영역에 대해서 측정하고자 하는 스펙트럼의 중심 파장에 최소 4분에 1 이하가 되어야하며, 한쪽 거울의 전 영역이 이동시 똑같은 움직여야 할 뿐 아니라 나노미터(nanometer) 스케일로 미세하게 움직여야 한다.Here, the ultrafine spectroscope using an interferometer requires relatively precise optical components. In particular, the flatness of the surface of the mirror and beam-splitter should be less than 1 / 4th of the central wavelength of the spectrum to be measured over the entire area so that the two-dimensional image is not distorted. Not only must the area move the same way as it moves, but it must move finely with the nanometer scale.
또한, 2차원 검출기로부터 얻은 신호들을 푸리에 변환(fourier transform)이라는 복잡한 수식을 거쳐야 한다.
In addition, the signals obtained from the two-dimensional detector must undergo a complicated equation called a fourier transform.
도 1은 종래의 회절격자를 이용한 초미세분광기를 개략적으로 나타낸 예시도 이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is an exemplary view schematically showing an ultrafine spectroscope using a conventional diffraction grating. FIG.
도 1을 참조하면, 종래의 회절격자를 이용한 초미세분광기의 경우에는 2차원 이미지에 대한 스펙트럼을 얻기 위해서는 분광기(10)를 고정하고, 측정하고자 하는 시료를 연속적으로 이동시켜가면서 얻은 각각 1차원적 이미지의 스펙트럼을 모으거나, 고정된 물체인 경우에는 분광기(10)를 직선으로 이동시켜가며 각각 1차원적 이미지의 스펙트럼을 모아 2차원 이미지의 각 요소에 대한 스펙트럼들을 얻는 문제가 있었다.Referring to FIG. 1, in the case of an ultrafine spectroscope using a conventional diffraction grating, a
상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 과제는, 측정하고자 하는 영역의 중심에 분광기를 고정하고, 그 중심을 기준으로 미세 각으로 회전시킬 때마다 1차원 이미지의 분광 스펙트럼을 얻어 1회전을 모두 수행함으로써 2차원 분광 스펙트럼을 얻을 수 있는 미세 회전형 이미지 분광장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in an effort to solve the problems described above. It is an object of the present invention to provide a spectroscope that fixes a spectroscope at the center of a region to be measured and obtains a spectral spectrum of a one- Dimensional spectroscopic spectra can be obtained by performing both of the two-dimensional spectroscopic spectroscopy.
또한, 본 발명의 부수적인 과제는, 회전형 초미세 이미지 분광장치를 사용하여 고정된 영역의 2차원 이미지에 대한 분광스펙트럼을 얻음으로써, 2차원 영역에 대해서 대기(공기, 가스)의 화학적 성분 분포를 제공하며, 또한 2차원 영역에서 수십 나노미터에서부터 수 마이크로미터까지의 높낮이에 대한 구조정보를 제공할 수 있는 미세 회전형 이미지 분광장치를 제공하는 데 있다.Further, a secondary problem of the present invention is to obtain a spectral spectrum of a two-dimensional image of a fixed region by using a rotation type ultrafine image spectroscopic apparatus, thereby obtaining a distribution of chemical components of atmospheric (air, gas) And to provide a fine rotation image spectroscopy apparatus capable of providing structural information for a height of several tens of nanometers to several micrometers in a two-dimensional region.
상기 과제를 달성하기 위해 안출된 본 발명은, 입구 슬릿(entrance slit), 조준렌즈(collimating lens), 회절격자(grating) 및 초점조정렌즈(focusing lens)를 구비한 분광수단과, 검출부(detector)를 포함하는 분광장치로서, 상기 분광수단 및 상기 검출부(detector)가 수평축을 기준으로 미세 정역회전되는 제1회전체 및 제2회전체를 각각 구비하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a spectroscope including spectroscopic means including an entrance slit, a collimating lens, a grating and a focusing lens, Wherein the spectroscopic means and the detector each have a first rotating body and a second rotating body which are rotated in the normal and reverse directions with respect to the horizontal axis.
상기 입구 슬릿(entrance slit)은 슬릿의 간격을 조절하는 슬릿 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The entrance slit further comprises a slit stop which adjusts the interval of the slit.
상기 제1회전체 및 상기 제2회전체를 구동하는 구동 모터를 구비하며, 상기 구동 모터는 스텝핑 모터(stepping motor) 또는 서보모터(servomotor)인 것을 특징으로 한다.And a driving motor for driving the first rotating body and the second rotating body, wherein the driving motor is a stepping motor or a servomotor.
또한, 본 발명은 입구 슬릿(entrance slit), 조준렌즈(collimating lens), 파장 선택부 및 초점조정렌즈(focusing lens)를 구비한 분광수단과, 검출부(detector)를 포함하는 분광장치로서, 상기 분광수단 및 상기 검출부(detector)가 수평축을 기준으로 미세 정역회전되는 제1회전체 및 제2회전체를 각각 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention also provides a spectroscope including a spectroscopic means having an entrance slit, a collimating lens, a wavelength selector and a focusing lens, and a detector, And a detector and a first rotating body and a second rotating body which are rotated in the normal and reverse directions with respect to a horizontal axis.
상기 파장 선택부는 제1프리즘, 제2프리즘 및 상기 제1프리즘과 제2프리즘 사이에 위치하는 회절격자(grating)인 것을 특징으로 한다.The wavelength selector may include a first prism, a second prism, and a diffraction grating positioned between the first and second prisms.
상기 회절격자(grating)는 상기 제1프리즘과 제2프리즘 사이에 탈착 가능하게 슬라이딩 삽입되는 것을 특징으로 한다.And the diffraction grating is slidably inserted between the first prism and the second prism.
상기 제1프리즘과 제2프리즘 및 회절격자(grating)가 일체형으로 이루어진 것을 특징으로 한다.And the first prism, the second prism, and the grating are integrally formed.
상기 회절격자(grating)는 단면이 이등변 삼각형으로 이루어진 격자반사체가 일정 간격으로 복수 배치되어 형성된 것을 특징으로 한다.The diffraction grating is characterized in that a plurality of lattice reflectors each having an isosceles triangle in cross section are arranged at regular intervals.
상기 파장 선택부는 레이저를 조사하여 발생 되는 열에너지에 의해 내부 밀도가 변형되어 회절격자(grating)가 형성되는 것을 특징으로 한다.The wavelength selecting unit is characterized in that a diffraction grating is formed by modifying the internal density by thermal energy generated by irradiating a laser.
상기 입구 슬릿(entrance slit)은 슬릿의 간격을 조절하는 슬릿 조리개를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The entrance slit further comprises a slit stop which adjusts the interval of the slit.
상기 제1회전체 및 상기 제2회전체를 구동하는 구동 모터를 구비하며, 상기 구동 모터는 스텝핑 모터(stepping motor) 또는 서보모터(servomotor)인 것을 특징으로 한다.And a driving motor for driving the first rotating body and the second rotating body, wherein the driving motor is a stepping motor or a servomotor.
본 발명은 고정된 영역의 중심에서 회전시켜가면서 스펙트럼을 얻는 방식으로 분광장치를 직선으로 이동해야하는 작동 장치가 생략됨으로써 같은 분광 분해능(resolution)급에서 소형화할 수 있는 효과가 있다.The present invention has the effect of reducing the resolution in the same spectral resolution level by omitting the operating device for moving the spectroscope in a straight line in such a manner that the spectrum is obtained while rotating the center of the fixed region.
또한, 본 발명은 고 정밀 광학부품들의 개수를 감소시킴으로써 부품들의 조립이 정렬(alignment)이 손쉬워지며, 복잡한 수식을 생략함으로써 빠르게 스펙트럼 데이터를 얻을 수 있는 효과가 있다.Further, by reducing the number of high-precision optical components, the present invention facilitates the alignment of components and eliminates complicated mathematical expressions.
본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어서 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 종래의 회절격자를 이용한 초미세분광기를 개략적으로 나타낸 예시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치를 나타낸 단면도,
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치를 나타낸 단면도,
도 4 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치를 개략적으로 나타낸 예시도,
도 8 내지 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치에서 파장 선택부를 나타낸 예시도 이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of the specification, illustrate preferred embodiments of the invention and, together with the description, serve to further the understanding of the technical idea of the invention, And shall not be construed as interpretation.
1 is a schematic view showing an ultrafine spectroscope using a conventional diffraction grating,
2 is a cross-sectional view illustrating a micro-rotating image spectrometer according to an embodiment of the present invention,
3 is a cross-sectional view of a micro-rotating image spectrometer according to another embodiment of the present invention,
FIGS. 4 and 6 are schematic views showing a micro-rotating image spectrometer according to an embodiment of the present invention,
8 to 10 are diagrams illustrating an example of a wavelength selector in a fine rotation image spectroscopy apparatus according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치의 바람직한 실시예에 대해 상세하게 설명한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a micro rotating image spectrometer according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치를 나타낸 단면도이고, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치를 나타낸 단면도이고, 도 4 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치를 개략적으로 나타낸 예시도 이고, 도 8 내지 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치에서 파장 선택부를 나타낸 예시도 이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of a micro-rotating image spectroscope according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a cross-sectional view of a micro-rotating image spectroscope according to another embodiment of the present invention, FIGS. 8 to 10 are diagrams illustrating an example of a wavelength selector in a fine rotation image spectroscope according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG.
도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치는 분광수단(100)과, 검출부(detector)(200)를 포함하는 구성요소로 이루어지며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to FIG. 2, the micro-rotating image spectroscope according to the preferred embodiment of the present invention comprises a
상기 분광수단(100)은 광이 유입되는 입구 슬릿(entrance slit)(110), 입사된 광이 평행광선이 되도록 하는 조준렌즈(collimating lens)(120), 광을 파장별로 확산시키는 회절격자(grating)(132) 및 광을 효과적으로 검출부(200)로 유도하는 초점조정렌즈(focusing lens)(140)를 구비한다.The
상기 검출부(detector)(200)는 1차원적 이미지 분광 스펙트럼이 2차원적 이미지 분광 스펙트럼으로 구현되는 것을 가능하게 한다.The
이때, 상기 입구 슬릿(entrance slit)(110)에는 슬릿의 간격을 조절하는 슬릿 조리개(111)가 더 구비될 수 있다.At this time, the
여기서, 슬릿의 간격을 조절함으로써, 들어오는 빛의 세기와 분광 된 스펙트럼의 파장 분해능(resolution)의 상보관계에 있는 분광신호의 세기와, 분해능(resolution)을 적당히 선택할 수 있도록 하는 것이다.Here, by adjusting the interval of the slits, it is possible to appropriately select the intensity and the resolution of the spectroscopic signal in the complement of the intensity of incoming light and the resolution of the wavelength spectrum of the spectroscopic spectrum.
한편, 상기 분광수단(100) 및 상기 검출부(detector)(200)가 수평축을 기준으로 미세 정역회전되는 제1회전체(300) 및 제2회전체(400)를 각각 구비한다.The
상기 제1회전체(300) 및 상기 제2회전체(400)는 상기 분광수단(100) 또는 상기 분광수단(100)과 검출부(200)를 동시에 360도 정역회전시키되, 미세하게 회전제어할 수 있는 구동하는 구동 모터를 구비하며, 상기 구동 모터는 스텝핑 모터(stepping motor) 또는 서보모터(servomotor)인 것이 바람직하다.
The first rotating
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view illustrating a micro-rotating image spectroscope according to another embodiment of the present invention.
도 3을 참조하면, 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 미세 회전형 이미지 분광장치는 입구 슬릿(entrance slit)(110), 조준렌즈(collimating lens)(120), 파장 선택부(130) 및 초점조정렌즈(focusing lens)(140)를 구비한 분광수단(100)과, 검출부(detector)(200)를 포함하는 구성요소로 이루어지며, 이를 상세히 설명하면 다음과 같다.3, the micro-rotating image spectroscope according to another preferred embodiment of the present invention includes an
상기 파장 선택부(130)는 제1프리즘(131), 제2프리즘(133) 및 상기 제1프리즘(131)과 제2프리즘(133) 사이에 위치하는 회절격자(grating)(132)로 이루어진다.The
여기서, 상기 회절격자(grating)(132)는 상기 제1프리즘(131)과 제2프리즘(133) 사이에 탈착 가능하게 슬라이딩 삽입될 수 있다.(도 8 참조)Here, the diffraction grating 132 may be slidably inserted between the
한편, 도 9 및 도 10에서와 같이 상기 제1프리즘(131)과 제2프리즘(133) 및 회절격자(grating)(132)가 일체형으로 이루어질 수 있다.9 and 10, the
도 9를 참조하면, 상기 회절격자(grating)(132)는 단면이 이등변 삼각형으로 이루어진 격자반사체(1321)가 일정 간격으로 복수 배치되어 형성될 수 있다.Referring to FIG. 9, the diffraction grating 132 may be formed by arranging a plurality of
이는 상기 제1프리즘(131)의 일측면을 홈(groove) 가공하여 격자반사체(1321)로 이루어진 회절격자(132)를 형성시키고, 회절격자(132)가 형성되지 않은 상기 제2프리즘(133)의 일측면을 상기 제1프리즘(131)에 결합시키는 것이다.This is because grooves are formed on one side of the
그리고, 도 10에서와 같이 상기 파장 선택부(130)는 레이저를 조사하여 발생 되는 열에너지에 의해 내부 밀도가 변형되어 회절격자(grating)(132)가 형성될 수 있다.10, a
한편, 상기 분광수단(100) 및 상기 검출부(detector)(200)가 수평축을 기준으로 미세 정역회전되는 제1회전체(300) 및 제2회전체(400)를 각각 구비한다.The
도 4에서와 같이, 상기 검출부(200)를 고정하고, 상기 분광수단(100)을 회전시킬 경우, 도 5에서와 같은 2차원 이미지 분광 스펙트럼을 얻을 수 있다.As shown in FIG. 4, when the detecting
그리고, 도 6에서와 같이, 상기 검출부(200)와 상기 분광수단(100)을 동시에 회전시키면, 도 7에서와 같은 2차원 이미지 분광 스펙트럼을 얻을 수 있다.
As shown in FIG. 6, if the
이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 사상은 이에 한정되지 아니하고 청구항에 기재된 범위 내에서 변형이나 변경 실시가 가능함은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 첨부된 특허청구범위에 속한다 할 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, And such variations and modifications are intended to fall within the scope of the appended claims.
100: 분광수단
110: 입구 슬릿
111: 슬릿 조리개
120: 조준렌즈
130: 파장 선택부
131: 제1프리즘
132: 회절격자
1321: 격자반사체
133: 제2프리즘
140: 초점조정렌즈
200: 검출부
300: 제1회전체
400: 제2회전체100: Spectroscopic means
110: inlet slit
111: Slit aperture
120: A collimating lens
130: wavelength selector
131: first prism
132: diffraction grating
1321: Grating reflector
133: second prism
140: Focus adjustment lens
200:
300: 1st whole
400: the second whole
Claims (11)
상기 분광수단(100) 및 상기 검출부(detector)(200)가 수평축을 기준으로 미세 정역회전되는 제1회전체(300) 및 제2회전체(400)를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.A spectroscopic means 100 having an entrance slit 110, a collimating lens 120, a diffraction grating 132 and a focusing lens 140, A spectroscope comprising a detector (200)
Characterized in that the spectroscopic means (100) and the detector (200) are provided with a first rotating body (300) and a second rotating body (400) Image spectroscopy device.
상기 입구 슬릿(entrance slit)(110)은 슬릿의 간격을 조절하는 슬릿 조리개(111)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.The method according to claim 1,
Characterized in that the entrance slit (110) further comprises a slit stop (111) for adjusting the spacing of the slit.
상기 제1회전체(300) 및 상기 제2회전체(400)를 구동하는 구동 모터를 구비하며, 상기 구동 모터는 스텝핑 모터(stepping motor) 또는 서보모터(servomotor)인 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.The method according to claim 1,
And a driving motor for driving the first rotating body (300) and the second rotating body (400), wherein the driving motor is a stepping motor or a servomotor. Image spectroscopy device.
상기 분광수단(100) 및 상기 검출부(detector)(200)가 수평축을 기준으로 미세 정역회전되는 제1회전체(300) 및 제2회전체(400)를 각각 구비하는 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.A spectroscopic means 100 having an entrance slit 110, a collimating lens 120, a wavelength selector 130 and a focusing lens 140, ) 200, comprising:
Characterized in that the spectroscopic means (100) and the detector (200) are provided with a first rotating body (300) and a second rotating body (400) Image spectroscopy device.
상기 파장 선택부(130)는 제1프리즘(131), 제2프리즘(133) 및 상기 제1프리즘(131)과 제2프리즘(133) 사이에 위치하는 회절격자(grating)(132)인 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.5. The method of claim 4,
The wavelength selector 130 includes a first prism 131, a second prism 133 and a diffraction grating 132 located between the first prism 131 and the second prism 133 Characterized in that the micro-rotating image spectroscopy apparatus comprises:
상기 회절격자(grating)(132)는 상기 제1프리즘(131)과 제2프리즘(133) 사이에 탈착 가능하게 슬라이딩 삽입되는 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.6. The method of claim 5,
Wherein the diffraction grating (132) is slidably inserted between the first prism (131) and the second prism (133).
상기 제1프리즘(131)과 제2프리즘(133) 및 회절격자(grating)(132)가 일체형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.6. The method of claim 5,
Wherein the first prism (131), the second prism (133), and the diffraction grating (132) are integrally formed.
상기 회절격자(grating)(132)는 단면이 이등변 삼각형으로 이루어진 격자반사체(1321)가 일정 간격으로 복수 배치되어 형성된 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.8. The method of claim 7,
Wherein the diffraction grating (132) is formed by arranging a plurality of lattice reflectors (1321) each having an isosceles triangle in cross section at regular intervals.
상기 파장 선택부(130)는 레이저를 조사하여 발생 되는 열에너지에 의해 내부 밀도가 변형되어 회절격자(grating)(132)가 형성되는 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.6. The method of claim 5,
Wherein the wavelength selector (130) is configured such that a diffraction grating (132) is formed by modifying the internal density by thermal energy generated by irradiating a laser beam.
상기 입구 슬릿(entrance slit)(110)은 슬릿의 간격을 조절하는 슬릿 조리개(111)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.5. The method of claim 4,
Characterized in that the entrance slit (110) further comprises a slit stop (111) for adjusting the spacing of the slit.
상기 제1회전체(300) 및 상기 제2회전체(400)를 구동하는 구동 모터를 구비하며, 상기 구동 모터는 스텝핑 모터(stepping motor) 또는 서보모터(servomotor)인 것을 특징으로 하는 미세 회전형 이미지 분광장치.5. The method of claim 4,
And a driving motor for driving the first rotating body (300) and the second rotating body (400), wherein the driving motor is a stepping motor or a servomotor. Image spectroscopy device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140006328A KR101850573B1 (en) | 2014-01-17 | 2014-01-17 | Minute rotary type image spectrum device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140006328A KR101850573B1 (en) | 2014-01-17 | 2014-01-17 | Minute rotary type image spectrum device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20150086134A true KR20150086134A (en) | 2015-07-27 |
KR101850573B1 KR101850573B1 (en) | 2018-04-19 |
Family
ID=53875053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140006328A KR101850573B1 (en) | 2014-01-17 | 2014-01-17 | Minute rotary type image spectrum device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101850573B1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108713135A (en) * | 2018-05-21 | 2018-10-26 | 深圳达闼科技控股有限公司 | A kind of spectroscopic analysis system |
WO2021040063A1 (en) * | 2019-08-23 | 2021-03-04 | 주식회사 스킨어세이 | Spectroscope and imaging device |
KR20220023478A (en) * | 2020-08-21 | 2022-03-02 | 동아대학교 산학협력단 | Wavelength selection filter |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102609557B1 (en) * | 2018-12-11 | 2023-12-04 | 삼성전자주식회사 | OES(Optical Emission Spectroscopy) apparatus and plasma inspection apparatus comprising the same |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100826126B1 (en) | 2007-03-27 | 2008-04-29 | 호서대학교 산학협력단 | Apparatus for detecting suzi mura using spectral camera |
-
2014
- 2014-01-17 KR KR1020140006328A patent/KR101850573B1/en active IP Right Grant
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108713135A (en) * | 2018-05-21 | 2018-10-26 | 深圳达闼科技控股有限公司 | A kind of spectroscopic analysis system |
CN108713135B (en) * | 2018-05-21 | 2021-07-30 | 深圳达闼科技控股有限公司 | Spectral analysis system |
WO2021040063A1 (en) * | 2019-08-23 | 2021-03-04 | 주식회사 스킨어세이 | Spectroscope and imaging device |
KR20210023602A (en) | 2019-08-23 | 2021-03-04 | 주식회사 스킨어세이 | Spectrometer and imaging apparatus |
KR20220023478A (en) * | 2020-08-21 | 2022-03-02 | 동아대학교 산학협력단 | Wavelength selection filter |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101850573B1 (en) | 2018-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108027568B (en) | Spectral beam profile overlay metrology | |
CN110986818B (en) | Spectral beam profiling | |
US8570509B2 (en) | Spectrometry apparatus, detection apparatus, and method for manufacturing spectrometry apparatus | |
US11092486B2 (en) | Compact folded metasurface spectrometer | |
JP2008510964A (en) | Multichannel, multispectral imaging spectrometer | |
EP2685304A1 (en) | Spectroscopic confocal microscope with aperture stop for increased spatial resolution and parallelized data acquisition | |
KR20140108668A (en) | Spectroscopic instrument and process for spectral analysis | |
US7292337B2 (en) | Optical processor using detecting assembly and method using same | |
KR101850573B1 (en) | Minute rotary type image spectrum device | |
US9546903B2 (en) | Data knitting tandem dispersive range monochromator | |
EP2647983B1 (en) | Spectroscopic apparatus | |
US8102527B2 (en) | Spectrometer assembly | |
US9551612B2 (en) | Tandem dispersive range monochromator | |
Park et al. | Miniaturization of optical spectroscopes into Fresnel microspectrometers | |
US7729052B2 (en) | Non-planar optical diffraction grating having an arbitrary parallel groove profile | |
JPH0431720A (en) | Spectroscope for two-dimensional object | |
JP2007093414A (en) | Spectral device | |
JP2010008706A (en) | Diffraction grating and spectrometer | |
JP2005504318A (en) | measuring device | |
KR20160143969A (en) | Spectroscopic instrument using plane mirror and lens | |
JP4074271B2 (en) | Time-resolved spectrometer | |
JP3992699B2 (en) | Time-resolved spectrometer | |
US11808630B2 (en) | First optical system, monochromator, and optical apparatus | |
JP2011145233A (en) | Spectroscopic device | |
Weisberga et al. | Measured efficiency of three diffraction grating designs for the Carbon Plume Mapper (CPM) spectrometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
J301 | Trial decision |
Free format text: TRIAL NUMBER: 2016101002881; TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20160517 Effective date: 20180316 |
|
S901 | Examination by remand of revocation | ||
GRNO | Decision to grant (after opposition) |