KR20150049949A - The apparatus for training a semiconductor maintenance equipment using heating block - Google Patents

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KR20150049949A KR1020130131174A KR20130131174A KR20150049949A KR 20150049949 A KR20150049949 A KR 20150049949A KR 1020130131174 A KR1020130131174 A KR 1020130131174A KR 20130131174 A KR20130131174 A KR 20130131174A KR 20150049949 A KR20150049949 A KR 20150049949A
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강석주
이성봉
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Abstract

The present invention provides a device for training how to use a semiconductor maintenance tool with a heating block applied thereto. A semiconductor maintenance tool used in the industrial site is modulated by being divided into a plasma module, a chiller module, and a wafer transferring/storing module. During training for understanding a process of cooling heat generated from the plasma module in the chiller module, a virtual heating block is mounted as a connection ring of the heating of a plasma and the cooling of a chiller, thereby ensuring a reality-similar environment and improving training effects. To achieve the above-described purpose, the present invention provides a device (100) for training how to use a semiconductor maintenance tool with a heating block applied thereto. For training of cooling heat generated from a plasma module (110) in a chiller module (120), a heating block (150) is disposed to connect the plasma module (110) and chiller module (120). Heat generated from the plasma module (110) is shown through the heating block (150). In the chiller module (120), heat generated from the plasma module (110) is sensed through the heating block (150) to be cooled.

Description

히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치{The apparatus for training a semiconductor maintenance equipment using heating block}[0001] The present invention relates to a semiconductor maintenance equipment training apparatus using a heating block,

이 발명은 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 산업 현장에서 사용되는 반도체 분야의 장비를 유지보수하는 실무 능력을 충족하기 위해 장비를 플라스마 모듈, 칠러 모듈, 웨이퍼 이송/저장 모듈로 구분하여 모듈화하고, 이 중 플라스마 모듈의 발열에 따른 칠러 모듈에서의 냉각 공정을 히팅 블록을 적용하여 실습할 수 있게 하는 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor maintenance equipment training and training apparatus, and more particularly, to a semiconductor maintenance equipment training apparatus and a semiconductor wafer maintenance / training apparatus, in which a plasma module, a chiller module, a wafer transfer / storage module And a heating block for applying a heating block to the cooling process in the chiller module according to the heat generated by the plasma module.

과학ㆍ기술을 공부하는 학생이나 연구ㆍ개발자들에게 있어서 실제와 같은 조건으로 장비의 전체 또는 일부의 프로그램을 작성하고 이를 실행시키면서 제어하는 과정은 매우 중요하며, 이를 위해 학교 등 교육기관에서는 다양한 교육실습을 하고 있다.It is very important for students, researchers and developers studying science and technology to create programs for all or part of the equipment under actual conditions and to control them by executing them. For this purpose, .

이러한 교육실습을 위한 장비들 중에서, 예를 들어 직접 조작하면서 반도체 공정의 이해를 돕기 위해 제공되는 반도체 유지보수 장비는, 실제 반도체 제조 공정 중에서 웨이퍼 식각 공정의 한 부분을 교육생이 교육 실습하도록 구성되어 있는데, 공정이 다수이고 또한 작동을 위한 컨트롤러의 취급에 익숙하여야 하기 때문에 이에 대한 지식이나 취급 방법 등을 페이퍼를 중심으로 학습하는 것뿐만 아니라 실제로 장비를 동작시켜 보는 실습을 병행하게 된다.Among the equipment for these training exercises, for example, semiconductor maintenance equipment provided to assist in the understanding of the semiconductor process by direct manipulation, is configured so that the trainee trains part of the wafer etching process in the actual semiconductor manufacturing process Since there are many processes and are familiar with the handling of the controller for operation, it is necessary to practice knowledge of how to operate the equipment as well as to study the knowledge and handling methods of the machine mainly on paper.

여기에는 반도체 유지보수 장비의 구조적 특징 및 작동 원리에 대해 피상적인 내용만을 습득하는데서 그치지 않고, 이를 배우고자 하는 교육생이나 교육하는 교사 측면에서 모두 만족스럽게 교육실습을 할 수 있는 장비의 필요성으로부터, 플라스마 모듈, 칠러 모듈, 웨이퍼 이송/저장 모듈의 세 부분으로 구분하여 각 공정별로 모듈화하고, 이를 통한 유지보수 기술의 습득으로 실제 장비의 운영을 원활하게 하도록 교육실습 하는 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치가 제공된다.This is not only a superficial content of the structural features and operating principles of semiconductor maintenance equipment. From the necessity of equipments that can satisfactorily practice teaching in the aspect of educator and educator who want to learn it, , Chiller module, and wafer transfer / storage module, and modularization is made for each process, and the maintenance training technique is learned to facilitate the operation of the actual equipment. .

그리고 이러한 반도체 유지보수 장비의 각 공정에 해당하는 모듈들은, 각 공정을 제어할 수 있도록 전원 공급 및 안전회로를 구성하고 통합 제어가 가능한 컨트롤러(PLC)에서 자동 운전되도록 프로그래밍 되어 있으며, 상기의 모듈들은 교육생이 유지보수 실습할 수 있도록 구성될 수 있다.The modules corresponding to each process of the semiconductor maintenance equipment are programmed to automatically operate in a controller (PLC) capable of configuring a power supply and a safety circuit so as to control each process and capable of controlling the respective processes, It can be configured so that trainees can practice maintenance.

그런데 장비에 대한 이해도가 부족한 교육생이 잘못된 프로그램을 업로드 하는 경우 장비의 고장 및 돌발 사고가 발생할 위험이 커지므로, 초급자의 프로그램 실습을 제한하여 사고 위험을 제거할 필요가 있게 되며, 이와 함께 반도체 공정의 접근을 쉽게 하고 이해도를 높일 수 있도록 장비를 모듈화하여 교육실습하게 된다.However, if a student who does not have enough understanding of equipment uploads a wrong program, the risk of equipment failure or incidents increases, so it is necessary to limit the program practice of beginners to eliminate the risk of accidents. The equipment will be modularized to facilitate access and understanding.

이와 같이 다수의 모듈 형태로 구성되는 반도체 유지보수 장비에서는, 웨이퍼 식각 공정에 플라스마(Plasma) 현상이 포함되고 이러한 플라스마를 발생시키기 위해서는 진공을 발생시키는 펌프 및 주파수를 발생시키는 RF 발진기(Generator) 등 발열이 많은 기기가 사용되며 또한 실제 플라스마 현상 자체에서도 발열이 일어난다.In the semiconductor maintenance equipment constructed in the form of a plurality of modules, plasma etching is included in the wafer etching process. In order to generate such a plasma, a pump for generating a vacuum and an RF oscillator Many of these devices are used, and the actual plasma phenomenon itself also generates heat.

그리고 이러한 플라스마 현상을 발생시킬 때 생겨나는 많은 열을 냉각시키기 위한 칠러(Chiller) 모듈이 불가결하다.And a chiller module for cooling a lot of heat generated by generating such a plasma phenomenon is indispensable.

따라서 반도체 유지보수 장비에서는, 플라스마의 발생과 이에 따른 냉각 과정을 이해하도록 챔버의 진공 조건에서 가스를 투입하여 실제 플라스마를 발생시키는 플라스마 모듈과 이러한 플라스마 발생에 따른 챔버의 열을 냉각시키는 칠러 모듈을 구성하게 된다.Therefore, in the semiconductor maintenance equipment, the plasma module for generating the actual plasma by injecting the gas in the vacuum condition of the chamber so as to understand the generation of the plasma and the cooling process accordingly, and the chiller module for cooling the chamber due to the plasma generation .

그러나 반도체 유지보수 장비는 교육적 목적하에 소형으로 제작되기 때문에, 자연 냉각 또는 각 기기에 내장된 팬만으로도 적정 온도로 유지시킬 수 있어, 실제로 플라스마 모듈에서 발생시킨 열을 칠러 모듈에서 냉각시키는 과정을 실습하기 어려운 문제점이 있었다.However, since the semiconductor maintenance equipment is manufactured in a small size for educational purpose, it can be kept at a proper temperature by only natural cooling or a fan built in each device, so that the practice of cooling the heat generated by the plasma module in the chiller module is practiced There was a difficult problem.

이 발명은 위의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 산업 현장에서 사용되는 반도체 유지보수 장비를 플라스마 모듈, 칠러 모듈, 웨이퍼 이송/저장 모듈로 구분하여 모듈화하고, 이 중 플라스마 모듈에서 발생하는 열을 칠러 모듈에서 냉각시키는 공정을 이해하는 교육실습에 있어서 플라스마의 열 발생과 칠러의 냉각의 연결 고리로써 가상의 히팅 블록(Heating Block)을 장착하여 실제와 유사한 환경을 조성하여 교육실습 효과를 높이는 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치의 제공을 목적으로 한다.In order to solve the above problems, the present invention is to modularize semiconductor maintenance equipment used in an industrial field by a plasma module, a chiller module, and a wafer transfer / storage module, and heat generated in the plasma module is transferred to a chiller module In the practice of understanding the process of cooling the plasma, a heating block is installed as a link between the heat generated by the plasma and the cooling of the chiller to create an environment similar to the actual heating block. It is aimed to provide semiconductor maintenance equipment education and training device.

상기의 목적을 실현하기 위해 이 발명은, 플라스마 모듈(110), 칠러 모듈(120) 그리고 웨이퍼 이송/저장 모듈(130)로 각각 분리하여 모듈로 구분된 상태에서, 컨트롤러(140)의 프로그램 제어에 의해 조작하면서 교육 실습하는 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치(100)로서, 상기 플라스마 모듈(110)과 상기 칠러 모듈(120)을 연결하는 히팅 블록(150)을 더 구비하고, 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생하는 열을 상기 칠러 모듈(120)에서 냉각시키는 교육실습을 위해, 상기 히팅 블록(150)에서 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생되는 열을 나타내며, 상기 칠러 모듈(120)에서 상기 히팅 블록(150)을 통해 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생되는 열을 감지하고 이를 냉각시키게 작동하는 것을 특징으로 하는 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치(100)를 제공한다.In order to realize the above object, the present invention is applied to the program control of the controller 140 in a state where the plasma module 110, the chiller module 120, and the wafer transfer / storage module 130 are separated and separated into modules And a heating block 150 for connecting the plasma module 110 and the chiller module 120. The plasma module 110 may include a heating module 150 for heating the plasma module 110, The heat generated from the plasma module 110 in the heating block 150 is transmitted to the heating block 150 through the chiller module 120, 150) for detecting the heat generated by the plasma module (110) and cooling the heat generated by the plasma module (110). do.

바람직하게는 상기 히팅 블록(150)은, 상기 플라스마 모듈(110)에서 열을 발생시키는 구성 부분에 대응하면서 각각 개별 동작하여 열을 발생시키는 하나 이상의 히터(151)와, 상기 히터(151)에서 발생하는 열을 상기 칠러 모듈(120)에서 감지하게 하는 온도 센서(152)를 포함할 수 있다.The heating block 150 may include one or more heaters 151 corresponding to the components generating heat in the plasma module 110 to generate heat to generate heat, And a temperature sensor 152 for sensing the heat generated by the chiller module 120 in the chiller module 120.

상기의 구성을 갖는 이 발명의 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치에 의하면, 산업 현장에서 사용되는 반도체 유지보수 장비를 플라스마 모듈, 칠러 모듈, 웨이퍼 이송/저장 모듈로 구분하여 모듈화하고, 이 중 상기 플라스마 모듈에서 발생하는 열을 상기 칠러 모듈에서 냉각시키는 교육실습을 위해 상기 플라스마 모듈과 칠러 모듈을 연결하는 히팅 블록을 구비하고, 상기 히팅 블록에서 상기 플라스마 모듈에서 발생되는 열을 나타내며, 상기 칠러 모듈에서 상기 히팅 블록을 통해 상기 플라스마 모듈에서 발생되는 열을 감지하고 이를 냉각시키게 함으로써, 플라스마 모듈에서 발생하는 열을 별도의 히팅 블록을 통해 구현하고, 이를 칠러 모듈을 통해 냉각시켜 발열과 냉각 공정을 바로 파악할 수 있어 실제 산업 현장과 유사한 교육을 통한 실습 효과를 높일 수 있으며, 모듈화된 장비로 교육실습하여 장비의 접근을 쉽게 하여 교육생이 각 공정 간의 연결 및 작동 관계를 쉽고 정확하게 이해하게 되면서, 반도체 장비 유지보수 실무능력이 충족되면서 실제 장비의 운영을 원활하게 하고 특히 국가기술자격을 충족시키는 유지보수에 필요한 기술을 습득하도록 하는 효과가 있게 된다.According to the semiconductor training equipment training and training apparatus using the heating block of the present invention, the semiconductor maintenance equipment used in the industrial field is divided into a plasma module, a chiller module, and a wafer transfer / storage module, And a heating block for connecting the plasma module with the chiller module for training the chiller module to cool the heat generated by the plasma module, wherein the heat generated by the plasma module in the heating block represents the heat generated by the chiller module, The heat generated in the plasma module is realized through a separate heating block by sensing the heat generated in the plasma module through the heating block and cooling the heat generated by the plasma module through the heating block and cooling it through the chiller module, You can see it right away It is possible to enhance the practical effect through education and it is easy to access the equipments by practicing with the modular equipment so that students can easily and accurately understand the connection and operation relation between each process. As a result, And to acquire the skills necessary for maintenance, especially those that meet national technical qualifications.

도 1은 이 발명의 실시 예에 따른 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치를 전체적으로 나타내는 도면이고,
도 2는 도 1의 장치에서, 플라스마 모듈, 칠러 모듈, 웨이퍼 이송/저장 모듈을 각각 분리하여 별도로 나타내는 도면이고,
도 3은 도 1의 장치에서, 컨트롤러를 이용하여 플라스마 모듈에서 발생하는 열을 칠러 모듈에서 냉각시키는 교육실습을 할 때의 컨트롤러와 플라스마 모듈 그리고 칠러 모듈 간 연결 상태를 나타내는 도면이고,
도 4는 도 3의 연결 상태에서, 히팅 블록을 통해 플라스마 모듈에서 발생하는 열을 칠러 모듈에서 냉각시키는 교육실습을 할 때의 구체적 구성을 나타내는 도면이다.FIG. 1 is a view showing the whole of a semiconductor maintenance equipment training and exercise apparatus to which a heating block according to an embodiment of the present invention is applied,
FIG. 2 is a view separately showing a plasma module, a chiller module, and a wafer transfer / storage module in the apparatus of FIG. 1,
FIG. 3 is a view showing a connection state between a controller, a plasma module, and a chiller module in a training exercise for cooling the heat generated in the plasma module by the chiller module using the controller in the apparatus of FIG. 1,
FIG. 4 is a view showing a specific construction of a training exercise for cooling the heat generated in the plasma module through the heating block in the chiller module in the connection state of FIG. 3. FIG.

이하에서는, 이 발명의 바람직한 실시 예를 첨부하는 도면들을 참조하여 상세하게 설명하는데, 이는 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세하게 설명하기 위한 것이지, 이로 인해 이 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be described in detail in order to facilitate a person skilled in the art to which the present invention belongs. And does not mean that the technical idea and scope of the present invention are limited.

도 1은 이 발명의 실시 예에 따른 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치를 전체적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 장치에서, 플라스마 모듈, 칠러 모듈, 웨이퍼 이송/저장 모듈을 각각 분리하여 별도로 나타내는 도면이고, 도 3은 도 1의 장치에서, 컨트롤러를 이용하여 플라스마 모듈에서 발생하는 열을 칠러 모듈에서 냉각시키는 교육실습을 할 때의 컨트롤러와 플라스마 모듈 그리고 칠러 모듈 간 연결 상태를 나타내는 도면이고, 도 4는 도 3의 연결 상태에서, 히팅 블록을 통해 플라스마 모듈에서 발생하는 열을 칠러 모듈에서 냉각시키는 교육실습을 할 때의 구체적 구성을 나타내는 도면이다.FIG. 1 is an overall view of a semiconductor maintenance equipment education and training apparatus to which a heating block according to an embodiment of the present invention is applied. FIG. 2 is a sectional view of a plasma processing module, a chiller module, and a wafer transfer / FIG. 3 is a view showing a connection state between a controller, a plasma module, and a chiller module when performing a training exercise for cooling the heat generated by the plasma module in the chiller module using a controller in the apparatus of FIG. And FIG. 4 is a diagram showing a concrete configuration when performing a training exercise for cooling the heat generated in the plasma module through the heating block in the chiller module in the connection state of FIG.

이 발명의 실시 예에 따른 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치(100)는, 도 1 및 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 플라스마 모듈(110), 칠러 모듈(120), 웨이퍼 이송/저장 모듈(130)의 세 부분으로 구분하여 각 공정별로 모듈화하고, 이를 통한 유지보수 기술의 습득으로 실제 장비의 운영을 원활하게 하도록 교육실습을 하며, 컨트롤러(PLC)(140)에서 자동 운전되도록 프로그래밍 되어 있다.1 and 2, the semiconductor maintenance equipment training and training apparatus 100 applying the heating block according to an embodiment of the present invention includes a plasma module 110, a chiller module 120, a wafer transfer / And the storage module 130. The training module exercises training to smooth the operation of the actual equipment by acquiring the maintenance technique through the module, .

이 발명의 실시 예에서 상기 컨트롤러(140)는, 도 3에 도시되어 있는 바와 같이, 플라스마 모듈(110)과 칠러 모듈(120) 그리고 이들을 연결하는 히팅 블록(150)을 프로그램에 의해 제어한다.In the embodiment of the present invention, the controller 140 controls the plasma module 110, the chiller module 120, and the heating block 150 that connects the plasma module 110 and the chiller module 120, as shown in FIG.

상기 플라스마 모듈(110)은, 진공 챔버(111)에서 플라스마 현상을 볼 수 있도록 하며 이러한 플라스마를 발생시키는 과정에서 열을 발생시키는 주요 구성으로서, 진공을 발생시키는 진공 펌프(112)는 크기가 300X150X250㎜, 용량이 5X10-4 Torr 이며, 400W에 200V전원을 사용하게 구성되고, 주파수를 발생시키는 RF 발진기(Generator)(113)는 주파수가 13.56MHz 이며, 300W에 220V 전원을 사용하게 구성된다.The plasma module 110 is a main constituent that generates plasma in the vacuum chamber 111 and generates heat in the process of generating plasma. The vacuum pump 112 for generating a vacuum has a size of 300 X 150 X 250 mm , A capacity of 5X10-4 Torr, and a 400W and 200V power supply. The RF generator 113 for generating a frequency has a frequency of 13.56 MHz and is configured to use a 220V power for 300W.

상기 칠러 모듈(120)은, 상기 플라스마 모듈(110)에서 플라스마 현상을 발생시킬 때 생겨나는 많은 열을 냉각시키도록 하며, 이를 위해 저온, 저압의 기체 냉매를 고온, 고압의 액체 냉매로 압축하는 압축기, 실제 냉매가 흐르는 것을 관찰하기 위하여 설치한 사이트글라스, 송부팬을 포함하는 핀-관타입 열교환기로 구성한 응축 냉각기/응축 냉각팬, 수조와 히팅 블록 사이에 냉각수가 순환하도록 구성한 순환 펌프, 냉각수를 보관한 수조, 고압 액체 냉매의 압력을 강하시키도록 구성하며 수조 내부에 위치한 팽창 밸브 등으로 구성된다.The chiller module 120 is configured to cool a large amount of heat generated when a plasma phenomenon occurs in the plasma module 110. To this end, the chiller module 120 compresses a low-temperature, low-pressure gas refrigerant into a high- A condensation cooler / condensation cooling fan comprising a pin-tube type heat exchanger including a sight glass installed to observe the flow of actual refrigerant, a circulation pump configured to circulate cooling water between the water tank and the heating block, A water tank, and an expansion valve disposed inside the water tank, configured to drop the pressure of the high-pressure liquid refrigerant.

상기 히팅 블록(150)은, 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생하는 열을 상기 칠러 모듈(120)에서 냉각시키는 과정에서 플라스마의 열 발생과 칠러의 냉각의 연결 고리로써 가상으로 장착하여 실제와 유사한 환경을 조성하여 교육실습 효과를 높인다.The heating block 150 is installed in a virtual environment as a connection link between heat generation of the plasma and cooling of the chiller in the process of cooling the heat generated in the plasma module 110 by the chiller module 120, To enhance the effectiveness of teaching practice.

이러한 상기 히팅 블록(150)은, 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생되는 열을 나타내며, 상기 칠러 모듈(120)에서 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생되는 열을 감지하고 이를 냉각시키게 한다.The heating block 150 indicates heat generated in the plasma module 110 and senses heat generated by the plasma module 110 in the chiller module 120 to cool the same.

이를 위해 상기 히팅 블록(150)에는, 도 4에 도시되어 있는 바와 같이, 하나 이상의 히터(151)가 상기 플라스마 모듈(110)에서 열을 발생시키는 구성 부분에 대응하면서 각각 개별 동작하여 열을 발생시키게 구비되어 있는데, 예를 들어 1000W 정도 실제 히터를 장착하여 상기 칠러 모듈(120)의 열원이 되도록 구성하며, 또한 온도 센서(152)를 통해 상기 히터(151)에서 발생하는 열을 상기 칠러 모듈(120)에서 감지하게 한다.4, one or more heaters 151 correspond to the components that generate heat in the plasma module 110 and operate separately to generate heat. For example, an actual heater of about 1000 W is installed to constitute the heat source of the chiller module 120 and the heat generated by the heater 151 through the temperature sensor 152 is supplied to the chiller module 120 ).

이 발명의 실시 예에 따른 반도체 유지보수 장비에서 히팅 블록의 발열은 플라스마 발생과 매우 밀접한 관계를 가지고 있는데, 플라스마를 발생하기 위해서는 먼저 진공 펌프(112)를 통한 플라스마가 발생하는 용기인 진공 챔버(111)의 진공 상태가 선행되어야 하며, 가스(N2, O2)의 투입 그리고 RF 발진기(113)의 발진 현상을 통해 최종적으로 플라스마가 발생하게 된다.In the semiconductor maintenance equipment according to the embodiment of the present invention, the heating of the heating block is closely related to the generation of plasma. In order to generate plasma, a vacuum chamber 111 (a container for generating plasma through a vacuum pump 112) The plasma is finally generated through the introduction of the N 2 and O 2 gases and the oscillation of the RF oscillator 113.

상기의 플라스마 발생 과정 중에서, 특히 진공 펌프(112)와 RF 발진기(113)의 가동 시, 상기 히팅 블록(150)에 장착된 다수의 히터(151)를 각각 개별 동작시켜 순차적으로 열이 발생하게 한다.During the plasma generation process, particularly, when the vacuum pump 112 and the RF oscillator 113 are operated, a plurality of heaters 151 mounted on the heating block 150 are individually operated to generate heat sequentially .

그리고 상기 히팅 블록(150)에는 온도를 측정할 수 있는 온도 센서(152)를 내장하고, 여기서 측정된 온도는 외부에 디스플레이 되도록 온도 표시기(160)를 장착한다.The heating block 150 has a built-in temperature sensor 152 for measuring the temperature, and the temperature indicator 160 is mounted on the heating block 150 so that the measured temperature is displayed externally.

상기 칠러 모듈(120)은 상기 온도 센서(152)를 통해 측정된 온도를 감지하여 냉각시키는 자동 운전을 하며, 이를 통해 교육생들이 열의 발생을 감지하고 냉각되는지를 쉽게 이해할 수 있게 된다.The chiller module 120 performs an automatic operation for sensing and cooling the measured temperature through the temperature sensor 152, so that it is easy for the students to understand whether or not the generation of heat is detected and cooled.

또한 안전을 위해 상기 히팅 블록(150)이 적정 온도 이상으로 넘어 가면, 교육생들의 부주의로 화상을 입는 경우를 방지하기 위해 이를 감지하여 알람 발생 및 상기 히터(151)를 자동으로 오프하여 온도의 상한 값을 제어하는 온도 조절기(도면에 두시하지 않음)를 추가로 구성할 수 있다.In addition, when the heating block 150 exceeds the proper temperature for safety, in order to prevent a case where a student accidentally burns, it is sensed to automatically generate an alarm and turn off the heater 151, A temperature controller (not shown in the figure) for controlling the temperature can be additionally provided.

따라서 이 발명에서는, 플라스마 모듈(110), 칠러 모듈(120) 그리고 웨이퍼 이송/저장 모듈(130)로 각각 분리하여 모듈로 구분된 상태에서, 컨트롤러(140)의 프로그램 제어에 의해 조작하면서 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생하는 열을 상기 칠러 모듈(120)에서 냉각시키는 교육실습을 위해, 상기 플라스마 모듈(110)과 상기 칠러 모듈(120)을 연결하는 히팅 블록(150)에서 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생되는 열을 하나 이상의 히터(151)를 통해 나타내며, 상기 칠러 모듈(120)에서 상기 히팅 블록(150)의 온도 센서(152)를 통해 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생되는 열을 감지하고 이를 냉각시키게 작동하여 실제 산업 현장과 유사한 교육을 통한 실습 효과를 높일 수 있게 된다.Therefore, in the present invention, while being separated by the plasma module 110, the chiller module 120, and the wafer transfer / storage module 130, and being operated by program control of the controller 140, The plasma module 110 is heated by the heating block 150 connecting the plasma module 110 and the chiller module 120 to an experiment in which the heat generated by the plasma module 110 is cooled by the chiller module 120. [ And the heat generated from the plasma module 110 is detected by the chiller module 120 through the temperature sensor 152 of the heating block 150, It is possible to improve the practical effect by training similar to the actual industrial field.

이 발명은 상기의 실시 예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재되는 발명의 범위 내에서 다양한 변형이 가능하고, 이러한 변형도 이 발명의 범위 내에 포함된다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the invention described in the claims, and such modifications are also included in the scope of the invention.

100 : 이 발명의 실시 예에 따른 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치
110 : 플라스마 모듈 111 : 진공 챔버
112 : 진공 펌프 113 : RF 발진기
120 : 칠러 모듈 130 : 웨이퍼 이송/저장 모듈
140 : 컨트롤러 150 : 히팅 블록
151 : 히터 152 : 온도 센서
160 : 온도 표시기100: Semiconductor maintenance equipment training exercise apparatus applying heating block according to the embodiment of the present invention
110: Plasma module 111: Vacuum chamber
112: Vacuum pump 113: RF oscillator
120: Chiller module 130: Wafer transfer / storage module
140: controller 150: heating block
151: heater 152: temperature sensor
160: Temperature indicator

Claims (2)

플라스마 모듈(110), 칠러 모듈(120) 그리고 웨이퍼 이송/저장 모듈(130)로 각각 분리하여 모듈로 구분된 상태에서, 컨트롤러(140)의 프로그램 제어에 의해 조작하면서 교육 실습하는 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치(100)로서,
상기 플라스마 모듈(110)과 상기 칠러 모듈(120)을 연결하는 히팅 블록(150)을 더 구비하고,
상기 플라스마 모듈(110)에서 발생하는 열을 상기 칠러 모듈(120)에서 냉각시키는 교육실습을 위해, 상기 히팅 블록(150)에서 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생되는 열을 나타내며, 상기 칠러 모듈(120)에서 상기 히팅 블록(150)을 통해 상기 플라스마 모듈(110)에서 발생되는 열을 감지하고 이를 냉각시키게 작동하는 것을 특징으로 하는 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치(100).A semiconductor maintenance equipment training (not shown) is performed while operating by program control of the controller 140 in a state of being separated into modules by the plasma module 110, the chiller module 120 and the wafer transfer / storage module 130, As the training apparatus 100,
Further comprising a heating block (150) connecting the plasma module (110) and the chiller module (120)
The heat generated by the plasma module 110 in the heating block 150 represents the heat generated by the plasma module 110 to cool the heat generated by the plasma module 110 in the chiller module 120, Wherein the heating block 150 senses heat generated in the plasma module 110 through the heating block 150 and operates to cool the heating module. 제 1항에 있어서,
상기 히팅 블록(150)은, 상기 플라스마 모듈(110)에서 열을 발생시키는 구성 부분에 대응하면서 각각 개별 동작하여 열을 발생시키는 하나 이상의 히터(151)와, 상기 히터(151)에서 발생하는 열을 상기 칠러 모듈(120)에서 감지하게 하는 온도 센서(152)를 포함하는 것을 특징으로 하는 히팅 블록을 적용한 반도체 유지보수 장비 교육실습 장치(100).The method according to claim 1,
The heating block 150 includes one or more heaters 151 corresponding to the components generating heat in the plasma module 110 and generating heat by individually operating the heaters 151 and heat generated from the heaters 151 And a temperature sensor (152) for sensing the chiller module (120) in the chiller module (120).
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