KR20150010522A - Protectig film peeling device and peeling method for the same - Google Patents

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KR20150010522A KR20130085695A KR20130085695A KR20150010522A KR 20150010522 A KR20150010522 A KR 20150010522A KR 20130085695 A KR20130085695 A KR 20130085695A KR 20130085695 A KR20130085695 A KR 20130085695A KR 20150010522 A KR20150010522 A KR 20150010522A
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Abstract

A protective film peeling device and method are disclosed. The present invention comprises: a roller part which is formed on a pad part and peels a part of a half-cut first protective film from the pad part; a gripper part which is arranged to be separated from the roller part, grips a part of the first protective film, and senses whether electric currents are applied; and a control part which determines whether the gripper part grips the first protective film or not based on the electric currents sensed from the gripper part.

Description

보호필름 박리장치 및 보호필름 박리방법{Protectig film peeling device and peeling method for the same}[0001] The present invention relates to a protective film peeling device and a protective film peeling method,

본 발명은 보호필름 박리장치 및 보호필름 박리방법에 관한 것이다. The present invention relates to a protective film peeling apparatus and a protective film peeling method.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.Electronic devices based on mobility are widely used. In addition to small electronic devices such as mobile phones, tablet PCs are widely used as mobile electronic devices.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 디스플레이 장치를 포함한다. 최근, 디스플레이 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시부가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.Such a mobile electronic device includes a display device for providing a user with visual information such as an image or an image in order to support various functions. 2. Description of the Related Art [0002] Recently, as other components for driving a display device have been miniaturized, the weight of a display portion in an electronic device has been gradually increasing, and a structure capable of bending to have a predetermined angle in a flat state has been developed.

상기와 같은 디스플레이 장치는 기판과, 기판 상에 형성되는 발광부 및 발광부를 봉지하는 봉지부를 포함할 수 있다. 이때, 기판은 발광부가 형성되지 않는 부분에 패드부를 구비할 수 있다. 패드부는 외부의 전원을 공급받거나 외부로부터 신호를 인가받을 수 있다. The display device may include a substrate, a light emitting portion formed on the substrate, and a sealing portion sealing the light emitting portion. At this time, the substrate may have a pad portion at a portion where the light emitting portion is not formed. The pad unit may receive external power or receive a signal from the outside.

한편, 상기와 같은 디스플레이 장치는 외부의 충격으로부터 내부를 보호하기 위하여 기판과 봉지부에 각각 보호필름을 부착할 수 있다. 이때, 봉지부에 부착되는 보호필름은 패드부를 덮은 후 패드부 상의 보호필름을 제거하여 패드부를 외부로 노출시킬 수 있다. In order to protect the inside of the display device from external impact, a protective film may be attached to the substrate and the sealing part, respectively. At this time, the protective film attached to the sealing part may cover the pad part, and then the protective film on the pad part may be removed to expose the pad part to the outside.

본 발명의 실시예들은 패드부의 필름을 신속하게 제거하는 보호필름 박리장치 및 보호필름 박리방법을 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention provide a protective film peeling apparatus and a protective film peeling method for quickly removing a film of a pad portion.

본 발명의 일 측면은, 패드부에 형성되어 하프커팅(Half cutting)된 제 1 보호필름의 일부를 상기 패드부로터 분리하는 롤러부와, 상기 롤러부로부터 이격되어 배치되며, 분리된 상기 제 1 보호필름 일부를 파지하고, 통전여부를 감지하는 그립퍼부와, 상기 그립퍼부에서 감지된 통전여부를 근거로 상기 그립퍼부의 상기 제 1 보호필름 파지여부를 판별하는 제어부를 포함하는 보호필름 박리장치을 제공할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an ink jet recording head comprising: a roller portion formed on a pad portion and separating a part of a first protective film half-cut, the pad portion being separated from the roller portion; A gripper unit for gripping a part of the protective film and detecting whether or not the protective film is energized and a control unit for discriminating whether the gripper unit grasps the first protective film on the basis of the presence or absence of electric power sensed by the gripper unit .

또한, 상기 그립퍼부는, 제 1 그립퍼와, 상기 제 1 그립퍼로부터 이격되어 배치되는 제 2 그립퍼를 구비할 수 있다.The gripper portion may include a first gripper and a second gripper spaced apart from the first gripper.

또한, 상기 제 1 그립퍼 및 상기 제 2 그립퍼는 도전체로 형성될 수 있다. In addition, the first gripper and the second gripper may be formed of a conductor.

또한, 상기 제 1 그립퍼 및 상기 제 2 그립퍼 중 적어도 하나는 상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼 사이의 간격을 가변시키도록 이동 가능할 수 있다. At least one of the first gripper and the second gripper may be movable to vary the gap between the first gripper and the second gripper.

또한, 상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼는 상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼 사이의 간격이 설정간격 이내인 경우 통전할 수 있다. The first gripper and the second gripper may be energized when the distance between the first gripper and the second gripper is within a predetermined distance.

또한, 상기 제어부는 상기 그립퍼부에서 통전이 확인된 경우 상기 그립퍼부가 상기 제 1 보호필름의 일부를 파지하지 못한 것으로 판단할 수 있다.In addition, the control unit may determine that the gripper can not grip a part of the first protective film when power is confirmed in the gripper unit.

또한, 상기 제어부는 상기 그립퍼부에서 통전이 확인되지 못한 경우 상기 그립퍼부가 상기 제 1 보호필름의 일부를 파지한 것으로 판단할 수 있다. The control unit may determine that the gripper grips a part of the first protective film when power is not confirmed in the gripper unit.

또한, 상기 기판이 안착하는 스테이지;를 더 포함할 수 있다. The apparatus may further include a stage on which the substrate is placed.

또한, 상기 그립퍼부 및 상기 스테이지는 서로 상대 운동이 가능할 수 있다. Further, the gripper portion and the stage may be movable relative to each other.

또한, 상기 롤러부 및 상기 글립퍼부가 선형 운동 가능하도록 설치되는 바디부를 더 포함할 수 있다. Further, the roller unit and the gripper unit may further include a body unit installed to be linearly movable.

본 발명의 다른 측면은, 기판의 패드부 상의 하프 커팅(Half cutting)된 제 1 보호필름 일부를 롤러부로 가압하여 상기 패드부와 상기 제 1 보호필름 일부를 분리하는 단계와, 상기 패드부와 분리된 상기 제 1 보호필름 일부를 그립퍼부로 파지하는 단계와, 상기 그립퍼부의 통전여부를 감지하고, 상기 그립퍼부의 통전여부를 근거로 상기 제 1 보호필름의 파지여부가 판단하여 스테이지와 상기 그립퍼부를 서로 상대 운동시켜 상기 제 1 보호필름을 상기 패드부로부터 분리하는 단계를 포함하는 보호필름 박리방법을 제공할 수 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device, comprising: separating a portion of a first protective film half-cut on a pad portion of a substrate with a roller portion to separate the pad portion and a portion of the first protective film; And a control unit for detecting whether or not the gripper unit is energized and determining whether the first protective film is grasped based on whether or not the gripper unit is energized so that the stage and the gripper unit are opposed to each other And separating the first protective film from the pad portion by moving the first protective film.

또한, 상기 패드부와 상기 제 1 보호필름 일부를 분리하는 단계는, 상기 롤러부를 상기 기판의 수직한 제 1 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보호필름의 일부를 가압하는 단계와, 상기 스테이지와 상기 롤러부를 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 서로 상대운동 시켜 상기 패드부와 상기 제 1 보호필름 일부를 분리하는 단계를 구비할 수 있다. The step of separating the pad part and the first protective film part may include the steps of moving the roller part in a first direction perpendicular to the substrate to press a part of the first protective film, And separating the pad portion and a portion of the first protective film by relatively moving them in a second direction perpendicular to the first direction.

또한, 상기 그립퍼부는 도전체로 형성될 수 있다. In addition, the gripper portion may be formed of a conductive material.

또한, 상기 그립퍼부는 상기 제 1 보호필름을 파지하지 못하는 경우 통전될 수 있다. In addition, the gripper part may be energized when it can not grasp the first protective film.

또한, 상기 패드부와 분리된 상기 제 1 보호필름 일부를 그립퍼부로 파지하기 전에 상기 그립퍼부를 작동시킨 후 통전여부를 판별하는 단계를 더 포함할 수 있다. The method may further include determining whether the gripper unit is energized after operating the gripper unit before grasping a portion of the first protective film separated from the pad unit with the gripper unit.

또한, 상기 그립퍼부의 작동 후 통전되지 못하는 경우 상기 그립퍼부를 작동이상으로 판별하는 단계를 더 포함할 수 있다. In addition, if the gripper unit can not be energized after the operation of the gripper unit, it may further include determining the gripper unit as an operation abnormality.

또한, 상기 패드부에서 상기 제 1 보호필름을 제거한 후 상기 그립퍼부에서 통전이 감지되지 않는 경우 상기 그립퍼부에 파지된 상기 제 1 보호필름을 필름스크랩통으로 이송하여 파기시키는 단계를 더 포함할 수 있다. The method may further include a step of transferring the first protective film held in the gripper portion to the film scrap box when the power is not sensed in the gripper portion after removing the first protective film from the pad portion, .

또한, 상기 제 1 보호필름을 상기 필름스크랩통으로 이송하여 파기시킨 후 상기 그립퍼부의 통전여부를 판별하는 단계를 더 포함할 수 있다. The method may further include transferring the first protective film to the film scrap box and discarding the first protective film, and then determining whether the gripper unit is energized.

또한, 상기 그립퍼부에서 통전이 감지되지 않는 경우 그립퍼부에서 파지된 상기 제 1 보호필름이 잔존하는 것으로 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다. The method may further include the step of determining that the first protective film held by the gripper unit remains if current is not sensed in the gripper unit.

또한, 상기 그립퍼부는, 제 1 그립퍼와, 상기 제 1 그립퍼로부터 이격되어 배치되는 제 2 그립퍼를 구비하고, 상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼는 상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼 사이의 간격이 설정간격 이내인 경우 통전할 수 있다. The gripper portion may include a first gripper and a second gripper spaced apart from the first gripper. The first gripper and the second gripper may have a gap between the first gripper and the second gripper Energizing is possible within the setting interval.

본 발명의 실시예들은 그립퍼부의 통전 유무를 통하여 글립퍼부에서 제 1 보호필름을 파지하였는지 판단할 수 있다. 특히 본 발명의 실시예들은 패드부에 직접 접촉하여 제 1 보호필름의 제거여부를 판별하지 않으므로 패드부의 손상을 최소화할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들은 박리되는 제 1 보호필름을 광센서 등과 같은 간접 수단을 통하여 측정하는 것이 아니므로 제 1 보호필름의 제거여부를 확실하고 신속하게 감지할 수 있다. Embodiments of the present invention can determine whether or not the gripper section grasps the first protective film through the presence or absence of energization of the gripper section. Particularly, the embodiments of the present invention do not discriminate whether the first protective film is removed by directly contacting the pad portion, so that the damage of the pad portion can be minimized. In addition, since embodiments of the present invention do not measure the first protective film to be peeled through indirect means such as an optical sensor or the like, it is possible to surely and quickly detect whether or not the first protective film is removed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호필름 박리장치를 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시된 제 1 그립퍼와 제 2 그립퍼를 보여주는 개념도이다.
도 3은 도 1에 도시된 디스플레이 장치를 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 보호필름 박리장치의 제 1 작동 상태를 보여주는 작동도이다.
도 5는 도 1에 도시된 보호필름 박리장치의 제 2 작동 상태를 보여주는 작동도이다.
도 6은 도 5의 롤러부의 작동 상태를 보여주는 작동도이다.
도 7은 도 1에 도시된 보호필름 박리장치의 제 3 작동 상태를 보여주는 작동도이다.
도 8은 도 1에 도시된 보호필름 박리장치의 제 4 작동 상태를 보여주는 작동도이다.
1 is a conceptual view showing a protective film peeling apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a conceptual diagram showing the first gripper and the second gripper shown in FIG. 1. FIG.
3 is a sectional view showing the display device shown in Fig.
4 is an operational view showing a first operation state of the protective film peeling apparatus shown in FIG.
FIG. 5 is an operational view showing a second operation state of the protective film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
6 is an operational view showing the operating state of the roller portion in Fig.
FIG. 7 is an operational view showing a third operation state of the protective film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 8 is an operational view showing a fourth operation state of the protective film peeling apparatus shown in FIG. 1. FIG.

본 발명은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 한편, 본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The present invention will become more apparent from the following detailed description taken in conjunction with the accompanying drawings, in which: FIG. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. It is to be understood that the terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. It is noted that the terms "comprises" and / or "comprising" used in the specification are intended to be inclusive in a manner similar to the components, steps, operations, and / Or additions. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by terms. Terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보호필름 박리장치(100)를 보여주는 개념도이다. 도 2는 도 1에 도시된 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)를 보여주는 개념도이다. 도 3은 도 1에 도시된 디스플레이 장치(10)를 보여주는 단면도이다.1 is a conceptual view showing a protective film peeling apparatus 100 according to an embodiment of the present invention. 2 is a conceptual diagram showing the first gripper 121 and the second gripper 123 shown in FIG. 3 is a sectional view showing the display device 10 shown in Fig.

도 1 내지 도 3를 참고하면, 보호필름 박리장치(100)는 외관을 형성하면서 후술할 다른 구성요소들을 지지하는 바디부(180)를 포함할 수 있다. 또한, 보호필름 박리장치(100)는 디스플레이 장치(10)가 안착하는 스테이지(140)를 포함할 수 있다. 이때, 스테이지(140)는 디스플레이 장치(10)가 안착한 상태에서 선형 운동할 수 있다. Referring to FIGS. 1 to 3, the protective film peeling apparatus 100 may include a body portion 180 that supports other components to be described later while forming an appearance. In addition, the protective film peeling apparatus 100 may include a stage 140 on which the display device 10 is seated. At this time, the stage 140 can move linearly while the display device 10 is seated.

한편, 상기와 같은 디스플레이 장치(10)는 기판(11), 디스플레이부(12), 봉지부(13)를 포함할 수 있다. 이때, 기판(11)에는 디스플레이부(12)가 형성되는 표시 영역(DA)과, 디스플레이부(12)가 형성되지 않는 비표시 영역(NDA)이 형성될 수 있다. 상기와 같은 비표시 영역(NDA)에는 외부의 단자 또는 신호선 등이 접속하는 패드부(14)가 형성될 수 있다. 특히 상기와 같은 패드부(14)는 디스플레이부(12)에 형성되는 전극 또는 배선 등과 라인 등으로 연결될 수 있다. The display device 10 may include a substrate 11, a display unit 12, and an encapsulation unit 13. At this time, a display area DA in which the display unit 12 is formed and a non-display area NDA in which the display unit 12 is not formed may be formed on the substrate 11. The non-display area NDA may include a pad portion 14 to which an external terminal, a signal line, or the like is connected. In particular, the pad unit 14 may be connected to an electrode or a wiring formed on the display unit 12 by a line or the like.

또한, 기판(11)은 다양한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판(11)은 유리, 플라스틱, 얇은 금속 재질 등으로 형성될 수 있다. 특히 기판(11)은 폴리이미드(PI, Polyimide)로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(11)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. In addition, the substrate 11 may be formed of various materials. For example, the substrate 11 may be formed of glass, plastic, a thin metal material, or the like. In particular, the substrate 11 may be formed of polyimide (PI). Hereinafter, for convenience of explanation, the case where the substrate 11 is formed of polyimide will be described in detail.

한편, 디스플레이부(12)는 유기 발광층(미도시)을 구비하여 외부에서 인가되는 신호에 따라서 발광함으로써 외부에 이미지 또는 글자 등을 디스플레이할 수 있다. 이때, 디스플레이부(12)는 일반적인 유기 발광 디스플레이부와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. On the other hand, the display unit 12 includes an organic light emitting layer (not shown), and can emit light according to a signal applied from the outside, thereby displaying an image or letters on the outside. At this time, the display unit 12 is the same as or similar to the general organic light emitting display unit, and thus a detailed description thereof will be omitted.

봉지부(13)는 다양하게 형성될 수 있다. 예를 들면, 봉지부(13)는 상기에서 설명한 바와 같이 기판(11)과 동일 또는 유사하게 형성될 수 있다. 또한, 봉지부(13)는 박막 형태로 형성되어 디스플레이부(12)를 덮도록 형성될 수 있다. The sealing portion 13 can be formed in various ways. For example, the sealing portion 13 may be formed to be the same as or similar to the substrate 11 as described above. In addition, the sealing portion 13 may be formed in a thin film form to cover the display portion 12. [

특히 봉지부(13)가 박막 형태로 형성되는 경우, 봉지부(13)는 하나 이상의 유기층과 하나 이상의 무기층이 상호 교번하여 적층 형성될 수 있다.In particular, when the sealing portion 13 is formed in the form of a thin film, the sealing portion 13 may be formed by alternately stacking one or more organic layers and one or more inorganic layers.

상기 무기층 또는 상기 유기층은 각각 복수 개일 수 있다.Each of the inorganic layer and the organic layer may be plural.

상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함한다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The organic layer may be formed of a polymer, and preferably a single layer or a laminated layer formed of any one of polyethylene terephthalate, polyimide, polycarbonate, epoxy, polyethylene and polyacrylate. More preferably, the organic layer may be formed of polyacrylate, and specifically includes a polymerized monomer composition comprising a diacrylate monomer and a triacrylate monomer. The monomer composition may further include a monoacrylate monomer. Further, the monomer composition may further include a known photoinitiator such as TPO, but is not limited thereto.

상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The inorganic layer may be a single film or a laminated film containing a metal oxide or a metal nitride. Specifically, the inorganic layer may comprise any one of SiNx, Al 2 O 3, SiO 2, TiO 2.

봉지부(13) 중 외부로 노출된 최상층은 유기발광소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 잇다.The top layer exposed to the outside of the sealing part 13 may be formed of an inorganic layer to prevent moisture permeation to the organic light emitting device.

봉지부(13)는 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또한, 봉지부(13)는 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다.The sealing portion 13 may include at least one sandwich structure in which at least one organic layer is interposed between at least two inorganic layers. Further, the sealing portion 13 may include at least one sandwich structure in which at least one inorganic layer is interposed between at least two organic layers.

봉지부(13)는 디스플레이부(12)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다. 또한, 봉지부(13)는 디스플레이부(12)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다. 또한, 봉지부(13)는 디스플레이부(12)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다.The sealing portion 13 may include a first inorganic layer, a first organic layer, and a second inorganic layer sequentially from the top of the display portion 12. [ In addition, the sealing portion 13 may include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, and a third inorganic layer sequentially from the top of the display portion 12. The sealing portion 13 sequentially exposes the first inorganic layer, the first organic layer, the second inorganic layer, the second organic layer, the third inorganic layer, the third organic layer, and the fourth inorganic layer sequentially from the top of the display portion 12 .

디스플레이부(12)와 상기 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 상기 제1 무기층을 스퍼터링 방식 또는 플라즈마 증착 방식으로 형성할 때 디스플레이부(12)가 손상되는 것을 방지할 수 있다. A halogenated metal layer including LiF may be further included between the display portion 12 and the first inorganic layer. The metal halide layer can prevent the display unit 12 from being damaged when the first inorganic layer is formed by a sputtering method or a plasma deposition method.

상기 제1 유기층은 상기 제2 무기층 보다 면적이 좁은 것을 특징으로 하며, 상기 제2 유기층도 상기 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다. 또한, 상기 제1 유기층은 상기 제2 무기층에 의해 완전히 뒤덮이는 것을 특징으로 하며, 상기 제2 유기층도 상기 제3 무기층에 의해 완전히 뒤덮일 수 있다.The first organic layer may have a smaller area than the second inorganic layer, and the second organic layer may be smaller in area than the third inorganic layer. The first organic layer may be completely covered with the second inorganic layer, and the second organic layer may be completely covered with the third inorganic layer.

다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 봉지부(13)가 박막 형태로 형성되어 디스플레이부(12)를 덮는 것을 중심으로 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, for the sake of convenience of explanation, the sealing portion 13 is formed in the form of a thin film to cover the display portion 12 will be described in detail.

한편, 디스플레이 장치(10)는 기판(11) 및 봉지부(13) 중 적어도 하나에 설치되는 보호필름(15,16)을 포함할 수 있다. 이때, 보호필름(15,16)은 외부의 충격, 외부 물체 등으로부터 기판(11) 및 봉지부(13) 중 적어도 하나를 보호할 수 있다. 특히 보호필름(15,16)은 봉지부(13) 상에 설치되는 제 1 보호필름(15)과, 기판(11) 상에 설치되는 제 2 보호필름(16)을 포함할 수 있다. Meanwhile, the display device 10 may include protective films 15 and 16 provided on at least one of the substrate 11 and the encapsulation portion 13. At this time, the protective films 15 and 16 can protect at least one of the substrate 11 and the sealing portion 13 from an external impact, an external object, or the like. In particular, the protective films 15 and 16 may include a first protective film 15 provided on the sealing portion 13 and a second protective film 16 provided on the substrate 11.

상기와 같이 형성되는 디스플레이 장치(10)의 제조방법을 간단히 설명하면, 우선 케리어 기판(미도시) 상에 폴리이미드를 도포할 수 있다. 이때, 폴리이미드는 슬릿 노즐 등을 통하여 상기 케리어 기판에 서로 이격되도록 도포될 수 있다. 상기의 과정이 완료되면, 폴리이미드를 경화시켜 원장 기판(미도시, mother substrate)을 생성할 수 있다. [0031] A brief description will be given of a method of manufacturing the display device 10 as described above. First, polyimide can be coated on a carrier substrate (not shown). At this time, the polyimide may be applied to the carrier substrate through a slit nozzle or the like so as to be spaced apart from each other. Once the above process is completed, the polyimide may be cured to produce a mother substrate (not shown).

또한, 상기 원장 기판의 각 영역에 서로 이격되도록 디스플레이부(12)를 생성할 수 있다. 상기와 같이 디스플레이부(12)를 형성할 때 패드부(14)를 형성할 수 있다. 이때, 디스플레이부(12) 및 패드부(14)를 생성하는 방법은 일반적인 방법과 동일하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.Further, the display unit 12 may be formed to be spaced apart from each other in the respective regions of the main substrate. As described above, the pad portion 14 can be formed when the display portion 12 is formed. At this time, the method of generating the display unit 12 and the pad unit 14 is the same as that of a general method, and thus a detailed description thereof will be omitted.

상기와 같이 디스플레이부(12) 및 패드부(14)를 형성한 후 디스플레이부(12)를 봉지부(13)를 통하여 외부와 차단시킬 수 있다. 이때, 봉지부(13)는 디스플레이부(12)로 공기 또는 수분 등이 침투하는 것을 방지함으로써 디스플레이부(12)의 수명을 증대시킬 수 있다. After the display unit 12 and the pad unit 14 are formed as described above, the display unit 12 can be disconnected from the outside through the sealing unit 13. At this time, the sealing portion 13 prevents the penetration of air, moisture or the like into the display portion 12, so that the life of the display portion 12 can be increased.

상기와 같이 봉지부(13)가 형성된 후 제 1 보호필름(15)을 봉지부(13) 상에 설치할 수 있다. 이때, 제 1 보호필름(15)은 표시 영역(DA)과 비표시 영역(NDA)을 모두 덮도록 상기 케리어 기판 전체에 설치될 수 있다. After the sealing part 13 is formed as described above, the first protection film 15 may be provided on the sealing part 13. [ At this time, the first protective film 15 may be provided on the entire carrier substrate so as to cover both the display area DA and the non-display area NDA.

상기의 과정이 완료되면, 상기 케리어 기판에 레이저를 조사하여 상기 케리어 기판을 상기 원장 기판으로부터 분리할 수 있다. 상기의 과정이 완료되면, 상기 원장 기판에 제 2 보호필름(16)을 설치한 후 간단한 검사를 수행하여 제대로 디스플레이부(12)가 형성되었는지 검사를 수행한다.When the above process is completed, the carrier substrate can be separated from the main substrate by irradiating the carrier substrate with a laser. After completing the above process, the second protective film 16 is installed on the RG board, and a simple inspection is performed to check whether the display unit 12 is properly formed.

상기 검사의 수행이 완료되면, 각 상기 원장 기판을 분리하여 하나의 디스플레이 장치(10)를 분리할 수 있다. 이때, 상기 원장 기판은 서로 분리되어 기판(11)이 될 수 있다. 상기와 같은 작업은 외부의 커팅기(미도시)를 통하여 수행될 수 있다. 이때, 상기 커팅기는 기판(11)을 분리하는 과정에서 패드부(14) 상의 제 1 보호필름(15)을 하프 커팅(Half cutting)할 수 있다. 즉, 상기 커팅기를 통하여 패드부(14) 상에 형성되는 제 1 보호필름(15) 일부에 절취선을 형성할 수 있다. When the inspection is completed, each of the RG boards can be separated and one display device 10 can be separated. At this time, the first substrate may be separated from the first substrate. The above operation can be performed through an external cutter (not shown). At this time, the cutter can perform half cutting of the first protective film 15 on the pad portion 14 in the process of separating the substrate 11. That is, a perforated line may be formed in a part of the first protective film 15 formed on the pad portion 14 through the cutter.

한편, 보호필름 박리장치(100)는 롤러부(110)를 포함할 수 있다. 이때, 롤러부(110)는 패드부(14) 상의 제 1 보호필름(15) 일부를 패드부(14)로부터 분리할 수 있다. Meanwhile, the protective film peeling apparatus 100 may include a roller unit 110. At this time, the roller unit 110 can separate a part of the first protective film 15 on the pad unit 14 from the pad unit 14.

상기와 같은 롤러부(110)는 바디부(180)에 선형 운동 가능하도록 형성되는 제 1 슬라이딩부(113)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 슬라이딩부(113)는 바디부(180)를 기판(11)에 수직한 제 1 방향(Y)으로 선형 운동할 수 있다. 또한, 제 1 슬라이딩부(113)는 바디부(180)를 제 1 방향(Y)과 수직한 제 2 방향(X)으로 선형 운동할 수 있다. The roller unit 110 may include a first sliding unit 113 that is linearly movable with respect to the body unit 180. At this time, the first sliding part 113 can linearly move the body part 180 in the first direction Y perpendicular to the substrate 11. The first sliding part 113 can linearly move the body part 180 in a second direction X perpendicular to the first direction Y. [

또한, 롤러부(110)는 제 1 슬라이딩부(113)에 회전 가능하도록 설치되는 롤러(111)를 포함할 수 있다. 이때, 롤러(111)는 다양한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 롤러(111)는 점착 테이프를 구비할 수 있으며, 롤러(111)는 우레탄 재질로 형성되는 것도 가능하다. The roller unit 110 may include a roller 111 that is rotatably mounted on the first sliding unit 113. At this time, the roller 111 may be formed of various materials. For example, the roller 111 may be provided with an adhesive tape, and the roller 111 may be formed from a urethane material.

한편, 보호필름 박리장치(100)는 롤러부(110)로부터 이격되어 배치되는 그립퍼부(120)를 포함할 수 있다. 이때, 그립퍼부(120)는 제 1 보호필름(15) 일부를 파지하고, 통전여부를 감지할 수 있다. Meanwhile, the protective film peeling apparatus 100 may include a gripper portion 120 disposed apart from the roller portion 110. At this time, the gripper unit 120 can grasp a part of the first protective film 15 and sense whether the power is applied or not.

구체적으로 그립퍼부(120)는 제 1 그립퍼(121)와, 제 1 그립퍼(121)와 이격되어 설치되는 제 2 그립퍼(123)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)는 도전체로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 도전체는 은, 구리, 알루미늄, 금 등과 같이 전기전도율이 우수한 금속 또는 전기전도율이 우수한 합금 중 적어도 하나일 수 있다. More specifically, the gripper 120 may include a first gripper 121 and a second gripper 123 that is spaced apart from the first gripper 121. At this time, the first gripper 121 and the second gripper 123 may be formed as a conductor. For example, the conductor may be at least one of a metal having an excellent electrical conductivity such as silver, copper, aluminum, gold, or the like or an alloy having an excellent electrical conductivity.

또한, 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)는 내구성 및 내마모성이 우수한 합금속으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)는 백금 등의 합금속을 포함할 수 있다. In addition, the first gripper 121 and the second gripper 123 may be formed of a metal alloy having excellent durability and wear resistance. For example, the first gripper 121 and the second gripper 123 may include a metal alloy such as platinum.

제 1 그립퍼(121) 및 제 2 그립퍼(123) 중 적어도 하나는 이동 가능하여 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123) 사이의 간격을 가변시킬 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 그립퍼(121) 및 제 2 그립퍼(123)가 모두 이동 가능한 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. At least one of the first gripper 121 and the second gripper 123 is movable so that the interval between the first gripper 121 and the second gripper 123 can be varied. Hereinafter, the first gripper 121 and the second gripper 123 are all movable for convenience of explanation.

상기와 같은 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)는 서로 접촉하는 경우 또는 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123) 사이의 간격이 설정간격 이내인 경우 통전할 수 있다. 구체적으로 제 1 그립퍼(121) 또는 제 2 그립퍼(123) 중 적어도 하나에 전류를 인가하는 경우 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)가 접촉하면 제 1 그립퍼(121) 또는 제 2 그립퍼(123) 중 다른 하나로 전류가 통전될 수 있다. 또한, 상기와 같이 전류가 인가되는 경우 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)가 설정간격 이내만큼 이격된 경우 통전할 수 있다. 이때, 설정간격은 다양하게 형성될 수 있으며, 예를 들면, 설정간격은 10±5㎛일 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)가 서로 접촉할 때 전류가 통전하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. When the first gripper 121 and the second gripper 123 are in contact with each other or when the gap between the first gripper 121 and the second gripper 123 is within a predetermined interval, the first gripper 121 and the second gripper 123 can be energized. Specifically, when current is applied to at least one of the first gripper 121 or the second gripper 123, when the first gripper 121 and the second gripper 123 make contact with each other, the first gripper 121 or the second gripper 123, A current can be passed through the other one of the first and second transistors 123 and 123. When the first gripper 121 and the second gripper 123 are separated by a predetermined distance or less, current can be supplied. At this time, the setting interval may be variously formed. For example, the setting interval may be 10 5 m. Hereinafter, for the sake of convenience of explanation, the case where the first gripper 121 and the second gripper 123 contact each other will be described in detail.

상기와 같은 그립퍼부(120)는 제 1 그립퍼(121) 및 제 2 그립퍼(123)가 설치되는 제 2 슬라이딩부(125)를 포함할 수 있다. 이때, 제 2 슬라이딩부(125)는 바디부(180)에 선형운동 가능하도록 설치될 수 있다. 특히 제 2 슬라이딩부(125)는 바디부(180)를 중심으로 상기 제 1 방향(Y) 및 상기 제 2 방향(X)으로 선형 운동할 수 있다. The gripper unit 120 may include a second sliding unit 125 on which the first gripper 121 and the second gripper 123 are installed. At this time, the second sliding portion 125 may be installed to be linearly movable with respect to the body portion 180. Particularly, the second sliding part 125 can linearly move in the first direction Y and the second direction X about the body part 180. [

한편, 보호필름 박리장치(100)는 그립퍼부(120)에서 감지된 통전여부를 근거로 그립퍼부(120)의 제 1 보호필름(15) 파지여부를 판별하는 제어부(130)를 포함할 수 있다. 이때, 제어부(130)는 바디부(180)에 고정되도록 설치될 수 있다. 또한, 제어부(130)는 그립퍼부(120)에서 통전이 감지되는 경우 그립퍼부(120)가 제 1 보호필름(15)을 파지하지 못한 것으로 판단할 수 있다. 제어부(130)는 그립퍼부(120)에서 통전이 감지되지 않은 경우 그립퍼부(120)가 제 1 보호필름(15)을 파지한 것으로 판단할 수 있다. The protective film peeling apparatus 100 may include a control unit 130 for determining whether the gripper unit 120 grasps the first protective film 15 based on whether the gripper unit 120 is energized . At this time, the controller 130 may be installed to be fixed to the body 180. The control unit 130 may determine that the gripper unit 120 does not grip the first protective film 15 when power is detected in the gripper unit 120. [ The control unit 130 may determine that the gripper unit 120 grasps the first protective film 15 when power is not sensed in the gripper unit 120. [

보호필름 박리장치(100)는 제 1 슬라이딩부(113)를 구동시키는 제 1 구동부(115)를 포함할 수 있다. 이때, 제 1 구동부(115)는 엑추에이터(미도시)를 구비할 수 있으며, 특히 상기 엑추에이터는 공압 또는 유압 실린더를 포함할 수 있다. The protective film peeling apparatus 100 may include a first driving unit 115 for driving the first sliding unit 113. At this time, the first driving unit 115 may include an actuator (not shown), and in particular, the actuator may include a pneumatic or hydraulic cylinder.

보호필름 박리장치(100)는 그립퍼부(120)를 구동시키는 제 2 구동부(127)를 포함할 수 있다. 이때, 제 2 구동부(127)는 제 1 구동부(115)와 유사하게 엑추에이터(미도시)를 구비할 수 있으며, 기어 어셈블리(미도시)와 모터(미도시)를 구비하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제 1 구동부(115) 및 제 2 구동부(127)가 상기 엑추에이터를 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The protective film peeling apparatus 100 may include a second driving unit 127 for driving the gripper unit 120. At this time, the second driving unit 127 may include an actuator (not shown) similar to the first driving unit 115, and may include a gear assembly (not shown) and a motor (not shown). Hereinafter, for convenience of explanation, the first actuator 115 and the second actuator 127 will be described in detail.

또한, 보호필름 박리장치(100)는 스테이지(140)를 선형 운동시키는 제 3 구동부(150)를 포함할 수 있다. 이때, 제 3 구동부(150)는 스테이지(140)를 패드부(14)에서 박리되는 제 1 보호필름(15)의 이동방향(X방향)과 반대 방향으로 선형 운동시킬 수 있다. In addition, the protective film peeling apparatus 100 may include a third driving unit 150 for linearly moving the stage 140. At this time, the third driving unit 150 can linearly move the stage 140 in a direction opposite to the moving direction (X direction) of the first protective film 15 to be peeled off from the pad unit 14.

한편, 이하에서는 보호필름 박리장치(100)를 통하여 제 1 보호필름(15)을 패드부(14)로부터 박리하는 작동에 대해서 상세히 설명하기로 한다. Hereinafter, the operation of peeling the first protective film 15 from the pad portion 14 through the protective film peeling apparatus 100 will be described in detail.

도 4는 도 1에 도시된 보호필름 박리장치(100)의 제 1 작동 상태를 보여주는 작동도이다. 도 5는 도 1에 도시된 보호필름 박리장치(100)의 제 2 작동 상태를 보여주는 작동도이다. 도 6은 도 5의 롤러부(110)의 작동 상태를 보여주는 작동도이다.4 is an operational view showing a first operation state of the protective film peeling apparatus 100 shown in Fig. 5 is an operational view showing a second operating state of the protective film peeling apparatus 100 shown in Fig. 6 is an operational view showing the operating state of the roller unit 110 of FIG.

도 4 내지 도 6을 참고하면, 우선 상기와 같이 상기 커팅기에 의하여 분리된 하나의 디스플레이 장치(10)를 스테이지(140) 상에 안착할 수 있다. 이때, 디스플레이 장치(10)를 스테이지(140) 상에 안착하는 방법은 로봇암(Robot Arm) 등을 통하여 이송하는 일반적인 방법과 동일 또는 유사할 수 있다. 4 to 6, one display device 10 separated by the cutter can be seated on the stage 140 as described above. At this time, the method of placing the display device 10 on the stage 140 may be the same as or similar to a general method of transporting the display device 10 through a robot arm or the like.

상기와 같이 스테이지(140)에 디스플레이 장치(10)를 안착한 후 제 1 구동부(115) 및 제 2 구동부(127)를 통하여 롤러부(110)와 그립퍼부(120)의 위치를 정렬할 수 있다. 이때, 롤러부(110)와 그립퍼부(120)의 위치 정렬은 각각 제 1 방향(Y) 및 제 2 방향(X) 중 적어도 한 방향으로 이동시켜 수행할 수 있다.(도 4 참고)The position of the roller unit 110 and the gripper unit 120 can be aligned through the first driving unit 115 and the second driving unit 127 after the display device 10 is mounted on the stage 140. [ The alignment of the roller 110 and the gripper 120 may be performed in at least one of a first direction Y and a second direction X (see FIG. 4).

한편, 상기와 같이 롤러부(110)와 그립퍼부(120)의 위치 정렬이 완료되면, 제어부(130)는 스테이지(140) 및 롤러부(110)가 서로 상대운동하도록 제 1 구동부(115) 및 제 2 구동부(127)를 제어할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제어부(130)가 제 1 구동부(115)를 제어하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. When the alignment of the roller unit 110 and the gripper unit 120 is completed, the controller 130 controls the first and second driving units 115 and 115 so that the stage 140 and the roller unit 110 move relative to each other. The second driving unit 127 can be controlled. Hereinafter, the control unit 130 controls the first driving unit 115 for convenience of explanation.

구체적으로 제어부(130)는 롤러부(110)를 제 1 방향(Y)으로 이동시키도록 제 1 구동부(115)를 제어할 수 있다. 이때, 제 1 구동부(115)는 패드부(14) 두께와 제 1 보호필름(15) 두께보다 롤러(111)의 끝단으로부터 스테이지(140) 외면까지의 거리가 작아지도록 롤러(111)를 제 1 보호필름(15)에 완전히 접촉시킬 수 있다.(도 5 참고)Specifically, the control unit 130 may control the first driving unit 115 to move the roller unit 110 in the first direction Y. FIG. The first driving unit 115 may be configured to move the roller 111 to the first position so that the distance from the end of the roller 111 to the outer surface of the stage 140 is smaller than the thickness of the pad unit 14 and the thickness of the first protective film 15, It is possible to completely contact the protective film 15 (refer to FIG. 5).

상기와 같이 롤러(111)가 제 1 보호필름(15)을 가압한 경우 제 1 구동부(115)는 제 1 슬라이딩부(113)를 제 2 방향(X)으로 이동시킬 수 있다. 이때, 롤러(111)는 제 1 슬라이딩부(113)와 함께 제 2 방향(X)으로 이동하고, 패드부(14) 상의 제 1 보호필름(15)은 상기 커팅기에서 형성된 절취선을 따라서 찢어진 후 제 1 보호필름(15)의 일부는 패드부(14)로부터 분리될 수 있다. 특히 롤러(111)는 제 1 슬라이딩부(113)에 회전 가능하도록 설치되어 제 1 슬라이딩부(113)의 이동에 따라 제 1 보호필름(15)의 일부를 감을 수 있다. 이때, 제 1 보호필름(15)은 제 2 방향(X)으로 일부가 밀림으로써 절곡되어 제 1 방향(Y)으로 돌출될 수 있다.(도 6 참고)When the roller 111 presses the first protective film 15 as described above, the first driving part 115 can move the first sliding part 113 in the second direction X. [ At this time, the roller 111 moves in the second direction X together with the first sliding part 113, and the first protective film 15 on the pad part 14 is torn along the perforated line formed in the cutting machine, 1 part of the protective film 15 can be separated from the pad part 14. [ Particularly, the roller 111 is rotatably installed on the first sliding part 113 and can wind a part of the first protective film 15 according to the movement of the first sliding part 113. At this time, the first protective film 15 may be bent in part in the second direction X to be bent and protrude in the first direction Y (see FIG. 6).

도 7은 도 1에 도시된 보호필름 박리장치(100)의 제 3 작동 상태를 보여주는 작동도이다. 7 is an operational view showing a third operating state of the protective film peeling apparatus 100 shown in Fig.

도 7을 참고하면, 제 1 보호필름(15)의 일부가 제 1 방향(Y)으로 돌출되면, 제 1 보호필름(15)의 돌출된 일부를 그립퍼부(120)가 파지할 수 있다. 7, when the first protective film 15 partially protrudes in the first direction Y, the protruding part of the first protective film 15 can be gripped by the gripper part 120. Referring to FIG.

이때, 상기와 같이 그립퍼부(120)가 제 1 보호필름(15) 일부를 파지하기 전에 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121) 및 제 2 그립퍼(123)가 접촉하도록 제 2 구동부(127)를 제어할 수 있다. 이때, 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)를 접촉시킨 수 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121) 또는 제 2 그립퍼(123) 중 하나에 전류를 인가하여 통전 여부를 확인할 수 있다. The controller 130 controls the second driving unit 127 to contact the first gripper 121 and the second gripper 123 before the gripper unit 120 grasps a portion of the first protective film 15. In this case, Can be controlled. At this time, the water control unit 130 in which the first gripper 121 and the second gripper 123 are in contact can apply current to one of the first gripper 121 or the second gripper 123 to check whether the current is applied .

상기와 같이 통전 여부를 확인한 후 제어부(130)는 통전이 되는 것으로 판단되면, 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123) 사이에 이물질이 존재하지 않는 것으로 판단할 수 있다. 반면, 통전이 되지 않는 것으로 판단되면, 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123) 사이에 이물질이 존재하는 것으로 판단할 수 있다. If it is determined that the power is supplied, the control unit 130 may determine that there is no foreign matter between the first gripper 121 and the second gripper 123, as described above. On the other hand, if it is determined that the current does not flow, the controller 130 may determine that foreign matter exists between the first gripper 121 and the second gripper 123.

보호필름 박리장치(100)는 외부로 정보를 전달하는 알림부(160)를 구비하며, 제어부(130)는 알림부(160)를 통하여 보호필름 박리장치(100)의 오작동을 외부의 사용자에게 전달할 수 있다. 이때, 알림부(160)는 소리 또는 그림, 글자 등으로 외부의 사용자에게 정보를 전달할 수 있다. The protective film peeling apparatus 100 includes a notification unit 160 for transmitting information to the outside and the control unit 130 transmits a malfunction of the protective film peeling apparatus 100 to an external user through the notification unit 160 . At this time, the notification unit 160 can transmit information to an external user through sounds, pictures, letters, or the like.

한편, 상기와 같이 롤러부(110)를 통하여 패드부(14)와 제 1 보호필름(15) 일부를 분리한 후 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)를 이동시켜 제 1 보호필름(15)의 일부를 파지하도록 제 2 구동부(127)를 제어할 수 있다. 이때, 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123) 사이의 간격(S)은 미리 설정될 수 있다. After separating the pad portion 14 and the first protective film 15 through the roller portion 110 as described above, the controller 130 moves the first gripper 121 and the second gripper 123 The second driving unit 127 can be controlled so as to grasp a part of the first protective film 15. At this time, the gap S between the first gripper 121 and the second gripper 123 can be set in advance.

상기와 같이 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)를 이동시킨 후 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)의 간격(S)을 좁혀 제 1 보호필름(15)을 파지할 수 있다. 이때, 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121) 또는 제 2 그립퍼(123) 중 하나에 전류를 인가하여 통전 여부를 판별할 수 있다. After the first gripper 121 and the second gripper 123 are moved as described above, the gap S between the first gripper 121 and the second gripper 123 is narrowed to grip the first protective film 15 . At this time, the controller 130 can determine whether the current is applied by applying a current to one of the first gripper 121 or the second gripper 123. [

구체적으로 제 1 그립퍼(121)에 전류를 인가하여 제 2 그립퍼(123)로 통전된 것으로 판단되면, 제어부(130)는 그립퍼부(120)가 제 1 보호필름(15)을 파지하지 못한 것으로 판단할 수 있다. 이때, 제어부(130)는 그립퍼부(120)를 제어하여 제 1 보호필름(15)을 다시 파지하도록 작업을 반복하거나 상기와 같이 알림부(160)를 통하여 외부의 사용자에게 오작동 여부를 인지시킬 수 있다. The control unit 130 determines that the gripper unit 120 does not grip the first protective film 15 when it is determined that the current is applied to the first gripper 121 and the second gripper 123 is energized, can do. At this time, the control unit 130 controls the gripper unit 120 to repeat the operation to grasp the first protective film 15 again. Alternatively, the control unit 130 may notify the external user of the malfunction by the notification unit 160 have.

반면, 제 1 그립퍼(121)에 전류를 인가하여 제 2 그립퍼(123)로 통전되지 않은 것으로 판단되면, 제어부(130)는 하기의 작업을 수행하도록 제 1 구동부(115) 및 제 2 구동부(127)를 제어할 수 있다. If it is determined that the second gripper 123 is not energized by applying a current to the first gripper 121, the controller 130 controls the first and second drivers 115 and 127 Can be controlled.

구체적으로 상기와 같이 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)가 절곡된 제 1 보호필름(15) 부분을 파지한 후 롤러부(110)는 제 1 보호필름(15)으로부터 분리될 수 있다. 이때, 제어부(130)는 제 1 슬라이딩부(113)가 제 1 방향으로 이동하여 롤러(111)가 제 1 보호필름(15)으로부터 분리되도록 제 1 구동부(115)를 제어할 수 있다. Specifically, after the first gripper 121 and the second gripper 123 are bent and the first protective film 15 is gripped, the roller 110 may be separated from the first protective film 15 have. At this time, the control unit 130 may control the first driving unit 115 so that the first sliding unit 113 moves in the first direction and the roller 111 is separated from the first protective film 15.

도 8은 도 1에 도시된 보호필름 박리장치(100)의 제 4 작동 상태를 보여주는 작동도이다. 8 is an operational view showing a fourth operation state of the protective film peeling apparatus 100 shown in Fig.

도 8을 참고하면, 상기와 같이 롤러(111)를 제 1 보호필름(15)으로부터 분리한 후 제어부(130)는 그립퍼부(120)와 스테이지(140)를 서로 상대 운동하도록 제 2 구동부(127) 및 제 3 구동부(150) 중 적어도 하나를 제어할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제어부(130)가 제 3 구동부(150)를 제어하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. 8, after separating the roller 111 from the first protective film 15 as described above, the controller 130 controls the second driving unit 127 to relatively move the gripper unit 120 and the stage 140 relative to each other And the third driving unit 150, as shown in FIG. Hereinafter, the control unit 130 controls the third driving unit 150 for convenience of explanation.

제어부(130)는 스테이지(140)가 제 2 방향(X)으로 선형 운동하도록 제 3 구동부(150)를 제어할 수 있다. 이때, 스테이지(140)는 제 1 보호필름(15)이 패드부(14)와 분리되는 반대 방향으로 선형 운동할 수 있다. 특히 그립퍼부(120)는 고정된 상태이고 스테이지(140)는 상기와 같이 선형 운동함으로써 패드부(14)로부터 제 1 보호필름(15)이 분리될 수 있다. The control unit 130 may control the third driving unit 150 to linearly move the stage 140 in the second direction X. [ At this time, the stage 140 can linearly move in a direction opposite to the direction in which the first protective film 15 is separated from the pad portion 14. In particular, the gripper part 120 is in a fixed state and the first protective film 15 can be separated from the pad part 14 by linearly moving the stage 140 as described above.

한편, 상기와 같이 패드부(14)로부터 제 1 보호필름(15)의 분리가 완료되면, 그립퍼부(120)를 이동시켜 필름스크랩통(190)에 분리된 제 1 보호필름(15)을 집어 넣어 파기할 수 있다. When the first protective film 15 is completely separated from the pad unit 14 as described above, the gripper unit 120 is moved to pick up the separated first protective film 15 in the film scrap box 190, You can put it away.

이때, 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)의 간격(S)을 이격시켜 제 1 보호필름(15)을 제 1 그립퍼(121) 및 제 2 그립퍼(123) 중 적어도 하나로부터 분리할 수 있다. At this time, the controller 130 separates the gap S between the first gripper 121 and the second gripper 123 to separate the first protective film 15 from the first gripper 121 and the second gripper 123 Can be separated from at least one.

상기의 과정이 완료되면, 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)가 서로 접촉하도록 제 2 구동부(127)를 제어할 수 있다. 또한, 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121) 또는 제 2 그립퍼(123) 중 하나에 전류를 인가하여 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123) 사이가 통전되는지 판별할 수 있다. When the above process is completed, the controller 130 may control the second driver 127 such that the first gripper 121 and the second gripper 123 contact each other. The control unit 130 can determine whether the first gripper 121 and the second gripper 123 are energized by applying a current to one of the first gripper 121 or the second gripper 123. [

이때, 제어부(130)는 인가된 전류가 통전되는 것으로 판단되면, 제어부(130)는 제 1 보호필름(15)이 제 1 그립퍼(121) 및 제 2 그립퍼(123) 중 적어도 하나로부터 완전히 분리되어 필름스크랩통(190)으로 삽입된 것으로 판단할 수 있다. 또한, 제어부(130)는 상기와 같은 경우 작업은 완료하고 알림부(160)를 통하여 작업 종료를 외부의 사용자에게 인지시킬 수 있다. The controller 130 determines that the first protective film 15 is completely separated from at least one of the first gripper 121 and the second gripper 123 It can be determined that the film is inserted into the scrap box 190. In addition, the control unit 130 may complete the task in the above case and notify the external user of the end of the task through the notification unit 160. [

반면, 제어부(130)는 인가된 전류가 통전되지 않은 것으로 판단되면, 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123) 중 적어도 하나로부터 제 1 보호필름(15)이 분리되지 않은 것으로 판단할 수 있다. On the other hand, if it is determined that the applied current is not energized, the controller 130 may determine that the first protective film 15 is not detached from at least one of the first gripper 121 and the second gripper 123 have.

이때, 제어부(130)는 제 1 그립퍼(121)와 제 2 그립퍼(123)를 다시 한번 서로 이격시키도록 제 2 구동부(127)를 제어할 수 있으며, 알림부(160)를 통하여 오작동 여부를 사용자에게 인지시키는 것도 가능하다. At this time, the controller 130 may control the second driving unit 127 so that the first gripper 121 and the second gripper 123 are spaced apart from each other again. Through the notification unit 160, It is also possible to recognize.

한편, 보호필름 박리장치(100)는 제 1 보호필름(15)을 패드부(14)로부터 분리할 때, 패드부(14)와 직접 접촉하지 않더라도 제 1 보호필름(15)의 분리 여부를 신속하고 정확하게 알 수 있다. When the first protective film 15 is separated from the pad portion 14, the protective film peeling apparatus 100 may promptly detect whether or not the first protective film 15 is separated even if the first protective film 15 is not in direct contact with the pad portion 14 And can accurately tell.

특히 일반적인 보호필름 박리장치(미도시)는 제 1 보호필름(미도시)을 패드부(미도시)로부터 분리하는 경우 분리 후 상기 패드부에 접촉센서를 접촉하여 상기 제 1 보호필름의 존재 여부를 판별한다. 이때, 상기 접촉센서는 상기 패드부에 접촉됨으로써 상기 패드부를 손상시킬 수 있다. Particularly, when a first protective film (not shown) is detached from a pad unit (not shown), a general protective film peeling apparatus (not shown) separates the first protective film . At this time, the contact sensor may damage the pad portion by contacting the pad portion.

또한, 일반적인 보호필름 박리장치는 상기의 경우 이외에도 박리되는 상기 제 1 보호필름을 광센서 등을 통하여 감지함으로써 상기 제 1 보호필름의 제거 여부를 판별한다. 그러나 이러한 경우 광센서 등에 이물질이 접촉하는 경우 광센서 등이 오작동함으로써 제 1 보호필름이 상기 패드부로부터 분리되었는지 판별할 수 없게 될 수 있다. 또한, 광센서 등과 같이 상기 제 1 보호필름을 감지하는 별도의 구조물을 설치하여야 하므로 내부의 설치 공간 확보나 단가 상승, 제조 공정이 복잡해질 수 있다. In addition, in the general protective film peeling apparatus, in addition to the above cases, the first protective film to be peeled is detected through a photosensor or the like to determine whether or not the first protective film is removed. However, in this case, when the foreign substance comes into contact with the optical sensor or the like, the optical sensor or the like may malfunction and the first protective film may not be distinguished from the pad portion. In addition, since a separate structure for sensing the first protective film, such as an optical sensor, must be provided, it is possible to secure the installation space inside, increase the unit price, and complicate the manufacturing process.

그러나 본 발명의 실시예들에 따른 보호필름 박리장치(100)는 제 1 보호필름(15)의 박리 시 제 1 보호필름(15)의 박리 여부를 정확하고 신속하게 측정할 수 있을 뿐만 아니라 제 1 보호필름(15)의 파지 여부를 정확하게 감지할 수 있다. However, the protective film peeling apparatus 100 according to the embodiments of the present invention can accurately and quickly measure whether or not the first protective film 15 is peeled off when peeling off the first protective film 15, It is possible to accurately detect whether or not the protective film 15 is grasped.

따라서 보호필름 박리장치(100)는 제 1 보호필름(15)을 패드부(14)로부터 제거 시 오작동을 최소화할 수 있으므로 불량률을 최소화할 수 있다. Therefore, the protective film peeling apparatus 100 can minimize the malfunction when the first protective film 15 is removed from the pad portion 14, thereby minimizing the defect rate.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위에는 본 발명의 요지에 속하는 한 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.Although the present invention has been described in connection with the above-mentioned preferred embodiments, it is possible to make various modifications and variations without departing from the spirit and scope of the invention. Accordingly, it is intended that the appended claims cover all such modifications and variations as fall within the true spirit of the invention.

100: 보호필름 박리장치
110: 롤러부
111: 롤러
113: 제 1 슬라이딩부
115: 제 1 구동부
120: 그립퍼부
121: 제 1 그립퍼
123: 제 2 그립퍼
125: 제 2 슬라이딩부
127: 제 2 구동부
130: 제어부
140: 스테이지
150: 제 3 구동부
160: 알림부
180: 바디부
190: 필름스크랩통
100: protective film peeling device
110: roller portion
111: Rollers
113: first sliding portion
115:
120: gripper section
121: first gripper
123: second gripper
125: the second sliding portion
127:
130:
140: stage
150:
160:
180: Body part
190: Film Scrap Bucket

Claims (20)

패드부에 형성되어 하프커팅(Half cutting)된 제 1 보호필름의 일부를 상기 패드부로터 분리하는 롤러부;
상기 롤러부로부터 이격되어 배치되며, 분리된 상기 제 1 보호필름 일부를 파지하고, 통전여부를 감지하는 그립퍼부; 및
상기 그립퍼부에서 감지된 통전여부를 근거로 상기 그립퍼부의 상기 제 1 보호필름 파지여부를 판별하는 제어부;를 포함하는 보호필름 박리장치.
A roller portion formed on the pad portion and separating a part of the first protective film that is half-cut by the pad portion;
A gripper unit disposed apart from the roller unit and gripping a part of the separated first protective film and sensing whether the first protective film is energized; And
And a control unit for determining whether the gripper unit grips the first protective film based on whether the gripper unit senses the power supply.
제 1 항에 있어서,
상기 그립퍼부는,
제 1 그립퍼; 및
상기 제 1 그립퍼로부터 이격되어 배치되는 제 2 그립퍼;를 구비하는 보호필름 박리장치.
The method according to claim 1,
The gripper portion
A first gripper; And
And a second gripper disposed apart from the first gripper.
제 2 항에 있어서
상기 제 1 그립퍼 및 상기 제 2 그립퍼는 도전체로 형성되는 보호필름 박리장치.
The method according to claim 2, wherein
Wherein the first gripper and the second gripper are formed of a conductor.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 그립퍼 및 상기 제 2 그립퍼 중 적어도 하나는 상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼 사이의 간격을 가변시키도록 이동 가능한 보호필름 박리장치.
3. The method of claim 2,
Wherein at least one of the first gripper and the second gripper is movable to vary the gap between the first gripper and the second gripper.
제 2 항에 있어서,
상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼는 상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼 사이의 간격이 설정간격 이내인 경우 통전하는 보호필름 박리장치.
3. The method of claim 2,
Wherein the first gripper and the second gripper are energized when the distance between the first gripper and the second gripper is within a predetermined distance.
제 1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 그립퍼부에서 통전이 확인된 경우 상기 그립퍼부가 상기 제 1 보호필름의 일부를 파지하지 못한 것으로 판단하는 보호필름 박리장치.
The method according to claim 1,
Wherein the control unit determines that the gripper can not grip a part of the first protective film when power is confirmed in the gripper unit.
제 1 항에 있어서,
상기 제어부는 상기 그립퍼부에서 통전이 확인되지 못한 경우 상기 그립퍼부가 상기 제 1 보호필름의 일부를 파지한 것으로 판단하는 보호필름 박리장치.
The method according to claim 1,
Wherein the control unit judges that the gripper grips a part of the first protective film when power is not confirmed in the gripper unit.
제 1 항에 있어서,
상기 기판이 안착하는 스테이지;를 더 포함하는 보호필름 박리장치.
The method according to claim 1,
And a stage on which the substrate is mounted.
제 8 항에 있어서,
상기 그립퍼부 및 상기 스테이지는 서로 상대 운동이 가능한 보호필름 박리장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the gripper portion and the stage are movable relative to each other.
제 1 항에 있어서,
상기 롤러부 및 상기 글립퍼부가 선형 운동 가능하도록 설치되는 바디부;를 더 포함하는 보호필름 박리장치.
The method according to claim 1,
Further comprising: a body portion provided so that the roller portion and the gripper portion are linearly movable.
기판의 패드부 상의 하프 커팅(Half cutting)된 제 1 보호필름 일부를 롤러부로 가압하여 상기 패드부와 상기 제 1 보호필름 일부를 분리하는 단계;
상기 패드부와 분리된 상기 제 1 보호필름 일부를 그립퍼부로 파지하는 단계; 및
상기 그립퍼부의 통전여부를 감지하고, 상기 그립퍼부의 통전여부를 근거로 상기 제 1 보호필름의 파지여부가 판단하여 스테이지와 상기 그립퍼부를 서로 상대 운동시켜 상기 제 1 보호필름을 상기 패드부로부터 분리하는 단계;를 포함하는 보호필름 박리방법.
Pressing a part of a first protective film half-cut on a pad portion of a substrate with a roller portion to separate the pad portion and a portion of the first protective film;
Grasping a part of the first protective film separated from the pad part with a gripper part; And
Detecting whether the gripper unit is energized, determining whether the first protective film is grasped based on whether the gripper unit is energized, and separating the first protective film from the pad unit by relatively moving the stage and the gripper unit relative to each other And removing the protective film.
제 11 항에 있어서,
상기 패드부와 상기 제 1 보호필름 일부를 분리하는 단계는,
상기 롤러부를 상기 기판의 수직한 제 1 방향으로 이동시켜 상기 제 1 보호필름의 일부를 가압하는 단계; 및
상기 스테이지와 상기 롤러부를 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 서로 상대운동 시켜 상기 패드부와 상기 제 1 보호필름 일부를 분리하는 단계;를 구비하는 보호필름 박리방법.
12. The method of claim 11,
Wherein the step of separating the pad portion and the first protective film portion comprises:
Moving the roller portion in a first direction perpendicular to the substrate to press a portion of the first protective film; And
And separating the pad part and the first protective film part by relatively moving the stage and the roller part in a second direction perpendicular to the first direction.
제 11 항에 있어서,
상기 그립퍼부는 도전체로 형성되는 보호필름 박리방법.
12. The method of claim 11,
Wherein the gripper portion is formed of a conductive material.
제 11 항에 있어서,
상기 그립퍼부는 상기 제 1 보호필름을 파지하지 못하는 경우 통전되는 보호필름 박리방법.
12. The method of claim 11,
Wherein the gripper portion is electrically energized when the first protective film can not be gripped.
제 11 항에 있어서,
상기 패드부와 분리된 상기 제 1 보호필름 일부를 그립퍼부로 파지하기 전에 상기 그립퍼부를 작동시킨 후 통전여부를 판별하는 단계;를 더 포함하는 보호필름 박리방법.
12. The method of claim 11,
Further comprising: operating the gripper portion before gripping a portion of the first protective film separated from the pad portion with the gripper portion, and then determining whether the gripper portion is energized.
제 15 항에 있어서,
상기 그립퍼부의 작동 후 통전되지 못하는 경우 상기 그립퍼부를 작동이상으로 판별하는 단계;를 더 포함하는 보호필름 박리방법.
16. The method of claim 15,
And determining that the gripper unit is in an abnormal state when the current can not be supplied after the operation of the gripper unit.
제 11 항에 있어서,
상기 패드부에서 상기 제 1 보호필름을 제거한 후 상기 그립퍼부에서 통전이 감지되지 않는 경우 상기 그립퍼부에 파지된 상기 제 1 보호필름을 필름스크랩통으로 이송하여 파기시키는 단계;를 더 포함하는 보호필름 박리방법.
12. The method of claim 11,
And transferring the first protective film held by the gripper part to the film scrap box when the power is not sensed by the gripper part after removing the first protective film from the pad part, Way.
제 17 항에 있어서,
상기 제 1 보호필름을 상기 필름스크랩통으로 이송하여 파기시킨 후 상기 그립퍼부의 통전여부를 판별하는 단계;를 더 포함하는 보호필름 박리방법.
18. The method of claim 17,
And transferring the first protective film to the film scrap box and discarding the first protective film, and determining whether the gripper unit is energized.
제 18 항에 있어서,
상기 그립퍼부에서 통전이 감지되지 않는 경우 그립퍼부에서 파지된 상기 제 1 보호필름이 잔존하는 것으로 판단하는 단계;를 더 포함하는 보호필름 박리방법.
19. The method of claim 18,
And determining that the first protective film held by the gripper unit remains if the energization is not detected in the gripper unit.
제 11 항에 있어서,
상기 그립퍼부는,
제 1 그립퍼; 및
상기 제 1 그립퍼로부터 이격되어 배치되는 제 2 그립퍼;를 구비하고,
상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼는 상기 제 1 그립퍼와 상기 제 2 그립퍼 사이의 간격이 설정간격 이내인 경우 통전하는 보호필름 박리방법.
12. The method of claim 11,
The gripper portion
A first gripper; And
And a second gripper disposed apart from the first gripper,
Wherein the first gripper and the second gripper are energized when the distance between the first gripper and the second gripper is within a predetermined distance.
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