KR20150003659A - Conveyor module - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 컨베이어 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 듀얼 레인의 워크존 모듈 양측에 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 선택적으로 결합할 수 있는 컨베이어 모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a conveyor module, and more particularly, to a conveyor module capable of selectively coupling a shuttle conveyor module and a dual conveyor module to both sides of a dual lane work zone module.
일반적으로 부품실장장치는 각종 전자 제품을 인쇄회로기판에 실장하는 장치로서, 인쇄회로기판은 컨베이어 장치에 의해 부품실장장치 내의 워크존(work zone)으로 이송되며, 워크존 내에서는 이송된 인쇄회로기판에 각종의 부품이 각자의 위치로 실장된다.2. Description of the Related Art In general, a component mounting apparatus is an apparatus for mounting various electronic products on a printed circuit board. A printed circuit board is transferred to a work zone in a component mounting apparatus by a conveyor apparatus. Are mounted at their respective positions.
최근에는 생산성 향상을 위해 2개의 인쇄회로기판을 동시에 워크존에 진입시키고, 진입된 2개의 인쇄회로기판 상에 동시에 부품을 실장시켜 배출하는 듀얼 레인 방식이 사용되고 있다.In recent years, a dual-lane system has been used in which two printed circuit boards are simultaneously introduced into a work zone for the purpose of improving productivity, and components are mounted and discharged on the two printed circuit boards simultaneously.
그러나, 싱글 레인 방식과 듀얼 레인 방식의 장단점으로 인해 아직까지 싱글 레인 방식의 장비와 듀얼 레인 방식의 장비가 함께 사용되고 있는 현실이다.However, due to the advantages and disadvantages of the single lane method and the dual lane method, the single lane method and the dual lane method are used together.
따라서 인라인 방식의 공정에서 싱글 레인 방식의 장비와 듀얼 레인 방식의 장비가 혼용되어 사용되는 경우, 듀얼 레인 방식의 장비는 하나의 레인 만을 사용하게 되어 다른 하나의 레인은 무용지물이 되는 상황이 발생한다.Therefore, when a single-lane system and a dual-lane system are used in combination in an in-line process, the dual lane system uses only one lane, and the other lane becomes obsolete.
따라서, 듀얼 레인을 모두 사용하기 위해, 싱글 레인 방식의 장비와 듀얼 레인 방식의 장비 사이에 기판 분배 장치를 추가로 구비하여, 싱글 레인 방식의 장비에서 배출된 기판을 듀얼 레인 방식의 장비의 2개의 레인으로 분배하거나, 듀얼 레인 방식의 장비에서 배출된 기판을 2개의 레인에서 수취하여 싱글 레인 방식의 장비로 공급하는 상황이다. Therefore, in order to use all of the dual lanes, a substrate distribution apparatus is additionally provided between the equipment of the single lane system and the equipment of the dual lane system, so that the substrate discharged from the equipment of the single lane system is divided into two Lane, or the substrate discharged from the dual lane equipment is received from two lanes and supplied to the single lane equipment.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 기판을 전달받는 전처리 장치 또는 기판을 전달할 후처리 장치가 싱글 레인 방식인지 듀얼 레인 방식인지 여부에 따라 워크존의 일측 또는 양측에 모듈화 된 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 선택적으로 결합하여 범용으로 사용 가능한 컨베이어 모듈을 제공한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a shuttle conveyor module and a dual conveyor module modularized on one side or both sides of a work zone, depending on whether a pre- Modules are selectively combined to provide a general purpose conveyor module.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The problems to be solved by the present invention are not limited to the above-mentioned problems, and other matters not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈은, 프런트 워크존을 형성하는 한 쌍의 프런트 레일과, 상기 프런트 워크존과 나란히 형성되는 리어 워크존을 형성하는 한 쌍의 리어 레일을 구비하는 워크존 모듈, 상기 워크존 모듈의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈 및 듀얼 컨베이어 모듈을 포함하며, According to an aspect of the present invention, there is provided a conveyor module including a pair of front rails forming a front work zone and a pair of rear rails forming a rear work zone formed in parallel with the front work zone A work-zone module, a shuttle conveyor module and a dual-conveyor module selectively coupled to one or both sides of the work-
상기 셔틀 컨베이어 모듈은, 상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 셔틀 레일 가이드부 및 상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하는 셔틀부를 포함하고,Wherein the shuttle conveyor module includes a shuttle rail guide portion extending from a side portion of the front work zone to a side portion of the rear work zone and a shuttle portion moving along the shuttle rail guide portion,
상기 듀얼 컨베이어 모듈은, 상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 연장 레일 가이드부 및 상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일 중 적어도 하나의 일측 또는 양측에 결합되며, 상기 연장 레일 가이드에 이동 가능하게 지지되는 연장 레일을 포함한다.Wherein the dual conveyor module includes an extension rail guide portion extending from a side portion of the front workpiece zone to a side portion of the rear workpiece zone and a pair of front rails and a pair of rear rails joined to one or both sides of the front rail, And an extension rail movably supported by the extension rail guide.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 컨베이어 모듈은, 프런트 워크존을 형성하는 한 쌍의 프런트 레일과, 상기 프런트 워크존과 나란히 형성되는 리어 워크존을 형성하는 한 쌍의 리어 레일을 구비하는 워크존 모듈, 상기 워크존 모듈의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈 및 상기 워크존 모듈과, 상기 워크존 모듈에 선택적으로 결합된 상기 셔틀 컨베이어 모듈 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈을 제어하는 제어부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a conveyor module including a pair of front rails forming a front work zone and a pair of rear rails forming a rear work zone formed in parallel with the front work zone A shuttle conveyor module selectively coupled to one or both sides of the work zone module, a dual conveyor module and a work zone module selectively coupled to the work zone module, a shuttle conveyor module selectively coupled to the work zone module, and a control unit controlling the dual conveyor module .
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the invention are included in the detailed description and drawings.
본 발명에 따르면, 워크존을 모듈화하고 워크존의 양측에 모듈화된 셔틀 컨베이어와 듀얼 컨베이어를 선택적으로 결합할 수 있어 컨베이어의 활용성을 향상한다.According to the present invention, it is possible to modularize the work zone and to selectively combine a modular shuttle conveyor and a dual conveyor on both sides of the work zone, thereby improving the usability of the conveyor.
또한, 전처리 장비와 후처리 장비가 싱글 레인 방식인지 또는 듀얼 레인 방식인지 여부에 따라 장비 전체를 교체하는 등의 번거로움이 해소될 수 있다.In addition, it is possible to eliminate the inconvenience of replacing the whole equipment depending on whether the pre-treatment equipment and the post-treatment equipment are a single lane system or a dual lane system.
또한, 듀얼 레인 방식의 장비와 싱글 레인 방식의 장비 사이에 별도의 외부 셔틀을 구비할 필요없이 컨베이어 모듈 내에서 워크존 모듈의 일측에 싱글 컨베이어 모듈을 조립하는 것만으로 듀얼 레인 방식의 장비와 싱글 레인 방식의 장비를 연속적으로 사용할 수 있다.In addition, by installing a single conveyor module on one side of the workpiece module in the conveyor module, it is not necessary to provide a separate external shuttle between the equipment of the dual lane system and the equipment of the single lane system, Can be used continuously.
또한, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 교체 장착함에 있어, 제어부의 공용 포트를 이용하여 전원 및 제어 신호를 송수신하므로, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈의 교체 작업이 간소화된다.Further, in replacing the shuttle conveyor module and the dual conveyor module, since the power and control signals are transmitted and received using the common port of the control unit, the replacement work of the shuttle conveyor module and the dual conveyor module is simplified.
또한, 구동 제어가 상이한 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 교체 장착함에 있어, 제어부 내의 동일한 컨트롤러를 이용하여 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 모두 제어할 수 있어, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈의 교체 작업이 더욱 간소화된다.In addition, in replacing the shuttle conveyor module and the dual conveyor module having different drive control modes, both the shuttle conveyor module and the dual conveyor module can be controlled by using the same controller in the control unit, so that the shuttle conveyor module and the dual conveyor module Is further simplified.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effects according to the present invention are not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the specification.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 제4 연장 레일 이송 유닛을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제1 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제2 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제3 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제4 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제5 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.
도 8 및 9는 워크존 모듈의 프런트 레일 및/또는 리어 레일의 이동에 의해 듀얼 컨베이어 모듈의 연장 레일 종동 이동하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 셔틀 구동부에 의해 셔틀부가 이동하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 간격 구동부에 의해 제1 셔틀 레일과 제2 셔틀 레일 사이의 간격이 조정되는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 도시한 평면도이다.
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 도시한 평면도이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈의 제어부 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되는 경우의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되는 경우의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 19는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 각 구동부와 워크존 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 20은 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈의 각 구동부와 입구모듈(또는 출구모듈) 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 21은 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 각 구동부와 입구모듈(또는 출구모듈) 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a schematic view illustrating a state in which a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention is mounted on a work zone module according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 schematically shows a fourth extension rail transfer unit.
3 is a schematic cross-sectional view showing a first embodiment of a combined structure of a second rear rail of a work zone module and a third extension rail of a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view illustrating a second embodiment of a combined structure of a second rear rail of a work zone module and a third extended rail of a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic cross-sectional view illustrating a third embodiment of a combined configuration of the second rear rail of the work zone module and the third extended rail of the dual conveyor module according to the embodiment of the present invention.
6 is a schematic cross-sectional view illustrating a fourth embodiment of the combined structure of the second rear rail of the work zone module and the third extended rail of the dual conveyor module according to the embodiment of the present invention.
7 is a schematic cross-sectional view showing a fifth embodiment of a combined structure of a second rear rail of a work zone module and a third extended rail of a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention.
Figures 8 and 9 schematically illustrate the movement of an extension rail follower of a dual conveyor module by movement of a front rail and / or a rear rail of a work zone module.
10 is a view schematically showing a state in which a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed in a work zone module according to an embodiment of the present invention.
11 is a view schematically showing an operation in which the shuttle is moved by the shuttle driving unit of the shuttle conveyor module according to the embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a view schematically showing an operation in which the gap between the first shuttle rail and the second shuttle rail is adjusted by the gap driving part of the shuttle conveyor module according to the embodiment of the present invention.
13 is a plan view showing a state in which a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention is mounted on the entrance side of the work zone module according to the embodiment of the present invention and a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed on the exit side to be.
FIG. 14 is a plan view showing a state in which a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed at the entrance side of a work zone module according to an embodiment of the present invention and a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed at an exit side to be.
15 is a view schematically showing a connection of a control unit of a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention and a work zone module according to an embodiment of the present invention.
16 is a view schematically showing a cable connection of a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention and a work zone module according to an embodiment of the present invention.
17 shows a cable connection in the case where the shuttle conveyor module according to the embodiment of the present invention is installed at the entrance side of the work zone module according to the embodiment of the present invention and the dual conveyor module according to the embodiment of the present invention is installed at the exit side Fig.
18 is a view illustrating a cable connection when a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed at the entrance side of the work zone module according to the embodiment of the present invention and a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed at the exit side Fig.
FIG. 19 is a view schematically showing the connection between each driving unit of the work zone module and the controller of the work zone control unit according to the embodiment of the present invention.
FIG. 20 is a view schematically showing the connection between each driving unit of the dual conveyor module and the controller of the control unit of the entrance module (or the exit module) according to the embodiment of the present invention.
FIG. 21 is a view schematically showing the connection of each drive of the shuttle conveyor module and the controller of the inlet module (or outlet module) controller according to the embodiment of the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. Is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.Although the first, second, etc. are used to describe various elements, components and / or sections, it is needless to say that these elements, components and / or sections are not limited by these terms. These terms are only used to distinguish one element, element or section from another element, element or section. Therefore, it goes without saying that the first element, the first element or the first section mentioned below may be the second element, the second element or the second section within the technical spirit of the present invention.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "이루어지다(made of)"는 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. The terminology used herein is for the purpose of illustrating embodiments and is not intended to be limiting of the present invention. In the present specification, the singular form includes plural forms unless otherwise specified in the specification. As used herein, the terms "comprises" and / or "made of" means that a component, step, operation, and / or element may be embodied in one or more other components, steps, operations, and / And does not exclude the presence or addition thereof.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms (including technical and scientific terms) used herein may be used in a sense commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Also, commonly used predefined terms are not ideally or excessively interpreted unless explicitly defined otherwise.
이하, 본 발명에 대하여 첨부된 도면에 따라 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a schematic view illustrating a state in which a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention is mounted on a work zone module according to an embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈(100)은 프런트 워크존을 형성하는 제1 프런트 레일(111)과 제2 프런트 레일(121), 리어 워크존을 형성하는 제1 리어 레일(141)과 제2 리어 레일(131), 그리고 베이스(101)를 포함한다.1, the
제1 프런트 레일(111)은 도 1을 기준으로 전방에 구비되며, 베이스(101)에 고정 설치될 수 있다. 그리고, 제1 리어 레일(141)은 도 1을 기준으로 후방에 구비되어 제1 프런트 레일(111)과 평행하게 베이스(101)에 고정 설치될 수 있다.The first
제1 프런트 레일(111)과 제1 리어 레일(141) 사이에는 제2 프런트 레일(121)이 제1 프런트 레일(111)과 평행하게 구비되고, 제2 프런트 레일(121)과 제1 리어 레일(141) 사이에는 제2 리어 레일(131)이 제1 리어 레일(141)과 평행하게 구비된다. A second
제1 프런트 레일(111)과 제2 프런트 레일(121)은 프런트 워크존을 형성하고, 제1 리어 레일(141)과 제2 리어 레일(131)을 리어 워크존을 형성한다. 각 워크존은 적어도 하나의 기판이 이송되며 기판에 대한 처리 작업(예를 들면, 부품 실장 등)이 진행되는 영역이다.The first
따라서, 제2 프런트 레일(121)과 마주하는 제1 프런트 레일(111)의 내측에는 프런트 워크존으로 진입하는 기판(미도시)의 일측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제1 프런트 레일(111)에는 이송 유닛을 구동하는 제1 프런트 워크존 이송 구동부(112)가 구비될 수 있다.Therefore, a transfer unit (not shown) for supporting and transferring one side of a substrate (not shown) that enters the front work zone is provided inside the
또한, 제1 프런트 레일(111)과 마주하는 제2 프런트 레일(121)의 내측에는 프런트 워크존으로 진입하는 기판(미도시)의 타측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제2 프런트 레일(121)에는 이송 유닛을 구동하는 제2 프런트 워크존 이송 구동부(122)가 구비될 수 있다.Inside the
유사하게, 제1 리어 레일(141)과 마주하는 제2 리어 레일(131)의 내측에는 리어 워크존으로 진입하는 기판(미도시)의 일측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제2 리어 레일(131)에는 이송 유닛을 구동하는 제2 리어 워크존 이송 구동부(132)가 구비될 수 있다.Similarly, a transfer unit (not shown) for supporting and transferring one side of a substrate (not shown) entering the rear work zone is provided on the inner side of the second
또한, 제2 리어 레일(131)과 마주하는 제1 리어 레일(141)의 내측에는 리어 워크존으로 진입하는 기판(미도시)의 타측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제1 리어 레일(141)에는 이송 유닛을 구동하는 제1 리어 워크존 이송 구동부(142)가 구비될 수 있다.Further, a transfer unit (not shown) for supporting and transferring the other side of a substrate (not shown) entering the rear work zone is provided on the inner side of the first
이송 유닛(미도시)에 대한 구체적인 실시예에 대해서는 후술한다.Specific embodiments of the transfer unit (not shown) will be described later.
한편, 제2 프런트 레일(121)은 제1 프런트 레일(111)과 제2 리어 레일(131) 사이를 왕복 이동 가능하도록 베이스(101) 상에 설치될 수 있으며, 제2 리어 레일(131)은 제2 프런트 레일(121)과 제1 리어 레일(141) 사이를 왕복 이동 가능하도록 베이스(101) 상에 설치될 수 있다. The
이를 위해, 베이스(101) 상에는 제1 프런트 레일(111) 및 제1 리어 레일(141)에 대해 대략 수직하도록 제1 프런트 레일(111)과 제1 리어 레일(141)을 향해 연장 형성되는 가이드(미도시)가 구비될 수 있다. 그리고, 도 1에 도시된 바와 같이, 제2 프런트 레일(121)에는 프런트 워크존 간격 구동부(123)가 구비되어 제2 프런트 레일(121)을 베이스(101) 상에 구비된 가이드 따라 왕복 이동시킬 수 있다. 또한, 제2 리어 레일(131)에는 리어 워크존 간격 구동부(133)가 구비되어 제2 리어 레일(131)을 베이스(101) 상에 구비된 가이드 따라 왕복 이동시킬 수 있다.A
따라서, 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)의 이동에 의해 프런트 워크존 및/또는 리어 워크존의 폭은 가변될 수 있다.Therefore, the width of the front work zone and / or the rear work zone can be varied by the movement of the
한편, 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈(200)은 제1 연장 레일(211), 제2 연장 레일(221), 제3 연장 레일(231), 제4 연장 레일(241) 및 연장 레일 가이드부(201)를 포함한다.1, a
제1 연장 레일(211)은 도 1을 기준으로 전방에 구비되며, 연장 레일 가이드부(201)에 고정 설치될 수 있다. 그리고, 제4 연장 레일(241)은 도 1을 기준으로 후방에 구비되어 제1 연장 레일(211)과 평행하게 연장 레일 가이드부(201)에 고정 설치될 수 있다.The
제1 연장 레일(211)과 제4 연장 레일(241) 사이에는 제2 연장 레일(221)이 제1 연장 레일(211)과 평행하게 구비되고, 제2 연장 레일(221)과 제4 연장 레일(241) 사이에는 제3 연장 레일(231)이 제4 연장 레일(241)과 평행하게 구비된다.A
따라서, 제1 연장 레일(211)과 제2 연장 레일(221)은 제1 기판 이송 영역을 형성하고, 제3 연장 레일(231)과 제4 연장 레일(241)은 제2 기판 이송 영역을 형성한다. Accordingly, the
도 1에 도시된 바와 같이, 제1 기판 이송 영역은 프런트 워크존과 대응하도록 구비될 수 있으며, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 입구측에 설치되는 경우에는 제1 기판 이송 영역을 통해 기판을 프런트 워크존으로 이송하고, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 출구측에 설치되는 경우에는 제1 기판 이송 영역을 통해 기판을 프런트 워크존으로부터 수취할 수 있다.As shown in FIG. 1, the first substrate transfer area may be provided to correspond to the front workpiece zone, and when the
이를 위해 제2 연장 레일(221)과 마주하는 제1 연장 레일(211)의 내측에는 제1 기판 이송 영역으로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제1 연장 레일(211)에는 이송 유닛을 구동하는 제1 연장 레일 이송 구동부(212)가 구비될 수 있다.To this end, a transfer unit (not shown) for supporting and transferring one side of the substrate, which enters the first substrate transfer region, is provided inside the
또한, 제1 연장 레일(211)과 마주하는 제2 연장 레일(221)의 내측에는 제1 기판 이송 영역으로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제2 연장 레일(221)에는 이송 유닛을 구동하는 제2 연장 레일 이송 구동부(222)가 구비될 수 있다.Inside the
한편, 제2 기판 이송 영역은 리어 워크존과 대응하도록 구비될 수 있으며, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 입구측에 설치되는 경우에는 제2 기판 이송 영역을 통해 기판을 리어 워크존으로 이송하고, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 출구측에 설치되는 경우에는 제2 기판 이송 영역을 통해 기판을 리어 워크존으로부터 수취할 수 있다.In the case where the
이를 위해 제4 연장 레일(241)과 마주하는 제3 연장 레일(231)의 내측에는 제2 기판 이송 영역으로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제3 연장 레일(231)에는 이송 유닛을 구동하는 제3 연장 레일 이송 구동부(232)가 구비될 수 있다.To this end, a transfer unit (not shown) for supporting and transferring one side of the substrate which enters the second substrate transfer region is provided on the inner side of the
또한, 제3 연장 레일(231)과 마주하는 제4 연장 레일(241)의 내측에는 제2 기판 이송 영역으로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 이송 유닛(미도시)이 구비되고, 제4 연장 레일(241)에는 이송 유닛을 구동하는 제4 연장 레일 이송 구동부(242)가 구비될 수 있다.Inside the
도 2는 제4 연장 레일 이송 유닛을 개략적으로 도시한 도면이다.Figure 2 schematically shows a fourth extension rail transfer unit.
도 2에 도시된 바와 같이, 제4 연장 레일(241)의 이송 유닛은, 구동 롤러(244), 제1 종동 롤러(245), 제2 종동 롤러(246), 동력 전달 벨트(247), 기판 이송 벨트(248)를 포함한다.2, the transfer unit of the
동력 전달 벨트(247)는 구동 롤러(244)와 제1 종동 롤러(245)를 연결하는 폐루프를 형성하도록 구비되고, 기판 이송 벨트(248)는 제1 종동 롤러(245)와 제2 종동 롤러(246)를 연결하는 폐루프를 형성하도록 구비된다.The
구동 롤러(244)는 제4 연장 레일 이송 구동부(242)의 회전축과 연결되어 동력 전달 벨트(247)를 통해 제4 연장 레일 이송 구동부(242)의 회전력을 제1 종동 롤러(245)에 전달한다. 제1 종동 롤러(245)가 회전함에 따라 기판 이송 벨트(248)는 제1 종동 롤러(245)와 제2 종동 롤러(246)에 의해 지지되며 폐루프를 따라 회전하게 된다.The
기판의 타측은 기판 이송 벨트(248)의 상부면에 의해 지지되며 기판 진입 영역(10)을 따라 이송되고, 제4 연장 레일 이송 구동부(242)가 구동 롤러(244)를 회전 시키는 방향에 따라 기판의 이송 방향은 전환될 수 있다.The other side of the substrate is supported by the upper surface of the
상술한 제4 연장 레일(241)의 이송 유닛은 기판의 타측을 지지하며 이송하기 위한 하나의 실시예이며, 추가적인 종동 롤러를 이용해 구동 롤러(244), 제1 종동 롤러(245) 및 제2 종동 롤러(246)를 하나의 폐루프로 연결하는 벨트 구조가 사용되는 등의 다른 실시예가 사용될 수 있다.The conveying unit of the above-described
제1 프런트 레일(111), 제2 프런트 레일(121), 제1 리어 레일(141). 제2 리어 레일(131), 제1 연장 레일(211), 제2 연장 레일(221) 및 제3 연장 레일(231)의 이송 유닛은 전술한 제4 연장 레일(241)의 이송 유닛과은 유사하게 구성될 수 있으므로 중복 설명을 방지하기 위해 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.A
한편, 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 제2 연장 레일(221) 및 제3 연장 레일(231)은 각각 워크존 모듈(100)의 제2 프런트 레일(121) 및 제2 리어 레일(131)과 결합될 수 있다.The
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제1 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view showing a first embodiment of a combined structure of a second rear rail of a work zone module and a third extension rail of a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention.
도 3에 도시된 바와 같이, 제3 연장 레일(231)의 일단에는 결합 철부(凸部)(233)가 형성되고, 제2 리어 레일(131)의 단부에는 결합 철부(凸部)(233)와 대응하는 결합 요부(凹部)(134)가 형성될 수 있다.3, a coupling
따라서, 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 설치 과정에서 제3 연장 레일(231)은 결합 철부(凸部)(233)가 결합 요부(凹部)(134)에 삽입되도록 조립되어, 제2 리어 레일(131)과 일직선을 형성하도록 결합될 수 있다.Therefore, in the process of installing the
듀얼 컨베이어 모듈(200)은 워크존 모듈(100)의 양측에 모두 결합될 수 있으므로, 결합 요부(凹部)(134)는 제 제2 리어 레일(131)의 양단에 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the coupling recesses 134 are formed at both ends of the second
도시되진 않았지만, 제3 연장 레일(231)의 일단에는 복수 개의 결합 철부(凸部)(233)가 형성될 수 있고, 제2 리어 레일(131)의 단부에는 복수 개의 결합 철부와 대응하는 복수 개의 결합 요부(凹部)(134)가 형성될 수 있다.A plurality of
또는 제3 연장 레일(231)의 일단에는 적어도 하나의 결합 요부(凹部)(134)가 형성되고, 제2 리어 레일(131)의 단부에는 복수 개의 결합 철부와 대응하는 복수 개의 결합 철부(凸部)(233)가 형성되어 제3 연장 레일(231)과 제2 리어 레일(131)이 결합될 수 있다.At least one engaging
한편, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제2 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view illustrating a second embodiment of a combined structure of the second rear rail of the work zone module and the third extended rail of the dual conveyor module according to the embodiment of the present invention.
도 4에 도시된 바와 같이, 듀얼 컨베이어 모듈(200)은 제3 연장 레일(231)을 제2 리어 레일(131)에 결합하는 연결부재(251) 및 커버부재(252) 등을 더 포함할 수 있다.4, the
본 실시예에서 제2 리어 레일(131)의 단부에는 연결부재 삽입홈(137) 및 커버부재 설치홈(136)이 형성된다.In this embodiment, the connecting
리어 워크존을 통해 이동되는 기판과의 간섭을 피하기 위해, 연결부재 삽입홈(137) 및 커버부재 설치홈(136)은 리어 워크존의 외측을 향해 형성될 수 있다. The connection
도 4에 도시된 바와 같이, 커버부재 설치홈(136)은 제2 리어 레일(131)의 전면으로부터 1차적으로 함몰 형성되고, 연결부재 삽입홈(137)은 커버부재 설치홈(136)과 단차를 형성하며 커버부재 설치홈(136)으로부터 2차적으로 함몰 형성된다. 커버부재 설치홈(136)의 바닥면에는 후술하는 커버부재(252)를 고정하기 위한 나사(253a)가 삽입되는 나사홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것이 바람직하다.4, the cover
듀얼 컨베이어 모듈(200)은 워크존 모듈(100)의 양측에 모두 결합될 수 있으므로, 연결부재 삽입홈(137) 및 커버부재 설치홈(136)은 제2 리어 레일(131)의 양단에 형성되는 것이 바람직하다.The connecting
한편, 제3 연장 레일(231)의 단부에는 연결부재 설치홈(234)이 형성된다. 여기서 연결부재 설치홈(234)이 형성되는 제3 연장 레일(231)의 단부는 제2 리어 레일(131)과 마주하는 단부를 의미한다.On the other hand, a connection
연결부재 설치홈(234)의 바닥면에는 연결부재(251)를 고정하기 위한 나사(253b, 253c)가 삽입되는 나사홈이 적어도 하나 이상 형성되는 것이 바람직하다.At least one screw groove into which the
따라서, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 구비되는 경우, 제3 연장 레일(231)은 단부에 구비된 연결부재(251)를 제2 리어 레일(131)의 연결부재 삽입홈(137)에 위치시켜서, 제3 연장 레일(231)과 제2 리어 레일(131)을 일렬로 정렬하고, 커버부재(252)를 커버 설치홈(136)에 설치하고 나사(253a)를 이용해 커버부재(252)를 제2 리어 레일(131)에 고정하여 연결부재(251)를 측방 지지하고 동시에 제3 연장 레일(231)과 제2 리어 레일(131)을 결합할 수 있다.Therefore, when the
또는 커버부재(252)는 제2 리어 레일(131)에 고정된 상태로 설치되고, 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 구비되는 경우, 제3 연장 레일(231)은 단부에 구비된 연결부재(251)를 제2 리어 레일(131)의 연결부재 삽입홈(137)으로 삽입하여 제3 연장 레일(231)과 제2 리어 레일(131)을 결합할 수 있다.Or the
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제3 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.5 is a schematic cross-sectional view illustrating a third embodiment of a combined configuration of the second rear rail of the work zone module and the third extended rail of the dual conveyor module according to the embodiment of the present invention.
도 5에 도시된 바와 같이, 전술한 제2실시예와 달리 본 실시예에서는, 제3 연장 레일(231)의 단부에 연결부재 설치홈(234)이 형성되지 않는다. 즉, 본 실시예는 연결부재(251)가 제3 연장 레일(231)의 전면에 돌출되도록 설치되는 예이다.As shown in FIG. 5, in this embodiment, unlike the second embodiment described above, the connection
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제4 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.6 is a schematic cross-sectional view illustrating a fourth embodiment of the combined structure of the second rear rail of the work zone module and the third extended rail of the dual conveyor module according to the embodiment of the present invention.
도 6에 도시된 바와 같이, 전술한 제2실시예와 달리 본 실시예에서는 제2 리어 레일(131)의 단부에 연결부재 삽입홈(137)만 형성되고 커버부재 설치홈(136)이 형성되지 않는다.As shown in FIG. 6, unlike the second embodiment, only the connecting
본 실시예에는 별도의 커버부재(252) 없이 연결부재(251)만으로 제2 리어 레일(131)과 제3 연장 레일(231)을 결합한다. 이를 위해 연결부재 삽입홈(137)의 바닥면에는 나사(253a)가 삽입되는 나사홈이 적어도 하나 이상 형성되어 수시로 연결부재(251)를 고정/제거할 수 있도록 구성됨이 바람직하다.The second
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 제2 리어 레일과 듀얼 컨베이어 모듈의 제3 연장 레일의 결합 구성에 대한 제5 실시예를 도시한 개략적인 단면도이다.7 is a schematic cross-sectional view showing a fifth embodiment of a combined structure of a second rear rail of a work zone module and a third extended rail of a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention.
도 7에 도시된 바와 같이, 전술한 제4실시예와 달리 본 실시예에서는 제2 리어 레일(131)의 단부에 연결부재 삽입홈(137)이 형성되지 않고, 제3 연장 레일(231)의 단부에 연결부재 설치홈(234)이 형성되지 않는다.7, the connecting
즉, 본 실시예는 연결부재(251)가 제2 리어 레일(131)과 제3 연장 레일(231)의 전면에 돌출되도록 설치되는 예이다. 본 실시예 역시 연결부재 삽입홈(137)의 바닥면에는 나사(253a)가 삽입되는 나사홈이 적어도 하나 이상 형성되어 수시로 연결부재(251)를 고정/제거할 수 있도록 구성됨이 바람직하다.That is, this embodiment is an example in which the connecting
도 3 내지 도 7을 참고하여 제2 리어 레일(131)과 제3 연장 레일(231) 결합 구조에 대한 다양한 실시예들에 대해 설명하였지만, 제2 연장 레일(221)과 제2 프런트 레일(121) 역시 유사한 방법으로 결합될 수 있다.3 through 7, the
또한, 제1 연장 레일(211)과 제1 프런트 레일(111) 및 제4 연장 레일(241)과 제1 리어 레일(141) 역시 유사한 방법으로 결합될 수 있다.Also, the
프런트 워크존 및/또는 리어 워크존의 폭이 가변되도록 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)이 이동 가능하게 구비되는 경우에는, 제2 연장 레일(221)과 제3 연장 레일(231)은 연장 레일 가이드부(201)를 따라 제1 연장 레일(211)과 제4 연장 레일(241) 사이를 왕복 이동 가능하게 설치될 수 있다.When the
제2 연장 레일(221)과 제3 연장 레일(231)은 각각 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)에 결합되어 왕복 이동을 위한 별도의 구동원이 없이 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)의 이동에 종동 이동할 수 있다.The
도 8 및 9는 워크존 모듈의 프런트 레일 및/또는 리어 레일의 이동에 의해 듀얼 컨베이어 모듈의 연장 레일 종동 이동하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.Figures 8 and 9 schematically illustrate the movement of an extension rail follower of a dual conveyor module by movement of a front rail and / or a rear rail of a work zone module.
도 8은 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)이 도 1에 도시된 상태에서 각각 제1 프런트 레일(111)과 제1 리어 레일(141) 방향으로 이동한 상태를 도시한 것이고, 도 9는 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)이 도 1에 도시된 상태에서 제1 리어 레일(141) 방향으로 이동한 상태를 도시한 것이다.8 shows a state in which the
프런트 워크존 및 리어 워크존에서 처리하는 기판이 소형 기판인 경우에는, 도 8에 도시된 바와 같이, 기판의 폭에 대응하여 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)을 이동할 수 있다. In the case where the substrate to be processed in the front work zone and the rear work zone is a small substrate, the
또한, 프런트 워크존에서 단일의 대형 기판을 처리하거나, 리어 워크존에서는 소형의 기판을 처리하고 동시에 프런트 워크존에서는 대형의 기판을 처리하는 경우에는, 도 9에 도시된 바와 같이, 기판의 폭에 대응하여 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)을 이동할 수 있다.In the case where a single large substrate is processed in the front work zone, a small substrate is processed in the rear work zone, and a large substrate is processed in the front work zone simultaneously, as shown in Fig. 9, 2
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 제2 프런트 레일(121)과 제2 리어 레일(131)의 이동에 따라 제2 연장 레일(221)과 제3 연장 레일(231)이 함께 이동하여 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 제1 기판 이송 영역과 제2 기판 이송 영역이 각각 프런트 워크존과 리어 워크존의 폭에 대응하게 된다.8 and 9, the
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈(300)에 대해 설명한다.Hereinafter, the
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 개략적으로 도시한 도면이다. 10 is a view schematically showing a state in which a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed in a work zone module according to an embodiment of the present invention.
도 10에 도시된 워크존 모듈(100)은 전술하였으므로 이에 대한 설명은 생략한다.Since the
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈(300)은 셔틀부 및 셔틀 레일 가이드부(301)를 포함한다. 셔틀부는 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)를 포함하며, 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)은 셔틀 레일 가이드부(301)를 따라 이동 가능하게 구비된다. As shown in FIG. 10, the
제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321)은 워크존 모듈(100)의 제1 프런트 레일(111), 제2 프런트 레일(121), 제1 리어 레일(141) 및 제2 리어 레일(131)과 평행하게 구비되고, 도 10을 기준으로 제1 셔틀 레일(311)은 제2 셔틀 레일(321)의 전방에 위치한다.The
제1 셔틀 레일(311)은 제1 프런트 레일(111) 등과 유사하게, 제2 셔틀 레일(321)과 마주하는 내측에 이송 유닛(미도시)이 구비되어, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송한다. 이를 위해 제1 셔틀 레일(311)에는 이송 유닛을 구동하는 제1 셔틀 레일 이송 구동부(312)가 구비될 수 있다.The
또한, 제2 셔틀 레일(321)은 제1 셔틀 레일(311)과 마주하는 내측에 이송 유닛(미도시)이 구비되어, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송한다. 이를 위해 제2 셔틀 레일(321)에는 이송 유닛을 구동하는 제2 셔틀 레일 이송 구동부(322)가 구비될 수 있다.The
제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)의 이송 유닛은 전술한 제4 연장 레일 이송 유닛과 유사하게 구성될 수 있으므로 중복 설명을 방지하기 위해 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.Since the
도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈(300)은 셔틀 구동부(332) 및 간격 구동부(342)를 포함할 수 있다.10, the
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 셔틀 구동부에 의해 셔틀부가 이동하는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.11 is a view schematically showing an operation in which the shuttle is moved by the shuttle driving unit of the shuttle conveyor module according to the embodiment of the present invention.
도 11에 도시된 바와 같이, 셔틀 구동부(332)는 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)이 서로 간의 간격을 유지한 채 프런트 워크존의 측부와 리어 워크존의 측부를 이동하도록 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)을 구동한다.11, the
즉, 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 워크존 모듈(100)의 입구측에 설치되는 경우에는, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이로 기판을 수취한 이후, 셔틀 구동부(332)가 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)을 이동시켜 수취된 기판을 프런트 워크존 또는 리어 워크존으로 분배한다.That is, when the
또한, 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 워크존 모듈(100)의 출구측에 설치되는 경우에는, 셔틀 구동부(332)가 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)을 프런트 워크존과 리어 워크존 사이를 왕복 이동시키며 프런트 워크존 및 리어 워크존에서 처리된 기판을 순차적으로 수취한다.When the
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 간격 구동부에 의해 제1 셔틀 레일과 제2 셔틀 레일 사이의 간격이 조정되는 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 12 is a view schematically showing an operation in which the gap between the first shuttle rail and the second shuttle rail is adjusted by the gap driving part of the shuttle conveyor module according to the embodiment of the present invention.
도 12에 도시된 바와 같이, 간격 구동부(342)는 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이의 간격을 프런트 워크존 또는 리어 워크존의 간격에 대응하도록 조절한다. 이를 위해 간격 구동부(342)는 제2 셔틀 레일(321)에 구비되어, 제1 셔틀 레일(311)과는 별도로 제2 셔틀 레일(321)을 셔틀 레일 가이드부(301)를 따라 이동시켜 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이의 간격을 가변시킨다. 또는 간격 구동부(342)는 제1 셔틀 레일(311)에 구비되어 동일한 기능을 할 수 있다.12, the
전술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300)은 워크존 모듈(100)과 독립적인 구성을 가지고 있다. 따라서, 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 간편하게 조립 또는 제거될 수 있다.As described above, the
지금까지 워크존 모듈(100)의 양측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 구비되거나 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 구비되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 필요에 따라 워크존 모듈(100)의 일측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 구비하고 타측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 구비하는 경우도 가능하다.A
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 도시한 평면도이다.13 is a plan view showing a state in which a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention is mounted on the entrance side of the work zone module according to the embodiment of the present invention and a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed on the exit side to be.
도 13을 기준으로 워크존 모듈(100)의 좌측을 기판이 공급되는 입구측이라 하고, 워크존 모듈(100)의 우측을 기판이 배출되는 출구측이라 할 때, 13, the left side of the
워크존 모듈(100)의 입구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되고, 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합될 수 있다.The
이와 같은 배치는, 워크존 모듈(100)로 기판을 공급하는 전처리 장비(미도시)가 싱글 레인 방식이고, 워크존 모듈(100)이 기판을 공급할 후처리 장비(미도시)가 듀얼 레인 방식인 경우에 활용될 수 있다.In this arrangement, when the pre-processing equipment (not shown) for supplying the substrate to the work-
즉, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 결합하여 전처리 장비가 싱글 레일 방식으로 제공하는 기판을 수취하여 워크존 모듈(100)의 프런트 워크존과 리어 워크존으로 공급하고, 워크존 모듈(100)의 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 결합하여 워크존 모듈(200)에서 프런트 워크존 및 리어 워크존을 통해 처리된 기판을 듀얼 레인 방식으로 후처리 장비로 제공하여 공정의 연계성을 확보할 수 있다.That is, the
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착된 상태를 도시한 평면도이다.FIG. 14 is a plan view showing a state in which a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed at the entrance side of a work zone module according to an embodiment of the present invention and a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed at an exit side to be.
도 14를 기준으로 워크존 모듈(100)의 좌측을 기판이 공급되는 입구측이라하고, 워크존 모듈(100)의 우측을 기판이 배출되는 출구측이라 할 때, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되고, 출구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합될 수 있다.14, the left side of the
이와 같은 배치는, 워크존 모듈(100)로 기판을 공급하는 전처리 장비(미도시)가 듀얼 레인 방식이고, 워크존 모듈(100)이 기판을 공급할 후처리 장비(미도시)가 싱글 레인 방식인 경우에 활용될 수 있다.In this arrangement, when the preprocessing equipment (not shown) for supplying the substrate to the
즉, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 결합하여 전처리 장비가 듀얼 레일 방식으로 제공하는 기판을 듀얼 레인 방식으로 수취하고, 워크존 모듈(200)의 출구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 결합하여 워크존 모듈(200)에서 프런트 워크존 및 리어 워크존을 통해 처리된 기판을 싱글 레인 방식으로 후처리 장비로 제공하여 공정의 연계성을 확보할 수 있다.That is, on the entrance side of the
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈/셔틀 컨베이어 모듈의 선택적 결합에 따른 각 모듈의 제어부 연결에 대해 설명한다.Hereinafter, the connection of the control unit of each module according to the selective combination of the work zone module and the dual conveyor module / shuttle conveyor module according to the embodiment of the present invention will be described.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈의 제어부 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.15 is a view schematically showing a connection of a control unit of a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention and a work zone module according to an embodiment of the present invention.
도 15에 도시된 바와 같이, 제어부(400)는 워크존 제어부(410), 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)를 포함한다.15, the
워크존 모듈(410)은 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300)과 달리 고정식으로 설치되므로, 워크존 제어부(410)와 워크존 모듈(410)을 연결하는 워크존 제어 라인(410a) 역시 고정식으로 구성된다. 워크존 제어 라인(410a)은 워크존 모듈(100)에 포함된 각 구동부(112, 122, 132, 142, 123, 133)에 대한 전원 및 제어 신호를 제공하며, 각 구동부(112, 122, 132, 142, 123, 133)와의 연결 상태를 유지한다.Unlike the
반면, 워크존 모듈(410)의 입구측 및 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300)가 선택적으로 결합되므로, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)가 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300) 중 어느 하나와 고정식으로 연결될 수 없다.On the other hand, since the
듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 구성을 워크존 모듈(100)과 독립적으로 구성하여 모듈화하였지만, 듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 작동하기 위한 전원 공급 케이블 및 데이터 케이블 등을 각 모듈(200, 300)마다 개별적으로 구성한다면 듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 워크존 모듈(100)에 조립/분해하는 과정이 번거롭게 될 수 있다.The
따라서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 각각 듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)에 전원 및 제어 신호를 제공하는 포트(420a, 430a)를 각각 구비한다. 포트(420a, 430a)는 듀얼 컨베이어 모듈(200)과 셔틀 컨베이어 모듈(300)에 공용으로 사용할 수 있는 것일 수 있다.The entrance
그리고, 듀얼 컨베이어 모듈(200) 및 셔틀 컨베이어 모듈(300)은 포트(420a, 430a)에 대응하는 듀얼 컨베이어 포트(202) 및 셔틀 컨베이어 포트(302)를 각각 구비하여, 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 결합 시에 포트(420a, 430a)와 연결된다.The
따라서, 도 15에 도시된 바와 같이, 워크존 모듈(100)의 입구측 및 출구측에 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되는 경우에는, 입구모듈 제어부(420)의 포트(420a)에 입구측에 결합되는 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 듀얼 컨베이어 포트(202)를 연결하고, 출구모듈 제어부(430)의 포트(430a)에 출구측에 결합되는 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 듀얼 컨베이어 포트(202)를 연결한다.15, when the
입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 포트(420a, 430a)에 결합되는 포트(202)를 인식하여 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 입구측 및 출구측에 결합된 것을 인식하고 듀얼 컨베이어 모듈(200)에 적합한 제어 신호를 생성할 수 있다.The
또는, 사용자가 현재 모드가 듀얼-워크존-듀얼 상태임을 입력하는 것으로서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430) 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.Alternatively, the entrance
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈과 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.16 is a view schematically showing a cable connection of a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention and a work zone module according to an embodiment of the present invention.
도 16에 도시된 바와 같이, 워크존 모듈(100)의 입구측 및 출구측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되는 경우에는, 입구모듈 제어부(420)의 포트(420a)에 입구측에 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 셔틀 컨베이어 포트(302)를 연결하고, 출구모듈 제어부(430)의 포트(430a)에 출구측에 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 셔틀 컨베이어 포트(302)를 연결한다.16, when the
입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 포트(420a, 430a)에 결합되는 포트(202)를 인식하여 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 입구측 및 출구측에 결합된 것을 인식하고 셔틀 컨베이어 모듈(300)에 적합한 제어 신호를 생성할 수 있다.The inlet
또는, 사용자가 현재 모드가 셔틀-워크존-셔틀 상태임을 입력하는 것으로서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430) 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.Alternatively, the entrance
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되는 경우의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.17 shows a cable connection in the case where the shuttle conveyor module according to the embodiment of the present invention is installed at the entrance side of the work zone module according to the embodiment of the present invention and the dual conveyor module according to the embodiment of the present invention is installed at the exit side Fig.
도 17에 도시된 바와 같이, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되고, 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되는 경우에는, 입구모듈 제어부(420)의 포트(420a)에 입구측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 셔틀 컨베이어 포트(302)를 연결하고, 출구모듈 제어부(430)의 포트(430a)에 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 듀얼 컨베이어 포트(202)를 연결한다.17, when the
입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 포트(420a, 430a)에 결합되는 포트(202)를 인식하여 입구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되고 출구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합된 것을 인식하고 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.The entrance
또는, 사용자가 현재 모드가 셔틀-워크존-듀얼 상태임을 입력하는 것으로서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430) 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.Alternatively, the entrance
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 입구측에 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈이 장착되고 출구측에 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈이 장착되는 경우의 케이블 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.18 is a view illustrating a cable connection when a dual conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed at the entrance side of the work zone module according to the embodiment of the present invention and a shuttle conveyor module according to an embodiment of the present invention is installed at the exit side Fig.
도 18에 도시된 바와 같이, 워크존 모듈(100)의 입구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되고, 출구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합되는 경우에는, 입구모듈 제어부(420)의 포트(420a)에 입구측에 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 듀얼 컨베이어 포트(202)를 연결하고, 출구모듈 제어부(430)의 포트(430a)에 셔틀 컨베이어 포트(302)를 연결한다.18, when the
입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 포트(420a, 430a)에 결합되는 포트(202)를 인식하여 입구측에는 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 결합되고 출구측에는 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 결합된 것을 인식하고 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.The inlet
또는, 사용자가 현재 모드가 듀얼-워크존-셔틀 상태임을 입력하는 것으로서, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430) 그에 대응하는 제어 신호를 생성할 수 있다.Alternatively, the entrance
도 19는 본 발명의 실시예에 따른 워크존 모듈의 각 구동부와 워크존 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 19 is a view schematically showing the connection between each driving unit of the work zone module and the controller of the work zone control unit according to the embodiment of the present invention.
도 19에 도시된 바와 같이, 워크존 제어부(410)는 제1 워크존 컨트롤러(412), 제2 워크존 컨트롤러(411), 제3 워크존 컨트롤러(414), 제4 워크존 컨트롤러(415), 제5 워크존 컨트롤러(413) 및 제6 워크존 컨트롤러(416)를 포함한다. 19, the work-
6개의 워크존 컨트롤러(411, 412, 413, 414, 415, 416)는 워크존 모듈(410)의 6개의 구동부(112, 122, 132, 142, 123, 133)를 각각 제어할 수 있다.The six
즉, 제1 워크존 컨트롤러(412)는 제1 프런트 워크존 이송 구동부(112)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제2 워크존 컨트롤러(411)는 제2 프런트 워크존 이송 구동부(122)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 프런트 워크존 내로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다. That is, the first
또한, 제3 워크존 컨트롤러(414)는 제2 리어 워크존 이송 구동부(132)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제4 워크존 컨트롤러(415)는 제1 리어 워크존 이송 구동부(142)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 리어 워크존 내로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다. The fourth
또한, 제5 워크존 컨트롤러(413)는 프런트 워크존 간격 구동부(123)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제2 프런트 레일(121)을 베이스(101) 상에 구비된 가이드 따라 왕복 이동시키고, 프런트 워크존의 폭을 조절한다.The fifth
또한, 제6 워크존 컨트롤러(416)는 리어 워크존 간격 구동부(133)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제2 리어 레일(131)을 베이스(101) 상에 구비된 가이드 따라 왕복 이동시키고, 리어 워크존의 폭을 조절한다.The sixth
도 20은 본 발명의 실시예에 따른 듀얼 컨베이어 모듈의 각 구동부와 입구모듈(또는 출구모듈) 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 21은 본 발명의 실시예에 따른 셔틀 컨베이어 모듈의 각 구동부와 입구모듈(또는 출구모듈) 제어부의 컨트롤러의 연결을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 20 is a view schematically showing the connection between the driving units of the dual conveyor module and the controller of the inlet module (or outlet module) control unit according to the embodiment of the present invention, and FIG. 21 is a cross- (Or outlet module) control unit of the control unit of the inlet module (or outlet module).
도 20 및 도 21에 도시된 바와 같이, 입구모듈 제어부(420) 및 출구모듈 제어부(430)는 제1 컨트롤러(421, 431), 제2 컨트롤러(422, 432), 제3 컨트롤러(423, 433) 및 제4 컨트롤러(424, 434)를 포함한다.20 and 21, the inlet
4개의 컨트롤러(421(431), 422(431), 423(433), 424(434))는 포트(420a, 430a)를 통해 듀얼 컨베이어 모듈(200)의 4개의 구동부(212, 222, 232, 242)와 셔틀 컨베이어 모듈(300)의 4개의 구동부(312, 322, 332, 342)를 각각 제어할 수 있다.The four controllers 421 (431), 422 (431), 423 (433) and 424 (434) are connected to the four
즉, 도 20에 도시된 바와 같이, 입구모듈 제어부(420) 또는 출구모듈 제어부(430)에 듀얼 컨베이어 모듈(200)이 연결된 경우에는, 제3 컨트롤러(423(433))는 제1 연장 레일 이송 구동부(212)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제1 컨트롤러(421(431))는 제2 연장 레일 이송 구동부(222)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제1 기판 이송 영역 내로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다. 20, when the
또한, 제2 컨트롤러(422(432))는 제3 연장 레일 이송 구동부(232)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제4 컨트롤러(424(434))는 제4 연장 레일 이송 구동부(242)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제2 기판 이송 영역 내로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다. The
한편, 도 21에 도시된 바와 같이, 입구모듈 제어부(420) 또는 출구모듈 제어부(430)에 셔틀 컨베이어 모듈(300)이 연결된 경우에는, 제1 컨트롤러(421(431))는 제1 셔틀 레일 이송 구동부(312)에 전원을 공급하며 구동을 제어하고, 제2 컨트롤러(422(432))는 제2 셔틀 레일 이송 구동부(322)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이로 진입/진출하는 기판의 이송을 제어한다.21, when the
또한, 제3 컨트롤러(423(433))는 셔틀 구동부(332)에 전원을 공급하며 구동을 제어하여 제1 셔틀 레일(311) 및 제2 셔틀 레일(321)가 프런트 워크존과 리어 워크존을 왕복하도록 제어하고, 제4 컨트롤러(424(434))는 간격 구동부(342)에 전원을 공급하고 구동을 제어하여, 제1 셔틀 레일(311)과 제2 셔틀 레일(321) 사이의 간격을 프런트 워크존 또는 리어 워크존의 간격에 대응하도록 제어한다.The third controller 423 (433) supplies power to the
제1 컨트롤러(421(431)) 및 제2 컨트롤러(422(432))는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 제어하는 경우와 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 제어하는 경우에 모두 기판을 이송하는 구동부를 제어한다. 그러나, 제3 컨트롤러(423(433)) 및 제4 컨트롤러(424(434))는 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 제어하는 경우에는 기판을 이송하는 구동부를 제어하지만, 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 제어하는 경우에는 제1 셔틀 레일(311) 및/또는 제2 셔틀 레일(321)을 이동시키는 셔틀 구동부(332) 와 간격 구동부(342)을 각각 제어한다.The first controller 421 (431) and the second controller 422 (432) control the driving unit for transferring the substrate both when controlling the
따라서, 제3 컨트롤러(423(433)) 및 제4 컨트롤러(424(434))는 기판을 이송하는 구동부 및 레일(311, 321)을 이동시키는 구동부를 범용으로 제어할 수 있도록 구성될 수 있다.Therefore, the third controller 423 (433) and the fourth controller 424 (434) can be configured to control the driving unit for moving the substrate and the driving unit for moving the
설명의 편의를 위해 제1 컨트롤러(421, 431), 제2 컨트롤러(422, 432), 제3 컨트롤러(423, 433) 및 제4 컨트롤러(424, 434)와 각 구동부(212, 222, 232, 242, 312, 322, 332, 342)의 대응관계를 구체화하였으나, 제1 컨트롤러(421, 431), 제2 컨트롤러(422, 432), 제3 컨트롤러(423, 433) 및 제4 컨트롤러(424, 434)와 각 구동부(212, 222, 232, 242, 312, 322, 332, 342)의 대응관계는 설계 편의에 따라 변화할 수 있다.For convenience of explanation, the
상술한 구성에 의해 프런트 워크존과 리어 워크존을 갖는 듀얼 레인 방식의 워크존 모듈(100)의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합 가능한 모듈화된 셔틀 컨베이어 모듈(300)과 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 제공하여, 컨베이어를 이용한 장비의 활용의 가능성을 확장할 수 있다.With the above-described configuration, a modular
즉, 워크존 모듈(100)이 포함되는 장비로 기판을 공급하는 전처리 장비가 싱글 레인 방식으로 기판을 제공하는 경우에는 워크존 모듈(100)의 입구측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 장착하고, 전처리 장비가 듀얼 레인 방식으로 기판을 제공하는 경우에는 워크존 모듈(100)의 입구측에 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 장착하며, 워크존 모듈(100)이 포함되는 장비가 기판을 제공해야 하는 후처리 장비가 싱글 레인 방식으로 운영되는 경우에는 워크존 모듈(100)의 출구측에 셔틀 컨베이어 모듈(300)을 장착하고, 후처리 장비가 듀얼 레인 방식으로 운영되는 경우에는 워크존 모듈(100)의 출구측에 듀얼 컨베이어 모듈(200)을 장착하는 것만으로 공정의 연계성을 확보할 수 있다.That is, when the pre-processing equipment for supplying the substrate to the equipment including the
또한, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 교체 장착함에 있어, 제어부의 공용 포트를 이용하여 전원 및 제어 신호를 송수신하므로, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈의 교체 작업이 간소화된다.Further, in replacing the shuttle conveyor module and the dual conveyor module, since the power and control signals are transmitted and received using the common port of the control unit, the replacement work of the shuttle conveyor module and the dual conveyor module is simplified.
또한, 구동 제어가 상이한 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 교체 장착함에 있어, 제어부 내의 동일한 컨트롤러를 이용하여 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈을 모두 제어할 수 있어, 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈의 교체 작업이 더욱 간소화된다.In addition, in replacing the shuttle conveyor module and the dual conveyor module having different drive control modes, both the shuttle conveyor module and the dual conveyor module can be controlled by using the same controller in the control unit, so that the shuttle conveyor module and the dual conveyor module Is further simplified.
따라서 본 발명에 따른 컨베이어 모듈에 의해 전처리 장비와 후처리 장비가 싱글 레인 방식인지 또는 듀얼 레인 방식인지 여부에 따라 장비 전체를 교체하는 등의 번거로움이 해소될 수 있다.Therefore, according to the conveyor module according to the present invention, it is possible to eliminate the inconvenience of replacing the whole equipment depending on whether the pre-treatment equipment and the post-treatment equipment are a single lane type or a dual lane type.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, You will understand. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.
10: 기판 진입 영역 100: 워크존 모듈
101: 베이스 111: 제1 프런트 레일
121: 제2 프런트 레일 131: 제3 프런트 레일
122: 제2 프런트 워크존 이송 구동부
123: 프런트 워크존 간격 구동부
124, 125, 134, 135: 결합 요부
132: 제2 리어 워크존 이송 구동부
136: 커버부재 설치홈 137: 연결부재 삽입홈
141: 제4 프런트 레일 142: 리어 워크존 이송 구동부
200: 듀얼 컨베이어 모듈 201: 연장 레일 가이드부
202: 듀얼 컨베이어 포트 211: 제1 연장 레일
212: 제1 연장 레일 이송 구동부 221: 제2 연장 레일
222: 제2 연장 레일 이송 구동부 223, 233: 결합 철부
231: 제3 연장 레일 232: 제3 연장 레일 이송 구동부
234: 연결부재 설치홈 241: 제4 연장 레일
242: 제4 연장 레일 이송 구동부 244: 구동 롤러
245: 제1 종동 롤러 246: 제2 종동 롤러
247: 동력 전달 벨트 248: 기판 이송 벨트
251: 연결부재 252: 커버부재
253a, 253b, 253c: 나사 300: 셔틀 컨베이어 모듈
301: 셔틀 레일 가이드부 302: 셔틀 컨베이어 포트
311: 제1 셔틀 레일 312: 제1 셔틀 레일 이송 구동부
312: 제2 셔틀 레일 322: 제2 셔틀 레일 이송 구동부
332: 셔틀 구동부 342: 간격 구동부
400: 제어부 410: 워크존 제어부
410a: 워크존 제어 라인 420: 입구모듈 제어부
420a, 430a: 포트 430: 출구모듈 제어부10: Substrate entry area 100: Work zone module
101: base 111: first front rail
121: second front rail 131: third front rail
122: a second front work-
123: front work zone gap driving part
124, 125, 134, 135: coupling recess
132: second rear work-
136: cover member mounting groove 137: connecting member insertion groove
141: fourth front rail 142: rear work zone feed drive part
200: Dual conveyor module 201: Extension rail guide part
202: dual conveyor port 211: first extension rail
212: first extension rail feed drive unit 221: second extension rail
222: second extension rail
231: third extension rail 232: third extension rail feed drive part
234: Connecting member mounting groove 241: Fourth extension rail
242: fourth extension rail feed drive part 244: drive roller
245: first driven roller 246: second driven roller
247: Power transmission belt 248: Substrate transfer belt
251: connecting member 252: cover member
253a, 253b, 253c: screw 300: shuttle conveyor module
301: Shuttle rail guide portion 302: Shuttle conveyor port
311: first shuttle rail 312: first shuttle rail feed drive part
312: second shuttle rail 322: second shuttle rail feed drive
332: Shuttle driving unit 342:
400: control unit 410:
410a: Work zone control line 420: Entrance module control section
420a, 430a: port 430: exit module control section
Claims (20)
상기 워크존 모듈의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈 및 듀얼 컨베이어 모듈을 포함하며,
상기 셔틀 컨베이어 모듈은,
상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 셔틀 레일 가이드부 및
상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하는 셔틀부를 포함하고,
상기 듀얼 컨베이어 모듈은,
상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 연장 레일 가이드부 및
상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일 중 적어도 하나의 일측 또는 양측에 결합되며, 상기 연장 레일 가이드에 이동 가능하게 지지되는 연장 레일을 포함하는, 컨베이어 모듈.A workpiece module having a pair of front rails forming a front work zone and a pair of rear rails forming a rear work zone formed in parallel with the front work zone;
A shuttle conveyor module and a dual conveyor module selectively coupled to one or both sides of the workpiece module,
The shuttle conveyor module includes:
A shuttle rail guide portion extending from a side portion of the front work zone to a side portion of the rear work zone;
And a shuttle portion that moves along the shuttle rail guide portion,
The dual conveyor module includes:
An extension rail guide portion extending from a side portion of the front work zone to a side portion of the rear work zone;
And an extension rail coupled to one or both sides of at least one of the pair of front rails and the pair of rear rails and movably supported by the extension rail guide.
상기 셔틀부는,
상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하는 제1 셔틀 레일;
상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하며 상기 제1 셔틀 레일과 평행하게 구비되는 제2 셔틀 레일 및
상기 제1 셔틀 레일 및 상기 제2 셔틀 레일을 상기 프런트 워크존 또는 상기 리어 워크존의 측부로 이동시키는 셔틀 구동부를 포함하는, 컨베이어 모듈.The method according to claim 1,
The shuttle portion
A first shuttle rail moving along the shuttle rail guide portion;
A second shuttle rail moving along the shuttle rail guide portion and provided in parallel with the first shuttle rail,
And a shuttle driving section for moving the first shuttle rail and the second shuttle rail to the front work zone or the side of the rear work zone.
상기 셔틀부는, 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 조절하는 간격 구동부를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.3. The method of claim 2,
Wherein the shuttle part further comprises a gap driving part for adjusting an interval between the first shuttle rail and the second shuttle rail.
상기 간격 구동부는 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 상기 프런트 워크존 또는 상기 리어 워크존의 폭에 대응하여 조절하는, 컨베이어 모듈.The method of claim 3,
Wherein the gap driving portion adjusts the gap between the first shuttle rail and the second shuttle rail in accordance with the width of the front work zone or the rear work zone.
상기 간격 구동부는 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이로 진입하는 기판의 폭에 대응하여 조절하는, 컨베이어 모듈.The method of claim 3,
Wherein the gap driving portion adjusts the gap between the first shuttle rail and the second shuttle rail in correspondence with the width of the substrate entering between the first shuttle rail and the second shuttle rail.
상기 듀얼 컨베이어 모듈의 상기 연장 레일은 상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일 중 상기 연장 레일과 결합되는 레일과 일직선 상에 위치하도록 결합되는, 컨베이어 모듈.The method according to claim 1,
Wherein the extension rail of the dual conveyor module is coupled to be positioned in a straight line with a rail coupled with the extension rail of the pair of front rails and the pair of rear rails.
상기 연장 레일은 상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일 중 상기 연장 레일과 결합되는 레일의 이동에 의해 종동 이동하는, 컨베이어 모듈.The method according to claim 6,
Wherein the extension rail is driven by movement of a rail coupled with the extension rail of the pair of front rails and the pair of rear rails.
상기 연장 레일의 일단에는 적어도 하나의 결합 철부(凸部)(233)가 형성되고, 상기 프런트 레일 및 상기 리어 레일의 단부에는 상기 결합 철부와 대응하는 적어도 하나의 결합 요부(凹部)(134)가 형성되고, 상기 결합 요부와 상기 결합 철부의 맞물림에 의해 상기 프런트 레일 및 상기 리어 레일 중 적어도 하나와 상기 연장 레일이 결합되는, 컨베이어 모듈.The method according to claim 6,
At least one coupling protrusion 233 is formed at one end of the extension rail and at least one coupling recess portion 134 corresponding to the coupling protrusion is formed at an end of the front rail and the rear rail Wherein at least one of the front rail and the rear rail and the extension rail are engaged by engagement of the coupling recess and the coupling convex portion.
상기 듀얼 컨베이어 모듈은,
상기 연장 레일을 상기 프런트 레일 및 상기 리어 레일의 일측 또는 양측 중 적어도 하나에 고정하는 연결 부재를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.The method according to claim 6,
The dual conveyor module includes:
Further comprising a connecting member for fixing the extension rail to at least one of the front rail and the rear rail.
상기 연결 부재의 일단은 상기 연장 레일을 지지하고, 상기 연장 부재의 타단은 상기 프런트 레일 및 상기 리어 레일 중 상기 연장 레일과 결합되는 레일을 지지하는, 컨베이어 모듈.10. The method of claim 9,
Wherein one end of the connecting member supports the extension rail and the other end of the extension member supports a rail that is engaged with the extension rail of the front rail and the rear rail.
상기 워크존 모듈의 상기 한 쌍의 프런트 레일 및 상기 한 쌍의 리어 레일을 제어하고,
상기 워크존 모듈에 결합된 상기 셔틀 컨베이어 모듈의 상기 셔틀부 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈의 연장 레일 중 적어도 하나를 제어하는 제어부를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.The method according to claim 1,
Controls the pair of front rails and the pair of rear rails of the work zone module,
Further comprising a control for controlling at least one of the shuttle portion of the shuttle conveyor module coupled to the work zone module and the extension rail of the dual conveyor module.
상기 제어부는 상기 워크존 모듈에 선택적으로 결합되는 상기 셔틀 컨베이어 모듈 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈에 전원 및 제어 신호를 제공하는 포트를 포함하고,
상기 셔틀 컨베이어 모듈을 상기 포트와 연결되는 셔틀 컨베이어 포트를 더 포함하고,
상기 듀얼 컨베이어 모듈은 상기 포트와 연결되는 듀얼 컨베이어 포트를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.12. The method of claim 11,
Wherein the control unit includes a shuttle conveyor module selectively coupled to the work zone module and a port for providing power and control signals to the dual conveyor module,
Further comprising a shuttle conveyor port connected to said shuttle conveyor module,
Wherein the dual conveyor module further comprises a dual conveyor port connected to the port.
상기 셔틀부는,
상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하는 제1 셔틀 레일;
상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하며 상기 제1 셔틀 레일과 평행하게 구비되는 제2 셔틀 레일;
상기 제1 셔틀 레일에 구비되어, 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제1 셔틀 레일 이송 구동부;
상기 제2 셔틀 레일에 구비되어, 상기 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제2 셔틀 레일 이송 구동부;
상기 제1 셔틀 레일 및 상기 제2 셔틀 레일을 상기 프런트 워크존 또는 상기 리어 워크존의 측부로 이동시키는 셔틀 구동부 및
상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 조절하는 간격 구동부를 포함하고,
상기 제어부는, 제1 컨트롤러, 제2 컨트롤러, 제3 컨트롤러 및 제4 컨트롤러를 포함하며,
상기 셔틀 컨베이어 모듈이 상기 워크존 모듈에 결합되는 때에는,
상기 제1 컨트롤러는 상기 제1 셔틀 레일 이송 구동부를 제어하고, 상기 제2 컨트롤러는 상기 제2 셔틀 레일 이송 구동부를 제어하고, 상기 제3 컨트롤러는 상기 상기 셔틀 구동부를 제어하고, 상기 제4 컨트롤러는 상기 간격 구동부를 제어하는, 컨베이어 모듈.12. The method of claim 11,
The shuttle portion
A first shuttle rail moving along the shuttle rail guide portion;
A second shuttle rail that moves along the shuttle rail guide portion and is provided in parallel with the first shuttle rail;
A first shuttle rail transfer driving unit provided on the first shuttle rail for supporting and transferring one side of a substrate entering between the first shuttle rail and the second shuttle rail;
A second shuttle rail transfer driving unit provided on the second shuttle rail for supporting and transferring the other side of the substrate;
A shuttle driving unit for moving the first shuttle rail and the second shuttle rail to the front work zone or the side of the rear work zone,
And an interval driving unit for adjusting an interval between the first shuttle rail and the second shuttle rail,
The control unit includes a first controller, a second controller, a third controller, and a fourth controller,
When the shuttle conveyor module is coupled to the work- presence module,
Wherein the first controller controls the first shuttle rail feed drive unit, the second controller controls the second shuttle rail feed drive unit, the third controller controls the shuttle drive unit, and the fourth controller And controls the gap driving unit.
상기 듀얼 컨베이어 모듈의 상기 연장 레일은,
상기 한 쌍의 프런트 레일에 결합되는 제1 연장 레일과 제2 연장 레일;
상기 제1 연장 레일에 구비되어, 상기 제1 연장 레일과 상기 제2 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제1 연장 레일 이송 구동부;
상기 제2 연장 레일에 구비되어, 상기 제1 연장 레일과 상기 제2 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제2 연장 레일 이송 구동부;
상기 한 쌍의 레어 레일에 결합되는 제3 연장 레일과 제4 연장 레일;
상기 제3 연장 레일에 구비되어, 상기 제3 연장 레일과 상기 제4 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제3 연장 레일 이송 구동부 및
상기 제4 연장 레일에 구비되어, 상기 제3 연장 레일과 상기 제4 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제4 연장 레일 이송 구동부를 포함하고,
상기 듀얼 컨베이어 모듈이 상기 워크존 모듈에 결합되는 때에는,
상기 제1 컨트롤러, 상기 제2 컨트롤러, 상기 제3 컨트롤러 및 상기 제4 컨트롤러 중, 어느 하나가 상기 제1 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 다른 하나가 상기 제2 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 또 다른 하나가 상기 제3 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 또 다른 하나가 상기 제4 연장 레일 이송 구동부를 제어하는, 컨베이어 모듈.14. The method of claim 13,
Wherein the extension rail of the dual conveyor module comprises:
A first extension rail and a second extension rail coupled to the pair of front rails;
A first extension rail transport driving unit provided on the first extension rail for supporting and transporting one side of the substrate entering between the first extension rail and the second extension rail;
A second extension rail transport driving unit provided on the second extension rail for supporting and transporting the other side of the substrate entering between the first extension rail and the second extension rail;
A third extension rail and a fourth extension rail coupled to the pair of rear rails;
A third extension rail feed drive unit provided on the third extension rail for supporting and feeding one side of the substrate entering between the third extension rail and the fourth extension rail,
And a fourth extension rail transport driving unit provided on the fourth extension rail for supporting and transporting the other side of the substrate entering between the third extension rail and the fourth extension rail,
When the dual conveyor module is coupled to the work zone module,
Wherein one of the first controller, the second controller, the third controller, and the fourth controller controls the first extension rail feed drive and the other controls the second extension rail feed drive, The other of which controls the third extension rail feed drive and the other of which controls the fourth extension rail feed drive.
상기 워크존 모듈의 일측 또는 양측에 선택적으로 결합되는 셔틀 컨베이어 모듈과 듀얼 컨베이어 모듈 및
상기 워크존 모듈과, 상기 워크존 모듈에 선택적으로 결합된 상기 셔틀 컨베이어 모듈 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈을 제어하는 제어부를 포함하는, 컨베이어 모듈.A workpiece module having a pair of front rails forming a front work zone and a pair of rear rails forming a rear work zone formed in parallel with the front work zone;
A shuttle conveyor module and a dual conveyor module selectively coupled to one or both sides of the work-
And a control unit for controlling said shuttle conveyor module and said dual conveyor module selectively coupled to said work zone module.
상기 셔틀 컨베이어 모듈은,
상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 셔틀 레일 가이드부;
상기 셔틀 레일 가이드부를 따라 이동하며 상기 제1 셔틀 레일과 평행하게 구비되는 제2 셔틀 레일;
상기 제1 셔틀 레일에 구비되어, 상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제1 셔틀 레일 이송 구동부;
상기 제2 셔틀 레일에 구비되어, 상기 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제2 셔틀 레일 이송 구동부;
상기 제1 셔틀 레일 및 상기 제2 셔틀 레일을 상기 프런트 워크존 또는 상기 리어 워크존의 측부로 이동시키는 셔틀 구동부 및
상기 제1 셔틀 레일과 상기 제2 셔틀 레일 사이의 간격을 조절하는 간격 구동부를 포함하는, 컨베이어 모듈.The method of claim 15, wherein
The shuttle conveyor module includes:
A shuttle rail guide portion extending from a side portion of the front work zone to a side portion of the rear work zone;
A second shuttle rail that moves along the shuttle rail guide portion and is provided in parallel with the first shuttle rail;
A first shuttle rail transfer driving unit provided on the first shuttle rail for supporting and transferring one side of a substrate entering between the first shuttle rail and the second shuttle rail;
A second shuttle rail transfer driving unit provided on the second shuttle rail for supporting and transferring the other side of the substrate;
A shuttle driving unit for moving the first shuttle rail and the second shuttle rail to the front work zone or the side of the rear work zone,
And an interval drive for adjusting the distance between the first shuttle rail and the second shuttle rail.
상기 듀얼 컨베이어 모듈은,
상기 프런트 워크존의 측부로부터 상기 리어 워크존의 측부까지 연장되는 연장 레일 가이드부;
상기 한 쌍의 프런트 레일에 결합되는 제1 연장 레일과 제2 연장 레일;
상기 제1 연장 레일에 구비되어, 상기 제1 연장 레일과 상기 제2 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제1 연장 레일 이송 구동부;
상기 제2 연장 레일에 구비되어, 상기 제1 연장 레일과 상기 제2 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제2 연장 레일 이송 구동부;
상기 한 쌍의 레어 레일에 결합되는 제3 연장 레일과 제4 연장 레일;
상기 제3 연장 레일에 구비되어, 상기 제3 연장 레일과 상기 제4 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 일측을 지지하고 이송하는 제3 연장 레일 이송 구동부 및
상기 제4 연장 레일에 구비되어, 상기 제3 연장 레일과 상기 제4 연장 레일 사이로 진입하는 기판의 타측을 지지하고 이송하는 제4 연장 레일 이송 구동부를 포함하는, 컨베이어 모듈.The method of claim 16, wherein
The dual conveyor module includes:
An extension rail guide portion extending from a side portion of the front work zone to a side portion of the rear work zone;
A first extension rail and a second extension rail coupled to the pair of front rails;
A first extension rail transport driving unit provided on the first extension rail for supporting and transporting one side of the substrate entering between the first extension rail and the second extension rail;
A second extension rail transport driving unit provided on the second extension rail for supporting and transporting the other side of the substrate entering between the first extension rail and the second extension rail;
A third extension rail and a fourth extension rail coupled to the pair of rear rails;
A third extension rail feed drive unit provided on the third extension rail for supporting and feeding one side of the substrate entering between the third extension rail and the fourth extension rail,
And a fourth extension rail feed driver mounted on the fourth extension rail for supporting and feeding the other side of the substrate entering between the third extension rail and the fourth extension rail.
상기 제어부는, 제1 컨트롤러, 제2 컨트롤러, 제3 컨트롤러 및 제4 컨트롤러를 포함하며,
상기 셔틀 컨베이어 모듈이 상기 워크존 모듈에 결합되는 때에는,
상기 제1 컨트롤러는 상기 제1 셔틀 레일 이송 구동부를 제어하고, 상기 제2 컨트롤러는 상기 제2 셔틀 레일 이송 구동부를 제어하고, 상기 제3 컨트롤러는 상기 상기 셔틀 구동부를 제어하고, 상기 제4 컨트롤러는 상기 간격 구동부를 제어하는, 컨베이어 모듈.18. The method of claim 17,
The control unit includes a first controller, a second controller, a third controller, and a fourth controller,
When the shuttle conveyor module is coupled to the work- presence module,
Wherein the first controller controls the first shuttle rail feed drive unit, the second controller controls the second shuttle rail feed drive unit, the third controller controls the shuttle drive unit, and the fourth controller And controls the gap driving unit.
상기 듀얼 컨베이어 모듈이 상기 워크존 모듈에 결합되는 때에는,
상기 제1 컨트롤러, 상기 제2 컨트롤러, 상기 제3 컨트롤러 및 상기 제4 컨트롤러 중, 어느 하나가 상기 제1 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 다른 하나가 상기 제2 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 또 다른 하나가 상기 제3 연장 레일 이송 구동부를 제어하고, 또 다른 하나가 상기 제4 연장 레일 이송 구동부를 제어하는, 컨베이어 모듈.19. The method of claim 18,
When the dual conveyor module is coupled to the work zone module,
Wherein one of the first controller, the second controller, the third controller, and the fourth controller controls the first extension rail feed drive and the other controls the second extension rail feed drive, The other of which controls the third extension rail feed drive and the other of which controls the fourth extension rail feed drive.
상기 제어부는 상기 워크존 모듈에 선택적으로 결합되는 상기 셔틀 컨베이어 모듈 및 상기 듀얼 컨베이어 모듈에 전원 및 제어 신호를 제공하는 포트를 포함하고,
상기 셔틀 컨베이어 모듈을 상기 포트와 연결되는 셔틀 컨베이어 포트를 더 포함하고,
상기 듀얼 컨베이어 모듈은 상기 포트와 연결되는 듀얼 컨베이어 포트를 더 포함하는, 컨베이어 모듈.20. The method of claim 19,
Wherein the control unit includes a shuttle conveyor module selectively coupled to the work zone module and a port for providing power and control signals to the dual conveyor module,
Further comprising a shuttle conveyor port connected to said shuttle conveyor module,
Wherein the dual conveyor module further comprises a dual conveyor port connected to the port.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210113703A (en) * | 2020-03-09 | 2021-09-17 | 와이제이링크 주식회사 | Shuttle conveyor for expansion of pcb manufacturing line |
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JP2003327319A (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-19 | Tsubakimoto Chain Co | Resin rail for supporting top plate chain |
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-
2014
- 2014-02-28 KR KR1020140024227A patent/KR101910352B1/en active IP Right Grant
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