KR20150002461A - 유량 조정 기구 - Google Patents

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Abstract

튜브를 흐르는 유체의 유량을 용이하게 조정할 수 있는 저렴한 유량 조정 기구를 제공한다.
튜브를 흐르는 유체의 유량을 조정하는 유량 조정 기구으로서, 튜브를 접속하기 위한 접속 구멍을 구비한 이음 본체와, 이음 본체의 접속 구멍의 내주면에 장착되며 접속 구멍에 삽입된 튜브의 외주면을 거는 걸림 갈고리를 구비한 걸림 수단을 구비하는 튜브 연결 이음과, 튜브의 내직경에 대응한 외직경을 가지며 튜브의 선단부 내측에 감입하여 상기 걸림 수단의 걸림 갈고리에 의한 걸림력을 증대시키기 위한 이너 슬리브를 구비하고, 이너 슬리브는, 흐르는 유체의 유량에 대응하여 각종의 내직경으로 형성되어 있다.

Description

유량 조정 기구{FLOW RATE ADJUSTING APPARATUS}
본 발명은 튜브를 흐르는 유체의 유량을 조정하기 위한 유량 조정 기구에 관한 것이다.
반도체 디바이스 제조 공정에 있어서는, 대략 원판 형상인 반도체 웨이퍼의 표면에 격자형으로 배열된 스트리트라고 불리는 분할 예정 라인에 의해 복수의 영역이 구획되고, 이 구획된 영역에 IC, LSI 등의 디바이스를 형성한다. 이와 같이 구성된 반도체 웨이퍼는, 연삭 장치에 의해 이면이 연삭되어 정해진 두께로 형성된 후, 절삭 장치나 레이저 가공 장치 등에 의해 스트리트를 따라 개개의 디바이스로 분할된다.
반도체 웨이퍼 등의 웨이퍼의 이면을 연삭하는 연삭 장치는, 웨이퍼를 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 웨이퍼를 연삭하는 회전 스핀들에 장착된 연삭 휠을 구비한 연삭 수단과, 상기 연삭 수단에 의해 연삭된 웨이퍼를 세정하는 세정 수단 등을 구비하고 있다(예컨대, 특허문헌 1).
또한, 웨이퍼를 개개의 디바이스로 분할하는 절삭 장치는, 웨이퍼를 흡인 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 웨이퍼를 절삭하는 회전 스핀들에 장착된 절삭 블레이드를 구비한 절삭 수단과, 상기 절삭 수단에 의해 절삭된 웨이퍼를 세정하는 세정 수단 등을 구비하고 있다(예컨대, 특허문헌 2).
전술한 연삭 장치나 절삭 장치 등의 가공 장치에 있어서는, 척 테이블을 포함하는 많은 수단은 튜브를 통해 흡인원에 연결되고, 또한 스핀들 유닛을 포함하는 많은 수단은 튜브를 통해 고압 에어원에 연결되어 있다.
전술한 바와 같이 흡인원 또는 고압 에어원에 튜브를 통해 각각의 수단에 공급되는 에어는, 기능에 따라 필요로 하는 유량으로 조정할 필요가 있고, 이 때문에 적절한 스로틀 밸브를 통해 흡인원 또는 고압 에어원에 접속되어 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2005-153090호 공보 특허문헌 2: 일본 특허 공개 제2001-7058호 공보
그렇게 하여, 흡인원 또는 고압 에어원에 접속하는 유체 경로에 각각 스로틀 밸브를 배치하는 것은, 비교적 고가의 스로틀 밸브를 각종 갖추어 가공 장치를 구성할 필요가 있기 때문에, 비용이 높아진다고 하는 문제가 있다.
본 발명은 상기 사실을 감안하여 이루어진 것으로, 그 주된 기술 과제는, 튜브를 흐르는 유체의 유량을 용이하게 조정할 수 있는 저렴한 유량 조정 기구를 제공하는 것에 있다.
상기 주된 기술과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따르면, 튜브를 흐르는 유체의 유량을 조정하는 유량 조정 기구로서,
상기 튜브를 접속하기 위한 접속 구멍을 구비한 이음 본체와, 상기 이음 본체의 접속 구멍의 내주면에 장착되며 접속 구멍에 삽입된 상기 튜브의 외주면을 거는 걸림 갈고리를 구비한 걸림 수단을 구비하는 튜브 연결 이음과,
상기 튜브의 내직경에 대응하는 외직경을 가지며 상기 튜브의 선단부 내측에 감입하여 상기 걸림 수단의 걸림 갈고리에 의한 걸림력을 증대시키기 위한 이너 슬리브를 구비하고,
상기 이너 슬리브는 흐르는 유체의 유량에 대응하여 각종의 내직경으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 조정 기구가 제공된다.
상기 이너 슬리브는 내직경마다 색별되어 있는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 유량 조정 기구는, 튜브의 내직경에 대응한 외직경을 가지며튜브의 선단부 내측에 감입하여 걸림 수단의 걸림 갈고리에 의한 걸림력을 증대시키기 위한 이너 슬리브가 흐르는 유체의 유량에 대응하여 각종의 내직경으로 형성되어 있기 때문에, 스로틀 밸브를 각종 갖추어 가공 장치를 구성할 필요가 없어, 가공 장치의 비용 절감을 도모할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따라 구성된 유량 조정 기구의 구성 부재를 분해하여 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명에 따라 구성된 유량 조정 기구를 구성하는 튜브 연결 이음의 단면도.
도 3은 본 발명에 따라 구성된 유량 조정 기구의 단면도.
이하, 본 발명에 따라 구성된 유량 조정 기구의 적합한 실시형태에 대해서, 첨부 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 1에는 본 발명에 따라 구성된 유량 조정 기구의 구성 부재를 분해하여 나타내는 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 본 발명에 따라 구성된 유량 조정 기구를 구성하는 튜브 연결 이음의 단면도가 도시되어 있으며, 도 3에는 본 발명에 따라 구성된 유량 조정 기구의 단면도가 도시되어 있다.
도시된 실시형태에 있어서의 유량 조정 기구는, 튜브(2a와 2b와 2c)를 연결하기 위한 튜브 연결 이음(3)을 구비하고 있다. 이 튜브 연결 이음(3)은, 적절한 합성 수지에 의해 형성되며 3개의 접속 구멍(311a, 311b, 311c)을 구비한 이음 본체(31)를 구비하고 있고, 3개의 접속 구멍(311a, 311b, 311c)은 도시된 실시형태에 있어서는 내직경이 동일하게 형성되어 있으며 서로 연통되어 있다. 이음 본체(31)에 형성된 3개의 접속 구멍(311a, 311b, 311c)의 내주면에는, 각각 튜브(2a, 2b, 2c)가 삽입된 상태로 튜브(2a, 2b, 2c)의 외주면을 거는 걸림 수단(32a, 32b, 32c)이 배치되어 있다. 이 걸림 수단(32a, 32b, 32c)은, 각각 튜브(2a, 2b, 2c)의 외주면과 걸어 맞추는 복수의 걸림 갈고리(321)와, 상기 걸림 갈고리(321)를 접속 구멍(311a, 311b, 311c)의 내주면에 유지하는 갈고리 누름부(322)로 이루어져 있다.
상기 튜브 연결 이음(3)를 구성하는 이음 본체(31)에 마련된 3개의 접속 구멍(311a, 311b, 311c)의 단부에는, 각각 상기 걸림 갈고리(321)의 튜브(2a, 2b, 2c)의 외주면과의 걸어 맞춤을 해제하기 위한 통형의 릴리스 부시(33a, 33b, 33c)가 축 방향으로 미끄럼 이동 가능하게 배치되어 있다. 이 릴리스 부시(33a, 33b, 33c)의 외주면에는 각각 걸림부(331)가 마련되어 있고, 상기 걸림부(331)가 이음 본체(31)에 마련된 3개의 접속 구멍(311a, 311b, 311c)의 단부에 형성된 빠짐 방지부(312)와 접촉함으로써 빠짐 방지된다. 또한, 전술한 이음 본체(31)와, 걸림 갈고리(321)와 갈고리 누름부(322)로 이루어지는 걸림 수단(32a, 32b, 32c)과, 릴리스 부시(33a, 33b, 33c)의 구성은, 종래 공지의 구성이어도 좋고, 더욱 상세한 설명은 생략한다.
도 1 및 도 3을 참조하여 설명을 계속하면, 도시된 실시형태에 있어서의 유량 조정 기구는, 상기 튜브(2a, 2b, 2c)의 내직경에 대응한 외직경을 가지며 튜브(2a, 2b, 2c)의 선단부 내측에 감입하여 상기 걸림 수단(32a, 32b, 32c)의 걸림 갈고리(321)에 의한 걸림력을 증대시키기 위한 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)를 구비하고 있다. 이 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)는, 각각 튜브(2a, 2b, 2c)의 선단부 내측에 감입하는 튜브 유지부(41)와, 상기 튜브 유지부(41)의 일단에 직경 방향으로 형성된 플랜지부(42)로 이루어져 있다. 이와 같이 형성된 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)는, 흐르는 유체의 유량에 대응하여 각종의 내직경으로 형성되어 있다. 도시된 실시형태에 있어서는, 이너 슬리브(4a)의 내직경은 φ8 ㎜로 설정되고, 이너 슬리브(4b)의 내직경은 φ6 ㎜로 설정되며, 이너 슬리브(4c)의 내직경은 φ4 ㎜로 설정되어 있다. 또한, 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)는, 알루미늄 합금이나 스테인리스강 등의 금속 재료 혹은 적절한 합성 수지에 의해 형성할 수 있다. 또한, 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)는, 각각 내직경마다 색별하는 것이 바람직하다.
도시된 실시형태에 있어서의 튜브 연결 이음(3)은 이상과 같이 구성되어 있고, 튜브(2a, 2b, 2c)를 연결하기 위해서는, 튜브(2a, 2b, 2c)의 선단부에 각각 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)의 튜브 유지부(41)를 감입한다. 이때, 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)가 내직경마다 색별되어 있으면, 실수하는 일없이 확실하게 정해진 튜브(2a, 2b, 2c)에 감입할 수 있다. 다음에, 도 3에 나타내는 바와 같이 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)의 튜브 유지부(41)가 감입된 튜브(2a, 2b, 2c)의 선단부를 각각 릴리스 부시(33a, 33b, 33c)를 통과하여 접속 구멍(311a, 311b, 311c)에 삽입함으로써, 각각 걸림 수단(32a, 32b, 32c)의 걸림 갈고리(321)가 튜브(2a, 2b, 2c)의 외주면에 걸어 맞춰진다. 이 걸림 갈고리(321)가 튜브(2a, 2b, 2c)의 외주면에 걸어 맞춰짐으로써, 튜브(2a, 2b, 2c)의 빠짐이 방지된다.
이상과 같이 구성된 유량 조정 기구에 있어서는, 유체원으로부터 튜브(2a)에 유도된 유체는 이너 슬리브(4a)를 통하여 도입되고, 이너 슬리브(4b, 4c)를 통과하여 튜브(2b, 2c)로부터 정해진 장치에 유도된다. 도시된 실시형태에 있어서는, 이너 슬리브(4a)의 내직경은 φ8 ㎜로 설정되고, 이너 슬리브(4b)의 내직경은 φ6 ㎜로 설정되며, 이너 슬리브(4c)의 내직경은 φ4 ㎜로 설정되어 있기 때문에, 튜브(2a)에 32.5 리터/분의 에어가 공급되어 이너 슬리브(4a)를 통하여 도입되면, 이너 슬리브(4b)를 통하여 22.5 리터/분의 에어가 튜브(2b)에 유도되고, 이너 슬리브(4c)를 통하여 10.0 리터/분의 에어가 튜브(2c)에 유도된다.
또한, 튜브(2a, 2b, 2c)를 이음 본체(31)로부터 발취하는 경우에는, 각각 릴리스 부시(33a, 33b, 33c)를 걸림 갈고리(321)측으로 미끄럼 이동시켜 걸림 갈고리(321)와 튜브(2a, 2b, 2c)의 외주면의 걸어 맞춤을 해제함으로써, 튜브(2a, 2b, 2c)를 용이하게 발취할 수 있다.
이상과 같이 도시된 실시형태에 있어서의 유량 조정 기구는, 튜브(2a, 2b, 2c)의 내직경에 대응한 외직경을 가지며 튜브(2a, 2b, 2c)의 선단부 내측에 감입하여 상기 걸림 수단(32a, 32b, 32c)의 걸림 갈고리(321)에 의한 걸림력을 증대시키기 위한 이너 슬리브(4a, 4b, 4c)가 흐르는 유체의 유량에 대응하여 각종의 내직경으로 형성되어 있기 때문에, 스로틀 밸브를 각종 갖추어 가공 장치를 구성할 필요가 없어, 가공 장치의 비용 절감을 도모할 수 있다.
이상, 본 발명을 도시된 실시형태에 기초하여 설명하였지만, 본 발명은 실시형태에만 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 취지의 범위에서 여러가지의 변형은 가능하다. 예컨대, 전술한 실시형태에 있어서는, 에어의 유량을 조정하는 유량 조정 기구에 적용한 예를 나타내었지만, 본 발명에 따른 유량 조정 기구는 물이나 오일 등의 다른 유체의 유량 조정에 적용하여도 좋다.
2a, 2b, 2c: 튜브
3: 튜브 연결 이음
31: 이음 본체
311a, 311b, 311c: 접속 구멍
32a, 32b, 32c: 걸림 수단
321: 걸림 갈고리
33a, 33b, 33c: 릴리스 부시
4a, 4b, 4c: 이너 슬리브

Claims (2)

  1. 튜브를 흐르는 유체의 유량을 조정하는 유량 조정 기구로서,
    상기 튜브를 접속하기 위한 접속 구멍을 구비한 이음 본체와, 상기 이음 본체의 접속 구멍의 내주면에 장착되며 접속 구멍에 삽입된 상기 튜브의 외주면을 거는 걸림 갈고리를 구비한 걸림 수단을 구비하는 튜브 연결 이음과,
    상기 튜브의 내직경에 대응하는 외직경을 가지며 상기 튜브의 선단부 내측에 감입하여 상기 걸림 수단의 걸림 갈고리에 의한 걸림력을 증대시키기 위한 이너 슬리브를 구비하고,
    상기 이너 슬리브는 흐르는 유체의 유량에 대응하여 각종의 내직경으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유량 조정 기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 이너 슬리브는 내직경마다 색별되어 있는 유량 조정 기구.
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