KR20140145441A - Transparent sensing electrode for touch screen and method of preparing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 터치 스크린용 투명 감지 전극 및 그 제조방법에 관한 것이며, 보다 상세하게는 터치 감지의 민감도가 향상된 터치 스크린용 투명 감지 전극 및 그 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE
통상적으로 터치 스크린 패널은 손으로 접촉(touch)하면 그 위치를 입력 받도록 하는 특수한 입력장치를 장착한 스크린 패널이다. 이러한 터치 스크린 패널은 키보드를 사용하지 않고 스크린에 나타난 문자나 특정 위치에 사람의 손 또는 물체가 닿으면, 그 위치를 파악하여 저장된 소프트웨어에 의해 특정 처리를 할 수 있도록, 화면에서 직접 입력자료를 받을 수 있게 한 것으로 다층으로 적층되어 구성된다.Typically, the touch screen panel is a screen panel equipped with a special input device for inputting its position when touching by hand. Such a touch screen panel can receive input data directly from the screen so that the user can grasp the position of the touch screen or touch a specific position of the displayed character on the screen without using a keyboard, Which are stacked in layers.
스크린에 표시되는 영상의 시인성을 저하시키지 않으면서 터치된 부분을 인식하기 위해서는 투명 감지 전극의 사용이 필수적이며, 통상적으로 소정의 패턴으로 형성된 투명 감지 전극이 사용된다.In order to recognize the touched portion without lowering the visibility of the image displayed on the screen, it is necessary to use a transparent sensing electrode. In general, a transparent sensing electrode formed in a predetermined pattern is used.
터치 스크린 패널에 사용되는 투명 감지 전극 구조에는 여러가지가 소개되어 있으며, 예를 들면, GFF(Glass-ITO film-ITO film), G1F(Glass-ITO film), G2(Glass only) 구조 등을 들 수 있다.There are various kinds of transparent electrode structures used for touch screen panels. For example, GFF (Glass-ITO film-ITO film), G1F (Glass-ITO film) have.
예를 들면, 종래 투명 감지 전극 구조로 도 1에 도시된 구조를 들 수 있다.For example, the structure shown in FIG. 1 is a conventional transparent sensing electrode structure.
투명 감지 전극은 제1 감지 패턴(10)과 제2 감지 패턴(20)으로 형성될 수 있다. 제1 감지 패턴(10)과 제2 감지 패턴(20)은 서로 다른 방향으로 배치되어, 터치되는 지점의 X 좌표 및 Y 좌표에 대한 정보를 제공하게 된다. 구체적으로는, 사람의 손 또는 물체가 투명 기판에 접촉되면, 제1 감지 패턴(10), 제2 감지 패턴(20) 및 위치 검출라인을 경유하여 구동회로 측으로 접촉위치에 따른 정전용량의 변화가 전달된다. 그리고, X 및 Y 입력처리회로(미도시) 등에 의해 정전용량의 변화가 전기적 신호로 변환됨에 의해 접촉위치가 파악된다.The transparent sensing electrode may be formed of a
이와 관련하여, 제1 감지 패턴(10) 및 제2 감지 패턴(20)은 동일한 기판 상에 형성되며, 터치되는 지점을 감지하기 위해서는 각 패턴들은 전기적으로 연결되어야 한다. 그런데, 제2 감지 패턴(20)은 서로 연결된 형태이지만 제1 감지 패턴(10)은 섬(island) 형태로 분리된 구조로 되어 있으므로 제1 감지 패턴(10)을 전기적으로 연결하기 위해서는 별도의 연결 전극(브릿지)(50)이 필요하다. In this regard, the
하지만, 상기 연결 전극(50)은 제2 감지 패턴(20)과 전기적으로 연결되어서는 안되므로, 제2 감지 패턴(20)과는 다른 층에 형성되어야 한다. 이러한 구조를 나타내기 위해, 도 1의 A-A' 단면 중 연결 전극(50)이 형성된 부분의 확대도를 도 2에 도시하였다.However, since the
도 2를 참고하면, 제1 감지 패턴(10)과 제2 감지 패턴(20)은 그 위에 형성된 절연막(30)으로 서로 전기적으로 절연되어 있는 상태이다. 그리고, 전술한 바와 같이 제1 감지 패턴(10)은 전기적으로 연결될 필요가 있으므로, 연결 전극(50)을 사용하여 전기적으로 연결된다.Referring to FIG. 2, the
섬 형태로 분리된 제1 감지 패턴(10)을 제2 감지 패턴(20)과는 전기적으로 차단되면서도 연결 전극(50)으로 연결하기 위해서는, 절연막(30) 상에 콘택홀(40)을 형성한 후에, 별도의 연결 전극(50)을 형성하는 단계를 거칠 필요가 있다. In order to connect the
이와 같이 연결 전극(50)을 별도로 구비하는 투명 감지 전극은, 콘택홀(40) 및 연결 전극(50)을 형성하기 위한 별도의 공정이 필요하고, 제조 공정 중에 제1 감지 패턴(10) 및 제2 감지 패턴(20)이 전기적으로 단락되는 문제가 발생할 수도 있으며, 연결 전극과 감지 패턴 간의 콘택 저항으로 인해 전기 전도도가 저하되는 문제가 있다.The transparent sensing electrode separately provided with the
이러한 문제를 해결하기 위해, 한국공개특허 제2010-84263호는 또는 기판 상에 연결 전극을 먼저 형성한 후에 절연막 및 콘택홀을 형성하고 제1 감지 패턴 및 제2 감지 패턴을 형성하는 구조를 제안하여, 마스크 수 및 공정의 복잡성을 해결하고자 하였다. In order to solve this problem, Korean Patent Publication No. 2010-84263 proposes a structure in which a connection electrode is first formed on a substrate, and then an insulating film and a contact hole are formed and a first sensing pattern and a second sensing pattern are formed , The number of masks and the complexity of the process.
그러나, 한국공개특허 제2010-84263호 역시 별도의 연결 전극을 구비해야 하므로, 전술한 문제점을 근본적으로 해결하지는 못한다.
However, Korean Patent Publication No. 2010-84263 also requires a separate connecting electrode, which can not fundamentally solve the above-described problem.
본 발명은 별도의 연결 전극이 필요하지 않은 투명 감지 전극을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a transparent sensing electrode which does not require a separate connection electrode.
또한, 본 발명은 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴 사이의 간격이 좁아 터치 감지의 민감도가 향상된 투명 감지 전극을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.Another object of the present invention is to provide a transparent sensing electrode in which the interval between the first sensing pattern and the second sensing pattern is narrow and the sensitivity of the touch sensing is improved.
또한, 본 발명은 투명 감지 전극을 보다 간단한 하게 제조할 수 있는 투명 감지 전극의 제조방법을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.
It is another object of the present invention to provide a method of manufacturing a transparent sensing electrode which can more simply manufacture a transparent sensing electrode.
1. 제1 방향으로 형성되는 제1 감지 패턴과 제2 방향으로 형성되는 제2 감지 패턴, 및 상기 제1 감지 패턴만을 코팅하는 절연층을 구비하는 터치 스크린용 투명 감지 전극.1. A transparent sensing electrode for a touch screen comprising a first sensing pattern formed in a first direction, a second sensing pattern formed in a second direction, and an insulating layer coating only the first sensing pattern.
2. 위 1에 있어서, 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴의 교차점에서는 제2 감지 패턴이 상기 절연층 위에 형성되는 투명 감지 전극.2. The transparent sensing electrode of
3. 위 1에 있어서, 상기 절연층은 콘택홀을 구비하지 않는 투명 감지 전극.3. The transparent sensing electrode as in 1 above, wherein said insulating layer does not include a contact hole.
4. 위 1에 있어서, 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴은 동일한 기판 상에 형성되는 투명 감지 전극.4. The transparent sensing electrode as in 1 above, wherein the first sensing pattern and the second sensing pattern are formed on the same substrate.
5. 위 1에 있어서, 상기 제1 감지 패턴 및 제2 감지 패턴은 서로 독립적으로 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 인듐아연주석산화물(IZTO), 카드뮴주석산화물(CTO), PEDOT(poly(3,4-ethylenedioxythiophene)), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(graphene) 및 금속 나노 와이어로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나로 형성되는 투명 감지 전극.5. The method of
6. 위 1에 있어서, 상기 절연층은 유기 절연층 또는 무기 절연층인 투명 감지 전극.6. The transparent sensing electrode as in 1 above, wherein the insulating layer is an organic insulating layer or an inorganic insulating layer.
7. 기판 상에 형성된 제1 감지 패턴에 절연층을 코팅한 후, 제2 감지 패턴을 형성하는 투명 감지 전극의 제조방법.7. A method of manufacturing a transparent sensing electrode, comprising: coating an insulating layer on a first sensing pattern formed on a substrate to form a second sensing pattern;
8. 위 7에 있어서, 상기 제1 감지 패턴 및 제2 감지 패턴은 서로 독립적으로 포토리소그래피, 증착법 또는 인쇄법으로 형성되는, 투명 감지 전극의 제조방법.8. The method of manufacturing a transparent sensing electrode according to 7 above, wherein the first sensing pattern and the second sensing pattern are formed independently of each other by photolithography, vapor deposition or printing.
9. 위 7에 있어서, 상기 절연층은 포토리소그래피, 증착법 또는 인쇄법으로 형성되는, 투명 감지 전극의 제조방법.
9. The method of manufacturing a transparent sensing electrode according to 7 above, wherein the insulating layer is formed by photolithography, vapor deposition or printing.
본 발명의 투명 감지 전극은 별도의 연결 전극을 구비하지 않으므로, 연결 전극과 감지 패턴 간이 컨택 저항이 없고 그에 따라 전기 전도도가 우수하다. Since the transparent sensing electrode of the present invention does not have a separate connecting electrode, there is no contact resistance between the connecting electrode and the sensing pattern, and thus the electrical conductivity is excellent.
또한, 연결 전극을 형성하기 위한 콘택홀 형성 공정 및 연결 전극 형성 공정이 필요하지 않으므로 매우 간단하고 용이하게 투명 감지 전극을 형성할 수 있다.In addition, since a contact hole forming process for forming a connection electrode and a connection electrode formation process are not required, a transparent sensing electrode can be formed very simply and easily.
본 발명의 투명 감지 전극은 제1 감지 패턴 상에만 절연층을 형성하고 그 이후에 제2 감지 패턴을 형성하므로, 제2 감지 패턴 형성 시에 제1 감지 패턴과의 단락 문제를 고려할 필요가 없다. 따라서, 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴 간의 간격을 5㎛ 이하로 좁힐 수 있으며, 그에 따라 터치 감지의 민감도가 높은 투명 감지 전극의 구현이 가능하다.Since the transparent sensing electrode of the present invention forms an insulating layer only on the first sensing pattern and then forms a second sensing pattern, there is no need to consider a short circuit problem with the first sensing pattern at the time of forming the second sensing pattern. Accordingly, it is possible to narrow the gap between the first sensing pattern and the second sensing pattern to 5 μm or less, thereby realizing a transparent sensing electrode having high sensitivity of touch sensing.
또한, 본 발명의 투명 감지 전극은 감지 패턴 및 절연층의 소재에 따라 증착 외에 통상적인 인쇄 방식, 옵셋 인쇄, 스크린 인쇄 등의 방식으로 제조가 가능하여 제조 비용의 감소가 가능하다.
In addition, the transparent sensing electrode of the present invention can be manufactured by a conventional printing method, offset printing, screen printing, etc. in addition to the deposition according to the sensing pattern and the material of the insulating layer, thereby reducing the manufacturing cost.
도 1은 종래 투명 감지 전극의 개략적인 평면도이다.
도 2는 종래 투명 감지 전극의 개략적인 수직 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 감지 전극의 개략적인 평면도 및 수직 단면도(A-A')이다.
도 4는 도 3의 평면도에서 다른 방향(B-B')의 수직 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 감지 전극의 제조방법을 개략적으로 도시한 도면이다.1 is a schematic plan view of a conventional transparent sensing electrode.
2 is a schematic vertical cross-sectional view of a conventional transparent sensing electrode.
3 is a schematic plan view and a vertical sectional view (A-A ') of a transparent sensing electrode according to an embodiment of the present invention.
4 is a vertical cross-sectional view of the other direction (B-B ') in the plan view of Fig. 3;
5 is a view schematically showing a method of manufacturing a transparent sensing electrode according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 제1 방향으로 형성되는 제1 감지 패턴과 제2 방향으로 형성되는 제2 감지 패턴, 및 상기 제1 감지 패턴만을 코팅하는 절연층을 구비함으로써, 별도의 연결 전극이 필요 없이 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴의 형성될 수 있고, 높은 전기 전도도를 가지며, 터치 감지의 민감도를 개선할 수 있는 터치 스크린용 투명 감지 전극 및 그 제조방법에 관한 것이다.
According to the present invention, there is provided a first sensing pattern formed in a first direction, a second sensing pattern formed in a second direction, and an insulating layer coating only the first sensing pattern, The present invention relates to a transparent sensing electrode for a touch screen capable of forming a pattern and a second sensing pattern and having a high electrical conductivity and improving the sensitivity of touch sensing, and a method of manufacturing the same.
이하에서는, 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하도록 한다. 다만, 본 명세서에 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 것이며, 전술한 발명의 내용과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 그러한 도면에 기재된 사항에만 한정되어 해석되어서는 아니된다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. It is to be understood that both the foregoing general description and the following detailed description of the present invention are exemplary and explanatory and are intended to provide further explanation of the invention as claimed. And shall not be construed as limited to such matters.
도 3에는 본 발명의 투명 감지 전극의 일 실시예의 개략적인 평면도 및 수직단면도(A-A')가 도시되어 있다.Fig. 3 shows a schematic plan view and a vertical sectional view (A-A ') of one embodiment of the transparent sensing electrode of the present invention.
본 발명의 투명 감지 전극은 제1 감지 패턴(210), 제2 감지 패턴(220) 및 절연층(300)을 포함하며, 상기 절연층(300)은 제1 감지 패턴(210)만을 코팅한다.The transparent sensing electrode of the present invention includes a
평면 상에서 터치되는 부분을 알기 위해서는 x좌표 및 y좌표가 모두 검출되어야 하므로, 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴은 서로 다른 방향으로 형성되어 터치 스크린 표면을 모두 덮게 된다. 예를 들면, 평면 상에서 제1 감지 패턴이 x좌표 방향으로 형성된다면, 제2 감지 패턴은 y좌표 방향으로 형성된다. 따라서, 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴이 교차하게 되는 교차점이 존재하게 되는데, 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴은 전기적으로 절연된 상태를 유지해야 한다.In order to know the portion to be touched on the plane, both the x-coordinate and the y-coordinate must be detected, so that the first sensing pattern and the second sensing pattern are formed in different directions to cover the entire surface of the touch screen. For example, if the first sensing pattern is formed in the x-coordinate direction on the plane, the second sensing pattern is formed in the y-coordinate direction. Therefore, there is an intersection at which the first sensing pattern and the second sensing pattern intersect, and the first sensing pattern and the second sensing pattern must be electrically insulated.
따라서, 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴은 전기적으로 절연된 상태를 유지하면서 각자는 전기적으로 연결된 상태가 되어야 하는데, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1 감지 패턴과 제2 감지 패턴 전부에 절연막이 형성된 구조를 가지는 종래의 투명 감지 전극은 제2 감지 패턴을 교차점을 기준으로 전기적으로 분리된 섬 형태로 형성한 후, 교차점에서는 절연막에 콘택홀을 형성하고, 콘택홀을 통하여 전기적으로 분리된 제2 감지 패턴을 전기적으로 연결하는 별도의 연결 전극을 형성하였다. 이러한 종래의 구조는 전술한 바와 같이 콘택 저항, 제조 공정의 복잡성 등의 문제를 갖는다.1 and 2, the first sensing pattern and the second sensing pattern are electrically insulated from each other while the first sensing pattern and the second sensing pattern are electrically isolated from each other, A conventional transparent sensing electrode having a structure in which an insulating film is formed on the entire surface is formed by forming a second sensing pattern into an electrically isolated island shape with reference to an intersection point, forming a contact hole in the insulating film at an intersection, A separate connecting electrode for electrically connecting the separated second sensing patterns was formed. Such a conventional structure has problems such as contact resistance and complicated manufacturing process as described above.
이러한 콘택 저항 문제를 해결하기 위해, 종래의 투명 감지 전극 구조는 연결 전극을 감지 패턴보다 전기 전도도가 높지만 불투명한 소재를 사용하거나 복수의 연결 전극을 형성하는 방식을 채택해왔으나, 이는 투명 감지 전극의 투명성을 저해하거나 공정이 복잡해지는 문제가 있다.In order to solve such a contact resistance problem, the conventional transparent sensing electrode structure has adopted a method in which opaque material is used or a plurality of connecting electrodes are formed although the connecting electrode is higher in electrical conductivity than the sensing pattern. However, There is a problem that the transparency is impaired or the process becomes complicated.
이에, 본 발명은 제1 감지 패턴(210)만을 코팅하는 절연층(300)을 구비함으로써 종래의 문제점을 해결한다. 즉, 본 발명은 제1 감지 패턴(210) 상에 형성된 절연층(300)은 제1 감지 패턴(210)과 제2 감지 패턴(220)의 전기적 절연을 달성함과 동시에, 제2 감지 패턴(220)이 종래와 같이 분리된 섬 형태로 형성될 필요가 없고 따라서 별도의 연결 전극도 필요하지 않는 구조이다.Accordingly, the present invention solves the conventional problem by providing the insulating
이와 관련하여, 도 3의 평면도에서 B-B' 방향 수직단면도가 도 4에 도시되어 있다. 도 4를 참고하면, 제2 감지 패턴(220)은 별도의 연결 전극 없이 전체가 한 번에 형성되며, 교차점 부분에서는 절연층(300) 위로 형성된다. 이와 같은 구조를 갖는 본 발명의 투명 감지 전극은 별도의 연결 전극이 필요 없으므로 콘택 저항 문제의 발생 여지가 없어 종래의 투명 감지 전극보다 전기 전도도가 비약적으로 향상된다. In this regard, a vertical sectional view in the B-B 'direction in the plan view of Fig. 3 is shown in Fig. Referring to FIG. 4, the
아울러, 종래의 투명 감지 전극 구조에서 별도의 연결 전극을 형성하기 위해서는 제2 감지 패턴을 덮고 있는 절연막을 타공하여 별도의 콘택홀을 형성해야만 하는데, 본 발명은 도 4에 도시된 바와 같이, 절연층(300)이 제1 감지 패턴(210)만을 코팅하고 있으므로, 제2 감지 패턴(220)은 절연층(300) 위로 바로 형성되면 되고 콘택홀을 따로 구비할 필요는 없다. 따라서, 콘택홀을 형성하기 위한 별도의 공정이나 설비도 필요하지 않으므로 보다 간단하고 용이하게 투명 감지 전극을 형성할 수 있다.In addition, in order to form a separate connection electrode in the conventional transparent sensing electrode structure, an insulating film covering the second sensing pattern must be formed to form a separate contact hole. In the present invention, as shown in FIG. 4, The
또한, 본 발명의 투명 감지 전극은 구조상 제1 감지 패턴(210)과 제2 감지 패턴(220)이 별도의 공정으로 형성되며, 제2 감지 패턴(220) 형성 시에 제1 감지 패턴(210)은 절연층(300)에 코팅되어 있으므로, 패턴 간의 단락 문제를 고려하지 않고 각 패턴을 좁은 간격으로 형성할 수 있다. 따라서, 본 발명의 투명 감지 전극은 예를 들면, 제1 감지 패턴(210)과 제2 감지 패턴(220)이 5㎛ 이하의 간격을 가질 수 있다. 감지 패턴 간의 간격이 좁을수록 정전용량이 커지므로 터치 감지의 민감도는 증가하여, 본 발명의 투명 감지 전극은 높은 터치 감지의 민감도를 가질 수 있다.The
제1 감지 전극(210) 및 제2 감지 전극(220)은 당분야에서 투명 감지 전극의 패턴에 통상적으로 사용되는 소재로 형성될 수 있다. 예를 들면, 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 인듐아연주석산화물(IZTO), 카드뮴주석산화물(CTO), PEDOT(poly(3,4-ethylenedioxythiophene)), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(graphene), 금속 나노 와이어 등을 들 수 있다. 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.The
금속 나노 와이어에 사용되는 금속은 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 은(Ag), 금, 알루미늄, 구리, 철, 니켈, 티타늄, 텔레늄, 크롬 등을 들 수 있다. 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다.The metal used for the metal nanowire is not particularly limited and examples thereof include silver (Ag), gold, aluminum, copper, iron, nickel, titanium, tellurium, chromium and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
절연층(300)은 당분야에서 투명 감지 전극의 패턴에 통상적으로 사용되는 소재로 형성될 수 있다. 예를 들면, 유기 절연층 또는 무기 절연층이 사용될 수 있으며, 유기 절연층으로는 당분야에서 사용되는 광경화형 또는 열경화형 절연 수지가 특별한 제한 없이 사용될 수 있으며, 무기 절연층으로는 SiO2 등의 금속 산화물이 사용될 수 있다.
The insulating
또한, 본 발명은 전술한 투명 감지 전극의 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method of manufacturing the transparent sensing electrode.
도 5에는 본 발명에 따른 투명 감지 전극의 제조방법의 일 실시예가 개략적으로 도시되어 있다.FIG. 5 schematically shows an embodiment of a method of manufacturing a transparent sensing electrode according to the present invention.
도 5를 참고하면, 먼저 기판(100) 상에 제1 감지 패턴(210)을 형성한다.Referring to FIG. 5, a
제1 감지 패턴(210)의 형성 방법은 특별히 제한되지 않으며, 패턴의 소재에 따라 적절하게 선택될 수 있다. 예를 들어, 인듐주석산화물(ITO), 인듐아연산화물(IZO), 아연산화물(ZnO), 인듐아연주석산화물(IZTO), 카드뮴주석산화물(CTO) 등의 금속 산화물을 사용한다면 화학기상증착과 같은 증착법 또는 포토리소그래피를 사용할 수 있으며, PEDOT(poly(3,4-ethylenedioxythiophene)), 탄소나노튜브(CNT), 그래핀(graphene), 금속 나노 와이어 등을 사용한다면 인쇄법, 포토리소그래피 등을 사용할 수 있다. 인쇄법으로는 옵셋 인쇄, 스크린 인쇄 등을 들 수 있다.The method of forming the
제1 감지 패턴(210)을 형성한 후에는, 상기 제1 감지 패턴(210)을 절연 소재로 코팅하여 절연층(300)을 형성한다. 절연층(300)은 제1 감지 패턴(210)이 외부와 전기적으로 충분하게 절연이 될 수 있도록 제1 감지 패턴(210)을 감싸며 코팅한다. 절연층(300)이 제1 감지 패턴(210)을 충분히 감싸도록 형성되는 형태나 위치, 면적 등에 특별한 제한은 없으나, 이후 형성될 제2 감지 패턴(220)이 형성될 위치에는 형성되지 않는 것이 바람직하다. 또한, 제1 감지 패턴(210)과 제2 감지 패턴(220) 사이의 간격을 좁히기 위해서 가능한 얇게 형성되는 것이 바람직하다.After the
절연층(300)의 형성 방법은 당분야에서 사용되는 방법이 특별히 제한되지 않고 적용될 수 있으며, 패턴의 소재에 따라 적절하게 선택될 수 있다. 예를 들어, 유기 절연층인 경우에는 포토리소그래피 또는 인쇄법 등을 사용할 수 있으며, 무기 절연층인 경우에는 포토리소그래피 또는 증착법을 사용할 수 있다.The method of forming the insulating
절연층(300)이 형성된 후에는, 기판(100) 상의 미리 정해진 위치에 제2 감지 패턴(220)을 형성한다.After the insulating
제2 감지 패턴(220)은 제1 감지 패턴(210)과는 다른 방향으로 형성되며, 한 번의 공정으로 전기적으로 연결된 제2 감지 패턴(220)이 형성된다. 제1 감지 패턴(210)과의 교차점에서는 이미 형성된 절연층(300) 위에 형성되어 전체적으로 전기적 연결이 끊어지지 않도록 형성된다.The
전술한 바와 같이, 제2 감지 패턴(220)은 제1 감지 패턴(210)과 간격이 가능한 한 가깝게 형성되는 것이 바람직하다. 본 발명에 따르면 제2 감지 전극(220)은 제1 감지 전극(210)과 별도로 형성되고, 제2 감지 패턴(220) 형성 시에 제1 감지 패턴(210)은 절연층(300)에 코팅되어 있으므로, 제1 감지 패턴과의 단락 문제를 고려할 필요가 없다. 따라서, 그 간격 조절이 용이하며 가까운 간격으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 제1 감지 패턴(210)과의 간격이 5㎛ 이하인 것이 바람직하다. 간격은 가까울수록 바람직하므로 하한은 특별히 한정되지 않으나, 예를 들면 1㎛일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 상기와 같은 간격을 갖는 본 발명의 투명 감지 전극은 우수한 터치 감지 민감도를 갖는다.As described above, it is preferable that the
제2 감지 패턴(220)의 형성 방법은 제1 감지 패턴(210)과 동일한 범위의 방법이 채택될 수 있다.
The
1, 100: 기판
10, 210: 제1 감지 패턴 20, 220: 제2 감지 패턴
30, 300: 절연층
40: 콘택홀 50: 연결 전극1, 100: substrate
10, 210:
30, 300: insulating layer
40: contact hole 50: connecting electrode
Claims (9)
A transparent sensing electrode for a touch screen, comprising: a first sensing pattern formed in a first direction; a second sensing pattern formed in a second direction; and an insulating layer coating only the first sensing pattern.
The transparent sensing electrode according to claim 1, wherein a second sensing pattern is formed on the insulating layer at an intersection of the first sensing pattern and the second sensing pattern.
The transparent sensing electrode according to claim 1, wherein the insulating layer does not include a contact hole.
The transparent sensing electrode according to claim 1, wherein the first sensing pattern and the second sensing pattern are formed on the same substrate.
The method of claim 1, wherein the first sensing pattern and the second sensing pattern are formed of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), zinc oxide (ZnO), indium zinc tin oxide (IZTO) (CTO), poly (3,4-ethylenedioxythiophene), carbon nanotube (CNT), graphene, and metal nanowires.
The transparent sensing electrode according to claim 1, wherein the insulating layer is an organic insulating layer or an inorganic insulating layer.
A method of manufacturing a transparent sensing electrode, comprising: coating an insulating layer on a first sensing pattern formed on a substrate to form a second sensing pattern;
8. The method of claim 7, wherein the first sensing pattern and the second sensing pattern are independently formed by photolithography, deposition, or printing.
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