KR20140141379A - 레이저 빔 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 - Google Patents

레이저 빔 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

일 측면에 따르면, 레이저 광원; 상기 레이저 광원에서 발진된 광을 평행광으로 변경시키는 콜리메이터; 상기 평행광의 조사 방향을 조절하는 스캐너; 상기 스캐너를 통과한 광을 초점이 맺히게 하여 밀봉부에 레이저 빔을 조사하는 제1 렌즈부; 상기 스캐너를 통과하는 가시광이 투사되는 카메라; 상기 스캐너를 통과하는 적외선이 투사되는 열감지부; 및 상기 레이저 빔의 이동 방향 및 세기를 제어하는 제어부;를 구비하는 레이저 빔 조사 장치를 제공한다.

Description

레이저 빔 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법{Laser beam irradiation apparatus and manufacturing method of organic light emitting display device using the same}
본 발명은 기판 밀봉에 사용되는 레이저 빔 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
근래에 디스플레이 장치는 휴대가 가능한 박형의 평판 디스플레이 장치로 대체되는 추세이다. 평판 디스플레이 장치 중에서도 전계 발광 디스플레이 장치는 자발광형 디스플레이 장치로서 시야각이 넓고 콘트라스트(contrast)가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로 주목을 받고 있다. 또한 발광층이 유기물로 구성되는 유기 발광 디스플레이 장치는 무기 발광 디스플레이 장치에 비해 휘도, 구동 전압 및 응답속도 특성이 우수하고 다색화가 가능하다는 점을 가진다.
통상적인 유기 발광 디스플레이 장치는 한 쌍의 전극 사이에 발광층을 포함한 적어도 하나 이상의 유기층이 개재된 구조를 가진다.
이와 같은 유기 발광 디스플레이 장치는 주변 환경으로부터 수분이나 산소가 소자 내부로 유입될 경우, 전극 물질의 산화, 박리 등으로 유기 발광 소자의 수명이 단축되고, 발광 효율이 저하될 뿐만 아니라 발광색의 변질 등과 같은 문제점들이 발생한다.
따라서, 유기 발광 디스플레이 장치의 제조에 있어서, 유기 발광 소자를 외부로부터 격리하여 수분이 침투하지 못하도록 밀봉(sealing) 처리가 통상적으로 수행되고 있다. 이와 같은 밀봉 처리 방법으로, 통상적으로는 유기 발광 디스플레이 장치의 제2 전극 상부에 무기 박막 및 PET(polyester) 등과 같은 유기 고분자를 라미네이팅하는 방법이 사용되거나, 봉지(encap) 기판 내부에 흡습제을 형성하고 봉지 기판 내부에 질소가스를 충진시킨 후 봉지 기판의 가장자리를 에폭시와 같은 실런트(sealant)로 봉합하는 방법이 사용되고 있다.
그러나, 이러한 방법들은 외부에서 유입되는 수분이나 산소 등의 유기 발광 소자 파괴성 인자들을 100% 차단하는 것이 불가능하여 수분에 특히 취약한 유기 발광 디스플레이 장치에 적용하기에는 불리하며 이를 구현하기 위한 공정도 복잡하다. 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 실런트로 프릿(frit)을 사용하여 유기 발광 소자 기판과 봉지 기판 간의 밀착성을 향상시키는 기판 봉합 방법이 고안되었다.
유리 기판에 프릿(frit)을 도포하여 유기 발광 디스플레이 장치를 밀봉하는 구조를 사용함으로써, 유기 발광 소자 기판과 봉지 기판 사이가 완전하게 밀봉되므로 더욱 효과적으로 유기 발광 디스플레이 장치를 보호할 수 있다.
프릿으로 기판을 밀봉하는 방법은 프릿을 각각의 유기 발광 디스플레이 장치의 실링부에 도포한 뒤, 레이저 빔 조사 장치가 이동하며 각각의 유기 발광 디스플레이 장치의 밀봉부에 레이저 빔을 조사하여 프릿을 경화시켜서 기판을 밀봉한다.
본 발명은 부분적으로 원하는 레이저 세기를 밀봉부에 전달할 수 있는 레이저 빔 조사 장치, 및 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
일 측면에 따르면, 레이저 광원; 상기 레이저 광원에서 발진된 광을 평행광으로 변경시키는 콜리메이터; 상기 평행광의 조사 방향을 조절하는 스캐너; 상기 스캐너를 통과한 광을 초점이 맺히게 하여 밀봉부에 레이저 빔을 조사하는 제1 렌즈부; 상기 스캐너를 통과하는 가시광이 투사되는 카메라; 상기 스캐너를 통과하는 적외선이 투사되는 열감지부; 및 상기 레이저 빔의 이동 방향 및 세기를 제어하는 제어부;를 구비하는 레이저 빔 조사 장치를 제공한다.
상기 콜리메이터를 통과한 평행광을 상기 스캐너로 반사시키고, 상기 스캐너로 입사되는 상기 레이저 광원과 동일한 파장의 빛을 여과시키는 제1 색선별거울;을 더 포함할 수 있다.
상기 가시광을 반사시켜 상기 카메라로 조사하고, 상기 적외선은 통과시켜 상기 열감지부로 조사하는 제2 색선별거울;을 더 포함할 수 있다.
상기 밀봉부에 광을 조사하는 조명부를 더 포함할 수 있다.
상기 제어부의 제어하에 상기 레이저 빔이 회전 운동하면서 제1 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 회전 운동의 주파수는 50Hz 이상일 수 있다.
상기 회전 운동은 상기 레이저 빔이 중첩되지 않게 이루어질 수 있다.
상기 스캐너는 상기 회전 운동을 수행하는 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)를 포함하고, 상기 제어부는 상기 갈바노미터 미러를 제어하는 프로그램을 구비할 수 있다.
상기 레이저 빔 조사 장치는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 제1 방향을 따라 직선 운동을 할 수 있다.
상기 밀봉부 하부에 기판 스테이지가 더 구비되고, 상기 기판 스테이지는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 제1 방향을 따라 직선 운동을 할 수 있다.
상기 레이저 빔은 상기 회전 운동을 하면서 레이저 빔의 세기가 변할 수 있다.
상기 레이저 빔은 상기 회전 운동 중에 45° 간격으로 레이저 빔의 세기가 변할 수 있다.
상기 레이저 빔은 스폿(spot) 빔 형태로 조사될 수 있다.
상기 스폿 빔의 직경은 상기 밀봉부의 폭보다 작을 수 있다.
상기 밀봉부는 프릿을 포함할 수 있다.
다른 측면에 따르면, 레이저 광원; 상기 레이저 광원에서 발진된 광을 평행광으로 변경시키는 콜리메이터; 상기 평행광의 조사 방향을 조절하는 스캐너; 상기 스캐너를 통과한 광을 반사시키는 제3 색선별거울; 상기 제3 색선별거울에서 반사된 광을 초점이 맺히게 하여 밀봉부에 레이저 빔을 조사하는 제2 렌즈부; 상기 제2 렌즈부로 입사되는 가시광이 상기 제3 색선별거울을 통과한 후에 투사되는 카메라; 상기 제2 렌즈부로 입사되는 적외선이 상기 제3 색선별거울을 통과한 후에 투사되는 열감지부; 및 상기 레이저 빔의 이동 방향 및 세기를 제어하는 제어부;를 구비하는 레이저 빔 조사 장치를 제공한다.
상기 제3 색선별거울을 통과한 가시광은 반사시키고, 상기 제3 색선별거울을 통과한 적외선은 통과시켜 상기 열감지부로 조사하는 제4 색선별거울;을 더 포함할 수 있다.
상기 제3 색선별거울에서 반사된 가시광을 반사시켜 상기 카메라로 조사하는 제5 색선별거울;을 더 포함할 수 있다.
상기 밀봉부에 광을 조사하는 조명부를 더 포함할 수 있다.
상기 제어부의 제어하에 상기 레이저 빔이 회전 운동하면서 제1 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 회전 운동의 주파수는 50Hz 이상일 수 있다.
상기 회전 운동은 상기 레이저 빔이 중첩되지 않게 이루어질 수 있다.
상기 스캐너는 상기 회전 운동을 수행하는 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)를 포함하고, 상기 제어부는 상기 갈바노미터 미러를 제어하는 프로그램을 구비할 수 있다.
상기 레이저 빔 조사 장치는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 제1 방향을 따라 직선 운동을 할 수 있다.
상기 밀봉부 하부에 기판 스테이지가 더 구비되고, 상기 기판 스테이지는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 제1 방향을 따라 직선 운동을 할 수 있다.
상기 레이저 빔은 상기 회전 운동을 하면서 레이저 빔의 세기가 변할 수 있다.
상기 레이저 빔은 상기 회전 운동 중에 45° 간격으로 레이저 빔의 세기가 변할 수 있다.
상기 레이저 빔은 스폿(spot) 빔 형태로 조사될 수 있다.
상기 스폿 빔의 직경은 상기 밀봉부의 폭보다 작을 수 있다.
상기 밀봉부는 프릿을 포함할 수 있다.
일 측면에 따르면, (a) 제1 기판 또는 제2 기판 상에 유기 발광부를 형성하는 단계; (b) 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 상기 유기 발광부를 둘러싸도록 밀봉부를 형성하는 단계; (c) 상기 제1 기판과 제2 기판을 정렬하는 단계; (d) 레이저 빔의 조사 방향을 조절하는 스캐너와, 상기 레이저 빔의 이동 방향 및 세기를 제어하는 제어부를 구비한 레이저 빔 조사 장치를 이용하여, 상기 레이저 빔이 회전 운동하면서 상기 밀봉부의 경로을 따라 이동하고, 상기 레이저 빔이 회전 운동하면서 상기 레이저 빔의 세기가 변하도록 상기 레이저 빔을 조사하는 단계;를 포함하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공한다.
상기 제1 기판 및 제2 기판 중 적어도 하나의 기판은 레이저 빔을 통과시킬 수 있다.
상기 회전 운동의 주파수는 50Hz 이상일 수 있다.
상기 회전 운동은 상기 레이저 빔이 중첩되지 않게 이루어질 수 있다.
상기 스캐너는 상기 회전 운동을 수행하는 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)를 포함하고, 상기 제어부는 상기 갈바노미터 미러를 제어하는 프로그램을 구비할 수 있다.
상기 레이저 빔 조사 장치는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 밀봉부의 경로를 따라 직선 운동을 할 수 있다.
상기 제1 기판 및 제2 기판 하부에 기판 스테이지가 더 구비되고, 상기 기판 스테이지는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 밀봉부의 경로를 따라 직선 운동을 할 수 있다.
상기 레이저 빔은 상기 회전 운동 중에 45° 간격으로 레이저 빔의 세기가 변할 수 있다.
상기 레이저 빔은 스폿(spot) 빔 형태로 조사될 수 있다.
상기 스폿 빔의 직경은 상기 밀봉부의 폭보다 작을 수 있다.
상기 밀봉부는 프릿을 포함할 수 있다.
상기 프릿은 상기 유기 발광부 주위를 둘러싸도록 폐루프(closed loop)를 형성할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 주변 소자들의 열 손상 없이 고품질의 프릿 실링 공정을 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 레이저 빔 조사 장치를 이용하여 유기 발광 디스플레이 장치의 밀봉부를 밀봉하는 방법을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 상면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔 조사 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 빔 조사 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예의 따른 레이저 빔의 운동 경로를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔의 회전 운동과 직선 운동을 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔의 회전 운동 중에 레이저 빔의 세기 변화를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 레이저 빔 조사 장치(1, 2)를 이용하여 유기 발광 디스플레이 장치(1000)의 밀봉부(40)를 밀봉하는 방법을 개략적으로 도시한 단면도이다. 도 2는 도 1의 상면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제1 기판(10)과 제2 기판(20) 사이에 유기 발광부(30) 및 상기 유기 발광부(30)를 둘러싸는 밀봉부(40)가 배치되고, 상기 밀봉부(40)에 레이저 빔 조사 장치(1, 2)에서 조사된 레이저 빔(60)이 조사된다.
제1 기판(10) 상에 유기 발광부(30)가 형성된다. 제1 기판(10)은 글라스 재 기판일 수 있다.
제2 기판(20)은 제1 기판(10) 상에 형성된 유기 발광부(30)를 봉지하는 봉지 기판으로서, 후술할 레이저 빔(60)이 투과될 수 있는 것으로, 바람직하게는 글라스 재 기판을 사용할 수 있다.
유기 발광부(30)는 제1 전극(미도시)과 제2 전극(미도시) 사이에 발광층을 포함한 적어도 하나 이상의 유기층(미도시)이 개재된 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Device: 0LED)(미도시)를 적어도 하나 이상 포함한다. 여기서, 제1 전극(미도시)과 제2 전극(미도시)은 각각 정공을 주입하는 양극(Anode) 및 전자를 주입하는 음극(Cathode)의 기능을 수행할 수 있다.
유기 발광 소자(미도시)는, 각 유기 발광 소자의 구동을 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor: TFT)로 제어하는지 여부에 따라 수동 구동 형(Passive Matrix: PM) 및 능동 구동형(Active Matrix: AM)으로 나뉠 수 있다. 본 실시예에서는 능동 및 수동 구동형 어느 경우에도 적용될 수 있다.
제2 기판(20) 상에는 전술한 유기 발광부(30)를 둘러싸는 위치에 대응되는 위치에 밀봉부(40)가 형성된다.
밀봉부(40)는 유기 발광부(30)와 외부의 수분이나 산소와의 접촉을 차단하기 위하여 폐루프(closed loop)를 형성하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 도면에는 폐루프를 이루는 밀봉부(40)의 각 모서리 부분이 일정한 곡률을 갖는 곡선으로 형성되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 밀봉부(40)의 각 모서리 부분은 곡률 없이 직교하는 형상을 이룰 수도 있다.
본 실시예에서 제1 기판(10)과 제2 기판(20)의 기밀성을 확보하여 유기 발광부(30)를 더욱 효과적으로 보호하기 위하여 밀봉부(40)로 프릿(frit)을 사용하였다. 프릿은 스크린 인쇄법(screen printing) 또는 펜 디스펜싱법(pen dispensing) 등 다양한 방법에 의해 소정 일정한 폭(Frit With: FW)을 갖도록 형성된다.
한편, 본 실시에에서는 밀봉부(40)를 제2 기판(20) 상에 형성하고, 유기 발광부(30)를 제1 기판(10) 상에 형성하여 제1 기판(10)과 제2 기판(20)을 정렬하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예컨대 밀봉부(40)는 유기 발광부가 형성된 제1 기판(10) 상에 형성되어 제2 기판(20)과 정렬된 후 합착 될 수도 있다.
또한, 상기 도면에는 하나의 유기 발광부(30)가 구비된 경우를 도시하고 있지만, 본 발명은 제1 기판(10)과 제2 기판(20) 사이에 복수개의 유기 발광부(30)와, 복수개의 유기 발광부(30)를 둘러싸는 복수개의 밀봉부(40)를 포함하는 경우에도 적용될 수 있음은 물론이다.
레이저 빔 조사 장치(1, 2)는 제1 기판(10)과 제2 기판(20) 사이에 배치된 밀봉부(40)의 경로를 따라 회전 운동을 하면서 이동하는 레이저 빔(60)을 조사한다. 레이저 빔(60)은 플랫 탑(flat top) 프로파일을 갖는 스폿 빔(spot beam) 형태로 밀봉부(40)에 조사된다.
한편, 상기 제1 기판(10) 하부에는 제1 기판(10)이 안착되는 기판 스테이지(70)가 배치된다. 기판 스테이지(70)를 이동시킴으로써, 밀봉부(40)에 조사되는 레이저 빔(60)의 위치를 상대적으로 이동시킬 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔 조사 장치(1)를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 레이저 빔 조사 장치(1)는 레이저 광원(110), 스캐너(120), 제1 렌즈부(130), 카메라(140), 열감지부(150), 제어부(160), 조명부(170), 제1 색선별거울(181) 및 제2 색선별거울(182)를 포함할 수 있다.
레이저 광원(110)에서 레이저 광이 생성될 수 있다. 보다 상세하게는, 레이저 광원(110)에서 808nm의 파장을 가지는 레이저 광이 발진될 수 있다.
콜리메이터(collimator)(115)가 레이저 광원(110)의 광이 출사되는 부분에 연결될 수 있다. 콜리메이터(115)는 레이저 광원(110)에서 발진된 광을 평행광으로 변경시킨다. 콜리메이터(115)는 50mm의 초점거리를 가질 수 있다.
스캐너(120)가 콜리메이터(115)를 통과한 평행광(191)의 광경로에 배치될 수 있다. 콜리메이터(115)를 통과한 평행광(191)은 제1 색선별거울(181)에 의해 스캐너(120)로 반사될 수 있다.
스캐너(120)는 콜리메이터(115)를 통과한 평행광(191)을 반사하여 밀봉부(40)로 조사하는 반사부(미도시), 반사부를 구동하는 구동부(미도시) 등을 포함할 수 있다. 반사부(미도시) 중의 일부는 본 실시예에 따른 레이저 빔(60)의 회전 운동과 같이, 레이저 빔의 위치와 속도를 정밀하게 제어하는 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)를 사용할 수 있다. 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)는 450nm 내지 2600nm 파장대에서 하이 리플렉티브(high reflective)일 수 있다.
제1 렌즈부(130)가 스캐너(120)를 통과한 광의 광경로에 배치될 수 있다. 스캐너(120)를 통과한 광은 제1 렌즈부(130)에 의해 집광될 수 있다. 제1 렌즈부(130)는 에프-시터 렌즈(F-theta lens) 등을 포함할 수 있다. 에프-시터 렌즈(F-theta lens)는 80mm의 초점 거리를 가질 수 있다.
밀봉부(40)에서 반사된 모든 파장의 빛은 스캐너(120)를 통과한다.
카메라(140)에는 밀봉부(40)에서 반사된 가시광(193)이 투사된다. 카메라(140)에 의해 실링(sealing)과 동시에 시각적 정보를 받을 수 있다. 카메라(140)는 CCD 카메라일 수 있다.
카메라(140)에 포커싱 렌즈(143)가 결합될 수 있다. 포커싱 렌즈(143)는 배율 조정용으로 쓰일 수 있다. 포커싱 렌즈(143)는 80mm의 초점 거리를 가질 수 있다. 포커싱 렌즈(143)에 밴드패스 필터(bandpass filter)(146)가 결합될 수 있다. 밴드패스 필터(146)는 532nm 내지 615nm 파장대의 빛만 통과시키는 필터일 수 있다.
열감지부(150)에는 밀봉부(40)에서 반사된 적외선(194)이 투사된다. 열감지부(150)에 의해 실링(sealing)과 동시에 써멀(thermal) 정보를 받을 수 있다. 열감지부(150)는 고온계(pyrometer) 또는 적외선 카메라일 수 있다.
열감지부(150)에 포커싱 렌즈(153)가 결합될 수 있다. 포커싱 렌즈(153)는 40mm 또는 80mm의 초점 거리를 가질 수 있다. 포커싱 렌즈(153)에 적외선 차단필터 실리콘(IR-Blockingfilter Silicon)(156)이 결합될 수 있다. 적외선 차단필터 실리콘(IR-Blockingfilter Silicon)(156)은 외부로 적외선이 새어나가는 것을 방지할 수 있다.
제어부(160)는 레이저 빔(60)의 이동 방향 및 세기를 제어한다. 제어부(160)는 레이저 빔(60)의 세기가 변하면서 회전 운동을 하도록 레이저 빔(60)의 위치와 속도를 제어하는 갈바노미터 미러(미도시)를 제어하는 프로그램 및 회전 운동의 각각의 부분마다 레이저 빔의 세기를 다르게 할 수 있는 레이저 드라이버(laser driver)를 포함할 수 있다.
조명부(170)는 밀봉부(40)에 광을 조사하여 밀봉부(40) 주변을 비춘다. 조명부(170)로 엘이디(LED)가 사용될 수 있으며, 레이저 빔(60)의 파장대, 실시간 측정에 사용될 가시광 대역 및 실시간 측정에 사용될 적외선 대역과의 중첩(overlap)을 피하기 위해 532nm의 파장을 가질 수 있다.
제1 색선별거울(181)이 콜리메이터(115)를 통과한 광의 광경로 및 밀봉부(40)에서 반사되고 스캐너(120)를 통과한 모든 파장의 광의 광경로에 배치될 수 있다. 제1 색선별거울(181)은 콜리메이터(115)를 통과한 광의 파장대에 대해 하이 리플렉티브(high reflective)이고, 가시광선 및 적외선 파장대에 대해 하이 트랜스미턴스(high transmittance)일 수 있다. 보다 상세하게는, 제1 색선별거울(181)은 808nm 파장대에서 하이 리플렉티브(high reflective)이고, 532nm 내지 615nm 및 1.5μm 내지 2.3μm 파장대에서 하이 트랜스미턴스(high transmittance)일 수 있다. 이에 따라 레이저 광원(110) 및 콜리메이터(115)에서 나온 광은 제1 색선별거울(181)에 의해 반사되어 스캐너(120)로 투사된다. 밀봉부(40)에서 반사되어 스캐너(120)를 통과한 모든 파장의 광 중 레이저 광원(110) 및 콜리메이터(115)에서 나온 광과 동일 파장대의 광(192)은 제1 색선별거울(181)에 의해 여과된다. 밀봉부(40)에서 반사되어 스캐너(120)를 통과한 모든 파장의 광 중 가시광 및 적외선 영역의 광(193, 194)은 제1 색선별거울(181)을 통과한다.
제2 색선별거울(182)이 제1 색선별거울(181)을 통과한 광의 광경로에 배치될 수 있다. 제2 색선별거울(182)은 가시광 영역의 파장대에 대해 하이 리플렉티브(high reflective)이고, 적외선 영역의 파장대에 대해 하이 트랜스미턴스(high transmittance)일 수 있다. 보다 상세하게는, 제2 색선별거울(182)은 532nm 내지 615nm 파장대에서 하이 리플렉티브(high reflective)이고, 1.5μm 내지 2.3μm 파장대에서 하이 트랜스미턴스(high transmittance)일 수 있다. 이에 따라 가시광(193)은 제2 색선별거울(182)에 의해 반사되어 카메라(140)로 투사되고, 적외선(194)는 제2 색선별거울(182)을 통과하여 열감지부(150)로 투사된다. 이에 따라 카메라(140)에 의해 실링(sealing)과 동시에 시각적 정보를 받을 수 있고, 열감지부(150)에 의해 실링(sealing)과 동시에 써멀(thermal) 정보를 받을 수 있다.
레이저 광원(110)에서 발진된 광은 콜리메이터(115)에 의해 평행광(191)으로 변경된 뒤 제1 색선별거울(181)에 의해 반사되어 스캐너(120)로 입사된다. 스캐너(120)로 입사된 광이 스캐너(120)에 의해 방향이 꺽임으로써, 밀봉부(40)로 레이저 빔(60)이 조사될 수 있다.
밀봉부(40)에서 반사된 모든 파장의 빛 중 레이저 광원(110)에서 발진된 광과 동일 영역대 파장의 광은 스캐너(120)에 의해 방향이 꺽인 후 제1 색선별거울(181)에 의해 여과된다. 밀봉부(40)에서 반사된 모든 파장의 빛 중 가시광(193)은 스캐너(120)에 의해 방향이 꺽인 후 제1 색선별거울(181)을 통과하고 제2 색선별거울(182)에 의해 반사되어 카메라(140)로 조사된다. 밀봉부(40)에서 반사된 모든 파장의 빛 중 적외선(194)은 스캐너(120)에 의해 방향이 꺽인 후 제1 색선별거울(181) 및 제2 색선별거울(182)를 통과한 후 열감지부(150)로 조사된다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 빔 조사 장치(2)를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 레이저 빔 조사 장치(2)는 레이저 광원(210), 스캐너(220), 제2 렌즈부(230), 카메라(240), 열감지부(250), 제어부(260), 조명부(270), 제3 색선별거울(181), 제4 색선별거울(182) 및 제5 색선별거울(183)을 포함할 수 있다.
레이저 광원(210)에서 레이저 광이 생성될 수 있다. 보다 상세하게는, 레이저 광원(210)에서 808nm의 파장을 가지는 레이저 광이 발진될 수 있다.
콜리메이터(collimator)(215)가 레이저 광원(110)의 광이 출사되는 부분에 연결될 수 있다. 콜리메이터(215)는 레이저 광원(110)에서 발진된 광을 평행광으로 변경시킨다. 콜리메이터(215)는 30mm의 초점거리를 가질 수 있다.
스캐너(220)가 콜리메이터(215)를 통과한 평행광(291)의 광경로에 배치될 수 있다. 콜리메이터(215)를 통과한 평행광(291)은 직접 스캐너(220)로 입사될 수 있다.
스캐너(220)는 콜리메이터(215)를 통과한 평행광(291)을 반사하여 밀봉부(40)로 조사하는 반사부(미도시), 반사부를 구동하는 구동부(미도시) 등을 포함할 수 있다. 반사부(미도시) 중의 일부는 본 실시예에 따른 레이저 빔(60)의 회전 운동과 같이, 레이저 빔의 위치와 속도를 정밀하게 제어하는 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)를 사용할 수 있다. 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)는 808nm 파장대에서 하이 리플렉티브(high reflective)일 수 있다.
제2 렌즈부(230)가 스캐너(220)를 통과한 광(292)의 광경로에 배치될 수 있다. 스캐너(220)를 통과한 광(292)은 제3 색선별거울(281)에 의해 반사되어 제2 렌즈부(230)로 조사될 수 있다. 스캐너(220)를 통과한 광(292)은 제2 렌즈부(230)에 의해 집광될 수 있다. 제2 렌즈부(230)는 에프-시터 렌즈(F-theta lens) 등을 포함할 수 있다. 에프-시터 렌즈(F-theta lens)는 2” 내지 3”의 크기를 가질 수 있다.
밀봉부(40)에서 반사된 모든 파장의 빛은 제2 렌즈부(230)를 통과한다.
카메라(240)에는 밀봉부(40)에서 반사된 가시광(293)이 투사된다. 카메라(240)에 의해 실링(sealing)과 동시에 시각적 정보를 받을 수 있다. 카메라(240)는 CCD 카메라일 수 있다.
카메라(240)에 포커싱 렌즈(243)가 결합될 수 있다. 포커싱 렌즈(243)는 배율 조정용으로 쓰일 수 있다. 포커싱 렌즈(243)는 100mm의 초점 거리를 가질 수 있다. 포커싱 렌즈(243)에 밴드패스 필터(bandpass filter)(246)가 결합될 수 있다. 밴드패스 필터(246)는 525nm 파장대의 빛만 통과시키는 필터일 수 있다.
열감지부(250)에는 밀봉부(40)에서 반사된 적외선(294)이 투사된다. 열감지부(250)에 의해 실링(sealing)과 동시에 써멀(thermal) 정보를 받을 수 있다. 열감지부(250)는 고온계(pyrometer) 또는 적외선 카메라일 수 있다.
열감지부(150)에 차단필터(Blocking filter)(256)가 결합될 수 있다. 차단필터(Blocking filter)(256)는 레이저 광원(210)의 광과 동일 파장의 빛을 차단할 수 있다. 차단필터(Blocking filter)(256)는 808nm 파장을 가지는 광을 차단하여 적외선 영역만이 열감지부(150)에 도달할 수 있다.
제어부(260)는 레이저 빔(60)의 이동 방향 및 세기를 제어한다. 제어부(260)는 레이저 빔(60)의 세기가 변하면서 회전 운동을 하도록 레이저 빔(60)의 위치와 속도를 제어하는 갈바노미터 미러(미도시)를 제어하는 프로그램 및 회전 운동의 각각의 부분마다 레이저 빔의 세기를 다르게 할 수 있는 레이저 드라이버(laser driver)를 포함할 수 있다.
조명부(270)는 밀봉부(40)에 광을 조사하여 밀봉부(40) 주변을 비춘다. 조명부(270)로 엘이디(LED)가 사용될 수 있으며, 레이저 빔(60)의 파장대, 실시간 측정에 사용될 가시광 대역 및 실시간 측정에 사용될 적외선 대역과의 중첩(overlap)을 피하기 위해 525nm의 파장을 가질 수 있다.
제3 색선별거울(281)이 스캐너(220)를 통과한 광(292)의 광경로 및 밀봉부(40)에서 반사되고 제2 렌즈부(230)를 통과한 모든 파장의 광의 광경로에 배치될 수 있다. 제3 색선별거울(281)은 레이저 광원(210)의 파장대에 대해 하이 리플렉티브(high reflective)이고, 가시광선 및 적외선 파장대에 대해 하이 트랜스미턴스(high transmittance)일 수 있다. 보다 상세하게는, 제3 색선별거울(281)은 808nm 파장대에서 하이 리플렉티브(high reflective)이고, 525nm 및 1000nm 내지 7000nm 파장대에서 하이 트랜스미턴스(high transmittance)일 수 있다. 이에 따라 스캐너(220)에서 나온 광은 제3 색선별거울(281)에 의해 반사되어 제2 렌즈부(230)로 투사된다. 밀봉부(40)에서 반사되어 제2 렌즈부(230)를 통과한 모든 파장의 광 중 레이저 광원(210) 및 콜리메이터(215)에서 나온 광과 동일 파장대의 광은 제3 색선별거울(281)에 의해 여과된다. 밀봉부(40)에서 반사되어 제2 렌즈부(230)를 통과한 모든 파장의 광 중 가시광 및 적외선 영역의 광(293, 294)은 제3 색선별거울(281)을 통과한다.
제4 색선별거울(282)이 제3 색선별거울(281)을 통과한 광의 광경로에 배치될 수 있다. 제4 색선별거울(282)은 가시광 영역의 파장대에 대해 하이 리플렉티브(high reflective)이고, 적외선 영역의 파장대에 대해 하이 트랜스미턴스(high transmittance)일 수 있다. 보다 상세하게는, 제4 색선별거울(282)은 525nm 파장대에서 하이 리플렉티브(high reflective)이고, 1000nm 내지 7000nm 파장대에서 하이 트랜스미턴스(high transmittance)일 수 있다. 이에 따라 가시광(293)은 제4 색선별거울(282)에 의해 반사되고, 적외선(294)는 제4 색선별거울(282)을 통과하여 열감지부(250)로 투사된다. 이에 따라 열감지부(250)에 의해 실링(sealing)과 동시에 써멀(thermal) 정보를 받을 수 있다.
제5 색선별거울(283)이 제4 색선별거울(282)에서 반사된 광의 광경로에 배치될 수 있다. 제5 색선별거울(283)은 가시광 영역의 파장대에 대해 하이 리플렉티브(high reflective)일 수 있다. 보다 상세하게는, 제5 색선별거울(283)은 525nm 파장대에서 하이 리플렉티브(high reflective)일 수 있다. 이에 따라 가시광(293)은 제5 색선별거울(283)에 의해 반사된 후 카메라(240)로 투사된다. 이에 따라 카메라(240)에 의해 실링(sealing)과 동시에 시각적 정보를 받을 수 있다.
레이저 광원(210)에서 발진된 광은 콜리메이터(215)에 의해 평행광(291)으로 변경된 후 스캐너(120)로 입사된다. 스캐너(120)로 입사된 광이 스캐너(120)에 의해 방향이 꺽이고, 스캐너(120)를 통과한 광(292)은 제3 색선별거울(281)에 의해 반사된다. 제3 색선별거울(281)에 의해 반사된 광이 제2 렌즈부(230)에 의해 집광됨으로써, 밀봉부(40)로 레이저 빔(60)이 조사될 수 있다.
밀봉부(40)에서 반사된 모든 파장의 빛 중 레이저 광원(110)에서 발진된 광과 동일 영역대 파장의 광은 제2 렌즈부(230)을 통과한 후 제3 색선별거울(281)에 의해 여과된다. 밀봉부(40)에서 반사된 모든 파장의 빛 중 가시광(293)은 제2 렌즈부(230) 및 제3 색선별거울(281)을 통과한 후 제4 색선별거울(282) 및 제5 색선별거울(283)에 의해 반사되어 카메라(240)로 조사된다. 밀봉부(40)에서 반사된 모든 파장의 빛 중 적외선(294)은 제2 렌즈부(230), 제3 색선별거울(281) 및 제4 색선별거울(282)을 차례대로 통과한 후 열감지부(250)로 조사된다.
도 5는 본 발명의 일 실시예의 따른 레이저 빔(60)의 운동 경로(P)를 나타낸 도면이다. 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔(P)의 회전 운동(R)과 직선 운동(T)을 나타낸 도면이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 빔(60)의 회전 운동(R) 중에 레이저 빔(60)의 세기 변화를 나타낸 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 레이저 빔(60)은 회전 운동(P)과 직선 운동(T)이 결합되는 형태의 운동 경로(P)를 가지면서 밀봉부(40)의 밀봉 경로를 따라 서서히 이동한다. 도시된 바와 같이 레이저 빔(60)의 운동 경로(P)는 원 궤적(circle trajectory)끼리 적절하게 오버랩되는 것이 바람직하다. 원 궤적(circle trajectory)끼리 적절하게 오버랩됨으로써 프릿에 적절한 에너지가 전달되어 실링이 성공적으로 이루어질 수 있다. 레이저 빔(60)은 일정한 회전 반경(r0)를 가지면서 회전 운동(P) 할 수 있다. 레이저 빔(60)은 플랫 탑(flat top) 프로파일을 갖는 스폿 빔(spot beam) 형태로 조사될 수 있다.
레이저 빔(60)은 스캐너(120, 220) 및 제어부(160, 260)에 의해 회전 운동(P) 할 수 있다. 레이저 빔(60)은 리니어 모터(linear motor)에 의해 레이저 빔 조사 장치(1, 2)가 이동함으로써 직선 운동(T) 할 수 있다. 또한 레이저 빔(60)은 밀봉부(40) 하부의 기판 스테이지(70)가 이동함으로써 직선 운동(T) 할 수 있다.
상시적으로 원하는 빔 모핑(beam morphing)을 가능하게 하기 위해, 레이저 빔(60) 단면의 직경은 충분히 커야하지만, 밀봉부의 폭(FW)보다는 작은 것이 바람직하다. 구체적으로, 스폿 빔의 직경이 프릿 폭의 1/4배 내지 3/4배일 수 있다.
또한, 스폿 빔의 회전 운동(R) 시에 원형 스폿 빔의 내부가 서로 중첩되지 않는 것이 바람직하다. 따라서 스폿 빔의 회전 반경은 스폿 빔의 내부가 서로 중첩되지 않는 선에서 최소 회전 반경이 결정될 수 있다. 따라서 최소 회전 반경은 스폿 빔 반경이 될 수 있다. 예를 들어, 스폿 빔의 직경이 1.3mm인 경우 스폿 빔 회전 운동(P)의 최소 회전 반경은 0.65mm가 된다. 만약, 스폿 빔의 직경이 1.3mm이고, 스폿 빔 회전 운동(R)의 회전 반경(r0)이 1.3mm인 경우에, 스폿 빔의 회전 운동(R)에 따른 최외곽 원의 지름은 3.9mm가 된다.
레이저 빔(60)은 직선 운동(T)에 비해 빠른 속도로 원형으로 회전 운동(R) 하는 것이 바람직하다. 프릿 폭이 100mm인 경우 스폿 빔 회전 운동(R)의 회전 주파수는 50Hz 이상일 수 있다. 레이저 빔(60)이 빠른 속도로 원형으로 회전 운동(R) 함에 따라 상시적으로 원하는 빔 모핑(beam morphing)을 가능해진다.
도 7을 참조하면, 레이저 빔(60)은 회전 운동(R)을 하면서 레이저 빔(60)의 세기가 변할 수 있다.
레이저 빔(60)이 회전 운동(P)과 직선 운동(T)이 결합되는 형태의 운동 경로(P)를 가지면서 레이저 빔(60)의 세기가 회전 운동(P)의 각각의 부분(segment)마다 변함으로써 상시적으로 원하는대로 빔 모핑(beam morphing)이 가능해져서 부분적으로 원하는 레이저 세기를 프릿에 전달할 수 있다.
회전 운동(P) 경로의 원주를 일정 각도(α)로 복수개의 부분(segment)로 나누어서 각각의 부분마다 다른 레이저 세기를 가지도록 할 수 있다. 이러한 기능은 제어부(160, 260)의 레이저 드라이버(laser driver)를 통해 지원될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 회전 운동(P) 경로의 원주는 45°간격으로 분할될 수 있다. 이에 따라 회전 운동(P) 경로의 원주는 제1 부분(S1), 제2 부분(S2), 제3 부분(S3), 제4 부분(S4), 제5 부분(S5), 제6 부분(S6), 제7 부분(S7) 및 제8 부분(S8)으로 분할되어, 제1 부분(S1)은 제1 레이저 빔 세기를 가지고, 제2 부분(S1)은 제2 레이저 빔 세기를 가지고, 제3 부분(S3)은 제3 레이저 빔 세기를 가지고, 제4 부분(S4)은 제4 레이저 빔 세기를 가지고, 제5 부분(S5)은 제5 레이저 빔 세기를 가지고, 제6 부분(S6)은 제6 레이저 빔 세기를 가지고, 제7 부분(S7)은 제7 레이저 빔 세기를 가지고, 제8 부분(S8)은 제8 레이저 빔 세기를 가지도록 할 수 있다. 레이저 빔(60)이 회전 운동(P)과 직선 운동(T)이 결합되는 형태의 운동 경로(P)를 가지고, 회전 운동(P) 경로의 원주가 각각 다른 세기를 가질 수 있는 8개의 부분(segment)로 나뉘고, 8개의 부분(segment)의 세기를 제어함으로써 상시적으로 원하는 빔 프로파일(beam profile)을 구현할 수 있다. 이에 따라 국부적으로 프릿의 하부막 종류가 바뀌거나 기하 구조(geometry)가 바뀌는 부분에서, 이러한 변화에 맞춰 순간적으로 빔 프로파일을 바꿀 수 있으므로, 국부적인 배선 등의 손상을 방지할 수 있다. 또한 프릿 코너부에서는 코너 내부의 레이저 세기가 외부의 레이저 세기보다 약 절반 정도로 줄어야 하는데, 코너부에서 빔 프로파일을 바꿀 수 있으므로 코너 외곽과 내부의 실링 품질을 균일화시킬 수 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
1: 레이저 조사 장치 110: 레이저 광원
115: 콜리메이터 120: 스캐터
130: 제1 렌즈부 140: 카메라
150: 열감지부 160: 제어부
170: 조명부 60: 레이저 빔
P: 운동 경로 R: 회전 운동
T: 직선 운동 r0: 회전 반경

Claims (42)

  1. 레이저 광원;
    상기 레이저 광원에서 발진된 광을 평행광으로 변경시키는 콜리메이터;
    상기 평행광의 조사 방향을 조절하는 스캐너;
    상기 스캐너를 통과한 광을 초점이 맺히게 하여 밀봉부에 레이저 빔을 조사하는 제1 렌즈부;
    상기 스캐너를 통과하는 가시광이 투사되는 카메라;
    상기 스캐너를 통과하는 적외선이 투사되는 열감지부; 및
    상기 레이저 빔의 이동 방향 및 세기를 제어하는 제어부;를 구비하는 레이저 빔 조사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 콜리메이터를 통과한 평행광을 상기 스캐너로 반사시키고, 상기 스캐너로 입사되는 상기 레이저 광원과 동일한 파장의 빛을 여과시키는 제1 색선별거울;을 더 포함하는 레이저 빔 조사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가시광을 반사시켜 상기 카메라로 조사하고, 상기 적외선은 통과시켜 상기 열감지부로 조사하는 제2 색선별거울;을 더 포함하는 레이저 빔 조사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀봉부에 광을 조사하는 조명부를 더 포함하는 레이저 빔 조사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부의 제어하에 상기 레이저 빔이 회전 운동하면서 제1 방향을 따라 이동하는 레이저 빔 조사 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 회전 운동의 주파수는 50Hz 이상인 레이저 빔 조사 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 회전 운동은 상기 레이저 빔이 중첩되지 않게 이루어지는 레이저 빔 조사 장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 스캐너는 상기 회전 운동을 수행하는 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)를 포함하고, 상기 제어부는 상기 갈바노미터 미러를 제어하는 프로그램을 구비하는 레이저 빔 조사 장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 레이저 빔 조사 장치는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 제1 방향을 따라 직선 운동을 하는 레이저 빔 조사 장치.
  10. 제 5 항에 있어서,
    상기 밀봉부 하부에 기판 스테이지가 더 구비되고,
    상기 기판 스테이지는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 제1 방향을 따라 직선 운동을 하는 레이저 빔 조사 장치.
  11. 제 5 항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 상기 회전 운동을 하면서 레이저 빔의 세기가 변하는 레이저 빔 조사 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 상기 회전 운동 중에 45° 간격으로 레이저 빔의 세기가 변하는 레이저 빔 조사 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 스폿(spot) 빔 형태로 조사되는 레이저 빔 조사 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 스폿 빔의 직경은 상기 밀봉부의 폭보다 작은 레이저 빔 조사 장치.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀봉부는 프릿을 포함하는 레이저 빔 조사 장치.
  16. 레이저 광원;
    상기 레이저 광원에서 발진된 광을 평행광으로 변경시키는 콜리메이터;
    상기 평행광의 조사 방향을 조절하는 스캐너;
    상기 스캐너를 통과한 광을 반사시키는 제3 색선별거울;
    상기 제3 색선별거울에서 반사된 광을 초점이 맺히게 하여 밀봉부에 레이저 빔을 조사하는 제2 렌즈부;
    상기 제2 렌즈부로 입사되는 가시광이 상기 제3 색선별거울을 통과한 후에 투사되는 카메라;
    상기 제2 렌즈부로 입사되는 적외선이 상기 제3 색선별거울을 통과한 후에 투사되는 열감지부; 및
    상기 레이저 빔의 이동 방향 및 세기를 제어하는 제어부;를 구비하는 레이저 빔 조사 장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 제3 색선별거울을 통과한 가시광은 반사시키고, 상기 제3 색선별거울을 통과한 적외선은 통과시켜 상기 열감지부로 조사하는 제4 색선별거울;을 더 포함하는 레이저 빔 조사 장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 제3 색선별거울에서 반사된 가시광을 반사시켜 상기 카메라로 조사하는 제5 색선별거울;을 더 포함하는 레이저 빔 조사 장치.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 밀봉부에 광을 조사하는 조명부를 더 포함하는 레이저 빔 조사 장치.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 제어부의 제어하에 상기 레이저 빔이 회전 운동하면서 제1 방향을 따라 이동하는 레이저 빔 조사 장치.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 회전 운동의 주파수는 50Hz 이상인 레이저 빔 조사 장치.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 회전 운동은 상기 레이저 빔이 중첩되지 않게 이루어지는 레이저 빔 조사 장치.
  23. 제 20 항에 있어서,
    상기 스캐너는 상기 회전 운동을 수행하는 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)를 포함하고, 상기 제어부는 상기 갈바노미터 미러를 제어하는 프로그램을 구비하는 레이저 빔 조사 장치.
  24. 제 20 항에 있어서,
    상기 레이저 빔 조사 장치는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 제1 방향을 따라 직선 운동을 하는 레이저 빔 조사 장치.
  25. 제 20 항에 있어서,
    상기 밀봉부 하부에 기판 스테이지가 더 구비되고,
    상기 기판 스테이지는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 제1 방향을 따라 직선 운동을 하는 레이저 빔 조사 장치.
  26. 제 20 항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 상기 회전 운동을 하면서 레이저 빔의 세기가 변하는 레이저 빔 조사 장치.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 상기 회전 운동 중에 45° 간격으로 레이저 빔의 세기가 변하는 레이저 빔 조사 장치.
  28. 제 16 항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 스폿(spot) 빔 형태로 조사되는 레이저 빔 조사 장치.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 스폿 빔의 직경은 상기 밀봉부의 폭보다 작은 레이저 빔 조사 장치.
  30. 제 16 항에 있어서,
    상기 밀봉부는 프릿을 포함하는 레이저 빔 조사 장치.
  31. (a) 제1 기판 또는 제2 기판 상에 유기 발광부를 형성하는 단계;
    (b) 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 상기 유기 발광부를 둘러싸도록 밀봉부를 형성하는 단계;
    (c) 상기 제1 기판과 제2 기판을 정렬하는 단계;
    (d) 레이저 빔의 조사 방향을 조절하는 스캐너와, 상기 레이저 빔의 이동 방향 및 세기를 제어하는 제어부를 구비한 레이저 빔 조사 장치를 이용하여, 상기 레이저 빔이 회전 운동하면서 상기 밀봉부의 경로을 따라 이동하고, 상기 레이저 빔이 회전 운동하면서 상기 레이저 빔의 세기가 변하도록 상기 레이저 빔을 조사하는 단계;를 포함하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 제1 기판 및 제2 기판 중 적어도 하나의 기판은 레이저 빔을 통과시키는 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  33. 제 31 항에 있어서,
    상기 회전 운동의 주파수는 50Hz 이상인 레이저 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  34. 제 31 항에 있어서,
    상기 회전 운동은 상기 레이저 빔이 중첩되지 않게 이루어지는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  35. 제 31 항에 있어서,
    상기 스캐너는 상기 회전 운동을 수행하는 갈바노미터 미러(galvanometer mirror)를 포함하고, 상기 제어부는 상기 갈바노미터 미러를 제어하는 프로그램을 구비하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  36. 제 31 항에 있어서,
    상기 레이저 빔 조사 장치는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 밀봉부의 경로를 따라 직선 운동을 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  37. 제 31 항에 있어서,
    상기 제1 기판 및 제2 기판 하부에 기판 스테이지가 더 구비되고,
    상기 기판 스테이지는 상기 회전 이동 속력보다 느린 속력으로 상기 밀봉부의 경로를 따라 직선 운동을 하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  38. 제 31 항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 상기 회전 운동 중에 45° 간격으로 레이저 빔의 세기가 변하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  39. 제 31 항에 있어서,
    상기 레이저 빔은 스폿(spot) 빔 형태로 조사되는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  40. 제 39 항에 있어서,
    상기 스폿 빔의 직경은 상기 밀봉부의 폭보다 작은 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  41. 제 31 항에 있어서,
    상기 밀봉부는 프릿을 포함하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
  42. 제 41 항에 있어서,
    상기 프릿은 상기 유기 발광부 주위를 둘러싸도록 폐루프(closed loop)를 형성하는 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법.
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