KR20140130911A - 반도체 소자 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

핀형 트랜지스터의 채널 영역에 균일한 스트레스를 인가할 수 있는 반도체 소자 제조 방법을 제공하는 것이다. 상기 반도체 소자 제조 방법은 기판 상에 돌출된 핀형 액티브 패턴을 형성하고, 상기 핀형 액티브 패턴 상에 상기 핀형 액티브 패턴과 교차하는 게이트 패턴을 형성하고, 상기 게이트 패턴의 측벽에 게이트 스페이서를 형성하고, 상기 게이트 스페이서의 측면과 정렬되는 측벽을 포함하는 제1 리세스를 상기 핀형 액티브 패턴 내에 형성하고, 게르마늄을 포함하는 가스를 이용하여 제1 리세스를 열처리하여, 제2 리세스를 형성하는 것을 포함한다.

Description

반도체 소자 제조 방법{Method for fabricating semiconductor device}
본 발명은 반도체 소자 제조 방법에 관한 것이다.
반도체 장치의 밀도를 높이기 위한 스케일링(scaling) 기술 중 하나로서, 기판 상에 반도체 핀(fin)을 형성하고 반도체 핀의 표면 위에 게이트를 형성하는 멀티 게이트 트랜지스터(multi gate transistor)가 제안되었다.
이러한 멀티 게이트 트랜지스터는 3차원의 채널을 이용하기 때문에, 스케일링하는 것이 용이하다. 또한, 멀티 게이트 트랜지스터의 게이트 길이를 증가시키지 않아도, 전류 제어 능력을 향상시킬 수 있다. 뿐만 아니라, 드레인 전압에 의해 채널 영역의 전위가 영향을 받는 SCE(short channel effect)를 효과적으로 억제할 수 있다.
본 발명이 해결하려는 과제는, 핀형 트랜지스터의 채널 영역에 균일한 스트레스를 인가할 수 있는 반도체 소자 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하려는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 반도체 소자 제조 방법의 일 태양(aspect)은 기판 상에 돌출된 핀형 액티브 패턴을 형성하고, 상기 핀형 액티브 패턴 상에 상기 핀형 액티브 패턴과 교차하는 게이트 패턴을 형성하고, 상기 게이트 패턴의 측벽에 게이트 스페이서를 형성하고, 상기 게이트 스페이서의 측면과 정렬되는 측벽을 포함하는 제1 리세스를 상기 핀형 액티브 패턴 내에 형성하고, 게르마늄을 포함하는 가스를 이용하여 제1 리세스를 열처리하여, 제2 리세스를 형성하는 것을 포함한다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제2 리세스를 형성하는 것은 상기 제1 리세스의 폭을 확장시키는 것을 포함한다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제2 리세스의 측벽은 상기 게이트 패턴에 가까운 제1 포인트와, 상기 제1 포인트보다 먼 제2 포인트를 포함하고, 상기 제1 포인트에서 상기 제2 리세스의 제1 폭과, 상기 제2 포인트에서 상기 제2 리세스의 제2 폭은 서로 다르다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제1 폭은 상기 제2 폭보다 크다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제2 리세스를 식각하여, 상기 제3 리세스를 형성하는 것을 더 포함한다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제2 리세스의 측벽은 상기 게이트 패턴에 가까운 제1 포인트와, 상기 제1 포인트보다 먼 제2 포인트를 포함하고, 상기 제1 포인트에서 상기 제2 리세스의 제1 폭과, 상기 제2 포인트에서 상기 제2 리세스의 제2 폭은 실질적으로 동일하다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제3 리세스의 측벽은 상기 핀형 액티브 패턴의 상면에 대해 실질적으로 수직이다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제3 리세스 내에 반도체 패턴을 형성하는 것을 더 포함한다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제3 리세스를 형성하는 것은 염소를 포함하는 가스를 소오스 가스로 이용하여 상기 제2 리세스를 건식 식각하는 것을 포함한다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 제2 리세스를 형성한 후, 상기 게이트 패턴을 제거하여 트렌치를 형성하고, 상기 트렌치 내에 금속 게이트 전극을 형성하는 것을 더 포함한다.
본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1 내지 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법을 설명하기 위한 중간 단계 도면들이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법을 통해 제조한 반도체 소자를 포함하는 전자 시스템의 블록도이다.
도 16 및 도 17은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법을 통해 제조한 반도체 소자를 적용할 수 있는 예시적인 반도체 시스템이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 도면에서 층 및 영역들의 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
하나의 소자(elements)가 다른 소자와 "접속된(connected to)" 또는 "커플링된(coupled to)" 이라고 지칭되는 것은, 다른 소자와 직접 연결 또는 커플링된 경우 또는 중간에 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 하나의 소자가 다른 소자와 "직접 접속된(directly connected to)" 또는 "직접 커플링된(directly coupled to)"으로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자를 개재하지 않은 것을 나타낸다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하에서, 도 1 내지 도 14를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법에 대해 설명한다.
도 1 내지 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법을 설명하기 위한 중간 단계 도면들이다.
도 1을 참고하면, 기판(100) 상에 제1 마스크 패턴(201)이 형성될 수 있다. 제1 마스크 패턴(201)이 형성된 기판(100) 상에 제2 마스크막(205)이 형성될 수 있다. 제2 마스크막(205)는 제1 마스크 패턴(201)이 형성된 기판(100)의 상면에 실질적으로 컨포말하게(conformally) 형성될 수 있다.
기판(100)은 예를 들어, 벌크 실리콘 또는 SOI(silicon-on-insulator)일 수 있다. 이와 달리, 기판(100)은 실리콘 기판일 수도 있고, 또는 다른 물질, 예를 들어, 실리콘게르마늄, 안티몬화 인듐, 납 텔루르 화합물, 인듐 비소, 인듐 인화물, 갈륨 비소 또는 안티몬화 갈륨을 포함할 수 있다. 또는, 기판(100)은 베이스 기판 상에 에피층이 형성된 것일 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법에서, 기판(100)은 실리콘 기판인 것으로 설명한다.
제1 마스크 패턴(201)과 제2 마스크막(205)는 서로 간에 식각 선택성이 있는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제2 마스크막(205)는 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘산질화물, 금속막, 포토 레지스트(Photo Resist), 에스오지(SOG: Spin On Glass) 및/또는 에스오에이치(SOH: Spin On Hard mask) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 제1 마스크 패턴(201)은 상기 물질들 중 제 2 마스크막(205)과 다른 물질로 형성될 수 있다.
제 1 마스크 패턴(201) 및 제 2 마스크막(205)은 물리 기상 증착 공정(Physical Vapor Deposition Process: PVD), 화학 기상 증착 공정(Chemical Vapor Deposition Process: CVD), 원자층 증착(Atomic Layer Deposition: ALD) 또는 스핀 코팅 방법 중에서 적어도 하나의 방식으로 형성될 수 있다.
도 2를 참고하면, 식각 공정에 의해 제2 마스크막(205)으로부터 제2 마스크 패턴(206)이 형성될 수 있다. 제 2 마스크 패턴(206)은 제 1 마스크 패턴(201)을 노출하는 스페이서 형태일 수 있다. 제 2 마스크 패턴(206)에 의하여 노출된 제 1 마스크 패턴(201)이 제거되어, 제2 마스크 패턴(206) 양측에 기판(100)이 노출될 수 있다.
제 1 마스크 패턴(201)의 제거는 제 2 마스크 패턴(206)의 식각을 최소화하며 제 1 마스크 패턴(201)을 제거할 수 있는 선택적 식각 공정을 포함할 수 있다.
도 3을 참고하면, 제2 마스크 패턴(206)을 식각 마스크로 이용하여, 기판(100)이 식각된다. 기판(100)의 일부가 식각됨으로써, 기판(100) 상에 핀형 액티브 패턴(120)이 형성될 수 있다. 핀형 액티브 패턴(120)은 제2 방향(Y)을 따라 연장될 수 있다. 기판(100)의 일부를 제거한 핀형 액티브 패턴(120) 주변에는 리세스가 형성된다.
핀형 액티브 패턴(120)은 수직인 기울기를 갖는 것으로 도시하였지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 핀형 액티브 패턴(120)의 측면은 기울기를 가질 수 있으므로, 핀형 액티브 패턴(120)은 테이퍼(tapered)진 형상일 수 있음은 물론이다.
도 4를 참고하면, 핀형 액티브 패턴(120) 주변에는 리세스를 채우는 소자 분리막(110)을 형성한다. 소자 분리막(110)은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 실리콘 산질화막 중 적어도 하나를 포함하는 물질로 형성될 수 있다.
평탄화 공정을 통해, 핀형 액티브 패턴(120) 및 소자 분리막(110)은 동일 평면 상에 놓일 수 있다. 평탄화 공정을 진행하면서, 제2 마스크 패턴(206)은 제거될 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제2 마스크 패턴(206)은 소자 분리막(110)의 형성 이전에 제거되거나, 도 5을 통해 설명하는 리세스 공정 이후에 제거될 수 있다.
도 5를 참고하면, 소자 분리막(110)의 상부를 리세스하여, 핀형 액티브 패턴(120)의 상부를 노출시킨다. 리세스 공정은 선택적 식각 공정을 포함할 수 있다. 소자 분리막(110) 상으로 돌출되는 핀형 액티브 패턴(120)이 형성된다. 즉, 기판(100)에 돌출된 핀형 액티브 패턴(120)이 형성된다.
리세스 공정을 통해, 소자 분리막(110)은 핀형 액티브 패턴(120)의 하부를 덮게 되고, 핀형 액티브 패턴(120)의 상부는 소자 분리막(110)으로부터 노출되게 된다.
한편, 소자 분리막(110) 위로 돌출된 핀형 액티브 패턴(120)의 상부는 에피 공정에 의하여 형성될 수도 있다. 구체적으로, 소자 분리막(110)을 형성 후, 리세스 공정 없이 소자 분리막(110)에 의하여 노출된 핀형 액티브 패턴(120)의 상면을 씨드로 하는 에피 공정에 의하여 핀형 액티브 패턴(120)의 상부가 형성될 수 있다.
또한, 핀형 액티브 패턴(120)에 문턱 전압 조절용 도핑이 수행될 수 있다. 핀형 액티브 패턴(120)을 이용하여 제조되는 반도체 소자가 NMOS 핀형 트랜지스터인 경우, 불순물은 붕소(B)일 수 있다. 핀형 액티브 패턴(120)을 이용하여 제조되는 반도체 소자가 PMOS 핀형 트랜지스터인 경우, 불순물은 인(P) 또는 비소(As)일 수 있다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 제3 마스크 패턴(2104)을 이용하여 식각 공정을 진행하여, 핀형 액티브 패턴(120)과 교차하여 제1 방향(X)으로 연장되는 더미 게이트 패턴(142)을 형성할 수 있다.
이를 통해, 더미 게이트 패턴(142)은 핀형 액티브 패턴(120) 상에 형성된다. 더미 게이트 패턴(142)은 핀형 액티브 패턴(120)의 일부와 오버랩될 수 있다. 핀형 액티브 패턴(120)은 더미 게이트 패턴(142)에 의해 덮이는 부분과, 더미 게이트 패턴(142)에 의해 노출되는 부분을 포함한다. 더미 게이트 패턴(142)은 소자 분리막(110) 상으로 돌출된 핀형 액티브 패턴(120)의 상부 측면 및 상면을 덮는다.
더미 게이트 패턴(142)은 더미 게이트 절연막(141)과 더미 게이트 전극(143)을 포함한다. 예를 들어, 더미 게이트 절연막(141)은 실리콘 산화막일 수 있고, 더미 게이트 전극(143)은 폴리 실리콘일 수 있다.
제3 마스크 패턴(2104)의 두께는 돌출된 핀형 액티브 패턴 상부(120b)의 높이보다 클 수 있다. 제3 마스크 패턴(2104)은 예를 들어, 질화막 및 산질화막 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법에서, 핀형 액티브 패턴(120)과 교차되어 형성되는 더미 게이트 패턴(142)은 2개인 것으로 설명하나, 이는 설명의 편의를 위한 것일 뿐, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 각각 제1 방향(X)으로 연장되는 3개 이상의 더미 게이트 패턴(142)은 제2 방향(Y)으로 배열되어 있을 수 있다.
도 7b는 도 7a를 AA 방향에서 절단한 단면도이다.
도 7a 및 도 7b를 참고하면, 더미 게이트 패턴(142)의 측면에 게이트 스페이서(151)를 형성한다. 게이트 스페이서(151)는 더미 게이트 절연막(141) 및 더미 게이트 전극(143)의 측면에 형성된다.
하지만, 더미 게이트 패턴(142)과 오버랩되지 않는 핀형 액티브 패턴(120)의 측면에는 스페이서가 형성되지 않을 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
구체적으로, 더미 게이트 패턴(142)이 형성된 결과물 상에 절연막을 형성한다. 절연막은 더미 게이트 패턴(142)뿐만 아니라, 핀형 액티브 패턴(120)을 덮는다. 이후, 절연막을 식각하여, 게이트 스페이서(151)을 형성할 수 있다.
게이트 스페이서(151)가 형성될 때, 더미 게이트 패턴(142)과 오버랩되지 않는 핀형 액티브 패턴(120)의 측면에도 스페이서가 형성된다. 하지만, 더미 게이트 패턴(142)과 오버랩되지 않는 핀형 액티브 패턴(120)의 측면에 형성된 스페이서를 제거하기 위해, 추가적인 식각 공정을 더 진행하게 된다. 추가적인 식각 공정은 더미 게이트 패턴(142)과 오버랩되지 않는 핀형 액티브 패턴(120)의 측면에 형성된 스페이서가 제거될 때까지 진행된다. 추가적인 식각 공정이 진행되는 동안, 더미 게이트 패턴(142)의 측면에 형성된 게이트 스페이서(151) 및 제3 마스크 패턴(2104)도 추가적으로 식각되게 된다. 도 6과 도 7a를 비교하면, 제3 마스크 패턴(2104)의 높이가 감소한 것은 더미 게이트 패턴(142)과 오버랩되지 않는 핀형 액티브 패턴(120)의 측면에 형성된 스페이서를 제거하기 위한 추가적인 식각 공정 때문이다. 하지만, 제3 마스크 패턴(2104)의 두께는 핀형 액티브 패턴(120)의 상부의 높이보다 크기 때문에, 추가적인 식각 공정을 진행하여도 더미 게이트 전극(143)은 노출되지 않을 수 있다.
결과적으로, 더미 게이트 패턴(142)의 측면에는 게이트 스페이서(151)가 형성되지만, 더미 게이트 패턴(142)과 오버랩되지 않는 핀형 액티브 패턴(120)의 측면에는 스페이서가 형성되지 않을 수 있다.
이하에서 설명하는 반도체 소자 제조 방법은 도 7a의 단면도인 도 7b를 기준으로 설명한다.
도 8을 참고하면, 더미 게이트 패턴(142)의 측면에 제1 리세스(121)를 형성한다. 제1 리세스(121)는 게이트 스페이서(151)의 측면과 정렬되는 측벽을 포함한다. 제1 리세스(121)는 핀형 액티브 패턴(120) 내에 형성된다.
제1 리세스(121)의 폭은 이웃하는 더미 게이트 패턴(142)의 측벽에 형성된 게이트 스페이서(151)가 이격된 거리와 실질적으로 동일할 수 있다. 제1 리세스(121)는 예를 들어, 건식 식각 공정을 이용하여 형성될 수 있고, 구체적으로, 이방성 식각 공정을 이용하여 형성될 수 있다.
게이트 스페이서(151)의 측면과 정렬되는 제1 리세스(121)의 측벽은 핀형 액티브 패턴(120)의 상면과 실질적으로 수직일 수 있다. 다시 말하면, 더미 게이트 패턴(142)과 핀형 액티브 패턴(120)의 경계면은 제1 리세스(121)의 측벽과 실질적으로 수직일 수 있다.
도 9를 참고하면, 제1 리세스(121)를 열처리하여, 제2 리세스(122)를 형성한다. 제2 리세스(122)는 제1 리세스(121)의 폭을 확장시켜 형성될 수 있다.
제2 리세스(122)를 형성하는 열처리 공정은 예를 들어, 게르마늄(Ge)를 포함하는 가스를 이용한 열처리 공정일 수 있다. 게르마늄을 포함하는 가스는 예를 들어, 저메인(GeH4)를 포함할 수 있다.
제2 리세스(122)의 측벽은 제1 포인트(P1)와 제2 포인트(P2)를 포함할 수 있다. 제1 포인트(P1)은 제2 포인트(P2)보다 더미 게이트 패턴(142)에 더 가깝다. 다시 말하면, 더미 게이트 패턴(142)과 경계를 이루는 핀형 액티브 패턴(120)의 상면에서 제1 포인트(P1)까지의 깊이는 핀형 액티브 패턴(120)의 상면에서 제2 포인트(P2)까지의 깊이보다 얕다.
제1 포인트(P1)에서 제2 리세스(122)의 폭은 제1 폭(w1)이고, 제2 포인트(P2)에서 제2 리세스(122)의 폭은 제2 폭(w2)이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법에서, 제1 포인트(P1)에서 제2 리세스(122)의 폭(w1)은 제2 포인트(P2)에서 제2 리세스(122)의 폭(w2)와 서로 다르다. 예를 들어, 제1 포인트(P1)에서 제2 리세스(122)의 폭(w1)은 제2 포인트(P2)에서 제2 리세스(122)의 폭(w2)보다 크다.
제2 리세스(122)가 형성됨으로써, 더미 게이트 패턴(142) 하부에서 핀형 액티브 패턴(120)은 언더컷이 된다. 즉, 더미 게이트 패턴(142)과 경계를 이루는 핀형 액티브 패턴(120)의 상면의 폭은 게이트 스페이서(151)를 포함하는 더미 게이트 패턴(142)의 폭보다 좁다.
도 10을 참고하면, 제2 리세스(122)를 식각하여, 핀형 액티브 패턴(120) 내에 제3 리세스(124)를 형성한다.
제3 리세스(124)는 예를 들어, 건식 식각 공정을 이용하여 형성될 수 있다. 제3 리세스(124)를 형성하는 식각 공정은 예를 들어, 염소를 포함하는 가스를 소오스 가스로 이용할 수 있다.
제3 리세스(124)의 측벽은 제3 포인트(P3)와 제4 포인트(P4)를 포함할 수 있다. 제3 포인트(P3)은 제4 포인트(P4)보다 더미 게이트 패턴(142)에 더 가깝다. 다시 말하면, 더미 게이트 패턴(142)과 경계를 이루는 핀형 액티브 패턴(120)의 상면에서 제3 포인트(P3)까지의 깊이는 핀형 액티브 패턴(120)의 상면에서 제4 포인트(P4)까지의 깊이보다 얕다.
제3 포인트(P3)에서 제3 리세스(124)의 폭은 제3 폭(w3)이고, 제4 포인트(P4)에서 제3 리세스(124)의 폭은 제4 폭(w4)이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법에서, 제3 포인트(P3)에서 제3 리세스(124)의 폭(w3)은 제4 포인트(P4)에서 제3 리세스(124)의 폭(w4)와 실질적으로 동일하다. 여기서, "동일한 폭"의 의미는 비교되는 2개의 위치에서 폭이 완전히 동일한 것뿐만 아니라, 공정 과정상의 마진 등으로 인해서 발생할 수 있는 미세한 폭의 차이를 포함하는 의미이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법에서, 제3 리세스(124)의 측벽은 핀형 액티브 패턴(120)의 상면에 대해 실질적으로 수직일 수 있다.
도 11을 참고하면, 제3 리세스(124) 내에 반도체 패턴(161)을 형성한다. 반도체 패턴(161)은 핀형 트랜지스터의 소오스/드레인의 역할을 할 수 있다.
핀형 트랜지스터가 PMOS 트랜지스터인 경우, 반도체 패턴(161)은 압축 스트레스 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 압축 스트레스 물질은 Si에 비해서 격자상수가 큰 물질일 수 있고, 예를 들어 SiGe일 수 있다. 압축 스트레스 물질은 핀형 액티브 패턴(120)에 압축 스트레스를 가하여 채널 영역의 캐리어의 이동도(mobility)를 향상시킬 수 있다.
이와는 달리, 핀형 트랜지스터가 NMOS 트랜지스터인 경우, 반도체 패턴(161)은 핀형 액티브 패턴(120)과 동일 물질 또는, 인장 스트레스 물질일 수 있다. 예를 들어, 핀형 액티브 패턴(120)이 Si일 때, 반도체 패턴(161)은 Si이거나, Si보다 격자 상수가 작은 물질(예를 들어, SiC)일 수 있다.
반도체 패턴(161)을 형성하는 것은, 에피 공정에 의해서 형성할 수 있다. 또한, 필요에 따라서, 에피 공정시 불순물을 인시츄 도핑할 수도 있다.
반도체 패턴(161)은 핀형 액티브 패턴(120)의 상면보다 융기되어 있는 것으로 도시되었지만, 이에 제한되는 것은 아니다.
본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법에서, 반도체 패턴(161)은 핀형 액티브 패턴(120)의 상면에 대해 실질적으로 수직인 측벽을 포함하는 제3 리세스(124) 내에 형성되므로, 반도체 패턴(161)은 더미 게이트 패턴(142)의 하부에 위치하는 채널 영역에 균일한 스트레스를 인가할 수 있다. 즉, 핀형 액티브 패턴(120)의 상면에 위치하는 채널 영역과 핀형 액티브 패턴(120)의 측면에 위치하는 채널 영역에 균일한 스트레스를 인가할 수 있다.
도 12를 참고하면, 반도체 패턴(161) 상에 층간 절연막(155)을 형성한다. 층간 절연막(155)은 산화막, 질화막 및 산질화막 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
이어서, 더미 게이트 패턴(142)의 상면이 노출될 때까지, 층간 절연막(155)을 평탄화한다. 그 결과, 마스크 패턴(2104)이 제거되고, 더미 게이트 패턴(142)의 상면이 노출될 수 있다.
도 13을 참고하면, 더미 게이트 패턴(142) 즉, 더미 게이트 절연막(141) 및 더미 게이트 전극(143)을 제거한다.
더미 게이트 절연막(141) 및 더미 게이트 전극(143)의 제거함에 따라, 핀형 액티브 패턴(120)의 일부를 노출하는 트렌치(123)가 형성된다.
도 14를 참고하면, 트렌치(123) 내에 게이트 절연막(145) 및 게이트 전극(147)을 형성하여, 게이트 패턴(149)을 형성한다.
게이트 절연막(145)은 트렌치(123)의 측벽 및 하면을 따라 실질적으로 컨포멀하게 형성될 수 있다. 게이트 절연막(145)은 실리콘 산화막보다 높은 유전 상수를 갖는 고유전체 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 게이트 절연막(145)은 하프늄 산화물(hafnium oxide), 하프늄 실리콘 산화물(hafnium silicon oxide), 란타늄 산화물(lanthanum oxide), 란타늄 알루미늄 산화물(lanthanum aluminum oxide), 지르코늄 산화물(zirconium oxide), 지르코늄 실리콘 산화물(zirconium silicon oxide), 탄탈륨 산화물(tantalum oxide), 티타늄 산화물(titanium oxide), 바륨 스트론튬 티타늄 산화물(barium strontium titanium oxide), 바륨 티타늄 산화물(barium titanium oxide), 스트론튬 티타늄 산화물(strontium titanium oxide), 이트륨 산화물(yttrium oxide), 알루미늄 산화물(Aluminum oxide), 납 스칸듐 탄탈륨 산화물(lead scandium tantalum oxide), 또는 납 아연 니오브산염(lead zinc niobate) 중에서 하나 이상을 포함할 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
게이트 전극(147)은 금속층(MG1, MG2)을 포함할 수 있다. 게이트 전극(147)은 도시된 것과 같이, 2층 이상의 금속층(MG1, MG2)이 적층될 수 있다. 제1 금속층(MG1)은 일함수 조절을 하고, 제2 금속층(MG2)은 제1 금속층(MG1)에 의해 형성된 공간을 채우는 역할을 한다. 예를 들어, 제1 금속층(MG1)은 TiN, TaN, TiC, 및 TaC 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 제2 금속층(MG2)은 W 또는 Al을 포함할 수 있다. 또는, 게이트 전극(147)은 금속이 아닌, Si, SiGe 등으로 이루어질 수도 있다. 이러한 게이트 전극(147)은 예를 들어, 리플레이스먼트(replacement) 공정을 통해서 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법을 통해 제조한 반도체 소자를 포함하는 전자 시스템의 블록도이다.
도 15를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 전자 시스템(1100)은 컨트롤러(1110), 입출력 장치(1120, I/O), 기억 장치(1130, memory device), 인터페이스(1140) 및 버스(1150, bus)를 포함할 수 있다. 컨트롤러(1110), 입출력 장치(1120), 기억 장치(1130) 및/또는 인터페이스(1140)는 버스(1150)를 통하여 서로 결합 될 수 있다. 버스(1150)는 데이터들이 이동되는 통로(path)에 해당한다.
컨트롤러(1110)는 마이크로프로세서, 디지털 신호 프로세스, 마이크로 컨트롤러, 및 이들과 유사한 기능을 수행할 수 있는 논리 소자들 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다. 입출력 장치(1120)는 키패드(keypad), 키보드 및 디스플레이 장치 등을 포함할 수 있다. 기억 장치(1130)는 데이터 및/또는 명령어 등을 저장할 수 있다. 인터페이스(1140)는 통신 네트워크로 데이터를 전송하거나 통신 네트워크로부터 데이터를 수신하는 기능을 수행할 수 있다. 인터페이스(1140)는 유선 또는 무선 형태일 수 있다. 예컨대, 인터페이스(1140)는 안테나 또는 유무선 트랜시버 등을 포함할 수 있다. 도시하지 않았지만, 전자 시스템(1100)은 컨트롤러(1110)의 동작을 향상시키기 위한 동작 메모리로서, 고속의 디램 및/또는 에스램 등을 더 포함할 수도 있다. 본 발명의 실시예들에 따라 제조한 핀 전계효과 트랜지스터는 기억 장치(1130) 내에 제공되거나, 컨트롤러(1110), 입출력 장치(1120, I/O) 등의 일부로 제공될 수 있다.
전자 시스템(1100)은 개인 휴대용 정보 단말기(PDA, personal digital assistant) 포터블 컴퓨터(portable computer), 웹 태블렛(web tablet), 무선 전화기(wireless phone), 모바일 폰(mobile phone), 디지털 뮤직 플레이어(digital music player), 메모리 카드(memory card), 또는 정보를 무선환경에서 송신 및/또는 수신할 수 있는 모든 전자 제품에 적용될 수 있다.
도 16 및 도 17은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법을 통해 제조한 반도체 소자를 적용할 수 있는 예시적인 반도체 시스템이다.
도 16은 태블릿 PC이고, 도 17은 노트북을 도시한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 반도체 소자 제조 방법을 통해 제조한 반도체 소자 중 적어도 하나는 태블릿 PC, 노트북 등에 사용될 수 있다. 본 발명의 몇몇 실시예들에 따른 반도체 소자는 예시하지 않는 다른 집적 회로 장치에도 적용될 수 있음은 당업자에게 자명하다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 기판 110: 소자 분리막
120: 핀형 액티브 패턴 121, 122, 124: 리세스
142: 더미 게이트 패턴 149: 게이트 패턴
151: 게이트 스페이서 161: 반도체 패턴

Claims (10)

  1. 기판 상에 돌출된 핀형 액티브 패턴을 형성하고,
    상기 핀형 액티브 패턴 상에 상기 핀형 액티브 패턴과 교차하는 게이트 패턴을 형성하고,
    상기 게이트 패턴의 측벽에 게이트 스페이서를 형성하고,
    상기 게이트 스페이서의 측면과 정렬되는 측벽을 포함하는 제1 리세스를 상기 핀형 액티브 패턴 내에 형성하고,
    게르마늄을 포함하는 가스를 이용하여 제1 리세스를 열처리하여, 제2 리세스를 형성하는 것을 포함하는 반도체 소자 제조 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 리세스를 형성하는 것은 상기 제1 리세스의 폭을 확장시키는 것을 포함하는 반도체 소자 제조 방법.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 리세스의 측벽은 상기 게이트 패턴에 가까운 제1 포인트와, 상기 제1 포인트보다 먼 제2 포인트를 포함하고,
    상기 제1 포인트에서 상기 제2 리세스의 제1 폭과, 상기 제2 포인트에서 상기 제2 리세스의 제2 폭은 서로 다른 반도체 소자 제조 방법.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제1 폭은 상기 제2 폭보다 큰 반도체 소자 제조 방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 리세스를 식각하여, 상기 제3 리세스를 형성하는 것을 더 포함하는 반도체 소자 제조 방법.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 제2 리세스의 측벽은 상기 게이트 패턴에 가까운 제1 포인트와, 상기 제1 포인트보다 먼 제2 포인트를 포함하고,
    상기 제1 포인트에서 상기 제2 리세스의 제1 폭과, 상기 제2 포인트에서 상기 제2 리세스의 제2 폭은 실질적으로 동일한 반도체 소자 제조 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제3 리세스의 측벽은 상기 핀형 액티브 패턴의 상면에 대해 실질적으로 수직인 반도체 소자 제조 방법.
  8. 제5 항에 있어서,
    상기 제3 리세스 내에 반도체 패턴을 형성하는 것을 더 포함하는 반도체 소자 제조 방법.
  9. 제5 항에 있어서,
    상기 제3 리세스를 형성하는 것은 염소를 포함하는 가스를 소오스 가스로 이용하여 상기 제2 리세스를 건식 식각하는 것을 포함하는 반도체 소자 제조 방법.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제2 리세스를 형성한 후,
    상기 게이트 패턴을 제거하여 트렌치를 형성하고,
    상기 트렌치 내에 금속 게이트 전극을 형성하는 것을 더 포함하는 반도체 소자 제조 방법.
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