KR20140125003A - 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

일 측면에 따르면, 기판; 상기 기판의 제1 면 상에 형성된 발광 표시부; 상기 발광 표시부 상에 형성된 봉지층; 및 상기 제1 면과 대향하는 상기 기판의 제2 면 상에 형성된 박리 막;을 포함하고, 상기 박리 막은 층상 구조를 가지는 플렉서블 디스플레이 장치를 제공한다.

Description

플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법{Flexible display device and manufacturing method thereof}
본 발명은 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근 디스플레이 관련 기술의 발달과 함께, 접거나 롤(Roll) 형상으로 말 수 있는 플렉서블한 디스플레이 장치들이 연구 및 개발되고 있다.
한편, 유기 발광 디스플레이 패널은 시야각, 콘트라스트(contrast), 응답속도, 소비전력 등의 측면에서 특성이 우수하기 때문에 MP3 플레이어나 휴대폰 등과 같은 개인용 휴대기기에서 텔레비젼(TV)에 이르기까지 응용 범위가 확대되고 있다. 또한, 유기 발광 디스플레이 패널은 자발광 특성을 가지므로 별도의 광원을 필요로 하지 않기 때문에 두께와 무게를 줄일 수 있다.
이러한 유기 발광 디스플레이 패널은 플라스틱 기판을 이용하여 플렉서블하게 구현할 수 있다. 일반적으로 플렉서블한 유기 발광 디스플레이 패널은, 유리 등의 재질로 형성된 캐리어 기판 상에 유기 발광 소자 등을 형성한 후, 캐리어 기판을 플라스틱 기판으로부터 분리함으로써 형성할 수 있다.
본 발명의 목적은, 기판과 캐리어 기판의 불필요한 접착을 방지할 수 있는 플렉서블 디스플레이 장치 및 그 제조방법을 제공함에 있다.
일 측면에 따르면, 기판; 상기 기판의 제1 면 상에 형성된 발광 표시부; 상기 발광 표시부 상에 형성된 봉지층; 및 상기 제1 면과 대향하는 상기 기판의 제2 면 상에 형성된 박리 막;을 포함하고, 상기 박리 막은 층상 구조를 가지는 플렉서블 디스플레이 장치를 제공한다.
상기 박리 막은 무기물일 수 있다.
상기 박리 막은 수화된 마그네슘 실리케이트, 6방정 질화붕소, 그라파이트 및 2유화 몰리브덴 중 적어도 하나일 수 있다.
상기 박리 막은 기판 상에 전체적으로 형성될 수 있다.
상기 기판과 상기 발광 표시부 사이에는 소자 및 배선층이 형성될 수 있다.
상기 발광 표시부는 유기 발광 디스플레이 패널일 수 있다.
상기 발광 표시부는 전면 발광형일 수 있다.
상기 봉지층은 하나 이상의 유기층과 하나 이상의 무기층이 상호 교번하여 적층 형성될 수 있다.
일 측면에 따르면, 캐리어 기판 상에 층상 구조를 가지는 박리 막을 형성하는 단계; 상기 박리 막 상에 기판을 배치하는 단계; 상기 박리 막을 상기 캐리어 기판 및 상기 기판과 접합시키는 단계; 상기 기판 상에 발광 표시부를 형성하는 단계; 상기 발광 표시부 상에 봉지층을 형성하는 단계; 및 상기 박리 막을 분리하여 상기 캐리어 기판을 제거하는 단계;를 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법을 제공한다.
상기 박리 막은 무기물일 수 있다.
상기 박리 막은 수화된 마그네슘 실리케이트, 6방정 질화붕소, 그라파이트 및 2유화 몰리브덴 중 적어도 하나일 수 있다.
상기 박리 막은 기판 상에 전체적으로 형성될 수 있다.
상기 캐리어 기판 및 상기 기판을 정렬하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기 캐리어 기판과 상기 박리 막 사이의 접합력이 상기 층상 구조의 각각의 층간의 결합력보다 클 수 있다.
상기 박리 막은 상기 층상 구조의 제1 층 과 제2 층 사이에서 분리될 수 있다.
상기 기판 또는 상기 캐리어 기판에 열처리를 가하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기 기판 또는 상기 캐리어 기판의 온도가 300℃ 이상이 될 수 있다.
상기 캐리어 기판의 제거는 물리적인 방법에 의할 수 있다.
상기 발광 표시부는 유기 발광 디스플레이 패널일 수 있다.
상기 봉지층은 하나 이상의 유기층과 하나 이상의 무기층이 상호 교번하여 적층 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판의 일면상에 박리 막을 형성함으로써, 기판과 캐리어 기판의 영구적인 접합을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 2는 도 1의 플렉서블 디스플레이 장치의 표시 패널부의 일 화소 영역의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3 내지 도 5는 도 1의 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법을 도시한 도면들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예들에 대하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이고, 도 2는 도 1의 플렉서블 디스플레이 장치의 표시 패널부의 일 화소 영역의 단면을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치(10)는, 표시 패널부(200)와 표시 패널부(200)의 하면에 형성된 박리 막(100)을 포함할 수 있다.
표시 패널부(200)는 플렉서블한 성질을 가지고, 이에 따라 접거나 말 수 있는바, 보관 및 휴대성이 우수할 수 있다. 표시 패널부(200)는 유기 발광 디스플레이 패널, 액정 디스플레이 패널 등일 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다. 한편, 도 2는 표시 패널부(200)의 일 예로 유기 발광 디스플레이 패널을 도시하고 있다.
도 2를 참조하면, 표시 패널부(200)는 기판(210), 기판(210)의 제1 면 상에 배치된 발광 표시부(220) 및 발광 표시부(220) 상에 기판(210)과 대향하도록 배치되고, 발광 표시부(220)를 밀봉하는 봉지층(230)을 포함할 수 있다. 또한, 기판(210)과 발광 표시부(220)의 사이에는 베리어막(240)과 소자 및 배선층(250)이 형성될 수 있다.
기판(210)은 표시 패널부(200)가 플렉서블한 성질을 가질 수 있도록, 아크릴, 폴리에틸렌에테르프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리에스테르, 미라르(mylar) 및 폴리이미드 등과 같은 플라스틱 재질로 형성될 수 있다. 다만, 기판(210)은 이에 한정되지 않으며, 가요성이 있는 다양한 소재로 구성될 수 있다.
기판(210) 상에는 베리어막(240)이 배치될 수 있다. 베리어막(240)은 수분이나 산소와 같은 외부의 이물질이 기판(210)을 투과하여 구동 박막 트랜지스터(TFT) 및/또는 발광 표시부(220) 등에 침투하는 것을 방지한다.
베리어막(240) 상에는 소자/배선층(250)이 배치될 수 있으며, 소자/배선층(250)에는 발광 표시부(OLED, 220)를 구동시키는 구동 박막트랜지스터(TFT), 스위칭 박막트랜지스터(미도시), 커패시터, 상기 박막트랜지스터나 커패시터에 연결되는 배선들(미도시)이 포함될 수 있다.
구동 박막 트랜지스터(TFT)는 활성층(251)과, 게이트 전극(253)과, 소스 전극 및 드레인 전극(255a, 255b)을 포함한다.
소자/배선층(250) 상에는 발광 표시부(220)가 배치된다. 발광 표시부(220)는 화소 전극(221)과, 화소 전극(221) 상에 배치된 유기 발광층(222)과, 유기 발광층(222) 상에 형성된 대향 전극(223)을 포함한다.
본 실시예에서, 화소 전극(221)은 애노드(anode)이고, 대향 전극(223)은 캐소드(cathode)로 구성된다. 그러나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 표시 패널부(200)의 구동 방법에 따라 화소 전극(221)이 캐소드이고, 대향 전극(223)이 애노드일 수도 있다. 화소 전극(221) 및 대향 전극(223)으로부터 각각 정공과 전자가 유기 발광층(222) 내부로 주입된다. 주입된 정공과 전자가 결합한 엑시톤(exiton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어지면서 광을 방출한다.
화소 전극(221)은 소자/배선층(250)에 형성된 구동 박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결된다.
본 실시예에서는, 발광 표시부(220)가 구동 박막트랜지스터(TFT)가 배치된 소자/배선층(250) 상에 배치된 구조에 관하여 기재하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 발광 표시부(220)의 화소 전극(221)이 구동 박막트랜지스터(TFT)의 활성층(251)과 동일층에 형성된 구조, 또는 화소 전극(221)이 게이트 전극(253)과 동일층에 형성된 구조, 또는 화소 전극(221)이 소스 전극 및 드레인 전극(255a, 255b)과 동일 층에 형성된 구조 등 다양한 형태로 변형이 가능하다.
또한, 본 실시예에서 구동 박막트랜지스터(TFT)는 게이트 전극(253)이 활성층(251) 상에 배치되지만, 본 발명은 이에 제한되지 않으며 게이트 전극(253)이 활성층(251)의 하부에 배치될 수도 있다.
본 실시예의 발광 표시부(220)에 구비된 화소 전극(221)은 반사 전극일 수 있으며, Ag, Mg, Al, Pt, Pd, Au, Ni, Nd, Ir, Cr 및 이들의 화합물 등으로 형성된 반사막과, 반사막 상에 형성된 투명 또는 반투명 전극층을 구비할 수 있다.
상기 투명 또는 반투명 전극층은 인듐틴옥사이드(ITO; indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO; indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO; zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3; indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO; indium gallium oxide) 및 알루미늄징크옥사이드(AZO; aluminum zinc oxide)를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다.
화소 전극(221)과 대향되도록 배치된 대향 전극(223)은 투명 또는 반투명 전극일 수 있으며, Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg 및 이들의 화합물을 포함하는 일함수가 작은 금속 박막으로 형성될 수 있다. 또한, 금속 박막 위에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등의 투명 전극 형성용 물질로 보조 전극층이나 버스 전극을 더 형성할 수 있다. 따라서, 대향 전극(223)은 유기 발광층(222)에서 방출된 광을 투과시킬 수 있다.
화소 전극(221)과 대향 전극(223)의 사이에는 유기 발광층(222)이 배치되며, 유기 발광층(222)은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물일 수 있다.
화소 전극(221)과 대향 전극(223)의 사이에는 유기 발광층(222) 이외에, 홀 수송층(HTL; hole transport layer), 홀 주입층(HIL; hole injection layer), 전자 수송층(ETL; electron transport layer) 및 전자 주입층(EIL; electron injection layer) 등과 같은 중간층이 선택적으로 배치될 수 있다.
유기 발광층(222)에서 방출되는 광은 직접 또는 반사 전극으로 구성된 화소 전극(221)에 의해 반사되어, 대향 전극(223) 측으로 방출되는 전면 발광형일 수 있다.
그러나, 본 발명의 표시 패널부(200)는 전면 발광형으로 제한되지 않으며, 유기 발광층(222)에서 방출된 광이 기판(210) 측으로 방출되는 배면 발광형일 수도 있다. 이 경우, 화소 전극(221)은 투명 또는 반투명 전극으로 구성되고, 대향 전극(223)은 반사 전극으로 구성될 수 있다.
대향 전극(223) 상에는 봉지층(230)이 배치될 수 있다. 봉지층(230)은 다층으로 형성된 무기막, 또는 무기막과 유기막을 포함하는 박막으로 구성될 수 있다. 봉지층(230)은 하나 이상의 유기층과 하나 이상의 무기층이 상호 교번하여 적층 형성될 수 있다. 봉지층(230)은 외부의 수분과 산소 등이 발광 표시부(220)에 침투하는 것을 방지하는 기능을 수행한다.
박리 막(100)은 기판(210)의 제1 면과 대향하는 제2 면 상에 형성된다. 박리 막(100)은 층상 구조(layer structure)를 가지는 물질로 형성될 수 있다. 박리 막(100)은 무기물로 형성될 수 있다. 박리 막은 수화된 마그네슘 실리케이트(hydrated magnesium silicate), 6방정 질화붕소(hexagonal boron nitride), 그라파이트(C) 및 2유화 몰리브덴(Molybdenum disulfide)을 포함할 수 있다. 수화된 마그네슘 실리케이트(hydrated magnesium silicate)는 Mg3Si4O10(OH)2 또는 (H2Mg39SiO3)4를 포함할 수 있다.
도 1에 박리 막(100)의 일 실시예로서 6방정 질화붕소(hexagonal boron nitride)의 층상 구조가 도시되어 있다. 수화된 마그네슘 실리케이트(hydrated magnesium silicate), 그라파이트(C) 및 2유화 몰리브덴(Molybdenum disulfide) 또한 도시된 층상 구조와 유사한 구조의 층상 구조를 가진다.
박리 막(100)은 각각의 층(101, 102)이 적층되어 있는 형태의 층상 구조로 형성될 수 있다. 도면에는 두 개의 층(101, 102)이 도시되어 있으나, 박리 막(100)은 적어도 하나 이상의 층을 포함할 수 있다. 각각의 층(101, 102) 사이에서 서로 인력(F)이 작용한다. 각각의 층(101, 102)의 인력(F)은 반데르발스 힘(van der Waals force)일 수 있다. 반데르발스 힘은 공유결합이나 이온의 전기적 상호작용 보다는 분자간(혹은 한 분자 내의 부분 간)의 인력이나 척력을 말한다. 즉, 무극성 분자에서 전자의 운동으로 순간적인 쌍극자가 형성되면 그 옆의 분자도 일시적인 편극이 일어나서 유발 쌍극자가 생성된다. 이런 순간적인 쌍극자와 유발 쌍극자의 인력을 반데르발스 힘이라고 한다. 각각의 층(101, 102)이 인력(F)에 의해 평행하게 중첩됨으로써 층상 구조가 형성될 수 있다. 박리 막(100)이 층상 구조를 가짐에 따라, 후술하는 바와 같이, 캐리어 기판(도 3의 300)의 분리를 더욱 용이하게 할 수 있다. 즉, 물리적인 방법에 의해 캐리어 기판(도 3의 300)을 분리할 때, 적층 구조 내의 층간의 결합이 끊어지면서, 캐리어 기판(도 3의 300)은 더욱 용이하게 분리될 수 있다.
또한 반데르발스 힘은 공유결합 또는 이온의 전기적 상호작용에 의한 힘들에 비해 비교적 약하다. 따라서 반데르발스 힘에 의해 층상 구조를 가질 수 있는 박리 막(100)은 낮은 마찰 계수(coefficient of friction)를 가질 수 있다. 이에 따라 박리 막(100)은 윤활 능력(lubricant ability)을 가질 수 있다. 박리 막(100)이 윤활 능력(lubricant ability)을 가짐에 따라 캐리어 기판(도 3의 300)은 박리 막(100)에 의해 쉽게 커버될 수 있다. 또한 박리 막(100)이 윤활 능력(lubricant ability)을 가짐에 따라 기판(210) 또는 캐리어 기판(300)의 스크래치(scratching) 또는 손상(injuring) 없이 양 기판들(210, 300)의 정렬이 가능하다.
박리 막(100)은 기판(210) 상에 전체적으로 형성될 수 있다.
도 3 내지 도 5는 도 1의 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법을 도시한 도면들이다.
이하에서는, 도 3 내지 도 5을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 디스플레이 장치의 제조방법을 설명한다.
먼저, 도 3에 도시된 바와 같이, 캐리어 기판(300) 상에 박리 막(100)을 형성한다.
캐리어 기판(300)은 글라스 등과 같이 고열에도 잘 견딜 수 있는 재질로 형성된 것을 이용한다. 또한, 그 기계적 강도가 충분하여 상부에 다양한 소자 또는 층들이 형성될 경우에도 변형이 없는 재질로 형성된 것을 이용하는 것이 바람직하다.
박리 막(100)은 일 예로, 캐리어 기판(300) 상에 수화된 마그네슘 실리케이트(hydrated magnesium silicate), 6방정 질화붕소(hexagonal boron nitride), 그라파이트(C) 및 2유화 몰리브덴(Molybdenum disulfide) 등의 물질을 스핀코팅, 딥코팅, 슬릿 코팅 등에 의해 도포하여 형성할 수 있다. 반데르발스 힘에 의해 층상 구조를 가질 수 있는 박리 막(100)은 낮은 마찰 계수(coefficient of friction)를 가질 수 있다. 이에 따라 박리 막(100)은 윤활 능력(lubricant ability)을 가질 수 있다. 박리 막(100)이 윤활 능력(lubricant ability)을 가짐에 따라 캐리어 기판(도 3의 300)은 박리 막(100)에 의해 쉽게 커버될 수 있다.
박리 막(100)은 층상 구조를 가질 수 있으며, 박리 막(100)은 제1 층(103) 및 제2 층(104)를 포함할 수 있다. 제1 층(103) 및 제2 층(104) 사이에서 서로 인력이 작용한다. 각각의 층(103, 104)간의 인력은 반데르발스 힘(van der Waals force)일 수 있다. 도면에는 두 개의 층(103, 104)이 도시되어 있으나, 박리 막(100)은 적어도 두 개 이상의 층을 포함할 수 있다. 즉, 제1 층(103)의 상부 또는 제2 층(104)의 하부에 적어도 하나 이상의 층을 더 포함할 수 있다.
박리 막(100)은 기판(210) 상에 전체적으로 형성될 수 있다. 종래에 기판(210) 또는 캐리어 기판(300)의 온도가 300℃ 이상으로 올라가는 경우 기판(210)과 캐리어 기판(300)의 영구적인 접합이 발생할 수 있었다. 박리 막(100)이 기판(210) 상에 전체적으로 형성됨으로써, 기판(210)과 캐리어 기판(300)이 전체적으로 분리될 수 있다. 따라서 기판(210)과 캐리어 기판(300) 간의 접합을 방지할 수 있다.
이어서, 도 4에 도시된 바와 같이 박리 막(100) 상에 순차적으로 기판(210), 발광 표시부(220) 및 봉지층(230)을 형성한다.
기판(210)은 아크릴, 폴리에틸렌에테르프탈레이트, 폴리에틸렌나프탈레이트, 폴리카보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리에스테르, 미라르(mylar) 및 폴리이미드 등과 같은 플라스틱 재질로 형성될 수 있다.
기판(210)을 박리 막(100)에 배치한 후에 기판(210) 및 캐리어 기판(300)을 정렬시킨다. 박리 막(100)이 층상 구조를 가짐에 따라 박리 막(100)이 윤활 능력을 가질 수 있다. 따라서 기판(210) 또는 캐리어 기판(300)의 스크래치(scratching) 또는 손상(injuring) 없이 양 기판들(210, 300)의 정렬이 가능하다.
기판(210) 및 캐리어 기판(300)을 정렬한 후, 상기 박리 막(100)을 상기 캐리어 기판(300) 및 상기 기판(210)과 접합시킨다. 즉, 박리 막(100)의 일면은 기판(210)과 접합되고, 박리 막(100)의 타면은 캐리어 기판(300)과 접합된다. 기판(210) 및 캐리어 기판(300)은 박리 막(100)을 매개로 하여 임시적으로 결합되는 것이다. 일 실시예로서, 박리 막(100)으로 Mg3Si4O10(OH)2가 사용되는 경우에는, 박리 막(100)의 ?OH 그룹들과 기판(210) 및 캐리어 기판(300)의 ?OH 그룹들이 반응함으로서, 박리 막(100)은 상기 캐리어 기판(300) 및 상기 기판(210)과 접합될 수 있다.
박리 막(100)과 상기 기판들(210, 300) 간의 접합력은 상기 층상 구조의 각각의 층간의 인력보다 큰 것이 바람직하다. 즉, 박리 막(100)과 상기 기판들(210, 300) 간의 접합력이 제1 층(103) 및 제2 층(104) 간의 인력보다 큰 것이 바람직하다.
기판(210) 상에는 화소 전극(도 2, 221), 유기 발광층(도 2, 222) 및 대향 전극(도 2, 223) 등을 순차적으로 형성하여 발광 표시부(220)를 형성하고, 발광 표시부(220) 상에는 이를 덮도록 봉지층(230)를 형성한다. 봉지층(230)은 다층의 무기막 또는 무기막과 유기막으로 구성된 박막으로 형성될 수 있다. 또한 봉지층(230)은 하나 이상의 유기층과 하나 이상의 무기층이 상호 교번하여 적층 형성될 수 있다.
기판(210) 상에 화소 전극(도 2, 221), 유기 발광층(도 2, 222) 및 대향 전극(도 2, 223) 등을 순차적으로 형성하는 과정에서 기판(210) 또는 캐리어 기판(300)에 열처리를 가하는 공정이 포함될 수 있다. 열처리 공정에 의해 기판(210) 또는 캐리어 기판(300)의 온도가 300℃ 이상으로 올라갈 수 있다. 종래에 기판(210) 또는 캐리어 기판(300)의 온도가 300℃ 이상으로 올라가는 경우 기판(210)과 캐리어 기판(300)의 영구적인 접합이 발생할 수 있었다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판(210)과 캐리어 기판(300) 사이에 층상 구조의 박리 막(100)이 배치됨으로써 기판(210) 또는 캐리어 기판(300)의 온도가 300℃ 이상으로 올라가더라도 기판(210)과 캐리어 기판(300)의 영구적인 접합이 발생하지 않는다.
또한, 박리 막(100)은 낮은 열팽창 계수를 가질 수 있다. 보다 상세하게는, 6방정 질화붕소(hexagonal boron nitride)의 경우 0보다 작은 열팽창 계수를 가질 수 있다. 박리 막(100)이 낮은 열팽창 계수를 가짐에 따라 열에 따른 박리 막(100)의 변형이 작아지므로, 박리 막(100)의 열팽창에 따른 문제 없이 기판(210) 또는 캐리어 기판(300)에 열처리를 가하는 공정이 진행될 수 있다.
이어서, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판(210)로부터 캐리어 기판(300)을 분리한다.
캐리어 기판(300)은 물리적인 방법에 의해 기판(210)으로부터 분리될 수 있다.
박리 막(100)은 층상 구조로서, 제1 층(103) 및 제2 층(104)을 포함하고, 박리 막(100)과 상기 기판들(210, 300) 간의 접합력이 제1 층(103) 및 제2 층(104) 간의 인력보다 클 수 있다. 이에 따라 물리적인 방법에 의해 박리 막(100)의 제1 층(103) 및 제2 층(104)간의 결합이 끊어지면서 기판(210)로부터 캐리어 기판(300)이 분리될 수 있다. 즉, 박리 막(100) 적층 구조 내의 층간의 결합이 끊어지면서, 박리 막(100)이 분리됨으로써 캐리어 기판(300)이 용이하게 분리될 수 있다. 이에 따라 캐리어 기판(300)의 탈착 수율이 향상될 수 있다.
본 발명에 따른 플렉서블 디스플레이 장치는 상기한 바와 같이 설명된 실시예들의 구성과 방법이 한정되게 적용될 수 있는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.
본 발명은 첨부된 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
10: 플렉서블 디스플레이 장치 100: 박리 막
200: 표시 패널부 210: 기판
220: 발광 표시부 230: 봉지층
240: 베리어막 250: 소자 및 배선층
300: 캐리어 기판

Claims (20)

  1. 기판;
    상기 기판의 제1 면 상에 형성된 발광 표시부;
    상기 발광 표시부 상에 형성된 봉지층; 및
    상기 제1 면과 대향하는 상기 기판의 제2 면 상에 형성된 박리 막;을 포함하고,
    상기 박리 막은 층상 구조를 가지는 플렉서블 디스플레이 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리 막은 무기물인 플렉서블 디스플레이 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리 막은 수화된 마그네슘 실리케이트, 6방정 질화붕소, 그라파이트 및 2유화 몰리브덴 중 적어도 하나인 플렉서블 디스플레이 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 박리 막은 기판 상에 전체적으로 형성되는 플렉서블 디스플레이 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판과 상기 발광 표시부 사이에는 소자 및 배선층이 형성된 플렉서블 디스플레이 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 발광 표시부는 유기 발광 디스플레이 패널인 플렉서블 디스플레이 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 발광 표시부는 전면 발광형인 플렉서블 디스플레이 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 봉지층은 하나 이상의 유기층과 하나 이상의 무기층이 상호 교번하여 적층 형성되는 플렉서블 디스플레이 장치.
  9. 캐리어 기판 상에 층상 구조를 가지는 박리 막을 형성하는 단계;
    상기 박리 막 상에 기판을 배치하는 단계;
    상기 박리 막을 상기 캐리어 기판 및 상기 기판과 접합시키는 단계;
    상기 기판 상에 발광 표시부를 형성하는 단계;
    상기 발광 표시부 상에 봉지층을 형성하는 단계; 및
    상기 박리 막을 분리하여 상기 캐리어 기판을 제거하는 단계;를 포함하는, 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 박리 막은 무기물인 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 박리 막은 수화된 마그네슘 실리케이트, 6방정 질화붕소, 그라파이트 및 2유화 몰리브덴 중 적어도 하나인 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  12. 제 9 항에 있어서,
    상기 박리 막은 기판 상에 전체적으로 형성되는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  13. 제 9 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판 및 상기 기판을 정렬하는 단계;를 더 포함하는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  14. 제 9 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판과 상기 박리 막 사이의 접합력이 상기 층상 구조의 각각의 층간의 결합력보다 큰 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 박리 막은 상기 층상 구조의 제1 층 과 제2 층 사이에서 분리되는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  16. 제 9 항에 있어서,
    상기 기판 또는 상기 캐리어 기판에 열처리를 가하는 단계;를 더 포함하는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 기판 또는 상기 캐리어 기판의 온도가 300℃ 이상이 되는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  18. 제 9 항에 있어서,
    상기 캐리어 기판의 제거는 물리적인 방법에 의하는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  19. 제 9 항에 있어서,
    상기 발광 표시부는 유기 발광 디스플레이 패널인 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
  20. 제 9 항에 있어서,
    상기 봉지층은 하나 이상의 유기층과 하나 이상의 무기층이 상호 교번하여 적층 형성되는 플렉서블 디스플레이 장치의 제조 방법.
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