KR20140099559A - Bonding apparatus and method for controlling same - Google Patents

Abstract

본 발명은 턴테이블을 이용하여, 워크의 위치 결정과 접합을 효율적으로 행할 수 있으며, 저렴하고 소형인 접합 장치 및 그 제어 방법을 제공한다. 1쌍의 워크(S1, S2)를 접합시키는 상기 접합 장치에서는, 복수의 포지션에 따라서 간헐 회전하는 턴테이블(1)과, 턴테이블(1) 상에 복수 마련되어, 워크(S1, S2)를 유지하는 유지 장치(2)와, 유지 장치(2)에 설치되어, 워크(S1)를 위치 결정하는 위치 결정부(300), 그리고 유지 장치(2)에 있어서의 워크(S2)를 압박함으로써, 워크(S1)에 접합시키는 압박 장치(5)를 구비한다. 위치 결정부(300)를 구동하는 구동부(400)를, 턴테이블(1)과는 독립적으로, 그리고 위치 결정부(300)와 착탈 가능하게 마련한다.An object of the present invention is to provide a joining apparatus and a control method thereof that can efficiently perform positioning and joining of a work using a turntable, and are inexpensive and small. The joining device for joining the pair of works S1 and S2 includes a turntable 1 that intermittently rotates in accordance with a plurality of positions and a plurality of rotatable members 1b provided on the turntable 1 to hold the work S1 and S2 A positioning unit 300 provided in the holding unit 2 for positioning the work S1 and a work S2 in the holding unit 2 are pressed against the work S1 And a pressing device 5 for joining the pressing member 5 and the pressing member 5 to each other. The driving unit 400 for driving the positioning unit 300 is provided so as to be detachable from the positioning unit 300 independently of the turntable 1.

Description

접합 장치 및 그 제어 방법{BONDING APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a bonding apparatus,

본 발명은, 예컨대 액정 모듈과 커버 패널과 같은 평판형의 워크를 접합시키는 기술에 개량을 실시한 접합 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to a joining apparatus in which a liquid crystal module and a plate-like work such as a cover panel are bonded to each other, and a control method thereof.

일반적으로, 액정 패널은, 액정 모듈과, 그 표면을 보호하는 보호 시트, 조작용의 터치패널 등을 적층함으로써 구성되어 있다. 이들 액정 모듈, 보호 시트, 터치패널 등(이하, 워크라고 함)은, 액정 모듈의 케이스에 설치되어 있으며, 보호 패널이나 터치패널의 변형에 의한 액정 유리에의 접촉을 피하기 위해서, 서로간에 공간이 형성되어 있었다.Generally, a liquid crystal panel is constituted by laminating a liquid crystal module, a protective sheet for protecting the surface, and a touch panel for operation. These liquid crystal modules, protective sheets and touch panels (hereinafter referred to as workpieces) are provided in the case of the liquid crystal module. In order to avoid contact with the liquid crystal glass due to deformation of the protective panel or the touch panel, .

그러나, 액정 모듈, 보호 시트, 터치패널 등(이하, 워크라고 함)의 사이에 공기의 층이 들어가면, 외광 반사에 의해 표시면의 시인성이 저하된다. 이에 대처하기 위해서, 양면테이프나 접착제 등의 점착재에 의해, 워크 사이를 메우는 층이 형성되도록 접합시키는 것이 행해져 오고 있다.However, when an air layer is interposed between a liquid crystal module, a protective sheet, a touch panel or the like (hereinafter referred to as a work), the visibility of the display surface is lowered due to reflection of external light. In order to cope with this, bonding is performed so that a layer for covering between works is formed by an adhesive material such as a double-faced tape or an adhesive.

이 때문에, 액정 패널의 제조에는, 적어도 한 쪽의 워크에 대하여, 이러한 점착재를 준비하여, 접합을 실시하는 접합 장치가 필요하게 된다. 또한, 접합되는 워크 사이에 기포 등이 혼입되는 것을 막기 위해서, 접합은 진공 속에서 행하는 것이 바람직하다. 따라서, 접합 장치에는 진공 챔버 등을 갖출 필요도 있다.Therefore, in manufacturing the liquid crystal panel, it is necessary to provide a bonding apparatus for preparing and bonding such an adhesive material to at least one of the workpieces. Further, in order to prevent bubbles or the like from being mixed between the works to be bonded, it is preferable to perform bonding in vacuum. Therefore, it is also necessary to provide a vacuum chamber or the like in the bonding apparatus.

이와 같이 워크를 접합시키는 기술로서는, 예컨대 특허문헌 1∼3에 개시하는 것이 제안되어 있다. 특허문헌 1 및 2에 기재된 기술은, 진공 속에서 워크를 접합시키는 방법이다. 특허문헌 3에 기재된 기술은, 접합을 효율적으로 행하기 위해서, 워크를 유지하는 장치가, 간헐 회전하는 턴테이블에 의해서 이동하면서, 순차 처리를 행하는 기술이다.As such a technique for joining a work, for example, those disclosed in Patent Documents 1 to 3 have been proposed. The technique described in Patent Documents 1 and 2 is a method of bonding a work in a vacuum. The technique described in Patent Document 3 is a technique for performing sequential processing while moving by a turntable rotating intermittently in order to efficiently perform joining.

일본 특허 공개 제2004-170974호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-170974 일본 특허 공개 제2004-170975호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-170975 일본 특허 제3595125호 공보Japanese Patent No. 3595125

그런데, 워크를 정확하게 위치 결정하기 위해서는, 평면 위를 직교 방향(X-Y 방향) 및 회전 방향(θ 방향)으로 변위할 수 있는, X-Y-θ 테이블을 갖추는 것이 바람직하다. 그러나, 이러한 X-Y-θ 테이블은, 이것을 구동하는 구동원 등을 포함하면, 대형으로 된다. 이 때문에, X-Y-θ 테이블을 턴테이블에 탑재하면, 장치 전체의 대형화로 이어지고, 전원 및 제어선의 처리가 복잡해진다. 또한, 구동원 등을 포함하여 X-Y-θ 테이블 전체를 진공 챔버 내에 수용하고, 밀폐를 확보하고자 하면, 진공 챔버도 대형이 된다. 이러한 대형화는 결국 장치의 제조비용을 증대시키게 된다.However, in order to precisely position the work, it is preferable to provide an X-Y-? Table capable of displacing the plane in the orthogonal direction (X-Y direction) and the rotational direction (? Direction). However, such an X-Y-? Table is large if it includes a driving source for driving it. Therefore, when the X-Y-theta table is mounted on the turntable, the entire apparatus becomes large-sized, and the processing of the power source and the control line becomes complicated. Further, when the entire X-Y- &thetas; table including the driving source and the like is accommodated in the vacuum chamber and the sealing is secured, the vacuum chamber becomes large. This enlargement ultimately increases the manufacturing cost of the device.

본 발명은, 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해서 제안된 것으로, 그 주된 목적은, 턴테이블을 이용하여, 워크의 위치 결정과 접합을 효율적으로 행할 수 있으며, 저렴하고 소형인 접합 장치 및 그 제어 방법을 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been proposed in order to solve the problems of the related art as described above, and its main object is to provide a joining apparatus and a joining apparatus which can efficiently perform positioning and joining of a work using a turntable, And to provide a control method.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 안정된 가동을 실현할 수 있으며, 기포나 먼지 등의 혼입이 없고, 높은 정밀도로 접합할 수 있는 접합 장치 및 그 제어 방법을 제공하는 데에 있다.Another object of the present invention is to provide a joining apparatus capable of realizing stable operation and capable of joining with high accuracy without mixing of bubbles or dust, and a control method thereof.

상기한 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은, 표시 장치를 구성하는 1쌍의 워크를 접합하는 접합 장치에 있어서, 복수의 포지션에 따라서 간헐 회전하는 턴테이블과, 상기 턴테이블에 복수 마련되어, 1쌍의 워크를 유지하는 유지 장치와, 상기 유지 장치에 마련되어, 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 위치 결정하는 위치 결정부와, 상기 유지 장치에 있어서의 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 압박함으로써, 1쌍의 워크를 접합시키는 압박 장치를 구비하고, 상기 위치 결정부를 구동하는 구동부가, 상기 턴테이블과는 독립적으로, 그리고 상기 위치 결정부와 착탈 가능하게 마련되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a joining apparatus for joining a pair of works constituting a display device, comprising: a turntable rotating intermittently in accordance with a plurality of positions; A positioning unit provided in the holding device for positioning at least one of the pair of workpieces; and a pressing mechanism for pressing at least one of the pair of workpieces in the holding device, And a driving unit for driving the positioning unit is provided so as to be detachable from the turntable independently of and with the positioning unit.

이상과 같은 본 발명에서는, 턴테이블의 회전시에는, 유지 장치를 구동부로부터 분리하여, 턴테이블의 회전에 따라서 이동시킬 수 있다. 이 때문에, 턴테이블에 구동부를 탑재할 필요가 없어져, 전원 및 제어선도 불필요하게 된다. 또한, 유지 장치를 여러 대 탑재할 수 있기 때문에, 고속으로 효율 좋게 접합을 실현할 수 있다. 또한, 1곳에 구동부를 마련하기만 하면 되기 때문에, 저렴하게 구성할 수 있다. 게다가, 위치 결정 후의 유지 장치 상에서 접합을 행할 수 있기 때문에, 정밀도가 높은 접합이 가능하게 된다.In the present invention as described above, when the turntable is rotated, the holding device can be separated from the driving portion and moved in accordance with the rotation of the turntable. Therefore, it is not necessary to mount the driving part on the turntable, and the power supply and the control line become unnecessary. Further, since a plurality of holding devices can be mounted, it is possible to achieve high-speed and efficient bonding. Further, since only one drive unit is required to be provided in one place, it can be constructed at a low cost. In addition, since the bonding can be performed on the holding device after the positioning, highly accurate bonding can be performed.

다른 양태는, 상기 턴테이블의 적어도 한 포지션에는, 적어도 한 쪽의 워크에 접착된 양면테이프의 박리지를 박리하는 박리 장치가 착탈 가능하게 마련되는 것을 특징으로 한다.Another aspect is characterized in that at least one position of the turntable is detachably provided with a peeling apparatus for peeling the peeling paper of the double-sided tape adhered to at least one of the workpieces.

이상과 같은 발명에서는, 턴테이블에 대하여, 박리 장치가 착탈 가능하게 마련되기 때문에, 예컨대 접착제의 도포 장치와 같이, 점착재를 준비하기 위한 다른 종류의 장치를 교환할 수 있기 때문에, 다양한 제품에 대응할 수 있게 된다.According to the invention as described above, since the peeling device is detachably attached to the turntable, it is possible to replace other types of devices for preparing the adhesive material, for example, as in the case of an adhesive applicator, .

다른 양태는, 상기 턴테이블의 적어도 한 포지션에는, 적어도 한 쪽의 워크에 접착된 양면테이프의 박리지를 박리하는 박리 장치가 마련되고, 상기 박리 장치는, 박리지에 점착테이프를 밀어붙이는 박리 헤드와, 상기 박리 헤드에 점착테이프를 공급하는 공급부와, 상기 박리 헤드로부터의 점착테이프를 권취하는 권취부와, 상기 박리 헤드에 있어서의 상기 점착테이프의 길이 방향과 다른 방향으로부터, 상기 공급부에 의한 상기 점착테이프의 공급이 이루어지도록 점착테이프의 공급 방향을 변환하는 변환부를 구비하는 것을 특징으로 한다.In another aspect of the present invention, at least one position of the turntable is provided with a peeling apparatus for peeling the peeling paper of the double-faced tape adhered to at least one work, wherein the peeling apparatus comprises a peeling head for pushing the peeling paper to the peeling paper, A peeling head for peeling off the adhesive tape from the peeling head and a peeling head for peeling the peeling head from the peeling head in a direction different from the longitudinal direction of the peeling head, And a converting unit for converting a feeding direction of the adhesive tape so that the feeding is performed.

이상과 같은 발명에서는, 공급부로부터의 점착테이프의 공급 방향과, 박리 헤드에 있어서의 점착테이프의 길이 방향이 다르기 때문에, 상기 길이 방향의 장치 스페이스를 축소시킬 수 있다.In the above-described invention, since the supply direction of the adhesive tape from the supply unit is different from the longitudinal direction of the adhesive tape in the peeling head, the device space in the longitudinal direction can be reduced.

다른 양태는, 상기 공급부로부터 상기 박리 헤드와의 사이 및 상기 박리 헤드로부터 상기 권취부와의 사이에는, 점착테이프의 이동을 가이드하는 가이드 부재가 마련되며, 박리지를 박리하는 워크의 위치에 대응하여, 상기 박리 헤드 및 상기 가이드 부재의 배치가 다른 복수의 유닛이 교환 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a guide member for guiding the movement of the adhesive tape between the feeding portion and the peeling head and between the peeling head and the winding portion, and in correspondence with the position of the work for peeling the peeling paper, And a plurality of units having different arrangements of the peeling head and the guide member are exchangeable.

이상과 같은 발명에서는, 변환부에 의해, 박리 헤드에 있어서의 점착테이프의 길이 방향과 다른 위치에 공급부를 배치할 수 있다. 이 때문에, 공급부 및 권취부는 그대로 하고, 박리 헤드 및 가이드 부재의 배치가 다른 복수의 유닛을 준비하여, 이것을 교환함으로써, 다른 위치의 워크에 대한 박리지의 박리에 대응할 수 있다.According to the invention as described above, the supplying section can be arranged at a position different from the longitudinal direction of the adhesive tape in the peeling head by the converting section. Therefore, it is possible to cope with peeling-off of the release paper to the workpiece at another position by preparing a plurality of units different in the arrangement of the peeling head and the guide member without changing the supply portion and the winding portion.

다른 양태는, 상기 턴테이블의 적어도 한 포지션에는, 1쌍의 워크에 있어서의 사각형의 코너 3점을 각각 검출하는 검출 장치가 마련되고, 사각형의 대각선의 양단을 구성하는 2점의 중점을 워크의 무게중심으로서 산출하는 무게중심 산출부와, 사각형의 변을 구성하는 2점에 기초하여, 워크의 기울기를 산출하는 기울기 산출부와, 상기 무게중심 및 상기 기울기에 기초하여, 상기 위치 결정부의 제어량을 산출하는 위치 결정 연산부를 구비하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, at least one position of the turntable is provided with a detection device for detecting three corners of a square in a pair of work pieces, and the midpoint of the two points constituting both ends of the diagonal line of the rectangle, A tilt calculating section for calculating a tilt of the work based on two points constituting the sides of the rectangle; and a tilt calculating section for calculating a control amount of the positioning section based on the center of gravity and the tilt And a positioning operation unit for performing a positioning operation.

다른 양태는, 복수의 포지션에 따라서 간헐 회전하는 턴테이블과, 상기 턴테이블에 복수 마련되어, 표시 장치를 구성하는 1쌍의 워크를 유지하는 유지 장치와, 상기 유지 장치에 마련되어, 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 위치 결정하는 위치 결정부와, 상기 유지 장치에 있어서의 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 압박함으로써, 1쌍의 워크를 접합시키는 압박 장치를 구비하는 접합 장치를, 컴퓨터 혹은 전자회로가 제어함으로써, 1쌍의 워크를 접합시키는 접합 장치의 제어 방법에 있어서, 상기 컴퓨터 혹은 전자회로는, 검출부와, 무게중심 산출부와, 기울기 산출부와, 위치 결정 연산부를 구비하고, 상기 검출부는, 1쌍의 워크에 있어서의 사각형의 코너 3점을 검출하며, 상기 무게중심 산출부는, 사각형의 대각선의 양단을 구성하는 2점의 중점을 워크의 무게중심으로서 산출하고, 상기 기울기 산출부는, 사각형의 변을 구성하는 2점에 기초하여, 워크의 기울기를 산출하며, 상기 위치 결정 연산부는, 상기 무게중심 및 상기 기울기에 기초하여, 상기 위치 결정부의 제어량을 산출하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a turntable comprising: a turntable rotating intermittently in accordance with a plurality of positions; a holding device provided in the turntable to hold a pair of works constituting the display device; And a pressing device for pressing a pair of works by pressing at least one of the pair of works in the holding device so as to be controlled by a computer or an electronic circuit Wherein the computer or the electronic circuit includes a detection unit, a center-of-gravity calculation unit, a slope calculation unit, and a positioning calculation unit, Wherein the center-of-gravity calculating unit detects three corners of a quadrangle in the pair of works, and the center-of-gravity calculator calculates center points of two points constituting both ends of the diagonal line of the rectangle, And the inclination calculating section calculates the inclination of the work based on the two points constituting the sides of the rectangle and the position calculating section calculates the inclination of the work based on the center of gravity and the inclination, Is calculated.

이상과 같은 발명에서는, 1쌍의 워크의 무게중심과 기울기를, 각각의 사각형의 3점을 검출함으로써 산출하여, 위치 결정량을 결정할 수 있기 때문에, 처리 부담을 최소한으로 하여, 정확한 위치맞춤을 할 수 있다.In the above-described invention, since the center of gravity and inclination of a pair of workpieces are calculated by detecting three points of each square, and the amount of positioning can be determined, the processing burden can be minimized and accurate positioning can be performed .

다른 양태는, 상기 턴테이블의 적어도 한 포지션에는, 1쌍의 워크의 위치를 검출하는 검출 장치가 마련되고, 상기 검출 장치는, 한 쪽의 워크를 촬상하는 제1 카메라와, 1쌍의 워크 사이에 삽입되어, 다른 쪽의 워크를 촬상하는 제2 카메라를 구비하며, 상기 제2 카메라에 있어서의 상기 제1 카메라에 대향하는 면에는 반사부가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a detecting device for detecting the position of a pair of workpieces in at least one position of the turntable, the detecting device comprising: a first camera for picking up one of the workpieces; And a second camera inserted into the first camera and capturing an image of the other work, wherein a reflection portion is provided on a surface of the second camera facing the first camera.

이상과 같은 발명에서는, 워크에 만곡 등이 있었던 경우라도, 제1 카메라 측으로부터의 조사광이, 제2 카메라의 반사면에 의해서 반사되어 제1 카메라에서 수광할 수 있기 때문에, 확실하게 검출할 수 있다.According to the above invention, even when the work has a curvature or the like, the irradiation light from the first camera can be reflected by the reflecting surface of the second camera and can be received by the first camera, have.

다른 양태는, 상기 압박 장치는, 상기 위치 결정부에 있어서의 워크를 유지하는 부분을 상기 구동부로부터 독립하여 수용할 수 있는 진공 챔버를 갖는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the pressing device has a vacuum chamber capable of receiving a portion for holding the work in the positioning portion independently from the driving portion.

이상과 같은 발명에서는, 진공 접합을 행하기 위한 진공 챔버는, 유지 장치의 위치 결정부에 있어서의 워크를 유지하는 부분을 수용하고, 구동부는 수용하지않아도 되기 때문에, 소형화할 수 있다.In the above invention, since the vacuum chamber for vacuum bonding accommodates the portion for holding the work in the positioning portion of the holding device and does not need to accommodate the driving portion, the vacuum chamber can be downsized.

다른 양태는, 진공원에 연통된 통기 경로를 구비하고, 상기 위치 결정부에 대하여 한 쪽의 워크를 진공 흡착시키는 흡착부와, 상기 통기 경로를 진공원 측과 진공 챔버 측으로 전환하는 밸브를 갖는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a vacuum cleaner comprising: a suction part provided with a vent path communicating with a vacuum source, for vacuum-adsorbing one work to the positioning part; and a valve for switching the vent path to the vacuum source side and the vacuum chamber side .

이상과 같은 발명에서는, 진공 챔버를 감압하여 진공으로 할 때에, 밸브를 전환함으로써, 워크를 진공 흡착하기 위한 통기 경로를, 진공 챔버 내와 동일 압력으로 할 수 있기 때문에, 워크가 벗어나는 것을 방지할 수 있다.According to the above-described invention, when the vacuum chamber is evacuated to vacuum, by switching the valve, the vent path for vacuum adsorption of the work can be set to the same pressure as in the vacuum chamber, have.

다른 양태는, 상기 진공 챔버 내에 마련된 진공계와, 전압치와, 이것에 대응하는 압력을 산출하기 위한 복수의 다항 근사식을 기억한 기억부와, 상기 기억부에 기억한 전압치 및 다항 근사식에 기초하여, 상기 진공계로부터의 전압치에 대응하는 다항 근사식을 선택하는 식 선택부와, 선택된 다항 근사식에 기초하여, 압력을 산출하는 압력 연산부를 갖는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a vacuum chamber comprising: a vacuum system provided in the vacuum chamber; a storage unit storing a voltage value and a plurality of polynomial approximation expressions for calculating a pressure corresponding thereto; and a voltage value and a polynomial approximation expression stored in the storage unit An equation selecting unit for selecting a polynomial approximate expression corresponding to the voltage value from the vacuum system on the basis of the selected polynomial approximate expression and a pressure calculating unit for calculating the pressure based on the selected polynomial approximate expression.

다른 양태는, 복수의 포지션에 따라서 간헐 회전하는 턴테이블과, 상기 턴테이블에 복수 마련되어, 표시 장치를 구성하는 1쌍의 워크를 유지하는 유지 장치와, 상기 유지 장치에 마련되어, 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 위치 결정하는 위치 결정부와, 상기 유지 장치에 있어서의 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 압박함으로써, 1쌍의 워크를 접합시키는 압박 장치와, 상기 압박 장치에 마련되어, 상기 위치 결정부에 있어서의 워크를 유지하는 부분을 상기 구동부로부터 독립하여 수용할 수 있는 진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 마련된 진공계를 구비하는 접합 장치를, 제어 장치에 의해서 제어함으로써, 1쌍의 워크를 접합시키는 접합 장치의 제어 방법에 있어서, 상기 제어 장치는, 기억부와, 식 선택부와, 압력 연산부를 구비하고, 상기 기억부는, 전압치와, 이에 대응하는 압력을 산출하기 위한 복수의 다항 근사식을 기억하며, 상기 식 선택부는, 상기 기억부에 기억한 전압치 및 다항 근사식에 기초하여, 상기 진공계로부터의 전압치에 대응하는 다항 근사식을 선택하고, 상기 압력 연산부는, 선택된 다항 근사식에 기초하여, 압력을 산출하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a turntable comprising: a turntable rotating intermittently in accordance with a plurality of positions; a holding device provided in the turntable to hold a pair of works constituting the display device; A pressing device for pressing the at least one of the pair of works in the holding device so as to join the pair of works; and a positioning device provided in the positioning device, A vacuum chamber in which a portion for holding the work in the vacuum chamber is accommodated independently from the drive portion and a vacuum system provided in the vacuum chamber are controlled by a control device to perform a bonding operation Wherein the control device includes a storage unit, an expression selecting unit, and a pressure calculating unit, wherein the storage unit stores the voltage value And a plurality of polynomial approximation expressions for calculating a corresponding pressure, wherein the expression selecting unit selects, based on the voltage value and the polynomial approximation expression stored in the storage unit, a polynomial approximation corresponding to the voltage value from the vacuum system And the pressure calculation unit calculates the pressure based on the selected polynomial approximation formula.

이상과 같은 발명에서는, 진공계에 의해 검출된 전압치에 따라서, 적절한 다항 근사식을 선택하기 때문에, 낮은 차수의 근사함수로, 높은 정밀도의 압력 산출이 가능하게 된다. 또한, 항상 단순한 하나의 함수에 의한 연산 처리를 하면 되기 때문에, 처리 부담이 경감된다.According to the above invention, since a proper polynomial approximate expression is selected in accordance with the voltage value detected by the vacuum system, it is possible to calculate the pressure with high precision with a low-order approximate function. In addition, since it is always necessary to carry out an arithmetic operation using a single simple function, the processing burden is reduced.

다른 양태는, 상기 위치 결정부 및 상기 압박부 중 적어도 한 쪽에 있어서의 워크와의 접촉면에는, 탄성 부재에 다공질의 시트를 접착한 보호 부재가 마련되는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, a protective member is provided on a surface of the elastic member in contact with the work on at least one of the positioning portion and the pressing portion, wherein a porous sheet is adhered to the elastic member.

이상과 같은 발명에서는, 탄성 부재에 다공질의 시트를 접착함으로써, 보호 부재를 구성하고 있기 때문에, 접합시의 워크에의 충격을 흡수하면서, 워크가 탄성 부재에 접착되는 것을 방지할 수 있다.According to the invention as described above, since the protective member is formed by bonding the porous sheet to the elastic member, it is possible to prevent the work from adhering to the elastic member while absorbing the impact to the work at the time of bonding.

다른 양태는, 상기 턴테이블의 적어도 한 포지션에는, 적어도 한 쪽의 워크에 접착제를 도포하는 도포 장치가, 착탈 가능하게 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.Another aspect is characterized in that at least one position of the turntable is detachably provided with a coating device for applying an adhesive to at least one of the workpieces.

이상과 같은 발명에서는, 턴테이블에 대하여, 도포 장치가 착탈 가능하게 마련되므로, 점착재를 준비하기 위한 다른 종류의 장치를 교환할 수 있기 때문에, 다양한 제품에 대응할 수 있게 된다.According to the invention as described above, since the applicator is detachably attached to the turntable, it is possible to replace the other type of apparatus for preparing the adhesive material, so that it is possible to cope with various products.

이상, 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 턴테이블을 이용하여, 워크의 위치 결정과 접합을 효율적으로 행할 수 있으며, 저렴하고 소형인 접합 장치 및 그 제어 방법을 제공할 수 있다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, according to the present invention, it is possible to provide a joining apparatus and a control method thereof that can efficiently perform positioning and joining of a work using a turntable, and are inexpensive and small.

또한, 본 발명에 따르면, 안정된 가동을 실현할 수 있으며, 기포나 먼지 등의 혼입이 없고, 높은 정밀도의 접합이 가능한 접합 장치 및 그 제어 방법을 제공할 수 있다.Further, according to the present invention, it is possible to provide a joining apparatus capable of realizing stable operation, free from mixing of bubbles and dust, and capable of joining with high precision, and a control method thereof.

도 1은 본 발명의 일 실시형태의 전체 구성을 도시하는 개략적인 평면도.
도 2는 도 1의 실시형태에서의 유지 장치를 도시하는 종단면도.
도 3은 도 2의 유지 장치에서의 유지부 및 흡착부를 도시하는 사시도.
도 4는 도 1의 실시형태에서의 위치 결정부를 도시하는 종단면도.
도 5는 도 4의 위치 결정부에서의 X 방향 및 Y 방향의 위치 결정을 도시하는 평면도.
도 6은 도 4의 위치 결정부에서의 θ 방향의 위치 결정을 도시하는 평면도.
도 7은 도 4의 위치 결정부에서의 로크부의 로크 해제시를 도시하는 종단면도.
도 8은 도 7의 로크 시를 도시하는 종단면도.
도 9는 도 7의 평면도.
도 10은 도 1의 실시형태에서의 압착부의 흡착 시를 도시하는 종단면도.
도 11은 도 10의 압착부의 흡착 개방시를 도시하는 종단면도.
도 12는 도 10의 3방향 밸브(A), 도 11의 3방향 밸브(B)를 도시하는 종단면도.
도 13은 도 1의 실시형태에서의 박리 장치(제1 유닛)를 도시하는 측면도.
도 14는 도 13의 평면도.
도 15는 도 13의 배면도.
도 16은 도 1의 실시형태에서의 박리 장치(제2 유닛)를 도시하는 측면도.
도 17은 도 13의 박리 장치에 의한 박리를 도시하는 설명도.
도 18은 도 16의 박리 장치에 의한 박리를 도시하는 설명도.
도 19는 종래의 박리 장치에 의한 하측의 박리(A) (B), 상측의 박리(C) (D)를 도시하는 설명도.
도 20은 도 1의 실시형태에서의 검출 장치를 도시하는 사시도.
도 21은 도 20의 검출 장치를 도시하는 측면도.
도 22는 도 20의 검출 장치에서의 동축 낙사 조명의 수광을 도시하는 설명도.
도 23은 도 1의 실시형태에서의 압박 장치의 진공 챔버 상승 시를 도시하는 종단면도.
도 24는 도 23의 압박 장치의 진공 챔버 하강 시를 도시하는 종단면도.
도 25는 도 23의 압박 장치의 가압 헤드 하강 시를 도시하는 종단면도.
도 26은 도 1의 실시형태의 제어 장치를 도시하는 기능 블록도.
도 27은 도 26의 진공 연산부를 도시하는 기능 블록도.
도 28은 도 1의 실시형태에서의 위치 결정 순서를 도시하는 흐름도.
도 29는 도 1의 실시형태에서의 위치 결정 순서를 도시하는 설명도.
도 30은 도 1의 실시형태에서의 접합 순서를 도시하는 흐름도.
도 31은 종래의 진공계에 의한 검출 전압과 압력의 관계를 나타내는 테이블을 도시하는 설명도.
도 32는 도 31의 테이블을 그래프화한 설명도.
도 33은 본 실시형태에서의 진공계에 의한 검출 전압과 압력의 관계를 나타내는 그래프를 도시하는 설명도이다.
도 34는 도 33의 그래프의 (1) 구분을 도시하는 설명도.
도 35는 도 33의 그래프의 (2) 구분을 도시하는 설명도.
도 36은 도 33의 그래프의 (3) 구분을 도시하는 설명도.
도 37은 본 발명의 접착제의 도포 장치를 이용한 경우의 일 실시형태를 도시하는 간략 평면도.
도 38은 다른 검출 장치의 일례를 도시하는 종단면도.
도 39는 다른 검출 장치의 일례를 도시하는 종단면도.
도 40은 접합시키는 워크의 일례를 도시하는 사시도.
도 41은 도 40의 위치맞춤 예를 도시하는 설명도.
도 42는 도 40의 실시형태에서의 위치 결정 순서를 도시하는 설명도.1 is a schematic plan view showing an overall configuration of an embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a longitudinal sectional view showing the holding device in the embodiment of Fig. 1; Fig.
3 is a perspective view showing a holding part and a suction part in the holding device of Fig.
Fig. 4 is a longitudinal sectional view showing the positioning section in the embodiment of Fig. 1; Fig.
Fig. 5 is a plan view showing positioning in the X direction and Y direction in the positioning unit of Fig. 4; Fig.
Fig. 6 is a plan view showing positioning in the direction of? In the positioning portion of Fig. 4; Fig.
Fig. 7 is a longitudinal sectional view showing the unlocking state of the lock portion in the positioning portion of Fig. 4; Fig.
FIG. 8 is a longitudinal sectional view showing a lock state in FIG. 7; FIG.
9 is a plan view of Fig.
Fig. 10 is a vertical cross-sectional view illustrating the adsorption of the pressed portion in the embodiment of Fig. 1; Fig.
11 is a longitudinal sectional view showing the adsorption opening state of the pressed portion of Fig.
FIG. 12 is a longitudinal sectional view showing the three-way valve A of FIG. 10 and the three-way valve B of FIG. 11;
Fig. 13 is a side view showing a peeling apparatus (first unit) in the embodiment of Fig. 1; Fig.
Fig. 14 is a plan view of Fig. 13; Fig.
Fig. 15 is a rear view of Fig. 13; Fig.
16 is a side view showing a peeling apparatus (second unit) in the embodiment of Fig.
FIG. 17 is an explanatory view showing peeling by the peeling apparatus of FIG. 13; FIG.
Fig. 18 is an explanatory view showing peeling by the peeling apparatus of Fig. 16; Fig.
19 is an explanatory view showing the peeling (A) (B) on the lower side and the peeling (C) (D) on the upper side by the conventional peeling apparatus.
20 is a perspective view showing the detection device in the embodiment of Fig. 1; Fig.
Fig. 21 is a side view showing the detection device of Fig. 20; Fig.
Fig. 22 is an explanatory view showing the reception of the coaxial incident illumination in the detection device of Fig. 20; Fig.
Fig. 23 is a longitudinal sectional view showing the ascent of the vacuum chamber of the pressing device in the embodiment of Fig. 1; Fig.
24 is a longitudinal sectional view showing the lowering of the vacuum chamber of the pressing device of Fig.
Fig. 25 is a vertical cross-sectional view showing the lowering of the pressing head of the pressing device of Fig. 23; Fig.
FIG. 26 is a functional block diagram showing the control device of the embodiment of FIG. 1; FIG.
Fig. 27 is a functional block diagram showing the vacuum calculation unit of Fig. 26; Fig.
28 is a flowchart showing a positioning procedure in the embodiment of Fig. 1;
29 is an explanatory diagram showing a positioning procedure in the embodiment of Fig. 1; Fig.
30 is a flowchart showing a bonding sequence in the embodiment of Fig.
31 is an explanatory diagram showing a table showing a relationship between a detection voltage and a pressure by a conventional vacuum system;
Fig. 32 is an explanatory diagram showing a graph of the table of Fig. 31; Fig.
33 is an explanatory diagram showing a graph showing the relationship between the detected voltage and the pressure by the vacuum system in the present embodiment.
34 is an explanatory diagram showing (1) division of the graph of FIG. 33;
FIG. 35 is an explanatory diagram showing the division (2) in the graph of FIG. 33; FIG.
FIG. 36 is an explanatory diagram showing the (3) division of the graph of FIG. 33; FIG.
37 is a schematic plan view showing an embodiment in the case of using an apparatus for applying an adhesive of the present invention.
38 is a longitudinal sectional view showing an example of another detecting device.
39 is a longitudinal sectional view showing an example of another detecting device.
40 is a perspective view showing an example of a work to be joined;
FIG. 41 is an explanatory view showing an example of alignment in FIG. 40; FIG.
FIG. 42 is an explanatory diagram showing a positioning procedure in the embodiment of FIG. 40; FIG.

이어서, 본 발명의 실시의 형태(이하, 실시형태라고 함)에 대해서 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.Next, embodiments of the present invention (hereinafter referred to as embodiments) will be described in detail with reference to the drawings.

[A. 구성][A. Configuration]

[1. 전체 구성][One. Overall configuration]

우선, 본 실시형태의 접합 장치(이하, 본 장치라고 함)의 전체 구성을 설명한다. 본 장치는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 턴테이블(1) 상에, 4대의 유지 장치(2)를 탑재한 것이다. 턴테이블(1)은, 인덱스 기구(11)에 의해서, 투입 취출 포지션(1A), 점착재 준비 포지션(1B), 위치 결정 포지션(1C), 진공 접합 포지션(1D)에 맞춰, 간헐 회전하도록 구성되어 있다.First, the overall configuration of a bonding apparatus (hereinafter referred to as " this apparatus ") of the present embodiment will be described. As shown in Fig. 1, the present apparatus has four holding devices 2 mounted on a turntable 1. In Fig. The turntable 1 is configured to intermittently rotate by the index mechanism 11 in accordance with the injection taking-out position 1A, the adhesive preparation position 1B, the positioning position 1C, and the vacuum bonding position 1D have.

유지 장치(2)는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, 워크(S1) 및 워크(S2)를 위아래로 대향시켜 유지하는 장치이다. 본 실시형태에서는, 워크(S1, S2)로서, 예컨대 액정 모듈과 커버 패널과 같은 장방형상의 기판을 이용한다. 워크(S1, S2)에는, 가상적인 장방형 혹은 정방형의 4정점에 대응하여, 검출용의 마크(M1, M2)가 형성되어 있다. 이 유지 장치(2)는 워크(S1, S2)의 위치를 맞추는 위치 결정부(300) 등을 갖고 있다.The holding device 2 is a device for holding the work S1 and the work S2 so as to face each other up and down as shown in Fig. 2 and Fig. In the present embodiment, for example, a rectangular substrate such as a liquid crystal module and a cover panel is used as the work S1 and S2. In the works S1 and S2, detection marks M1 and M2 are formed corresponding to four vertexes of a virtual rectangle or a square. The holding device 2 has a positioning portion 300 for aligning the positions of the workpieces S1 and S2 and the like.

점착재 준비 포지션(1B)에는, 박리 장치(3) 혹은 도포 장치가 착탈 가능하게 마련된다. 박리 장치(3)는, 도 13∼도 15, 도 17에 도시하는 바와 같이, 워크(S1)에 미리 점착된 양면테이프(T1)의 박리지(박리 시트 등, 재질은 상관없음)(F)를 박리하는 장치이다. 도포 장치는, 도시하지는 않지만, 워크(S1)에 접착제를 도포하는 장치이다. 도포 장치로서는 주지된 장치를 이용할 수 있다.In the adhesive preparation position 1B, a peeling apparatus 3 or a coating apparatus is detachably provided. As shown in Figs. 13 to 15 and Fig. 17, the peeling apparatus 3 is configured to peel off the double-faced tape T1 previously adhered to the work S1 (regardless of the material such as a peeling sheet) . The application device is a device for applying an adhesive to the work S1 (not shown). As a coating apparatus, a well-known apparatus can be used.

위치 결정 포지션(1C)에는, 도 20 및 도 21에 도시하는 바와 같이, 워크(S1, S2)의 위치를 검출하는 검출 장치(4)가 마련된다. 이 검출 장치(4)에 의해서 검출된 값에 기초하여, 위치 결정부(300)에 있어서 워크(S2)에 대한 워크(S1)의 위치 결정량이 결정된다.As shown in Figs. 20 and 21, the positioning position 1C is provided with a detection device 4 for detecting the position of the work S1 and S2. The positioning amount of the work S1 with respect to the work S2 in the positioning section 300 is determined based on the value detected by the detection device 4. [

진공 접합 포지션(1D)에는, 도 2, 도 23∼도 25에 도시하는 바와 같이, 압박 장치(5)가 마련된다. 이 압박 장치(5)는, 진공 챔버(51) 내의 감압 공간에 있어서, 워크(S2)를 워크(S1) 측으로 압박함으로써, 양자를 접합시킬 수 있다.In the vacuum bonding position 1D, as shown in Figs. 2 and 23 to 25, a pressing device 5 is provided. The pressing device 5 can press the work S2 toward the work S1 in the reduced pressure space in the vacuum chamber 51 so that they can be joined together.

[2. 유지 장치][2. Holding device]

이어서, 각 부의 상세한 점을 설명한다. 우선, 유지 장치(2)는, 도 2∼도 9에 도시하는 바와 같이, 유지부(100), 지주부(200), 위치 결정부(300), 구동부(400), 흡착부(500), 로크부(350)를 갖추고 있다.Next, the details of each part will be described. 2 to 9, the holding device 2 includes a holding part 100, a supporting part 200, a positioning part 300, a driving part 400, a suction part 500, And a lock portion 350.

[2-1. 유지부][2-1. Maintenance section]

유지부(100)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 워크(S2) 좌우의 가장자리를 유지하는 대략 コ자형의 프레임이다.As shown in Fig. 3, the holding portion 100 is a substantially U-shaped frame holding the left and right edges of the work S2.

[2-2. 지주부][2-2. Housewives]

지주부(200)는 수직 방향으로 세워진 2 라인의 기둥형 부재이다. 이 지주부(200)에 의해서, 유지부(100)가 승강 가능하게 지지되고 있다. 유지부(100)는, 초기 위치에서는, 워크(S1)로부터 이격된 위쪽에 있으며, 워크(S2)를 수평 방향으로 유지하고 있다. 그리고, 접합할 때에는, 압박 장치(5)에 의해서, 워크(S2)와 함께 유지부(100)가 아래쪽으로 압박되어 하강하여, 워크(S1)와 워크(S2)의 접합이 이루어진다.The support portion 200 is a columnar member of two lines erected in the vertical direction. The holding portion 100 is supported by the holding portion 200 so as to be able to move up and down. At the initial position, the holding part 100 is located above the work S1 and keeps the work S2 in the horizontal direction. When the welding is performed, the holding device 100 is pressed downward by the pressing device 5 together with the work S2 so that the work S1 and the work S2 are joined.

[2-3. 위치 결정부][2-3. Positioning portion]

위치 결정부(300)는, 도 4에 도시하는 바와 같이, 턴테이블(1)에 고정된 가대(架臺)(1a)에 지지된 배치부(310), X축부(320), Y축부(330), θ축부(340) 등을 갖고 있다.4, the positioning unit 300 includes a positioning unit 310, an X-axis unit 320, a Y-axis unit 330, and a Y-axis unit 330 supported by a mount 1a fixed to the turntable 1, axis portion 340, and the like.

[2-3-1. 배치부][2-3-1. Arrangement part]

배치부(310)는, X-Y-θ 테이블(311), 축부(312), 가동대(313), 벨로우즈(314) 및 풀리(315) 등을 갖고 있다.The arrangement unit 310 has an X-Y-? Table 311, a shaft portion 312, a movable base 313, a bellows 314, a pulley 315, and the like.

X-Y-θ 테이블(311)은, 워크(S1)를 위치 결정하기 위한 수평의 테이블이다. 이 X-Y-θ 테이블(311)은, 수평면 위를, 직교하는 직선 방향(X 방향 및 Y 방향)으로 이동 가능하게, 또한 축부(312)를 중심으로 회동 가능(θ 방향)하게 설치된다.The X-Y-theta table 311 is a horizontal table for positioning the work S1. The X-Y-? Table 311 is provided so as to be movable in the straight line direction (X direction and Y direction) orthogonal to the horizontal plane and to be rotatable (? Direction) about the shaft portion 312.

축부(312)는 수직 방향의 기둥형 부재이다. 축부(312)의 상단은, X-Y-θ 테이블(311)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 축부(312)의 하단은, 턴테이블(1)을 관통하여, 가동대(313)에 고정되어 있다. 가동대(313)는, 후술하는 바와 같이, X축부(320) 및 Y축부(330)에 의해서, X축 및 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치된다.The shaft portion 312 is a vertical columnar member. The upper end of the shaft portion 312 is rotatably connected to the X-Y- [theta] table 311. [ The lower end of the shaft portion 312 passes through the turntable 1 and is fixed to the movable base 313. [ The movable base 313 is provided so as to be movable in the X-axis and Y-axis directions by the X-axis portion 320 and the Y-axis portion 330, as described later.

가동대(313)와 턴테이블(1) 사이에는, 축부(312)를 덮는 벨로우즈(314)가 부착되어 있다. 벨로우즈(314)의 부착단은 기밀이 확보되어 있다. 또한, 벨로우즈(314)는 가요성을 갖고 있기 때문에, 가동대(313)의 이동에 따라서, 기밀을 유지한 상태로 유연하게 변위한다. 풀리(315)는 X-Y-θ 테이블(311)에 고정되어 있다. 이 풀리(315)에는 후술하는 타이밍 벨트(343)가 걸쳐져 있다.Between the movable base 313 and the turntable 1, a bellows 314 covering the shaft portion 312 is attached. The mounting end of the bellows 314 is airtight. Since the bellows 314 is flexible, the bellows 314 is flexibly displaced while keeping the airtightness in accordance with the movement of the movable base 313. The pulley 315 is fixed to the X-Y- &thetas; table 311. [ The pulley 315 is provided with a timing belt 343 to be described later.

[2-3-2. X축부][2-3-2. X axis part]

X축부(320)는, 회전축(321), 편심 롤러(322) 및 전기자(armature)(323) 등을 갖고 있다. 회전축(321)은, 구동부(400)에 의해서 회전할 수 있는 수직 방향의 부재이다. 편심 롤러(322)는 회전축(321)의 상단에 부착된다. 이 편심 롤러(322)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 가동대(313)에 형성된 Y 방향의 홈(313a)에 삽입되어 있다.The X-axis portion 320 has a rotation axis 321, an eccentric roller 322, an armature 323, and the like. The rotating shaft 321 is a member in the vertical direction that can be rotated by the driving unit 400. The eccentric roller 322 is attached to the upper end of the rotation shaft 321. 5, the eccentric roller 322 is inserted into a Y-direction groove 313a formed in the movable base 313. The eccentric roller 322 is inserted into the Y-

이 때문에, 편심 롤러(322)는, 회전축(321)의 회전에 따라서, 홈(313a)의 내벽을 압박함으로써, 가동대(313)를 X 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 가동대(313)와 함께, 축부(312) 및 X-Y-θ 테이블(311)이 X 방향으로 이동한다.The eccentric roller 322 can move the movable stand 313 in the X direction by pressing the inner wall of the groove 313a in accordance with the rotation of the rotating shaft 321. [ At this time, together with the movable base 313, the shaft portion 312 and the X-Y-? Table 311 move in the X direction.

전기자(323)는 회전축(321)의 하단에 부착된다. 이 전기자(323)는 후술하는 클러치(420)에 착탈 가능하게 마련된다. 전기자(323)가 클러치(420)에 접속됨으로써, 구동부(400)에 의한 회전축(321)의 구동이 가능해진다.The armature 323 is attached to the lower end of the rotation shaft 321. The armature 323 is detachably provided to the clutch 420 described later. The armature 323 is connected to the clutch 420 so that the driving shaft 400 can drive the rotating shaft 321. [

[2-3-3. Y축부] [2-3-3. Y axis part]

Y축부(330)는 회전축(331), 편심 롤러(332) 및 전기자(333) 등을 갖고 있다. 회전축(331)은, 구동부(400)에 의해서 회전할 수 있는 수직 방향의 부재이다. 편심 롤러(332)는 회전축(331)의 상단에 부착된다. 이 편심 롤러(332)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 가동대(313)에 형성된 X 방향의 홈(313b)에 삽입되어 있다.The Y-axis portion 330 has a rotating shaft 331, an eccentric roller 332, an armature 333, and the like. The rotating shaft 331 is a member in the vertical direction that can be rotated by the driving unit 400. The eccentric roller 332 is attached to the upper end of the rotating shaft 331. 5, the eccentric roller 332 is inserted into the groove 313b in the X direction formed on the movable base 313. The eccentric roller 332 is inserted into the X-

이 때문에, 편심 롤러(332)는, 회전축(331)의 회전에 따라서, 홈(313b)의 내벽을 압박함으로써, 가동대(313)를 Y 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 가동대(313)와 함께, 축부(312) 및 X-Y-θ 테이블(311)이 Y 방향으로 이동한다.The eccentric roller 332 can move the movable base 313 in the Y direction by pressing the inner wall of the groove 313b in accordance with the rotation of the rotating shaft 331. [ At this time, together with the movable base 313, the shaft portion 312 and the X-Y-? Table 311 move in the Y direction.

전기자(333)는 회전축(331)의 하단에 부착된다. 이 전기자(333)는, 후술하는 클러치(430)에 착탈 가능하게 마련된다. 전기자(323)가 클러치(430)에 접속됨으로써, 구동부(400)에 의한 회전축(331)의 구동이 가능해진다.The armature 333 is attached to the lower end of the rotating shaft 331. The armature 333 is detachably provided to the clutch 430 to be described later. The armature 323 is connected to the clutch 430 so that the driving shaft 400 can drive the rotating shaft 331. [

[2-3-4. θ축부][2-3-4. theta]

θ축부(340)는, 상회전축(341), 풀리(342), 타이밍 벨트(343), 벨로우즈 커플링(344), 하회전축(345) 및 전기자(346) 등을 갖고 있다. 상회전축(341)은 수직 방향의 부재이며, 그 상단에 풀리(342)가 고정되어 있다. 풀리(342)에는 타이밍 벨트(343)가 걸쳐져 있다. 이에 따라, 도 6에 도시하는 바와 같이, 상회전축(341)이 회동하면, 그 회동이 타이밍 벨트(343)를 통해 풀리(315)에 전달되기 때문에, X-Y-θ 테이블(311)이 회동한다.The θ-axis portion 340 has a phase rotation shaft 341, a pulley 342, a timing belt 343, a bellows coupling 344, a lower rotation shaft 345, an armature 346, and the like. The phase rotation shaft 341 is a member in the vertical direction, and a pulley 342 is fixed to the upper end thereof. A timing belt 343 is provided on the pulley 342. 6, when the phase rotation shaft 341 rotates, the rotation is transmitted to the pulley 315 through the timing belt 343, so that the X-Y-? Table 311 rotates.

상회전축(341)의 하단은 벨로우즈 커플링(344)의 상단에 연결되어 있다. 이 벨로우즈 커플링(344)은, X 방향 및 Y 방향의 어긋남을 흡수하는 가요성의 벨로우즈에 의해서 구성된 연결 부재이다. 벨로우즈 커플링(344)의 하단에는 하회전축(345)이 연결되어 있다. 하회전축(345)은 수직 방향의 부재이며, 그 회전은 벨로우즈 커플링(344)을 통해 상회전축(341)에 전달된다.The lower end of the phase rotation shaft 341 is connected to the upper end of the bellows coupling 344. The bellows coupling 344 is a connecting member composed of a flexible bellows which absorbs displacement in the X and Y directions. A lower rotating shaft 345 is connected to the lower end of the bellows coupling 344. The lower rotary shaft 345 is a member in the vertical direction, and the rotation thereof is transmitted to the phase rotary shaft 341 through the bellows coupling 344.

전기자(346)는 하회전축(345)의 하단에 부착된다. 이 전기자(346)는 후술하는 클러치(440)에 착탈 가능하게 마련된다. 전기자(346)가 클러치(420)에 접속됨으로써, 구동부(400)에 의한 하회전축(345), 상회전축(341)의 구동이 가능해진다.The armature 346 is attached to the lower end of the lower rotary shaft 345. The armature 346 is detachably provided to the clutch 440 to be described later. The armature 346 is connected to the clutch 420 so that the lower rotating shaft 345 and the upper rotating shaft 341 can be driven by the driving unit 400. [

[2-4. 구동부][2-4. Driving unit]

구동부(400)는, 고정 테이블(410), 클러치(420, 430, 440), 모터(450, 460, 470) 등을 갖고 있다. 고정 테이블(410)은 턴테이블(1)의 하부에 고정된 테이블이다. 이 고정 테이블(410)에 있어서의 X축부(320), Y축부(330), θ축부(340)에 대응하는 위치에 클러치(420, 430, 440)가 고정되어 있다. 또한, 클러치(420, 430, 440)에는 각각 회전을 전달하는 모터(450, 460, 470)가 접속되어 있다.The driving unit 400 includes a fixed table 410, clutches 420, 430, and 440, motors 450, 460, and 470, and the like. The fixed table 410 is a table fixed to the lower portion of the turntable 1. [ The clutches 420, 430, and 440 are fixed at positions corresponding to the X axis portion 320, the Y axis portion 330, and the θ axis portion 340 of the fixed table 410. Motors 450, 460, and 470 that transmit rotation are connected to the clutches 420, 430, and 440, respectively.

클러치(420, 430, 440)는, 코일(421, 431, 441)에 통전하면, 로터(422, 432, 442)와 전기자(323, 333, 346)와의 사이에 발생하는 자속(磁束)에 의해, 전기자(323, 333, 346)를 흡착한다. 이에 따라, 모터(450, 460, 470)의 구동력이, X축부(320), Y축부(330), θ축부(340)에 전달 가능하게 된다.When the coils 421, 431 and 441 are energized, the clutches 420, 430 and 440 are energized by the magnetic fluxes generated between the rotors 422, 432 and 442 and the armatures 323, 333 and 346 And the armatures 323, 333, and 346. Accordingly, the driving force of the motors 450, 460, and 470 can be transmitted to the X axis part 320, the Y axis part 330, and the θ axis part 340.

[2-5. 로크부][2-5. Lock part]

로크부(350)는, 도 4, 도 7∼도 9에 도시하는 바와 같이, 브레이크판(351), 브레이크(352), 승강축(353), 스프링(354), 피압박부(355), 실린더(356) 등을 갖고 있다. 브레이크판(351)은 가동대(313)에 고정된, 예컨대 스프링 강판이다. 브레이크(352)는, 가대(1a)의 일부와의 사이에서 브레이크판(351)를 사이에 두고 압착(壓着)함으로써, 가동대(313)를 로크하는 부재이다. 브레이크(352)의 브레이크판(351)과의 접촉면에는, 예컨대 고무라이닝 등의 미끄럼 방지 부재가 마련되어 있다.As shown in Figs. 4 and 7 to 9, the lock portion 350 includes a brake plate 351, a brake 352, an elevation shaft 353, a spring 354, a pressed portion 355, A cylinder 356, and the like. The brake plate 351 is, for example, a spring steel plate fixed to the movable base 313. [ The brake 352 is a member that locks the movable base 313 by pressing the brake plate 351 between the brake pedal 351 and a part of the base table 1a. On the contact surface of the brake 352 with the brake plate 351, a non-slip member such as a rubber lining is provided.

승강축(353)은 가대(1a)를 관통하여 승강 가능하게 설치된다. 승강축(353)의 상단에는 브레이크(352)가 부착된다. 스프링(354)은, 승강축(353)을 아래쪽으로 압박하는 스프링 등의 압박 부재이다. 피압박부(355)는, 승강축(353)의 하단에 부착된다. 실린더(356)는 고정 테이블(410)에 고정되고, 그 상부에 온 피압박부(355)를 압박함으로써, 로크를 해제하는 수단이다. 한편, 도시한 로크부(350)는 X축부(320)에 대응하는 것이며, 그 밖에, 도시하지는 않지만, Y축부(330), θ축부(340)에 대응하여, 같은 구조의 로크부가 각각 설치된다.The lifting shaft 353 is installed so as to be able to ascend and descend through the base table 1a. A brake 352 is attached to the upper end of the lifting shaft 353. The spring 354 is a pressing member such as a spring that presses the lifting shaft 353 downward. The to-be-pressed portion 355 is attached to the lower end of the lifting shaft 353. The cylinder 356 is a means for releasing the lock by being fixed to the stationary table 410 and pressing the on-pressurized portion 355 thereon. The lock portion 350 shown in the figure corresponds to the X axis portion 320. Lock portions of the same structure are provided corresponding to the Y axis portion 330 and the θ axis portion 340 .

[2-6. 흡착부][2-6. Absorption part]

흡착부(500)는, 도 10 및 도 11에 도시하는 바와 같이, 흡착 플레이트(510), 3방향 밸브(520), 흡착 펌프(530)(도 26 참조) 등을 갖고 있다. 흡착 플레이트(510)는 X-Y-θ 테이블(311) 상에 고정되어 있다. 흡착 플레이트(510) 상에는, 고무 등의 탄성 부재의 표면에 폴리우레탄 다공질 필름제의 시트를 접착한 보호 부재(511)가 부착된다. 흡착 플레이트(510) 및 보호 부재(511)에는, 도시하지 않는 흡착 구멍이 형성되어 있다. 이 흡착 구멍은, 흡착 플레이트(510) 내에 형성된 통기 경로를 통해, 배관(512)의 일단에 접속되어 있다.As shown in Figs. 10 and 11, the adsorption section 500 has an adsorption plate 510, a three-way valve 520, an adsorption pump 530 (see Fig. 26), and the like. The adsorption plate 510 is fixed on the X-Y-theta table 311. On the suction plate 510, a protective member 511 having a sheet made of a polyurethane porous film adhered to the surface of an elastic member such as rubber is attached. A suction hole (not shown) is formed in the suction plate 510 and the protection member 511. This suction hole is connected to one end of the pipe 512 through a vent path formed in the suction plate 510.

3방향 밸브(520)는 턴테이블(1)에 고정되어 있다. 이 3방향 밸브(520)는, 내관부(521), 상측 밸브(522), 하측 밸브(523), 로드(524) 및 피압박부(525) 등을 갖고 있다. 내관부(521)는 수직 방향으로 연속된 관이다. 이 내관부(521)는, 턴테이블(1)을 관통하여 그 상면측 및 하면측으로 돌출되고 있다.The three-way valve 520 is fixed to the turntable 1. The three-way valve 520 has an inner tube portion 521, an upper valve 522, a lower valve 523, a rod 524, a pressed portion 525, and the like. The inner tube portion 521 is a tube that is continuous in the vertical direction. The inner tube portion 521 penetrates the turntable 1 and protrudes to the upper surface side and the lower surface side thereof.

턴테이블(1)의 상면측으로 돌출된 내관부(521)에는, 전술한 배관(512)의 타단이 접속되어 있다. 이에 따라, X-Y-θ 테이블(311)의 흡착 구멍과 내관부(521)가 통기 경로를 통해 연통되어 있다. 턴테이블(1)의 하면측으로 돌출한 내관부(521)의 측면에는 배관(526)의 일단이 접속되어 있다. 이 배관(526)의 타단은 진공원인 흡착 펌프(530)에 접속되어 있다. 한편, 턴테이블(1)이 회전하더라도, 흡착 펌프(530)와 배관(526)과의 연통이 확보되도록, 흡착 펌프(530)와 배관(526) 사이는 도시하지 않는 로터리 조인트를 통해 접속되어 있다.The other end of the pipe 512 described above is connected to the inner tube portion 521 protruded toward the upper surface side of the turntable 1. [ Accordingly, the suction hole of the X-Y-? Table 311 and the inner tube portion 521 communicate with each other through the ventilation path. One end of a pipe 526 is connected to a side surface of the inner tube portion 521 protruding toward the lower surface of the turntable 1. [ The other end of the pipe 526 is connected to an adsorption pump 530 for causing a vacuum. On the other hand, even if the turntable 1 rotates, the suction pump 530 and the pipe 526 are connected via a rotary joint (not shown) so that the communication between the suction pump 530 and the pipe 526 is ensured.

상측 밸브(522)는 승강함으로써 내관부(521)의 상단을 개폐하는 밸브이다. 하측 밸브(523)는, 내관부(521) 안을 승강함으로써, 흡착 펌프(530)와의 연통을 개폐하는 밸브이다. 로드(524)는, 내관부(521) 안을 승강할 수 있게 설치된다. 이 로드(524)는 상측 밸브(522)와 하측 밸브(523)를 연결하고 있다. 피압박부(525)는 로드(524)의 하단에 설치된다. 이 피압박부(525)는, 실린더 등에 의해 구성된 압박부(527)에 의해서 위쪽으로 압박된다. 압박부(527)는 고정 테이블(410)에 고정되어 있다.The upper valve 522 is a valve that opens and closes the upper end of the inner tube portion 521 by moving up and down. The lower valve 523 is a valve that opens and closes the communication with the adsorption pump 530 by raising and lowering the inside of the tube portion 521. The rod 524 is installed so as to be able to move up and down in the inner tube portion 521. The rod 524 connects the upper valve 522 and the lower valve 523. The to-be-pressed portion 525 is provided at the lower end of the rod 524. The to-be-pressed portion 525 is urged upward by the urging portion 527 constituted by a cylinder or the like. The pressing portion 527 is fixed to the fixing table 410.

이러한 3방향 밸브(520)는, 워크(S1)의 흡착시에는, 도 12의 (A)에 도시하는 바와 같이, 흡착 구멍과 흡착 펌프(530)를 연통하는 라인을 접속하고 있다(검은 화살표선 참조). 그리고, 도 12의 (B)에 도시하는 바와 같이, 로드(524)의 하단의 피압박부(525)를 압박부(527)에 의해서 밀어 올리면, 통기 경로가 전환되며, 상측 밸브(522)가 열리고, 하측 밸브(523)가 닫히기 때문에, 흡착 구멍과 주위[진공 챔버(51)내]가 동일 기압으로 되며, 흡착 펌프(530)와의 연통이 폐지되도록 구성되어 있다(검은 화살표선 참조).The three-way valve 520 connects the line connecting the suction hole and the suction pump 530, as shown in Fig. 12 (A), when the work S1 is sucked Reference). As shown in Fig. 12B, when the pushing portion 525 at the lower end of the rod 524 is pushed up by the pushing portion 527, the ventilation path is switched, and the upper valve 522 And the lower valve 523 is closed so that the adsorption hole and the periphery (in the vacuum chamber 51) are at the same atmospheric pressure and the communication with the adsorption pump 530 is abolished (see black arrows).

[3. 박리 장치][3. Peeling device]

박리 장치(3)는, 워크(S1) 혹은 워크(S2)에 접착된 양면테이프(T1)의 박리지(F)를 점착테이프(T2)에 접착하여 박리하는 장치이다. 이 박리 장치(3)는, 도 13∼도 15에 도시하는 바와 같이, 공급부(31), 변환부(32), 박리부(33) 및 권취부(34) 등을 갖고 있다.The peeling apparatus 3 is a device for peeling the peeling paper F of the double-sided tape T1 adhered to the work S1 or the work S2 to the peeling tape T2. As shown in Figs. 13 to 15, the peeling apparatus 3 has a feeding section 31, a converting section 32, a peeling section 33, a winding section 34, and the like.

공급부(31)는 송출 릴(31a)과 릴 회전 기구(31b)(도 26 참조)를 갖고 있다. 송출 릴(31a)은 공급되는 점착테이프(T2)가 권취된 릴이다. 릴 회전 기구(31b)는 도시하지 않는 송출 릴(31a)의 브레이크를 제어하는 기구이다. 변환부(32)는, 도 14에 도시하는 바와 같이, 공급부(31)로부터의 점착테이프(T2)의 진행 방향을 직각으로 변환하는 핀 혹은 롤러이다.The supply unit 31 has a delivery reel 31a and a reel rotating mechanism 31b (see Fig. 26). The delivery reel 31a is a reel around which the adhesive tape T2 to be fed is wound. The reel rotating mechanism 31b is a mechanism for controlling a brake of a delivery reel 31a (not shown). As shown in Fig. 14, the converting unit 32 is a pin or roller for converting the advancing direction of the adhesive tape T2 from the supplying unit 31 to a right angle.

박리부(33)는, 박리 헤드(33a), 실린더(33b), 가이드 롤러(33c∼33e) 등을 갖고 있다. 박리 헤드(33a)는, 공급부(31)로부터 공급된 점착테이프(T2)를, 그 점착면의 이면으로부터 압박함으로써, 워크(S1) 상의 박리지(F)에 밀어붙이는 롤러이다. 박리 헤드(33a)는, 워크(S1)의 끝에서부터 점착테이프(T2)의 압착이 시작되도록 경사져 있다. 실린더(33b)는 박리 헤드(33a)를 앞 방향(도면 중 좌측 방향)으로 이동시키는 기구이며, 그 동작 시에, 공급부(31a)의 브레이크를 해제하여, 점착테이프(T2)를 인출할 수 있다. 가이드 롤러(33c∼33e)는, 변환부(32)로부터 박리 헤드(33a)로, 박리 헤드(33a)로부터 권취부(34)로, 점착테이프(T2)의 이동을 가이드하는 롤러이다(가이드 부재).The peeling section 33 has a peeling head 33a, a cylinder 33b, guide rollers 33c to 33e, and the like. The peeling head 33a is a roller which is pressed against the release paper F on the work S1 by pressing the adhesive tape T2 supplied from the supply section 31 from the back surface of the adhesive surface. The peeling head 33a is inclined to start the pressing of the adhesive tape T2 from the end of the work S1. The cylinder 33b is a mechanism for moving the peeling head 33a in the forward direction (leftward direction in the figure), and at the time of operation, the braking of the supply portion 31a is released and the adhesive tape T2 can be taken out . The guide rollers 33c to 33e are rollers for guiding the movement of the adhesive tape T2 from the converting portion 32 to the peeling head 33a and from the peeling head 33a to the winding portion 34 ).

권취부(34)는, 권취 릴(34a), 릴 승강 기구(34b), 릴 회전 기구(34c)(도 26 참조) 등을 갖고 있다. 권취 릴(34a)은 박리 헤드(33a)로부터의 점착테이프(T2)를 권취하는 릴이다. 이 권취 릴(34a)의 축은 공급부(31)의 축과 직교하는 방향으로 설치된다. 릴 승강 기구(34b)는, 예컨대 이송나사의 회전 등에 의해, 권취 릴(34a)을 승강시키는 기구이다. 릴 회전 기구(34c)는, 도시하지 않는 구동원 등을 지니며, 권취 릴(34a)의 회전 및 브레이크를 제어하는 기구이다.The winding portion 34 has a winding reel 34a, a reel lifting mechanism 34b, a reel rotating mechanism 34c (see Fig. 26), and the like. The take-up reel 34a is a reel for winding the adhesive tape T2 from the peeling head 33a. The axis of this take-up reel 34a is set in a direction orthogonal to the axis of the supply part 31. [ The reel lifting mechanism 34b is a mechanism for lifting up the reel 34a by, for example, rotating a feed screw. The reel rotating mechanism 34c has a driving source (not shown) and controls the rotation and braking of the take-up reel 34a.

한편, 상기한 박리 장치(3)는, 하측의 워크(S1)로부터 박리지(F)를 박리하기 위한 제1 유닛(U1)을 장착한 것이다. 이 박리 장치(3)에 있어서, 제1 유닛(U1)은, 도 16에 도시하는 바와 같이, 상측의 워크(S2)로부터 박리지(F)를 박리하기 위한 제2 유닛(U2)과 교환 가능하게 설치된다.On the other hand, the peeling apparatus 3 described above is mounted with a first unit U1 for peeling off the release paper F from the work S1 on the lower side. 16, the first unit U1 of the peeling apparatus 3 is replaceable with the second unit U2 for peeling the release paper F from the work S2 on the upper side Respectively.

제1 유닛(U1)은, 도 13 및 도 17에 도시하는 바와 같이, 변환부(32)로부터의 점착테이프(T2)가, 박리 헤드(33a)의 하측에서 공급되고, 상측을 통과하여, 권취 릴(34a)로 유도되도록 가이드 롤러(33c∼33e)가 설치된다. 제1 유닛(U1)에 있어서 가이드 롤러(33e)는, 박리 헤드(33a)를 통과한 점착테이프(T2)의 진행 방향을 아래쪽으로 변환한다.13 and 17, the first unit U1 is configured such that the adhesive tape T2 from the converting unit 32 is supplied from below the peeling head 33a, passes through the upper side, Guide rollers 33c to 33e are installed so as to be guided to the reel 34a. In the first unit U1, the guide roller 33e converts the advancing direction of the adhesive tape T2 passed through the peeling head 33a downward.

한편, 제2 유닛(U2)은, 도 16 및 도 18에 도시하는 바와 같이, 변환부(32)로부터의 점착테이프(T2)가, 박리 헤드(33a)의 상측으로부터 공급되어, 하측을 통과하고, 권취 릴(34a)로 유도되도록 가이드 롤러(33f, 33g)가 설치된다. 제2 유닛(U2)에 있어서 가이드 롤러(33g)는, 박리 헤드(33a)를 통과한 점착테이프(T2)의 진행 방향을 아래쪽으로 변환한다.On the other hand, in the second unit U2, as shown in Figs. 16 and 18, the adhesive tape T2 from the converting portion 32 is supplied from the upper side of the peeling head 33a, passes through the lower side Guide rollers 33f and 33g are provided so as to be guided to the take-up reel 34a. In the second unit U2, the guide roller 33g converts the advancing direction of the adhesive tape T2 passed through the peeling head 33a downward.

또한, 제1 유닛(U1) 및 제2 유닛(U2)은, 실린더(35)에 의해서 승강 가능하게 설치된다. 제1 유닛(U1)은, 하강시에, 박리 헤드(33a)에서의 점착테이프(T2)를, 워크(S1)의 박리지(F)에 밀어붙일 수 있다. 제2 유닛(U2)은, 상승시에, 박리 헤드(33a)에서의 점착테이프(T2)를, 워크(S2)의 박리지(F)에 밀어붙일 수 있다.In addition, the first unit U1 and the second unit U2 are installed so as to be able to move up and down by the cylinder 35. [ The first unit U1 can press the adhesive tape T2 at the peeling head 33a against the release paper F of the work S1 at the time of descent. The second unit U2 can push the adhesive tape T2 on the peeling head 33a against the release paper F of the work S2 at the time of the rise.

이러한 박리 장치(3)에 의한 박리는 다음과 같이 이루어진다. 즉, 도 17의 (A), 도 18의 (A)에 도시하는 바와 같이, 실린더(33b)에 의해서 박리 헤드(33a)를 전방으로 이동시키고, 점착테이프(T2)를 공급부(31a)로부터 인출하여, 실린더(35)에 의해서 제1 유닛(U1)을 하강 혹은 제2 유닛(U2)을 상승시킴으로써, 박리지(F)에 점착테이프(T2)를 밀어붙여, 릴 회전 기구(31b, 34c)가 송출 릴(31a) 및 권취 릴(34a)의 회전을 브레이크시킨 상태에서, 릴 승강 기구(34b)에 의해서 권취 릴(34a)를 하강시킨다.The peeling by the peeling apparatus 3 is carried out as follows. That is, as shown in Figs. 17A and 18A, the peeling head 33a is moved forward by the cylinder 33b and the adhesive tape T2 is taken out from the supply portion 31a The first unit U1 is lowered by the cylinder 35 or the second unit U2 is raised so that the adhesive tape T2 is pushed against the release paper F and the reel rotating mechanisms 31b, Up reel 34a is lowered by the reel lifting mechanism 34b in a state where the rotation of the feed reel 31a and the take-up reel 34a is stopped.

그렇게 하면, 도 17의 (B), 도 18의 (B)에 도시하는 바와 같이, 점착테이프(T2)가 아래쪽으로 당겨지고, 박리 헤드(33a)가 점착테이프(T2)를 박리지(F)에 밀어붙이면서 후퇴한다. 이에 따라, 박리지(F)가 점착테이프(T2)에 접착되어, 워크(S1) 혹은 워크(S2)로부터 박리된다.17 (B) and 18 (B), the adhesive tape T2 is pulled downward and the peeling head 33a pulls the adhesive tape T2 off the paper F. As a result, And retracts. Thus, the release paper F is adhered to the adhesive tape T2 and peeled off from the work S1 or the work S2.

[4. 검출 장치][4. Detection device]

검출 장치(4)는, 도 20 및 도 21에 도시하는 바와 같이, 2대의 CCD 카메라(41, 42), 이들을 지지하는 아암(45, 46), 카메라 구동 기구(49)(도 26 참조) 등을 갖고 있다. 위쪽에 배치된 CCD 카메라(41)는, 렌즈면이 아래쪽을 향하고 있고, 위쪽의 워크(S2)의 코너 혹은 마크(M2)를 촬상하는 카메라이다(제1 카메라). 아래쪽에 배치된 CCD 카메라(42)는, 렌즈면이 아래쪽을 향하고 있고, 아래쪽의 워크(S1)의 코너 혹은 마크(M1)를 촬상하는 카메라이다(제2 카메라).20 and 21, the detecting device 4 includes two CCD cameras 41 and 42, arms 45 and 46 for supporting them, a camera driving mechanism 49 (see Fig. 26), and the like Lt; / RTI > The CCD camera 41 disposed at the upper side is a camera for photographing the corner of the work S2 at the upper side or the mark M2 with the lens surface facing downward (first camera). The CCD camera 42 disposed on the lower side is a camera for imaging the corner of the work S1 or the mark M1 on the lower side with the lens surface facing downward (second camera).

카메라 구동 기구(49)는, 도시하지 않는 구동원 등을 지니며, 아암(45, 46)을 구동하는 기구이다(예컨대, X-Y축 구동 기구). 아암(45)은, 카메라 구동 기구(49)에 의해서 수평 방향(전후좌우 방향)으로 이동함으로써, 워크(S2)의 위쪽에 대하여, CCD 카메라(41)를 넣고 빼낼 수 있게 설치된다. 마찬가지로, 아암(46)도, 카메라 구동 기구(49)에 의해서 수평 방향(전후좌우 방향)으로 이동함으로써, 워크(S1)의 위쪽에 대하여, CCD 카메라(42)를 넣고 빼낼 수 있게 설치된다.The camera driving mechanism 49 has a driving source (not shown) and is a mechanism for driving the arms 45 and 46 (for example, an X-Y axis driving mechanism). The arm 45 is installed in such a manner that the CCD camera 41 can be inserted into and removed from the upper side of the work S2 by moving in the horizontal direction (forward and backward left and right directions) by the camera driving mechanism 49. Likewise, the arm 46 is also installed so as to be able to move the CCD camera 42 in and out of the upper side of the work S1 by moving in the horizontal direction (front-back, left-right direction)

각 CCD 카메라(41, 42)는, 내장된 광원(동축 낙사 조명)의 반사광을 검출함으로써, 검출 대상을 촬상하는 카메라이다. 각 CCD 카메라(41, 42)의 촬상은, 후술하는 바와 같이, 촬상 제어부(662)에 의해서 제어된다. 또한, 하부의 CCD 카메라(42)의 상면에는, 상부의 CCD 카메라(41)로부터의 빛을 반사하기 위한 반사면(42a)이 마련된다. 이 반사면(42a)은, 예컨대 알루미늄테이프 등의 간이적인 부재로 할 수 있다.Each of the CCD cameras 41 and 42 is a camera that picks up an object to be detected by detecting reflected light of a built-in light source (coaxial incident illumination). The imaging of each of the CCD cameras 41 and 42 is controlled by the imaging control unit 662 as described later. The upper surface of the lower CCD camera 42 is provided with a reflecting surface 42a for reflecting light from the upper CCD camera 41. [ The reflective surface 42a can be a simple member such as an aluminum tape.

[5. 압박 장치][5. Compression device]

압박 장치(5)는, 도 2, 도 23∼도 25에 도시하는 바와 같이, 진공 챔버(51), 가압 헤드(52), 승강 기구(53) 및 실린더(54) 등을 갖고 있다. 진공 챔버(51)는, 턴테이블(1) 상의 유지 장치(2)를 덮어 밀폐하는 챔버이다. 가압 헤드(52)는, 진공 챔버(51) 내에 설치되어, 워크(S2)를 아래쪽으로 가압하는 수단이다.The pressing device 5 has a vacuum chamber 51, a pressing head 52, a lifting mechanism 53, a cylinder 54, and the like as shown in Figs. 2 and 23 to 25. The vacuum chamber 51 is a chamber for covering and sealing the holding device 2 on the turntable 1. [ The pressure head 52 is provided in the vacuum chamber 51 and presses the work S2 downward.

승강 기구(53)는, 도시하지 않는 구동원 등에 의해, 진공 챔버(51)를 가압 헤드(52)와 함께 승강시키는 기구이다. 실린더(54)는, 진퇴하는 구동 로드에 의해서 가압 헤드(52)를 승강시키는 기구이다. 또한, 가압 헤드(52)에는, 고무의 표면에 폴리우레탄 다공질 필름제의 시트를 접착한 보호 부재(52a)가 부착된다.The elevating mechanism 53 is a mechanism for elevating and lowering the vacuum chamber 51 together with the pressing head 52 by a driving source or the like (not shown). The cylinder 54 is a mechanism for moving the pressing head 52 up and down by the advancing and retreating driving rod. The pressure head 52 is provided with a protective member 52a to which a sheet made of a polyurethane porous film is adhered to the surface of the rubber.

또한, 진공 챔버(51)에는, 진공원인 감압 펌프(55)가 배관을 통해 접속되고, 내부의 압력을 검출하기 위한 진공계(56)가 설치된다(도 26 참조).The vacuum chamber 51 is connected to a vacuum pressure reducing pump 55 through a pipe, and a vacuum system 56 for detecting the pressure inside the vacuum chamber 51 is provided (see FIG. 26).

[6. 제어 장치] [6. controller]

턴테이블(1), 유지 장치(2), 박리 장치(3), 검출 장치(4), 압박 장치(5) 등의 구성 요소는, 각각의 구동원, 스위치, 전원 등이 도 26에 도시하는 제어 장치(6)에 의해서 작동함으로써 제어된다. 이 제어 장치(6)는, 예컨대 전용의 전자회로 혹은 소정의 프로그램으로 동작하는 컴퓨터 등에 의해서 다음과 같은 각 기능을 실현함으로써 구성할 수 있다.Switches, power supplies, and the like of the components such as the turntable 1, the holding device 2, the peeling device 3, the detecting device 4, the pressing device 5, (6). The control device 6 can be configured by realizing the following respective functions by, for example, a dedicated electronic circuit or a computer operating with a predetermined program.

이하, 이 제어 장치(6)를 가상적인 기능 블록도인 도 26을 참조하여 설명한다. 한편, 작업자가 제어 장치(6)를 조작하기 위한 스위치, 터치패널, 키보드, 마우스 등의 입력 장치, 제어 장치(6)의 상태를 확인하기 위한 디스플레이, 램프, 미터 등의 출력 장치에 대해서는 설명을 생략한다.Hereinafter, this control device 6 will be described with reference to Fig. 26 which is a functional functional block diagram. On the other hand, an output device such as a switch, a touch panel, a keyboard, an input device such as a mouse for operating the control device 6, a display for confirming the state of the control device 6, a lamp, It is omitted.

즉, 제어 장치(6)는, 테이블 제어부(610), 기억부(620), 타이밍 제어부(630), 입출력 인터페이스(640), 박리 제어부(650), 위치 검출부(660), 위치 결정 제어부(670), 진공 제어부(680) 등의 기능을 갖고 있다.That is, the control apparatus 6 includes a table control unit 610, a storage unit 620, a timing control unit 630, an input / output interface 640, a peeling control unit 650, a position detection unit 660, a positioning control unit 670 ), A vacuum controller 680, and the like.

[6-1. 테이블 제어부][6-1. Table control section]

테이블 제어부(610)는 인덱스 기구(11)의 간헐 회전 동작을 제어하는 수단이다.The table control unit 610 is means for controlling the intermittent rotation operation of the index mechanism 11. [

[6-2. 기억부][6-2. Memory section]

기억부(620)는 동작 타이밍, 연산식, 연산 결과 등, 각종 설정이나 데이터 등을 기억하는 수단이다.The storage unit 620 is a means for storing various settings and data such as an operation timing, an arithmetic expression, and an arithmetic result.

[6-3. 타이밍 제어부][6-3. Timing control section]

타이밍 제어부(630)는, 미리 설정해 놓은 타이밍에, 각 부의 동작 타이밍을 제어하는 수단이다.The timing control unit 630 is means for controlling the operation timing of each unit at a preset timing.

[6-4. 입출력 인터페이스][6-4. I / O Interface]

입출력 인터페이스(640)는, 제어 대상이 되는 각 부와의 사이에서의 신호의 변환이나 입출력을 제어하는 수단이다.The input / output interface 640 is a means for controlling the conversion and input / output of signals between the respective units to be controlled.

[6-5. 박리 제어부][6-5. Peeling control section]

박리 제어부(650)는 박리 장치(3)의 동작을 제어하는 수단이다. 이 박리 제어부(650)는 헤드 제어부(651), 회전 제어부(652), 승강 제어부(653) 등을 갖고 있다.The peeling controller 650 is a means for controlling the operation of the peeling apparatus 3. [ The peeling control unit 650 has a head control unit 651, a rotation control unit 652, an elevation control unit 653, and the like.

헤드 제어부(651)는 박리 헤드(33a)를 구동하는 실린더(33b), 제1 유닛(U1) 혹은 제2 유닛(U2)을 구동하는 실린더(35)를 제어하는 수단이다. 회전 제어부(652)는 공급부(31)의 릴 회전 기구(31b), 권취부(34)의 릴 회전 기구(34c)를 제어하는 수단이다. 승강 제어부(653)는 릴 승강 기구(34b)를 제어하는 수단이다.The head control unit 651 is means for controlling the cylinder 33b for driving the peeling head 33a and the cylinder 35 for driving the first unit U1 or the second unit U2. The rotation control unit 652 is means for controlling the reel rotation mechanism 31b of the supply unit 31 and the reel rotation mechanism 34c of the reel unit 34. [ The elevation control unit 653 is means for controlling the reel-up and elevating mechanism 34b.

[6-6. 위치 검출부][6-6. Position detector]

위치 검출부(660)는 검출 장치(4)를 제어하는 수단이다. 이 위치 검출부(660)는, 카메라 구동부(661), 촬상 제어부(662), 3점 추출부(663), 무게중심 산출부(664), 기울기 산출부(665) 등을 갖고 있다. 카메라 구동부(661)는, 아암(45, 46)을 이동시키는 카메라 구동 기구(49)를 제어하는 수단이다. 촬상 제어부(662)는, CCD 카메라(41, 42)에 의한 촬상을 제어하는 수단이다.The position detection unit 660 is a means for controlling the detection device 4. The position detecting unit 660 has a camera driving unit 661, an imaging control unit 662, a three-point extracting unit 663, a center of gravity calculating unit 664, a tilt calculating unit 665, and the like. The camera driving unit 661 is means for controlling the camera driving mechanism 49 for moving the arms 45 and 46. The image pickup control section 662 is means for controlling the image pickup by the CCD cameras 41 and 42.

3점 추출부(663)는, CCD 카메라(41, 42)에 의해서 촬상된 화상으로부터, 워크(S1, S2)의 코너 혹은 마크(M1, M2)의 3점을 추출하는 수단이다. 무게중심 산출부(664)는, 3점 추출부(663)에 의해 추출된 점으로부터 무게중심을 산출하는 수단이다. 기울기 산출부(665)는, 3점 추출부(663)에 의해 추출된 점으로부터 기울기를 산출하는 수단이다.The three-point extraction unit 663 is means for extracting three points of the corners of the works S1 and S2 or the marks M1 and M2 from the image picked up by the CCD cameras 41 and 42. [ The center of gravity calculating section 664 is means for calculating the center of gravity from the point extracted by the three-point extracting section 663. The inclination calculating section 665 is means for calculating the inclination from the point extracted by the three-point extracting section 663.

[6-7. 위치 결정 제어부][6-7. Positioning Control Section]

위치 결정 제어부(670)는 위치 결정부(300)를 제어하는 수단이다. 이 위치 결정 제어부(670)는, 클러치 제어부(671), 위치 결정 연산부(672), 모터 제어부(673) 등을 갖고 있다. 클러치 제어부(671)는, 코일(421, 431, 441)에의 통전을 제어함으로써, 전기자(323, 333, 346)와 클러치(420, 430, 440)의 착탈을 행하게 하는 수단이다. 한편, 클러치 제어부(671)는, 코일(421, 431, 441)에의 통전과 동기시켜 실린더(356)를 작동시킴으로써, 로크부(350)에 의한 로크도 행한다. 위치 결정 연산부(672)는, 무게중심 산출부(664) 및 기울기 산출부(665)에 의해서 산출된 워크(S1, S2)의 무게중심 및 기울기에 기초하여, X-Y-θ 테이블(311)의 이동량을 산출하는 수단이다.The positioning control unit 670 is means for controlling the positioning unit 300. [ The positioning control unit 670 has a clutch control unit 671, a positioning calculation unit 672, a motor control unit 673, and the like. The clutch control section 671 controls the energization of the coils 421, 431 and 441 so that the armatures 323, 333 and 346 and the clutches 420, 430 and 440 are detachable. On the other hand, the clutch control section 671 also locks the lock section 350 by operating the cylinder 356 in synchronization with the energization of the coils 421, 431, and 441. Based on the center of gravity and inclination of the work S1 and S2 calculated by the center-of-gravity calculating section 664 and the tilt calculating section 665, the positioning calculating section 672 calculates the position of the XY- .

[6-8. 진공 제어부][6-8. Vacuum control unit]

진공 제어부(680)는 흡착부(500) 및 압박 장치(5)를 제어하는 수단이다. 이 진공 제어부(680)는, 챔버 제어부(681), 감압 제어부(682), 진공 연산부(683), 밸브 제어부(684), 압박 제어부(685) 및 흡착 제어부(686) 등을 갖고 있다. 챔버 제어부(681)는, 진공 챔버(51)를 승강시키는 승강 기구(53)를 제어하는 수단이다.The vacuum control unit 680 is a means for controlling the adsorption unit 500 and the pressing device 5. The vacuum control unit 680 includes a chamber control unit 681, a decompression control unit 682, a vacuum calculation unit 683, a valve control unit 684, a compression control unit 685, and a suction control unit 686. The chamber control unit 681 is means for controlling the lifting mechanism 53 for lifting and lowering the vacuum chamber 51. [

감압 제어부(682)는 진공 챔버(51) 안을 감압하는 감압 펌프(55)를 제어하는 수단이다. 진공 연산부(683)는, 진공계(56)의 검출치에 기초하여, 진공 챔버(51) 내의 압력을 연산하는 수단이다.The depressurization control unit 682 is means for controlling the depressurization pump 55 depressurizing the inside of the vacuum chamber 51. The vacuum calculation unit 683 is means for calculating the pressure in the vacuum chamber 51 based on the detection value of the vacuum system 56.

진공 연산부(683)는, 도 27에 도시하는 바와 같이, 전압 판정부(683a), 식 선택부(683b), 압력 연산부(683c) 등을 갖고 있다. 전압 판정부(683a)는, 진공계(56)로부터의 아날로그 출력(전압치)이 기억부(620)에 설정된 전압 범위 중 어디에 있는지를 판정하는 수단이다. 식 선택부(683b)는, 기억부(620)에 설정된 전압 범위와 이것에 대응하는 다항 근사식에 기초하여, 전압 판정부(683a)에 의해 판정된 전압 범위에 따른 다항 근사식을 선택하는 수단이다. 압력 연산부(683c)는, 판정된 전압치와 선택된 다항 근사식에 기초하여 압력치를 연산하는 수단이다.The vacuum calculation unit 683 has a voltage determination unit 683a, a formula selection unit 683b, a pressure calculation unit 683c, and the like as shown in Fig. The voltage determination unit 683a is a unit for determining where in the voltage range set in the storage unit 620 the analog output (voltage value) from the vacuum system 56 is. The expression selecting unit 683b selects the polynomial approximate expression according to the voltage range determined by the voltage determining unit 683a based on the voltage range set in the storage unit 620 and the polynomial approximate expression corresponding thereto to be. The pressure calculating unit 683c is means for calculating the pressure value based on the determined voltage value and the selected polynomial approximate expression.

밸브 제어부(684)는, 진공 연산부(683)의 연산 결과에 기초하여, 3방향 밸브(520)의 개폐를 전환하는 압박부(527)를 제어하는 수단이다. 압박 제어부(685)는 가압 헤드(52)를 승강시키는 실린더(54)를 제어하는 수단이다. 흡착 제어부(686)는 흡착 플레이트(510) 상에 워크(S1)를 흡착시키기 위한 흡착 펌프(530)를 제어하는 수단이다.The valve control unit 684 is means for controlling the pressing unit 527 for switching the opening and closing of the three-way valve 520 based on the calculation result of the vacuum calculation unit 683. The compression control unit 685 is means for controlling the cylinder 54 that moves the pressure head 52 up and down. The adsorption control unit 686 is means for controlling the adsorption pump 530 for adsorbing the work S1 on the adsorption plate 510. [

여기서, 상기한 진공 연산부(683)에 의한 연산의 예를 도 31∼도 36를 참조하여 설명한다. 즉, 일반적인 진공계로부터의 아날로그 출력과 지시 압력이 도 31과 같은 관계를 갖는 경우를 고려한다. 이러한 경우에, 아날로그 값으로부터 압력을 도출하는 방법으로서는, 미리 기억 장치 내에, 도 31과 같은 테이블(아날로그 데이터 테이블)을 기억해 두고서, 이 테이블과 현재의 아날로그 값을 축차 비교하는 방법이 있다. 그러나, 이 방법에서는, 해당하는 데이터를 축차 검색할 필요가 있어, 연산 처리 프로그램이 커지고 처리 시간도 길어진다.Here, an example of calculation by the above described vacuum calculation unit 683 will be described with reference to Figs. 31 to 36. Fig. That is, the case where the analog output from the general vacuum system and the instruction pressure have the relationship shown in Fig. 31 is considered. In this case, as a method of deriving the pressure from the analog value, there is a method in which a table (analog data table) as shown in Fig. 31 is stored in advance in the storage device and the table and the current analog value are sequentially compared. However, in this method, it is necessary to sequentially search for the corresponding data, which increases the processing program and increases the processing time.

이어서, 테이블에 있어서 각 데이터 사이의 변화량은 선형이라고 간주하여, 연산 처리하는 방법이 있다. 그러나, 압력 도출 결과의 정밀도를 향상시키기 위해서, 기억 장치에 기억하는 테이블의 데이터수를 늘리면, 연산 처리 장치 내의 처리는 늦어진다. 반대로, 데이터수를 억제하면, 압력 도출 결과의 정밀도는 나빠지지만, 연산 처리는 빨라진다. 즉, 정밀도와 연산 처리 시간은 상반 관계에 있다.Next, there is a method in which the amount of change between each data in the table is regarded as being linear, and arithmetic processing is performed. However, in order to improve the precision of the pressure derivation result, if the number of data in the table stored in the storage device is increased, the processing in the arithmetic processing device is delayed. On the contrary, if the number of data is suppressed, the precision of the pressure derivation result becomes worse, but the arithmetic processing becomes faster. In other words, the precision and the computation processing time are in opposition to each other.

그 밖의 방법으로서는, 다항 근사식을 이용하여 연산하는 방법이 있다. 그러나, 테이블이 복잡한 경우에는, 필요 정밀도를 충족하는 다항 근사식을 세우면, 근사함수의 차수도 불어나게 되어, 연산 처리에 방대한 시간이 걸린다. 예컨대, 상기한 테이블을 그래프화한 경우, 도 32에 도시하는 바와 같이, 전압과 압력의 관계는 비선형이며, 전범위에서 높은 정밀도를 얻을 수 있는 다항 근사식을 세우는 것은 곤란하다. 한편, 도 32는 도 33∼도 36에도 대응하고 있지만, 압력 범위를 넓게 표시하기 위해서, 편대수 그래프(semilog graph)로 되어 있다.As another method, there is a method of calculating by using a polynomial approximation expression. However, when the table is complex, if a polynomial approximation expression satisfying the necessary precision is set, the difference of the approximate functions is also increased, and it takes a lot of time to perform the arithmetic processing. For example, in the case of graphing the above table, as shown in Fig. 32, the relationship between the voltage and the pressure is nonlinear, and it is difficult to form a polynomial approximation expression capable of obtaining high accuracy on the warp. On the other hand, Fig. 32 corresponds to Figs. 33 to 36, but a semilog graph is used in order to display the pressure range broadly.

본 실시형태에 있어서는, 테이블을 임의의 복수 구간으로 분할하여, 각각의 구간에 대응한 다항 근사식을 세운다. 그리고, 검출된 전압치에 따라서, 다항 근사식 중 어느 하나를 선택하여, 압력 산출 연산을 한다.In the present embodiment, the table is divided into a plurality of arbitrary sections, and a polynomial approximate expression corresponding to each section is established. Then, one of the polynomial approximation expressions is selected in accordance with the detected voltage value, and a pressure calculation operation is performed.

예컨대, 진공계(56)로부터의 아날로그의 검출 전압치와, 이것이 지시하는 압력이, 도 33의 그래프의 관계를 갖는 경우, 전압치의 범위를 이하의 3가지로 구분한다.For example, when the analog detection voltage value from the vacuum gauge 56 and the pressure commanded by the analog detection voltage value have the relationship of the graph of Fig. 33, the range of the voltage value is divided into the following three categories.

(1) 0 V 이상∼3 V 미만(1) 0 V or more to less than 3 V

(2) 3 V 이상∼8 V 미만(2) More than 3 V to less than 8 V

(3) 8 V 이상∼10 V 이하(3) 8 V or more to 10 V or less

그리고, 이들 (1)~(3)의 범위에 대응시켜, 다음 3가지의 다항 근사식을 설정한다.Then, the following three polynomial approximate expressions are set in correspondence with the ranges (1) to (3).

(a) PL=-36.837V3+320.94V2-1104.9V+1724.7 [Pa] (a) PL = -36.837V3 + 320.94V2-1104.9V + 1724.7 [Pa]

(b) Pm=-0.8021V3+23.787V2-240.08V+832.07 [Pa] (b) Pm = -0.8021V3 + 23.787V2-240.08V + 832.07 [Pa]

(c) Ph=-0.6572V3+21.162V2-231.87V+859.72 [Pa] (c) Ph = -0.6572V3 + 21.162V2-231.87V + 859.72 [Pa]

각 범위의 다항 근사식은 3차함수로 충분히 만족할 수 있는 정밀도이다. 즉, 도 34에 도시하는 바와 같이, (1)의 범위에서의 기준이 되는 그래프와, 연산 결과의 그래프를 비교하면, 거의 일치한 라인으로 된다. 이것은, 도 35 및 도 36에 도시하는 (2), (3)의 범위에서도 마찬가지이다.The polynomial approximation of each range is a precision satisfying the cubic function sufficiently. That is, as shown in Fig. 34, when a graph serving as a reference in the range of (1) is compared with a graph of the calculation result, the line becomes almost coincident. This is also true in the ranges of (2) and (3) shown in Figs.

한편, 도 27에 도시하는 바와 같이, 기억부(620)에는, 밸브 제어부(684)가 3방향 밸브(520)를 전환하기 위한 임계치가 되는 밸브용 압력치, 압박 제어부(685)가 가압 헤드(52)를 하강시키기 위한 임계치가 되는 압박용 압력치가 설정되어 있다. 이 때문에, 압력 연산부(683c)에 의해서 연산된 압력치가, 밸브용 압력치로 된 경우에는, 3방향 밸브(520)가 전환되고, 압박용 압력치로 된 경우에는, 가압 헤드(52)가 하강한다.On the other hand, as shown in Fig. 27, the storage unit 620 stores therein a valve pressure value which is a threshold value for switching the three-way valve 520 from the valve control unit 684, 52 are set to be a threshold value for lowering the pressure. Therefore, when the pressure value calculated by the pressure calculation unit 683c is the valve pressure value, the three-way valve 520 is switched, and when the pressure value is the pressure value, the pressure head 52 is lowered.

[B. 작용][B. Action]

이상과 같은 구성을 갖는 본 실시형태의 작용은 다음과 같다. 한편, 이하에 설명하는 순서로 접합 장치를 제어하는 방법 및 제어 장치를 동작시키는 컴퓨터 프로그램도 본 발명의 한 양태이다.The operation of the present embodiment having the above-described configuration is as follows. On the other hand, a method for controlling the joining apparatus in the order described below and a computer program for operating the control apparatus are also an aspect of the present invention.

[1. 워크의 장착][One. Mounting of work]

우선, 유지 장치(2)에의 워크(S1, S2) 장착에 관해서 설명한다. 한편, 워크(S1)에는 양면테이프(T1)의 한 쪽의 점착면이 접착되어 있는 것으로 한다. 이때, 양면테이프(T1)의 다른 쪽의 면에는 박리지(F)가 점착된 채이다.First, mounting of the workpieces S1 and S2 to the holding device 2 will be described. On the other hand, one side of the double-sided tape T1 is adhered to the work S1. At this time, the release paper F is adhered to the other surface of the double-sided tape T1.

즉, 도 1에 도시하는 투입 취출 포지션(1A)에 있어서, 작업자는 도 2∼도 4에 도시하는 바와 같이, 양면테이프(T1)를 점착한 면이 위로 되도록, 워크(S1)를 흡착 플레이트(510)의 보호 부재(511) 상에 놓는다. 이때, 흡착 제어부(686)가, 흡착 펌프(530)를 작동시켜, 흡착 플레이트(510) 및 보호 부재(511)의 흡착 구멍에 의해 워크(S1)를 흡착시킨다. 또한, 작업자는 워크(S2)를 유지부(100)에 셋트한다. 한편, 사람의 손에 의한 워크의 투입이 아니라, 오토로더 등의 공급 기구에 의해서, 핸들링 등이 된 워크를 자동적으로 투입하는 것도 가능하다.That is, in the injection taking-out position 1A shown in Fig. 1, as shown in Figs. 2 to 4, the worker places the work S1 on the attracting plate 510 on the protective member 511. At this time, the adsorption control unit 686 operates the adsorption pump 530 to adsorb the work S1 by the adsorption holes of the adsorption plate 510 and the protection member 511. [ Further, the worker sets the work S2 on the holding portion 100. Then, On the other hand, it is also possible to automatically insert a work that has been handled or the like by a supply mechanism such as an autoloader, instead of inputting a workpiece by a human hand.

[2. 박리지의 박리][2. Peeling of flake]

상기한 바와 같이, 워크(S1, S2)를 유지한 유지 장치(2)는, 턴테이블(1)의 회전에 의해서 점착재 준비 포지션(1B)으로 온다. 여기서, 박리 장치(3)가 워크(S1)의 박리지(F)를 박리한다. 즉, 도 13 및 도 17의 (A)에 도시하는 바와 같이, 헤드 제어부(651)가, 실린더(33b)를 구동함으로써 박리 헤드(33a)를 전방으로 이동시키고, 실린더(35)를 구동함으로써 제1 유닛(U1)을 하강시켜, 워크(S1)의 양면테이프(T1)의 박리지(F)의 가장자리에, 박리용의 점착테이프(T2)를 접촉시킨다.As described above, the holding device 2 holding the workpieces S1 and S2 comes to the adhesive material preparation position 1B by the rotation of the turntable 1. Here, the peeling apparatus 3 peels off the peeling paper F of the work S1. That is, as shown in Figs. 13 and 17A, the head control section 651 drives the cylinder 33b to move the peeling head 33a forward, and drives the cylinder 35 1 unit U1 is lowered so that the peeling adhesive tape T2 is brought into contact with the edge of the release paper F of the double-sided tape T1 of the work S1.

회전 제어부(652)가, 릴 회전 기구(31b, 34c)를 제어함으로써, 송출 릴(31a) 및 권취 릴(34a)에 제동을 건 상태에서, 승강 제어부(653)가, 릴 승강 기구(34b)를 작동시켜, 권취 릴(34a)를 하강시킨다. 그렇게 하면, 점착테이프(T2)가 아래쪽으로 잡아당겨지면서, 박리 헤드(33a)가 후퇴한다. 이때, 도 17의 (B)에 도시하는 바와 같이, 점착테이프(T2)가 접하고 있는 박리지(F)는 양면테이프(T1)에 접착되어 박리된다.The rotation control unit 652 controls the reel rotation mechanisms 31b and 34c to cause the raising and lowering control unit 653 to rotate the reel raising and lowering mechanism 34b in a state in which the feed reel 31a and the take- So that the take-up reel 34a is lowered. Then, the peeling head 33a is retracted while the adhesive tape T2 is pulled downward. At this time, as shown in Fig. 17B, the release paper F with which the adhesive tape T2 is in contact is peeled off from the double-faced tape T1.

그리고, 회전 제어부(652)가, 릴 회전 기구(34c)를 작동시켜 권취 릴(34a)을 회전시키면서, 승강 제어부(653)가, 릴 승강 기구(34b)를 작동시켜 권취 릴(34a)을 상승시킴으로써, 다음 워크(S1)로부터 박리지(F)를 박리하는 상태로 복귀시킨다.The rotation control unit 652 controls the rotation of the take-up reel 34a by operating the reel-up and down mechanism 34b while rotating the take-up reel 34a by operating the reel- Thereby returning the release paper F to the state of peeling from the next work S1.

한편, 앞에서는, 제1 유닛(U1)을 이용하여, 하측의 워크(S1)로부터 박리지(F)를 박리한 경우를 설명했지만, 제2 유닛(U2)을 이용하여, 상측의 워크(S2)로부터 박리지(F)를 박리하는 경우에도, 기본적인 동작 순서는 마찬가지이다[도 18의 (A), (B) 참조].Although the case where the release paper F is peeled off from the lower work S1 using the first unit U1 has been described above, it is also possible to use the second unit U2 to remove the upper work S2 , The basic operation procedure is the same (see Figs. 18 (A) and 18 (B)).

[3. 워크의 위치 결정][3. Positioning of work]

이어서, 워크(S1, S2)를 유지한 유지 장치(2)가 턴테이블(1)의 회전에 의해서 위치 결정 포지션(1C)으로 온다. 이때, 로크부(350)의 실린더(356)에 의해서 피압박부(355)가 압박됨으로써, 위치 결정부(300)의 로크가 해제된다(X, Y, θ축 전부). 그렇게 하면, 검출 장치(4)에 의한 위치 검출, 위치 결정부(300)에 의한 위치 결정이 이루어진다. 이러한 순서를 도 28의 흐름도에 따라서 도 20∼도 22, 도 29를 참조하면서 이하에 설명한다.The holding device 2 holding the workpieces S1 and S2 comes to the positioning position 1C by the rotation of the turntable 1. [ At this time, the to-be-pressed portion 355 is pressed by the cylinder 356 of the lock portion 350, whereby the lock of the positioning portion 300 is released (all of the X, Y, and θ axes). Then, the position detection by the detecting device 4 and the positioning by the positioning unit 300 are performed. This sequence will be described below with reference to the flow chart in Fig. 28 with reference to Figs. 20 to 22 and Fig.

[3-1. 위치 검출][3-1. Position detection]

카메라 구동부(661)는 카메라 구동 기구(49)를 작동시킴으로써 아암(45, 46)을 이동시킨다. 이에 따라, 도 20 및 도 21에 도시하는 바와 같이, CCD 카메라(41)가 워크(S2)의 위쪽으로 이동하고, CCD 카메라(42)는 워크(S1)와 워크(S2) 사이로 이동한다(단계 101).The camera driving unit 661 moves the arms 45 and 46 by operating the camera driving mechanism 49. 20 and 21, the CCD camera 41 moves to the upper side of the work S2 and the CCD camera 42 moves between the work S1 and the work S2 101).

그리고, CCD 카메라(41, 42)는 워크(S1, S2)의 코너 혹은 마크(M1, M2)에 대응하는 위치에 순차 정지한다(단계 102). 촬상 제어부(662)는, CCD 카메라(41, 42)로, 워크(S1) 및 워크(S2)의 코너 혹은 마크(M1, M2)을 순차 촬상시킨다(단계 103). 촬상된 화상은 제어 장치(6)에 입력된다(단계 104).Then, the CCD cameras 41 and 42 sequentially stop at the corners of the works S1 and S2 or the positions corresponding to the marks M1 and M2 (step 102). The imaging control unit 662 causes the CCD cameras 41 and 42 to successively pick up the corners of the work S1 and the work S2 or the marks M1 and M2 in step 103. The picked-up image is input to the control device 6 (step 104).

한편, 상기한 촬상 때, 워크(S2)가 정상적인 경우에는, 도 22(A)에 도시하는 것과 같이, 동축 낙사 조명에 의한 워크(S2)로부터의 반사광이 CCD 카메라(41)로 되돌아가기 때문에, 문제없이 촬상할 수 있다. 그러나, 도 3에 도시하는 바와 같이, 워크(S2)는, 워크(S1)와 같이 흡착 플레이트(510)에 흡착되어 있는 것이 아니라, 유지부(100)에 의해서 공중에 유지되고 있다. 이 때문에, 도 22의 (B)에 도시하는 바와 같이, 워크(S2)의 만곡, 왜곡 등이 생기기 쉽고, 그 경우, 워크(S2)로부터의 반사광이 CCD 카메라(41)로 되돌아가지 않게 될 가능성이 있다.On the other hand, when the work S2 is normal at the time of imaging, as reflected from the work S2 due to coaxial incident illumination is returned to the CCD camera 41 as shown in Fig. 22 (A) The image can be taken without any problem. However, as shown in Fig. 3, the work S2 is not adsorbed on the adsorption plate 510 like the work S1, but is held in the air by the holding unit 100. [ 22 (B), curvature and distortion of the work S2 are liable to occur. In this case, the possibility that the reflected light from the work S2 does not return to the CCD camera 41 .

본 실시형태에서는, 이러한 경우라도, 도 22의 (C)에 도시하는 바와 같이, CCD 카메라(41)로부터의 조명이, CCD 카메라(42)에 부착된 반사면(42a)에 반사하여, 확실하게 CCD 카메라(41)로 되돌아가기 때문에, 촬상이 가능해진다. 한편, 마크(M1, M2)를 검출 대상으로 하는 경우에는, 반사광의 수광을 위해, 워크(S2)에 있어서의 마크(M1, M2)에 해당하는 부분은 빛을 투과하는 부위를 갖는 것이 바람직하다.In this embodiment, even in such a case, as shown in Fig. 22C, the light from the CCD camera 41 is reflected by the reflecting surface 42a attached to the CCD camera 42, The image is returned to the CCD camera 41, so that the image can be captured. On the other hand, when the marks M1 and M2 are to be detected, it is preferable that a portion corresponding to the marks M1 and M2 in the work S2 has light transmitting portions for receiving reflected light .

상기한 바와 같은 식으로 하여, 적어도 3점을 촬상한 후(단계 105), 3점 추출부(663)는, 촬상한 화상으로부터, 워크(S1)의 코너 혹은 식별 마크(M1)의 3점을 추출하고, 이것에 대응하는 워크(S2)의 코너 혹은 마크(M2)의 3점을 추출한다(단계 106). 한편, 화상으로부터 점을 추출하는 처리는, 종래의 일반적인 화상 처리 기술에 의해서 실현 가능하기 때문에, 설명을 생략한다.The three-point extraction unit 663 extracts at least three points of the corner of the work S1 or the identification mark M1 from the picked-up image in the same manner as described above (step 105) And three points of the corner of the work S2 or the mark M2 corresponding thereto are extracted (step 106). On the other hand, the processing for extracting points from an image can be realized by a conventional general image processing technique, and a description thereof will be omitted.

무게중심 산출부(664)는, 도 29의 (A)에 도시하는 바와 같이, 각 워크(S1, S2)의 3점(1점쇄선의 원으로 둘러싸인 점) 중, 대각 2점의 중점을, 워크(S1, S2)의 무게중심 좌표(G1, G2)로서 산출한다(단계 107). 또한, 기울기 산출부(665)는, 각 워크(S1, S2)의 3점 중, 긴변 혹은 짧은변의 2점을 연결하는 직선의 기울기를 워크(S1, S2)의 기울기로서 산출한다(단계 108).As shown in Fig. 29A, the center of gravity calculating section 664 calculates the center of gravity of two diagonal points among three points (points surrounded by circles of one dotted line) of each of the works S1 and S2, (G1, G2) of the center coordinates (S1, S2) (step 107). The slope calculating section 665 calculates the slope of the straight line connecting two points on the long side or the short side among the three points of each of the works S1 and S2 as the slope of the work S1 and S2 (step 108) .

이어서, 위치 결정 제어부(670)에서의 위치 결정 연산부(672)는, 양 워크(S1, S2)의 무게중심과 기울기가 일치하도록, 워크(S1)의 이동량을 연산한다(단계 109). 즉, 무게중심을 맞추기 위한 X-Y 방향의 이동량[회전축(321, 331)의 회동량]을 산출하고, 기울기를 맞추기 위한 θ방향의 회동량[하회전축(345)의 회동량]을 산출한다.Subsequently, the positioning calculation unit 672 in the positioning control unit 670 calculates the amount of movement of the work S1 so that the center of gravity of both workpieces S1 and S2 coincides with the inclination (step 109). In other words, the amount of movement in the X-Y direction (the amount of rotation of the rotation shafts 321 and 331) for aligning the center of gravity is calculated, and the amount of rotation in the? Direction (the amount of rotation of the lower rotation shaft 345) for calculating the tilt is calculated.

클러치 제어부(671)는, 코일(421, 431, 441)에 통전시킴으로써, 로터(422, 432, 442)와 전기자(323, 333, 346)를 접속시킨다(단계 110). 그리고, 모터 제어부(673)가, 모터(450, 460, 470)를 작동시켜, 회전축(321, 331), 하회전축(345)을 회동시킨다(단계 111). 모터(450, 460, 470)는, 산출된 회동량만큼 회전축(321, 331), 하회전축(345)이 회동하면, 정지한다(단계 112).The clutch control section 671 connects the rotors 422, 432 and 442 to the armatures 323, 333 and 346 by energizing the coils 421, 431 and 441 (step 110). Then, the motor control unit 673 operates the motors 450, 460 and 470 to rotate the rotating shafts 321 and 331 and the lower rotating shaft 345 (step 111). The motors 450, 460, and 470 stop when the rotary shafts 321 and 331 and the lower rotary shaft 345 rotate by the calculated amount of rotation (step 112).

또한, 클러치 제어부(671)는, 로크부(350)의 실린더(356)를 작동시켜, 피압박부(355)에의 압박을 해제함으로써, 스프링(354)의 압박력에 의해서 브레이크(352)를 하강시켜, 브레이크판(351)을 사이에 두고 로크한다(단계 113). 이것은, X, Y, θ축 전부에 대해서 거의 동시에 행한다. 그리고, 클러치 제어부(671)는, 코일(421, 431, 441)의 통전을 정지하여, 클러치(420∼440)에 의한 X축부(320), Y축부(330) 및 θ축부(340)와 구동부(400)의 접속을 해제한다.The clutch control section 671 operates the cylinder 356 of the lock section 350 to release the pressing on the portion to be pressed 355 to lower the brake 352 by the urging force of the spring 354 , And the brake plate 351 is interposed therebetween (step 113). This is performed almost simultaneously with respect to all the X, Y, and θ axes. The clutch control section 671 stops energization of the coils 421, 431 and 441 and stops the energization of the X axis section 320, the Y axis section 330 and the θ axis section 340 by the clutches 420 to 440, (400).

이에 따라, 양 워크(S1, S2)의 위치가 맞도록, X-Y-θ 테이블(311)의 위치가 조절된다. 예컨대, 워크(S1, S2)에, 도 29의 (A)와 같은 어긋남이 있는 경우에, 도 29의 (B)에 도시하는 바와 같이, X-Y 방향으로의 이동에 의해서 무게중심(G1, G2)을 일치시키고, 도 29의 (C)에 도시하는 바와 같이, 회동에 의해서 기울기를 일치시킬 수 있다.Thus, the position of the X-Y-theta table 311 is adjusted so that the positions of both workpieces S1 and S2 match. For example, when the work S1 or S2 is deviated as shown in Fig. 29A, the center of gravity G1 or G2 is moved by the movement in the X and Y directions, as shown in Fig. 29 (B) And as shown in Fig. 29 (C), the inclination can be made to coincide with the rotation.

한편, 코너나 마크 등의 검출 대상이, 워크마다의 변동이 적은 경우에는, 대각의 2점을 검출하면, 무게중심과 대각선의 기울기를 맞춤으로써, 위치맞춤이 가능하게 된다. 따라서, 본 실시형태에 있어서도, 워크(S1, S2)의 대각의 2점을 검출하고, X-Y 방향으로의 이동에 의해서, 서로의 무게중심(G1, G2)을 맞추며, 회동에 의해서, 대각선의 기울기를 일치시키더라도 좋다. 이에 따라, 연산 처리의 부담을 경감할 수 있다.On the other hand, in the case where a detection object such as a corner or a mark has little fluctuation per work, when two diagonal points are detected, alignment can be made by aligning the center of gravity and the inclination of the diagonal line. Therefore, in the present embodiment as well, two diagonal points of the work S1 and S2 are detected, and the centers of gravity G1 and G2 of the workpieces S1 and S2 are aligned by the movement in the X and Y directions, . Thus, the burden of the arithmetic processing can be reduced.

[4. 진공 접합][4. Vacuum bonding]

이어서, 워크(S1, S2)를 유지한 유지 장치(2)가, 턴테이블(1)의 회전에 의해서 진공 접합 포지션(1D)으로 온다. 그렇게 하면, 압박 장치(5)에 의해서, 진공 접합이 이루어진다. 이러한 순서를, 도 30의 흐름도에 따라서, 도 2, 도 10∼도 12, 도 23∼도 25를 참조하여 설명한다.Then, the holding device 2 holding the workpieces S1 and S2 comes to the vacuum bonding position 1D by the rotation of the turntable 1. Then, the vacuum bonding is performed by the pressing device 5. This procedure will be described with reference to Figs. 2, 10 to 12, and 23 to 25 in accordance with the flowchart of Fig.

즉, 도 23 및 도 24에 도시하는 바와 같이, 챔버 제어부(681)는, 승강 기구(53)를 작동시킴으로써, 진공 챔버(51)를 하강시켜, 유지 장치(2)의 주위를 밀폐한다(단계 201). 그리고, 감압 제어부(682)는, 감압 펌프(55)를 작동시켜, 진공 챔버(51) 안을 감압한다(단계 202).23 and 24, the chamber control unit 681 lowers the vacuum chamber 51 by closing the elevating mechanism 53 to seal the periphery of the holding apparatus 2 (step < RTI ID = 0.0 > 201). Then, the decompression control unit 682 operates the decompression pump 55 to decompress the inside of the vacuum chamber 51 (step 202).

진공계(56)는 검출한 전압치를 제어 장치에 출력한다(단계 203). 진공 연산부(683)에 있어서는, 전압 판정부(683a)가, 진공계(56)에 의해 검출된 전압치가 상기한 (1)∼(3) 중 어느 범위 내인지를 판정한다(단계 204). 이 판정 결과에 따라서, 식 선택부(683b)가 다항 근사식을 선택한다(단계 205-1∼3). 압력 연산부(683c)는 검출된 전압치와 선택된 다항 근사식에 기초하여 압력을 산출한다(단계 206).The vacuum gauge 56 outputs the detected voltage value to the control device (step 203). In the vacuum computing unit 683, the voltage determining unit 683a determines which of the above-described (1) to (3) voltage values detected by the vacuum gauge 56 is within the above range (step 204). Based on the determination result, the formula selecting unit 683b selects a polynomial approximate expression (steps 205-1 to 3-3). The pressure calculating unit 683c calculates the pressure based on the detected voltage value and the selected polynomial approximate expression (step 206).

밸브 제어부(684)는, 산출된 압력치가, 소정의 밸브용 압력 이하가 되었다고 판정한 경우에는(단계 207), 압박부(527)를 상승시켜, 3방향 밸브(520)의 피압박부(525)를 압박한다. 그렇게 하면, 도 11 및 도 12의 (B)에 도시하는 바와 같이, 3방향 밸브(520)의 로드(524)가 상승하여, 상측 밸브(522)가 내관부(521)의 상단을 개방하고, 하측 밸브(523)가 닫힌 상태가 된다(단계 208). 이에 따라, 흡착 플레이트(510) 안과 진공 챔버(51) 안이 동일 압력으로 되어, 흡착 구멍으로부터의 분출이 방지된다.When the calculated pressure value is judged to be equal to or lower than a predetermined valve pressure (step 207), the valve control section 684 raises the pressure section 527 to cause the pressure-receiving section 525 ). As a result, as shown in Figs. 11 and 12B, the rod 524 of the three-way valve 520 rises, the upper valve 522 opens the upper end of the inner tube portion 521, The lower valve 523 is closed (step 208). As a result, the pressure inside the adsorption plate 510 and the inside of the vacuum chamber 51 becomes the same, and the ejection from the suction hole is prevented.

또한, 압박 제어부(685)는, 산출된 압력치가, 소정의 압박용 압력 이하가 되었다고 판정한 경우에는(단계 209), 도 25에 도시하는 바와 같이, 실린더(54)를 작동시켜, 가압 헤드(52)를 하강시키고, 워크(S2)를 워크(S1)에 밀어붙인다(단계 210). 그 후, 감압 제어부(682)는, 감압 펌프(55)를 정지시키고(단계 211), 챔버 제어부(681)가, 가압 헤드(52) 및 진공 챔버(51)를 상승시켜, 대기 개방한다(단계 212, 213).When the calculated pressure value is judged to be equal to or lower than the predetermined pressing pressure (step 209), the compression control unit 685 operates the cylinder 54 as shown in Fig. 25, 52 are lowered, and the work S2 is pressed against the work S1 (step 210). Thereafter, the decompression control unit 682 stops the decompression pump 55 (step 211), and the chamber control unit 681 raises the pressure head 52 and the vacuum chamber 51 to open to the atmosphere 212, 213).

[5. 워크의 취출][5. Take out of work]

상기한 바와 같이, 접합된 워크(S1, S2)를 유지한 유지 장치(2)가, 턴테이블(1)의 회전에 의해서 투입 취출 포지션(1A)으로 오면, 작업자는, 워크(S1, S2)를 유지부(100)로부터 꺼낸다. 한편, 이 작업도, 반출 기구 등에 의한 자동화가 가능하다.As described above, when the holding device 2 holding the joined workpieces S1 and S2 comes into the injection taking-out position 1A by the rotation of the turntable 1, the worker places the work S1 and S2 And is taken out from the holding portion 100. On the other hand, this operation can also be automated by a delivery mechanism or the like.

[C. 효과][C. effect]

이상과 같은 본 실시형태에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 즉, 1쌍의 워크(S1, S2)의 공급을 1곳의 포지션에서 행할 수 있고, 접합 후의 워크(S1, S2)의 취출도 동일한 포지션에서 행할 수 있기 때문에, 작업 스페이스가 작아진다.According to the present embodiment as described above, the following effects can be obtained. That is, the supply of the pair of workpieces S1 and S2 can be performed at one position, and the workpieces S1 and S2 after the bonding can also be taken out at the same position, so that the work space is reduced.

박리 장치(3)에 있어서 박리 헤드(33a)는 경사져 있기 때문에, 워크(S1, S2)의 끝에서부터 점착테이프(T2)의 압착을 시작할 수 있어, 박리지(F)를 확실하게 박리할 수 있다. 또한, 박리 헤드(33a)가 경사져 있으며, 변환부(32)에 의해, 박리부(33)에 있어서 점착테이프(T2)의 길이 방향으로부터, 공급부(31)가 떨어져 있고, 권취 릴(34a)의 이동 방향이 상하이므로, 깊이 방향의 소요 스페이스를 작게 할 수 있다. 이러한 박리 장치(3)의 이점은, 예컨대 도 19의 (A)∼(D)에 도시하는 바와 같이, 권취 릴(L1), 송출 릴(L2), 박리 헤드(L3)가 배치되고, 권취 릴(L1)이 점착테이프(T2)의 길이 방향으로 이동하도록 구성된 종래예와 비교하더라도 분명하다.Since the peeling head 33a is inclined in the peeling apparatus 3, the peeling of the peeling paper F can be reliably released since the peeling of the peeling head 33a can start to press the adhesive tape T2 from the ends of the works S1 and S2 . Further, the peeling head 33a is inclined, and the feeding portion 31 is separated from the longitudinal direction of the adhesive tape T2 in the peeling portion 33 by the converting portion 32, Since the moving direction is upward and downward, the required space in the depth direction can be reduced. The advantage of such a peeling apparatus 3 is that the take-up reel L1, the feed reel L2 and the peeling head L3 are arranged as shown in Figs. 19A to 19D, (L1) is configured to move in the longitudinal direction of the adhesive tape T2.

또한, 박리 장치(3)는, 유닛(U1, U2)을 교환함으로써, 하측의 워크(S1)로부터의 박리지(F)의 박리와, 상측의 워크(S2)로부터의 박리지(F)의 박리에 용이하게 대응할 수 있다. 이러한 박리 장치(3)의 이점은, 예컨대 도 19의 (A), (B)에 도시하는 하측의 워크(S1)를 위한 종래예와, 도 19의 (C), (D)에 도시하는 상측의 워크(S2)를 위한 종래예에서는, 권취 릴(L1), 송출 릴(L2)의 배치 자체를 변경시켜야만 하기 때문에, 유닛화가 곤란하다는 점에서도 분명하다. 한편, 예컨대 도 17, 도 18에 도시한 롤러(33c∼33g)를 갖춘 장치로 함으로써, 유닛 교환식으로 하지 않더라도, 점착테이프(T2)를, 도 17 혹은 도 18에 도시하는 바와 같이 바꿔 거는 것만으로, 상측 박리용과 하측 박리용에 대응할 수 있다.The peeling apparatus 3 is configured such that peeling of the release paper F from the lower work S1 and removal of the release paper F from the upper work S2 are carried out by exchanging the units U1, It is possible to easily cope with peeling. The advantage of such a peeling apparatus 3 is that the conventional example for the lower work S1 shown in Figs. 19A and 19B and the conventional example for the lower work S1 shown in Figs. 19C and 19D, The arrangement of the take-up reel L1 and the feed reel L2 must be changed in the conventional example for the work S2 of the work S2. On the other hand, by employing an apparatus equipped with the rollers 33c to 33g shown in Figs. 17 and 18, it is possible to replace the adhesive tape T2 as shown in Fig. 17 or Fig. 18 , It is possible to cope with the upper peeling and the lower peeling.

또한, 박리 장치(3)는, 접합 장치에 착탈 가능한 독립 구성으로 하면서도, 이재기(移載機) 등은 불필요하게 되기 때문에, 먼지의 부착 등을 방지할 수 있다. 또한, 박리 장치(3)와 도포 장치가 교환 가능하기 때문에, 다양한 제품에의 대응이 가능하게 된다.Further, since the peeling apparatus 3 has an independent structure that can be attached to and detached from the joining apparatus, a transfer apparatus or the like becomes unnecessary, thereby preventing attachment of dust or the like. In addition, since the peeling apparatus 3 and the application apparatus can be exchanged, it is possible to cope with various products.

턴테이블(1) 상의 X-Y-θ 테이블(311)을, 클러치(420, 430, 440)에 의해, 모터(450, 460, 470)로부터 분리하여, 그대로 이동시킬 수 있다. 이 때문에, 턴테이블(1)에는 구동원 등을 탑재할 필요가 없고, 전원 및 제어선도 불필요해져, 간소한 구성에 의해 안정된 가동을 실현할 수 있다. 또한, 유지 장치(2)를 턴테이블(1)에 여러 대 탑재할 수 있기 때문에, 고속으로 효율적인 접합을 실현할 수 있다.The X-Y-? Table 311 on the turntable 1 can be separated from the motors 450, 460, and 470 by the clutches 420, 430, and 440 and can be moved as they are. Therefore, it is not necessary to mount a driving source or the like on the turntable 1, power source and control line are unnecessary, and stable operation can be realized by a simple structure. Further, since the holding device 2 can be mounted on the turntable 1 in multiple units, it is possible to achieve high-speed and efficient bonding.

또한, 구동원 등은, 1곳에만 구비하여도 되기 때문에, 저렴하게 구성할 수 있다. 또한, X-Y-θ 테이블(311)은 소형화되기 때문에, 진공 속에의 수용도 용이하며, 기포 등의 혼입 방지도 간단히 실현할 수 있다. 또한, 위치 결정 후의 X-Y-θ 테이블(311) 상에서 워크(S1, S2)를 접합할 수 있기 때문에, 정밀도가 높은 접합이 가능하게 된다.Since the drive source and the like may be provided only at one place, the drive source and the like can be constructed at low cost. Further, since the X-Y-theta table 311 is miniaturized, the XY-θ table 311 can be easily accommodated in a vacuum, and prevention of mixing of bubbles and the like can be easily achieved. Further, since the works S1 and S2 can be joined on the X-Y-theta table 311 after the positioning, highly accurate bonding can be performed.

특히, 검출 장치(4)는, 워크(S1, S2)의 무게중심 및 기울기의 검출을 3점에서 행하기 때문에, 처리 부담을 최소한으로 하여 정확한 검출을 할 수 있다. 또한, 워크(S1, S2)에 만곡 등이 있었던 경우라도, CCD 카메라(41) 측으로부터의 조사광이 CCD 카메라(42)의 반사면(42a)에 의해서 반사되기 때문에, 정확한 검출을 할 수 있다. 따라서, 정확한 검출에 기초한 고정밀도의 접합이 가능하게 된다.In particular, since the detection device 4 performs the detection of the center of gravity and inclination of the work S1 and S2 at three points, accurate detection can be performed with the minimum processing burden. Even when the work S1 or S2 has curvature or the like, the irradiation light from the CCD camera 41 side is reflected by the reflecting surface 42a of the CCD camera 42, so that accurate detection can be performed . Therefore, high-precision bonding based on accurate detection becomes possible.

턴테이블(1) 상의 한 포지션에 있어서, 진공 접합을 행할 수 있기 때문에, 공간 절약화가 가능해진다. 또한, 진공 챔버(51) 내에서 위치 결정할 필요가 없기 때문에, 장치를 작게 간소화할 수 있다. 또한, 진공 챔버(51) 안을 감압할 때에, 3방향 밸브(520)에 의해, 흡착부(500)에서의 흡착 라인을 차단하는 동시에, 진공 챔버(51) 안과 동일 압력으로 할 수 있기 때문에, 흡착 구멍으로부터의 분출에 의한 워크(S1)의 떨어짐을 방지할 수 있어, 안정된 가동을 실현할 수 있다. 또한, 단일의 3방향 밸브(520)에 의해서 전환하기 때문에, 소형으로 저렴하게 제조할 수 있다.Vacuum bonding can be performed at one position on the turntable 1, thereby making it possible to save space. Further, since it is not necessary to determine the position in the vacuum chamber 51, the device can be simplified to a small size. In addition, when depressurizing the inside of the vacuum chamber 51, the adsorption line in the adsorption section 500 can be blocked by the three-way valve 520 and the same pressure as in the vacuum chamber 51 can be obtained, It is possible to prevent the work S1 from falling off due to the ejection from the hole, thereby realizing stable operation. Further, since it is switched by the single three-way valve 520, it can be manufactured in a small size and inexpensively.

진공 챔버(51) 내의 압력의 검출 시에, 전압치에 따른 적절한 근사식을 선택하여, 압력을 산출하기 때문에, 낮은 차수의 근사함수로, 높은 정밀도의 압력 산출이 가능해진다. 또한, 항상, 단순한 하나의 함수에 의한 연산 처리를 하면 되기 때문에, 처리 부담이 경감된다.When detecting the pressure in the vacuum chamber 51, an appropriate approximate expression corresponding to the voltage value is selected to calculate the pressure, so that a high precision pressure calculation can be performed with a low-order approximate function. In addition, since it is always necessary to perform an arithmetic operation by a single simple function, the burden of processing is alleviated.

흡착부(500)의 보호 부재(511) 및 압박 장치(5)의 보호 부재(52a)로서, 탄성 부재에 다공질의 시트를 접착한 것을 사용하고 있기 때문에, 워크(S1, S2)에의 충격을 흡수하면서, 워크(S1, S2)의 보호 부재(511, 52a)에의 접착을 방지할 수 있어, 안정된 접합을 실현할 수 있다. 또한, 고무의 표면을 기계 가공에 의해 거칠게 하는 경우에 비해서, 미끄러짐이 좋아, 마모가 잘 일어나지 않는다. 또한, 고무의 저에너지 조사 처리를 하는 경우에 비해서 저렴하다. 게다가, 열화된 경우에, 고무 전체를 교환하는 경우에 비해서, 시트 바꿔 붙이기가 용이하게 된다.A porous sheet adhered to the elastic member is used as the protective member 511 of the suction unit 500 and the protective member 52a of the pressing device 5 so that the shock to the workpieces S1 and S2 is absorbed Adhesion of the work S1 and S2 to the protective members 511 and 52a can be prevented, and stable bonding can be realized. In addition, compared with the case where the surface of the rubber is roughened by machining, it is good in slipperiness and does not wear well. In addition, it is inexpensive compared to the case of performing low energy irradiation treatment of rubber. In addition, when deteriorated, it becomes easier to replace the sheet as compared with the case of replacing the entire rubber.

[D. 다른 실시형태][D. Other Embodiments]

본 발명은 상기와 같은 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 전술한 것과 같이, 박리 장치 대신에 접착제의 도포 장치를 이용하는 경우에는, 접착제로서는 현재 또는 장래에 이용 가능한 모든 재질의 것을 적용할 수 있다. 자외선 경화형이나 방사선 경화형의 수지와 같이, 외부로부터 광의(廣義)의 전자파를 조사하거나, 열경화형의 수지와 같이, 온도 변화를 가함으로써 경화하는 것도 적용할 수 있다. 도포 장치로서는 전술한 것과 같이 주지된 장치를 이용할 수 있다. 예컨대, 잉크젯 도포 장치, 스크린 인쇄 장치, 스퀴지 도포 장치, 디스펜스 노즐 도포 장치 등을 고려할 수 있지만, 이들에 한정되지는 않는다.The present invention is not limited to the above-described embodiments. For example, as described above, in the case of using an apparatus for applying an adhesive instead of the peeling apparatus, all materials available now or in the future can be used as the adhesive. It is also possible to irradiate an electromagnetic wave of a broad width from the outside or to cure by applying a temperature change like a thermosetting resin, such as an ultraviolet curing type or a radiation curing type resin. As the application device, a well-known device as described above can be used. For example, an inkjet coating apparatus, a screen printing apparatus, a squeegee coating apparatus, a dispensing nozzle coating apparatus, and the like can be considered, but the present invention is not limited thereto.

도포 장치에 의한 접착제 도포를 하는 경우에는, 도 37에 도시하는 바와 같이, 턴테이블(1)의 정지 포지션으로서, 접착제의 경화 포지션(1E)을 두는 것을 고려할 수 있다. 이 경우, 경화 포지션(1E)에, 전자파를 조사하는 장치, 가열하는 장치 등을 설치하여, 접합 후의 워크가 경화 포지션(1E)에 왔을 때에, 전자파의 조사 혹은 가열을 행함으로써, 접착제를 경화시킨다.In the case of applying the adhesive by the application device, it is possible to consider setting the curing position 1E of the adhesive as the stop position of the turntable 1, as shown in Fig. In this case, a device for irradiating electromagnetic waves, a device for heating, or the like is provided in the curing position 1E, and when the work after joining comes to the curing position 1E, the adhesive is cured by irradiating or heating the electromagnetic wave .

또한, 박리 장치에 있어서의 세부 구성은, 상기한 실시형태에서 나타낸 것에 한정되지는 않는다. 예컨대, 박리 헤드는, 점착테이프를 이동시킬 수 있으면서, 박리지에 밀어붙일 수 있는 구성이면 되며, 그 구동 기구도 박리지에 접촉 분리시킬 수 있는 구성의 것이면 된다. 또한, 가이드 롤러의 배치 위치나 수도 자유롭다. 게다가, 변환부의 변환 각도도, 박리 헤드의 점착테이프의 길이 방향으로부터 송출부가 떨어지는 각도라면, 직각에 한정되지는 않는다. 한편, 박리 장치로서, 다른 주지된 장치를 적용할 수도 있다.The detailed configuration of the peeling apparatus is not limited to that shown in the above embodiment. For example, the peeling head may be configured so as to be capable of moving the adhesive tape while being pushed against the peeling paper, and the driving mechanism may be of a structure capable of being separated from the peeling paper. Also, the position and number of the guide rollers can be freely set. In addition, the angle of conversion of the conversion section is not limited to a right angle as long as the delivery section is at an angle away from the longitudinal direction of the adhesive tape of the separation head. On the other hand, as the peeling apparatus, other well-known apparatuses may be applied.

위치 결정부와 구동부를 착탈하는 착탈 부재도 주지된 모든 것을 적용할 수 있다. 예컨대, 코일의 여자에 의하지 않는 기계식의 클러치라도 좋다. 커플링, 벨로우즈도, 축의 변위를 허용하는 구조의 접속 부재라면, 주지된 모든 것을 적용할 수 있다.Any well-known attaching and detaching member for attaching and detaching the positioning unit and the driving unit can be applied. For example, a mechanical clutch that does not depend on the excitation of the coil may be used. If the coupling member and the bellows are also of a connecting member having a structure permitting the displacement of the shaft, all known methods can be applied.

보호 부재의 재질, 두께, 경도 등도 자유이다. 예컨대, 가압 헤드 측으로서는, 경도 40의 우레탄고무에 폴리우레탄 다공질 필름제의 시트를 양면테이프로 접착한 것, 흡착 플레이트 측으로서는, 경도 80의 우레탄고무에 폴리우레탄 다공질 필름제의 시트와 접착한 것을 이용하는 것을 고려할 수 있지만, 이들에 한정되지는 않는다.The material, thickness, and hardness of the protective member are also free. For example, as the pressure head side, a sheet made of a polyurethane porous film is attached to a urethane rubber having a hardness of 40, and a sheet made of a polyurethane porous film bonded to a urethane rubber having a hardness of 80 But the present invention is not limited thereto.

검출 장치에 있어서 카메라의 수는 상기한 수에 한정되지는 않는다. 1대만, 수평 방향으로 2대만, 혹은 수평 방향으로 3∼4대만으로 하여, 이것을 상측과 하측으로 순차 이동시키더라도 좋다. 또한, 위아래에 2대씩으로 하여, 앞뒤로 이동시키더라도 좋다. 또한, 위아래에 3∼4대씩으로 하여, 위아래의 3점을 동시에 촬상하더라도 좋다. 우선, 대각의 2점을 촬상하고, 여기로부터 추출할 수 없는 점이 있는 경우에는, 별도의 점을 촬상하더라도 좋다. 4곳을 촬상한 후, 추출 가능한 혹은 화상이 양호한 3곳에서 3점을 추출하더라도 좋다. 카메라의 수가 많을수록 이것을 구동시키는 기구는 간소화될 수 있고, 촬상도 고속으로 행할 수 있다.The number of cameras in the detection apparatus is not limited to the above-mentioned number. Only one horizontal, two horizontal, or three horizontal to four, may be sequentially moved upward and downward. In addition, it is also possible to move forward and backward two by two up and down. It is also possible to make three to four images in the up and down directions, and simultaneously image three points on the top and bottom. First, when two points of the diagonal line are picked up and there is a point that can not be extracted from this point, another point may be picked up. Three images may be extracted from three images that can be extracted or have good images after imaging four images. As the number of cameras increases, the mechanism for driving the camera can be simplified, and imaging can be performed at a high speed.

또한, 도 38에 도시하는 바와 같이, 하측의 CCD 카메라(42)에, 프리즘에 의해 광원으로부터의 빛을 위아래로 조사할 수 있는 구성을 채용하여, 위쪽에 조사한 빛을, 상측의 CCD 카메라(41)가 수광하도록 하더라도 좋다. 도 39에 도시하는 바와 같이, 하측의 CCD 카메라(42)가, 상하를 촬상할 수 있게, 또한 광원으로부터의 빛을 위아래로 조사할 수 있게 하여, 위쪽의 빛을 반사면(42a)에 의해 반사시키는 구성으로 하여도 좋다. 또한, 반사면의 재질로서는, 금속, 유리, 수지 등을 고려할 수 있지만, 조사광을 반사시킬 수 있는 것이라면, 어떠한 재질이라도 좋다. 또한, 반사면을 카메라의 케이스와 일체로 형성하더라도 좋다.As shown in Fig. 38, the lower CCD camera 42 is configured so that the light from the light source can be irradiated up and down by a prism, and the light irradiated to the upper side is irradiated to the upper CCD camera 41 May receive light. As shown in Fig. 39, the lower CCD camera 42 can irradiate the light from the light source up and down so that it can pick up and down, and the upper light is reflected by the reflection surface 42a May be used. As the material of the reflecting surface, metal, glass, resin or the like can be considered, but any material may be used as long as it can reflect the irradiation light. Further, the reflecting surface may be formed integrally with the case of the camera.

접합 대상이 되는 워크는, 커버 패널과 액정 모듈(표시 패널, 백라이트를 적층한 것)이 전형적인 예이지만, 표시 장치를 구성하는 요소를 접합시키는 장치로서 널리 적용 가능하다. 따라서, 예컨대 터치패널과 액정 모듈을 접합시키는 경우에도 적용할 수 있다.The cover to be bonded is a typical example of a cover panel and a liquid crystal module (a display panel and a backlight are laminated), but is widely applicable as an apparatus for bonding elements constituting a display device. Therefore, the present invention can also be applied to a case of bonding the touch panel and the liquid crystal module.

위치 결정을 위한 검출 대상도, 워크의 양태에 따라서 적절하게 변경 가능하다. 예컨대, 도 40에 도시하는 바와 같이, 액정 모듈인 워크(S1)에 커버 패널인 워크(S2)를 접합시키는 경우에, 워크(S2)에 인쇄 등이 된 프레임(H)의 코너를 검출하는 것도 가능하다. 이 경우, 도 41에 도시하는 바와 같이, 워크(S1)(혹은 표시 가능 영역, 이하 마찬가지)의 변과 프레임(H)의 변이 일치하도록 위치 결정하는 것이 바람직하다. 특히, 프레임(H)의 변은 제품을 구입한 사용자가 시인(視認)하는 부분이기 때문에, 워크(S1)에 대하여 프레임(H)이 기울어져 있으면, 불량품으로 될 가능성이 높다.The detection object for positioning can be appropriately changed in accordance with the mode of the work. For example, as shown in Fig. 40, when the work S2 as the cover panel is bonded to the work S1 as the liquid crystal module, the corner of the frame H printed on the work S2 It is possible. In this case, as shown in Fig. 41, it is preferable to position the side of the work S1 (or the displayable area, hereinafter the same) and the sides of the frame H to coincide with each other. Particularly, since the side of the frame H is a part viewed by the user who purchased the product, if the frame H is inclined with respect to the work S1, there is a high possibility that the frame H becomes a defective product.

이것을 방지하기 위해서는, 다음과 같은 이유에서, 2점 검출에 의한 위치 결정보다도, 3점 검출에 의한 위치 결정이 유효하게 된다. 즉, 프레임(H)의 사이즈나 형상은, 인쇄 등에 의해 형성되기 때문에, 워크(S2)마다 변동이 생기는 경우가 있다. 예컨대, 도 42의 (A)에 도시하는 바와 같이, 워크(S1)와, 프레임(H)의 형상이 일치하지 않는 경우에는, 각각의 대각의 2점을 검출하여, 무게중심 및 대각선의 기울기를 일치시키더라도, 도 42의 (B)에 도시하는 바와 같이, 워크(S1)에 대하여, 프레임(H)이 기운 상태에서 위치 결정되어 버린다.In order to prevent this, positioning by three-point detection is more effective than positioning by two-point detection for the following reason. That is, since the size and shape of the frame H are formed by printing or the like, there is a case where the work S2 varies every time. For example, as shown in Fig. 42 (A), when the shapes of the work S1 and the frame H do not coincide with each other, two diagonal points are detected and the center of gravity and the slope of the diagonal line The frame H is positioned in an inclined state with respect to the work S1 as shown in Figure 42 (B).

이에 대하여, 상기한 실시형태와 마찬가지로, 3점을 검출하여, 무게중심 및 긴 변의 기울기를 일치시키면, 도 42의 (C)에 도시하는 바와 같이, 워크(S1)와 프레임(H)의 변이 평행하게 된다. 이에 따라, 제품을 구입한 사용자가 시인하는 프레임(H)이 표시 가능 영역에 대하여 기울어져 버리는 사태가 없어져, 불량품의 발생을 방지할 수 있다.On the other hand, when three points are detected and the inclination of the center of gravity and the long side are made to coincide with each other, as shown in Fig. 42 (C), the sides of the work S1 and the frame H are parallel . This eliminates the situation in which the frame H viewed by the user who purchased the product tilts with respect to the displayable area, thereby preventing the occurrence of defective products.

1 : 턴테이블 1a : 가대
2 : 유지 장치 3 : 박리 장치
4 : 검출 장치 5 : 압박 장치
6 : 제어 장치 11 : 인덱스 기구
31 : 공급부 31a : 송출 릴
31b, 34c : 릴 회전 기구 32 : 변환부
33 : 박리부 33a : 박리 헤드
33b, 35, 54, 356 : 실린더 33c∼33g : 가이드 롤러
34 : 권취부 34a : 권취 릴
34b : 릴 승강 기구 41, 42 : CCD 카메라
42a : 반사면 45, 46 : 아암
49 : 카메라 구동 기구 51 : 진공 챔버
52 : 가압 헤드 52a, 511 : 보호 부재
53 : 승강 기구 55 : 감압 펌프
56 : 진공계 100 : 유지부
200 : 지주부 300 : 위치 결정부
310 : 배치부 311 : X-Y-θ 테이블
312, 320, 330, 340 : 축부 313 : 가동대
313a, 313b : 홈 314 : 벨로우즈
315 : 풀리 321, 331 : 회전축
322, 332 : 편심 롤러 323, 333, 346 : 전기자
341 : 상회전축 342 : 풀리
343 : 타이밍 벨트 344 : 벨로우즈 커플링
345 : 하회전축 350 : 로크부
351 : 브레이크판 352 : 브레이크
353 : 승강축 354 : 스프링
355, 525 : 피압박부 400 : 구동부
410 : 고정 테이블 420, 430, 440 : 클러치
421, 431, 441 : 코일 422, 432, 442 : 로터
450, 460, 470 : 모터 500 : 흡착부
510 : 흡착 플레이트 512, 526 : 배관
520 : 3방향 밸브 521 : 내관부
522 : 상측 밸브 523 : 하측 밸브
524 : 로드 527 : 압박부
530 : 흡착 펌프 610 : 테이블 제어부
620 : 기억부 624 : 산출부
630 : 타이밍 제어부 640 : 입출력 인터페이스
650 : 박리 제어부 651 : 헤드 제어부
652 : 회전 제어부 653 : 승강 제어부
660 : 위치 검출부 661 : 카메라 구동부
662 : 촬상 제어부 663 : 3점 추출부
664 : 무게중심 산출부 665 : 기울기 산출부
670 : 위치 결정 제어부 671 : 클러치 제어부
672 : 위치 결정 연산부 673 : 모터 제어부
680 : 진공 제어부 681 : 챔버 제어부
682 : 감압 제어부 683 : 진공 연산부
683a : 전압 판정부 683b : 식 선택부
683c : 압력 연산부 684 : 밸브 제어부
685 : 압박 제어부1: turntable 1a:
2: retaining device 3: peeling device
4: Detection device 5: Compression device
6: control device 11: index mechanism
31: Supply unit 31a:
31b, 34c: Reel rotating mechanism 32:
33: peeling section 33a: peeling head
33b, 35, 54, 356: cylinders 33c to 33g: guide rollers
34: winding section 34a:
34b: Reel lifting mechanism 41, 42: CCD camera
42a: reflection surface 45, 46: arm
49: camera driving mechanism 51: vacuum chamber
52: pressure head 52a, 511: protective member
53: lifting mechanism 55: decompression pump
56: Vacuum system 100:
200: support part 300: positioning part
310: Arrangement section 311: XY-θ table
312, 320, 330, 340: shaft portion 313:
313a, 313b: groove 314: bellows
315: pulley 321, 331:
322, 332: eccentric roller 323, 333, 346: armature
341: phase rotation shaft 342: pulley
343: timing belt 344: bellows coupling
345: lower rotating shaft 350:
351: Brake plate 352: Brake
353: lifting shaft 354: spring
355, 525: to-be-pressed portion 400:
410: fixed table 420, 430, 440: clutch
421, 431, 441: Coils 422, 432, 442: Rotor
450, 460, 470: motor 500: suction part
510: suction plate 512, 526: piping
520: three-way valve 521:
522: upper valve 523: lower valve
524: Load 527:
530: Adsorption pump 610: Table control unit
620: storage unit 624:
630: Timing control unit 640: Input / output interface
650: peeling control section 651: head control section
652: rotation control section 653:
660: position detection unit 661: camera driving unit
662: image pickup control section 663: three point extracting section
664: Weight center calculating section 665: Tilt calculating section
670: Positioning control section 671:
672: Position calculation unit 673:
680: Vacuum controller 681: Chamber controller
682: Decompression control section 683: Vacuum operation section
683a: Voltage judging unit 683b:
683c: Pressure calculation section 684: Valve control section
685:

Claims (12)

표시 장치를 구성하는 1쌍의 워크를 접합하는 접합 장치에 있어서,
복수의 포지션에 따라서 간헐 회전하는 턴테이블과,
상기 턴테이블에 복수 마련되어, 1쌍의 워크를 유지하는 유지 장치와,
상기 유지 장치에 마련되어, 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 위치 결정하는 위치 결정부와,
상기 유지 장치에 있어서의 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 압박함으로써, 1쌍의 워크를 접합시키는 압박 장치
를 포함하며, 상기 압박 장치는, 상기 위치 결정부에 있어서의 워크를 유지하는 부분을 수용 가능한 진공 챔버를 갖고,
상기 진공 챔버 내의 압력에 대응한 전압치를 출력하는 진공계와,
전압치와, 이것에 대응하는 압력치를 산출하기 위한 복수의 다항 근사식을 기억한 기억부와,
상기 기억부에 기억한 전압치 및 다항 근사식에 기초하여, 상기 진공계로부터 출력된 전압치에 대응하는 다항 근사식을 선택하는 식 선택부, 그리고
선택된 다항 근사식에 기초하여, 압력치를 산출하는 압력 연산부
를 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 장치.A bonding apparatus for bonding a pair of works constituting a display apparatus,
A turntable which intermittently rotates in accordance with a plurality of positions,
A plurality of holding devices provided in the turntable for holding a pair of works,
A positioning unit provided in the holding device for positioning at least one of the pair of works;
A pressing device for pressing at least one of the pair of works in the holding device to join the pair of works,
Wherein the pressing device has a vacuum chamber capable of accommodating a portion for holding a work in the positioning portion,
A vacuum system for outputting a voltage value corresponding to the pressure in the vacuum chamber,
A storage unit for storing a plurality of polynomial approximate expressions for calculating voltage values and pressure values corresponding thereto,
An equation selecting unit for selecting a polynomial approximate expression corresponding to the voltage value output from the vacuum system based on the voltage value and the polynomial approximate expression stored in the storage unit,
Based on the selected polynomial approximate expression, a pressure calculation unit
And a sealing member for sealing the sealing member. 제1항에 있어서, 상기 기억부는, 복수 구간으로 분할된 전압치의 구간마다, 다항 근사식을 기억하고 있는 것을 특징으로 하는 접합 장치.The joining apparatus according to claim 1, wherein the storage section stores a polynomial approximation expression for each section of the voltage value divided into a plurality of sections. 제1항에 있어서, 상기 위치 결정부는,
진공원에 접속된 통기 경로를 갖는 흡착 플레이트와,
상기 통기 경로에 연통되도록 상기 흡착 플레이트에 마련되며, 상기 진공원에 의해, 한 쪽의 워크를 상기 흡착 플레이트에 진공 흡착시키는 흡착 구멍과,
상기 통기 경로가 진공원에 연통된 상태와, 상기 통기 경로가 진공 챔버에 연통된 상태를 전환하는 밸브
를 구비하고, 상기 유지 장치는, 상기 흡착 플레이트에 있어서 워크에 대향하는 위치에, 다른 쪽의 워크를 유지하는 유지부를 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 장치.2. The apparatus according to claim 1,
An adsorption plate having a vent path connected to a vacuum source,
A suction hole provided in the suction plate so as to communicate with the ventilation path and vacuum-adsorbing one of the work pieces to the suction plate by the vacuum source;
A valve for switching the state in which the vent path is in communication with the vacuum source and a state in which the vent path is in communication with the vacuum chamber;
Wherein the holding device has a holding portion for holding the other work at a position facing the work on the suction plate. 제3항에 있어서, 상기 압력 연산부에 의해 연산된 압력치에 기초하여, 상기 밸브의 개폐를 제어하는 밸브 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 장치.4. The bonding apparatus according to claim 3, further comprising a valve control section for controlling opening and closing of the valve based on the pressure value calculated by the pressure calculating section. 제4항에 있어서, 상기 밸브 제어부가 상기 밸브를 전환하기 위한 임계치가 되는 밸브용 압력치를 기억하는 밸브용 압력치 기억부를 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 장치.The joining apparatus according to claim 4, further comprising: a valve pressure value storage section for storing a valve pressure value for which the valve control section is a threshold value for switching the valve. 제3항에 있어서, 상기 밸브는,
수직 방향의 내관부와,
상기 내관부 안을 승강 가능하게 마련된 로드와,
상기 로드에 마련되며, 상기 로드의 승강에 의해, 상기 진공원과 상기 통기 경로의 연통을 개폐하는 밸브, 그리고
상기 로드에 마련되며, 상기 로드의 승강에 의해, 상기 진공 챔버와 상기 통기 경로의 연통을 개폐하는 밸브
를 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 장치.4. The valve according to claim 3,
An inner tube portion in the vertical direction,
A rod provided in the inner tube so as to be able to move up and down,
A valve provided in the rod for opening and closing the communication between the vacuum source and the ventilation path by raising and lowering the rod,
And a valve provided in the rod for opening and closing the communication between the vacuum chamber and the ventilation path by raising and lowering the rod,
And a sealing member for sealing the sealing member. 제6항에 있어서, 상기 턴테이블과는 독립적으로 마련된 고정 테이블과,
상기 고정 테이블에 마련되며, 압박에 의해 상기 밸브의 전환을 행하는 압박부를 구비하는 것을 특징으로 하는 접합 장치.[7] The apparatus of claim 6, further comprising: a fixed table provided independently of the turntable;
And a pressing portion provided on the fixing table and adapted to switch the valve by pressing. 제3항에 있어서, 상기 흡착 플레이트에 있어서의 워크와의 접촉면에는, 탄성 부재에 다공질의 시트를 접착한 보호 부재가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 접합 장치.The joining apparatus according to claim 3, wherein a protective member is provided on a surface of the adsorption plate which is in contact with the work, to which a porous sheet is adhered to the elastic member. 복수의 포지션에 따라서 간헐 회전하는 턴테이블과, 상기 턴테이블에 복수 마련되어, 표시 장치를 구성하는 1쌍의 워크를 유지하는 유지 장치와, 상기 유지 장치에 마련되어, 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 위치 결정하는 위치 결정부와, 상기 유지 장치에 있어서의 1쌍의 워크 중 적어도 한 쪽을 압박함으로써, 1쌍의 워크를 접합시키는 압박 장치와, 상기 압박 장치에 마련되며, 상기 위치 결정부에 있어서의 워크를 유지하는 부분을 수용 가능한 진공 챔버와, 상기 진공 챔버 내에 마련된 진공계를 갖는 접합 장치를, 제어 장치에 의해서 제어함으로써, 1쌍의 워크를 접합하는 접합 장치의 제어 방법으로서,
상기 제어 장치는, 기억부와, 식 선택부와, 압력 연산부를 구비하고,
상기 기억부는, 전압치와, 이것에 대응하는 압력치를 산출하기 위한 복수의 다항 근사식을 기억하며,
상기 식 선택부는, 상기 기억부에 기억한 전압치 및 다항 근사식에 기초하여, 상기 진공계로부터 출력된 전압치에 대응하는 다항 근사식을 선택하고,
상기 압력 연산부는, 선택된 다항 근사식에 기초하여, 압력치를 산출하는 것을 특징으로 하는 접합 장치의 제어 방법.A turntable for intermittently rotating in accordance with a plurality of positions; a holding device provided in the turntable for holding a pair of works constituting a display device; and a holding device provided in the holding device, A pressing device that presses at least one of a pair of works in the holding device to couple the pair of works to each other; and a pressing device provided in the pressing device, And a vacuum chamber provided in the vacuum chamber are controlled by a control device so as to join the pair of works to each other,
The control device includes a storage unit, an expression selecting unit, and a pressure calculating unit,
Wherein the storage unit stores a plurality of polynomial approximate expressions for calculating a voltage value and a pressure value corresponding thereto,
Wherein the expression selecting unit selects a polynomial approximate expression corresponding to the voltage value output from the vacuum system based on the voltage value and the polynomial approximation expression stored in the storage unit,
Wherein the pressure calculating unit calculates a pressure value based on the selected polynomial approximate expression. 제9항에 있어서, 상기 기억부는, 복수 구간으로 분할된 전압치의 구간마다, 다항 근사식을 기억하고 있는 것을 특징으로 하는 접합 장치의 제어 방법.The control method of a bonding apparatus according to claim 9, wherein the storage unit stores a polynomial approximation expression for each section of the voltage value divided into a plurality of sections. 제9항에 있어서, 상기 접합 장치는, 진공원 및 진공 챔버에 연통된 통기 경로를 갖고, 상기 위치 결정부에 있어서 워크에 대향하는 워크를 진공 흡착시키는 흡착부와, 상기 통기 경로가 진공원에 연통된 상태와, 상기 통기 경로가 진공 챔버에 연통된 상태를 전환하는 밸브와, 상기 밸브를 제어하는 밸브 제어부를 구비하고,
상기 밸브 제어부는, 상기 압력 연산부에 의해 연산된 압력치에 기초하여, 상기 밸브의 개폐를 제어하는 것을 특징으로 하는 접합 장치의 제어 방법.10. The vacuum degassing apparatus according to claim 9, wherein the joining apparatus comprises: a suction section having a vent path communicated with a vacuum source and a vacuum chamber, for vacuum-adsorbing a work opposite to the work in the positioning section; A valve for switching the state in which the vent path is in communication with the vacuum chamber, and a valve control unit for controlling the valve,
Wherein the valve control unit controls opening and closing of the valve based on the pressure value calculated by the pressure calculation unit. 제11항에 있어서, 상기 밸브 제어부는, 상기 압력 연산부에 의해 연산된 압력치가, 사전에 기억된 임계치가 되는 밸브용 압력치로 된 경우에, 상기 통기 경로가 진공 챔버에 연통된 상태가 되도록, 상기 밸브를 제어하는 것을 특징으로 하는 접합 장치의 제어 방법.The vacuum cleaner according to claim 11, wherein the valve control unit controls the valve unit so that, when the pressure value calculated by the pressure calculation unit is a valve pressure value that becomes a threshold value stored in advance, Wherein the control means controls the valve.

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