KR20140018398A

KR20140018398A - 열처리 로와 그 히터 교환 방법

Info

Publication number: KR20140018398A
Application number: KR1020137034372A
Authority: KR
Inventors: 가즈히코 가츠마타; 다카히사 시마다
Original assignee: 가부시키가이샤 아이에이치아이; 가부시키가이샤 아이에이치아이 기카이 시스템
Priority date: 2011-06-16
Filing date: 2012-06-14
Publication date: 2014-02-12
Also published as: DE112012002457T5; CN103597308A; CN103597308B; JP2013002728A; US20140097174A1; WO2012173195A1

Abstract

피처리물(1)의 가열 처리를 행하는 열처리 로(10)로서, 피처리물을 내부에 수용함과 동시에 단열 부재에 의해 구성된 중공의 가열실(20)과, 단열 부재 내에 편입된 저항 가열식 히터(22)와, 가열실과 간격을 두고 상기 가열실을 둘러싸는 중공의 로체(12)와, 로체의 내부와 연통하도록 로체에 마련된 노즐(16)과, 노즐의 외방 단부에 착탈 가능하게 장착되고 또한 노즐로부터 전기적으로 절연된 전극봉(30)과, 히터의 리드선(23)과 전극봉을 전기적으로 접속하는 가요성의 도선(32)을 구비한다. 도선(32)은, 전극봉(30)을 노즐(16)로부터 분리한 상태에서 노즐(16)의 외부에서 전극봉(30)과 착탈 가능하고, 또한 전극봉을 노즐에 장착한 상태에서 노즐 내면에 접촉하지 않는 길이를 가진다.

Description

열처리 로와 그 히터 교환 방법{Heat treatment furnace and method for replacing heater of same}

본 발명은, 피처리물의 가열 처리를 행하는 열처리 로와 그 히터 교환 방법에 관한 것이다. 본원은 2011년 6월 16일 일본에 출원된 일본특허출원 2011-133996호에 기초하여 우선권을 주장하고 그 내용을 여기에 원용한다.

피처리물의 가열 처리를 행하는 열처리 로에는, 피처리물을 가열하기 위해 저항 가열 히터가 설치되어 있다. 상기와 같은 열처리 로는, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되고, 저항 가열 히터는, 예를 들면 특허문헌 2에 개시되어 있다. 이하, 저항 가열 히터를 단순히 「히터」라고 부른다.

특허문헌 1은, 단실형(單室型) 진공 열처리 로로서, 로 본체의 내부에 마련된 상자형 단열재와 상자형 단열재의 내부에 피처리품을 둘러싸도록 마련된 히터를 구비한 열처리 로를 개시하고 있다.

특허문헌 2는, 히터의 리드선과 전극부가 직접 접합된 히터 시스템을 개시하고 있다.

특허문헌 1: 일본공개특허 2009-216344호 공보 특허문헌 2: 일본공개특허 2007-40837호 공보

열처리 로에서 이용하는 히터의 리드선은, 열처리 로의 외부에 노출되는 전극봉과 전기적으로 접속하여 전극봉을 통해 외부로부터 전력을 공급할 필요가 있다. 종래에 상기 리드선과 상기 전극봉은 직접 납땜 등으로 접합되거나 커넥터를 이용하여 접속되어 있다.

그러나 히터는 사용시에 고온에 노출되므로 그 사용 수명이 짧아 교환이 필요하다. 이 경우, 전술한 종래의 접속 수단에서는 이하와 같은 과제가 있다.

(1) 직접 납땜 등으로 접합할 경우, 열처리 로 내에서 접합부의 분리 작업과 재접합 작업을 할 필요가 있다. 이들 작업은 열처리 로 내의 좁은 공간에서 행한다. 따라서 작업성이 나쁘고 작업에는 시간과 수고가 든다. 또 접합부의 품질 검사가 어려워 품질에 관한 신뢰성이 낮다.

(2) 커넥터를 이용하여 접속할 경우, 열처리 로 내에서 커넥터의 분리 작업과 재결합 작업을 할 필요가 있다. 이들 작업도 열처리 로 내의 좁은 공간에서 행한다. 따라서 작업성이 나쁘고 작업에는 시간과 수고가 든다.

(3) 열처리 로의 내부에 히터를 편입시킨 가열실을 마련할 경우, 히터를 교환하기 위해 히터를 편입시킨 가열실 전체를 외부로 취출할 필요가 있다. 이 경우, 커넥터는 구조상 대형이며 또한 가요성(可撓性)이 없다. 또 로체와 가열실의 간극이 작다. 따라서 가열실 전체를 외부로 취출하기 어렵다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 로내의 리드선과 외부에 노출되는 전극봉을 로외에서 용이하게 착탈할 수 있어 로체와 히터를 편입시킨 가열실과의 간극이 작은 경우에도 가열실 전체를 외부로 용이하게 취출할 수 있는 열처리 로와 그 히터 교환 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 제1 형태에서는, 피처리물의 가열 처리를 행하는 열처리 로로서, 피처리물을 내부에 수용함과 동시에 단열 부재에 의해 구성된 중공의 가열실과, 상기 단열 부재 내에 편입된 저항 가열식 히터와, 상기 가열실과 간격을 두고 상기 가열실을 둘러싸는 중공의 로체(爐體)와, 상기 로체의 내부와 연통하도록 상기 로체에 마련된 노즐과, 상기 노즐의 외방 단부에 착탈 가능하게 장착되고 또한 상기 노즐로부터 전기적으로 절연된 전극봉과, 상기 히터의 리드선과 상기 전극봉을 전기적으로 접속하는 가요성의 도선을 구비하고,

상기 도선은, 상기 전극봉을 상기 노즐로부터 분리한 상태에서 상기 노즐의 외부에서 상기 전극봉과 착탈 가능하고, 또한 상기 전극봉을 상기 노즐에 장착한 상태에서 상기 노즐 내면에 접촉하지 않는 길이를 가지는 구성을 채용한다.

본 발명에 관한 제2 형태에서는, 상기 제1 형태에 관한 열처리 로가 구비한 상기 히터를 교환하는 방법으로서, 이하의 공정을 구비한 방법을 채용한다.

(A) 상기 전극봉을 상기 노즐로부터 분리한 상태에서 상기 노즐의 외부에서 상기 도선을 상기 전극봉으로부터 분리하고,

(B) 상기 로체의 상부를 개방하고,

(C) 상기 리드선에 도선이 접속된 그대로의 상태에서, 상기 로체 내에서 상기 가열실을 상기 노즐과 반대측으로 이동시켜 상기 리드선 및 상기 도선을 상기 노즐 내로부터 상기 로체 내로 이동시키고,

(D) 상기 리드선에 상기 도선이 접속된 채로 상기 가열실을 상기 로체의 상부로부터 외부로 취출한다.

이 경우, 도선이 전극봉을 노즐로부터 분리한 상태에서 노즐의 외부에서 전극봉과 착탈 가능하고 또한 전극봉을 노즐에 장착한 상태에서 노즐 내면에 접촉하지 않는 길이를 가진다. 따라서 로내의 리드선과 외부에 노출되는 전극봉을 로외에서 용이하게 착탈할 수 있다.

또 리드선에 도선이 접속된 채로 로체 내에서 가열실을 노즐과 반대측으로 이동시켜, 리드선 및 도선을 노즐 내로부터 로체 내로 이동시키고, 가열실을 로체의 상부로부터 외부로 취출한다. 따라서 로체와 히터를 편입시킨 가열실과의 간극이 작은 경우에도 가열실 전체를 외부로 용이하게 취출할 수 있다.

그 결과, 로외에서의 히터의 조립이 가능해져 좁은 작업 공간 내에서도 착탈 조작을 용이하게 행할 수 있다. 따라서 유지보수성이 향상된다. 또 가열실 전체를 용이하게 신속히 외부로 취출하여 외부에서 히터를 교환할 수 있다.

본 발명에 의하면, 로내의 리드선과 외부에 노출되는 전극봉을 로외에서 용이하게 착탈할 수 있어, 로체와 히터를 편입시킨 가열실과의 간극이 작은 경우에도 가열실 전체를 외부로 용이하게 취출할 수 있는 열처리 로와 그 히터 교환 방법을 제공할 수 있게 된다.

도 1은, 본 발명의 일실시형태에서의 열처리 로를 도시한 종단면도이다.
도 2는, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도이다.
도 3은, 도 1의 Ⅲ-Ⅲ 화살표 방향에서 본 도면이다.
도 4는, 도 1의 IV-IV 화살표 방향에서 본 도면이다.
도 5는, 본 발명의 일실시형태에서의 열처리 로의 히터 교환 방법을 도시한 제1 공정도이다.
도 6은, 본 발명의 일실시형태에서의 열처리 로의 히터 교환 방법을 도시한 제2 공정도이다.

이하, 본 발명이 바람직한 실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명하기로 한다. 아울러 각 도면에서 공통되는 부분에는 동일한 부호를 붙이고 중복되는 설명을 생략하기로 한다.

도 1은, 본 실시형태에서의 열처리 로를 도시한 종단면도이며, 도 2는, 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선의 단면도이다.

본 실시형태에서 열처리 로(10)는, 피처리물(1)의 가열 처리를 행하는 진공 열처리 로이다. 아울러 본 발명에서 열처리 로(10)는 진공 열처리 로로 한정되지 않으며, 피처리물(1)의 가열 처리를 행할 수 있다면 다른 열처리 로여도 좋다.

도 1 및 도 2에서, 열처리 로(10)는 로체(12) 및 가열실(20)을 구비한다.

로체(12)는, 중공의 기밀 용기이다. 본 실시형태에서의 로체(12)는, 그 축심이 연직인 중공 원통형의 로체 동체(12a)와, 로체 동체(12a)의 하면을 막는 로체 바닥(12b)과, 로체 동체(12a)의 상면을 막는 로체 덮개(12c)를 가진다.

로체 동체(12a)는, 그 외주면에 2중 구조의 수냉(水冷) 쟈켓(13a)을 가진다. 미도시된 공급구로부터 수냉 쟈켓(13a) 내에 냉각수를 공급하여 로체 동체(12a) 전체를 수냉한다.

로체 바닥(12b)은, 외연부(外緣部)가 로체 동체(12a)의 하단에 연결된 원형의 평판이다. 또 로체 바닥(12b)의 하방은 플랜지(5)를 개재하여 하방의 다른 진공 처리실(6)에 연결되어 있다.

본 실시형태에서 플랜지(5)는 2중 구조의 수냉 쟈켓(미도시)을 가진다. 미도시된 공급구로부터 수냉 쟈켓 내에 냉각수를 공급하여 플랜지(5) 전체를 수냉한다.

로체 바닥(12b)의 중심부에는 원형의 개구(14)가 마련되어 있다. 비처리물(1)은 개구(14)를 통해 하방의 진공 처리실(6)로부터 열처리 로(10)의 내부에 삽입되고 또한 외부로 취출될 수 있다.

도 1에서, 지지 부재(2)는 피처리물(1)을 지지하고, 단열재(3)는 지지 부재(2)를 지지하여 개구(14)를 막는다. 승강대(4)는 피처리물(1), 지지 부재(2) 및 단열재(3)를 승강시키고 또한 개구(14)를 폐쇄할 수 있다.

아울러 승강대(4)의 구성은 본 실시형태의 구성으로 한정되지 않으며 다른 구성을 가진 승강대(4)가 열처리 로(10)의 내부에 피처리물(1)을 삽입하고 또한 외부로 취출해도 좋다.

로체 동체(12a)의 상단에는 플랜지(15)가 마련되어 있다.

로체 덮개(12c)는, 외연부가 로체 동체(12a)의 플랜지(15)에 착탈 가능하게 연결된 원형의 평판이다. 또 로체 덮개(12c)는, 2중 구조의 수냉 쟈켓(13b)을 가지며, 도시되지 않은 공급구로부터 수냉 쟈켓(13b) 내에 냉각수를 공급하여 로체 덮개 전체를 수냉한다.

가열실(20)은, 중공의 단열 용기이다. 본 실시형태에서의 가열실(20)은, 그 축심이 연직인 중공 원통형의 가열실 동체(20a)와, 가열실 동체(20a)의 하면을 지지하는 가열실 바닥(20b)과, 가열실 동체(20a)의 상면을 막는 가열실 덮개(20c)를 가진다.

가열실 동체(20a), 가열실 바닥(20b) 및 가열실 덮개(20c)는 각각 내열성이 있는 단열 부재로 구성되어 있다. 내열성이 있는 단열 부재는 히터의 최고 온도(예를 들면 1000℃)에 견디는 내열성을 가지며 또한 열전도율이 낮은 단열 재료로 구성되어 있다.

가열실 동체(20a)는, 일체의 중공 원통형이며, 그 단열 부재 내에 저항 가열식 히터(22)가 편입되어 있다.

본 실시형태에서 2개의 나선형 히터(22)는 가열실 동체(20a)의 단열 부재 내에 매립되고 리드선(23)만 가열실 동체(20a)의 외측으로 노출되어 있다.

가열실 바닥(20b)은, 개구(14)와 정합(整合)되는 원형 개구(21)를 가진 원형의 평판이다. 또 가열실 바닥(20b)의 외연은 로체 동체(12a)의 내면에 근접해 있다. 또한 가열실 바닥(20b)의 상면은 가열실 동체(20a)의 하단이 중심에 위치하는 단차를 가지고 가열실 동체(20a)의 외주면이 로체 동체(12a)의 내면으로부터 일정한 간격을 두고 있다.

이 일정한 간격은, 리드선(23)에 도선이 접속된 채로 가열실(20)의 가열실 동체(20a)를 로체(12)의 상부로부터 외부로 취출할 수 있는 길이로 설정되어 있다.

도 1 및 도 2에서 열처리 로(10)는 노즐(16), 전극봉(30) 및 도선(32)을 구비한다.

노즐(16)은, 로체(12)의 내부와 연통하도록 로체(12)에 마련되어 있다. 또 노즐(16)의 외방 단부에 노즐 플랜지(16a)를 가진다.

본 실시형태에서 노즐(16)은, 상하 2개의 수평 노즐로서, 로체(12)의 로체 동체(12a)를 관통하여 설치되어 있다.

또한 노즐(16)은 이로 한정되지 않으며 경사져도 좋고 연직이어도 좋다. 또 로체(12)의 가열실 바닥(20b) 또는 가열실 덮개(20c)에 설치해도 좋다.

전극봉(30)은, 노즐(16)의 외방단에 착탈 가능하게 장착되고 또한 노즐(16)로부터 전기적으로 절연되어 있다.

본 실시형태에서 전극봉(30)은, 노즐 플랜지(16a)와 연결하여 노즐(16)의 외방단의 개구를 막는 플랜지(17)에 절연재(31)를 개재하여 관통하여 장착되어 있다. 아울러 플랜지(17)는 본 실시형태에서는 블라인드 플랜지인데 다른 플랜지여도 좋다.

또 전극봉(30)의 내방단에는, 도선(32)을 볼트에 의해 접속하는 접속 단자(30a)가 마련되어 있다.

도선(32)은 가요성이 있으며, 히터(22)의 리드선(23)과 전극봉(30)을 전기적으로 접속한다.

본 실시형태에서 도선(32)은, 양단의 접속 단자(32a)와 그 사이를 전기적으로 접속하는 편평형 부분(32b)을 가진다. 편평형이란, 두께보다 폭이 큰 것을 말한다.

편평(平編)형 부분(32b)은, 예를 들면 평편선(平編線)(32b)이다. 평편선(32b)은 복수의 도전선(導電線)으로 이루어지고, 이것을 엮어 그 단면이 평판형으로 형성되어 있다.

또 도선(32)은, 전극봉(30)을 노즐(16)로부터 분리한 상태에서 노즐(16)의 외부에서 전극봉(30)과 착탈 가능하고, 또한 전극봉(30)을 노즐(16)에 부착한 상태에서 노즐 내면에 접촉하지 않는 길이를 가진다.

아울러 도선(32)은 상기 구성으로 한정되지 않으며, 가요성이 있으면 된다. 도선(32)이 다른 가요성의 케이블이어도 좋다.

도 3은, 도 1의 Ⅲ-Ⅲ 화살표 방향에서 본 도면이다.

도 3에 도시한 바와 같이 노즐(16)은, 외부에 방열하는 방열 외면을 가진 금속제의 중공관(16b)과, 전기 절연성을 가짐과 동시에 중공관(16b)의 내면을 부분적으로 덮는 절연 부분(18)을 가진다.

절연 부분(18)은, 전극봉(30)을 노즐(16)에 부착시킨 상태에서 노즐 내면과 도선(32) 사이에 위치한다.

이 구성에 의해, 절연 부분(18)이 없는 중공관(16b)의 방열 외면에서 외부로 방열하여 노즐 내부의 과열을 막는다.

본 실시형태에서 노즐(16)은 수평 노즐이며, 절연 부분(18)은 수평 노즐의 하방을 덮고 있다.

또 도 3에서, 도선(32)이 중공관(16b)의 내면 중 절연 부분(18)측에 덮여 있지 않은 측으로 이동하는 것을 제한하는 이동 제한 부재(19)를 가진다.

도선(32)은 이동 제한 부재(19)와 절연 부분(18) 사이에 위치하고 있다.

본 실시형태에서 이동 제한 부재(19)는 도선(32)에 접촉하지 않도록 위치하는 단면이 L형인 부재이다. 또한 노즐(16)이 수평이고 하방에 절연 부분(18)이 있는 경우에는 도선(32)에 추(미도시)를 직접 올려놓아도 좋다.

이 구성에 의해 도선(32)의 펄럭거림을 억제할 수 있어 노즐 내면의 도전성을 가진 부분에 도선(32)이 접촉하는 것을 방지할 수 있다.

도 4는, 도 1의 IV-IV 화살표 방향에서 본 도면이다.

도 4에 도시한 바와 같이 히터(22)의 리드선(23)에는 도선 고정판(24)이 고정되어 있으며, 도선 고정판(24)에 도선(32) 내측의 접속 단자(32a)를 볼트로 접속한다.

상술한 열처리 로(10)의 구성에 의해 전극봉(30)을 노즐(16)로부터 분리한 상태에서, 도선(32)이 노즐(16) 외부에서 전극봉(30)과 착탈 가능한 길이를 갖기 때문에, 플랜지(17)을 노즐 플랜지(16a)로부터 분리함으로써 도선(32)의 일부를 노즐(16) 외부로 끌어내어, 도선(32)의 접속 단자(32a)와 전극봉(30) 내측의 접속 단자(30a)를 로외에서 용이하게 착탈할 수 있다.

도 5는, 본 실시형태에서의 열처리 로의 히터 교환 방법을 도시한 제1 공정도이다.

도 5에서 노즐(16)의 노즐 플랜지(16a)에는, 전극봉(30)과 평행한 암나사 구멍(16c)이 뚫려 있다.

또 플랜지(17)에는, 노즐 플랜지(16a)의 암나사 구멍(16c)에 대향하는 위치에 암나사 구멍(16c)보다 직경이 큰 관통공(17a)이 뚫려 있다.

본 실시형태에서의 히터 교환 방법은, 먼저 상술한 열처리 로(10)를 이용하여 전극봉(30)을 노즐(16)로부터 분리한 상태에서 노즐(16)의 외부에서 도선(32)을 전극봉(30)으로부터 분리한다.

즉, 플랜지(17)를 노즐 플랜지(16a)로부터 분리함으로써 도선(32)의 일부를 노즐(16)의 외부로 끌어내어 도선(32)의 접속 단자(32a)와 전극봉(30) 내측의 접속 단자(30a)를 로외에서 분리한다.

제1 공정에서, 플랜지(17)의 관통공(17a)을 통해 가이드봉(35)을 삽입하고 가이드봉(35)의 끝단에 마련된 수나사를 노즐 플랜지(16a)의 암나사 구멍(16c)에 나사 결합시킨다. 이로써 가이드봉(35)을 전극봉(30)과 평행하게 고정시킬 수 있다.

또 플랜지(17)가 엇갈려 낙하하는 것을 방지하기 위해 가이드봉(35)의 끝단에 너트를 마련한다.

그 후 가이드봉(35)을 따라 플랜지(17)를 슬라이드시켜 노즐(16)으로부터 분리한다. 이로써 플랜지(17)의 중량을 가이드봉(35)으로 지지하기 때문에 제1 공정의 작업성을 높여 시간과 수고를 줄일 수 있다.

도 6은, 본 실시형태에서의 열처리 로의 히터 교환 방법을 도시한 제2 공정도이다.

먼저 로체(12)의 상부를 개방한다. 즉, 로체 덮개(12c)를 로체 동체(12a)의 플랜지(15)로부터 분리하여 로체 덮개(12c)를 떼어내고 로체(12)의 상부를 개방한다.

이 공정은, 상술한 제1 공정 전 또는 후 아무 때나 행해도 좋다.

다음으로, 리드선(23)에 도선(32)이 접속된 채로 로체(12) 내에서 가열실(20)을 노즐(16)과 반대측(도면에서 오른쪽 방향)으로 이동시켜, 리드선(23) 및 도선(32)을 노즐(16) 내로부터 로체(12) 내로 이동시킨다.

이 이동에 의해 리드선(23) 및 도선(32)을 로체 동체(12a)의 내측으로 이동시킬 수 있다.

다음으로, 리드선(23)에 도선(32)이 접속된 채로 가열실(20)을 로체(12)의 상부로부터 외부로 취출한다. 이 때, 리드선(23) 및 도선(32)이 로체 동체(12a)의 내측에 위치한다. 이로써 리드선(23)에 도선(32)이 접속된 채인 가열실(20) 전체를, 크레인 등에 의해 상방으로 매달아 올려 외부로 이동시킬 수 있다. 그 후 외부에서 히터(22)를 교환한다.

히터(22)를 교환한 후, 상술한 제2 공정을 역순으로 실시하여 로체(12) 내에 가열실(20)을 설치하고 또 상술한 제1 공정을 역순으로 실시한다. 이로써 열처리 로(10)를 원래 상태로 조립할 수 있다.

상술한 방법에 의하면, 도선(32)이 전극봉(30)을 노즐(16)로부터 분리한 상태에서, 도선(32)이 노즐(16)의 외부에서 전극봉(30)과 착탈 가능한 길이를 가진다. 따라서 플랜지(17)를 노즐 플랜지(16a)로부터 분리함으로써 도선(32)의 일부를 노즐(16)의 외부로 끌어내어 도선(32)의 접속 단자(32a)와 전극봉(30) 내측의 접속 단자(30a)를 로외에서 용이하게 착탈할 수 있다.

또 리드선(23)에 도선(32)가 접속된 채로 로체(12) 내에서 가열실(20)을 노즐(16)과 반대측으로 이동시켜, 리드선(23) 및 도선(32)을 노즐(16) 내로부터 로체(12) 내로 이동시키고 가열실(20)을 로체(12)의 상부로부터 외부로 취출한다. 따라서 로체(12)와 히터(22)를 편입시킨 가열실(20)과의 간극이 작은 경우에도 가열실 전체를 외부로 용이하게 취출할 수 있다.

따라서 로외에서의 히터(22)의 조립이 가능해져 좁은 작업 공간 내에서도 착탈 조작을 용이하게 행할 수 있다. 따라서 유지보수성이 향상된다. 또 가열실 전체를 용이하게 신속히 외부로 취출하여 외부에서 히터를 교환할 수 있다. 또 가열실(20)은 각형(角型) 가열실이어도 좋다.

이상, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되지는 않는다. 상술한 실시형태에서 나타낸 각 구성 부재의 제형상이나 조합 등은 일례로서, 본 발명의 주지를 벗어나지 않는 범위에서 설계 요구 등에 기초하여 다양하게 변경 가능하다.

<산업상 이용 가능성>

본 발명에 의하면, 로내의 리드선과 외부에 노출되는 전극봉을 로외에서 용이하게 착탈할 수 있어 로체와 히터를 편입시킨 가열실과의 간극이 작은 경우에도 가열실 전체를 외부로 용이하게 취출할 수 있는 열처리 로와 그 히터 교환 방법을 제공할 수 있게 된다.

1…피처리물, 10…열처리 로, 12…로체, 16…노즐, 16a…노즐 플랜지, 16b…중공관, 16c…암나사 구멍, 17…플랜지, 17a…관통공, 18…절연 부분 , 19…이동 제한 부재, 20…가열실, 22…히터, 23…리드선, 30…전극봉, 32…도선, 35…가이드봉

Claims

피처리물의 가열 처리를 행하는 열처리 로로서,
피처리물을 내부에 수용함과 동시에 단열 부재에 의해 구성된 중공의 가열실과,
상기 단열 부재 내에 편입된 저항 가열식 히터와,
상기 가열실과 간격을 두고 상기 가열실을 둘러싸는 중공의 로체(爐體)와,
상기 로체의 내부와 연통하도록 상기 로체에 마련된 노즐과,
상기 노즐의 외방 단부에 착탈 가능하게 장착되고 또한 상기 노즐로부터 전기적으로 절연된 전극봉과,
상기 히터의 리드선과 상기 전극봉을 전기적으로 접속하는 가요성의 도선을 구비하고,
상기 도선은, 상기 전극봉을 상기 노즐로부터 분리한 상태에서 상기 노즐의 외부에서 상기 전극봉과 착탈 가능하고 또한 상기 전극봉을 상기 노즐에 장착한 상태에서 상기 노즐 내면에 접촉하지 않는 길이를 가지는 열처리 로.
청구항 1에 있어서,
상기 도선은 편평(平編)형 부분을 가지는 열처리 로.
청구항 1 또는 2에 있어서,
상기 노즐은, 외부에 방열하는 방열 외면을 가진 금속제의 중공관과, 전기 절연성을 가짐과 동시에 상기 중공관의 내면을 부분적으로 덮는 절연 부분을 가지는 열처리 로.
청구항 3에 있어서,
상기 도선이 상기 중공관의 내면 중 상기 절연 부분에 덮여 있지 않은 측으로 이동하는 것을 제한하는 이동 제한 부재를 가지며,
상기 도선은 상기 이동 제한 부재와 상기 절연 부분 사이에 위치하고 있는 열처리 로.
청구항 1에 기재된 열처리 로가 구비한 상기 히터를 교환하는 방법으로서, 이하의 공정을 구비한다.
(A) 상기 전극봉을 상기 노즐로부터 분리한 상태에서 상기 노즐의 외부에서 상기 도선을 상기 전극봉으로부터 분리하고,
(B) 상기 로체의 상부를 개방하고,
(C) 상기 리드선에 도선이 접속된 그대로의 상태에서, 상기 로체 내에서 상기 가열실을 상기 노즐과 반대측으로 이동시켜 상기 리드선 및 상기 도선을 상기 노즐 내로부터 상기 로체 내로 이동시키고,
(D) 상기 리드선에 상기 도선이 접속된 채로 상기 가열실을 상기 로체의 상부로부터 외부로 취출하는 열처리 로의 히터 교환 방법.
청구항 5에 있어서,
상기 노즐은, 구멍부를 가진 노즐 플랜지를 상기 노즐의 외방 단부에 가지며,
상기 전극봉은, 상기 노즐 플랜지와 연결되는 플랜지에 절연재를 개재하여 장착되어 있으며,
상기 플랜지는, 상기 플랜지와 상기 노즐 플랜지가 연결되었을 때에 상기 노즐 플랜지의 상기 구멍부와 연통하는 관통공을 가지고 있으며,
상기 공정(A)에서 상기 플랜지의 상기 관통공 및 상기 플랜지의 상기 구멍부에 가이드봉을 삽입하고, 상기 가이드봉을 따라 상기 플랜지를 슬라이드시켜 상기 노즐로부터 분리하는 히터 교환 방법.