KR20140007988A - 글라스 기판의 검사장치, 이를 이용한 검사방법 및 증착장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 실시예는, 로딩된 글라스 기판이 안착되는 스테이지; 글라스 기판의 내부로 광을 조사하여 도파시키는 광원부; 글라스 기판의 일면을 통해 출사되는 광을 영상으로 수득하는 카메라; 및 카메라로부터 전달된 영상을 분석하고 글라스 기판의 균열이나 이물 유무 검사하는 검사부를 포함하는 글라스 기판의 검사장치를 제공한다.
Description
본 발명의 실시예는 글라스 기판의 검사장치, 이를 이용한 검사방법 및 증착장치에 관한 것이다.
정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 전기영동표시장치(Electro Phoretic Display; EPD), 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 표시장치의 사용이 증가하고 있다.
앞서 설명된 표시장치 중 일부 예컨대, 유기전계발광표시장치, 전기영동표시장치 및 액정표시장치는 증착장치 내에 배치된 소스를 가열하는 등의 방법으로 기판 상에 박막을 증착하여 소자를 형성한다.
앞서 언급된 표시장치 제작시 사용되는 기판의 재료로는 글라스(Glass) 기판이 일반적이다. 글라스 기판의 경우 다양한 원인으로 인하여 내외부에 균열(스크래치나 찍힘 등)이나 이물 등이 형성된다. 따라서, 표시장치의 제작 공정에는 글라스 기판의 식각 공정 전후, 상부면의 상태(표면의 스크래치나 찍힘 여부, 이물 유무 등) 등을 검사하는 미세 불량 검사 공정이 포함된다.
종래에는 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera)를 이용하여 글라스 기판에 대한 미세 불량 검사를 하였다. 그런데, 글라스 기판의 표면에 형성된 스크래치는 식각 전의 깊이가 얕고, 찍힘은 식각 후의 깊이가 얕다. 스크래치는 식각 전후의 불량 깊이가 다르고, 찍힘은 빛의 난반사를 일으킨다. 따라서 종래 미세 불량 검사 장치 및 방법으로는 글라스 기판의 상부면에 형성된 균열이나 이물 등을 검출하기 어려우므로 이의 개선이 요구된다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 실시예는, 글라스 기판의 내외부에 형성된 균열이나 이물 등을 저해상도로 검출하여 택트 타임(Tact time) 단축을 통해 공정 수율을 향상시키는 것이다.
상술한 과제 해결 수단으로 본 발명의 실시예는, 로딩된 글라스 기판이 안착되는 스테이지; 글라스 기판의 내부로 광을 조사하여 도파시키는 광원부; 글라스 기판의 상부에 위치하며, 글라스 기판의 상부면을 통해 출사되는 광을 영상으로 수득하는 검사용 카메라; 및 검사용 카메라로부터 전달된 영상을 분석하고 글라스 기판의 균열이나 이물 유무 검사하는 검사부를 포함하는 글라스 기판의 검사장치를 제공한다.
광원부는 플라즈마 발광 조명장치 및 발광다이오드 조명장치 중 하나 이상일 수 있다.
광원부는 출사된 광을 글라스 기판의 내부로 안내하는 광도파부를 더 포함할 수 있다.
광원부는 글라스 기판의 단축 측면과 장축 측면 중 하나 이상에 배치될 수 있다.
글라스 기판의 하부에 배치되고 글라스 기판의 내부로 입사된 광을 글라스 기판의 상부로 확산 또는 반사시키는 광학시트부를 더 포함할 수 있다.
검사용 카메라는 에어리어 스캔 카메라(Area scan Camera)일 수 있다.
다른 측면에서 본 발명의 실시예는, 글라스 기판을 스테이지에 로딩하는 단계; 글라스 기판의 내부로 광을 조사하여 도파시키는 단계; 글라스 기판의 상부면을 통해 출사되는 광을 검사용 카메라를 이용하여 영상으로 수득하는 단계; 및 검사용 카메라로부터 전달된 영상을 분석하고 글라스 기판의 균열이나 이물 유무 검사하는 단계를 포함하는 글라스 기판의 검사장치를 제공한다.
검사 단계는 글라스 기판이 로딩된 후 촬영된 제1영상과 글라스 기판의 내부로 광을 조사한 후 촬영된 제2영상을 비교 분석하여 글라스 기판의 균열이나 이물 유무를 검사할 수 있다.
또 다른 측면에서 본 발명의 실시예는, 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 의해 제작된 글라스 기판의 검사장치로 구성된 글라스 기판 검사부; 글라스 기판을 로딩하여 글라스 기판의 검사부로 반입시키는 로더부; 및 글라스 기판 상에 박막을 형성하는 증착부를 포함하는 증착장치를 제공한다.
글라스 기판의 검사부와 증착부 사이에 배치되며, 글라스 기판의 검사부로부터 전달된 글라스 기판의 검사결과에 대응하여 양호한 글라스 기판을 증착부로 반입하거나 불량한 글라스 기판을 외부로 반출하는 기판 선별부를 더 포함할 수 있다.
본 발명은 글라스 기판의 식각 공정 진행 전후 깊이에 따른 균열(스크래치나 찍힘)이나 이물의 유무에 대한 미세 불량 검사를 저해상도로 검출할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 글라스 기판의 로딩 즉시 에어리어 카메라와 검사부로 구성된 비전 시스템으로 측정 및 불량의 유무를 검출 가능하므로 택트 타임(Tact time) 단축을 통해 공정 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 글라스 기판의 검사장치의 구성 예시도.
도 3 및 도 4는 글라스 기판의 검사장치를 이용한 검사방법의 예를 설명하기 위한 도면.
도 5는 검사전 광원부의 세츄레이션 보정을 설명하기 위한 도면.
도 6은 글라스 기판의 검사방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 7 내지 도 9는 광원부의 다양한 변형된 실시예들을 나타낸 도면.
도 10은 베어 글라스 기판 사용시의 실시예를 나타낸 도면.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착장치를 설명하기 위한 구성도.
도 3 및 도 4는 글라스 기판의 검사장치를 이용한 검사방법의 예를 설명하기 위한 도면.
도 5는 검사전 광원부의 세츄레이션 보정을 설명하기 위한 도면.
도 6은 글라스 기판의 검사방법을 설명하기 위한 흐름도.
도 7 내지 도 9는 광원부의 다양한 변형된 실시예들을 나타낸 도면.
도 10은 베어 글라스 기판 사용시의 실시예를 나타낸 도면.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착장치를 설명하기 위한 구성도.
이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 글라스 기판의 검사장치의 구성 예시도 이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 글라스 기판의 검사장치에는 스테이지(120), 글라스 기판 안착부(125), 광원부(130, 140), 검사용 카메라(150), 리뷰용 카메라(155) 및 검사부(160)가 포함된다.
스테이지(120)는 로딩된 글라스 기판(110)을 글라스 기판 안착부(125)로 이송하는 기구이다. 스테이지(120)는 공기압 방식(또는 진공 방식)으로 글라스 기판(110)을 홀딩하고, 공기 부양 이송 방식으로 이송할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 스테이지(120)에 로딩된 글라스 기판(110)은 정렬된다. 글라스 기판(110)은 리뷰용 카메라(155)와 연동하는 정렬부에 의해 정렬될 수 있다.
스테이지(120) 상에 글라스 기판(110)이 로딩되면, 스테이지(120)는 검사영역에 위치하는 글라스 기판 안착부(125)로 글라스 기판(110)을 이송시키고 대기영역으로 물러난다.
글라스 기판 안착부(125)는 글라스 기판(110)의 단축 방향의 넓이에 대응하여 이격된 한 쌍의 레일 형태로 구현될 수 있다. 글라스 기판 안착부(125)가 이와 같이 구현됨에 따라 글라스 기판(110)의 하부면(달리 설명하면 외부면 또는 비표시면)은 검사용 카메라(150)나 리뷰용 카메라(155)와 마주보는 상태가 된다.
광원부(130, 140)는 스테이지(120) 상에 로딩된 글라스 기판(110)의 내부로 광을 조사하여 도파시킨다. 광원부(130, 140)는 대기영역과 검사영역을 왕래할 수 있도록 설치된다. 즉, 광원부(130, 140)는 대기영역에서 대기상태를 취하지만 스테이지(120)가 검사영역으로 들어오면 검사영역으로 위치가 이동되고 이후 글라스 기판(110)의 내부로 광을 조사하기 위한 발광상태를 취할 수 있다.
광원부(130, 140)는 램프 안의 가스를 플라즈마 상태로 바꾸어 광을 출사하는 플라즈마 발광 조명장치 및 발광다이오드 조명장치 중 하나 이상으로 선택된다. 도면에서는 광원부(130, 140)가 글라스 기판(110)의 단축 측면과 장축 측면에 설치된 것을 일례로 하였다. 하지만, 광원부(130, 140)는 글라스 기판(110)의 단축 측면과 장축 측면 중 하나 이상에 배치될 수 있다.
검사용 카메라(150)는 검사영역에 설치된다. 검사용 카메라(150)는 글라스 기판(110)의 하부면을 통해 출사되는 광을 영상으로 수득한다. 이를 위해 검사용 카메라(150)는 글라스 기판(110)의 하부에 고정방식으로 설치될 수 있다. 검사용 카메라(150)는 한 번의 촬영으로 글라스 기판(110)의 하부면을 통해 출사되는 광을 모두 수득할 수 있는 에어리어 스캔 카메라(Area scan Camera)로 선택된다. 검사용 카메라(150)의 경우 라인 스캔 카메라(Line scan Camera)를 이용할 수 있지만 이는 라인별로 영상을 수득해야 하므로 에어리어 스캔 카메라 대비 검사 시간의 로스가 예상된다.
리뷰용 카메라(155)는 검사영역 또는 검사영역 이후에 위치하는 리뷰영역에 설치된다. 리뷰용 카메라(155)는 검사 공정을 진행하기 앞서거나 완료한 이후 각종 장치들의 상태를 모니터링 하기 위한 별도의 카메라이다. 리뷰용 카메라(155)는 글라스 기판(110)의 하부에 고정방식이나 이동방식으로 설치될 수 있다. 리뷰용 카메라(155)는 검사의 정확도 향상을 위하여 검사용 카메라(150)와 더불어 영상을 수득하고, 수득된 영상을 검사부(160)로 전달하는 역할을 한다. 또한, 리뷰용 카메라(155)는 비전시스템을 이루는 검사용 카메라(150)나 광원부(130) 등의 상태를 모니터링 할 수 있도록 한다.
검사부(160)는 검사용 카메라(150)로부터 전달된 영상을 분석하고 글라스 기판(110)의 균열(스크래치나 찍힘 등)이나 이물 유무 검사한다. 검사부(160)는 검사용 카메라(150)와 함께 글라스 기판(110)의 하부면을 통해 출사되는 광을 영상으로 수득하고 수득된 영상의 분석, 판별 및 표시할 수 있는 비전시스템으로 구축될 수 있다. 검사부(160)는 검사의 정확도를 향상시키기 위해 검사용 카메라(150) 및 리뷰용 카메라(155)로부터 전달된 영상을 분석하고 글라스 기판(110)의 균열(스크래치나 찍힘 등)이나 이물 유무 검사할 수도 있다.
이하, 실시예에 따른 글라스 기판의 검사장치를 이용한 검사방법의 예를 설명한다.
도 3 및 도 4는 글라스 기판의 검사장치를 이용한 검사방법의 예를 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 검사전 광원부의 세츄레이션 보정을 설명하기 위한 도면이며, 도 6은 글라스 기판의 검사방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 글라스 기판(110)은 박막 트랜지스터(115)가 형성된 상태 또는 박막 트랜지스터(115)가 미 형성된 베어(Bare) 상태로 글라스 기판의 검사장치 내에 로딩될 수 있다.(S110)
글라스 기판(110)이 검사영역으로 들어오면 광원부(130)는 글라스 기판(110) 내에 광(L)을 조사하여 도파시킨다.(S120) 광원부(130)로부터 출사된 광(L)은 글라스 기판(110)의 하부면에 형성된 박막 트랜지스터(115) 등의 박막에 의해 글라스 기판(110) 내부로 도파된다.
글라스 기판(110)의 하부에 설치된 검사용 카메라(150)는 글라스 기판(110)의 하부면을 통해 출사된 광(L)을 영상으로 수득하고 수득한 영상을 검사부(160)에 전달한다.(S130)
검사부(160)는 검사용 카메라(150)로부터 전달된 영상의 분석 과정을 통해 글라스 기판(110)의 균열이나 이물의 유무 등에 대해 검사하여 미세 불량 검사 결과를 도출하게 된다.(S140)
실시예에 따른 글라스 기판의 검사장치 및 검사방법은 광원부(130), 검사용 카메라(150) 및 검사부(160)를 이용하여 글라스 기판(110)의 내외부의 상태(표면의 스크래치나 찍힘 여부, 이물 유무 등) 등을 검사하는 미세 불량 검사 공정을 수행한다.
글라스 기판(110)의 내부/외부는 다양한 원인으로 인하여 균열(스크래치나 찍힘 등)(SC)이나 이물(PT) 등이 형성된다. 따라서, 표시장치의 제작 공정에는 글라스 기판(110)의 식각 공정 전후, 내외부의 상태 등을 검사하게 된다.
일례로 글라스 기판(110)의 하부면에 형성된 이물(PT)의 경우, 이물(PT)의 매질에 따라 글라스 기판(110)의 하부면으로부터 출사되는 광(L)을 차단한다. 따라서, 글라스 기판(110)의 하부면에 형성된 이물(PT)은 도 4와 같이 검사부(160)가 검사용 카메라(150)에 의해 수득된 제1영상(IMG1) 또는 제2영상(IMG1)을 단순 분석하는 과정으로 용이하게 검출할 수 있다.
다른 예로 글라스 기판(110)의 하부면에 형성된 균열(SC)의 경우, 글라스 기판(110)의 내부로 도파되는 광(L)을 난반사 하거나 유출한다. 따라서, 글라스 기판(110)의 하부면에 형성된 균열(SC)은 도 4와 같이 검사부(160)가 검사용 카메라(150)에 의해 수득된 제1영상(IMG1) 또는 제2영상(IMG1)을 분석하는 과정으로 용이하게 검출할 수 있다. 그러나, 글라스 기판(110)의 하부면에 형성된 균열(SC)은 이물(PT)과 달리 영상을 단순 분석하는 과정만으로는 용이하게 검출되지 않을 수 있다.
그 이유는 글라스 기판(110)의 하부면에 형성된 스크래치는 식각 전의 깊이가 얕고, 찍힘은 식각 후의 깊이가 얕기 때문이다. 그리고 스크래치는 식각 전후의 불량 깊이가 다르고, 찍힘은 빛의 난반사를 일으키기 때문이다.
따라서, 실시예의 글라스 기판의 검사장치 및 검사방법은 글라스 기판(110)이 로딩된 후 촬영된 제1영상(IMG1)과 글라스 기판(110)의 내부로 광을 조사한 후 촬영된 제2영상(IMG2)을 비교 분석하여 글라스 기판(110)의 균열의 유무를 검사할 수 있다. 즉, 실시예의 글라스 기판의 검사장치 및 검사방법은 광(L)의 도파로를 형성하는 글라스 기판(110)의 내부에서 외부로 유출되는 광(L)의 난반사, 산란 등의 형태를 포착하는 방식으로 균열(SC)의 유무를 검출한다. 실시예의 글라스 기판의 검사장치 및 검사방법은 정확한 불량 검출을 위해 수득된 영상에 대한 면적, 중심 좌표, 균열(SC)의 폭(width) 및 높이(hight)에 대한 분석을 수행할 수 있다.
한편, 실시예의 글라스 기판의 검사장치 및 검사방법은 글라스 기판(110)의 내부에 광을 도파 시키므로, 글라스 기판(110)의 내부에 형성된 기포나 이물에 따른 광의 변화를 분석하는 방법으로 불량의 유무 또한 검출할 수 있다.
한편, 도 2와 같이 광원부(130, 140)가 글라스 기판(110)의 단축 측면과 장축 측면에 형성된 경우 광의 노출 시간별로 세츄레이션(Saturation) 된 영상이 수득될 수 있다. 세츄레이션의 원인은 광원부(130, 140)와의 거리에 따라 광의 강도가 달라지기 때문이다. 따라서, 광원부(130, 140)와 가장 먼 위치에 적정량의 조명이 전달되면 근접 영역에 세츄레이션이 발생하게 되고 수득 되는 영상 또한 세츄레이션 된 영상이 수득 된다.
실시예는 광원부(130, 140)가 도 2와 같이 배치된 경우에 발생하는 세츄레이션 현상을 방지하기 위해, 광 조사 영역에 대한 노출 시간이 길수록 광원부(130, 140)로부터 멀리 떨어진 세츄레이션 되지 않은 영역의 영상을 추출하고 이들을 조합할 수 있다. 그러므로, 검사용 카메라(150)는 도 5와 같이 광 조사 영역에 대한 노출 시간별 영상(LI)을 분할 촬영하고 검사부(160)는 이들을 조합하는 방식으로 영상을 보정하여 세츄레이션 되지 않는 영상을 생성하고 이를 기반으로 분석을 수행할 수 있다.
한편, 실시예는 검사용 카메라(150)와 리뷰용 카메라(155)가 글라스 기판(110)의 하부에 설치된 것을 일례로 하였다. 그러나 검사용 카메라(150)와 리뷰용 카메라(155)는 글라스 기판(110)의 상부에 설치될 수도 있다.
이하, 본 발명의 변형된 실시예들에 대해 설명한다.
도 7 내지 도 9는 광원부의 다양한 변형된 실시예들을 나타낸 도면이고, 도 10은 베어 글라스 기판 사용시의 실시예를 나타낸 도면이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1변형된 실시예에 따르면 광원부(130)에는 싱글 타입의 조명장치(131), 광도파부(132) 및 반사부(133)가 포함된다.
조명장치(131)는 싱글 타입으로 설치된다. 싱글 타입으로 설치된 조명장치(131)는 일차적으로 광도파부(132)에 광을 조사한다. 싱글 타입의 조명장치(131)는 플라즈마 발광 조명장치로 선택될 수 있다.
광도파부(132)는 싱글 타입의 조명장치(131)로부터 조사된 광의 방향을 이차적으로 전환하여 글라스 기판(110)의 내부로 안내한다. 광도파부(132)는 점광원이 되는 싱글 타입의 조명장치(131)로부터 출사된 광의 넓이를 증폭하는 역할을 한다.
반사부(133)는 광도파부(132)가 조명장치(131)로부터 조사된 광의 방향을 이차적으로 전환할 때 광의 손실을 줄이고 효율적으로 증폭할 수 있도록 글라스 기판(110)의 내부로 광을 반사시키는 역할을 한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2변형된 실시예에 따르면 광원부(130)에는 멀티 타입의 조명장치(131)와 광도파부(132)가 포함된다.
조명장치(131)는 제1 내지 제4조명장치(131a ~ 131d)를 포함하는 멀티 타입으로 설치된다. 멀티 타입으로 설치된 조명장치(131)는 일차적으로 광도파부(132)에 광을 조사한다. 멀티 타입의 조명장치(131)는 플라즈마 발광 조명장치로 선택될 수 있다.
광도파부(132)는 멀티 타입의 조명장치(131)로부터 출사된 광을 이차적으로 전환하여 글라스 기판(110)의 내부로 안내한다. 광도파부(132)는 점광원이 되는 멀티 타입의 조명장치(131)로부터 출사된 광의 넓이를 증폭하기 위해 도파홈(132H)을 포함할 수 있다. 도파홈(132H)은 광의 넓이를 증폭하기 위해 삼각형, 원형, 다각형 등과 같은 마이크로 패턴들로 구성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3변형된 실시예에 따르면 광원부(130)에는 멀티 타입의 조명장치(131)와 광도파부(132)가 포함된다.
조명장치(131)는 제1 내지 제4조명장치(131a ~ 131e)를 포함하는 멀티 타입으로 설치된다. 멀티 타입으로 설치된 조명장치(131)는 일차적으로 광도파부(132)에 광을 조사한다. 멀티 타입의 조명장치(131)는 발광다이오드 조명장치로 선택될 수 있다.
광도파부(132)는 멀티 타입의 조명장치(131)로부터 출사된 광을 이차적으로 전환하여 글라스 기판(110)의 내부로 안내한다. 광도파부(132)는 점광원이 되는 멀티 타입의 조명장치(131)로부터 출사된 광의 넓이를 증폭하기 위해 도파홈(132H)을 포함할 수 있다. 도파홈(132H)은 광의 넓이를 증폭하기 위해 삼각형, 원형, 다각형 등과 같은 마이크로 패턴들로 구성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
도 7 내지 도 9의 변형된 실시예들에서는 조명장치(131)가 플라즈마 발광 조명장치 또는 발광다이오드 조명장치 중 하나로 선택된 것을 일례로 설명하였다. 그러나, 조명장치(131)는 플라즈마 발광 조명장치 및 발광다이오드 조명장치의 조합으로 선택될 수도 있다.
한편, 도 3에서는 박막트랜지스터가 형성된 글라스 기판을 일례로 하였다. 그러나 도 10과 같이 박막트랜지스터가 미 형성된 베어 글라스 기판(110) 사용시, 베어 글라스 기판(110)의 상부면에는 광학시트부(127)가 부착된다.
광학시트부(127)는 베어 글라스 기판(110)의 내부로 입사된 광을 베어 글라스 기판(110)의 하부로 확산 또는 반사시키는 역할을 한다. 이러한 역할을 수행하는 광학시트부(127)는 검사 공정시 베어 글라스 기판(110)의 상부면에 부착되고 이후 탈착하는 방식으로 설치될 수 있다.
한편, 위의 실시예들에서는 글라스 기판의 검사장치가 단독으로 설비된 것을 일례로 하였다. 그러나, 글라스 기판의 검사장치는 하기와 같이 증착장치와 함께 설비될 수도 있다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착장치를 설명하기 위한 구성도이다.
도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착장치에는 로더부(210), 글라스 기판 검사부(220), 기판 선별부(230), 제1증착부(240) 및 제2증착부(250)이 포함된다.
로더부(210), 글라스 기판 검사부(220), 기판 선별부(230), 제1증착부(240) 및 제2증착부(250)는 각각 게이트(G)를 통해 연결된다. 다른 실시예에 따른 증착장치는 글라스 기판 검사부(220)를 이용한 검사 시스템을 설명하기 위해 간략히 구성한 것일 뿐 이에 한정되지 않는다.
로더부(210)는 글라스 기판을 로딩한다. 로더부(210)는 로딩된 글라스 기판을 글라스 기판의 검사부(220)로 반입한다.
글라스 기판 검사부(220)는 글라스 기판의 내외부의 상태(표면의 스크래치나 찍힘 여부, 이물 유무 등) 등을 검사하는 미세 불량 검사 공정을 수행한다. 글라스 기판 검사부(220)는 도 1 내지 도 3과 같이 스테이지(120), 스테이지 이송부(125), 광원부(130, 140), 검사용 카메라(150) 및 검사부(160)로 구성될 수 있다.
글라스 기판 검사부(220)는 글라스 기판의 하부면을 통해 출사되는 광을 영상으로 수득하고 수득된 영상을 분석하는 방식으로 글라스 기판의 내외부의 상태(표면의 스크래치나 찍힘 여부, 이물 유무 등) 등을 검사할 수 있다.
한편, 글라스 기판 검사부(220)의 광원부(130, 140)는 도 7 내지 도 9와 같은 형태로 변형될 수 있다. 글라스 기판 검사부(220)에 반입된 글라스 기판이 베어 글라스 기판인 경우, 도 10과 같이 글라스 기판(110)의 상부에는 광학시트부(127)가 더 부착될 수 있다.
글라스 기판 검사부(220)는 글라스 기판의 내외부의 상태(표면의 스크래치나 찍힘 여부, 이물 유무 등) 등을 검사하고 검사가 완료된 글라스 기판을 기판 선별부(230)로 반입함과 더불어 글라스 기판의 검사결과를 기판 선별부(230)에 전달한다.
기판 선별부(230)는 글라스 기판의 검사부(220)로부터 전달된 글라스 기판의 검사결과에 대응하여 양호한 글라스 기판을 제1증착부(240)로 반입하거나 불량한 글라스 기판을 외부로 반출한다. 기판 선별부(230)는 불량한 글라스 기판을 불량 글라스 기판 반출부(235)로 반출할 수 있다.
제1증착부(240)는 기판 선별부(230)로부터 반입된 양호한 글라스 기판 상에 증착 공정 등을 수행한다. 제1증착부(240)는 다수의 공정실(242, 243, 244)과 하나의 검사실(245)로 구성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 제1증착부(240) 내에 반입된 양호한 글라스 기판은 제1반송로봇(241)에 의해 다수의 공정실(242, 243, 244)과 하나의 검사실(245)을 오가며 증착 공정과 검사 공정을 따르게 된다.
제1증착부(240)는 양호한 글라스 기판 상에 증착 공정 등이 완료되면 공정이 완료된 양호한 글라스 기판을 제1반입반출실(248)로 반출한다. 제1반입반출실(248)은 양호한 글라스 기판을 제2증착부(250)로 반입한다.
제2증착부(250)는 제1반입반출실(248)로부터 반입된 양호한 글라스 기판 상에 증착 공정 등을 수행한다. 제2증착부(250)는 다수의 공정실(252, 253, 254)과 하나의 검사실(255)로 구성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 제2증착부(250) 내에 반입된 양호한 글라스 기판은 제2반송로봇(242)에 의해 다수의 공정실(252, 253, 254)과 하나의 검사실(255)을 오가며 증착 공정과 검사 공정을 따르게 된다.
제2증착부(250)는 양호한 글라스 기판 상에 증착 공정 등이 완료되면 공정이 완료된 양호한 글라스 기판을 제2반입반출실(258)로 반출한다. 제2반입반출실(258)은 양호한 글라스 기판을 외부로 반출하거나 추가적인 공정이 더 요구되는 경우, 이를 수행할 수 있는 기타의 공정실로 양호한 글라스 기판을 반입한다.
앞서 설명한 증착장치를 이용하면 유기전계발광표시장치, 전기영동표시장치 및 액정표시장치와 같은 표시장치의 제작시 글라스 기판 상에 균열이나 이물이 형성된 미세 불량 여부에 따라 선택적인 공정을 수행할 수 있다.
이상 본 발명은 글라스 기판의 식각 공정 진행 전후 깊이에 따른 균열(스크래치나 찍힘)이나 이물의 유무에 대한 미세 불량 검사를 저해상도로 검출할 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 글라스 기판의 로딩 즉시 에어리어 카메라와 검사부로 구성된 비전 시스템으로 측정 및 불량의 유무를 검출 가능하므로 택트 타임(Tact time) 단축을 통해 공정 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
110: 글라스 기판 120: 스테이지
125: 스테이지 이송부 130, 140: 광원부
150: 카메라 160: 검사부
131: 조명장치 132: 광도파부
133: 반사부 127: 광학시트부
SC: 균열 PT: 이물
125: 스테이지 이송부 130, 140: 광원부
150: 카메라 160: 검사부
131: 조명장치 132: 광도파부
133: 반사부 127: 광학시트부
SC: 균열 PT: 이물
Claims (10)
- 로딩된 글라스 기판이 안착되는 스테이지;
상기 글라스 기판의 내부로 광을 조사하여 도파시키는 광원부;
상기 글라스 기판의 일면을 통해 출사되는 광을 영상으로 수득하는 카메라; 및
상기 카메라로부터 전달된 영상을 분석하고 상기 글라스 기판의 균열이나 이물 유무 검사하는 검사부를 포함하는 글라스 기판의 검사장치. - 제1항에 있어서,
상기 광원부는
플라즈마 발광 조명장치 및 발광다이오드 조명장치 중 하나 이상을 포함하는 글라스 기판의 검사장치. - 제1항에 있어서,
상기 광원부는
출사된 광을 상기 글라스 기판의 내부로 안내하는 광도파부를 더 포함하는 글라스 기판의 검사장치. - 제1항에 있어서,
상기 광원부는
상기 글라스 기판의 단축 측면과 장축 측면 중 하나 이상에 배치된 것을 특징으로 하는 글라스 기판의 검사장치. - 제1항에 있어서,
상기 글라스 기판의 내부로 입사된 광을 상기 글라스 기판의 하부로 확산 또는 반사시키도록 상기 글라스 기판의 하부에 부착된 광학시트부를 더 포함하는 글라스 기판의 검사장치. - 제1항에 있어서,
상기 카메라는
상기 글라스 기판의 하부면에 설치된 에어리어 스캔 카메라(Area scan Camera)인 것을 특징으로 하는 글라스 기판의 검사장치. - 글라스 기판을 스테이지에 로딩하는 단계;
상기 글라스 기판의 내부로 광을 조사하여 도파시키는 단계;
상기 글라스 기판의 하부면을 통해 출사되는 광을 카메라를 이용하여 영상으로 수득하는 단계; 및
상기 카메라로부터 전달된 영상을 분석하고 상기 글라스 기판의 균열이나 이물 유무 검사하는 단계를 포함하는 글라스 기판의 검사방법. - 제7항에 있어서,
상기 검사 단계는
상기 글라스 기판이 로딩된 후 촬영된 제1영상과 상기 글라스 기판의 내부로 광을 조사한 후 촬영된 제2영상을 비교 분석하여 상기 글라스 기판의 균열이나 이물 유무를 검사하는 것을 특징으로 하는 글라스 기판의 검사방법. - 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 의해 제작된 글라스 기판의 검사장치로 구성된 글라스 기판 검사부;
상기 글라스 기판을 로딩하여 상기 글라스 기판의 검사부로 반입시키는 로더부; 및
상기 글라스 기판 상에 박막을 형성하는 증착부를 포함하는 증착장치. - 제9항에 있어서,
상기 글라스 기판의 검사부와 상기 증착부 사이에 배치되며,
상기 글라스 기판의 검사부로부터 전달된 상기 글라스 기판의 검사결과에 대응하여 양호한 글라스 기판을 상기 증착부로 반입하거나 불량한 글라스 기판을 외부로 반출하는 기판 선별부를 더 포함하는 증착장치.
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Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11337504A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の欠陥識別検査方法および装置 |
| KR20060096717A (ko) * | 2005-03-02 | 2006-09-13 | (주)쎄미시스코 | 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치 |
| KR20070099216A (ko) * | 2006-04-03 | 2007-10-09 | (주)쎄미시스코 | 유리기판의 품질 검사장치 |
| JP2010281772A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Toppan Printing Co Ltd | シート状透明体の凹凸を主とした欠陥検査方法 |
-
2012
- 2012-07-09 KR KR1020120074652A patent/KR101977243B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11337504A (ja) * | 1998-05-26 | 1999-12-10 | Central Glass Co Ltd | ガラス板の欠陥識別検査方法および装置 |
| KR20060096717A (ko) * | 2005-03-02 | 2006-09-13 | (주)쎄미시스코 | 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치 |
| KR20070099216A (ko) * | 2006-04-03 | 2007-10-09 | (주)쎄미시스코 | 유리기판의 품질 검사장치 |
| JP2010281772A (ja) * | 2009-06-08 | 2010-12-16 | Toppan Printing Co Ltd | シート状透明体の凹凸を主とした欠陥検査方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9600873B2 (en) | 2014-09-26 | 2017-03-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Deposition accuracy determination apparatus and deposition accuracy determination method using the same |
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