KR20130138025A - Jacket assembly for manufacturing poly-silicon of apparatus for depositing high efficiency poly-silicon - Google Patents

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KR20130138025A
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강승오
박종훈
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(주)세미머티리얼즈
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Abstract

The present invention relates to a jacket assembly for manufacturing poly silicon in which the structure is improved in order to make the separation and combination time of a silicon core rod and a jacket unit faster after a deposition process of the poly silicon. The jacket assembly for manufacturing the poly silicon comprises; multiple silicon core rods which have a pair of silicon rods and are heated by a carried current and deposit the poly silicon according to the reaction of process gas; and the jacket unit which is corresponded to the multiple silicon core rods and forms multiple receiving holes for accepting a pair of silicon rods of the silicon core rod. The multiple silicon core rods and the jacket unit are combined to be able to be separated. The present invention modulates the multiple silicon core rods and the jacket unit for accepting the multiple silicon core rods and reduces a mutual separation time of the multiple silicon core rods and the jacket unit, thereby reducing poly silicon manufacturing process cycle and washing and cleaning times of equipment. [Reference numerals] (500) Cooling water supplying unit

Description

고효율화 폴리실리콘 증착장치의 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리{JACKET ASSEMBLY FOR MANUFACTURING POLY-SILICON OF APPARATUS FOR DEPOSITING HIGH EFFICIENCY POLY-SILICON}JACKET ASSEMBLY FOR MANUFACTURING POLY-SILICON OF APPARATUS FOR DEPOSITING HIGH EFFICIENCY POLY-SILICON}

본 발명은 고효율화 폴리실리콘 증착장치의 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 폴리실리콘이 증착되는 실리콘 코어로드와 이를 수용하는 자켓유닛을 포함하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a jacket assembly for producing polysilicon of a high-efficiency polysilicon deposition apparatus, and more particularly, to a jacket assembly for manufacturing polysilicon including a silicon core rod on which polysilicon is deposited and a jacket unit accommodating the same.

최근 들어 다결정 실리콘은 반도체 및 태양광을 이용한 산업 등과 같은 최첨단 산업 분야의 기초 소재로의 사용이 증가되고 있다. 다결정 실리콘은 폴리실리콘이라는 명칭으로 널리 알려져 있다.Recently, polycrystalline silicon has been increasingly used as a base material in high-tech industries such as semiconductor and solar light industry. Polycrystalline silicon is widely known under the name polysilicon.

상술한 반도체 및 태양광을 이용한 산업 등과 같은 최첨단 산업 분야에서 사용되는 폴리실리콘은 석영이나 모래 등을 탄소와 환원 반응시켜 금속에 상당한 실리콘을 생성한 후, 추가적으로 정제 공정을 거쳐 반도체의 웨이퍼 제조용 단결정 원료나 태양전지 기판의 원료로 사용된다.Polysilicon used in the high-tech industries such as the semiconductor and solar light industry described above generates a considerable amount of silicon in the metal by reducing the quartz or sand with carbon, and then further refines the monocrystalline raw material for manufacturing a wafer of the semiconductor. It is used as raw material of solar cell board.

폴리실리콘의 생산 방법으로는 지멘스(Siemens) 방법, 유동층(Fluidized bed) 방법 및 VLD(Vapor-to-Liquid Deposition) 방법 등으로 크게 분류된다.Polysilicon production methods are broadly classified into Siemens method, Fluidized bed method, and Vapor-to-Liquid Deposition (VLD) method.

이러한 금속에 해당하는 폴리실리콘의 생산 방법 중에서 일반적으로 많이 사용되는 지멘스 방법은 염화실란(chlorosilane) 및 모노실란(monosilane) 중 적어도 어느 하나와 수소가 혼합된 공정가스를 열분해하여 실리콘 코어로드에 실리콘을 증착시키는 방법으로 다결정 실리콘인 폴리실리콘을 제조한다.Siemens method, which is generally used among polysilicon production methods, is pyrolysis of a process gas in which at least one of chlorosilane and monosilane and hydrogen is mixed with silicon to form a silicon core rod. Polysilicon, which is polycrystalline silicon, is prepared by the deposition method.

여기서, 다결정 실리콘을 제조하는 지멘스 방법은 폴리실리콘이 증착되는 실리콘 코어로드에 전기를 통전시키고 전기의 통전에 따른 저항 열에 의해 실리콘 코어로드를 자체 발열시킨다. 이때, 실리콘은 상온에서 전기 저항성이 매우 크기 때문에 전기의 통전이 잘 이루어지지 않고, 수백 ℃ 이상으로 가열하게 되면 전기 저항성이 낮아지면서 통전이 잘 이루어지는 특성을 가진다. 그리고, 실리콘 코어로드는 실리콘 코어로드에 발생되는 열을 냉각하는 자켓유닛에 의해 둘러싸여 진다.Here, the Siemens method of manufacturing polycrystalline silicon energizes the silicon core rod on which polysilicon is deposited and self-heats the silicon core rod by resistance heat according to the energization of electricity. At this time, since silicon has a very high electrical resistance at room temperature, electricity is not well conducted, and when heated to several hundred degrees Celsius or more, the electrical resistance is low and the electricity is well conducted. The silicon core rod is surrounded by a jacket unit for cooling the heat generated in the silicon core rod.

한편, 종래의 실리콘 코어로드 및 자켓유닛을 포함한 폴리실리콘 증착장치는 "대한민국 공개특허공보 10-2011-0069739"인 "폴리실리콘 반응기의 개선된 화학 기상 증착 시 가스 분배 방법 및 노즐 디자인"에 개시되어 있다. 상술한 선행문헌인 "폴리실리콘 반응기의 개선된 화학 기상 증착 시 가스 분배 방법 및 노즐 디자인"은 도 1에 도시된 바와 같이, 폴리실리콘이 증착되는 로드와 각각의 로드에 대응되어 각각 둘러싸서 냉각하는 복수의 오일 재킷을 포함하는 기술적 특징을 개시하고 있다.Meanwhile, a conventional polysilicon deposition apparatus including a silicon core rod and a jacket unit is disclosed in "Advanced Gas Distribution Method and Nozzle Design for Chemical Vapor Deposition of Polysilicon Reactor," Korean Patent Publication No. 10-2011-0069739. have. The above-mentioned prior document, "a gas distribution method and nozzle design in a chemical vapor deposition of a polysilicon reactor," as shown in Figure 1, the polysilicon is deposited to correspond to each rod and each of the rods surrounding each other to cool Technical features that include a plurality of oil jackets are disclosed.

그런데, 종래의 선행문헌에 개시된 각각의 로드에 대응하여 개별적으로 오일 재킷이 배치되어 폴리실리콘의 증착 공정이 끝난 후 각각의 로드와 오일 재킷을 분리해야 함으로써, 제품의 생산 사이클이 증대되는 문제점이 있다.However, there is a problem in that the production cycle of the product is increased by separately separating the rods and the oil jacket after the polysilicon deposition process is completed by separately arranging the oil jackets corresponding to the rods disclosed in the prior art. .

또한, 종래의 선행문헌에 개시된 로드는 오일 재킷의 외부로 노출되어 있으므로, 로드로부터의 고열에 의해 다량의 실리콘 분말이 발생될 수 있고, 이로 인한 다량의 실리콘 분말이 로드에 증착되어 제품의 품질을 저하시킬 수 있는 문제점도 있다.In addition, since the rod disclosed in the prior art is exposed to the outside of the oil jacket, a large amount of silicon powder may be generated by high heat from the rod, and thus a large amount of silicon powder is deposited on the rod to improve the quality of the product. There is also a problem that can be reduced.

대한민국 공개특허공보 10-2011-0069739: 폴리실리콘 반응기의 개선된 화학 기상 증착시 가스 분배 방법 및 노즐 디자인Korean Laid-Open Patent Publication 10-2011-0069739: Gas Distribution Method and Nozzle Design for Improved Chemical Vapor Deposition of Polysilicon Reactors

본 발명의 목적은 폴리실리콘의 증착 공정 후, 실리콘 코어로드와 자켓유닛의 분리 및 결합 시간이 빠르게 이루어질 수 있도록 구조가 개선된 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a jacket assembly for manufacturing polysilicon having an improved structure so that the separation and bonding time of the silicon core rod and the jacket unit can be made faster after the polysilicon deposition process.

또한, 본 발명의 다른 목적은 폴리실리콘의 증착 공정이 진행될 때 제품의 품질을 저하시키는 다량의 실리콘 분말 등의 생성을 저지할 수 있도록 구조가 개선된 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a jacket assembly for producing polysilicon having an improved structure so as to prevent the production of a large amount of silicon powder or the like, which degrades the product quality as the polysilicon deposition process proceeds.

상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라, 한 쌍의 실리콘 로드를 가지고 통전되는 전류에 의해 가열되어 공정가스의 반응에 따른 폴리실리콘이 증착되는 복수개의 실리콘 코어로드와, 복수개의 상기 실리콘 코어로드에 대응되어 상기 실리콘 코어로드의 한 쌍의 상기 실리콘 로드를 수용하는 복수개의 수용홀을 형성하는 자켓유닛을 포함하며, 복수개의 상기 실리콘 코어로드와 상기 자켓유닛은 상호 분리 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 의해 이루어진다.According to the present invention, there are provided a plurality of silicon core rods and a plurality of silicon core rods in which polysilicon is deposited according to a reaction of a process gas by heating with a pair of silicon rods. A jacket unit forming a plurality of accommodating holes for accommodating the pair of silicon rods of the silicon core rods, wherein the plurality of silicon core rods and the jacket unit are detachably coupled to each other; It is made by a polysilicon jacket assembly.

여기서, 상기 자켓유닛은 적어도 2개로 마련되며, 각각의 상기 자켓유닛은 복수의 상기 실리콘 코어로드를 수용하여 모듈 방식으로 단일화 되는 것이 바람직하다.Here, the jacket unit is provided with at least two, each jacket unit is preferably united in a modular manner by receiving a plurality of the silicon core rod.

상기 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리는 상기 자켓유닛에 냉각수를 공급하는 냉각수 공급유닛을 더 포함할 수 있다.The polysilicon manufacturing jacket assembly may further include a cooling water supply unit supplying cooling water to the jacket unit.

한편, 상기 냉각수 공급유닛은 상기 자켓유닛과 단일 배관으로 연결되는 것이 바람직하다On the other hand, the cooling water supply unit is preferably connected to the jacket unit in a single pipe.

반면, 상기 냉각수 공급유닛은 상기 자켓유닛과 상기 수용홀들에 대응되어 복수의 배관으로 연결되는 것이 바람직하다.On the other hand, the cooling water supply unit is preferably connected to a plurality of pipes corresponding to the jacket unit and the receiving holes.

상기 수용홀은 수용된 상기 실리콘 코어로드를 감싸는 원통형, 타원형 통 형상 및 사각통 형상 중 어느 하나일 수 있다.The accommodation hole may be any one of a cylindrical, elliptical cylindrical shape and a rectangular cylindrical shape surrounding the accommodated silicon core rod.

그리고, 상기 실리콘 코어로드는 상기 자켓유닛의 상부에서 노출되어, 한 쌍의 상기 실리콘 로드를 상호 연결하는 로드 연결부를 더 포함할 수 있다.The silicon core rod may further include a rod connecting portion exposed from the upper portion of the jacket unit to interconnect the pair of silicon rods.

또한, 상기 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리는 상기 자켓유닛의 상부에 노출되는 상기 로드 연결부를 커버하여 외부와 상기 로드 연결부를 차폐하는 실드부재를 더 포함할 수 있다.In addition, the polysilicon manufacturing jacket assembly may further include a shield member covering the rod connecting portion exposed to the upper portion of the jacket unit to shield the outside and the rod connecting portion.

여기서, 상기 실드부재는 상기 수용홀의 단면 형상에 대응하는 단면 형상을 가지며, 상기 실리콘 코어로드의 한 쌍의 상기 실리콘 로드가 수용되는 상호 인접한 2개의 상기 수용홀의 상부에 배치될 수 있다.Here, the shield member may have a cross-sectional shape corresponding to the cross-sectional shape of the accommodating hole, and may be disposed on two adjacent accommodating holes in which the pair of the silicon rods of the silicon core rod are accommodated.

기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.The details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 효과들은 다음과 같다.Effects of the jacket assembly for producing polysilicon according to the embodiment of the present invention are as follows.

첫째, 복수개의 실리콘 코어로드를 수용하는 자켓유닛을 모듈화 시켜 복수개의 실리콘 코어로드와 자켓유닛의 상호 분리 시간을 단축시킬 수 있으므로, 폴리실리콘 제조 공정 사이클을 단축함과 더불어 장비의 세척 또는 세정 시간을 단축시킬 수 있다.First, the jacket unit that accommodates a plurality of silicon core rods can be modularized to shorten the separation time between the plurality of silicon core rods and the jacket unit, thereby shortening the polysilicon manufacturing process cycle and reducing the cleaning or cleaning time of the equipment. It can be shortened.

둘째, 자켓유닛의 상부에 자켓유닛 외부로 노출된 실리콘 코어로드의 일 영역을 차폐하기 위한 실드부재를 구비하여 자켓유닛의 상부에서 실리콘 분말이 다량으로 발생되는 것을 저지할 수 있고, 이에 따라 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.Second, a shield member for shielding a region of the silicon core rod exposed to the outside of the jacket unit on the upper portion of the jacket unit can be prevented from generating a large amount of silicon powder on the upper portion of the jacket unit, thereby Yield can be improved.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 평면도,
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 실드부재와 자켓유닛의 결합 사시도이다.1 is a perspective view of a jacket assembly for manufacturing polysilicon according to an embodiment of the present invention;
2 is a plan view of the jacket assembly for manufacturing polysilicon shown in FIG.
3 is a perspective view of the shield member and the jacket unit of the polysilicon manufacturing jacket assembly according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a jacket assembly for manufacturing polysilicon according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

설명하기에 앞서, 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리를 수용하는 폴리실리콘 증착장치의 세부적인 구성 요소는 일반적인 폴리실리콘 증착장치에 구성 요소를 포함하므로 이하에서 폴리실리콘 증착장치에 대해서는 설명하지 않음을 미리 밝혀둔다.Prior to the description, since the detailed components of the polysilicon deposition apparatus accommodating the polysilicon deposition apparatus according to an embodiment of the present invention includes the components in a general polysilicon deposition apparatus will be described below the polysilicon deposition apparatus Make sure you don't.

즉, 본 발명의 목적 및 효과를 명시하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리에 대해서 설명한다.That is, a description will be given of a jacket assembly for producing polysilicon that specifies the object and effect of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 평면도이다.1 is a perspective view of a jacket assembly for producing polysilicon according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view of the jacket assembly for manufacturing polysilicon shown in FIG.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리(10)는 실리콘 코어로드(100), 자켓유닛(300), 냉각수 공급유닛(500) 및 실드부재(700: 도 4 참조)를 포함한다. 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리(10)는 외부와 차단되도록 미도시된 반응 챔버의 내부에 수용된다.1 and 2, the jacket assembly 10 for producing polysilicon according to an embodiment of the present invention is a silicon core rod 100, jacket unit 300, cooling water supply unit 500 and the shield member ( 700: see FIG. 4). Jacket assembly 10 for producing polysilicon according to an embodiment of the present invention is accommodated in the reaction chamber not shown to block the outside.

실리콘 코어로드(100)는 반응 챔버의 내부에 복수개로 배치된다. 복수개로 마련된 실리콘 코어로드(100)는 일정한 군으로 하나의 자켓유닛(300)에 수용된다. 그리고, 실리콘 코어로드(100)는 외부와 전기적으로 연결되어 전기의 통전에 따라 가열된다. 실리콘 코어로드(100)의 가열에 따라 실리콘 코어로드(100)와 접촉되는 공정가스의 반응에 의해 실리콘 코어로드(100)의 외표면에는 실리콘이 증착되어 폴리실리콘이 생성된다. 상세히 설명하면, 실리콘 코어로드(100)는 순도가 우수한 폴리실리콘으로 이루어지며, 폴리실리콘의 증착 공정이 진행될 때 외표면을 따라 실리콘이 증착되면서 폴리실리콘의 성장이 이루어진다. 여기서, 실리콘 코어로드(100)는 외부로부터 공급된 전류에 통전되고, 이때 발생하는 저항 열에 의해 자체적으로 발열이 진행된다.The silicon core rod 100 is disposed in plurality in the reaction chamber. The silicon core rods 100 provided in plural are housed in one jacket unit 300 in a predetermined group. Then, the silicon core rod 100 is electrically connected to the outside is heated according to the energization of electricity. As the silicon core rod 100 is heated, silicon is deposited on the outer surface of the silicon core rod 100 by reaction of a process gas contacting the silicon core rod 100 to generate polysilicon. In detail, the silicon core rod 100 is made of polysilicon having excellent purity, and polysilicon is grown while silicon is deposited along an outer surface when the polysilicon deposition process is performed. Here, the silicon core rod 100 is energized by a current supplied from the outside, and self-heating proceeds by resistance heat generated at this time.

본 발명의 실리콘 코어로드(100)는 한 쌍의 실리콘 로드(120)와 한 쌍의 실리콘 로드(120)를 상호 연결하는 로드 연결부(140)를 포함한다. 실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드는 일정 간격을 두고 상호 평행하게 배치된다. 정확하게 실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드(120)는 설치면에 대해 수직 방향으로 배치된다. 한편, 로드 연결부(140)는 설치면과 평행한 한 쌍의 실리콘 로드(120)의 길이 방향의 가로 방향으로 한 쌍의 실리콘 로드(120)를 상호 연결한다. 그리고, 로드 연결부(140)는 한 쌍의 실리콘 로드(120)와 동일한 재질로 제작된다.The silicon core rod 100 of the present invention includes a pair of silicon rods 120 and a rod connecting portion 140 interconnecting the pair of silicon rods 120. The pair of silicon rods of the silicon core rod 100 are arranged in parallel with each other at a predetermined interval. Correctly, the pair of silicon rods 120 of the silicon core rod 100 are disposed in a direction perpendicular to the installation surface. On the other hand, the rod connecting portion 140 interconnects the pair of silicon rods 120 in the longitudinal direction of the pair of silicon rods 120 parallel to the installation surface. The rod connecting portion 140 is made of the same material as the pair of silicon rods 120.

한 쌍의 실리콘 로드(120)와 한 쌍의 실리콘 로드(120)를 상호 연결하는 로드 연결부(140)는 일체형으로 제작된다. 이에 따른, 실리콘 코어로드(100)의 형상은 'U'자 형상을 갖는다. 'U'자 형상을 갖는 실리콘 코어로드(100)는 한 쌍의 실리콘 로드(120)가 설치면에 인접하고 로드 연결부(140)가 설치면에 이격되어 상부에 위치하도록 배치된다. 상세하게 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부는 자켓유닛(300)의 상부에 배치된다.The rod connecting portion 140 interconnecting the pair of silicon rods 120 and the pair of silicon rods 120 is integrally manufactured. Accordingly, the shape of the silicon core rod 100 has a 'U' shape. The silicon core rod 100 having a 'U' shape is disposed such that a pair of silicon rods 120 are adjacent to the installation surface and the rod connecting portion 140 is spaced apart from the installation surface and positioned at an upper portion thereof. In detail, the rod connecting portion of the silicon core rod 100 is disposed above the jacket unit 300.

다음으로 자켓유닛(300)은 실리콘 코어로드(100)를 수용하며 반응 챔버 내부에 배치된다. 자켓유닛(300)은 자켓몸체(320)와 수용홀(340)을 포함한다. 자켓몸체(320)는 자켓유닛(300)의 외관을 형성하며 실리콘 코어로드(100)의 외표면을 둘러싼다. 수용홀(340)은 자켓몸체(320)의 내부에 형성되어 실리콘 코어로드(100)를 수용하여 실리콘 코어로드(100)와 공정가스가 반응하는 반응 공간을 형성한다. 한편, 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리(10)는 수용홀(340)에 배치되는 히팅부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 수용홀(340)의 단면 형상은 실리콘 코어로드(100)를 감싸는 원통형, 타원형 또는 사각형과 같은 다각형 형상일 수 있다. 그리고, 수용홀(340)은 상하로 개구 연통되어, 수용홀(340)의 상부로 배출된 미반응 공정가스를 수용홀(340)의 하부로 재유입할 수 있다.Next, the jacket unit 300 accommodates the silicon core rod 100 and is disposed in the reaction chamber. The jacket unit 300 includes a jacket body 320 and a receiving hole 340. The jacket body 320 forms an outer appearance of the jacket unit 300 and surrounds the outer surface of the silicon core rod 100. The accommodation hole 340 is formed in the jacket body 320 to accommodate the silicon core rod 100 to form a reaction space in which the silicon core rod 100 and the process gas react. Meanwhile, the jacket assembly 10 for manufacturing polysilicon according to the embodiment of the present invention may further include a heating unit (not shown) disposed in the accommodation hole 340. The cross-sectional shape of the accommodating hole 340 may be a polygonal shape such as a cylinder, an ellipse or a rectangle surrounding the silicon core rod 100. In addition, the receiving hole 340 is openly communicated with each other up and down, and the unreacted process gas discharged to the upper portion of the receiving hole 340 may be re-introduced into the lower portion of the receiving hole 340.

자켓유닛(300)은 복수개의 실리콘 코어로드(100)에 대응되어 복수개의 수용홀(340)을 갖는다. 여기서, 자켓유닛의 수용홀(340)은 실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드(120)에 대응되어 복수개로 마련된다. 즉, 자켓유닛(300)의 수용홀은 2개의 실리콘 로드(120)를 갖는 실리콘 코어로드(100)의 2배수로 마련된다. 자켓유닛(300)은 단일 형상으로 제작될 수 있고, 적어도 2개의 분리되어 마련될 수도 있다. 물론, 단일 또는 복수개로 마련되는 자켓유닛(300)의 형상에 대응하여 복수개의 실리콘 코어로드(100)가 수용될 수 있다.The jacket unit 300 corresponds to the plurality of silicon core rods 100 and has a plurality of receiving holes 340. Here, the accommodating holes 340 of the jacket unit are provided in plural numbers corresponding to the pair of silicon rods 120 of the silicon core rod 100. That is, the accommodating hole of the jacket unit 300 is provided twice as much as the silicon core rod 100 having two silicon rods 120. The jacket unit 300 may be manufactured in a single shape and may be provided separately from at least two. Of course, a plurality of silicon core rods 100 may be accommodated corresponding to the shape of the jacket unit 300 provided as a single or a plurality.

자켓유닛(300)은 복수개의 실리콘 코어로드(100)와 분리 가능하게 결합된다. 자켓유닛(300)은 복수개의 실리콘 코어로드(100)와 모듈 형식으로 마련된다. 이렇게, 실리콘 코어로드(100)와 자켓유닛(300)이 분리 가능한 모듈 형식으로 결합됨으로써, 실리콘 코어로드(100)에 대한 폴리실리콘 증착 공정이 끝난 후 실리콘 코어로드(100)와 자켓유닛(300)을 분리하여 생산 공정 시간을 단축 시킬 수 있을 뿐만 아니라 장비의 세척 시간도 단축시킬 수 있는 장점이 있다. 상세하게 설명하면, 하나의 자켓유닛(300)을 실리콘 코어로드(100)로부터 분리시키면 복수개의 실리콘 코어로드(100)로부터 폴리실리콘을 입수할 수 있다.The jacket unit 300 is detachably coupled to the plurality of silicon core rods 100. The jacket unit 300 is provided in a modular form with a plurality of silicon core rods 100. As such, the silicon core rod 100 and the jacket unit 300 are combined in a detachable module form, so that the silicon core rod 100 and the jacket unit 300 are finished after the polysilicon deposition process for the silicon core rod 100 is completed. The separation can shorten the production process time as well as reduce the cleaning time of the equipment. In detail, when one jacket unit 300 is separated from the silicon core rod 100, polysilicon may be obtained from the plurality of silicon core rods 100.

한편, 자켓유닛(300)의 내부에는 복수개의 수용홀(340)로 공정가스가 공급되는 공급유로가 형성되며, 또한, 자켓유닛(300)의 내부에는 복수개의 수용홀(340)을 냉각하는 냉각유로가 형성된다.Meanwhile, a supply passage through which process gases are supplied to the plurality of accommodation holes 340 is formed in the jacket unit 300, and cooling the plurality of accommodation holes 340 in the jacket unit 300. A flow path is formed.

냉각수 공급유닛(500)은 자켓유닛(300)을 냉각하도록 냉각수를 공급한다. 냉각수 공급유닛(500)으로부터 공급되는 냉각수는 물, 오일, 냉각가스와 같은 공지되어 사용되는 다양한 냉각매체가 될 수 있다. 냉각수 공급유닛(500)은 자켓유닛(300)과 단일 배관으로 연결되어 자켓유닛(300)에 냉각수를 공급 및 회수할 수 있고, 또한 냉각수 공급유닛(500)은 자켓유닛(300)의 복수의 수용홀(340)들에 대응되어 복수개의 배관으로 연결되어 각각의 수용홀(340)들을 냉각하도록 냉각수를 공급 및 회수할 수도 있다.The cooling water supply unit 500 supplies the cooling water to cool the jacket unit 300. The cooling water supplied from the cooling water supply unit 500 may be various cooling media known and used such as water, oil, and cooling gas. The cooling water supply unit 500 may be connected to the jacket unit 300 by a single pipe to supply and recover the cooling water to the jacket unit 300, and the cooling water supply unit 500 may accommodate a plurality of jacket units 300. The cooling water may be supplied and recovered to correspond to the holes 340 to be connected to a plurality of pipes to cool the respective accommodation holes 340.

마지막으로 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리의 실드부재와 자켓유닛의 결합 사시도이다.Finally, Figure 3 is a perspective view of the combination of the shield member and the jacket unit of the jacket assembly for producing polysilicon according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실드부재(700)는 자켓유닛(300)의 상부에 노출되는 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부(140)를 커버하여, 외부와 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부(140)를 차폐한다. 실드부재(700)는 수용홀(340)의 단면 형상에 대응하는 단면 형상을 갖는다. 그리고, 실드부재(700)는 실리콘 코어로드(100)의 한 쌍의 실리콘 로드(120)가 수용되는 상호 인접한 2개의 수용홀(340)의 상부에 배치된다. 본 발명의 실드부재(700)는 실드몸체(720) 및 배기홀(740)을 포함한다.As shown in FIG. 3, the shield member 700 of the present invention covers the rod connecting portion 140 of the silicon core rod 100 exposed to the upper portion of the jacket unit 300, thereby covering the outside and the silicon core rod 100. Shielding rod connection portion 140 of the). The shield member 700 has a cross-sectional shape corresponding to the cross-sectional shape of the accommodation hole 340. The shield member 700 is disposed above two receiving holes 340 adjacent to each other in which the pair of silicon rods 120 of the silicon core rod 100 are accommodated. The shield member 700 of the present invention includes a shield body 720 and an exhaust hole 740.

실드몸체(720)는 실드부재(700)의 외관을 형성하며, 자켓유닛(300)의 상부에 배치되어 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부(140)를 차폐한다. 여기서, 실드몸체(720)의 내부에는 실리콘 코어로드(100)의 로드 연결부로부터의 발열에 따른 온도 상승을 하강시키기 위해 실드몸체(720)를 냉각하는 냉각수의 공급유로(미도시) 및 회수유로(미도시)가 형성된다. 배기홀(740)은 실드몸체(720)를 관통하여 형성된다. 배기홀(740)은 수용홀(340) 내부에서 반응된 공정가스의 배출과 함께 미반응된 공정가스를 수용홀(340)의 외부로 배출한다. 이러한 배기홀(740)로 배기된 미반응 공정가스는 수용홀(340)의 하부로 재유입되어 반응될 수 있는 공정가스로 사용된다. 본 발명의 배기홀(740)은 도 4에 도시된 바와 같이 실드몸체(720)의 상부에 형성된 것으로 도시되어 있으나, 실드몸체(720)의 측부를 따라 더 형성될 수도 있다. 또한, 배기홀(740)의 개수도 설계 변경될 수 있다.The shield body 720 forms an exterior of the shield member 700 and is disposed on the jacket unit 300 to shield the rod connecting portion 140 of the silicon core rod 100. Here, a supply flow path (not shown) and a recovery flow path of cooling water for cooling the shield body 720 in order to lower the temperature rise due to heat generation from the rod connection portion of the silicon core rod 100 are formed inside the shield body 720 ( Not shown) is formed. The exhaust hole 740 is formed through the shield body 720. The exhaust hole 740 discharges the unreacted process gas to the outside of the accommodating hole 340 together with the discharge of the process gas reacted in the accommodating hole 340. The unreacted process gas exhausted through the exhaust hole 740 is used as a process gas that can be reintroduced into the lower portion of the receiving hole 340 and reacted. Exhaust hole 740 of the present invention is shown as formed on the upper portion of the shield body 720, as shown in Figure 4, it may be further formed along the side of the shield body (720). In addition, the number of exhaust holes 740 may be changed in design.

이에, 복수개의 실리콘 코어로드와 이를 수용하는 자켓유닛을 모듈화 시켜 복수개의 실리콘 코어로드와 자켓유닛의 상호 분리 시간을 단축시킬 수 있으므로, 폴리실리콘 제조 공정 사이클을 단축함과 더불어 장비의 세척 또는 세정 시간을 단축시킬 수 있다.Accordingly, the plurality of silicon core rods and the jacket unit accommodating the plurality of silicon core rods can be modularized to shorten the separation time between the plurality of silicon core rods and the jacket unit, thereby shortening the polysilicon manufacturing process cycle and cleaning or cleaning time of the equipment. Can be shortened.

또한, 자켓유닛의 상부에 자켓유닛 외부로 노출된 실리콘 코어로드의 일 영역을 차폐하기 위한 실드부재를 구비하여 자켓유닛의 상부에서 실리콘 분말이 다량으로 발생되는 것을 저지할 수 있고, 이에 따라 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.In addition, a shield member for shielding an area of the silicon core rod exposed to the outside of the jacket unit is provided on the upper part of the jacket unit to prevent a large amount of silicon powder generated from the upper part of the jacket unit, thereby Yield can be improved.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, . Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.

10: 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리 100: 실리콘 코어로드
120: 실리콘 로드 140: 로드 연결부
300: 자켓유닛 320: 자켓몸체
340: 수용홀 500: 냉각수 공급유닛
700: 실드부재 720: 실드몸체
740: 배기홀10: jacket assembly for polysilicon production 100: silicon core rod
120: silicon rod 140: rod connection
300: jacket unit 320: jacket body
340: accommodation hole 500: cooling water supply unit
700: shield member 720: shield body
740: exhaust hole

Claims (9)

한 쌍의 실리콘 로드를 가지고 통전되는 전류에 의해 가열되어, 공정가스의 반응에 따른 폴리실리콘이 증착되는 복수개의 실리콘 코어로드와;
복수개의 상기 실리콘 코어로드에 대응되어 상기 실리콘 코어로드의 한 쌍의 상기 실리콘 로드를 수용하는 복수개의 수용홀을 형성하는 자켓유닛을 포함하며,
복수개의 상기 실리콘 코어로드와 상기 자켓유닛은 상호 분리 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.A plurality of silicon core rods heated by an electric current having a pair of silicon rods and deposited with polysilicon according to reaction of the process gas;
It includes a jacket unit corresponding to a plurality of the silicon core rod to form a plurality of receiving holes for receiving the pair of the silicon rod of the silicon core rod,
A plurality of the silicon core rod and the jacket unit is polysilicon manufacturing jacket assembly, characterized in that coupled to each other. 제1항에 있어서,
상기 자켓유닛은 적어도 2개로 마련되며, 각각의 상기 자켓유닛은 복수의 상기 실리콘 코어로드를 수용하여 모듈 방식으로 단일화 되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.The method of claim 1,
The jacket unit is provided with at least two, each jacket unit for polysilicon manufacturing jacket assembly, characterized in that the unitary unitary by receiving a plurality of the silicon core rod. 제2항에 있어서,
상기 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리는,
상기 자켓유닛에 냉각수를 공급하는 냉각수 공급유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.3. The method of claim 2,
The polysilicon manufacturing jacket assembly,
And a cooling water supply unit for supplying cooling water to the jacket unit. 제3항에 있어서,
상기 냉각수 공급유닛은 상기 자켓유닛과 단일 배관으로 연결되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.The method of claim 3,
The cooling water supply unit is a polysilicon manufacturing jacket assembly, characterized in that connected to the jacket unit in a single pipe. 제3항에 있어서,
상기 냉각수 공급유닛은 상기 자켓유닛과 상기 수용홀들에 대응되어 복수의 배관으로 연결되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.The method of claim 3,
The cooling water supply unit corresponding to the jacket unit and the receiving holes, polysilicon manufacturing jacket assembly, characterized in that connected to the plurality of pipes. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수용홀은 수용된 상기 실리콘 코어로드를 감싸는 원통형, 타원형 통 형상 및 사각통 형상 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.3. The method according to claim 1 or 2,
The accommodating hole is a jacket assembly for producing polysilicon, characterized in that any one of a cylindrical, oval cylindrical shape and a rectangular cylindrical shape surrounding the silicon core rod accommodated. 제1항에 있어서,
상기 실리콘 코어로드는 상기 자켓유닛의 상부에서 노출되어, 한 쌍의 상기 실리콘 로드를 상호 연결하는 로드 연결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.The method of claim 1,
The silicon core rod is exposed from the upper portion of the jacket unit, the polysilicon manufacturing jacket assembly further comprises a rod connecting portion interconnecting the pair of the silicon rod. 제7항에 있어서,
상기 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리는,
상기 자켓유닛의 상부에 노출되는 상기 로드 연결부를 커버하여, 외부와 상기 로드 연결부를 차폐하는 실드부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.The method of claim 7, wherein
The polysilicon manufacturing jacket assembly,
Covering the rod connecting portion exposed to the upper portion of the jacket unit, the jacket assembly for producing polysilicon, characterized in that it further comprises a shield member for shielding the rod connection with the outside. 제8항에 있어서,
상기 실드부재는 상기 수용홀의 단면 형상에 대응하는 단면 형상을 가지며, 상기 실리콘 코어로드의 한 쌍의 상기 실리콘 로드가 수용되는 상호 인접한 2개의 상기 수용홀의 상부에 배치되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 제조용 자켓 어셈블리.9. The method of claim 8,
The shield member has a cross-sectional shape corresponding to the cross-sectional shape of the accommodating hole, and the polysilicon manufacturing jacket, characterized in that disposed on top of the two adjacent adjacent accommodating holes in which the pair of the silicon rod of the silicon core rod is accommodated assembly.
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