KR20130135582A - 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치, 비전검사방법 - Google Patents

비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치, 비전검사방법 Download PDF

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KR20130135582A
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Abstract

본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로서, 소자에 대한 외관을 검사하는 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치, 및 비전검사방법에 관한 것이다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 광특성이 다른 복수의 측정광들 중 일부를 순차적으로 검사대상에 조사하는 광원부와; 상기 광원부에 의하여 상기 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득부를 포함하는 비전검사모듈을 개시한다.

Description

비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치, 비전검사방법 {Vision Inspection Module, and device inspection apparatus having the samem, and vision inspection method}
본 발명은 소자검사장치에 관한 것으로서, 소자에 대한 외관을 검사하는 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치, 및 비전검사방법에 관한 것이다.
패키지 공정을 마친 반도체소자는 번인테스트 등의 검사를 마친 후에 고객 트레이에 적재되어 출하되며, 출하되는 반도체소자는 그 표면에 레이저 등에 의하여 일련번호, 제조사 로고 등의 표지가 표시되는 마킹공정을 거치게 된다.
반도체소자는 제품에 대한 신뢰성 향상을 위하여 리드(lead)나 볼 그리드(ball grid)의 파손여부, 크랙(crack) 유무, 스크래치(scratch) 유무 등 반도체소자의 외관상태 및 표면상태의 양호여부를 검사하는 비전검사과정을 거치게 된다.
그런데 상기와 같은 반도체소자의 외관상태 및 마킹의 양호여부 등의 표면상태 검사가 추가되면서 그 검사시간에 따라서 전체 공정수행을 위한 시간에 영향을 미치게 된다.
특히 반도체소자의 외관상태 및 표면상태의 비전검사과정이 비효율적으로 이루어지는 경우 전체적으로 작업효율을 저하시켜 반도체소자의 생산성이 떨어지게 되는 문제점이 있다.
한편 반도체소자에 대한 비전검사는 소자의 표면에 광을 조사하고 광이 조사된 반도체소자에 대한 이미지를 획득한 후 획득된 이미지를 분석하여 반도체소자에 대한 외관검사를 수행한다.
구체적으로 소자에 대한 비전검사의 내용으로서, 반도체소자의 상면 또는 저면에 대한 2차원형상에 대한 이미지를 획득하고 획득된 이미지를 분석하여 반도체소자의 표면상태, 즉 크랙, 스크래치 등의 유무를 검사하는 2차원 비전검사, 반도체소자의 3차원형상에 대한 이미지를 획득하고 획득된 이미지를 분석하여 반도체소자의 리드의 이상, 볼의 파손여부, 범프의 이상 등을 검사하는 3차원 비전검사가 있다.
한편 비전검사의 대상은 반도체소자 중 메모리소자 이외에, 스마트폰, 태블릿의 CPU, GPU 등 시스템 LSI 등으로 그 검사대상이 확대되고 있다.
그리고 비전검사의 검사대상이 확대되면서 그 비전검사의 내용 또한 다양해지고 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 필요성을 인식하여, 파장 등의 광특성이 서로 다른 복수의 측정광들을 순차적으로 검사대상에 조사하면서 각 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하여 검사내용에 보다 적합한 비전검사가 가능한 비전검사를 수행할 수 있는 비전검사모듈, 그를 가지는 소자검사장치, 및 비전검사방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 파장 등의 광특성이 서로 다른 복수의 측정광들을 순차적으로 검사대상에 조사하면서 각 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하여 보다 다양한 비전검사를 수행할 수 있는 비전검사모듈, 그를 가지는 소자검사장치, 및 비전검사방법을 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 광특성이 다른 복수의 측정광들 중 일부를 순차적으로 검사대상에 조사하는 광원부와; 상기 광원부에 의하여 상기 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득부를 포함하는 비전검사모듈을 개시한다.
상기 측정광은 백색광, R, G, B, 적외선 및 자외선 중 적어도 2개 이상을 포함할 수 있다.
상기 각 측정광에 의하여 조사된 검사대상에 대한 이미지들을 합성하는 이미지합성부를 더 포함할 수 있다.
상기 이미지획득부는 상기 측정광들의 수에 대응되어 복수의 카메라들을 포함할 수 있다.
상기 각 이미지획득부가 검사대상에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부들의 수에 대응하여 상기 검사대상의 상을 분할하는 광분할부와; 상기 이미지획득부들 중 적어도 하나와 상기 광분할부 사이의 광경로 상에 설치되어 해당 이미지획득부의 초점을 조절하는 초점조절부를 포함할 수 있다.
상기 이미지획득부는 상기 검사대상에 대한 이미지를 제1수광경로로 수광하는 제1이미지획득부와, 상기 제1수광경로에서 상기 광분할부에 의하여 분할된 제2수광경로로 수광하는 하나 이상의 제2이미지획득부들을 포함할 수 있다.
상기 제2이미지획득부는 복수 개로 설치되며, 상기 광분할부는 상기 제1수광경로에서 상기 제2이미지획득부의 수에 대응하여 순차적으로 광을 분할할 수 있다.
상기 제2이미지획득부는 복수 개로 설치되며, 상기 광분할부는 상기 제1수광경로에서 상기 제2이미지획득부의 수에 대응하여 동시에 광을 분할할 수 있다.
상기 복수의 이미지획득부들은 그 수광축이 서로 평행하도록 설치될 수 있다.
상기 복수의 이미지획득부들 중 적어도 어느 하나의 초점조절을 위하여 상기 검사대상에 레이저광을 조사하는 레이저광조사부를 포함할 수 있다.
상기 광분할부 및 상기 검사대상 사이에는 대물광학계가 추가로 설치될 수 있다.
상기 대물광학계는 검사대상에 대한 배율조절이 가능한 것이 바람직하다.
상기 대물광학계는 배율이 서로 다른 복수의 대물렌즈들을 포함하며, 상기 복수의 대물렌즈는 복수의 이미지획득부들의 수광경로 상에 회전에 의하여 위치되어 검사대상에 대한 배율이 조절될 수 있다.
본 발명은 또한 광특성이 다른 복수의 측정광들 중 일부를 광원부에 의하여 순차적으로 검사대상에 조사하고 상기 광원부에 의하여 상기 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 이미지획득부에 의하여 순차적으로 획득하여 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 비전검사방법을 개시한다.
상기 측정광은 백색광, R, G, B, 적외선 및 자외선 중 적어도 2개 이상을 포함할 수 있다.
상기 각 측정광에 의하여 조사된 검사대상에 대한 이미지들을 합성하는 이미지합성부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 비전검사모듈, 그를 가지는 소자검사장치 및 비전검사방법은 파장 등의 광특성이 서로 다른 복수의 측정광들을 순차적으로 검사대상에 조사하면서 각 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하여 검사내용에 보다 적합한 비전검사가 가능한 비전검사를 수행할 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명에 따른 비전검사모듈, 그를 가지는 소자검사장치 및 비전검사방법은 파장 등의 광특성이 서로 다른 복수의 측정광들을 순차적으로 검사대상에 조사하면서 각 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하여 보다 다양한 비전검사를 수행할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 비전검사모듈을 보여주는 개념도이다.
도 2는 도 1의 비전검사모듈이 설치된 소자검사장치를 보여주는 개념도이다.
이하 본 발명에 따른 비전검사모듈 및 그를 가지는 소자검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 도 1에 도시된 바와 같이, 광특성이 다른 복수의 측정광들 중 일부를 순차적으로 검사대상(1)에 조사하는 광원부(30)와; 광원부(30)에 의하여 측정광이 조사된 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득부(10)를 포함한다.
여기서 검사대상(1)은 웨이퍼 상태의 소자, 패키징 과정 중의 소자, 패키징이 완료된 소자 등은 물론 태양전지소자, LCD패널용 기판 등 반도체공정이 수행된 기판 등 표면에 대한 검사가 필요한 대상이면 어떠한 대상도 가능하다.
특히 본 모듈에 의하여 검사대상(1)의 검사는 2차원 또는 3차원 비전검사가 될 수 있다.
상기 광원부(30)는 검사대상(1)의 표면에 수직을 이루어 광을 조사하거나, 경사를 이루어 광을 조사하는 등 검사대상(1)에 대한 광의 조사각도는 설계 및 디자인에 따라서 다양하게 설정될 수 있다.
이때 상기 이미지획득부(10) 또한 그 수광축, 즉 이미지획득부(10)를 구성하는 광학축이 검사대상(1)의 표면에 경사를 이루어 설치될 수 있다.
상기 광원부(30)의 구체적인 예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 검사대상(1)을 향하는 광경로(21) 상에 설치되는 빔스플릿터(51)에 의하여 검사대상(1)으로 광을 조사하는 제1광원(31)과, 링형상의 광원으로서 검사대상(1)에 직접 광을 조사하는 제2광원(32)을 포함하는 등 하나 이상의 광원을 포함할 수 있다.
이때 상기 광원부(30)를 구성하는 제1광원(31), 제2광원(32)은 제어부(미도시)에 의하여 비전검사에 적합한 광량으로 검사대상(1)에 광을 조사하도록 제어될 수 있다.
상기 제1광원(31) 및 제2광원(32)은 광원의 종류, 수에 따라서 LED, 레이저 등 다양한 형태의 광원들로 구성될 수 있으며, 한국등록특허 제1108672호에 도시된 예와 같이 구성될 수 있다.
한편 상기 광원부(30)에 의하여 검사대상(1)에 조사되는 측정광은 보다 다양한 비전검사 수행을 위하여 다양한 특성을 가지는 광들을 순차적으로 조사하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
특히 상기 광원부(30)에 의하여 조사되는 측정광은 백색광, R, G, B, 적외선 및 자외선 중 적어도 2개 이상을 포함할 수 있다.
이때 상기 광원부(30)는 측정광인 백색광, R, G, B, 적외선 및 자외선 중 적어도 2개 이상을 하나씩 순차적으로 검사대상(1)에 조사하도록 제어부(미도시)에 의하여 제어된다.
한편 상기 광원부(30)는 백색광, R, G, B, 적외선 및 자외선 중 2개 이상을 하나씩 순차적으로 조사하는 것 이외에, 2개 이상의 측정광을 동시에 검사대상(1)에 조사할 수 있음은 물론이다.
여기서 상기 2개 이상의 측정광을 동시에 검사대상(1)에 조사하는 경우 서로 간섭될 수 있는바, 서로 간섭되지 않는 측정광들을 조사하는 것이 보다 바람직하다.
또한 상기 광원부(30)는 광특성이 서로 다른 복수의 측정광들을 조사하도록 구성함으로써 하나의 모듈 내에서 복수의 측정광들을 조사하도록 구성하거나, 하나 이상의 측정광들을 조사하는 복수의 광원들로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 이미지획득부(10)는 광원부(30)에 의하여 측정광이 조사된 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득하기 위한 구성으로서, 디지털카메라와 같이 소정의 촬영영역을 가지는 카메라, 측정대상의 상대이동에 의하여 이미지를 획득하는 라인스캐너 등이 사용될 수 있다.
여기서 상기 이미지획득부(10)는 검사대상(1)이 고정된 상태에서 이미지를 획득하거나, 검사대상(1)에 대한 상대이동, 특히 검사대상(1)이 이동되는 상태, 예를 들면 검사대상(1)의 표면에 평행한 방향으로 검사대상(1)에 대한 상대이동과 함께 이미지를 획득할 수 있다.
상기 이미지획득부(10)는 프레임(미도시)에 고정되어 설치되거나 이동가능하게 설치되는 등 다양한 방식에 의하여 설치될 수 있다.
한편 상기 이미지획득부(10)는 적외선 등 광특성에 따라서 촬영가능하게 구성될 필요가 있는바, 도 1에 도시된 바와 같이, 복수 개의 이미지획득부(11, 12)들로 구성될 수 있다.
즉, 상기 이미지획득부(10)는 측정광들의 수에 대응되어 복수의 카메라들을 포함하거나, RGB 촬영이 가능한 제1카메라, 적외선촬영이 가능한 제2카메라, 자외선촬영이 가능한 제3카메라 등을 다양한 조합을 가지는 카메라들을 포함할 수 있다.
또한 상기 복수 개의 이미지획득부(11, 12)들은 각각 상이한 DOF(Depth of Field)들에 대응되거나, 상이한 해상도에 대응되거나, 광원부(30)에 의하여 조사되는 광특성들에 대응되는 등 다양한 비전검사조건들에 하에서 하나의 모듈에 의하여 비전검사가 가능함을 특징으로 한다.
여기서 상기 각 이미지획득부(11, 12)들은 동일한 해상도를 가지거나, 적외선 등의 선택된 광만을 수광하도록 필터를 구비하는 등 다양한 구성이 가능하다.
한편 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 각 이미지획득부(11, 12)가 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 이미지획득부(11, 12)들의 수에 대응하여 검사대상(1)의 상을 분할하는 광분할부(52)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 광분할부(52)는 각 이미지획득부(11, 12)가 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 이미지획득부(11, 12)들의 수에 대응하여 검사대상(1)의 상을 분할하는 구성으로서 반투명 거울, 프리즘 등 하나의 광을 두 개 이상으로 분할할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다.
상기 제2이미지획득부(12)가 복수 개로 설치될 때, 광분할부(52)는 제1수광경로(21)에서 제2이미지획득부(12)의 수에 대응하여 순차적으로 광을 분할하도록 구성될 수 있다.
또한 상기 제2이미지획득부(12)가 복수 개로 설치될 때, 광분할부(52)는 제1수광경로(21)에서 제2이미지획득부(12)의 수에 대응하여 동시에 광을 분할하도록 구성될 수 있다.
또한 상기 이미지획득부(11, 12)가 복수 개로 설치되는 경우 각 이미지획득부(11, 12)들이 도 1에 도시된 바와 같이, 그 수광축(R1, R2)이 서로 평행하도록 설치될 수 있다.
한편 상기 이미지획득부(11, 12)가 복수 개로 설치되는 경우 적어도 일부의 이미지획득부(11, 12)가 검사대상(1)에 대하여 초점조절이 가능, 즉 DOF의 조절이 가능하도록 이미지획득부(11, 12)들 중 적어도 하나와 광분할부(52) 사이의 광경로 상에 설치되어 해당 이미지획득부(11, 12)의 초점을 조절하는 초점조절부(41, 42)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 초점조절부(41, 42)는 이미지획득부(11, 12)들 중 적어도 하나와 광분할부(51) 사이의 광경로(21, 22) 상에 설치되어 해당 이미지획득부(11, 12)의 초점을 조절하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 초점조절부(41, 42)는 하나 이상의 렌즈(미도시)와, 렌즈 및 이미지획득부(11) 중 적어도 어느 하나를 수광축을 따라서 상대 선형이동시키는 선형구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 상기 초점조절부(41, 42)는 복수의 이미지획득부(11, 12)들 전부 또는 그 일부에 설치될 수 있다.
한편 상기 초점조절부(41, 42)가 신속하게 해당 이미지획득부(11, 12) 각각에 대한 초점을 조절할 수 있도록, 복수의 이미지획득부(11, 12)들 중 적어도 어느 하나의 초점조절을 위하여 검사대상(1)에 레이저광을 조사하는 레이저광조사부(43)가 추가로 설치될 수 있다.
상기 레이저광조사부(43)는 검사대상(1)의 표면에 레이저광을 조사하고 검사대상의 표면에 조사된 레이저광을 기준으로 각 이미지획득부(11, 12)의 초점을 맞추는데 활용될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 이미지획득부(11, 12)로부터 검사대상(1)에 사이에는 렌즈, 반사경, 반투명거울 중 적어도 어느 하나를 포함하는 광학계에 의하여 광경로(21, 22)가 형성된다.
특히 상기 광경로(21, 22) 중 광분할부(51) 및 검사대상(1) 사이에는 배율조절 등을 위하여 대물광학계(60)가 추가로 설치될 수 있다.
그리고 상기 대물광학계(60)는 검사대상(1)에 대한 배율조절이 가능하게 구성될 수 있다.
일예로서, 상기 대물광학계(60)는 배율이 서로 다른 복수의 대물렌즈(61, 62, 63)들을 포함하며, 복수의 대물렌즈(61, 62, 63)들은 복수의 이미지획득부(11, 12)들의 수광경로(21) 상에 회전에 의하여 위치되어 검사대상(1)에 대한 배율이 조절될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 각 측정광에 대응되어 측정광이 조사된 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득하여 획득된 이미지를 분석하여 검사대상(1)의 외관상태를 검사하게 된다.
예를 들면 적외선이 조사된 검사대상(1)의 이미지를 통하여 검사대상(1)의 열적특성이나, 크랙 등의 손상을 확인하는데 활용될 수 있다.
또한 검사대상인 소자의 표면에 집적도가 높은 패턴이 형성되는바, 적외선 은 물론 R, G, B 등 파장이 다른 측정광에 반사되는 정도 등이 달라져 보다 다양한 패턴의 이미지 획득이 가능하여 검사대상(1)에 대한 보다 정확한 검사가 가능하다.
이때 검사대상(1)의 이미지를 측정광의 종류에 따라서 다양한바 각 이미지를 분석하여 비전검사를 수행하는 한편, 일부 이미지를 합성한 후 합성된 이미지를 분석하여 검사종류를 다양화하거나 보다 정확하게 비전검사를 수행할 수 있다.
예를 들면, R, G, B에 의한 검사대상(1)의 이미지와, 자외선에 의한 검사대상(1)의 이미지를 합성하여 외관 및 열적특성의 상관관계 등을 검사할 수 있다.
여기서 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 측정광에 의하여 조사된 검사대상(1)에 대한 이미지들을 합성하는 이미지합성부(미도시)를 더 포함한다.
상기 이미지합성부는 측정광에 의하여 조사된 검사대상(1)에 대한 이미지들을 합성하는 구성으로서 물리적 구성보다는 회로 내지 소프트웨어 구성으로서 제어부 등과 함께 구성될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 비전검사모듈(100)은 파장 등 광특성이 다른 복수의 측정광들 중 일부를 광원부에 의하여 순차적으로 검사대상(1)에 조사하고 광원부(30)에 의하여 측정광이 조사된 검사대상(1)에 대한 이미지를 이미지획득부(10; 11, 12)에 의하여 순차적으로 획득하여 검사대상(1)에 대한 이미지를 획득하는 비전검사방법을 수행하게 된다.
상기와 같은 구성을 가지는 비전검사모듈은 검사대상에 대한 비전검사를 수행하는 모듈로서 다양한 장치에 적용될 수 있다.
일예로서, 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)은 소자에 대한 비전검사를 수행하는 소자검사장치에 적용될 수 있다.
여기서 소자는 웨이퍼 상태의 소자, 패키징 과정 중의 소자, 패키징이 완료된 소자 등은 물론 태양전지소자, LCD패널용 기판 등 반도체공정이 수행된 기판 등이 될 수 있다.
이하 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)이 적용된 소자검사장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 소자검사장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 트레이(2)에 복수의 검사대상(1)들을 적재하여 검사대상(1)을 로딩하는 로딩부(400)와; 로딩부(400)의 일측에 설치되어 로딩부(400)로부터 적어도 하나의 검사대상(1)을 픽업하여 비전검사 후 로딩부(400)의 트레이(2)에 재적재하는 제1픽업툴(600)과; 본 발명에 따른 비전검사모듈(100)을 포함하며, 제1픽업툴(600)에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상(1)의 저면에 대한 비전검사를 수행하는 제1비전검사부(101)와; 제1비전검사부(101)의 비전검사 결과에 따라서 검사대상을 분류하여 트레이(2)에 적재하는 언로딩부(300)를 포함할 수 있다.
여기서 상기 트레이(2)는 검사대상(1)이 안착되어 이송하는 구성으로서, 검사대상(1)이 안착되는 안착홈(2a)이 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 로딩부(400)는 검사대상인 검사대상(1)를 제1비전검사부(101)로 공급하기 위한 구성으로서, 트레이(2)에 형성된 안착홈(2a)에 안착된 상태로 다수개의 검사대상(1)들을 이송하여 제1비전검사부(101)가 검사할 수 있도록 구성된다.
상기 로딩부(400)는 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 다수개의 검사대상(1)들이 적재되는 트레이(2)의 이동을 안내하는 가이드부(410)와, 트레이(2)가 가이드부(410)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 제1픽업툴(600)은 지지브라켓(630)에 설치되는 다수개의 픽커(미도시)들로 구성되며, 지지브라켓(630)는 본체(10)에 설치된 이송툴가이드(601)를 따라서 이동가능하게 설치된다.
상기 픽커들은 검사대상(1)를 픽업하여 이송하기 위한 장치로서 다양한 구성이 가능하며, 1×8, 2×8 등 다양한 배치로 구성될 수 있으며, 각 픽커는 상하이동(Z방향 이동)과 함께 진공압을 발생시켜 검사대상(1)를 흡착하여 픽업하는 흡착헤드를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 언로딩부(300)는 로딩부(400)와 유사한 구성을 가지며, 검사대상(1)의 검사결과의 수에 따라서 양품(G), 불량1 또는 이상1(R1), 불량2 또는 이상2(R2) 등의 분류등급이 부여되도록 복수 개로도 구성이 가능하다.
즉, 상기 언로딩부(300)는 비전검사 결과 양호한 것으로 검사된 검사대상을 트레이(2)에 적재하는 굿트레이부와, 비전검사 결과 불량인 것으로 검사된 검사대상(1)을 트레이에 적재하는 하나 이상의 소팅트레이부를 포함하는 등 다양한 구성이 가능하다.
그리고 각 언로딩부(300)는 로딩부(400)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(310)와, 트레이(2)가 가이드부(310)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
한편 트레이(2)는 로딩부(400) 및 언로딩부(300)들 사이에서 서로 트레이이송장치(미도시)에 의하여 이송이 가능하며, 언로딩부(300)에 검사대상(1)이 적재되지 않은 빈 트레이(2)를 공급하는 빈트레이부(200)를 추가적으로 포함할 수 있다.
이때 빈트레이부(200)는 로딩부(400)의 일측에 평행하게 설치되는 가이드부(210)와, 트레이(2)가 가이드부(210)를 따라서 이동시키기 위한 구동부(미도시)를 포함하여 구성될 수 있다.
또한 상기 언로딩부(300)에는 각 언로딩부(300) 사이에서 각 언로딩부(300)의 분류등급에 따라서 검사대상(1)를 이송하기 위한 제2픽업툴(620)이 별도로 설치될 수 있다.
상기 제1비전검사부(101)는 도 1에 도시된 비전검사모듈(100)을 포함하며, 제1픽업툴(600)에 의하여 픽업되어 이송되는 검사대상(1)의 저면에 대한 비전검사, 특히 3차원 비전검사를 수행한다.
한편 본 발명에 따른 소자검사장치는 로딩부(400)에서 트레이(2)의 이동경로 상에 설치되어 트레이(2)에 적재된 검사대상(1)의 상면을 검사하는 제2비전검사부(500)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제2비전검사부(500)는 검사대상(1)와의 상대이동, 즉 X축방향이동, Y축방향이동, X-Y방향이동, 회전이동 등에 의하여 비전검사를 수행하게 되므로, 모듈화된 2차원비전검사부(530)의 X축방향 및 Y축방향의 이동을 가이드하기 위한 가이드부(510, 540)를 포함할 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10 : 이미지획득부 30 : 광원부

Claims (16)

  1. 광특성이 다른 복수의 측정광들 중 일부를 순차적으로 검사대상에 조사하는 광원부와;
    상기 광원부에 의하여 상기 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 이미지획득부를 포함하는 비전검사모듈.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 측정광은 백색광, R, G, B, 적외선 및 자외선 중 적어도 2개 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 측정광에 의하여 조사된 검사대상에 대한 이미지들을 합성하는 이미지합성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 이미지획득부는
    상기 측정광들의 수에 대응되어 복수의 카메라들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 각 이미지획득부가 검사대상에 대한 이미지를 획득할 수 있도록 상기 이미지획득부들의 수에 대응하여 상기 검사대상의 상을 분할하는 광분할부와;
    상기 이미지획득부들 중 적어도 하나와 상기 광분할부 사이의 광경로 상에 설치되어 해당 이미지획득부의 초점을 조절하는 초점조절부를 포함하는 비전검사모듈.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 이미지획득부는
    상기 검사대상에 대한 이미지를 제1수광경로로 수광하는 제1이미지획득부와, 상기 제1수광경로에서 상기 광분할부에 의하여 분할된 제2수광경로로 수광하는 하나 이상의 제2이미지획득부들을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제2이미지획득부는 복수 개로 설치되며,
    상기 광분할부는 상기 제1수광경로에서 상기 제2이미지획득부의 수에 대응하여 순차적으로 광을 분할하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 제2이미지획득부는 복수 개로 설치되며,
    상기 광분할부는 상기 제1수광경로에서 상기 제2이미지획득부의 수에 대응하여 동시에 광을 분할하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  9. 청구항 4에 있어서,
    상기 복수의 이미지획득부들은 그 수광축이 서로 평행하도록 설치된 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  10. 청구항 4에 있어서,
    상기 복수의 이미지획득부들 중 적어도 어느 하나의 초점조절을 위하여 상기 검사대상에 레이저광을 조사하는 레이저광조사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  11. 청구항 5에 있어서,
    상기 광분할부 및 상기 검사대상 사이에는 대물광학계가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 대물광학계는 검사대상에 대한 배율조절이 가능한 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 대물광학계는 배율이 서로 다른 복수의 대물렌즈들을 포함하며,
    상기 복수의 대물렌즈는 복수의 이미지획득부들의 수광경로 상에 회전에 의하여 위치되어 검사대상에 대한 배율이 조절되는 것을 특징으로 하는 비전검사모듈.
  14. 광특성이 다른 복수의 측정광들 중 일부를 광원부에 의하여 순차적으로 검사대상에 조사하고 상기 광원부에 의하여 상기 측정광이 조사된 검사대상에 대한 이미지를 이미지획득부에 의하여 순차적으로 획득하여 검사대상에 대한 이미지를 획득하는 비전검사방법.
  15. 청구항에 14있어서,
    상기 측정광은 백색광, R, G, B, 적외선 및 자외선 중 적어도 2개 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사방법.
  16. 청구항 14에 있어서,
    상기 각 측정광에 의하여 조사된 검사대상에 대한 이미지들을 합성하는 이미지합성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비전검사방법.
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